KR20180080490A - Method for controlling vacuum gate valve - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a method of controlling a vacuum gate valve, which includes the steps of: closing a disc by opening a protection ring in a state of opening the vacuum gate valve; closing the vacuum gate valve by closing the protection ring; controlling an operation of a slow pump to regulate vacuum pressure at upstream and downstream of the vacuum gate valve; opening the disc by opening the protection ring in a state closing the vacuum gate valve; and opening the vacuum gate valve by closing the protection ring. Thus, according to the present invention, the opening and closing times of the pump are controlled differently from each other by separating the operation of the slow pump into four steps, so that a malfunction of the slow pump is prevented and damage to the slow pump is prevented.

Description

진공 게이트밸브의 제어방법{METHOD FOR CONTROLLING VACUUM GATE VALVE}METHOD FOR CONTROLLING VACUUM GATE VALVE BACKGROUND OF THE INVENTION [0001]

본 발명은 진공 게이트밸브의 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 게이트밸브의 개폐 동작이 원활하도록 제어하는 진공 게이트밸브의 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a control method of a vacuum gate valve, and more particularly, to a control method of a vacuum gate valve that controls smooth opening and closing operations of a gate valve provided between a vacuum chamber and a vacuum pump.

일반적으로 LCD(liquid crystal display) 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정이나 패럴린 코팅과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업을 할 때에는 작업이 이루어지는 챔버의 내부의 공기를 제거하여 진공 환경을 형성한다. 이 경우, 적절한 진공도를 설정 및 유지하는 것이 중요한 데, 이 때 반드시 필요한 것이 진공 게이트밸브이다.Generally, when an operation such as a liquid crystal display (LCD) substrate or a semiconductor wafer is performed such as an etching process, a deposition process, a sputtering process, or a special coating process requiring a vacuum state such as a parallax coating process, To form a vacuum environment. In this case, it is important to set and maintain an appropriate degree of vacuum. What is absolutely necessary at this time is a vacuum gate valve.

진공 게이트밸브는 챔버와 펌프를 연결하는 통로에 위치하여 통로를 개폐함으로써 진공상태를 유지 또는 해제하는 역할을 한다. 이러한 진공 게이트밸브는 통상 하나의 구동판과 하나의 기밀판의 작동에 의해 챔버쪽으로 연결되는 통로를 밀폐시킴으로써 챔버의 기밀성을 유지하게 된다.The vacuum gate valve is located in the passage connecting the chamber and the pump and serves to maintain or release the vacuum state by opening and closing the passage. Such a vacuum gate valve normally keeps the airtightness of the chamber by sealing the passage connected to the chamber by the operation of one driving plate and one airtight plate.

따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다. 따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있다.Therefore, the sealing technique between the vacuum working area of the semiconductor manufacturing apparatus and the atmosphere also greatly affects the quality of the semiconductor product. Therefore, since a vacuum valve which is installed between the chamber in which the semiconductor device is integrated and the vacuum pump that sucks air in the chamber and which opens and closes the suction force of the vacuum pump to the chamber plays an important role, Is also becoming an important problem.

또한, 이러한 게이트밸브에는 게이트밸브의 개방시 진공압에 의한 압력차를 점차적으로 감소시키는 슬로우 펌프가 설치되고 있으나, 슬로우 펌프를 소정시간 동안 지속적으로 개방하는 경우에는 슬로우 펌프가 손상되거나 압력차의 감속가 불규칙하게 감소되어 게이트밸브에 충격이나 진동에 의해 밸브가 손상되거나 오동작하게 되는 문제점이 있었다.When the slow pump is continuously opened for a predetermined period of time, the slow pump is damaged or the deceleration rate of the pressure difference is increased. There is a problem that the gate valve is damaged or malfunctioned due to shock or vibration to the gate valve.

대한민국 등록특허 제10-0456173호 (2004년 11월 09일)Korean Patent No. 10-0456173 (November 09, 2004) 대한민국 공개특허 제10-2011-0098209호 (2011년 09월 01일)Korean Patent Publication No. 10-2011-0098209 (September 01, 2011) 대한민국 등록실용 제20-0267582호 (2002년 03월 09일)Korean Registration Practice No. 20-0267582 (Mar. 09, 2002)

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 게이트밸브의 개방시 압력차에 의한 손상을 미리 방지하는 동시에 게이트밸브의 동작불량을 감소시킬 수 있는 진공 게이트밸브의 제어방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a control method of a vacuum gate valve capable of preventing damage due to a pressure difference at the time of opening of a gate valve and reducing operation failure of a gate valve The purpose of that is to do.

또한, 본 발명은 슬로우 펌프의 오동작을 예방하는 동시에 슬로우 펌프의 손상을 방지할 수 있는 진공 게이트밸브의 제어방법을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. It is another object of the present invention to provide a control method of a vacuum gate valve that prevents malfunction of a slow pump and prevents damage to a slow pump.

또한, 본 발명은 진공압에 의한 압력차가 불규칙하지 않고서 자연스럽게 감소될 수 있는 진공 게이트밸브의 제어방법을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. It is still another object of the present invention to provide a control method of a vacuum gate valve in which the pressure difference due to the vacuum pressure can be reduced naturally without being irregular.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 진공 케이트밸브의 개방상태에서 프로텍션링을 개방하여 디스크를 폐쇄하는 단계; 상기 프로텍션링을 폐쇄하여 진공 게이트밸브를 폐쇄하는 단계; 진공 게이트밸브의 상류와 하류의 진공압을 조절하도록 슬로우 펌프의 동작을 제어하는 단계; 진공 케이트밸브의 폐쇄상태에서 프로텍션링을 개방하여 디스크를 개방하는 단계; 및 상기 프로텍션링을 폐쇄하여 진공 게이트밸브를 개방하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a vacuum cleaner, comprising: closing a disk by opening a protection ring in an open state of a vacuum kate valve; Closing the protection ring to close the vacuum gate valve; Controlling the operation of the slow pump to regulate the vacuum pressure upstream and downstream of the vacuum gate valve; Opening the protection ring to open the disk in the closed state of the vacuum kate valve; And closing the protection ring to open the vacuum gate valve.

본 발명의 상기 슬로우 펌프의 동작을 제어하는 단계는, 상기 슬로우 펌프의 개방시간을 폐쇄시간 보다 짧게 복수회 반복적으로 개폐하는 제1 단계; 상기 슬로우 펌프의 개방시간을 상기 제1 단계의 개방시간 보다 길게하되 폐쇄시간 보다 짧게 복수회 반복적으로 개폐하는 제2 단계; 상기 슬로우 펌프의 개방시간을 폐쇄시간 보다 짧게 복수회 반복적으로 개폐하는 제3 단계; 및 상기 슬로우 펌프의 개방을 소정시간 유지하는 제4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The controlling of the operation of the slow pump of the present invention may include a first step of repeatedly opening and closing the opening time of the slow pump a plurality of times shorter than a closing time; A second step of repeatedly opening and closing the opening time of the slow pump a plurality of times shorter than the closing time while making the opening time of the slow pump longer than the opening time of the first step; A third step of repeatedly opening and closing the opening time of the slow pump a plurality of times shorter than the closing time; And a fourth step of maintaining the opening of the slow pump for a predetermined period of time.

본 발명의 상기 제1 단계는, 상기 개방시간을 0.1∼0.5초 동안 유지하고, 상기 폐쇄시간을 2∼4초 동안 유지하여 개폐동작을 300∼400회 반복하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 상기 제2 단계는, 상기 개방시간을 0.5∼1.5초 동안 유지하고, 상기 폐쇄시간을 2∼4초 동안 유지하여 개폐동작을 50∼150회 반복하는 것을 특징으로 한다.The first step of the present invention is characterized in that the opening time is maintained for 0.1 to 0.5 seconds and the closing time is maintained for 2 to 4 seconds so that the opening and closing operations are repeated 300 to 400 times. The second step of the present invention is characterized in that the opening time is maintained for 0.5 to 1.5 seconds and the closing time is maintained for 2 to 4 seconds so that the opening and closing operation is repeated 50 to 150 times.

본 발명의 상기 제3 단계는, 상기 개방시간을 3∼8초 동안 유지하고, 상기 폐쇄시간을 0.5∼1.5초 동안 유지하여 개폐동작을 10∼20회 반복하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 상기 제4 단계는, 상기 개방시간을 5∼8초 동안 유지하는 것을 특징으로 한다.The third step of the present invention is characterized in that the opening time is maintained for 3 to 8 seconds and the closing time is maintained for 0.5 to 1.5 seconds so that the opening and closing operation is repeated 10 to 20 times. The fourth step of the present invention is characterized in that the opening time is maintained for 5 to 8 seconds.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 게이트밸브의 개방전에 슬로우 펌프에 의해 진공압에 의한 압력차를 점차적으로 감소시킴으로써, 게이트밸브의 개방시 압력차에 의한 손상을 미리 방지하는 동시에 게이트밸브의 동작불량을 감소시킬 수 있는 효과를 제공한다.As described above, according to the present invention, since the pressure difference due to the vacuum pressure is gradually reduced by the slow pump before opening the gate valve, damage due to the pressure difference at the time of opening the gate valve is prevented in advance, Can be reduced.

또한, 슬로우 펌프의 동작을 4단계로 분리하여 펌프의 개방시간과 폐쇄시간을 서로 다르게 제어함으로써, 슬로우 펌프의 오동작을 예방하는 동시에 슬로우 펌프의 손상을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.Also, the operation of the slow pump is separated into four steps, and the opening time and the closing time of the pump are controlled differently, thereby preventing malfunction of the slow pump and preventing damage to the slow pump.

또한, 제1 단계에서 제4 단계로 갈수로 개방시간을 점차적으로 증가시키고 폐쇄시간을 점차적으로 감소시키면서 개폐동작의 반복횟수를 점차적으로 감소시킴으로써, 진공압에 의한 압력차가 불규칙하지 않고서 자연스럽게 감소될 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by gradually increasing the opening time from the first step to the fourth step and gradually decreasing the closing time, the pressure difference due to the vacuum pressure can be reduced naturally without being irregular Provides an effect.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 제어방법을 나타내는 흐름도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브를 나타내는 구성도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 슬로우 펌프를 나타내는 구성도.1 is a flow chart illustrating a method of controlling a vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a view showing a vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention; FIG.
3 is a view showing a slow pump of a vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention;

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 더욱 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 제어방법을 나타내는 흐름도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브를 나타내는 구성도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 슬로우 펌프를 나타내는 구성도이다.FIG. 1 is a flowchart illustrating a method of controlling a vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view illustrating a vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention. Fig. 7 is a diagram showing a slow pump of a vacuum gate valve according to an example.

도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의한 진공 게이트밸브의 제어방법은, 게이트밸브 개방상태단계(S10), 프로텍션링 개방단계(S20), 디스크 폐쇄단계(S30), 프로텍션링 폐쇄단계(S40), 게이트밸브 폐쇄상태단계(S50), 슬로우 펌프 동작단계(S60), 프로텍션링 개방단계(S70), 디스크 개방단계(S80), 프로텍션링 폐쇄단계(S90), 게이트밸브 개방상태단계(S100)를 포함하여 이루어져 진공 게이트밸브의 개폐동작을 제어하게 된다.As shown in Figs. 1 to 3, the control method of the vacuum gate valve according to the present embodiment includes a gate valve opening state step S10, a protection ring opening step S20, a disk closing step S30, (Step S40), a gate valve closing state step S50, a slow pump operation step S60, a protection ring opening step S70, a disk opening step S80, a protection ring closing step S90, (S100) to control the opening and closing operation of the vacuum gate valve.

본 실시예의 진공 게이트밸브는, 도 2에 나타낸 바와 같이 디스크가 연결통로를 개폐하도록 설치되는 하체부(10), 디스크에 구동력을 제공하는 구동수단이 설치되는 상체부(20)와, 연결통로의 하부에 설치되는 하부플랜지(30)와, 연결통로의 상부에 설치되는 상부플랜지(40)와, 디스크의 개방 전에 하부플랜지(30) 및 상부플랜지(40)를 일시적으로 연통시켜 압력차를 조절하는 슬로우 펌프(50)를 포함하여 이루어져 있다.As shown in Fig. 2, the vacuum gate valve of this embodiment includes a lower body 10 provided with a disk so as to open and close a connection passage, an upper body 20 provided with a driving means for providing driving force to the disk, A lower flange 30 provided at the lower portion of the upper flange 30 and an upper flange 40 provided at the upper portion of the connecting passage and a lower flange 30 and an upper flange 40 before the disk is opened, And a slow pump (50).

또한, 본 실시예의 진공 게이트밸브의 슬로우 펌프(50)는, 도 3에 나타낸 바와 같이 진공압을 점차적으로 제거하도록 에어가 유출입되는 하단홀(51a) 및 상단홀(51b)을 구비한 하부체(51), 이 하부체(51)의 상부에 결합되며 내부에 슬라이딩 공간이 형성된 상부체(52), 이 상체부(52)의 내부 상단에 설치된 탄지편(53), 이 탄지편(53)에 의해 하방으로 탄지되어 하단홀(51a)과 상단홀(51b) 사이의 연통을 개폐하도록 상하방향으로 슬라이딩 이동하는 개폐편(54), 이 개폐편(54)의 상부에 설치된 상부오링(55)과, 개폐편(54)의 하부에 설치된 하부오링(56)으로 이루어져 있다.3, the slow pump 50 of the vacuum gate valve of the present embodiment has a lower hole 51a and an upper hole 51b, through which air flows in and out so as to gradually remove the vacuum pressure, 51, an upper body 52 coupled to an upper portion of the lower body 51 and having a sliding space formed therein, a tongue piece 53 provided at an upper end of the upper body 52, An opening / closing piece 54 slidably moved downward to open / close the communication between the lower end hole 51a and the upper hole 51b, an upper O-ring 55 provided on the upper portion of the opening / closing piece 54, And a lower O-ring 56 provided at the lower portion of the opening / closing piece 54. [

게이트밸브 개방상태단계(S10)는, 게이트밸브의 하체부(10)에서 디스크가 개방되어 연결통로를 개방시켜 게이트밸브가 개방상태로 유지되는 단계로서, 게이트밸브의 하부플랜지(30)와 상부플랜지(40) 사이를 연통시키게 된다.The gate valve open state step S10 is a step in which the disc is opened at the lower body portion 10 of the gate valve to open the connection passage to thereby maintain the gate valve in an open state and the lower flange 30 and the upper flange 30 of the gate valve, (40).

프로텍션링 개방단계(S20)는, 하부플랜지(30)와 상부플랜지(40) 사이에 디스크를 압착하도록 승강하게 설치된 프로텍션링을 실린더와 같은 압착구동수단에 의해 개방상태로 이동시키게 된다.The protection ring opening step S20 moves the protection ring, which has been raised and lowered to press the disk between the lower flange 30 and the upper flange 40, to the open state by a crimping drive means such as a cylinder.

디스크 폐쇄단계(S30)는, 하체부(10)의 연결통로에 디스크의 전후진 구동수단에 의해 디스크가 슬라이딩 삽입되어 하부플랜지(30)와 상부플랜지(40) 사이의 연결통로를 폐쇄하게 된다.In the disk closing step S30, the disk is slidably inserted into the connecting passage of the lower body part 10 by the forward and backward driving means of the disk to close the connecting path between the lower flange 30 and the upper flange 40. [

프로텍션링 폐쇄단계(S40)는, 하체부(10)의 연결통로에 디스크가 슬라이딩되어 삽입된 상태에서 프로텍션링을 실린더와 같은 압착구동수단에 의해 폐쇄상태로 이동시키게 된다.In the protection ring closing step S40, the protection ring is moved to the closed state by the compression driving means such as a cylinder in a state in which the disk is slid into the connection passage of the lower body 10.

게이트밸브 폐쇄상태단계(S50)는, 하체부(10)의 연결통로에 디스크가 슬라이딩되어 삽입된 상태에서 프로텍션링에 의해 폐쇄되도록 가압되므로 게이트밸브가 폐쇄상태로 유지된다.The gate valve closed state step S50 is performed so that the gate valve is closed so that the gate valve is closed by the protection ring in a state where the disk is slidably inserted into the connection passage of the lower body 10.

슬로우 펌프 동작단계(S60)는, 게이트밸브의 개방 전에 하부플랜지(30)의 하류와 상부플랜지(40)의 상류를 일시적으로 또는 순간적으로 연통시켜 이들 사이의 진공압의 차이를 점차적으로 감소시키도록 조절하게 된다.The operation of the slow pump operation S60 is performed so as to temporarily or momentarily communicate the downstream of the lower flange 30 and the upstream flange 40 before opening the gate valve so as to gradually reduce the difference in vacuum pressure therebetween .

이러한 슬로우 펌프 동작단계(S60)는, 슬로우 펌프의 개방시간과 폐쇄시간을 제1 단계(S61), 제2 단계(S62), 제3 단계(S63) 및 제4 단계(S64)와 같이 4개의 구간으로 구별해서 동작시킴으로써, 진공압의 차이를 서서히 감소시킬 수 있게 된다.The operation of the slow pump S60 may include opening and closing times of the slow pump in four stages as shown in the first stage S61, the second stage S62, the third stage S63 and the fourth stage S64 The difference in the vacuum pressure can be gradually reduced.

제1 단계(S61)는, 슬로우 펌프의 개방시간을 폐쇄시간 보다 짧게 복수회 반복적으로 개폐하는 단계로서, 슬로우 펌프의 개방시간을 0.1∼0.5초 동안 유지하고, 슬로우 펌프의 폐쇄시간을 2∼4초 동안 유지하며, 이러한 슬로우 펌프의 개폐동작을 300∼400회 반복하는 것이 바람직하다. The first step S61 is a step of repeatedly opening and closing the opening time of the slow pump a plurality of times shorter than the closing time. The opening time of the slow pump is maintained for 0.1 to 0.5 seconds, the closing time of the slow pump is changed to 2 to 4 Sec, and it is preferable that the opening and closing operation of the slow pump is repeated 300 to 400 times.

더욱이, 제1 단계(S61)에서는 슬로우 펌프의 개방시간을 0.1초 동안 유지하고, 슬로우 펌프의 폐쇄시간을 2초 동안 유지하며, 이러한 슬로우 펌프의 개폐동작을 340회 반복하는 것이 진공압의 압력차의 감소를 최적화하므로 더욱 바람직하게 된다.Further, in the first step S61, the opening time of the slow pump is maintained for 0.1 second, the closing time of the slow pump is maintained for 2 seconds, and the opening and closing operations of the slow pump are repeated 340 times, And thus it becomes more preferable.

제2 단계(S62)는, 슬로우 펌프의 개방시간을 제1 단계(S61)의 개방시간 보다 길게하되 폐쇄시간 보다 짧게 복수회 반복적으로 개폐하는 단계로서, 슬로우 펌프의 개방시간을 0.5∼1.5초 동안 유지하고, 슬로우 펌프의 폐쇄시간을 2∼4초 동안 유지하며, 이러한 슬로우 펌프의 개폐동작을 50∼150회 반복하는 것이 바람직하다.The second step S62 is a step of repeatedly opening and closing the slow pump by a plurality of times shorter than the closing time while making the opening time of the slow pump longer than the opening time of the first step S61, The closing time of the slow pump is maintained for 2 to 4 seconds, and the opening and closing operation of the slow pump is repeated 50 to 150 times.

더욱이, 제2 단계(S62)에서는 슬로우 펌프의 개방시간을 1초 동안 유지하고, 슬로우 펌프의 폐쇄시간을 2초 동안 유지하며, 이러한 슬로우 펌프의 개폐동작을 80회 반복하는 것이 진공압의 압력차의 감소를 최적화하므로 더욱 바람직하게 된다.Further, in the second step S62, the opening time of the slow pump is maintained for 1 second, the closing time of the slow pump is maintained for 2 seconds, and the repeated opening and closing operation of the slow pump is repeated 80 times, And thus it becomes more preferable.

제3 단계(S63)는, 슬로우 펌프의 개방시간을 폐쇄시간 보다 짧게 복수회 반복적으로 개폐하는 단계로서, 슬로우 펌프의 개방시간을 3∼8초 동안 유지하고, 슬로우 펌프의 폐쇄시간을 0.5∼1.5초 동안 유지하며, 슬로우 펌프의 개폐동작을 10∼20회 반복하는 것이 바람직하다.The third step S63 is a step of repeatedly opening and closing the opening time of the slow pump a plurality of times shorter than the closing time. The opening time of the slow pump is maintained for 3 to 8 seconds, and the closing time of the slow pump is changed from 0.5 to 1.5 Sec, and the opening and closing operation of the slow pump is preferably repeated 10 to 20 times.

더욱이, 제3 단계(S63)에서는 슬로우 펌프의 개방시간을 5초 동안 유지하고, 슬로우 펌프의 폐쇄시간을 1초 동안 유지하며, 이러한 슬로우 펌프의 개폐동작을 10회 반복하는 것이 진공압의 압력차의 감소를 최적화하므로 더욱 바람직하게 된다.Further, in the third step S63, the opening time of the slow pump is maintained for 5 seconds, the closing time of the slow pump is maintained for 1 second, and repeating this opening and closing operation of the slow pump 10 times is the pressure difference of the vacuum pressure And thus it becomes more preferable.

제4 단계(S64)는, 슬로우 펌프의 개방을 소정시간 유지하는 단계로서, 슬로우 펌프의 개방시간을 5∼8초 동안 유지하는 것이 바람직하다. 더욱이, 제4 단계(S64)에서는 슬로우 펌프의 개방시간을 6초 동안 유지하는 것이 진공압의 압력차의 감소를 최적화하므로 더욱 바람직하게 된다.The fourth step (S64) is a step of maintaining the opening of the slow pump for a predetermined time, and preferably the opening time of the slow pump is maintained for 5 to 8 seconds. Further, in the fourth step S64, it is more preferable to maintain the open time of the slow pump for 6 seconds, since the reduction of the pressure difference of the vacuum pressure is optimized.

프로텍션링 개방단계(S70)는, 하부플랜지(30)와 상부플랜지(40) 사이에 디스크를 압착하도록 승강하게 설치된 프로텍션링을 실린더와 같은 압착구동수단에 의해 폐쇄상태에서 개방상태로 이동시키게 된다.In the protection ring opening step S70, the protection ring installed to ascend and descend to press the disk between the lower flange 30 and the upper flange 40 is moved from the closed state to the open state by the crimping drive means such as a cylinder.

디스크 개방단계(S80)는, 하체부(10)의 연결통로를 디스크에 의해 폐쇄한 상태에서 디스크를 전후진 구동수단에 의해 후방으로 슬라이딩 이동시켜 디스크를 개방하게 된다.In the disk opening step S80, the disk is slid rearward by the forward and backward driving means in a state where the connecting passage of the lower body 10 is closed by the disk, and the disk is opened.

프로텍션링 폐쇄단계(S90)는, 디스크 개방단계(S80)에서 하체부(10)의 연결통로를 디스크에 의해 개방한 상태에서 프로텍션링을 실린더와 같은 압착구동수단에 의해 폐쇄상태로 이동시키게 된다.In the protection ring closing step S90, the protection ring is moved to the closed state by a compression drive means such as a cylinder in a state where the connection passage of the lower body 10 is opened by the disc in the disc releasing step S80.

게이트밸브 개방상태단계(S100)는, 디스크 개방단계(S80)에서 게이트밸브의 하체부(10)에서 디스크가 개방되어 연결통로를 개방시키게 되고 프로텍션링 폐쇄단계(S90)에서 프로텍션링을 폐쇄상태로 이동시켜 게이트밸브가 개방상태로 유지함으로써, 게이트밸브의 하부플랜지(30)와 상부플랜지(40) 사이의 연결통로를 개방상태로 연통시키게 된다.The gate valve open state step S100 is a step in which the disc is opened at the lower body part 10 of the gate valve in the disc opening step S80 to open the connection path and the protection ring is closed in the protection ring closing step S90 And the gate valve is kept in the open state, so that the connection passage between the lower flange 30 of the gate valve and the upper flange 40 is opened.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 게이트밸브의 개방전에 슬로우 펌프에 의해 진공압에 의한 압력차를 점차적으로 감소시킴으로써, 게이트밸브의 개방시 압력차에 의한 손상을 미리 방지하는 동시에 게이트밸브의 동작불량을 감소시킬 수 있는 효과를 제공한다.As described above, according to the present invention, by gradually decreasing the pressure difference due to the vacuum pressure by the slow pump before opening the gate valve, damage due to the pressure difference at the time of opening of the gate valve is prevented in advance, Can be reduced.

또한, 슬로우 펌프의 동작을 4단계로 분리하여 펌프의 개방시간과 폐쇄시간을 서로 다르게 제어함으로써, 슬로우 펌프의 오동작을 예방하는 동시에 슬로우 펌프의 손상을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.Also, the operation of the slow pump is separated into four steps, and the opening time and the closing time of the pump are controlled differently, thereby preventing malfunction of the slow pump and preventing damage to the slow pump.

또한, 제1 단계에서 제4 단계로 갈수로 개방시간을 점차적으로 증가시키고 폐쇄시간을 점차적으로 감소시키면서 개폐동작의 반복횟수를 점차적으로 감소시킴으로써, 진공압에 의한 압력차가 불규칙하지 않고서 자연스럽게 감소될 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by gradually increasing the opening time from the first step to the fourth step and gradually decreasing the closing time, the pressure difference due to the vacuum pressure can be reduced naturally without being irregular Provides an effect.

이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다. The present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. Therefore, the above embodiments are merely illustrative in all respects and should not be construed as limiting.

10: 하체부 20: 상체부
30: 하부플랜지 40: 상부플랜지
50: 슬로우 펌프10: lower body part 20: upper body part
30: Lower flange 40: Upper flange
50: Slow pump

Claims (6)

진공 케이트밸브의 개방상태에서 프로텍션링을 개방하고 디스크를 폐쇄하는 단계;
상기 프로텍션링을 폐쇄하여 진공 게이트밸브를 폐쇄하는 단계;
진공 게이트밸브의 상류와 하류의 진공압을 조절하도록 슬로우 펌프의 동작을 제어하는 단계;
진공 케이트밸브의 폐쇄상태에서 프로텍션링을 개방하여 디스크를 개방하는 단계; 및
상기 프로텍션링을 폐쇄하여 진공 게이트밸브를 개방하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브의 제어방법.Opening the protection ring and closing the disk in the open state of the vacuum kate valve;
Closing the protection ring to close the vacuum gate valve;
Controlling the operation of the slow pump to regulate the vacuum pressure upstream and downstream of the vacuum gate valve;
Opening the protection ring to open the disk in the closed state of the vacuum kate valve; And
And closing the protection ring to open the vacuum gate valve. 제 1 항에 있어서,
상기 슬로우 펌프의 동작을 제어하는 단계는,
상기 슬로우 펌프의 개방시간을 폐쇄시간 보다 짧게 복수회 반복적으로 개폐하는 제1 단계;
상기 슬로우 펌프의 개방시간을 상기 제1 단계의 개방시간 보다 길게하되 폐쇄시간 보다 짧게 복수회 반복적으로 개폐하는 제2 단계;
상기 슬로우 펌프의 개방시간을 폐쇄시간 보다 짧게 복수회 반복적으로 개폐하는 제3 단계; 및
상기 슬로우 펌프의 개방을 소정시간 유지하는 제4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브의 제어방법.The method according to claim 1,
Wherein controlling the operation of the slow pump comprises:
A first step of repeatedly opening and closing the opening time of the slow pump a plurality of times shorter than a closing time;
A second step of repeatedly opening and closing the opening time of the slow pump a plurality of times shorter than the closing time while making the opening time of the slow pump longer than the opening time of the first step;
A third step of repeatedly opening and closing the opening time of the slow pump a plurality of times shorter than the closing time; And
And a fourth step of maintaining the opening of the slow pump for a predetermined period of time. 제 2 항에 있어서,
상기 제1 단계는, 상기 개방시간을 0.1∼0.5초 동안 유지하고, 상기 폐쇄시간을 2∼4초 동안 유지하여 개폐동작을 300∼400회 반복하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브의 제어방법.3. The method of claim 2,
Wherein the opening and closing operations are repeated 300 to 400 times by maintaining the opening time for 0.1 to 0.5 seconds and the closing time for 2 to 4 seconds. 제 2 항에 있어서,
상기 제2 단계는, 상기 개방시간을 0.5∼1.5초 동안 유지하고, 상기 폐쇄시간을 2∼4초 동안 유지하여 개폐동작을 50∼150회 반복하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브의 제어방법.3. The method of claim 2,
Wherein the opening and closing operations are repeated 50 to 150 times while the opening time is maintained for 0.5 to 1.5 seconds and the closing time is maintained for 2 to 4 seconds. 제 2 항에 있어서,
상기 제3 단계는, 상기 개방시간을 3∼8초 동안 유지하고, 상기 폐쇄시간을 0.5∼1.5초 동안 유지하여 개폐동작을 10∼20회 반복하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브의 제어방법.3. The method of claim 2,
Wherein the third step repeats the opening and closing operations 10 to 20 times by maintaining the opening time for 3 to 8 seconds and the closing time for 0.5 to 1.5 seconds. 제 2 항에 있어서,
상기 제4 단계는, 상기 개방시간을 5∼8초 동안 유지하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트밸브의 제어방법.3. The method of claim 2,
Wherein the fourth step is to maintain the opening time for 5 to 8 seconds.
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