KR20180005792A - System and Method for for measuring density of chemical solution and Measuring method for level of chemical solution using the same - Google Patents

System and Method for for measuring density of chemical solution and Measuring method for level of chemical solution using the same Download PDF

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Abstract

The present invention provides a system and a method for measuring the density of a chemical solution and a method for measuring the level of a chemical solution. The system for measuring the density of a chemical solution comprises: a chemical solution measurement pipe connected to a chemical solution tank containing a chemical solution with density changed as time passes and filled with the chemical solution of the chemical solution tank; a first introduction pipe having a lower end opened to a first position in an inner space of the chemical solution measurement pipe and guiding gas supplied to the inside of the chemical solution to the inner space of the chemical solution measurement pipe; a second introduction pipe having a lower end opened to a second position, which is higher than the first position as high as the first height, of the inner space of the solution measurement pipe and guiding the gas to the inner space of the solution measurement pipe; a first gas supply unit supplying the gas to the first introduction pipe to measure the pressure of the chemical solution at the first position; a second gas supply unit supplying the gas to the second introduction pipe to measure a pressure of the chemical solution at the second position; and a control unit calculating density of the chemical solution based on a first pressure when gas is discharged from the first introduction pipe while pushing the chemical solution at the first position, a second pressure when gas is discharged from the second introduction tube while pushing the chemical solution at the second position, and at an interval with the first height.

Description

약액 밀도 측정 시스템, 약액 밀도측정방법 및 이를 이용한 약액 레벨 측정방법{System and Method for for measuring density of chemical solution and Measuring method for level of chemical solution using the same}TECHNICAL FIELD The present invention relates to a chemical liquid density measurement system, a chemical liquid density measurement method, and a chemical liquid level measurement method using the chemical liquid density measurement system,

본 발명은 약액 밀도 측정시스템, 약액 밀도 측정방법 및 이를 이용한 약액 레벨 측정방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 실시간으로 변하는 약액의 밀도를 연속적이면서도 정확하게 측정할 수 있는 약액 밀도 측정시스템, 약액 밀도 측정방법 및 이를 이용한 약액 레벨 측정방법에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid density measuring system, a chemical liquid density measuring method and a chemical liquid level measuring method using the same, and more particularly, to a chemical liquid density measuring system capable of continuously and accurately measuring the density of a chemical liquid changing in real time, And a method for measuring a chemical liquid level using the same.

일반적으로 약액 탱크 내에 저장된 약액의 수위 레벨(Level)을 측정하기 위해서 다양한 종류의 센서(Sensor)를 사용할 수 있는데, 센서를 이용하여 수위 레벨을 측정하는 방법은 측정 대상과의 접촉 여부에 따라 접촉식 측정방법과 비접촉식 측정 방법으로 구분될 수 있다. Generally, various kinds of sensors can be used to measure the level of the chemical liquid stored in the chemical liquid tank. The method of measuring the level by using the sensor is a contact type Measurement method and non-contact type measurement method.

접촉식 측정 방법으로는, 예로 들어 레벨 센서(Level Sensor)를 사용할 수 있는데, 이러한 접촉식 측정 방법을 이용하는 경우, 유독성이나 부식성이 강한 특정 약액의 경우 센서의 노출 부분이 부식되어 불순물이 약액에 흡수되어 순도를 떨어뜨리게 되고, 약액의 유해 성분이 노출되어 안정성에 문제가 발생할 수 있다.As a contact type measurement method, for example, a level sensor can be used. When such a contact type measuring method is used, in the case of a specific chemical solution having high toxicity or corrosiveness, the exposed portion of the sensor is corroded and impurities are absorbed The purity is lowered, and harmful components of the chemical liquid are exposed, which may cause problems in stability.

비접촉식 측정 방법으로는, 예를 들어, 정전용량형 센서를 이용할 수 있는데, 보통 약액 탱크의 상하부를 연결하는 튜브관 상의 적절한 위치에 다수개의 정전용량형 센서를 설치하여 위치별로 약액의 유무를 검출하는 레벨 트리(Level tree) 방식을 사용할 수 있다. 그러나, 이러한 방식으로는 약액 탱크 내부의 약액의 수위 레벨을 정확하게 측정하기 어렵다.As a non-contact type measuring method, for example, a capacitance type sensor can be used. In general, a plurality of capacitance type sensors are provided at appropriate positions on a tube tube connecting upper and lower portions of a chemical liquid tank, A level tree method can be used. However, in this manner, it is difficult to accurately measure the level of the chemical liquid in the chemical liquid tank.

특히, 종래의 레벨 센서들은 약액의 성분이 시간에 따라 변함으로 인하여 약액의 밀도가 변하는 경우에는 상당한 오차가 발생하게 되는 문제점을 가진다.Particularly, the conventional level sensors have a problem that a considerable error occurs when the density of the chemical liquid changes due to the change of the chemical liquid components with time.

대한민국 공개특허공보 10-2009-0124757호(발명의 명칭: 약액 탱크용 레벨 측정장치, 공개일: 2009년 12월 3일)Korean Patent Laid-Open No. 10-2009-0124757 (entitled "Level Measuring Apparatus for Chemical Tanks", Disclosure Date: December 3, 2009)

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 실시간으로 변하는 약액의 밀도를 연속적이면서도 정확하게 측정할 수 있는 약액 밀도 측정시스템, 약액 밀도 측정방법 및 이를 이용한 약액 레벨 측정방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a chemical liquid density measuring system, a chemical liquid density measuring method, and a chemical liquid level measuring method using the same, which can continuously and accurately measure the density of a chemical liquid changing in real time.

상술한 본 발명의 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 시간에 따라 밀도가 변하는 약액이 담겨진 약액조와 연통되어 상기 약액조의 약액이 채워지는 약액 측정관; 하단부가 상기 약액 측정관의 내부공간 중 제1 위치에 개방되어 있으며, 상기 약액 내부로 공급되는 기체를 상기 약액 측정관의 내부공간으로 안내하기 위한 제1 유입관; 하단부가 상기 약액 측정관의 내부공간 중 상기 제1 위치보다 제1 높이간격만큼 높게 위치하는 제2 위치에 개방되어 있으며, 상기 약액 측정관의 내부공간으로 상기 기체를 안내하기 위한 제2 유입관; 상기 제1 위치에서 약액의 압력을 측정하기 위하여 상기 제1 유입관으로 상기 기체를 공급하기 위한 제1 기체공급유닛; 상기 제2 위치에서 약액의 압력을 측정하기 위하여 제2 유입관으로 상기 기체를 공급하기 위한 제2 기체공급유닛; 그리고, 상기 제1 유입관에서 배출되는 기체가 상기 제1 위치에서의 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제1 압력과, 상기 제2 유입관에서 배출되는 기체가 제2 위치에서의 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제2 압력과, 상기 제1 높이간격을 바탕으로 상기 약액의 밀도를 계산하는 제어유닛을 포함하는 약액밀도 측정시스템을 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a chemical solution measuring tube in which a chemical solution of the chemical solution tank is filled with a chemical solution tank containing a chemical solution whose density changes with time, A first inlet pipe for opening a lower portion of the inner space of the chemical solution measuring tube to a first position and for guiding the gas supplied into the chemical solution into the inner space of the chemical solution measuring tube; A second inlet pipe for opening the second end of the internal space of the chemical solution measuring tube to a second position located higher than the first position by a first height interval and guiding the gas into the internal space of the chemical solution measuring tube; A first gas supply unit for supplying the gas to the first inflow pipe to measure the pressure of the chemical liquid at the first position; A second gas supply unit for supplying the gas to the second inlet pipe to measure the pressure of the chemical liquid at the second position; The first pressure when the gas discharged from the first inlet pipe is discharged while pushing out the chemical solution at the first position and the first pressure when the gas discharged from the second inlet pipe push the chemical solution at the second position A second pressure at the time of discharge, and a control unit for calculating the density of the chemical liquid based on the first height interval.

상기 제어유닛은 하기의 [수학식 1]을 바탕으로 상기 약액의 밀도를 계산할 수 있다.The control unit can calculate the density of the chemical liquid based on the following equation (1).

[수학식 1][Equation 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

여기서, ρ는 밀도, g는 중력가속도,△P는 제1 압력과 제2 압력의 차이, △H는 제1 높이간격.Where p is the density, g is the gravitational acceleration, DELTA P is the difference between the first pressure and the second pressure, and DELTA H is the first height spacing.

상기 제1 기체공급유닛은 상기 제1 유입관으로 상기 기체를 공급하기 위한 제1 기체공급부와, 상기 제1 기체공급부와 상기 제1 유입관을 연결하는 제1 공급라인과, 상기 제1 공급라인 상에 배치되어 상기 기체의 흐름을 제어하는 제1 제어밸브를 포함할 수 있다.The first gas supply unit includes a first gas supply unit for supplying the gas to the first inflow pipe, a first supply line for connecting the first gas supply unit and the first inflow pipe, And a first control valve disposed on the first control valve to control the flow of the gas.

상기 제2 기체공급유닛은 상기 제2 유입관으로 상기 기체를 공급하기 위한 제2 기체공급부와, 상기 제2 기체공급부와 상기 제2 유입관을 연결하는 제2 공급라인과, 상기 제2 공급라인 상에 배치되어 상기 기체의 흐름을 제어하는 제2 제어밸브를 포함할 수 있다.The second gas supply unit includes a second gas supply unit for supplying the gas to the second inlet pipe, a second supply line for connecting the second gas supply unit and the second inlet pipe, And a second control valve disposed on the second control valve to control the flow of the gas.

또한, 상기 약액 밀도 측정시스템은 상기 제1 기체공급유닛 상에 배치되어 상기 제1 유입관으로 유입되는 기체에 의한 약액의 버블링 주기를 확인하기 위한 제1 센서; 그리고, 상기 제2 기체공급유닛 상에 배치되어 상기 제2 유입관으로 유입되는 기체에 의한 약액의 버블링 주기를 확인하기 위한 제2 센서를 더 포함할 수 있다.The chemical liquid density measuring system may further include a first sensor disposed on the first gas supply unit for checking the bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the first inlet pipe; The apparatus may further include a second sensor disposed on the second gas supply unit for checking the bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the second inlet pipe.

상기 제어유닛은 상기 제1 센서에서 측정되는 약액의 제1 버블링 주기와 상기 제2 센서에서 측정되는 약액의 제2 버블링 주기를 바탕으로 상기 제1 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제1 유량과 상기 제2 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제2 유량을 예측하고, 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위를 벗어나는 지를 판단할 수 있다.Wherein the control unit controls the first flow rate of the gas flowing through the first inflow pipe based on the first bubbling period of the chemical liquid measured by the first sensor and the second bubbling period of the chemical liquid measured by the second sensor, And the second flow rate of the gas flowing through the second inlet pipe, and determine whether the first flow rate and the second flow rate are out of the respective allowable ranges.

또한, 상기 제어유닛은 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 실질적으로 동일한 값을 가지는 지를 판단하고, 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 서로 다른 값을 가지는 경우에 상기 제1 제어밸브와 상기 제2 제어밸브 중 적어도 하나에 의하여 기체의 유량이 조절될 수 있다.The control unit may determine whether the first flow rate and the second flow rate have substantially the same value, and when the first flow rate and the second flow rate have different values, The flow rate of the gas can be adjusted by at least one of the second control valves.

또한, 상기 약액 밀도 측정시스템은 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위를 벗어나는 상태를 외부로 알리기 위한 알람수단을 더 포함할 수 있다.The chemical liquid density measuring system may further include alarm means for informing the outside of the state that the first flow rate and the second flow rate are out of the respective allowable ranges.

본 발명의 다른 실시 형태에 의하면, 본 발명은 상술한 약액 밀도 측정시스템을 사용하여 약액의 밀도를 측정하는 방법에 있어서, 상기 약액 측정관에 상기 제1 유입관의 하단부와 상기 제2 유입관의 하단부가 상기 제1 높이간격을 가지도록 배치하는 단계; 상기 제1 압력과 상기 제2 압력을 측정하는 단계; 그리고, 상기 제1 압력, 상기 제2 압력 및 상기 제1 높이간격을 바탕으로 상기 약액의 밀도를 계산하는 단계를 포함하는 약액 밀도 측정방법을 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for measuring the density of a chemical liquid using the above-described chemical liquid density measuring system, wherein the lower end of the first inlet pipe and the second inlet pipe Arranging the lower end portion to have the first height interval; Measuring the first pressure and the second pressure; And calculating the density of the chemical liquid based on the first pressure, the second pressure, and the first height interval.

상기 약액 밀도 측정방법은 상기 제1 유입관으로 유입되는 기체에 의한 약액의 제1 버블링 주기를 측정함과 동시에 상기 제2 유입관으로 유입되는 기체에 의한 약액의 제2 버블링 주기를 측정하는 단계; 상기 제1 버블링 주기와 상기 제2 버블링 주기를 바탕으로 상기 제1 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제1 유량과 상기 제2 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제2 유량을 예측하는 단계; 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위에 존재하는지를 판단하는 단계; 그리고, 상기 제1 유량과 상기 제2 유량 중 적어도 어느 하나가 각각의 허용범위를 벗어나는 경우에 상기 제1 유입관과 연결된 제1 제어밸브와 상기 제2 유입관과 연결된 제2 제어밸브 중 적어도 하나를 제어하여 기체의 유량을 조절하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method of measuring the chemical liquid density may include measuring a first bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the first inlet pipe and measuring a second bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the second inlet pipe step; Predicting a first flow rate of the gas flowing through the first inlet pipe and a second flow rate of the gas flowing through the second inlet pipe based on the first bubbling period and the second bubbling period; Determining whether the first flow rate and the second flow rate are within respective allowable ranges; At least one of the first control valve connected to the first inflow pipe and the second control valve connected to the second inflow pipe when at least one of the first flow rate and the second flow rate is out of the respective allowable range And controlling the flow rate of the gas by controlling the flow rate of the gas.

또한, 상기 약액 밀도 측정방법은 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위를 벗어나는 경우에 해당 상태를 외부로 알리기 위한 알람단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the method may further include an alarm step for informing the state to the outside when the first flow rate and the second flow rate are out of the respective allowable ranges.

본 발명의 또 다른 실시 형태에 의하면, 본 발명은 상술한 약액 밀도 측정방법을 사용하여 약액의 레벨을 측정하는 방법에 있어서, 하기의 [수학식 1]에 따라 상기 약액의 밀도를 계산하는 단계; 그리고, 상기 약액의 밀도를 바탕으로 하기의 [수학식 2]에 따라 상기 약액의 레벨을 계산하는 단계를 포함하는 약액 레벨 측정방법을 제공한다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a method of measuring the level of a chemical liquid using the above-described chemical liquid density measuring method, comprising the steps of: calculating the density of the chemical liquid according to Equation 1 below; And calculating the level of the chemical liquid according to the following equation (2) based on the density of the chemical liquid.

[수학식 1][Equation 1]

Figure pat00002
Figure pat00002

여기서, ρ는 밀도, g는 중력가속도,△P는 제1 압력과 제2 압력의 차이, △H는 제1 높이간격이고,Here, ρ is the density, g is the gravitational acceleration, ΔP is the difference between the first pressure and the second pressure, ΔH is the first height spacing,

[수학식 2]&Quot; (2) "

Figure pat00003
Figure pat00003

여기서, H는 약액의 레벨, ρ는 밀도, g는 중력가속도, P2는 상기 제2 유입관에서 배출되는 기체가 제2 위치에서의 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제2 압력이다.Here, H is the level of the chemical liquid, p is the density, g is the gravitational acceleration, and P 2 is the second pressure when the gas discharged from the second inflow pipe pushes out the chemical solution at the second position.

본 발명에 따른 약액 밀도 측정시스템, 약액 밀도 측정방법 및 약액 레벨 측정방법은 다음과 같은 효과가 있다.The chemical liquid density measuring system, the chemical liquid density measuring method and the chemical liquid level measuring method according to the present invention have the following effects.

첫째, 약액 측정관에 제1 유입관의 하단부와 제2 유입관의 하단부가 제1 높이간격을 가지도록 배치되고, 제1 유입관에서 기체가 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제1 압력과 제2 유입관에서 기체가 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제2 압력 및 상기 제1 높이간격을 바탕으로 시간에 따라 변하는 약액의 밀도를 실시간으로 간단하게 측정할 수 있는 이점이 있다. 뿐만 아니라, 상기 약액의 밀도를 바탕으로 상기 약액의 레벨을 간단하게 측정할 수 있는 이점이 있다.First, the lower end of the first inlet pipe and the lower end of the second inlet pipe are arranged to have a first height interval in the chemical solution measuring tube, and the first pressure when the gas is discharged while pushing the chemical liquid in the first inlet pipe, There is an advantage that the density of the chemical liquid which changes with time based on the second pressure and the first height interval when the gas is discharged while pushing out the chemical liquid from the inlet pipe 2 can be simply measured in real time. In addition, there is an advantage that the level of the chemical liquid can be simply measured based on the density of the chemical liquid.

둘째, 제1 유입관으로 유입되는 기체에 의한 약액의 제1 버블링 주기와 제2 유입관으로 유입되는 기체에 의한 약액의 제2 버블링 주기를 측정하고, 상기 제1 버블링 주기와 상기 제2 버블링 주기를 바탕으로 상기 제1 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제1 유량과 상기 제2 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제2 유량을 예측하여 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 동일하도록 제어함으로써 유량차이로 인한 약액 밀도의 오차를 줄일 수 있는 이점이 있다.Second, the first bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the first inlet pipe and the second bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the second inlet pipe are measured, and the first bubbling period and the second bubbling period A first flow rate of the gas flowing through the first inflow pipe and a second flow rate of the gas flowing through the second inflow pipe are predicted based on the two bubbling cycles so that the first flow rate and the second flow rate are the same So that there is an advantage that the error of the chemical liquid density due to the flow rate difference can be reduced.

셋째, 본 발명에 따른 약액 밀도 측정시스템을 사용함으로써 고가의 유량계 또는 유량 레귤레이터를 대체할 수 있게 되어 이로 인한 비용을 줄일 수 있는 이점이 있다.Third, by using the chemical liquid density measuring system according to the present invention, it is possible to replace an expensive flow meter or a flow rate regulator, thereby reducing the cost.

도 1은 본 발명에 따른 약액 밀도 측정 시스템의 요부 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 약액 밀도 측정방법 및 약액 레벨 측정방법에 대한 흐름을 나타낸 도면이다.
도 3은 약액 측정관으로 공급되는 기체로 인한 약액의 압력변화를 시간에 따라 나타낸 도면이다.
도 4는 약액 측정관으로 공급되는 기체의 유량과 버블링 주기의 관계를 나타내는 도면이다.FIG. 1 is a view showing the essential structure of a chemical liquid density measuring system according to the present invention.
FIG. 2 is a flowchart illustrating a method of measuring a chemical liquid density and a method of measuring a chemical liquid level according to the present invention.
3 is a graph showing a change in pressure of the chemical liquid due to the gas supplied to the chemical liquid measurement tube with time.
4 is a view showing the relationship between the flow rate of the gas supplied to the chemical liquid measurement tube and the bubbling period.

이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention in which the above-mentioned problems to be solved can be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the embodiments, the same names and the same symbols are used for the same configurations, and additional description therefor will be omitted below.

도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명에 따른 약액 밀도 측정시스템, 약액 밀도 측정방법 및 약액 레벨 측정방법을의 일 실시 예를 설명하면 다음과 같다.1 to 4, one embodiment of a chemical liquid density measuring system, a chemical liquid density measuring method, and a chemical liquid level measuring method according to the present invention will be described as follows.

본 실시 에에 따른 약액 밀도 측정시스템은 약액 측정관(100), 제1 유입관(210), 제2 유입관(220), 제1 기체공급유닛, 제2 기체공급유닛, 제1 센서(310), 제2 센서(320), 알람수단(미도시) 및 제어유닛(미도시)를 포함한다.The chemical liquid density measuring system according to this embodiment includes a chemical solution measuring tube 100, a first inlet pipe 210, a second inlet pipe 220, a first gas supplying unit, a second gas supplying unit, a first sensor 310, A second sensor 320, an alarm means (not shown), and a control unit (not shown).

상기 약액 측정관(100)은 시간에 따라 밀도가 변하는 약액이 담겨진 약액조와 연통되어 상기 약액조의 약액이 채워지게 된다.The chemical solution measuring tube 100 communicates with the chemical solution tank containing the chemical solution whose density changes with time, and the chemical solution of the chemical solution tank is filled.

상기 제1 유입관(210)은 하단부가 상기 약액 측정관(100)의 내부공간 중 제1 위치에 개방되어 있다. 상기 제1 유입관(210)은 상기 제1 기체공급유닛에서 공급되는 기체를 상기 약액 측정관(100)의 내부공간으로 안내하게 된다.The lower end of the first inlet pipe 210 is opened at a first position of the inner space of the chemical solution measuring tube 100. The first inlet pipe 210 guides the gas supplied from the first gas supply unit to the inner space of the chemical solution measuring tube 100.

상기 제1 유입관(210)으로 기체가 유입되면, 상기 제1 유입관(210)의 끝단에서 상기 기체가 상기 약액 측정관(100)의 내부공간에 수용된 약액을 밀어내면서 버블을 형성하게 되고, 상기 버블의 생성으로 인하여 상기 제1 센서(310)에서 측정되는 약액의 압력은 시간에 따라 주기적으로 변하게 된다.When the gas is introduced into the first inlet pipe 210, the gas at the end of the first inlet pipe 210 pushes the chemical solution contained in the inner space of the chemical solution measuring tube 100 to form bubbles, Due to the generation of the bubble, the pressure of the chemical liquid measured by the first sensor 310 changes periodically with time.

여기서, 상기 제1 유입관(210)의 기체에 의한 상기 버블의 생성으로 인하여 상기 약액의 압력이 시간에 따라 변하는 주기를 제1 버블링 주기라 한다.Here, the period in which the pressure of the chemical liquid changes with time due to the generation of the bubbles by the gas of the first inlet pipe 210 is referred to as a first bubbling period.

상기 제2 유입관(220)은 하단부가 상기 약액 측정관(100)의 내부공간 중 상기 제1 위치보다 제1 높이간격(△H)만큼 높게 위치하는 제2 위치에 개방되어 있다. 상기 제2 유입관(220)은 상기 제2 기체공급유닛에서 공급되는 기체를 상기 약액 측정관(100)의 내부공간으로 안내하게 된다.The second inlet pipe 220 is opened at a second position in which the lower end of the second inlet pipe 220 is located at an inner height of the chemical solution measuring tube 100 by a first height interval ΔH from the first position. The second inflow pipe 220 guides the gas supplied from the second gas supply unit to the inner space of the chemical solution measuring tube 100.

마찬가지로, 상기 제2 유입관(220)으로 기체가 유입되면, 상기 제2 유입관(220)의 끝단에서 상기 기체가 상기 약액 측정관(100)의 내부공간에 수용된 약액을 밀어내면서 버블을 형성하게 되고, 상기 버블의 생성으로 인하여 상기 제2 센서(320)에서 측정되는 약액의 압력은 시간에 따라 제2 버블링 주기를 가지면서 변하게 된다.Similarly, when the gas is introduced into the second inlet pipe 220, the gas at the end of the second inlet pipe 220 pushes the chemical solution contained in the inner space of the chemical solution measuring tube 100 to form a bubble And the pressure of the chemical liquid measured by the second sensor 320 due to the generation of the bubbles changes with the second bubbling period according to time.

상기 제1 기체공급유닛은 상기 제1 위치에서 약액의 압력을 측정하기 위하여 상기 제1 유입관(210)으로 상기 기체를 공급하게 되고,상기 제2 기체공급유닛은 상기 제2 위치에서 약액의 압력을 측정하기 위하여 상기 제2 유입관(220)으로 상기 기체를 공급하게 된다. 여기서, 상기 기체로는 씨디에이(CDA:Clean Dry Air)나 질소 등이 사용될 수 있다. Wherein the first gas supply unit is configured to supply the gas to the first inflow pipe (210) to measure the pressure of the chemical liquid at the first position, and the second gas supply unit And the gas is supplied to the second inlet pipe 220 to measure the gas. Here, as the substrate, CDA (Clean Dry Air) or nitrogen may be used.

구체적으로, 상기 제1 기체공급유닛은 상기 제1 유입관(210)으로 상기 기체를 공급하기 위한 제1 기체공급부(510)와, 상기 제1 기체공급부(510)와 상기 제1 유입관(210)을 연결하는 제1 공급라인(411)과, 상기 제1 공급라인(411) 상에 배치되어 상기 기체의 흐름을 제어하는 제1 제어밸브(410)를 포함한다.The first gas supply unit includes a first gas supply unit 510 for supplying the gas to the first inlet pipe 210 and a second gas supply unit 510 for supplying the first gas supply unit 510 and the first inlet pipe 210 And a first control valve 410 disposed on the first supply line 411 to control the flow of the gas.

또한, 상기 제2 기체공급유닛은 상기 제2 유입관(220)으로 상기 기체를 공급하기 위한 제2 기체공급부(520)와, 상기 제2 기체공급부(520)와 상기 제2 유입관(220)을 연결하는 제2 공급라인(421)과, 상기 제2 공급라인(421) 상에 배치되어 상기 기체의 흐름을 제어하는 제2 제어밸브(420)를 포함한다.The second gas supply unit includes a second gas supply unit 520 for supplying the gas to the second gas supply pipe 220 and a second gas supply unit 520 for supplying the second gas supply unit 520 and the second gas supply pipe 220, And a second control valve 420 disposed on the second supply line 421 for controlling the flow of the gas.

상기 제1 센서(310)는 상기 제1 기체공급유닛, 즉 상기 제1 공급라인(411) 상에 배치되어 상기 제1 유입관(210)으로 유입되는 기체에 의한 제1 버블링 주기를 확인하게 된다.The first sensor 310 checks the first bubbling period by the first gas supply unit, that is, the first bubbling period, which is disposed on the first supply line 411 and is introduced into the first inflow pipe 210 do.

구체적으로, 상기 제1 센서(310)는 상기 기체의 유입으로 인하여 시간에 따라 변하는 상기 제1 위치에서의 약액에 대한 압력을 측정하게 된다.Specifically, the first sensor 310 measures the pressure of the chemical liquid at the first position, which changes with time due to the inflow of the gas.

여기서, 상기 기체의 유량이 낮은 경우에는 상기 기체로 인한 버블링이 원활하지 않아 압력이 상승하는 오류가 발생할 수 있고, 상기 기체의 유량이 빠른 경우에는 상기 제1 센서의 응답시간보다 상기 제1 버블링 주기가 높아서 측정신호의 옵셋(Offset)이 발생하게 되고, 이로 인하여 정확도가 떨어지게 된다.Here, when the flow rate of the gas is low, bubbling due to the gas may not be performed smoothly and an error may occur that the pressure rises. If the flow rate of the gas is high, the first bubble The offset of the measurement signal is generated due to a high ring period, which results in a decrease in accuracy.

따라서, 상기 제1 유입관(210)을 통하여 유입되는 기체의 유량은 제1 허용범위에 존재하여야 한다.Therefore, the flow rate of the gas flowing through the first inlet pipe 210 should be within the first allowable range.

도 3의 (a)는 기체의 유량이 30cc/min 일 때 상기 제1 센서(310)에서 측정되는 약액의 제1 위치에서의 압력변화를 나타내며, 도 3의 (b)는 기체의 유량이 40cc/min 일 때 상기 제1 센서(310)에서 측정되는 약액의 제1 위치에서의 압력변화를 나타내는데, 기체의 유량이 증가할수록 며, 제1 버블링 주기가 짧아짐을 알 수 있다. 3 (a) shows the pressure change at the first position of the chemical liquid measured by the first sensor 310 when the flow rate of the gas is 30 cc / min, and FIG. 3 (b) / min, a change in pressure at a first position of the chemical liquid measured by the first sensor 310 is shown. As the flow rate of the gas increases, the first bubbling period becomes shorter.

또한, 도 4를 참조하면, 기체의 유량이 20cc/min 일 때 제1 버블링 주기는 1.36 sec이고, 기체의 유량이 40cc/min 일 때 제1 버블링 주기는 0.92 sec이며, 기체의 유량이 60cc/min 일 때 제1 버블링 주기는 0.527 sec로 나타나는데, 제1 버블링 주기와 기체의 유량은 선형관계에 있음을 알 수 있다.4, when the flow rate of the gas is 20 cc / min, the first bubbling period is 1.36 sec. When the flow rate of the gas is 40 cc / min, the first bubbling period is 0.92 sec. At 60cc / min, the first bubbling period is 0.527 sec. It can be seen that the first bubbling period and the gas flow rate are in a linear relationship.

여기서, 상기 제1 버블링 주기는 상기 제1 센서(310)에서 측정되는 압력 파형이 일정한 형상을 가진 상태에서 상기 제1 센서의 응답시간을 고려하여 설정되는 것이 바람직하다.Here, the first bubbling period may be set in consideration of a response time of the first sensor in a state in which the pressure waveform measured by the first sensor 310 has a constant shape.

마찬가지로, 상기 제2 센서(320)는 상기 제2 기체공급유닛, 즉 상기 제2 공급라인(421) 상에 배치되어 상기 제2 유입관(220)으로 유입되는 기체에 의한 제2 버블링 주기를 확인하게 된다.Likewise, the second sensor 320 is configured to detect the second bubbling period by the second gas supply unit, that is, the gas that is disposed on the second supply line 421 and flows into the second inflow pipe 220 .

상기 제어유닛은 상기 제1 유입관(210)에서 배출되는 기체가 상기 제1 위치에서의 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제1 압력과, 상기 제2 유입관(220)에서 배출되는 기체가 제2 위치에서의 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제2 압력과, 상기 제1 높이간격(△H)을 바탕으로 상기 약액의 밀도를 계산하게 된다.Wherein the control unit controls the first pressure when the gas discharged from the first inlet pipe (210) is discharged while pushing out the chemical solution at the first position and the first pressure when the gas discharged from the second inlet pipe (220) The density of the chemical liquid is calculated on the basis of the second pressure when the chemical liquid is pushed out at the second position and the first height interval? H.

구체적으로, 상기 제어유닛은 하기의 [수학식 1]을 바탕으로 상기 약액의 밀도를 계산할 수 있다.Specifically, the control unit can calculate the density of the chemical liquid based on the following equation (1).

[수학식 1][Equation 1]

Figure pat00004
Figure pat00004

여기서, ρ는 밀도, g는 중력가속도,△P는 제1 압력과 제2 압력의 차이, △H는 제1 높이간격에 해당한다. Here, ρ is the density, g is the acceleration of gravity, ΔP is the difference between the first pressure and the second pressure, and ΔH is the first height interval.

결과적으로, 제1 유입관에서 기체가 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제1 압력, 제2 유입관에서 기체가 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제2 압력, 그리고 제1 유입관의 하단부와 제2 유입관의 하단부 사이의 제1 높이간격을 바탕으로 시간에 따라 변하는 약액의 밀도를 실시간으로 간단하게 측정할 수 있게 된다.As a result, the first pressure when the gas is discharged while pushing out the chemical liquid in the first inlet pipe, the second pressure when the gas is discharged while pushing the chemical liquid in the second inlet pipe, The density of the chemical liquid which changes with time can be simply measured in real time based on the first height interval between the lower ends of the two inlet pipes.

물론, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 상기 제1 압력과 상기 제2 압력은 상기 제1 센서 및 상기 제2 센서에서 압력을 측정하는 샘플링 시간간격을 기준으로 해당 시간간격 동안의 평균값으로 설정될 수 있다.Of course, the present invention is not limited to this, and the first pressure and the second pressure may be set to an average value during a corresponding time interval based on a sampling time interval measuring pressure in the first sensor and the second sensor have.

또한, 상기 제어유닛은 상기 제1 센서에서 측정되는 약액의 제1 버블링 주기와 상기 제2 센서에서 측정되는 약액의 제2 버블링 주기를 바탕으로 상기 제1 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제1 유량과 상기 제2 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제2 유량을 예측하게 된다. Further, the control unit may control the amount of the gas introduced through the first inlet pipe based on the first bubbling period of the chemical liquid measured by the first sensor and the second bubbling period of the chemical liquid measured by the second sensor, 1 flow rate and the second flow rate of the gas flowing through the second inlet pipe.

도 4에서 살펴 본 바와 같이, 상기 버블링 주기는 기체의 유량과 선형적인 관계를 가지므로 상기 제1 버블링 주기 및 상기 제2 버블링 주기로부터 상기 제1 유량 및 상기 제2 유량이 산출된다. As shown in FIG. 4, since the bubbling period has a linear relationship with the flow rate of the gas, the first flow rate and the second flow rate are calculated from the first bubbling period and the second bubbling period.

상기 제어유닛은 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위를 벗어나는 지를 판단하고, 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위를 벗어나는 경우에는 상기 제1 제어밸브 및 상기 제2 제어밸브가 조정되면서 상기 제1 유량 및 상기 제2 유량이 조절된다. The control unit determines whether the first flow rate and the second flow rate are out of the respective allowable ranges, and when the first flow rate and the second flow rate are out of the respective allowable ranges, 2 control valve is adjusted to adjust the first flow rate and the second flow rate.

여기서, 약액 밀도의 오차를 줄이기 위해서는 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 실질적으로 동일한 값을 가져야 한다.Here, in order to reduce the error of the chemical liquid density, the first flow rate and the second flow rate should have substantially the same value.

상기 제어유닛은 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 실질적으로 동일한 값을 가지는 지를 판단하고, 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 서로 다른 값을 가지는 경우에 상기 제1 제어밸브와 상기 제2 제어밸브 중 적어도 하나에 의하여 기체의 유량이 조절될 수 있다.Wherein the control unit determines whether the first flow rate and the second flow rate have substantially the same value and when the first flow rate and the second flow rate have different values, The flow rate of the gas can be controlled by at least one of the control valves.

한편, 상기 알람수단은 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위를 벗어나거나, 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 서로 다른 값을 가지는 경우에는 해당 상태에 대한 정보를 외부로 표시하여 작업자에게 알리게 된다. Meanwhile, when the first flow rate and the second flow rate are out of the allowable ranges or the first flow rate and the second flow rate have different values, the alarm means displays the information about the state to the outside And informs the operator.

상기 알람수단이 정보를 표시하는 방법으로는 상기 알람수단이 엘이디 형태로 구비되어 빛을 발산하거나, 상기 알람수단이 스피커 형태로 구비되어 소리 또는 음성으로 정보를 표시하거나, 상기 알람수단이 디스플레이유닛의 형태로 구비되어 문자로 표시할 수 있을 것이다.The alarm means displays information by means of the alarm means being provided in the form of an LED to emit light or the alarm means may be provided in the form of a speaker to display information by sound or voice, And can be displayed in letters.

도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명에 따른 약액 밀도 측정방법 및 이를 이용한 약액 레벨 측정방법을 설명하면 다음과 같다.1 and 2, a method of measuring a drug solution density and a method of measuring a drug solution level using the method according to the present invention will be described below.

먼저, 사용자는 약액 측정관(100)에 제1 유입관(210)의 하단부와 제2 유입관(220)의 하단부가 제1 높이간격(△H)을 가지도록 배치한다.First, the user places the lower end of the first inflow pipe 210 and the lower end of the second inflow pipe 220 in the chemical solution measuring tube 100 so as to have a first height interval? H.

다음으로, 약액 밀도 측정시스템이 작동되면, 제1 센서(310)는 약액 측정관(100)의 제1 위치에서 약액의 압력, 즉 제1 압력을 측정하고, 동시에 제2 센서(320)는 약액 측정관(100)의 제2 위치에서 약액의 압력, 즉 제2 압력을 측정하게 된다.Next, when the chemical liquid density measuring system is operated, the first sensor 310 measures the pressure of the chemical liquid at the first position of the chemical liquid measuring tube 100, that is, the first pressure, The pressure of the chemical liquid at the second position of the measuring tube 100, that is, the second pressure is measured.

그러면, 제어유닛은 상기 제1 압력, 상기 제2 압력 및 상기 제1 높이간격을 바탕으로 상기 약액의 밀도를 계산하게 된다(S40).Then, the control unit calculates the density of the chemical liquid based on the first pressure, the second pressure, and the first height interval (S40).

여기서, 약액의 밀도에 대한 오차를 줄이기 위해서는 적정유량의 기체가 상기 제1 유입관(210) 및 상기 제2 유입관(220)으로 동일하게 공급되어야 한다. Here, in order to reduce the error with respect to the density of the chemical liquid, an appropriate flow rate of gas must be supplied to the first inlet pipe 210 and the second inlet pipe 220 in the same manner.

이를 위하여, 상기 제1 센서(310)는 상기 제1 유입관(210)으로 유입되는 기체에 의한 약액의 제1 버블링 주기를 측정하고, 상기 제2 센서(320)는 상기 제2 유입관(220)으로 유입되는 기체에 의한 약액의 제2 버블링 주기를 모니터링하게 된다(S10).For this, the first sensor 310 measures a first bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the first inlet pipe 210, and the second sensor 320 measures the first bubbling period of the chemical liquid by the second inlet pipe And the second bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the second bubbling chamber 220 (S10).

그러면, 상기 제어유닛은 상기 제1 버블링 주기와 상기 제2 버블링 주기를 바탕으로 상기 제1 유입관(210)을 통하여 유입되는 기체의 제1 유량과 상기 제2 유입관(220)을 통하여 유입되는 기체의 제2 유량을 예측하여 확인하게 된다(S20).Then, based on the first bubbling period and the second bubbling period, the control unit controls the first flow rate of the gas flowing through the first inlet pipe 210 and the second flow rate of the gas flowing through the second inlet pipe 220 The second flow rate of the inflowing gas is predicted and confirmed (S20).

다음으로, 상기 제어유닛은 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위에 존재하는지를 판단하게 된다.Next, the control unit determines whether the first flow rate and the second flow rate are within respective allowable ranges.

다음으로, 상기 제어유닛은 상기 제1 유량과 상기 제2 유량 중 적어도 어느 하나가 각각의 허용범위를 벗어나는 경우에 상기 제1 유입관과 연결된 제1 제어밸브와 상기 제2 유입관과 연결된 제2 제어밸브 중 적어도 하나를 제어하여 기체의 유량을 조절하게 된다(S30). Next, the control unit controls the first control valve connected to the first inlet pipe and the second control valve connected to the second inlet pipe when at least one of the first flow rate and the second flow rate is out of the respective allowable range, And at least one of the control valves is controlled to adjust the flow rate of the gas (S30).

뿐만 아니라 상기 제어유닛은 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 실질적으로 동일한 값을 가지는 지를 판단하고, 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 서로 다른 값을 가지는 경우에 상기 제1 제어밸브와 상기 제2 제어밸브 중 적어도 하나에 의하여 기체의 유량이 조절될 수 있다.The control unit determines whether the first flow rate and the second flow rate have substantially the same value, and when the first flow rate and the second flow rate have different values, The flow rate of the gas can be adjusted by at least one of the second control valves.

결과적으로, 제1 유입관(210)으로 유입되는 기체에 의한 약액의 제1 버블링 주기와 제2 유입관(220)으로 유입되는 기체에 의한 약액의 제2 버블링 주기를 측정하고, 상기 제1 버블링 주기와 상기 제2 버블링 주기를 바탕으로 상기 제1 유입관(210)을 통하여 유입되는 기체의 제1 유량과 상기 제2 유입관(220)을 통하여 유입되는 기체의 제2 유량을 예측하여 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 동일하도록 제어함으로써 유량차이로 인한 약액 밀도의 오차를 줄일 수 있게 된다.As a result, the first bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the first inlet pipe 210 and the second bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the second inlet pipe 220 are measured, The first flow rate of the gas flowing through the first inlet pipe 210 and the second flow rate of the gas flowing through the second inlet pipe 220 based on the one bubbling period and the second bubbling period The error of the chemical liquid density due to the difference in flow rate can be reduced by predicting that the first flow rate and the second flow rate are equal to each other.

여기서, 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위를 벗어나거나, 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 서로 다른 값을 가지는 경우에는 알람수단이 해당 상태에 대한 정보를 외부로 표시하게 된다.Here, if the first flow rate and the second flow rate are out of the allowable ranges, or if the first flow rate and the second flow rate have different values, the alarm means displays the information about the status to the outside do.

다음으로, 제어유닛은 상기 약액의 밀도를 바탕으로 하기의 [수학식 2]에 따라 상기 약액의 레벨을 계산하게 된다(S50).Next, the control unit calculates the level of the chemical liquid according to the following equation (2) based on the density of the chemical liquid (S50).

[수학식 2]&Quot; (2) "

Figure pat00005
Figure pat00005

여기서, H는 약액의 레벨, ρ는 밀도, g는 중력가속도, P2는 상기 제2 유입관에서 배출되는 기체가 제2 위치에서의 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제2 압력이다. 물론, 시간에 따라 변하는 상기 약액의 밀도 ρ는 앞서 설명한 [수학식 1]에 따라 먼저 계산된다.Here, H is the level of the chemical liquid, p is the density, g is the gravitational acceleration, and P 2 is the second pressure when the gas discharged from the second inflow pipe pushes out the chemical solution at the second position. Of course, the density? Of the above-mentioned chemical liquid which varies with time is first calculated according to the above-described equation (1).

결과적으로, 본 발명에 따른 약액 밀도 측정시스템을 사용하여 약액의 밀도 및 약액의 레벨을 측정함으로써 고가의 유량계 또는 유량 레귤레이터를 대체할 수 있게 되어 이로 인한 비용을 줄일 수 있게 된다.As a result, it is possible to replace the expensive flow meter or the flow rate regulator by measuring the density of the chemical liquid and the level of the chemical liquid by using the chemical liquid density measuring system according to the present invention, thereby reducing the cost.

상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Modify or modify the Software.

100: 약액 측정관 210: 제1 유입관
220: 제2 유입관 310: 제1 센서
320: 제2 센서 410: 제1 제어밸브
420: 제2 제어밸브 510: 제1 기체기체공급부
520: 제2 기체기체공급부100: chemical liquid measuring pipe 210: first inlet pipe
220: second inlet pipe 310: first sensor
320: second sensor 410: first control valve
420: second control valve 510: first gas supply part
520: second gas supply unit

Claims (11)

시간에 따라 밀도가 변하는 약액이 담겨진 약액조와 연통되어 상기 약액조의 약액이 채워지는 약액 측정관;
하단부가 상기 약액 측정관의 내부공간 중 제1 위치에 개방되어 있으며, 상기 약액 내부로 공급되는 기체를 상기 약액 측정관의 내부공간으로 안내하기 위한 제1 유입관;
하단부가 상기 약액 측정관의 내부공간 중 상기 제1 위치보다 제1 높이간격만큼 높게 위치하는 제2 위치에 개방되어 있으며, 상기 약액 측정관의 내부공간으로 상기 기체를 안내하기 위한 제2 유입관;
상기 제1 위치에서 약액의 압력을 측정하기 위하여 상기 제1 유입관으로 상기 기체를 공급하기 위한 제1 기체공급유닛;
상기 제2 위치에서 약액의 압력을 측정하기 위하여 제2 유입관으로 상기 기체를 공급하기 위한 제2 기체공급유닛; 그리고,
상기 제1 유입관에서 배출되는 기체가 상기 제1 위치에서의 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제1 압력과, 상기 제2 유입관에서 배출되는 기체가 제2 위치에서의 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제2 압력과, 상기 제1 높이간격을 바탕으로 상기 약액의 밀도를 계산하는 제어유닛을 포함하는 약액밀도 측정시스템.A chemical solution measuring tube communicating with a chemical solution tank containing a chemical solution whose density changes according to time to fill the chemical solution of the chemical solution tank;
A first inlet pipe for opening a lower portion of the inner space of the chemical solution measuring tube to a first position and for guiding the gas supplied into the chemical solution into the inner space of the chemical solution measuring tube;
A second inlet pipe for opening the second end of the internal space of the chemical solution measuring tube to a second position located higher than the first position by a first height interval and guiding the gas into the internal space of the chemical solution measuring tube;
A first gas supply unit for supplying the gas to the first inflow pipe to measure the pressure of the chemical liquid at the first position;
A second gas supply unit for supplying the gas to the second inlet pipe to measure the pressure of the chemical liquid at the second position; And,
A first pressure when the gas discharged from the first inlet pipe is discharged while pushing out the chemical solution at the first position and a second pressure when the gas discharged from the second inlet pipe is discharged while pushing the chemical solution at the second position And a control unit for calculating the density of the chemical liquid based on the second pressure and the first height interval. 제1항에 있어서,
상기 제어유닛은 하기의 [수학식 1]을 바탕으로 상기 약액의 밀도를 계산하는 것을 특징으로 하는 약액 밀도 측정 시스템.
[수학식 1]
Figure pat00006

여기서, ρ는 밀도, g는 중력가속도,△P는 제1 압력과 제2 압력의 차이, △H는 제1 높이간격The method according to claim 1,
Wherein the control unit calculates the density of the chemical liquid based on the following equation (1).
[Equation 1]
Figure pat00006

Here, ρ is the density, g is the gravitational acceleration, ΔP is the difference between the first pressure and the second pressure, ΔH is the first height interval 제1항에 있어서,
상기 제1 기체공급유닛은 상기 제1 유입관으로 상기 기체를 공급하기 위한 제1 기체공급부와, 상기 제1 기체공급부와 상기 제1 유입관을 연결하는 제1 공급라인과, 상기 제1 공급라인 상에 배치되어 상기 기체의 흐름을 제어하는 제1 제어밸브를 포함하고,
상기 제2 기체공급유닛은 상기 제2 유입관으로 상기 기체를 공급하기 위한 제2 기체공급부와, 상기 제2 기체공급부와 상기 제2 유입관을 연결하는 제2 공급라인과, 상기 제2 공급라인 상에 배치되어 상기 기체의 흐름을 제어하는 제2 제어밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 밀도 측정 시스템.The method according to claim 1,
The first gas supply unit includes a first gas supply unit for supplying the gas to the first inflow pipe, a first supply line for connecting the first gas supply unit and the first inflow pipe, And a first control valve disposed on said first control valve for controlling the flow of said gas,
The second gas supply unit includes a second gas supply unit for supplying the gas to the second inlet pipe, a second supply line for connecting the second gas supply unit and the second inlet pipe, And a second control valve disposed on the second control valve to control the flow of the gas. 제3항에 있어서,
상기 제1 기체공급유닛 상에 배치되어 상기 제1 유입관으로 유입되는 기체에 의한 약액의 버블링 주기를 확인하기 위한 제1 센서; 그리고,
상기 제2 기체공급유닛 상에 배치되어 상기 제2 유입관으로 유입되는 기체에 의한 약액의 버블링 주기를 확인하기 위한 제2 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 밀도 측정 시스템.The method of claim 3,
A first sensor disposed on the first gas supply unit for checking the bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the first inlet pipe; And,
Further comprising a second sensor disposed on the second gas supply unit for checking the bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the second inlet pipe. 제4항에 있어서,
상기 제어유닛은 상기 제1 센서에서 측정되는 약액의 제1 버블링 주기와 상기 제2 센서에서 측정되는 약액의 제2 버블링 주기를 바탕으로 상기 제1 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제1 유량과 상기 제2 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제2 유량을 예측하고, 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위를 벗어나는 지를 판단하는 것을 특징으로 하는 약액 밀도 측정 시스템.5. The method of claim 4,
Wherein the control unit controls the first flow rate of the gas flowing through the first inflow pipe based on the first bubbling period of the chemical liquid measured by the first sensor and the second bubbling period of the chemical liquid measured by the second sensor, And a second flow rate of the gas flowing through the second inlet pipe, and determines whether the first flow rate and the second flow rate are out of the respective allowable ranges. 제5항에 있어서,
상기 제어유닛은 상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 실질적으로 동일한 값을 가지는 지를 판단하고,
상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 서로 다른 값을 가지는 경우에 상기 제1 제어밸브와 상기 제2 제어밸브 중 적어도 하나에 의하여 기체의 유량이 조절되는 것을 특징으로 하는 약액 밀도 측정 시스템.6. The method of claim 5,
The control unit determines whether the first flow rate and the second flow rate have substantially the same value,
Wherein the flow rate of the gas is controlled by at least one of the first control valve and the second control valve when the first flow rate and the second flow rate are different from each other. 제5항에 있어서,
상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위를 벗어나는 상태를 외부로 알리기 위한 알람수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 밀도 측정 시스템.6. The method of claim 5,
Further comprising an alarm means for informing the outside of the state that the first flow rate and the second flow rate are out of the respective allowable ranges. 제1항에 따른 약액 밀도 측정시스템을 사용하여 약액의 밀도를 측정하는 방법에 있어서,
상기 약액 측정관에 상기 제1 유입관의 하단부와 상기 제2 유입관의 하단부가 상기 제1 높이간격을 가지도록 배치하는 단계;
상기 제1 압력과 상기 제2 압력을 측정하는 단계; 그리고,
상기 제1 압력, 상기 제2 압력 및 상기 제1 높이간격을 바탕으로 상기 약액의 밀도를 계산하는 단계를 포함하는 약액 밀도 측정방법.A method for measuring the density of a chemical liquid using the chemical liquid density measuring system according to claim 1,
Disposing the lower end of the first inflow pipe and the lower end of the second inflow pipe such that the lower end of the first inflow pipe and the lower end of the second inflow pipe have the first height interval;
Measuring the first pressure and the second pressure; And,
Calculating the density of the chemical liquid based on the first pressure, the second pressure, and the first height interval. 제8항에 있어서,
상기 제1 유입관으로 유입되는 기체에 의한 약액의 제1 버블링 주기를 측정함과 동시에 상기 제2 유입관으로 유입되는 기체에 의한 약액의 제2 버블링 주기를 측정하는 단계;
상기 제1 버블링 주기와 상기 제2 버블링 주기를 바탕으로 상기 제1 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제1 유량과 상기 제2 유입관을 통하여 유입되는 기체의 제2 유량을 예측하는 단계;
상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위에 존재하는지를 판단하는 단계; 그리고,
상기 제1 유량과 상기 제2 유량 중 적어도 어느 하나가 각각의 허용범위를 벗어나는 경우에 상기 제1 유입관과 연결된 제1 제어밸브와 상기 제2 유입관과 연결된 제2 제어밸브 중 적어도 하나를 제어하여 기체의 유량을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 밀도 측정방법.9. The method of claim 8,
Measuring a first bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the first inlet pipe and measuring a second bubbling period of the chemical liquid by the gas flowing into the second inlet pipe;
Predicting a first flow rate of the gas flowing through the first inlet pipe and a second flow rate of the gas flowing through the second inlet pipe based on the first bubbling period and the second bubbling period;
Determining whether the first flow rate and the second flow rate are within respective allowable ranges; And,
And at least one of a first control valve connected to the first inflow pipe and a second control valve connected to the second inflow pipe when at least one of the first flow rate and the second flow rate is out of the allowable range Further comprising the step of controlling the flow rate of the gas. 제9항에 있어서,
상기 제1 유량과 상기 제2 유량이 각각의 허용범위를 벗어나는 경우에 해당 상태를 외부로 알리기 위한 알람단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 밀도 측정방법.10. The method of claim 9,
Further comprising an alarm step for informing the state to the outside when the first flow rate and the second flow rate are out of the respective allowable ranges. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 약액 밀도 측정방법을 사용하여 약액의 레벨을 측정하는 방법에 있어서,
하기의 [수학식 1]에 따라 상기 약액의 밀도를 계산하는 단계; 그리고,
상기 약액의 밀도를 바탕으로 하기의 [수학식 2]에 따라 상기 약액의 레벨을 계산하는 단계를 포함하는 약액 레벨 측정방법.
[수학식 1]
Figure pat00007

여기서, ρ는 밀도, g는 중력가속도,△P는 제1 압력과 제2 압력의 차이, △H는 제1 높이간격,
[수학식 2]
Figure pat00008

여기서, H는 약액의 레벨, ρ는 밀도, g는 중력가속도, P2는 상기 제2 유입관에서 배출되는 기체가 제2 위치에서의 약액을 밀어내면서 배출될 때의 제2 압력.
A method for measuring the level of a chemical liquid using the chemical liquid density measuring method according to any one of claims 8 to 10,
Calculating the density of the chemical liquid according to the following equation (1); And,
And calculating the level of the chemical liquid according to the following equation (2) based on the density of the chemical liquid.
[Equation 1]
Figure pat00007

Here, ρ is the density, g is the gravitational acceleration, ΔP is the difference between the first pressure and the second pressure, ΔH is the first height interval,
&Quot; (2) "
Figure pat00008

Here, H is the level of the chemical liquid, p is the density, g is the gravitational acceleration, and P 2 is the second pressure when the gas discharged from the second inlet pipe is discharged while pushing out the chemical solution at the second position.
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