KR20150011602A - Electrode member and touch panel with the same - Google Patents

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KR20150011602A
KR20150011602A KR1020130086761A KR20130086761A KR20150011602A KR 20150011602 A KR20150011602 A KR 20150011602A KR 1020130086761 A KR1020130086761 A KR 1020130086761A KR 20130086761 A KR20130086761 A KR 20130086761A KR 20150011602 A KR20150011602 A KR 20150011602A
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이근식
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엘지이노텍 주식회사
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Abstract

An electrode member according to an embodiment of the present invention includes a substrate and an electrode layer that is arranged on the substrate and includes metal nanowires. The metal nanowires include first metal nanowires; and second metal nanowires intersecting the first metal nanowires. The first and second nanowires include modified areas and unmodified areas. A touch panel according to another embodiment of the present invention includes a cover window; and an electrode member formed on the cover window.

Description

전극 부재 및 이를 포함하는 터치 패널{ELECTRODE MEMBER AND TOUCH PANEL WITH THE SAME}ELECTRODE MEMBER AND TOUCH PANEL WITH THE SAME,

실시예는 전극 부재 및 이를 포함하는 터치 패널에 관한 것이다.Embodiments relate to an electrode member and a touch panel including the electrode member.

최근 다양한 전자 제품에서 디스플레이 장치에 표시된 화상에 손가락 또는 스타일러스(stylus) 등의 입력 장치를 접촉하는 방식으로 입력을 하는 터치 패널이 적용되고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, a touch panel has been applied to an image displayed on a display device in various electronic products by a method of touching an input device such as a finger or a stylus.

이러한 터치 패널은 크게 저항막 방식의 터치 패널과 정전 용량 방식의 터치 패널로 구분될 수 있다. 저항막 방식의 터치 패널은 입력 장치의 압력에 의하여 유리와 전극이 단락되어 위치가 검출된다. 정전 용량 방식의 터치 패널은 손가락이 접촉했을 때 전극 사이의 정전 용량이 변화하는 것을 감지하여 위치가 검출된다.Such a touch panel can largely be divided into a resistance film type touch panel and a capacitive type touch panel. In the resistive touch panel, the glass and the electrode are short-circuited by the pressure of the input device and the position is detected. A capacitance type touch panel senses a change in electrostatic capacitance between electrodes when a finger touches them, thereby detecting the position.

저항막 방식의 터치 패널은 반복 사용에 의하여 성능이 저하될 수 있으며 스크래치(scratch)가 발생될 수 있다. 이에 의해 내구성이 뛰어나고 수명이 긴 정전 용량 방식의 터치 패널에 대한 관심이 높아지고 있다.The resistance film type touch panel may be deteriorated in performance by repeated use, and scratch may occur. As a result, there is a growing interest in a capacitive touch panel having excellent durability and long life span.

한편, 이러한 터치 패널을 제조하기 위해서, 기판 상에 전극 물질을 코팅한 후에, 상기 전극 물질을 패터닝하여 터치 패널을 제조할 수 있다.Meanwhile, in order to manufacture such a touch panel, a touch panel may be manufactured by coating an electrode material on a substrate and then patterning the electrode material.

이때, 상기 기판 상에는 전극 물질로 금속 나노 와이어를 도포하여 전극층을 형성할 수 있다. 이러한 전극층은 전극 패턴을 형성하기 위해 포토레지스트를 도포한 후, 노광, 현상 및 에칭 공정을 통해 형성된다. 이후에, 상기 전극층의 변성을 방지하기 위해 보호층을 형성한다.At this time, an electrode layer may be formed on the substrate by applying metal nanowires as an electrode material. Such an electrode layer is formed by applying a photoresist to form an electrode pattern, and then exposing, developing, and etching. Thereafter, a protective layer is formed to prevent degeneration of the electrode layer.

그러나, 상기 보호층을 형성하는 과정에서 상기 전극층이 외부에 노출되어 상기 전극층이 부식 또는 산화 등 변성되어 전기적 특성이 저하되는 문제점이 있었다.However, in the process of forming the protective layer, the electrode layer is exposed to the outside, and the electrode layer is denatured by corrosion or oxidation, and the electrical characteristics are degraded.

이에 따라, 상기 전극층을 보호할 수 있는 새로운 구조의 전극 부재의 필요성이 요구된다.Accordingly, there is a demand for a new structure of electrode member capable of protecting the electrode layer.

실시예는 전기적 특성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있는 전극 부재 및 이를 포함하는 터치 패널을 제공하고자 한다.Embodiments provide an electrode member and a touch panel including the same that can improve electrical characteristics and reliability.

실시예에 따른 전극 부재는, 기판; 및 상기 기판 상에 배치되고, 금속 나노 와이어를 포함하는 전극층을 포함하고, 상기 금속 나노 와이어는, 제 1 금속 나노 와이어; 및 상기 제 1 금속 나노 와이어와 교차하는 제 2 금속 나노 와이어를 포함하며, 상기 제 1 금속 나노 와이어와 상기 제 2 금속 나노 와이어는 변성 영역 및 비변성 영역을 포함한다.An electrode member according to an embodiment includes: a substrate; And an electrode layer disposed on the substrate and comprising metal nanowires, the metal nanowires comprising: a first metal nanowire; And a second metal nanowire intersecting the first metal nanowire, wherein the first metal nanowire and the second metal nanowire comprise a denatured region and a non-denatured region.

실시예에 따른 터치 패널은, 커버 윈도우; 및 상기 커버 윈도우 상에 형성되는 전극 부재를 포함하고, 상기 전극 부재는, 기판; 및 상기 기판 상에 배치되고, 금속 나노 와이어를 포함하는 전극층을 포함하고, 상기 금속 나노 와이어는, 제 1 금속 나노 와이어; 및 상기 제 1 금속 나노 와이어와 교차하는 제 2 금속 나노 와이어를 포함하며, 상기 제 1 금속 나노 와이어와 상기 제 2 금속 나노 와이어는 변성 영역 및 비변성 영역을 포함한다.A touch panel according to an embodiment includes: a cover window; And an electrode member formed on the cover window, the electrode member comprising: a substrate; And an electrode layer disposed on the substrate and comprising metal nanowires, the metal nanowires comprising: a first metal nanowire; And a second metal nanowire intersecting the first metal nanowire, wherein the first metal nanowire and the second metal nanowire comprise a denatured region and a non-denatured region.

실시예에 따른 전극 부재는 변성 영역과 비변성 영역이 혼재된 전극층을 포함한다. 즉, 실시예에 따른 전극 부재는 서로 교차하는 금속 나노 와이어들을 포함한다. 이때, 상기 금속 나노 와이어들이 교차하는 영역은 비변성 영역으로 형성되고, 상기 변성되는 영역은 변성 영역으로 형성된다.The electrode member according to the embodiment includes an electrode layer in which a denatured region and a non-denatured region are mixed. That is, the electrode member according to the embodiment includes metal nanowires crossing each other. At this time, the region where the metal nanowires intersect is formed as a non-denatured region, and the denatured region is formed as a denatured region.

이에 따라, 실시예에 따른 전극 부재는 전극층에 형성된 금속 나노 와이어의 부식, 크랙 등을 방지할 수 있다.Accordingly, the electrode member according to the embodiment can prevent the metal nanowires formed on the electrode layer from being corroded, cracked, and the like.

즉, 실시예에 따른 전극 부재는 산화 또는 황화된 금속 나노 와이어를 기판 상에 형성하고, 상기 금속 나노 와이어 상에 보호층을 형성한 후에, 이를 열처리하여 산화 금속 나노 와이어 또는 황화 금속 나노 와이어를 다시 부분적 또는 전체적으로 금속 나노 와이어로 변화시킨다.That is, in the electrode member according to the embodiment, the oxidized or sulfided metal nanowires are formed on a substrate, a protective layer is formed on the metal nanowires, and then the metal oxide nanowires or the metal sulfide nanowires are heated again Partially or wholly converted into metal nanowires.

종래에는 상기 기판 상에 금속 나노 와이어를 형성한 후, 금속 나노 와이어의 부식 등 변성을 방지하기 위해, 보호층을 형성하였으나, 보호층을 형성하는 과정에서 상기 금속 나노 와이어가 외부에 노출되어 금속 나노 와이어가 부식되거나 또는 변성되어, 전기적 특성이 저하되는 문제점이 있었다.A protective layer is formed in order to prevent the metal nanowires from being denatured by corrosion after forming the metal nanowires on the substrate. However, in the process of forming the protective layer, the metal nanowires are exposed to the outside, There is a problem that the wire is corroded or denatured, and the electrical characteristics are deteriorated.

이에 따라, 실시예에 따른 전극 부재는 기판 상에 미리 변성된 금속 나노 와이어를 코팅하고, 보호층을 형성한 이후에 열처리를 하여 변성된 금속 나노 와이어를 다시 원래의 상태로 변성시킨다.Accordingly, the electrode member according to the embodiment is formed by coating the metal nanowires previously modified on the substrate, forming a protective layer, and then performing heat treatment to denature the metal nanowires again to the original state.

이에 따라, 보호층을 형성하는 공정에서 금속 나노 와이어가 부식 또는 변성되는 것을 방지할 수 있고, 이후에, 열처리에 의해 산화 또는 황화 금속 나노 와이어를 다시 금속 나노 와이어로 변성시키므로, 전기적 특성도 그대로 유지할 수 있다.As a result, it is possible to prevent the metal nanowires from being corroded or denatured in the step of forming the protective layer, and thereafter, the metal nanowires are oxidized or denatured again by the heat treatment, so that the electrical characteristics are maintained .

따라서, 실시예에 따른 전극 부재는 외부의 노출 및 충격에 의해 금속 나노 와이어가 변성되는 것을 방지할 수 있어, 전기적 특성의 저하를 방지할 수 있다.Therefore, the electrode member according to the embodiment can prevent the metal nanowire from being denatured by external exposure and impact, and can prevent the deterioration of the electrical characteristics.

도 1은 실시예에 따른 전극 부재의 단면도를 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 3은 도 9는 실시예에 따른 전극 부재의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 10은 실시예에 따른 터치 패널의 단면도를 도시한 도면이다.
도 11은 실시예에 따른 전극 부재 및 터치 패널이 적용되는 이동식 단말기의 사시도를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a cross-sectional view of an electrode member according to an embodiment.
Fig. 2 is an enlarged view of a portion A in Fig. 1. Fig.
FIG. 3 is a view for explaining a method of manufacturing an electrode member according to an embodiment.
10 is a sectional view of the touch panel according to the embodiment.
11 is a perspective view of a mobile terminal to which an electrode member and a touch panel are applied according to an embodiment.

실시예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 “상/위(on)”에 또는 “하/아래(under)”에 형성된다는 기재는, 직접(directly) 또는 다른 층을 개재하여 형성되는 것을 모두 포함한다. 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), area, pattern or structure may be referred to as being "on" or "under / under" Quot; includes all that is formed directly or through another layer. The criteria for top / bottom or bottom / bottom of each layer are described with reference to the drawings.

도면에서 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들의 두께나 크기는 설명의 명확성 및 편의를 위하여 변형될 수 있으므로, 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. The thickness or the size of each layer (film), region, pattern or structure in the drawings may be modified for clarity and convenience of explanation, and thus does not entirely reflect the actual size.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 9를 참조하여, 실시예에 따른 전극 부재를 설명한다. 도 1은 실시예에 따른 전극 부재의 단면도를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 A 부분을 확대하여 도시한 도면이며, 도 3은 도 9는 실시예에 따른 전극 부재의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.1 to 9, an electrode member according to an embodiment will be described. FIG. 1 is a sectional view of an electrode member according to an embodiment, FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing an electrode member according to an embodiment FIG.

도 1 내지 도 9를 참조하면, 실시예에 따른 전극 부재는 기판(10), 상기 기판 상에 형성되는 전극층(20)을 포함한다.1 to 9, an electrode member according to an embodiment includes a substrate 10 and an electrode layer 20 formed on the substrate.

상기 기판(10)은 상기 기판(10) 상에 형성되는 상기 전극층(20) 등을 지지할 수 있는 다양한 물질로 형성될 수 있다. 이러한 기판(10)은 일례로 유리 기판 또는 플라스틱 기판으로 이루어질 수 있다.The substrate 10 may be formed of various materials capable of supporting the electrode layer 20 and the like formed on the substrate 10. The substrate 10 may be a glass substrate or a plastic substrate, for example.

상기 전극층(20)은 상기 기판(10) 상에 배치된다. 상기 전극층(20)은 투명 전극을 포함할 수 있다. 자세하게, 상기 전극층(20)은 광의 투과를 방해하지 않으면서 전기가 흐를수 있도록 투명 전도성 물질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 전극층(20)은 금속 나노 와이어를 포함할 수 있다. 상기 금속 나노 와이어는 금, 은, 구리 및 알루미늄 중 적어도 하나의 금속 물질을 포함할 수 있으나, 실시예는 이에 제한되지 않는다.The electrode layer 20 is disposed on the substrate 10. The electrode layer 20 may include a transparent electrode. In detail, the electrode layer 20 may include a transparent conductive material so that electricity can flow without interfering with transmission of light. For example, the electrode layer 20 may include metal nanowires. The metal nanowire may include at least one metal material selected from the group consisting of gold, silver, copper, and aluminum. However, the embodiment is not limited thereto.

상기 전극층(20)이 금속 나노 와이어를 포함함으로써, 기존에 투명 전도성 물질로 사용되던 인듐 주석 산화물(indium tin oxide, ITO)을 대체할 수 있다. 상기 금속 나노 와이어는 투과도 및 전도도 등 다양한 면에서 인듐 주석 산화물보다 뛰어난 특성을 가진 물질이다.Since the electrode layer 20 includes metal nanowires, indium tin oxide (ITO), which has been used as a transparent conductive material, can be substituted. The metal nanowire is superior to indium tin oxide in various aspects such as transmittance and conductivity.

상기 금속 나노 와이어는 다양한 방법으로 상기 기판(10) 상에 코팅되어 상기 전극층(20)을 형성할 수 있다. 일례로, 상기 금소 나노 와이어는 딥 코팅법에 의해 상기 기판(10) 상에 코팅될 수 있다. 상기 딥 코팅은 코팅 방법의 한 종류이며, 피코팅재를 코팅용액 또는 슬러리에 담그어 피코팅재 표면에 전구체(precursor)층을 형성한 후 적당한 온도로 소성하여 도막을 얻는 방법을 말한다. The metal nanowires may be coated on the substrate 10 by various methods to form the electrode layer 20. [ For example, the nitrogen nanowires can be coated on the substrate 10 by a dip coating method. The dip coating is a kind of coating method and refers to a method of obtaining a coating film by dipping a coating material in a coating solution or slurry to form a precursor layer on the surface of the coating material and then firing the coated material at a suitable temperature.

그러나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 금속 나노 와이어는 스핀(spin) 코팅, 플로우(flow) 코팅, 스프레이(spray) 코팅, 슬럿 다이(slot die) 코팅 및 롤(roll) 코팅 등의 다양한 코팅 방법으로 상기 기판(10) 상에 코팅될 수 있다.
However, the embodiment is not limited thereto, and the metal nanowires can be formed by various coating methods such as spin coating, flow coating, spray coating, slot die coating and roll coating On the substrate 10.

도 2는 도 1의 A 부분을 확대하여 도시한 도면이다. 도 2를 참고하면, 실시예에 따른 전극층(20)는 복수 개의 금속 나노 와이어들이 코팅된다. 일례로, 상기 전극층(20)은 제 1 금속 나노 와이어(21), 제 2 금속 나노 와이어(22), 제 3 금속 나노 와이어(23) 및 제 4 금속 나노 와이어(24)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 금속 나노 와이어(21), 상기 제 2 금속 나노 와이어(22), 상기 제 3 금속 나노 와이어(23) 및 상기 제 4 금속 나노 와이어(24)는 서로 교차하면 배치될 수 있다.Fig. 2 is an enlarged view of a portion A in Fig. 1. Fig. Referring to FIG. 2, the electrode layer 20 according to the embodiment is coated with a plurality of metal nanowires. For example, the electrode layer 20 may include a first metal nanowire 21, a second metal nanowire 22, a third metal nanowire 23, and a fourth metal nanowire 24. The first metal nanowire 21, the second metal nanowire 22, the third metal nanowire 23, and the fourth metal nanowire 24 may be disposed so as to intersect with each other.

자세하게, 상기 제 1 금속 나노 와이어(21)는 상기 제 2 금속 나노 와이어(22) 및 상기 제 4 금속 나노 와이어(24)와 서로 교차하며 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 3 금속 나노 와이어(23)는 상기 제 2 금속 나노 와이어(22) 및 상기 제 4 금속 나노 와이어(24)와 서로 교차하며 배치될 수 있다.In detail, the first metal nanowires 21 may be arranged to intersect with the second metal nanowires 22 and the fourth metal nanowires 24. Also, the third metal nanowires 23 may be arranged to intersect with the second metal nanowires 22 and the fourth metal nanowires 24.

이에 따라, 상기 제 1 금속 나노 와이어(21)와 상기 제 2 금속 나노 와이어(22), 상기 제 1 금속 나노 와이어(21)와 상기 제 4 금속 나노 와이어(24)는 서로 교차되는 교차 영역이 형성된다.Accordingly, a crossing region where the first metal nanowire 21 and the second metal nanowire 22, the first metal nanowire 21, and the fourth metal nanowire 24 cross each other is formed do.

또한, 상기 제 3 금속 나노 와이어(23)와 상기 제 2 금속 나노 와이어(22), 상기 제 3 금속 나노 와이어(23)와 상기 제 4 금속 나노 와이어(24)는 서로 교차되는 교차 영역이 형성된다.The third metal nanowire 23 and the second metal nanowire 22, the third metal nanowire 23, and the fourth metal nanowire 24 intersect with each other to form a crossing region .

따라서, 상기 제 1 금속 나노 와이어(21), 상기 제 2 금속 나노 와이어(22), 상기 제 3 금속 나노 와이어(23) 및 상기 제 4 금속 나노 와이어(24)에는 교차 영역(contact area, CA) 및 비교차 영역(non contact area, NCA)이 형성될 수 있다.Thus, the first metal nanowire 21, the second metal nanowire 22, the third metal nanowire 23, and the fourth metal nanowire 24 are provided with a contact area (CA) And a non-contact area (NCA) may be formed.

이때, 상기 제 1 금속 나노 와이어(21), 상기 제 2 금속 나노 와이어(22), 상기 제 3 금속 나노 와이어(23) 및 상기 제 4 금속 나노 와이어(24)의 교차 영역(CA)는 비변성 영역일 수 있. 또한, 상기 제 1 금속 나노 와이어(21), 상기 제 2 금속 나노 와이어(22), 상기 제 3 금속 나노 와이어(23) 및 상기 제 4 금속 나노 와이어(24)의 비교차 영역(NCA)은 변성 영역일 수 있다.At this time, the intersecting area CA of the first metal nanowire 21, the second metal nanowire 22, the third metal nanowire 23, and the fourth metal nanowire 24 is non- It can be an area. The comparison area NCA of the first metal nanowire 21, the second metal nanowire 22, the third metal nanowire 23, and the fourth metal nanowire 24 may be modified Lt; / RTI >

또는, 상기 교차 영역(CA)은 비변성 영역이고, 상기 비교차 영역(NCA)은 변성 영역 및 비변성 영역이 혼재할 수 있다. 즉, 상기 비교차 영역(NCA)는 부분적으로는 변성 영역이고, 부분적으로는 비변성 영역일 수 있다.Alternatively, the cross area CA may be a non-modified area, and the comparison area NCA may include a denatured area and a non-denatured area. That is, the comparison area NCA may be a partially modified area, and may be partially non-modified area.

또는, 상기 교차 영역(CA) 및 상기 비교차 영역(NCA)은 모두 비변성 영역일 수 있다.Alternatively, the cross area CA and the comparison area NCA may all be non-modified areas.

상기 비변성 영역은 상기 금속 나노 와이어들이 전기적으로 통전하는 영역이다. 즉, 비변성 영역에 의해 상기 제 1 금속 나노 와이어(21)와 상기 제 2 금속 나노 와이어(22), 상기 제 1 금속 나노 와이어(21)와 상기 제 4 금속 나노 와이어(24), 상기 제 3 금속 나노 와이어(23)와 상기 제 2 금속 나노 와이어(22), 상기 제 3 금속 나노 와이어(23)와 상기 제 4 금속 나노 와이어(24)는 서로 전기적으로 통전될 수 있다.The non-modified region is a region where the metal nanowires are electrically energized. That is, the first metal nanowire 21 and the second metal nanowire 22, the first metal nanowire 21 and the fourth metal nanowire 24, and the third metal nanowire 22, The metal nanowires 23 and the second metal nanowires 22, the third metal nanowires 23, and the fourth metal nanowires 24 may be electrically connected to each other.

상기 변성 영역은 상기 금속 나노 와이어들이 화학적으로 변성된 영역이다. 자세하게, 상기 변성 영역은 상기 금속 나노 와이어들이 전기적 특성을 가지지 않는 영역이다.The modified region is a region where the metal nanowires are chemically modified. In detail, the denuded zone is a region where the metal nanowires do not have electrical characteristics.

상기 변성 영역에서는, 상기 전극층(20)의 금속 나노 와이어들이 산화 또는 황화되어 화학적으로 변성될 수 있다. 자세하게, 상기 변성 영역에서 은 산화물 또는 은 황하물을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 전극층(20)의 금속 나노 와이어들은 AgXOY(이때, 상기 X는 1≤X≤2이고, 상기 Y는 1≤Y≤3) 또는 AgXSY(이때, 상기 X는 1≤X≤2이고, 상기 Y는 1≤Y≤3)를 포함할 수 있다.In the modified region, the metal nanowires of the electrode layer 20 may be oxidized or sulfided and chemically modified. In detail, in the modified region, silver oxide or silver sulfide may be contained. For example, the metal nanowires of the electrode layer 20 can be Ag X O Y where X is 1? X? 2 and Y is 1? Y? 3 or Ag X S Y , 1? X? 2, and Y is 1? Y? 3).

이에 따라, 앞서 설명하였듯이, 복수 개의 상기 금속 나노 와이어들은 교차 영역(CA)에서 통전되고, 비교차 영역(NCA)에서는 전기적 특성을 가지거나 또는 산화 또는 황화로 변성되어 전기적 특성을 잃을 수 있다.Accordingly, as described above, a plurality of the metal nanowires may be electrically energized in the intersecting area CA, have electrical characteristics in the comparison area NCA, or may be denatured by oxidizing or sulfiding to lose their electrical characteristics.

실시예에서는 설명의 편의를 위해 제 1 내지 제 4 금속 나노 와이어들에 대해 설명하였으나, 실시예는 이에 제한되지 않고, 제 5 금속 나노 와이어, 제 6 금속 나노 와이어 등 복수 개의 금속 나노 와이어들이 서로 교차되면서 형성된다.
Although the first to fourth metal nanowires have been described for convenience of explanation in the embodiment, the present invention is not limited thereto, and a plurality of metal nanowires such as a fifth metal nanowire and a sixth metal nanowire may cross each other .

이하, 도 3 내지 도 9를 참조하여, 실시예에 따른 전극 부재의 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the electrode member according to the embodiment will be described with reference to Figs. 3 to 9. Fig.

도 3을 참고하면, 상기 기판(10) 상에 전극층(20)이 형성된다. 앞서 설명하였듯이, 상기 전극층(20)은 금속 나노 와이어를 포함하며 딥코팅 방법 등에 의해 상기 기판(10) 상에 형성된다. 이때, 상기 기판(10) 상에는 변성된 금속 나노 와이어가 코팅될 수 있다. 즉, 상기 기판(10) 상에는 산화 금속 나노 와이어 또는 황화 금속 나노 와이어가 코팅될 수 있다. 즉, 상기 기판(10) 상에는 산화 또는 황화 등의 화학적 변성에 의해 전기적 특성을 잃은 산화 금속 나노 와이어(AgXOY) 또는 황화 금속 나노 와이어(AgXSY)가 코팅될 수 있다.Referring to FIG. 3, an electrode layer 20 is formed on the substrate 10. As described above, the electrode layer 20 includes metal nanowires and is formed on the substrate 10 by a dip coating method or the like. At this time, the metal nanowires modified on the substrate 10 may be coated. That is, on the substrate 10, a metal oxide nanowire or a metal sulfide nanowire may be coated. That is, on the substrate 10, a metal oxide nanowire (Ag X O Y ) or a metal sulfide nanowire (Ag X S Y ) that has lost its electrical characteristics by chemical modification such as oxidation or sulfidation may be coated.

이어서, 상기 전극층(20) 상에 마스크 재료(40)를 형성한다. 상기 마스크 재료(40)는 감광성 물질을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 마스크 재료(40)는 포토레지스트(PR)을 포함할 수 있다.Subsequently, a mask material 40 is formed on the electrode layer 20. The mask material 40 may comprise a photosensitive material. In one example, the mask material 40 may comprise a photoresist PR.

도 4를 참고하면, 상기 마스크 재료(40) 상에 마스크(50)를 배치한다. 즉, 상기 전극층(20)에 패터닝을 형성하기 위해, 원하는 패턴으로 상기 마스크 재료(40) 상에 마스크(50)를 배치한다. 이어서, 상기 마스크(50) 상에 UV 등의 광을 조사하는 노광 공정 및 마스크 재료를 세정하는 현상 공정을 수행한다.Referring to FIG. 4, a mask 50 is disposed on the mask material 40. That is, in order to form a pattern on the electrode layer 20, the mask 50 is arranged on the mask material 40 in a desired pattern. Then, an exposure process for irradiating the mask 50 with light such as UV and a developing process for cleaning the mask material are performed.

도 5를 참고하면, 노광 및 현상 공정에 의해 상기 전극층(40) 상에 배치된 상기 마스크 재료(40)는 패터닝 될 수 있다.Referring to FIG. 5, the mask material 40 disposed on the electrode layer 40 by the exposure and development processes can be patterned.

이어서, 도 6을 참고하면, 에칭 공정이 수행되어 상기 마스크 재료(40)가 배치되지 않은 전극층(20) 영역은 식각되어 상기 전극층(20)을 패터닝 할 수 있다. 이후, 상기 마스크 재료(40)를 세정하여 상기 기판(10) 상에 패터닝된 전극층(20)만을 형성할 수 있다.Referring to FIG. 6, an etching process is performed to etch the electrode layer 20 in a region where the mask material 40 is not disposed, thereby patterning the electrode layer 20. Thereafter, the mask material 40 may be cleaned to form only the patterned electrode layer 20 on the substrate 10.

이어서, 도 7을 참조하면, 상기 전극층(30) 상에 보호층(30)이 형성된다. 상기 보호층(30)은 외부로 노출되는 전극층(30)을 덮어 상기 전극층(20)의 산화 또는 변성을 방지한다.Next, referring to FIG. 7, a protective layer 30 is formed on the electrode layer 30. The protective layer 30 covers the electrode layer 30 exposed to the outside to prevent the electrode layer 20 from being oxidized or denatured.

이어서, 상기 보호층이 형성된 상기 전극 부재의 외부에서 열처리를 하여 상기 전극층(20) 내에 고온의 열을 전달한다. 즉, 상기 열처리에 의해 상기 전극층(20) 내의 금속 나노 와이어에 고온의 열을 전달한다. 이에 의해, 상기 전극층 내에 형성된 산화 금속 나노 와이어 또는 상기 황화 금속 나노 와이어는 원래의 벌크 상태로 다시 변할 수 있다.Then, heat treatment is performed outside the electrode member on which the protective layer is formed to transfer heat of high temperature into the electrode layer 20. That is, the high-temperature heat is transferred to the metal nanowires in the electrode layer 20 by the heat treatment. Thereby, the metal oxide nanowire or the metal sulfide nanowire formed in the electrode layer can be changed back to the original bulk state.

즉, 상기 금속 나노 와이어가 산화은 나노 와이어 또는 황화은 나노 와이어를 포함하는 경우, 상기 열처리에 의해 상기 산화은 나노 와이어 및 상기 황화은 나노 와이어는 은 나노 와이어로 변할 수 있다.That is, when the metal nanowire includes silver oxide nanowires or silver sulfide nanowires, the silver oxide nanowires and the silver sulfide nanowires can be converted into silver nanowires by the heat treatment.

이때, 상기 산화은 나노 와이어 또는 황화은 나노 와이어는 전체가 은 나노 와이어로 변하거나, 또는 부분적으로는 은 나노 와이얼 변하고, 부분적으로는 산화은 나노 와이어 또는 황화은 나노 와이어가 변하지 않고 그대로 남을 수 있다.At this time, the silver oxide nanowire or the silver sulfide nanowire may be changed into whole silver nanowires, or partially changed to silver nanowires, and partially silver oxide or silver sulfide nanowires may remain unchanged.

또한, 앞서 설명하였듯이, 상기 열처리는 상기 금속 나노 와이어들이 서로 교차하는 영역에서는 모두 원래의 금속으로 변할도록 수행할 수 있다. 이에 따라, 상기 금속 나노 와이어들의 교차 영역들은 비변성 영역으로 형성되고, 상기 금속 나노 와이어들의 비교차 영역들은 변성 및 비변성 영역이 혼재될 수 있다.
Also, as described above, the heat treatment may be performed so that the metal nanowires are changed to the original metal in the regions where the metal nanowires cross each other. Accordingly, the crossing regions of the metal nanowires are formed as non-denatured regions, and the dense and non-denatured regions of the comparative regions of the metal nanowires may be mixed.

실시예에 따른 전극 부재는 변성 영역과 비변성 영역이 혼재된 전극층을 포함한다. 즉, 실시예에 따른 전극 부재는 서로 교차하는 금속 나노 와이어들을 포함한다. 이때, 상기 금속 나노 와이어들이 교차하는 영역은 비변성 영역으로 형성되고, 상기 변성되는 영역은 변성 영역으로 형성된다.The electrode member according to the embodiment includes an electrode layer in which a denatured region and a non-denatured region are mixed. That is, the electrode member according to the embodiment includes metal nanowires crossing each other. At this time, the region where the metal nanowires intersect is formed as a non-denatured region, and the denatured region is formed as a denatured region.

이에 따라, 실시예에 따른 전극 부재는 전극층에 형성된 금속 나노 와이어의 부식, 크랙 등을 방지할 수 있다.Accordingly, the electrode member according to the embodiment can prevent the metal nanowires formed on the electrode layer from being corroded, cracked, and the like.

즉, 실시예에 따른 전극 부재는 산화 또는 황화된 금속 나노 와이어를 기판 상에 형성하고, 상기 금속 나노 와이어 상에 보호층을 형성한 후에, 이를 열처리하여 산화 금속 나노 와이어 또는 황화 금속 나노 와이어를 다시 부분적 또는 전체적으로 금속 나노 와이어로 변화시킨다.That is, in the electrode member according to the embodiment, the oxidized or sulfided metal nanowires are formed on a substrate, a protective layer is formed on the metal nanowires, and then the metal oxide nanowires or the metal sulfide nanowires are heated again Partially or wholly converted into metal nanowires.

종래에는 상기 기판 상에 금속 나노 와이어를 형성한 후, 금속 나노 와이어의 부식 등 변성을 방지하기 위해, 보호층을 형성하였으나, 보호층을 형성하는 과정에서 상기 금속 나노 와이어가 외부에 노출되어 금속 나노 와이어가 부식되거나 또는 변성되어, 전기적 특성이 저하되는 문제점이 있었다.A protective layer is formed in order to prevent the metal nanowires from being denatured by corrosion after forming the metal nanowires on the substrate. However, in the process of forming the protective layer, the metal nanowires are exposed to the outside, There is a problem that the wire is corroded or denatured, and the electrical characteristics are deteriorated.

이에 따라, 실시예에 따른 전극 부재는 기판 상에 미리 변성된 금속 나노 와이어를 코팅하고, 보호층을 형성한 이후에 열처리를 하여 변성된 금속 나노 와이어를 다시 원래의 상태로 변성시킨다.Accordingly, the electrode member according to the embodiment is formed by coating the metal nanowires previously modified on the substrate, forming a protective layer, and then performing heat treatment to denature the metal nanowires again to the original state.

이에 따라, 보호층을 형성하는 공정에서 금속 나노 와이어가 부식 또는 변성되는 것을 방지할 수 있고, 이후에, 열처리에 의해 산화 또는 황화 금속 나노 와이어를 다시 금속 나노 와이어로 변성시키므로, 전기적 특성도 그대로 유지할 수 있다.As a result, it is possible to prevent the metal nanowires from being corroded or denatured in the step of forming the protective layer, and thereafter, the metal nanowires are oxidized or denatured again by the heat treatment, so that the electrical characteristics are maintained .

따라서, 실시예에 따른 전극 부재는 외부의 노출 및 충격에 의해 금속 나노 와이어가 변성되는 것을 방지할 수 있어, 전기적 특성의 저하를 방지할 수 있다.
Therefore, the electrode member according to the embodiment can prevent the metal nanowires from being denatured by external exposure and impact, and can prevent the deterioration of the electrical characteristics.

이하, 도 10을 참조하여, 실시에에 따른 터치 패널을 설명한다. 상기 터치 패널에 대한 설명에서는 앞서 설명한 전극 부재의 설명과 동일 유사한 부분에 대해서는 설명을 생략한다. 즉, 상기 터치 패널에 대한 설명은 상기 전극 부재의 설명과 본질적으로 결합된다.Hereinafter, a touch panel according to the embodiment will be described with reference to FIG. In the description of the touch panel, a description of the same parts as those of the electrode member described above will be omitted. That is, the description of the touch panel is essentially combined with the description of the electrode member.

도 10을 참조하면, 실시예에 따른 터치 패널은 커버 윈도우(100) 및 전극 부재(200), 보호층(300) 및 LCD 모듈(Liquid Critical Module; LCM, 400)을 포함한다.10, the touch panel includes a cover window 100, an electrode member 200, a protective layer 300, and a liquid crystal module (LCM) 400.

상기 커버 윈도우(100)는 유리 또는 플라스틱을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 커버 윈도우(100)는 강화 유리, 반강화 유리, 소다라임 유리, 강화 플라스틱 또는 연성 플라스틱을 포함할 수 있다.The cover window 100 may comprise glass or plastic. In one example, the cover window 100 may comprise tempered glass, semi-tempered glass, soda lime glass, reinforced plastic or soft plastic.

상기 커버 윈도우(100)는 유효 영역(AA) 및 비유효 영역(UA)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 유효 영역(AA)은 사용자의 터치 명령 입력이 가능한 영역을 의미하며, 상기 비유효 영역(DA)은 상기 유효 영역(AA)과 반대되는 개념으로서, 사용자의 터치가 이루어지는 경우에도 활성화되지 않아서 터치 명령 입력이 이루어지지 않는 영역을 의미한다.The cover window 100 may include a valid area AA and a non-valid area UA. Herein, the valid area AA refers to an area where a user can input a touch command. The non-valid area DA is opposite to the valid area AA, and is activated even when the user touches the area And the touch command input is not performed.

상기 전극 부재(200)는 상기 커버 윈도우(100) 상에 형성된다. 상기 전극 부재(200)와 상기 커버 윈도우(100)는 광학 투명 접착제(Optical Clear Adhesive; OCA)를 통해 접착될 수 있다.The electrode member (200) is formed on the cover window (100). The electrode member 200 and the cover window 100 may be adhered to each other through an optical clear adhesive (OCA).

상기 전극 부재(200)는 기판(210), 상기 유효 영역(AA) 상에 형성되는 감지 전극(220) 및 상기 비유효 영역(UA) 상에 형성되는 배선 전극(230)을 포함한다. 이때, 상기 감지 전극(220)은 앞서 설명한 것과 같이 산화 또는 황화되어 변성된 금속 나노 와이어 및 변성되지 않은 금속 나노 와이어를 포함한다.The electrode member 200 includes a substrate 210, a sensing electrode 220 formed on the effective region AA, and a wiring electrode 230 formed on the non-effective region UA. At this time, the sensing electrode 220 includes metal nanowires that have been oxidized or sulfided and denatured as described above, and unmodified metal nanowires.

도 10에서는 상기 기판에 감지 전극 및 배선 전극이 형성된 것을 도시하였으나, 상기 감지 전극(220) 및 상기 배선 전극(230)은 상기 커버 윈도우(100)에 직접 형성될 수도 있다. 즉, 상기 전극 부재(200)는 상기 커버 윈도우(100) 및 상기 커버 윈도우(100) 상에 형성된 감지 전극(220) 및 배선 전극(230)을 포함할 수 있다.Although the sensing electrodes and the wiring electrodes are formed on the substrate in FIG. 10, the sensing electrodes 220 and the wiring electrodes 230 may be formed directly on the cover window 100. That is, the electrode member 200 may include the sensing electrode 220 and the wiring electrode 230 formed on the cover window 100 and the cover window 100.

상기 배선 전극(230)은 상기 기판의 비유효 영역(UA)에 형성되어, 상기 감지 전극(220)과 전기적으로 연결된다. 이에 따라, 상기 감지 전극(220)에서 발생되는 터치 감지 신호를 구동칩이 실장된 커넥터로 전달하여 이에 의해 구동칩을 동작시킬 수 있다.The wiring electrode 230 is formed in the ineffective area UA of the substrate and is electrically connected to the sensing electrode 220. Accordingly, the touch sensing signal generated from the sensing electrode 220 is transmitted to the connector on which the driving chip is mounted, thereby operating the driving chip.

상기 보호층(300)은 외부로 노출되는 상기 감지 전극(220) 및 상기 배선 전극(230)을 감싸면서 외부의 충격 등으로부터 상기 감지 전극(220) 및 상기 배선 전극(230)을 보호한다.The protection layer 300 protects the sensing electrode 220 and the wiring electrode 230 from an external impact while enclosing the sensing electrode 220 and the wiring electrode 230 exposed to the outside.

실시에에 따른 터치 패널은 앞서 설명한 전극 부재의 변성부 및 비변성부를 포함한다. 이에 따라, 유효 영역 상에 형성되는 감지 전극의 전기적 특성을 향상시킬 수 있어, 전체적으로 터치 패널의 전기적 특성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
The touch panel according to the embodiment includes the denatured portion and the non-denatured portion of the electrode member described above. Accordingly, the electrical characteristics of the sensing electrode formed on the effective region can be improved, and the electrical characteristics and reliability of the touch panel as a whole can be improved.

도 11은 앞서 설명한 전극 부재 및 터치 패널을 포함하는 이동식 단말기를 도시한 도면이다.11 is a view showing a mobile terminal including the above-described electrode member and a touch panel.

도 11을 참고하면, 상기 이동식 단말기(1000)는 유효 영역(AA) 및 비유효 영역(UA)을 포함할 수 있다. 상기 유효 영역(AA)은 손가락 등의 터치에 의해 터치 신호를 감지하고, 상기 비유효 영역에는 명령 아이콘 패턴부 및 로고 등이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 11, the mobile terminal 1000 may include a valid area AA and a non-valid area UA. The effective area AA senses a touch signal by touching a finger or the like, and a command icon pattern part and a logo are formed on the non-valid area.

상기 이동식 단말기(1000)는 앞서 설명한 전극 부재 및 터치 패널에 포함되는 전극층 또는 감지 전극의 변성부 및 비변성부를 포함한다. 따라서, 상기 이동식 단말기(1000)에 포함되는 감지 전극들의 전기적 특성을 향상시킬 수 있어 전체적으로 상기 이동식 단말기(1000)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
The mobile terminal 1000 includes an electrode layer included in the electrode member and the touch panel as described above, or a denatured portion and a non-denatured portion of the sensing electrode. Accordingly, the electrical characteristics of the sensing electrodes included in the mobile terminal 1000 can be improved, thereby improving the reliability of the mobile terminal 1000 as a whole.

상술한 실시예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. The features, structures, effects and the like described in the foregoing embodiments are included in at least one embodiment of the present invention and are not necessarily limited to one embodiment. Further, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments may be combined or modified in other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.

또한, 이상에서 실시예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부한 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the present invention. It can be seen that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments may be modified and implemented. It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

Claims (10)

기판; 및
상기 기판 상에 배치되고, 금속 나노 와이어를 포함하는 전극층을 포함하고,
상기 금속 나노 와이어는,
제 1 금속 나노 와이어; 및
상기 제 1 금속 나노 와이어와 교차하는 제 2 금속 나노 와이어를 포함하며,
상기 제 1 금속 나노 와이어와 상기 제 2 금속 나노 와이어는 변성 영역 및 비변성 영역을 포함하는 전극 부재.Board; And
An electrode layer disposed on the substrate and comprising metal nanowires,
The metal nanowire may include a metal nanowire,
A first metal nanowire; And
And a second metal nanowire intersecting the first metal nanowire,
Wherein the first metal nanowire and the second metal nanowire comprise a modified region and a non-modified region. 제 1항에 있어서,
상기 변성 영역은 산화 또는 황화적으로 변성되는 전극 부재.The method according to claim 1,
Wherein the modified region is oxidized or sulfided. 제 2항에 있어서,
상기 제 1 금속 나노 와이어 및 상기 제 2 금속 나노 와이어의 교차 영역은 비변성 영역인 전극 부재.3. The method of claim 2,
Wherein the crossing region of the first metal nanowire and the second metal nanowire is a non-modified region. 제 3항에 있어서,
상기 제 1 금속 나노 와이어 및 상기 제 2 금속 나노 와이어의 비교차 영역은 변성 영역 또는 비변성 영역인 전극 부재.The method of claim 3,
Wherein the comparison region of the first metal nanowire and the second metal nanowire is a modified region or a non-modified region. 제 2항에 있어서,
상기 금속 나노 와이어는 은, 구리, 알루미늄 및 금 중 적어도 하나의 금속을 포함하는 전극 부재.3. The method of claim 2,
Wherein the metal nanowire comprises at least one of silver, copper, aluminum, and gold. 제 5항에 있어서,
상기 금속 나노 와이어는 은 나노 와이어인 전극 부재.6. The method of claim 5,
Wherein the metal nanowire is a silver nanowire. 제 6항에 있어서,
상기 제 1 금속 나노 와이어 및 상기 제 2 금속 나노 와이어의 교차 영역은 은을 포함하고,
상기 제 1 금속 나노 와이어 및 상기 제 2 금속 나노 와이어의 비교차 영역은 AgXOY(이때, 상기 X는 1≤X≤2이고, 상기 Y는 1≤Y≤3) 또는 AgXSY(이때, 상기 X는 1≤X≤2이고, 상기 Y는 1≤Y≤3) 을 포함하는 전극 부재.The method according to claim 6,
Wherein the intersection region of the first metal nanowire and the second metal nanowire comprises silver,
Wherein the comparison region of the first metal nanowire and the second metal nanowire is Ag X O Y where X is 1? X? 2, Y is 1? Y? 3, or Ag X S Y Wherein X is 1? X? 2 and Y is 1? Y? 3. 커버 윈도우; 및
상기 커버 윈도우 상에 형성되는 전극 부재를 포함하고,
상기 전극 부재는,
기판; 및
상기 기판 상에 배치되고, 금속 나노 와이어를 포함하는 전극층을 포함하고,
상기 금속 나노 와이어는,
제 1 금속 나노 와이어; 및
상기 제 1 금속 나노 와이어와 교차하는 제 2 금속 나노 와이어를 포함하며,
상기 제 1 금속 나노 와이어와 상기 제 2 금속 나노 와이어는 변성 영역 및 비변성 영역을 포함하는 터치 패널.Cover window; And
And an electrode member formed on the cover window,
The electrode member
Board; And
An electrode layer disposed on the substrate and comprising metal nanowires,
The metal nanowire may include a metal nanowire,
A first metal nanowire; And
And a second metal nanowire intersecting the first metal nanowire,
Wherein the first metal nanowire and the second metal nanowire comprise a modified region and a non-modified region. 제 8항에 있어서,
상기 제 1 금속 나노 와이어 및 상기 제 2 금속 나노 와이어의 교차 영역은 비변성 영역이고,
상기 제 1 금속 나노 와이어 및 상기 제 2 금속 나노 와이어의 비교차 영역은 변성 영역 또는 비변성 영역인 터치 패널.9. The method of claim 8,
Wherein the crossing region of the first metal nanowire and the second metal nanowire is a non-modified region,
Wherein the comparison region of the first metal nanowire and the second metal nanowire is a modified region or a non-modified region. 제 9항에 있어서,
상기 변성 영역은 산화 또는 황화적으로 변성되는 터치 패널.
10. The method of claim 9,
Wherein the modified region is oxidized or sulfided.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20170079892A (en) * 2015-12-31 2017-07-10 엘지디스플레이 주식회사 Touch sensitive device and display device comprising the same
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10070515B2 (en) 2015-08-10 2018-09-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Transparent electrode using amorphous alloy and method of manufacturing the same
KR20170079965A (en) * 2015-12-31 2017-07-10 엘지디스플레이 주식회사 Contact sensitive device and display device including the same
KR20170079892A (en) * 2015-12-31 2017-07-10 엘지디스플레이 주식회사 Touch sensitive device and display device comprising the same
KR20220167365A (en) * 2015-12-31 2022-12-20 엘지디스플레이 주식회사 Touch sensitive device and display device comprising the same

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