KR20170128022A - Substrate and light emitting device having the same - Google Patents

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KR20170128022A
KR20170128022A KR1020160059119A KR20160059119A KR20170128022A KR 20170128022 A KR20170128022 A KR 20170128022A KR 1020160059119 A KR1020160059119 A KR 1020160059119A KR 20160059119 A KR20160059119 A KR 20160059119A KR 20170128022 A KR20170128022 A KR 20170128022A
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light emitting
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정종필
김대식
변동진
정우섭
진정근
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엘지이노텍 주식회사
고려대학교 산학협력단
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Abstract

An embodiment of the present invention relates to a substrate, a light emitting device, a backlight unit, and a lighting system. According to an embodiment of the present invention, the substrate comprises: a growth substrate having an uneven structure on an upper part; a first semiconductor layer covering the uneven structure on the growth substrate; and a reflection part located on the first semiconductor layer, including a first layer and a second layer alternating 7 to 30 pairs, and having a refractive index of 2.14 or more. Therefore, light emitting efficiency and internal quantum efficiency are improved as well as reliability can be improved.

Description

기판 및 이를 갖는 발광소자{SUBSTRATE AND LIGHT EMITTING DEVICE HAVING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate,

실시 예는 기판, 발광소자, 백라이트 유닛 및 조명 시스템에 관한 것이다.Embodiments relate to a substrate, a light emitting device, a backlight unit, and a lighting system.

발광 다이오드(Light Emitting Diode: LED)는 전류가 인가되면 광을 방출하는 발광 소자 중 하나이다. 발광 다이오드는 저 전압으로 고효율의 광을 방출할 수 있어 에너지 절감 효과가 뛰어나다.A light emitting diode (LED) is one of light emitting devices that emits light when current is applied. The light emitting diode is capable of emitting light with high efficiency at a low voltage, thus providing excellent energy saving effect.

질화물 반도체는 높은 열적 안정성과 폭 넓은 밴드갭 에너지에 의해 광소자 및 고출력 전자소자 개발 분야에서 큰 관심을 받고 있다. 특히, 질화물 반도체를 이용한 자외선(UV) 발광소자, 청색(Blue) 발광소자, 녹색(Green) 발광소자, 적색(RED) 발광소자 등은 상용화되어 널리 사용되고 있다.Nitride semiconductors have attracted great interest in the development of optical devices and high output electronic devices due to their high thermal stability and wide band gap energy. Particularly, ultraviolet (UV) light emitting elements, blue light emitting elements, green light emitting elements, and red light emitting elements using nitride semiconductors are commercially available and widely used.

일반적인 발광 소자는 용도에 따라 다양한 파장이 이용되고 있는데, 발광소자로부터 발광된 빛의 파장은 반도체층의 물질, 하부기판의 물질 또는 구성간의 결합구조에 따라 내부에서 손실되거나, 열 에너지로 변환되어 발광 효율을 저하되는 문제가 있었다.The wavelength of the light emitted from the light emitting device may be internally lost depending on the material of the semiconductor layer, the material of the lower substrate, or the structure of the lower substrate, There has been a problem that the efficiency is lowered.

실시 예는 타겟 파장을 반사시켜 발광효율을 향상시킬 수 있는 기판 및 이를 갖는 발광소자를 제공할 수 있다.Embodiments can provide a substrate and a light emitting device having the same that can improve a light emitting efficiency by reflecting a target wavelength.

실시 예는 내부양자효율을 향상시킬 수 있는 기판 및 이를 갖는 발광소자를 제공할 수 있다.Embodiments can provide a substrate capable of improving internal quantum efficiency and a light emitting device having the same.

실시 예는 반사되는 타겟 파장이 20㎚이하의 반치폭(FWHM: Full Width at Half Maximum)을 갖는 기판 및 이를 갖는 발광소자를 제공할 수 있다.Embodiments can provide a substrate having a full width at a half maximum (FWHM) of 20 nm or less as a target wavelength to be reflected, and a light emitting device having the substrate.

실시 예는 20㎚이하의 반치폭을 갖고, 70% 이상의 반사율을 가져 신뢰성을 향상시킬 수 있는 발광소자를 제공할 수 있다.The embodiment can provide a light emitting device having a half width of 20 nm or less and having a reflectance of 70% or more and improving the reliability.

실시 예에 따른 기판은 상부에 요철 구조를 갖는 성장기판; 상기 성장기판 상에 상기 요철 구조를 덮는 제1 반도체층; 및 상기 제1 반도체층 상에 배치되어 7 페어 내지 30 페어 교번되는 제1 및 제2 층을 포함하는 2.14 이상의 굴절률을 갖는 반사부를 포함하여 발광효율 및 내부양자효율을 향상시킬 뿐만 아니라 신뢰성을 향상시킬 수 있다.A substrate according to an embodiment includes a growth substrate having a concave-convex structure on an upper portion thereof; A first semiconductor layer covering the concave-convex structure on the growth substrate; And a reflective portion disposed on the first semiconductor layer and having a refractive index of 2.14 or more including first and second layers alternating from 7 to 30 pairs to improve luminous efficiency and internal quantum efficiency as well as improve reliability .

실시 예에 따른 발광소자는 상기 기판; 상기 기판 상에 배치된 리세스를 포함하는 격벽; 및 상기 기판 상에 배치되고, 상기 리세스 내에 배치된 발광 구조물을 포함하여 발광효율 및 내부양자효율을 향상시킬 뿐만 아니라 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The light emitting device according to the embodiment includes: the substrate; A partition wall including a recess disposed on the substrate; And a light emitting structure disposed on the substrate, the light emitting structure including a light emitting structure disposed in the recess, thereby improving not only luminous efficiency and internal quantum efficiency but also reliability.

실시 예는 성장기판으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시키는 반사부를 포함하여 발광효율을 향상시킬 수 있다.The embodiment can improve the luminous efficiency by including a reflection part that reflects a target wavelength of a critical angle or less in the light proceeding to the growth substrate.

실시 예는 성장기판으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시키는 반사부를 포함하여 내부양자효율을 향상시킬 수 있는 기판 및 이를 갖는 발광소자를 제공할 수 있다.Embodiments can provide a substrate capable of improving internal quantum efficiency by including a reflector that reflects a target wavelength of a critical angle or less in light traveling to a growth substrate, and a light emitting device having the substrate.

실시 예는 반사되는 타겟 파장이 20㎚이하의 반치폭(FWHM)을 갖고, 70% 이상의 반사율을 가져 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The embodiment has a half-width (FWHM) of the reflected target wavelength of 20 nm or less and has a reflectance of 70% or more so that the reliability can be improved.

실시 예의 발광소자는 발광 구조물로부터 상기 기판으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시키는 반사부를 포함하여 발광효율을 향상시킬 수 있다.The light emitting device of the embodiment may include a reflector that reflects a target wavelength of a critical angle or less in light traveling from the light emitting structure to the substrate, thereby improving the light emitting efficiency.

실시 예의 발광소자는 기판 방향으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시키는 반사부를 포함하여 내부양자효율을 향상시킬 수 있다.The light emitting device of the embodiment includes a reflection portion that reflects a target wavelength of a critical angle or less in light traveling in the substrate direction, thereby improving the internal quantum efficiency.

실시 예의 발광소자는 반사부로부터 반사되는 타겟 파장이 20㎚이하의 반치폭(FWHM)을 갖고, 70% 이상의 반사율을 가질 수 있다. 따라서, 실시 예의 발광소자는 특정 파장의 광을 구현하는 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The light emitting device of the embodiment has a half wavelength (FWHM) with a target wavelength of 20 nm or less reflected from the reflector and can have a reflectance of 70% or more. Therefore, the light emitting device of the embodiment can improve the reliability of realizing light of a specific wavelength.

다른 실시 예의 발광소자는 상기 기판 상에 발광 구조물이 직접 성장되어 발광 구조물 및 기판을 결합하는 별도의 구성을 생략하여 제조 공정을 간소화하고 제조 비용을 줄일 수 있다.The light emitting device of another embodiment can directly grow the light emitting structure on the substrate to omit a separate structure for joining the light emitting structure and the substrate, thereby simplifying the manufacturing process and reducing the manufacturing cost.

도 1은 실시 예에 따른 반도체 소자의 기판을 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1의 반사부를 도시한 단면도이다.
도 3은 실시 예에 따른 기판의 빛 진행방향을 도시한 단면도이다.
도 4 및 도 5는 λ/4 및 3λ/4의 반사된 빛의 반치폭(FWHM)을 도시한 도면이다.
도 6은 실시 예에 따른 기판을 포함하는 발광소자를 도시한 단면도이다.
도 7은 다른 실시 예의 발광소자를 도시한 단면도이다.
도 8은 실시 예의 발광소자를 포함하는 백라이트 유닛을 도시한 도면이다.
도 9는 실시 예의 발광소자를 포함하는 조명시스템을 도시한 도면이다.
1 is a cross-sectional view showing a substrate of a semiconductor device according to an embodiment.
2 is a cross-sectional view showing the reflection portion of FIG.
3 is a cross-sectional view illustrating the light traveling direction of the substrate according to the embodiment.
Figs. 4 and 5 are diagrams showing half-widths (FWHM) of reflected light of? / 4 and 3? / 4.
6 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device including a substrate according to an embodiment.
7 is a cross-sectional view showing a light emitting device of another embodiment.
8 is a view showing a backlight unit including the light emitting device of the embodiment.
9 is a diagram showing an illumination system including the light emitting device of the embodiment.

실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on/over)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on/over)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), area, pattern or structure may be referred to as being "on" or "under" the substrate, each layer Quot; on "and" under "are intended to include both" directly "or" indirectly " do. Also, the criteria for top, bottom, or bottom of each layer will be described with reference to the drawings.

도 1은 실시 예에 따른 반도체 소자의 기판을 도시한 단면도이고, 도 2는 도 1의 반사부를 도시한 단면도이고, 도 3은 실시 예에 따른 기판의 빛 진행방향을 도시한 단면도이고, 도 4 및 도 5는 λ/4 및 3λ/4의 반사된 빛의 반치폭(FWHM)을 도시한 도면이다.FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a substrate of a semiconductor device according to an embodiment, FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a reflection portion of FIG. 1, FIG. 3 is a cross- And Fig. 5 is a diagram showing a half-width (FWHM) of reflected light of? / 4 and 3? / 4.

도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 실시 예에 따른 반도체 소자의 기판(100)은 성장기판(101), 제1 반도체층(110), 반사부(120) 및 제2 반도체층(130)을 포함할 수 있다. 실시 예의 기판(100)은 70% 이상의 타겟 파장을 반사시켜 발광효율 및 내부양자효율을 향상시키고, 반사된 타겟 파장이 20㎚이하의 반치폭(FWHM)을 가져 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 이를 위해 실시 예의 기판(100)은 상부면에 요철 구조(101P)를 갖는 성장기판(101) 상에 굴절률이 다른 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)이 7 페어 내지 30 페어 교번되는 상기 반사부(120)를 포함할 수 있다.1 to 5, a substrate 100 of a semiconductor device according to an embodiment includes a growth substrate 101, a first semiconductor layer 110, a reflective portion 120, and a second semiconductor layer 130, . ≪ / RTI > The substrate 100 of the embodiment can improve the light emitting efficiency and the internal quantum efficiency by reflecting a target wavelength of 70% or more, and the reflected target wavelength can have a half-width (FWHM) of 20 nm or less to improve the reliability. For this, the substrate 100 of the embodiment has a structure in which the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g having different refractive indexes are formed on the growth substrate 101 having the concavo- And may include the alternating reflective portion 120.

상기 성장기판(101)은 열전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있다. 상기 성장기판(101)은 전도성 기판 또는 절연성 기판일 수 있다. 예컨대 상기 성장기판(101)은 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, and Ga203 중 적어도 하나를 사용할 수 있다. 상기 기판(101) 위에는 요철 구조(101P)가 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정되는 것은 아니다.The growth substrate 101 may be formed of a material having excellent thermal conductivity. The growth substrate 101 may be a conductive substrate or an insulating substrate. For example, the growth substrate 101 may use at least one of sapphire (Al 2 O 3 ), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, and Ga 2 O 3 . The concavo-convex structure 101P may be formed on the substrate 101, but the present invention is not limited thereto.

실시 예는 상기 요철 구조(101P)를 갖는 사파이어(Al2O3) 기판일 수 있다. 예컨대 상기 성장기판(101)은 PSS(Patterned Sapphire substrate)일 수 있다. 상기 성장기판(101)은 2.14 이하의 굴절률을 포함할 수 있다.The embodiment may be a sapphire (Al 2 O 3 ) substrate having the uneven structure 101P. For example, the growth substrate 101 may be a patterned sapphire substrate (PSS). The growth substrate 101 may have a refractive index of 2.14 or less.

상기 제1 반도체층(110)은 상기 성장기판(101) 상에 배치될 수 있다. 상기 제1 반도체층(110)은 상기 요철 구조(101P) 위에 배치될 수 있다. 상기 제1 반도체층(110)은 상기 요철 구조(101P)를 덮을 수 있다. 상기 제1 반도체층(110)의 상부면은 상기 요철 구조(101P)의 돌출된 상부 끝단보다 위에 배치될 수 있다. 상기 제1 반도체층(110)의 상부면과 상기 요철 구조(101P)의 돌출된 끝단 사이의 간격(d)은 5㎛ 이상일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 제1 반도체층(110)은 3족-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 예컨대, GaN, AlN, InN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.The first semiconductor layer 110 may be disposed on the growth substrate 101. The first semiconductor layer 110 may be disposed on the concave-convex structure 101P. The first semiconductor layer 110 may cover the uneven structure 101P. The upper surface of the first semiconductor layer 110 may be disposed above the protruding upper end of the concavoconvex structure 101P. The distance d between the upper surface of the first semiconductor layer 110 and the protruding end of the concave-convex structure 101P may be 5 탆 or more, but is not limited thereto. The first semiconductor layer 110 may be formed of at least one of Group III-V or Group II-VI compound semiconductor such as GaN, AlN, InN, InGaN, AlGaN, InAlGaN and AlInN.

상기 반사부(120)는 상기 제1 반도체층(110) 상에 배치될 수 있다. 상기 반사부(120)는 상기 성장기판(101)으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시킬 수 있다. 여기서, 상기 반사부(120)로부터 반사된 타겟 파장은 470㎚ 내지 490㎚ 에서 피크 파장을 갖거나, 510㎚ 내지 530㎚ 에서 피크 파장을 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 상기 타겟 파장은 자외선 파장 및 적외선 파장일 수도 있다.The reflective portion 120 may be disposed on the first semiconductor layer 110. The reflective portion 120 may reflect a target wavelength of a critical angle or less in the light traveling to the growth substrate 101. Here, the target wavelength reflected from the reflection unit 120 may have a peak wavelength at 470 nm to 490 nm, or may include a peak wavelength at 510 nm to 530 nm, but the present invention is not limited thereto. For example, the target wavelength may be an ultraviolet wavelength and an infrared wavelength.

상기 반사부(120)는 상기 성장기판(101)으로 진행하는 빛 중에 임계각 이상의 빛을 상쇄간섭을 통해서 상기 반사부(120)의 측부 또는 성장기판(101)을 통해서 외부로 추출될 수 있다. 상기 반사부(120)는 상기 성장기판(101)으로 진행하는 빛의 전반사를 유도하여 상기 반사부(120)의 측부 또는 성장기판(101)을 통해서 외부로 추출될 수 있다. 즉, 상기 반사부(120)는 기판(100)의 내부의 잔류 광자들을 제거하여 상기 잔류 광자들에 의해 발생할 수 있는 광 효율 저하를 개선하고, 열 에너지 전환을 개선할 수 있다.The reflection part 120 may be extracted to the outside through the side of the reflection part 120 or the growth substrate 101 through the destructive interference of light having a critical angle in the light propagating to the growth substrate 101. The reflection unit 120 may induce total reflection of light traveling to the growth substrate 101 and may be extracted to the outside through the side of the reflection unit 120 or the growth substrate 101. That is, the reflection unit 120 removes the residual photons inside the substrate 100, thereby improving the light efficiency degradation caused by the residual photons and improving the thermal energy conversion.

상기 반사부(120)의 굴절률은 2.14 이상일 수 있다. 예컨대 상기 반사부(120)의 굴절률은 2.14 내지 3.17일 수 있다. 상기 기판(100)은 반사부(120) 로부터 성장기판(101) 방향으로 낮아지는 굴절률을 가질 수 있다. 즉, 상기 기판(100)은 상기 성장기판(101) 방향으로 낮아지는 굴절률을 가짐으로써, 타겟 파장 이외의 파장 및 잔류 광자들의 외부 추출 효율을 개선할 수 있다. 상기 반사부(120)는 7 페어 내지 30 페어 교번되는 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)을 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)은 서로 상이한 굴절률을 가질 수 있다. 상기 반사부(120)는 타겟 파장을 반사하는 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)을 포함하여 타겟 파장의 광 추출 효율을 향상시킬 수 있다.The refractive index of the reflective portion 120 may be 2.14 or more. For example, the refractive index of the reflective portion 120 may be 2.14 to 3.17. The substrate 100 may have a refractive index that decreases from the reflective portion 120 toward the growth substrate 101. That is, since the substrate 100 has a refractive index that is lowered toward the growth substrate 101, the wavelengths other than the target wavelength and the extraction efficiency of the residual photons can be improved. The reflective portion 120 may include first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g alternating with 7 to 30 pairs. The first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g may have refractive indices different from each other. The reflective portion 120 may include first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g for reflecting a target wavelength, thereby improving light extraction efficiency of a target wavelength.

상기 반사부(120)의 굴절률이 2.14 미만일 경우, 결정성이 저하될 수 있고, 인접한 제1 반도체층(110) 또는 제2 반도체층(130)과의 굴절률 차이에 의해 상기 반사부(120) 외부로 전반사되어 내부에서 잔류하는 광자들에 의해 열 에너지 전환을 개선하기 어려울 수 있다. 예컨대 상기 제1 반도체층(110)은 GaN일 경우, 상기 제1 반도체층(110)의 굴절률은 2.45일 수 있다.When the refractive index of the reflective portion 120 is less than 2.14, the crystallinity may be deteriorated and the refractive index difference between the first semiconductor layer 110 and the second semiconductor layer 130 And it may be difficult to improve the conversion of heat energy by the photons remaining inside. For example, when the first semiconductor layer 110 is GaN, the refractive index of the first semiconductor layer 110 may be 2.45.

상기 반사부(120)의 굴졀률이 3.17 초과일 경우, 결정성이 저하될 수 있고, 인접한 제1 반도체층(110) 또는 제2 반도체층(130)과의 굴절률 차이에 의해 상기 반사부(120) 내부로 전반사되어 내부에서 잔류하는 광자들에 의해 열 에너지 전환을 개선하기 어려울 수 있다.When the refractive index of the reflective portion 120 is greater than 3.17, the crystallinity may be degraded. Due to the difference in refractive index between the adjacent first semiconductor layer 110 or the second semiconductor layer 130, Lt; RTI ID = 0.0 > photons < / RTI > remaining internally.

상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)이 7 페어 미만일 경우, 타겟 파장의 반사율이 저하될 수 있다. 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)이 30 페어 초과일 경우, 반사율은 높아질 수 있으나, 타겟 파장 외의 파장이 반사될 수 있고, 잔류 광자들의 외부 추출이 저하될 수 있다.When the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g are less than 7 pairs, the reflectance of the target wavelength may be lowered. When the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g are more than 30 pairs, the reflectance may be high, but the wavelengths outside the target wavelength may be reflected and the external extraction of the residual photons may be degraded.

상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)은 서로 상이한 굴절률을 가질 수 있다. 예컨대 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)은 GaN, AlN, AlGaN 을 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 실시 예로 상기 제1 층(121a 내지 121g)은 GaN일 수 있고, 제2 층(123a 내지 123g)은 AlxGa1-xN (0<x≤1)일 수 있다.The first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g may have refractive indices different from each other. For example, the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g may include GaN, AlN, AlGaN, but are not limited thereto. For example, the first layers 121a to 121g may be GaN, and the second layers 123a to 123g may be Al x Ga 1-x N (0 <x? 1).

예컨대 제1 실시 예의 반사부(120)는 470㎚ 내지 490㎚ 에서 피크 파장을 갖는 블루 파장을 반사하는 경우, 상기 제1 층(121a 내지 121g) 각각의 두께는 48㎚ 내지 150㎚일 수 있고, 상기 제2 층(123a 내지 123g) 각각의 두께는 50㎚ 내지 155㎚일 수 있다. 여기서, 상기 제2 층(123a 내지 123g)의 AlxGa1-xN의 x는 0.3일 수 있다. 상기 제1 층(121a 내지 121g) 각각의 두께는 상기 제2 층(123a 내지 123g) 각각의 두께보다 얇을 수 있다. 도 4 및 도 5와 같이, 실시 예의 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g) 각각의 두께는 얇을수록 반사되는 블루 파장의 반치폭(FWHM)은 두꺼워질 수 있다. 여기서, 도 4는 상기 제1 층(121a 내지 121g) 각각의 두께가 48㎚이고, 상기 제2 층(123a 내지 123g) 각각의 두께가 50㎚인 7 페어의 반사부(120)로부터 반사된 타겟 파장이고, 도 5는 상기 제1 층(121a 내지 121g) 각각의 두께가 150㎚이고, 상기 제2 층(123a 내지 123g) 각각의 두께가 155㎚인 7 페어의 반사부(120)로부터 반사된 타겟 파장이다. 실시 예는 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)의 두께를 조절하여 20㎚이하의 반치폭(FWHM)을 갖는 블루 파장을 구현할 수 있다.For example, when the reflector 120 of the first embodiment reflects a blue wavelength having a peak wavelength at 470 nm to 490 nm, the thickness of each of the first layers 121a to 121g may be 48 nm to 150 nm, The thickness of each of the second layers 123a to 123g may be 50 nm to 155 nm. Here, x of Al x Ga 1-x N of the second layers 123a to 123g may be 0.3. The thickness of each of the first layers 121a to 121g may be thinner than the thickness of each of the second layers 123a to 123g. As shown in FIGS. 4 and 5, the half width (FWHM) of the reflected blue wavelength may become thicker as the thickness of each of the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g of the embodiment is thinner. 4 is a graph showing the relationship between the thickness of each of the first layers 121a to 121g and the thickness of the second layer 123a, 5 shows a case where the thickness of each of the first layers 121a to 121g is 150 nm and the thickness of each of the second layers 123a to 123g is 155 nm, Target wavelength. The embodiment may implement a blue wavelength having a half width (FWHM) of 20 nm or less by adjusting the thickness of the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g.

제2 실시 예의 반사부(120)는 470㎚ 내지 490㎚ 에서 피크 파장을 갖는 블루 파장을 반사하는 경우, 상기 제1 층(121a 내지 121g) 각각의 두께는 48㎚ 내지 150㎚일 수 있고, 상기 제2 층(123a 내지 123g) 각각의 두께는 54㎚ 내지 170㎚일 수 있다. 여기서, 상기 제2 층(123a 내지 123g)의 AlN일 수 있다. 상기 제1 층(121a 내지 121g) 각각의 두께는 상기 제2 층(123a 내지 123g) 각각의 두께보다 얇을 수 있다. 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g) 각각의 두께는 얇을수록 반사되는 블루 파장의 반치폭(FWHM)은 두꺼워질 수 있다. 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)의 두께를 조절하여 20㎚이하의 반치폭(FWHM)을 갖는 블루 파장을 구현할 수 있다. 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)의 두께 차이는 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g) 각각의 굴절률 차이가 클수록 커질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.When the reflective portion 120 of the second embodiment reflects a blue wavelength having a peak wavelength at 470 nm to 490 nm, the thickness of each of the first layers 121a to 121g may be 48 nm to 150 nm, The thickness of each of the second layers 123a to 123g may be 54 nm to 170 nm. Here, AlN of the second layers 123a to 123g may be used. The thickness of each of the first layers 121a to 121g may be thinner than the thickness of each of the second layers 123a to 123g. As the thickness of each of the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g is thinner, the half width (FWHM) of the reflected blue wavelength may be thicker. A blue wavelength having a half width (FWHM) of 20 nm or less can be realized by adjusting the thickness of the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g. The difference in thickness between the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g may be larger as the difference in refractive index between the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g is greater, no.

제3 실시 예의 반사부(120)는 510㎚ 내지 530㎚ 에서 피크 파장을 갖는 그린 파장을 반사하는 경우, 상기 제1 층(121a 내지 121g) 각각의 두께는 52㎚ 내지 160㎚일 수 있고, 상기 제2 층(123a 내지 123g) 각각의 두께는 54㎚ 내지 170㎚일 수 있다. 여기서, 상기 제2 층(123a 내지 123g)의 AlxGa1-xN의 x는 0.3일 수 있다. 상기 제1 층(121a 내지 121g) 각각의 두께는 상기 제2 층(123a 내지 123g) 각각의 두께보다 얇을 수 있다. 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g) 각각의 두께는 얇을수록 반사되는 그린 파장의 반치폭(FWHM)은 두꺼워질 수 있다. 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)의 두께를 조절하여 20㎚이하의 반치폭(FWHM)을 갖는 그린 파장을 구현할 수 있다.When the reflector 120 of the third embodiment reflects a green wavelength having a peak wavelength at 510 nm to 530 nm, the thickness of each of the first layers 121a to 121g may be 52 nm to 160 nm, The thickness of each of the second layers 123a to 123g may be 54 nm to 170 nm. Here, x of Al x Ga 1-x N of the second layers 123a to 123g may be 0.3. The thickness of each of the first layers 121a to 121g may be thinner than the thickness of each of the second layers 123a to 123g. As the thickness of each of the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g is thinner, the half width (FWHM) of the reflected green wavelength may be thicker. A green wavelength having a half width (FWHM) of 20 nm or less can be realized by controlling the thickness of the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g.

제4 실시 예의 반사부(120)는 510㎚ 내지 530㎚ 에서 피크 파장을 갖는 그린 파장을 반사하는 경우, 상기 제1 층(121a 내지 121g) 각각의 두께는 52㎚ 내지 160㎚일 수 있고, 상기 제2 층(123a 내지 123g) 각각의 두께는 59㎚ 내지 180㎚일 수 있다. 여기서, 상기 제2 층(123a 내지 123g)의 AlN일 수 있다. 상기 제1 층(121a 내지 121g) 각각의 두께는 상기 제2 층(123a 내지 123g) 각각의 두께보다 얇을 수 있다. 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g) 각각의 두께는 얇을수록 반사되는 그린 파장의 반치폭(FWHM)은 두꺼워질 수 있다. 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)의 두께를 조절하여 20㎚이하의 반치폭(FWHM)을 갖는 그린 파장을 구현할 수 있다. 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g)의 두께 차이는 상기 제1 및 제2 층(121a 내지 121g, 123a 내지 123g) 각각의 굴절률 차이가 클수록 커질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.When the reflector 120 of the fourth embodiment reflects a green wavelength having a peak wavelength at 510 nm to 530 nm, the thickness of each of the first layers 121a to 121g may be 52 nm to 160 nm, The thickness of each of the second layers 123a to 123g may be 59 nm to 180 nm. Here, AlN of the second layers 123a to 123g may be used. The thickness of each of the first layers 121a to 121g may be thinner than the thickness of each of the second layers 123a to 123g. As the thickness of each of the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g is thinner, the half width (FWHM) of the reflected green wavelength may be thicker. A green wavelength having a half width (FWHM) of 20 nm or less can be realized by controlling the thickness of the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g. The difference in thickness between the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g may be larger as the difference in refractive index between the first and second layers 121a to 121g and 123a to 123g is greater, no.

상기 제2 반도체층(130)은 상기 반사부(120) 상에 배치될 수 있다. 상기 제2 반도체층(130)은 상기 반사부(120)와 직접 접할 수 있다. 상기 제2 반도체층(130)은 3족-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 예컨대, GaN, AlN, InN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 실시 예는 상기 반사부(120) 상에 제2 반도체층(130)이 배치된 구조를 한정하고 있지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 예컨대 상기 제2 반도체층(130)은 생략될 수도 있다.The second semiconductor layer 130 may be disposed on the reflective portion 120. The second semiconductor layer 130 may be in direct contact with the reflective portion 120. The second semiconductor layer 130 may be formed of at least one of Group III-V or Group II-VI compound semiconductor such as GaN, AlN, InN, InGaN, AlGaN, InAlGaN and AlInN. Although the embodiment has a structure in which the second semiconductor layer 130 is disposed on the reflective portion 120, the present invention is not limited thereto. For example, the second semiconductor layer 130 may be omitted.

실시 예는 성장기판(101)으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시키는 반사부(120)를 포함하여 발광효율을 향상시킬 수 있다.The embodiment can improve the luminous efficiency by including the reflection unit 120 that reflects a target wavelength below a critical angle in the light traveling to the growth substrate 101.

실시 예는 성장기판(101)으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시키는 반사부(120)를 포함하여 내부양자효율을 향상시킬 수 있는 기판 및 이를 갖는 발광소자를 제공할 수 있다.Embodiments can provide a substrate that can improve the internal quantum efficiency by including a reflection portion 120 that reflects a target wavelength of a critical angle or less in light traveling to a growth substrate 101 and a light emitting device having the same.

실시 예는 반사되는 타겟 파장이 20㎚이하의 반치폭(FWHM)을 갖고, 70% 이상의 반사율을 가져 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The embodiment has a half-width (FWHM) of the reflected target wavelength of 20 nm or less and has a reflectance of 70% or more so that the reliability can be improved.

도 6은 실시 예에 따른 기판을 포함하는 발광소자를 도시한 단면도이다.6 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device including a substrate according to an embodiment.

도 6에 도시된 바와 같이, 실시 예의 발광소자(200)는 기판(100)을 포함할 수 있다. 상기 기판(100)은 도 1 내지 도 5의 기술적 특징을 채용할 수 있다.As shown in FIG. 6, the light emitting device 200 of the embodiment may include the substrate 100. The substrate 100 may employ the technical features of FIGS.

상기 발광소자(200)는 리세스를 갖는 격벽(170) 및 상기 격벽(170)의 리세스 내에 배치된 발광구조물(150)을 포함할 수 있다.The light emitting device 200 may include a barrier 170 having a recess and a light emitting structure 150 disposed in a recess of the barrier 170.

상기 격벽(170)은 투광성 재질, 반사성 재질, 절연성 재질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 격벽(170)은 수지 계열의 절연 물질일 수 있다. 예컨대 상기 격벽(170)은 폴리프탈아미드(PPA: Polyphthalamide), 에폭시 또는 실리콘 재질과 같은 수지 재질, 실리콘(Si) 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 상기 격벽(170)은 예컨대 탑뷰 형상이 정사각형 일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 격벽(170)의 탑뷰 형상은 원형 또는 다각형 형상일 수 있다. The barrier rib 170 may include at least one of a light-transmitting material, a reflective material, and an insulating material. The barrier rib 170 may be a resin-based insulating material. For example, the barrier ribs 170 may be formed of at least one of a resin material such as polyphthalamide (PPA), an epoxy or a silicon material, and silicon (Si). The barrier rib 170 may be square, for example, but is not limited thereto. The shape of the top view of the barrier ribs 170 may be circular or polygonal.

상기 발광 구조물(150)은 제1 도전형 반도체층(151). 활성층(153) 및 제2 도전형 반도체층(155)을 포함할 수 있다.The light emitting structure 150 includes a first conductive semiconductor layer 151. An active layer 153, and a second conductivity type semiconductor layer 155.

상기 제1 도전형 반도체층(151)은 반도체 화합물, 예컨대 3족-5족 또는 2-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있고, 제1 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 예컨대 상기 제1 도전형 반도체층(151)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(151)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(151)이 n형 반도체층인 경우, n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 제1 도전형 반도체층(151)은 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법을 사용하여 N형 GaN층을 형성할 수 있다. 또한, 상기 제1 도전형 반도체층(151)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 실리콘(Si)와 같은 n 형 불순물을 포함하는 실란 가스(SiH4)가 주입되어 형성될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 151 may be formed of a compound semiconductor such as a Group 3-Group-5 or a Group-6-Group, and may be doped with a first conductive-type dopant. For example, the first conductive semiconductor layer 151 may include a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? can do. The first conductive semiconductor layer 151 may be formed of one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP and InP. When the first conductive semiconductor layer 151 is an n-type semiconductor layer, it may include Si, Ge, Sn, Se, and Te as an n-type dopant, but is not limited thereto. The first conductive semiconductor layer 151 may be formed by a chemical vapor deposition (CVD) method, a molecular beam epitaxy (MBE) method, a sputtering method, or a vapor phase epitaxy (HVPE) method . The first conductive semiconductor layer 151 may be formed by depositing a silane containing an n-type impurity such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ) Gas (SiH 4 ) may be implanted and formed.

상기 활성층(153)은 제1 도전형 반도체층(151)을 통해서 주입되는 전자와 이후 형성되는 제2 도전형 반도체층(155)을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(발광층) 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다. Electrons injected through the first conductive type semiconductor layer 151 and holes injected through the second conductive type semiconductor layer 155 formed after the first and the second conductive type semiconductor layers 155 and 155 collide with each other to form an energy band unique to the active layer Which emits light having an energy determined by &lt; RTI ID = 0.0 &gt;

상기 활성층(153)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 활성층(153)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 활성층(153)은 우물층/장벽층 구조를 포함할 수 있다. 예를 들어, 우물층/장벽층 구조는 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 우물층은 상기 장벽층의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The active layer 153 may be formed of at least one of a single quantum well structure, a multi quantum well (MQW) structure, a quantum-wire structure, or a quantum dot structure. For example, the active layer 153 may be formed of a multiple quantum well structure by injecting trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and trimethyl indium gas (TMIn) But is not limited thereto. The active layer 153 may include a well layer / barrier layer structure. For example, the well layer / barrier layer structure may be formed of one or more pairs of InGaN / GaN, InGaN / InGaN, GaN / AlGaN, InAlGaN / GaN, GaAs (InGaAs) / AlGaAs, GaP (InGaP) But are not limited thereto. The well layer may be formed of a material having a band gap lower than the band gap of the barrier layer.

상기 제2 도전형 반도체층(155)은 반도체 화합물, 예컨대 3족-5족 또는 2-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있고, 제2 도전형 도편트가 도핑될 수 있다. 예컨대 상기 제2 도전형 반도체층(155)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(155)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(155)이 p형 반도체층인 경우, 상기 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(155)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 마그네슘(Mg)과 같은 p 형 불순물을 포함하는 비세틸 사이클로 펜타디에닐 마그네슘(EtCp2Mg){Mg(C2H5C5H4)2}가 주입되어 p형 GaN층이 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The second conductive semiconductor layer 155 may be formed of a compound semiconductor such as a Group III-V or Group VI, and may be doped with a second conductive type dopant. For example, the second conductive semiconductor layer 155 may include a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1-xy N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + y? can do. The second conductive semiconductor layer 155 may be formed of any one of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP and InP. When the second conductive type semiconductor layer 155 is a p-type semiconductor layer, the second conductive type dopant may include Mg, Zn, Ca, Sr, and Ba as a p-type dopant. The second conductive type semiconductor layer 155 is Bisei containing trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3), p-type impurity such as nitrogen gas (N 2), and magnesium (Mg) into the chamber butyl bicyclo The p-type GaN layer may be formed by implanting pentadienyl magnesium (EtCp 2 Mg) {Mg (C 2 H 5 C 5 H 4 ) 2 }, but the present invention is not limited thereto.

실시 예의 발광소자(200)는 상기 발광 구조물(150)과 상기 기판(100) 사이에 본딩층(140)이 배치될 수 있다. 상기 본딩층(140)은 상기 발광 구조물(150)의 제1 도전형 반도체층(151) 하부에 직접 접할 수 있다. 상기 본딩층(140)은 베리어 금속 또는 본딩 금속으로 사용될 수 있으며, 그 물질은 예를 들어, Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Bi, Cu, Ag 및 Ta와 선택적인 합금 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 상기 본딩층(140)은 70% 이상의 투과도를 가지는 benzocyclobutene (BCB), SU-8, 아크릴 또는 유기물질, SOG와 같은 무기물질 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.In the light emitting device 200 of the embodiment, a bonding layer 140 may be disposed between the light emitting structure 150 and the substrate 100. The bonding layer 140 may directly contact the bottom of the first conductive semiconductor layer 151 of the light emitting structure 150. The bonding layer 140 may be used as a barrier metal or a bonding metal and the material may be selected from the group consisting of Ti, Au, Sn, Ni, Cr, Ga, In, Bi, Cu, But it is not limited thereto. For example, the bonding layer 140 may include benzocyclobutene (BCB), SU-8, acrylic or organic materials having a transmittance of 70% or more, inorganic materials such as SOG, or combinations thereof.

실시 예의 발광소자(200)는 발광 구조물(150)로부터 상기 기판(100)으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시키는 반사부(120)를 포함하여 발광효율을 향상시킬 수 있다.The light emitting device 200 of the embodiment may include a reflector 120 that reflects a target wavelength of a critical angle or less in the light traveling from the light emitting structure 150 to the substrate 100 to improve luminous efficiency.

실시 예의 발광소자(200)는 기판(100) 방향으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시키는 반사부(120)를 포함하여 내부양자효율을 향상시킬 수 있다.The light emitting device 200 of the embodiment may include a reflection unit 120 that reflects a target wavelength of a critical angle or less in the light traveling in the direction of the substrate 100 to improve internal quantum efficiency.

실시 예의 발광소자(200)는 반사부(120)로부터 반사되는 타겟 파장이 20㎚이하의 반치폭(FWHM)을 갖고, 70% 이상의 반사율을 가질 수 있다. 따라서, 실시 예의 발광소자(200)는 특정 파장의 광을 구현하는 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The light emitting device 200 of the embodiment has a half-width (FWHM) of 20 nm or less and a reflectance of 70% or more at a target wavelength reflected from the reflector 120. Therefore, the light emitting device 200 of the embodiment can improve the reliability of realizing light of a specific wavelength.

도 7은 다른 실시 예의 발광소자를 도시한 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing a light emitting device of another embodiment.

도 7에 도시된 바와 같이, 다른 실시 예의 발광소자(300)는 기판(100)을 포함할 수 있다. 상기 기판(100)은 도 1 내지 도 5의 기술적 특징을 채용할 수 있다.As shown in FIG. 7, the light emitting device 300 of another embodiment may include the substrate 100. The substrate 100 may employ the technical features of FIGS.

상기 발광소자(300)는 리세스를 갖는 격벽(170) 및 상기 격벽(170)의 리세스 내에 배치된 발광구조물(350)을 포함할 수 있다.The light emitting device 300 may include a barrier 170 having a recess and a light emitting structure 350 disposed in a recess of the barrier 170.

상기 격벽(170)은 도 6의 실시 예의 발광소자(200)의 기술적 특징을 채용할 수 있다.The barrier ribs 170 may adopt the technical features of the light emitting device 200 of the embodiment of FIG.

상기 발광 구조물(350)은 제1 도전형 반도체층(351). 활성층(353) 및 제2 도전형 반도체층(355)을 포함할 수 있다. 상기 발광 구조물(350) 각각의 구성은 도 6의 실시 예의 발광소자(200)의 기술적 특징을 채용할 수 있다.The light emitting structure 350 includes a first conductive semiconductor layer 351. An active layer 353 and a second conductivity type semiconductor layer 355. [ The structure of each of the light emitting structures 350 may employ the technical features of the light emitting device 200 of the embodiment of FIG.

상기 발광 구조물(350)은 상기 제2 반도체층(130) 위에 형성될 수 있다. 예컨대 상기 제1 도전형 반도체층(351)은 상기 제2 반도체층(130) 위에 성장될 수 있다. 구체적으로 상기 제2 반도체층(130)은 3족-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 예컨대 GaN, AlN, InN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 일 예로 상기 제2 반도체층(130)은 GaN일 수 있고, 상기 제1 도전형 반도체층(351)은 제1 도전형 도펀트를 포함하는 GaN일 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. The light emitting structure 350 may be formed on the second semiconductor layer 130. For example, the first conductive semiconductor layer 351 may be grown on the second semiconductor layer 130. Specifically, the second semiconductor layer 130 may be formed of at least one of Group III-V or Group II-VI compound semiconductor such as GaN, AlN, InN, InGaN, AlGaN, InAlGaN and AlInN. For example, the second semiconductor layer 130 may be GaN, and the first conductive semiconductor layer 351 may be GaN including a first conductive dopant. However, the present invention is not limited thereto.

다른 예로 상기 발광 구조물(350)은 반사부(120) 위에 형성될 수 있다. 예컨대 상기 제1 도전형 반도체층(351)은 상기 반사부(120) 위에 성장될 수 있다. 구체적으로 상기 제2 반도체층(130)은 생략될 수 있고, 상기 반사부(120)의 최상부층은 3족-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 예컨대 GaN, AlN, InN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다. 일 예로 상기 반사부(120)의 최상부층은 GaN일 수 있고, 상기 제1 도전형 반도체층(351)은 제1 도전형 도펀트를 포함하는 GaN일 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.As another example, the light emitting structure 350 may be formed on the reflective portion 120. For example, the first conductive semiconductor layer 351 may be grown on the reflective portion 120. Specifically, the second semiconductor layer 130 may be omitted, and the uppermost layer of the reflective portion 120 may be a Group III-V or Group IIB compound semiconductor such as GaN, AlN, InN, InGaN, AlGaN, InAlGaN , And AlInN. For example, the uppermost layer of the reflective portion 120 may be GaN, and the first conductive semiconductor layer 351 may be GaN including a first conductive dopant. However, the present invention is not limited thereto.

다른 실시 예의 발광소자(300)는 상기 기판(100) 상에 발광 구조물(350)이 직접 성장되어 발광 구조물(350) 및 기판(100)을 결합하는 별도의 구성을 생략하여 제조 공정을 간소화하고 제조 비용을 줄일 수 있다.The light emitting device 300 of another embodiment may be manufactured by directly growing the light emitting structure 350 on the substrate 100 to omit a separate structure for joining the light emitting structure 350 and the substrate 100, Cost can be reduced.

다른 실시 예의 발광소자(300)는 발광 구조물(350)로부터 상기 기판(100)으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시키는 반사부(120)를 포함하여 발광효율을 향상시킬 수 있다.The light emitting device 300 of another embodiment may include a reflector 120 that reflects a target wavelength of a critical angle or less in the light traveling from the light emitting structure 350 to the substrate 100 to improve luminous efficiency.

다른 실시 예의 발광소자(300)는 기판(100) 방향으로 진행하는 빛 중에 임계각 이하의 타겟 파장을 반사시키는 반사부(120)를 포함하여 내부양자효율을 향상시킬 수 있다.The light emitting device 300 of another embodiment may include a reflection unit 120 that reflects a target wavelength of a critical angle or less in the light traveling in the direction of the substrate 100, thereby improving internal quantum efficiency.

다른 실시 예의 발광소자(300)는 반사부(120)로부터 반사되는 타겟 파장이 20㎚이하의 반치폭(FWHM)을 갖고, 70% 이상의 반사율을 가질 수 있다. 따라서, 실시 예의 발광소자(300)는 특정 파장의 광을 구현하는 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The light emitting device 300 of another embodiment may have a half-width (FWHM) of 20 nm or less and a reflectance of 70% or more at a target wavelength reflected from the reflector 120. Therefore, the light emitting device 300 of the embodiment can improve the reliability of realizing light of a specific wavelength.

도 8은 실시 예의 발광소자를 포함하는 백라이트 유닛을 도시한 도면이다.8 is a view showing a backlight unit including the light emitting device of the embodiment.

도 8는 실시 예의 백라이트 유닛을 도시한 사시도이다.8 is a perspective view showing the backlight unit of the embodiment.

도 8에 도시된 바와 같이, 실시 예의 액정표시장치(1100)는 액정표시패널(1110), 상기 액정표시패널(1110)에 광을 제공하는 백라이트 유닛, 가이드 패널(1180), 상부커버(1120) 및 바텀커버(1130)를 포함할 수 있다.8, the liquid crystal display device 1100 includes a liquid crystal display panel 1110, a backlight unit for providing light to the liquid crystal display panel 1110, a guide panel 1180, an upper cover 1120, And a bottom cover 1130.

상기 액정표시패널(1110)은 상부기판(1113) 및 하부기판(1111)을 포함할 수 있다. 상기 액정표시패널(1110)은 도면에는 도시되지 않지만, 상기 상부기판(1113)과 하부기판(1111) 사이에 액정층(미도시)을 포함할 수 있고, 상기 하부기판(1111)과 연결되어 구동신호를 제공하는 구동 PCB(Printed Circuit Board, 미도시)를 포함할 수 있고, 편광시트를 포함할 수 있다.The liquid crystal display panel 1110 may include an upper substrate 1113 and a lower substrate 1111. The liquid crystal display panel 1110 may include a liquid crystal layer (not shown) between the upper substrate 1113 and the lower substrate 1111 and may be connected to the lower substrate 1111 A printed circuit board (not shown) that provides a signal, and may include a polarizing sheet.

상기 액정표시패널(1110)은 화소 단위를 이루는 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열되어 있으며, 구동 PCB에서 전달되는 화상 신호 정보에 따라 액정 셀들이 광 투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다.In the liquid crystal display panel 1110, liquid crystal cells constituting a pixel unit are arranged in a matrix form, and liquid crystal cells control an optical transmittance according to image signal information transmitted from a driving PCB, thereby displaying an image.

상기 하부기판(1111)은 복수의 게이트 라인과 복수의 데이터 라인이 매트릭스 형태로 배치될 수 있고, 상기 게이트 라인과 데이터 라인이 교차영역에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)가 배치될 수 있다.In the lower substrate 1111, a plurality of gate lines and a plurality of data lines may be arranged in a matrix, and a thin film transistor (TFT) may be arranged in a crossing region between the gate lines and the data lines.

상기 상부기판(1113)은 컬러필터가 배치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The upper substrate 1113 may include a color filter, but is not limited thereto.

상기 상부커버(1120)는 상기 액정표시패널(1110)의 상부 가장자리 상에 배치될 수 있고, 상기 가이드 패널(1180)과 체결될 수 있다.The upper cover 1120 may be disposed on the upper edge of the liquid crystal display panel 1110 and may be coupled to the guide panel 1180.

상기 바텀커버(1130)는 상면이 개구된 구조일 수 있다. 상기 바텀커버(1130)는 상기 가이드 패널(1180)과 체결될 수 있다. 예컨대 상기 바텁커버(1130)는 후크 체결 구조, 스크류 체결 구조 등으로 상기 가이드 패널(1180)과 체결될 수 있다.The bottom cover 1130 may have an open top surface. The bottom cover 1130 may be fastened to the guide panel 1180. For example, the bottom cover 1130 may be fastened to the guide panel 1180 by a hook fastening structure, a screw fastening structure, or the like.

상기 가이드 패널(1180)은 사각 테 형태일 수 있다. 상기 가이드 패널(1180)은 상기 액정표시패널(1110), 백라이트 유닛을 지지 또는 수용할 수 있다. 이를 위해 상기 가이드 패널(1180)은 단차 구조, 돌출 구조 및 홈 구조를 포함할 수 있다.The guide panel 1180 may have a rectangular frame shape. The guide panel 1180 may support or accommodate the liquid crystal display panel 1110 and the backlight unit. To this end, the guide panel 1180 may include a stepped structure, a protruding structure, and a groove structure.

상기 백라이트 유닛은 도광판(1140), 광원유닛, 광학시트들(1150) 및 반사시트(1160)를 포함할 수 있다.The backlight unit may include a light guide plate 1140, a light source unit, optical sheets 1150, and a reflective sheet 1160.

상기 광원유닛은 회로기판(201)과, 발광부(200)를 포함할 수 있다. 상기 발광부(200)는 도 6 및 도 7의 발광소자의 기술적 특징을 채용할 수 있다. 실시 예는 발광부(200)가 가장자리에 배치된 에지 타입 백라이트 유닛을 한정하여 설명하고 있지만, 이에 한정하지 않고, 상기 액정표시패널(1110)의 직하에 다수의 발광소자가 배치된 직하 타입 백라이트 유닛에 적용될 수 있다.The light source unit may include a circuit board 201 and a light emitting unit 200. The light emitting unit 200 may employ the technical features of the light emitting device of FIGS. However, the present invention is not limited to this, and a direct-type backlight unit in which a plurality of light emitting elements are disposed directly under the liquid crystal display panel 1110 Lt; / RTI &gt;

실시 예의 백라이트 유닛은 병렬 또는 직병렬 접속된 복수의 발광소자들을 포함하여 점등불량을 개선할 수 있다. The backlight unit of the embodiment may include a plurality of light emitting elements connected in parallel or series-parallel to improve the lighting failure.

도 9는 실시 예의 발광소자를 포함하는 조명시스템을 도시한 도면이다.9 is a diagram showing an illumination system including the light emitting device of the embodiment.

도 9에 도시된 바와 같이, 실시 예에 따른 조명 장치는 커버(2100), 광원 모듈(2200), 방열체(2400), 전원 제공부(2600), 내부 케이스(2700), 소켓(2800)을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치는 부재(2300)와 홀더(2500) 중 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)은 실시 예에 따른 발광 소자를 포함할 수 있다.9, the lighting apparatus according to the embodiment includes a cover 2100, a light source module 2200, a heat discharger 2400, a power supply unit 2600, an inner case 2700, a socket 2800, . Further, the illumination device according to the embodiment may further include at least one of the member 2300 and the holder 2500. The light source module 2200 may include a light emitting device according to an embodiment of the present invention.

예컨대, 상기 커버(2100)는 벌브(bulb) 또는 반구의 형상을 가지며, 속이 비어 있고, 일 부분이 개구된 형상으로 제공될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)과 광학적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)로부터 제공되는 빛을 확산, 산란 또는 여기 시킬 수 있다. 상기 커버(2100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합하는 결합부를 가질 수 있다.For example, the cover 2100 may have a shape of a bulb or a hemisphere, and may be provided in a shape in which the hollow is hollow and a part is opened. The cover 2100 may be optically coupled to the light source module 2200. For example, the cover 2100 may diffuse, scatter, or excite light provided from the light source module 2200. The cover 2100 may be a kind of optical member. The cover 2100 may be coupled to the heat discharging body 2400. The cover 2100 may have an engaging portion that engages with the heat discharging body 2400.

상기 커버(2100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 유백색의 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(2100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(2100)의 외면의 표면 거칠기보다 크게 형성될 수 있다. 이는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 빛이 충분히 산란 및 확산되어 외부로 방출시키기 위함이다. The inner surface of the cover 2100 may be coated with a milky white paint. Milky white paints may contain a diffusing agent to diffuse light. The surface roughness of the inner surface of the cover 2100 may be larger than the surface roughness of the outer surface of the cover 2100. This is for sufficiently diffusing and diffusing the light from the light source module 2200 and emitting it to the outside.

상기 커버(2100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는 내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(2100)는 외부에서 상기 광원 모듈(2200)이 보이도록 투명할 수 있고, 불투명할 수 있다. 상기 커버(2100)는 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The cover 2100 may be made of glass, plastic, polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), or the like. Here, polycarbonate is excellent in light resistance, heat resistance and strength. The cover 2100 may be transparent so that the light source module 2200 is visible from the outside, and may be opaque. The cover 2100 may be formed by blow molding.

상기 광원 모듈(2200)은 상기 방열체(2400)의 일 면에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열은 상기 방열체(2400)로 전도된다. 상기 광원 모듈(2200)은 광원부(2210), 연결 플레이트(2230), 커넥터(2250)를 포함할 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)은 병렬 또는 직병렬 연결된 발광소자들을 포함하는 발광부를 포함할 수 있고, 상기 발광부는 도 1 내지 도 11의 발광부의 기술적 특징을 채용할 수 있다.The light source module 2200 may be disposed on one side of the heat discharging body 2400. Accordingly, heat from the light source module 2200 is conducted to the heat discharger 2400. The light source module 2200 may include a light source unit 2210, a connection plate 2230, and a connector 2250. The light source module 2200 may include a light emitting unit including light emitting devices connected in parallel or series and parallel, and the light emitting unit may employ the technical features of the light emitting units of FIGS.

상기 부재(2300)는 상기 방열체(2400)의 상면 위에 배치되고, 복수의 광원부(2210)들과 커넥터(2250)이 삽입되는 가이드홀(2310)들을 갖는다. 상기 가이드홀(2310)은 상기 광원부(2210)의 기판 및 커넥터(2250)와 대응된다.The member 2300 is disposed on the upper surface of the heat discharging body 2400 and has guide holes 2310 through which the plurality of light source portions 2210 and the connector 2250 are inserted. The guide hole 2310 corresponds to the substrate of the light source unit 2210 and the connector 2250.

상기 부재(2300)의 표면은 빛 반사 물질로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 예를 들면, 상기 부재(2300)의 표면은 백색의 도료로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 이러한 상기 부재(2300)는 상기 커버(2100)의 내면에 반사되어 상기 광원 모듈(2200)측 방향으로 되돌아오는 빛을 다시 상기 커버(2100) 방향으로 반사한다. 따라서, 실시 예에 따른 조명 장치의 광 효율을 향상시킬 수 있다.The surface of the member 2300 may be coated or coated with a light reflecting material. For example, the surface of the member 2300 may be coated or coated with a white paint. The member 2300 reflects the light reflected by the inner surface of the cover 2100 toward the cover 2100 in the direction toward the light source module 2200. Therefore, the light efficiency of the illumination device according to the embodiment can be improved.

상기 부재(2300)는 예로서 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)의 연결 플레이트(2230)는 전기 전도성의 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 방열체(2400)와 상기 연결 플레이트(2230) 사이에 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 상기 부재(2300)는 절연 물질로 구성되어 상기 연결 플레이트(2230)와 상기 방열체(2400)의 전기적 단락을 차단할 수 있다. 상기 방열체(2400)는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열과 상기 전원 제공부(2600)로부터의 열을 전달받아 방열한다.The member 2300 may be made of an insulating material, for example. The connection plate 2230 of the light source module 2200 may include an electrically conductive material. Therefore, electrical contact can be made between the heat discharging body 2400 and the connecting plate 2230. The member 2300 may be formed of an insulating material to prevent an electrical short circuit between the connection plate 2230 and the heat discharging body 2400. The heat discharger 2400 receives heat from the light source module 2200 and heat from the power supply unit 2600 to dissipate heat.

상기 홀더(2500)는 내부 케이스(2700)의 절연부(2710)의 수납홀(2719)을 막는다. 따라서, 상기 내부 케이스(2700)의 상기 절연부(2710)에 수납되는 상기 전원 제공부(2600)는 밀폐된다. 상기 홀더(2500)는 가이드 돌출부(2510)를 갖는다. 상기 가이드 돌출부(2510)는 상기 전원 제공부(2600)의 돌출부(2610)가 관통하는 홀을 갖는다. The holder 2500 closes the receiving hole 2719 of the insulating portion 2710 of the inner case 2700. Therefore, the power supply unit 2600 housed in the insulating portion 2710 of the inner case 2700 is sealed. The holder 2500 has a guide protrusion 2510. The guide protrusion 2510 has a hole through which the protrusion 2610 of the power supply unit 2600 passes.

상기 전원 제공부(2600)는 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 상기 광원 모듈(2200)로 제공한다. 상기 전원 제공부(2600)는 상기 내부 케이스(2700)의 수납홀(2719)에 수납되고, 상기 홀더(2500)에 의해 상기 내부 케이스(2700)의 내부에 밀폐된다. 상기 전원 제공부(2600)는 돌출부(2610), 가이드부(2630), 베이스(2650), 연장부(2670)를 포함할 수 있다.The power supply unit 2600 processes or converts an electrical signal provided from the outside and provides the electrical signal to the light source module 2200. The power supply unit 2600 is housed in a receiving hole 2719 of the inner case 2700 and is sealed inside the inner case 2700 by the holder 2500. The power supply unit 2600 may include a protrusion 2610, a guide 2630, a base 2650, and an extension 2670.

상기 가이드부(2630)는 상기 베이스(2650)의 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 가이드부(2630)는 상기 홀더(2500)에 삽입될 수 있다. 상기 베이스(2650)의 일 면 위에 다수의 부품이 배치될 수 있다. 다수의 부품은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원 모듈(2200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원 모듈(2200)을 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The guide portion 2630 has a shape protruding outward from one side of the base 2650. The guide portion 2630 may be inserted into the holder 2500. A plurality of components may be disposed on one side of the base 2650. The plurality of components include, for example, a DC converter for converting AC power supplied from an external power source into DC power, a driving chip for controlling driving of the light source module 2200, an ESD (ElectroStatic discharge) protective device, and the like, but the present invention is not limited thereto.

상기 연장부(2670)는 상기 베이스(2650)의 다른 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750) 내부에 삽입되고, 외부로부터의 전기적 신호를 제공받는다. 예컨대, 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750)의 폭과 같거나 작게 제공될 수 있다. 상기 연장부(2670)에는 "+ 전선"과 "- 전선"의 각 일 단이 전기적으로 연결되고, "+ 전선"과 "- 전선"의 다른 일 단은 소켓(2800)에 전기적으로 연결될 수 있다.The extension portion 2670 has a shape protruding outward from the other side of the base 2650. The extension portion 2670 is inserted into the connection portion 2750 of the inner case 2700 and receives an external electrical signal. For example, the extension portion 2670 may be provided to be equal to or smaller than the width of the connection portion 2750 of the inner case 2700. One end of each of the positive wire and the negative wire is electrically connected to the extension portion 2670 and the other end of the positive wire and the negative wire are electrically connected to the socket 2800 .

실시 예에 따른 발광소자는 상기 조명 장치뿐만 아니라, 지시 장치, 램프, 가로등, 차량용 조명장치, 차량용 표시장치, 스마트 시계 등에 적용될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The light emitting device according to the embodiment can be applied not only to the lighting device but also to an indicating device, a lamp, a streetlight, a vehicle lighting device, a vehicle display device, a smart watch, and the like, but is not limited thereto.

실시 예에 따른 기판을 포함하는 발광소자는 의료기기, 조명 유닛, 지시 장치, 램프, 가로등, 차량용 조명장치, 차량용 표시장치, 스마트 시계 등에 적용될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The light emitting device including the substrate according to the embodiment can be applied to a medical device, a lighting unit, a pointing device, a lamp, a streetlight, a vehicle lighting device, a vehicle display device, a smart watch, but is not limited thereto.

이상에서 실시 예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시 예에 포함되며, 반드시 하나의 실시 예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시 예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시 예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시 예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment and are not necessarily limited to one embodiment. Further, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments can be combined and modified by other persons having ordinary skill in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents of such combinations and modifications should be construed as being included in the scope of the embodiments.

이상에서 실시 예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시 예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It can be seen that the modification and application of branches are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

100: 기판
101P: 요철구조
101: 성장기판
110: 제1 반도체층
120: 반사부
121a 내지 121g: 제1 층
123a 내지 123g: 제2 층
130: 제2 반도체층
200: 발광소자
150, 350: 발광 구조물
100: substrate
101P: concave and convex structure
101: growth substrate
110: first semiconductor layer
120:
121a to 121g:
123a to 123g: second layer
130: second semiconductor layer
200: light emitting element
150, 350: light emitting structure

Claims (13)

상부에 요철 구조를 갖는 성장기판;
상기 성장기판 상에 상기 요철 구조를 덮는 제1 반도체층; 및
상기 제1 반도체층 상에 배치되어 7 페어 내지 30 페어 교번되는 제1 및 제2 층을 포함하는 2.14 이상의 굴절률을 갖는 반사부를 포함하는 기판.
A growth substrate having a concave-convex structure on the top;
A first semiconductor layer covering the concave-convex structure on the growth substrate; And
And a reflective portion disposed on the first semiconductor layer and having a refractive index of 2.14 or greater, the first and second layers being 7 to 30 pairs alternating.
제1 항에 있어서,
상기 반사부는 타겟 파장을 반사하고, 상기 타겟 파장은 470㎚ 내지 490㎚ 에서 피크를 갖는 파장, 510㎚ 내지 530㎚ 에서 피크를 갖는 파장, 자외선 파장 및 적외선 파장 중 적어도 하나인 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the reflective portion reflects a target wavelength, the target wavelength is at least one of a wavelength having a peak at 470 nm to 490 nm, a wavelength having a peak at 510 nm to 530 nm, an ultraviolet wavelength and an infrared wavelength.
제1 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 층 각각은 GaN, AlN, AlGaN 중 어느 하나를 포함하는 기판.
The method according to claim 1,
Wherein each of the first and second layers comprises any one of GaN, AlN, and AlGaN.
제1 항에 있어서,
상기 반사부의 굴절률은 2.14 내지 3.17인 기판.
The method according to claim 1,
And the refractive index of the reflective portion is 2.14 to 3.17.
제1 항에 있어서,
상기 반사부는 470㎚ 내지 490㎚ 에서 피크 파장을 갖는 블루 파장을 반사하고,
상기 제1 층은 GaN이고, 상기 제2 층은 AlxGa1-xN (0<x≤1)이고,
상기 제1 층 각각의 두께는 48㎚ 내지 150㎚,
상기 제2 층 각각의 두께는 50㎚ 내지 170㎚인 기판.
The method according to claim 1,
The reflector reflects a blue wavelength having a peak wavelength at 470 nm to 490 nm,
Wherein the first layer is GaN, the second layer is Al x Ga 1-x N (0 < x &lt; = 1 )
The thickness of each of the first layers is 48 nm to 150 nm,
And each of the second layers has a thickness of 50 nm to 170 nm.
제1 항에 있어서,
상기 반사부는 510㎚ 내지 530㎚ 에서 피크 파장을 갖는 그린 파장을 반사하고,
상기 제1 층은 GaN이고, 상기 제2 층은 AlxGa1-xN (0<x≤1)이고,
상기 제1 층 각각의 두께는 52㎚ 내지 160㎚,
상기 제2 층 각각의 두께는 54㎚ 내지 180㎚인 기판.
The method according to claim 1,
The reflector reflects a green wavelength having a peak wavelength at 510 nm to 530 nm,
Wherein the first layer is GaN, the second layer is Al x Ga 1-x N (0 < x &lt; = 1 )
The thickness of each of the first layers is 52 nm to 160 nm,
And each of the second layers has a thickness of 54 nm to 180 nm.
제1 항에 있어서,
상기 반사부는 70% 이상의 반사율을 갖는 기판.
The method according to claim 1,
And the reflector has a reflectance of 70% or more.
제1 항에 있어서,
상기 제1 반도체층의 상부면은 상기 요철 구조의 돌출된 상부 끝단보다 위에 배치되는 기판.
The method according to claim 1,
Wherein an upper surface of the first semiconductor layer is disposed above a projected upper end of the concave-convex structure.
제8 항에 있어서,
상기 제1 반도체층의 상부면과 상기 요철 구조의 돌출된 상부 끝단 사이의 간격은 5㎛ 이상인 기판.
9. The method of claim 8,
Wherein a distance between an upper surface of the first semiconductor layer and a protruding upper end of the concave-convex structure is 5 占 퐉 or more.
제1 항에 있어서,
상기 반사부 위에 배치된 제2 반도체층을 더 포함하는 기판.
The method according to claim 1,
And a second semiconductor layer disposed over the reflective portion.
제1 항 내지 제10 항 중 어느 하나의 기판;
상기 기판 상에 배치된 리세스를 포함하는 격벽; 및
상기 기판 상에 배치되고, 상기 리세스 내에 배치된 발광 구조물을 포함하는 발광소자.
11. A semiconductor device comprising: a substrate according to any one of claims 1 to 10;
A partition wall including a recess disposed on the substrate; And
And a light emitting structure disposed on the substrate and disposed in the recess.
제11 항에 있어서,
상기 기판과 상기 발광 구조물 사이에 배치된 본딩층을 더 포함하는 발광소자.
12. The method of claim 11,
And a bonding layer disposed between the substrate and the light emitting structure.
제11 항에 있어서,
상기 발광 구조물은 제1 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층 상에 활성층 및 상기 활성층 상에 제2 도전형 반도체층을 포함하고,
상기 제1 도저형 반도체층은 상기 기판 상에 성장되어 상기 기판과 직접 접하는 발광소자.
12. The method of claim 11,
Wherein the light emitting structure includes a first conductive semiconductor layer, an active layer on the first conductive semiconductor layer, and a second conductive semiconductor layer on the active layer,
Wherein the first doped semiconductor layer is grown on the substrate and is in direct contact with the substrate.
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