KR20170080140A - Flexible display device, and method for fabricating the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 베이스 필름과 보조 기판을 분리하는 과정에서 발생되는 베이스 필름의 표면 손상 또는 레이저에 의한 박막 트랜지스터의 손상을 방지할 수 있는 플렉서블 표시장치 및 그의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 베이스 필름, 상기 베이스 필름의 제1 면 상에 배치되는 박막 트랜지스터들을 포함하는 표시영역, 및 상기 표시영역의 적어도 일 측에 배치되는 패드들을 포함하는 비표시 영역을 구비하고, 상기 베이스 필름의 상기 제1 면의 반대면인 제2 면에는 음각 패턴이 마련된다.The present invention provides a flexible display device capable of preventing damage to a surface film of a base film or damage of a thin film transistor caused by a laser generated during a process of separating a base film and an auxiliary substrate, and a method of manufacturing the same. A flexible display device according to an embodiment of the present invention includes a base film, a display region including thin film transistors disposed on a first side of the base film, and a non-display region including pads disposed on at least one side of the display region And an engraved pattern is provided on a second surface of the base film that is opposite to the first surface.
Description
본 발명의 실시예는 플렉서블 표시장치, 및 그의 제조방법에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a flexible display device and a method of manufacturing the same.
정보화 사회로 시대가 발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시장치(FPD: Flat Panel Display Device)의 중요성이 증대되고 있다. 평판 표시장치에는, 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display Device), 플라즈마 표시장치(PDP: Plasma Display Panel Device), 유기발광 표시장치(OLED: Organic Light Emitting Display Device) 등이 있으며, 최근에는 전기영동 표시장치(EPD: Electrophoretic Display Device)도 널리 이용되고 있다.Background of the Invention As the age of the information society develops, the importance of flat panel display devices (FPDs) having excellent characteristics such as thinning, lightening, and low power consumption is increasing. Examples of the flat panel display include a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting display (OLED). Recently, Electrophoretic display devices (EPD) are also widely used.
이 중, 박막 트랜지스터를 포함하는 액정표시장치 및 유기발광 표시장치는 해상도, 컬러 표시, 화질 등에서 우수하여 텔레비전, 노트북, 테블릿 컴퓨터, 또는 데스크 탑 컴퓨터의 표시장치로 널리 상용화되고 있다. 이러한 액정표시장치와 유기발광 표시장치는 유연성을 갖는 플렉서블 표시장치(flexible display device)로도 개발되고 있다.Among them, liquid crystal display devices and organic light emitting display devices including thin film transistors are excellent in resolution, color display, image quality, and are widely commercialized as display devices for televisions, notebooks, tablet computers, or desktop computers. Such liquid crystal display devices and organic light emitting display devices are also being developed as flexible display devices.
종래의 플렉서블 표시패널은 베이스 필름, 버퍼층, 박막 트랜지스터, 및 유기발광소자를 포함한다. 베이스 필름은 보조 기판 상에 마련되며, 플랙서블한 플라스틱 필름일 수 있다. 버퍼층은 베이스 필름 상에 마련되고, 박막 트랜지스터는 버퍼층 상에 마련된다. 유기발광소자는 박막 트랜지스터 상에 마련되며, 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결된다. 이러한 종래의 플렉서블 표시패널은 보조 기판 상에 베이스 필름, 버퍼층, 박막 트랜지스터 및 유기발광소자를 순차적으로 형성한 후, 레이저를 이용하여 베이스 필름과 보조 기판을 분리함으로써 제조될 수 있다.Conventional flexible display panels include a base film, a buffer layer, a thin film transistor, and an organic light emitting element. The base film is provided on the auxiliary substrate and may be a flexible plastic film. A buffer layer is provided on the base film, and a thin film transistor is provided on the buffer layer. The organic light emitting element is provided on the thin film transistor, and is electrically connected to the thin film transistor. Such a conventional flexible display panel can be manufactured by sequentially forming a base film, a buffer layer, a thin film transistor and an organic light emitting element on an auxiliary substrate, and then separating the base film and the auxiliary substrate using a laser.
그러나, 종래의 플렉서블 표시장치는 베이스 필름과 보조 기판을 분리하는 과정에서 베이스 필름의 표면이 손상될 수 있으며, 또는 레이저에 의해 박막 트랜지스터가 손상될 수 있다. 이에 따라, 플렉서블 표시패널의 신뢰성이 저하될 수 있다.However, in the conventional flexible display device, the surface of the base film may be damaged in the process of separating the base film and the auxiliary substrate, or the thin film transistor may be damaged by the laser. As a result, the reliability of the flexible display panel may be deteriorated.
본 발명은 베이스 필름과 보조 기판을 분리하는 과정에서 발생되는 베이스 필름의 표면 손상 또는 레이저에 의한 박막 트랜지스터의 손상을 방지할 수 있는 플렉서블 표시장치 및 그의 제조방법을 제공한다.The present invention provides a flexible display device capable of preventing damage to a surface film of a base film or damage of a thin film transistor caused by a laser generated during a process of separating a base film and an auxiliary substrate, and a method of manufacturing the same.
본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 베이스 필름, 상기 베이스 필름의 제1 면 상에 배치되는 박막 트랜지스터들을 포함하는 표시영역, 및 상기 표시영역의 적어도 일 측에 배치되는 패드들을 포함하는 비표시 영역을 구비하고, 상기 베이스 필름의 상기 제1 면의 반대면인 제2 면에는 음각 패턴이 마련된다.A flexible display device according to an embodiment of the present invention includes a base film, a display region including thin film transistors disposed on a first side of the base film, and a non-display region including pads disposed on at least one side of the display region And an engraved pattern is provided on a second surface of the base film that is opposite to the first surface.
본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법은 보조 기판 상에 희생층을 패터닝하는 단계, 상기 보조 기판 상에 희생층을 덮도록 베이스 필름을 형성하는 단계, 상기 베이스 필름의 제1 면 상에 박막 트랜지스터들 및 패드들을 형성하는 단계, 및 레이저를 이용하여 상기 보조 기판과 베이스 필름을 분리하여 상기 베이스 필름의 제1 면의 반대 면이 제2 면에 음각 패턴을 구비하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a flexible display device according to an embodiment of the present invention includes the steps of: patterning a sacrificial layer on an auxiliary substrate; forming a base film to cover the sacrificial layer on the auxiliary substrate; And separating the auxiliary substrate and the base film by using a laser so that the opposite surface of the base film has an engraved pattern on the second surface.
본 발명의 실시예는 박막 트랜지스터가 마련된 베이스 필름의 제1 면의 반대 면인 제2 면에 음각 패턴이 구비된다. 이러한 음각 패턴은 베이스 필름을 형성하는 과정에서 보조기판 상에 패터닝된 희생층에 의해 구비될 수 있다. 본 발명의 실시예는 음각 패턴이 구비되기 때문에, 보조기판으로부터 베이스 필름을 분리하는 과정에서 발생되는 베이스 필름의 표면 손상 또는 레이저에 의한 박막 트랜지스터의 손상을 방지할 수 있다.The embodiment of the present invention is provided with the engraved pattern on the second surface which is the opposite side of the first surface of the base film provided with the thin film transistor. This engraved pattern may be provided by a patterned sacrificial layer on the auxiliary substrate in the process of forming the base film. The embodiment of the present invention can prevent the surface damage of the base film or the damage of the thin film transistor due to the laser generated in the process of separating the base film from the auxiliary substrate.
위에서 언급된 본 발명의 효과 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.In addition to the effects of the present invention mentioned above, other features and advantages of the present invention will be described below, or may be apparent to those skilled in the art from the description and the description.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 보여주는 사시도.
도 2는 도 1의 제1 기판의 표시영역과 비표시영역, 게이트 구동부, 소스 드라이브 IC, 연성필름, 회로보드, 및 타이밍 제어부를 보여주는 평면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 표시영역의 화소들을 보여주는 평면도.
도 4는 도 2의 I-I'의 일 예를 보여주는 단면도.
도 5는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ'의 일 예를 보여주는 단면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도.
도 7a 내지 도 7f는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들.1 is a perspective view showing a flexible display device according to an embodiment of the present invention;
Fig. 2 is a plan view showing a display region and a non-display region, a gate driver, a source drive IC, a flexible film, a circuit board, and a timing control portion of the first substrate of Fig.
3 is a plan view showing pixels of a display area according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view showing an example of I-I 'of FIG. 2;
5 is a cross-sectional view showing an example of II-II 'of FIG. 3;
6 is a flow chart showing a method of manufacturing a flexible display device according to an embodiment of the present invention.
7A to 7F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a flexible display device according to an embodiment of the present invention.
본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.The meaning of the terms described herein should be understood as follows.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제 1", "제 2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. "적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다. "상에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.The word " first, "" second," and the like, used to distinguish one element from another, are to be understood to include plural representations unless the context clearly dictates otherwise. The scope of the right should not be limited by these terms. It should be understood that the terms "comprises" or "having" does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof. It should be understood that the term "at least one" includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first item, the second item and the third item" means not only the first item, the second item or the third item, but also the second item and the second item among the first item, Means any combination of items that can be presented from more than one. The term "on" means not only when a configuration is formed directly on top of another configuration, but also when a third configuration is interposed between these configurations.
이하에서는 본 발명에 따른 플렉서블 표시장치 및 그의 제조방법의 바람직한 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the flexible display device and the manufacturing method thereof according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, like reference numerals are used to denote like elements throughout the drawings, even if they are shown on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1의 제1 기판의 표시영역과 비표시영역, 게이트 구동부, 소스 드라이브 IC, 연성필름, 회로보드, 및 타이밍 제어부를 보여주는 평면도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 표시영역의 화소들을 보여주는 평면도이다.1 is a perspective view showing a flexible display device according to an embodiment of the present invention. 2 is a plan view showing a display region and a non-display region, a gate driver, a source drive IC, a flexible film, a circuit board, and a timing control portion of the first substrate of FIG. 3 is a plan view showing pixels of a display area according to an embodiment of the present invention.
도 1에서 X축은 게이트 라인과 나란한 방향을 나타내고, Y축은 데이터 라인과 나란한 방향을 나타내며, Z축은 플렉서블 표시장치의 높이 방향을 나타낸다. 도 1의 사시도와 도 2의 평면도에서 보이지 않는 구성은 점선으로 도시하였다. 이하에서는 도 1 내지 도 3을 결부하여 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 설명한다.In Fig. 1, the X axis represents the direction parallel to the gate lines, the Y axis represents the direction parallel to the data lines, and the Z axis represents the height direction of the flexible display device. The configuration not shown in the perspective view of FIG. 1 and the plan view of FIG. 2 is shown by a dotted line. Hereinafter, a flexible display device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 플렉서블 표시패널(100), 게이트 구동부(200), 소스 드라이브 집적회로(integrated circuit, 이하 "IC"라 칭함)(310), 연성필름(330), 회로보드(350), 및 타이밍 제어부(400)를 포함한다.1 to 3, a flexible display device according to an embodiment of the present invention includes a flexible display panel 100, a
플랙서블 표시패널(100)은 표시영역(DA)과 비표시영역(NDA)을 포함한다. 플렉서블 표시패널(100)의 표시영역(DA)에는 게이트 라인들, 데이터 라인들, 및 화소들이 형성된다. 표시영역(NA)의 화소(P)들은 복수의 발광 영역들(RE, GE, BE)을 포함하고, 발광 영역들(RE, GE, BE)은 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차 영역들에 형성된다. 표시영역(DA)은 화소(P)들에 의해 화상을 표시한다. 본 발명에서는 화소(P)들 각각이 적색 발광 영역(RE), 녹색 발광 영역(GE), 및 청색 발광 영역(BE)을 포함하는 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 화소(P)들 각각은 적색 발광 영역(RE), 녹색 발광 영역(GE), 및 청색 발광 영역(BE)뿐만 아니라 백색 발광 영역을 더 포함할 수도 있다. 발광 영역들(RE, GE, BE) 사이에는 뱅크가 배치된다. 발광 영역들(RE, GE, BE)은 뱅크에 의해 구획된다. 비표시영역(NDA)은 표시영역(DA)의 테두리에 배치된다. 비표시영역(NDA)에는 게이트 구동부(200) 및 패드들이 마련될 수 있다.The flexible display panel 100 includes a display area DA and a non-display area NDA. In the display area DA of the flexible display panel 100, gate lines, data lines, and pixels are formed. The pixels P of the display area NA include a plurality of light emitting areas RE, GE, and BE, and the light emitting areas RE, GE, and BE are formed in intersecting areas of the gate lines and the data lines. do. The display area DA displays an image by the pixels P. [ In the present invention, each of the pixels P includes a red light emitting region RE, a green light emitting region GE, and a blue light emitting region BE. However, the present invention is not limited thereto. That is, each of the pixels P may further include a white light emitting region as well as a red light emitting region RE, a green light emitting region GE, and a blue light emitting region BE. Banks are disposed between the light emitting regions RE, GE, and BE. The light emitting regions RE, GE, and BE are partitioned by the banks. The non-display area NDA is disposed at the edge of the display area DA. The non-display area NDA may include a
플렉서블 표시패널(100)은 보호필름(120), 베이스 필름(110), 및 상부필름(190)을 포함한다. 보호필름(120)은 베이스 필름(110)을 보호하고 지지하기 위해 베이스 필름(110)의 제2 면에 부착될 수 있다. 베이스 필름(110)은 폴리이미드(polyimide)와 같이 유연성이 있는 플라스틱 필름일 수 있다. 상부필름(190)은 표시패널(110)이 하부 발광(bottom emission) 방식으로 구현되는 경우 보호필름(protection film)일 수 있으며, 상부 발광(top emission) 방식으로 구현되는 경우 폴리이미드(polyimide)와 같이 유연성이 있는 플라스틱 필름일 수 있다.The flexible display panel 100 includes a
게이트 구동부(200)는 타이밍 제어부(400)로부터 입력되는 게이트 제어신호 에 따라 게이트 라인들에 게이트 신호들을 공급한다. 도 1에서는 게이트 구동부(200)가 플렉서블 표시패널(100)의 표시영역(DA)의 일 측 바깥쪽에 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 게이트 구동부(200)는 플렉서블 표시패널(100)의 표시영역(DA)의 양 측 바깥쪽에 GIP 방식으로 형성될 수도 있고, 또는 구동 칩으로 제작되어 연성필름에 실장되고 TAB(tape automated bonding) 방식으로 플렉서블 표시패널(100)에 부착될 수도 있다.The
소스 드라이브 IC(310)는 타이밍 제어부(400)로부터 디지털 비디오 데이터와 소스 제어신호를 입력받는다. 소스 드라이브 IC(310)는 소스 제어신호에 따라 디지털 비디오 데이터를 아날로그 데이터전압들로 변환하여 데이터 라인들에 공급한다. 소스 드라이브 IC(310)가 구동 칩으로 제작되는 경우, COF(chip on film) 또는 COP(chip on plastic) 방식으로 연성필름(330)에 실장될 수 있다.The source drive IC 310 receives the digital video data and the source control signal from the
상부필름(190)은 베이스 필름(110) 보다 작게 마련될 수 있다. 따라서, 베이스 필름(110)의 일부는 상부필름(190)에 의해 덮이지 않고 노출될 수 있다. 상부필름(190)에 의해 덮이지 않고 노출된 베이스 필름(110)의 일부에는 데이터 패드들과 같은 패드들이 마련된다. 연성필름(330)에는 패드들과 소스 드라이브 IC(310)를 연결하는 배선들, 패드들과 회로보드(350)의 배선들을 연결하는 배선들이 형성될 수 있다. 연성필름(330)은 이방성 도전 필름(antisotropic conducting film)을 이용하여 패드들 상에 부착되며, 이로 인해 패드들과 연성필름(330)의 배선들이 연결될 수 있다.The
회로보드(350)는 연성필름(330)들에 부착될 수 있다. 회로보드(350)에는 구동 칩들로 구현된 다수의 회로들이 실장될 수 있다. 예를 들어, 회로보드(350)에는 타이밍 제어부(400)가 실장될 수 있다. 회로보드(350)는 인쇄회로보드(printed circuit board) 또는 연성 인쇄회로보드(flexible printed circuit board)일 수 있다.The
타이밍 제어부(400)는 외부의 시스템 보드(미도시)로부터 디지털 비디오 데이터와 타이밍 신호를 입력받는다. 타이밍 제어부(400)는 타이밍 신호에 기초하여 게이트 구동부(200)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 제어신호와 소스 드라이브 IC(310)들을 제어하기 위한 소스 제어신호를 발생한다. 타이밍 제어부(400)는 게이트 제어신호를 게이트 구동부(200)에 공급하고, 소스 제어신호를 소스 드라이브 IC(310)들에 공급한다.The
본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Display)로 구현된 것을 중심으로 설명하였으나, 액정표시장치(Liquid Crystal Display) 또는 전기영동 표시장치(Electrophoresis display)로 구현될 수도 있다.Although the flexible display device according to the embodiment of the present invention has been described as being implemented with an organic light emitting display, it may be implemented as a liquid crystal display (LCD) or an electrophoresis display It is possible.
도 4는 도 2의 I-I'의 일 예를 보여주는 단면도이다. 도 5는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ'의 일 예를 보여주는 단면도이다. 도 4는 도 2에 도시된 표시 영역(DA) 및 비표시영역(NDA)의 단면을 보여주는 단면도이다. 도 5는 도 3에 도시된 표시 영역(DA)의 발광영역들(RE, GE)과 비발광영역(NEA)의 단면을 보여주는 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing an example of I-I 'of FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of II-II 'of FIG. 4 is a cross-sectional view showing a cross section of the display area DA and the non-display area NDA shown in Fig. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a cross section of the light emitting regions RE and GE and the non-light emitting region NEA of the display region DA shown in FIG.
도 4 및 도 5를 참조하면, 플랙서블 표시패널(100)은 표시영역(DA)과 비표시영역(NDA)을 포함한다. 플렉서블 표시패널(100)의 표시영역(DA)은 발광영역들(RE, GE)과 비발광영역(NEA)을 포함한다. 발광영역들(RE, GE)에는 유기발광소자(OLED)들 및 컬러필터들(RC, GC)이 마련될 수 있다. 비발광영역(NEA)에는 박막 트랜지스터(T)들 및 발광영역들(RE, GE)을 구획하는 뱅크(170)들이 마련될 수 있다. 비표시영역(NDA)은 표시영역(DA)의 테두리에 배치된다. 이러한 비표시영역(NDA)에는 패드(160)들이 마련될 수 있다.4 and 5, the flexible display panel 100 includes a display area DA and a non-display area NDA. The display area DA of the flexible display panel 100 includes light emitting areas RE and GE and a non-light emitting area NEA. The light emitting regions RE and GE may be provided with organic light emitting devices OLEDs and color filters RC and GC. The non-light emitting region NEA may be provided with
구체적으로 플렉서블 표시패널(100)은 보호필름(120), 베이스 필름(110), 버퍼층(130), 박막 트랜지스터(T), 패시베이션층(PAS), 평탄화층(PAC), 유기발광소자(OLED), 봉지층(180), 및 상부필름(190)을 포함한다.More specifically, the flexible display panel 100 includes a
보호필름(120)은 베이스 필름(110)의 제2 면(110b)에 부착된다. 보호필름(120)은 베이스 필름(110)을 보호하고 지지한다. 예를 들어, 보호필름(120)은 PET(polyethylene terephthalate) 필름 또는 PC(poly carbonate) 필름일 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다.The
베이스 필름(110)은 보호필름(120) 상에 마련된다. 베이스 필름(110)의 제1 면(110a) 상에는 박막 트랜지스터(T) 및 패드(160)들이 마련된다. 베이스 필름(110)의 제1 면(110a)의 반대 면인 제2 면(110b)에는 음각 패턴(112)들이 마련된다. 도면에서는 하나의 음각 패턴(112)이 도시되었으나, 비표시영역(NDA)과 대응하는 상기 베이스 필름(110)의 제2 면(110b) 전체에 적어도 하나 이상의 음각 패턴(112)들이 마련될 수 있다. 음각 패턴(112)들은 상기 베이스 필름(110)의 제2 면(110b)으로부터 패드(160)들이 마련된 상부 방향(Z축 방향)으로 오목하게 구비된다. 음각 패턴(112)들은 비표시 영역(NDA)과 대응되는 위치에 배치된다. 따라서, 비표시영역(NDA)에서 베이스 필름(110)의 두께는 표시영역(DA)에서 베이스 필름(110)의 두께보다 얇다. 음각 패턴(112)들은 표시영역(NA) 중에서 비발광영역(NEA)과 대응되는 위치에 배치된다. 음각 패턴(112)들은 박막 트랜지스터(T)와 대응되는 위치에 배치된다. 따라서, 비발광영역(NEA)에서 베이스 필름(110)의 두께는 발광영역(RE, GE)에서 베이스 필름(110)의 두께보다 얇다.The
베이스 필름(110)은 플랙서블한 플라스틱 필름(plastic film)일 수 있다. 예를 들어, 베이스 필름(110)은 TAC(triacetyl cellulose) 또는 DAC(diacetyl cellulose) 등과 같은 셀룰로오스 수지, 노르보르넨 유도체(Norbornene derivatives) 등의 COP(cyclo olefin polymer), COC(cyclo olefin copolymer), PMMA(poly(methylmethacrylate) 등의 아크릴 수지, PC(polycarbonate), PE(polyethylene) 또는 PP(polypropylene) 등의 폴리올레핀(polyolefin), PVA(polyvinyl alcohol), PES(poly ether sulfone), PEEK(polyetheretherketone), PEI(polyetherimide), PEN(polyethylenenaphthalate), PET(polyethyleneterephthalate) 등의 폴리에스테르(polyester), PI(polyimide), PSF(polysulfone), 또는 불소 수지(fluoride resin) 등을 포함하는 시트 또는 필름일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이러한 베이스 필름(110)에 대해서는 도 6 및 도 7a 내지 7f의 제조방법을 참조하여 상세하게 후술하기로 한다.The
추가적으로 베이스 필름(110)과 보호필름(120) 사이에는 접착부재(125)가 마련된다. 접착부재(125)는 베이스 필름(110)의 제2 면(110b)과 보호필름(120) 사이에 마련되어 상기 베이스 필름(110)과 보호 필름(120)을 접착한다. 접착부재(125)는 음각 패턴(122)들과 보호 필름(120) 사이에 채워져 상기 베이스 필름(110)과 보호 필름(120)을 접착한다. 예를 들어, 접착부재(125)는 OCA(optically clear adhesive)와 같은 투명접착필름 또는 OCR(optically clear resin)과 같은 투명접착제일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. In addition, an
버퍼층(130)은 베이스 필름(110)의 제1 면(110a) 상에 마련된다. 버퍼층(130)은 투습에 취약한 베이스 필름(110)으로부터 플렉서블 표시패널(100)의 내부로 수분이 침투하여 박막 트랜지스터들(T)의 특성을 저하시키는 것을 방지한다. 또한, 버퍼층(130)은 베이스 필름(110)으로부터 금속 이온 등의 불순물이 확산되어 액티브층(ACT)에 침투하는 것을 방지한다. 이를 위해 버퍼층(130)은 적어도 하나 이상의 무기막을 포함할 수 있다. 버퍼층(130)은 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.The
박막 트랜지스터(T)는 베이스 필름(110)의 제1 면(110a) 상에 마련된다. 박막 트랜지스터(T)는 베이스 필름(110)의 표시 영역(DA)에 마련된다. 박막 트랜지스터(T)는 액티브층(ACT), 게이트 절연막(GI), 게이트 전극(GE), 층간 절연막(ILD), 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)을 포함한다.The thin film transistor T is provided on the
액티브층(ACT)은 버퍼층(130) 상에 마련된다. 액티브층(ACT)은 소스 전극(SE) 측에 위치한 일단 영역(A1), 드레인 전극(DE) 측에 위치한 타단 영역(A2), 및 일단 영역(A1)과 타단 영역(A2) 사이에 위치한 중심 영역(A3)을 포함할 수 있다. 중심 영역(A3)은 도펀트가 도핑되지 않은 반도체 물질로 이루어지고, 일단 영역(A1)과 타단 영역(A2)은 도펀트가 도핑된 반도체 물질로 이루어질 수 있다.The active layer (ACT) is provided on the buffer layer (130). The active layer ACT has a first end region A1 located on the side of the source electrode SE and a second end region A2 located on the side of the drain electrode DE and a second end region A2 located between the first end region A1 and the second end region A2. And a region A3. The central region A3 is made of a semiconductor material not doped with a dopant, and the one-end region A1 and the other-end region A2 may be made of a semiconductor material doped with a dopant.
게이트 절연막(GI)은 액티브층(ACT) 상에 마련된다. 게이트 절연막(GI)은 액티브층(ACT)과 게이트 전극(GE)을 절연시키는 기능을 한다. 게이트 절연막(GI)은 액티브층(ACT)을 덮으며, 표시 영역(DA) 전면에 형성된다. 게이트 절연막(GI)은 무기막 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. A gate insulating film GI is provided on the active layer ACT. The gate insulating film GI functions to insulate the active layer ACT from the gate electrode GE. The gate insulating film GI covers the active layer ACT and is formed on the entire surface of the display area DA. The gate insulating film GI may be formed of an inorganic film, for example, silicon dioxide (SiNx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or a multilayer thereof.
게이트 전극(GE)은 게이트 절연막(GI) 상에 마련된다. 게이트 전극(GE)은 게이트 절연막(GI)을 사이에 두고, 액티브층(ACT)의 중심 영역(A3)과 중첩된다. 게이트 전극(GE)은 예를 들어, 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The gate electrode GE is provided on the gate insulating film GI. The gate electrode GE overlaps the central region A3 of the active layer ACT with the gate insulating film GI therebetween. The gate electrode GE may be formed of a metal such as molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium (Nd) But is not limited to, a single layer or a multi-layer made of any one or an alloy thereof.
층간 절연막(ILD)은 게이트 전극(GE) 상에 마련된다. 층간 절연막(ILD)은 게이트 전극(GE)을 덮으며, 베이스 필름(110) 전면에 마련될 수 있다. 층간 절연막(ILD)은 게이트 절연막(GI)과 동일한 무기막 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. An interlayer insulating film ILD is provided on the gate electrode GE. The interlayer insulating film ILD covers the gate electrode GE and may be provided on the entire surface of the
소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)은 층간 절연막(ILD)상에서 서로 이격되어 배치된다. 전술한 게이트 절연막(GI)과 층간 절연막(ILD)에는 액티브층(ACT)의 일단 영역(A1) 일부를 노출시키는 제1 콘택홀(CNT1) 및 액티브층(ACT)의 타단 영역(A2) 일부를 노출시키는 제2 콘택홀(CNT2)이 구비된다. 소스 전극(SE)은 제1 콘택홀(CNT1)을 통해서 액티브층(ACT)의 일단 영역(A1)과 연결되고, 드레인 전극(DE)은 제2 콘택홀(CNT2)을 통해서 액티브층(ACT)의 타단 영역(A2)에 연결된다. 예를 들어, 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 및 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The source electrode SE and the drain electrode DE are disposed apart from each other on the interlayer insulating film ILD. The first contact hole CNT1 for exposing a part of the one end region A1 of the active layer ACT and the part of the other end region A2 of the active layer ACT are formed in the gate insulating film GI and the interlayer insulating film ILD, And a second contact hole CNT2 for exposing the second contact hole. The source electrode SE is connected to the first end region A1 of the active layer ACT via the first contact hole CNT1 and the drain electrode DE is connected to the active layer ACT through the second contact hole CNT2. And the other end area A2. For example, the source electrode SE and the drain electrode DE may be formed of a metal such as molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), neodymium And copper (Cu), or an alloy thereof. However, the present invention is not limited thereto.
이러한 박막 트랜지스터(T)의 구성은 앞서 설명한 예에 한정되지 않고, 당업자가 용이하게 실시할 수 있는 공지된 구성으로 다양하게 변형 가능하다.The configuration of the thin film transistor T is not limited to the example described above, and can be variously modified to a known configuration that can be easily practiced by those skilled in the art.
표시영역(NA)에 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)이 마련될 때, 비표시영역(NDA)에는 패드(160)들이 마련될 수 있다. 패드(160)들은 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)과 동일한 물질일 수 있다. 이러한 패드(160)들 상에는 회로보드(350)와 전기적으로 연결되며, 소스 드라이브 IC(310)가 실장된 연성필름(330)이 부착될 수 있다.When the source electrode SE and the drain electrode DE are provided in the display region NA,
패시베이션층(PAS)은 박막 트랜지스터(T) 상에 마련된다. 패시베이션층(PAS)은 박막 트랜지스터(T)를 보호하는 기능을 한다. 패시베이션층(PAS)은 무기막 예를 들어, SiO2(silicon dioxide), SiNx(silicon nitride), SiON(silicon oxynitride) 또는 이들의 다중층으로 이루어 질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. A passivation layer (PAS) is provided on the thin film transistor (T). The passivation layer (PAS) functions to protect the thin film transistor (T). The passivation layer (PAS) may be formed of an inorganic film, for example, silicon dioxide (SiNx), silicon nitride (SiNx), silicon oxynitride (SiON), or a multilayer thereof.
컬러필터들(RC, GC)은 패시베이션층(PAS) 상에 마련된다. 컬러필터들(RC, GC)은 박막 트랜지스터(T)와 중첩되지 않도록 베이스 기판(110) 상의 발광영역(RE, GE)에 마련된다. 컬러필터들(RC, GC)은 플렉서블 표시패널(100)에서 컬러를 구현하기 위해 사용된다. 예를 들어, 유기발광소자(OLED)로부터 발광되는 빛은 컬러필터들(RC, GC)을 통과하여 하부로 발광된다. 본 발명의 도면에서는 적색 발광 영역(RE)에 배치된 적색 컬러필터(RC), 및 녹색 발광 영역(GE)에 배치된 녹색 컬러필터(GC)만을 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 플렉서블 표시패널(100)은 청색 발광 영역에 배치된 청색 컬러필터, 및 백색 발광 영역에 배치된 백색 컬러필터를 더 포함할 수 있다.Color filters (RC, GC) are provided on the passivation layer (PAS). The color filters RC and GC are provided in the light emitting regions RE and GE on the
평탄화층(PAC)은 패시베이션층(PAS) 상에 마련된다. 평탄화층(PAC)은 박막 트랜지스터(T) 및 컬러필터들(RC, GC)을 덮는다. 평탄화층(PAC)은 박막 트랜지스터(T) 및 컬러필터들((RC, GC)이 마련되어 있는 베이스 기판(110)의 상부를 평탄하게 해주는 기능을 수행한다. 평탄화층(PAC)은 유기막 예를 들어, 아크릴계 수지(acryl resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 폴리이미드계 수지(polyimides resin)등으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 평탄화층(PAC) 및 패시베이션층(PAS)에는 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극(DE)을 노출시키는 제3 콘택홀(CNT3)이 구비되어 있다. 제3 콘택홀(CNT3)을 통하여 드레인 전극(DE)과 애노드 전극(AND)이 연결된다. A planarizing layer (PAC) is provided on the passivation layer (PAS). The planarization layer (PAC) covers the thin film transistor (T) and the color filters (RC, GC). The planarization layer PAC functions to flatten the upper portion of the
유기발광소자(OLED)는 박막 트랜지스터(T)와 연결된다. 유기발광소자(OLED)는 박막 트랜지스터(T) 및 컬러필터들(RC, GC) 상에 마련된다. 유기발광소자(OLED)는 애노드 전극(AND), 유기 발광층(EL), 및 캐소드 전극(CAT)을 포함한다.The organic light emitting device OLED is connected to the thin film transistor T. The organic light emitting device OLED is provided on the thin film transistor T and the color filters RC and GC. The organic light emitting device OLED includes an anode electrode (AND), an organic light emitting layer (EL), and a cathode electrode (CAT).
애노드 전극(AND)은 패시베이션층(PAS)과 평탄화층(PAC)에 마련된 제3 콘택홀(CNT3)을 통해 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극(DE)에 접속된다. 애노드 전극(AND)은 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를 들어, 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)일 수 있다. 또한, 애노드 전극(AND)은 반사효율이 우수한 금속물질 예를 들어, 알루미늄(Al), 은(Ag), APC(Ag;Pb;Cu) 등을 포함하는 적어도 둘 이상의 층으로 구성될 수 있다. The anode electrode AND is connected to the drain electrode DE of the thin film transistor T through the third contact hole CNT3 provided in the passivation layer PAS and the planarization layer PAC. The anode electrode (AND) may be a transparent conductive material having a relatively large work function value, for example, indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO). Also, the anode electrode (AND) may be composed of at least two layers including a metal material having excellent reflection efficiency, for example, aluminum (Al), silver (Ag), APC (Ag; Pb; Cu)
뱅크(170)는 서로 인접한 애노드 전극(AND)들 사이에 마련된다. 뱅크(170)는 서로 인접한 애노드 전극(AND)들을 전기적으로 절연시킨다. 뱅크(170)는 애노드 전극(AND)의 일측을 덮는다. 뱅크(170)는 표시영역(DA)중 비발광영역(NEA)에 배치된다. 뱅크(170)는 베이스 필름(110)의 제2 면(110b)에 마련된 음각 패턴(112)과 대응되도록 배치된다. 본 발명의 실시예에 따른 뱅크(170)는 광 흡수 물질을 포함하는 블랙 뱅크일 수 있다. 예를 들어, 뱅크(170)는 카본 블랙(carbon black) 등과 같은 블랙 안료를 포함한 유기막 예를 들어, 폴리이미드계 수지(polyimides resin), 아크릴계 수지(acryl resin), 벤조사이클로뷰텐(BCB) 등과 같은 유기막으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. The
광 흡수 물질이 포함되지 않은 종래의 뱅크가 적용되는 경우, 외부로부터 표시 패널 내부로 입사되는 외부광이 캐소드 전극(CAT)에 반사되어 표시 패널 외부로 방출되기 때문에, 표시 패널의 야외 시인성이 저하되는 문제가 발생 될 수 있다. 그러나, 광 흡수 물질을 포함하는 뱅크(170)가 적용되는 경우, 외부로부터 입사되는 외부광 및 캐소드 전극(CAT)에 의해 반사되는 반사광을 모두 흡수하기 때문에, 표시 패널의 야외 시인성을 향상시킬 수 있다. When a conventional bank without a light absorbing material is applied, external light incident from the outside into the display panel is reflected by the cathode electrode (CAT) and is emitted to the outside of the display panel, so that the outdoor visibility of the display panel is lowered Problems can arise. However, when the
유기 발광층(EL)은 애노드 전극(AND)상에 마련된다. 유기 발광층(EL)은 정공 수송층(hole transporting layer), 유기발광층(organic light emitting layer), 전자 수송층(electron transporting layer)을 포함할 수 있다. 나아가, 유기 발광층(EL)에는 발광층의 발광 효율 및/또는 수명 등을 향상시키기 위한 적어도 하나 이상의 기능층이 더 포함될 수도 있다.The organic light emitting layer (EL) is provided on the anode electrode (AND). The organic light emitting layer EL may include a hole transporting layer, an organic light emitting layer, and an electron transporting layer. Furthermore, the organic light emitting layer (EL) may further include at least one functional layer for improving the luminous efficiency and / or lifetime of the light emitting layer.
캐소드 전극(CAT)은 유기 발광층(EL)과 뱅크(170) 상에 마련된다. 애노드 전극(AND)과 캐소드 전극(CAT)에 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 유기 발광층(EL)으로 이동되며, 유기 발광층(EL)에서 서로 결합하여 발광하게 된다. The cathode electrode (CAT) is provided on the organic light emitting layer (EL) and the bank (170). When a voltage is applied to the anode electrode (AND) and the cathode electrode (CAT), holes and electrons move to the organic light emitting layer (EL) through the hole transporting layer and the electron transporting layer, respectively.
봉지층(180)은 박막 트랜지스터(T) 및 유기발광소자(OLED) 상에 마련된다. 봉지층(180)은 박막 트랜지스터(T) 및 유기발광소자(OLED)를 덮는다. 봉지층(180)은 외부의 충격으로부터 박막 트랜지스터(T), 및 유기발광소자(OLED)를 보호하고, 플렉서블 표시패널(100)의 내부로 수분의 침투하는 것을 방지하는 기능을 한다.The
상부필름(190)은 봉지층(180)상에 마련된다. 상부필름(190)은 플렉서블 표시패널(100)이 하부 발광(bottom emission) 방식으로 구현되는 경우 보호 필름(protection film)일 수 있으며, 상부 발광(top emission) 방식으로 구현되는 경우 폴리이미드(polyimide)와 같이 유연성이 있는 플라스틱 필름일 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니며 상부필름(190)은 외부의 충격으로부터 박막 트랜지스터(T), 및 유기발광소자(OLED)를 보호하고, 수분의 침투를 방지하기 위한 메탈층 일 수도 있다.An
본 발명의 실시예는 박막 트랜지스터(T)가 마련된 베이스 필름(110)의 제1 면(110a)의 반대 면인 제2 면(110b)에 음각 패턴(112)들이 구비된다. 이러한 음각 패턴(112)들은 베이스 필름(110)을 형성하는 과정에서 보조기판 상에 패터닝된 희생층에 의해 구비될 수 있다. 본 발명의 실시예는 베이스 필름(110)의 제2 면(110b)에 마련된 음각 패턴(112)들이 비표시영역(NDA)과 대응되도록 배치되기 때문에, 보조기판으로부터 베이스 필름(110)을 분리하는 과정에서 발생되는 베이스 필름(110)의 표면 손상을 방지할 수 있다. The embodiment of the present invention includes the engraved
본 발명의 실시예는 베이스 필름(110)의 제2 면(110b)에 마련된 음각 패턴(112)들이 비발광영역(NEA)과 대응되도록 배치되기 때문에, 보조기판으로부터 베이스 필름(110)을 분리하는 과정에서 발생되는 레이저에 의한 박막 트랜지스터(T)의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 상기 음각 패턴(112)들이 발광영역(RE, GE)에 마련되지 않기 때문에, 잔존하는 희생층 물질에 의한 발광영역(RE, GE)의 투과도 및 색좌표 등의 광학적 특성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.Since the engraved
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 보여주는 흐름도이다. 도 7a 내지 도 7f는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 이는 도 4에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제조방법에 관한 것이다. 따라서, 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였고, 각각의 구성의 재료 및 구조 등에 있어서 반복되는 부분에 대한 중복 설명은 생략된다.6 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a flexible display device according to an embodiment of the present invention. 7A to 7F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a flexible display device according to an embodiment of the present invention. This relates to a manufacturing method of a flexible display device according to an embodiment of the present invention shown in Fig. Therefore, the same reference numerals are assigned to the same components, and repetitive descriptions of the repetitive portions in the materials, structures, etc. of the respective components are omitted.
첫 번째로, 도 7a와 같이 보조기판(105) 상에 희생층(107)을 패터닝한다. 희생층(107)은 표시패널의 비표시영역(NDA) 및 비발광영역(NDA)과 대응되는 위치에 패터닝될 수 있다. 예를 들어, 희생층(107)은 비정질 실리콘(amorphous silicon)일 수 있다. 추후 보조기판(105)과 베이스 필름(110)을 분리하는 공정에서 상기 희생층(107)에 레이저를 조사하는 경우, 비정질 실리콘(amorphous silicon)이 결정화될 수 있다. 이에 따라, 베이스 필름(110)의 표면 손상 없이 베이스 필름(110)과 보조기판(105)이 서로 분리될 수 있다. 보조기판(105)과 희생층(107) 사이에는 보조기판(105)과 희생층(107)의 접착력을 향상시키기 위한 무기막이 추가로 마련될 수 있다. 예를 들어 무기막은 SiNx(silicon nitride)일 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. (도 6의 S101)First, the
두 번째로, 도 7b와 같이 보조기판(105) 상에 희생층(107)을 덮도록 베이스 필름(110)을 형성한다. 예를 들어, 베이스 필름은(110)은 슬릿 코팅(slit coating) 방식으로 형성될 수 있다. 슬릿 코팅 방식은 베이스 필름(110)으로 이용되는 액상 물질을 노즐(nozzle)을 이용하여 보조기판(105) 상에 균일하게 도포한 후 경화시킴으로써, 박막의 플랙서블 필름을 형성하는 방법이다. 그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 베이스 필름(110)은 롤 코팅(roll coating) 방식 및 스핀 코팅(spin coating) 방식으로 형성될 수도 있다. (도 6의 S102) Second, a
세 번째로, 도 7c와 같이 베이스 필름(110)의 제1 면(110a) 상에 박막 트랜지스터(T)들 및 패드(160)들을 형성한다. 이 경우, 박막 트랜지스터(T)들은 표시패널의 비발광영역(NEA)에 배치되고, 패드(160)들은 비표시영역(NDA)에 배치된다. 먼저, 상기 베이스 필름(110) 상에 버퍼층(130), 액티브층(ACT), 및 게이트 절연막(G1)을 순차적으로 형성한다. 다음, 표시 영역(DA)에 배치된 게이트 절연막(GI)상에 액티브층(ACT)과 중첩되도록 게이트 전극(GE)을 형성한다. 다음, 게이트 전극(GE) 상에 층간 절연막(ILD)을 형성한다. 마지막으로, 층간 절연막(ILD) 상에 제1 및 제2 콘택홀들(CNT1, CNT2)을 통해 액티브층(ACT)에 접속되는 소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE)을 형성하고, 비표시영역(NDA)에 패드(160)들을 형성한다. 이 경우, 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)과 패드(160)들은 동일한 공정을 통해 동시에 형성되며, 동일한 물질일 수 있다. (도 6의 S103)Third, thin film transistors T and
네 번째로, 도 7d와 같이 박막 트랜지스터(T)들과 접속되는 유기발광 소자(OLED)들을 형성하고, 유기발광소자(OLED)들을 덮는 봉지층(180)을 형성한다. 박막 트랜지스터(T)들 상에는 패시베이션층(PAS) 및 평탄화층(PAC)이 순차적으로 형성된다. 에노드 전극(AND)은 박막 트랜지스터(T) 상에 형성되며, 패시베이션층(PAS) 및 평탄화층(PAC)에 마련된 제3 콘택홀(CNT3)을 통하여 드레인 전극(DE)과 연결된다. 서로 인접한 애노드 전극(AND)들 사이에는 뱅크(B)가 형성된다. 유기층(EL)은 애노드 전극(AND)상에 형성된다. 캐소드 전극(CAT)은 유기층(EL)과 뱅크(B) 상에 형성된다. 봉지층(180)은 박막 트랜지스터(T) 및 유기 발광소자(OLED)를 덮도록 형성된다. 봉지층(180)상에는 전면 접착층(190)이 추가로 형성될 수 있다. 그 다음, 비표시영역(NDA)의 패드(160)들 상에 회로보드(350)와 전기적으로 연결되며, 소스 드라이브 IC(310)가 실장된 연성필름(330)을 부착한다. Fourth, organic light emitting devices OLED connected to the thin film transistors T are formed as shown in FIG. 7D, and an
다섯 번째로, 도 7e과 보조기판(115)으로부터 베이스 필름(110)을 분리한다. 보조기판(115)과 베이스 필름(110)은 레이저(laser)를 이용하여 서로 분리될 수 있다. 이 경우, 희생층(107)에 레이저를 조사하여 베이스 필름(110)의 표면 손상 없이 베이스 필름(110)과 보조기판(105)을 서로 분리한다. 보조기판(105)과 베이스 필름(110)이 분리됨으로써, 상기 베이스 필름(110)의 제1 면(110a)의 반대 면인 제2 면(110b)에는 음각 패턴(112)들이 구비된다. (도 6의 S104)Fifthly, the
마지막으로, 도 7f과 같이 베이스 필름(110)의 제2 면(110b)에 접착부재(125)를 이용하여 보호필름(120)을 부착한다. 이 경우, 접착부재(125)는 음각 패턴(112)들과 보호필름(120) 사이에 채워져 베이스 필름(110)과 상기 보호필름(120)을 접착한다.Finally, the
정리하자면, 플렉서블 표시패널(100)은 보조기판(105) 상에 베이스 필름(110), 박막 트랜지스터(T), 및 유기발광소자(OLED)를 순차적으로 형성한 후, 레이저(laser)를 이용하여 베이스 필름(110)과 보조기판을 분리함으로써 제조될 수 있다. 이 경우, 보조기판(105)과 베이스 필름(110) 사이에는 희생층(107)이 패터닝된다. 보조기판(105)과 베이스 필름(110) 사이에 희생층(107)이 구비되는 경우, 레이저 릴리즈(laser release)공정에 의한 베이스 필름(110)의 손상이 줄어들 수 있다. 이러한 희생층(107)은 비표시 영역(NDA)과 대응되는 위치에 패터닝된다. 베이스 필름(110)과 보조기판(105)을 분리하는 경우, 희생층(107)이 결정화되면서 보조기판(105)으로부터 베이스 필름(110)이 분리된다. 희생층(107)과 보조기판(105)이 분리됨에 따라, 베이스 필름(110)의 제2 면(110b)에는 음각 패턴(112)들이 마련될 수 있다.The flexible display panel 100 sequentially forms the
본 발명의 실시예는 베이스 필름(110)의 제2 면(110b)에 마련된 음각 패턴(112)들이 비표시영역(NDA)과 대응되도록 배치되기 때문에, 보조기판으로부터 베이스 필름(110)을 분리하는 과정에서 발생되는 베이스 필름(110)의 표면 손상을 방지할 수 있다. Since the engraved
본 발명의 실시예는 베이스 필름(110)의 제2 면(110b)에 마련된 음각 패턴(112)들이 비발광영역(NEA)과 대응되도록 배치되기 때문에, 보조기판으로부터 베이스 필름(110)을 분리하는 과정에서 발생되는 레이저에 의한 박막 트랜지스터(T)의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 상기 음각 패턴(112)들이 발광영역(RE, GE)에 마련되지 않기 때문에, 잔존하는 희생층 물질에 의한 발광영역(RE, GE)의 투과도 및 색좌표 등의 광학적 특성이 저하되는 것을 방지할 수 있다. Since the engraved
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사항을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents. Will be clear to those who have knowledge of. Therefore, the scope of the present invention is defined by the appended claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
100: 플렉서블 표시패널
105: 보조 기판 107: 희생층
111: 제1 베이스 필름 113: 제2 베이스 필름
130: 버퍼층 180: 봉지층
190: 전면 접착층 200: 게이트 구동부
310: 소스 드라이브 IC 330: 연성필름
350: 회로보드 400: 타이밍 제어부
T: 박막 트랜지스터 OLED: 유기발광소자
DA: 표시영역 NDA: 비표시영역
RE, GE: 발광영역 NEA: 비발광영역100: Flexible display panel
105: auxiliary substrate 107: sacrificial layer
111: first base film 113: second base film
130: buffer layer 180: sealing layer
190: front adhesive layer 200: gate driver
310: Source drive IC 330: Flexible film
350: circuit board 400: timing control unit
T: Thin film transistor OLED: Organic light emitting element
DA: display area NDA: non-display area
RE, GE: light emitting region NEA: non-light emitting region
Claims (11)
상기 베이스 필름의 제1 면 상에 배치되는 박막 트랜지스터들을 포함하는 표시영역; 및
상기 표시영역의 적어도 일 측에 배치되는 패드들을 포함하는 비표시영역을 구비하고,
상기 베이스 필름의 상기 제1 면의 반대면인 제2 면에는 음각 패턴이 마련된 플렉서블 표시장치.A base film;
A display region including thin film transistors disposed on a first side of the base film; And
And a non-display area including pads disposed on at least one side of the display area,
And an engraved pattern is provided on a second surface of the base film that is opposite to the first surface.
상기 음각 패턴은 상기 비표시영역과 대응되는 위치에 배치된 플렉서블 표시장치.The method according to claim 1,
And the engraved pattern is disposed at a position corresponding to the non-display area.
상기 비표시영역에서 상기 베이스 필름의 두께는 상기 표시영역에서 상기 베이스 필름의 두께보다 얇은 플렉서블 표시장치.The method according to claim 1,
Wherein the thickness of the base film in the non-display area is thinner than the thickness of the base film in the display area.
상기 표시영역은 상기 박막 트랜지스터들 상에 배치되는 유기발광소자들을 포함하는 발광영역 및 상기 발광영역을 구획하는 뱅크들을 포함하는 비발광영역으로 구분되고,
상기 음각 패턴은 상기 비발광영역과 대응되는 위치에 배치된 플렉서블 표시장치.The method according to claim 1,
Wherein the display region is divided into a light emitting region including organic light emitting elements disposed on the thin film transistors and a non-emitting region including banks for partitioning the light emitting region,
And the engraved pattern is disposed at a position corresponding to the non-emission area.
상기 비발광영역에서 상기 베이스 필름의 두께는 상기 발광영역에서 상기 베이스 필름의 두께보다 얇은 플렉서블 표시장치.5. The method of claim 4,
Wherein the thickness of the base film in the non-emission region is thinner than the thickness of the base film in the emission region.
상기 박막 트랜지스터는 상기 비발광영역에 배치되는 플렉서블 표시장치. The method according to claim 4 or 5,
Wherein the thin film transistor is disposed in the non-emission region.
상기 베이스 필름의 제2 면에 배치된 보호필름; 및
상기 베이스 필름과 상기 보호필름을 접착하는 접착부재를 더 구비하는 플렉서블 표시장치. The method according to claim 1,
A protective film disposed on a second side of the base film; And
And a bonding member for bonding the base film and the protective film.
상기 유기발광소자들 및 뱅크들 상에 마련된 봉지층; 및
상기 봉지층 상에 마련된 상부필름을 더 포함하는 플렉서블 표시장치.5. The method of claim 4,
A sealing layer provided on the organic light emitting elements and the banks; And
And an upper film provided on the sealing layer.
상기 보조기판 상에 희생층을 덮도록 베이스 필름을 형성하는 단계;
상기 베이스 필름의 제1 면 상에 박막 트랜지스터들 및 패드들을 형성하는 단계; 및
레이저를 이용하여 상기 보조기판과 베이스 필름을 분리하여 상기 베이스 필름의 제1 면의 반대 면인 제2 면에 음각 패턴을 구비하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.Patterning a sacrificial layer on the auxiliary substrate;
Forming a base film to cover the sacrificial layer on the auxiliary substrate;
Forming thin film transistors and pads on a first side of the base film; And
And separating the auxiliary substrate from the base film using a laser to form an engraved pattern on a second surface opposite to the first surface of the base film.
상기 박막 트랜지스터와 연결되는 유기발광소자들을 형성하는 단계; 및
상기 유기발광소자들 상에 봉지층을 형성하는 단계를 더 포함하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.10. The method of claim 9,
Forming organic light emitting elements connected to the thin film transistor; And
And forming an encapsulation layer on the organic light emitting devices.
상기 베이스 필름의 제2 면에 접착부재를 이용하여 보호필름을 부착하는 단계를 더 포함하는 플렉서블 표시장치의 제조방법.10. The method of claim 9,
And attaching a protective film to the second surface of the base film using an adhesive member.
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