KR20180047089A - Tower lift including a brake module - Google Patents
Tower lift including a brake module Download PDFInfo
- Publication number
- KR20180047089A KR20180047089A KR1020160142791A KR20160142791A KR20180047089A KR 20180047089 A KR20180047089 A KR 20180047089A KR 1020160142791 A KR1020160142791 A KR 1020160142791A KR 20160142791 A KR20160142791 A KR 20160142791A KR 20180047089 A KR20180047089 A KR 20180047089A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- module
- brake
- main frame
- carriage module
- drive belt
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66B—ELEVATORS; ESCALATORS OR MOVING WALKWAYS
- B66B5/00—Applications of checking, fault-correcting, or safety devices in elevators
- B66B5/02—Applications of checking, fault-correcting, or safety devices in elevators responsive to abnormal operating conditions
- B66B5/16—Braking or catch devices operating between cars, cages, or skips and fixed guide elements or surfaces in hoistway or well
- B66B5/18—Braking or catch devices operating between cars, cages, or skips and fixed guide elements or surfaces in hoistway or well and applying frictional retarding forces
- B66B5/20—Braking or catch devices operating between cars, cages, or skips and fixed guide elements or surfaces in hoistway or well and applying frictional retarding forces by means of rotatable eccentrically-mounted members
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
- B65G43/04—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting detecting slip between driving element and load-carrier, e.g. for interrupting the drive
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66B—ELEVATORS; ESCALATORS OR MOVING WALKWAYS
- B66B11/00—Main component parts of lifts in, or associated with, buildings or other structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67718—Changing orientation of the substrate, e.g. from a horizontal position to a vertical position
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67751—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a single workpiece
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67757—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a batch of workpieces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
Abstract
Description
본 발명의 실시예들은 브레이크 모듈(Brake Module)을 포함하는 타워 리프트(Tower Lift)에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 이송 대상물의 승강을 위한 캐리지 모듈(Carriage Module)의 추락을 방지하기 위한 브레이크 모듈을 포함하는 타워 리프트에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a tower lift including a brake module. And more particularly to a tower lift including a brake module for preventing a fall of a carriage module for raising and lowering a conveying object.
일반적으로 반도체 또는 디스플레이 제조 공장의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들에는 증착, 노광, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치될 수 있으며, 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 기판으로서 사용되는 유리 기판에 대하여 일련의 단위 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 장치 또는 디스플레이 장치가 제조될 수 있다.Generally, a manufacturing line of a semiconductor or display manufacturing factory is composed of a plurality of layers, and each layer may be provided with facilities for performing processes such as deposition, exposure, etching, ion implantation, cleaning, etc., and a semiconductor wafer or a display A semiconductor device or a display device can be manufactured by repeatedly performing a series of unit processes on a glass substrate used as a substrate.
한편, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송 즉 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재들의 이송은 상기 각 층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다.Meanwhile, the transfer of the material between the layers, that is, the transfer of the materials such as the semiconductor wafer or the glass substrate, can be performed by the tower lift installed vertically through the respective layers.
상기 타워 리프트는 자재 이송을 위한 캐리지 모듈과 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일들이 설치되는 메인 프레임과 타이밍 벨트와 같은 구동 벨트를 이용하여 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈 등을 포함할 수 있다. 그러나, 상기 구동 벨트가 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈이 추락될 수 있으며 이를 방지하기 위한 개선된 타워 리프트에 대한 요구가 있다.The tower lift includes a driving module for moving the carriage module in a vertical direction by using a driving belt such as a main frame and a timing belt, in which a carriage module for conveying a material, guide rails for guiding the carriage module in a vertical direction are installed, And the like. However, there is a need for an improved tower lift to prevent the carriage module from falling when the drive belt is broken.
본원발명의 실시예들은 캐리지 모듈의 추락을 방지할 수 있는 타워 리프트를 제공하는데 그 목적이 있다.Embodiments of the present invention aim at providing a tower lift that can prevent a fall of a carriage module.
본 발명의 실시예들에 따른 타워 리프트는, 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임과, 상기 메인 프레임을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈과, 상기 메인 프레임의 상부에 배치되며 구동 벨트를 통해 상기 캐리지 모듈과 연결되고 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈과, 상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 구동 벨트가 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈의 추락을 방지하기 위하여 상기 메인 프레임에 밀착되는 브레이크 모듈을 포함할 수 있다.A tower lift according to embodiments of the present invention includes a main frame extending in a vertical direction, a carriage module configured to be movable in a vertical direction along the main frame, A drive module connected to the carriage module and adapted to move the carriage module in a vertical direction; and a brake module mounted on the carriage module and in close contact with the main frame to prevent the carriage module from falling when the drive belt is broken .
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 브레이크 모듈은, 브레이크 디스크와, 상기 브레이크 디스크의 중심으로부터 소정 거리 이격된 회전축과, 상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착되어 제동력이 발생되도록 상기 브레이크 디스크를 회전시키는 브레이크 구동 유닛을 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the brake module includes a brake disc, a rotation shaft spaced a predetermined distance from the center of the brake disc, and a braking force generating part that causes a part of the outer circumferential surface of the brake disc to closely contact the main frame, And a brake driving unit for rotating the disk.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 회전축은 상기 브레이크 디스크의 중심으로부터 상방으로 이격될 수 있으며, 상기 회전축보다 낮게 위치되는 상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the rotation axis may be spaced upward from the center of the brake disc, and a part of the outer circumferential surface of the brake disc positioned lower than the rotation axis may be in close contact with the main frame.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타워 리프트는, 상기 구동 벨트와 상기 캐리지 모듈 사이를 연결하는 연결 유닛을 더 포함할 수 있으며, 상기 연결 유닛은, 상기 캐리지 모듈에 장착된 연결 브래킷과, 상기 연결 브래킷을 관통하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성되며 상기 구동 벨트와 연결되는 상단부를 갖는 연결 로드와, 상기 연결 브래킷의 하부에서 상기 연결 로드에 결합되며 상기 연결 로드가 상기 연결 브래킷으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지 부재를 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tower lift may further include a connection unit for connecting the drive belt and the carriage module, the connection unit including: a connection bracket mounted on the carriage module; A connection rod having a top portion connected to the driving belt and configured to be able to move in a vertical direction through the connection bracket; and a connection rod coupled to the connection rod at a lower portion of the connection bracket, Preventing member.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 연결 유닛은, 상기 연결 로드의 상단부에 결합되며 상기 구동 벨트의 하단부를 파지하는 클램핑 부재를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the connection unit may further include a clamping member coupled to an upper end of the connection rod and holding the lower end of the drive belt.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 클램핑 부재에는 수직 방향으로 연장하는 가이드 슬롯이 구비될 수 있으며, 상기 캐리지 모듈에는 상기 가이드 슬롯에 삽입되는 가이드 핀이 구비될 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the clamping member may be provided with a guide slot extending in the vertical direction, and the carriage module may be provided with a guide pin inserted into the guide slot.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 연결 유닛은, 상기 연결 브래킷과 상기 이탈 방지 부재 사이에 배치되며 상기 구동 벨트가 파단되는 경우 상기 연결 로드를 하방으로 이동시키기 위해 탄성 복원력을 제공하는 탄성 부재를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the connection unit may include an elastic member disposed between the connection bracket and the release preventing member and providing an elastic restoring force for moving the connection rod downward when the drive belt is broken .
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 브레이크 구동 유닛은, 상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착되는 방향으로 회전력을 제공하는 구동 부재와, 상기 구동 벨트의 정상 상태에서 상기 브레이크 디스크의 회전을 차단하고 상기 구동 벨트가 파단되는 비정상 상태에서 상기 브레이크 디스크가 회전되도록 상기 차단 상태를 해제하는 스토퍼를 포함할 수 있다. 이때, 상기 연결 로드는 상기 구동 벨트가 파단되는 경우 하방으로 이동되고, 상기 스토퍼는 상기 연결 로드의 하방 이동에 연동하여 상기 차단 상태를 해제할 수 있다.According to the embodiments of the present invention, the brake drive unit includes: a drive member that provides a rotational force in a direction in which a part of the outer circumferential surface of the brake disk closely contacts the main frame; And a stopper for releasing the blocking state so that the brake disc is rotated in an abnormal state in which the drive belt is broken. At this time, the connecting rod is moved downward when the driving belt is broken, and the stopper can release the blocking state in conjunction with downward movement of the connecting rod.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 스토퍼는, 상기 연결 로드의 하단부에 결합된 스토퍼 바(bar)와, 상기 스토퍼 바의 단부에 구비되며 상기 브레이크 디스크의 회전을 차단하기 위한 스토퍼 부재를 포함할 수 있으며, 상기 브레이크 디스크에는 상기 정상 상태에서 상기 스토퍼 부재와 간섭되는 걸림 부재가 구비될 수 있다.According to embodiments of the present invention, the stopper may include a stopper bar coupled to a lower end of the connecting rod, and a stopper member provided at an end of the stopper bar for blocking rotation of the brake disk And the brake disc may be provided with an engaging member that interferes with the stopper member in the steady state.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타워 리프트는, 상기 구동 벨트가 파단되는 것을 감지하기 위한 센서를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tower lift may further include a sensor for detecting that the drive belt is broken.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 브레이크 구동 유닛은 상기 센서의 감지 신호에 따라 상기 브레이크 디스크를 회전시킬 수 있다.According to embodiments of the present invention, the brake driving unit may rotate the brake disk according to a sensing signal of the sensor.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타워 리프트는, 상기 메인 프레임을 따라 수직 방향으로 연장하는 가이드 레일과, 상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 가이드 레일을 따라 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하는 가이드 유닛들을 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tower lift includes a guide rail extending in the vertical direction along the main frame, a guide unit mounted on the carriage module and guiding the carriage module in a vertical direction along the guide rail, As shown in FIG.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타워 리프트는, 상기 가이드 레일의 후면 상에 배치되는 상부 고정 롤러와 상기 가이드 레일의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 상부 텐션 롤러를 포함하는 상부 가이드 유닛과, 상기 가이드 레일의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러와 상기 가이드 레일의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러를 포함하는 하부 가이드 유닛을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tower lift includes an upper fixing roller disposed on a rear surface of the guide rail, and an upper tension roller having a top tension roller to which a predetermined pressing force is applied so as to closely contact the front surface of the guide rail. And a lower guide unit including a lower fixing roller disposed on a front surface of the guide rail and a lower tension roller to which a predetermined pressing force is applied to closely contact the rear surface of the guide rail.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들은, 회전축이 중심축으로부터 소정 거리 이격된 편심축과, 상기 편심축에 회전 가능하도록 장착된 롤러와, 상기 롤러가 상기 가이드 레일에 밀착되도록 소정의 가압력을 인가하기 위하여 상기 편심축에 장착된 토션 스프링을 각각 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the upper and lower tension rollers may include an eccentric shaft having a rotation axis spaced a predetermined distance from the central axis, a roller mounted to be rotatable on the eccentric shaft, And a torsion spring mounted on the eccentric shaft for applying a predetermined urging force to the eccentric shaft.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들은 상기 가이드 레일의 측면 상에 배치되는 상부 및 하부 측면 고정 롤러를 각각 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the upper and lower guide units may further include upper and lower side fixing rollers respectively disposed on the side surfaces of the guide rails.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 타워 리프트는, 상기 캐리지 모듈의 후방에 배치되며 상기 구동 벨트와 연결된 웨이트 모듈과, 상기 캐리지 모듈 및 상기 웨이트 모듈과 연결된 균형 벨트와, 상기 메인 프레임의 하부에 배치되며 상기 균형 벨트에 소정의 인장력을 인가하기 위한 오토 텐셔너를 더 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the tower lift includes a weight module disposed at the rear of the carriage module and connected to the drive belt, a balance belt connected to the carriage module and the weight module, And an auto tensioner for applying a predetermined tensile force to the balance belt.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 캐리지 모듈은, 상기 구동 벨트와 연결된 승강 프레임과, 상기 승강 프레임에 장착되며 이송 대상물을 핸들링하기 위한 캐리지 로봇을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, the carriage module may include a lift frame connected to the drive belt, and a carriage robot mounted on the lift frame and handling the conveyance object.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 캐리지 모듈은 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임과 가이드 레일들의 전방에 배치되며 상기 가이드 레일들을 따라 이동될 수 있다. 또한, 구동 모듈은 구동 벨트를 이용하여 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 특히, 상기 캐리지 모듈에는 상기 구동 벨트가 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈의 추락을 방지하기 위하여 상기 메인 프레임에 밀착되는 브레이크 모듈이 장착될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the carriage module is disposed in front of the main frame and the guide rails extending in the vertical direction and can be moved along the guide rails. In addition, the drive module may move the carriage module in a vertical direction using a drive belt. In particular, when the drive belt is broken, the carriage module may be equipped with a brake module that is in close contact with the main frame to prevent the carriage module from falling.
상기 브레이크 모듈은 상기 구동 벨트가 파단되는 경우 상기 메인 프레임에 밀착되는 브레이크 디스크를 이용하여 제동력을 발생시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 캐리지 모듈의 추락에 의한 안전 사고를 방지할 수 있고, 또한 상기 구동 벨트의 파단 및 상기 캐리지 모듈의 추락에 따른 비용 손실을 크게 감소시킬 수 있다.The brake module may generate a braking force by using a brake disc that is in close contact with the main frame when the drive belt is broken, thereby preventing a safety accident caused by the fall of the carriage module, And the cost loss due to the fall of the carriage module can be greatly reduced.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 메인 프레임과 가이드 레일들을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 승강 프레임의 후면에 장착된 브레이크 모듈과 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 배면도이다.
도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 브레이크 모듈의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 7은 도 4에 도시된 상부 및 하부 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a tower lift according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.
FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the carriage module shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 3 is a schematic plan view for explaining the main frame and guide rails shown in FIG. 1. FIG.
4 is a schematic rear view for explaining a brake module and guide units mounted on the rear surface of the lift frame shown in FIG.
FIGS. 5 and 6 are schematic diagrams for explaining the operation of the brake module shown in FIG.
Fig. 7 is a schematic side view for explaining the upper and lower guide units shown in Fig. 4. Fig.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as limited to the embodiments described below, but may be embodied in various other forms. The following examples are provided so that those skilled in the art can fully understand the scope of the present invention, rather than being provided so as to enable the present invention to be fully completed.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In the embodiments of the present invention, when one element is described as being placed on or connected to another element, the element may be disposed or connected directly to the other element, . Alternatively, if one element is described as being placed directly on another element or connected, there can be no other element between them. The terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and / or portions, but the items are not limited by these terms .
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is used for the purpose of describing specific embodiments only, and is not intended to be limiting of the present invention. Furthermore, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as will be understood by those skilled in the art having ordinary skill in the art, unless otherwise specified. These terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be construed to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and the description of the present invention, and are to be interpreted as being ideally or externally grossly intuitive It will not be interpreted.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic illustrations of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the illustrations, e.g., changes in manufacturing methods and / or tolerances, are those that can be reasonably expected. Accordingly, the embodiments of the present invention should not be construed as being limited to the specific shapes of the regions described in the drawings, but include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the exact shape of the elements and is not intended to limit the scope of the invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 타워 리프트를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 캐리지 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a tower lift according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a carriage module shown in FIG.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 타워 리프트(100)는 수직 방향으로 물건을 이송하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 반도체 또는 디스플레이 제조 설비들이 배치된 복층의 제조 공장에서 각 층들로의 자재 이송을 위해 사용될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, a
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 타워 리프트(100)는, 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임(102)과, 상기 메인 프레임(102)의 전방에 배치되며 상기 메인 프레임(102)을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈(110)과, 상기 메인 프레임(102)의 상부에 배치되며 구동 벨트(142)를 통해 상기 캐리지 모듈(110)과 연결되고 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈(140)과, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착되며 상기 구동 벨트(142)가 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈(110)의 추락을 방지하기 위하여 상기 메인 프레임(102)에 밀착되는 브레이크 모듈(150)을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the
또한, 상기 타워 리프트(100)는, 상기 메인 프레임(102)을 따라 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 가이드 레일들(104)과, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착되며 상기 가이드 레일들(104)을 따라 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 안내하는 가이드 유닛들(120, 130)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들에는 수직 방향으로 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 가이드 레일들(104)이 구비될 수 있으며, 상기 캐리지 모듈(110)에는 상기 가이드 레일들(104)에 결합되는 상부 가이드 유닛들(120)과 하부 가이드 유닛들(130)이 장착될 수 있다.The
일 예로서, 상기 구동 모듈(140)은 모터와 풀리를 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 구동 벨트(142)의 일단부가 상기 캐리지 모듈(110)과 연결될 수 있다. 특히, 상기 캐리지 모듈(110)의 정확한 위치 제어를 위하여 상기 구동 벨트(142)로서 타이밍 벨트(Timing Belt)가 사용될 수 있으며, 상기 구동 벨트(142)의 타단부에는 안정적인 수직 이송을 위한 웨이트 모듈(144; Weight Module)이 연결될 수 있다. 또한, 상기 캐리지 모듈(110)과 웨이트 모듈(144)에는 균형 벨트(146)가 연결될 수 있으며, 상기 메인 프레임(102)의 하부에는 상기 균형 벨트(146)에 소정의 인장력을 인가하기 위한 오토 텐셔너(148; Auto Tensioner)가 배치될 수 있다.For example, the
상기 캐리지 모듈(110)은 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들(120, 130)과 브레이크 모듈(150)이 장착되는 후면을 갖는 승강 프레임(112) 및 상기 승강 프레임(112)에 장착되며 이송 대상물, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 자재(10)를 핸들링하기 위한 캐리지 로봇(118)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 승강 프레임(112)은 상기 후면을 갖는 승강 플레이트(114)와 상기 캐리지 로봇(118)이 설치되는 서포트 플레이트(116; Support Plate)를 포함할 수 있으며, 상기 캐리지 로봇(118)은, 예를 들면, 도시된 바와 같이 복수의 기판들이 수납되는 풉(FOUP)과 같은 수납 용기를 핸들링할 수 있다. 추가적으로, 도시된 바와 같이, 상기 승강 프레임(112)에는 상기 캐리지 로봇(116)에 의해 운반된 수납 용기를 파지하기 위한 홀딩 유닛(119)이 구비될 수 있다.The
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 브레이크 모듈(150)은 상기 승강 프레임(112)의 후면 상에 장착될 수 있으며, 브레이크 디스크(152; 도 5 참조)를 상기 메인 프레임(102)에 밀착시킴으로써 상기 브레이크 디스크(152)와 상기 메인 프레임(102) 사이의 마찰력을 이용하여 상기 캐리지 모듈(110)을 정지시키는 제동력을 발생시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the
도 3은 도 1에 도시된 메인 프레임과 가이드 레일들을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 4는 도 2에 도시된 승강 프레임의 후면에 장착된 브레이크 모듈과 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 배면도이며, 도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 브레이크 모듈의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.FIG. 3 is a schematic plan view for explaining main frames and guide rails shown in FIG. 1, FIG. 4 is a schematic rear view for explaining a brake module and guide units mounted on the rear surface of the lift frame shown in FIG. And FIGS. 5 and 6 are schematic diagrams for explaining the operation of the brake module shown in FIG.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 상기 승강 프레임(112)의 후면에는 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들에 각각 대응하도록 브레이크 모듈들(150)이 장착될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들에 마주하도록 한 쌍의 브레이크 모듈들(150)이 구비될 수 있으며, 상기 브레이크 모듈들(150) 각각은, 브레이크 디스크(152)와, 상기 브레이크 디스크(152)의 중심으로부터 소정 거리 이격된 회전축(154)과, 상기 브레이크 디스크(152)의 외주면 일부가 상기 메인 프레임(102)에 밀착되어 상기 캐리지 모듈(110)을 정지시키기 위한 제동력이 발생되도록 상기 브레이크 디스크(152)를 회전시키는 브레이크 구동 유닛(156)을 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 3 to 6,
특히, 도시된 바와 같이 상기 회전축(154)은 상기 브레이크 디스크(152)의 중심으로부터 상방으로 이격된 위치에 배치될 수 있으며, 상기 브레이크 구동 유닛(156)은 상기 회전축(154)보다 낮게 위치되는 상기 브레이크 디스크(152)의 하부가 상기 메인 프레임(102)의 측면을 향해 이동되도록 상기 브레이크 디스크(152)를 회전시킬 수 있다. 결과적으로, 상기 회전축(154)보다 낮게 위치되는 상기 브레이크 디스크(152)의 외주면 일부가 상기 메인 프레임(102)의 측면에 밀착될 수 있으며, 이후 상기 브레이크 디스크(152)의 하부 회전 반경이 상부 회전 반경보다 크기 때문에 상기 브레이크 디스크(152)의 회전이 정지될 수 있고, 이에 따라 상기 메인 프레임(102)의 측면과 상기 브레이크 디스크(152) 사이에서 충분한 제동력이 발생될 수 있다.In particular, as shown in the drawing, the
한편, 상기 구동 모듈(140)은 한 쌍의 구동 벨트들(142)을 이용하여 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 구동 벨트들(142)은 연결 유닛들(170)에 의해 상기 캐리지 모듈(110)에 연결될 수 있다. 상기와 같이 두 개의 구동 벨트들(142)을 이용하는 경우 하나의 구동 벨트가 파단되는 경우라도 나머지 하나에 의해 상기 캐리지 모듈(110)의 추락이 일차적으로 방지될 수 있다.The
상기 연결 유닛들(170) 각각은, 상기 캐리지 모듈(110)에 장착된 연결 브래킷(172)과, 상기 연결 브래킷(172)을 관통하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성되며 상기 구동 벨트(142)와 연결되는 상단부를 갖는 연결 로드(174)와, 상기 연결 브래킷(172)의 하부에서 상기 연결 로드(174)에 결합되며 상기 연결 로드(174)가 상기 연결 브래킷(172)으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지 부재(176)를 포함할 수 있다.Each of the
상기 연결 브래킷(172)은 대략 사각 블록 형태를 가질 수 있으며 볼트 등과 같은 체결 부재들에 의해 상기 승강 플레이트(114)에 장착될 수 있다. 상기 연결 로드(174)로는 일 예로서 스터드 볼트가 사용될 수 있으며, 상기 연결 로드(174)의 상단부에는 상기 구동 벨트(142)의 하단부를 파지하는 클램핑 부재(178)가 너트들에 의해 결합될 수 있다. 상기 클램핑 부재(178)에는 도시된 바와 같이 수직 방향으로 연장하는 가이드 슬롯들(180)이 구비될 수 있으며, 상기 캐리지 모듈(110)의 승강 플레이트(114)에는 상기 가이드 슬롯들(180)에 삽입되는 가이드 핀들(182)이 구비될 수 있다.The
상기 이탈 방지 부재(176)는 상기 연결 로드(174)가 상기 연결 브래킷(172)으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지할 뿐만 아니라 상기 캐리지 모듈(110)의 하중을 지지하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이탈 방지 부재(176)는 상부가 개방된 캡 형태를 가질 수 있으며, 너트들에 의해 상기 연결 로드(174)에 결합될 수 있다.The
상기와 같이 연결 로드(174)가 수직 방향으로 이동 가능하게 구성하는 것은 상기 구동 벨트(142)가 파단되는 경우 상기 연결 로드(174)가 자중에 의해 하방으로 이동되도록 하고, 상기 연결 로드(174)의 하방 이동 감지를 통해 상기 구동 벨트(142)가 파단됨을 확인하기 위함이다. 특히, 상기 연결 로드(174)의 하방 이동을 감지하고 이를 신호로 하여 상기 브레이크 구동 유닛(156)을 동작시키기 위함이다.The
특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 연결 유닛(170)은, 상기 연결 브래킷(172)과 상기 이탈 방지 부재(176) 사이에 배치되며 상기 구동 벨트(142)가 파단되는 경우 상기 연결 로드(174)를 하방으로 이동시키기 위해 탄성 복원력을 제공하는 탄성 부재(184)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 연결 브래킷(172)과 상기 이탈 방지 부재(176) 사이에는 코일 스프링이 배치될 수 있으며, 상기 구동 벨트(142)가 파단되는 경우 상기 코일 스프링의 탄성 복원력에 의해 상기 연결 로드(174)와 상기 클램핑 부재(178)가 하방으로 이동될 수 있다. 상기 탄성 부재(184)는 상기 구동 벨트(142)의 파단이 발생되는 경우 상기 연결 로드(174)의 하방 이동이 보다 신속하게 이루어지도록 할 수 있으며 이를 통해 상기 브레이크 구동 유닛(156)의 응답성을 충분히 향상시킬 수 있다.Particularly, according to an embodiment of the present invention, the
상기 브레이크 구동 유닛(156)은, 상기 브레이크 디스크(152)의 외주면 일부가 상기 메인 프레임(102)의 측면에 밀착되는 방향으로 회전력을 제공하는 구동 부재(158)와, 상기 구동 벨트(142)가 정상 상태 즉 파단되지 않은 상태인 경우 상기 브레이크 디스크(152)의 회전을 차단하고 상기 구동 벨트(142)가 파단되는 비정상 상태인 경우 상기 브레이크 디스크(152)가 회전되도록 상기 차단 상태를 해제하는 스토퍼(160)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 스토퍼(160)는 상기 연결 로드(174)의 하방 이동에 연동하여 상기 차단 상태를 해제할 수 있다.The
예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 구동 부재(158)로는 코일 스프링이 사용될 수 있으며, 상기 스토퍼(160)는 상기 연결 로드(174)의 하단부에 결합되는 스토퍼 바(162; bar)와 상기 스토퍼 바(162)의 단부에 구비되며 상기 브레이크 디스크(152)의 회전을 차단하기 위한 스토퍼 부재(164)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 브레이크 디스크(152)에는 상기 정상 상태에서 상기 스토퍼 부재(164)와 간섭되는 걸림 부재(166)가 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 스토퍼 부재(164)는 수직 방향으로 배치되는 핀 형태를 가질 수 있으며, 상기 걸림 부재(166)는 수평 방향으로 배치되는 핀 형태를 가질 수 있다. 즉, 상기 구동 벨트(142)의 정상 상태에서는 상기 스토퍼 부재(164)에 상기 걸림 부재(166)가 걸려있는 상기 브레이크 모듈(150)의 잠금 상태가 유지될 수 있으며, 상기 구동 벨트(142)의 파단에 의해 상기 연결 로드(174)가 하방으로 이동되는 경우 상기 스토퍼 바(162)와 상기 스토퍼 부재(164)가 함께 하강될 수 있으므로 이에 따라 상기 브레이크 모듈(150)의 잠금 상태가 해제될 수 있다. 결과적으로, 상기 연결 로드(174)의 하방 이동에 의해 상기 브레이크 디스크(152)가 회전되고 상기 메인 프레임(102)의 측면에 밀착될 수 있으며 이에 의해 상기 캐리지 모듈(110)의 추락이 방지될 수 있다.For example, as shown in the drawing, a coil spring may be used as the driving
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 타워 리프트(100)는 상기 구동 벨트(142)가 파단되는 것을 감지하기 위한 센서(190)를 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 센서(190)로는 광 센서가 사용될 수 있으며 상기 스토퍼 바(162)의 위치를 감지하고 이를 통해 상기 구동 벨트(142)의 파단 여부를 확인할 수 있다. 추가적으로, 도시되지는 않았으나, 상기 센서(190)에 의해 상기 구동 벨트(142)의 파단이 감지되는 경우 상기 센서(190)의 감지 신호에 따라 상기 구동 벨트(142)의 파단 상태를 작업자에게 알리는 경보 유닛(미도시)이 구비될 수 있다.Also, according to one embodiment of the present invention, the
상술한 바에 따르면, 상기 구동 벨트(142)의 파단 발생시 상기 탄성 부재(184)에 의해 상기 연결 로드(174)가 하강되고, 이에 연동하여 상기 스토퍼(160)가 상기 브레이크 모듈(150)의 잠금 상태를 해제하며, 이에 의해 상기 브레이크 모듈(150)이 동작되는 일련의 기계적인 브레이크 동작 단계들이 설명되었으나, 상기 브레이크 모듈(150)의 동작은 별도의 구동 유닛(미도시)을 통해 이루어질 수도 있다. 예를 들면, 상기 별도의 구동 유닛은 모터를 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 별도의 구동 유닛의 동작은 상기 센서(190)와 연결된 제어부(미도시)에 의해 이루어질 수 있다. 구체적으로, 상기 센서(190)의 감지 신호는 상기 제어부로 전송될 수 있으며, 상기 제어부는 상기 구동 벨트(142)의 파단 감지 신호가 수신되는 경우 상기 브레이크 디스크(152)가 상기 메인 프레임(102)의 측면에 밀착되도록 상기 별도의 구동 유닛을 동작시킬 수 있다.The
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동 벨트(142)가 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈(110)의 추락을 방지하기 위하여 상기 브레이크 모듈(150)이 신속하게 동작될 수 있으며, 특히, 상기 두 개의 구동 벨트들(142)이 모두 파단되는 경우에도 상기 메인 프레임(102)의 양측에 각각 배치되는 브레이크 모듈들(150)에 의해 상기 캐리지 모듈(110)의 추락이 충분히 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, when the
도 7은 도 4에 도시된 상부 및 하부 가이드 유닛들을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.Fig. 7 is a schematic side view for explaining the upper and lower guide units shown in Fig. 4. Fig.
도 4 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 메인 프레임(102)의 양쪽 측면들 상에는 한 쌍의 가이드 레일들(104)이 각각 배치될 수 있으며, 상기 승강 프레임(112)의 후면 상에는 상기 가이드 레일들(104) 상에 각각 배치되는 한 쌍의 상부 가이드 유닛들(120)과 한 쌍의 하부 가이드 유닛들(130)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상부 가이드 유닛들(120)은 상기 승강 프레임(112)의 후면 상부의 양측에 각각 배치될 수 있으며, 하부 가이드 유닛들(130)은 상기 승강 프레임(112)의 후면 하부의 양측에 각각 배치될 수 있다.4 and 7, according to an embodiment of the present invention, a pair of
상기 상부 가이드 유닛들(120)은 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 배치되는 상부 고정 롤러(122)와 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 상부 텐션 롤러(124)를 각각 포함할 수 있으며, 상기 하부 가이드 유닛들(130)은 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러(132)와 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러(134)를 각각 포함할 수 있다.The
한편, 상기 캐리지 모듈(110)의 무게 중심은 도시된 바와 같이 상기 승강 플레이트(114)의 전방측에 위치될 수 있으므로, 상기 캐리지 모듈(110)에는 도 2의 경우 시계 방향으로 회전 모멘트가 인가될 수 있다. 결과적으로, 상기 회전 모멘트에 의해 상기 상부 고정 롤러들(122)은 상기 가이드 레일들(104)의 후면에 밀착될 수 있으며, 상기 하부 고정 롤러들(132)은 상기 가이드 레일들(104)의 전면에 밀착될 수 있다.2, since the center of gravity of the
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부 텐션 롤러들(124)이 상기 가이드 레일들(104)의 전면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가될 수 있으며, 아울러 상기 하부 텐션 롤러들(134)이 상기 가이드 레일들(104)의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가될 수 있다. 결과적으로, 상기 상부 및 하부 고정 롤러들(122, 132)과 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)이 상기 회전 모멘트와 상기 가압력에 의해 상기 가이드 레일들(104)의 전면 및 후면 상에 밀착된 상태가 안정적으로 유지될 수 있으므로 상기 캐리지 모듈(110)의 수직 방향 이송시 진동과 소음이 크게 감소될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a predetermined pressing force may be applied so that the
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 상부 가이드 유닛들(120)은 상기 상부 고정 롤러(122)와 상부 텐션 롤러(124)가 설치되는 상부 브래킷(126)을 각각 포함할 수 있으며, 상기 하부 가이드 유닛들(130)은 상기 하부 고정 롤러(132)와 하부 텐션 롤러(134)가 설치되는 하부 브래킷(136)을 각각 포함할 수 있다. 한편, 도시된 바에 따르면, 상기 상부 브래킷들(126)에는 각각 상기 브레이크 모듈들(150)이 장착될 수 있다. 그러나, 도시된 바와 다르게, 상기 브레이크 모듈들(150)은 별도의 브래킷들(미도시)을 이용하여 상기 승강 플레이트(114)에 장착될 수도 있다.According to an embodiment of the present invention, the
상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)은, 회전축이 중심축으로부터 소정 거리 이격된 편심축(124A, 134A)과, 상기 편심축(124A, 134A)에 회전 가능하도록 장착된, 예를 들면, 베어링을 이용하여 회전 가능하도록 장착된 롤러(124B, 134B)와, 상기 롤러(124B, 134B)가 상기 가이드 레일(104)에 밀착되도록 소정의 가압력을 인가하기 위하여 상기 편심축(124A, 134A)에 장착된 토션 스프링(124C, 134C)을 각각 포함할 수 있다.The upper and
예를 들면, 도 7에 도시된 바와 같이, 상부 텐션 롤러(124)의 경우 상기 토션 스프링(124C)에 의해 반시계 방향으로 소정의 가압력이 상기 편심축(124A)에 인가될 수 있으며, 이에 의해 상기 롤러(124B)가 상기 가이드 레일(104)의 전면에 밀착될 수 있다. 또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 하부 텐션 롤러(134)의 경우 상기 토션 스프링(134C)에 의해 시계 방향으로 소정의 가압력이 상기 편심축(134A)에 인가될 수 있으며, 이에 의해 상기 롤러(134B)가 상기 가이드 레일(104)의 후면에 밀착될 수 있다.For example, as shown in FIG. 7, in the case of the
상기한 바에 따르면, 상기 상부 및 하부 텐션 롤러들(124, 134)에 가압력을 인가하기 위하여 편심축(124A, 134A)과 토션 스프링(124C, 134C)이 사용되고 있으나, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태로서 기재된 것으로 상기한 바와 같은 구조에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다. 한편, 상기 상부 및 하부 가이드 유닛들(120, 130)은 상기 가이드 레일들(104)의 측면들 상에 배치되는 상부 및 하부 측면 고정 롤러들(128, 138)을 각각 포함할 수 있다. 상기 상부 및 하부 측면 고정 롤러들(128, 138)은 상기 캐리지 모듈(110)이 상기 가이드 레일들(104)로부터 이탈되는 것을 방지하기 위해 사용될 수 있다.Although the
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 캐리지 모듈(110)은 수직 방향으로 연장하는 메인 프레임(102)과 가이드 레일들(104)의 전방에 배치되며 상기 가이드 레일들(104)을 따라 이동될 수 있다. 또한, 구동 모듈(140)은 구동 벨트(142)를 이용하여 상기 캐리지 모듈(110)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 특히, 상기 캐리지 모듈(110)에는 상기 구동 벨트(142)가 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈(110)의 추락을 방지하기 위하여 상기 메인 프레임(102)에 밀착되는 브레이크 모듈(150)이 장착될 수 있다.According to embodiments of the present invention as described above, the
상기 브레이크 모듈(150)은 상기 구동 벨트(142)가 파단되는 경우 상기 메인 프레임(102)에 밀착되는 브레이크 디스크(152)를 이용하여 제동력을 발생시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 캐리지 모듈(110)의 추락에 의한 안전 사고를 방지할 수 있다. 또한 상기 구동 벨트(142)의 파단 및 상기 캐리지 모듈(110)의 추락에 따른 비용 손실을 크게 감소시킬 수 있다.The
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the following claims. It can be understood that.
10 : 자재
100 : 타워 리프트
102 : 메인 프레임
104 : 가이드 레일
110 : 캐리지 모듈
112 : 승강 프레임
114 : 승강 플레이트
116 : 서포트 플레이트
118 : 캐리지 로봇
120 : 상부 가이드 유닛
122 : 상부 고정 롤러
124 : 상부 텐션 롤러
124A : 편심축
124B : 롤러
124C : 토션 스프링
126 : 상부 브래킷
128 : 상부 측면 고정 롤러
130 : 하부 가이드 유닛
132 : 하부 고정 롤러
134 : 하부 텐션 롤러
134A : 편심축
134B : 롤러
134C : 토션 스프링
136 : 하부 브래킷
138 : 하부 측면 고정 롤러
140 : 구동 모듈
142 : 구동 벨트
144 : 웨이트 모듈
146 : 균형 벨트
148 : 오토 텐셔너
150 : 브레이크 모듈
152 : 브레이크 디스크
154 : 회전축
156 : 브레이크 구동 유닛
158 : 구동 부재
160 : 스토퍼
162 : 스토퍼 바
164 : 스토퍼 부재
166 : 걸림 부재
170 : 연결 유닛
172 : 연결 브래킷
174 : 연결 로드
176 : 이탈 방지 부재
178 : 클램핑 부재
180 : 가이드 슬롯
182 : 가이드 핀
184 : 탄성 부재
190 : 센서10: Material 100: Tower lift
102: main frame 104: guide rail
110: carriage module 112: lift frame
114: lift plate 116: support plate
118: carriage robot 120: upper guide unit
122: upper fixing roller 124: upper tension roller
124A:
124C: Torsion spring 126: Upper bracket
128: upper side fixing roller 130: lower guide unit
132: lower fixing roller 134: lower tension roller
134A: eccentric shaft 134B: roller
134C: Torsion spring 136: Lower bracket
138: lower side fixing roller 140: driving module
142: drive belt 144: weight module
146: Balance belt 148: Auto tensioner
150: Brake module 152: Brake disk
154: rotation shaft 156: brake drive unit
158: driving member 160: stopper
162: stopper bar 164: stopper member
166: engaging member 170: connecting unit
172: connecting bracket 174: connecting rod
176: release preventing member 178: clamping member
180: guide slot 182: guide pin
184: elastic member 190: sensor
Claims (17)
상기 메인 프레임을 따라 수직 방향으로 이동 가능하게 구성된 캐리지 모듈;
상기 메인 프레임의 상부에 배치되며 구동 벨트를 통해 상기 캐리지 모듈과 연결되고 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동 모듈; 및
상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 구동 벨트가 파단되는 경우 상기 캐리지 모듈의 추락을 방지하기 위하여 상기 메인 프레임에 밀착되는 브레이크 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.A main frame extending in a vertical direction;
A carriage module configured to be movable in a vertical direction along the main frame;
A drive module disposed on the main frame and connected to the carriage module through a drive belt and moving the carriage module in a vertical direction; And
And a brake module mounted on the carriage module and closely contacting the main frame to prevent the carriage module from falling when the drive belt is broken.
브레이크 디스크;
상기 브레이크 디스크의 중심으로부터 소정 거리 이격된 회전축; 및
상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착되어 제동력이 발생되도록 상기 브레이크 디스크를 회전시키는 브레이크 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.The brake system according to claim 1,
Brake discs;
A rotating shaft spaced from the center of the brake disc by a predetermined distance; And
And a brake driving unit for rotating the brake disc such that a part of the outer circumferential surface of the brake disc closely contacts the main frame to generate a braking force.
상기 연결 유닛은,
상기 캐리지 모듈에 장착된 연결 브래킷;
상기 연결 브래킷을 관통하여 수직 방향으로 이동 가능하도록 구성되며 상기 구동 벨트와 연결되는 상단부를 갖는 연결 로드; 및
상기 연결 브래킷의 하부에서 상기 연결 로드에 결합되며 상기 연결 로드가 상기 연결 브래킷으로부터 상방으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 이탈 방지 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.3. The image forming apparatus according to claim 2, further comprising a connecting unit connecting the drive belt and the carriage module,
The connecting unit includes:
A connection bracket mounted on the carriage module;
A connection rod having an upper end connected to the drive belt and configured to be vertically movable through the connection bracket; And
And a separation preventing member coupled to the connection rod at a lower portion of the connection bracket for preventing the connection rod from being separated upward from the connection bracket.
상기 연결 로드의 상단부에 결합되며 상기 구동 벨트의 하단부를 파지하는 클램핑 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.5. The apparatus according to claim 4,
And a clamping member coupled to an upper end of the connecting rod and gripping a lower end of the driving belt.
상기 연결 브래킷과 상기 이탈 방지 부재 사이에 배치되며 상기 구동 벨트가 파단되는 경우 상기 연결 로드를 하방으로 이동시키기 위해 탄성 복원력을 제공하는 탄성 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.5. The apparatus according to claim 4,
Further comprising an elastic member disposed between the connection bracket and the separation preventing member to provide elastic restoring force for moving the connection rod downward when the drive belt is broken.
상기 브레이크 디스크의 외주면 일부가 상기 메인 프레임에 밀착되는 방향으로 회전력을 제공하는 구동 부재; 및
상기 구동 벨트의 정상 상태에서 상기 브레이크 디스크의 회전을 차단하고 상기 구동 벨트가 파단되는 비정상 상태에서 상기 브레이크 디스크가 회전되도록 상기 차단 상태를 해제하는 스토퍼를 포함하며,
상기 연결 로드는 상기 구동 벨트가 파단되는 경우 하방으로 이동되고,
상기 스토퍼는 상기 연결 로드의 하방 이동에 연동하여 상기 차단 상태를 해제하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.5. The braking device according to claim 4,
A driving member for providing a rotational force in a direction in which a part of an outer circumferential surface of the brake disk closely contacts the main frame; And
And a stopper that disconnects the rotation of the brake disc in a steady state of the drive belt and releases the cutoff state so that the brake disc is rotated in an abnormal state in which the drive belt is broken,
Wherein the connection rod is moved downward when the drive belt is broken,
Wherein the stopper releases the blocking state in conjunction with the downward movement of the connection rod.
상기 연결 로드의 하단부에 결합된 스토퍼 바(bar); 및
상기 스토퍼 바의 단부에 구비되며 상기 브레이크 디스크의 회전을 차단하기 위한 스토퍼 부재를 포함하며,
상기 브레이크 디스크에는 상기 정상 상태에서 상기 스토퍼 부재와 간섭되는 걸림 부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.9. The apparatus according to claim 8,
A stopper bar coupled to a lower end of the connecting rod; And
And a stopper member provided at an end of the stopper bar for blocking rotation of the brake disc,
Wherein the brake disc is provided with an engaging member that interferes with the stopper member in the steady state.
상기 캐리지 모듈에 장착되며 상기 가이드 레일을 따라 상기 캐리지 모듈을 수직 방향으로 안내하는 가이드 유닛들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.The apparatus of claim 1, further comprising: a guide rail extending in a vertical direction along the main frame; And
Further comprising guide units mounted on the carriage module and guiding the carriage module in a vertical direction along the guide rails.
상기 가이드 레일의 전면 상에 배치되는 하부 고정 롤러와 상기 가이드 레일의 후면 상에 밀착되도록 소정의 가압력이 인가되는 하부 텐션 롤러를 포함하는 하부 가이드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.13. The apparatus of claim 12, further comprising: an upper guide roller disposed on a rear surface of the guide rail; and an upper guide roller having a top tension roller to which a predetermined pressing force is applied to be in contact with the front surface of the guide rail. And
And a lower guide unit including a lower fixing roller disposed on a front surface of the guide rail and a lower tension roller to which a predetermined pressing force is applied to closely contact the rear surface of the guide rail.
회전축이 중심축으로부터 소정 거리 이격된 편심축;
상기 편심축에 회전 가능하도록 장착된 롤러; 및
상기 롤러가 상기 가이드 레일에 밀착되도록 소정의 가압력을 인가하기 위하여 상기 편심축에 장착된 토션 스프링을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.14. The apparatus of claim 13, wherein the upper and lower tension rollers comprise:
An eccentric shaft having a rotation axis spaced from the central axis by a predetermined distance;
A roller rotatably mounted on the eccentric shaft; And
And a torsion spring mounted on the eccentric shaft for applying a predetermined urging force so that the roller closely contacts the guide rail.
상기 캐리지 모듈 및 상기 웨이트 모듈과 연결된 균형 벨트; 및
상기 메인 프레임의 하부에 배치되며 상기 균형 벨트에 소정의 인장력을 인가하기 위한 오토 텐셔너를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.The apparatus of claim 1, further comprising: a weight module disposed behind the carriage module and connected to the drive belt;
A balance belt connected to the carriage module and the weight module; And
Further comprising an auto tensioner disposed at a lower portion of the main frame for applying a predetermined tensile force to the balance belt.
상기 구동 벨트와 연결된 승강 프레임; 및
상기 승강 프레임에 장착되며 이송 대상물을 핸들링하기 위한 캐리지 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 타워 리프트.The apparatus of claim 1, wherein the carriage module comprises:
A lift frame connected to the drive belt; And
And a carriage robot mounted on the lifting frame for handling the object to be transported.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160142791A KR101864947B1 (en) | 2016-10-31 | 2016-10-31 | Tower lift including a brake module |
CN201711034121.8A CN108016969B (en) | 2016-10-31 | 2017-10-30 | Tower lift comprising a brake module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160142791A KR101864947B1 (en) | 2016-10-31 | 2016-10-31 | Tower lift including a brake module |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180047089A true KR20180047089A (en) | 2018-05-10 |
KR101864947B1 KR101864947B1 (en) | 2018-06-05 |
Family
ID=62079590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160142791A KR101864947B1 (en) | 2016-10-31 | 2016-10-31 | Tower lift including a brake module |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101864947B1 (en) |
CN (1) | CN108016969B (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200045632A (en) * | 2018-10-23 | 2020-05-06 | 주식회사 에스에프에이 | Stocker apparatus |
US20220134575A1 (en) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | Semes Co., Ltd. | Carriage robot and tower lift including the same |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110858059B (en) * | 2018-08-24 | 2021-06-04 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | Vertical motion mechanism and lithography apparatus |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07330115A (en) * | 1994-06-06 | 1995-12-19 | Shinko Electric Co Ltd | Stacker crane |
JPH10335424A (en) * | 1997-04-03 | 1998-12-18 | Tokyo Electron Ltd | Lift mechanism and carrier moving apparatus |
JP2000044012A (en) * | 1998-07-28 | 2000-02-15 | Toyota Autom Loom Works Ltd | Stacker crain and automatic warehouse |
JP3886636B2 (en) * | 1998-05-01 | 2007-02-28 | 東京エレクトロン株式会社 | Elevating mechanism, carrier transfer device, and vertical heat treatment device |
JP2008300608A (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Yaskawa Electric Corp | Substrate carrier provided with elevating/lowering position confirmation means and semiconductor manufacturing device provided with the same |
KR100877117B1 (en) | 2007-06-27 | 2009-01-07 | 한국전기연구원 | Guidance control system of maglev lift |
KR20100073670A (en) | 2008-12-23 | 2010-07-01 | 황무성 | Wafer transporting system, semiconductor fabrication plant structure using the same and wafer transporting method |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4679846B2 (en) * | 2004-07-07 | 2011-05-11 | 三菱電機株式会社 | Man conveyor moving handrail drive device |
-
2016
- 2016-10-31 KR KR1020160142791A patent/KR101864947B1/en active IP Right Grant
-
2017
- 2017-10-30 CN CN201711034121.8A patent/CN108016969B/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07330115A (en) * | 1994-06-06 | 1995-12-19 | Shinko Electric Co Ltd | Stacker crane |
JPH10335424A (en) * | 1997-04-03 | 1998-12-18 | Tokyo Electron Ltd | Lift mechanism and carrier moving apparatus |
JP3886636B2 (en) * | 1998-05-01 | 2007-02-28 | 東京エレクトロン株式会社 | Elevating mechanism, carrier transfer device, and vertical heat treatment device |
JP2000044012A (en) * | 1998-07-28 | 2000-02-15 | Toyota Autom Loom Works Ltd | Stacker crain and automatic warehouse |
JP2008300608A (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Yaskawa Electric Corp | Substrate carrier provided with elevating/lowering position confirmation means and semiconductor manufacturing device provided with the same |
KR100877117B1 (en) | 2007-06-27 | 2009-01-07 | 한국전기연구원 | Guidance control system of maglev lift |
KR20100073670A (en) | 2008-12-23 | 2010-07-01 | 황무성 | Wafer transporting system, semiconductor fabrication plant structure using the same and wafer transporting method |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200045632A (en) * | 2018-10-23 | 2020-05-06 | 주식회사 에스에프에이 | Stocker apparatus |
US20220134575A1 (en) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | Semes Co., Ltd. | Carriage robot and tower lift including the same |
CN114435873A (en) * | 2020-10-30 | 2022-05-06 | 细美事有限公司 | Carrying robot and tower type elevator comprising same |
KR20220058223A (en) * | 2020-10-30 | 2022-05-09 | 세메스 주식회사 | Carriage robot and tower lift including the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108016969A (en) | 2018-05-11 |
CN108016969B (en) | 2020-04-28 |
KR101864947B1 (en) | 2018-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101885434B1 (en) | Driving module and tower lift including the same | |
KR20180062059A (en) | Auto tensioner and tower lift including the same | |
KR101854044B1 (en) | Tower lift having a tension roller | |
KR101864947B1 (en) | Tower lift including a brake module | |
KR20230166985A (en) | Tower lift | |
US7845284B2 (en) | Overhead traveling vehicle having safety member | |
JP4821389B2 (en) | Drive control device for stacker crane | |
WO2014115472A1 (en) | Transferring device and transferring method | |
US20110031091A1 (en) | Buffered storage and transport device for tool utilization | |
KR101935669B1 (en) | Tower lift | |
CN110451165B (en) | Tower type elevator | |
KR101433911B1 (en) | Gripper unit of overhead hoist transport | |
KR102557804B1 (en) | Tower lift including weight module | |
KR20210041343A (en) | Tower lift | |
JP3885232B2 (en) | Transport cart | |
KR102185264B1 (en) | Transfer apparatus | |
US6190111B1 (en) | Tray inverting apparatus and methods | |
JP2012220617A (en) | Proximity exposure device, and mask conveyance method of proximity exposure device | |
KR20190072407A (en) | Transfer facility, transfer method | |
WO2024018773A1 (en) | Stacker crane | |
TWI644387B (en) | Substrate transfer system and method | |
JP2023081263A (en) | tower lift | |
KR100564693B1 (en) | Wafer flat zone aligner and apparatus for processing a wafer having the same | |
KR970008331B1 (en) | Transferring apparatus | |
KR20070003396A (en) | Wafer transfer apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |