KR20180080455A - Laser processing apparatus - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a processing apparatus using laser beams. According to the present invention, the processing apparatus using laser beams comprises: a laser generator for generating laser beams; a focusing unit which is located between the laser generator and a target to focus beams emitted from the laser generator toward a target side, and includes a lens unit through which the beams passes, a frame which surrounds the lens unit, and a vibrator which is located between the lens unit and the frame to apply vibration to the lens unit; and a slip unit which has one side which is connected to the frame to be able to slip and the other side which accommodates the vibrator so that the lens unit smoothly moves on an XY plane by vibration applied by the vibrator.

Description

레이저 빔을 이용한 가공 장치{Laser processing apparatus}[0001] The present invention relates to a laser processing apparatus,

본 발명은 레이저 빔을 이용한 가공 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 집광렌즈에 진동을 가하여 그 집광렌즈를 XY 평면 상에서 이동시켜 레이저 빔의 타겟에 대한 조사영역을 다양하게 조절시키고자 하는 경우에, 그 집광렌즈의 원활한 이동이 가능하도록 구조가 개선된 레이저 빔을 이용한 가공 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a processing apparatus using a laser beam, and more particularly, to a laser processing apparatus using a laser beam, in which, when vibration is applied to a condensing lens to move the condensing lens on an XY plane, And a processing device using a laser beam whose structure is improved so that the condensing lens can be smoothly moved.

일반적으로 레이저 빔을 이용한 가공 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기와, 그 레이저 발생기로부터 송출된 빔의 경로를 조절하여 주기 위한 반사판과, 상기 반사판과 타켓 사이에 위치되어서 상기 빔의 타켓에 대한 초점을 형성시키는 집광렌즈를 포함하여 이루어진다.Generally, as shown in FIG. 1, a processing apparatus using a laser beam includes a laser generator for generating a laser beam, a reflector for controlling the path of the beam emitted from the laser generator, And a condenser lens positioned so as to focus on the target of the beam.

레이저 빔을 이용한 가공 장치는, 레이저의 특성 때문에 산업계에서 그 활용도가 높아 다양한 기능을 가진 장치들이 개발되고 있는 실정이다. The laser beam processing apparatuses have been developed in various industries because of their high utilization in industry due to the characteristics of lasers.

예컨대, 레이저 빔의 타켓에 대한 조사영역을 다양하게 변화시켜 주거나 펄스 형태의 조사를 가능하게 하기 위하여, 상기 반사판 또는 집광렌즈에 진동을 가해 주는 가공 장치가 출시된 바 있다. For example, a machining apparatus has been proposed in which a vibration is applied to the reflection plate or the condensing lens in order to vary the irradiation region with respect to the target of the laser beam or to enable pulse irradiation.

그러나, 이러한 진동 기능이 부가된 가공 장치의 경우, 단순히 반사판이나 집광렌즈와 같은 진동 대상체에 진동을 가해줄 뿐, 그 진동 대상체의 정밀한 슬립 동작을 구현시킬 수 없게 됨으로써, 레이저 빔을 이용한 정밀한 가공을 하지 못하게 되는 문제점이 있었다. However, in the case of a machining apparatus to which such a vibration function is added, it is impossible to implement a precise slip operation of the vibration target object simply by applying vibration to a vibration target object such as a reflector or a condenser lens, There is a problem that it can not be done.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 레이저 빔의 타겟에 대한 초점을 형성시키는 렌즈 유닛을 XY 평면 상에서 정밀하게 슬립되게 하여 레이저 빔의 타겟에 대한 조사영역을 다양하게 형성시킬 수 있게 하는 레이저 빔을 이용한 가공 장치를 제공하고자 하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a lens unit for focusing on a target of a laser beam to be precisely slipped on an XY plane, And it is an object of the present invention to provide a machining apparatus using a laser beam which can be formed in various ways.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 레이저 빔을 이용한 가공 장치는, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기; 상기 레이저 발생기로부터 송출된 빔을 타겟 측으로 포커싱하여 줄 수 있도록, 상기 레이저 발생기와 타켓 사이에 위치되고 상기 빔이 통과되는 렌즈 유닛과, 상기 렌즈 유닛을 감싸는 형태로 배치되는 프레임과, 상기 렌즈 유닛에 진동을 인가시켜 줄 수 있도록 상기 렌즈 유닛과 프레임 사이에 위치되는 진동자를 포함하는 포커싱 유닛; 및 상기 렌즈 유닛이 상기 진동자에 의해 인가된 진동에 의해 XY평면 상에서 원활하게 이동될 수 있도록, 일측은 상기 프레임에 슬립 가능하게 연결되고 타측은 상기 진동자를 수용시키는 슬립 유닛;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a laser beam processing apparatus comprising: a laser generator for generating a laser beam; A lens unit disposed between the laser generator and the target and allowing the beam to pass therethrough so as to focus the beam emitted from the laser generator to a target side; a frame disposed in a manner to surround the lens unit; A focusing unit including a vibrator positioned between the lens unit and the frame so as to apply vibration; And a slip unit, one side of which is slidably connected to the frame and the other side of which receives the vibrator, so that the lens unit can be smoothly moved on the XY plane by the vibration applied by the vibrator .

상기 슬립 유닛은, 상기 XY 평면 상의 어느 하나의 축 방향을 따라 마주하게 배치되는 적어도 한 쌍의 슬립부재들을 포함하여 이루어지고, 상기 슬립부재들 중 어느 하나는, 상기 프레임의 제1레일홈에 끼워지고 그 제1레일홈을 따라 이동되는 슬립부와, 상기 슬립부와 연결되고 탄성을 가진 재질로 형성되며 상기 제1진동자를 수용시키는 수용부를 포함하여 이루어지며, 상기 슬립부재들 중 다른 하나는, 상기 렌즈 유닛을 사이에 두고 상기 어느 하나의 슬립부재의 반대측에 위치되고, 상기 렌즈 유닛을 탄성 가압시키는 가압부와 그 가압부에 연결되고 상기 프레임의 제2레일홈을 따라 이동되는 슬립부를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. Wherein the slip unit includes at least one pair of slip members arranged to face along one axial direction on the XY plane, and one of the slip members is inserted into the first rail groove of the frame And a receiving part for receiving the first oscillator, the slip part being connected to the slip part and made of a material having elasticity, And a slip portion which is located on the opposite side of the slip member with the lens unit interposed therebetween and which is pressurized to elastically press the lens unit and which is connected to the pressing portion and moved along the second rail groove of the frame .

상기 슬립 유닛은, 상기 XY 평면 상의 상기 어느 하나의 축 방향과 직교하는 다른 하나의 축 방향을 따라 마주하게 배치되는 다른 한 쌍의 슬립부재들을 포함하여 이루어지고, 상기 다른 한 쌍의 슬립부재들 중 어느 하나는, 상기 프레임의 제3레일홈에 끼워지고 그 제3레일홈을 따라 이동되는 슬립부와, 상기 슬립부와 연결되고 탄성을 가진 재질로 형성되며 상기 제1진동자와 직교하게 배치되는 제2진동자를 수용시키는 수용부를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. Wherein the slip unit includes another pair of slip members disposed to face along another axial direction orthogonal to the one axial direction on the XY plane, and the other of the pair of slip members One of which is connected to the slip portion and which is formed of a material having elasticity and which is arranged orthogonally to the first oscillator, And a receiving portion for receiving the two vibrators.

상기 렌즈 유닛은, 상기 빔이 경유하는 집광 렌즈와 상기 집광 렌즈의 가장자리를 둘러서 그 집광 렌즈를 감싸는 형태로 결합되는 렌즈 커버를 포함하여 이루어지고, 상기 각 슬립부재의 수용부는, 상기 렌즈 커버를 탄성 가압시킬 수 있도록, 그 렌즈 커버에 접촉되는 접촉면을 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. Wherein the lens unit includes a condenser lens passed through the beam and a lens cover surrounding the edge of the condenser lens so as to surround the condenser lens, And a contact surface contacting the lens cover so as to be pressurized.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 레이저 빔을 이용한 가공 장치는, 타켓에 대한 초점을 형성시키는 렌즈 유닛에 XY 평면 상에서 슬립(이동)이 될 수 있도록 진동을 가해 줄 수 있도록 구성됨은 물론, 슬립 유닛이 렌즈 유닛의 진동에 따른 슬립 동작을 원활하게 구현할 수 있도록 마련됨으로써, 사용자의 필요에 따라 타켓에 조사되는 빔의 조사영역 또는 형상을 다양하게 구현시킬 수 있을 뿐만 아니라, 요구되는 사양에 맞는 정밀한 빔 조사를 가능하게 하여 결국 제품의 정밀 가공을 가능하게 하는 장점을 가진다. The laser beam processing apparatus according to the present invention having the above-described structure can be configured to apply vibration to a lens unit forming a focus on a target so as to be slip (moved) on an XY plane, The slip unit is provided so as to smoothly implement the slip operation according to the vibration of the lens unit, so that it is possible to variously implement the irradiation region or the shape of the beam irradiated to the target according to the user's need, It is possible to perform precise beam irradiation, and finally, the product can be precisely processed.

도 1은 일반적인 레이저 가공 장치의 개략적인 개념을 설명하기 위한 도면.
도 2는 본 발명 일실시예의 기본 구성을 설명하기 위한 개략적인 도면.
도 3은 본 발명 일실시예에 채용된 포커싱 유닛과 슬립 유닛이 상호 결합된 상태를 보인 사시도.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram for explaining a schematic concept of a general laser processing apparatus. FIG.
2 is a schematic view for explaining a basic configuration of an embodiment of the present invention;
3 is a perspective view showing a state where the focusing unit and the slip unit employed in the embodiment of the present invention are coupled to each other.
4 is a sectional view taken along the line IV-IV in Fig. 3;

이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 레이저 빔을 이용한 가공 장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a laser beam machining apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명 일실시예의 기본 구성을 설명하기 위한 개략적인 개념도이고, 도 3은 본 발명 일실시예에 채용된 포커싱 유닛과 슬립 유닛이 상호 결합된 상태를 보인 사시도이며, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 단면도이다.FIG. 3 is a perspective view showing a state where the focusing unit and the slip unit employed in one embodiment of the present invention are coupled to each other. FIG. 4 is a cross- Fig.

도 2에 잘 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 레이저 빔을 이용한 가공 장치는, 레이저 발생기(10)와 포커싱 유닛(20)과 슬립 유닛(30)을 포함하여 이루어진다.2, the laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a laser generator 10, a focusing unit 20, and a slip unit 30. As shown in FIG.

상기 레이저 발생기(10)는 레이저 빔을 발생시키는 역할을 하고, 상기 포커싱 유닛(20)은 상기 레이저 빔의 타겟에 대한 초점을 형성시켜 주는 역할을 하며, 상기 슬립 유닛(30)은 상기 포커싱 유닛(20)에 마련된 렌즈 유닛(22)의 정밀한 슬립 동작 구현을 가능하게 하는 역할을 한다.The laser generator 10 generates a laser beam and the focusing unit 20 forms a focus for the target of the laser beam. The slip unit 30 focuses the laser beam on the focusing unit 20 20 to achieve a precise slip operation of the lens unit 22.

상기 포커싱 유닛(20)은, 도 3 및 도 4에 잘 도시된 바와 같이, 렌즈 유닛(22)과 프레임(24)과 진동자(26)를 포함하여 이루어진다.The focusing unit 20 includes a lens unit 22, a frame 24, and a vibrator 26, as best shown in FIGS.

상기 렌즈 유닛(22)은, 상기 레이저 발생기(10)와 타켓(T) 사이에 위치되고 상기 레이저 발생기(10)로부터 송출된 빔이 통과되는 것으로, 상기 레이저 발생기(10)로부터 송출된 빔을 타겟 측으로 포커싱하여 주는 역할을 한다.The lens unit 22 is disposed between the laser generator 10 and the target T and passes the beam emitted from the laser generator 10 so that the beam emitted from the laser generator 10 And focuses the light to the side.

상기 프레임(24)은 상기 렌즈 유닛(22)의 가장자리를 둘러서 그 렌즈 유닛(22)을 감싸는 행태로 배치되고, 상기 진동자(26)는 상기 렌즈 유닛(22)과 프레임(24) 사이에 위치되는 것으로, 상기 렌즈 유닛(22)에 진동을 인가시켜 주는 역할을 한다.The frame 24 is arranged in such a manner as to surround the edge of the lens unit 22 and surround the lens unit 22 and the vibrator 26 is positioned between the lens unit 22 and the frame 24 And serves to apply vibration to the lens unit 22.

상기 슬립 유닛(30)은, 상기 진동자(26)를 내측에 수용한 상태로 상기 프레임(24)과 렌즈 유닛(22) 사이에 배치되는 것으로, 일측은 상기 프레임(24)에 슬립 가능하게 연결되고 타측은 상기 진동자(26)를 수용시킨다. 이러한 슬립 유닛(30)은, 도 4에 잘 도시된 바와 같이,상기 진동자(26)가 XY 평면 상에서 렌즈 유닛(22)에 진동을 인가하는 경우에 그 렌즈 유닛(22)이 진동자(26)의 진동에 의해 원활하게 슬립되게 함으로써, 렌즈 유닛(22)의 XY 평면에서의 슬립에 따른 다양한 초점 형성(타겟에 대한 조사영역 형성)을 가능하게 한다. The slip unit 30 is disposed between the frame 24 and the lens unit 22 while the vibrator 26 is housed inside the frame 24. One side of the slip unit 30 is slidably connected to the frame 24 And the other side accommodates the vibrator 26. 4, when the vibrator 26 applies vibration to the lens unit 22 on the XY plane, the slip unit 30 causes the lens unit 22 to move in the Y- Thereby making it possible to form various foci (irradiation region formation with respect to the target) in accordance with the slip of the lens unit 22 in the XY plane.

이러한 구성을 가지는 본 발명의 일실시예에 따른 레이저 빔을 이용한 가공 장치는, 타켓(T)에 대한 초점을 형성시키는 렌즈 유닛(22)에 XY 평면 상에서 슬립(이동)이 될 수 있도록 진동을 가해 줄 수 있도록 구성됨은 물론, 슬립 유닛(30)이 상기 렌즈 유닛(22)의 진동에 따른 슬립 동작을 원활하게 구현할 수 있도록 마련됨으로써, 사용자의 필요에 따라 타켓(T)에 조사되는 빔의 조사영역 또는 형상을 다양하게 구현시킬 수 있을 뿐만 아니라, 요구되는 사양에 맞는 정밀한 빔 조사를 가능하게 하여 결국 제품의 정밀 가공을 가능하게 하는 장점을 도출한다. The laser beam processing apparatus according to an embodiment of the present invention having such a configuration applies vibration to the lens unit 22 forming the focus for the target T so as to be slip on the XY plane The slip unit 30 can smoothly implement the slip operation according to the vibration of the lens unit 22 so that the irradiation area of the beam irradiated to the target T Or shape of a workpiece, but also enables precise beam irradiation in accordance with a required specification, thereby ultimately enabling the precise processing of a product.

상기 슬립 유닛(30)은 다양한 구조와 형상으로 구현시킬 수 있으나, 본 실시예에 채용된 슬립 유닛(30)은, 상기 XY 평면 상의 어느 하나의 축 방향을 따라 마주하게 배치되는 적어도 한 쌍의 슬립부재들(이하 '제1슬립부재(31)'라 함)을 포함하여 이루어진다. Although the slip unit 30 can be implemented in various structures and shapes, the slip unit 30 employed in the present embodiment includes at least one pair of slips (not shown) disposed to face along one axial direction on the XY plane (Hereinafter referred to as " first slip member 31 ").

상기 제1슬립부재(31)들 중 어느 하나는, 슬립부(31a)와 수용부(31b)를 구비하고, 다른 하나는 가압부(31c)와 슬립부(31d)로 이루어져서 상기 어느 하나의 제1슬립부재(31)와 유사한 구조이기는 하나 차이점이 있는 구조를 가진다.One of the first slip members 31 has a slip portion 31a and a receiving portion 31b and the other has a pressing portion 31c and a slip portion 31d, The slip member 31 has a structure similar to that of the slip member 31, but has a difference.

즉, 상기 어느 하나의 제1슬립부재(31)에 마련된 슬립부(31a)는, 도 4에 잘 도시된 바와 같이, 상기 프레임(24)의 제1레일홈(24a)에 끼워지고, 이러한 끼워진 상태에서 상기 제1레일홈(24a)을 따라 이동되고, 상기 수용부(31b)는, 상기 슬립부(31a)와 연결되고 탄성을 가지는 재질로 형성되며 상기 제1진동자(26)를 수용시키는 수용공간을 가진다.That is, the slip portion 31a provided in any one of the first slip members 31 is fitted into the first rail groove 24a of the frame 24 as shown in FIG. 4, The accommodating portion 31b is formed of an elastic material connected to the slip portion 31a and is accommodated in the accommodating portion 31b to accommodate the first oscillator 26, It has space.

상기 어느 하나의 제1슬립부재(31)의 슬립부(31a)와 수용부(31b)는, 하나의 재질에 의해 일체로 형성되는 것도 가능하나, 본 실시예에서는 각각의 기능이 원활하게 구현될 수 있도록, 상기 슬립부(31a)는 제1레일홈(24a)과의 마찰 저항이 작은 재질로 형성되는 것이 바람직하고, 상기 수용부(31b)는 상기 제1진동자(26)의 진동을 완충할 수 있는 탄성을 가진 재질로 형성되는 것이 바람직하다. The slip portion 31a and the accommodation portion 31b of any one of the first slip members 31 may be integrally formed of one material. In the present embodiment, however, each function is smoothly implemented It is preferable that the slip portion 31a is formed of a material having a small frictional resistance with respect to the first rail groove 24a and the accommodating portion 31b serves to buffer the vibration of the first oscillator 26 It is preferable to be formed of a material having elasticity.

상기 다른 하나의 제1슬립부재(31)는, 상기 렌즈 유닛(22)을 사이에 두고 상기 어느 하나의 슬립부재의 반대측에 위치되는 것으로, 가압부(31c)와 슬립부(31d)를 포함하여 이루어진다.The other first slip member 31 is located on the opposite side of the slip member with the lens unit 22 interposed therebetween and includes a pressing portion 31c and a slip portion 31d .

상기 다른 하나의 제1슬립부재(31)에 마련된 가압부(31c)는, 상기 렌즈 유닛(22)의 외면에 접촉되어서 그 렌즈 유닛(22)을 탄성 가압시키는 역할을 하고, 상기 슬립부(31d)는, 상기 어느 하나의 제1슬립부재(31)에 마련된 슬립부(31a)와 마찬가지의 기능을 발휘하는 것으로, 상기 프레임(24)에 형성된 제2레일홈(24b)을 따라 이동된다. The pressing portion 31c provided on the other first slip member 31 contacts the outer surface of the lens unit 22 to elastically press the lens unit 22 and the slip portion 31d Is moved along the second rail groove 24b formed in the frame 24 with the same function as the slip portion 31a provided in any one of the first slip members 31. [

이러한 구성을 가지는 본 실시예는, 레이저 빔을 타겟에 조사시키는 경우에 렌즈 유닛(22)을 XY 평면 상에서 적어도 하나의 축을 따라 슬립되게 하여 타겟에 조사되는 레이저 빔의 조사영역을 다양하게 변화시켜 줄 수 있게 됨에 따라, 하나의 레이저를 이용한 다양한 방법의 정밀 가공을 가능하게 하는 장점을 기대할 수 있게 한다.This embodiment having such a configuration allows the lens unit 22 to slip along at least one axis on the XY plane in the case of irradiating the target with the laser beam to vary the irradiation area of the laser beam irradiated to the target It becomes possible to expect an advantage of enabling precision processing of various methods using one laser.

한편, 본 실시예에 채용된 슬립 유닛(30)은, 상기 XY 평면 상의 상기 어느 하나의 축 방향과 직교하는 다른 하나의 축 방향을 따라 마주하게 배치되는 다른 한 쌍의 슬립부재(이하 '제2슬립부재(32)'라 함)들을 포함하여 이루어진다.On the other hand, the slip unit 30 employed in the present embodiment includes a pair of other slip members (hereinafter referred to as " second slip members ") disposed to face along another axial direction orthogonal to any one of the axial directions on the XY plane Slip member 32 ').

상기 제2슬립부재들 중 어느 하나(32)는, 상기 제1슬립부재(31)들 중 어느 하나와 마찬가지로 슬립부(32a)와 수용부(32b)를 포함하여 이루어진다. 상기 어느 하나의 제2슬립부재(32)에 마련된 슬립부(32a)는, 상기 프레임(24)의 제3레일홈(24c)에 끼워지고 이와 같이 끼워진 상태로 상기 제3레일홈(24c)을 따라 이동되고, 상기 수용부(32b)는, 상기 슬립부((32a)와 연결되고 탄성을 가진 재질로 형성되며 상기 제1진동자(26)와 직교하게 배치되는 제2진동자(26)를 수용시킬 수 있는 수용공간을 가진다. One of the second slip members 32 includes a slip portion 32a and a receiving portion 32b in the same manner as any one of the first slip members 31. [ The slip portion 32a provided in any one of the second slip members 32 is engaged with the third rail groove 24c of the frame 24 and is inserted into the third rail groove 24c And the accommodating portion 32b is accommodated in the accommodating portion 32b to accommodate the second oscillator 26 connected to the slip portion 32a and made of a material having elasticity and disposed orthogonally to the first oscillator 26 And has a receiving space that can be used.

이러한 구성을 가지는 본 실시예는, 레이저 빔을 타겟에 조사시키는 경우에 렌즈 유닛(22)을 XY 평면 상의 X축 및 Y축을 따라 슬립되게 하여 타겟에 조사되는 레이저 빔의 조사영역을 XY 평면 상에서 다양하게 변화시켜 줄 수 있게 됨에 따라, 사용자가 하나의 레이저를 이용하여 타켓(T)의 요구되는 다양한 성형 조건에 맞게 정밀 가공을 수행할 수 있게 하는 장점을 도출한다.The present embodiment having such a configuration allows the lens unit 22 to slip along the X axis and the Y axis on the XY plane in the case of irradiating the target with the laser beam so that the irradiation area of the laser beam irradiated on the target varies on the XY plane It is possible to allow the user to perform precision machining in accordance with the various molding conditions required of the target T by using a single laser.

예컨대, 본 실시예에 의하면, XY 평면 상에서의 2방향 움직임을 조합하여 상기 렌즈 유닛의 좌우 진동을 선택할 수 있도록 구성됨으로써, 선, 8자, 타원, 눈사람 등 다양한 형태의 빔을 타켓 측에 형성시켜 줄 수 있는 장점이 기대된다. For example, according to the present embodiment, the two-directional movement on the XY plane can be combined to select the left and right vibration of the lens unit, thereby forming beams of various shapes such as a line, an eight character, an ellipse, The benefits are expected.

특히, 본 실시예는, 이러한 빔의 다양한 모양을 전기적인 신호에 기초하여 자유자재로 형성시킬 수 있도록 할 수 있도록 구성됨으로써, 정밀한 동작 구현 및 사용자 편리성을 향상시킬 수 있게 한다. Particularly, the present embodiment is configured to be able to freely form various shapes of such a beam based on an electrical signal, thereby making it possible to improve precision operation and user convenience.

본 실시예에 채용된 렌즈 유닛(22)은, 상기 빔이 경유하는 집광 렌즈(22a)와 상기 집광 렌즈(22a)의 가장자리를 둘러서 그 집광 렌즈(22a)를 감싸는 형태로 결합되는 렌즈 커버(22b)를 포함하여 이루어지고, 상기 각 슬립부재(31)(32)의 수용부(31b)(32b)는, 상기 렌즈 커버(22b)를 탄성 가압시킬 수 있도록, 그 렌즈 커버(22b)에 접촉되는 접촉면을 포함하여 이루어진다.  The lens unit 22 employed in the present embodiment includes a condenser lens 22a passing through the beam and a lens cover 22b which surrounds the edge of the condenser lens 22a and is coupled in a form to surround the condenser lens 22a , And the accommodating portions 31b and 32b of the slip members 31 and 32 are in contact with the lens cover 22b so as to elastically press the lens cover 22b Contact surface.

이러한 구성을 가지는 본 실시예는, 상기 슬립부재(31)(32)의 수용부(31b)(32b)에 마련된 접촉면이 상기 렌즈 유닛(22)의 렌즈 커버(22b)를 탄성 가압시키도록 구성됨으로써, 상기 슬립부재(31)(32)와 렌즈 유닛(22) 간의 견고한 고정을 가능하게 한다. In this embodiment having such a configuration, the contact surfaces provided in the receiving portions 31b and 32b of the slip members 31 and 32 elastically press the lens cover 22b of the lens unit 22 , Thereby enabling firm fixation between the slip members 31 and 32 and the lens unit 22.

그리고, 상기 레이저 발생기(10)와 포커싱 유닛(20) 사이에는, 그 레이저 발생기(10)로부터 송출된 빔의 경로를 상기 포커싱 유닛(20) 측으로 반사시켜 주기 위한 반사판(40)이 마련되어 있는 것이 바람직하다. It is preferable that a reflecting plate 40 is provided between the laser generator 10 and the focusing unit 20 to reflect the path of the beam emitted from the laser generator 10 toward the focusing unit 20 Do.

이상 본 발명의 다양한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것이 자명하다고 할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation, It is obvious that all modifications and concrete examples which can easily be devised by those skilled in the art within the scope of technical thought are included in the scope of the present invention.

예컨대, 본 실시예에서 렌즈 유닛은, 레이저를 타켓 측으로 집광시켜 주기 위하여 좌우 평면 상에서 틸팅되는 집광 렌즈가 채용되었으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되지 않고, 레이저의 경로를 변경하여 주기 위한 것으로 상기 좌우 평면과 각도를 형성시키는 다른 평면을 따라 틸팅되는 미러가 채용될 수 있음은 물론, 집광 기능을 발휘하기는 하나, 광 투과 방식이 아니라 광 반사 방식으로 집광 기능을 발휘하는 집광 미러가 채용될 수 있음은 물론이다. For example, in this embodiment, the lens unit adopts a condenser lens which is tilted on the left and right planes in order to focus the laser to the target side. However, the present invention is not limited to this, A mirror that is tilted along another plane forming an angle with respect to the optical axis can be employed. In addition, a condensing mirror that exhibits a condensing function by a light reflecting method instead of a light transmitting method may be employed, Of course.

10:레이저 발생기 20:포커싱 유닛
22:렌즈 유닛 22a:집광 렌즈
22b:렌즈 커버 24:프레임
24a:제1레일홈 24b:제2레일홈
24c:제3레일홈 26:진동자
30:슬립 유닛 31:제1슬립부재
31a,31d:슬립부 31b:수용부
31c:가압부 32:제2슬립부재
32a:슬립부 32b:수용부
40:반사판 T:타켓10: laser generator 20: focusing unit
22: lens unit 22a: condenser lens
22b: lens cover 24: frame
24a: first rail groove 24b: second rail groove
24c: third rail groove 26: vibrator
30: slip unit 31: first slip member
31a, 31d: Slip part 31b:
31c: pressing portion 32: second slip member
32a: slip portion 32b:
40: reflector T: target

Claims (4)

레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생기;
상기 레이저 발생기로부터 송출된 빔을 타겟 측으로 포커싱하여 줄 수 있도록, 상기 레이저 발생기와 타켓 사이에 위치되고 상기 빔이 통과되는 렌즈 유닛과, 상기 렌즈 유닛을 감싸는 형태로 배치되는 프레임과, 상기 렌즈 유닛에 진동을 인가시켜 줄 수 있도록 상기 렌즈 유닛과 프레임 사이에 위치되는 진동자를 포함하는 포커싱 유닛; 및
상기 렌즈 유닛이 상기 진동자에 의해 인가된 진동에 의해 XY평면 상에서 원활하게 이동될 수 있도록, 일측은 상기 프레임에 슬립 가능하게 연결되고 타측은 상기 진동자를 수용시키는 슬립 유닛;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 가공 장치.A laser generator for generating a laser beam;
A lens unit disposed between the laser generator and the target and allowing the beam to pass therethrough so as to focus the beam emitted from the laser generator to a target side; a frame disposed in a manner to surround the lens unit; A focusing unit including a vibrator positioned between the lens unit and the frame so as to apply vibration; And
And a slip unit, one side of which is slidably connected to the frame and the other side of which receives the vibrator, so that the lens unit can be smoothly moved on the XY plane by the vibration applied by the vibrator A processing device using a laser beam. 제1항에 있어서,
상기 슬립 유닛은, 상기 XY 평면 상의 어느 하나의 축 방향을 따라 마주하게 배치되는 적어도 한 쌍의 슬립부재들을 포함하여 이루어지고,
상기 슬립부재들 중 어느 하나는, 상기 프레임의 제1레일홈에 끼워지고 그 제1레일홈을 따라 이동되는 슬립부와, 상기 슬립부와 연결되고 탄성을 가진 재질로 형성되며 상기 제1진동자를 수용시키는 수용부를 포함하여 이루어지며,
상기 슬립부재들 중 다른 하나는, 상기 렌즈 유닛을 사이에 두고 상기 어느 하나의 슬립부재의 반대측에 위치되고, 상기 렌즈 유닛을 탄성 가압시키는 가압부와 그 가압부에 연결되고 상기 프레임의 제2레일홈을 따라 이동되는 슬립부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 가공 장치.The method according to claim 1,
Wherein the slip unit includes at least a pair of slip members arranged to face along one axial direction on the XY plane,
Wherein one of the slip members includes a slip portion which is fitted in a first rail groove of the frame and moves along the first rail groove and a slip portion which is connected to the slip portion and is made of a material having elasticity, And an accommodating portion for accommodating the accommodating portion,
Wherein the other one of the slip members is located on the opposite side of the slip member with the lens unit interposed therebetween and is connected to the pressing portion for elastically pressing the lens unit and the second rail And a slip portion which is moved along the groove. 제2항에 있어서,
상기 슬립 유닛은, 상기 XY 평면 상의 상기 어느 하나의 축 방향과 직교하는 다른 하나의 축 방향을 따라 마주하게 배치되는 다른 한 쌍의 슬립부재들을 포함하여 이루어지고,
상기 다른 한 쌍의 슬립부재들 중 어느 하나는, 상기 프레임의 제3레일홈에 끼워지고 그 제3레일홈을 따라 이동되는 슬립부와, 상기 슬립부와 연결되고 탄성을 가진 재질로 형성되며 상기 제1진동자와 직교하게 배치되는 제2진동자를 수용시키는 수용부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 가공 장치. 3. The method of claim 2,
Wherein the slip unit includes another pair of slip members disposed to face along another axial direction orthogonal to any one of the axial directions on the XY plane,
Wherein one of the other pair of slip members comprises a slip portion which is fitted in a third rail groove of the frame and is moved along the third rail groove and a slip portion which is connected to the slip portion and is made of a material having elasticity, And a receiving section for receiving a second oscillator arranged orthogonally with the first oscillator. 제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 렌즈 유닛은, 상기 빔이 경유하는 집광 렌즈와 상기 집광 렌즈의 가장자리를 둘러서 그 집광 렌즈를 감싸는 형태로 결합되는 렌즈 커버를 포함하여 이루어지고,
상기 각 슬립부재의 수용부는, 상기 렌즈 커버를 탄성 가압시킬 수 있도록, 그 렌즈 커버에 접촉되는 접촉면을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 가공 장치.The method according to claim 2 or 3,
Wherein the lens unit includes a condenser lens passed through the beam and a lens cover which surrounds the edge of the condenser lens and is coupled in a form to surround the condenser lens,
Wherein the accommodating portion of each of the slip members includes a contact surface contacting the lens cover so as to elastically press the lens cover.
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