KR20180083150A - 초박막 건식접착 필름 및 이의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 초박막 건식접착 필름에 관한 것으로, 웨이퍼 상에 복수 개의 미세섬모들에 대응되는 홈부들이 형성된 몰드를 배치하고 액상의 합성수지를 도포하여 경화시키는 단계; 제1 수지필름 상에 제2 수지필름을 배치 후 고정시키는 단계; 경화된 상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 표면 처리하는 단계; 상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 가교시키는 단계; 상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합하는 단계; 및 상기 웨이퍼 및 상기 몰드, 상기 제1 수지필름을 제거하는 단계를 포함한다.

Description

초박막 건식접착 필름 및 이의 제조방법{Ultra thin dry adhesive film and manufacturing method thereof}
본 발명은 초박막 건식접착 필름 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 초박막이면서도 인체의 피부, 미세 부품, 굴곡진 표면 등에 강력하게 접착할 수 있는 초박막 건식접착 필름 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
1980년대 이후 최근까지 대부분의 산업부품이 소형화되어 가고 있으며, 이러한 추제에 따라 마이크로 또는 나노 크기의 구조물(이하, 미세 구조물)을 형성할 필요성이 대두되고 있다. 이러한 요구에 부응하여 신뢰성 있는 미세 구조물을 경제적이고 용이하게 형성하기 위한 다양한 기술들이 제시되고 있다.
미세 구조물을 형성하기 위한 대표적인 방법으로 나노임플린트 리소그래피(nanoimprint lithography) 기술이 알려져 있다. 상기 방법에 의하면, 강도가 큰 몰드를 사용함으로써 수 십 나노 크기의 작은 구조물을 만들 수 있는 장점이 있다.
그러나 강도가 큰 몰드를 사용하고 1900psi 강한 압력을 가하기 때문에, 음각 몰드 또는 다양한 크기의 패턴을 가지는 몰드를 사용하여 패턴을 형성하기가 쉽지 않고, 넓은 면적에 패턴을 형성하는 것 또한 쉽지 않다. 또한, 무엇보다 높은 종횡비의 구조물을 만들기가 어렵다는 단점이 있다.
이러한 문제점을 극복하기 위하여, 딱딱한 몰드가 아닌 상대적으로 부드럽고 탄성을 가진 몰드를 사용하는 다양한 소프트 리소그래피 기술이 개발되어 왔다. 그러한 기술로서, 미세접촉 프린팅(microcontact printing)이라는 방법을 예로 들 수 있다.
이 방법에 의하면 기판 상에 잔존 층이 전혀 없이 원하는 패턴을 만들 수 있다는 장점이 있다. 그러나 PDMS 같은 화학 물질을 묻히는 방법이기 때문에, 높은 종횡비의 구조물을 만들 수 없다는 단점이 있다.
이 외에도 소프트 리소그래피 기술의 일종으로 소위 MIMIC(Micromolding in capillaries)라 불리는 기술이 알려져 있다. 이 기술에 의하면, 패턴을 가지는 PDMS 몰드를 기판 상에 위치시킨 후, 몰드의 옆면으로부터 유체를 흘림으로써 마이크로 크기의 3차원 구조체를 형성할 수 있는 기술이다.
본 방법을 여러 층으로 반복하면 높은 3차원 구조물을 형성할 수 있다. 그러나 신뢰성 있는 미세 구조물을 형성하기 위해서는 여러 층의 몰드를 정밀하게 배열하여야 하기 때문에 공정이 어렵고 복잡하다. 이외에도 다양한 소프트 리소그래피 기술이 개발되었으나, 대부분의 소프트 리소그래피 기술은 강도가 약하고 탄성을 가지는 PDMS 몰드를 사용함에 따라 넓은 면적에 3차원 마이크로 구조물을 형성할 수 있다는 장점을 가지고 있으나, 나노 크기의 구조물을 만들기가 어렵다는 결정적인 한계를 가지고 있다.
대한민국등록특허 제10-0555324호
본 발명은 초박막이면서도 인체의 피부, 미세 부품, 굴곡진 표면 등에 강력하게 접착할 수 있는 초박막 건식접착 필름 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 웨이퍼 상에 복수 개의 미세섬모들에 대응되는 홈부들이 형성된 몰드를 배치하고 액상의 합성수지를 도포하여 경화시키는 단계; 제1 수지필름 상에 제2 수지필름을 배치 후 고정시키는 단계; 경화된 상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 표면 처리하는 단계; 상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 가교시키는 단계; 상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합하는 단계; 및 상기 웨이퍼 및 상기 몰드, 상기 제1 수지필름을 제거하는 단계를 포함하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 다른 측면에 따르면 본 발명은 베이스 기재, 상기 베이스 기재의 일면으로부터 돌출되는 기둥부들 및 상기 기둥부들로부터 각각 연장되는 접착부들을 포함하는 미세섬모 구조부를 준비하는 단계; 상기 베이스 기재의 타면과 제2 수지필름의 일면을 각각 가교시키는 단계; 및 상기 베이스 기재의 타면과 상기 제2 수지필름의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합하는 단계를 포함하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면 본 발명은, 베이스 기재, 상기 베이스 기재의 일면으로부터 돌출되는 기둥부들 및 상기 기둥부들로부터 각각 연장되는 접착부들을 포함하는 미세섬모 구조부를 준비하는 단계; 및 상기 베이스 기재의 타면과 제2 수지필름의 일면에 각각 아미노실란(Aminosilane)기를 형성하는 단계; 및 상기 베이스 기재의 타면과 상기 제2 수지필름의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합하는 단계를 포함하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면 본 발명은, 베이스 기재, 상기 베이스 기재의 일면으로부터 돌출되는 기둥부들 및 상기 기둥부들로부터 각각 연장되는 접착부들을 포함하는 미세섬모 구조부; 및 일 면이 상기 베이스 기재의 타면에 가교제에 의하여 밀착 접합되어 있는 수지 필름을 포함하는 초박막 건식접착 필름을 제공한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면 본 발명은, 베이스 기재, 상기 베이스 기재의 일면으로부터 돌출되는 기둥부들 및 상기 기둥부들로부터 각각 연장되는 접착부들을 포함하는 미세섬모 구조부; 및 일 면이 상기 베이스 기재의 타면에 아미노살린기의 결합력에 의하여 밀착 접합되어 있는 수지 필름을 포함하는 초박막 건식접착 필름을 제공한다.
본 발명에 따른 초박막 건식접착 필름 및 이의 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 간단하고 조작이 편리한 공정으로 초박막 건식접착 필름의 제조가 손쉽게 이루어질 수 있는 장점이 있다.
둘째, 합성수지와 제2 수지필름을 가교시킴으로써, 합성수지와 제2 수지필름이 강력한 접착력으로 접합될 수 있다.
셋째, 초박막의 건식접착 필름을 형성함으로써 유연성이 향상되며, 건식접착에 의해 인체의 피부, 미세 부품, 굴곡진 표면과 같이 다양한 종류의 대상물에 강한 접착력으로 접착될 수 있다.
도 1 내지 도 7은 초박막 건식접착 필름의 제조과정이 도시된 것이다.
도 8은 도 1 내지 도 7에 따른 제조과정을 통해 제작된 초박막 건식접착 필름이 도시된 것이다.
도 1 내지 도 8을 참조하여 초박막 건식접착 필름의 제조과정을 살펴보면 다음과 같다.
상기 초박막 건식접착 필름의 제조과정은, 웨이퍼(1) 상에 복수 개의 미세섬모들에 대응되는 홈부(11, 13)들이 형성된 몰드(10)를 배치하고 합성수지(110a)를 도포하여 경화시키는 단계, 제1 수지필름(20) 상에 제2 수지필름(130)을 배치 후 고정시키는 단계, 경화된 상기 합성수지(110a)와 상기 제2 수지필름(130)의 각각의 일면을 표면 처리하는 단계, 상기 합성수지(110a)와 상기 제2 수지필름(130) 상에 가교제(30)를 도포하는 단계, 상기 합성수지(110a)의 일면과 상기 제2 수지필름(130)의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합하는 단계 및 상기 웨이퍼(1) 및 상기 몰드(10), 상기 제1 수지필름(20)을 제거하는 단계를 포함한다.
상기 초박막 건식접착 필름을 제조하기 위해서는 먼저, 상기 웨이퍼(1) 상에 배치될 상기 몰드(10)의 제작이 이루어진다. 상기 몰드(10)는 고분자 재료로 형성되며, 상기 고분자 재료를 이용하여 포토리소그래피 공정을 통해 제작된다. 상기 몰드(10)를 형성하는 상기 고분자 재료는 예시적으로 SU-8 포토레지스트가 사용되나 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 몰드(10)는 하면(미표기)이 상기 웨이퍼(1)와 밀착되는 베이스 플레이트를 포함하며, 상기 베이스 플레이트에는 제1 홈(11)들 및 제2 홈(13)들이 형성된다. 상기 제1 홈(11)은 상기 베이스 플레이트의 상면(미표기)으로부터 상기 하면(미표기)을 향해 설정 깊이만큼 오목하여 설정 간격 이격되어 복수 개 형성된다. 상기 제2 홈(13)은 상기 제1 홈(11)의 선단으로부터 상기 하면을 향해 설정 깊이 오목하게 형성된다. 상기 제2 홈(13)의 횡단면은 상기 제1 홈(11)의 횡단면보다 더 크게 형성된다.
상기 포토리소그래피 공정에 의해 형성된 상기 몰드(10)는 전술한 바와 같이 상기 웨이퍼(1) 상에 배치되고, 상기 몰드(10) 상에 액상의 합성수지(110a)를 도포한다. 상기 합성수지(110a)는 예시적으로 폴리디메틸실록산(PDMS; Polydimethylsiloxane)으로 형성된다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니므로 다양한 합성수지를 이용할 수 있다. 액상의 상기 합성수지(110a)를 상기 몰드(10) 상에 도포하면, 상기 합성수지(110a)가 상기 몰드(10)에 형성된 상기 제1 홈(11) 및 상기 제2 홈(13)에도 채워진다.
액상의 상기 합성수지(110a)는 스핀 코팅에 의해 상기 몰드(10)에 도포되는데, 상기 몰드(10) 상에 도포되는 상기 합성수지(110a)의 두께는 상기 합성수지(110a)를 도포하는 스핀 코팅의 분당회전수(rpm)에 의하여 조절된다. 본 실시예에서는 1000rpm의 스핀 코팅으로 상기 합성수지(110a)가 상기 몰드(10)에 도포된 것을 예로 들어 설명한다.
도포된 상기 합성수지(110a)는 소정 강도를 갖도록 경화된다. 상기 합성수지(110a)의 경화는 자외선, 적외선, 열 및 화학적 경화 중 어느 하나의 경화 방법으로 이루어질 수 있다.
상기 몰드(10) 상에 상기 합성수지(110a)의 도포 및 경화가 완료되면, 상기 제1 수지필름(20) 상에 상기 제2 수지필름(130)을 배치 후 고정시킨다. 상기 제1 수지필름(20) 및 상기 제2 수지필름(130)은 예시적으로 PET 필름이 사용된다. 그러나 이에 한정되지 않고 다양한 수지필름이 이용될 수 있다. 상기 제1 수지필름(20)은 상기 제2 수지필름(130)보다 두께가 더 두껍게 형성된다.
상기 제1 수지필름(20)의 두께는 10 내지 100 ㎛ 범위 내에서 선정되고, 상기 제2 수지필름(130)의 두께는 1 내지 2 ㎛ 범위 내에서 선정된다. 본 실시예에서는 상기 제1 수지필름(20)의 두께가 50 ㎛ 이며, 상기 제2 수지필름의 두께는 1.5 ㎛이다.
이와 같이 두께가 서로 상이한 상기 제1 수지필름(20)과 상기 제2 수지필름(130)을 사용하는 이유는, 상기 제2 수지필름(130)만을 이용하여 작업하면 상기 제2 수지필름(130)의 두께가 너무 얇기 때문에 핸들링이 어려워지기 때문이다. 상기 제2 수지필름(130)만을 이용하여 작업하면 상기 제2 수지필름(130)에 주름이 많아져 초박막 건식접착 필름의 품질이 저하될 우려가 있다.
그러나 본 실시예에서와 같이 상기 제2 수지필름(130)에 비해 상대적으로 두께가 더 두꺼운 상기 제1 수지필름(20) 상에 상기 제2 수지필름(130)을 고정시키고 작업을 진행하면, 작업이 훨씬 수월해 질 뿐 아니라 주름이 생기지 않아 품질이 향상될 수 있다.
상기 제1 수지필름(20) 상에 배치된 상기 제2 수지필름(130)을 고정시키는 방법으로는 테이프를 이용할 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니므로 다양한 방법으로 상기 제2 수지필름(130)을 고정시킬 수 있다.
상기 제1 수지필름(20) 상에 상기 제2 수지필름(130)을 고정시킬 후에는, 상기 합성수지(110a)와 상기 제2 수지필름(130) 각각의 일면을 표면 처리한다. 보다 구체적으로는 상기 합성수지(110a)에서 상기 몰드(10)와 마주하는 상면과, 상기 제2 수지필름(130)에서 상기 제1 수지필름(20)과 마주하는 상면을 표면 처리하는 것이다.
상기 표면 처리는 플라즈마에 의해 이루어진다. 본 실시예에서는 60 와트(W)의 산소 플라즈마를 60초간 상기 제1 합성수지(110a)의 상면과 상기 제2 수지필름(130)의 상면에 조사하여 표면 처리한다. 상기 표면 처리에 사용되는 플라즈마는 상기 산소 플라즈마에 한정되지 않고 다양한 플라즈마 사용될 수 있으며, 플라즈마의 전력과 조사 시간도 다양하게 변경될 수 있다.
상기 산소 플라즈마에 의해 표면 처리가 되면, 상기 제1 합성수지(110a)의 상면과 상기 제2 수지필름(130)의 상면은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 히드록시기로 형성된다.
상기 합성수지(110a)의 상면과 상기 제2 수지필름(130)의 상면의 표면 처리가 완료되면, 상기 합성수지(110a)의 상면과 상기 제2 수지필름(130)의 상면에 가교제(30)를 도포한다.
상기 합성수지(110a)의 상면과 상기 제2 수지필름(130)의 상면에 도포되는 상기 가교제(30)는 트리에톡시실란(APTES;(3-Aminopropyl)triethoxysilane) 수용액이 이용된다. 그러나 이는 본 실시예에 한정되는 것일 뿐, 다양한 가교제가 사용될 수 있다. 상기 합성수지(110a)의 상면과 상기 제2 수지필름(130)의 상면에 상기 가교제(30)를 도포 후, 상기 가교제(30)를 세척하고 건조시키면 상기 합성수지(110a)의 상면과 상기 제2 수지필름(130)의 상면은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 아미노실란(Aminosilane)기를 형성한다.
이와 같이 상기 합성수지(110a)의 상면과 상기 제2 수지필름(130)의 상면에 아미노실란(Aminosilane)기가 형성되면, 상기 합성수지(110a)의 상면과 상기 제2 수지필름(130)의 상면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합한다. 상기 합성수지(110a)의 상면과 상기 제2 수지필름(130)의 상면은 전술한 바와 같이 아미노실란기가 형성되어 있기 때문에 강력한 접착력으로 접합된다.
상기 합성수지(110a)와 상기 제2 수지필름(130)이 접합하여 소정시간이 경과하면, 상기 합성수지(110a)로부터 상기 몰드(10) 및 상기 웨이퍼(1)를 제적하고 상기 제2 수지필름(130)으로부터 상기 제1 수지필름(20)을 제거하여 초박막 건식접착 필름의 제작이 완료된다.
전술한 바와 같은 제조공정을 통해 제작된 상기 초박막 건식접착 필름이 제작되면, 상기 제2 수지필름(130)은 상기 초박막 건식접착 필름의 수지 필름(130`)을 형성하고, 상기 합성수지(110a)는 미세섬모 구조부(110)를 형성한다. 상기 몰드(10) 상에 상기 합성수지(110a)가 도포될 때, 상기 몰드(10)의 상면으로부터 소정 높이 도포된 부분은 상기 미세섬모 구조부(110)의 베이스 기재(111)를 형성한다. 그리고 상기 베이스 기재(111) 상에는 상기 몰드(10)의 상기 홈부(11, 13)들에 대응되는 미세섬모(113)들이 형성된다.
상기 제1 홈(11)들에 대응되는 부분은 상기 베이스 기재(111) 상면으로부터 돌출되는 기둥부(113)로 형성되고, 상기 제2 홈(13)들에 대응되는 부분은 상기 기둥부(113)의 선단으로부터 연장되는 접착부(113b)로 형성된다.
즉, 상기 초박막 건식접착 필름은 상기 미세섬모 구조부(110)와 상기 수지 필름(130`)이 접합되어 형성되는 것이며, 보다 구체적으로는 상기 수지 필름(130`)의 일 면이 상기 미세섬모 구조부(110)의 상기 베이스 기재(111)의 타면에 가교제, 즉 아미노실란(Aminosilane)기의 결합력에 의하여 밀착 접합되는 것이다.
상기 접착부(113b)의 상면은 접착 대상물의 표면과 밀착하여 접착된다. 상기 접착부(113b)가 상기 접착 대상물의 표면에 밀착될 때, 상기 접착부(113b)의 상면과 상기 접착 대상물의 표면 사이에 공기가 제거되면서 상기 접착부(113b)가 상기 접착 대상물의 표면에 접착되는 것이다. 이러한 접착 방식을 건식접착이라 하며, 건식접착은 화학용제를 이용하는 습식접착에 비해 상기 접착 대상물의 표면의 손상을 방지할 수 있다.
특히, 본 발명의 실시예와 같은 제조방법을 이용하면 마이크로 두께의 초박막 건식접착 필름을 제조할 수 있으며, 초박막으로 형성되기 때문에 유연성이 향상된다. 이렇게 제조된 상기 초박막 건식접착 필름은 인체의 피부, 마이크로 스케일의 미세 부품에 접착이 가능하며, 특히 유연성이 좋기 때문에 굴곡진 표면에도 강력하게 접착될 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 초박막 건식접착 필름의 제조방법은, 베이스 기재(111)와, 상기 베이스 기재(111)의 일면으로부터 돌출되는 기둥부(113a)들 및 상기 기둥부(113a)들로부터 각각 연장되는 접착부(113b)들을 포함하는 미세섬모 구조부(110)를 준비하는 단계와, 상기 베이스 기재(111)의 타면과 제2 수지필름(130)의 일면을 각각 가교시키는 단계와, 상기 베이스 기재(111)의 타면과 상기 제2 수지필름(130)의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접하는 단계를 포함한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 초박막 건식접착 필름의 제조방법은, 베이스 기재(111)와, 상기 베이스 기재(111)의 일면으로부터 돌출되는 기둥부(113a)들 및 상기 기둥부(113a)들로부터 각각 연장되는 접착부(113b)들을 포함하는 미세섬모 구조부(110)를 준비하는 단계 및 상기 베이스 기재(111)의 타면과 상기 제2 수지필름(130)의 일면에 각각 아미노실란(Aminosilane)기를 형성하는 단계 및 상기 베이스 기재(111)의 타면과 상기 제2 수지필름(130)의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합하는 단계를 포함한다.
즉, 본 실시예에서는 상기 합성수지(110a)에서 상기 몰드(10)를 먼저 제거하여 상기 미세섬모 구조부(110)를 준비하는 것이다. 상기 미세섬모 구조부(110)를 제작하는 과정은 전술한 실시예와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다. 다만, 상기 제2 수지필름(130)은 두께가 마이크로 사이즈로 매우 얇아 다루기가 어렵기 때문에 상기 제1 수지필름(20)에 고정시켜 다룬다.
상기 미세섬모 구조부(110)와 상기 제2 수지필름(130)은 각각 가교시켜 아미노실란(Aminosilane)기를 형성한 후, 접합시킨다. 본 실시예에서도 상기 미세섬모 구조부(110)와 상기 제2 수지필름(130)을 가교시키기 전 표면 처리하는 과정이 이루어지며, 표면 처리하는 과정은 전술한 실시예와 동일하게 이루어지므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
상기 미세섬모 구조부(110)와 상기 제2 수지필름(130)을 접합시키면, 상기 제2 수지필름(130)에서 상기 제1 수지필름(20)을 제거하여 초박막 건식접착 필름의 제작이 완료된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 웨이퍼 10: 몰드
11: 제1 홈 13: 제2 홈
20: 제1 수지필름 30: 가교제
110a: 합성수지 130: 제2 수지필름
110: 미세섬모 구조부 111: 베이스 기재
113: 미세섬모 113a: 기둥부
113b: 접착부

Claims (19)

  1. 웨이퍼 상에 복수 개의 미세섬모들에 대응되는 홈부들이 형성된 몰드를 배치하고 액상의 합성수지를 도포하여 경화시키는 단계;
    제1 수지필름 상에 제2 수지필름을 배치 후 고정시키는 단계;
    경화된 상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 표면 처리하는 단계;
    상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 각각 가교시키는 단계;
    상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합하는 단계; 및
    상기 웨이퍼 및 상기 몰드, 상기 제1 수지필름을 제거하는 단계를 포함하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  2. 베이스 기재, 상기 베이스 기재의 일면으로부터 돌출되는 기둥부들 및 상기 기둥부들로부터 각각 연장되는 접착부들을 포함하는 미세섬모 구조부를 준비하는 단계;
    상기 베이스 기재의 타면과 제2 수지필름의 일면을 각각 가교시키는 단계; 및
    상기 베이스 기재의 타면과 상기 제2 수지필름의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합하는 단계를 포함하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 가교시키는 단계에서는,
    상기 합성수지의 일면과 상기 제2 수지필름의 일면이 가교제에 의해 아미노실란(Aminosilane)기를 형성하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 가교시키는 단계에서는,
    상기 베이스 기재의 타면과 상기 제2 수지필름의 일면이 가교제에 의해 아미노실란(Aminosilane)기를 형성하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  5. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
    상기 가교제는 트리에톡시실란(APTES;(3-Aminopropyl)triethoxysilane)을 포함하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 표면 처리하는 단계에서는,
    상기 합성수지 및 상기 제2 수지필름에 플라즈마를 조사하며,
    상기 플라즈마는 산소 플라즈마인 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 가교시키는 단계 이전,
    상기 베이스 기재의 타면과 상기 제2 수지필름의 일면을 표면 처리하는 단계가 이루어지며,
    상기 표면 처리하는 단계에서는,
    상기 베이스 기재의 타면 및 상기 제2 수지필름의 일면에 플라즈마를 조사하며,
    상기 플라즈마는 산소 플라즈마인 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 합성수지를 도포하여 경화시키는 단계 이전,
    상기 몰드를 제작하는 단계가 이루어지며, 상기 몰드는 고분자 재료를 이용하여 포토리소그래피 공정에 의해 제작되는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 합성수지를 도포하여 경화시키는 단계에서는,
    상기 합성수지를 스핀 코팅으로 도포하며, 상기 합성수지가 도포되는 두께는 상기 스핀 코팅의 분당 회전수(rpm)에 의해 조절되는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 합성수지는 폴리디메틸실록산(PDMS; Polydimethylsiloxane)을 포함하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 수지필름을 배치 후 고정시키는 단계에서는,
    상기 제1 수지필름의 두께가 상기 제2 수지필름의 두께보다 더 두껍게 형성되는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 제2 수지필름의 두께는 1 내지 2 ㎛ 인 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  13. 청구항 11에 있어서,
    상기 제1 수지필름의 두께는 10 내지 100 ㎛ 인 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  14. 청구항 1에 있어서,
    상기 몰드는,
    하면이 상기 웨이퍼와 밀착되는 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트의 상면으로부터 상기 하면을 향해 오목하여 설정 간격 이격되어 복수 개 형성되는 제1 홈들; 및
    상기 제1 홈들의 선단으로부터 상기 하면을 향해 오목하되, 횡단면이 상기 제1 홈의 횡단면보다 더 크게 형성되는 제2 홈들을 포함하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 합성수지를 도포하여 경화시키는 단계에서는,
    상기 합성수지가 상기 제1 홈들 및 상기 제2 홈들에 채워지며, 상기 몰드의 상면으로부터 설정 높이 도포되어 경화되는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 제거하는 단계에서는,
    상기 합성수지로부터 상기 몰드를 제거하면,
    상기 몰드의 상면으로부터 설정 높이 도포된 부분과 대응되는 베이스 기재;
    상기 제1 홈들에 대응되며, 상기 베이스 기재로부터 돌출되는 기둥부들; 및
    상기 제2 홈들에 대응되며, 상기 기둥부로부터 돌출되는 접착부들을 포함하는 미세섬모 구조부가 형성되는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  17. 베이스 기재, 상기 베이스 기재의 일면으로부터 돌출되는 기둥부들 및 상기 기둥부들로부터 각각 연장되는 접착부들을 포함하는 미세섬모 구조부를 준비하는 단계;
    상기 베이스 기재의 타면과 제2 수지필름의 일면에 각각 아미노실란(Aminosilane)기를 형성하는 단계; 및
    상기 베이스 기재의 타면과 상기 제2 수지필름의 일면을 상호 마주하여 밀착시켜 접합하는 단계를 포함하는 초박막 건식접착 필름의 제조방법.
  18. 베이스 기재, 상기 베이스 기재의 일면으로부터 돌출되는 기둥부들 및 상기 기둥부들로부터 각각 연장되는 접착부들을 포함하는 미세섬모 구조부; 및
    일 면이 상기 베이스 기재의 타면에 가교제에 의하여 밀착 접합되어 있는 수지 필름을 포함하는 초박막 건식접착 필름.
  19. 베이스 기재, 상기 베이스 기재의 일면으로부터 돌출되는 기둥부들 및 상기 기둥부들로부터 각각 연장되는 접착부들을 포함하는 미세섬모 구조부; 및
    일 면이 상기 베이스 기재의 타면에 아미노살린기의 결합력에 의하여 밀착 접합되어 있는 수지 필름을 포함하는 초박막 건식접착 필름.



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