KR20180065038A - 자외선 검사 장치 - Google Patents

자외선 검사 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20180065038A
KR20180065038A KR1020160160372A KR20160160372A KR20180065038A KR 20180065038 A KR20180065038 A KR 20180065038A KR 1020160160372 A KR1020160160372 A KR 1020160160372A KR 20160160372 A KR20160160372 A KR 20160160372A KR 20180065038 A KR20180065038 A KR 20180065038A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
ultraviolet
light source
transmission filter
receiving unit
Prior art date
Application number
KR1020160160372A
Other languages
English (en)
Inventor
허규용
변두진
신세문
이창열
김현우
양정원
Original Assignee
한국화학연구원
주식회사 케이씨씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국화학연구원, 주식회사 케이씨씨 filed Critical 한국화학연구원
Priority to KR1020160160372A priority Critical patent/KR20180065038A/ko
Publication of KR20180065038A publication Critical patent/KR20180065038A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/33—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using ultraviolet light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/429—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to measurement of ultraviolet light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/19—Dichroism
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/59—Transmissivity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/59—Transmissivity
    • G01N21/5907—Densitometers
    • G01N2021/5957—Densitometers using an image detector type detector, e.g. CCD

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 검사 장치, 미리 정해진 파장 범위 내의 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하는 광원, 상기 광원에서 조사된 상기 자외선을 집광하는 집광부, 상기 집광부로부터 전달된 상기 자외선을 대상물로 전달하거나, 상기 대상물로부터 반사된 자외선 또는 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시키는 빔 스플리터, 상기 빔 스플리터를 통과한 자외선 또는 형광된 빛을 선택적으로 투과시키는 투과 필터 및 상기 투과 필터를 통과한 상기 자외선 또는 형광된 빛을 수광하는 수광부를 포함할 수 있다.

Description

자외선 검사 장치{INSPECTION APPARATUS USING ULTRAVIOLET RAY}
본 발명은 자외선 검사 장치에 관한 것으로, 보다 자세히 자외선을 이용하여 화학소재 표면의 열화 또는 오염 상태를 검사하는 장치에 관한 것이다.
화학소재는 장기적으로 열, 빛, 산소, 습기 등의 외부자극에 노출되어 표면 열화 및 오염이 진행되며, 소재의 탈변색, 첨가제의 변색 및 형광 변화, 충진재의 표면 유출 등이 발생할 수 있다.
이러한 표면 열화 및 오염의 정도는 육안으로 관찰되는 경우도 있지만, 일반적으로 열화의 진행 속도는 사용 중에 인식하기 어려울 정도로 완만하게 진행되는 경우 육안으로 용이하게 관찰할 수 없다.
이와 같이, 육안으로 열화 및 오염 정도를 관찰하기 어려운, 환경적 열화 인자에 의한 미세한 물리 화학적 특성의 변화는, 적외선 및 X-ray를 이용한 분광법, 현미경 또는 전자현미경을 이용한 형상 관찰, 기계적 물성 측정 등의 방법으로 확인 가능하다.
다만, 이러한 측정 방법은 측정하는데 시간이 많이 걸리고, 비용 또한 높은 문제점이 있다.
본 발명은 화학소재 표면의 열화 및 오염 상태를 신속하고 저비용으로 측정할 수 있는 자외선 검사 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 검사 장치, 미리 정해진 파장 범위 내의 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하는 광원, 상기 광원에서 조사된 상기 자외선을 집광하는 집광부, 상기 집광부로부터 전달된 상기 자외선을 대상물로 전달하거나, 상기 대상물로부터 반사된 자외선 또는 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시키는 빔 스플리터, 상기 빔 스플리터를 통과한 자외선 또는 형광된 빛을 선택적으로 투과시키는 투과 필터 및 상기 투과 필터를 통과한 상기 자외선 또는 형광된 빛을 수광하는 수광부를 포함할 수 있다.
상기 파장 범위는 250 nm 내지 400 nm일 수 있다.
상기 광원은 복수의 자외선 램프를 포함할 수 있다.
상기 복수의 자외선 램프 중 적어도 일부는 서로 다른 파장을 가질 수 있다.
상기 복수의 자외선 램프는 일 방향을 따라 서로 나란하게 배열될 수 있다.
상기 광원은 복수의 자외선 LED를 포함할 수 있다.
상기 복수의 자외선 LED 중 적어도 일부는 서로 다른 파장을 가질 수 있다.
상기 복수의 자외선 LED 중 동일한 파장을 갖는 자외선 LED는 서로 인접하여 배치될 수 있다.
상기 광원은 상기 자외선의 조도를 조절할 수 있다.
상기 투과 필터는, 상기 대상물에서 반사된 자외선을 투과시킬 수 있다.
상기 수광부는, 상기 투과 필터를 투과한 상기 자외선을 수광할 수 있다.
상기 수광부는 자외선 CCD를 포함할 수 있다.
상기 투과 필터는, 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시킬 수 있다.
상기 수광부는, 상기 투과 필터를 투과한 상기 형광된 빛을 수광할 수 있다.
상기 수광부는 가시광 CCD를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같은 자외선 검사 장치에 의하면, 화학소재 표면의 열화 및 오염 상태를 신속하고 낮은 비용으로 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 검사 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 광원부를 구체적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 2의 광원부의 제1 변형예를 도시한 도면이다.
도 4는 도 2의 광원부의 제2 변형예를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자외선 검사 장치의 개략적인 구성도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 검사 장치에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 검사 장치의 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1의 광원부를 구체적으로 도시한 도면이다. 도 3은 도 2의 광원부의 제1 변형예를 도시한 도면이며, 도 4는 도 2의 광원부의 제2 변형예를 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예의 자외선 검사 장치는, 광원(100), 집광부(150), 빔 스플리터(200), 투과 필터(300) 및 수광부(500)를 포함할 수 있다. 본 실시예의 자외선 검사 장치에서는, 대상물(P)에 자외선을 조사하는 광원(100)이 미리 정해진 범위 내에서 선택된 파장을 갖는 자외선을 조사할 수 있다. 즉, 본 실시예의 자외선 감사 장치의 광원(100)은 다양한 파장을 갖는 자외선을 대상물(P)에 선택적으로 조사할 수 있다.
광원(100)은 대상물(P)에 전달될 자외선을 조사할 수 있다. 본 실시예에서는, 광원(100)은 미리 정해진 파장 범위을 갖는 자외선을 조사할 수 있다. 이때, 파장 범위는 250 nm 내지 400 nm일 수 있다. 즉, 광원(100)은 250 nm 내지 400 nm 내의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수 있다. 예를 들어, 광원(100)은 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하거나, 350 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하거나, 또는 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수도 있다. 결국, 본 실시예의 광원(100)은 다양한 파장의 자외선을 선택적으로 조사할 수 있다.
이와 같이, 광원(100)의 다양한 파장의 자외선을 선택적으로 조사하면, 다양한 대상물(P)의 열화 및 오염 상태를 측정할 수 있다. 즉, 대상물(P)의 종류에 따라 적절한 파장의 자외선을 조사함으로써, 신속하게 대상물(P)을 검사할 수 있다.
또한, 광원(100)은 자외선의 조도를 조절할 수 있다. 광원(100)은 자외선의 조도를 조절하여, 검출되는 신호의 명암비를 높일 수 있다. 즉, 수광부(500)에서 검출되는 이미지를 선명하게 얻을 수 있다.
한편, 본 실시예에서는, 광원 제어부(110)가 광원(100)에 결합되어, 광원(100)이 특정 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하도록 제어할 수 있다.
도 2를 참조하면, 광원(100)은 복수의 자외선 램프를 포함할 수 있다. 본 실시예에서는, 광원(100)은 3개의 자외선 램프(131(a), 131(b), 131(c))를 포함할 수 있다. 그러나, 광원(100)을 구성하는 자외선 램프의 개수는 이에 한정되지 않고, 2개 또는, 4개 이상으로 구성될 수도 있다. 한편, 자외선 램프는 특정 파장의 자외선을 조사하는 공지의 자외선 램프가 적용될 수 있다.
이때, 자외선 램프(131(a), 131(b), 131(c))는 서로 다른 파장을 가질 수 있다. 예를 들어, 자외선 램프(131(a))는 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수 있고, 자외선 램프(131(b))는 350 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수도 있고, 자외선 램프(131(c))는 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수도 있다.
그러나, 도 2에서는 자외선 램프(131(a), 131(b), 131(c)) 모두 서로 다른 파장을 갖는 것으로 설명되나, 이에 한정되지 않고 적어도 일부는 파장이 동일할 수 있다. 예를 들어, 자외선 램프(131(a), 131(b))는 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하고, 자외선 램프(131(c))는 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사할 수 있다.
복수의 자외선 램프(131(a), 131(b), 131(c))는 바(bar) 형상을 가지며, 일 방향을 따라 서로 나란하게 배열될 수 있다. 이때, 자외선 램프(131(a), 131(b), 131(c))는 서로 동일한 간격으로 이격되어 배열될 수 있다. 자외선 램프(131(a))와 자외선 램프(131(b))의 간격은, 자외선 램프(131(b))와 자외선 램프(131(c))의 간격과 동일할 수 있다.
광원(100)은 자외선 램프 대신에 복수의 자외선 LED를 포함할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 자외선 LED는 파장별로 인접하게 배치될 수 있다. 보다 구체적으로, 광원(100)은 제1 자외선 LED 그룹(133(a)), 제2 자외선 LED 그룹(133(b)) 및 제3 자외선 LED 그룹(133(c))을 포함할 수 있다. 이때, 제1 자외선 LED 그룹(133(a)), 제2 자외선 LED 그룹(133(b)) 및 제3 자외선 LED 그룹(133(c))은 서로 다른 파장을 갖는 자외선을 조사할 수 있다.
제1 자외선 LED 그룹(133(a)), 제2 자외선 LED 그룹(133(b)) 및 제3 자외선 LED 그룹(133(c)) 각각은 복수의 자외선 LED로 구성될 수 있다. 예를 들어, 제1 자외선 LED 그룹(133(a))은 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 복수의 자외선 LED가 배치될 수 있다. 제2 자외선 LED 그룹(133(b))은 350 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 복수의 자외선 LED가 배치될 수 있다. 또한, 제3 자외선 LED 그룹(133(c))은 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 복수의 자외선 LED가 배치될 수 있다.
이때, 제1 자외선 LED 그룹(133(a)), 제2 자외선 LED 그룹(133(b)) 및 제3 자외선 LED 그룹(133(c))은 서로 동일한 면적을 이루며, 원판 상에 배열될 수 있다.
한편, 도 4를 참조하면, 동일한 파장을 갖는 복수의 자외선 LED는 대각선 방향으로 나란하게 배열될 수 있다. 예를 들어, 300 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 자외선 LED(135(a))가 대각선 방향으로 배열될 수 있다. 다만, 도 4에서는 자외선 LED(135(a))가 하나로 배치되어, 대각선 방향으로 배열되는 것으로 나타나지 않을 수 있다. 한편, 350 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 자외선 LED(135(b))가 대각선 방향으로 배열될 수 있다. 또한, 400 nm의 파장을 갖는 자외선을 조사하는 자외선 LED(135(c))가 대각선 방향으로 배열될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 집광부(150)는 광원(100)에서 조사된 자외선을 집광하여 빔 스플리터(200)로 전달할 수 있다. 집광부(150)는 광원(100)에서 나온 자외선을 반사시켜 빔 스플리터(200) 측으로 자외선을 조사할 수 있다.
집광부(150)는 산란되는 자외선을 모두 집광시켜 한 곳으로 자외선을 집중시킬 수 있다. 즉, 집광부(150)에 의해 광원(100)에서 나온 자외선이 빔 스플리터(200) 측으로 집중될 수 있다. 이때, 집광부(150)는 반사판으로 이루어질 수 있다. 따라서, 광원(100)에서 조사된 자외선이 집광부(150)의 반사판에 반사되어 빔 스플리터(200) 측으로 집중될 수 있다.
한편, 빔 스플리터(200)는 집광부(150)에 의해 집광된 자외선을 대상물(P)로 반사시킬 수 있다. 빔 스플리터(200)는 광을 반사하거나 일정한 파장의 광을 투과시킬 수 있다.
이때, 빔 스플리터(200)에 의해 반사된 자외선은, 대상물(P) 표면에 조사될 수 있다. 이러한 자외선은 대상물(P) 표면에서 반사되어 빔 스플리터(200)로 이동할 수 있다. 또는, 자외선이 대상물(P) 표면에 조사되면, 대상물(P)은 자외선에 의해 고유의 형광 빛을 낼 수 있다. 이때, 자외선에 의해 발광되는 형광 빛은 가시 광선일 수 있다.
이와 같이, 대상물(P) 표면에 조사된 자외선 또는 형광 빛은 빔 스플리터(200)를 투과할 수 있다. 빔 스플리터(200)를 투과한 상기 자외선 또는 형광 빛은 투과 필터(300)를 투과하게 된다.
이때, 투과 필터(300)는 자외선 또는 형광 빛을 선택적으로 투과시킬 수 있다. 예를 들어, 투과 필터(300)는 대상물(P)에서 반사된 자외선을 투과시키고, 자외선을 제외한 나머지 형광 빛 등을 차단할 수 있다. 반면에, 투과 필터(300)는 대상물(P)에 발광된 형광 빛을 투과시키고, 형광 빛을 제외한 나머지 자외선 등을 차단할 수 있다. 본 실시예에서는, 투과 필터 제어부(310)가 자외선만 투과시키거나, 형광 빛 만을 투과시키는 것을 제어할 수 있다. 즉, 투과 필터 제어부(310)는 검출하고자 하는 신호의 형태에 따라 자외선만 투과시키거나, 형광 빛만 투과시킬 수 있다.
한편, 투과 필터(300)를 투과한 자외선 또는 형광 빛은 수광부(500)에 수광될 수 있다. 수광부(500)는 투과 필터(300)를 통과한 빛을 검출할 수 있다. 예를 들어, 수광부(500)는 대상물(P) 표면에서 반사된 자외선 반사 이미지를 검출할 수 있다. 또는, 수광부(500)는 대상물(P)에서 발광된 형광 빛 이미지를 검출할 수 있다.
이때, 수광부(500)가 자외선 반사 이미지를 검출하는 경우, 수광부(500)는 자외선 CCD(Charge Coupled Device)일 수 있다. 즉, 자외선 CCD는 대상물(P) 표면에서 반사된 자외선을 검출할 수 있다.
반면에, 수광부(500)가 형광 빛 이미지를 검출하는 경우, 수광부(500)는 가시광 CCD일 수 있다. 즉, 가시광 CCD는 대상물(P)에서 발광된 형광 빛을 검출할 수 있다.
본 실시예에서는, 수광 제어부(510)가 수광부(500)에 결합되고, 수광 제어부(510)가 자외선 CCD 또는 가시광 CCD를 선택적으로 이용할 수 있다.
한편, 본 실시예의 광원(100), 집광부(150), 빔 스플리터(200), 투과 필터(300) 및 수광부(500)는 외부의 빛을 차단하는 광 차단 케이스(400) 내부에 배치될 수 있다. 광 차단 케이스(400)는 외부의 빛이 투입되는 것을 차단하여, 외부 빛에 의한 간섭 현상을 억제할 수 있다.
이때, 중앙 제어부(700)는 광원 제어부(110), 투과 필터 제어부(310), 수광 제어부(510) 등에 결합되어, 광원 제어부(110), 투과 필터 제어부(310), 수광 제어부(510)를 제어할 수 있다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 투과 필터(300)와 수광부(500) 사이에는 렌즈(600)가 배치될 수 있다. 렌즈(600)는 투과 필터(300)를 투과한 자외선 또는 형광 빛이 수광부(500)에 정확히 모이도록 광 경로를 조절할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은 한정된 실시예와 도면을 통하여 설명되었으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재된 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
100 광원
150 집광부
200 빔 스플리터
300 투과 필터
310 투과 필터 제어부
500 수광부
510 수광 제어부
400 광 차단 케이스
600 렌즈
700 중앙 제어부

Claims (15)

  1. 미리 정해진 파장 범위 내의 파장을 갖는 자외선을 선택적으로 조사하는 광원;
    상기 광원에서 조사된 상기 자외선을 집광하는 집광부;
    상기 집광부로부터 전달된 상기 자외선을 대상물로 전달하거나, 상기 대상물로부터 반사된 자외선 또는 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시키는 빔 스플리터;
    상기 빔 스플리터를 통과한 자외선 또는 형광된 빛을 선택적으로 투과시키는 투과 필터; 및
    상기 투과 필터를 통과한 상기 자외선 또는 형광된 빛을 수광하는 수광부를 포함하는, 자외선 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 파장 범위는 250 nm 내지 400 nm인, 자외선 검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원은 복수의 자외선 램프를 포함하는, 자외선 검사 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 복수의 자외선 램프 중 적어도 일부는 서로 다른 파장을 갖는, 자외선 검사 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 복수의 자외선 램프는 일 방향을 따라 서로 나란하게 배열되는, 자외선 검사 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원은 복수의 자외선 LED를 포함하는, 자외선 검사 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수의 자외선 LED 중 적어도 일부는 서로 다른 파장을 갖는, 자외선 검사 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 복수의 자외선 LED 중 동일한 파장을 갖는 자외선 LED는 서로 인접하여 배치되는, 자외선 검사 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 광원은 상기 자외선의 조도를 조절할 수 있는, 자외선 검사 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 투과 필터는, 상기 대상물에서 반사된 자외선을 투과시키는, 자외선 검사 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 수광부는, 상기 투과 필터를 투과한 상기 자외선을 수광하는, 자외선 검사 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 수광부는 자외선 CCD를 포함하는, 자외선 검사 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 투과 필터는, 상기 대상물에서 형광된 빛을 투과시키는, 자외선 검사 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 수광부는, 상기 투과 필터를 투과한 상기 형광된 빛을 수광하는, 자외선 검사 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 수광부는 가시광 CCD를 포함하는, 자외선 검사 장치.
KR1020160160372A 2016-11-29 2016-11-29 자외선 검사 장치 KR20180065038A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160160372A KR20180065038A (ko) 2016-11-29 2016-11-29 자외선 검사 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160160372A KR20180065038A (ko) 2016-11-29 2016-11-29 자외선 검사 장치

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180066216A Division KR101926050B1 (ko) 2018-06-08 2018-06-08 자외선 검사 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20180065038A true KR20180065038A (ko) 2018-06-18

Family

ID=62767836

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160160372A KR20180065038A (ko) 2016-11-29 2016-11-29 자외선 검사 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20180065038A (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002207004A (ja) * 2001-01-09 2002-07-26 Mitsutoyo Corp 画像測定機
US20160306156A1 (en) * 2013-12-16 2016-10-20 Kromnigon Ab System and method for fluorescence microscopy with detection of light emission from multiple fluorochromes

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002207004A (ja) * 2001-01-09 2002-07-26 Mitsutoyo Corp 画像測定機
US20160306156A1 (en) * 2013-12-16 2016-10-20 Kromnigon Ab System and method for fluorescence microscopy with detection of light emission from multiple fluorochromes

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10732102B2 (en) Optical test apparatus and optical test method
KR101857539B1 (ko) 검사용 조명 장치 및 검사 시스템
US8199332B2 (en) Apparatus for measuring thickness
US20150249104A1 (en) Image sensor device
TWI464384B (zh) 缺陷檢測及光致發光量測系統
CN106483646B (zh) 显微分光装置
KR101756614B1 (ko) 검사용 조명장치 및 검사 시스템
WO2019111426A1 (ja) 検査システム及び検査方式
US10495804B2 (en) Optical plate, light irradiation device, light measurement device, light irradiation method, and light measurement method
KR102395039B1 (ko) 벌크재 검사장치 및 방법
KR102135999B1 (ko) 조명 패터닝을 이용하는 압축 감지
JP5492409B2 (ja) 電子顕微鏡装置
JP7191801B2 (ja) 光学検査装置
CN102608098A (zh) 共焦拉曼光谱仪及其激光光路的处理方法
KR101926050B1 (ko) 자외선 검사 장치
KR20180065038A (ko) 자외선 검사 장치
CN105651733B (zh) 材料散射特性测量装置及方法
JP2013246059A (ja) 欠陥検査装置および欠陥検査方法
US20030031342A1 (en) Apparatus for examining documents of value
JP2011134687A (ja) 照明装置
DK2252880T3 (en) Device and method for contactless identification of characteristics of continuously transported translucent products
JP2017049111A (ja) 照明装置
JP5623590B2 (ja) 電子顕微鏡装置
TWI660218B (zh) 自動化螢光檢測系統
JP2003322620A (ja) 精密検査装置に用いられる照明光源装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
A107 Divisional application of patent