KR20180029426A - 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20180029426A
KR20180029426A KR1020160117316A KR20160117316A KR20180029426A KR 20180029426 A KR20180029426 A KR 20180029426A KR 1020160117316 A KR1020160117316 A KR 1020160117316A KR 20160117316 A KR20160117316 A KR 20160117316A KR 20180029426 A KR20180029426 A KR 20180029426A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lift pins
pin
power
lift
substrate
Prior art date
Application number
KR1020160117316A
Other languages
English (en)
Inventor
박장완
Original Assignee
주식회사 센스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 센스 filed Critical 주식회사 센스
Priority to KR1020160117316A priority Critical patent/KR20180029426A/ko
Publication of KR20180029426A publication Critical patent/KR20180029426A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/6776—Continuous loading and unloading into and out of a processing chamber, e.g. transporting belts within processing chambers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat

Abstract

본 발명은 핀 플레이트가 없는 구조이면서도 다수개의 리프트 핀을 동시 제어함으로써 제어가 단순하고, 조립과 유지보수가 용이함은 물론 리프트 핀이 설치되는 챔버 하측의 좁은 공간을 효과적으로 사용하여 다른 구성요소들의 설치 공간을 확보할 수 있는 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 리프트 핀 구동장치는, 기판이 탑재되는 기판척을 관통하여 설치되며, 기판의 다수 지점을 지지하는 다수개의 리프트 핀; 상기 각 리프트 핀 하부에 각각 독립되어 설치되며, 외부 동력을 전달받아 상기 리프트 핀을 상하 방향으로 승강시키는 다수개의 핀 승강수단; 상기 다수개의 리프트 핀 및 핀 승강수단을 상기 기판척 상에서 분포 위치에 따라 다수 영역으로 가상 분할하여 동일 영역에 위치하는 일 군의 핀 승강수단 끼리 연결하여 설치되며, 연결된 다수개의 핀 승강수단에 상기 리프트 핀 승강을 위한 동력을 전달하는 적어도 하나 이상의 동력 전달부; 상기 동력 전달부의 일측 말단에 설치되며, 상기 동력 전달부에 동력을 제공하는 동력 제공부;를 포함한다.

Description

리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치{A APPARATUS FOR MOVING THE LIFT PIN AND THE APPARATUS FOR MANUFACTURING A FPD}
본 발명은 리프트 핀 구동장치에 관한 것으로서 보다 상세하게는 핀 플레이트가 없는 구조이면서도 다수개의 리프트 핀을 동시 제어함으로써 제어가 단순하고, 조립과 유지보수가 용이함은 물론 리프트 핀이 설치되는 챔버 하측의 좁은 공간을 효과적으로 사용하여 다른 구성요소들의 설치 공간을 확보할 수 있는 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조장비나 평판표시소자 제조장치 등에는 반도체 웨이퍼, 유리 기판 등을 탑재대(또는 스테이지)에 로딩/언로딩하기 위해 리프트 핀들이 사용되고 있다. 이러한 리프트 핀들이 사용되는 구성은 반도체 제조장비나 평판표시소자 제조장치 등에 유사하게 적용될 수 있으므로, 이하 설명할 리프트 핀 및 이를 구동하는 장치는 평판표시소자 제조장치에 구성되는 구조를 중심으로 설명한다.
최근 널리 보급되고 있는 평판표시소자(Flat Panel Display)는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다. 이러한 평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치는 기판의 표면 처리 등을 위해 진공 처리용 장치를 이용하게 되는데, 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버 등이 이용되고 있다.
상기 로드락 챔버는 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상기 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 운송 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상기 공정 챔버는 진공 분위기 하에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
도 1은 이러한 평판표시소자 제조장치에 리프트 핀(2)들이 설치된 상태를 도시하는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 리프트 핀(2)은 기판 탑재대가 설치되는 챔버(1)의 하벽을 관통하여 다수개가 설치된다. 이때 상기 챔버(1)의 하측에는 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임(7)에 의하여 만들어지는 좁은 공간에 전장 박스(3), 펌프(4), APC(자동 압력 조절장치, 5), RF 모듈(6) 등 다양한 부품들이 설치되므로 매우 비좁은 상황이다. 따라서 상기 리프트 핀(2) 및 이를 구동하는 구동수단의 부피가 크거나 구조가 복잡한 경우에는 설치 공간이 나오지 않거나 설치 작업이 매우 어려운 문제점이 있다.
이러한 문제는 리프트 핀 사용 중에 고장이 발생하거나 유지 보수 작업이 필요한 경우에도 동일한 어려움을 수반한다.
한편 이러한 리프트 핀(2)은 도 2에 도시된 바와 같이, 평판표시소자 제조장치의 대형화 및 글래스의 박형화에 의하여 처짐 등이 많이 발생함에 따라 하나의 기판 탑재대에 다수개가 설치되고 있으며 설치되는 숫자는 더욱 증가하는 추세에 있다.
따라서 이렇게 다수개의 리프트 핀에 대한 구동을 각각 별도의 동력수단을 사용하는 경우에는 장비의 제조 단가가 상승할 뿐만 아니라, 개별적으로 동작을 제어해야 하므로 제어가 어려워지는 문제점도 있다. 또한 핀 플레이트 등을 이용하여 다수개의 리프트 핀을 동시 구동시키는 경우에는 설치공간이 부족하고 설치와 유지 보수가 어려워지는 문제점이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 핀 플레이트가 없는 구조이면서도 다수개의 리프트 핀을 동시 제어함으로써 제어가 단순하고, 조립과 유지보수가 용이함은 물론 상기 리프트 핀이 설치되는 챔버 하측의 좁은 공간을 효과적으로 사용하여 다른 구성요소들의 설치 공간을 확보할 수 있는 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 구동장치는, 기판이 탑재되는 기판척을 관통하여 설치되며, 기판의 다수 지점을 지지하는 다수개의 리프트 핀; 상기 각 리프트 핀 하부에 각각 독립되어 설치되며, 외부 동력을 전달받아 상기 리프트 핀을 상하 방향으로 승강시키는 다수개의 핀 승강수단; 상기 다수개의 리프트 핀 및 핀 승강수단을 상기 기판척 상에서 분포 위치에 따라 다수 영역으로 가상 분할하여 동일 영역에 위치하는 일 군의 핀 승강수단 끼리 연결하여 설치되며, 연결된 다수개의 핀 승강수단에 상기 리프트 핀 승강을 위한 동력을 전달하는 적어도 하나 이상의 동력 전달부; 상기 동력 전달부의 일측 말단에 설치되며, 상기 동력 전달부에 동력을 제공하는 동력 제공부;를 포함한다.
그리고 본 발명에서 상기 핀 승강수단은, 상기 기판척이 설치되는 챔버 하부에 고정되어 설치되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 핀 승강수단은, 상기 챔버 하부에 고정되어 설치되며, 상기 리프트 핀 하단이 승강 가능하도록 일정한 내부 공간을 가지는 구동 박스; 상기 구동 박스 내에 수직 방향으로 설치되며, 상기 리프트 핀 하단과 결합되어 상기 구동 박스 내에서 상하 방향으로 승강하는 승강 블럭; 상기 구동 박스 내에 고정되어 설치되며, 상기 승강 블럭의 일측부와 맞물려 상하 방향 구동 경로를 안내하는 안내 레일; 상기 승강 블럭의 타측부에 상기 승강 블럭의 길이 방향으로 길게 설치되는 렉기어; 상기 구동 박스 내부에서 상기 렉기어와 맞물려 회전가능하게 설치되며, 회전축이 상기 동력 전달부에 결합되어 회전되는 피니언 기어;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 피니언 기어는 상기 승강 블럭의 중간 또는 상부 높이에 설치되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 동력 전달부는, 상기 다수개의 리프트 핀과 핀 승강수단을 선형으로 연결되는 다수개의 영역으로 분할하여 각 영역마다 설치되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 동력 전달부는, 상기 다수개의 리프트 핀과 핀 승강수단을 상기 기판의 외곽 부분을 지지하는 리프트 핀들을 포함하는 에지 영역과 상기 기판의 중앙 부분을 지지하는 중앙 영역으로 가상 분할하여 각 영역마다 설치되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 동력 전달부는, 동일 영역에 분포하는 다수개의 피니언 기어들을 순차적으로 연결하도록 인접한 한 쌍의 피니언 기어 사이 마다 수평하게 설치되어 일측 피니언 기어의 회전에 따라 회전하면서 타측 피니언 기어를 회전시키는 다수개의 연결축; 동일 영역으로 분할된 다수개의 피니언 기어 중 최외곽에 배치되는 피니언 기어 중 어느 하나의 회전축에 결합되어 설치되며, 상기 동력 제공부에 결합되어 회전 동력을 제공하는 동력 제공축;을 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 연결축 사이에는, 동일 영역에 분포하는 다수개의 피니언 기어들이 수직으로 절곡되는 선형을 이루는 경우, 절곡되는 부분에 설치되어, 회전 동력을 수직되는 방향으로 전달하는 수직 전달부가 더 구비되는 것이 바람직하다.
한편 본 발명은, 전술한 리프트 핀 구동장치를 구비하는 평판표시소자 제조장치도 제공한다.
본 발명의 리프트 핀 구동장치는 핀 플레이트가 없는 구조이면서도 다수개의 리프트 핀을 동시 제어함으로써 제어가 단순하면서도, 조립과 유지보수가 용이함은 물론 상기 리프트 핀이 설치되는 챔버 하측의 좁은 공간을 효과적으로 사용하여 다른 구성요소들의 설치 공간을 확보할 수 있는 획기적인 장점이 있다.
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치에서 챔버 하부의 모습을 도시하는 도면이다.
도 2는 종래의 평판표시소자 제조장치에서 다수개의 리프트 핀들이 배치되는 예를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치의 구조를 도시하는 정면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 핀 승강수단의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 핀 승강수단의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 7 내지 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀 영역 구분의 예를 도시하는 도면들이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 전달부의 구성을 도시하는 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치(100)는 도 3에 도시된 바와 같이, 리프트 핀 연결부(110), 핀 승강수단(120), 동력 전달부(130) 및 동력 제공부(140)를 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 리프트 핀 연결부(110)은 기판이 탑재되는 기판척을 관통하여 설치되며, 기판의 다수 지점을 지지하는 리프트 핀의 하부와 연결되는 구성요소이다. 따라서 상기 다수개의 리프트 핀 연결부(110)은 수직으로 기립되어 설치되며, 필요에 따라서 리프트 핀 상단에 기판과의 접촉 과정에서 손상이 발생하지 않도록 엔지니어링 플라스틱으로 이루어지는 기판 접촉 지그(도면에 미도시)가 더 구비될 수도 있다.
또한 상기 다수개의 리프트 핀 연결부(110)은 전술한 바와 같이, 상기 기판척에 장착되는 기판의 크기와 형태에 따라 기판의 모든 부분을 안정적으로 지지할 수 있도록 분포된다. 이때 기판척 상에서 분포되는 영역과 기판을 지지하는 영역에 따라 상기 다수개의 리프트 핀 연결부(110)을 센터 핀과 에지 핀으로 나눌 수도 있다.
다음으로 상기 핀 승강수단(120)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 각 리프트 핀 연결부(110) 하부에 각각 독립되어 설치되며, 외부 동력을 전달받아 상기 리프트 핀 연결부(110)을 상하 방향으로 승강시키는 구성요소이다. 즉, 상기 다수개의 핀 승강수단(120)은 각 리프트 핀 연결부(110) 마다 독립적으로 설치되지만, 자체 동력을 가지고 상기 리프트 핀을 승강시키지는 않는다.
따라서 상기 핀 승강수단(120)에는 별도로 동력을 전달하는 동력 전달부(130)가 연결되는 것이다. 또한 본 실시예에서 상기 핀 승강수단(120)은 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판척이 설치되는 챔버(150)의 하부 또는 별도의 고정장치에 고정되어 설치된다. 따라서 진공 분위기가 아닌 상압 분위기에서 작동되며, 구동과 설치가 용이한 장점이 있다.
이를 위하여 본 실시예에서는 상기 핀 승강수단(120)을 구체적으로 도 3, 5에 도시된 바와 같이, 구동 박스(121), 승강 블럭(122), 안내 레일(123), 렉기어(124) 및 피니언 기어(125)로 구성할 수 있다. 먼저 상기 구동 박스(121)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(150) 하부 또는 고정장치에 고정되어 설치되며, 상기 리프트 핀 연결부(110) 하단이 승강 가능하도록 일정한 내부 공간을 가지는 구성요소이다.
따라서 상기 리프트 핀 연결부(110)의 하단이 승강하는 과정에서 상기 구동 박스(121) 내에 설치된 안내 가이드를 따라 이동하는 것이며, 상기 리프트 핀 연결부(110)과 챔버(150) 사이에는 벨로우즈(도면에 미도시) 등이 설치되어 챔버 내부의 진공 분위기를 유지한 상태에서 상기 리프트 핀 연결부(110)의 승강 운동이 가능하도록 한다.
상기 구동 박스(121)의 구체적인 형상은 다양하게 변화될 수 있으며, 예를 들어 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 직사각통 형상을 가질 수 있으며, 상면에는 리프트 핀 연결부(110)이 통과할 수 있는 통과공이 형성된다.
이 통과공 상하에 도 5에 도시된 바와 같이, 안내 가이드(128)를 설치할 수 있으며, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 구동 박스(221) 내부에 안내 가이드(223)를 하나 이상 다수개 설치할 수도 있다. 이렇게 구동 박스(221) 내부에 다수개의 안내 가이드(223)을 설치하는 경우에는 별도로 안내 레일을 설치할 필요가 없으며, 상기 안내 가이드(223)들이 렉기어(224)를 직접 승강 방향으로 안내할 수 있다.
또한 상기 구동 박스(121)의 일 측벽 중간에는 후술하는 피니언 기어(125)의 설치를 위한 보조 박스(126)가 더 구비된다.
다음으로 상기 승강 블럭(122)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 구동 박스(121) 내에 수직 방향으로 설치되며, 상기 리프트 핀 연결부(110) 하단과 결합되어 상기 구동 박스(121) 내에서 상하 방향으로 승강하는 구성요소이다. 이 승강 블럭(121)이 상기 안내 레일(123)과 맞물려서 상기 리프트 핀 연결부(110)의 상하 방향 운동 경로를 정확하게 안내하는 것이다.
다음으로 상기 안내 레일(123)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 구동 박스(121) 내에 고정되어 설치되며, 상기 승강 블럭(122)의 일측부와 맞물려 상하 방향 구동 경로를 안내하는 구성요소이다. 즉, 상기 안내 레일(123)은 상기 승강 블럭(122)이 안내 레일(123)과 맞물린 상태에서 슬라이딩 방식으로 구동할 수 있는 구조를 가지며, 상기 승강 블럭(122)의 승강 운동 경로를 안내한다.
다음으로 상기 렉기어(124)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 승강 블럭(122)의 타측부에 상기 승강 블럭(122)의 길이 방향으로 길게 설치되는 구성요소이며, 상기 피니언 기어(125)와 맞물려서 상기 승강 블럭(122)을 상하 방향으로 승강시킨다. 상기 렉기어(124)는 일반적인 렉기어 구조를 가질 수 있다. 본 실시예에서 상기 렉기어(124)와 승강 블럭(122)를 별도로 나누어 설명했지만, 양자를 일체로 구성할 수도 있을 것이다.
다음으로 상기 피니언 기어(125)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 구동 박스(121) 내부에서 상기 렉기어(124)와 맞물려 회전가능하게 설치되며, 회전축(127)이 상기 동력 전달부(130)에 결합되어 회전되는 구성요소이다. 따라서 상기 피니언 기어(125)는 상기 보조 박스(126)에 설치되어 회전축(127)이 상기 구동 박스(121)의 중심을 벗어나도록 설치되며, 이 회전축(127)은 회전축 통과공을 통하여 동력 전달부(130)와 결합된다.
이때 상기 피니언 기어(125)는, 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 상기 구동 박스(121)의 중간 또는 상부 높이에 설치되는 것이, 챔버(150) 하부의 비좁은 공간을 효과적으로 사용할 수 있어서 바람직하다. 챔버(150) 하부 공간 중 바닥면에 가까운 부분은 도 1에 도시된 바와 같이, 다른 구성요소들에 의하여 채워지므로 이들을 피해 설치되고 구동될 수 있는 높이에 설치되는 것이 바람직한 것이다.
다음으로 상기 동력 전달부(130)는 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 상기 다수개의 리프트 핀 연결부(110) 및 핀 승강수단(120)을 상기 기판척 상에서 분포 위치에 따라 다수 영역으로 가상 분할하여 동일 영역에 위치하는 일 군의 핀 승강수단(120) 끼리 연결하여 설치되며, 연결된 다수개의 핀 승강수단(120)에 상기 리프트 핀 승강을 위한 동력을 전달하는 구성요소이다.
즉, 상기 동력 전달부(130)는 다수개의 핀 승강수단(120)을 동시에 구동시킬 수 있도록 동력을 전달하되, 동시에 구동시키는 핀 승강수단(120)들은 가상 분할되는 동일 영역에 속하는 리프트 핀들에 의하여 결정되는 것이다.
이때 다수개의 리프트 핀 연결부(110)들을 가상 분할하는 방법은 도 6에 도시된 바와 같이, 다수개의 리프트 핀들 중에 선형으로 연결가능한 영역으로 나누어 분할할 수 있다. 이렇게 하나의 영역을 선형으로 연결가능하게 나누면, 상기 동력 전달부(130)의 구조를 간단하게 할 수 있는 장점이 있다. 여기에서 기판척(160)이 가장자리 영역에 설치되는 리프트 핀 연결부(110)들이 속하는 영역을 도 7에 도시된 바와 같이, 에지 영역(E), 중앙 부분에 설치되는 리프트 핀 연결부(110)들이 속하는 영역을 중앙 영역(C)으로 구분하고, 중앙 영역(C)을 다시 제1, 2, 3 중앙 영역(C1, C2, C3)으로 구분할 수 있다. 한편 상기 다수개의 리프트 핀 연결부(110)들을 도 8, 9에 도시된 바아 같이, 에지 영역(E), 중간 영역(M), 중앙 영역(C)의 세 영역으로 구분할 수도 있이며, 중간 영역(M)을 직사각형 형상이나 다른 다각형 형상으로 구성할 수도 있다. 이때 육각형 등 다른 다각형으로 구성하는 경우에는 다양한 각도로 동력을 전달하기 위하여 유니버셜 조인트 등으로 이루어진 연결부가 더 구비될 수 있다.
따라서 이렇게 구분되는 각 영역별로 상기 동력 전달부(130)가 독립적으로 설치되는 것이며, 각 영역에 설치되는 다수개의 핀 승강수단(120)들은 상기 동력 전달부(130)에 의하여 서로 연결되고 하나의 동력 제공부(140)에 의하여 동시 구동되는 것이다.
이를 위하여 본 실시예에서는 상기 동력 전달부(130)를 구체적으로 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 다수개의 연결축(132)과 동력 제공축(134)으로 구성한다. 먼저 상기 연결축(132)은 동일 영역에 분포하는 다수개의 피니언 기어(125)들을 순차적으로 연결하도록 인접한 한 쌍의 피니언 기어 사이마다 지면과 수평하게 설치되어 일측 피니언 기어(125)의 회전에 따라 회전하면서 타측 피니언 기어(125)를 회전시키는 구성요소이다. 따라서 상기 다수개의 연결축(132)은 한 영역에 설치되는 다수개의 핀 구동수단(120) 사이마다 설치되며, 전체적으로 하나의 직선을 형성하거나 수직으로 꺾이는 형상을 형성할 수 있다.
다음으로 상기 동력 제공축(134)은 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 동일 영역으로 분할된 다수개의 피니언 기어(125) 중 최외곽에 배치되는 피니언 기어(125)의 회전축에 결합되어 설치되며, 상기 동력 제공부(140)에 결합되어 회전 동력을 제공하는 구성요소이다. 이 동력 제공축(134)은 실질적인 구조가 상기 연결축(132)과 동일하지만, 그 설치 위치가 두개의 피니언 기어 사이 공간이 아니라, 최외곽 피니언 기어(125)와 동력 제공부(140) 사이의 공간인 것이다.
한편 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 연결축(132) 사이에는 수직 전달부(136)가 더 구비될 수도 있다. 예를 들어 동일 영역에 분포하는 다수개의 피니언 기어들이 수직으로 꺾이는 선형을 이루는 경우, 수직으로 꺾이는 부분에 상기 수직 전달부(136)가 설치되어, 회전 동력을 수직되는 방향으로 전달하는 것이다. 따라서 상기 수직 전달부(136)의 내부에는 베벨 기어가 서로 맞물리는 구조 등으로 구성될 수 있다.
다음으로 상기 동력 제공부(140)는 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 상기 동력 전달부(130)의 일측 말단에 설치되며, 상기 동력 전달부(130)에 동력을 제공하는 구성요소이다. 즉 상기 동력 제공부(140)는 상기 동력 제공축(134)의 말단에 연결되어 설치되며, 모터 등으로 구성되어 회전 동력을 제공한다.
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 리프트 핀 구동장치
110 : 리프트 핀 연결부 120 : 핀 승강수단
130 : 동력 전달부 140 : 동력 제공부
150 : 챔버 160 : 기판척

Claims (9)

  1. 기판이 탑재되는 기판척을 관통하여 설치되며, 기판의 다수 지점을 지지하는 다수개의 리프트 핀;
    상기 각 리프트 핀 하부에 각각 독립되어 설치되며, 외부 동력을 전달받아 상기 리프트 핀을 상하 방향으로 승강시키는 다수개의 핀 승강수단;
    상기 다수개의 리프트 핀 및 핀 승강수단을 상기 기판척 상에서 분포 위치에 따라 다수 영역으로 가상 분할하여 동일 영역에 위치하는 일 군의 핀 승강수단 끼리 연결하여 설치되며, 연결된 다수개의 핀 승강수단에 상기 리프트 핀 승강을 위한 동력을 전달하는 적어도 하나 이상의 동력 전달부;
    상기 동력 전달부의 일측 말단에 설치되며, 상기 동력 전달부에 동력을 제공하는 동력 제공부;를 포함하는 리프트 핀 구동장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 핀 승강수단은,
    상기 기판척이 설치되는 챔버 하부 또는 고정장치에 고정되어 설치되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 핀 승강수단은,
    상기 챔버 하부 또는 고정장치에 고정되어 설치되며, 상기 리프트 핀 하단이 승강 가능하도록 일정한 내부 공간을 가지는 구동 박스;
    상기 구동 박스 내에 수직 방향으로 설치되며, 상기 리프트 핀 하단과 결합되어 상기 구동 박스 내에서 상하 방향으로 승강하는 승강 블럭;
    상기 구동 박스 내에 고정되어 설치되며, 상기 승강 블럭의 일측부와 맞물려 상하 방향 구동 경로를 안내하는 안내 레일;
    상기 승강 블럭의 타측부에 상기 승강 블럭의 길이 방향으로 길게 설치되는 렉기어;
    상기 구동 박스 내부에서 상기 렉기어와 맞물려 회전가능하게 설치되며, 회전축이 상기 동력 전달부에 결합되어 회전되는 피니언 기어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 피니언 기어는,
    상기 승강 블럭의 중간 또는 상부 높이에 설치되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 동력 전달부는,
    상기 다수개의 리프트 핀과 핀 승강수단을 선형으로 연결되는 다수개의 영역으로 분할하여 각 영역마다 설치되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 동력 전달부는,
    상기 다수개의 리프트 핀과 핀 승강수단을 상기 기판의 외곽 부분을 지지하는 리프트 핀들을 포함하는 에지 영역과 상기 기판의 중앙 부분을 지지하는 중앙 영역으로 가상 분할하여 각 영역마다 설치되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 동력 전달부는,
    동일 영역에 분포하는 다수개의 피니언 기어들을 순차적으로 연결하도록 인접한 한 쌍의 피니언 기어 사이 마다 수평하게 설치되어 일측 피니언 기어의 회전에 따라 회전하면서 타측 피니언 기어를 회전시키는 다수개의 연결축;
    동일 영역으로 분할된 다수개의 피니언 기어 중 최외곽에 배치되는 피니언 기어 중 어느 하나의 회전축에 결합되어 설치되며, 상기 동력 제공부에 결합되어 회전 동력을 제공하는 동력 제공축;을 포함하는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 연결축 사이에는,
    동일 영역에 분포하는 다수개의 피니언 기어들이 수직으로 절곡되는 선형을 이루는 경우, 절곡되는 부분에 설치되어, 회전 동력을 수직되는 방향으로 전달하는 수직 전달부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 구동장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재되어 있는 리프트 핀 구동장치를 구비하는 평판표시소자 제조장치.
KR1020160117316A 2016-09-12 2016-09-12 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치 KR20180029426A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160117316A KR20180029426A (ko) 2016-09-12 2016-09-12 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160117316A KR20180029426A (ko) 2016-09-12 2016-09-12 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20180029426A true KR20180029426A (ko) 2018-03-21

Family

ID=61900392

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160117316A KR20180029426A (ko) 2016-09-12 2016-09-12 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20180029426A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7988817B2 (en) Lift pin driving device and a flat panel display manufacturing apparatus having same
US8256101B2 (en) Apparatus for attaching substrates of flat display panel
KR101335302B1 (ko) 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치
KR20160042880A (ko) 수평 다관절 로봇 및 수평 다관절 로봇의 제조 방법
JP4064845B2 (ja) 貼り合わせ装置及び駆動方法
US20040123952A1 (en) FPD fabricating apparatus
US20070154298A1 (en) Apparatus for manufacturing flat panel display and method of manufacturing the same
US7665947B2 (en) Transfer chamber for flat display device manufacturing apparatus
KR100854072B1 (ko) 기판 검사 장치
CN114253077A (zh) 升降销组件及具有该升降销组件的基板处理装置
KR101408644B1 (ko) 합착기판의 스테이지 평탄도 보정장치
KR20180029426A (ko) 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비하는 평판표시소자 제조장치
WO2015020089A1 (ja) 水平多関節ロボットおよび水平多関節ロボットの製造方法
US20150321347A1 (en) Link-type transfer robot
CN110578117B (zh) 基板旋转装置、基板旋转方法及电子装置的制造方法
KR20080017946A (ko) 유지보수가 간편한 기판 얼라이너
KR20070003232A (ko) 반도체 처리 장치
KR101426277B1 (ko) 리프트 핀 구동장치 및 이것을 구비한 평판표시소자제조장치
KR20120079982A (ko) 기판 수직 이송장치
KR101990854B1 (ko) 디스플레이장치용 합착장치 및 합착기판 제조방법
KR20120139084A (ko) 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블
KR101253270B1 (ko) 기판정렬장치
KR101362455B1 (ko) 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치
KR101362458B1 (ko) 리프트 핀 모듈 및 이것을 포함하는 평판표시소자 제조장치
KR20090088733A (ko) 공정 챔버 및 이것을 포함하는 평판표시소자 제조장비

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
N231 Notification of change of applicant
E601 Decision to refuse application