KR20180024381A - Dust collecting apparatus and Laser processing apparatus having the same - Google Patents

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구교욱
최동민
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세메스 주식회사
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Abstract

An apparatus for collecting dust comprises: a body having an upper unit opened for collecting various types of dust fell downward; and a window unit having a portion of the body opened by penetrating through the body and passing laser beam toward the opened upper unit. An apparatus for processing laser comprises: a laser beam irradiation unit having the laser beam irradiated toward the opened upper unit by penetrating through the window unit in accordance with the apparatus for collecting dust; and a unit connected with a dust collection unit delivered outside by collecting the dust.

Description

분진 집진용 장치 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치{Dust collecting apparatus and Laser processing apparatus having the same}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a dust collecting apparatus and a laser processing apparatus having the dust collecting apparatus,

본 발명은 분진 집진용 장치 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 레이저 빔의 조사에 의한 가공 공정을 수행할 때 발생하는 각종 분진들을 집진 처리하기 위한 분진 집진용 장치 및 이를 포함하는 레이저 가공 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a dust collecting apparatus and a laser processing apparatus including the dust collecting apparatus. More particularly, the present invention relates to a dust collecting apparatus for dust collecting various dusts generated when a laser beam irradiation process is performed, The present invention relates to a laser processing apparatus.

반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 레이저 빔의 조사에 의한 다양한 가공 공정을 수행하고 있다. 예를 들면, 레이저 빔을 조사하여 기판을 절단하는 가공 공정, 마스크 시트 상에 형성한 레지스트와 같은 유기 물질을 제거하는 가공 공정 등을 수행하고 있다.BACKGROUND ART [0002] In the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices, flat panel display devices and the like, various processing steps are performed by irradiation of a laser beam. For example, a processing step of cutting a substrate by irradiating a laser beam, a processing step of removing an organic material such as a resist formed on the mask sheet, and the like are performed.

그리고 상기 레이저 빔을 조사함에 의해 이루어지는 가공 공정의 수행에서는 분진이 발생할 수 있다. 이에, 상기 가공 공정에서는 분진을 집진하는 장치를 사용하고 있다. 특히, 종래의 상기 가공 공정에서 사용하고 있는 분집 집진용 장치는 주로 기판 상부에 배치되고, 상기 레이저 빔의 경우에도 상기 기판 아래 방향인 하향으로 조사하도록 배치된다.In addition, dust may be generated in the processing performed by irradiating the laser beam. Therefore, a dust collecting apparatus is used in the processing step. Particularly, the apparatus for collecting dust used in the conventional processing step is mainly disposed above the substrate, and in the case of the laser beam, it is disposed so as to irradiate downward in the downward direction of the substrate.

본 발명의 일 목적은 각종 분진들을 기판 아래인 하향에서 집진할 수 있는 분진 집진용 장치를 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a dust collecting device capable of collecting various dusts downward below a substrate.

본 발명의 다른 목적은 각종 분진들을 기판 아래인 하향에서 집진함과 더불어 레이저 빔의 경우에는 상향으로 조사할 수 있는 레이저 가공 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a laser processing apparatus capable of collecting various dusts downward below a substrate and irradiating upward in the case of a laser beam.

언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 집진용 장치는 하향으로 떨어지는 각종 분진들을 집진할 수 있게 상부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 몸체; 및 상기 몸체를 통과하여 상기 개방된 상부를 향하여 레이저 빔이 지나가게 상기 몸체의 일부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 윈도우부;를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for dust collection according to an embodiment of the present invention, including: a body having a structure that allows an upper portion thereof to be opened to collect dust falling downward; And a window portion having a structure in which a part of the body is opened so that the laser beam passes through the body and toward the opened upper portion.

본 발명의 일 실시예에 따른 분진 집진용 장치에서, 상기 몸체는 좌,우가 대칭되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the apparatus for dust collection according to an embodiment of the present invention, the body may be provided so as to have a symmetrical structure of left and right.

본 발명의 일 실시예에 따른 분진 집진용 장치에서, 상기 몸체 중심 영역에는 상향으로 에어를 분사하는 상향 분사부가 구비될 수 있다.In the apparatus for dust collection according to an embodiment of the present invention, the body center region may be provided with an upward injection unit for injecting air upward.

본 발명의 일 실시예에 따른 분진 집진용 장치에서, 성기 몸체 양측 주변 영역에는 에어 커튼을 형성하여 상기 분진들이 외부로 유출되는 것을 방지하도록 차단판, 및 상기 차단판을 향하여 에어를 분사하는 차단 분사부로 이루어지는 커튼 형성부가 구비될 수 있다.In the apparatus for dust collection according to an embodiment of the present invention, air curtains are formed in the regions around both sides of the genital body to prevent the dusts from flowing out to the outside, and a shielding plate for spraying air toward the shielding plate. A curtain-forming portion formed of a curtain can be provided.

언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치는 하향으로 떨어지는 각종 분진들을 집진할 수 있게 상부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 몸체, 및 상기 몸체를 통과하여 상기 개방된 상부를 향하여 레이저 빔이 지나가게 상기 몸체의 일부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 윈도우부로 이루어지는 분진 집진부; 상기 윈도우부를 통과하여 상기 개방된 상부를 향하여 상기 레이저 빔이 조사되도록 구비되는 레이저 빔 조사부; 및 상기 분진들을 집진하여 외부로 전달되게 상기 분진 집진부와 연결되도록 구비되는 덕트부;를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a laser processing apparatus comprising: a body having a structure that allows an upper portion thereof to be opened so as to collect various dusts falling downward; A dust collecting part comprising a window part having a structure in which a part of the body is opened so that a laser beam passes toward an upper part; A laser beam irradiating unit configured to irradiate the laser beam toward the open top through the window unit; And a duct part connected to the dust collecting part so as to collect the dust and to transfer the dust to the outside.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치에서, 상기 몸체는 좌,우가 대칭되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention, the body may be provided so as to have a symmetrical structure of left and right.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치에서, 상기 몸체 중심 영역에는 상향으로 에어를 분사하는 상향 분사부가 구비될 수 있다.In the laser machining apparatus according to an embodiment of the present invention, the body center region may be provided with an upward ejecting unit for ejecting air upward.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치에서, 성기 몸체 양측 주변 영역에는 에어 커튼을 형성하여 상기 분진들이 외부로 유출되는 것을 방지하도록 차단판, 및 상기 차단판을 향하여 에어를 분사하는 차단 분사부로 이루어지는 커튼 형성부가 구비될 수 있다.In the laser machining apparatus according to an embodiment of the present invention, air curtains are formed in regions around both sides of the genital body to prevent the dusts from flowing out to the outside, and a shielding spray portion for spraying air toward the shielding plate The curtain forming portion may be provided.

본 발명의 분집 집진용 장치에 따르면 하향으로 떨어지는 각종 분진들을 집진하도록 상부가 개방되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 본 발명의 분진 집진용 장치는 간단한 구조를 가지면서도 각종 분진들을 용이하게 집진할 수 있을 것이다.According to the apparatus for collecting dust collecting according to the present invention, the dust collecting dust collecting apparatus may have a structure in which the upper part is opened to collect various dusts falling downward. Therefore, the dust collecting apparatus of the present invention can easily collect various dusts while having a simple structure.

또한 본 발명의 레이저 가공 장치에 따르면 상향으로 레이저 빔을 조사할 수 있는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 하향으로 떨어지는 각종 분진들을 집진할 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 특히, 레이저 빔이 지나는 경로가 개방되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 레이저 빔이 지나는 경로에 석영 등과 같은 부재가 구비되는 것에 비해 장치 자체의 비용을 절감할 수 있을 것이고, 더불어 석영 등과 같은 부재에 흡착되는 각종 분진들을 처리하기 위한 유지 보수를 생략할 수 있을 것이다.Further, according to the laser processing apparatus of the present invention, the laser processing apparatus can be provided to have a structure capable of irradiating the laser beam upward and to collect dust falling downward. In particular, it may be provided so as to have a structure in which a path through which the laser beam passes is opened. Accordingly, the cost of the apparatus itself can be reduced compared to the case where a member such as quartz is provided in the path of the laser beam, and maintenance for treating various dusts adsorbed on a member such as quartz can be omitted .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a schematic view of a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.1 is a schematic view of a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)는 분진 집진부(10), 레이저 빔 조사부(30), 덕트부(40) 등을 포함할 수 있다. 특히, 상기 분진 집진부(10)는 본 발명의 일 실시예에 따른 분진 집진용 장치와 동일한 것일 수 있다.Referring to FIG. 1, a laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include a dust collecting unit 10, a laser beam irradiating unit 30, a duct unit 40, and the like. Particularly, the dust collecting part 10 may be the same as the dust collecting device according to the embodiment of the present invention.

상기 분진 집진부(10)는 몸체(11), 윈도우부(13) 등을 포함할 수 있다.The dust collecting part 10 may include a body 11, a window part 13, and the like.

상기 몸체(11)는 각종 분진들을 집진하기 위한 것으로써 상부가 개방되는 구조를 가질 수 있다. 이에 상기 몸체(11)는 하향으로 떨어지는 각종 분진들을 집진할 수 있는 것이다. 여기서 상기 몸체(11)는 상부가 개방되는 구조를 가지기 때문에 상기 몸체(11) 상부에 가공 대상물, 특히 레이저를 사용하는 가공 대상물이 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에 따른 상기 가공 대상물은 마스크 필름(50) 및 상기 마크스 필름(50)에 형성되는 레지스트와 같은 유기 물질(51)일 수 있다.The body 11 is for collecting various dusts and may have a structure in which the upper part is opened. Accordingly, the body 11 is capable of collecting various kinds of dust falling downward. Since the body 11 has a structure in which the upper part is opened, an object to be processed, in particular, an object to be processed using a laser, may be disposed on the body 11. The object to be processed according to the exemplary embodiment may be an organic material 51 such as a mask film 50 and a resist formed on the mark film 50.

또한, 상기 몸체(11)는 좌,우 대칭 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이는, 상기 몸체(11)가 좌,우 대칭 구조를 가지지 않을 경우 상기 분진 집진부(10)를 사용하여 각종 분진들을 집진할 때 상기 몸체(11) 중심축에서의 기류가 틀어져서 각종 분진들을 용이하게 집진하지 못하기 때문이다.In addition, the body 11 may have a left-right symmetry structure. This is because, when the body 11 does not have a left-right symmetry structure, when the various dusts are collected by using the dust collecting part 10, the airflow at the central axis of the body 11 is turned, Because it can not collect dust.

상기 윈도우부(13)는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)를 사용하여 가공 공정을 수행할 때 레이저 빔 조사부(30)로부터 조사가 이루어지는 레이저 빔의 경로 상에 구비될 수 있다. 예시적인 실시예에 따른 상기 윈도우부(13)는 상기 몸체(11)의 일부가 개방되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 레이저 빔의 경로는 상기 몸체(11)의 일부가 개방되는 상기 윈도우부(13)를 통과하여 상기 몸체의 개방된 상부를 향할 수 있는 것이다. 그리고 상기 윈도우부(13)는 상기 몸체(11)가 좌,우 대칭 구조를 갖기 때문에 상기 몸체(11)의 양측 일부가 개방되는 구조를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.The window part 13 may be provided on the path of the laser beam irradiated from the laser beam irradiating part 30 when performing the machining process using the laser machining apparatus 100 according to an embodiment of the present invention . The window portion 13 according to the exemplary embodiment may have a structure in which a part of the body 11 is opened. The path of the laser beam may be directed to the open top of the body through the window portion 13 where a part of the body 11 is opened. The window portion 13 may have a structure in which both sides of the body 11 are opened because the body 11 has a left and right symmetrical structure.

예시적인 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)를 사용하는 가공 공정에서는 가공 대상물이 상기 몸체(11) 상부에 배치될 수 있고, 그리고 상기 레이저 빔의 경로가 상기 윈도우부(13)를 통과하여 상기 몸체(11)의 개방된 상부를 향할 수 있기 때문에 상기 레이저 빔 조사부(30)가 상기 윈도우부(13)를 통과하여 상기 몸체(11)의 개방된 상부를 향하여 레이저 빔을 조사하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 레이저 빔 조사부(30)는 상향으로 레이저 빔을 조사하도록 구비될 수 있는 것이다.In the processing step using the laser processing apparatus 100 according to the exemplary embodiment, the object to be processed can be disposed on the body 11, and the path of the laser beam passes through the window part 13, The laser beam irradiating unit 30 may be provided to irradiate a laser beam toward the open upper portion of the body 11 through the window unit 13 because the laser beam irradiating unit 30 can be directed to the opened top of the body 11 . That is, the laser beam irradiating unit 30 may be provided to irradiate the laser beam upward.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)는 개방된 구조의 윈도우부(13)를 가짐으로써 레이저를 사용한 가공 공정을 수행할 때 윈도우부(13)에 각종 분진들이 흡착되지 않기 때문에 레이저 빔의 조사에 따른 에너지 손실을 최소화할 수 있다. 또한, 상기 윈도우부(13)에서의 각종 분진들의 제거를 위한 유지 보수를 생략할 수 있다.Since the laser processing apparatus 100 according to the embodiment of the present invention has the window portion 13 having the open structure, various dusts are not adsorbed to the window portion 13 when the laser processing process is performed, Energy loss due to beam irradiation can be minimized. In addition, maintenance for removing various dusts in the window portion 13 can be omitted.

그리고 상기 윈도우부(13)를 석영 등과 같은 부재로 밀폐시킬 경우에는 상기 몸체(11)에서의 음압을 조성하기가 용이하지 않아 하향으로 떨어지는 각종 분진들에 대한 집진 효율이 떨어질 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)에서는 상기 윈도우부(13)를 개방된 구조를 갖도록 구비하는 것이다.When the window 13 is sealed with a member such as quartz, it is difficult to form a sound pressure in the body 11, so that the dust collection efficiency for various dusts falling downward may be reduced. Accordingly, in the laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, the window portion 13 is provided to have an open structure.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)에서의 상기 분진 집진부(10)는 상향 분사부(15)를 더 구비할 수 있다. 상기 상향 분사부(15)는 상기 몸체(11) 중심 영역에서 가공 대상물을 향하여 상향으로 에어를 분사하도록 구비될 수 있다. 상기 상향 분사부(15)는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)를 사용하여 가공 공정을 수행할 때 가공 대상물을 향하여 상기 몸체(11)의 중심 영역에서 상향으로 에어를 분사하도록 구비될 수 있는 것이다. 이와 같이, 상기 상향 분사부(15)를 사용하여 에어를 분사할 경우에는 주변 유동에 따른 영향을 최소화할 수 있어 가공 공정을 보다 안정적으로 수행할 수 있고, 그리고 가공 공정 수생시 온도 상승을 통하여 효율적으로 가공 공정을 수행할 수 있다.The dust collecting unit 10 in the laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may further include an upwardly directed jetting unit 15. The upwardly projecting portion 15 may be provided to inject air upward in the central region of the body 11 toward the object to be processed. When the laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is used, the upward jetting unit 15 injects air upward in the central region of the body 11 toward the object to be processed . In this way, when the air is sprayed by using the upward jetting unit 15, the influence due to the peripheral flow can be minimized, so that the machining process can be performed more stably. Further, A machining process can be performed.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)에서의 상기 분진 집진부(10)는 커튼 형성부(17)를 더 구비할 수 있다. 상기 커튼 형성부(17)는 차단판(21) 및 차단 분사부(19)를 포함할 수 있다. 상기 차단판(21)은 상기 몸체(11) 양측 주변 영역에 구비될 수 있고, 상기 차단 분사부(19)는 상기 차단판(21)을 향하여 에어를 분사하도록 구비될 수 있다. 여기서, 상기 커튼 형성부(17)를 구비하는 것은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)를 사용하여 가공 공정을 수행할 때 상기 몸체(11) 양측 주변 영역에 에어 커튼을 형성함으로써 각종 분진들이 상기 분진 집진부(10) 외부로 유출되는 것을 방지하기 위함이다. 특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)에서의 상기 분진 집진부(10)는 상기 몸체(11)의 상부, 상기 윈도우부(13)가 개방되는 구조를 가지기 때문에 상기 커튼 형성부(17)를 구비하여 각종 분진들의 외부 유출을 방지할 필요가 있다.The dust collecting unit 10 in the laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may further include a curtain forming unit 17. [ The curtain forming portion 17 may include a blocking plate 21 and a shielding jetting portion 19. The blocking plate 21 may be provided on both sides of the body 11 and the blocking injecting unit 19 may be provided to inject air toward the blocking plate 21. [ Here, the curtain forming unit 17 is provided by forming an air curtain on both sides of the body 11 when a processing process is performed using the laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention Dust particles are prevented from flowing out of the dust collecting part 10. Particularly, since the dust collecting part 10 in the laser processing apparatus 100 according to the embodiment of the present invention has a structure in which the window part 13 is opened on the upper part of the body 11, (17) so as to prevent the outflow of various dusts.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)에서의 상기 분진 집진부(10)는 언급한 바와 같이 분진 집진용 장치인 것으로써 몸체(11), 윈도우부(13), 상향 분사부(15), 및 커튼 형성부(17)로 이루어질 수 있다. 따라서 상기 분진 집진부(10)를 구비하는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)는 몸체(11)의 상부가 개방된 구조를 갖고, 그리고 개방된 구조의 윈도우부(13)를 통하여 상향으로 레이저 빔을 조사하기 때문에 각종 분진들의 집진 효율이 좋을 뿐만 아니라 밀폐된 구조를 가질 때보다 레이저 빔의 에너지 효율이 상승하고, 유지 보수가 보다 용이할 수 있다.The dust collecting unit 10 in the laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention is a dust collecting apparatus as described above and includes a body 11, a window unit 13, an upwardly directed jetting unit 15 And a curtain forming portion 17, as shown in Fig. Accordingly, the laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention including the dust collecting unit 10 has a structure in which an upper portion of the body 11 is opened, and a window portion 13 of an open structure Since the laser beam is irradiated upward, the dust collecting efficiency of various dusts is good, and the energy efficiency of the laser beam is higher than that of the airtight structure, and maintenance can be more easily performed.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)는 언급한 바와 같이 레이저 빔 조사부(30)를 구비할 수 있다. 여기서 상기 레이저 빔 조사부(30)는 상기 레이저 빔이 상기 윈도우부(13)를 통과하여 상기 몸체(11)의 상부를 향하는 경로를 갖도록 구비되는 것으로써, 광학계를 이용하거나 또는 상기 레이저 빔 조사부(30)의 배치 위치를 조절함에 의해 상기 레이저 빔의 경로를 조절할 수 있다.The laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include a laser beam irradiating unit 30 as mentioned above. The laser beam irradiating unit 30 is provided so that the laser beam passes through the window unit 13 and has a path directed to the upper part of the body 11 so that the laser beam irradiating unit 30 uses an optical system, The position of the laser beam can be adjusted to adjust the path of the laser beam.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)는 언급한 바와 같이 덕트부(40)를 구비할 수 있다. 상기 덕트부(40)는 상기 분진 집진부(10)와 연결되도록 구비될 수 있다. 예시적인 실시예에서의 상기 덕트부(40)는 상기 분진 집진부(10)의 몸체 하부 쪽과 연결되도록 구비될 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)를 사용한 가공 공정의 수행시 상기 분진 집진부(10)로 집진이 이루어지는 각종 분진들이 상기 덕트부(40)를 통하여 외부로 전달될 수 있다. 여기서 상기 덕트부(40)와 통하는 외부는 지정된 공간일 수 있다.The laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include a duct unit 40 as mentioned above. The duct part 40 may be connected to the dust collecting part 10. In the exemplary embodiment, the duct portion 40 may be connected to a lower portion of the dust collecting portion 10. Accordingly, when performing a processing process using the laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, various dusts collected by the dust collecting unit 10 can be transmitted to the outside through the duct unit 40 . Here, the outer portion communicating with the duct portion 40 may be a designated space.

이와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)는 분진 집진부(10), 레이저 빔 조사부(30), 및 덕트부(40)로 이루어질 수 있다. 따라서 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치(100)는 상기 분진 집진부(10)의 몸체(11) 상부가 개방된 구조를 갖고, 그리고 개방된 구조의 윈도우부(13)를 통하여 상향으로 레이저 빔을 조사하기 때문에 각종 분진들의 집진 효율이 좋을 뿐만 아니라 밀폐된 구조를 가질 때보다 레이저 빔의 에너지 효율이 상승하고, 유지 보수가 보다 용이할 수 있다.As described above, the laser processing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may include the dust collecting unit 10, the laser beam irradiating unit 30, and the duct unit 40. Therefore, the laser processing apparatus 100 according to the embodiment of the present invention has a structure in which the upper part of the body 11 of the dust collecting part 10 is opened, and the laser processing device 100, As the beam is irradiated, not only the dust collecting efficiency of various dusts is good but also the energy efficiency of the laser beam is higher than that of the airtight structure, and the maintenance can be made easier.

본 발명의 분진 집진용 장치 및 레이저 가공 장치는 간단한 구조를 가지면서도 각종 분진들을 용이하게 집진할 수 있을 뿐만 아니라 특히 레이저 빔이 지나는 경로가 개방된 구조를 가짐으로써 비용 절감 및 유지 보수에 대한 효율성의 향상을 기대할 수 있기 때문에 장치 제조에 따른 가격 경쟁력의 확보가 가능할 것이고 더불어 장치 관리에 따른 경쟁력의 확보가 가능할 것이다.The dust collecting device and the laser machining apparatus of the present invention have a simple structure and can easily collect various dusts. In addition, the dust collecting device and the laser machining apparatus of the present invention have a structure in which a path through a laser beam is opened, It is possible to secure price competitiveness by device manufacturing and secure competitiveness through device management.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

10 : 분진 집진부(분진 집진용 장치)
11 : 몸체 13 : 윈도우부
15 : 상향 분사부 17 : 커튼 형성부
19 : 차단 분사부 21 : 차단판
30 : 레이저 빔 조사부 40 : 덕트부
50 : 마스크 필름 51 : 유기 물질
100 : 레이저 가공 장치10: dust collecting part (dust collecting device)
11: body 13: window portion
15: Upward jetting part 17: Curtain forming part
19: shutoff sprayer 21: shutoff plate
30: laser beam irradiation part 40: duct part
50: mask film 51: organic material
100: laser processing device

Claims (8)

하향으로 떨어지는 각종 분진들을 집진할 수 있게 상부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 몸체; 및
상기 몸체를 통과하여 상기 개방된 상부를 향하여 레이저 빔이 지나가게 상기 몸체의 일부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 윈도우부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 분진 집진용 장치.A body having a structure in which an upper portion thereof is opened so as to collect various dusts falling downward; And
And a window part having a structure in which a part of the body is opened so that a laser beam passes through the body and is directed toward the open upper part. 제1 항에 있어서,
상기 몸체는 좌,우가 대칭되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 분진 집진용 장치.The method according to claim 1,
Wherein the body is provided so as to have a symmetrical structure of left and right. 제1 항에 있어서,
상기 몸체 중심 영역에는 상향으로 에어를 분사하는 상향 분사부가 구비되는 것을 특징으로 하는 분진 집진용 장치.The method according to claim 1,
Wherein the body center region is provided with an upward jetting portion for jetting upward air. 제1 항에 있어서,
성기 몸체 양측 주변 영역에는 에어 커튼을 형성하여 상기 분진들이 외부로 유출되는 것을 방지하도록 차단판, 및 상기 차단판을 향하여 에어를 분사하는 차단 분사부로 이루어지는 커튼 형성부가 구비되는 것을 특징으로 하는 분진 집진용 장치.The method according to claim 1,
Characterized in that a curtain forming part is provided which comprises a shielding plate for forming an air curtain around the both sides of the genital body to prevent the dusts from flowing out to the outside and a shielding spraying part for spraying air toward the shielding plate. Device. 하향으로 떨어지는 각종 분진들을 집진할 수 있게 상부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 몸체, 및 상기 몸체를 통과하여 상기 개방된 상부를 향하여 레이저 빔이 지나가게 상기 몸체의 일부가 개방되는 구조를 갖도록 구비되는 윈도우부로 이루어지는 분진 집진부;
상기 윈도우부를 통과하여 상기 개방된 상부를 향하여 상기 레이저 빔이 조사되도록 구비되는 레이저 빔 조사부; 및
상기 분진들을 집진하여 외부로 전달되게 상기 분진 집진부와 연결되도록 구비되는 덕트부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.A body having a structure in which an upper part is opened so as to collect various kinds of dust falling downward and a structure in which a part of the body is opened so that a laser beam passes through the body and passes through the body, A dust collecting part comprising a window part;
A laser beam irradiating unit configured to irradiate the laser beam toward the open top through the window unit; And
And a duct part connected to the dust collecting part so as to collect the dust and to transmit the dust to the outside. 제5 항에 있어서,
상기 몸체는 좌,우가 대칭되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.6. The method of claim 5,
Wherein the body is provided so as to have a symmetrical structure of left and right. 제5 항에 있어서,
상기 몸체 중심 영역에는 상향으로 에어를 분사하는 상향 분사부가 구비되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.6. The method of claim 5,
Wherein the body center region is provided with an upward jetting portion for jetting upward air. 제5 항에 있어서,
성기 몸체 양측 주변 영역에는 에어 커튼을 형성하여 상기 분진들이 외부로 유출되는 것을 방지하도록 차단판, 및 상기 차단판을 향하여 에어를 분사하는 차단 분사부로 이루어지는 커튼 형성부가 구비되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.6. The method of claim 5,
And a curtain forming part comprising a shielding plate for forming air curtains on both sides of the genital body and preventing the dusts from flowing out to the outside, and a shielding spraying part for spraying air toward the shielding plate. .
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