KR20180037356A - 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더에 관한 것이다. 본 발명에 따른 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더는, 환형의 바닥부와, 상기 바닥부 내측 및 외측에서 높이 방향으로 연장되는 내측벽부 및 외측벽부와, 상기 내측벽부 및 외측벽부의 상단에서 측방향으로 연장되는 내고정부 및 외고정부를 포함하되, 상기 내측벽부 및 외측벽부 중 적어도 하나의 측벽부 하단 내부영역이 변형억제구조로 성형된 것을 특징으로 한다.

Description

화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더 {BLADDER FOR CARRIER HEAD IN CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SYSTEM}
본 발명은 화학기계적연마장치에 이용되는 부재에 관한 것으로, 보다 상세하게는 연마 공정 시 기판에 연마 압력을 인가하는 캐리어헤드에 이용되는 블래더에 관한 것이다.
반도체나 유리 기판의 제조 및 집적회로의 제조 공정 시 소정의 단계에 기판 표면을 연마(polishing) 하거나 기판 표면을 평탄화(planarization) 할 필요성이 증대되고 있다. 이와 같은 필요성에 의해 화학기계적연마(Chemical Mechanical Polishing; CMP) 공정이 널리 사용되고 있다.
기판의 화학기계적연마는 일반적으로 플래튼(platen) 위에 연마 패드(pad)를 부착하고 캐리어헤드(carrier head)라고 불리는 기판 수용 기구에 기판을 장착한 후 슬러리를 연마 패드에 도포하면서 플래튼과 캐리어헤드를 동시에 회전시켜 연마 패드와 기판 간의 마찰을 일으킴으로써 이루어진다.
도 1은 기존의 캐리어헤드(한국특허 10-1597870호)를 나타내는 단면도이다. 캐리어헤드(900)는 회전축(110)으로부터 동력을 전달받는 베이스(base)(100)를 기초로 구성되어 있다. 먼저, 베이스(100) 하부에 리테이닝 링(retaining ring)(120)이 장착되는데, 리테이닝 링(120)은 연마 공정 중 기판(도시하지 않음)의 이탈을 방지하는 역할을 한다. 역시, 상기 베이스(100) 하부에 연결되고 리테이닝 링(120) 안쪽에 기판수용부재(600)가 장착된다. 기판수용부재(600)는 밑판부위(610), 외주부위(620) 및 체결부위(630)를 포함한다. 밑판부위(610)는 기판수용부재 외부면(612)과 기판수용부재 내부면(614)으로 정의되는 두 면을 구비하고 있다. 외부면(612)은 기판을 받아들이고 이송하는데 필요한 기판 수용면이 되며, 내부면(614)은 상기 외부면(612)의 반대쪽 표면으로서 유체에 의해서 압력이 인가되거나 블래더(20, 30)가 팽창하여 접촉함으로써 압력이 인가되는 면이다. 도 1에 도시된 바와 같이 중앙 영역의 연마속도를 조절하기 위해 중앙 블래더(bladder)(20)가 기판수용부재(600) 중앙 영역에 위에 장착되고 외곽 영역의 연마속도를 조절하기 위해 외곽 블래더(30)가 기판수용부재(600) 외곽 영역에 위에 장착된다. 또한, 중앙 블래더(20)와 외곽 블래더(30)의 측방향 팽창을 제한하기 위해 장벽구조(720, 730, 732)가 베이스(100) 하부에 장착된다. 그러면, 연마 공정 시, 기판수용부재 유체통로(690)와 블래더 유체통로(290, 390)를 통해 유체를 주입하여 기판수용부재 챔버(680)와 블래더 챔버(280, 380)의 압력을 조절함으로써 기판(도시하지 않음) 각 영역에 가해지는 압력을 제어하게 된다.
도 2는 기존의 블래더(30)를 나타내는 사시 단면도이다. 상기 블래더(30)는 기판의 외곽영역을 가압하는 외곽 블래더로 기판수용부재 밑판(610)과 접촉하는 환형의 바닥부(31)와, 바닥부(31) 내측 및 외측에서 높이 방향으로 연장되는 내측벽부(32) 및 외측벽부(33)와, 내측벽부(32) 및 외측벽부(33)의 상단에서 측방향으로 연장되는 내고정부(34) 및 외고정부(35)를 포함한다. 내외고정부(34, 35) 끝단에 실링(sealing)을 견고하게 하기 위해 오링구조(36, 37)를 성형할 수 있다. 도시하지는 않았지만, 도 1에서 기판의 중앙영역을 가압하는 중앙 블래더(20)는 원형의 바닥부와 하나의 측벽부와 고정부를 갖는다. 블래더는 가요성 물질로 이루어지는게 바람직한데 실리콘고무, EPDM 고무 또는 클로로프렌 고무 등을 몰딩(molding)함으로써 성형될 수 있다. 블래더의 두께는 0.5mm 내지 1.5mm의 값을 가질 수 있다.
도 3은 블래더의 팽창을 나타내는 단면도이다. 연마 시 수반되는 리테이닝 링(120)의 마모를 고려하면 장벽구조(720, 730, 732)와 기판수용부재 밑판부위(610) 사이에는 어느 정도의 틈(h로 도시)이 필요하다. 새 리테이닝 링의 경우 h는 2mm 내지 5mm의 값을 가질 수 있다. 블래더 챔버(280, 380)의 압력이 기판수용부재 챔버(680)의 압력보다 큰 경우 틈 사이로 블래더(20, 30)가 팽창할 수 있다. 특히 블래더(20, 30)의 두께가 얇고 틈 h가 클수록 틈 사이의 팽창 정도는 심해진다. 이와 같이 블래더(20, 30)가 틈 사이로 팽창하게 되면 원하지 않는 영역에 압력을 인가하게 되고 과도한 팽창으로 인해 블래더의 수명이 단축되는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판수용부재와 장벽구조의 틈 사이로 일어나는 팽창이 억제되는 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시례에 따른 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더는, 환형의 바닥부와, 상기 바닥부 내측 및 외측에서 높이 방향으로 연장되는 내측벽부 및 외측벽부와, 상기 내측벽부 및 외측벽부의 상단에서 측방향으로 연장되는 내고정부 및 외고정부를 포함하되, 상기 내측벽부 및 외측벽부 중 적어도 하나의 측벽부 하단 내부영역이 변형억제구조로 성형된 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시례에 따른 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더는, 원형의 바닥부와, 상기 바닥부 가장자리에서 높이 방향으로 연장되는 측벽부와, 상기 측벽부 상단에서 측방향으로 연장되는 고정부를 포함하되, 상기 측벽부 하단 내부영역이 변형억제구조로 성형된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더는 측벽부 하단의 변형억제구조로 인해 연마 공정 시 원치 않는 팽창이 억제되어 정교한 가압을 가능하게 한다.
도 1은 기존의 캐리어헤드를 나타내는 단면도,
도 2는 기존의 블래더를 나타내는 사시 단면도,
도 3은 기존의 블래더 팽창을 나타내는 단면도,
도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더의 사시단면도,
도 5는 본 발명의 다른 실시례에 따른 블래더가 장착된 캐리어헤드의 단면도,
도 6 및 도 7은 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더의 부분 단면도들,
도 8 및 도 9는 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더의 부분 단면도들,
도 10은 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더의 부분 단면도,
도 11은 블래더가 가압하는 위치를 설명하기 위한 캐리어헤드의 단면도,
도 12는 한쪽 측벽부에만 변형억제구조가 성형된 블래더의 사시단면도,
도 13은 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더의 사시단면도,
도 14는 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더가 장착된 캐리어헤드의 단면도,
도 15 및 도 16은 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더의 단면도들,
도 17 및 도 18은 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더의 단면도들,
도 19는 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더의 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시례를 설명함으로써 본 발명을 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명은 아래에 개시되는 실시례에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서 구성 요소들은 설명의 편의를 위하여 그 크기가 과장될 수 있다.
명세서 전체에 걸쳐 기판수용부재 등과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "하부에" 연결된다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "하부"를 접촉하여 연결되거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재하여 하나의 구성요소는 또 다른 구성요소에 연결될 수 있다고 해석될 수 있다. 반면에, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "직접적으로 하부에" 연결된다고 언급할 때는, 그 사이에 개재되는 다른 구성요소들이 존재하지 않는다고 해석된다. 동일한 부호는 동일한 요소를 의미한다. 또한, "상부에" 또는 "위에" 및 "하부에" 또는 "아래에"와 같은 상대적인 용어들은 도면들에서 도해되는 것처럼 다른 요소들에 대한 어떤 요소들의 관계를 기술하기 위해 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면들에서 묘사되는 방향에 추가하여 요소의 다른 방향들을 포함하는 것을 의도한다고 이해될 수 있다. 예를 들어, 도면들에서 구성요소가 뒤집어 진다면(turned over), 다른 요소들의 상부의 면상에 존재하는 것으로 묘사되는 요소들은 상기 다른 요소들의 하부의 면상에 방향을 가지게 된다. 그러므로 예로써 든 "상부에"라는 용어는, 도면의 특정한 방향에 의존하여 "상부에" 및 "하부에" 방향 모두를 포함할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더(300)의 사시단면도이다. 블래더(300)는 고무와 같은 가요성 재료로 이루어지는 것이 바람직하며 실리콘고무, EPDM 고무 또는 클로로프렌 고무를 몰딩(molding)함으로써 성형될 수 있다. 상기 블래더(300)는 기판수용부재(도시하지 않음)의 외곽영역을 접촉하기 위한 블래더로서 기판수용부재를 접촉하게 되는 환형의 바닥부(320)를 포함한다. 환형의 바닥부(320) 내측에서 높이 방향으로 내측벽부(330)가 연장되며 바닥부(320) 외측에서 높이 방향으로 외측벽부(332)가 연장된다. 내측은 환형의 중심 방향 끝단이며 외측은 내측의 반대 방향 끝단으로 정의된다. 내측벽부(330) 상단에서 환형의 중심을 향한 측방향으로 내고정부(340)가 연장되며 외측벽부(332) 상단에서 환형의 중심에서 멀어지는 측방향으로 외고정부(342)가 연장된다. 즉, 내고정부(340)와 외고정부(342)는 상호 벌어지는 방향으로 연장된다. 바닥부(320), 내외측벽부(330, 332) 및 내외고정부(340, 342)의 두께는 0.5mm 내지 1.5mm의 값을 가질 수 있다. 내외고정부(340, 342) 각각의 끝단에는 오링구조(344, 346)가 성형되어 실링(sealing)을 견고하게 할 수 있다. 유체의 압력을 받아 블래더(300)가 팽창할 때, 내외측벽부(330, 332)의 소정 영역이 다른 영역보다 두꺼우면 상기 소정 영역의 변형은 다른 영역보다 줄어들게 된다.
그러므로 도 4에 도시된 바와 같이 내외측벽부(330, 332)의 하단 내부영역에 계단 모양으로 두께를 증가시켜 변형억제구조(350, 352)를 성형하면 블래더(300)가 캐리어헤드에 장착되어 작동할 때 기판수용부재(도시하지 않음)와 장벽구조(도시하지 않음)의 틈 사이로 팽창하는 것이 억제된다. 변형억제구조(350, 352)는 블래더(300)의 일부분으로 블래더(300) 성형 시 같이 성형되는 것이 바람직하다.
도 5는 본 발명의 다른 실시례에 따른 블래더(302)가 장착된 캐리어헤드(900)의 단면도이다. 도시된 바와 같이 블래더(300)는 바닥부(321), 내외측벽부(331, 333), 내외고정부(341, 343) 및 변형억제구조(351, 353)를 포함한다. 상술한 도 4의 블래더(300)와 달리 도 5의 블래더(302)에서는 내외고정부(341, 343)가 내외측벽부(331, 333)의 상단에서 상호 모아지는 쪽 측방향으로 연장된다. 캐리어헤드(900)에 장착하기 위해서 하부클램프(750)와 상부클램프(752)를 이용하여 블래더(302)를 고정한 다음 이를 장벽구조(740)에 연결한 후 장벽구조(740)를 베이스(100)에 고정한다. 내외고정부(341, 343)가 상호 모아지는 쪽 측방향으로 연장된 블래더(302)는 측방향 공간을 적게 차지하는 장점이 있다. 이후 설명되는 본 발명의 실시례에 따르는 블래더에서는, 내외고정부의 연장 방향이 벌어지는 쪽과 모아지는 쪽 모두 가능하지만 도면의 단순화를 위해 내외고정부가 벌어지는 쪽의 경우만을 예로 들어 설명하기로 한다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더(304, 306)의 부분 단면도들이다. 도면들을 참조하면, 내측벽부(330)와 외측벽부(332)의 하단 내부영역 두께가 바닥부(320)로 갈수록 점진적으로 두꺼워짐으로써 변형억제구조(354, 356, 358, 360)를 형성한다. 이때 도 6에 도시된 바와 같이 두께가 선형적으로 증가할 수도 있고 또한 도 7에 도시된 바와 같이 곡면을 띄면서 비선형적으로 증가할 수도 있다. 또한 도시하지는 않았지만 한 쪽 측벽부는 선형적으로 다른 쪽 측벽부는 비선형적으로 두께가 증가할 수 있다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더(308, 310)의 부분 단면도들이다. 도면들을 참조하면, 내측벽부(330)와 외측벽부(332)의 하단 내부영역 두께가 바닥부(320)로 갈수록 두꺼워지다가 다시 감소함으로써 돌출된 형태의 변형억제 구조(362, 364, 366, 368)를 형성한다. 이때 도 8에 도시된 바와 같이 두께가 선형적으로 변할 수도 있고 또한 도 9에 도시된 바와 같이 곡면을 띄면서 비선형적으로 변할 수도 있다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더(312)의 부분 단면도이다. 도면을 참조하면, 내측벽부(330)와 외측벽부(332)의 하단 내부영역이 바닥부(370) 전체를 두껍게 만들도록 성형된다. 이때 내외측벽부(330, 332)가 두꺼워진 것이 아니고 바닥부(370) 전체가 두꺼워진 것으로도 볼 수 있다. 두꺼워진 바닥부(370)의 두께는 2mm 내지 6mm의 값을 가질 수 있다.
도 11은 기존 블래더(30)가 가압하는 위치를 설명하기 위한 캐리어헤드(900)의 단면도이다. 도면을 참조하면, 환형의 블래더(30)는 기판수용부재(600)의 최 외곽 영역 위에 위치한다. 블래더(30)가 팽창하면 장벽구조(730, 732)와 기판수용부재 밑판부위(610) 사이의 틈으로 삐져나올 수 있는데 블래더의 외측은 기판수용부재의 외주부위(620)와 인접해 있기 때문에 틈 사이로 삐져나온 블래더의 팽창이 기판수용부재 외주부(620)에 의해 멈추게 된다. 이와 같이 캐리어헤드 구조상 틈 사이로 삐져나온 블래더의 팽창이 제한되는 경우 제한되는 방향의 측벽부에는 변형억제구조가 성형되지 않아도 된다.
도 12는 한쪽 측벽부에만 변형억제구조가 성형된 블래더(314)의 사시단면도이다. 상술한 도 11의 캐리어헤드에 도 12의 블래더(314)가 장착되어 유체의 압력을 받아 팽창하면, 바닥부(320)가 기판수용부재의 밑판부위(610)와 접촉하게 되고 내외측벽부(330, 332)는 장벽구조(730, 732)와 접촉하게 된다. 장벽구조(730)와 밑판부위(610) 사이의 틈에는 내측벽부(330) 하단에 성형된 변형억제구조(372)가 인접하게 되어 틈 사이로의 팽창이 억제된다. 반면에 외측벽부(332) 하단 영역은 변형억제구조가 성형되지 않아 장벽구조(732)와 밑판부위(610) 사이의 틈으로 삐져나가지만 인접한 기판수용부재 외주부위(620)에 의해 팽창이 멈추게 된다.
그러므로 본 발명의 실시예에 따른 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더는, 환형의 바닥부와, 상기 바닥부 내측 및 외측에서 높이 방향으로 연장되는 내측벽부 및 외측벽부와, 상기 내측벽부 및 외측벽부의 상단에서 측방향으로 연장되는 내고정부 및 외고정부를 포함하되, 상기 내측벽부 및 외측벽부 중 적어도 하나의 측벽부 하단 내부영역이 변형억제구조로 성형된 것을 특징으로 한다.
도 13은 본 발명의 다른 실시례에 따른 블래더의 사시단면도로 기판수용부재의 중앙영역을 가압하는 블래더를 나타낸다. 블래더(200)는 기판수용부재를 접촉하게 되는 원형의 바닥부(220)를 포함한다. 바닥부(220) 가장자리에서 높이 방향으로 측벽부(230)가 연장되며 측벽부(230) 상단에서 바깥쪽 측방향으로 고정부(240)가 연장된다. 고정부(240)의 끝단에는 오링구조(242)가 성형되어 실링을 견고하게 할 수 있다. 측벽부(230)의 하단 내부영역에 계단 모양으로 두께가 증가된 변형억제구조(250)가 성형되어 이 영역의 변형이 억제된다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더(202)가 장착된 캐리어헤드(900)의 단면도이다. 도시된 바와 같이 블래더(200)는 바닥부(221), 측벽부(231), 고정부(241) 및 변형억제구조(251)를 포함한다. 상술한 도 13의 블래더(200)와 달리 도 14의 블래더(202)에서는 고정부(241)가 안쪽 측방향으로 연장된다. 캐리어헤드(900)에 장착하기 위해서 하부클램프(772)와 상부클램프(770)를 이용하여 블래더(202)를 고정한 다음 이를 장벽구조(760)에 연결한 후 장벽구조(760)를 베이스(100)에 고정한다. 고정부(241)가 안쪽 측방향으로 연장된 블래더(202)는 측방향 공간을 적게 차지하는 장점이 있다. 이후 설명에서는 도면의 단순화를 위해 고정부가 바깥쪽 측방향으로 연장되는 경우만을 예로 들어 설명하기로 한다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더(204, 206)의 단면도들이다. 도면들을 참조하면, 측벽부(230)의 하단 내부영역 두께가 바닥부(220)로 갈수록 점진적으로 두꺼워짐으로써 변형억제구조(252, 254)를 형성한다. 이때 도 15에 도시된 바와 같이 두께가 선형적으로 증가할 수도 있고 또한 도 16에 도시된 바와 같이 곡면을 띄면서 비선형적으로 증가할 수도 있다.
도 17 및 도 18은 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더(208, 210)의 단면도들이다. 도면들을 참조하면, 측벽부(230)의 하단 내부영역 두께가 바닥부(220)로 갈수록 두꺼워지다가 다시 감소함으로써 돌출된 형태의 변형억제구조(256, 258)를 형성한다. 이때 도 17에 도시된 바와 같이 두께가 선형적으로 변할 수도 있고 또한 도 18에 도시된 바와 같이 곡면을 띄면서 비선형적으로 변할 수도 있다.
도 19는 본 발명의 또 다른 실시례에 따른 블래더(212)의 단면도이다. 도면을 참조하면, 측벽부(230)의 하단 내부영역이 바닥부(270) 전체를 두껍게 만들도록 성형된다. 이때 측벽부(230)가 두꺼워진 것이 아니고 바닥부(270) 전체가 두꺼워진 것으로도 볼 수 있다. 두꺼워진 바닥부(270)의 두께는 2mm 내지 6mm의 값을 가질 수 있다
그러므로 본 발명의 다른 실시예에 따른 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더는, 원형의 바닥부와, 상기 바닥부 가장자리에서 높이 방향으로 연장되는 측벽부와, 상기 측벽부의 상단에서 측방향으로 연장되는 고정부를 포함하되, 상기 측벽부 하단 내부영역이 변형억제구조로 성형된 것을 특징으로 한다.
<도면의 주요 부호에 대한 간략한 설명>
900: 캐리어헤드
100: 베이스
600: 기판수용부재
200, 202, 204, 206, 208, 210, 212, 300, 302, 304, 306, 308, 310, 312: 블래더
220, 320: 바닥부
230: 측벽부
330: 내측벽부
332: 외측벽부
240: 고정부
340: 내고정부
342: 외고정부
250, 252, 254, 256, 258, 270: 변형억제구조
350, 352, 354, 356, 358, 360, 362, 364, 366, 368, 370: 변형억제구조

Claims (11)

  1. 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더로서,
    환형의 바닥부;
    상기 바닥부 내측 및 외측에서 높이 방향으로 연장되는 내측벽부 및 외측벽부;
    상기 내측벽부 및 외측벽부의 상단에서 측방향으로 연장되는 내고정부 및 외고정부를 포함하되,
    상기 내측벽부 및 외측벽부 중 적어도 하나의 측벽부 하단 내부영역이 변형억제구조로 성형된 것을 특징으로 하는 블래더.
  2. 제 1항에서,
    상기 측방향은 상기 내고정부와 외고정부가 벌어지는 방향인 것을 특징으로 하는 블래더.
  3. 제 1항에서,
    상기 측방향은 상기 내고정부와 외고정부가 모아지는 방향인 것을 특징으로 하는 블래더.
  4. 제 1항에서,
    상기 변형억제구조는 상기 적어도 하나의 측벽부 하단 내부영역의 두께가 증가하는 형태인 것을 특징으로 하는 블래더.
  5. 제 4항에서,
    상기 두께가 증가하는 형태는 상기 바닥부와 계단 형태를 이루는 것을 특징으로 하는 블래더.
  6. 제 4항에서,
    상기 두께가 증가하는 형태는 상기 하단 내부영역의 두께가 상기 바닥부로 갈수록 점진적으로 증가하는 형태인 것을 특징으로 하는 블래더.
  7. 제 4항에서,
    상기 두께가 증가하는 형태는 돌출구조인 것을 특징으로 하는 블래더.
  8. 제 4항에서,
    상기 두께가 증가하는 형태는 상기 바닥부 전체의 두께가 증가하는 형태인 것을 특징으로 하는 블래더.
  9. 제 8항에서,
    상기 바닥부 전체의 두께는 2mm 내지 6mm인 것을 특징으로 하는 블래더.
  10. 화학기계적연마장치 캐리어헤드용 블래더로서,
    원형의 바닥부;
    상기 바닥부 가장자리에서 높이 방향으로 연장되는 측벽부;
    상기 측벽부 상단에서 측방향으로 연장되는 고정부를 포함하되,
    상기 측벽부 하단 내부영역이 변형억제구조로 성형된 것을 특징으로 하는 블래더.
  11. 제 10항에서,
    상기 변형억제구조는 상기 하단 내부영역의 두께가 증가하는 형태인 것을 특징으로 하는 블래더.


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