KR20180085091A - Lamination apparatus - Google Patents

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KR20180085091A
KR20180085091A KR1020170007169A KR20170007169A KR20180085091A KR 20180085091 A KR20180085091 A KR 20180085091A KR 1020170007169 A KR1020170007169 A KR 1020170007169A KR 20170007169 A KR20170007169 A KR 20170007169A KR 20180085091 A KR20180085091 A KR 20180085091A
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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a bonding device comprises a first jig on which a first member is seated, a second jig, and a pressure member. The second jig comprises: a support substrate supporting a second member and defining an opening; a jig driving unit moving the support substrate; a jig fixing shaft connecting the support substrate and the jig driving unit; and an adsorption member including at least one adsorption pad inserted into the opening and moving in the opening, and a pad control unit controlling the at least one adsorption pad. The pressure member includes a pressure roller, a pressure driver moving the pressure roller, and a roller fixing shaft connecting the pressure roller and the pressure driver. Therefore, a bonding member is able to be easily fixed during a bonding process and uniform pressure is able to be applied to the bonding members to improve the quality of bonding.

Description

합착 장치{LAMINATION APPARATUS}LAMINATION APPARATUS

본 발명은 합착 장치에 대한 발명으로, 보다 상세하게는 다양한 형상을 갖는 합착 부재들의 합착 품질을 개선하기 위한 가압 부재와 지그를 포함하는 합착 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lapping apparatus, and more particularly, to a lapping apparatus including a pressing member and a jig for improving the quality of lapping of lapping members having various shapes.

텔레비전, 휴대 전화, 태블릿 컴퓨터, 네비게이션, 게임기, 차량에 탑재된 디스플레이 등과 같이 멀티 미디어 장치에 사용되는 다양한 표시 장치들이 개발되고 있다. 특히 최근에는 휘어지고 접히는 등 형상이 다양하게 변형될 수 있는 특징을 가진 플렉서블 표시 장치, 또는 복수 개의 곡면을 갖는 등의 정형화되지 않은 자유 형상의 표시 장치에 대한 개발이 진행되고 있다.A variety of display devices for use in multimedia devices, such as televisions, cell phones, tablet computers, navigation, game machines, vehicle-mounted displays, and the like, are being developed. Particularly, in recent years, development has been made on a flexible display device having features that can be deformed in various forms such as bending and folding, or a free-form display device having a plurality of curved surfaces and other unformed shapes.

이러한 표시 장치의 다양한 형상으로 인하여 종래의 합착 장치를 이용하여 윈도우 부재와 표시 패널, 또는 윈도우 부재와 입력 감지 유닛 등을 서로 합착할 때 합착되는 부재들에 압력이 균일하게 전달되지 않아 합착 품질이 저하되는 문제가 발생할 수 있다.Due to the various shapes of the display device, pressure is not uniformly transmitted to the members to be joined when the window member and the display panel, or the window member and the input sensing unit are stuck to each other by using the conventional laminating apparatus, There may be a problem.

본 발명은 합착 부재의 형상에 관계 없이 사용될 수 있고, 개선된 합착 품질을 얻기 위하여 합착 부재의 표면에 일정 압력을 가하는 가압 부재, 및 합착 공정 진행 중에 합착 부재를 고정하는 흡착 부재를 포함하는 합착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention can be used regardless of the shape of a cohesive member and includes a pressing member for applying a predetermined pressure to the surface of the cohesive member to obtain an improved cohesion quality and a cohesive member for holding the cohesive member in the course of the cohesion process And to provide the above-mentioned objects.

일 실시예는 제1 지그, 제2 지그, 및 가압 부재를 포함하는 합착 장치를 제공한다. 일 실시예의 합착 장치의 상기 제2 지그는 제2 부재를 지지하고 개구부가 정의된 지지 기판, 상기 지지 기판을 이동시키는 지그 구동부, 상기 지지 기판과 상기 지그 구동부를 연결하는 지그 고정축, 및 상기 개구부에 삽입되어 상기 개구부 내에서 이동하는 적어도 하나의 흡착 패드 및 상기 적어도 하나의 흡착 패드를 제어하는 패드 제어부를 포함하는 흡착 부재를 포함하고, 상기 가압 부재는 가압 롤러, 상기 가압 롤러를 이동시키는 가압 구동부, 및 상기 가압 롤러와 상기 가압 구동부 사이를 연결하는 롤러 고정축을 포함할 수 있다.One embodiment provides a lid assembly including a first jig, a second jig, and a pressing member. The second jig of the lid of one embodiment includes a support substrate which supports the second member and defines an opening portion, a jig driving portion which moves the support substrate, a jig fixing shaft which connects the support substrate and the jig driving portion, And at least one adsorption pad inserted in the opening and moving in the opening, and a pad control unit controlling the at least one adsorption pad, wherein the pressure member comprises a pressure roller, a pressure driver for moving the pressure roller, And a roller fixing shaft connecting the pressure roller and the pressure driver.

상기 가압 부재 및 상기 제2 지그는 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 합착 진행 방향인 제1 방향으로 이동할 수 있다.The pressing member and the second jig can move in a first direction in which the first member and the second member are joined together.

상기 적어도 하나의 흡착 패드는 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동할 수 있다.The at least one adsorption pad may move in a second direction opposite to the first direction.

상기 흡착 부재는 상기 지지 기판의 하부면에 배치되고, 상기 지지 기판과 마주하는 일면에 제공된 홈을 갖는 패드 지지부를 더 포함하고, 상기 패드 제어부는 상기 홈에 안착되어 이동할 수 있다.The adsorption member may further include a pad support portion disposed on a lower surface of the support substrate and having a groove provided on a surface facing the support substrate, and the pad control portion may be seated in the groove and moved.

상기 패드 제어부는 상기 적어도 하나의 흡착 패드의 진공 상태를 제어하는 진공 제어부, 및 상기 적어도 하나의 흡착 패드의 위치를 제어하는 위치 제어부를 포함할 수 있다.The pad control unit may include a vacuum controller for controlling the vacuum state of the at least one adsorption pad, and a position controller for controlling the position of the at least one adsorption pad.

상기 적어도 하나의 흡착 패드는 상기 제2 부재의 일단을 진공 흡입하여 고정할 수 있다.The at least one adsorption pad may be fixed by vacuum suctioning one end of the second member.

상기 개구부는 상기 지지 기판의 일측에서 타측 방향으로 연장되고, 상기 지지 기판의 두께 방향으로 관통하는 것일 수 있다. 상기 개구부는 상기 지지 기판의 일측에서 오픈될 수 있다.The opening may extend from one side of the supporting substrate to the other side and penetrate in the thickness direction of the supporting substrate. The opening may be opened at one side of the supporting substrate.

상기 지그 고정축은 상기 지지 기판의 일단에 인접하여 배치된 제1 지그 고정축 및 상기 지지 기판의 타단에 인접하여 배치된 제2 지그 고정축을 포함하고, 상기 제1 지그 고정축 및 상기 제2 지그 고정축 각각은 상기 지지 기판에 연결된 제1 서브 지그축; 및 상기 제1 서브 지그축과 상기 지그 구동부 사이에 배치되고, 길이가 가변되는 제2 서브 지그축; 을 포함할 수 있다.Wherein the jig fixing shaft includes a first jig fixing shaft disposed adjacent to one end of the supporting substrate and a second jig fixing shaft disposed adjacent to the other end of the supporting substrate, and the first jig fixing shaft and the second jig fixing shaft Each of the shafts being connected to the supporting substrate; And a second sub-jig axis disposed between the first sub-jig axis and the jig driving unit and having a variable length; . ≪ / RTI >

상기 제1 지그 고정축과 상기 제2 지그 고정축의 길이는 상이할 수 있다.The lengths of the first jig fixed shaft and the second jig fixed shaft may be different.

상기 가압 롤러는 상기 제1 지지면을 추종하며 상기 제1 방향으로 이동할 수 있다.The pressure roller may follow the first support surface and move in the first direction.

상기 가압 롤러는 상기 제1 지지면에 일정한 압력을 가하며 이동할 수 있다.The pressure roller can move while applying a constant pressure to the first support surface.

상기 가압 롤러와 상기 제2 부재가 접하는 제1 접점을 지나는 제1 접선에 대한 법선 방향의 압력이 제1 압력이고, 상기 제1 접점과 상이하며, 상기 가압 롤러와 상기 제2 부재가 접하는 제2 접점을 지나는 제2 접선에 대한 법선 방향의 압력이 제2 압력일 때, 상기 제1 압력과 상기 제2 압력은 동일할 수 있다.Wherein a pressure in a normal direction to a first tangential line passing through a first contact where the pressure roller and the second member are in contact with each other is a first pressure and is different from the first contact, When the pressure in the normal direction to the second tangent line passing through the contact is the second pressure, the first pressure and the second pressure may be the same.

상기 가압 구동부는 상기 롤러 고정축에 연결되어 상기 롤러 고정축을 회전 시키는 회전 모터; 및 상기 가압 롤러를 상기 제1 방향으로 이동시키는 이동 모터; 를 포함할 수 있다.Wherein the pressure driver includes: a rotation motor connected to the roller fixing shaft to rotate the roller fixing shaft; And a moving motor for moving the pressure roller in the first direction; . ≪ / RTI >

상기 제1 지지면은 적어도 하나의 곡면부를 포함할 수 있다. 상기 적어도 하나의 곡면부는 상기 제2 지그 방향으로 볼록한 볼록부; 및 상기 제2 지그 방향과 반대 방향으로 오목한 오목부; 를 포함할 수 있다.The first support surface may include at least one curved surface portion. Wherein the at least one curved portion has a convex portion convex in the second jig direction; And a concave portion recessed in a direction opposite to the second jig direction; . ≪ / RTI >

상기 제1 지지면은 상기 적어도 하나의 곡면부와 연결된 평면부를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 곡면부에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도와 상기 평면부에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도는 상이할 수 있다.Wherein the first support surface further comprises a planar portion connected to the at least one curved surface portion, and wherein the moving speed of the pressing member in a region corresponding to the at least one curved surface portion and the pressing The movement speed of the member may be different.

상기 제1 부재는 서로 다른 두께를 갖는 제1 서브 부재 및 제2 서브 부재를 포함하고, 상기 제1 서브 부재와 상기 제2 서브 부재 사이의 단차 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도는 상기 제1 서브 부재에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도보다 느릴 수 있다.Wherein the first member includes a first sub member and a second sub member having different thicknesses and a moving speed of the pressing member in a stepped region between the first sub member and the second sub member is different from the first moving member May be slower than the moving speed of the pressing member in the region corresponding to the sub-member.

상기 제1 지그는 상기 제1 지지면에 부착된 압력 감지 시트를 더 포함할 수 있다.The first jig may further include a pressure sensing sheet attached to the first support surface.

상기 합착 장치는 표면처리 부재를 더 포함하고, 상기 표면처리 부재는 상기 제1 지지면과 마주하는 표면처리부 및 상기 표면처리부를 상기 제1 지그에 연결하여 이동시키는 표면처리 구동부를 포함하고, 상기 표면처리 구동부는 상기 제1 지그에 제공된 레일에 탑재되어 이동될 수 있다.Wherein the surface treatment member includes a surface treatment portion facing the first support surface and a surface treatment driving portion connecting the surface treatment portion to the first jig to move the surface treatment member, The processing drive unit can be mounted on and moved to the rails provided in the first jig.

일 실시예의 합착 장치는 흡착 패드를 지그에 배치하여 합착 공정을 진행하는 동안 합착 부재의 일단을 고정할 수 있어 합착 품질을 개선할 수 있다.The cigarette lighter of one embodiment can fix the one end of the cigarette member during the laminating process by arranging the adsorption pad in the jig, thereby improving the quality of the cigarette lighter.

일 실시예의 합착 장치는 합착 부재에 일정한 압력을 가할 수 있는 가압 부재를 포함하여 합착 품질을 개선할 수 있다.The laminating apparatus of one embodiment can include a pressing member capable of applying a constant pressure to the laminating member, thereby improving the quality of laminating.

일 실시예의 합착 장치는 합착 부재를 고정하는 흡착 패드와 일정 압력을 제공하는 가압 부재를 포함하여 합착 부재의 형상에 관계 없이 개선된 합착 품질을 얻을 수 있다.The laminating apparatus of one embodiment can include an adsorption pad for fixing a laminating member and a pressing member for providing a constant pressure, so that an improved laminating quality can be obtained irrespective of the shape of the laminating member.

도 1은 일 실시예의 합착 장치의 측면도이다.
도 2는 일 실시예의 합착 장치에 포함된 제1 지그의 사시도이다.
도 3a 내지 도 3b는 제1 지그의 실시예들에 대한 단면도이다.
도 4는 일 실시에의 합착 장치에 포함된 제2 지그의 사시도이다.
도 5a는 도 4의 I-I' 영역을 절단한 단면도이다.
도 5b는 도 4의 II-II`영역을 절단한 단면도이다.
도 6a는 도 4의 I-I' 영역을 절단한 단면도이다.
도 6b는 도 4의 II-II`영역을 절단한 단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 각각 합착 진행 정도에 따른 일 실시예의 합착 장치의 구조를 나타낸 측면도이다.
도 8a 및 도 8b는 각각 일 실시예의 합착 장치에 포함된 일 실시예의 가압 부재를 나타낸 사시도이다.
도 9 및 도 10은 각각 합착 진행 정도에 따른 일 실시예의 합착 장치의 구조를 나타낸 측면도이다.
도 11a 및 도 11b는 가압 부재의 이동 위치와 가압 부재의 이동 속도의 관계를 상대적으로 나타낸 도면이다.
도 12a 내지 도 12b는 일 실시예의 합착 장치를 나타낸 도면이다.
도 13은 일 실시예의 합착 장치를 나타낸 도면이다.
1 is a side view of a lid assembly according to an embodiment.
2 is a perspective view of a first jig included in the lid assembly of one embodiment.
Figures 3a-3b are cross-sectional views of embodiments of the first jig.
4 is a perspective view of a second jig included in the lid of one embodiment.
5A is a cross-sectional view taken along line II 'of FIG.
5B is a cross-sectional view taken along line II-II 'of FIG.
6A is a cross-sectional view taken along line II 'of FIG.
6B is a cross-sectional view taken along line II-II 'of FIG.
FIGS. 7A and 7B are side views showing the structure of a laminating apparatus according to one embodiment according to the degree of cementing progress, respectively.
8A and 8B are perspective views each showing a pressing member of an embodiment included in a cigarette lighter according to an embodiment.
FIGS. 9 and 10 are side views showing the structure of a laminating apparatus according to one embodiment according to the degree of laminating progress, respectively.
11A and 11B are views showing the relationship between the moving position of the pressing member and the moving speed of the pressing member relatively.
12A to 12B are views showing a laminating apparatus of an embodiment.
13 is a view showing a laminating apparatus of one embodiment.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown enlarged from the actual for the sake of clarity of the present invention. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "하에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, 본 출원에서 "상에" 배치된다고 하는 것은 상부뿐 아니라 하부에 배치되는 경우도 포함하는 것일 수 있다.In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. Also, where a portion such as a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" another portion, this includes not only the case where it is "directly on" another portion, but also the case where there is another portion in between. On the contrary, when a part such as a layer, film, region, plate or the like is referred to as being "under" another part, it includes not only the case where it is "directly underneath" another part but also the case where there is another part in the middle. In addition, the term "on" in the present application may include the case where it is disposed at the lower part as well as the upper part.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a lid assembly according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 일 실시예의 합착 장치(100A)의 사시도이다. 일 실시예의 합착 장치(100A)는 제1 부재(PN1)를 지지하는 제1 지그(JG1), 제2 부재(PN2)를 지지하는 제2 지그(JG2), 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)를 서로 합착시키는 가압 부재(RU)를 포함할 수 있다. 또한, 일 실시예의 합착 장치(100A)는 제2 지그(JG2)와 가압 부재(RU)를 지지하는 지지테이블(ST)을 더 포함하는 것일 수 있다.1 is a perspective view of a lid assembly 100A of one embodiment. The coiling apparatus 100A of one embodiment includes a first jig JG1 for supporting the first member PN1, a second jig JG2 for supporting the second member PN2, a first member PN1 for supporting the first member PN1, And a pressing member RU for attaching the members PN2 to each other. In addition, the caulking apparatus 100A of one embodiment may further include a support table ST for supporting the second jig JG2 and the pressing member RU.

제1 지그(JG1)는 제1 부재(PN1)가 안착된 제1 지지면(JG-B)을 포함하는 것일 수 있다. 제1 지지면(JG-B)에서 제1 부재(PN1)가 고정될 수 있다. 즉, 제1 부재(PN1)는 제2 지그(JG2)와 마주하는 제1 지그(JG1)의 하부면인 제1 지지면(JG-B)에 안착되어 고정될 수 있다. 따라서, 제1 지그(JG1)와 마주하고 제2 지그(JG2)와 제1 방향(DR1)으로 인접한 가압 부재(RU)는 제1 부재(PN1)의 하부면에 압력을 제공하는 것일 수 있다. 제1 부재(PN1)의 하부면은 제2 부재(PN2)와 마주하는 면일 수 있다.The first jig JG1 may include a first support surface JG-B on which the first member PN1 is seated. The first member PN1 may be fixed on the first support surface JG-B. That is, the first member PN1 can be seated and fixed on the first support surface JG-B, which is the lower surface of the first jig JG1 facing the second jig JG2. The urging member RU adjacent to the first jig JG1 and adjacent to the second jig JG2 in the first direction DR1 may be one that provides pressure to the lower surface of the first member PN1. The lower surface of the first member PN1 may be a surface facing the second member PN2.

한편, 도면에 도시되지는 않았으나, 제1 지지면(JG-B)에는 합착 공정 동안 제1 부재(PN1)를 고정하는 적어도 하나의 진공 흡입구(미도시)를 포함할 수 있다. 복수 개의 진공 흡입구들(미도시)로 공기를 흡입하여 제1 부재(PN1)를 제1 지그(JG1)에 안착시킬 수 있다.Meanwhile, although not shown in the drawing, the first support surface JG-B may include at least one vacuum inlet (not shown) for fixing the first member PN1 during the laminating process. The first member PN1 can be seated on the first jig JG1 by sucking air through a plurality of vacuum inlets (not shown).

일 실시예에서, 제1 지지면(JG-B)의 형상은 제공되는 제1 부재(PN1)의 형상에 대응하는 형상으로 제공될 수 있다. 제1 지그(JG1)는 합착 공정에 사용되는 합착 부재인 제1 부재(PN1)가 안착되어 합착 공정이 진행되는 동안 균일한 압력이 전달될 수 있도록 하기 위하여 제1 부재(PN1)의 형상에 대응하는 형상으로 가공되어 제공되거나, 또는 최종 제품에서 요구되는 형상에 대응하는 형상으로 제공될 수 있다.In one embodiment, the shape of the first support surface JG-B may be provided in a shape corresponding to the shape of the provided first member PN1. The first jig JG1 corresponds to the shape of the first member PN1 in order to allow a uniform pressure to be transmitted while the first member PN1, which is a joining member used in the joining process, Or may be provided in a shape corresponding to the shape required in the final product.

예를 들어, 일 실시예의 합착 장치(100A)를 이용하여 제조된 표시 장치가 다중 곡면을 갖는 것일 경우 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)은 목적으로 하는 표시 장치의 다중 곡면 형상에 대응하는 형상을 갖는 것으로 제공될 수 있다.For example, when the display device manufactured using the sticking apparatus 100A of one embodiment has multiple curved surfaces, the first supporting surface JG-B of the first jig JG1 is a multi- It may be provided with a shape corresponding to the curved shape.

도 2는 일 실시예의 합착 장치(100A)에 포함된 제1 지그(JG1)의 일 실시예를 나타낸 사시도이다. 도 3a 내지 도 3b는 다양한 형상을 갖는 제1 지그(JG1)의 실시예들을 나타낸 단면도이다.2 is a perspective view showing an embodiment of the first jig JG1 included in the lid 100A of the embodiment. 3A and 3B are sectional views showing embodiments of a first jig JG1 having various shapes.

도 2는 도 1에 도시된 합착 장치(100A)에서 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)이 상부(제4 방향(DR4))로 향하도록 도시한 것이다. 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)은 적어도 하나의 곡면부를 포함하는 것일 수 있다. 도 2의 도시를 참조하면, 제1 지지면(JG-B)은 제1 곡면부(CS1) 및 제2 곡면부(CS2)를 포함하는 것일 수 있다. 제1 곡면부(CS1)의 곡률 반경은 제2 곡면부(CS2)의 곡률 반경과 상이한 것일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 곡면부(CS1)의 곡률 반경과 제2 곡면부(CS2)의 곡률 반경은 서로 동일한 것일 수 있다.2 shows the first supporting surface JG-B of the first jig JG1 facing upward (fourth direction DR4) in the bonding apparatus 100A shown in Fig. The first support surface JG-B of the first jig JG1 may include at least one curved surface portion. Referring to FIG. 2, the first support surface JG-B may include a first curved portion CS1 and a second curved portion CS2. The radius of curvature of the first curved portion CS1 may be different from the curvature radius of the second curved portion CS2. However, the embodiment is not limited thereto, and the radius of curvature of the first curved portion CS1 may be the same as the radius of curvature of the second curved portion CS2.

도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 곡면부(CS1)는 제2 지그(JG2) 방향으로 볼록한 볼록부이고, 제2 곡면부(CS2)는 제2 지그(JG2) 방향과 반대 방향으로 오목한 오목부일 수 있다. 즉, 제1 곡면부(CS1)는 제4 방향(DR4)으로 볼록한 곡면이고, 제2 곡면부(CS2)는 제3 방향(DR3)으로 오목한 곡면일 수 있다.1 and 2, the first curved portion CS1 is a convex portion convex in the direction of the second jig JG2 and the second curved portion CS2 is concave in the direction opposite to the direction of the second jig JG2 It can be concave. That is, the first curved surface portion CS1 may be a curved surface convex in the fourth direction DR4, and the second curved surface portion CS2 may be a curved surface concave in the third direction DR3.

제1 지그(JG1)는 제1 곡면부(CS1), 제2 곡면부(CS2), 및 제1 곡면부(CS1)와 제2 곡면부(CS2) 사이에 배치되어 제1 곡면부(CS1)와 제2 곡면부(CS2)를 연결하는 평면부(FS)를 포함하는 것일 수 있다. 즉, 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)은 복수 개의 곡면부를 갖는 것일 수 있다.The first jig JG1 includes a first curved portion CS1 and a second curved portion CS2 and a first curved portion CS1 disposed between the first curved portion CS1 and the second curved portion CS2, And a flat surface portion FS connecting the first curved surface portion CS2 and the second curved surface portion CS2. That is, the first supporting surface JG-B of the first jig JG1 may have a plurality of curved portions.

도 3a 내지 도 3b는 제1 지그(JG1)의 다른 실시예들을 나타낸 단면도이다. 도 3a 내지 도 3b는 제1 방향(DR1)과 제3 방향(DR3)이 정의하는 평면과 평행한 면에서의 제1 지그(JG1)의 단면을 나타낸 것이다. 도 3a에서는 복수 개의 곡면부를 포함하는 제1 지그(JG1)의 일 실시예를 나타내고 있으며, 도 3b는 평면부와 곡면부를 모두 포함하는 제1 지그(JG1)의 일 실시예를 나타내고 있다.3A and 3B are sectional views showing other embodiments of the first jig JG1. 3A and 3B are cross-sectional views of the first jig JG1 on a plane parallel to the plane defined by the first direction DR1 and the third direction DR3. FIG. 3A shows an embodiment of a first jig JG1 including a plurality of curved portions, and FIG. 3B shows an embodiment of a first jig JG1 including both a flat portion and a curved portion.

다만, 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)의 형상은 도 2 및 도 3a 내지 도 3b에 도시된 것에 한정되지 않는다. 제1 지지면(JG-B)의 형상은 안착되는 제1 부재(PN1)의 형상에 따라 다양하게 제공될 수 있다.However, the shape of the first supporting surface JG-B of the first jig JG1 is not limited to those shown in Figs. 2 and 3A to 3B. The shape of the first support surface JG-B can be variously provided depending on the shape of the first member PN1 to be seated.

도 3a에서 제1 지그(JG1)는 제3 방향(DR3)으로 오목한 오목부인 곡면부들(B1, B2)과 이와 반대 방향(도 3a의 제4 방향(DR4))으로 볼록한 볼록부인 곡면부(B3)를 포함하는 제1 지지면(JG-B)을 갖는 것일 수 있다. 곡면부들(B1, B2, B3)은 서로 다른 곡률 반경을 갖거나 또는 적어도 두 개의 곡면부들은 동일한 곡률 반경을 갖는 것일 수 있다. 도 3a에서 도시된 제1 지그(JG1)는 제1 지지면(JG-B)이 복수 개의 곡면부들로 이루어진 경우를 나타낸 것이다. 하지만, 실시예는 도 3a에 도시된 것에 한정되지 않으며, 제1 지그(JG1)는 제1 지지면(JG-B)이 4개 이상의 다중 곡면을 갖는 것일 수 있다.3A, the first jig JG1 includes curved portions B 1 and B 2 which are concave concave portions in the third direction DR 3 and curved portions B 3 and B 3 which are convex convex portions in the opposite direction (the fourth direction DR 4 in FIG. (JG-B) that includes the first support surface (JG-B). The curved portions B1, B2, B3 may have different radii of curvature, or at least two curved portions may have the same radius of curvature. The first jig JG1 shown in FIG. 3A shows a case where the first support surface JG-B is composed of a plurality of curved portions. However, the embodiment is not limited to that shown in Fig. 3A, and the first jig JG1 may have the first support surface JG-B having four or more multiple curved surfaces.

도 3b에서 제1 지그(JG1)는 복수 개의 평면부들(B1, B2)과 하나의 곡면부(B3)를 포함하는 제1 지지면(JG-B)을 갖는 것일 수 있다. 도 3b의 실시예에서 곡면부(B3)는 평면부들(B1, B2) 사이에 배치되는 것일 수 있다. 도 3b는 제1 지지면(JG-B)이 복수 개의 평면부(B1, B2)와 이들 사이를 연결하는 곡면부(B3)로 이루어진 경우를 나타낸 것이나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 지그(JG1)는 제1 지지면(JG-B)이 하나의 곡면부와 하나의 평면부를 포함하는 것이거나, 또는 복수 개의 곡면부들과 복수 개의 평면부들을 포함하는 것일 수 있다.In FIG. 3B, the first jig JG1 may have a first support surface JG-B including a plurality of planar portions B1 and B2 and a curved portion B3. In the embodiment of FIG. 3B, the curved surface portion B3 may be disposed between the planar portions B1 and B2. 3B shows a case where the first support surface JG-B is composed of a plurality of planar parts B1 and B2 and a curved surface part B3 connecting them, but the embodiment is not limited thereto. For example, the first jig JG1 may be one in which the first support surface JG-B includes one curved portion and one planar portion, or may include a plurality of curved portions and a plurality of planar portions have.

즉, 일 실시예에서 제1 지그(JG1)는 제1 지지면(JG-B)은 평면부이거나, 또는 적어도 하나의 곡면부를 갖는 것일 수 있다. 또한, 제1 지지면(JG-B)은 적어도 하나의 곡면부와 적어도 하나의 평면부를 모두 포함하는 것일 수 있다. 따라서, 제1 지지면(JG-B)은 합착 부재들의 형상에 대응하도록 다양한 형상으로 제공될 수 있어, 일 실시예의 합착 장치는 다양한 종류의 표시 장치의 제조에 사용될 수 있다.That is, in one embodiment, the first jig JG1 may have the first support surface JG-B as a flat surface portion, or at least one curved surface portion. Further, the first support surface JG-B may include at least one curved surface portion and at least one planar portion. Thus, the first support surface JG-B can be provided in various shapes corresponding to the shape of the adhesion members, so that the adhesion device of one embodiment can be used for manufacturing various kinds of display devices.

도 4는 도 1에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100A)에 포함된 제2 지그(JG2)의 사시도이다. 도 5a 와 도 6a는 도 4의 I-I'에 대응하는 단면을 나타낸 것이고, 도 5b 및 도 6b는 도 4의 II-II'에 대응하는 단면을 나타낸 것이다. 도 5a 내지 도 5b는 후술하는 흡착 부재(AU)가 패드 지지부를 포함하지 않는 경우를 도시한 것이며, 도 6a 내지 도 6b는 흡착 부재(AU)가 패드 지지부를 더 포함하는 경우의 일 실시예를 도시한 것이다. 4 is a perspective view of the second jig JG2 included in the lid assembly 100A of the embodiment shown in Fig. FIGS. 5A and 6A show cross sections corresponding to I-I 'of FIG. 4, and FIGS. 5B and 6B show cross sections corresponding to II-II' of FIG. 5A and 5B show a case in which a suction member AU described later does not include a pad support portion, and FIGS. 6A and 6B show an embodiment in which the suction member AU further includes a pad support portion Respectively.

도 1, 도 4, 도 5a 내지 도 5b를 참조하면, 제2 지그(JG2)는 합착 공정이 진행되는 동안 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)와 마주하도록 지지하며 가이드할 수 있다.Referring to FIGS. 1, 4 and 5A to 5B, the second jig JG2 supports and supports the second member PN2 so as to face the first member PN1 during the laminating process .

제2 지그(JG2)는 제2 부재(PN2)를 지지하는 지지 기판(BS), 지지 기판(BS)을 이동시키는 지그 구동부(JM), 지지 기판(BS)과 지그 구동부(JM)를 연결하는 지그 고정축(JX), 및 흡착 부재(AU)를 포함하는 것일 수 있다. The second jig JG2 includes a supporting substrate BS for supporting the second member PN2, a jig driving unit JM for moving the supporting substrate BS, a jig driving unit JM for connecting the supporting substrate BS and the jig driving unit JM A jig fixed shaft JX, and an adsorption member AU.

제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)에는 개구부(OH)가 정의되어 있는 것일 수 있다. 개구부(OH)는 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)에서 타측면(BS-S2) 방향으로 연장되어 형성된 것일 수 있다.The opening (OH) may be defined in the supporting substrate (BS) of the second jig (JG2). The opening OH may be formed to extend from one side BS-S1 to the other side BS-S2 of the supporting substrate BS.

도 4를 참조하면, 일 실시예에서 지지 기판(BS)에는 복수 개의 개구부(OH)가 정의될 수 있다. 개구부들(OH)은 제1 방향(DR1)으로 연장되고, 제2 방향(DR2)으로 서로 이격되며, 제3 방향(DR3)으로 관통된 것일 수 있다. 이때, 제3 방향(DR3)은 지지 기판(BS)의 두께 방향을 나타낸다. Referring to FIG. 4, a plurality of openings OH may be defined in the support substrate BS in one embodiment. The openings OH may extend in the first direction DR1, be spaced apart from each other in the second direction DR2, and penetrate in the third direction DR3. At this time, the third direction DR3 indicates the thickness direction of the support substrate BS.

또한, 도 4, 도 5a, 및 도 6a를 참조하면 개구부(OH)는 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)에서 오픈된 것일 수 있다. 일 실시예에서 개구부(OH)는 지지 기판(BS)의 두께 방향인 제3 방향(DR3)으로 관통된 것이고, 개구부(OH)를 정의하는 측면들 중 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)에 나란한 측면(OP)이 생략된 것일 수 있다. 즉, 일 실시예에서 개구부(OH)는 세 개의 측면으로 정의되는 것일 수 있다. 일 실시예에서 개구부(OH)는 세 개의 내측면을 포함하는 것일 수 있다. 일 실시예에서 개구부(OH)는 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 정의하는 평면상에서 볼 때 단일폐곡선 형상이 아닐 수 있다.4, 5A and 6A, the opening OH may be opened at one side BS-S1 of the supporting substrate BS. In one embodiment, the opening OH is penetrated in a third direction DR3, which is the thickness direction of the supporting substrate BS, and one side of the supporting substrate BS (BS- S1) may be omitted. That is, in one embodiment, the opening OH may be defined as three sides. In one embodiment, the opening OH may be comprised of three inner sides. In one embodiment, the opening OH may not be a single closed curve when viewed in a plane defined by the first direction DR1 and the second direction DR2.

일 실시예의 합착 장치(100A)에 포함된 제2 지그(JG2)는 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)에서 오픈된 개구부(OH)를 포함하여, 이후 설명하는 흡착 패드(AP)가 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)까지 이동하도록 하여 합착 공정의 최종 단계까지 제2 부재(PN2)의 일단을 용이하게 고정할 수 있다. The second jig JG2 included in the bonding apparatus 100A of one embodiment includes the opening OH opened at one side BS-S1 of the supporting substrate BS, (BS-S1) of the support substrate (BS-1) so that one end of the second member (PN2) can be easily fixed to the final stage of the laminating process.

한편, 개구부(OH)의 형상이 도 4에 도시된 것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 개구부(OH)는 도 4에 도시된 것과 달리 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)과 나란한 측면이 생략되지 않는 것일 수 있다. 즉, 개구부(OH)는 네 개의 측면으로 정의되는 것일 수 있다. 이때, 개구부(OH)는 평면상에서 볼 때 단일폐곡선 형상일 수 있다. 여기서, 개구부(OH)를 정의하는 측면은 지지 기판(BS)의 내측면에 해당한다. 또한, 이와 달리 개구부(OH)는 지지 기판(BS)의 타측면(BS-S2)과 나란한 측면도 생략된 것일 수 있다. 이 경우 개구부(OH)는 제1 방향(DR1)을 연장된 스트라이프 형상이며, 제1 방향(DR1)으로의 길이가 지지 기판(BS)의 제1 방향(DR1)으로의 길이와 동일할 수 있다. On the other hand, the shape of the opening OH is not limited to that shown in Fig. For example, the opening OH may be such that the side surface parallel to one side BS-S1 of the supporting substrate BS is not omitted, unlike the one shown in Fig. That is, the opening OH may be defined as four sides. At this time, the opening (OH) may have a single closed curve shape in plan view. Here, the side surface defining the opening OH corresponds to the inner surface of the supporting substrate BS. Alternatively, the openings OH may be omitted from the side of the supporting substrate BS opposite to the other side BS-S2. In this case, the opening OH may be in a stripe shape extending in the first direction DR1 and the length in the first direction DR1 may be equal to the length of the supporting substrate BS in the first direction DR1 .

지지 기판(BS)에서 개구부(OH)가 정의되지 않은 영역에는 진공 흡입구들(VH)이 제공될 수 있다. 진공 흡입구들(VH)을 통하여 진공 흡입함으로써 제2 부재(PN2)를 지지 기판(BS)에 고정시킬 수 있다. 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)에 합착되는 공정의 진행 정도에 따라 진공 흡입구들(VH)을 통하여 제2 부재(PN2)에 제공되는 진공 상태가 순차적으로 해제될 수 있다.Vacuum suction inlets (VH) may be provided in areas where the opening (OH) is not defined in the supporting substrate (BS). The second member PN2 can be fixed to the support substrate BS by vacuum suction through the vacuum inlets VH. The vacuum state provided to the second member PN2 through the vacuum inlets VH can be sequentially released depending on the progress of the process in which the second member PN2 is attached to the first member PN1.

도 4를 참조하면, 복수의 진공 흡입구들(VH)은 진공 유로(VL)에 의해 서로 연결된 것일 수 있다. 진공 유로(VL)는 지지 기판(BS)의 내부에 형성될 수 있다. 또한, 진공 유로(VL)는 지지 기판(BS)의 측면(도 4에서 BS-S2)에 관통하여 배치된 진공 제어부(VM)와 연결될 수 있다. 진공 제어부(VM)는 지지 기판(BS)으로 공급되는 진공 상태를 조절하는 것일 수 있다. 즉, 진공 제어부(VM)는 진공 유로(VL)를 통하여 진공 흡입구(VH)로 공급되는 진공 상태를 제어할 수 있다. 예를 들어, 진공 제어부(VM)는 제어 밸브 또는 진공 펌프 등을 포함하는 것일 수 있다.Referring to FIG. 4, the plurality of vacuum inlets VH may be connected to each other by a vacuum passage VL. The vacuum passage VL may be formed inside the support substrate BS. Further, the vacuum passage VL may be connected to a vacuum control unit VM disposed on the side surface (BS-S2 in FIG. 4) of the support substrate BS. The vacuum control unit VM may adjust the vacuum state supplied to the support substrate BS. That is, the vacuum control unit VM can control the vacuum state supplied to the vacuum suction port VH through the vacuum flow path VL. For example, the vacuum control unit VM may include a control valve, a vacuum pump, or the like.

한편, 도 4에서는 복수의 진공 흡입구들(VH)이 진공 유로(VL)에 의해 모두 연결된 것으로 도시하였으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 진공 유로(VL)는 제1 방향(DR1)으로 서로 이웃하여 배열된 복수의 진공 흡입구들(VH)을 서로 연결시키는 것일 수 있다. 이때, 제2 방향(DR2)으로 이웃한 진공 흡입구들(VH)은 하나의 진공 유로(VL)로 서로 연결되지 않을 수 있다. 구체적으로, 일 실시예에서 지지 기판(BS) 내에 제1 방향(DR1)으로 연장된 복수의 진공 유로들(VL)이 배치될 수 있다. 이러한 복수의 진공 유로들(VL) 각각은 별개의 진공 제어부들(VM)에 각각 연결되어 제어될 수 있다. 제2 지그(JG2)는 흡착 부재(AU)를 포함할 수 있다. 흡착 부재(AU)는 합착 공정이 진행되는 동안 제2 부재(PN2)의 일단을 고정시키는 것일 수 있다. 흡착 부재(AU)는 지지 기판(BS)에 형성된 진공 흡입구들(VH)과 함께 제1 부재(PN1)와 합착되기 전에 제2 부재(PN2)를 고정하는 역할을 하는 것일 수 있다. 흡착 부재(AU)는 제2 부재(PN2)를 제1 부재(PN1)에 제공할 때 선 접촉되지 않도록 하여 흡착 품질을 개선할 수 있다. 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)에 선 접촉되는 것은 제2 부재(PN2)가 적절하게 고정되지 않아 가압 부재(RU)에 의하여 가압되기 이전에 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)에 랜덤하게 접촉하게 되는 경우를 나타내는 것이다.In FIG. 4, a plurality of vacuum inlets VH are connected to each other by the vacuum flow path VL, but the embodiment is not limited thereto. For example, the vacuum flow path VL may connect a plurality of vacuum inlets VH arranged adjacent to each other in the first direction DR1. At this time, the vacuum inlets VH adjacent to each other in the second direction DR2 may not be connected to one vacuum flow path VL. Specifically, in one embodiment, a plurality of vacuum flow paths VL extending in the first direction DR1 may be disposed in the support substrate BS. Each of the plurality of vacuum flow paths VL may be connected to and controlled by separate vacuum control units VM. The second jig JG2 may include a suction member AU. The adsorption member (AU) may fix one end of the second member (PN2) during the laminating process. The adsorption member AU may serve to fix the second member PN2 together with the vacuum inlets VH formed in the support substrate BS before being bonded to the first member PN1. The adsorption member AU can prevent line contact when the second member PN2 is provided to the first member PN1 to improve the adsorption quality. The second member PN2 is firstly brought into contact with the first member PN1 because the second member PN2 is not properly fixed and the second member PN2 is pressed against the first member PN1 before being pressed by the pressing member RU. And is in contact with the member PN1 at random.

흡착 부재(AU)는 적어도 하나의 흡착 패드(AP)와 패드 제어부(MP)를 포함하는 것일 수 있다. 적어도 하나의 흡착 패드(AP)는 지지 기판(BS)의 개구부(OH)에 배치되는 것일 수 있다. 적어도 하나의 흡착 패드(AP)는 지지 기판(BS)의 개구부(OH) 내에 삽입되어 배치되는 것일 수 있다. 흡착 패드(AP)는 진공 상태를 이용하여 제2 부재(PN2)를 고정하는 것일 수 있다. 즉, 흡착 패드(AP)는 진공 흡착 패드일 수 있다. 하나의 개구부(OH)에는 하나의 흡착 패드(AP) 또는 복수 개의 흡착 패드들(AP)을 포함할 수 있다. 흡착 패드(AP)는 개구부(OH) 내에 삽입되어 개구부(OH)를 이동하는 것일 수 있다. 예를 들어, 흡착 패드(AP)는 지지 기판(BS)의 타측면(BS-S2)에서 일측면(BS-S1) 방향으로(도 4의 제5 방향(DR5))으로 이동하는 것일 수 있다.The adsorption member AU may include at least one adsorption pad AP and a pad control MP. At least one adsorption pad (AP) may be disposed at the opening (OH) of the supporting substrate (BS). At least one adsorption pad (AP) may be inserted and disposed in the opening (OH) of the supporting substrate (BS). The adsorption pad AP may be to fix the second member PN2 using a vacuum state. That is, the adsorption pad AP may be a vacuum adsorption pad. One opening (OH) may include one adsorption pad (AP) or a plurality of adsorption pads (AP). The adsorption pad AP may be inserted into the opening OH and move through the opening OH. For example, the adsorption pad AP may be moved from the other side (BS-S2) of the supporting substrate BS to one side (BS-S1) (fifth direction DR5 of FIG. 4) .

도 5a 내지 도 5b, 및 도 6a 내지 도 6b에서 흡착 패드(AP)의 단면 형상은 직사각형으로 도시되었으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 방향(DR1)과 제3 방향(DR3)이 정의하는 평면과 나란한 단면상에서 흡착 패드(AP)는 사다리꼴 형상일 수 있다. 또한, 흡착 패드(AP)는 원통형, 사각기둥 형상, 원뿔대 또는 사각뿔대 형상의 입체 형상을 갖는 것일 수 있다.In FIGS. 5A to 5B and 6A to 6B, the cross-sectional shape of the adsorption pad AP is shown as a rectangle, but the embodiment is not limited thereto. For example, the adsorption pad AP may have a trapezoidal shape on a section parallel to the plane defined by the first direction DR1 and the third direction DR3. Further, the adsorption pad AP may have a cylindrical shape, a square pillar shape, a truncated cone, or a quadrangular pyramidal shape.

흡착 부재(AU)는 흡착 패드(AP)를 제어하는 패드 제어부(MP)를 포함하는 것일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 흡착 패드(AP)와 연결되어 흡착 패드(AP)의 이동을 제어하는 것일 수 있다. 또한, 패드 제어부(MP)는 흡착 패드(AP)에 제공되는 진공 상태를 제어하는 것일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 흡착 패드(AP)를 통하여 제2 부재(PN2)로 제공되는 진공의 정도, 흡착 패드(AP)의 이동 속도 등을 제어하는 것일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 흡착 패드(AP)가 개구부(OH) 내에서 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1) 방향으로 이동하도록 제어할 수 있다.The adsorption member AU may include a pad control unit MP for controlling the adsorption pad AP. The pad control unit MP may be connected to the adsorption pad AP to control the movement of the adsorption pad AP. In addition, the pad control unit MP may control the vacuum state provided to the adsorption pad AP. The pad control unit MP may control the degree of vacuum provided to the second member PN2 through the adsorption pad AP, the moving speed of the adsorption pad AP, and the like. The pad control unit MP can control the adsorption pad AP to move in the direction of one side BS-S1 of the support substrate BS in the opening OH.

패드 제어부(MP)는 흡착 패드(AP)의 진공 상태를 제어하는 진공 제어부(PH) 및 흡착패드의 위치를 제어하는 위치 제어부(CP)를 포함할 수 있다. 도 5a 내지 도 5b, 및 도 6a 내지 도 6b에서 진공 제어부(PH)는 흡착 패드(AP)와 연결되어 있고, 위치 제어부(CP)는 진공 제어부(PH)와 연결되어 있는 것으로 도시하고 있으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 진공 제어부(PH)와 위치 제어부(CP)는 일체로서 제공될 수 있다. 구체적으로 진공 제어부(PH)는 진공 흡입홀 등일 수 있으며, 속이 비어있는 관 형상일 수 있다. 또는 진공 제어부(PH)는 진공을 제공하는 진공 펌프와 연결된 부분일 수 있다. 또한, 위치 제어부(CP)는 흡착 패드(AP)에 연결되고 흡착 패드(AP)를 지지하는 지지부의 역할을 하는 것일 수 있으며, 또는 위치 제어부(CP)는 구동 모터를 포함하는 것일 수 있다.The pad control unit MP may include a vacuum control unit PH for controlling the vacuum state of the adsorption pad AP and a position control unit CP for controlling the position of the adsorption pad. 5A to 5B and 6A to 6B show that the vacuum controller PH is connected to the adsorption pad AP and the position controller CP is connected to the vacuum controller PH, But is not limited thereto. For example, the vacuum control unit PH and the position control unit CP can be provided integrally. Specifically, the vacuum controller PH may be a vacuum suction hole or the like, and may be in the shape of a hollow tube. Or the vacuum control part PH may be a part connected to a vacuum pump for providing a vacuum. The position control unit CP may be connected to the suction pad AP and serve as a support for supporting the suction pad AP or the position control unit CP may include a driving motor.

예를 들어, 지지 기판(BS)이 제1 방향(DR1)으로 이동함에 따라 제2 부재(PN2)의 일단을 흡착한 흡착 패드(AP)는 지지 기판(BS)의 이동 방향의 반대 방향(도 5a의 제5 방향(DR5))으로 별도의 구동 모터 없이 이동할 수 있다. 또는, 위치 제어부(CP)가 구동 모터를 포함하는 경우 구동 모터가 흡착 패드(AP)의 이동을 제어할 수 있다.For example, as the support substrate BS moves in the first direction DR1, the absorption pad AP which has absorbed one end of the second member PN2 is moved in the direction opposite to the moving direction of the support substrate BS 5 in the fifth direction DR5) without a separate drive motor. Alternatively, when the position control unit CP includes a driving motor, the driving motor can control the movement of the suction pad AP.

한편, 도 5b를 참조하면 위치 제어부(CP)는 일부분이 지지 기판(BS)과 중첩되도록 배치되어 흡착 패드(AP)가 지지 기판(BS)에 지지되어 이동될 수 있도록 할 수 있다. 도 5b의 단면도에서 위치 제어부(CP)의 폭(WCP)는 지지 기판(BS)의 개구부(OH)의 폭(WOH) 보다 큰 것일 수 있다. 즉, 위치 제어부(CP)는 지지 기판(BS)의 하부면에 지지하여 개구부(OH)를 따라 이동될 수 있다.Referring to FIG. 5B, a portion of the position control unit CP may be disposed to overlap with the support substrate BS so that the absorption pad AP may be supported on the support substrate BS. 5B, the width W CP of the position control unit CP may be larger than the width W OH of the opening OH of the supporting substrate BS. That is, the position control unit CP can be supported on the lower surface of the support substrate BS and can be moved along the opening OH.

진공 제어부(PH)는 흡착 패드(AP)에 진공 상태를 제공하기 위한 진공 흡입홀일 수 있다. 진공 제어부(PH)는 복수 개의 흡착 패드(AP)들 각각에 연결되어 개별 흡착 패드(AP)의 진공 상태를 조절할 수 있다. The vacuum control part PH may be a vacuum suction hole for providing a vacuum state to the adsorption pad AP. The vacuum controller PH is connected to each of the plurality of adsorption pads AP to adjust the vacuum state of the respective adsorption pads AP.

위치 제어부(CP)는 흡착 패드(AP)의 이동 속도를 제어할 수 있으며, 또한 위치 제어부(CP)는 진공 제어부(PH)와 연결되어 흡착 패드(AP)의 진공 정도를 제어하는 기능을 할 수도 있다.The position control unit CP may control the moving speed of the adsorption pad AP and the position control unit CP may be connected to the vacuum control unit PH to control the degree of vacuum of the adsorption pad AP have.

흡착 부재(AU)는 패드 지지부(MS)를 더 포함하는 것일 수 있다. 도 6a 내지 도 6b를참조하면, 패드 지지부(MS)는 지지 기판(BS)의 하부면에 배치되는 것일 수 있다. 지지 기판(BS)의 하부면은 지지테이블(ST)과 마주하는 지지 기판(BS)의 일면일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 패드 지지부(MS)에 의해 지지되는 것일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 패드 지지부(MS)에 배치되어 이동되는 것일 수 있다. The adsorption member (AU) may further comprise a pad support (MS). 6A to 6B, the pad supporting portion MS may be disposed on the lower surface of the supporting substrate BS. The lower surface of the supporting substrate BS may be one surface of the supporting substrate BS facing the supporting table ST. The pad control MP may be supported by the pad support MS. The pad control unit MP may be disposed and moved to the pad supporting unit MS.

패드 지지부(MS)는 지지 기판(BS)과 마주하는 일면에 제공된 홈(MH)을 갖는 것일 수 있다. 패드 지지부(MS)의 일면에 제공된 홈(MH)은 패드 제어부(MP)를 이동시키는 경로에 대응하여 제공된 주행 레일(미도시)일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 홈(MH)에 안착되어 이동하는 것일 수 있다. 도 6a 및 도 6b에서 홈(MH)은 패드 제어부(MP)의 상부면에 제공된 것으로 도시하였으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 홈(MH)은 패드 지지부(MS)의 외곽을 따라 패드 지지부(MS)의 측면에 제공되는 것일 수 있다. 한편, 도 6a 및 도 6b에 도시된 패드 지지부(MS)의 홈(MH)은 예시적인 것이며, 홈(MH)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 도 6b에 도시된 단면상에서 홈(MH)의 폭은 진공 제어부(PH)가 삽입된 부부의 폭과 위치 제어부(CP)가 삽입된 부분의 폭을 상이하게 표시하였으나, 이와 달리 홈(MH)의 폭은 일정할 수 있다.The pad support MS may have a groove MH provided on one surface facing the support substrate BS. The groove MH provided on one surface of the pad supporting portion MS may be a running rail (not shown) provided corresponding to a path for moving the pad controlling portion MP. The pad control unit MP may be one that is seated and moved in the groove MH. 6A and 6B, the groove MH is provided on the upper surface of the pad control unit MP, but the embodiment is not limited thereto. The groove MH may be provided on the side of the pad support MS along the periphery of the pad support MS. Meanwhile, the groove MH of the pad supporting part MS shown in FIGS. 6A and 6B is an exemplary one, and the shape of the groove MH is not limited thereto. The width of the groove MH on the cross section shown in FIG. 6B is different from the width of the portion where the vacuum control portion PH is inserted and the width of the portion where the position control portion CP is inserted, The width can be constant.

제2 지그(JG2)는 지그 구동부(JM)를 포함한다. 지그 구동부(JM)는 제2 지그(JG2)의 이동 방향, 이동 속도, 및 높이 등을 제어하는 것일 수 있다. 지그 구동부(JM)는 지지테이블(ST) 상에 배치될 수 있다. 지그 구동부(JM)는 지지테이블(ST) 상에 배치되어 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것일 수 있다. 도 1을 참조하면 제1 방향(DR1)은 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)의 합착 진행 방향일 수 있다. 제2 부재(PN2)는 제1 지그(JG1)에 고정된 제1 부재(PN1)에 순차적으로 합착되어 고정될 수 있다. 지그 구동부(JM)에 의해 제어된 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)은 합착 진행 정도에 따라 제1 방향(DR1)으로 이동될 수 있다. The second jig JG2 includes a jig driving unit JM. The jig driving unit JM may control the moving direction, the moving speed, the height, and the like of the second jig JG2. The jig driving unit JM may be disposed on the support table ST. The jig driving unit JM may be disposed on the support table ST and move in the first direction DR1. Referring to FIG. 1, the first direction DR1 may be the direction in which the first member PN1 and the second member PN2 are joined together. The second member PN2 may be fixedly attached to the first member PN1 fixed to the first jig JG1 in order. The support substrate BS of the second jig JG2 controlled by the jig driving unit JM can be moved in the first direction DR1 according to the degree of cementing progress.

제2 지그(JG2)는 지지 기판(BS)과 지그 구동부(JM) 사이에 배치된 지그 고정축(JX)을 포함할 수 있다. 제2 지그(JG2)는 복수 개의 지그 고정축(JX)을 포함하는 것일 수 있다.The second jig JG2 may include a jig fixed axis JX disposed between the supporting substrate BS and the jig driving unit JM. The second jig JG2 may include a plurality of jig fixing axes JX.

한편, 도 1의 도면에 도시되지는 않았으나 제2 지그(JG2)가 평면 상에서 볼 때 직사각형 형상을 갖는 지지 기판(BS)을 포함하는 경우 지그 고정축(JX)은 사각형 형상의 지지 기판(BS)의 네 개의 모서리에 인접하여 각각 배치될 수 있다.1, when the second jig JG2 includes a support substrate BS having a rectangular shape when viewed in plan view, the jig fixing axis JX may include a rectangular support substrate BS, May be disposed adjacent to the four corners of each of them.

지그 고정축(JX)은 지지 기판(BS)에 연결된 제1 서브 지그축(JX-S1) 및 제1 서브 지그축(JX-S1)과 지그 구동부(JM) 사이에 배치된 제2 서브 지그축(JX-S2)을 포함하는 것일 수 있다. 제2 서브 지그축(JX-S2)은 길이가 가변되는 것일 수 있다. 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이는 제1 서브 지그축(JX-S1)과 지그 구동부(JM) 사이의 간격을 나타내는 것일 수 있다.The jig fixing axis JX includes a first sub-jig axis JX-S1 connected to the support substrate BS and a second sub-jig axis JX-S1 disposed between the first sub- (JX-S2). The second sub-jig axis JX-S2 may be of variable length. The length of the second sub-jig axis JX-S2 may be the distance between the first sub-jig axis JX-S1 and the jig driving portion JM.

제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이를 가변시켜 지그 고정축(JX)에 연결된 지지 기판(BS)의 높낮이를 조절할 수 있다. 즉, 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이를 변경하여 제2 지그(JG2)의 높이를 조절할 수 있다. 제2 지그(JG2)가 복수 개의 지그 고정축들(JX)을 갖는 경우 지그 고정축들(JX) 각각의 높이는 서로 독립적으로 조절될 수 있다.The height of the supporting substrate BS connected to the jig fixing axis JX can be adjusted by varying the length of the second sub-jig axis JX-S2. That is, the height of the second jig JG2 can be adjusted by changing the length of the second sub-jig axis JX-S2. When the second jig JG2 has a plurality of jig fixing axes JX, the height of each jig fixing axis JX can be adjusted independently of each other.

한편, 도 1에서 지그 고정축(JX)은 제1 서브 지그축(JX-S1)과 제2 서브 지그축(JX-S2)을 포함하는 것으로 도시하였으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 지그 고정축(JX)은 제2 서브 지그축(JX-S2)과 지그 구동부(JM) 사이에 제3 서브 지그축(미도시)을 더 포함할 수 있다. 이때, 제2 서브 지그축(JX-S2)은 제1 서브 지그축(JX-S1)과 제3 서브 지그축(미도시) 사이에 배치되어 길이가 가변되는 것일 수 있다.1, the jig fixing axis JX includes the first sub-jig axis JX-S1 and the second sub-jig axis JX-S2, but the embodiment is not limited thereto, The axis JX may further include a third sub-jig axis (not shown) between the second sub-jig axis JX-S2 and the jig driving portion JM. At this time, the second sub-jig axis JX-S2 may be disposed between the first sub-jig axis JX-S1 and the third sub-jig axis (not shown) and have a variable length.

도 7a 및 도 7b는 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)의 합착 진행 정도에 따른 합착 장치의 구조를 나타낸 것이다. 도 7a는 합착 공정의 초기 단계를 나타낸 것이고, 도 7b는 도 7a에 비하여 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)의 합착이 일부 진행된 이후 단계를 나타낸 것이다. 도 7a 및 도 7b에서 제2 지그(JG2)는 지지 기판(BS)의 일단에 인접하여 배치된 제1 지그 고정축(JX1) 및 지지 기판(BS)의 타단에 인접하여 배치된 제2 지그 고정축(JX2)을 포함하는 것으로 도시하였다.Figs. 7A and 7B show the structure of the lid assembly according to the progress of adhesion of the first member PN1 and the second member PN2. FIG. 7A shows an initial stage of the laminating process, and FIG. 7B shows a step after the adhesion of the first member PN1 and the second member PN2 has progressed in comparison with FIG. 7A. 7A and 7B, the second jig JG2 includes a first jig fixing axis JX1 disposed adjacent to one end of the supporting substrate BS and a second jig fixing axis JX1 disposed adjacent to the other end of the supporting substrate BS, Axis JX2.

도 7a를 참조하면, 흡착 패드(AP)는 제2 부재(PN2)의 일단에 대응하여 배치되는 것일 수 있다. 또한, 합착 공정의 초기 단계에서 흡착 패드(AP)를 포함하는 흡착 부재(AU)는 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)의 일단에 인접하여 배치되는 것일 수 있다. 또한, 합착 공정의 초기 단계에서 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)은 기울어지지 않고 수평을 유지한 상태일 수 있다. 예를 들어, 지지 기판(BS)은 지지테이블(ST)과 평행하게 배치될 수 있다. 제1 지그 고정축(JX1)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HL)와 제2 지그 고정축(JX2)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HR)는 실질적으로 동일한 것일 수 있다.Referring to FIG. 7A, the adsorption pad AP may be disposed corresponding to one end of the second member PN2. Further, the adsorption member AU including the adsorption pad AP in the initial stage of the laminating process may be disposed adjacent to one end of the support substrate BS of the second jig JG2. Also, in the initial stage of the laminating process, the supporting substrate BS of the second jig JG2 may be kept horizontal without being tilted. For example, the support substrate BS may be disposed parallel to the support table ST. The length HL of the second sub-jig axis JX-S2 of the first jig fixing axis JX1 and the length HR of the second subjig axis JX-S2 of the second jig fixing axis JX2 are May be substantially the same.

도 7b는 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)의 일부분이 합착된 이후의 단계를 나타낸 것이다. 도 7a와 비교하여 도 7b에서 제2 지그(JG2)는 제1 방향(DR1)으로 이동되었으며, 흡착 부재(AU)의 흡착 패드(AP)는 제1 방향(DR1)의 반대 방향(도 7b에서는 제5 방향(DR5))으로 이동되어 배치될 수 있다. 가압 부재(RU) 역시 제2 지그(JG2)와 동일하게 제1 방향(DR1)으로 이동되어 배치될 수 있다. 가압 부재(RU)는 제2 지그(JG2)를 따라서 동일한 방향으로 이동하는 것일 수 있다. 가압 부재(RU)와 제2 지그(JG2)는 동일한 속도로 이동하는 것일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 가압 부재(RU)와 제2 지그(JG2)의 이동 속도는 서로 상이할 수 있으며, 예를 들어, 가압 부재(RU)의 이동 속도는 제2 지그(JG2)의 이동 속도보다 느린 것일 수 있다. Fig. 7B shows a step after the first member PN1 and the second member PN2 are joined together. 7B, the second jig JG2 is moved in the first direction DR1 and the suction pad AP of the suction member AU is moved in the direction opposite to the first direction DR1 In the fifth direction DR5). The pressing member RU may also be moved in the first direction DR1 in the same manner as the second jig JG2. The pressing member RU may move in the same direction along the second jig JG2. The pressing member RU and the second jig JG2 may move at the same speed. For example, the moving speed of the pressing member RU may be different from the moving speed of the second jig JG2. For example, the moving speed of the pressing member RU may be different from that of the second jig JG2, Lt; / RTI >

도 7b에서 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)은 기울어져 배치될 수 있다. 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)에 연결된 제1 지그 고정축(JX1)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HL)는 제2 지그 고정축(JX2)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HR) 보다 긴 것일 수 있다. 즉, 도 7b에서 제1 지그 고정축(JX1)이 연결된 부분에서의 지지 기판(BS)과 제1 지그(JG1) 사이의 이격 간격은 제2 지그 고정축(JX2)이 연결된 부분에서의 지지 기판(BS)과 제1 지그(JG1) 사이의 이격 간격보다 작은 것일 수 있다.In Fig. 7B, the supporting substrate BS of the second jig JG2 may be inclined. The length HL of the second subjig axis JX-S2 of the first jig fixing axis JX1 connected to the support substrate BS of the second jig JG2 is equal to the length HL of the second subjig axis JX- May be longer than the length HR of the sub-jig axis JX-S2. 7B, the distance between the support substrate BS and the first jig JG1 at the portion where the first jig fixing axis JX1 is connected is smaller than the distance between the support substrate BS and the first jig JG1 at the portion where the second jig fixing axis JX2 is connected, May be smaller than the spacing distance between the first jig (BS) and the first jig (JG1).

또한, 도 7a 내지 도 7b에 도시된 것과 달리, 합착 공정의 초기 단계에서 지지 기판(BS)은 지지테이블(ST)과 평행하지 않고 기울어진 것일 수 있으며, 합착의 진행단계에 따라 지지 기판(BS)의 기울어진 정도가 변화되거나 지지 기판(BS)의 기울어진 방향이 변화될 수 있다. 예를 들어, 제1 지그 고정축(JX1)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HL) 보다 제2 지그 고정축(JX2)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HR)가 더 긴 것일 수 있다.7A to 7B, the support substrate BS may be inclined rather than parallel to the support table ST in the initial stage of the laminating process, and may be inclined with respect to the support substrate BS May be changed or the inclination direction of the supporting substrate BS may be changed. For example, the length HL of the second sub-jig axis JX-S2 of the first jig fixing axis JX1 is greater than the length HL of the second subjig axis JX-S2 of the second jig fixing axis JX2 (HR) may be longer.

한편, 도 7a 내지 도 7b는 일 실시예의 합착 장치를 이용한 합착 과정을 예시적으로 나타낸 것으로 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B) 형상에 따라 제2 부재(PN2)와 제1 부재(PN2)의 합착 품질을 개선하기 위하여 제2 지그(JG2)의 배치 형태가 변화될 수 있다. 즉, 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)의 배치 위치, 및 제1 지그 고정축(JX1)과 제2 지그 고정축(JX2)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이는 상대적으로 변화될 수 있다.7A to 7B illustrate a cementing process using a cementing device according to an embodiment, and the embodiment is not limited thereto. The configuration of the second jig JG2 is changed in order to improve the quality of cementing the second member PN2 and the first member PN2 according to the shape of the first supporting surface JG-B of the first jig JG1 . That is, the arrangement position of the supporting substrate BS of the second jig JG2 and the length of the second sub-jig axis JX-S2 of the first jig fixing axis JX1 and the second jig fixing axis JX2 are Can be relatively changed.

한편, 합착 공정의 진행 정도에 따라 가압 부재(RU)의 위치도 변화될 수 있다. 가압 부재(RU)의 가압 구동부(MR)는 합착 공정의 진행 방향인 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 또한, 가압 부재(RU)의 롤러 고정축(RX)의 길이는 합착 공정의 진행에 따라 변화될 수 있다. 즉, 가압 부재(RU)는 가압 롤러(RL)가 제1 부재(PN1) 및 제2 부재(PN2)에 일정한 압력을 가하도록 위치가 조절될 수 있다. 아래 도 8a 내지 도 8b, 도 9, 및 도 10을 참조하여, 가압 부재(RU) 구조 및 가압 부재(RU)의 동작에 대하여 보다 상세히 설명한다. On the other hand, the position of the pressing member RU may also be changed according to the progress of the laminating process. The pressing driving portion MR of the pressing member RU can move in the first direction DR1 which is the proceeding direction of the laminating process. In addition, the length of the roller fixing axis RX of the pressing member RU can be changed in accordance with the progress of the laminating process. That is, the pressing member RU can be positioned so that the pressing roller RL applies a constant pressure to the first member PN1 and the second member PN2. 8A to 8B, 9, and 10, the operation of the pressing member RU and the operation of the pressing member RU will be described in more detail.

도 8a는 도 1에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100A)에 포함된 가압 부재(RU)의 사시도이다. 가압 부재(RU)는 가압 롤러(RL), 가압 구동부(MR), 및 롤러 고정축(RX)을 포함하는 것일 수 있다. 8A is a perspective view of a pressing member RU included in the sticking apparatus 100A of the embodiment shown in FIG. The urging member RU may include a pressure roller RL, a pressure driver MR, and a roller fixing axis RX.

가압 롤러(RL)는 원통형일 수 있다. 도 8a를 참조하면, 가압 롤러(RL)는 제2 방향(DR2)으로 길이가 연장된 원통 형상일 수 있다. 가압 롤러(RL)는 스틸 롤러(Steel Roller), 또는 러버 롤러(Rubber Roller)일 수 있으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 합착되는 부재들에 일정한 압력을 가할 수 있을 정도의 강도를 갖는 재료면 제한 없이 가압 롤러(RL)의 재료로 사용될 수 있다.The pressure roller RL may be cylindrical. Referring to FIG. 8A, the pressure roller RL may have a cylindrical shape extending in the second direction DR2. The pressing roller RL may be a steel roller or a rubber roller but the present invention is not limited thereto and the pressing roller RL may be a material roller having a strength enough to apply a constant pressure to the members to be joined, Can be used as a material of the pressure roller RL without limitation.

또한, 가압 롤러(RL)는 가열 유닛(미도시)을 포함하는 것일 수 있다. 가열 유닛(미도시)은 가압 롤러(RL)의 내부에 배치되어 합착 공정 중에 제공되는 합착 부재에 열을 제공하여 합착 품질을 개선할 수 있다. Further, the pressure roller RL may include a heating unit (not shown). A heating unit (not shown) may be disposed inside the pressure roller RL to improve the quality of the cementation by providing heat to the cementing member provided during the cementing process.

도 1 및 도 8a를 참조하면, 가압 부재(RU)는 지지테이블(ST) 상에 배치된 가압 구동부(RM), 및 가압 롤러(RL)와 가압 구동부(RM) 사이에 배치된 롤러 고정축(RX)을 포함하는 것일 수 있다. 가압 구동부(RM)는 지지테이블(ST) 상에서 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것일 수 있다.1 and 8A, the pressing member RU includes a pressing drive part RM disposed on the support table ST and a roller fixing shaft RL disposed between the pressing roller RL and the press driving part RM RX). ≪ / RTI > The pressure driver RM may be moved in the first direction DR1 on the support table ST.

가압 구동부(RM)는 가압 부재(RU)의 이동 방향과 이동 속도, 및 가압 롤러(RL)의 위치 등을 제어하는 것일 수 있다. 가압 구동부(RM)는 회전 모터(RM1) 및 이동 모터(RM2)를 포함하는 것일 수 있다. 회전 모터(RM1)는 롤러 고정축(RX)에 연결되어 롤러 고정축(RX)을 회전 시키는 것일 수 있다. 회전 모터(RM1)는 롤러 고정축(RX)을 회전 시켜 롤러 고정축(RX)의 일단에 연결된 가압 롤러(RL)가 제1 부재(PN1) 또는 제2 부재(PN2)에 접하는 방향을 조절할 수 있다. 즉, 가압 부재(RU)가 제1 방향(DR1)으로 이동하지 않은 경우에도 회전 모터(RM1)를 구동하여 롤러 고정축(RX)을 회전시킴으로써 가압 롤러(RL)의 위치를 변화시킬 수 있다.The pressure driver RM may control the moving direction and moving speed of the pressing member RU and the position of the pressing roller RL. The pressure driver RM may include a rotary motor RM1 and a moving motor RM2. The rotation motor RM1 may be connected to the roller fixing axis RX to rotate the roller fixing axis RX. The rotation motor RM1 rotates the roller fixing axis RX to adjust the direction in which the pressing roller RL connected to one end of the roller fixing axis RX makes contact with the first member PN1 or the second member PN2 have. That is, even when the pressing member RU does not move in the first direction DR1, the position of the pressing roller RL can be changed by rotating the roller fixing shaft RX by driving the rotary motor RM1.

롤러 고정축(RX)은 가압 롤러(RL)에 인접하여 배치된 제1 롤러 고정축(RX1), 가압 구동부(RM)에 연결된 제2 롤러 고정축(RX2), 및 제1 롤러 고정축(RX1)과 제2 롤러 고정축(RX2) 사이에 배치된 제3 롤러 고정축(RX3)을 포함하는 것일 수 있다. 제3 롤러 고정축(RX3)은 길이가 가변하는 것일 수 있다. 제3 롤러 고정축(RX3)의 길이는 제1 롤러 고정축(RX1)과 제2 롤러 고정축(RX2) 사이의 간격일 수 있다. 롤러 고정축(RX)은 실린더(cylinder) 타입일 수 있다. 롤러 고정축(RX)은 유압 실린더(cylinder) 타입일 수 있다. 예를 들어, 제3 롤러 고정축(RX3)은 실린더 타입으로 길이가 가변되는 것일 수 있다.The roller fixing axis RX includes a first roller fixing axis RX1 disposed adjacent to the pressure roller RL, a second roller fixing axis RX2 connected to the pressure driving portion RM, and a second roller fixing axis RX2 And a third roller fixing axis RX3 disposed between the second roller fixing axis RX2 and the second roller fixing axis RX2. The third roller fixed axis RX3 may be of variable length. The length of the third roller fixing axis RX3 may be the interval between the first roller fixing axis RX1 and the second roller fixing axis RX2. The roller fixing axis RX may be a cylinder type. The roller fixing axis RX may be a hydraulic cylinder type. For example, the third roller fixed axis RX3 may be a cylinder type variable length.

즉, 제3 롤러 고정축(RX3)의 길이를 조절하여 롤러 고정축(RX) 전체의 길이를 조절할 수 있으며, 이에 따라 가압 롤러(RL)의 높이를 조절할 수 있다. 여기서 가압 롤러(RL)의 높이는 지지테이블(ST)로부터 가압 롤러(RL)까지의 최단 거리를 나타내는 것일 수 있다.That is, the entire length of the roller fixing axis RX can be adjusted by adjusting the length of the third roller fixing axis RX3, thereby adjusting the height of the pressing roller RL. Here, the height of the pressure roller RL may be the shortest distance from the support table ST to the pressure roller RL.

한편, 가압 부재(RU)는 가압 롤러(RL)를 롤러 고정축(RX)에 연결하여 회전시키기는 롤러 회전축(FX)을 포함할 수 있다. 롤러 회전축(FX)은 롤러 고정축(RX)에 연결된 축지지부(FX-V)와 축지지부(FX-V)와 가압 롤러(RL)를 연결시키는 회전 중심축(FX-H)을 포함할 수 있다.On the other hand, the pressing member RU may include a roller rotation axis FX for rotating the pressure roller RL in connection with the roller fixing axis RX. The roller rotation axis FX can include a shaft support portion FX-V connected to the roller fixing shaft RX and a rotation shaft axis FX-H connecting the shaft support portion FX-V and the pressure roller RL have.

가압 구동부(RM)는 롤러 고정축(RX)의 길이를 조절하는 가압 제어부를 포함하는 것일 수 있다. 가압 제어부는 회전 모터(RM1)와 일체로 제공되거나, 또는 별도의 부재로 제공되는 것일 수 있다. 가압 구동부(RM)는 로드셀(load cell)을 포함하는 것일 수 있다. 가압 구동부(RM)는 로드셀에서 감지되는 압력값을 이용하여 롤러 고정축(RX)의 길이를 조절하여 가압 롤러(RL)의 높이를 제어하고, 가압 롤러(RL)가 제1 지그(JG1) 측으로 제공하는 압력을 제어할 수 있다.The pressure application unit RM may include a pressure control unit for adjusting the length of the roller fixing axis RX. The pressure control unit may be provided integrally with the rotation motor RM1, or may be provided as a separate member. The pressure driver RM may include a load cell. The pressure drive unit RM controls the height of the pressure roller RL by adjusting the length of the roller fixing axis RX by using the pressure value sensed by the load cell and the pressure roller RL is moved toward the first jig JG1 side The pressure to be supplied can be controlled.

가압 롤러(RL)의 높이는 가압 롤러(RL)가 제1 지그(JG1)에 가하는 압력에 따라 변화될 수 있다. 가압 롤러(RL)는 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)에 대하여 일정한 압력을 가하도록 제어될 수 있다. 따라서, 제1 지지면(JG-B)에 일정한 압력을 가하도록 하기 위하여 가압 롤러(RL)의 위치가 변화될 수 있다. 즉, 가압 롤러(RL)의 높이 및 가압 롤러(RL)가 접하는 지점의 위치가 변경될 수 있다.The height of the pressure roller RL can be changed according to the pressure applied to the first jig JG1 by the pressure roller RL. The pressure roller RL can be controlled to apply a constant pressure to the first supporting surface JG-B of the first jig JG1. Therefore, the position of the pressure roller RL may be changed so as to apply a constant pressure to the first support surface JG-B. That is, the height of the pressure roller RL and the position of the point where the pressure roller RL abuts can be changed.

가압 부재(RU)는 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)의 합착 진행 방향인 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것일 수 있다. 합착 공정이 진행됨에 따라 지지테이블(ST) 상에 배치된 가압 구동부(RM)가 제1 방향(DR1)으로 이동하며, 이에 따라 가압 부재(RU) 전체가 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 이때, 가압 롤러(RL)는 제1 지그(JG1)에 일정한 압력을 가하도록 제어되어 이동될 수 있다.The pressing member RU may move in the first direction DR1 which is the direction in which the first member PN1 and the second member PN2 are joined together. The pressing operation part RM disposed on the support table ST moves in the first direction DR1 so that the entire pressing member RU can move in the first direction DR1 . At this time, the pressure roller RL can be controlled so as to apply a constant pressure to the first jig JG1.

도 8b는 가압 부재(RU)의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다. 가압 부재(RU)는 가압 롤러(RL) 이외의 적어도 하나의 보조 롤러(RL-S)를 더 포함할 수 있다. 보조 롤러(RL-S)는 가압 롤러(RL)를 가이드 하는 가이드 롤러이거나, 가압 롤러(RL)가 합착 부재들에 균일한 압력을 제공하도록 지지하는 지지 롤러일 수 있다.8B is a perspective view showing another embodiment of the pressing member RU. The pressing member RU may further include at least one auxiliary roller RL-S other than the pressure roller RL. The auxiliary roller RL-S may be a guide roller for guiding the pressure roller RL or a support roller for supporting the pressure roller RL to provide a uniform pressure to the adhesion members.

도 8b에 도시된 일 실시예에서 보조 롤러(RL-S)는 가압 롤러(RL)의 하측에 배치되는 것일 수 있다. 보조 롤러(RL-S)는 가압 롤러(RL)의 아래에 배치되어 가압 롤러(RL)를 지지함으로써 가압 롤러(RL)가 제2 방향(DR2)으로 평행하게 유지되도록 할 수 있다. 보조 롤러(RL-S)의 직경은 가압 롤러(RL)의 직경보다 큰 것일 수 있다. 직경이 큰 보조 롤러(RL-S)를 가압 롤러(RL) 하측에 배치하여 가압 롤러(RL)를 지지함으로써 가압 롤러(RL)가 전체적으로 합착 부재들에 균일한 압력을 가하도록 할 수 있다. 즉, 가압 롤러(RL)는 합착 부재들과 접촉하여 합착 부재들을 직접 가압하는 것이고, 보조 롤러(RL-S)는 가압 롤러(RL)를 지지하여 합착 부재들을 간접적으로 가압하는 것일 수 있다.In the embodiment shown in FIG. 8B, the sub-roller RL-S may be disposed under the pressure roller RL. The auxiliary roller RL-S is disposed below the pressure roller RL so that the pressure roller RL can be held parallel to the pressure roller RL in the second direction DR2 by supporting the pressure roller RL. The diameter of the auxiliary roller RL-S may be larger than the diameter of the pressure roller RL. The auxiliary roller RL-S having a large diameter can be disposed below the pressure roller RL to support the pressure roller RL so that the pressure roller RL can apply a uniform pressure to the entirety of the adhesion members. That is, the pressure roller RL directly presses the adhesion members in contact with the adhesion members, and the support roller RL-S may indirectly press the adhesion members by supporting the pressure roller RL.

보조 롤러(RL-S)는 롤러 회전축(FX)에 의해 롤러 고정축(RX)에 연결될 수 있다. 도 8b의 실시예에서 롤러 회전축(FX)은 롤러 고정축(RX)에 연결된 축지지부(FX-V), 축지지부(FX-V)와 가압 롤러(RL)를 연결시키는 제1 회전 중심축(FX-H1), 및 축지지부(FX-V)와 보조 롤러(RL-S)를 연결시키는 제2 회전 중심축(FX-H2)을 포함할 수 있다. The auxiliary roller RL-S may be connected to the roller fixing axis RX by a roller rotation axis FX. 8B, the roller rotation axis FX is composed of a shaft support portion FX-V connected to the roller fixing shaft RX, a first rotation shaft axis connecting the shaft support portion FX-V and the pressure roller RL, And a second rotation center axis FX-H2 connecting the shaft support portion FX-V and the sub-roller RL-S.

또한, 도 8b를 참조하면 보조 롤러(RL-S)는 별도의 구동부를 구비하지 않는 것일 수 있다. 예를 들어, 가압 구동부(RM)를 이용하여 가압 롤러(RL)를 제어함에 따라 이웃하는 보조 롤러(RL-S)의 위치 및 회전 속도 등이 제어될 수 있다.Referring to FIG. 8B, the auxiliary roller RL-S may not include a separate driving unit. For example, the position and rotation speed of the adjacent auxiliary roller RL-S can be controlled by controlling the pressurizing roller RL using the pressurizing drive RM.

한편, 가압 롤러(RL)와 보조 롤러(RL-S)는 서로 다른 재질로 형성된 것일 수 있다, 예를 들어, 합착 부재와 직접 접하는 가압 롤러(RL)는 러버 롤러이고 가압 롤러(RL)를 지지하는 보조 롤러(RL-S)는 스틸 롤러일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 가압 롤러(RL)와 보조 롤러(RL-S)는 동일한 재질로 형성된 것일 수 있다,For example, the pressure roller RL in direct contact with the adhering member is a rubber roller, and the pressure roller RL is supported by the pressure roller RL. The auxiliary roller RL-S may be a steel roller. However, the embodiment is not limited thereto, and the pressure roller RL and the auxiliary roller RL-S may be formed of the same material.

도 9는 합착 공정의 진행 단계에 따른 가압 롤러(RL)의 위치를 나타낸 것이다. 도 9에서는 설명의 편의를 위하여 합착 장치 중 일부 구성을 생략하여 도시하였다.FIG. 9 shows the position of the pressure roller RL according to the progress of the laminating process. In FIG. 9, a part of the lid assembly is omitted for convenience of explanation.

합착 공정의 초기 단계(S1)에서 가압 롤러(RL)와 제2 부재(PN2)가 접하는 제1 접점(P1)에서의 제1 접선(TL1)에 대한 법선 방향(NL1)의 압력을 제1 압력이라고 하고, 합착이 일부 진행된 이후의 단계(S2)에서의 가압 롤러(RL)와 제2 부재(PN2)가 접하는 제2 접점(P2)에서의 제2 접선(TL2)에 대한 법선 방향(NL2)의 압력을 제2 압력이라고 할 때, 제1 압력과 제2 압력은 동일한 것일 수 있다.The pressure in the normal direction NL1 to the first tangent line TL1 at the first contact point P1 at which the pressure roller RL and the second member PN2 are in contact in the initial stage S1 of the laminating process is set to the first pressure P1 And the normal direction NL2 to the second tangent line TL2 at the second contact point P2 where the pressure roller RL and the second member PN2 are in contact with each other in the step S2 after the adhesion is partially progressed, The first pressure and the second pressure may be the same.

즉, 일 실시예의 합착 장치에서는 가압 롤러(RL)와 제2 부재(PN2)가 접하는 부분에서 가압 롤러(RL)가 제2 부재(PN2)에 가하는 법선 방향의 압력이 일정하게 되도록 가압 부재(RU)가 제어될 수 있다. That is, in the laminating apparatus of the embodiment, in the portion where the pressure roller RL and the second member PN2 are in contact with each other, the pressure in the normal direction applied by the pressure roller RL to the second member PN2 is constant, Can be controlled.

한편, 도 9에서 제1 지그(JG1)는 제1 지지면(JG-B)에 배치된 압력 감지 시트(PS)를 더 포함하는 것일 수 있다. 압력 감지 시트(PS)는 제1 지지면(JG-B)에 부착되어 제1 지그(JG1)에 가해지는 가압 롤러(RL)의 압력을 감지하는 것일 수 있다. 따라서, 압력 감지 시트(PS)에서는 가압 롤러(RL)가 제1 지그(JG1)에 가하는 압력값을 감지하고, 이를 가압 부재(RU)의 가압 구동부(RM)에 피드백하여 가압 롤러(RL)의 위치를 제어할 수 있다.9, the first jig JG1 may further include a pressure sensing sheet PS disposed on the first support surface JG-B. The pressure sensing sheet PS may be attached to the first supporting surface JG-B to sense the pressure of the pressure roller RL applied to the first jig JG1. Therefore, in the pressure sensing sheet PS, the pressure value applied to the first jig JG1 by the pressure roller RL is sensed and fed back to the pressure driver RM of the pressure member RU, You can control the position.

또한, 가압 롤러(RL)는 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)을 추종하여 이동하는 것일 수 있다. 즉, 가압 롤러(RL)는 합착되는 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)에 대하여 일정한 압력을 가하기 위하여 제1 지지면(JG-B)의 형상을 따라 이동할 수 있다.Further, the pressure roller RL may move following the first support surface JG-B of the first jig JG1. That is, the pressure roller RL can move along the shape of the first supporting surface JG-B to apply a constant pressure to the first member PN1 and the second member PN2 to which the pressure roller RL is attached.

도 10은 가압 구동부(RM)의 회전 모터(RM1)를 이용하여 가압 롤러(RL)의 위치를 변경시키는 경우를 예시적으로 나타낸 것이다. 가압 부재(RU)에서 가압 롤러(RL)의 위치는 이동 모터(RM2)가 지지테이블(ST) 상에서 이동하는 것에 따라 변화될 수 있다. 또한, 이와 달리 이동 모터(RM2)의 위치는 고정되고, 회전 모터(RM1)를 이용하여 롤러 고정축(RX)을 회전시킴으로써 가압 롤러(RL)의 위치를 변화시킬 수 있다.10 exemplarily shows a case where the position of the pressure roller RL is changed by using the rotation motor RM1 of the pressure drive unit RM. The position of the pressure roller RL in the pressing member RU can be changed as the moving motor RM2 moves on the supporting table ST. Alternatively, the position of the moving motor RM2 is fixed, and the position of the pressing roller RL can be changed by rotating the roller fixing axis RX using the rotation motor RM1.

도 10에서 점선으로 도시된 것과 실선으로 도시된 것은 합착 진행 공정의 진행 상태에 따른 가압 롤러(RL)와 롤러 고정축(RX)의 위치의 변화를 표시한 것이다. 합착 공정의 진행 상태에 따라 점선 상태에서 실선 상태로 가압 롤러(RL)와 롤러 고정축(RX)의 위치가 변화될 수 있다. 즉, 회전 모터(RM1)를 구동하여 이에 연결된 롤러 고정축(RX)의 방향을 이동함으로써 롤러 고정축(RX)의 일단에 연결된 가압 롤러(RL)의 위치를 변화시킬 수 있다. 이때, 길이가 가변되는 제3 롤러 고정축(RX3)의 길이는 회전 모터(RM1)의 구동에 따라 변화될 수 있다.In FIG. 10, a dotted line and a solid line indicate changes in the positions of the pressure roller RL and the roller fixing axis RX according to the progress of the cementing process. The position of the pressure roller RL and the roller fixing axis RX can be changed from the dotted line state to the solid line state depending on the progress of the laminating process. That is, the position of the pressure roller RL connected to one end of the roller fixing axis RX can be changed by driving the rotation motor RM1 to move the direction of the roller fixing axis RX connected thereto. At this time, the length of the third roller fixing axis RX3 whose length is variable can be changed according to the driving of the rotation motor RM1.

즉, 도 1에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100A)는 롤러 고정축(RX)에 연결되 회전 모터(RM1)를 이용하여 가압 롤러(RL)가 제1 부재(PN1) 및 제2 부재(PN2)와 접하는 부분에서 법선 방향으로 일정한 압력을 가하도록 제어할 수 있어 합착 품질을 개선할 수 있다.That is, the laminating apparatus 100A of the embodiment shown in FIG. 1 is configured such that the pressing roller RL is connected to the roller fixing shaft RX and the pressing roller RL is rotatably supported by the first member PN1 and the second member PN2 can be controlled so as to apply a constant pressure in the normal direction, thereby improving the quality of the cementation.

도 11a 및 도 11b는 가압 부재의 이동 위치와 가압 부재의 이동 속도의 관계를 상대적으로 나타낸 것이다. 도 11a 및 도 11b에서는 설명의 편의를 위하여 합착 장치의 일부분만을 도시하였다. 도 11a 및 도 11b에서 X축은 가압 부재의 이동 위치를 나타낸 것으로 도 1을 참조하면, X축은 제1 방향(DR1, 도 1)을 나타낸다. 또한, Y축은 가압 부재의 이동 속도를 나타낸 것으로 이동 속도 값은 상대적으로 표시하였다.11A and 11B show the relationship between the moving position of the pressing member and the moving speed of the pressing member relatively. In FIGS. 11A and 11B, only a part of the laminating apparatus is shown for convenience of explanation. In FIGS. 11A and 11B, the X axis represents the movement position of the pressing member. Referring to FIG. 1, the X axis represents the first direction DR1 (FIG. 1). The Y axis represents the moving speed of the pressing member, and the moving speed value is relatively represented.

도 11a를 참조하면, 일 실시예에서 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)은 적어도 하나의 곡면부(CS2, CS1)와 적어도 하나의 곡면부(CS2, CS1)와 연결된 평면부(FS)를 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 도 11a는 제1 지지면(JG-B)이 두 개의 곡면부(CS2, CS1)와 하나의 평면부(FS)를 갖는 경우 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도를 상대적으로 나타낸 것이다.Referring to FIG. 11A, in one embodiment, the first supporting surface JG-B of the first jig JG1 is connected to at least one curved portion CS2, CS1 and at least one curved portion CS2, CS1 And may include a flat portion FS. For example, FIG. 11A shows the relative velocity of the pressing member RU (FIG. 1) relative to the first supporting surface JG-B when the first supporting surface JG-B has two curved portions CS2 and CS1 and one flat portion FS. .

도 11a에 도시된 일 실시예에서, 곡면부(CS2, CS1)에 대응하는 구간(PD1, PD3)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도와 평면부(FS)에 대응하는 구간(PD2)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도는 서로 상이할 수 있다. 제1 지지면(JG-B)의 곡면부(CS2, CS1)에 대응하는 구간(PD1, PD3)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V1)는 제1 지지면(JG-B)의 평면부(FS)에 대응하는 구간(PD2)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V2) 보다 느린 것일 수 있다. 즉, 제1 지그(JG1)의 곡면부(CS2, CS1)에서 평면부(FS) 보다 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도를 느리게 함으로써, 곡면 부분에서 합착 부재들 사이의 합착 품질을 개선할 수 있다.11A, the moving speed of the pressing member RU (Fig. 1) in the section PD1, PD3 corresponding to the curved surface sections CS2, CS1 and the section The moving speed of the pressing member RU (Fig. 1) in the PD2 can be different from each other. The moving speed V 1 of the pressing member RU (Fig. 1) in the sections PD1 and PD3 corresponding to the curved portions CS2 and CS1 of the first supporting surface JG-B is smaller than the moving speed V1 of the pressing member RU -B), the flat surface portion (the pressing member in the interval (PD2) corresponding to the FS) (RU, of may be slower than the moving speed (V 2) in Fig. 1). That is, by making the moving speed of the pressing member RU (Fig. 1) slower than the plane portion FS in the curved surface portions CS2 and CS1 of the first jig JG1, can do.

한편, 도 11a에서 곡면부(CS2, CS1)와 평면부(FS)의 연결부분에 대응하는 구간(PD4, PD5)에서는 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도가 점진적으로 증가되거나 또는 점진적으로 감소되는 것으로 도시하였다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 이동 속도는 점진적으로 증가되지 않고 스텝 형태로 증가되거나 또는 감소될 수 있다.On the other hand, in the sections PD4 and PD5 corresponding to the connecting portion of the curved surface portions CS2 and CS1 and the flat surface portion FS in FIG. 11A, the moving speed of the pressing member RU (FIG. 1) is gradually increased Respectively. However, the embodiment is not limited thereto, and the moving speed may be increased or decreased stepwise without increasing gradually.

도 11b는 제1 부재(PN1)가 서로 다른 두께를 갖는 서브 부재들(PN1-A, PN1-B)을 포함하는 경우의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도를 개략적으로 나타낸 것이다. 도 11b를 참조하면, 제1 부재(PN1)는 서로 다른 두께를 갖는 제1 서브 부재(PN1-A)과 제2 서브 부재(PN1-B)를 포함하고, 제1 서브 부재(PN1-A)와 제2 서브 부재(PN1-B)의 두께 차이에 의하여 제1 부재(PN1)의 표면에 단차(d)가 생기게 된다. Fig. 11B schematically shows the moving speed of the pressing member RU (Fig. 1) when the first member PN1 includes sub-members PN1-A and PN1-B having different thicknesses. Referring to FIG. 11B, the first member PN1 includes a first sub-member PN1-A and a second sub-member PN1-B having different thicknesses, and the first sub- The step difference d occurs on the surface of the first member PN1 due to the difference in thickness between the first sub-member PN1 and the second sub-member PN1-B.

도 11b를 참조하면, 제1 서브 부재(PN1-A)와 제2 서브 부재(PN1-B) 사이의 단차 영역에 대응하는 구간(PD1, PD5)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V1)는 단차가 없는 제1 부재(PN1)에 대응하는 구간(PD2, PD3, PD4)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V2, V3) 보다 느린 것일 수 있다. 즉, 합착 부재의 표면에 단차가 있는 경우 단차 영역에서 가압 부재(RU, 도 1)를 상대적으로 느리게 이동함으로써 단차 영역에서의 합착 부재들 사이의 합착 품질을 개선할 수 있다. 예를 들어, 제1 부재(PN1)는 윈도우 부재이고 제1 서브 부재(PN1-A)는 메인 윈도우 부재 부분이고, 제2 서브 부재(PN1-B)는 차광 부재가 제공된 부분의 윈도우 부재일 수 있다.11B, movement of the pressing member RU (FIG. 1) in the sections PD1 and PD5 corresponding to the stepped regions between the first sub-member PN1-A and the second sub-member PN1-B speed (V 1) is a period corresponding to the first member (PN1) without a step difference (PD2, PD3, PD4), the pressing member (RU, FIG. 1) may be slower than the moving speed (V 2, V 3) of at have. That is, when there is a step on the surface of the joining member, the pressing member (RU, Fig. 1) is moved relatively slowly in the stepped region, thereby improving the quality of joining between the joining members in the stepped region. For example, the first member PN1 may be a window member, the first sub-member PN1-A may be a main window member portion, and the second sub-member PN1-B may be a window member of a portion provided with a light- have.

또한, 도 11b에서는 도 11a에서와 마찬가지로 제1 지지면(JG-B)의 곡면부에 대응하는 구간(PD2, PD4)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V2)는 평면부에 대응하는 구간(PD3)에서 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V3) 보다 느린 것일 수 있다. 한편, 도 11b에서는 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V1, V2, V3)가 변화될 때 점차적으로 감소되거나 증가되지 않고 스텝 형태로 증가되거나 감소되는 것으로 도시하였다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 도 11a에 도시된 바와 같이 서로 다른 이동 속도를 갖는 구간들 사이에서 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도는 점진적으로 증가되거나, 또는 점진적으로 감소될 수 있다.Also, as in Figure 11b In Figure 11a the first support surface corresponding section in which the curved portion of the (JG-B), (PD2, PD4), the pressing member (RU, FIG. 1) moving speed of (V 2) is flat in the pressure member in the region (PD3) corresponding to the unit (RU, FIG. 1) may be slower than the moving speed (V 3) of the. In FIG. 11B, it is shown that when the moving speeds (V 1 , V 2 , V 3 ) of the pressing member RU (FIG. 1) are changed, they are increased or decreased in steps without being gradually reduced or increased. However, the embodiment is not limited thereto, and the moving speed of the pressing member RU (Fig. 1) between the sections having different moving speeds as shown in Fig. 11A may be gradually increased or gradually decreased .

도 12a 내지 도 12b는 표면처리 부재를 더 포함하는 합착 장치의 일 실시예를 나타낸 것이다. 도 12a 및 도 12b에서는 설명의 편의를 위하여 합착 장치의 구성 중 일부만을 도시하여 나타내었다.12A to 12B show an embodiment of a lid assembly further comprising a surface treatment member. 12A and 12B, only a part of the structure of the lid assembly is shown for convenience of explanation.

도 12a에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100B)는 도 1의 합착 장치(100A)에서 제1 지그(JG1)에 대응하는 부분만을 나타내었다. 도 12a의 합착 장치(100B)는 표면처리 부재(PU)를 더 포함하고, 표면처리 부재(PU)는 표면처리부(PP)와 표면처리부(PP)를 이동 시키는 표면처리 구동부(PM)를 포함하는 것일 수 있다. 표면처리 구동부(PM)는 표면처리부(PP)를 제1 지그(JG1)에 연결하여 이동시키는 것일 수 있다.12A, only the portion corresponding to the first jig JG1 in the cigarette lighter 100A of Fig. 1 is shown. The bonding apparatus 100B of Fig. 12A further includes a surface treatment member PU, and the surface treatment member PU includes a surface treatment portion PM for moving the surface treatment portion PP and a surface treatment portion PM Lt; / RTI > The surface treatment driving part PM may be one which moves the surface treatment part PP by connecting it to the first jig JG1.

도 12a의 실시예에서 제1 지그(JG1)의 측면에는 레일(TR)이 제공되는 것일 수 있다. 레일(TR)은 제1 지그(JG1)의 측면에서 제1 지지면(JG-B)의 형상에 대응하는 형상으로 제공된 것일 수 있다 레일(TR)은 제1 지지면(JG-B)으로부터 일정 간격을 유지하면서 형성된 것일 수 있다. 표면처리 구동부(PM)는 제1 지그(JG1) 측면에 형성된 레일(TR)에 탑재되어 이동되는 것일 수 있다. 표면처리 부재(PU)는 표면처리부(PP) 및 표면처리부(PP)와 마주하는 제1 지지면(JG-B) 사이의 간격이 일정하게 되도록 레일(TR)을 따라 이동될 수 있다.In the embodiment of Fig. 12A, the rail TR may be provided on the side surface of the first jig JG1. The rail TR may be provided in a shape corresponding to the shape of the first support surface JG-B on the side surface of the first jig JG1. The rail TR may be provided on the first support surface JG- Or may be formed while maintaining an interval. The surface treatment driving part PM may be mounted on a rail TR formed on the side of the first jig JG1 and moved. The surface treatment member PU can be moved along the rail TR such that the gap between the surface treatment portion PP and the first support surface JG-B facing the surface treatment portion PP is constant.

도 12a에서는 표면처리 부재(PU)가 제1 방향(DR1)으로 이동되는 경우를 예시적으로 나타낸 것이고, 이때 이동된 위치에서의 표면처리부(PP)와 제1 지지면(JG-B) 사이의 이격 간격(L1, L2, L3)은 일정하게 유지될 수 있다.12A shows an example in which the surface treatment member PU is moved in the first direction DR1 and the surface treatment member PU between the surface treatment portion PP and the first support surface JG- The separation intervals L 1 , L 2 and L 3 can be kept constant.

도 12b에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100C)는 도 1의 합착 장치(100A)에서 제1 지그(JG1) 및 지지테이블(ST)에 대응하는 부분만을 나타내었다. 도 12b의 합착 장치(100C)는 표면처리 부재(PU)를 더 포함하고, 표면처리 부재(PU)는 표면처리부(PP)와 표면처리부(PP)를 이동 시키는 표면처리 구동부(PM)를 포함하는 것일 수 있다. 또한, 도 12b의 표면처리 부재(PU)는 표면처리부(PP)와 표면처리 구동부(PM) 사이에 배치되어 표면처리부(PP)를 지지하는 지지부(PX)을 더 포함할 수 있다. 또한, 표면처리 부재(PU)는 표면처리부(PP)와 이웃하여 배치된 위치 센서(DS)를 더 포함하는 것일 수 있다. 일 실시예에서 표면처리 부재(PU)는 위치 센서(DS)를 포함하여 표면처리부(PP)와 제1 지지면(JG-B) 사이의 간격(L1, L2, L3)이 일정하게 유지되도록 제어될 수 있다.12B shows only the portion corresponding to the first jig JG1 and the support table ST in the cigarette lighter 100A of Fig. 1 in the embodiment. The bonding apparatus 100C of Fig. 12B further includes a surface treatment member PU, and the surface treatment member PU includes a surface treatment portion PM for moving the surface treatment portion PP and a surface treatment portion PM Lt; / RTI > The surface treatment member PU of Fig. 12B may further include a support PX disposed between the surface treatment portion PP and the surface treatment driving portion PM to support the surface treatment portion PP. Further, the surface treatment member PU may further comprise a position sensor DS disposed adjacent to the surface treatment portion PP. In one embodiment, the surface treatment member PU includes the position sensor DS so that the intervals L 1 , L 2 , and L 3 between the surface treatment portion PP and the first support surface JG-B are constant . ≪ / RTI >

도 12b에 도시된 표면처리 부재(PU)의 지지부(PX)는 표면처리부(PP)와 연결된 제1 서브지지부(PX1)와 제1 서브지지부(PX1) 및 표면처리 구동부(PM) 사이에 배치된 제2 서브지지부(PX2)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제2 서브 지지부(PX2)는 길이가 가변되는 것일 수 있다.The support PX of the surface treatment member PU shown in Figure 12B is disposed between the first sub support PX1 connected to the surface treatment part PP and the first sub support PX1 and the surface treatment drive part PM And a second sub-support PX2. In one embodiment, the second sub-support PX2 may be of variable length.

즉, 도 12b에 도시된 일 실시예에서는 위치 센서(DS)에서 감지한 거리값을 표면처리 구동부(PM)에 피드백하고 이에 따라 제2 서브지지부(PX2)의 길이를 조절함으로써 표면처리부(PP)와 제1 지지면(JG-B)의 사이의 간격(L1, L2, L3)을 일정하게 유지할 수 있다.12B, the distance value sensed by the position sensor DS is fed back to the surface treatment driving part PM, and the length of the second sub-support part PX2 is adjusted to adjust the length of the surface treatment part PP, (L 1 , L 2 , L 3 ) between the first support surface (JG-B) and the first support surface (JG-B)

한편, 도 12a 및 도 12b에서 표면처리부(PP)는 플라즈마 처리장치일 수 있다. 표면처리부(PP)는 제1 부재(PN1, 도 1) 및 제2 부재(PN2, 도 1)의 적어도 하나의 면을 플라즈마 처리하여 부재들 사이의 합착 강도를 높여 합착 품질을 개선할 수 있다.12A and 12B, the surface treatment section PP may be a plasma processing apparatus. The surface treatment portion PP can plasma-treat at least one surface of the first member PN1 (Fig. 1) and the second member PN2 (Fig. 1) to improve the adhesion strength between the members to improve the quality of adhesion.

상술한 일 실시예의 합착 장치에 대한 설명에서, 제1 부재는 윈도우 부재일 수 있다. 제2 부재는 광학 투명 접착부재와 입력 감지 유닛이 부착된 것일 수 있다. 또한, 제1 부재는 윈도우 부재와 광학 투명 접착부재 및 입력 감지 유닛이 부착된 것이고, 제2 부재는 광학 투명 접착부재와 표시 패널이 일체로 제공되는 것일 수 있다.In the description of the lid assembly of one embodiment described above, the first member may be a window member. The second member may be an optical transparent bonding member and an input sensing unit attached thereto. Further, the first member may be a window member, the optical transparent bonding member and the input sensing unit may be attached, and the second member may be one wherein the optical transparent bonding member and the display panel are integrally provided.

일 실시예의 합착 장치를 이용하여 윈도우 부재, 입력 감지 유닛, 및 표시 패널이 적층된 표시 장치를 제조할 수 있다. 또한, 일 실시예의 합착 장치는 다양한 형상을 갖는 표시 장치를 제조하는 데 사용될 수 있다. 예를 들어, 일 실시예의 합착 장치는 자동차의 내부 디스플레이로 사용될 수 있는 다중 곡면을 갖는 표시 장치들의 제조에 사용될 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 일 실시예의 합착 장치는 플랫(flat)한 형상을 갖는 표시 장치의 제조 및 커브드(curved) 형상을 갖는 표시 장치의 제조에도 사용될 수 있다. 또한, 일 실시예의 합착 장치는 리지드(rigid)한 표시 장치, 또는 플렉서블(flexible)한 표시 장치의 제조에 모두 사용될 수 있다.A display device in which a window member, an input sensing unit, and a display panel are stacked can be manufactured by using the laminating apparatus of one embodiment. Further, the lid assembly of one embodiment can be used to manufacture display devices having various shapes. For example, the ligation apparatus of one embodiment can be used in the manufacture of display devices having multiple curved surfaces that can be used as an internal display of an automobile. However, the embodiment is not limited thereto, and the coiling apparatus of one embodiment can be used for manufacturing a display device having a flat shape and for manufacturing a display device having a curved shape. Further, the laminating apparatus of one embodiment can be used for both the production of a rigid display device or a flexible display device.

일 실시예의 합착 장치는 합착 공정이 진행되는 동안 흡착 패드를 이용하여 합착 부재를 고정할 수 있어 가압 롤러가 압력을 가하기 이전에 합착 부재들이 선 접촉되는 것을 방지함으로써 합착 품질을 개선할 수 있다. 또한, 일 실시예의 합착 장치는 회전 모터를 구비한 가압 부재를 이용하여 합착 부재에 대하여 가압 롤러가 법선 방향으로 균일한 압력을 제공하도록 하여 합착 부재의 형상에 관계 없이 균일한 합착 품질을 구현할 수 있다.The laminating apparatus of one embodiment can fix the laminating member using the adsorption pad during the laminating process and prevent the laminating members from line-contacting before applying the pressure, thereby improving the quality of the laminating. Further, in the laminating apparatus of one embodiment, the pressurizing roller is provided with a uniform pressure in the normal direction with respect to the laminating member by using the pressing member having the rotation motor, so that the uniform laminating quality can be realized irrespective of the shape of the laminating member .

일 실시예의 합착 장치를 이용하여 표시 장치를 제조하는 방법은, 표면 처리된 윈도우 부재를 제1 지그 상에 제공하는 단계, 제1 광학투명접착부재가 부착된 입력 감지 유닛을 제2 지그 상에 제공하는 단계, 가압 유닛을 이용하여 윈도우 부재와 입력 감지 유닛을 합착하는 단계를 포함할 수 있다. 이때, 제1 광학투명접착부재는 윈도우 부재와 입력 감지 유닛 사이에 배치되는 것일 수 있다.A method of manufacturing a display device using a bonding apparatus of one embodiment includes the steps of providing a surface-treated window member on a first jig, providing an input sensing unit with a first optical transparent bonding member on a second jig And joining the window member and the input sensing unit using the pressing unit. At this time, the first optical transparent bonding member may be disposed between the window member and the input sensing unit.

다음으로, 합착된 윈도우 부재와 입력 감지 유닛에 자외선 광을 조사하여, 제1 광학투명접착부재를 추가 경화하는 단계가 진행될 수 있다. 또한, 자외선 광을 제공하기 전에 오토클레이브(auto clave)에 합착된 윈도우 부재와 입력 감지 유닛을 투입하여 두 개의 부재 사이의 기포를 제거할 수 있다.Next, a step of further curing the first optical transparent adhesion member may be performed by irradiating ultraviolet light to the joined window member and the input sensing unit. In addition, before providing ultraviolet light, a window member and an input sensing unit attached to an auto clave may be charged to remove bubbles between the two members.

다음으로, 제2 광학투명접착부재가 부착된 표시 패널이 입력 감지 유닛 상에 제공될 수 있다. 이때, 합착된 윈도우 부재와 입력 감지 유닛이 제1 지그에 고정되고, 제2 광학투명접착부재가 부착된 표시 패널이 제2 지그에 지지되어 제공될 수 있다. 이후, 가압 유닛을 이용하여 표시 패널을 입력 감지 유닛에 합착할 수 있다. 한편, 표시 패널을 입력 감지 유닛에 합착하기 이전에 표면처리 부재를 이용하여 표시 패널이 부착되는 입력 감지 유닛의 일면을 플라즈마처리할 수 있다. 이후, 윈도우 부재, 입력 감지 유닛, 및 표시 패널이 합착된 표시 장치는 오토클레이브(auto clave)에 투입되어 각 부재들 사이의 기포를 제거함으로써 합착 품질을 더욱 개선할 수 있다.Next, a display panel to which the second optical transparent bonding member is attached may be provided on the input sensing unit. At this time, the joined window member and the input sensing unit may be fixed to the first jig, and the display panel to which the second optical transparent bonding member is attached may be supported by the second jig. Thereafter, the display panel can be attached to the input sensing unit using the pressure unit. On the other hand, before the display panel is attached to the input sensing unit, one surface of the input sensing unit to which the display panel is attached using the surface treatment member may be subjected to plasma processing. Thereafter, the display device to which the window member, the input sensing unit, and the display panel are attached is inserted into an auto clave to remove air bubbles between the respective members, thereby further improving the quality of the cigarette.

도 13은 일 실시예의 합착 장치(100D)를 나타낸 도면이다. 도 13에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100D)는 제1 부재(PN1)가 안착된 제1 지그(JG1), 제2 부재(PN2)를 제공하는 지지시트(PF), 및 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)를 합착시키는 가압 부재(RU)를 포함하는 것일 수 있다. 도 1에 도시된 합착 장치(100A)의 실시예와 달리 도 13에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100D)는 제2 지그(JG2)를 대신하여 지지시트(PF)를 포함하고 있다.13 is a view showing a lid assembly 100D of one embodiment. 13, a first jig JG1 on which a first member PN1 is mounted, a support sheet PF for providing a second member PN2, and a second member PN2 on which the first member PN1 is mounted, And a pressing member RU for attaching the first member PN1 and the second member PN2 together. Unlike the embodiment of the bonding apparatus 100A shown in Fig. 1, the bonding apparatus 100D of the embodiment shown in Fig. 13 includes a support sheet PF instead of the second jig JG2.

지지시트(PF)는 제2 부재(PN2)에 부착되어 제2 부재(PN2)와 함께 제1 부재(PN1)와의 합착 공정에 제공될 수 있다. 제2 부재(PN2)와 지지시트(PF) 사이에는 접착부재(미도시)가 제공될 수 있다. 접착부재(미도시)는 합착공정이 진행되는 동안 지지시트(PF)가 제2 부재(PN2)에 부착되어 제2 부재(PN2)를 고정하여 제공하도록 할 수 있다. 제2 부재(PN2)가 제공되지 않은 지지시트(PF)는 고정 클램프(CL1, CL2)에 의하여 고정될 수 있다. 또한, 고정 클램프는 지지시트(PF)의 양측에서 지지시트(PF)를 고정하여 지지시트(PF)에 인장력을 제공함으로써 지지시트(PF)가 굴곡되는 부분이 없이 유지되도록 할 수 있다. 지지시트(PF)는 지지테이블(ST)의 양측에 배치된 고정 클램프(CL1, CL2)에 의하여 인장력이 일정하게 유지되도록 제어되어 제2 부재(PN2)가 균일하게 제1 부재(PN1)에 제공되도록 할 수 있다.The support sheet PF may be attached to the second member PN2 and provided with the second member PN2 in a process of attaching the first member PN1. An adhesive member (not shown) may be provided between the second member PN2 and the support sheet PF. An adhesive member (not shown) may be attached to the second member PN2 to fix and provide the second member PN2 during the laminating process. The support sheet PF to which the second member PN2 is not provided can be fixed by the fixing clamps CL1 and CL2. In addition, the fixing clamp can fix the support sheet PF on both sides of the support sheet PF to provide a tensile force to the support sheet PF so that the support sheet PF can be held without any bent part. The support sheet PF is controlled so that the tensile force is kept constant by the fixing clamps CL1 and CL2 disposed on both sides of the support table ST so that the second member PN2 is uniformly provided to the first member PN1 .

한편, 지지시트(PF)는 고분자 필름 타입의 시트일 수 있다. 지지시트(PF)는 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)에 합착된 이후에 제2 부재(PN2)로부터 제거될 수 있다. 한편, 제2 부재(PN2)와 지지시트(PF) 사이에 접착부재(미도시)가 제공된 경우 접착부재(미도시)의 접착력을 감소시키기 위하여 합착 공정이 완료된 이후 지지시트(PF)에 자외선 광을 조사할 수 있다.On the other hand, the support sheet PF may be a polymer film type sheet. The support sheet PF can be removed from the second member PN2 after the second member PN2 is attached to the first member PN1. On the other hand, when the adhesion member (not shown) is provided between the second member PN2 and the support sheet PF, ultraviolet light (not shown) is applied to the support sheet PF after the adhesion process is completed . ≪ / RTI >

고정 클램프(CL1, CL2)는 지지테이블(ST)에 고정되어 있을 수 있다. 또한, 고정 클램프(CL1, CL2)에는 지지시트(PF)가 제2 부재(PN2)를 지지할 수 있도록 지지시트(PF)의 인장력을 조절하는 제어부가 더 포함될 수도 있다. 즉, 도 13에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100D)를 상술한 도 1의 합착 장치(100A)와 비교하여 지지시트(PF)가 제2 부재(PN2)를 고정하는 역할을 함으로써 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)에 선접촉하는 것을 방지하여 합착 품질을 개선할 수 있다. 또한, 지지시트(PF)는 제2 부재(PN2)와 가압 롤러(RL) 사이에 배치되므로 합착 공정 동안 제2 부재(PN2)를 보호하는 보호시트의 기능을 할 수 있다.The fixing clamps CL1 and CL2 may be fixed to the support table ST. The fixing clamps CL1 and CL2 may further include a control unit for adjusting the tension of the support sheet PF so that the support sheet PF can support the second member PN2. That is, the support sheet PF serves to fix the second member PN2 by comparing the lid assembly 100D of the embodiment shown in Fig. 13 with the lid assembly 100A of Fig. 1 described above, (PN2) is prevented from being in line contact with the first member (PN1), so that the quality of the cementation can be improved. Further, since the support sheet PF is disposed between the second member PN2 and the pressure roller RL, it can function as a protective sheet for protecting the second member PN2 during the adhesion process.

일 실시예의 합착 장치는 흡착 패드를 지그에 배치하여 합착 부재를 고정하여 제공하고, 가압 부재의 회전 모터를 이용하여 합착 부재에 일정한 압력을 제공하도록 함으로써 합착 품질을 개선할 수 있다.The adhesion apparatus of one embodiment can improve the adhesion quality by arranging the adsorption pads in a jig to fix and provide the adhesion member and to provide a constant pressure to the adhesion member using the rotation motor of the pressure member.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiment, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and changes may be made thereto without departing from the scope of the present invention.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

JG1 : 제1 지그 JG2 : 제2 지그
RU : 가압 부재 AU : 흡착 부재
PU : 표면처리 부재
JG1: 1st jig JG2: 2nd jig
RU: pressure member AU: suction member
PU: surface treatment member

Claims (20)

제1 부재가 안착된 제1 지지면을 포함하는 제1 지그;
제2 부재를 지지하고 개구부가 정의된 지지 기판, 상기 지지 기판을 이동시키는 지그 구동부, 상기 지지 기판과 상기 지그 구동부를 연결하는 지그 고정축, 및 상기 개구부에 삽입되어 상기 개구부 내에서 이동하는 적어도 하나의 흡착 패드 및 상기 적어도 하나의 흡착 패드를 제어하는 패드 제어부를 포함하는 흡착 부재를 포함하는 제2 지그; 및
가압 롤러, 상기 가압 롤러를 이동시키는 가압 구동부, 및 상기 가압 롤러와 상기 가압 구동부 사이를 연결하는 롤러 고정축을 포함하는 가압 부재; 를 포함하는 합착 장치.
A first jig including a first support surface on which the first member is seated;
A jig driving part for supporting the second member and defining an opening, a jig driving part for moving the supporting board, a jig fixing shaft for connecting the supporting board and the jig driving part, and at least one A second jig including an adsorption member including a first adsorption pad and a pad control portion for controlling the at least one adsorption pad; And
A pressing member including a pressure roller, a pressure driver for moving the pressure roller, and a roller fixing shaft for connecting the pressure roller and the pressure driver; .
제 1항에 있어서,
상기 가압 부재 및 상기 제2 지그는 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 합착 진행 방향인 제1 방향으로 이동하는 합착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the pressing member and the second jig move in a first direction in which the first member and the second member are joined together.
제 2항에 있어서,
상기 적어도 하나의 흡착 패드는 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동하는 합착 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the at least one adsorption pad moves in a second direction opposite to the first direction.
제 1항에 있어서,
상기 흡착 부재는 상기 지지 기판의 하부면에 배치되고, 상기 지지 기판과 마주하는 일면에 제공된 홈을 갖는 패드 지지부를 더 포함하고,
상기 패드 제어부는 상기 홈에 안착되어 이동하는 합착 장치.
The method according to claim 1,
The adsorption member may further include a pad support disposed on a lower surface of the support substrate and having a groove provided on a surface facing the support substrate,
And the pad control part is seated in the groove and moves.
제 1항에 있어서,
상기 패드 제어부는 상기 적어도 하나의 흡착 패드의 진공 상태를 제어하는 진공 제어부, 및 상기 적어도 하나의 흡착 패드의 위치를 제어하는 위치 제어부를 포함하는 합착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the pad control unit includes a vacuum control unit for controlling a vacuum state of the at least one adsorption pad, and a position control unit for controlling a position of the at least one adsorption pad.
제 5항에 있어서,
상기 적어도 하나의 흡착 패드는 상기 제2 부재의 일단을 진공 흡입하여 고정하는 합착 장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the at least one suction pad vacuum-sucks one end of the second member.
제 1항에 있어서,
상기 개구부는 상기 지지 기판의 일측에서 타측 방향으로 연장되고, 상기 지지 기판의 두께 방향으로 관통하는 것인 합착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the opening extends from one side of the support substrate to the other side and penetrates in the thickness direction of the support substrate.
제 7항에 있어서,
상기 개구부는 상기 지지 기판의 일측에서 오픈된 합착 장치.
8. The method of claim 7,
And the opening is opened at one side of the support substrate.
제 1항에 있어서,
상기 지그 고정축은 상기 지지 기판의 일단에 인접하여 배치된 제1 지그 고정축 및 상기 지지 기판의 타단에 인접하여 배치된 제2 지그 고정축을 포함하고,
상기 제1 지그 고정축 및 상기 제2 지그 고정축 각각은
상기 지지 기판에 연결된 제1 서브 지그축; 및
상기 제1 서브 지그축과 상기 지그 구동부 사이에 배치되고, 길이가 가변되는 제2 서브 지그축; 을 포함하는 합착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the jig fixed shaft includes a first jig fixed shaft disposed adjacent to one end of the support substrate and a second jig fixed shaft disposed adjacent to the other end of the support substrate,
Each of the first jig fixed shaft and the second jig fixed shaft
A first sub-jig shaft connected to the support substrate; And
A second sub-jig axis disposed between the first sub-jig axis and the jig driving unit and having a variable length; .
제 9항에 있어서,
상기 제1 지그 고정축과 상기 제2 지그 고정축의 길이는 상이한 합착 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein the lengths of the first jig fixed shaft and the second jig fixed shaft are different.
제 2항에 있어서,
상기 가압 롤러는 상기 제1 지지면을 추종하며 상기 제1 방향으로 이동하는 합착 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the pressure roller follows the first support surface and moves in the first direction.
제 11항에 있어서,
상기 가압 롤러는 상기 제1 지지면에 일정한 압력을 가하며 이동하는 합착 장치.
12. The method of claim 11,
Wherein the pressure roller moves while applying a predetermined pressure to the first support surface.
제 11항에 있어서,
상기 가압 롤러와 상기 제2 부재가 접하는 제1 접점을 지나는 제1 접선에 대한 법선 방향의 압력이 제1 압력이고,
상기 제1 접점과 상이하며, 상기 가압 롤러와 상기 제2 부재가 접하는 제2 접점을 지나는 제2 접선에 대한 법선 방향의 압력이 제2 압력일 때,
상기 제1 압력과 상기 제2 압력은 동일한 합착 장치.
12. The method of claim 11,
Wherein a pressure in a normal direction to a first tangent line passing through a first contact where the pressure roller and the second member are in contact is a first pressure,
Wherein when the pressure in the normal direction with respect to the second tangent line passing through the second contact where the pressure roller and the second member are in contact is a second pressure different from the first contact,
Wherein the first pressure and the second pressure are the same.
제 2항에 있어서,
상기 가압 구동부는 상기 롤러 고정축에 연결되어 상기 롤러 고정축을 회전 시키는 회전 모터; 및
상기 가압 롤러를 상기 제1 방향으로 이동시키는 이동 모터; 를 포함하는 합착 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the pressure driver includes: a rotation motor connected to the roller fixing shaft to rotate the roller fixing shaft; And
A moving motor for moving the pressure roller in the first direction; .
제 1항에 있어서,
상기 제1 지지면은 적어도 하나의 곡면부를 포함하는 합착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the first support surface comprises at least one curved portion.
제 15항에 있어서,
상기 적어도 하나의 곡면부는 상기 제2 지그 방향으로 볼록한 볼록부; 및
상기 제2 지그 방향과 반대 방향으로 오목한 오목부; 를 포함하는 합착 장치.
16. The method of claim 15,
Wherein the at least one curved portion has a convex portion convex in the second jig direction; And
A concave portion recessed in a direction opposite to the second jig direction; .
제 15항에 있어서,
상기 제1 지지면은 상기 적어도 하나의 곡면부와 연결된 평면부를 더 포함하고,
상기 적어도 하나의 곡면부에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도와 상기 평면부에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도는 상이한 합착 장치.
16. The method of claim 15,
Wherein the first support surface further comprises a planar portion connected to the at least one curved surface portion,
Wherein the moving speed of the pressing member in the region corresponding to the at least one curved portion is different from the moving speed of the pressing member in the region corresponding to the flat portion.
제 1항에 있어서,
상기 제1 부재는 서로 다른 두께를 갖는 제1 서브 부재 및 제2 서브 부재를 포함하고,
상기 제1 서브 부재와 상기 제2 서브 부재 사이의 단차 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도는 상기 제1 서브 부재에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도보다 느린 합착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the first member includes a first sub-member and a second sub-member having different thicknesses,
Wherein the moving speed of the pressing member in the stepped region between the first sub-member and the second sub-member is slower than the moving speed of the pressing member in the region corresponding to the first sub-member.
제 1항에 있어서,
상기 제1 지그는 상기 제1 지지면에 부착된 압력 감지 시트를 더 포함하는 합착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the first jig further comprises a pressure sensitive sheet attached to the first support surface.
제 1항에 있어서,
상기 합착 장치는 표면처리 부재를 더 포함하고,
상기 표면처리 부재는 상기 제1 지지면과 마주하는 표면처리부 및 상기 표면처리부를 상기 제1 지그에 연결하여 이동시키는 표면처리 구동부를 포함하고,
상기 표면처리 구동부는 상기 제1 지그에 제공된 레일에 탑재되어 이동되는 합착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the adhesion apparatus further comprises a surface treatment member,
Wherein the surface treatment member includes a surface treatment unit facing the first support surface and a surface treatment driving unit connecting and connecting the surface treatment unit to the first jig,
Wherein the surface treatment driving unit is mounted on the rail provided on the first jig and is moved.
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