KR20180020802A - 제어형 게이트 밸브 - Google Patents

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KR20180020802A
KR20180020802A KR1020160105747A KR20160105747A KR20180020802A KR 20180020802 A KR20180020802 A KR 20180020802A KR 1020160105747 A KR1020160105747 A KR 1020160105747A KR 20160105747 A KR20160105747 A KR 20160105747A KR 20180020802 A KR20180020802 A KR 20180020802A
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fluid
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주식회사 마이크로텍
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Abstract

본 발명은 제어형 게이트 밸브에 관한 것으로서, 유체통로에 연통된 연통로 둘레 및 유체통로 둘레 중 적어도 어느 하나에 설치되어 통로의 온도를 조절하는 온도제어부와, 구동부에 설치되어 개폐부의 구동여부를 제어하는 구동제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 밸브몸체부의 유체통로에 온도제어부를 설치하고 구동부에 구동제어부를 설치함으로써, 유체통로의 냉각을 방지하고 이로 인한 유체통로의 개폐 오동작을 방지하는 동시에 구동부의 구동동작을 수작업에 의해 신속하게 제어할 수 있는 효과를 제공한다.

Description

제어형 게이트 밸브{CONTROLLING GATE VALVE}
본 발명은 제어형 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 게이트 밸브의 개폐 동작이 원활하도록 제어하는 제어형 게이트 밸브에 관한 것이다.
일반적으로 LCD(liquid crystal display) 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정이나 패럴린 코팅과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업을 할 때에는 작업이 이루어지는 챔버의 내부의 공기를 제거하여 진공 환경을 형성한다. 이 경우, 적절한 진공도를 설정 및 유지하는 것이 중요한 데, 이 때 반드시 필요한 것이 진공 게이트 밸브이다.
진공 게이트 밸브는 챔버와 펌프를 연결하는 통로에 위치하여 통로를 개폐함으로써 진공상태를 유지 또는 해제하는 역할을 한다. 이러한 진공 게이트 밸브는 통상 하나의 구동판과 하나의 기밀판의 작동에 의해 챔버쪽으로 연결되는 통로를 밀폐시킴으로써 챔버의 기밀성을 유지하게 된다.
따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다. 따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있다.
특히 진공 게이트 밸브를 통하여 배출되는 진공챔버 내의 유체는 여러 가지 부산물이 포함된다. 이러한 부산물은 유체의 배출시 게이트 밸브의 개폐판을 구동하기 위한 엑츄에이터의 링크나 개폐판이 슬라이딩되는 하우징의 내벽에 지속적으로 부착되어 개폐판의 전후진 작동을 방해하게 되므로, 개폐판이 슬라이딩 되는 공간을 개폐하는 밀폐부재가 필요로 하였다.
그러나, 이러한 밀폐부재는 게이트 밸브의 유체통로의 내주부위에 승강하도록 설치되어 파우더와 같은 증착물이 부착되는 내주부위에 노출되므로, 밀폐부재의 승강동작에 이상이 발생하여 밀폐동작의 불량에 의해 유체통로의 기밀성이 저하되는 문제가 있었다.
이로 인해 게이트 밸브를 빈번하게 해체하여 세척하거나 클리닝해야하는 문제가 있었고, 유체통로의 개폐성능 및 밀폐성능의 저하로 인하여 여기에 연결되는 진공 반도체 설비에서의 처리공정에서도 처리불량을 제공하는 문제가 있었다.
대한민국 등록특허 제10-0717865호 (2007년 05월 14일) 대한민국 등록특허 제10-0544299호 (2006년 01월 23일) 대한민국 등록특허 제10-1494307호 (2015년 02월 23일)
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 유체통로의 냉각을 방지하고 이로 인한 유체통로의 개폐 오동작을 방지하는 동시에 구동부의 구동동작을 수작업에 의해 신속하게 제어할 수 있는 제어형 게이트 밸브를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 다양한 사이즈의 유체통로 또는 연통구간에 적용할 수 있고 밸브몸체부의 열전달 효율을 향상시킬 수 있는 제어형 게이트 밸브를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 개폐부와 구동부의 개폐동작의 오류시 수작업에 의해 신속하게 안전조치를 할 수 있는 제어형 게이트 밸브를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유체통로가 형성된 밸브몸체부(10)와, 상기 밸브몸체부(10)의 유체통로를 개폐하도록 상기 밸브몸체부(10)의 내부에 상기 유체통로를 향해 슬라이딩되는 개폐부(30)와, 상기 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되어 상기 개폐부(30)를 슬라이딩시키도록 링크기구를 구동시키는 구동부(40)를 구비한 게이트 밸브에 있어서, 상기 유체통로에 연통된 연통로 둘레 및 상기 유체통로 둘레 중 적어도 어느 하나에 설치되어 통로의 온도를 조절하는 온도제어부(60); 및 상기 구동부(40)에 설치되어 상기 개폐부(30)의 구동여부를 제어하는 구동제어부(70);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 온도제어부(60)는, 상기 통로의 외주면에 결합되어 있는 가열히터로 이루어져 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 상기 가열히터는, 상기 통로의 외주면에 결합된 링형상의 시스히터로 이루어져 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 구동제어부(70)는, 상기 구동부(40)의 외부에 설치되어 유공압기구에 제공되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절스위치로 이루어져 있는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 상기 압력조절스위치는, 수작업에 의해 유체의 압력을 조절하도록 토글스위치로 이루어져 있는 것을 특징으로 한다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 밸브몸체부의 유체통로에 온도제어부를 설치하고 구동부에 구동제어부를 설치함으로써, 유체통로의 냉각을 방지하고 이로 인한 유체통로의 개폐 오동작을 방지하는 동시에 구동부의 구동동작을 수작업에 의해 신속하게 제어할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 온도제어부의 가열히터로서 시스히터를 사용함으로써, 다양한 사이즈의 유체통로 또는 연통구간에 적용할 수 있고 밸브몸체부의 열전달 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 구동제어부로서 유공압기구에 제공되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절스위치를 구비하되 수작업에 의해 유체의 압력을 조절하도록 토글스위치로 이루어짐으로써, 개폐부와 구동부의 개폐동작의 오류시 수작업에 의해 신속하게 안전조치를 할 수 있는 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브의 구동제어부를 나타내는 구성도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브의 온도제어부를 나타내는 구성도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브의 온도제어부를 나타내는 정면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브를 나타내는 분해도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브를 나타내는 평면도.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 더욱 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브를 나타내는 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브의 구동제어부를 나타내는 구성도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브의 온도제어부를 나타내는 구성도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브의 온도제어부를 나타내는 정면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브를 나타내는 분해도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브를 나타내는 평면도이다.
도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의한 제어형 게이트 밸브는, 밸브몸체부(10), 하우징부(20), 개폐부(30), 구동부(40), 온도제어부(60) 및 구동제어부(70)를 포함하여 이루어져, 진공챔버와 진공펌프 사이에 형성된 유체통로를 개폐하도록 밸브몸체부(10)의 온도를 제어하는 동시에 구동부(40)의 개폐구동을 제어하는 제어형 게이트 밸브이다.
밸브몸체부(10)는, 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되어 게이트 밸브를 구성하며 일방에 유체통로가 형성된 사각 박스형상의 구조체로서, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이 상판(11), 하판(12), 제1 측판(13), 제2 측판(14), 제3 측판(15), 제4 측판(16)으로 이루어져 있다.
상판(11)은 밸브몸체부(10)의 상면을 구성하며 상판(11)의 일방에는 유체통로를 구성하는 연결통로(11a)가 형성되어 있고, 하판(12)은 밸브몸체부(10)의 하면을 구성하며 하판(12)의 일방에는 유체통로를 구성하는 연결통로(12a)가 형성되어 있다. 따라서, 상판(11)의 연결통로(11a)와 하판(12)의 연결통로(12a)는 밸브몸체부(10)의 유체통로를 구성하게 된다.
제1 측판(13)과 제4 측판(16)은 상판(11)과 하판(12) 사이에 결합되어 마주보도록 설치되며 밸브몸체부(10)의 일방 양쪽 측면을 구성하고, 제2 측판(14)과 제3 측판(15)은 상판(11)과 하판(12) 사이에 결합되어 마주보도록 설치되며, 밸브몸체부(10)의 타방 양쪽 측면을 구성하게 된다. 따라서 제1 측판(13), 제2 측판(14), 제3 측판(15), 제4 측판(16)는 상판(11)과 하판(12) 사이에 설치되어 전후좌우 각각의 측면을 구성하게 된다.
하우징부(20)는, 진공챔버와 진공펌프 사이에 게이트 밸브를 설치하기 위한 원통형상의 연결부재로서, 밸브몸체부(10)의 유체통로 일방에 결합된 제1 하우징(21)과, 유체통로의 타방에 결합된 제2 하우징(22)으로 이루어진다.
즉, 제1 하우징(21)은 진공챔버와 게이트 밸브를 연결하도록 밸브몸체부(10)의 상판(11)에 형성된 연결통로(11a)에 설치되어 유체통로와 연통되며, 제2 하우징(22)은 진공펌프와 게이트 밸브를 연결하도록 밸브몸체부(10)의 하판(12)에 형성된 연결통로(12a)에 설치되어 유체통로와 연통되어 있다.
개폐부(30)는 도 4, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 밸브몸체부(10)의 유체통로를 개폐하도록 밸브몸체부(10)의 내부에 유체통로를 향해 슬라이딩되도록 전후진 이동하는 개폐부재로서, 밀폐판(31), 지지판(32), 가이드판(33, 34), 가이드볼(35), 탄성재(36)로 이루어져 있다.
밀폐판(31)은, 개폐부(30)의 상부에 승강하도록 설치되어 밸브몸체부(10)에 형성된 유체통로의 일방, 즉 상판(11)에 형성된 연결통로(11a)에 밀착되는 판형상의 차단부재이다.
밀폐판(31)의 상면에는 상판(11)에 형성된 연결통로(11a)의 개폐시 밀폐력을 향상시키도록 고무 등과 같은 탄성재로 이루어진 O링(31a)이 끼움홈에 끼워맞춤되어 설치되고, 밀폐판(31)의 하면에는 상방으로 만곡형성된 가이드홈이 전후방에 각각 2개씩 총 4개가 형성되어 있다.
이러한 가이드홈은 하우징부(20) 방향의 경사기울기가 구동부(40) 방향의 경사기울기 보다 완만하게 형성되어, 여기에 설치되는 가이드볼(35)이 가이드홈의 하우징부 방향의 완만한 경사부위를 따라 밀폐판(31)의 판면으로 이동하게 되는 것이 바람직하다.
지지판(32)은, 개폐부(30)의 하부에 승강하도록 설치되어 밸브몸체부(10)에 형성된 유체통로의 타방, 즉 하판(12)에 형성된 연결통로(12a)와 밀착하여 개폐부(30)의 하부를 지지하는 링형상의 지지부재이다.
지지판(32)의 상면에는 밀폐판(31)과의 사이에 서로 당기는 탄지력을 부여하도록 코일스프링과 같은 탄성재(36)를 설치하기 위한 끼움편(32a)이 3개 형성되어 있고, 지지판(32)의 상면에는 하방으로 만곡형성된 가이드홈(32b)이 전후방에 각각 2개씩 총 4개가 형성되어 있다.
이러한 가이드홈(32b)은 하우징부(20) 방향의 경사기울기가 구동부(40) 방향의 경사기울기 보다 완만하게 형성되어, 여기에 설치되는 가이드볼(35)이 가이드홈(32b)의 하우징부 방향의 완만한 경사부위를 따라 지지판(32)의 판면으로 이동하게 되는 것이 바람직하다.
가이드판(33, 34)은 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에 설치되어 이들의 슬라이딩을 가이드하는 안내부재로서, 외부 가이드판(33)과 내부 가이드판(34)으로 이루어져 있다.
외부 가이드판(33)은 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에 삽입된 사각 형상의 판부재로서, 밸브몸체부(10)와 접촉하여 슬라이딩하도록 안내롤러(33a)가 양쪽 측단에 각각 2개씩 총 4개가 설치되어 있고, 외부 가이드판(33)의 내부 중앙부위에는 내부 가이드판(34)을 전후방으로 슬라이딩하도록 안내하는 사각형상의 안내홈(33b)이 천공형성되어 있다.
내부 가이드판(34)은 외부 가이드판(33)의 내부에 형성된 안내홈(33b)을 따라 슬라이딩하도록 안내홈(33b)에 삽입된 사각형상의 판부재로서, 내부 가이드판(34)의 상면 및 하면에는 가이드볼(35)을 회전가능하게 결합시키도록 결합홈(34a)이 전후면에 각각 4개씩 총 8개가 형성되어 있다.
또한, 내부 가이드판(34)의 상면에 형성된 결합홈(34a)은 밀폐판(31)의 가이드홈(31b)에 대응하도록 배치되어 있고, 내부 가이드판(34)의 하면에 형성된 결합홈(34a)은 지지판(32)의 가이드홈(32b)에 대응하도록 배치되어 있다.
내부 가이드판(34)의 일단에는 힌지핀을 개재해서 링크기구(43)가 결합되어, 구동부(40)로부터 구동력을 전달받아 밸브몸체부(10)의 유체통로를 개폐하도록 개폐부(30)에 구동력을 전달하게 된다.
가이드볼(35)은 내부 가이드판(34)의 결합홈(34a)에 회전가능하게 결합된 회전안내부재로서, 밀폐판(31)과 내부 가이드판(34) 사이 및 지지판(32)과 내부 가이드판(34) 사이에 각각 설치되어 이들 사이의 상하방향의 이격거리를 조절하게 된다.
즉, 내부 가이드판(34) 상면의 결합홈(34a)에 결합된 가이드볼(35)은 밀폐판(31)의 하면에 형성된 가이드홈(31b)의 완만한 경사면을 따라 밀폐판(31)의 하면으로 이동하여 밀폐판(31)과 내부 가이드판(34) 사이의 이격거리를 조정하게 되고, 내부 가이드판(34) 하면의 결합홈(34a)에 결합된 가이드볼(35)은 지지판(32)의 상면에 형성된 가이드홈(32b)의 완만한 경사면을 따라 지지판(32)의 상면으로 이동하여 지지판(32)과 내부 가이드판(34) 사이의 이격거리를 조정하게 된다.
탄성재(36)는 지지판(32)의 끼움편(32a)에 삽입 설치되어 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에 고정설치되므로, 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에서 이들을 서로 당기는 방향, 즉 내향으로 탄지하게 된다. 이러한 탄성재(36)로는 코일스프링을 사용하는 것이 바람직하다.
즉, 내부 가이드판(34)에 설치된 가이드볼(35)이 밀폐판(31)의 가이드홈과 지지판(32)의 가이드홈(32b)에서 이들의 판면으로 이동하여 이들 사이의 이격거리가 확장된 상태, 즉 밸브몸체부(10)의 유체통로를 폐쇄한 상태에서는 탄성재(36)가 이완되어 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에 내향의 탄지력이 부여된다.
따라서, 가이드볼(35)이 밀폐판(31)과 지지판(32)의 판면에서 이들의 가이드홈으로 이동하게 되면, 밀폐판(31)과 지지판(32)이 탄성재(36)의 내향 탄지력에 의해 서로 당겨지므로, 밸브몸체부(10)의 유체통로와 밀착상태에서 이격상태로 변경되어 밸브몸체부(10)의 유체통로를 개방하게 된다.
이와 같이, 본 실시예의 개폐부(30)는 밀폐판(31)과 유체통로 사이의 간극을 적절하게 조절하는 동시에 밀폐판(31)의 상면에 고무 등의 탄성재로 이루어진 O-링을 삽입하여 이들 사이의 밀폐력을 향상시키게 된다.
또한, 밀폐판(31)과 지지판(32) 사이에 서로 당기도록 설치된 탄성재(36)로서 코일스프링의 탄지력을 적절하게 조절하고, 가이드볼(35)이 안내되는 밀폐판(31)의 가이드홈과 지지판(32)의 가이드홈(32b)의 사이즈를 적절하게 조절함으로써, 가이드볼(35)이 가이드홈을 이탈하여 밀폐판(31) 및 지지판(32)의 판면으로 이동하여 밀폐판(31)과 내부 가이드판(34) 사이 및 지지판(32)과 내부 가이드판(34) 사이에 삽입되고 끼임상태로 유지되므로, 질소가스가 제거되어도 유체통로를 폐쇄상태로 유지하게 된다.
이와 같이 밀폐판(31)이 유체통로에 밀착하여 폐쇄상태를 유지하게 되는 이유는 O-링의 탄성력과, 탄성재(26)로서 코일스프링의 반발력과, 가이드볼(35)이 가이드홈을 완전한 이탈로 인하여 판 사이 간극의 여유공간을 완전히 제거하기 때문이다.
또한, 유체통로의 개방시에는 가이드홈으로부터 이탈한 가이드볼(35)이 가이드홈으로 복귀하는 미세한 작용력만 부여하면, 밀폐판(31)의 밀착이 해제되는 동시에 코일스프링의 반발력에 의해 개방상태로 전환된다.
이와 같이, 가이드볼(35)의 이동을 안내하는 가이드홈의 완만한 경사부위의 경사기울기는, 상하높이와 수평이동거리의 비율이 1:4∼1:5로 유지되는 것이 바람직하며, 그 이유는 가이드볼(35)의 이동을 원활하게 하는 동시에 밀폐판(31)의 승강높이에 따른 밀폐력을 유지할 수 있기 때문이다.
특히, 밀폐판(31)의 최적의 밀폐상태를 유지하기 위해서는, 가이드홈의 완만한 경사부위의 상하높이와 수평이동거리의 비율을 1:4.6 으로 유지하는 것이 더욱 바람직하다.
따라서, 유체통로의 밀폐시 질소가스가 제거되어도 밀폐판의 밀폐력을 유지할 수 있는 효과를 제공한다.
구동부(40)는 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되어 개폐부(30)를 슬라이딩시키는 액츄에이터로서, 유공압기구(41), 벨로우즈(42), 링크기구(43)로 이루어져 있다.
유공압기구(41)는 실린더와 피스톤으로 이루어지며 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되며 별도의 유공압설비에 접속되어 이들의 제어에 의해 직선왕복운동을 하게 되며, 피스톤의 단부에는 링크기구(43)가 연결되어 피스톤의 왕복운동을 개폐부(30)로 전달하게 된다.
벨로우즈(41)는, 유공압기구(41)와 링크기구(43) 사이에 연통 설치되어, 유공압기구(41)의 피스톤이 직선왕복운동하는 슬라이딩 공간을 형성하는 동시에 슬라이딩 공간을 신축하도록 유지하게 된다.
이러한 링크기구(43)는 피스톤의 선단에 힌지핀을 개재해서 연결된 제1 링크(43a)와, 이 제1 링크(43a)가 중간부위에 힌지결합되어 일단에 설치된 회전축에 의해 선회하는 제2 링크(43b)와, 이 제2 링크(43b)의 타단에 힌지 결합되며 일단이 개폐부(30)의 내부 가이드판(34)에 힌지결합된 제3 링크(43c)로 이루어져 있다.
온도제어부(60)는, 밸브몸체부(10)의 유체통로의 둘레 및 유체통로에 연통된 하우징부(20)의 연통로 둘레 중 적어도 어느 하나에 설치되어 유체통로의 온도를 제어하는 온도조절수단으로서, 통로의 외주면에 결합되어 있는 가열히터(61)와 히터커버(62)로 이루어져 있다.
가열히터(61)는, 유체통로의 외주면이나 연통로의 외주면에 결합된 히터로서, 금속보호관에 전열선을 코일(Coil) 형상으로 내장하고, 열전도율과 절연성이 우수한 산화마그네슘(MgO)과 함께 충진 압축함으로써 외부의 물리적인 충격에도 견고하고 전기 열에너지의 열효율을 높이면서 다양한 모양으로 용도에 따라 적절히 가공할 수 있는 시스히터(sheath heater)를 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 시즈히터는 파이프 내부에 열선을 코일링하여 전기절연성과 열전도성이 뛰어난 고순도 산화마그네슘을 고압으로 충진하므로, 외부의 기계적인 충격이나 진동에 견고하여 수명이 길며, 고온상태에서의 사용에도 절연저하가 없어 전기적으로 매우 안전하게 된다.
특히, 가열히터(61)는 코일형상의 히터로서, 밸브몸체부(10)의 제1 측판(13), 제2 측판(14), 제3 측판(15)의 외부 둘레에 각각의 히터커버(62)를 개재해서 연장설치되어, 밸브몸체부(10)의 유체통로의 외곽둘레를 가열하게 된다.
또한, 이러한 가열히터(61)는 링형상의 히터로서, 하우징부(20)의 상부 연통로 또는 하부 연통로 둘레에 형성된 끼움홀에 삽입되어 하우징부(20)의 연통로 둘레를 가열하게 된다.
따라서, 밸브몸체부(10)의 유체통로나 하우징부(20)의 연통로 가 냉각되는 경우에 이러한 가열히터(61)에 의해 연통로를 직접 가열하여 여기에 파우더 및 이물질 등의 부착을 방지하게 된다.
구동제어부(70)는, 구동부(40)의 측면 일방에 설치되어 개폐부(30)의 구동여부를 제어하는 개폐구동제어수단으로서, 구동부(40)의 외부에 설치되어 유공압기구에 제공되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절스위치로 이루어져 있는 것이 바람직하다.
이러한 압력조절스위치로는, 수작업에 의해 구동부(40)에 제공되는 유체의 압력을 조절하도록 유체의 공급여부를 단속하는 토글스위치로 이루어져 있는 것이 더욱 바람직하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 밸브몸체부의 유체통로에 온도제어부를 설치하고 구동부에 구동제어부를 설치함으로써, 유체통로의 냉각을 방지하고 이로 인한 유체통로의 개폐 오동작을 방지하는 동시에 구동부의 구동동작을 수작업에 의해 신속하게 제어할 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 온도제어부의 가열히터로서 시스히터를 사용함으로써, 다양한 사이즈의 유체통로 또는 연통구간에 적용할 수 있고 밸브몸체부의 열전달 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 구동제어부로서 유공압기구에 제공되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절스위치를 구비하되 수작업에 의해 유체의 압력을 조절하도록 토글스위치로 이루어짐으로써, 개폐부와 구동부의 개폐동작의 오류시 수작업에 의해 신속하게 안전조치를 할 수 있는 효과를 제공한다.
이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다.
10: 밸브몸체부 20: 하우징부
30: 개폐부 40: 구동부
60: 온도제어부 70: 구동제어부

Claims (5)

  1. 유체통로가 형성된 밸브몸체부(10)와, 상기 밸브몸체부(10)의 유체통로를 개폐하도록 상기 밸브몸체부(10)의 내부에 상기 유체통로를 향해 슬라이딩되는 개폐부(30)와, 상기 밸브몸체부(10)의 일단에 설치되어 상기 개폐부(30)를 슬라이딩시키도록 링크기구를 구동시키는 구동부(40)를 구비한 게이트 밸브에 있어서,
    상기 유체통로에 연통된 연통로 둘레 및 상기 유체통로 둘레 중 적어도 어느 하나에 설치되어 통로의 온도를 조절하는 온도제어부(60); 및
    상기 구동부(40)에 설치되어 상기 개폐부(30)의 구동여부를 제어하는 구동제어부(70);를 포함하는 것을 특징으로 하는 제어형 게이트 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 온도제어부(60)는, 상기 통로의 외주면에 결합되어 있는 가열히터로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 제어형 게이트 밸브.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 가열히터는, 상기 통로의 외주면에 결합된 링형상의 시스히터로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 제어형 게이트 밸브.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동제어부(70)는, 상기 구동부(40)의 외부에 설치되어 유공압기구에 제공되는 유체의 압력을 조절하는 압력조절스위치로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 제어형 게이트 밸브.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 압력조절스위치는, 수작업에 의해 유체의 압력을 조절하도록 토글스위치로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 제어형 게이트 밸브.
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