KR20180047277A - 복합 진동 모드를 가진시키는 압전 트랜스듀서 및 이를 포함하는 레벨스위치 센서 - Google Patents
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Abstract
복합 진동 모드를 가진시키는 압전 트랜스듀서 및 이를 포함하는 레벨스위치 센서가 개시된다. 개시된 레벨스위치 센서는 M(2 이상의 정수)개의 구획으로 분할된 상면 전극 및 N(2 이상의 정수)개의 구획으로 분할된 하면 전극을 포함하는 압전 트랜스듀서; 및 상기 압전 트랜스듀서의 하면 전극과 길이 방향으로 연결되는 웨이브가이드;를 포함하되, 상기 M개의 구획 중 적어도 일부의 구획 각각에 대한 상면 전극의 극성은 반대면 위치에 있는 상기 N개의 구획의 하면 전극의 극성과 서로 반대의 극성을 가지고, 상기 웨이브가이드는 상기 상면 전극 및 상기 하면 전극의 극성에 의해 진동한다.
Description
본 발명의 실시예들은 압전 트랜스듀서 및 이를 포함하는 레벨스위치 센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상면 전극 및 하면 전극의 분할을 통해 다양한 진동 모드로 웨이브가이드를 가진시키는 압전 트랜스듀서 및 이를 포함하는 레벨스위치 센서에 관한 것이다.
트랜스듀서(transducer)는 하나의 형태의 에너지를 다른 하나의 형태의 에너지로 변환하여 신호 처리를 용이하게 하는 장치를 의미하는 것으로서, 압전 트랜스듀서(piezoelectric transducer)는 전기 에너지를 역학적 입력 에너지로 바꾸거나 역학적 입력 에너지를 전기 에너지로 바꾸어주는 장치를 의미한다.
압전 트랜스듀서는 산업체의 자동화된 공정라인에 물체가 이송되는지의 유무를 확인하기 위하여 또는 자동차 후미의 사람 혹은 위험물을 측정하여 사고를 사전에 방지하기 위하여, 또는 수위 및 산업용 탱크 속의 액체 레벨을 측정하기 위한 레벨스위치에 사용되고 있다.
이와 관련한 종래의 기술로서, 대한민국 등록특허 제10-1040474호가 있다. 상기 특허는 특정 진동 모드인 "비틀림 진동 모드"를 가진하기 위해 전극을 바람개비 모양으로 배치하였고, 전극 대칭 설계를 통해 대전력 출력을 가능하게 하였고, 생산성 향상 및 분극에 이방성에 기인한 피로파괴 현상을 최소화하는 것이 목적이었다.
그러나, 비틀림 진동 모드 외에 축 진동 모드, 반경 진동 모드, 굽 힘 진동 모드 등 다양한 진동 모드가 존재할 수 있으며, 상기한 종래 기술을 통해서는 상기 다양한 진동 모드를 모두 구현할 수 없는 단점이 있다.
상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명에서는 상면 전극 및 하면 전극의 분할을 통해 다양한 진동 모드로 웨이브가이드를 가진시키는 압전 트랜스듀서 및 이를 포함하는 레벨스위치 센서를 제안하고자 한다.
본 발명의 다른 목적들은 하기의 실시예를 통해 당업자에 의해 도출될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 레벨스위치 센서에 있어서, M(2 이상의 정수)개의 구획으로 분할된 상면 전극 및 N(2 이상의 정수)개의 구획으로 분할된 하면 전극을 포함하는 압전 트랜스듀서; 및 상기 압전 트랜스듀서의 하면 전극과 길이 방향으로 연결되는 웨이브가이드;를 포함하되, 상기 M개의 구획 중 적어도 일부의 구획 각각에 대한 상면 전극의 극성은 반대면 위치에 있는 상기 N개의 구획의 하면 전극의 극성과 서로 반대의 극성을 가지고, 상기 웨이브가이드는 상기 상면 전극 및 상기 하면 전극의 극성에 의해 진동할 수 있는 레벨스위치 센서가 제공된다.
상기 상면 전극은 4개의 구획으로 분할되고, 상기 하면 전극은 4개의 구획으로 분할될 수 있다.
상기 하면 전극의 4개의 구획 각각은 (-) 극성이고, 상기 상면 전극의 4개의 구획 각각은 (+) 극성일 수 있다. 이 경우, 웨이브가이드는 축 모드 또는 반경 모드로 진동할 수 있다.
상기 상면 전극 및 상기 하면 전극 각각은 원형 형상을 가지고, 상기 하면 전극은 원형 형상의 중심을 지나는 2개의 구획선을 통해 4개의 부채꼴 형상의 구획으로 분할되고, 상기 상면 전극은 원형 형상의 중심을 지나는 서로 다른 2개의 구획선을 통해 4개의 부채꼴 형상의 구획으로 분할될 수 있다.
상기 하면 전극의 4개의 구획 중 구획 B1은 (-) 극성이고, 상기 상면 전극의 4개의 구획 중 구획 T1은 (+) 극성이되, 상기 구획 T1은 상기 구획 B1과 반대면에 있는 상기 상면 전극의 부분에서 면적의 전부가 포함되는 구획이고, 상기 하면 전극의 4개의 구획 중 구획 B2은 (+) 극성이고, 상기 상면 전극의 4개의 구획 중 구획 T2은 (-) 극성이되, 상기 구획 T2은 상기 구획 B2과 반대면에 있는 상기 상면 전극의 부분에서 면적의 전부가 포함되는 구획일 수 있다. 이 경우, 상기 웨이브가이드는 굽힘 모드로 진동할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 레벨스위치 센서에 포함되는 압전 트랜스듀서에 있어서, 압전 원판; 상기 압전 원판의 상면에 위치하며, M(2 이상의 정수)개의 구획으로 분할되는 상면 전극; 및 상기 압전 원판의 하면에 위치하며, N(2 이상의 정수)개의 구획으로 분할되는 하면 전극;을 포함하되, 상기 M개의 구획 중 적어도 일부의 구획 각각에 대한 상면 전극의 극성은 반대면 위치에 있는 상기 N개의 구획의 하면 전극의 극성과 서로 반대의 극성을 가지는 것을 특징으로 하는 압전 트랜스듀서가 제공된다.
본 발명에 따른 압전 트랜스듀서 및 이를 포함하는 레벨스위치 센서에 따르면, 다양한 진동 모드로 웨이브가이드를 가진시키는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨스위치 센서의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 상면 전극 및 하면 전극의 개략적인 구성을 도시한 있다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 상면 전극 및 하면 전극의 구조를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 상면 전극 및 하면 전극의 구조를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 상면 전극 및 하면 전극의 개략적인 구성을 도시한 있다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 상면 전극 및 하면 전극의 구조를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 상면 전극 및 하면 전극의 구조를 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨스위치 센서의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레벨스위치 센서(100)는 압전 트랜스듀서(110) 및 웨이브가이드(120)를 포함한다.
압전 트랜스듀서(110)는 원판 또는 환판 형상을 가질 수 있으며, 전기 에너지를 역학적 입력 에너지로 바꾸어주는 역할을 수행한다. 웨이브가이드(120)는 원형 봉 형상을 가질 수 있으며, 압전 트랜스듀서(110)의 하면과 길이 방향으로 연결되고, 액체의 레벨을 측정하기 위해 사용된다. 이 때, 웨이브가이드(120)는 금속 재질일 수 있으며, 하기에서 설명하는 바와 같이 압전 트랜스듀서(110)에 의해 진동할 수 있다.
이 때, 압전 트랜스듀서(110)는 압전 원판(111), 상면 전극(112) 및 하면 전극(113)을 포함한다.
압전 원판(111)는 전기 에너지를 역학적 입력 에너지로 바꾸어주는 중추적 역할을 수행하며, 압전 원판(111)의 위쪽에는 상면 전극(112)이 위치하고, 압전 원판(111)의 아래쪽에는 하면 전극(113)이 위치한다.
도 2에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 상면 전극(112) 및 하면 전극(113)의 개략적인 구성을 도시하고 있다.
도 2를 참조하면, 상면 전극(112) 및 하면 전극(113)은 원형 형상을 가진다. 그리고, 상면 전극(112)은 M(2 이상의 정수)개의 구획, 일례로 4개의 구획(T1, T2, T3, T4)으로 분할될 수 있고, 하면 전극(113)은 N(2 이상의 정수)개의 구획, 일례로 4개의 구획(B1, B2, B3, B4)으로 분할될 수 있다.
보다 상세하게, 상면 전극(112)은 원형 형상의 중심을 지나는 서로 다른 2개의 구획선(112A, 112B)을 통해 4개의 부채꼴 형상의 구획(T1, T2, T3, T4)으로 분할될 수 있다. 따라서, 구획 T1 및 구획 T2는 동일한 형상을 가지며, 구획 T3 및 구획 T4는 동일한 형상을 가진다. 그리고, 하면 전극(113)은 원형 형상의 중심을 지나는 서로 다른 2개의 구획선(113A, 113B)을 통해 4개의 부채꼴 형상의 구획(B1, B2, B3, B4)으로 분할된다. 따라서, 구획 B1 및 구획 B2는 동일한 형상을 가지며, 구획 B3 및 구획 B4는 동일한 형상을 가진다.
이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상면 전극(112) 상의 구획은 반대면 상의 동일한 위치에 배치되는 하면 전극(113) 상의 구획과 서로 대응될 수 있다. 즉, 상면 전극(112) 상의 구획 T1은 반대면 상의 동일한 위치에 배치되는 하면 전극(113) 상의 구획 B1과 서로 대응될 수 있고, 상면 전극(112) 상의 구획 T2은 반대면 상의 동일한 위치에 배치되는 하면 전극(113) 상의 구획 B2과 서로 대응될 수 있고, 상면 전극(112) 상의 구획 T3은 반대면 상의 동일한 위치에 배치되는 하면 전극(113) 상의 구획 B3과 서로 대응될 수 있고, 상면 전극(112) 상의 구획 T4은 반대면 상의 동일한 위치에 배치되는 하면 전극(113) 상의 구획 B4과 서로 대응될 수 있다.
그리고, 상면 전극(112) 상의 구획 T1, 구획 T2, 구획 T3, 구획 T4 및 하면 전극(113) 상의 구획 B1, 구획 B2, 구획 B3 및 구획 B4에는 전원이 인가되어 어느 하나의 극성을 가진다. 이 때, 본 발명에 따르면, 상면 전극(112) 내의 구획 중 적어도 일부의 구획 각각에 대한 전극의 극성은, 반대면 위치에 있는 하면 전극(113) 내의 구획의 전극의 극성과 서로 반대의 극성을 가진다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 상면 전극(112) 및 하면 전극(113)의 구조에 대해 상세하게 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 상면 전극(112) 및 하면 전극(113)의 구조를 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 상면 전극(112)의 구획 T1 및 구획 T2는 전원과 연결되어 극성을 가진다. 이 때, 구획 T1 및 구획 T2는 가진을 위한 구획으로서, 구획 T1는 (+) 극성이 인가되고, 구획 T2는 (-) 극성이 인가된다. 또한, 구획 T3 및 구획 T4은 신호 감지부로 사용되는 구획이다. 그리고, 구획을 나누기 위한 2개의 구획선(112A, 112B)는 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 극성을 띄지 않는다.
또한, 하면 전극(113)의 구획 B1 및 구획 B2는 전원과 연결되어 극성을 가진다. 이 때, 구획 B1 및 구획 B2는 가진을 위한 구획으로서, 구획 B1은 (-) 극성이 인가되고, 구획 B2에는 (+) 극성이 인가된다. 또한, 구획 B3 및 구획 B4는 신호 감지부로 사용된다. 그리고, 구획을 나누기 위한 2개의 구획선(113A, 113B)는 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 극성을 띄지 않는다.
여기서, 하면 전극(113)의 구획 B1의 반대면 위치에 배치되는 상면 전극(112)의 구획은 구획 T1일 수 있다. 즉, 구획 T1은 구획 B1과 반대면에 있는 상면 전극(112)의 부분(즉, 구획 B1의 부채꼴 형상과 동일한 형상 및 위치를 가지는 상면 전극(112)의 부분)에서 면적의 전부가 포함되는 구획으로서, 구획 T1과 구획 B1는 대응되는 구획이되, 구획 T1은 (+) 극성을 가지고 구획 B1은 (-) 극성을 가진다.
또한, 하면 전극(113)의 구획 B2의 반대면 위치에 배치되는 상면 전극(112)의 구획은 구획 T2일 수 있다. 즉, 구획 T2은 구획 B2과 반대면에 있는 상면 전극(112)의 부분(즉, 구획 B2의 부채꼴 형상과 동일한 형상 및 위치를 가지는 상면 전극(112)의 부분)에서 면적의 전부가 포함되는 구획으로서, 구획 T2과 구획 B2는 대응되는 구획이되, 구획 T2은 (-) 극성을 가지고 구획 B2은 (+) 극성을 가진다.
상면 전극(112) 및 하면 전극(113)이 상기와 같은 극성을 띄는 경우, 웨이브가이드(120)는 굽힘 모드로 진동할 수 있으며, 이에 기초하여 레벨을 감지한다. 이 때, 굽힘 모드는 압전 트랜스듀서(110)의 하면 전극(113)과 연결되지 않는 웨이브가이드(120)의 일단이 굽어지는 진동 모드를 의미한다.
요컨대, 구획 T1 및 이와 대응되는 구획 B1은 서로 반대의 극성을 가지고, 구획 T2 및 이와 대응되는 구획 B2 역시 서로 반대의 극성을 가지는데, 한 부분이 반경 방향에서 수축할 때 다른 한 부분은 반경 방향에서 팽창하므로, 압전 트랜스듀서(110)는 웨이브가이드(120)를 굽힘 모드로 가진시킨다.
한편, 구획 T1 및 구획 T2과 대응되는 부채꼴 형상의 중심각(θ), 절연물질의 너비(c), 트랜스듀서의 지름(a)은 사용자의 필요에 따라 설정할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 상면 전극(112) 및 하면 전극(113)의 구조를 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 상면 전극(112)의 구획 T1, 구획 T2, 구획 T3 및 구획 T4 모두는 전원과 연결되어 극성, 일례로, (+) 극성이 인가될 수 있다. 그리고, 구획을 나누기 위한 2개의 구획선(112A, 112B)는 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 극성을 띄지 않는다.
또한, 하면 전극(113)의 구획 B1, 구획 B2, 구획 B3 및 구획 B4는 전원과 연결되어 극성, 일례로 (-) 극성이 인가될 수 있다. 그리고, 구획을 나누기 위한 2개의 구획선(113A, 113B)는 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 극성을 띄지 않는다.
이 경우, 웨이브가이드(120)는 축 모드 또는 반경 모드로 진동할 수 있으며, 이에 기초하여 레벨을 감지한다. 이 때, 축 모드는 웨이브가이드(120)가 수직 방향으로 움직이는 진동 모드를 의미하고, 반경 모드는 웨이브가이드(120)가 수평 방향으로 움직이는 진동 모드를 의미한다.
요컨대, 상면 전극(112)은 (+) 극성을 가지고, 하면 전극(113)은 (-) 극성을 가지는 경우, 압전 트랜스듀서(110)는 면내 진동 혹은 면외 진동을 수행하며, 웨이브가이드(120)를 반경 모드 혹은 축 모드로 가진시킬 수 있다.
한편, 구획 T1 및 구획 T2과 대응되는 부채꼴 형상의 중심각(θ), 절연물질의 너비(c), 트랜스듀서의 지름(a)은 사용자의 필요에 따라 설정할 수 있다.
정리하면, 본 발명은 상면 전극(112) 및 하면 전극(113) 각각을 복수개의 구획으로 분할시키고, 구획 각각에 대해 기 설정된 극성을 인가함으로써, 하나의 압전 트랜스듀서(110)를 통해 다양한 진동 모드, 즉 복합 진동 모드(굽힘 모드, 축 모드, 반경 모드)를 구현할 수 있는 장점이 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
Claims (8)
- 레벨스위치 센서에 있어서,
M(2 이상의 정수)개의 구획으로 분할된 상면 전극 및 N(2 이상의 정수)개의 구획으로 분할된 하면 전극을 포함하는 압전 트랜스듀서; 및
상기 압전 트랜스듀서의 하면 전극과 길이 방향으로 연결되는 웨이브가이드;를 포함하되,
상기 M개의 구획 중 적어도 일부의 구획 각각에 대한 상면 전극의 극성은 반대면 위치에 있는 상기 N개의 구획의 하면 전극의 극성과 서로 반대의 극성을 가지고,
상기 웨이브가이드는 상기 상면 전극 및 상기 하면 전극의 극성에 의해 진동하는 것을 특징으로 하는 레벨스위치 센서. - 제1항에 있어서,
상기 상면 전극은 4개의 구획으로 분할되고, 상기 하면 전극은 4개의 구획으로 분할되는 것을 특징으로 하는 레벨스위치 센서. - 제2항에 있어서,
상기 하면 전극의 4개의 구획 각각은 (-) 극성이고, 상기 상면 전극의 4개의 구획 각각은 (+) 극성인 것을 특징으로 하는 레벨스위치 센서. - 제3항에 있어서,
상기 웨이브가이드는 축 모드 또는 반경 모드로 진동하는 것을 특징으로 하는 레벨스위치 센서. - 제2항에 있어서,
상기 상면 전극 및 상기 하면 전극 각각은 원형 형상을 가지고,
상기 하면 전극은 원형 형상의 중심을 지나는 2개의 구획선을 통해 4개의 부채꼴 형상의 구획으로 분할되고,
상기 상면 전극은 원형 형상의 중심을 지나는 서로 다른 2개의 구획선을 통해 4개의 부채꼴 형상의 구획으로 분할되는 것을 특징으로 하는 레벨스위치 센서. - 제5항에 있어서,
상기 하면 전극의 4개의 구획 중 구획 B1은 (-) 극성이고, 상기 상면 전극의 4개의 구획 중 구획 T1은 (+) 극성이되, 상기 구획 T1은 상기 구획 B1과 반대면에 있는 상기 상면 전극의 부분에서 면적의 전부가 포함되는 구획이고,
상기 하면 전극의 4개의 구획 중 구획 B2은 (+) 극성이고, 상기 상면 전극의 4개의 구획 중 구획 T2은 (-) 극성이되, 상기 구획 T2은 상기 구획 B2과 반대면에 있는 상기 상면 전극의 부분에서 면적의 전부가 포함되는 구획인 것을 특징으로 하는 레벨스위치 센서. - 제6항에 있어서,
상기 웨이브가이드는 굽힘 모드로 진동하는 것을 레벨스위치 센서. - 레벨스위치 센서에 포함되는 압전 트랜스듀서에 있어서,
압전 원판;
상기 압전 원판의 상면에 위치하며, M(2 이상의 정수)개의 구획으로 분할되는 상면 전극; 및
상기 압전 원판의 하면에 위치하며, N(2 이상의 정수)개의 구획으로 분할되는 하면 전극;을 포함하되,
상기 M개의 구획 중 적어도 일부의 구획 각각에 대한 상면 전극의 극성은 반대면 위치에 있는 상기 N개의 구획의 하면 전극의 극성과 서로 반대의 극성을 가지는 것을 특징으로 하는 압전 트랜스듀서.
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KR1020160143226A KR101885435B1 (ko) | 2016-10-31 | 2016-10-31 | 복합 진동 모드를 가진시키는 압전 트랜스듀서 및 이를 포함하는 레벨스위치 센서 |
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KR1020160143226A KR101885435B1 (ko) | 2016-10-31 | 2016-10-31 | 복합 진동 모드를 가진시키는 압전 트랜스듀서 및 이를 포함하는 레벨스위치 센서 |
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KR (1) | KR101885435B1 (ko) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0376281A (ja) * | 1989-08-18 | 1991-04-02 | Teijin Seiki Co Ltd | 圧電素子の分極方法および圧電素子 |
JP2004259947A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電トランス素子 |
JP4242841B2 (ja) * | 2002-12-19 | 2009-03-25 | エンドレス ウント ハウザー ゲーエムベーハー ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 少なくとも一つの物理的パラメータを測定及び/又は監視し、振動励起及び振動検出のためにピエゾドライブを有する装置 |
-
2016
- 2016-10-31 KR KR1020160143226A patent/KR101885435B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0376281A (ja) * | 1989-08-18 | 1991-04-02 | Teijin Seiki Co Ltd | 圧電素子の分極方法および圧電素子 |
JP4242841B2 (ja) * | 2002-12-19 | 2009-03-25 | エンドレス ウント ハウザー ゲーエムベーハー ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 少なくとも一つの物理的パラメータを測定及び/又は監視し、振動励起及び振動検出のためにピエゾドライブを有する装置 |
JP2004259947A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電トランス素子 |
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