KR20180055711A - Glass for chemical strengthening and chemically strengthened glass - Google Patents

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KR20180055711A
KR20180055711A KR1020170149284A KR20170149284A KR20180055711A KR 20180055711 A KR20180055711 A KR 20180055711A KR 1020170149284 A KR1020170149284 A KR 1020170149284A KR 20170149284 A KR20170149284 A KR 20170149284A KR 20180055711 A KR20180055711 A KR 20180055711A
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유이치 야마모토
고쇼 아카츠카
히데하루 토리
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아사히 가라스 가부시키가이샤
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Abstract

An object of the present invention is to obtain a chemically strengthened glass having a high CS value through one chemical strengthening treatment, and to provide a glass for chemical strengthening which can suppress defects of an edge portion when chamfering the chemically strengthened glass. The present invention relates to a specific composition range, and relates to a glass for chemical strengthening having a main surface and a back surface opposing the main surface, wherein a tin content in the back surface is larger than a tin content in the main surface. A hydrogen concentration in a depth of 1-2 μm in a sheet thickness direction from a surface of the main surface is gradually decreasing.

Description

화학 강화용 유리 및 화학 강화 유리{GLASS FOR CHEMICAL STRENGTHENING AND CHEMICALLY STRENGTHENED GLASS}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass reinforced glass,

본 발명은, 화학 강화용 유리 및 화학 강화된 유리(이하, 화학 강화 유리라고도 함)에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical strengthening glass and a chemically strengthened glass (hereinafter also referred to as chemical strengthening glass).

근년, 휴대 전화 또는 휴대 정보 단말기(PDA) 등의 플랫 패널 디스플레이 장치(이하, 장치 등이라고 함)에 있어서, 커버 유리로서 화학 강화 유리가 사용되고 있다. 화학 강화 유리에는, 장치 등에 탑재되며, 장치 등을 떨어뜨려버렸을 경우에도 깨지지 않는 강도가 요구되고 있다.BACKGROUND ART In recent years, chemical tempered glass has been used as a cover glass in a flat panel display device (hereinafter referred to as a device or the like) such as a portable telephone or a portable information terminal (PDA). The chemical tempered glass is required to have a strength that is mounted on a device or the like and is not broken even when the device is dropped.

화학 강화 유리의 강도를 표시하는 지표로서, 압축 응력값(CS값)이 있다. 화학 강화용 유리는, 1회의 화학 강화 처리로, 높은 CS값(예를 들어, 1000MPa 이상)을 갖는 화학 강화 유리가 얻어질 것이 요구되고 있다. 한편, 화학 강화 유리는, 장치 등에 탑재되었을 때, 단부면의 에지 부분을 모따기함으로써 감촉감을 향상시키고 있다.As an index indicating the strength of the chemically tempered glass, there is a compressive stress value (CS value). It is required that the chemical strengthening glass is obtained by chemical strengthening treatment once, and a chemical strengthening glass having a high CS value (for example, 1000 MPa or more) is obtained. On the other hand, when the chemical tempered glass is mounted on an apparatus or the like, the edge portion of the end face is chamfered to improve the sense of touch.

여기서, 특허문헌 1에는, 화학 강화용 유리에 2회의 화학 강화 처리를 실시하여, CS값이 1000MPa를 초과하는 화학 강화 유리를 얻는 것이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는, 유리의 H 농도 분포가 화학 강화 유리의 휨에 영향을 미치는 것이 개시되어 있다.Here, in Patent Document 1, it is disclosed that chemical strengthening glass is subjected to chemical strengthening treatment twice to obtain chemical strengthened glass having CS value exceeding 1000 MPa. Further, in Patent Document 2, it is disclosed that the H concentration distribution of the glass affects the warp of the chemically tempered glass.

국제 공개 제2012/043482호International Publication No. 2012/043482 국제 공개 제2013/005588호International Publication No. 2013/005588

그러나, 상기 어느 문헌도, 1회의 화학 강화 처리로 높은 CS값을 갖는 화학 강화 유리가 얻어지고, 해당 화학 강화 유리의 모따기 시에 에지부의 결손을 억제할 수 있는 화학 강화용 유리에 대해서, 전혀 개시 및 시사를 하고 있지 않다.However, none of the above literatures discloses a chemical strengthening glass having a high CS value by one chemical strengthening treatment, and a chemical strengthening glass capable of suppressing the edge defect at the time of chamfering the chemical strengthening glass, And does not have a preview.

본 발명은, 1회의 화학 강화 처리로 높은 CS값을 갖는 화학 강화 유리가 얻어지고, 해당 화학 강화 유리의 모따기 시에 에지부의 결손을 억제할 수 있는 화학 강화용 유리를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a chemical strengthening glass having a high CS value by one chemical strengthening treatment and capable of suppressing the edge defects at the time of chamfering the chemical strengthening glass.

본 발명자들은, 특정한 유리 조성이며, 상기 주면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서의 수소 농도가 깊이 방향으로 서서히 감소하고 있는 것을 특징으로 하는 화학 강화용 유리에 의하면, 상기 과제를 해결할 수 있음을 발견하고, 본 발명을 완성하였다.The inventors of the present invention have found that a chemical strengthening glass having a specific glass composition and having a gradual decrease in hydrogen concentration at a depth of 1 to 2 탆 in the thickness direction from the surface of the main surface in the depth direction, And completed the present invention.

즉, 본 발명은 하기 <1> 내지 <8>에 관한 것이다.That is, the present invention relates to the following <1> to <8>.

<1> 산화물 기준의 몰 백분율 표시로,&Lt; 1 > As a mole percentage based on oxide,

SiO2: 60 내지 67%,SiO 2 : 60 to 67%

Al2O3: 9 내지 13.5%,Al 2 O 3 : 9 to 13.5%

Na2O: 13.5 내지 18.5%,Na 2 O: 13.5 to 18.5%

K2O: 0.1 내지 3%,0.1 to 3% of K 2 O,

MgO: 6 내지 10.5% 및MgO: 6 to 10.5% and

TiO2: 0% 초과 5% 이하를 함유하고,TiO 2 : more than 0% and not more than 5%

주면과 상기 주면에 대향하는 이면을 갖고, 상기 이면의 주석 함유량이 상기 주면의 주석 함유량보다도 많으며, 상기 주면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서의 수소 농도가 깊이 방향으로 서서히 감소하고 있는 것을 특징으로 하는 화학 강화용 유리.Wherein the tin content of the back surface is larger than the tin content of the main surface and the hydrogen concentration at a depth of 1 to 2 占 퐉 in the plate thickness direction from the surface of the main surface gradually decreases in the depth direction Wherein the chemical strengthening glass is a glass.

<2> 상기 이면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서의 수소 농도가 깊이 방향으로 서서히 감소하고 있는 것을 특징으로 하는 <1>에 기재된 화학 강화용 유리.&Lt; 2 > The chemical strengthening glass according to < 1 >, wherein the hydrogen concentration at a depth of 1 to 2 mu m in the thickness direction direction from the surface of the back surface gradually decreases in the depth direction.

<3> 상기 주면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 10㎛에 있어서의 수소 농도는, 상기 이면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 10㎛에 있어서의 수소 농도보다도 낮은 것을 특징으로 하는 <1>에 기재된 화학 강화용 유리.<3> The hydrogen concentration at a depth of 1 to 10 μm in the plate thickness direction from the surface of the main surface is lower than the hydrogen concentration at a depth of 1 to 10 μm in the plate thickness direction from the surface of the back surface. &Lt; / RTI >

<4> 유리의 점도가 104dPaㆍs로 되는 온도 T4가 1255℃ 이하인 <1> 내지 <3> 중 어느 하나에 기재된 화학 강화용 유리.&Lt; 4 > The chemical strengthening glass according to any one of < 1 > to < 3 &gt;, wherein the temperature T4 at which the glass has a viscosity of 10 4 dPa · s is at most 1255 ° C.

<5> 산화물 기준의 몰 백분율 표시로 ZrO2를 0.11% 초과 4.0% 이하 포함하는 <1> 내지 <4> 중 어느 하나에 기재된 화학 강화용 유리.<5> the chemical strengthened glass as described for the ZrO 2 to the mole percent of the oxide-based display of any of <1> to <4> containing 0.11% or less than 4.0% one.

<6> <1> 내지 <5> 중 어느 하나에 기재된 화학 강화용 유리가 화학 강화된 화학 강화 유리.&Lt; 6 > A chemically tempered glass in which the chemical strengthening glass according to any one of < 1 > to < 5 >

<7> 표면 압축 응력(CS)이 900MPa 이상인 <6>에 기재된 화학 강화 유리.<7> The chemical tempered glass according to <6>, wherein the surface compressive stress (CS) is 900 MPa or more.

<8> 압축 응력층 깊이(DOL)가 30㎛ 이상인 <6> 또는 <7>에 기재된 화학 강화 유리.<8> The chemical tempered glass according to <6> or <7>, wherein the compressive stress layer depth (DOL) is 30 μm or more.

본 발명의 화학 강화용 유리는, 1회의 화학 강화 처리로 높은 CS값을 갖는 화학 강화된 유리를 얻을 수 있고, 해당 화학 강화 유리의 모따기 시에 에지부의 결손을 억제할 수 있는 유리이다.The chemical strengthening glass of the present invention is a glass capable of obtaining a chemically reinforced glass having a high CS value by a single chemical strengthening treatment and suppressing the edge defects at the time of chamfering the chemical tempered glass.

도 1은, 본 발명품 및 종래품의 톱면(주면) 및 보텀면(이면)에 있어서의 수소 농도의 프로파일을 나타내는 도면이다. 종축은 수소 농도(atoms/cm3)를 나타내고, 횡축은 표면으로부터의 판 두께 방향 깊이(㎛)를 나타낸다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a view showing a profile of hydrogen concentration on a top surface (main surface) and a bottom surface (back surface) of the present invention and a conventional product. The ordinate indicates the hydrogen concentration (atoms / cm 3 ), and the abscissa indicates the depth in the plate thickness direction (mu m) from the surface.

이하, 본 발명을 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 임의로 변형하여 실시할 수 있다. 또한, 본 명세서에 있어서 간단히 「%」라고 기재한 경우에는 「몰%」를 의미하고, 「내지」란 그 하한값 이상, 그 상한값 이하인 것을 의미한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention is described in detail below, but the present invention is not limited to the following embodiments, and can be arbitrarily modified within the range not departing from the gist of the present invention. In the present specification, "%" means "mol%", and "to" means lower than or equal to the upper limit.

<화학 강화용 유리><Glass for chemical strengthening>

본 발명에 따른 화학 강화용 유리(이하, 간단히 「유리」라고도 하는 경우가 있음)는, 산화물 기준의 몰 백분율 표시로, SiO2: 60 내지 67%, Al2O3: 9 내지 13.5%, Na2O: 13.5 내지 18.5%, K2O: 0.1 내지 3%, MgO: 6 내지 10.5% 및 TiO2: 0% 초과 5% 이하를 함유하는 것을 특징으로 한다.The glass for chemical strengthening according to the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as &quot; glass &quot;) is represented by a molar percentage based on the oxide. The glass contains 60 to 67% of SiO 2 , 9 to 13.5% of Al 2 O 3 , 2 O: 13.5 to 18.5%, K 2 O: 0.1 to 3%, MgO: 6 to 10.5%, and TiO 2 : 0 to 5%.

이하에 있어서, 유리 조성에 있어서의 각 성분에 대하여 설명한다.Hereinafter, each component in the glass composition will be described.

SiO2는, 유리를 구성하는 주요 성분이다. 또한, 유리 표면에 흠집(압흔)이 생겼을 때의 크랙의 발생을 저감시키거나, 또는 화학 강화 후에 압흔이 생겼을 때의 파괴율을 작게 하는 성분이다. 또한, SiO2는 유리의 내산성을 높이고, 또한 에칭 처리 시의 슬러지량을 저감시키는(내불산성을 높이는) 성분이기도 하다.SiO 2 is a main component of glass. In addition, it is a component that reduces the generation of cracks when scratches (indentations) are formed on the glass surface, or reduces the destruction rate when indentations occur after chemical strengthening. SiO 2 is also a component for enhancing the acid resistance of glass and reducing the amount of sludge in the etching treatment (enhancing the moisture resistance).

한편, SiO2의 함유량이 너무 많으면, 고온에서의 점성이 너무 높아져서 생산성이 낮아진다. 그 때문에 SiO2의 함유량은 60 내지 67%이며, 62% 이상이 바람직하고, 63% 이상이 보다 바람직하고, 또한 66% 이하가 바람직하고, 65% 이하가 보다 바람직하다.On the other hand, if the content of SiO 2 is too large, the viscosity at high temperature becomes too high and productivity is low. Therefore, the content of SiO 2 is 60 to 67%, preferably 62% or more, more preferably 63% or more, further preferably 66% or less and more preferably 65% or less.

Al2O3은 많을수록 화학 강화 처리 시의 CS를 높일 수 있는 한편, DOL이 저하된다. 그 때문에 Al2O3의 함유량은 9 내지 13.5%이며, 9.5% 이상이 바람직하고, 10% 이상이 보다 바람직하고, 또한 12% 이하가 바람직하고, 11.5% 이하가 보다 바람직하다.The more Al 2 O 3, the higher the CS during the chemical strengthening treatment, while the lower the DOL. Therefore, the content of Al 2 O 3 is 9 to 13.5%, preferably 9.5% or more, more preferably 10% or more, further preferably 12% or less, and more preferably 11.5% or less.

Na2O는 이온 교환에 의해 표면 압축 응력층을 형성시키는 필수 성분이며, DOL을 크게 하는 작용이 있다. 또한, 유리의 용해 온도와 실투 온도를 낮추어, 유리의 용해성, 성형성을 향상시키는 성분이다. Na2O는 비가교 산소를 증가시키는 성분이며, Na2O 함유량이 많은 경우에는, 유리 중의 수분량이 변동되었을 때의 화학 강화 특성의 변동이 적어진다.Na 2 O is an essential component for forming a surface compressive stress layer by ion exchange and has an effect of increasing the DOL. Further, it is a component that improves the solubility and moldability of the glass by lowering the melting temperature and the melting temperature of the glass. Na 2 O is a component that increases non-crosslinked oxygen, and when the content of Na 2 O is large, fluctuation of chemical strengthening characteristics when the moisture content in the glass changes is small.

Na2O는 많을수록 화학 강화 처리 시의 DOL을 크게 하는 한편, CS가 저하되는 경우가 있다. 또한, Na2O를 함유함으로써 DUV 내성이 낮아지는 경향이 있는 점에서, DUV 내성의 관점에서는 비가교 산소가 적을수록 바람직하다.The greater the number of Na 2 O, the larger the DOL during the chemical strengthening treatment and the lower the CS. In addition, from the viewpoint of DUV resistance, the lower the non-crosslinked oxygen, the better, because the inclusion of Na 2 O tends to lower the DUV resistance.

DUV 내성은, Deep UV(DUV)라고 불리는 단파장 영역의 자외선에 대하여, 특정 파장 영역에 있어서의 투과율의 저하를 방지하는 성질이다.The DUV resistance is a property to prevent a decrease in transmittance in a specific wavelength region with respect to an ultraviolet ray in a short wavelength region called Deep UV (DUV).

그 때문에 Na2O의 함유량은 13.5 내지 18.5%이며, 14.5% 이상이 바람직하고, 15% 이상이 보다 바람직하고, 또한 17.5% 이하가 바람직하고, 16.5% 이하가 보다 바람직하다.Therefore, the content of Na 2 O is 13.5 to 18.5%, preferably 14.5% or more, more preferably 15% or more, further preferably 17.5% or less and more preferably 16.5% or less.

K2O는 이온 교환 속도를 증대시켜 DOL을 크게 하고, 유리의 용해 온도를 낮추는 효과가 있고, 비가교 산소를 증대시키는 성분이다. 또한, 화학 강화 처리 시에 사용하는 질산칼륨 용융염 중의 NaNO3 농도에 의한 표면 압축 응력의 변화의 증대를 회피할 수 있다. 나아가, 소량의 K2O는, 플로트법에 의한 유리판 성형 시에 보텀면으로부터의 주석의 침입량을 억제하는 효과가 있기 때문에, 플로트법에 의해 성형할 때에는 함유하는 것이 바람직하다. 상기 효과를 발휘하기 위해서, 본 발명의 유리에 있어서의 K2O의 함유량은 0.1% 이상이며, 0.3% 이상이 바람직하고, 0.4% 이상이 보다 바람직하다.K 2 O has an effect of increasing the ion exchange rate to increase the DOL, lower the melting temperature of the glass, and increase the non-crosslinked oxygen. It is also possible to avoid an increase in the change in the surface compressive stress due to the NaNO 3 concentration in the potassium nitrate molten salt used in the chemical strengthening treatment. Furthermore, a small amount of K 2 O has an effect of suppressing the amount of tin from the bottom surface when the glass sheet is formed by the float method. Therefore, it is preferable that the small amount of K 2 O is contained when forming by the float method. In order to exhibit the above effect, the content of K 2 O in the glass of the present invention is 0.1% or more, preferably 0.3% or more, and more preferably 0.4% or more.

한편, K2O가 너무 많으면 CS가 저하된다. 또한, K2O를 함유함으로써 DUV 내성이 낮아지는 경향이 있다. 이들 관점에서, K2O의 함유량은 3% 이하로 하고, 2% 이하가 바람직하고, 1.3% 이하가 보다 바람직하고, 1% 이하가 더욱 바람직하고, 0.95% 이하가 보다 더 바람직하다.On the other hand, if K 2 O is too much, CS is lowered. In addition, the content of K 2 O tends to lower the DUV resistance. From these viewpoints, the content of K 2 O is 3% or less, preferably 2% or less, more preferably 1.3% or less, more preferably 1% or less, still more preferably 0.95% or less.

MgO는 유리를 안정화시키고, 용해성을 향상시키며, 또한 이것을 첨가함으로써 알칼리 금속의 함유량을 저하시켜 열팽창률(CTE)의 상승을 억제할 수 있는 성분이다. 상기 효과를 발휘하기 위해서, 본 발명의 유리에 있어서의 MgO의 함유량은 6% 이상이며, 7% 이상이 바람직하고, 7.5% 이상이 보다 바람직하다. 한편, DOL을 크게 하기 위해서는, MgO의 함유량은 10.5% 이하이고, 9.5% 이하가 바람직하고, 9% 이하가 보다 바람직하다.MgO stabilizes the glass and improves the solubility, and by adding it, the content of the alkali metal is lowered and the increase of the thermal expansion coefficient (CTE) is suppressed. In order to achieve the above effect, the content of MgO in the glass of the present invention is 6% or more, preferably 7% or more, and more preferably 7.5% or more. On the other hand, in order to increase the DOL, the content of MgO is 10.5% or less, preferably 9.5% or less, and more preferably 9% or less.

TiO2는 DUV 내성을 향상시키는 성분이다. 한편, TiO2가 너무 많으면 DOL이 저하된다. 그 때문에, TiO2의 함유량은 0% 초과 5% 이하이고, 0.01% 이상이 바람직하고, 0.03% 이상이 보다 바람직하고, 또한 3% 이하가 바람직하고, 1% 이하가 보다 바람직하고, 0.5% 이하가 더욱 바람직하고, 0.4% 이하가 보다 더 바람직하고, 0.3% 이하가 특히 바람직하다.TiO 2 is a component that improves DUV resistance. On the other hand, if the amount of TiO 2 is too large, the DOL decreases. Therefore, the content of TiO 2 is more than 0% and not more than 5%, preferably not less than 0.01%, more preferably not less than 0.03%, more preferably not more than 3%, more preferably not more than 1% , More preferably 0.4% or less, and particularly preferably 0.3% or less.

ZrO2는 우수한 DUV 내성을 부여함과 동시에, 화학적 내구성을 향상시키고, 화학 강화 시의 CS를 증대시킴과 함께, 화학 강화 후의 비커스 경도를 향상시키는 성분이므로, 함유할 수 있다.ZrO 2 is a component that imparts excellent DUV resistance, improves chemical durability, increases CS at chemical strengthening, and improves Vickers hardness after chemical strengthening.

본 발명에 따른 유리는 TiO2와 ZrO2를 모두 함유하는 것이 바람직하고, ZrO2를 함유하는 경우에는, 함유량은 0.1% 이상이 바람직하고, 0.11% 초과가 보다 바람직하고, 0.12% 이상이 더욱 바람직하고, 0.13% 이상이 보다 더 바람직하다.The glass according to the present invention preferably contains both TiO 2 and ZrO 2. When ZrO 2 is contained, the content is preferably 0.1% or more, more preferably 0.11% or more, still more preferably 0.12% or more , And 0.13% or more is more preferable.

한편, 유리 제조 시의 실투를 억제하고, 화학 강화 시의 DOL 저하를 방지하는 관점에서, ZrO2의 함유량은 4% 이하가 바람직하고, 3% 이하가 보다 바람직하고, 2% 이하가 더욱 바람직하고, 1.5% 이하가 보다 더 바람직하고, 1% 이하가 특히 바람직하다.On the other hand, the content of ZrO 2 is preferably 4% or less, more preferably 3% or less, still more preferably 2% or less, from the viewpoint of suppressing the devitrification at the time of glass production and preventing the decrease of DOL at the time of chemical strengthening , More preferably 1.5% or less, and particularly preferably 1% or less.

또한, 본 발명에 따른 화학 강화용 유리는, Na2O, K2O, Al2O3, ZrO2, TiO2의 산화물 기준의 몰 백분율 표시로 표시되는 함유량에 대해서, [(Na2O+K2O×5)/(Al2O3+ZrO2+TiO2×10)]이 2.55 이하인 관계를 만족시키는 것이 바람직하다.Further, the glass for enhanced chemical according to the present invention, Na 2 O, K 2 O, Al 2 O 3, ZrO 2, with respect to the content represented by mol percentage shown in the oxide basis of TiO 2, [(Na 2 O + K 2 O x 5) / (Al 2 O 3 + ZrO 2 + TiO 2 x 10)] is 2.55 or less.

상술한 바와 같이, Na2O와 K2O는 DOL을 크게 하는 한편, CS나 DUV 내성을 저하시키는 성분이다. 또한, 유리의 점도가 102dPaㆍs로 되는 온도 T2나, 유리의 점도가 104dPaㆍs로 되는 온도 T4를 낮추는 성분이다.As described above, Na 2 O and K 2 O are components that increase the DOL while lowering CS and DUV resistance. In addition, a component to lower the temperature T2, the viscosity of glass is 2 to 10 dPa · s and a temperature T4, the viscosity of the glass is 4 to 10 dPa · s.

또한, Al2O3, ZrO2, TiO2는 CS나 DUV 내성을 높일 수 있는 한편, DOL을 저하시키는 성분이다. 또한, Al2O3은 온도 T2나 온도 T4를 높이는 성분이며, 너무 많으면, 고온에서의 점성이 높아져서 유리의 생산성이 저하된다.Al 2 O 3 , ZrO 2 and TiO 2 can increase the CS and DUV resistance while lowering the DOL. Al 2 O 3 is a component that increases the temperature T 2 and the temperature T 4, and if it is too large, the viscosity at high temperature increases and the productivity of the glass decreases.

즉, CS, DOL, 내산성 및 생산성의 밸런스로부터, [(Na2O+K2O×5)/(Al2O3+ZrO2+TiO2×10)]으로 표시되는 값은 2.55 이하가 바람직하고, 2.0 이하가 보다 바람직하고, 1.9 이하가 더욱 바람직하고, 1.8 이하가 보다 더 바람직하고, 1.75 이하가 한층 바람직하고, 1.71 이하가 특히 바람직하다. 또한, 0.1 이상이 바람직하고, 0.5 이상이 보다 바람직하고, 1.0 이상이 더욱 바람직하다.That is, from the balance of CS, DOL, acid resistance and productivity, the value represented by [(Na 2 O + K 2 O 5) / (Al 2 O 3 + ZrO 2 + TiO 2 × 10)] is preferably 2.55 or less More preferably 2.0 or less, still more preferably 1.9 or less, still more preferably 1.8 or less, still more preferably 1.75 or less, and particularly preferably 1.71 or less. Further, it is preferably 0.1 or more, more preferably 0.5 or more, and even more preferably 1.0 or more.

또한, 본 발명에 있어서는, 특히 CS를 높이기 위해서, 또한 내산성을 향상시키기 위해서, Al2O3, K2O의 산화물 기준의 몰 백분율 표시로 표시되는 함유량에 대해서, Al2O3/K2O가 10 초과인 관계를 만족시키는 것이 바람직하다. Al2O3/K2O는 10.3 이상이 보다 바람직하고, 10.5 이상이 더욱 바람직하고, 11.5 이상이 보다 더 바람직하고, 12.5 이상이 한층 바람직하고, 14.0 이상이 특히 바람직하고, 15.0 이상이 가장 바람직하다.In the present invention, in particular in order to increase the CS, also in order to improve the acid resistance, Al 2 O 3, with respect to the content represented by mol percentage shown in the K 2 O oxide basis, Al 2 O 3 / K 2 O Is more than 10, is satisfied. Al 2 O 3 / K 2 O is more preferably at least 10.3, more preferably at least 10.5, even more preferably at least 11.5, even more preferably at least 12.5, particularly preferably at least 14.0, and most preferably at least 15.0 Do.

또한, MgO, Na2O, K2O, ZrO2 및 TiO2의 산화물 기준의 몰 백분율 표시로 표시되는 함유량에 대해서, [(MgO/2+Na2O+K2O×2)/(TiO2+ZrO2)]가 53 내지 140인 관계를 만족시키는 것이, 후술하는 에칭 시의 슬러지량을 저감(내불산성 향상)시킬 수 있는 점에서 바람직하다. [(MgO/2+Na2O+K2O×2)/(TiO2+ZrO2)]로 표시되는 값은 130 이하가 보다 바람직하고, 125 이하가 더욱 바람직하고, 120 이하가 보다 더 바람직하다. 또한, 55 이상이 보다 바람직하고, 60 이상이 더욱 바람직하다.In addition, MgO, Na 2 O, K 2 O, ZrO 2 , and with respect to the content represented by mol percentage shown in the oxide basis of TiO 2, [(MgO / 2 + Na 2 O + K 2 O × 2) / (TiO 2 + ZrO 2 )] of 53 to 140 is satisfied because it is possible to reduce the amount of sludge to be described later (to improve the anti-vacancy property). [(MgO / 2 + Na 2 O + K 2 O × 2) / (TiO 2 + ZrO 2)] for which the value is 130 and below are more preferable, and 125 or less, more preferably, less is more preferable than 120 represented by the Do. It is more preferably 55 or more, and more preferably 60 or more.

또한, 유리의 조성은, 간이적으로는 형광 X선법에 의해 측정할 수 있다. 습식 분석에 의하면, 유리 조성을 보다 정확하게 측정할 수 있다.The composition of the glass can be measured simply by fluorescence X-ray method. By wet analysis, the glass composition can be measured more accurately.

또한, 본 발명에 따른 유리에 함유될 수 있는 그 밖의 성분을 이하에 나타낸다.Further, other components that can be contained in the glass according to the present invention are shown below.

B2O3은 유리 원료의 용융을 촉진시키고, 유리의 취성이나 내후성을 향상시키는 성분이다.B 2 O 3 is a component that promotes the melting of the glass raw material and improves the brittleness and weather resistance of the glass.

B2O3은 함유하지 않아도 되고, 함유시키는 경우에는 그 함유량이 1% 이상임으로써, 화학 강화 후에 비커스 압흔이 생겼을 때의 파괴율을 작게 할 수 있거나 또는 고온에서의 용융성이 향상된다. B2O3의 함유량은, 휘발에 의한 맥리(ream)의 생성, 노벽의 침식 등의 문제가 발생하지 않기 위해서 15% 이하인 것이 바람직하고, 10% 이하가 보다 바람직하고, 7.5% 이하가 더욱 바람직하고, 5% 이하가 보다 더 바람직하고, 3% 이하가 특히 바람직하다.When B 2 O 3 is not contained, the content of the B 2 O 3 is 1% or more, so that the destruction rate when the Vickers indentation occurs after the chemical strengthening can be reduced or the melting property at a high temperature is improved. The content of B 2 O 3 is preferably not more than 15%, more preferably not more than 10%, further preferably not more than 7.5%, in order to avoid generation of ream due to volatilization and erosion of wall walls , More preferably not more than 5%, and particularly preferably not more than 3%.

P2O5는 이온 교환 성능을 저해하지 않고 내손상성을 향상시키는 성분이다. P2O5는 함유하지 않아도 되고, 함유시키는 경우에는 그 함유량이 바람직하게는 1% 이상, 보다 바람직하게는 2% 이상, 더욱 바람직하게는 2.5% 이상임으로써, 크랙 신전 개시 하중(CIL)이 높은 유리를 얻을 수 있다. 또한, P2O5의 함유량을 바람직하게는 10% 이하, 보다 바람직하게는 5% 이하, 더욱 바람직하게는 3% 이하로 함으로써, 특히 내산성이 우수한 유리를 얻을 수 있다.P 2 O 5 is a component which improves the damage resistance without impairing ion exchange performance. The content of P 2 O 5 is not required to be contained. When the content of P 2 O 5 is contained, the content thereof is preferably at least 1%, more preferably at least 2%, further preferably at least 2.5%, whereby the crack initiation load (CIL) Glass can be obtained. By setting the content of P 2 O 5 to 10% or less, more preferably 5% or less, and further preferably 3% or less, glass having particularly excellent acid resistance can be obtained.

CaO는 유리를 안정화시키는 성분이고, MgO의 존재에 의한 실투를 방지하며, 또한 CTE의 상승을 억제하면서 용해성을 향상시키기 위해 함유할 수 있다. CaO의 함유량은 0 내지 5%가 바람직하고, 0 내지 3%가 보다 바람직하고, 0 내지 1%가 더욱 바람직하다. CaO의 함유량이 5% 이하이면, 충분한 이온 교환 속도가 얻어지고, 원하는 DOL이 얻어진다. 또한, 화학 강화에 있어서의 이온 교환 성능을 특별히 향상시키고자 하는 경우에는, CaO는 바람직하게는 1% 미만이고, 보다 바람직하게는 0.5% 이하이다.CaO is a component for stabilizing glass and may be contained in order to prevent delamination due to the presence of MgO and also to improve the solubility while suppressing the rise of CTE. The content of CaO is preferably 0 to 5%, more preferably 0 to 3%, still more preferably 0 to 1%. When the content of CaO is 5% or less, a sufficient ion exchange rate is obtained, and a desired DOL is obtained. When the ion exchange performance in the chemical strengthening is specifically to be improved, the CaO is preferably less than 1%, more preferably not more than 0.5%.

CaO/MgO는 화학 강화에 있어서의 이온 교환 성능을 향상시키고, 유리판의 투과율을 높이는 관점에서, 0.5 이하인 것이 바람직하다.CaO / MgO is preferably 0.5 or less from the viewpoints of improving the ion exchange performance in chemical strengthening and increasing the transmittance of the glass plate.

이 밖에, 유리의 용융 청징제로서 SO3, 염화물, 불화물 등을 0 내지 1%의 범위에서 적절히 함유해도 된다.In addition, SO 3 , chloride, fluoride and the like may be appropriately contained in the range of 0 to 1% as the glass fining agent.

SrO는 필요에 따라서 함유해도 되지만, MgO, CaO에 비해 이온 교환 속도를 저하시키므로, SrO는 실질적으로 함유하지 않는 것으로 하거나, 함유하는 경우에도 그 함유량은 3% 이하인 것이 바람직하다.SrO may be contained as occasion demands, but it may lower the rate of ion exchange compared to MgO and CaO. Therefore, it is preferable that SrO is substantially not contained, or even if it is contained, the content thereof is preferably 3% or less.

또한, 본 명세서에 있어서 실질적으로 함유하지 않는다는 것은, 불가피적 불순물을 제외하고 함유하지 않는 것을 말하고, 예를 들어 바람직하게는 0.05% 미만, 보다 바람직하게는 0.01% 미만이다.In the present specification, substantially no impurities are those which do not contain any inevitable impurities. For example, the amount is preferably less than 0.05%, more preferably less than 0.01%.

BaO는 알칼리 토금속 산화물 중에서 이온 교환 속도를 저하시키는 효과가 가장 크므로, BaO는 실질적으로 함유하지 않는 것으로 하거나, 함유하는 경우에도 그 함유량은 3% 이하인 것이 바람직하고, 1% 이하가 더욱 바람직하고, 0.5% 이하가 보다 더 바람직하다.Since BaO has the greatest effect of lowering the ion exchange rate among the alkaline earth metal oxides, BaO is not substantially contained or, if contained, the content thereof is preferably 3% or less, more preferably 1% or less, 0.5% or less is more preferable.

SrO 또는 BaO를 함유하는 경우, 그들 함유량의 합계는 3% 이하가 바람직하고, 1% 이하가 보다 바람직하고, 더욱 바람직하게는 0.5% 이하, 나아가 0.3% 미만이다.When SrO or BaO is contained, the total content thereof is preferably 3% or less, more preferably 1% or less, still more preferably 0.5% or less, further preferably 0.3% or less.

CaO, SrO, BaO 중 어느 하나 이상을 함유하는 경우에 그들 3성분의 함유량의 합계는 3% 이하가 바람직하고, 3% 미만이 보다 바람직하다. 당해 합계가 3% 이하임으로써, 이온 교환 속도의 저하를 피할 수 있다. 보다 바람직하게는 1% 이하, 더욱 바람직하게는 0.5% 이하, 보다 더 바람직하게는 0.3% 미만이다.In the case of containing at least one of CaO, SrO and BaO, the total content of the three components is preferably 3% or less, more preferably 3% or less. When the total amount is 3% or less, a decrease in ion exchange rate can be avoided. , More preferably not more than 1%, further preferably not more than 0.5%, even more preferably less than 0.3%.

Li2O는 변형점 및 저온 점성을 과도하게 낮추어 응력 완화를 일으키기 쉽게 하고, 그 결과 압축 응력층의 응력값이 저하되어버리는 성분이므로 실질적으로 함유하지 않는 것이 바람직하다.Li 2 O is preferably a component substantially free from stress because the strain point and the low-temperature viscosity are excessively lowered to facilitate stress relaxation and consequently the stress value of the compressive stress layer is lowered.

또한, Li2O는 화학 강화 처리 시에 KNO3 등의 용융염 중에 용출되는 경우가 있지만, Li를 함유하는 용융염을 사용하여 화학 강화 처리를 행하면 표면 압축 응력이 현저하게 저하된다. 따라서, Li2O는 이 관점에서도 실질적으로 함유하지 않는 것이 바람직하다.In addition, Li 2 O may be eluted into a molten salt such as KNO 3 at the time of chemical strengthening treatment, but when the chemical strengthening treatment is carried out using a molten salt containing Li, the surface compressive stress remarkably decreases. Therefore, Li 2 O is preferably substantially free from this viewpoint.

SnO2는 DUV 내성을 향상시키는 성분이다. SnO2는 포함되지 않아도 되고, 포함되는 경우에는, 그 함유량은 0.001% 이상이 바람직하고, 0.005% 이상이 보다 바람직하고, 0.01% 이상이 더욱 바람직하고, 0.02% 이상이 특히 바람직하다. 한편, SnO2는 내솔라리제이션성을 저하시키는 점에서, 1% 이하가 바람직하고, 0.7% 이하가 보다 바람직하고, 0.5% 이하가 더욱 바람직하고, 0.3% 이하가 보다 더 바람직하고, 0.1% 이하가 특히 바람직하다.SnO 2 is a component that enhances DUV resistance. SnO 2 may not be included. When it is included, the content thereof is preferably 0.001% or more, more preferably 0.005% or more, still more preferably 0.01% or more, and particularly preferably 0.02% or more. On the other hand, SnO 2 is preferably 1% or less, more preferably 0.7% or less, still more preferably 0.5% or less, still more preferably 0.3% or less, and most preferably 0.1% Is particularly preferable.

CeO2는 DUV 내성을 향상시키는 성분이지만, 한편으로 내솔라리제이션성을 크게 저하시킨다. CeO2는 0.1% 미만이 바람직하고, 0.05% 미만이 보다 바람직하고, 0.01% 미만이 더욱 바람직하고, 실질적으로 함유하지 않는 것이 가장 바람직하다.CeO 2 is a component that improves DUV resistance, but on the other hand it greatly degrades the resistance to the solarisation. The content of CeO 2 is preferably less than 0.1%, more preferably less than 0.05%, still more preferably less than 0.01%, most preferably substantially not.

As2O3은 DUV 내성을 보다 우수한 것으로 하고, 유리 배치의 청징을 촉진시키는 성분이지만, 환경 부하가 높다. 그 때문에 As2O3은 실질적으로 함유하지 않는 것이 가장 바람직하다.As 2 O 3 is a component that makes DUV resistance more excellent and promotes refinement of the glass batch, but has a high environmental load. Therefore, it is most preferable that As 2 O 3 is substantially not contained.

<수소 농도><Hydrogen concentration>

본 발명에 따른 유리는 플로트법에 의해 성형되고, 성형 시에 용융 금속(주석)과 접하는 보텀면(이면)과, 해당 보텀면에 대향하는 톱면(주면)을 갖는다. 보텀면의 주석 함유량은 톱면의 주석 함유량보다도 많다. 본 발명자들은, 플로트 유리의 모따기 가공에 의해 발생하는 에지부의 결손량은, 톱면과 보텀면의 수소 농도차에 따라 상이한 것을 알아내었다.The glass according to the present invention is formed by a float method and has a bottom surface (back surface) that is in contact with molten metal (tin) at the time of molding and a top surface (main surface) opposite to the bottom surface. The tin content on the bottom surface is greater than the tin content on the top surface. The inventors of the present invention have found that the amount of defects of the edge portion generated by chamfering the float glass differs depending on the difference in hydrogen concentration between the top surface and the bottom surface.

플로트법에 의한 유리의 제조에 있어서는, 플로트 배스에 저류된 용융 금속의 표면에 상류측으로부터 용융 유리를 연속적으로 공급하여 유리 리본을 성형하면서 해당 플로트 배스의 하류측 단부로부터 성형 후의 유리 리본을 인출하며, 서냉조(레어)에서 서냉시킴으로써 판유리를 제조한다.In the production of glass by the float method, molten glass is continuously supplied from the upstream side to the surface of the molten metal stored in the float bath to draw the glass ribbon after molding from the downstream side end of the float bath while molding the glass ribbon , And slowly cooled in a standing cold bath (rare) to produce a plate glass.

플로트법에 의한 유리의 제조에 있어서 통상적으로는, 유리 용융 가마와 플로트 배스 사이의 유로가 좁아지고 있는 타입의 장치가 사용된다. 이 경우, 플로트 배스 내에서 유리의 폭을 확장시킬 필요가 있기 때문에, 후술하는 다른 타입의 장치를 사용하는 경우에 비해, 보다 고온의 용융 유리를 용융 금속 표면으로 흘려보내어 성형한다.In the production of glass by the float process, an apparatus of the type in which the flow path between the glass melting furnace and the float bath is narrowed is usually used. In this case, since it is necessary to expand the width of the glass in the float bath, a molten glass of a higher temperature is flowed to the surface of the molten metal to be molded, compared with the case of using another type of apparatus described later.

플로트 배스 내는 노점이 낮기 때문에, 유리 표면으로부터 H2O가 확산되고, 주면(톱면)으로부터는 분위기 중으로 H2O가 확산된다. 또한, 이면(보텀면)으로부터는 용융 금속 중으로 H2O가 확산된다. 그 때문에, 이러한 타입의 장치에서 제조된 플로트 유리는, 유리 내부보다도 표면측에서 수소 농도가 낮아진다. 단, 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서의 수소 농도의 기울기는, 제조 조건에 의해 제어 가능하다.Due to the low dew point that the float bath, and the H 2 O diffuses from the glass surface, the main surface (topmyeon) is from the H 2 O diffuses into the atmosphere. Further, H 2 O diffuses from the back surface (bottom surface) into the molten metal. Therefore, the float glass produced in this type of device has a lower hydrogen concentration on the surface side than in the glass interior. However, the slope of the hydrogen concentration at a depth of 1 to 2 占 퐉 in the plate thickness direction from the surface can be controlled by the production conditions.

본 발명에 따른 유리는, 주면과 상기 주면에 대향하는 이면을 갖고, 상기 이면의 주석 함유량이 상기 주면의 주석 함유량보다도 많으며, 상기 주면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서의 수소 농도가 깊이 방향으로 서서히 감소하고 있는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 이면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서의 수소 농도에 대해서도 깊이 방향으로 서서히 감소하고 있는 것이 바람직하다.The glass according to the present invention has a main surface and a back surface opposed to the main surface, the tin content of the back surface being larger than the tin content of the main surface, and the hydrogen concentration Is gradually reduced in the depth direction. It is also preferable that the hydrogen concentration at a depth of 1 to 2 占 퐉 in the plate thickness direction from the surface of the back surface is also gradually decreased in the depth direction.

여기서, 「표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서의 수소 농도가 깊이 방향으로 서서히 감소하고 있다」는 것은, 예를 들어 실시예에 있어서 후술하는 분석 조건에 의한 2차 이온 질량 분석에 의해 측정되는 수소 농도가, 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서, 깊이 방향으로 바람직하게는 5 내지 80%/㎛, 보다 바람직하게는 20내지 50%/㎛ 감소하고 있는 것을 말한다.Here, the phrase "the hydrogen concentration at a depth of 1 to 2 μm in the plate thickness direction from the surface is gradually decreased in the depth direction" can be obtained, for example, by secondary ion mass analysis Means that the measured hydrogen concentration is preferably 5 to 80% / 탆, more preferably 20 to 50% / 탆 in the depth direction at a depth of 1 to 2 탆 in the plate thickness direction from the surface.

H2O의 확산 계수는 온도가 높은 쪽이 높기 때문에, 보다 저온의 용융 금속과 접하는 플로트 유리의 보텀면보다도 노점이 낮거나 또는 온도가 높은 분위기와 접하는 톱면으로부터의 H2O의 확산량 쪽이 많아져, 플로트 유리의 보텀면보다도 톱면의 수소 농도가 낮아진다.Since the diffusion coefficient of H 2 O is higher at higher temperatures, the diffusion amount of H 2 O from the top surface in contact with the dew point is lower than the bottom surface of the float glass in contact with the molten metal at a lower temperature, The hydrogen concentration on the top surface becomes lower than the bottom surface of the float glass.

한편, 플로트법에 의한 유리의 제조에 있어서, 유리 용융 가마와 플로트 배스 사이에서 유로가 좁아지지 않는 타입의 장치가 사용되는 경우가 있다. 이러한 타입의 장치에서 제조하는 경우, 플로트 배스 내에서 유리를 넓힐 필요가 없기 때문에, 앞에서 설명한 타입의 장치에 비해 보다 저온의 용융 유리를 고온의 용융 금속으로 흘려보내어 성형한다.On the other hand, in the production of glass by the float method, a type of apparatus in which the flow path is not narrowed between the glass melting furnace and the float bath may be used. In the case of manufacturing in this type of apparatus, since it is not necessary to widen the glass in the float bath, a molten glass of a lower temperature is flowed into the molten metal at a higher temperature than that of the apparatus of the above-described type, and is molded.

H2O의 확산 계수는 온도가 높은 쪽이 높기 때문에, 플로트 유리의 톱면보다도 보텀면의 온도가 높아지는 경우가 있고, 이러한 경우에는 톱면보다도 보텀면으로부터의 H2O의 확산량 쪽이 많아져, 플로트 유리의 톱면보다도 보텀면의 수소 농도가 낮아진다.Since the diffusion coefficient of H 2 O is higher at higher temperatures, the temperature of the bottom surface may be higher than the top surface of the float glass. In this case, the diffusion amount of H 2 O from the bottom surface is larger than that of the top surface The hydrogen concentration on the bottom surface becomes lower than the top surface of the float glass.

따라서, 플로트법으로 제조된 유리는, 제조 조건에 의해 보텀면보다도 톱면의 수소 농도가 낮아지거나, 또는 톱면보다도 보텀면의 수소 농도가 낮아져, 주면과 이면의 수소 농도차가 발생한다.Therefore, in the glass produced by the float method, the hydrogen concentration of the top surface is lower than that of the bottom surface or the hydrogen concentration of the bottom surface is lower than that of the top surface due to the production conditions.

본 발명에 따른 유리는, 상기 주면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 10㎛에 있어서의 수소 농도는, 상기 이면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 10㎛에 있어서의 수소 농도보다도 낮은 것이 보다 바람직하다.In the glass according to the present invention, it is preferable that the hydrogen concentration at a depth of 1 to 10 mu m in the thickness direction from the surface of the main surface is lower than the hydrogen concentration at a depth of 1 to 10 mu m in the thickness direction from the surface of the backface Do.

또한, 화학 강화 유리의 모따기 가공 시의 에지부의 결손량을 저감시키기 위해서는, 본 발명에 따른 유리는, 상기 주면과 상기 이면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛의 평균 수소 농도비의 절댓값이 1에 가까우면 가까울수록 바람직하다. 구체적으로는, 예를 들어 실시예에 있어서 후술하는 분석 조건에 의한 2차 이온 질량 분석에 의해 측정되는, 상기 주면과 상기 이면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛의 평균 수소 농도비의 절댓값이 0.4 내지 1.6인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.6 내지 1.4이다.In order to reduce the amount of defects at the edge portion during chamfering of the chemically tempered glass, the glass according to the present invention is characterized in that the absolute value of the average hydrogen concentration ratio of the depth of 1 to 2 mu m in the thickness direction from the surface of the main surface and the back surface is 1 , The closer it is, the more preferable. Specifically, for example, an absolute value of the average hydrogen concentration ratio of 1 to 2 mu m in depth in the plate thickness direction from the surface of the main surface and the back surface, which is measured by secondary ion mass spectrometry according to the analytical conditions described later in Examples, It is preferably 0.4 to 1.6, more preferably 0.6 to 1.4.

본 발명에 따른 유리의 수소 농도는 하기 H/Si값에 의해 평가할 수 있다.The hydrogen concentration of the glass according to the present invention can be evaluated by the following H / Si value.

[H/Si값에 의한 수소 농도의 평가][Evaluation of hydrogen concentration by H / Si value]

H/Si값에 의해 수소 농도를 평가함으로써, SIMS(2차 이온; Secondary Ion Mass Spectrometry) 프로파일의 깊이 방향 분해능 및 반복 측정 정밀도가 향상된다.By evaluating the hydrogen concentration by the H / Si value, the depth direction resolution of the SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) profile and the repeat measurement accuracy are improved.

또한, 본 발명에 있어서는 수소 농도 그 자체 및 상기 수소 농도비 그 자체를 고정밀도로 측정하는 것은 곤란하므로, 수소 농도에 비례하는 H/Si값을 수소 농도의 직접적인 지표로서, 상기 수소 농도비에 비례하는 「H/Si값의 톱면에 대한 보텀면의 비」를 상기 수소 농도비의 직접적인 지표로서 각각 사용한다.In the present invention, since it is difficult to measure the hydrogen concentration itself and the hydrogen concentration ratio itself with high accuracy, it is difficult to measure the H / Si value proportional to the hydrogen concentration as a direct index of the hydrogen concentration, / The ratio of the bottom surface to the top surface of the Si value &quot; is used as a direct index of the hydrogen concentration ratio.

플로트 유리에 있어서의 평균 H/Si값의 톱면에 대한 보텀면의 비는, 2차 이온 질량 분석(Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS 분석)에 의해, 예를 들어 이하 (I) 및 (II)의 수순으로 구해진다. 또한, 이하에서 나타내는 분석 조건은 예시이며, 측정 장치 또는 샘플 등에 따라 적절히 변경되어야 할 것이다.The ratio of the bottom surface to the top surface of the average H / Si value in the float glass can be measured by secondary ion mass spectrometry (SIMS analysis), for example, by the following procedures (I) and . In addition, the analysis conditions shown below are exemplary and should be appropriately changed depending on the measuring apparatus, the sample, and the like.

(I) 톱면 및 보텀면 각각에 있어서, 2차 이온 질량 분석을 하기 분석 조건에 의해, 표층으로부터의 깊이 10㎛까지 행한다.(I) Secondary ion mass spectrometry is performed on each of the top and bottom surfaces under the following analytical conditions to a depth of 10 mu m from the surface layer.

(분석 조건)(Analysis condition)

측정 장치: 이중 수렴형 질량 분석기를 갖는 2차 이온 질량 분석 장치Measuring device: secondary ion mass spectrometer with dual convergence mass spectrometer

1차 이온종: Cs+ Primary ion species: Cs +

1차 가속 전압: 15.0kVPrimary acceleration voltage: 15.0 kV

1차 이온 커런트: 100nAPrimary ion current: 100 nA

1차 이온 입사각(시료면 수직 방향으로부터의 각도): 약 24.0°Primary angle of incidence (angle from the direction perpendicular to the surface of the sample): about 24.0 °

래스터 크기: 90×90㎛2 Raster size: 90 × 90 μm 2

검출 영역: 30㎛φDetection area: 30 占 퐉

2차 이온 극성: 마이너스Secondary ion polarity: minus

중화용 전자총 사용 유Use of gun for neutralization

표면 코팅: 재료 Pt, 막 두께 10 내지 20nm 정도Surface coating: material Pt, film thickness about 10 to 20 nm

이중 수렴형 질량 분석기를 갖는 2차 이온 질량 분석 장치로서는, 예를 들어 CAMECA사제 IMS-7f를 들 수 있다.As a secondary ion mass spectrometer having a dual-converging mass spectrometer, for example, IMS-7f manufactured by CAMECA may be mentioned.

(II) (I)에 있어서의 2차 이온 질량 분석에 의해 얻어진 H/Si 프로파일의 깊이 10㎛까지에 있어서의 평균 H/Si값에 대해서, 톱면에 대한 보텀면의 비를 산출한다.(II) Calculate the ratio of the bottom surface to the top surface with respect to the average H / Si value up to a depth of 10 占 퐉 of the H / Si profile obtained by the secondary ion mass spectrometry in (I).

본 발명에 따른 유리는, 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2m에 있어서의 평균 H/Si값에 대해서, 톱면에 대한 보텀면의 비의 절댓값이 0.4 내지 1.6인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.6 내지 1.4이다.The glass according to the present invention preferably has an absolute value of the ratio of the bottom surface to the top surface to an average H / Si value at a depth of 1 to 2 m in the thickness direction from the surface of 0.4 to 1.6, more preferably 0.6 To 1.4.

<모따기 가공 및 측정><Chamfer processing and measurement>

유리의 모따기 가공 및 모따기 가공에 의해 발생하는 에지부의 결손량의 측정은 다음 수순으로 행한다. 유리를 개편화(個片化)한 유리 기판을 준비한다. 유리 기판의 외주를, 자동 유리 연삭기를 사용하고, 지석을 사용하여, 2바퀴(周) 모따기 가공한다. 이어서, 현미경을 사용하여, 2점간 거리 측정을 행하고, 20㎛ 이상 크기의 칩핑수를 카운팅한다.The measurement of the amount of defects of the edge portion caused by chamfering and chamfering of glass is performed in the following procedure. A glass substrate having individual pieces of glass is prepared. The outer periphery of the glass substrate is subjected to a two-round chamfering process using an automatic glass grinder and a grinding stone. Subsequently, the distance between two points is measured using a microscope, and the number of chippings having a size of 20 mu m or more is counted.

<용해성, 성형성><Solubility and moldability>

본 발명에 따른 유리에 있어서, 유리 용해 시의 기준 예가 되는 온도, 즉 유리의 점도가 102dPaㆍs로 되는 온도 T2는 1660℃ 이하가 바람직하고, 1650℃ 이하가 보다 바람직하고, 1645℃ 이하가 보다 더 바람직하다.In the glass according to the present invention, the temperature T2, which is a reference example for melting the glass, that is, the temperature T2 at which the glass has a viscosity of 10 2 dPa 는 is preferably 1660 캜 or less, more preferably 1650 캜 or less, Is more preferable.

본 발명에 따른 유리에 있어서, 유리 성형 시의 기준 예가 되는 온도, 즉 유리의 점도가 104dPaㆍs로 되는 온도 T4는 1255℃ 이하가 바람직하고, 1240℃ 이하가 보다 바람직하고, 1230℃ 이하가 더욱 바람직하고, 1225℃ 이하가 보다 더 바람직하다.In the glass according to the present invention, the temperature T4 at which the viscosity of the glass becomes 10 4 dPa 기준 is preferably 1255 캜 or lower, more preferably 1240 캜 or lower, and 1230 캜 or lower More preferably 1225 占 폚 or lower.

또한, 온도 T2 및 온도 T4는 회전식 점도계를 사용하여 측정할 수 있다.Further, the temperature T2 and the temperature T4 can be measured using a rotary viscometer.

<슬러지량><Amount of sludge>

유리의 표면 특성의 조정 등을 목적으로 하여, 유리를 에칭 처리하는 경우가 있지만, 유리를 에칭하면 슬러지(잔사)가 발생한다. 여기서, 슬러지는 에칭액 수명 등에 영향을 미칠 수 있기 때문에, 유리를 에칭할 때에는 슬러지는 적은 것이, 생산성 등의 관점에서 바람직하다. 슬러지의 분석 방법을 이하에 나타낸다.For the purpose of adjusting the surface characteristics of the glass or the like, the glass may be subjected to an etching treatment, but when the glass is etched, sludge (residue) is generated. Here, since the sludge may affect the etchant life or the like, it is preferable from the viewpoint of productivity and the like that the sludge is small when the glass is etched. The analysis method of the sludge is shown below.

시료가 되는 유리판에 에칭액을 가하여 교반하고, 유리 용해 후 정치한다. 생성된 슬러지를 여과지로 여과하고, 물로 세정한다. 슬러지를 건조 후, 중량 측정하고, 슬러지 중량을 산출한다. 또한, 슬러지의 성분 분석은 XRD, SEM-EDX에 의해 행할 수 있다.An etching solution is added to a glass plate to be a sample and stirred, and the glass is dissolved and allowed to stand. The resulting sludge is filtered through a filter paper and washed with water. The sludge is dried, weighed, and the sludge weight is calculated. The composition of the sludge can be analyzed by XRD and SEM-EDX.

슬러지량은 에칭 조건에 따라서도 다르지만, 예를 들어 시료가 되는 유리판이 2.5cm×2.5cm×0.55mm의 유리판이며, HF 7중량% 및 HCl 20중량%를 포함하는 에칭액 50mL를 사용하여 25℃에서 3분간 에칭한 경우의 슬러지량은, 유리 1g당 0.66g 이하가 바람직하고, 0.65g 이하가 보다 바람직하고, 0.64g 이하가 더욱 바람직하다.The amount of sludge varies depending on the etching conditions. For example, a glass plate to be a sample is a 2.5 cm x 2.5 cm x 0.55 mm glass plate, and 50 mL of an etching solution containing 7 wt% HF and 20 wt% The amount of sludge in the case of etching for 3 minutes is preferably 0.66 g or less, more preferably 0.65 g or less, and most preferably 0.64 g or less, per 1 g of glass.

또한, 슬러지의 성분으로서는, 유리 조성에 따라서 다르기는 하지만, 예를 들어 Na2SiF6, NaMgAlF6, Na2MgAlF7, KNaSiF6 및 KMgAlF6 등을 들 수 있다.Examples of the components of the sludge include Na 2 SiF 6 , NaMgAlF 6 , Na 2 MgAlF 7 , KNaSiF 6, and KMgAlF 6 , although they vary depending on the glass composition.

<DUV 내성><DUV Resistance>

본 명세서에 있어서 DUV 내성이란, 파장 100 내지 280nm의 UV(DUV)를 조사한 경우, 즉, 주 파장 185nm 및 254nm의 저압 수은 램프나 주 파장 172nm의 Xe 가스 엑시머 램프, 주 파장 193nm의 ArF 엑시머 램프, 주 파장 248nm의 KrF 엑시머 램프 등을 조사한 경우에, 380 내지 780nm의 파장에 있어서의 투과율의 저하가 억제되는 것을 의미한다.In the present specification, the DUV resistance refers to a case of irradiating UV (DUV) with a wavelength of 100 to 280 nm, that is, a low-pressure mercury lamp having a dominant wavelength of 185 nm and 254 nm, an Xe gas excimer lamp having a dominant wavelength of 172 nm, an ArF excimer lamp having a dominant wavelength of 193 nm, Means that the decrease in the transmittance at a wavelength of 380 to 780 nm is suppressed when a KrF excimer lamp or the like having a main wavelength of 248 nm is irradiated.

이 단파장측의 UV 조사는, 기판의 UV 세정 처리나 표면 개질, UV 살균 처리 등에 일반적으로 사용되는 것이다.The UV irradiation on the shorter wavelength side is generally used for UV cleaning treatment of the substrate, surface modification, UV sterilization treatment, and the like.

본 발명에 따른 유리에서는, DUV 내성으로서, 단파장측의 UV 조사 전의 380 내지 780nm의 파장 영역에 있어서의 투과율을 T0으로 하고, 조사 후에 380 내지 780nm의 파장 영역에 있어서의 투과율을 T1로 했을 때의, 이하의 식으로 표시되는 각 파장에 있어서의 DUV 유기 흡수 Δα가 0.095 이하인 것이 바람직하고, 0.085 이하인 것이 보다 바람직하고, 0.08 이하가 더욱 바람직하다.In the glass according to the present invention, when the transmittance in the wavelength range of 380 to 780 nm before UV irradiation on the short wavelength side is T0 and the transmittance in the wavelength region of 380 to 780 nm is T1 after irradiation , The DUV organic absorption? At each wavelength represented by the following formula is preferably 0.095 or less, more preferably 0.085 or less, and even more preferably 0.08 or less.

Δα=-ln(T1/T0)DELTA alpha = -ln (T1 / T0)

<기타 특성 등><Other characteristics, etc.>

본 발명에 따른 유리는 유리판으로 하는 것이 바람직하고, 그 때의 유리판 두께(판 두께)는 0.1 내지 3mm가 바람직하고, 0.1 내지 2.0mm가 보다 바람직하고, 0.1 내지 1.5mm가 더욱 바람직하고, 0.1 내지 1.0mm가 보다 더 바람직하고, 0.1 내지 0.9mm가 특히 바람직하다.It is preferable that the glass according to the present invention is formed of a glass plate, and the glass plate thickness (plate thickness) at that time is preferably from 0.1 to 3 mm, more preferably from 0.1 to 2.0 mm, even more preferably from 0.1 to 1.5 mm, More preferably 1.0 mm, and particularly preferably 0.1 mm to 0.9 mm.

본 발명에 따른 유리의 유리 전이 온도(Tg)는 550℃ 이상이 바람직하고, 580℃ 이상이 보다 바람직하고, 600℃ 이상이 더욱 바람직하고, 620℃ 이상이 보다 더 바람직하고, 또한 700℃ 이하가 바람직하다. Tg가 550℃ 이상임으로써, 화학 강화 처리 시의 응력 완화의 억제, 열휨의 억제 등의 점에서 유리해진다.The glass transition temperature (Tg) of the glass according to the present invention is preferably 550 DEG C or higher, more preferably 580 DEG C or higher, more preferably 600 DEG C or higher, still more preferably 620 DEG C or higher, desirable. The Tg of 550 DEG C or more is advantageous in terms of suppressing stress relaxation during chemical strengthening treatment and suppressing thermal bending.

Tg의 조정은, SiO2, Al2O3의 총량과 알칼리 금속 산화물 및 알칼리 토류 산화물의 양을 조정하는 것 등에 의해 가능하다.The adjustment of Tg is possible by adjusting the total amount of SiO 2 and Al 2 O 3 and the amount of alkali metal oxide and alkaline earth oxide.

본 발명에 따른 유리의 평균 열팽창 계수 α는, 50 내지 350℃의 온도 범위에 있어서, 바람직하게는 65×10-7 내지 110×10-7/K이며, 보다 바람직하게는 70×10-7/K 이상, 더욱 바람직하게는 80×10-7/K 이상, 보다 더 바람직하게는 85×10-7/K 이상, 또한 바람직하게는 100×10-7/K 이하, 보다 바람직하게는 97×10-7/K 이하이다. 평균 열팽창 계수 α가 65×10-7/K 이상임으로써, 금속이나 다른 물질과의 열팽창 계수의 매칭의 점에서 유리해진다. 또한 평균 열팽창 계수의 조정은, 알칼리 금속 산화물 및 알칼리 토류 산화물의 양을 조정하는 것 등에 의해 가능하다.The average thermal expansion coefficient of the glass according to the present invention, α, in the temperature range of 50 to 350 ℃, preferably from 65 × 10 -7 to 110 × 10 -7 / K, and more preferably 70 × 10 -7 / K or more, more preferably 80 × 10 -7 / K or more, even more preferably 85 × 10 -7 / K or more, further preferably 100 × 10 -7 / K or less, -7 / K or less. The average thermal expansion coefficient? Is 65 × 10 -7 / K or more, which is advantageous in terms of the matching of thermal expansion coefficients with metals and other materials. The adjustment of the average thermal expansion coefficient can be made by adjusting the amounts of the alkali metal oxide and the alkaline earth oxide.

본 발명에 따른 유리의 실온에서의 밀도는, 바람직하게는 2.35 내지 2.6g/cm3이며, 보다 바람직하게는 2.38g/cm3 이상, 더욱 바람직하게는 2.40g/cm3 이상이며, 보다 더 바람직하게는 2.55g/cm3 이하, 더욱 바람직하게는 2.50g/cm3 이하이다.Density at room temperature of the glass in accordance with the present invention, preferably from 2.35 to 2.6g / cm 3, and more preferably 2.38g / cm 3, more preferably at least 2.40g / cm 3, more preferably Cm &lt; 3 &gt; or less, and more preferably 2.50 g / cm &lt; 3 &gt; or less.

본 발명에 따른 유리의 영률 E는 60GPa 이상이 바람직하다. 유리의 영률 E가 60GPa 이상임으로써, 유리의 내균열성이나 파괴 강도가 충분해진다. 보다 바람직하게는 68GPa 이상, 더욱 바람직하게는 70GPa 이상이다.The Young's modulus E of the glass according to the present invention is preferably 60 GPa or more. When the Young's modulus E of the glass is 60 GPa or more, the glass has sufficient crack resistance and fracture strength. More preferably not less than 68 GPa, and even more preferably not less than 70 GPa.

본 발명의 유리 포와송비 σ는 0.28 이하가 바람직하다. 포와송비 σ가 0.28 이하임으로써, 유리의 내균열성이 충분해진다. 보다 바람직하게는 0.25 이하이다.The glass transition temperature of the present invention is preferably 0.28 or less. When the Poisson's ratio σ is 0.28 or less, the crack resistance of the glass becomes sufficient. More preferably 0.25 or less.

<화학 강화 유리><Chemical tempered glass>

본 발명의 화학 강화 유리는, 상술한 화학 강화용 유리가 화학 강화된 화학 강화 유리이다. 바꾸어 말하면, 본 발명의 화학 강화용 유리의 조성을 모(母) 조성으로 하고, 표면에 압축 응력층을 갖는 화학 강화 유리이다.The chemical tempered glass of the present invention is chemically tempered glass in which the above-mentioned chemical tempering glass is chemically strengthened. In other words, it is a chemically tempered glass having the composition of the chemical strengthening glass of the present invention as a mother composition and having a compressive stress layer on its surface.

즉, 화학 강화 유리의 모 조성이란, 화학 강화 전의 유리(화학 강화용 유리)의 조성이다. 여기서, 화학 강화 유리의 인장 응력을 갖는 부분(이하, 인장 응력 부분이라고도 함)은 이온 교환되지 않은 부분이다. 그리고, 화학 강화 유리의 인장 응력 부분은, 화학 강화용 유리와 동일한 조성을 갖고 있으므로, 인장 응력 부분의 조성을 모 조성으로 간주할 수 있다.That is, the composition of the chemical tempered glass is the composition of the glass before chemical strengthening (glass for chemical strengthening). Here, the portion of the chemically tempered glass having a tensile stress (hereinafter also referred to as a tensile stress portion) is a portion not subjected to ion exchange. Since the tensile stress portion of the chemical tempered glass has the same composition as that of the glass for chemical strengthening, the composition of the tensile stress portion can be regarded as the parent composition.

화학 강화 유리의 표면에 흠집이 생기기 어렵고, 실용상 충분한 강도가 얻어지는 점에서, 표면 압축 응력값(CS)은 900MPa 이상이 바람직하고, 920MPa 이상이 보다 바람직하고, 950MPa 이상이 더욱 바람직하고, 1000MPa 이상이 보다 더 바람직하고, 1100MPa 이상이 특히 바람직하다. 한편, 유리 중앙의 인장 응력값(CT; Center Tension)이 너무 커져, 유리가 파괴될 때에 분쇄될 우려가 있는 점에서, CS는 1400MPa 이하가 바람직하고, 1300MPa 이하가 보다 바람직하고, 1280MPa 이하가 더욱 바람직하다.The surface compression stress value CS is preferably 900 MPa or higher, more preferably 920 MPa or higher, even more preferably 950 MPa or higher, and more preferably 1000 MPa or higher, in view of preventing scratches on the surface of the chemically tempered glass and obtaining sufficient strength for practical use And even more preferably at least 1100 MPa. On the other hand, the CS is preferably 1400 MPa or less, more preferably 1300 MPa or less, more preferably 1280 MPa or less, in view of the possibility that the tensile stress value (CT) at the center of the glass becomes too large to be crushed when the glass breaks desirable.

또한, 화학 강화 유리의 표면에 흠집이 생긴 경우에, 그 흠집의 깊이가 압축 응력층 깊이(DOL)를 초과하여 화학 강화 유리가 파괴되기 쉬워질 우려가 있는 점에서, DOL은 30㎛ 이상이 바람직하고, 31㎛ 이상이 보다 바람직하고, 32㎛ 이상이 더욱 바람직하고, 34㎛ 이상이 보다 더 바람직하다. 한편, 화학 강화 유리 중앙의 인장 응력값(CT)이 너무 커져, 화학 강화 유리가 파괴될 때에 분쇄될 우려가 있는 점에서, DOL은 60㎛ 이하가 바람직하고, 50㎛ 이하가 보다 바람직하다.Further, when the surface of the chemically tempered glass is scratched, the depth of the scratches may exceed the compressive stress layer depth (DOL) and the chemical tempered glass tends to be broken. Therefore, the DOL is preferably 30 m or more More preferably not less than 31 탆, more preferably not less than 32 탆, and even more preferably not less than 34 탆. On the other hand, the DOL is preferably 60 占 퐉 or less, more preferably 50 占 퐉 or less, because the tensile stress value (CT) at the center of the chemically tempered glass becomes too large and may be broken when the chemical tempered glass is destroyed.

여기서, CS 및 DOL의 값은 표면 응력계에 의해 측정할 수 있다. 또한, 화학 강화 유리의 CS 및 DOL은, 화학 강화 처리의 처리 조건이나 화학 강화용 유리의 조성 등을 조정함으로써, 적절히 조정할 수 있다.Here, the values of CS and DOL can be measured by a surface stress meter. The CS and DOL of the chemically tempered glass can be appropriately adjusted by adjusting the processing conditions of the chemical strengthening treatment and the composition of the chemical strengthening glass.

<유리의 제조 방법><Production Method of Glass>

본 발명에 따른 화학 강화용 유리의 제조 방법은 특별히 한정되지 않고, 용융 유리를 성형하는 방법도 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 유리 원료를 적절히 제조하여, 약 1500 내지 1700℃로 가열 용융시킨 후, 탈포, 교반 등에 의해 균질화하고, 주지된 플로트법, 다운 드로우법(퓨전법 등), 프레스법 등에 의해 판 형상으로, 또는 캐스팅하여 블록 형상으로 성형하고, 서냉 후 원하는 크기로 절단하여, 유리판이 제조된다. 필요에 따라 연마 가공을 실시하지만, 연마 가공에 더하여, 또는 연마 가공 대신에, 유리판 표면을 불소제로 처리하는 것도 가능하다. 유리판을 안정적으로 생산하는 것을 고려하면, 플로트법 또는 다운 드로우법이 바람직하고, 특히 대형 유리판을 생산하는 것을 고려하면 플로트법이 바람직하다.The method for producing a chemical strengthening glass according to the present invention is not particularly limited, and a method for molding a molten glass is not particularly limited. For example, a glass raw material is appropriately prepared and melted by heating at a temperature of about 1500 to 1700 占 폚, homogenized by defoaming, stirring, and the like, and then shaped into a plate shape by a known float method, down- Or cast to form a block shape, followed by slow cooling and cutting to a desired size to produce a glass plate. The surface of the glass plate may be treated with fluorine in place of or in addition to the polishing process. The float method or the down-draw method is preferable in view of stably producing the glass plate, and the float method is particularly preferable in view of producing a large-sized glass plate.

본 발명의 유리판은, 태블릿 PC 또는 스마트폰 등의 디스플레이의 크기나, 자동차 내의 장식용 유리의 크기, 빌딩 또는 주택의 창 유리의 크기가 된다. 본 발명의 유리는, 일반적으로는 직사각형으로 절단되고 있지만, 원형 또는 다각형 등의 다른 형상이어도 문제없고, 천공 가공을 실시한 유리도 포함된다.The glass plate of the present invention is a size of a display such as a tablet PC or a smart phone, a size of a decorative glass in a car, and a size of a window glass of a building or a house. Although the glass of the present invention is cut into a rectangular shape in general, it may be any other shape such as a circular shape or a polygonal shape, and includes glass subjected to perforated processing.

본 발명의 유리는 화학 강화 처리하는 것이 바람직하다. 화학 강화 처리 전에, 용도에 따른 형상 가공, 예를 들어 절단, 단부면 가공 및 천공 가공 등의 기계적 가공을 행하는 것이 바람직하다.The glass of the present invention is preferably chemically strengthened. Before the chemical strengthening treatment, it is preferable to carry out mechanical working such as cutting, end face machining and drilling, depending on the application.

화학 강화 처리는, 예를 들어, 제조된 유리를 원하는 크기로 절단하여 유리판으로 한 후, 해당 유리판을 400℃ 정도로 예열하고, 용융염 내에서 유리판 표면의 Na와 용융염 내의 K를 이온 교환함으로써 처리할 수 있다.The chemical strengthening treatment is carried out, for example, by cutting the produced glass to a desired size to obtain a glass plate, preheating the glass plate to about 400 ° C, ion exchanging Na on the surface of the glass plate and K in the molten salt in the molten salt can do.

또한, 특정한 염을 포함하는 용융염 내에서 이온 교환한 후에, 산 처리 및 알칼리 처리를 행함으로써, 더욱 고강도인 화학 강화 유리판으로 해도 된다.Further, after the ion exchange in a molten salt containing a specific salt, an acid treatment and an alkali treatment may be carried out to form a chemically strengthened glass plate having a higher strength.

이온 교환 처리를 행하기 위한 용융염으로서는, 예를 들어 질산칼륨, 황산칼륨 및 염화칼륨 등의 알칼리질산염, 알칼리황산염 및 알칼리염화물염 등을 들 수 있다. 이들 용융염은 단독으로 사용해도 되고, 복수종을 조합하여 사용해도 된다. 또한, 화학 강화 특성을 조정하기 위해서, 나트륨을 포함하는 염을 섞어도 된다.Examples of the molten salt for carrying out the ion exchange treatment include alkali nitrate, alkali sulfate and alkali chloride salts such as potassium nitrate, potassium sulfate and potassium chloride. These molten salts may be used alone or in combination of plural kinds. Further, in order to adjust the chemical strengthening property, salts containing sodium may be mixed.

화학 강화 유리의 CS의 조정은, 이온 교환에 사용하는 용융 질산칼륨염 중의 Na 농도, 강화 시간 및 용융염 온도를 조정함으로써 가능하다. 보다 높은 CS를 얻기 위해서는, 용융 질산칼륨염 중의 Na 농도를 저감시킨다.The adjustment of the CS of the chemically tempered glass can be made by adjusting the Na concentration, the strengthening time and the molten salt temperature in the molten potassium nitrate salt used for the ion exchange. In order to obtain higher CS, the Na concentration in the molten potassium nitrate salt is reduced.

DOL의 조정은, 이온 교환에 사용하는 용융 질산칼륨염 중의 Na 농도, 강화 시간 및 용융염 온도를 조정함으로써 가능하다. 보다 높은 DOL을 얻기 위해서는, 용융염의 온도를 높인다.The DOL can be adjusted by adjusting the Na concentration, the strengthening time and the molten salt temperature in the molten potassium nitrate salt used for the ion exchange. To obtain a higher DOL, the temperature of the molten salt is increased.

화학 강화 유리는, 화학 강화 처리 후에 절단하는 것이 가능하다. 절단 방법은, 통상의 호일 칩 커터에 의한 스크라이브와 브레이크를 적용하는 것이 가능하고, 레이저에 의한 절단도 가능하다. 유리 강도를 유지하기 위해서, 절단 후에 절단 에지의 모따기 가공을 실시해도 된다. 모따기는, 기계적인 연삭 가공이어도 되고, 불산 등의 약액으로 처리하는 방법을 사용할 수도 있다.The chemically tempered glass can be cut after the chemical strengthening treatment. As the cutting method, scribing and braking using a conventional foil chip cutter can be applied, and cutting with a laser is also possible. In order to maintain the glass strength, chamfering of the cutting edge may be performed after cutting. The chamfer may be a mechanical grinding process or a treatment with a chemical liquid such as hydrofluoric acid.

본 발명의 유리의 용도는 특별히 한정되지 않는다. 화학 강화된 유리는 높은 기계적 강도를 갖는 점에서, 낙하에 의한 충격이나, 다른 물질과의 접촉이 예상되는 개소에의 사용에 적합하다.The use of the glass of the present invention is not particularly limited. The chemically reinforced glass has high mechanical strength and is suitable for use in locations where impact due to falling or contact with other materials is expected.

구체적으로는, 예를 들어 휴대 전화기(스마트폰 등의 다기능 정보 단말기를 포함함), PHS, PDA, 태블릿형 단말기, 노트북형 퍼스널 컴퓨터, 게임기, 휴대 음악ㆍ동화상 플레이어, 전자책, 전자 단말기, 시계, 카메라 또는 GPS 등의 디스플레이 부분용 커버 유리, 및 이들 기기의 터치 패널 조작용 모니터의 커버 유리, 전자 레인지, 오븐 토스터 등의 조리기의 커버 유리, 전자 조리기 등의 톱 플레이트, 미터, 게이지 등의 계기류의 커버 유리, 그리고 복사기 또는 스캐너 등의 판독 부분용 유리판 등의 기계 또는 기기류의 보호 용도가 있다.Specifically, for example, a mobile phone (including a multifunctional information terminal such as a smart phone), a PHS, a PDA, a tablet type terminal, a notebook type personal computer, a game machine, a portable music / video player, , A cover glass for a display part such as a camera or a GPS, and a cover glass of a touch panel operation monitor of these devices, a cover glass of a cooker such as a microwave oven and an oven toaster, a top plate such as an electromagnetic cooker, A glass cover for a reading part such as a copying machine or a scanner, and the like.

또한, 예를 들어 차량, 선박, 항공기 등의 창용 유리, 자동차 내의 장식용 유리, 가정용 또는 산업용 조명 기기, 신호, 유도등, 전광 게시판의 커버 유리, 쇼케이스 및 방탄 유리 등의 용도를 들 수 있다. 태양 전지 보호용 커버 유리 및 태양 전지의 발전 효율을 높이기 위한 집광용 유리재로서의 용도를 들 수 있다.In addition, for example, there are applications such as window glass for vehicles, ships and aircraft, decorative glass for automobiles, home or industrial lighting devices, signals, guide lights, cover glasses for electric bulletin boards, showcase and bulletproof glass. A solar cell protection cover glass, and a glass material for light focusing for increasing the power generation efficiency of a solar cell.

또한, 예를 들어 각종 경면용 유리, 나아가, HDD 등의 정보 기억 매체의 기반, CD, DVD, 블루레이 디스크 등의 정보 기록 매체의 기판으로서의 용도를 들 수 있다.Further, for example, there can be mentioned various types of glass for mirror surfaces, furthermore, the base of an information storage medium such as a HDD, and the substrate of an information recording medium such as a CD, a DVD and a Blu-ray disc.

또한, 예를 들어 수조, 접시나 컵 등의 식기, 병 또는 도마 등의 각종 조리 기구, 찬장, 냉장고의 선반판 및 벽, 지붕 또는 칸막이 등의 건축재로서의 용도를 들 수 있다.In addition, for example, there can be mentioned a use such as a water tank, a dish such as a dish or a cup, various cooking utensils such as a bottle or a cutting board, a cupboard, a shelf board of a refrigerator, and a building material such as a wall, a roof or a partition.

이들 용도에 더하여, 화학 강화 처리를 종료하여 제조되는 화학 강화 유리는, 액정, 플라스마, 유기 EL 등의 각종 화상 표시 장치에 조립되는 디스플레이용 유리재로서 최적이다.In addition to these applications, the chemically tempered glass produced by completing the chemical strengthening treatment is optimal as a glass material for displays assembled in various image display devices such as liquid crystal, plasma, and organic EL.

[실시예][Example]

이하에 실시예를 들어, 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들에 한정되지 않는다. 예 1 내지 5는 실시예, 예 6은 비교예이다. 또한, 괄호로 나타낸 값은 계산값이며, 공란은 불함유이거나 또는 미평가임을 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples, but the present invention is not limited thereto. Examples 1 to 5 are Examples, and Example 6 is Comparative Example. In addition, the values indicated in parentheses are calculated values, and the blank indicates that it is non-contained or unevaluated.

산화물 기준의 몰 백분율 표시로, 표 1에 기재된 조성으로 되도록 원료를 제조하고, 백금제 도가니에 넣어, 1650℃의 저항 가열식 전기로에 투입하여 3시간 용융시키고, 균질화하며, 탈포하였다.The raw materials were prepared so as to have the composition shown in Table 1 on a molar percentage basis on an oxide basis, put into a crucible made of platinum, put into a resistance heating type electric furnace at 1650 캜 for melting for 3 hours, homogenized and defoamed.

얻어진 유리를 형에 유입하여, 680℃의 온도에서 1시간 유지한 후, 1℃/분의 속도로 실온까지 냉각시켜, 유리 블록을 얻었다. 계속해서, 유리 블록을 절단하고, 연마하며, 양면을 경면 가공함으로써, 소정의 크기를 갖는 유리를 얻었다.The obtained glass was introduced into a mold, held at a temperature of 680 캜 for 1 hour, and then cooled to room temperature at a rate of 1 캜 / minute to obtain a glass block. Subsequently, the glass block was cut, polished, and mirror-finished on both sides to obtain a glass having a predetermined size.

또한, 예 3과 예 6의 유리를 플로트법으로 제조하였다.In addition, the glasses of Example 3 and Example 6 were prepared by the float method.

<T2, T4>&Lt; T2, T4 >

유리의 점도가 102dPaㆍs로 되는 온도 T2, 및 104dPaㆍs로 되는 온도 T4는 회전식 점도계를 사용하여 측정하였다.The temperature T2 at which the viscosity of the glass was 10 2 dPa · s and the temperature T4 at 10 4 dPa · s were measured using a rotary viscometer.

<슬러지량, 슬러지 성분>&Lt; Sludge amount, sludge component >

유리에 대하여, 에칭을 행함으로써 슬러지량의 측정을 행하였다. 시료가 되는 유리는 2.5cm×2.5cm×0.55mm의 유리판으로 하고, HF 7중량% 및 HCl 20중량%를 포함하는 에칭액 50mL에 25℃에서 3분간 침지시킴으로써, 에칭을 행하였다. 생성된 슬러지를 5A 여과지로 여과하고, 물로 세정 후, 건조를 행하여, 슬러지의 중량을 측정하였다. 슬러지량은 유리 1g당 환산하였다.The glass was etched to measure the amount of sludge. Etching was performed by immersing the glass as a sample in a 2.5 cm x 2.5 cm x 0.55 mm glass plate at 50 占 폚 for 3 minutes at 50 占 폚 in an etching solution containing 7% by weight of HF and 20% by weight of HCl. The resulting sludge was filtered with a 5A filter paper, washed with water, and dried, and the weight of the sludge was measured. The amount of sludge was converted per 1 g of glass.

또한, 슬러지의 성분은 XRD 측정에 의해 동정하였다. 상세한 측정 조건은 이하와 같다.The components of the sludge were identified by XRD measurement. The detailed measurement conditions are as follows.

장치: 리가쿠제 SmartLab, X선원: CuKα선, X선 출력: 45kV, 200mA, 광학계: BB, 입사 평행 슬릿: Soller slit 5°, 입사 슬릿: 1/3°, 수광 평행 슬릿: Soller slit 5°, 스캔 스피드: 10°/분, 샘플링 폭: 0.02°, 측정 범위: 20 내지 60°, 해석: PDXL(ver.2.0.3.0)Optics: BB, incidence parallel slit: Soller slit 5 °, incidence slit: 1/3 °, light receiving parallel slit: Soller slit 5 °, Scan speed: 10 占 min., Sampling width: 0.02 占 Measurement range: 20 to 60 占 Analysis: PDXL (ver.2.0.3.0)

얻어진 유리의 T2, T4, 슬러지량 및 슬러지의 주성분을 표 1에 나타낸다.Table 2 shows the obtained T2, T4, sludge amount of the glass and main components of the sludge.

표 1에 나타낸 바와 같이, 예 1 내지 5의 유리는, 예 6의 유리에 비교하여, 에칭 시의 슬러지량이 적은 유리였다.As shown in Table 1, the glass of Examples 1 to 5 was glass having a small amount of sludge at the time of etching as compared with the glass of Example 6.

<화학 강화 특성><Chemical strengthening characteristics>

또한, 두께가 0.55mm인 유리를, 농도가 100중량%이며 온도가 425℃인 용융 질산칼륨염에 6시간 침지시킴으로써, 화학 강화 처리를 행하였다. 얻어진 화학 강화 유리판의 CS(MPa) 및 DOL(㎛)의 값을 표면 응력계(오리하라 세이사쿠쇼제)에 의해 측정하였다. 결과를 표 1에 나타낸다.Further, a glass having a thickness of 0.55 mm was immersed in a molten potassium nitrate salt having a concentration of 100 wt% at a temperature of 425 DEG C for 6 hours to perform chemical strengthening treatment. The values of CS (MPa) and DOL (占 퐉) of the obtained chemically tempered glass plate were measured by a surface stress meter (Orihara Seisakusho). The results are shown in Table 1.

표 1에 나타낸 바와 같이, 유리를 동일한 화학 강화 조건에서 화학 강화한 경우에, 예 1 내지 5에 관한 화학 강화 유리는, 예 6에 관한 화학 강화 유리와 비교하여, 높은 CS를 갖고 있었다.As shown in Table 1, when the glass was chemically strengthened under the same chemical strengthening conditions, the chemically tempered glass according to Examples 1 to 5 had a high CS as compared with the chemically tempered glass according to Example 6.

<DUV 내성><DUV Resistance>

각 유리에 대해서, DUV 조사 전과 DUV 조사 후의 투과율을 측정하였다. 즉, 각 유리를 (Tg+50℃)에서 1시간 열처리하고, 1℃/분으로 실온까지 서냉시킨 후, 판 두께가 동등해지도록 연마 가공한 유리를 대 위에 수평으로 정치하고, 저압 수은 램프(센 특수 광원제 PL21-200, 주 파장 185nm 및 254nm)의 광을 유리판의 상방 5cm 이격된 위치로부터 10분 조사한 후, 파장 380nm에 있어서의 투과율을 측정하였다.The transmittance of each glass was measured before DUV irradiation and after DUV irradiation. That is, each glass was heat-treated at (Tg + 50 deg. C) for 1 hour, slowly cooled to room temperature at 1 deg. C / min, and then polished so that the plate thickness became equal, Light having a main wavelength of 185 nm and 254 nm) was irradiated for 10 minutes from a position 5 cm above the glass plate, and then the transmittance at a wavelength of 380 nm was measured.

또한, 이 때의 유리판의 설치 장소에 있어서의 254nm의 조도는 8mW/cm2였다(오크 세이사쿠쇼제의 조도계 UV-M03A 및 수광기 UV-SD25-M10에 의한 측정). 투과율은 히타치 하이테크놀러지즈사제의 분광 광도계(상품명U-4100)에 의해 측정하였다.The illuminance at 254 nm of the glass plate at this time was 8 mW / cm 2 (measurement by the illuminometer UV-M03A and the receiver UV-SD25-M10, manufactured by Oak Seisyakusho). The transmittance was measured by a spectrophotometer (trade name: U-4100) manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation.

광 조사 전의 파장 380nm에 있어서의 투과율을 T0으로 하고, 광 조사 후의 파장 380nm에 있어서의 투과율을 T1로 했을 때의, 이하의 식으로 표시되는 DUV 유기 흡수 Δα를 산출하였다. 또한, DUV 조사 전후 모두, 파장 380 내지 780nm에 있어서의 투과율 중, 파장 380nm에 있어서의 투과율이 가장 낮다. 그 때문에, 파장 380nm에 있어서 원하는 값 이상의 투과율이 얻어지면, 파장 380 내지 780nm에 있어서도 원하는 값 이상의 투과율이 얻어진다고 할 수 있다.The transmittance at a wavelength of 380 nm before light irradiation is T0 and the transmittance at a wavelength of 380 nm after light irradiation is T1, the DUV organic absorption? Represented by the following formula is calculated. In addition, the transmittance at a wavelength of 380 nm is the lowest among the transmittances at wavelengths of 380 to 780 nm both before and after DUV irradiation. Therefore, if the transmittance at a wavelength of 380 nm is higher than a desired value, a transmittance higher than a desired value can be obtained even at a wavelength of 380 to 780 nm.

Δα=-ln(T1/T0)DELTA alpha = -ln (T1 / T0)

DUV 유기 흡수 Δα가 0.095 미만이면, DUV 내성이 우수하다고 할 수 있다. 결과를 표 1에 나타낸다.If DUV organic absorption? Is less than 0.095, it can be said that DUV resistance is excellent. The results are shown in Table 1.

<수소 농도><Hydrogen concentration>

[H/Si값에 의한 수소 농도의 평가][Evaluation of hydrogen concentration by H / Si value]

본 발명의 유리(본 발명품, 예 3) 및 종래의 유리(종래품, 예 6)에 대해서, 플로트법으로 제조한 두께 0.7mm의 유리판을 준비하였다. 각 유리판에 대해서, 톱면 및 보텀면(주석 함유량이 많은 측의 면) 각각에 있어서, 2차 이온 질량 분석을 하기 분석 조건에 의해, 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 10㎛까지 행하였다.A glass plate having a thickness of 0.7 mm prepared by the float method was prepared for the glass of the present invention (Example 3, Example 3) and the conventional glass (Prior Art Example, Example 6). For each of the glass plates, secondary ion mass spectrometry was performed on each of the top and bottom surfaces (the side having a large tin content) under the following analytical conditions from the surface to a depth of 10 μm in the thickness direction in the plate thickness direction.

(분석 조건)(Analysis condition)

측정 장치: 이중 수렴형 질량 분석기를 갖는 2차 이온 질량 분석 장치(CAMECA사제 IMS-7f)Measurement apparatus: Secondary ion mass spectrometer with dual convergence mass spectrometer (IMS-7f manufactured by CAMECA)

1차 이온종: Cs+ Primary ion species: Cs +

1차 가속 전압: 15.0kVPrimary acceleration voltage: 15.0 kV

1차 이온 커런트: 100nAPrimary ion current: 100 nA

1차 이온 입사각(시료면 수직 방향으로부터의 각도): 약 24.0°Primary angle of incidence (angle from the direction perpendicular to the surface of the sample): about 24.0 °

래스터 크기: 90×90㎛2 Raster size: 90 × 90 μm 2

검출 영역: 30㎛φDetection area: 30 占 퐉

2차 이온 극성: 마이너스Secondary ion polarity: minus

중화용 전자총 사용 유Use of gun for neutralization

표면 코팅: 재료 Pt, 막 두께 10 내지 20nm 정도Surface coating: material Pt, film thickness about 10 to 20 nm

2차 이온 질량 분석에 의해 얻어진 H/Si 프로파일의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 10㎛까지에 있어서의 평균 H/Si값을 구하였다.The average H / Si value at a depth of 10 mu m in the plate thickness direction from the surface of the H / Si profile obtained by secondary ion mass spectrometry was determined.

결과를 도 1에 나타낸다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 유리판의 톱면과 보텀면의 수소 농도(시료의 H/Si와 표준 시료의 H/Si의 관계로부터 산출한 농도)는, 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서 깊이 방향으로 서서히 감소하였고, 수소 농도는, 깊이 방향으로, 톱면에서는 47%/㎛, 보텀면에서는 25%/㎛ 감소하였다. 또한, 본 발명의 유리판의 톱면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 10㎛에 있어서의 평균 수소 농도는, 보텀면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 10㎛에 있어서의 평균 수소 농도보다 낮았다.The results are shown in Fig. As shown in Fig. 1, the hydrogen concentration (concentration calculated from the relationship between H / Si of the sample and H / Si of the standard sample) of the top and bottom surfaces of the glass plate of the present invention is 1 to 2 ㎛, and the hydrogen concentration decreased 47% / ㎛ on the top surface and 25% / ㎛ on the bottom surface in the depth direction. The average hydrogen concentration at a depth of 1 to 10 mu m in the thickness direction from the surface of the top surface of the glass sheet of the present invention was lower than the mean hydrogen concentration at a depth of 1 to 10 mu m in the thickness direction from the surface of the bottom surface.

또한, 본 발명의 유리판의 톱면과 보텀면의 수소 농도는, 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서, 거의 평행한 감소 경향을 나타내고, 평균 수소 농도의 톱면에 대한 보텀면의 비의 절댓값은 1.1이었다. 한편, 종래품의 유리판의 톱면과 보텀면의 수소 농도는, 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서, 평행한 감소 경향을 나타내지 않고, 수소 농도는, 깊이 방향으로, 톱면에서는 서서히 감소하지 않고, 톱면에 대한 보텀면의 비의 절댓값은 3.3이었다. 즉, 본 발명의 유리판은, 종래품과 비교하여, 톱면과 보텀면의 깊이 1 내지 2㎛의 표면 부분에 있어서 수소 농도차가 작은 것을 알았다.Further, the hydrogen concentration of the top and bottom surfaces of the glass sheet of the present invention exhibits a substantially parallel decreasing tendency at a depth of 1 to 2 占 퐉 in the thickness direction from the surface, and the maximum value of the ratio of the bottom surface to the top surface of the average hydrogen concentration Was 1.1. On the other hand, the hydrogen concentration of the top and bottom surfaces of the conventional glass plate does not show a parallel decrease tendency at a depth of 1 to 2 占 퐉 in the plate thickness direction from the surface, and the hydrogen concentration does not decrease gradually in the depth direction , And the minimum value of the ratio of the bottom surface to the top surface was 3.3. That is, it was found that the glass plate of the present invention had a smaller hydrogen concentration difference on the surface portion of 1 to 2 탆 in depth between the top surface and the bottom surface, as compared with the conventional product.

<모따기 가공 및 측정><Chamfer processing and measurement>

유리를 개편화한 유리 기판(본 발명품: 예 3, 종래품: 예 6)을 준비하였다. 유리 기판의 외주를, 자동 유리 연삭기를 사용하고, 가부시키가이샤 노리타케 캄파니 리미티드사제 지석을 사용하여, 2바퀴 모따기 가공하였다. 여기서, 1바퀴째의 절입량은 편측 0.1mm로 하고, 2바퀴째의 절입량은 편측 0.05mm로 하였다. 이어서, 가부시키가이샤 키엔스제 현미경을 사용하여, 배율 200배로 2점간 거리 측정을 행하고, 25㎛ 이상 크기의 칩핑의 개수를 카운팅하였다.A glass substrate (original article: Example 3, conventional article: Example 6) in which glass was separated was prepared. The outer periphery of the glass substrate was chamfered for two rounds by using an automatic glass grinder and using a grindstone manufactured by Noritake Co., Ltd. of Kabushiki Kaisha. Here, the infeed amount of the first wheel was 0.1 mm on one side, and the infeed amount on the second wheel was 0.05 mm on the other side. Subsequently, the distance between two points was measured at a magnification of 200x using a microscope made by Keith Co., Ltd., and the number of chippings having a size of 25 占 퐉 or more was counted.

여기서, 톱면과 보텀면의 유리 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛의 수소 농도차가 큰 종래품의 유리 칩핑의 개수에 대한, 톱면과 보텀면의 유리 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛의 수소 농도차가 작은 본 발명품의 유리의 칩핑의 개수비는 0.7이었다.Here, the number of glass chipping of the prior art, which has a large difference in hydrogen concentration between 1 and 2 mu m in depth in the thickness direction from the glass surface of the top and bottom surfaces, The number ratio of chipping of the glass of the present invention having a small concentration difference was 0.7.

또한, 복수의 연마 조건 및 화학 강화 처리 조건에서 검증한 결과, 높은 압축 응력값(CS값)을 갖고, 또한 톱면과 보텀면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛이 있어서의 수소 농도차가 작은 화학 강화용 유리가 화학 강화된 화학 강화 유리라면, 당해 비가 0.4까지 되는 것도 확인하였다.Further, as a result of verifying under a plurality of polishing conditions and chemical strengthening treatment conditions, it has been found that a steel sheet having a high compressive stress value (CS value) and a hydrogen concentration difference of 1 to 2 mu m in the thickness direction from the surface of the top and bottom surfaces If the chemical strengthening glass is chemically reinforced chemically strengthened glass, it is also confirmed that the ratio is up to 0.4.

이상으로부터, 본 발명자들은, 화학 강화용 유리에 있어서의 톱면과 보텀면에 있어서의 수소 농도차와, 해당 화학 강화용 유리가 화학 강화된 유리의 모따기 가공 시의 에지부의 결손량과의 사이에 상관 관계가 있음을 알아내었다. 즉, 화학 강화용 유리의 톱면과 보텀면의 수소 농도차의 절댓값의 값이 작을수록, 화학 강화 유리의 모따기 가공 시의 에지부의 결손량이 저감되었다.From the above, the present inventors have found that the correlation between the difference in hydrogen concentration between the top and bottom surfaces of the chemical strengthening glass and the amount of defects at the edge portion during chamfering of the chemically strengthened glass with the chemical strengthening glass I found out there was a relationship. That is, the smaller the value of the absolute value of the difference in hydrogen concentration between the top surface and the bottom surface of the chemical strengthening glass, the smaller the amount of the edge defects at the time of chamfering the chemical tempered glass.

<기타 특성><Other characteristics>

각 유리에 대해서, 유리 전이점(Tg) 및 30 내지 350℃에서의 평균 열팽창 계수를 열 기계 분석 장치(TMA)에 의해 측정하였다. 또한, 각 유리의 밀도를 아르키메데스법에 의해 측정하였다. 또한, 각 유리의 영률을 초음파 펄스법에 의해 측정하였다. 이들 결과를 표 1에 함께 나타낸다.For each glass, the glass transition temperature (Tg) and the average thermal expansion coefficient at 30 to 350 占 폚 were measured by a thermomechanical analyzer (TMA). The density of each glass was measured by the Archimedes method. In addition, the Young's modulus of each glass was measured by ultrasonic pulse method. These results are shown together in Table 1.

Figure pat00001
Figure pat00001

표 1로부터 알 수 있는 바와 같이, 예 1 내지 5의 유리는, 예 6의 유리에 비교하여, 에칭 시의 슬러지량이 적은 유리이다. 또한, 예 1 내지 5의 유리는, 유리를 동일한 화학 강화 조건에서 화학 강화한 경우에, 예 6의 유리와 비교하여, 높은 CS를 갖는다. 또한, 예 1 내지 5의 유리는, 예 6의 유리와 비교하여, DUV 유기 흡수 Δα가 낮고, DUV 내성이 우수하다.As can be seen from Table 1, the glass of Examples 1 to 5 is a glass having a small amount of sludge at the time of etching as compared with the glass of Example 6. In addition, the glasses of Examples 1 to 5 have a higher CS compared to the glass of Example 6, when the glass is chemically reinforced under the same chemical strengthening conditions. In addition, the glasses of Examples 1 to 5 are low in DUV organic absorption &amp;alpha; and superior in DUV resistance, as compared to the glass of Example 6.

본 발명을 특정한 형태를 참조하여 상세하게 설명했지만, 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않고 각종 변경 및 수정이 가능한 것은, 당업자에 있어서 명확하다. 또한, 본 출원은, 2016년 11월 16일자로 출원된 일본 특허 출원(특원 2016-223041) 및 2017년 9월 29일자로 출원된 일본 특허 출원(특원 2017-190684)에 기초하고 있으며, 그 전체가 인용에 의해 원용된다. 또한, 여기에 인용되는 모든 참조는 전체로서 도입된다.Although the present invention has been described in detail with reference to specific embodiments thereof, it is apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. The present application is based on Japanese Patent Application (Application No. 2016-223041) filed on November 16, 2016, and Japanese Patent Application (Application No. 2017-190684) filed on September 29, 2017, Is cited by reference. Also, all references cited herein are incorporated by reference in their entirety.

Claims (8)

산화물 기준의 몰 백분율 표시로,
SiO2: 60 내지 67%,
Al2O3: 9 내지 13.5%,
Na2O: 13.5 내지 18.5%,
K2O: 0.1 내지 3%,
MgO: 6 내지 10.5% 및
TiO2: 0% 초과 5% 이하를 함유하고,
주면과 상기 주면에 대향하는 이면을 갖고, 상기 이면의 주석 함유량이 상기 주면의 주석 함유량보다도 많으며, 상기 주면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서의 수소 농도가 깊이 방향으로 서서히 감소하고 있는 것을 특징으로 하는, 화학 강화용 유리.
As a molar percentage indication based on oxide,
SiO 2 : 60 to 67%
Al 2 O 3 : 9 to 13.5%
Na 2 O: 13.5 to 18.5%
0.1 to 3% of K 2 O,
MgO: 6 to 10.5% and
TiO 2 : more than 0% and not more than 5%
Wherein the tin content of the back surface is larger than the tin content of the main surface and the hydrogen concentration at a depth of 1 to 2 占 퐉 in the plate thickness direction from the surface of the main surface gradually decreases in the depth direction Wherein the chemical strengthening glass is a glass reinforcing glass.
제1항에 있어서, 상기 이면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 2㎛에 있어서의 수소 농도가 깊이 방향으로 서서히 감소하고 있는 것을 특징으로 하는, 화학 강화용 유리.The chemical strengthening glass according to claim 1, characterized in that the hydrogen concentration at a depth of 1 to 2 占 퐉 in the thickness direction direction from the surface of the back surface gradually decreases in the depth direction. 제1항에 있어서, 상기 주면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 10㎛에 있어서의 수소 농도는, 상기 이면의 표면으로부터 판 두께 방향 깊이 1 내지 10㎛에 있어서의 수소 농도보다도 낮은 것을 특징으로 하는, 화학 강화용 유리.The hydrogen concentration sensor according to claim 1, wherein the hydrogen concentration at a depth of 1 to 10 mu m in the thickness direction from the surface of the main surface is lower than a hydrogen concentration at a depth of 1 to 10 mu m in the thickness direction from the surface of the back surface , Glass for chemical strengthening. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 유리의 점도가 104dPaㆍs로 되는 온도 T4가 1255℃ 이하인, 화학 강화용 유리.The chemical strengthening glass according to any one of claims 1 to 3, wherein the temperature T4 at which the glass has a viscosity of 10 4 dPa 가 is not more than 1255 캜. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 산화물 기준의 몰 백분율 표시로 ZrO2를 0.11% 초과 4.0% 이하 포함하는, 화학 강화용 유리.Any one of claims 1 to A method according to any one of claim 4, wherein the glass for chemical strengthening, including 0.11% of ZrO 2 to the mole percent of the oxide-based display or less than 4.0%. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 화학 강화용 유리가 화학 강화된, 화학 강화 유리.A chemical strengthening glass in which the chemical strengthening glass according to any one of claims 1 to 5 is chemically reinforced. 제6항에 있어서, 표면 압축 응력(CS)이 900MPa 이상인, 화학 강화 유리.The chemical strengthening glass according to claim 6, wherein the surface compressive stress (CS) is 900 MPa or more. 제6항 또는 제7항에 있어서, 압축 응력층 깊이(DOL)가 30㎛ 이상인, 화학 강화 유리.The chemical strengthening glass according to claim 6 or 7, wherein the compressive stress layer depth (DOL) is 30 占 퐉 or more.
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