KR20170079965A

KR20170079965A - Contact sensitive device and display device including the same

Info

Publication number: KR20170079965A
Application number: KR1020150191075A
Authority: KR
Inventors: 고유선; 함용수; 김태헌; 이용우; 임명진; 최슬기; 지승묵; 최정운; 여종석
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사; 연세대학교 산학협력단
Priority date: 2015-12-31
Filing date: 2015-12-31
Publication date: 2017-07-10
Also published as: KR102476387B1

Abstract

접촉 감응 소자가 제공된다. 접촉 감응 소자는 제1 기판, 제1 전극, 제2 전극, 복수의 절연 부재, 전기 활성 부재, 제3 전극 및 제4 전극을 포함한다. 제1 전극은 제1 기판 상에 배치된다. 제2 전극은 제1 전극과 동일 평면 상에서 이격된다. 복수의 절연 부재는 제1 전극 및 제2 전극 상에 각각 배치된다. 전기 활성 부재는 복수의 절연 부재 사이에서 연장되어 복수의 절연 부재 상에 배치된 양 단을 갖는다. 제3 전극은 복수의 절연 부재 상에서 전기 활성 부재의 일 단에 접촉한다. 제4 전극은 복수의 절연 부재 상에서 전기 활성 부재의 타 단에 접촉한다. A contact-sensitive element is provided. The touch sensitive device includes a first substrate, a first electrode, a second electrode, a plurality of insulating members, an electroactive member, a third electrode, and a fourth electrode. The first electrode is disposed on the first substrate. The second electrode is spaced on the same plane as the first electrode. A plurality of insulating members are respectively disposed on the first electrode and the second electrode. The electro-active member has both ends extending between the plurality of insulating members and disposed on the plurality of insulating members. The third electrode contacts one end of the electroactive member on the plurality of insulating members. The fourth electrode contacts the other end of the electroactive member on the plurality of insulating members.

Description

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a touch sensing device and a display device including the touch sensing device.

접촉 감응 소자 및 이를 포함하는 표시 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진동 효과가 극대화된 접촉 감응 소자 및 이를 포함하는 표시 장치에 관한 것이다.And more particularly, to a touch sensing device having a maximized vibration effect and a display device including the touch sensing device.

터치 패널은 표시 장치에 대한 화면 터치나 제스쳐(gesture) 등과 같은 사용자의 터치 입력을 감지하는 장치로서, 스마트폰, 태블릿 PC 등의 휴대용 표시 장치를 비롯하여 공공 시설의 표시 장치와 스마트 TV 등의 대형 표시 장치에 널리 활용되고 있다. 이러한 터치 패널은 동작 방식에 따라 저항막 방식, 정전 용량 방식, 초음파 방식, 적외선 방식 등으로 분류된다.The touch panel is a device for detecting a user's touch input such as a screen touch or a gesture on a display device, and is used for a portable display device such as a smart phone or a tablet PC, a display device of a public facility, Devices. Such a touch panel is classified into a resistance film type, a capacitive type, an ultrasonic type, and an infrared type depending on an operation method.

그러나, 최근에는 사용자의 터치 입력을 감지하는 것에 그치지 않고, 사용자의 터치 입력에 대한 피드백으로 사용자의 손가락 또는 사용자의 스타일러스 펜으로 느낄 수 있는 촉각 피드백을 전달하는 햅틱(haptic) 장치에 대한 연구가 진행되고 있다.However, in recent years, research on a haptic device that transmits tactile feedback that can be felt by a user's finger or a stylus pen of a user as feedback on a touch input of a user has been conducted .

이러한 햅틱 장치로 ERM(Eccentric Rotating Mass)이 적용된 햅틱 장치, LRA(Linear Resonant Actuator)가 적용된 햅틱 장치, 압전 세라믹 액츄에이터 (Piezo Ceramic Actuator)가 적용된 햅틱 장치 등이 사용되었다. 그러나, 상술한 햅틱 장치들은 불투명한 재료로 구성되고, 표시 장치의 특정 부분이 아닌 표시 장치 전체를 진동시키고, 다양한 진동감을 제공하지 못하며, 내구성이 낮아 외부 충격에 의해 쉽게 깨질 수 있다는 문제점을 갖는다. A haptic device using ERC (Eccentric Rotating Mass), a haptic device using LRA (Linear Resonant Actuator), and a haptic device using Piezo Ceramic Actuator have been used as the haptic device. However, the above-described haptic devices are made of opaque materials and can not vibrate the entire display device other than a specific part of the display device, provide various vibration sensations, have low durability, and are easily broken by an external impact.

커버 윈도우 일체형 햅틱 엑추에이터를 포함하는 터치디스플레이 (특허출원번호 제10-2013-0062590호)A touch display including a cover window integral type haptic actuator (Patent Application No. 10-2013-0062590)

본 발명은 진기 활성 부재의 진동 효과를 극대화함으로써, 낮은 구동 전압으로 우수한 햅틱 효과를 구현할 수 있는 접촉 감응 소자 및 이를 포함하는 표시 장치를 제공하는 것이다.The present invention provides a contact-sensitive device capable of realizing a superior haptic effect with a low driving voltage by maximizing the vibration effect of the active member, and a display device including the same.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자는 제1 기판, 제1 전극, 제2 전극, 복수의 절연 부재, 전기 활성 부재, 제3 전극 및 제4 전극을 포함한다. 제1 전극은 제1 기판 상에 배치된다. 제2 전극은 제1 전극과 동일 평면 상에서 이격된다. 복수의 절연 부재는 제1 전극 및 제2 전극 상에 각각 배치된다. 전기 활성 부재는 복수의 절연 부재 사이에서 연장되어 복수의 절연 부재 상에 배치된 양 단을 갖는다. 제3 전극은 복수의 절연 부재 상에서 전기 활성 부재의 일 단에 접촉한다. 제4 전극은 복수의 절연 부재 상에서 전기 활성 부재의 타 단에 접촉한다. 여기서, 전기 활성 부재는 압전 나노 섬유로 이루어질 수 있다. 여기서, 제1 전극 및 상기 제2 전극 중 하나의 전극에는 직류 전압이 인가되도록 구성되고, 제3 전극 및 제4 전극 중 하나의 전극에는 교류 전압이 인가되도록 구성될 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a touch sensing device including a first substrate, a first electrode, a second electrode, a plurality of insulating members, an electro-active member, a third electrode, . The first electrode is disposed on the first substrate. The second electrode is spaced on the same plane as the first electrode. A plurality of insulating members are respectively disposed on the first electrode and the second electrode. The electro-active member has both ends extending between the plurality of insulating members and disposed on the plurality of insulating members. The third electrode contacts one end of the electroactive member on the plurality of insulating members. The fourth electrode contacts the other end of the electroactive member on the plurality of insulating members. Here, the electro-active member may be made of piezoelectric nanofiber. Here, a DC voltage is applied to one of the first electrode and the second electrode, and an AC voltage is applied to one of the third electrode and the fourth electrode.

전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 표시 패널 및 접촉 감응 소자를 포함한다. 접촉 감응 소자는 표시 패널 상에 배치되고, 제1 기판, 제1 전극, 제2 전극, 제3 전극, 제4 전극, 전기 활성 부재 및 제2 기판을 포함한다. 제1 전극 및 제2 전극은 제1 기판 상의 동일 평면 상에서 서로 이격된다. 제3 전극 및 제4 전극은 제1 전극 및 제2 전극과 상이한 평면 상에서 서로 이격된다. 전기 활성 부재는 일단이 제3 전극과 접촉되고, 타단이 제4 전극과 접촉되며, 일 방향으로 분극된다. 제2 기판은 전기 활성 부재 상에 배치된다. According to an aspect of the present invention, there is provided a display device including a display panel and a touch sensitive device. The touch sensitive device is disposed on the display panel and includes a first substrate, a first electrode, a second electrode, a third electrode, a fourth electrode, an electroactive member, and a second substrate. The first electrode and the second electrode are spaced apart from each other on the same plane on the first substrate. The third electrode and the fourth electrode are spaced from each other on a different plane from the first electrode and the second electrode. The electroactive member has one end in contact with the third electrode, the other end in contact with the fourth electrode, and is polarized in one direction. The second substrate is disposed on the electro-active member.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명은 복수의 절연 부재 사이에서 연장된 전기 활성 부재를 사용하여 전기 활성 부재의 진동 효과를 극대화하고, 낮은 구동 전압으로 큰 촉각 피드백을 제공할 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect of maximizing the vibration effect of the electro-active member by using the electro-active member extending between a plurality of insulating members and providing a large tactile feedback with a low driving voltage.

또한, 본 발명은 교류 전압이 인가되도록 구성된 제3 전극 및 제4 전극과 더불어 직류 전압이 인가되도록 구성된 제1 전극 및 제2 전극을 사용하여 전기 활성 부재의 진동 폭을 더욱 증폭시키고, 접촉 감응 소자의 진동 효과를 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Further, the present invention further amplifies the oscillation width of the electro-active member by using a first electrode and a second electrode configured to apply a DC voltage in addition to a third electrode and a fourth electrode configured to be applied with an AC voltage, It is possible to further improve the vibration effect of the motor.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 A 영역에 대한 접촉 감응 소자의 부분 확대 사시도이다.
도 3a는 도 2의 III-III'에 따른 접촉 감응 소자의 개략적인 단면도이다.
도 3b 및 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 진동을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 개략적인 단면도이다. 1 is a schematic perspective view for explaining a touch sensing device according to an embodiment of the present invention.
2 is a partially enlarged perspective view of a contact-sensitive element with respect to region A of FIG.
3A is a schematic cross-sectional view of a touch sensitive element according to III-III 'of FIG.
3B and 3C are schematic cross-sectional views for explaining the vibration of the touch sensing element according to an embodiment of the present invention.
4 is a schematic cross-sectional view of a display device according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims.

본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다. The shapes, sizes, ratios, angles, numbers, and the like disclosed in the drawings for describing the embodiments of the present invention are illustrative, and thus the present invention is not limited thereto. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail. Where the terms "comprises", "having", "done", and the like are used in this specification, other portions may be added unless "only" is used. Unless the context clearly dictates otherwise, including the plural unless the context clearly dictates otherwise.

구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.In interpreting the constituent elements, it is construed to include the error range even if there is no separate description.

위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다. In the case of a description of the positional relationship, for example, if the positional relationship between two parts is described as 'on', 'on top', 'under', and 'next to' Or " direct " is not used, one or more other portions may be located between the two portions.

소자 또는 층이 다른 소자 또는 층 '위 (on)'로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. It is to be understood that an element or layer is referred to as being another element or layer " on ", including both intervening layers or other elements directly on or in between.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.Although the first, second, etc. are used to describe various components, these components are not limited by these terms. These terms are used only to distinguish one component from another. Therefore, the first component mentioned below may be the second component within the technical spirit of the present invention.

명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.The sizes and thicknesses of the individual components shown in the figures are shown for convenience of explanation and the present invention is not necessarily limited to the size and thickness of the components shown.

본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.It is to be understood that each of the features of the various embodiments of the present invention may be combined or combined with each other, partially or wholly, technically various interlocking and driving, and that the embodiments may be practiced independently of each other, It is possible.

본 명세서에서 전기 활성층은 전압이 인가됨에 따라 그 형상이 변형되어 진동감을 전달할 수 있는 층을 의미한다.In the present specification, the electroactive layer refers to a layer capable of transmitting a sense of vibration by deforming its shape as voltage is applied.

본 명세서에서 접촉 감응 소자는 접촉 감응 소자에 대한 사용자의 접촉에 대응하여 사용자에게 촉각 피드백을 전달할 수 있는 소자를 의미한다.In this specification, a contact-sensitive element means an element capable of transmitting tactile feedback to a user in response to a user's contact with the contact-sensitive element.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다.Various embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다. 도 1을 참조하면, 접촉 감응 소자(100)는 제1 기판(110), 하부 전극(120), 절연 부재(130), 상부 전극(140) 및 전기 활성 부재(150)를 포함한다. 도 1에서 하부 전극(120) 및 상부 전극(140) 각각에 연결된 배선들은 도시되지 않았으며, 제1 기판(110)과 마주하는 제2 기판은 도시되지 않았다.1 is a schematic perspective view for explaining a touch sensing device according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, the touch sensing device 100 includes a first substrate 110, a lower electrode 120, an insulating member 130, an upper electrode 140, and an electroactive member 150. Wires connected to the lower electrode 120 and the upper electrode 140 are not shown in FIG. 1, and a second substrate facing the first substrate 110 is not shown.

제1 기판(110)은 접촉 감응 소자(100)의 다양한 구성요소들을 지지하기 위한 기판이다. 기판은 절연 물질로 이루어진다. 구체적으로, 기판은 투명한 절연 물질로 이루어질 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자는 표시 패널의 전면(front surface)에 배치되는 방식으로 표시 장치에 채용될 수 있으므로, 기판은 투명한 절연 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1 기판(110)은 유리로 이루어지거나, 폴리이미드(polyimide; PI), PET(polyethylene terephthalate) 또는 아크릴 계열의 플라스틱 물질로 이루어질 수 있다. The first substrate 110 is a substrate for supporting various components of the contact-sensitive element 100. The substrate is made of an insulating material. Specifically, the substrate may be made of a transparent insulating material. Since the touch sensitive device according to an embodiment of the present invention can be employed in a display device in a manner that it is disposed on the front surface of the display panel, the substrate can be made of a transparent insulating material. For example, the first substrate 110 may be made of glass, or may be made of polyimide (PI), polyethylene terephthalate (PET), or an acrylic-based plastic material.

제1 기판(110)은 액티브 영역을 갖도록 구성된다. 제1 기판(110)의 액티브 영역은 사용자에게 촉각 피드백을 전달하기 위한 영역으로서, 하부 전극(120), 절연 부재(130), 상부 전극(140) 및 전기 활성 부재(150)가 배치된 복수의 셀을 포함한다. 여기서, 셀은 사용자에게 촉각 피드백을 전달할 수 있는 최소 단위 영역으로서, 각각의 셀은 독립적으로 촉각 피드백을 전달할 수 있다. The first substrate 110 is configured to have an active region. The active region of the first substrate 110 is a region for transmitting tactile feedback to the user and includes a plurality of electrodes 120, an insulating member 130, an upper electrode 140, Cell. Here, a cell is a minimum unit area that can transmit tactile feedback to a user, and each cell can independently transmit tactile feedback.

제1 기판(110)의 각각의 셀의 면적은 일반적인 사람의 손가락의 크기를 고려하여 결정될 수 있다. 접촉 감응 소자(100)는 사용자의 터치 입력에 대한 촉각 피드백을 전달하는 것이므로, 사용자에게 촉각 피드백을 전달할 수 있는 최소 단위 영역인 셀은 사용자의 터치 입력이 발생하는 면적을 고려하여 결정될 수 있다. 이 경우, 사용자의 터치 입력이 발생하는 면적은 일반적인 사람의 손가락의 크기에 따라 결정되므로, 제1 기판(110)의 셀의 면적 또한 일반적인 사람의 손가락의 크기에 기초하여 결정될 수 있다. The area of each cell of the first substrate 110 may be determined in consideration of the size of a finger of a general person. Since the touch sensing device 100 transmits tactile feedback to the touch input of the user, the cell which is the minimum unit area that can transmit tactile feedback to the user can be determined in consideration of the area where the touch input of the user occurs. In this case, the area where the user's touch input is generated is determined according to the size of the finger of a general person, so the area of the cell of the first substrate 110 can also be determined based on the size of a finger of a general person.

몇몇 실시예에서, 제1 기판(110) 각각의 셀의 면적은 접촉 감응 소자(100)와 함께 사용될 수 있는 터치 패널의 화소의 면적을 고려하여 결정될 수도 있다. 터치 패널에서 사용자의 터치 입력을 감지하는 것에 응답하여 접촉 감응 소자(100)가 사용자에게 촉각 피드백을 전달하게 된다. 이에, 예를 들어, 사용자의 터치 입력이 감지된 터치 패널의 화소와 동일하게 접촉 감응 소자(100)의 셀의 면적이 결정되는 경우, 터치 패널이 화소와 접촉 감응 소자(100)의 셀이 1:1로 대응될 수 있으므로, 접촉 감응 소자(100)가 보다 용이하게 구동될 수 있다. In some embodiments, the area of each cell of the first substrate 110 may be determined in consideration of the area of the pixels of the touch panel that can be used with the touch sensitive device 100. In response to sensing the user's touch input on the touch panel, the touch sensitive device 100 delivers tactile feedback to the user. For example, when the area of the cell of the touch sensing device 100 is determined in the same manner as the pixel of the touch panel on which the touch input of the user is sensed, : 1, so that the contact sensitive element 100 can be driven more easily.

제1 기판(110) 각각의 셀에는 하부 전극(120), 절연 부재(130), 상부 전극(140) 및 전기 활성 부재(150)가 각각 배치된다. 이하에서는, 각각의 셀에 배치된 하부 전극(120), 절연 부재(130), 상부 전극(140) 및 전기 활성 부재(150)에 대한 보다 상세한 설명을 위해 도 2 및 도 3a를 함께 참조한다. The lower electrode 120, the insulating member 130, the upper electrode 140, and the electro-active member 150 are disposed in the cells of the first substrate 110, respectively. 2 and 3A together for a more detailed description of the lower electrode 120, insulating member 130, upper electrode 140 and electroactive member 150 disposed in each cell.

도 2는 도 1의 A 영역에 대한 접촉 감응 소자의 부분 확대 사시도이다. 도 3a는 도 2의 III-III'에 따른 접촉 감응 소자의 개략적인 단면도이다. 도 2 및 도 3a에서는 접촉 감응 소자(100)의 복수의 셀 중 하나의 셀만을 도시하였으며, 접촉 감응 소자(100)의 복수의 셀 모두는 도 2 및 도 3a에 도시된 셀과 동일하게 구성될 수 있다.2 is a partially enlarged perspective view of a contact-sensitive element with respect to region A of FIG. 3A is a schematic cross-sectional view of a touch sensitive element according to III-III 'of FIG. In FIGS. 2 and 3A, only one cell of the plurality of cells of the contact-sensing device 100 is shown, and all of the plurality of cells of the contact-sensing device 100 are configured identically to the cells shown in FIGS. .

도 2를 참조하면, 하부 전극(120)은 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)을 포함한다. 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 도전성 물질로 이루어진다. 예를 들어, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 크롬(Cr), 마그네슘(Mg), 은(Ag), 금(Au) 등과 같은 금속으로 이루질 수 있다. 이 경우, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 광을 투과할 수 있도록 얇은 두께를 가질 수 있다. 또한, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 ITO(Indium Tin Oxide), AZO(Aluminium doped zinc oxide), FTO(Fluorine tin oxide), 은-나노와이어 등과 같은 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 다만, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)의 구성 물질은 상술한 예에 제한되지 않고, 다양한 도전성 물질이 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)의 구성 물질로 사용될 수 있다. 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 동일한 물질로 이루어질 수도 있고, 서로 상이한 물질로 이루어질 수도 있다. 또한, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 상기 물질들로 이루어진 단층 구조 또는 다층 구조로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 2, the lower electrode 120 includes a first electrode 121 and a second electrode 122. The first electrode 121 and the second electrode 122 are made of a conductive material. For example, the first electrode 121 and the second electrode 122 may be formed of a metal such as Cr, Mg, Ag, Au, or the like. In this case, the first electrode 121 and the second electrode 122 may have a small thickness so as to transmit light. In addition, the first electrode 121 and the second electrode 122 may be made of a transparent conductive material. For example, the first electrode 121 and the second electrode 122 may be formed of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO), aluminum doped zinc oxide (AZO), fluorine tin oxide (FTO) Lt; / RTI > However, the first and second electrodes 121 and 122 are not limited to the above-described examples, and various conductive materials may be used as the material of the first electrode 121 and the second electrode 122 have. The first electrode 121 and the second electrode 122 may be made of the same material or different materials. The first electrode 121 and the second electrode 122 may have a single-layer structure or a multi-layer structure.

도 3a를 참조하면, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 하나의 셀 내에서 제1 기판(110)의 일 면 상에 배치된다. 즉, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 제1 기판의 동일 평면 상에 서로 이격되어 배치된다. 또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 복수의 셀 각각에 모두 배치된다. Referring to FIG. 3A, the first electrode 121 and the second electrode 122 are disposed on one surface of the first substrate 110 in one cell. That is, the first electrode 121 and the second electrode 122 are spaced apart from each other on the same plane of the first substrate. Also, as shown in FIG. 1, the first electrode 121 and the second electrode 122 are all disposed in each of the plurality of cells.

제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 다양한 방식으로 기판의 일 면에 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 스퍼터링, 프린팅, 슬릿 코팅, 스핀 코팅 등과 같은 방식으로 기판의 상면에 형성될 수 있다. 특히, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)이 동일한 물질로 형성되는 경우, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 동시에 형성될 수도 있다.The first electrode 121 and the second electrode 122 may be formed on one side of the substrate in various manners. For example, the first electrode 121 and the second electrode 122 may be formed on the upper surface of the substrate in a manner such as sputtering, printing, slit coating, or spin coating. In particular, when the first electrode 121 and the second electrode 122 are formed of the same material, the first electrode 121 and the second electrode 122 may be formed at the same time.

제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 전기 활성 부재(150)의 진동을 증폭시키도록 구성된다. 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)에 의해 전기 활성 부재(150)의 진동이 증폭되는 원리에 대하여는 도 3b 및 도 3c를 참조하여 후술한다. The first electrode 121 and the second electrode 122 are configured to amplify the vibration of the electroactive member 150. The principle of amplifying the vibration of the electroactive member 150 by the first electrode 121 and the second electrode 122 will be described later with reference to FIGS. 3B and 3C.

복수의 절연 부재(130)는 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)에 대응되도록 제1 전극(121) 및 제2 전극(122) 상에 배치된다. 예를 들어, 복수의 절연 부재(130)는 제1 전극(121)에 대응되도록 제1 전극(121) 상에 배치된 제1 절연 부재 및 제2 전극(122)에 대응되도록 제2 전극(122) 상에 배치된 제2 절연 부재를 포함할 수 있다. 제1 절연 부재와 제2 절연 부재는 서로 이격되어 배치되고, 제1 절연 부재 및 제2 절연 부재 사이에 전기 활성 부재(150)의 진동을 위한 공간이 구비된다. 복수의 절연 부재(130)는 실리케이트(silicate), 실리콘 옥사이드(SiOx), 실리콘 나이트라이드(SiNx), 알루미늄 옥사이드(AlOx) 등과 같은 무기 절연물로 형성될 수 있다. A plurality of insulating members 130 are disposed on the first electrode 121 and the second electrode 122 to correspond to the first electrode 121 and the second electrode 122. For example, the plurality of insulating members 130 may include a first electrode 121 and a second electrode 122 corresponding to the first electrode 121 and the second electrode 122, respectively, And a second insulating member disposed on the second insulating member. The first insulating member and the second insulating member are spaced apart from each other, and a space for vibrating the electroactive member 150 is provided between the first insulating member and the second insulating member. The plurality of insulating members 130 may be formed of an inorganic insulating material such as silicate, silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), aluminum oxide (AlOx)

전기 활성 부재(150)는 절연 부재(130) 사이에서 연장되며, 제3 전극(141)과 접촉하는 일 단 및 제4 전극(142)과 접촉하는 타 단을 포함한다. 전기 활성 부재(150)는 강유전성(ferroelectic)을 가지며, 압전 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 전기 활성 부재(150)는 PZT(lead zirconate titanate), BTO(BaTiO₃) 등과 같은 압전 세라믹, PEO(Polyethylene oxide), PVDF(polyvinylidene fluoride), P(VDF-TrFE)(poly(vinylidenefluoride-trifluoroethylene), P(VDF-TrFE-CFE)(poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene-chlorofluoroethylene)), P(VDF-TRFE-CTFE)(poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene-chlorotrifluoroethylene), 등과 같은 압전 고분자 물질로 이루어질 수 있다. 이 경우, 전기 활성 부재(150)는 분극되어 일 단의 극성과 타단의 극성이 서로 상이하다. The electroactive member 150 extends between the insulating members 130 and includes one end in contact with the third electrode 141 and the other end in contact with the fourth electrode 142. The electroactive member 150 has ferroelectrics and may be made of a piezoelectric material. For example, the electro-active member 150 may be formed of a piezoelectric ceramic such as lead zirconate titanate (PZT), BTO (BaTiO ₃ ), etc., polyethylene oxide (PVDF), polyvinylidene fluoride (PVDF) (vinylidene fluoride-trifluoroethylene-chlorotrifluoroethylene), poly (vinylidene fluoride-trifluoroethylene-chlorofluoroethylene), P (VDF-TRFE-CTFE) In this case, the electroactive member 150 is polarized so that the polarity of one end and the polarity of the other end are different from each other.

전기 활성 부재(150)는 압전 물질로 이루어진 필름 또는 나노 섬유 형태일 수 있다. 전기 활성 부재(150)가 필름 형태인 경우, 전기 활성 부재(150)를 분극시키도록 폴링(poling) 공정이 수반될 수 있다. 예를 들어, 전기 활성 부재(150)가 α-형(α-phase) PVDF로 이루어진 필름인 경우, PVDF 분자내에서 쌍극자 모멘트(dipole moment)는 서로 상쇄되므로, PVDF 필름은 상유전성(paraelectric) 필름이되며, 전기 활성 부재(150)는 전기 활성을 갖지 못한다. 이 경우, PVDF 필름을 연신함으로써, α-형 PVDF가 β-형 PVDF로 형성될 수 있으며, 폴링 공정을 통해 PVDF 필름의 쌍극자(151)들이 일정하게 배열될 수 있다. 폴링된 β-형 PVDF는 일정한 방향으로 정렬된 쌍극자(151)들을 포함하므로, 폴링된 PVDF 필름은 강유전성을 갖는다. 따라서, 폴링 공정을 통해 분극된 전기 활성 부재(150)가 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 전기 활성 부재(150)가 P(VDF-TrFE-CFE)와 같이 완화형 강유전 고분자로 이루어진 경우, 전기 활성 부재(150)는 별도의 폴링 공정 없이 접촉 감응 소자(100)의 구동을 위한 약한 전기장에 기초하여 분극될 수 있다.The electroactive member 150 may be in the form of a film or nanofiber composed of a piezoelectric material. When the electroactive member 150 is in the form of a film, a poling process may be involved to polarize the electroactive member 150. For example, when the electroactive member 150 is a film made of alpha-phase PVDF, the dipole moments in the PVDF molecules cancel each other out, so that the PVDF film is a paraelectric film And the electroactive member 150 is not electroactive. In this case, by stretching the PVDF film, the? -Type PVDF can be formed into? -Type PVDF, and the poles 151 of the PVDF film can be uniformly arranged through the poling process. The polled? -Form PVDF includes dipoles 151 aligned in a certain direction, so that the polled PVDF film has ferroelectricity. Thus, the polarized electroactive member 150 can be formed through the poling process. However, the present invention is not limited thereto. For example, when the electro-active member 150 is made of a relaxed ferroelectric polymer such as P (VDF-TrFE-CFE), the electro-active member 150 can be driven without the need for a separate poling process Lt; RTI ID = 0.0 > polarized < / RTI >

전기 활성 부재(150)가 압전 나노 섬유 형태인 경우, 전기 방사(electrospinning) 방법을 통해 분극될 수 있다. 예를 들어, 용액 상태의 압전 물질을 전기 방사 노즐에 충진하고, 복수의 절연 부재(130)를 가로지르도록 전기 방사 노즐을 이동시키면서 압전 물질을 방사함으로써, 압전 나노 섬유 형태의 전기 활성 부재(150)가 형성될 수 있다. When the electroactive member 150 is in the form of a piezoelectric nanofiber, it may be polarized through an electrospinning process. For example, a piezoelectric substance in a solution state is filled in an electrospinning nozzle, and a piezoelectric substance is radiated while moving the electrospinning nozzle so as to cross the plurality of insulating members 130, thereby forming a piezoelectric nanofiber electroactive member 150 May be formed.

용액 상태의 압전 물질이 방사되는 동안 방사 노즐에는 소정의 전압이 인가될 수 있다. 이 경우, 방사 노즐에 인가된 전압에 기초하여 방사된 압전 물질 내의 쌍극자(151)들은 일정하게 정렬될 수 있다. 또한, 방사 노즐에서 압전 물질이 방사되면, 용액 상태의 압전 물질에서 용매가 증발하면서 압전 물질은 결정화된다. 압전 나노 섬유 내의 쌍극자(151)들은 방사 노즐에 인가된 전압에 의해 일정한 방향으로 정렬되므로, 방사 노즐에서 방사된 압전 물질은 분극된 상태로 결정화될 수 있다. 따라서, 별도의 폴링 공정 없이 분극된 압전 나노 섬유가 한번에 형성될 수 있다. 예를 들어, PVDF계열의 압전 물질로 나노 섬유 형태의 전기 활성 부재(150)를 형성하는 경우, 용액 상태의 PVDF를 방사 노즐을 통해 방사함으로써, 고결정성의 β-상을 갖는 PVDF 나노 섬유가 형성될 수 있다. 도 3a에는 PVDF계열의 압전 물질로 이루어진 나노 섬유 형태의 전기 활성 부재(150)가 도시되어 있다. 도 3a에 도시된 바와 같이, 전기 활성 부재(150)는 압전 나노 섬유의 길이 방향으로 배열된 쌍극자(151)들을 포함한다. 이하에서는 전기 활성 부재(150)가 압전 나노 섬유로 이루어진 경우를 기준으로 설명한다. A predetermined voltage may be applied to the spinneret while the piezo-electric material in solution is being radiated. In this case, the dipoles 151 in the piezoelectric material emitted based on the voltage applied to the spinneret can be uniformly aligned. Further, when the piezoelectric material is emitted from the spinneret, the piezoelectric material is crystallized as the solvent evaporates in the piezoelectric material in the solution state. Since the dipoles 151 in the piezoelectric nanofiber are aligned in a certain direction by the voltage applied to the spinneret, the piezoelectric material emitted from the spinneret can be crystallized in a polarized state. Thus, the polarized piezoelectric nanofibers can be formed at one time without a separate poling process. For example, when the electroactive member 150 in nanofiber form is formed of PVDF piezoelectric material, PVDF in solution state is spun through a spinneret to form PVDF nanofibers with high crystallinity? . 3A shows an electroactive member 150 in the form of a nanofiber composed of a PVDF piezoelectric material. As shown in FIG. 3A, the electroactive member 150 includes dipoles 151 arranged in the longitudinal direction of the piezoelectric nanofibers. Hereinafter, the case where the electroactive member 150 is made of piezoelectric nanofiber will be described.

한편, 압전 나노 섬유는 방사 노즐의 이동 방향을 따라 길게 연장된 실처럼 형성된다. 방사 노즐이 복수의 절연 부재(130) 사이를 가로지르면서 이동하는 경우, 압전 나노 섬유는 복수의 절연 부재(130) 사이에서 연장된 형상으로 형성될 수 있다. On the other hand, the piezoelectric nanofibers are formed like elongated yarns along the moving direction of the spinning nozzle. When the spinning nozzle moves across a plurality of insulating members 130, the piezoelectric nanofibers may be formed to extend between the plurality of insulating members 130.

이 경우, 압전 나노 섬유가 복수의 절연 부재(130) 사이에서 일정하게 연장되도록 복수의 절연 부재(130) 사이에 희생 물질이 충진될 수 있다. 희생 물질은 복수의 절연 부재(130) 사이의 공간을 충진하며 제1 기판(110)의 상면을 평탄화한다. 한편, 전기 활성 부재(150)가 절연 부재(130)에 접하도록 절연 부재(130)의 일면은 노출된다. 전기 방사 노즐은 제1 전극(121) 상에서 노출된 절연 부재(130)의 일면으로부터 제2 전극(122) 상에서 노출된 절연 부재(130)의 일면으로 이동하면서 압전 물질을 방사한다. 이 경우, 압전 나노 섬유가 복수의 절연 부재(130) 사이에서 희생 물질에 의해 지지되므로, 복수의 절연 부재(130) 사이에서 균일하게 연장된 전기 활성 부재(150)가 제조될 수 있다. In this case, the sacrificial material may be filled between the plurality of insulating members 130 such that the piezoelectric nanofibers are uniformly extended between the plurality of insulating members 130. The sacrificial material fills the space between the plurality of insulating members 130 and flattens the upper surface of the first substrate 110. On the other hand, one surface of the insulating member 130 is exposed so that the electro-active member 150 contacts the insulating member 130. The electrospinning nozzle emits a piezoelectric material while moving from one surface of the insulating member 130 exposed on the first electrode 121 to one surface of the insulating member 130 exposed on the second electrode 122. In this case, since the piezoelectric nanofibers are supported by the sacrificial material between the plurality of insulating members 130, the electro-active member 150 extending uniformly between the plurality of insulating members 130 can be manufactured.

희생 물질은 물에 녹을 수 있는 고분자 물질로 구성될 수 있으며, 예를 들어, PEDOT:PSS(poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate) 또는 PVA(polyvinyl alcohol)으로 구성될 수 있다. 희생 물질은 전기 활성 부재(150)의 양단과 접촉되는 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)이 형성된 이후 제거될 수 있다. The sacrificial material may be composed of a polymer material that can be dissolved in water, and may be composed of, for example, PEDOT: PSS (poly (3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate) or PVA (polyvinyl alcohol). The sacrificial material may be removed after the third electrode 141 and the fourth electrode 142, which are in contact with both ends of the electroactive member 150, are formed.

상부 전극(140)은 복수의 절연 부재(130) 상에 배치된다. 상부 전극(140)은 전기 활성 부재(150)에 전압을 인가하기 위한 전극으로서, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)을 포함한다. 상부 전극(140)은 하부 전극(120)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)은 크롬, 마그네슘, 은, 금 등과 같은 금속으로 이루어지거나, ITO, AZO, FTO, 은-나노와이어 등과 같은 투명 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)은 서로 동일한 물질 또는 서로 상이한 물질로 이루어질 수 있으며, 상기 물질을 포함하는 단층 구조 또는 다층 구조로 형성될 수 있다. The upper electrode 140 is disposed on the plurality of insulating members 130. The upper electrode 140 includes electrodes for applying a voltage to the electroactive member 150 and includes a third electrode 141 and a fourth electrode 142. The upper electrode 140 may be formed of the same material as the lower electrode 120. For example, the third electrode 141 and the fourth electrode 142 may be made of a metal such as chromium, magnesium, silver, gold or the like, or may be made of a transparent conductive material such as ITO, AZO, FTO, silver- have. The third electrode 141 and the fourth electrode 142 may be formed of the same material or different materials, and may have a single-layer structure or a multi-layer structure including the material.

제3 전극(141) 및 제4 전극(142)은 하부 전극(120)과 동일한 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)은 스퍼터링, 프린팅, 슬릿 코팅, 스핀 코팅 등과 같은 방식으로 절연 부재(130)의 일면에 형성될 수 있다. The third electrode 141 and the fourth electrode 142 may be formed in the same manner as the lower electrode 120. For example, the third electrode 141 and the fourth electrode 142 may be formed on one surface of the insulating member 130 in a manner such as sputtering, printing, slit coating, spin coating, or the like.

제3 전극(141) 및 제4 전극(142)은 전기 활성 부재(150)의 양단에 접촉한다. 구체적으로, 제3 전극(141)은 전기 활성 부재(150)의 일 단을 덮으며, 제4 전극(142)은 전기 활성 부재(150)의 타 단을 덮는다. 제3 전극(141)은 전기 활성 부재(150) 일 단의 일부 표면을 덮으며, 제4 전극(142)은 전기 활성 부재(150) 타 단의 일부 표면을 덮는다. 따라서, 전기 활성 부재(150) 양단의 일부 표면은 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)과 접하고, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)과 접하지 않는 전기 활성 부재(150) 양단의 다른 표면은 복수의 절연 부재(130)와 접한다. 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)은 전기 활성 부재(150)의 양단을 고정하도록 전기 활성 부재(150)와 접착된다. 이를 위해 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)이 형성된 이후, 제3 전극(141)과 전기 활성 부재(150)의 접촉부분 및 제4 전극(142)과 전기 활성 부재(150)의 접촉부분에 국부적인 열처리가 수행될 수 있다. 예를 들어, 제3 전극(141)과 전기 활성 부재(150)의 접촉부분에 레이저를 조사함으로써, 제3 전극(141)과 전기 활성 부재(150)의 일 단이 접착될 수 있다. 또한, 제4 전극(142)과 전기 활성 부재(150)의 접촉부분에 레이저를 조사함으로써, 제4 전극(142)과 전기 활성 부재(150)의 타 단이 접착될 수 있다. The third electrode 141 and the fourth electrode 142 are in contact with both ends of the electroactive member 150. Specifically, the third electrode 141 covers one end of the electroactive member 150, and the fourth electrode 142 covers the other end of the electroactive member 150. The third electrode 141 covers a part of the surface of one end of the electroactive member 150 and the fourth electrode 142 covers a part of the surface of the other end of the electroactive member 150. A part of the surfaces of both ends of the electroactive member 150 are in contact with the third electrode 141 and the fourth electrode 142 and are electrically connected to the third electrode 141 and the fourth electrode 142 150) are in contact with a plurality of insulating members (130). The third electrode 141 and the fourth electrode 142 are bonded to the electroactive member 150 to fix both ends of the electroactive member 150. The contact between the third electrode 141 and the electroactive member 150 and the contact between the fourth electrode 142 and the electroactive member 150 are performed after the third electrode 141 and the fourth electrode 142 are formed. A localized heat treatment may be performed on the contact portion. For example, one end of the third electrode 141 and one end of the electroactive member 150 can be adhered to each other by irradiating a laser beam to the contact portion of the third electrode 141 and the electroactive member 150. The fourth electrode 142 and the other end of the electroactive member 150 can be adhered to each other by irradiating a laser to the contact portion between the fourth electrode 142 and the electroactive member 150. [

한편, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)이 형성된 이후, 희생 물질이 제거될 수 있다. 앞서 언급한 바와 같이, 희생 물질은 물에 녹는 고분자 물질로 구성되므로, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)을 형성한 이후, 제1 기판(110)을 물에 담금으로써, 희생 물질이 제거될 수 있다. On the other hand, after the third electrode 141 and the fourth electrode 142 are formed, the sacrificial material can be removed. As described above, since the sacrificial material is made of a polymer material that dissolves in water, after the third electrode 141 and the fourth electrode 142 are formed, the first substrate 110 is immersed in water, Can be removed.

제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 상에 복수의 스페이서(180)가 배치된다. 복수의 스페이서(180)는 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)의 상면을 평탄화하며, 제2 기판(190)을 지지한다. 복수의 스페이서(180)는 투명한 절연 물질로 형성되며, 제3 전극(141) 및 제4 서브 전극(142)을 제2 기판(190)과 접착한다. A plurality of spacers 180 are disposed on the third electrode 141 and the fourth electrode 142. The plurality of spacers 180 planarize the upper surface of the third electrode 141 and the fourth electrode 142 and support the second substrate 190. The plurality of spacers 180 are formed of a transparent insulating material, and the third electrode 141 and the fourth sub-electrode 142 are bonded to the second substrate 190.

제2 기판(190)은 제1 기판(110)에 마주하며, 하부 전극(120), 절연 부재(130), 상부 전극(140) 및 전기 활성 부재(150)를 보호한다. 또한, 제2 기판(190)은 전기 활성 부재(150)의 진동을 전달하는 진동판으로 기능한다. 전기 활성 부재(150)는 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 사이에서 진동하면서 제2 기판(190)을 타격할 수 있고, 제2 기판(190)은 전기 활성 부재(150)의 충격을 촉각 피드백으로 전달한다. 제2 기판(190)은 투과율이 우수하고, 진동을 잘 전달할 수 있는 다양한 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제2 기판(110)은 유리로 이루어지거나, 폴리이미드, PET 또는 아크릴 계열의 플라스틱 물질로 이루어질 수 있다. The second substrate 190 faces the first substrate 110 and protects the lower electrode 120, the insulating member 130, the upper electrode 140, and the electroactive member 150. In addition, the second substrate 190 functions as a diaphragm that transmits the vibration of the electro-active member 150. The electroactive member 150 may strike the second substrate 190 while vibrating between the third electrode 141 and the fourth electrode 142 and the second substrate 190 may strike the electroactive member 150 The shock is transmitted as tactile feedback. The second substrate 190 may be made of various materials having excellent transmittance and capable of transmitting vibration well. For example, the second substrate 110 may be made of glass, or may be made of polyimide, PET, or an acrylic-based plastic material.

몇몇 실시예에서, 접촉 감응 소자(100)는 제1 기판(110)의 일면에 하부 전극(120) 및 복수의 절연 부재(130)를 형성하고, 제2 기판(190)의 일면에 상부 전극(140) 및 전기 활성 부재(150)를 형성한 후, 제1 기판(110)과 제2 기판(190)을 서로 접착함으로써, 제조될 수 있다. 이 경우, 희생 물질 없이 복수의 절연 부재(130) 사이에 연장된 전기 활성 부재(150)가 형성될 수 있으며, 복수의 스페이서(180)는 생략될 수 있다. 즉, 제2 기판(190)의 일면에 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)을 형성하고, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 상에 직접 압전 물질을 방사함으로써, 압전 나노 섬유 형태의 전기 활성 부재(150)가 제2 기판(190)의 일면에 형성될 수 있다. 이후, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)을 복수의 절연 부재(130)와 접착함으로써, 복수의 절연 부재(130) 사이에서 연장된 전기 활성 부재(150)를 포함하는 접촉 감응 소자(100)가 제조될 수 있다. In some embodiments, the touch sensing device 100 includes a lower electrode 120 and a plurality of insulating members 130 formed on one surface of a first substrate 110, an upper electrode (not shown) formed on one surface of a second substrate 190, 140 and the electro-active member 150, and then bonding the first substrate 110 and the second substrate 190 to each other. In this case, the electroactive member 150 extending between the plurality of insulating members 130 without the sacrificial material may be formed, and the plurality of spacers 180 may be omitted. That is, the third electrode 141 and the fourth electrode 142 are formed on one surface of the second substrate 190, and the piezoelectric material is directly radiated on the third electrode 141 and the fourth electrode 142, An electroactive member 150 in the form of a piezoelectric nanofiber may be formed on one surface of the second substrate 190. The third electrode 141 and the fourth electrode 142 are bonded to the plurality of insulating members 130 to form a contact sensitive element 130 including the electroactive member 150 extending between the plurality of insulating members 130. [ (100) can be manufactured.

전기 활성 부재(150)는 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 사이에서 형성되는 전기장(electric field)에 기초하여 진동한다. 구체적으로, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 사이에 전기장이 형성되는 경우, 전기 활성 부재(150) 내의 쌍극자(151)들 사이에 인력 또는 반발력이 작용하면서, 전기 활성 부재(150) 내에 압축 응력 또는 인장 응력이 발생된다. 이러한, 압축 응력 또는 인장 응력에 기인하여 전기 활성 부재(150)에 변형이 발생된다. 이러한 현상을 압전 역효과(inverse piezoelectric effect)라 한다. The electroactive member 150 vibrates based on an electric field formed between the third electrode 141 and the fourth electrode 142. Specifically, when an electric field is formed between the third electrode 141 and the fourth electrode 142, an attractive force or a repulsive force acts between the dipoles 151 in the electro-active member 150, Compressive stress or tensile stress is generated. Such deformation occurs in the electroactive member 150 due to compressive stress or tensile stress. This phenomenon is called inverse piezoelectric effect.

여기서, 전기 활성 부재(150)의 진동 폭은 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 사이에 발생하는 전기장의 세기에 기초하여 결정될 수 있다. 또한, 전기 활성 부재(150)의 진동 길이 즉, 제3 전극(141)과 제4 전극(142) 사이의 간격(d₂)에 기초하여 결정될 수 있다. 예를 들어, 전기 활성 부재(150)의 진동 폭은 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 사이의 전기장이 강할수록 커지고, 제3 전극(141)과 제4 전극(142) 사이의 간격(d₂)이 클수록 커질 수 있다. 복수의 절연 부재(130)의 두께(d₁)가 너무 작을 경우, 전기 활성 부재(150)는 충분한 진동 공간을 확보하지 못할 수 있으므로, 복수의 절연 부재(130)의 두께(d₁)는 전기 활성 부재(150)의 진동 폭을 고려하여 결정될 수 있다. Here, the oscillation width of the electroactive member 150 may be determined based on the intensity of the electric field generated between the third electrode 141 and the fourth electrode 142. [ May be determined based on the vibration length of the electroactive member 150, that is, the interval d ₂ between the third electrode 141 and the fourth electrode 142. For example, the oscillation width of the electroactive member 150 increases as the electric field between the third electrode 141 and the fourth electrode 142 increases, and the oscillation width of the electroactive member 150 increases as the electric field between the third electrode 141 and the fourth electrode 142 increases. The larger the interval d ₂ , the larger the distance d ₂ . If the thickness (d ₁₎ of the plurality of the insulating member 130 is too small, electroactive member 150 may not be able to ensure a sufficient vibration space, the thickness (d ₁₎ is electrical of the plurality of insulating members (130) Can be determined in consideration of the vibration width of the active member 150. [

구체적으로, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 사이의 간격(d₂)과 복수의 절연 부재(130)의 두께(d₁)의 비는 1:0.3 내지 1:0.5 에서 선택된 어느 하나일 수 있다. 만약, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 사이의 간격(d₂)과 복수의 절연 부재(130)의 두께(d₁)의 비가 1:0.3보다 작을 경우, 전기 활성 부재(150)의 진동 공간은 충분하지 못할 수 있으며, 전기 활성 부재(150)의 진동으로 인한 진동 효과는 극대화되지 못할 수 있다. 또한, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 사이의 간격(d₂)과 복수의 절연 부재(130)의 두께(d₁)의 비가 1:0.5보다 클 경우, 절연 부재(130)의 두께(d₁)가 지나치게 두꺼워 접촉 감응 소자(100)의 박형화에 적합하지 않을 수 있다. Specifically, the ratio of the distance d ₂ between the third electrode 141 and the fourth electrode 142 to the thickness d ₁ of the plurality of insulating members 130 is selected from 1: 0.3 to 1: 0.5 It can be one. If the ratio of the distance d ₂ between the third electrode 141 and the fourth electrode 142 to the thickness d ₁ of the plurality of insulating members 130 is less than 1: 0.3, the electroactive member 150 May not be sufficient, and the vibration effect due to the vibration of the electro-active member 150 may not be maximized. When the ratio of the distance d ₂ between the third electrode 141 and the fourth electrode 142 to the thickness d ₁ of the plurality of insulating members 130 is greater than 1: The thickness d _{1 of the} contact sensitive element 100 may be too thick to be suitable for thinning the contact sensitive element 100.

본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)는 복수의 절연 부재(130) 사이에서 진동할 수 있는 전기 활성 부재(150)를 포함하므로, 접촉 감응 소자(100)의 진동 효과가 극대화될 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)는 전기 활성 부재(150)를 진동시키는 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 이외에 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)을 더 포함하므로, 전기 활성 부재(150)의 진동 효과를 더욱 극대화할 수 있다. 이에 대해 보다 상세히 설명하기 위해 도 3b 및 도 3c를 함께 참조한다. Since the touch sensing device 100 according to an embodiment of the present invention includes the electro-active member 150 that can vibrate between the plurality of insulating members 130, the vibration effect of the contact-sensitive device 100 is maximized . The touch sensing device 100 according to an embodiment of the present invention includes a third electrode 141 and a fourth electrode 142 that vibrate the electroactive member 150, (122), it is possible to further maximize the vibration effect of the electroactive member (150). See FIG. 3B and FIG. 3C together to describe this in more detail.

도 3b 및 도 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자의 진동을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다. 3B and 3C are schematic cross-sectional views for explaining the vibration of the touch sensing element according to an embodiment of the present invention.

도 3b를 참조하면, 제3 전극(141)과 제4 전극(142) 사이에 전기장(E₁)이 발생됨에 따라 전기 활성 부재(150)는 진동한다. 즉, 압전 역효과에 의해 전기 활성 부재(150)에는 압축 응력 또는 인장 응력이 발생되며, 이로 인해, 전기 활성 부재(150)는 진동한다. 전기 활성 부재(150)의 응력 방향은 전기 활성 부재(150)의 압전 응력 계수(piezoelectric stress constant)에 의해 결정된다. 예를 들어, 전기 활성 부재(150)가 PVDF로 이루어진 필름 형태인 경우, 전기 활성 부재(150)는 양의(positive) 압전 응력 계수를 갖는다. 양의 압전 응력 계수를 갖는 압전 재료는 분극 방향과 동일한 방향으로 작용하는 전기장에 의해 팽창된다. 따라서, 전기 활성 부재(150)의 분극 방향(P₁)과 일치하는 방향으로 전기장(E₁)이 작용하는 경우, 전기 활성 부재(150)에는 인장 응력이 발생되고, 전기 활성 부재(150)는 팽창된다. 이에 반해, 전기 활성 부재(150)가 PVDF로 이루어진 압전 나노 섬유 형태인 경우, 전기 활성 부재(150)는 음의(negative) 압전 응력 계수를 갖는다. 음의 압전 응력 계수를 갖는 압전 재료는 분극 방향과 동일한 방향으로 작용하는 전기장에 의해 압축된다. 따라서, 전기 활성 부재(150)의 분극 방향(P₁)과 일치하는 방향으로 전기장(E₁)이 작용하는 경우, 전기 활성 부재(150)에는 압축 응력(F₁)이 발생되고, 전기 활성 부재(150)는 압축된다. 도 3b 및 도 3c에는 압전 나노 섬유 형태의 전기 활성 부재(150)가 도시되어 있으며, 이하에서는 압전 나노 섬유 형태의 전기 활성 부재(150)를 기준으로 전기 활성 부재(150)의 진동을 설명한다. Referring to FIG. 3B, as the electric field E ₁ is generated between the third electrode 141 and the fourth electrode 142, the electroactive member 150 vibrates. That is, due to the piezoelectric adverse effect, compressive stress or tensile stress is generated in the electroactive member 150, thereby causing the electroactive member 150 to vibrate. The stress direction of the electroactive member 150 is determined by the piezoelectric stress constant of the electroactive member 150. For example, when the electroactive member 150 is in the form of a film of PVDF, the electroactive member 150 has a positive piezoelectric stress coefficient. The piezoelectric material having a positive piezoelectric stress coefficient is expanded by an electric field acting in the same direction as the polarization direction. Therefore, when the electric field E ₁ acts in the direction coinciding with the polarization direction P _{1 of the} electroactive member 150, tensile stress is generated in the electroactive member 150, and the electroactive member 150 Is expanded. On the other hand, when the electroactive member 150 is in the form of a piezoelectric nanofiber made of PVDF, the electroactive member 150 has a negative piezoelectric stress coefficient. The piezoelectric material having a negative piezoelectric stress coefficient is compressed by an electric field acting in the same direction as the polarization direction. Therefore, when the electric field E ₁ acts in the direction coinciding with the polarization direction P _{1 of the} electroactive member 150, a compressive stress F ₁ is generated in the electroactive member 150, (150) is compressed. 3B and 3C show an electroactive member 150 in the form of a piezoelectric nanofiber, and the vibrations of the electroactive member 150 are described below with reference to the electroactive member 150 in the form of a piezoelectric nanofiber.

제3 전극(141) 및 제4 전극(142)에는 교류 전압(AC)이 인가된다. 예를 들어, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)에는 서로 반대 극성의 전압이 교번하여 인가된다. 이 경우, 전기장(E₁)의 형성 방향도 교번하여 변한다. 몇몇 실시예에서, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 중 하나의 전극에만 교류 전압(AC)이 인가되고, 나머지 전극은 접지될 수 있다. 이 경우, 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 중 하나의 전극에는 양의 전압과 음의 전압이 교번하여 인가되므로, 전기장(E₁)의 형성 방향도 교번하여 변한다. The AC voltage (AC) is applied to the third electrode 141 and the fourth electrode 142. For example, voltages of opposite polarities are alternately applied to the third electrode 141 and the fourth electrode 142. In this case, the forming direction of the electric field E ₁ also alternately changes. In some embodiments, the AC voltage (AC) may be applied only to one of the third electrode 141 and the fourth electrode 142, and the remaining electrode may be grounded. In this case, since positive voltage and negative voltage are alternately applied to one of the third electrode 141 and the fourth electrode 142, the forming direction of the electric field E ₁ also alternately changes.

한편, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122) 중 하나의 전극에는 직류 전압(DC)이 인가된다. 예를 들어, 제1 전극(121)에는 직류 전압(DC)이 인가되고, 제2 전극(122)은 접지된다. 이 경우, 제1 전극(121)에는 양전하(121P)가 집중되고, 상대적으로 제2 전극(122)에는 음전하(122N)가 집중된다. On the other hand, a DC voltage (DC) is applied to one of the first electrode 121 and the second electrode 122. For example, the direct current voltage DC is applied to the first electrode 121, and the second electrode 122 is grounded. In this case, the positive charge 121P is concentrated on the first electrode 121, and the negative charge 122N is concentrated on the second electrode 122 relatively.

도 3b에 도시된 바와 같이, 교류 전압(AC)에 기초하여 제3 전극(141)에 양의 전압이 인가되고, 제4 전극(142)에 음의 전압이 인가되는 경우, 제3 전극(141)에는 양전하(141P)들이 집중되고, 제4 전극(142)에는 음전하(142N)들이 집중된다. 이 경우, 전기장(E₁)의 방향은 전기 활성 부재(150)의 분극 방향(P₁)과 동일하므로, 전기 활성 부재(150)에는 압축 응력(F₁)이 발생되며, 전기 활성 부재(150)는 압축된다. 3B, when a positive voltage is applied to the third electrode 141 based on the AC voltage AC and a negative voltage is applied to the fourth electrode 142, the third electrode 141 The positive charges 141P are concentrated and the negative charges 142N are concentrated on the fourth electrode 142. [ In this case, since the direction of the electric field E ₁ is the same as the polarization direction P _{1 of the} electroactive member 150, a compressive stress F ₁ is generated in the electroactive member 150, ) Is compressed.

앞서 언급한 바와 같이, 전기 활성 부재(150)의 양단은 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)에 접착되므로, 전기 활성 부재(150)의 양단은 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)에 의해 고정된다. 특히, 레이저 조사 공정에 의해 제3 전극(141)과 전기 활성 부재(150)는 강하게 접착된 반면, 전기 활성 부재(150)와 절연 부재(130)는 상대적으로 약하게 접착된다. 즉, 전기 활성 부재(150) 일단의 일부 표면은 제3 전극(141)에 의해 단단하게 고정되지만, 전기 활성 부재(150) 일단의 나머지 표면은 상대적으로 약하게 고정된다. 도 3b에 도시된 바와 같이, 제3 전극(141)이 전기 활성 부재(150) 일단의 상면과 접착되는 경우, 전기 활성 부재(150) 일단의 상면과 하면의 접착 정도가 불균일하므로, 전기 활성 부재(150)의 변형 정도는 상면과 하면에서 서로 상이하게 발생한다. 즉, 전기 활성 부재(150)의 상면은 하면에 비해 상대적으로 덜 변형될 수 있다. 이로 인해, 전기 활성 부재(150)에는 상부 방향으로 모멘트(M₁)가 발생하게된다. 동일한 원리로, 제4 전극(142)에서 전기 활성 부재(150)에는 상부 방향으로의 모멘트(M₁)가 발생되며, 전기 활성 부재(150)는 상부 방향으로 굴곡된다. Both ends of the electroactive member 150 are bonded to the third electrode 141 and the fourth electrode 142 so that both ends of the electroactive member 150 are electrically connected to the third electrode 141 and the fourth electrode 142, Is fixed by the electrode (142). In particular, the third electrode 141 and the electroactive member 150 are strongly adhered by the laser irradiation process, while the electroactive member 150 and the insulating member 130 are relatively weakly adhered. That is, a part of the surface of one end of the electroactive member 150 is firmly fixed by the third electrode 141, but the remaining surface of the electroactive member 150 is relatively weakly fixed. 3B, when the third electrode 141 is bonded to the upper surface of the electroactive member 150, the degree of adhesion between the upper surface and the lower surface of the electroactive member 150 is uneven, The degree of deformation of the optical fiber 150 is different between the upper surface and the lower surface. That is, the upper surface of the electroactive member 150 may be less deformed relative to the lower surface. As a result, a moment M ₁ is generated in the electroactive member 150 in the upward direction. In the same principle, a moment M ₁ in the upward direction is generated in the electroactive member 150 at the fourth electrode 142, and the electroactive member 150 is bent in the upward direction.

한편, 제3 전극(141)은 전기 활성 부재(150) 일단의 일부 표면과 접하므로, 제3 전극(141)에 집중된 양전하(141P)들은 전기 활성 부재(150) 일단의 일부 표면에만 집중되며, 절연 부재(130)와 접하는 전기 활성 부재(150) 일단의 다른 표면에는 양전하(141P)들이 집중되지 않는다. 따라서, 전기 활성 부재(150)의 일단을 기준으로 양전하(141P)의 분포가 불균일해진다.Since the third electrode 141 is in contact with a part of the surface of the one end of the electroactive member 150, the positive charges 141P concentrated on the third electrode 141 are concentrated on only a part of the surface of the one end of the electroactive member 150, No positive charges 141P are concentrated on the other surface of the one end of the electroactive member 150 in contact with the insulating member 130. Therefore, the distribution of the positive charges 141P becomes uneven on the basis of one end of the electroactive member 150. [

또한, 제3 전극(141)에 집중된 양전하(141P)들에 의해 전기 활성 부재(150)의 표면에 정전기(electrostatic) 유도에 의한 음의 정전하(152)들이 형성된다. 전기 활성 부재(150)의 표면에 유도된 정전하(152)들은 전기 활성 부재(150)의 쌍극자(151)들의 배열이 미세하게 회전되어 형성되거나, 전기 활성 부재(150)를 구성하는 분자 내부의 전자들이 전기 활성 부재(150)의 표면으로 미세하게 쏠리면서 형성될 수 있다. Negative static charges 152 due to electrostatic induction are formed on the surface of the electroactive member 150 by positive charges 141P concentrated on the third electrode 141. [ The static charges 152 induced on the surface of the electroactive member 150 may be formed by finely rotating the arrangement of the dipoles 151 of the electroactive member 150, The electrons can be formed while finely firing to the surface of the electro-active member 150.

이 경우, 제3 전극(141)에 집중된 양전하(141P)들과 전기 활성 부재(150)의 표면에 유도된 음의 정전하(152)들 사이에 정전기적 인력(ES₁)이 발생된다. 도 3b에 도시된 바와 같이, 제3 전극(141)은 전기 활성 부재(150)의 상면을 덮도록 배치되는 경우, 제3 전극(141)에 집중된 양전하들(141P)은 전기 활성 부재(150)의 상면에 집중되며, 정전기적 인력(ES₁)은 전기 활성 부재(150)의 상부 방향으로 발생되어 압축 응력(F₁)에 의해 유도된 모멘트(M₁)를 더욱 강화시킨다. In this case, an electrostatic attractive force ES ₁ is generated between the positive charges 141P concentrated on the third electrode 141 and the negative charges 152 induced on the surface of the electroactive member 150. 3B, when the third electrode 141 is disposed to cover the upper surface of the electroactive member 150, the positive charges 141P concentrated on the third electrode 141 are electrically connected to the electroactive member 150, And the electrostatic attraction ES ₁ is generated in the upper direction of the electroactive member 150 to further strengthen the moment M ₁ induced by the compressive stress F ₁ .

한편, 제1 전극(121)은 양의 전압이 인가되므로, 제1 전극(121)에는 양전하(121P)들이 집중되고, 제1 전극(121)과 제3 전극(141)에는 서로 동일한 극성의 전압이 인가되므로, 제1 전극(121)과 제3 전극(141) 사이에는 전기적 반발력(R)이 발생한다. 제1 전극(121)과 제3 전극(141) 사이의 전기적 반발력(R)에 기인하여 제3 전극(141)의 양전하(141P)들이 더욱 상부로 집중된다. 이에, 제3 전극(141)의 양전하(141P)들과 전기 활성 부재(150)의 정전하(152)들 사이에 발생되는 정전기적 인력(ES₁)은 더욱 상부 방향으로 향할 수 있다. 마찬가지 원리로, 제2 전극(122)에 의해 제4 전극(142)의 음전하(142N)들은 더욱 제4 전극(142)의 상부로 집중되며, 제4 전극(142)의 음전하(142N)들과 전기 활성 부재(150)의 정전하(152)들 사이에 발생되는 정전기적 인력은 더욱 상부 방향으로 작용한다. 이에, 전기 활성 부재(150)의 굴곡은 더욱 상부 방향으로 향하게되고, 전기 활성 부재(150)의 상부 방향 굴곡은 더욱 강화될 수 있다. Since positive voltage is applied to the first electrode 121, positive charges 121P are concentrated on the first electrode 121, and voltages of the same polarity are applied to the first electrode 121 and the third electrode 141, An electric repulsive force R is generated between the first electrode 121 and the third electrode 141. The positive charges 141P of the third electrode 141 are further concentrated on the upper side due to the electric repulsive force R between the first electrode 121 and the third electrode 141. [ Thus, the electrostatic charge (152) the electrostatic attractive force generated between (ES ₁₎ of the positive charge (141P) and the electroactive member 150 of the third electrode 141 may be further directed to the upper direction. The negative charges 142N of the fourth electrode 142 are further concentrated on the fourth electrode 142 by the second electrode 122 and the negative charges 142N of the fourth electrode 142 The electrostatic attractive force generated between the static charges 152 of the electro-active member 150 acts further upward. Thus, the bending of the electro-active member 150 is further directed upward, and the upward bending of the electro-active member 150 can be further strengthened.

도 3c를 참조하면, 교류 전압(AC)에 기초하여 제3 전극(141)에 음의 전압이 인가되고, 제4 전극(142)에 양의 전압이 인가되는 경우, 제3 전극(141)에는 음전하(141N)들이 집중되고, 제4 전극(142)에는 양전하(142P)들이 집중된다. 이 경우, 전기장(E₂)의 방향은 전기 활성 부재(150)의 분극 방향(P₂)과 상이하므로, 전기 활성 부재(150)에는 인장 응력(F₂)이 발생되며, 전기 활성 부재(150)는 팽창된다. 이 경우, 도 3b와 반대로 전기 활성 부재(150)에는 하부 방향으로 모멘트(M₂)가 발생하게된다. 3C, when a negative voltage is applied to the third electrode 141 based on the AC voltage AC and a positive voltage is applied to the fourth electrode 142, The negative charges 141 N are concentrated, and the positive charges 142 P are concentrated on the fourth electrode 142. In this case, since the direction of the electric field E ₂ is different from the polarization direction P _{2 of the} electroactive member 150, a tensile stress F ₂ is generated in the electroactive member 150, and the electroactive member 150 Is expanded. In this case, contrary to FIG. 3B, a moment M ₂ is generated in the electroactive member 150 in the downward direction.

한편, 제3 전극(141)에 집중된 음전하(141N)들에 의해 전기 활성 부재(150)의 표면에 정전기 유도에 의한 양의 정전하(153)들이 유도된다. 이 경우, 제3 전극(141)에 집중된 음전하(141N)들과 전기 활성 부재(150)의 표면에 유도된 양의 정전하(153)들 사이에 정전기적 인력(ES₂)이 발생된다. 도 3c에 도시된 바와 같이, 제3 전극(141)은 전기 활성 부재(150) 일단의 일부 표면과 접하므로, 제3 전극(141)에 집중된 음전하(141N)들은 전기 활성 부재(150) 일단의 일부 표면에만 집중되며, 정전기적 인력(ES₂)은 전기 활성 부재(150)의 상부 방향으로 발생된다. 이 경우, 인장 응력(F₂)에 의해 유도된 모멘트(M₂)는 전기 활성 부재(150)의 표면에 유도된 정전하(153)들과 제3 전극(141) 사이의 정전기적 인력(ES₂)에 의해 약화된다. 그러나, 정전기 유도에 의한 제3 전극(141)과 전기 활성 부재(150) 사이의 정전기적 인력(ES₂)은 전기 활성 부재(150)의 인장 응력(F₂)에 의한 모멘트(M₂)보다 상대적으로 약하므로, 전기 활성 부재(150)는 하부 방향으로 굴곡된다. On the other hand, positive charges 153 N induced by electrostatic induction are induced on the surface of the electroactive member 150 by negative charges 141 N concentrated on the third electrode 141. In this case, an electrostatic attractive force ES ₂ is generated between the negative charges 141 N concentrated on the third electrode 141 and the positive charges 153 induced on the surface of the electroactive member 150. 3C, the third electrode 141 is in contact with a part of the surface of the one end of the electroactive member 150, so that the negative charges 141N concentrated on the third electrode 141 are electrically connected to one end of the electroactive member 150 And the electrostatic attractive force ES ₂ is generated in the upper direction of the electroactive member 150. In this case, the moment M ₂ induced by the tensile stress F ₂ is a function of the electrostatic attraction ES between the static charges 153 induced on the surface of the electroactive member 150 and the third electrode 141 ₂ ). However, the electrostatic attractive force ES ₂ between the third electrode 141 and the electroactive member 150 due to the electrostatic induction is less than the moment M ₂ due to the tensile stress F ₂ of the electroactive member 150 The electroactive member 150 is bent in the downward direction.

한편, 제1 전극(121)에는 양의 전압이 인가되므로, 제1 전극(121)에는 양전하(121P)들이 집중되고, 제1 전극(121)과 제3 전극(141) 사이의 전기적 인력에 기인하여 제3 전극(141)의 음전하들(141N)은 제3 전극(141)의 하부 방향으로 집중된다. 이에, 제3 전극(141)과 전기 활성 부재(150)의 정전하(152)들 사이에 발생되는 정전기적 인력(ES₂)은 제3 전극(141)에 양의 전압이 인가된 경우에 비해 좀 더 하부 방향으로 발생된다. 이 경우, 인장 응력(F₂)에 의한 모멘트(M₂)는 상대적으로 덜 상쇄되어 전기 활성 부재(150)의 하부 방향으로의 굴곡은 미세하게 강화될 수 있다. Since positive charges are applied to the first electrode 121 and the positive charges 121P are concentrated on the first electrode 121 and the electric attraction between the first electrode 121 and the third electrode 141 So that the negative charges 141N of the third electrode 141 are concentrated in the lower direction of the third electrode 141. [ Therefore, the electrostatic attractive force is generated between the electrostatic charge 152 of the third electrode 141 and the electro-active member (150), (ES ₂₎ is compared to the case where a positive voltage to the third electrode 141 is It is generated in a lower direction. In this case, the moment (M ₂ ) due to the tensile stress (F ₂ ) is relatively less canceled and the bending in the downward direction of the electroactive member 150 can be finely strengthened.

본 발명의 일 실시예에 다른 접촉 감응 소자(100)는 서로 이격 배치된 복수의 절연 부재(130) 및 복수의 절연 부재(130) 사이에서 연장된 전기 활성 부재(150)를 포함하므로, 전기 활성 부재(150)의 진동 효과를 강화시킬 수 있다. Since the touch sensing device 100 according to an embodiment of the present invention includes a plurality of insulating members 130 spaced from each other and an electroactive member 150 extending between the plurality of insulating members 130, The vibration effect of the member 150 can be enhanced.

구체적으로, 일반적인 접촉 감응 소자는 얇은 전기 활성 필름과 전기 활성 필름 양면에 배치된 전극을 포함한다. 이 경우, 일반적인 접촉 감응 소자는 전기 활성 필름 양면 전극 중 하나의 전극에 교류 전압을 인가하여 전기 활성 필름을 압축 및 팽창시킴으로써, 진동을 구현한다. 그러나, 일반적인 접촉 감응 소자는 전기 활성 필름과 전기 활성 필름 양면 상의 전극을 같이 진동시키는 구조이므로, 진동 폭이 작다. 이에, 일반적인 접촉 감응 소자는 큰 햅틱 피드백을 제공하는데 한계가 있다. 또한, 일반적인 접촉 감응 소자의 경우, 큰 햅틱 피드백을 제공하기 위해서는 큰 전기장이 필요하므로, 일반적인 접촉 감응 소자의 경우, 구동 전압이 증가되는 단점도 있다. Specifically, a typical touch sensitive device includes a thin electroactive film and electrodes disposed on both sides of the electroactive film. In this case, a general touch sensitive element implements vibration by applying an alternating voltage to one electrode of the electroactive film double-sided electrodes to compress and expand the electroactive film. However, since a general contact sensitive device has a structure in which an electroactive film and electrodes on both surfaces of an electroactive film are vibrated together, the vibration amplitude is small. Therefore, a general contact sensing device has a limitation in providing large haptic feedback. In addition, in the case of a general contact sensing device, a large electric field is required to provide a large haptic feedback, and therefore, a driving voltage is increased in a general contact sensing device.

그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)는 절연 부재(130) 사이에 진동 공간이 확보되고, 전기 활성 부재(150)는 절연 부재(130) 사이에서 진동하므로, 상대적으로 큰 진동 폭으로 진동할 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)는 사용자에게 큰 햅틱 피드백을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)의 경우, 큰 햅틱 피드백을 제공하기 위해서 상대적으로 작은 전기장이 필요하므로, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)의 경우, 구동 전압이 감소되는 이점이 있다. However, since the contact sensing element 100 according to the embodiment of the present invention secures a vibration space between the insulating members 130 and the electro-active member 150 vibrates between the insulating members 130, It is possible to vibrate with a vibration width. Accordingly, the touch sensing device 100 according to an embodiment of the present invention can provide a large haptic feedback to the user. Further, in the case of the touch sensing device 100 according to the embodiment of the present invention, since a relatively small electric field is required to provide large haptic feedback, in the case of the touch sensing device 100 according to an embodiment of the present invention , The driving voltage is advantageously reduced.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)는 교류 전압이 인가되도록 구성된 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)과 직류 전압이 인가되도록 구성된 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)을 포함하므로, 전기 활성 부재(150)의 진동 효과를 더욱 향상시킬 수 있다. 이에 대한 구체적인 설명을 위해 하기 [표 1]을 참조한다. In particular, the touch sensing device 100 according to an embodiment of the present invention includes a third electrode 141 and a fourth electrode 142 configured to apply an AC voltage, a first electrode 121 configured to apply a DC voltage, Since the second electrode 122 is included, the vibration effect of the electroactive member 150 can be further improved. See Table 1 below for a detailed description.

[표 1]은 본 발명의 일 실시예에 따른 접촉 감응 소자(100)에서 하부 전극(120)에 의해 향상되는 진동 효과를 설명하기 위한 실험데이터이다. Table 1 is experimental data for explaining the vibration effect enhanced by the lower electrode 120 in the touch sensing device 100 according to an embodiment of the present invention.

구분
division
하부 전극 전압(DC)
The lower electrode voltage (DC)
상부 전극
전압 (AC)
The upper electrode
Voltage (AC)
곡률 반경
Radius of curvature
최대 곡률 반경 (R_max)Maximum radius of curvature (R _max ) 최소 곡률 반경 (R_min)Minimum radius of curvature (R _min ) 최대 곡룰 반경과
최소 곡률 반경의
차이값 (ΔR)Maximum radius of curvature
Minimum radius of curvature
The difference value (? R) 실시예1Example 1 0 V0 V 200V
(100Hz)200V
(100 Hz) 1056.6 mm1056.6 mm 600.9 mm600.9 mm 455.7 mm455.7 mm 실시예2Example 2 30 V30 V 200V
(100Hz)200V
(100 Hz) 1254.2 mm1254.2 mm 586.0 mm586.0 mm 668.2 mm668.2 mm

상기 [표 1]에서 실시예 1 및 실시예 2는 모두 도 2 및 도 3a에 도시된 접촉 감응 소자(100)를 기준으로 측정되었다. 구체적으로, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 50nm의 크롬 및 100nm의 금을 적층하여 형성되었다. 절연 부재(130)는 0.5mm의 실리케이트로 형성되었다. 제3 전극(141) 및 제4 전극(142)은 제1 전극(121)과 동일하게 50nm의 크롬 및 100nm의 금을 적층하여 형성되었다. 제3 전극(141)및 제4 전극(142) 사이의 간격(d₂)은 1mm 로 형성되었다. In Table 1, both Example 1 and Example 2 were measured based on the contact-sensitive element 100 shown in Figs. 2 and 3A. Specifically, the first electrode 121 and the second electrode 122 were formed by laminating 50 nm of chromium and 100 nm of gold. The insulating member 130 was formed of 0.5 mm silicate. The third electrode 141 and the fourth electrode 142 were formed by laminating chromium (50 nm) and gold (100 nm) in the same manner as the first electrode (121). The distance d ₂ between the third electrode 141 and the fourth electrode 142 was 1 mm.

실시예 1에서 제3 전극(141)에는 200V 100Hz의 sin 파형 교류 전압이 인가되었고, 제4 전극(142)은 접지되었다. 또한, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 모두 접지되었다. In Embodiment 1, a sin wave AC voltage of 200 V, 100 Hz is applied to the third electrode 141, and the fourth electrode 142 is grounded. Also, the first electrode 121 and the second electrode 122 are all grounded.

실시예 2에서 제3 전극(141)에는 200V 100Hz의 sin 파형 교류 전압이 인가되었고, 제4 전극(142)은 접지되었다. 한편, 제1 전극(121)에는 30V의 직류 전압이 인가되었고, 제2 전극(122)은 접지되었다. In Embodiment 2, a sin wave AC voltage of 200 V, 100 Hz was applied to the third electrode 141, and the fourth electrode 142 was grounded. On the other hand, a DC voltage of 30 V was applied to the first electrode 121, and the second electrode 122 was grounded.

실시예 1을 참조하면, 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)이 모두 접지된 경우, 제1 전극(121)과 제3 전극(141) 사이 및 제2 전극(122)과 제4 전극(142) 사이에 전기적 반발력이 발생되지 않는다. 이 경우, 제3 전극(141)과 전기 활성 부재(150) 사이의 정전기적 인력 및 제4 전극(142)과 전기 활성 부재(150) 사이의 정전기적 인력은 강화되지 않으며, 전기 활성 부재(150)의 최대 곡률 반경(R_max)과 최소 곡률 반경(R_min)의 차이값(ΔR)은 작아진다. 즉, 전기 활성 부재(150)의 굴곡은 약하게 발생되며, 전기 활성 부재(150)에 의한 진동 효과는 약해진다. When the first electrode 121 and the second electrode 122 are both grounded, the gap between the first electrode 121 and the third electrode 141 and the gap between the second electrode 122 and the fourth electrode No electrical repulsive force is generated between the electrodes 142. The electrostatic attraction between the third electrode 141 and the electroactive member 150 and the electrostatic attraction between the fourth electrode 142 and the electroactive member 150 are not intensified and the electroactive attraction between the electroactive member 150 The difference (R) between the maximum curvature radius ( _Rmax ) and the minimum curvature radius ( _Rmin ) becomes small. That is, the bending of the electro-active member 150 is weakly generated, and the vibration effect by the electro-active member 150 is weakened.

이에 반해, 실시예 2를 참조하면, 제1 전극(121)에 직류 전압이 인가됨에 따라 제1 전극(121)과 제3 전극(141) 사이 및 제2 전극(122)과 제4 전극(142) 사이에 각각 전기적 반발력이 발생된다. 이에, 제3 전극(141)과 전기 활성 부재(150) 사이의 정전기적 인력 및 제4 전극(142)과 전기 활성 부재(150) 사이의 정전기적 인력은 강화되고, 전기 활성 부재(150)의 최대 곡률 반경(R_max)과 최소 곡률 반경(R_min)의 차이값(ΔR)은 커진다. 즉, 제3 전극(141)과 전기 활성 부재(150) 사이의 정전기적 인력 및 제4 전극(142)과 전기 활성 부재(150) 사이의 정전기적 인력이 강화됨에 따라 전기 활성 부재(150)는 더 많이 굴곡된다. 따라서, 제1 전극(121)에 직류 전압이 인가되는 경우, 접촉 감응 소자(100)의 진동 효과는 더욱 극대화되며, 접촉 감응 소자(100)는 더 큰 촉각 피드백을 발생시킬 수 있다. In contrast to this, according to the second embodiment, when a DC voltage is applied to the first electrode 121, the first electrode 121 and the third electrode 141 and the second electrode 122 and the fourth electrode 142 ), Respectively. The electrostatic attractive force between the third electrode 141 and the electroactive member 150 and the electrostatic attraction between the fourth electrode 142 and the electroactive member 150 are strengthened and the electrostatic attraction between the third electrode 141 and the electroactive member 150 is enhanced, The difference value? R between the maximum curvature radius (R _max ) and the minimum curvature radius (R _min ) becomes large. That is, as the electrostatic attraction between the third electrode 141 and the electroactive member 150 and the electrostatic attraction between the fourth electrode 142 and the electroactive member 150 are enhanced, the electroactive member 150 More flexed. Therefore, when the DC voltage is applied to the first electrode 121, the vibration effect of the contact-sensitive device 100 is further maximized, and the contact-sensitive device 100 can generate larger tactile feedback.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 개략적인 단면도이다. 도 4를 참조하면, 표시 장치(400)는 표시 패널(401), 접촉 감응 소자(100), 및 터치 패널(470)을 포함한다. 설명의 편의를 위해, 도 4에서 접촉 감응 소자(100)의 하부에 배치된 표시 패널(401)의 구체적인 구성은 도시되지 않았다.4 is a schematic cross-sectional view of a display device according to an embodiment of the present invention. 4, the display device 400 includes a display panel 401, a touch sensitive device 100, and a touch panel 470. [ For convenience of explanation, the specific configuration of the display panel 401 disposed under the touch sensing device 100 in FIG. 4 is not shown.

표시 패널(401)은 표시 장치(400)에서 영상을 표시하기 위한 표시 소자가 배치된 패널을 의미한다. 표시 패널(401)로서, 예를 들어, 유기 발광 표시 패널, 액정 표시 패널, 전기 영동 표시 패널 등과 같은 다양한 표시 패널(401)이 사용될 수 있다.The display panel 401 means a panel in which a display device for displaying an image on the display device 400 is disposed. As the display panel 401, for example, various display panels 401 such as an organic light emitting display panel, a liquid crystal display panel, an electrophoretic display panel and the like can be used.

터치 패널(470)은 표시 장치(400)에 대한 사용자의 터치 입력을 감지하는 패널을 의미한다. 터치 패널(470)로서, 예를 들어, 정전 용량 방식(capacitive type), 저항막 방식(resistive type), 초음파 방식(surface acoustic wave type), 적외선 방식(infrared ray type) 등이 사용될 수 있으나, 바람직하게는 정전 용량 방식의 터치 패널이 터치 패널(470)로서 사용될 수 있다. 도 4에서는 정전 용량 방식의 터치 패널(470)이 도시되어 있다. The touch panel 470 refers to a panel that senses a user's touch input to the display device 400. As the touch panel 470, for example, a capacitive type, a resistive type, a surface acoustic wave type, an infrared ray type, or the like may be used, A capacitive touch panel can be used as the touch panel 470. In Fig. 4, a capacitive touch panel 470 is shown.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치(400)에서 터치 패널(470)은 접촉 감응 소자(100)의 제2 기판(190)과 일체형으로 형성된다. 즉, 제2 기판(190)의 일면에 터치 전극(471)이 배치되고, 터치 전극(471)을 커버하도록 커버 윈도우(473)가 배치된다. 터치 전극(471)과 커버 윈도우(473)는 투명 접착층(472)을 통해 접착된다. 이 경우, 터치 패널(470)은 접촉 감응 소자(100)의 진동을 전달하는 진동 전달 기판으로 기능한다. 구체적으로, 접촉 감응 소자(100)의 전기 활성 부재(150)가 진동하면서 전기 활성 부재(150)는 터치 패널(470)을 가격할 수 있다. 전기 활성 부재(150)와 터치 패널(470) 사이의 충격은 터치 전극(471) 및 투명 접착층(472)을 통해 커버 윈도우(473)로 전달되고, 사용자는 커버 윈도우(473)를 통해 촉각 피드백을 전달 받을 수 있다. 이 경우, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치(400)는 별도의 진동 전달 기판이 생략될 수 있으므로, 표시 장치(400)의 두께가 얇아질 수 있다.The touch panel 470 is integrated with the second substrate 190 of the touch sensing device 100 in the display device 400 according to an embodiment of the present invention. That is, a touch electrode 471 is disposed on one surface of the second substrate 190, and a cover window 473 is disposed to cover the touch electrode 471. The touch electrode 471 and the cover window 473 are bonded via the transparent adhesive layer 472. [ In this case, the touch panel 470 functions as a vibration transmission substrate for transmitting the vibration of the touch sensing element 100. [ Specifically, the electroactive member 150 can charge the touch panel 470 while the electroactive member 150 of the contact sensitive device 100 vibrates. The impact between the electroactive member 150 and the touch panel 470 is transmitted to the cover window 473 through the touch electrode 471 and the transparent adhesive layer 472 so that the user can tactile feedback through the cover window 473 Can be delivered. In this case, the display device 400 according to the embodiment of the present invention can omit a separate vibration transmission substrate, so that the thickness of the display device 400 can be reduced.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치(400)는 복수의 절연 부재(130) 사이에서 연장된 전기 활성 부재(150)를 포함한다. 전기 활성 부재(150)는 절연 부재(130) 사이에 구비된 진동 공간에서 진동할 수 있으며, 전기 활성 부재(150)의 진동 폭은 극대화될 수 있다. 이에, 표시 장치(400)의 접촉 감응 소자(100)는 큰 햅틱 피드백을 전달할 수 있으며, 표시 장치(400)의 햅틱 효과는 극대화될 수 있다. The display device 400 according to an embodiment of the present invention includes an electro-active member 150 extending between a plurality of insulating members 130. The electroactive member 150 can vibrate in the vibration space provided between the insulating members 130 and the oscillation width of the electroactive member 150 can be maximized. Thus, the touch sensitive element 100 of the display device 400 can transmit large haptic feedback, and the haptic effect of the display device 400 can be maximized.

특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치(400)는 교류 전압이 인가되도록 구성된 제3 전극(141) 및 제4 전극(142) 이외에 직류 전압이 인가되도록 구성된 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)을 더 포함한다. 제1 전극(121) 및 제2 전극(122)은 제3 전극(141)과 전기 활성 부재(150) 사이의 정전기적 인력 및 제4 전극(142)과 전기 활성 부재(150) 사이의 정전기적 인력을 더욱 강화시킨다. 이에, 전기 활성 부재(150)의 상부 방향 진동은 더욱 향상될 수 있으며, 전기 활성 부재(150)는 보다 강하게 터치 패널(470)을 가격할 수 있다. 결과적으로, 접촉 감응 소자(100)의 진동 효과는 극대화될 수 있으며, 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치(400)는 사용자에게 큰 촉각 피드백을 전달할 수 있다. In particular, the display device 400 according to an embodiment of the present invention includes a first electrode 121 configured to apply a DC voltage in addition to a third electrode 141 and a fourth electrode 142 configured to apply an AC voltage, Two electrodes 122 are formed. The first electrode 121 and the second electrode 122 are disposed between the third electrode 141 and the electroactive member 150 and the electrostatic attracting force between the fourth electrode 142 and the electroactive member 150, Strengthen the workforce further. Thus, the upward vibration of the electro-active member 150 can be further improved, and the electro-active member 150 can more strongly charge the touch panel 470. As a result, the vibration effect of the contact sensitive device 100 can be maximized, and the display device 400 according to an embodiment of the present invention can transmit a large tactile feedback to the user.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that the present invention is not limited to those embodiments and various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. . Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.

100: 접촉 감응 소자
110: 제1 기판
120: 하부 전극
121: 제1 전극
121P: 제1 전극의 양전하
122: 제2 전극
122N: 제2 전극의 음전하
130: 절연 부재
140: 상부 전극
141: 제3 전극
141P: 제3 전극의 양전하
141N: 제3 전극의 음전하
142: 제4 전극
142N: 제4 전극의 음전하
150: 전기 활성 부재
151: 전기 활성 부재의 쌍극자
152: 전기 활성 부재의 양의 정전하
153: 전기 활성 부재의 음의 정전하
180: 스페이서
400: 표시 장치
401: 표시 패널
470: 터치 패널
471: 터치 전극
472: 투명 접착층
473: 커버 윈도우100: Contact-sensitive element
110: first substrate
120: Lower electrode
121: first electrode
121P: Positive charge of the first electrode
122: second electrode
122N: negative charge of the second electrode
130: Insulation member
140: upper electrode
141: third electrode
141P: Positive charge of the third electrode
141N: negative charge of the third electrode
142: fourth electrode
142N: negative charge of the fourth electrode
150: Electrically active member
151: dipole of electroactive member
152: Electrostatic charge of positive quantity of electroactive member
153: Negative static charge of electroactive member
180: Spacer
400: display device
401: Display panel
470: Touch panel
471: touch electrode
472: transparent adhesive layer
473: Cover window

Claims

A first substrate;
A first electrode on the first substrate;
A second electrode spaced on the same plane as the first electrode;
A plurality of insulating members disposed on the first electrode and the second electrode, respectively;
An electroactive member extending between the plurality of insulating members and having both ends disposed on the plurality of insulating members;
A third electrode contacting one end of the electroactive member on the plurality of insulating members; And
And a fourth electrode contacting the other end of the electroactive member on the plurality of insulating members.

The method according to claim 1,
Wherein the electroactive member is made of piezoelectric nanofiber.

3. The method of claim 2,
Wherein the piezoelectric nanofibers are polarized in the longitudinal direction so that a polarity of a portion in contact with the third electrode and a polarity of a portion in contact with the fourth electrode are different from each other.

3. The method of claim 2,
The third electrode being in contact with a surface of the one end of the electroactive member,
And the fourth electrode is in contact with a part of the surface of the other end of the electro-active member.

The method according to claim 1,
A plurality of spacers disposed on the third electrode and the fourth electrode to correspond to the third electrode and the fourth electrode; And
And a second substrate disposed on the plurality of spacers.

The method according to claim 1,
Wherein a DC voltage is applied to one of the first electrode and the second electrode,
And an AC voltage is applied to one of the third electrode and the fourth electrode.

The method according to claim 1,
Wherein a ratio of a distance between the third electrode and the fourth electrode to a thickness of the plurality of insulating members is selected from 1: 0.3 to 1: 0.5.

Display panel; And
Comprising a touch sensitive element on a display panel,
The contact-
A first substrate;
A first electrode and a second electrode spaced from each other on the same plane on the first substrate;
A third electrode and a fourth electrode spaced apart from each other in a plane different from the first electrode and the second electrode;
An electroactive member having one end in contact with the third electrode and the other end in contact with the fourth electrode and polarized in one direction; And
And a second substrate on the electro-active member.

9. The method of claim 8,
Wherein the electro-active member is composed of a plurality of piezoelectric nanofibers extending in the same direction.

9. The method of claim 8,
Wherein a DC voltage is applied to one of the first electrode and the second electrode,
And voltages of opposite polarities are alternately applied to the third electrode and the fourth electrode.

9. The method of claim 8,
A touch electrode on the second substrate; And
And a cover window covering the touch electrode.