KR20170077793A - Wire for high frequency and high frequency lighting light source device - Google Patents

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마사토시 시모나카
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있고, 형상 가공성과 더불어 형상 유지성을 갖는 고주파용 도선을 제공하는 것, 및 광원에 대해 효율적으로 고주파 전력을 공급할 수 있음과 더불어, 높은 생산성 및 메인테넌스 용이성이 얻어지는 고주파 점등형 광원 장치를 제공하는 것이다.
[해결 수단] 고주파용 도선은, 복수의 도전성 소선의 다발을 갖는 유연한 도선 본체와, 상기 도선 본체를 따라 배치된 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 고주파 점등형 광원 장치는, 고주파 전력이 공급되는 광원과, 상기 광원에 전기적으로 접속된 급전선을 구비한 고주파 점등형 광원 장치에 있어서, 상기 급전선이, 상기의 고주파용 도선으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.[PROBLEMS] To provide a high-frequency conductor capable of efficiently flowing a high-frequency current, having shape-formability and shape-retaining properties, and capable of efficiently supplying high-frequency electric power to a light source, Frequency light source device capable of obtaining a high-frequency lighting-type light source device.
[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A high-frequency lead wire is characterized by comprising a flexible lead-wire main body having a bundle of a plurality of conductive element wires and a flexible self-holding line element disposed along the lead main body. The high frequency lighting type light source device is characterized in that the power supply line includes a light source to which high frequency power is supplied and a power supply line which is electrically connected to the light source, wherein the power supply line is composed of the above high frequency conductor.

Description

고주파용 도선 및 고주파 점등형 광원 장치{WIRE FOR HIGH FREQUENCY AND HIGH FREQUENCY LIGHTING LIGHT SOURCE DEVICE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a high frequency electric wire and a high frequency lighting type light source device,

본 발명은, 고주파용 도선 및 고주파 점등형 광원 장치에 관한 것이다. 더 상세하게는, 엑시머 램프 등의 고주파 전력에 의해 점등되는 광원의 급전선으로서 이용되는 고주파용 도선, 및 고주파 전력에 의해 점등되는 광원과 상기의 고주파용 도선을 구비한 고주파 점등형 광원 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a high-frequency lead wire and a high-frequency lighting type light source device. More particularly, the present invention relates to a high frequency conductor used as a power supply line of a light source that is illuminated by a high frequency power such as an excimer lamp, a high frequency power source, and a high frequency power source .

종래, 고주파 전력에 의해 점등되는 광원(이하, 「고주파 광원」이라고도 한다)으로는, 예를 들어, 엑시머 램프, 형광 램프(구체적으로는, 고주파 점등 전용형 형광 램프(high frequency fluorescent lamp)) 및 롱 아크형 메탈할라이드 램프 등의 방전 램프, 및, LED 소자 등의 발광 소자 등이 있다. Examples of a light source (hereinafter also referred to as a " high frequency light source ") that is illuminated by high frequency power include excimer lamps, fluorescent lamps (specifically, high frequency fluorescent lamps) A discharge lamp such as a long arc type metal halide lamp, and a light emitting element such as an LED element.

이들 고주파 광원은, 광원 장치의 발광원으로서 널리 이용되고 있다(예를 들어, 특허 문헌 1~특허 문헌 3 참조).These high frequency light sources are widely used as light sources of light source devices (see, for example, Patent Documents 1 to 3).

구체적으로, 특허 문헌 1에는, 형광 램프가 급전선을 통해 고주파 인버터에 전기적으로 접속되어 있으며, 상기 고주파 인버터로부터 고주파 전력(구체적으로는, 예를 들어 주파수 45kHz의 전력)이 공급됨으로써 상기 형광 램프가 점등되는 구성의 고주파 점등형 광원 장치가 개시되어 있다. 이 고주파 점등형 광원 장치에 있어서, 형광 램프는, 양단이 봉지(封止)된 직관형상의 발광관을 구비하고 있으며, 이 발광관의 내주면에 형광 도료가 도포되고, 또 상기 발광관의 내부에 한 쌍의 전극이 대향 배치된 것이다.Specifically, in Patent Document 1, a fluorescent lamp is electrically connected to a high-frequency inverter through a feeder line, and high-frequency power (specifically, a power of 45 kHz, for example) is supplied from the high-frequency inverter, Frequency light source device according to the present invention. In this high-frequency lighting type light source device, the fluorescent lamp is provided with a straight tube-shaped light emitting tube sealed at both ends, a fluorescent paint is applied to the inner peripheral surface of the light emitting tube, And a pair of electrodes are disposed opposite to each other.

또, 특허 문헌 2에는, 엑시머 램프가 급전선을 통해 푸시풀 방식의 인버터 회로에 전기적으로 접속되어 있으며, 상기 인버터 회로로부터 출력되는 고주파 전력(구체적으로는, 주파수 20~100kHz의 구형(矩形)파 전력)이 공급됨으로써 상기 엑시머 램프가 점등되는 구성의 고주파 점등형 광원 장치가 개시되어 있다. 이 고주파 점등형 광학 장치에 있어서, 엑시머 램프에 인가되는 고주파 전력은, 인버터 회로의 극성 반전에 있어서 전압이 급준하게 변화하고, 이 급준한 전압 변화에 의해, 엑시머 램프에 급준한 전류가 발생함으로써 얻어지는 것이다.Patent Document 2 discloses that an excimer lamp is electrically connected to a push-pull type inverter circuit through a feeder line, and high-frequency power output from the inverter circuit (specifically, rectangular wave power having a frequency of 20 to 100 kHz Is supplied to the excimer lamp so that the excimer lamp is turned on. In the high-frequency lighting type optical device, the high-frequency power applied to the excimer lamp is obtained by rapidly changing the voltage in the polarity inversion of the inverter circuit and generating a steep current in the excimer lamp by the steep voltage change will be.

또, 특허 문헌 3에는, LED 소자가 급전선을 통해 LED 구동 장치에 전기적으로 접속되어 있으며, 상기 LED 구동 장치로부터의 출력 전력이 공급됨으로써 상기 LED 소자가 점등되는 구성의 고주파 점등형 광원 장치가 개시되어 있다.Patent Document 3 discloses a high frequency lighting type light source device in which an LED element is electrically connected to an LED driving device through a feed line and the LED element is turned on by supplying output power from the LED driving device have.

이 고주파 점등형 광학 장치에 있어서, LED 구동 장치는, 승압 회로와 강압 회로를 구비하고 있고, 상기 강압 회로에 의해, 저주파의 펄스폭 변조 제어(PWM 제어) 및 고주파(구체적으로는, 주파수가 수십kHz~수백kHz)의 PWM 제어를 행함으로써, LED 소자를 조광하는 것이다.In the high frequency lighting type optical device, the LED driving device includes a voltage boosting circuit and a voltage reducing circuit. The voltage lowering circuit performs pulse width modulation control (PWM control) of a low frequency and high frequency (specifically, kHz to several hundreds kHz), thereby dimming the LED element.

일본국 특허 공개 평9-298045호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-298045 일본국 특허 공개 평11-331506호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-331506 일본국 특허 공개 2013-110061호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2013-110061

이러한 고주파 점등형 광원 장치에 있어서, 고주파 광원을 점등할 때에는, 급전선에 고주파 전류가 흐른다. 그리고, 급전선을 흐르는 고주파 전류는, 표피 효과에 의해, 상기 급전선을 구성하는 도전성 소선의 표면에 집중한다. 즉, 도전성 소선의 표면에 있어서 전류 밀도가 매우 커진다. 그로 인해, 급전선의 교류 저항(전력 손실)이 커진다.In such a high frequency lighting type light source device, when the high frequency light source is lit, a high frequency current flows in the feed line. The high-frequency current flowing through the feeder line is concentrated on the surface of the conductive wire constituting the feeder wire by the skin effect. That is, the current density on the surface of the conductive wire becomes very large. As a result, the AC resistance (power loss) of the feeder line is increased.

그런데, 고주파 광원에 있어서는, 급전선으로서, 1개의 도전성 소선으로 이루어지는 단심선이 절연재에 의해 피복된 단심 도선이 아닌, 여러 개의 가는 도전성 소선이 묶여진 다심선이 절연재에 의해 피복된 다심 도선이 이용되고 있다. 이 다심선으로는, 여러 개의 가는 도전성 소선을 꼬은 연선(撚線)이 널리 이용되고 있다.Incidentally, in the high-frequency light source, a multi-conductor wire in which a plurality of thin conductive wires are bundled, rather than a single-core wire in which a single wire made of one conductive wire is covered with an insulating material, is wrapped with an insulating material is used . In this multi-core wire, twisted strands of various thin conductive wires are widely used.

급전선으로서, 다심 도선을 이용하는 것에 의하면, 기대한 바와 같이 단면적의 급전선(심선)에 의해 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있다.According to the use of the multi-conductor wire as the feeder wire, the high-frequency current can efficiently flow by the feeder wire (core wire) having the cross-sectional area as expected.

다심 도선은, 심선의 단면적이 동일한, 단심 도선, 및 상기 다심 도선을 구성하는 도전성 소선의 개수보다 적은 개수의 도전성 소선을 묶은 심선을 갖는 도선에 비해, 보다 유연하기 때문에, 배선의 둘러치기가 용이하다.Since the multi-conductor wire is more flexible than the conductor having the same cross-sectional area of the core wire and having a single core wire and a core wire bundling a smaller number of conductive single wires than the number of conductive single wires constituting the multi-concentric wire, Do.

그러나, 고주파 점등형 광원 장치의 제조 작업 중, 및 고주파 점등형 광원 장치의 구성 부재(구체적으로는, 예를 들어 고주파 광원)의 교환 작업 중에 있어서는, 급전선이 높은 유연성을 갖는 것임에 기인하여 여러 가지의 문제가 발생한다.However, during the manufacturing work of the high-frequency lighting type light source apparatus and during the replacement work of the constituent members (specifically, high frequency light source) of the high frequency lighting type light source apparatus, the feed lines have high flexibility, .

구체적으로 설명하면, 특히 고주파 점등형 광원 장치가 복수의 고주파 광원을 구비한 것인 경우에는, 작업 중(구체적으로는, 제조 작업 중 및 교환 작업 중)에 있어서, 급전선이 처져, 복수의 급전선들이 서로 얽혀 작업하기 어렵다.Specifically, in the case where the high-frequency lighting type light source device is provided with a plurality of high-frequency light sources, in particular, during the operation (specifically during the manufacturing operation and the exchange operation) It is difficult to work with entanglement.

또, 고주파 광원에 대해 고주파 전원으로부터 고주파 전압이 인가되는 구성의 고주파 점등형 광원 장치에 있어서는, 복수의 급전선들이 접근하지 않도록, 구체적으로는 절연 거리를 확보하도록, 그들의 복수의 급전선의 각각을, 고정 부재를 이용하여 지지 고정할 필요가 있는 경우가 있다. 여기에, 고주파 광원에 대해 고주파 전원으로부터 고주파 전압이 인가되는 구성의 고주파 점등형 광원 장치에 있어서, 급전선들이 접근한 상태가 된 경우에는, 용량 결합에 의해 전류가 흐르는 것에 기인하여, 고주파 광원에 공급되는 전력량이 저하하고, 발광 효율이 저하한다.In a high-frequency lighting type light source device in which a high-frequency voltage is applied from a high-frequency power source to a high-frequency light source, each of the plurality of power supply lines is fixed so as not to approach a plurality of power supply lines, It may be necessary to fix it by using a member. In the high-frequency lighting type light source device configured such that a high-frequency voltage is applied to the high-frequency light source from the high-frequency power source, when the power lines are in an approaching state, And the light emitting efficiency is lowered.

또한, 고주파 광원, 및 상기 고주파 광원에 급전선을 통해 전기적으로 접속되는 부재와의 위치 관계에 있어서도, 급전선이 원하는 위치에 고정되도록, 상기 급전선을 고정 부재에 의해 지지 고정할 필요가 있는 경우가 있다.Also in the positional relationship between the high-frequency light source and the member electrically connected to the high-frequency light source through the feeder line, the feeder line may need to be supported and fixed by the fixing member so that the feeder line is fixed at a desired position.

본 발명은, 이상과 같은 사정에 의거하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있고, 형상 가공성과 더불어 형상 유지성을 갖는 고주파용 도선을 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a high-frequency conductor capable of efficiently flowing a high-frequency current and having shape-maintaining ability as well as shape-maintaining ability.

본 발명의 다른 목적은, 광원에 대해 효율적으로 고주파 전력을 공급할 수 있음과 더불어, 높은 생산성 및 메인테넌스 용이성이 얻어지는 고주파 점등형 광원 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a high-frequency lighting type light source device which can efficiently supply high-frequency electric power to a light source and achieve high productivity and ease of maintenance.

본 발명의 고주파용 도선은, 복수의 도전성 소선의 다발을 갖는 유연한 도선 본체와, 상기 도선 본체를 따라 배치된 가(可)굴곡성 자기 형상 유지 라인(條)체로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The high frequency conductor of the present invention is characterized by comprising a flexible conductor body having a bundle of a plurality of conductive element wires and a flexible flexible magnetic line element disposed along the conductor body.

본 발명의 고주파용 도선에 있어서, 상기 도선 본체는, 상기 복수의 도전성 소선의 다발이 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것임이 바람직하다.In the high frequency conductor of the present invention, it is preferable that the conductor body is formed by covering a bundle of the plurality of conductive element wires with an insulating material.

본 발명의 고주파용 도선에 있어서, 상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 하기의 (1)~(5) 중 어느 한 구성을 갖는 것임이 바람직하다.In the high frequency conductor of the present invention, it is preferable that the flexible flexible magnetic retaining line body has any one of the following constitutions (1) to (5).

(1) 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 금속선이, 지지 부재에 의해 지지 고정됨으로써, 상기 도선 본체를 따라 배치된 것이다.The flexible magnetic retaining line body (1) is arranged along the lead body by supporting and fixing the metal wire by the support member.

(2) 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 튜브형상체로 이루어지는 것이며, 상기 튜브형상체의 내부에 상기 도선 본체가 삽입 설치되고 있다.(2) is made of a tubular body, and the conductor body is inserted into the tubular body.

(3) 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 코일형상체로 이루어지는 것이며, 상기 코일형상체를 구성하는 소선이 상기 도선 본체에 나선형상으로 감겨진 상태로 되어 있다.(3) is made of a coil-shaped body, and a strand constituting the coil-shaped body is wound around the lead body in a spiral shape.

(4) 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 양단부에 도선 본체 유지부가 설치된 판상체로 이루어지는 것이다.(4) is made of a plate-like body having a conductor body holding portion at both ends thereof.

(5) 상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 봉형상체로 이루어지는 것이며, 상기 도선 본체가 상기 봉형상체를 따라 설치된다.(5) The flexural magnetic shape maintaining line body is formed of a rod-like body, and the lead body is provided along the rod-like body.

본 발명의 고주파 점등형 광원 장치는, 고주파 전력이 공급되는 광원과, 상기 광원에 전기적으로 접속된 급전선을 구비한 고주파 점등형 광원 장치에 있어서,The high frequency lighting type light source device of the present invention is a high frequency lighting type light source device including a light source to which high frequency power is supplied and a power supply line which is electrically connected to the light source,

상기 급전선이, 상기의 고주파용 도선으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.And the feeder line is composed of the high-frequency wire.

본 발명의 고주파 점등형 광원 장치에 있어서는, 상기 광원이, 엑시머 램프인 것이 바람직하다.In the high-frequency lighting type light source apparatus of the present invention, it is preferable that the light source is an excimer lamp.

본 발명의 고주파용 도선은, 복수의 도전성 소선의 다발을 갖는 유연한 도선 본체와, 상기 도선 본체를 따라 배치된 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체로 이루어지는 것이다. 그로 인해, 도선 본체에 있어서, 표피 효과의 발생을 억제할 수 있기 때문에, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있다. 또, 도선 본체가 유연성을 갖는 것임과 더불어, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가 굴곡성을 갖는 것이기 때문에, 수작업으로 용이하게 원하는 형상으로 굴곡시킬 수 있고, 게다가, 그 형상을, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체의 자기 형상 유지성에 의해 유지할 수 있다.The high frequency conductor of the present invention comprises a flexible conductor body having a plurality of bundles of conductive strands and a flexible, magnetic shape maintaining line body disposed along the conductor body. As a result, the occurrence of the skin effect can be suppressed in the conductor body, so that the high-frequency current can be efficiently flown. In addition, since the conductor body has flexibility and the flexible flexible magnetic retaining line body has flexibility, it is possible to easily bend the flexible body into a desired shape by hand, and furthermore, Can be maintained by the magnetic shape retaining property of the magnet.

따라서, 본 발명의 고주파용 도선에 의하면, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있고, 또 뛰어난 형상 가공성 및 뛰어난 형상 유지성, 즉 뛰어난 리드포밍 성능이 얻어진다.Therefore, according to the high frequency conductor of the present invention, it is possible to efficiently flow a high-frequency current and to obtain excellent shape processability and excellent shape-retaining performance, that is, excellent lead forming performance.

본 발명의 고주파 점등형 광원 장치에 있어서는, 고주파 전력이 공급되는 광원에 전기적으로 접속된 급전선으로서, 본 발명의 고주파용 도선이 이용되고 있다. 즉, 급전선으로서, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있음과 더불어, 뛰어난 리드포밍 성능을 갖는 고주파용 도선이 이용되고 있다. 그로 인해, 고주파 점등형 광원 장치의 제조 작업 및 고주파 점등형 광원 장치에 있어서의 구성 부재의 교환 작업을 행할 때에, 사전 혹은 작업 중에, 급전선을 리드포밍할 수 있다. 그 결과, 작업 중에 있어서, 급전선이 처져 다른 부재에 얽히는 일이 없고, 또 전용의 고정 부재를 이용하는 일 없이 급전선을 원하는 위치에 원하는 상태로 배치할 수 있다.In the high frequency lighting type light source apparatus of the present invention, the high frequency conductor of the present invention is used as a power supply line electrically connected to a light source to which high frequency power is supplied. That is, a high-frequency electric wire having an excellent lead-forming performance can be used as the electric wire as well as a high-frequency electric current can be efficiently conducted as the electric wire. Therefore, when performing the manufacturing operation of the high frequency lighting type light source device and the replacing operation of the constituent members in the high frequency lighting type light source device, the lead wires can be lead-formed in advance or during operation. As a result, during the operation, the feeder wire is prevented from being entangled with other members, and the feeder wire can be arranged in a desired state at a desired position without using a dedicated fixing member.

따라서, 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치에 의하면, 광원에 대해 효율적으로 고주파 전력을 공급할 수 있음과 더불어, 높은 생산성 및 메인테넌스 용이성이 얻어진다.Therefore, according to the high-frequency lighting type light source apparatus of the present invention, high-frequency power can be efficiently supplied to the light source, and high productivity and ease of maintenance can be obtained.

도 1은 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치의 구성의 일례를 개념적으로 도시하는 설명도이다.
도 2는 도 1의 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치의 광원으로서 이용되는 엑시머 램프의 구성의 일례를 도시하는 설명도이다.
도 3은 본 발명의 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 유연성을 확인하기 위한 수법을 도시하는 설명도이다.
도 4는 본 발명의 제1 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제1 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.
도 5는 본 발명의 제2 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제2 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.
도 6은 본 발명의 제3 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제3 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.
도 7은 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제4 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제4 고주파용 도선을 구성하는 판상체를 도시하는 설명도이다.
도 8은 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 다른 예를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 다른 예를, 상기 제4 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제4 고주파용 도선을 구성하는 판상체를 도시하는 설명도이다.
도 9는 본 발명의 제5 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제5 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제5 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제5 고주파용 도선을 구성하는 튜브형상체를 도시하는 설명도이다.
도 10은 본 발명의 제6 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제6 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제6 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제6 고주파용 도선을 구성하는 튜브형상부를 도시하는 설명도이다.
도 11은 본 발명의 제7 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제7 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.
도 12는 본 발명의 제8 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제8 고주파용 도선을 구성하는 복수의 도선 본체의 일단이 광원에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.Fig. 1 is an explanatory diagram conceptually showing an example of the configuration of the high-frequency lighting type light source device of the present invention.
2 is an explanatory view showing an example of the configuration of an excimer lamp used as a light source of the high frequency lighting type light source device of the present invention shown in Fig.
3 is an explanatory view showing a method for confirming the flexibility of the lead body constituting the high frequency conductor of the present invention.
4 is an explanatory view showing an example of the configuration of a first high frequency conductor of the present invention in a state in which one end of a conductor body constituting the first high frequency conductor is electrically connected to a light source.
5 is an explanatory view showing an example of the configuration of the second high frequency conductor of the present invention in a state in which one end of the conductor body constituting the second high frequency conductor is electrically connected to the light source.
Fig. 6 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of the third high frequency conductor of the present invention in a state in which one end of the conductor body constituting the third high frequency conductor is electrically connected to the light source.
Fig. 7 is an explanatory view showing an example of the configuration of the fourth high frequency conductor of the present invention, wherein (a) shows an example of the configuration of the fourth high frequency conductor of the present invention, (B) is an explanatory diagram showing a plate-like body constituting the fourth high-frequency conductor wire of (a). Fig. 6 (b) is an explanatory view showing one end of the lead wire body electrically connected to the light source.
Fig. 8 is an explanatory view showing another example of the configuration of the fourth high frequency conductor of the present invention, wherein (a) shows another example of the constitution of the fourth high frequency conductor of the present invention, (B) is an explanatory view showing a plate-like body constituting the fourth high-frequency conductor wire of (a). Fig. 6 (a) is an explanatory diagram showing one end of a constituent conductor body electrically connected to a light source.
Fig. 9 is an explanatory view showing an example of the configuration of the fifth high frequency conductor of the present invention, wherein (a) shows an example of the configuration of the fifth high frequency conductor of the present invention, (B) is an explanatory view showing a tubular body constituting the fifth high-frequency conductor wire of (a). Fig. 6 (b) is an explanatory view showing one end of the lead wire body electrically connected to the light source.
Fig. 10 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of the sixth high frequency conductor of the present invention, wherein (a) shows an example of the configuration of the sixth high frequency conductor of the present invention, (B) is an explanatory diagram showing a tubular top constituting the sixth high frequency conductor of (a). Fig. 6 (b) is an explanatory view showing one end of the conductor body in electrical connection with the light source.
11 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of a seventh high frequency conductor of the present invention in a state in which one end of a conductor body constituting the seventh high frequency conductor is electrically connected to a light source.
Fig. 12 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of an eighth high frequency conductor of the present invention in a state in which one end of a plurality of conductor bodies constituting the eighth high frequency conductor is electrically connected to a light source. Fig.

이하, 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치 및 본 발명의 고주파용 도선의 실시 형태에 대해 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a high frequency lighting type light source apparatus and a high frequency conductor according to the present invention will be described.

도 1은, 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치의 구성의 일례를 개념적으로 도시하는 설명도이다.Fig. 1 is an explanatory diagram conceptually showing an example of the configuration of the high-frequency lighting type light source device of the present invention.

이 고주파 점등형 광원 장치(10)는, 고주파 전력이 공급되고, 그 고주파 전력에 의해 점등되는 광원(고주파 광원)(11)과, 이 고주파 광원(11)에 고주파 전력을 공급하기 위한 전원(12)을 구비하고 있으며, 이들이 급전선(15)을 통해 전기적으로 접속된 것이다.The high frequency lighting type light source device 10 includes a light source 11 (high frequency light source) supplied with high frequency power and lighted by the high frequency power and a power source 12 And they are electrically connected through the feeder line 15. [0050]

고주파 광원(11)으로는, 예를 들어, 엑시머 램프, 형광 램프(구체적으로는, 고주파 점등 전용형 형광 램프) 및 롱 아크형 메탈할라이드 램프 등의 방전 램프, 및, LED 소자 등의 발광 소자 등이 이용된다.Examples of the high-frequency light source 11 include a discharge lamp such as an excimer lamp, a fluorescent lamp (specifically, a fluorescent lamp for exclusive use for high frequency lighting), a long arc type metal halide lamp, and a light emitting element .

이 도면의 예에 있어서, 고주파 광원(11)으로는, 엑시머 램프가 이용되고 있다.In this example of the drawing, an excimer lamp is used as the high-frequency light source 11.

이 엑시머 램프는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 내부에 방전 공간이 형성된, 전체가 한 방향으로 길이가 긴 판형상의 방전 용기(21)를 구비하고 있고, 상기 방전 용기(21)의 방전 공간 내에는, 엑시머용 가스가 기밀로 봉입되어 있다. 방전 용기(21)의 길이 방향을 따라 연장되는 4개의 둘레 측면 중, 한쪽의 폭넓은 둘레 측면(21a)의 외면에는, 그물형상의 고전압측 전극(22)이 배치되고, 상기 둘레 측면(21a)에 대향하는 다른쪽의 폭넓은 둘레 측면의 외면에는, 그물형상의 어스측 전극이 배치되어 있다. 또, 엑시머 램프(방전 용기(21))의 양단의 각각에는, 세라믹제의 베이스(25)가 방전 용기(21)의 일부를 수용하여 유지한 상태로 장착되어 있다.As shown in Fig. 2, this excimer lamp is provided with a plate-shaped discharge vessel 21 having a discharge space in its inside and having a long length in one direction as a whole. The discharge vessel 21 has a discharge space The gas for excimer gas is sealed with airtightness. A high-voltage side electrode 22 in the form of a net is disposed on the outer surface of one wide side surface 21a of the four peripheral side surfaces extending along the longitudinal direction of the discharge vessel 21, Shaped ground electrode is disposed on the outer surface of the other wide side surface opposite to the ground electrode. A ceramic base 25 is mounted on both ends of the excimer lamp (discharge vessel 21) so as to receive and hold a part of the discharge vessel 21.

전원(12)으로는, 고주파 광원(11)에 대해 고주파 전력을 공급할 수 있는 것이 이용된다. 구체적으로는, 고주파 광원(11)으로서 방전 램프가 이용되는 경우에는, 고주파 광원에 대해, 주파수가 수kHz~수백kHz의 교류의 정현파 전력을 공급할 수 있는 것이 이용된다. 여기에, 형광 램프(고주파 점등 전용형 형광 램프)의 점등 주파수는 20~70kHz이며, 엑시머 램프의 점등 주파수는 20~200kHz이다. 또, 고주파 광원(11)으로서 발광 소자(LED 소자)가 이용되는 경우에는, 전원(12)으로서, 고주파 광원(11)에 대해, 맥류의 구형파 전력을 공급할 수 있는 것이 이용된다.As the power supply 12, one capable of supplying high-frequency power to the high-frequency light source 11 is used. Specifically, when a discharge lamp is used as the high-frequency light source 11, it is used that a sinusoidal power of a frequency of several kHz to several hundreds kHz can be supplied to the high-frequency light source. Here, the lighting frequency of the fluorescent lamp (high-frequency lighting-only type fluorescent lamp) is 20 to 70 kHz, and the lighting frequency of the excimer lamp is 20 to 200 kHz. When a light emitting element (LED element) is used as the high frequency light source 11, a power source 12 capable of supplying square wave power of a pulsating current to the high frequency light source 11 is used.

전원(12)의 구체예로는, 고주파 전원, 및 직류 전원과 푸시풀 방식의 인버터 회로를 구비하고, 상기 인버터 회로로부터 고주파 전력을 출력할 수 있는 구성인 것 등을 들 수 있다. 즉, 전원(12)으로는, 인버터 회로의 극성 반전에 있어서 전압이 급준하게 변화하고, 이 급준한 전압 변화에 의해, 고주파 광원(11)에 급준한 전류를 발생시킴으로써, 상기 고주파 광원(11)에 고주파 전력을 공급하는 구성인 것을 이용할 수 있다.Specific examples of the power source 12 include a high frequency power source, a DC power source, and a push-pull type inverter circuit, and can output high frequency power from the inverter circuit. That is, as the power source 12, the voltage is steeply changed in the polarity inversion of the inverter circuit, and the steep current is generated in the high frequency light source 11 by the steep voltage change, Frequency power is supplied to the power-supply unit.

이 도면의 예에 있어서, 전원(12)으로는, 고주파 전원이 이용되고 있다.In this example of the drawing, a high frequency power source is used as the power source 12. [

급전선(15)으로는, 복수의 도전성 소선의 다발(이하, 「소선 다발」이라고도 한다)을 갖는 유연한 도선 본체와, 상기 도선 본체를 따라 배치된 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체로 이루어지는 도선, 즉 본 발명의 고주파용 도선이 이용된다.The feeder wire 15 includes a flexible lead wire body having a bundle of a plurality of conductive wire strands (hereinafter also referred to as " bundle of wire strands "), and a lead wire comprising a flexible bending magnetic shape retaining wire body disposed along the lead wire body, Is used for the high frequency wire.

여기에, 본 명세서 중에 있어서, 「유연한 도선 본체」란, 도 3에 도시하는 바와 같이, 도선 본체(16)를 수평으로 유지한 상태에 있어서, 선단(T)으로부터의 이격 거리(D)가 100mm의 위치를 지점(F)으로 하고, 상기 선단(T)에 10g의 추(19)를 부가했을 때에, 상기 선단(T)의 수하 길이(L)가 10mm 이상이 되는 유연성을 갖는 것을 나타낸다.Here, in the present specification, the term "flexible conductor body" refers to a flexible conductor body in which, when the conductor body 16 is held horizontally and the distance D from the tip end T is 100 mm When the weight F is the point F and 10 g of the weight 19 is added to the tip T, the tip length T of the tip T has flexibility of 10 mm or more.

도 3에 있어서는, 선단(T)에 추(19)가 부가되기 전에 있어서 수평으로 유지된 상태의 도선 본체(16)가 파선에 의해 나타나 있으며, 선단(T)에 추(19)가 부가된 상태의 도선 본체(16)가 실선으로 나타나 있다.3, the wire body 16 in a state in which the wire 19 is held horizontally before the weight 19 is attached to the tip T is indicated by a broken line and a state in which the weight 19 is added to the tip T The conductor body 16 of the first embodiment is shown by a solid line.

소선 다발로는, 복수의 도전성 소선을 간단히 묶은 구성인 것, 및 복수의 도전성 소선을 꼬은 구성인 것 등을 이용할 수 있는데, 복수의 도전성 소선을 꼬은 구성인 것, 혹은 리츠선과 같은 구성인 것(구체적으로는 절연재에 의해 피복된 도전성 소선을 꼬은 구성인 것)이 바람직하다.As the strand bundle, a plurality of conductive strands may be simply bundled, and a plurality of conductive strands may be twisted. In this case, a plurality of conductive strands may be twisted, or a structure such as a Litz wire may be used Specifically, it is preferable that the conductive strand covered with the insulating material is twisted).

소선 다발을 구성하는 도전성 소선의 개수는, 도전성 소선의 외경(단면적) 등에 따라, 또 도전성 소선의 재질, 고주파 광원(11)의 종류 및 고주파 광원(11)에 공급되는 고주파 전력의 주파수 등을 고려하여 적당히 정해진다.The number of conductive strands constituting the bundle of strands depends on the material of the conductive strand, the kind of the high-frequency light source 11, and the frequency of the high-frequency electric power supplied to the high-frequency light source 11, depending on the outer diameter (cross- .

구체적으로, 소선 다발에 있어서의 도전성 소선의 개수는, 예를 들어, 소선 다발의 AWG(American Wire Gauge)값이 18인 경우에는, 7개 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 19개 이상이며 37개 이하이다. 여기에, 본 명세서 중에 있어서, 「소선 다발의 AWG값」이란, 소선 다발을 구성하는 복수의 도전성 소선의 합계 단면적을 나타낸다.Specifically, the number of the conductive strands in the strand bundle is preferably 7 or more, more preferably 19 or more, and more preferably, 37 or more when the American wire gauge (AWG) value of the strand bundle is 18, Or less. In the present specification, the "AWG value of the bundle of strands" refers to the total cross-sectional area of a plurality of conductive strands constituting the bundle of strands.

소선 다발에 있어서, 도전성 소선의 개수가 과소인 경우에는, 표피 효과가 발생하는 것에 기인하여, 소선 다발의 교류 저항(전력 손실)이 커져, 고주파 광원(11)에 대해 높은 효율로 고주파 전력을 공급할 수 없게 될 우려가 있다.When the number of conductive strands is small in the strand bundle, the AC resistance (power loss) of the strand bundle becomes large due to occurrence of the skin effect, and the high frequency power is supplied to the high frequency light source 11 with high efficiency There is a possibility that it can not be done.

또, 도전성 소선의 개수가 과대인 경우에는, 도체 본체에 있어서, 압착 단자 등의 전기 접속 부재를 접속 처리(말단 처리)함으로써, 도전성 소선의 일부에 단선이 발생하고, 그것에 기인하여, 전기 접속 부재와의 접속부에 있어서, 기계적 강도가 작아지고, 또 전기 저항이 커질 우려가 있다.In the case where the number of conductive strands is too large, a disconnection occurs in a part of the conductive strands due to the connection treatment (end treatment) of the electrical connecting member such as a crimping terminal in the conductor body, The mechanical strength may be reduced and the electrical resistance may be increased.

도전성 소선으로는, 연(軟)구리선이 이용된다.As the conductive wire, a soft copper wire is used.

도전성 소선의 외경은, 도선 본체에 있어서의 표피 효과 억제성 및 유연성의 관점으로부터, 0.5mm(φ0.5) 이하인 것이 바람직하다.The outer diameter of the conductive strand is preferably 0.5 mm (? 0.5) or less from the viewpoint of the skin effect suppressing property and the flexibility of the lead wire main body.

도선 본체는, 소선 다발이 절연재로 이루어지는 피복층에 의해 피복되어 이루어지는 것임이 바람직하다.Preferably, the lead wire body is formed by covering a bundle of stranded wires with a coating layer made of an insulating material.

도선 본체가, 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있는 것임으로써, 도선 본체와 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체 사이에 있어서의 절연성을 확보하기 위해, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체의 재질 및 형상, 및 도선 본체와 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체의 위치 관계 등이 한정되는 일이 없기 때문에, 고주파용 도선의 설계의 자유도가 커진다.In order to secure insulation between the lead wire body and the flexible magnetic retaining line body, the lead wire body is covered with a bundle of stranded wire, the material and shape of the flexible self-retaining line body, The positional relationship between the main body and the flexural magnetic shape maintaining line body is not limited, so that the degree of freedom in designing the high frequency conductor is increased.

또, 도전성 본체는, 예를 들어 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가 절연성을 갖는 것으로 여겨지는 것 등에 의해, 상기 도전성 본체와 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가 서로 전기적으로 절연된 상태로 되어 있으면, 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것이어도 된다. 즉, 도전성 본체는, 소선 다발로 이루어지는 것이어도 된다.If the conductive main body and the flexible self-holding linear body are electrically insulated from each other, for example, by the fact that the flexible main magnetic retaining line body is considered to have insulation property, Or may not be covered with the coating layer. That is, the conductive body may be composed of a bundle of stranded wires.

피복층은, 절연성을 가짐과 더불어, 도선 본체를 원하는 유연성을 갖는 것으로 하기 위해, 소선 다발에 근사한 유연성을 갖는 것임이 바람직하다.It is preferable that the coating layer has flexibility that is close to the bundle of wire bundles so as to have insulating property and to have desired flexibility of the lead wire body.

이 피복층을 구성하는 절연재로는, 불소 수지 및 실리콘 등이 이용된다.As the insulating material constituting the coating layer, fluororesin, silicon, or the like is used.

또, 피복층의 두께는, 피복층의 재질 등에 따라, 또 피복층에 필요하게 되는 유연성 등을 고려하여 적당히 정해진다.The thickness of the coating layer is appropriately determined in consideration of the material of the coating layer and the flexibility required for the coating layer.

가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 도선 본체를 따라 배치된 상태에 있어서, 상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가 첨설(添設)된 도선 본체를, 공구를 이용하는 일 없이 수작업으로 원하는 형상으로 굴곡할 수 있고, 그 형상을 유지할 수 있는 굴곡성 자기 형상 유지 기능을 갖는 것이다. 즉, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 뛰어난 굴곡성(형상 가공성)을 가짐과 더불어, 뛰어난 가공 형상 유지성을 갖는 것이다.The bending magnetic shape retaining line body can be bent in a desired shape by hand without using a tool in a state in which the bending magnetic shape retaining line body is disposed along the lead body, And has a bending magnetic shape holding function capable of maintaining the shape thereof. That is, the flexible flexible magnetic retaining line body has excellent bendability (shape processability) and excellent shape retainability.

가굴곡성 자기 형상 유지 라인체의 구체예로는, 후술하는, 여러 가지의 구성인 것을 들 수 있다.Specific examples of the bending magnetic shape retaining line body include various structures described later.

어느 구성의 굴곡성 자기 형상 유지체를 이용하는지는, 도선 본체의 유연성, 도선 본체의 구성(구체적으로는, 예를 들어 도선 본체의 길이 및 외경, 도선 본체를 구성하는 절연재의 종류) 등을 고려하여, 적당히 선택된다.Considering the flexibility of the lead wire body and the configuration of the lead wire body (specifically, for example, the length and outer diameter of the lead wire body, the kind of insulating material constituting the lead wire body) It is appropriately selected.

(제1 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)(First flexible self-retaining line body)

도 4는, 본 발명의 제1 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제1 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.4 is an explanatory view showing an example of the configuration of the first high frequency conductor of the present invention in a state in which one end of a conductor body constituting the first high frequency conductor is electrically connected to a light source (high frequency light source).

이 제1 고주파용 도선(30)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.In this first high frequency conductor 30, one end of the lead body 16 is connected to a base 25 mounted on a high frequency light source 11 (discharge vessel 21) comprising the excimer lamp shown in Fig. 2 And is electrically connected to a high frequency light source (specifically, an external lead) in the base 25. [ The other end of the lead wire body 16 is a free end, and the other end is provided with a crimp terminal 17. The other end of the lead wire body 16 is electrically connected to the power source 12 (see Fig. 1) through the crimp terminal 17. Fig.

이 제1 고주파용 도선(30)을 구성하는 제1 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(31)는, 금속선(32)과 지지 부재(34)로 이루어지고, 금속선(32)이, 지지 부재(34)에 의해 지지 고정됨으로써, 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 지지 부재(34)는, 튜브형상의 형상을 갖고 있으며, 도선 본체(16)와 금속선(32)을 피복하도록 하여, 도선 본체(16) 및 금속선(32)을 따라 연장되도록 배치되어 있다.The first flexible flexible magnetic retaining line body 31 constituting the first high frequency conductor 30 is composed of the metal wire 32 and the support member 34 and the metal wire 32 is connected to the support member 34 So as to extend along the longitudinal direction of the lead wire body 16. The support member 34 has a tubular shape and is disposed so as to extend along the conductor body 16 and the metal wire 32 so as to cover the conductor body 16 and the metal wire 32.

이 제1 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(31)에 있어서, 금속선(32)에는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성이 필요하게 되고, 지지 부재(34)에는, 굴곡성(형상 가공성)이 필요하게 된다.In this first embodiment of the bending magnetic shape retaining line body 31, the metal wire 32 is required to have flexibility (shape processability) and machined shape retaining property, and the support member 34 is required to have flexibility .

금속선(32)으로는, 스테인리스강, 니켈 및 철 등으로 이루어지는 것이 이용된다. 또, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 금속선(32)으로는, 스테인리스강, 니켈 및 철 등으로 이루어지는 금속 소선이 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.As the metal wires 32, those made of stainless steel, nickel, iron, or the like are used. When the wire body 16 is formed of a bundle of strands, that is, the strand bundle is not covered with a covering layer, a metal strand made of stainless steel, nickel, iron, or the like is used as the metal wire 32 Which is covered with an insulating material.

금속선(32)의 길이(전체 길이)는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.The length (total length) of the metal wire 32 is determined depending on the length of the wire body 16 (specifically, the length of the region protruding outward from the base 25), the outer diameter of the wire body 16, And the weight of the lead wire main body 16, and the like.

구체적으로는, 금속선(32)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다. 또, 금속선(32)을 도선 본체(16)와 동일한 정도의 길이인 것으로 하여, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 전역에 금속선(32)을 첨설해도 된다.Specifically, the length of the metal wire 32 is preferably slightly shorter than the length of the wire main body 16 from the viewpoints of handling and ease of operation. The length of the metal wire 32 may be substantially the same as that of the wire body 16 and the metal wire 32 may extend over the entire region of the wire body 16 protruding from the base 25 do.

또, 금속선(32)의 외경은, 금속선(32)의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.The outer diameter of the metal wire 32 can be appropriately determined in consideration of the material of the metal wire 32 and the like in consideration of the dimensions (specifically, the outer diameter and length) of the wire body 16 and the weight of the wire body 16 It is decided.

이 도면의 예에 있어서, 금속선(32)은, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이며, 도선 본체(16)의 중앙부에 배치되어 있다. 즉, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 양단부에는, 금속선(32)이 첨설되어 있지 않다.In this example of the drawing, the metal wire 32 is slightly shorter than the length of the lead body 16, and is disposed at the center of the lead body 16. That is, the metal wire 32 is not extended at the both end portions of the region of the lead wire body 16 protruding from the base 25 to the outside.

지지 부재(34)는, 금속선(32)을, 도선 본체(16)를 따라 연장되는 상태로 지지할 수 있는 것이면 된다. 구체적으로는, 금속선(32)의 길이(전체 길이)와 대략 동등의 길이를 갖는 튜브형상체에 의해 구성되고, 금속선(32)을 전체적 또는 대략 전체적으로 피복하는 것이어도 되고, 또 복수의 튜브형상부에 의해 구성되어 있으며, 상기 복수의 튜브형상부에 의해 금속선(32)을 부분적으로 피복하는 것이어도 된다. 또, 지지 부재(34)는, 반드시 도선 본체(16)에 밀착한 상태로 되어 있지 않아도 되나, 밀착한 상태로 되어 있어도 된다.The supporting member 34 may be any member capable of supporting the metal wire 32 in a state of extending along the wire body 16. Concretely, it may be constituted by a tubular body having a length substantially equal to the length (total length) of the metal wire 32, and may cover the metal wire 32 as a whole or substantially entirely, And the metal wires 32 may be partially covered with the plurality of tubular portions. In addition, the support member 34 is not necessarily in a state of being in tight contact with the lead wire body 16, but it may be in a state of close contact.

이 도면의 예에 있어서, 지지 부재(34)는, 금속선(32)의 길이(전체 길이)보다 약간 짧은 긴 원통형상의 튜브형상체에 의해 구성되어 있으며, 금속선(32)의 중앙부를 피복하고 있다. 즉, 금속선(32)의 양단부는, 지지 부재(34)에 의해 피복되어 있지 않으며, 지지 부재(34)로부터 돌출한 상태로 되어 있다. 또, 지지 부재(34)를 구성하는 튜브형상체는, 금속선(32) 및 도선 본체(16)에 밀착하여 설치되어 있다.In this example of the drawing, the support member 34 is formed by a tubular member of a long cylindrical shape, which is slightly shorter than the length (total length) of the metal wire 32, and covers the central portion of the metal wire 32. In other words, both end portions of the metal wire 32 are not covered with the support member 34, and are projected from the support member 34. The tubular body constituting the support member 34 is provided in close contact with the metal wire 32 and the wire body 16.

지지 부재(34)는, 제1 고주파용 도선(30)을 충분한 굴곡성(형상 가공성)을 갖는 것으로 하기 위해, 금속선(32)과 동등 이상의 굴곡성을 갖는 것임이 바람직하다.It is preferable that the support member 34 has flexibility equal to or higher than that of the metal wire 32 in order to make the first high frequency conductor 30 have sufficient flexibility (workability).

이 지지 부재(34)의 재질로는, 폴리올레핀 수지, 불소 수지, 열가소성 일래스터머 및 실리콘 등을 들 수 있다. 또, 지지 부재(34)를, 금속선(32) 및 도선 본체(16)에 밀착하여 설치하기 위해서는, 지지 부재 형성 재료로서, 열수축 튜브를 이용할 수도 있다.Examples of the material of the support member 34 include a polyolefin resin, a fluororesin, a thermoplastic one-raster and silicon. It is also possible to use a heat-shrinkable tube as a material for forming the support member 34 so as to be in close contact with the metal wire 32 and the lead wire body 16.

또, 지지 부재(34)의 두께는, 지지 부재(34)의 재질 등에 따라, 또 지지 부재(34)에 필요하게 되는 굴곡성 등을 고려하여 적당히 정해진다.The thickness of the support member 34 is appropriately determined in consideration of the material of the support member 34 and the like and also in consideration of the flexibility required for the support member 34 and the like.

이 도면의 예에 있어서, 지지 부재(34)는, 지지 부재 형성 재료로서 열수축 튜브를 이용함으로써 얻어진 것이다.In this example of the drawing, the support member 34 is obtained by using a heat-shrinkable tube as a material for forming the support member.

(제2 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)(Second flexural magnetic shape maintaining line body)

도 5는, 본 발명의 제2 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제2 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.5 is an explanatory view showing an example of the configuration of a second high frequency conductor of the present invention in a state in which one end of a conductor body constituting the second high frequency conductor is electrically connected to a light source (high frequency light source).

이 제2 고주파용 도선(35)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.In this second high frequency lead wire 35, one end of the lead body 16 is connected to the base 25 mounted on the high frequency light source 11 (discharge vessel 21) comprising the excimer lamp shown in Fig. 2 And is electrically connected to a high frequency light source (specifically, an external lead) in the base 25. [ The other end of the lead wire body 16 is a free end, and the other end is provided with a crimp terminal 17. The other end of the lead wire body 16 is electrically connected to the power source 12 (see Fig. 1) through the crimp terminal 17. Fig.

이 제2 고주파용 도선(35)을 구성하는 제2 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성을 갖는, 원통형상의 튜브형상체(36)로 이루어지고, 상기 튜브형상체(36)의 내부에, 도선 본체(16)가 삽입 설치됨으로써, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 이 튜브형상체(36)는, 일단부(도 5에 있어서의 오른쪽 단부)가, 베이스(25)에 매설됨으로써 상기 베이스(25)에 지지 고정되어 있다.The second flexible flexible magnetic retaining line body constituting the second high frequency lead wire 35 is composed of a cylindrical tubular body 36 having flexibility (shape processability) and machined shape retainability, and the tubular body 36 are arranged so as to extend along the longitudinal direction of the lead wire body 16 by inserting the lead wire body 16 therein. The tubular member 36 is supported and fixed to the base 25 by being embedded in the base 25 at one end (the right end in Fig. 5).

튜브형상체(36)는, 금속으로 이루어지는 것, 또는 수지로 이루어지는 것으로 여겨진다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 튜브형상체(36)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 튜브형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.The tubular body 36 is considered to be made of metal or resin. Particularly, in the case where the wire body 16 is made of a bundle of strands, that is, the strand bundle is not covered with the covering layer, the tubular body 36 may be made of a resin (specifically, an insulating resin) Or a tubular substrate made of metal is covered with an insulating material.

튜브형상체(36)를 구성하는 수지로는, 폴리테트라플루오로에틸렌 수지 및 실리콘 수지 등을 들 수 있다.Examples of the resin constituting the tubular body 36 include polytetrafluoroethylene resin, silicone resin and the like.

튜브형상체(36)를 구성하는 금속으로는, 알루미늄, 구리 및 철 등을 들 수 있다. 또, 튜브형상체(36)가 금속으로 이루어지는 것인 경우에는, 그 금속제의 튜브형상체(36)는, 굴곡성(형상 가공성)의 관점으로부터, 소둔 처리된 것이 바람직하다.Examples of the metal constituting the tubular body 36 include aluminum, copper and iron. When the tubular body 36 is made of metal, it is preferable that the metal tubular body 36 is subjected to annealing treatment from the viewpoint of flexibility (shape workability).

튜브형상체(36)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이로서, 이하, 「돌출 길이」라고도 한다)는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다. 구체적으로는, 튜브형상체(36)의 돌출 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다.The length of the tubular body 36 (specifically, the length of the region protruding outward from the base 25, hereinafter also referred to as the "protruding length") is a length of the lead body 16 (specifically, The length of the region protruding from the base 25 to the outside), the outer diameter of the wire body 16, the weight of the wire body 16, and the like. Specifically, the projecting length of the tubular body 36 is preferably slightly shorter than the length of the lead body 16 from the viewpoints of handling and ease of operation.

또, 튜브형상체(36)의 내경은, 도선 본체(16)의 외경에 적합한 크기가 된다.The inner diameter of the tubular body 36 is set to a size suitable for the outer diameter of the lead wire body 16.

또, 튜브형상체(36)의 두께는, 튜브형상체(36)의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.The thickness of the tubular member 36 is determined in consideration of the material of the tubular member 36 and the like and also the dimensions (specifically, the outer diameter and length) of the conductive wire body 16 and the weight of the conductive wire body 16 .

이 도면의 예에 있어서, 튜브형상체(36)는, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이고, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 일단부(도 5에 있어서의 오른쪽 단부) 및 중앙부를 건너지르는 영역에 배치되어 있다. 즉, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 타단부(도 5에 있어서의 왼쪽 단부)에는, 튜브형상체(36)가 배치되어 있지 않으며, 상기 타단부는, 튜브형상체(36)로부터 돌출한 상태로 되어 있다.The tubular body 36 is slightly shorter than the length of the lead body 16 and is provided at one end portion of the region of the lead body 16 protruding from the base 25 5) and an area across the center. That is, the tubular body 36 is not disposed at the other end (left end in Fig. 5) of the region of the lead body 16 projecting outward from the base 25, and the other end , And is projected from the tubular member (36).

(제3 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)(The third curved magnetic shape maintaining line body)

도 6은, 본 발명의 제3 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제3 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.6 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of a third high frequency conductor of the present invention in a state in which one end of a conductor body constituting the third high frequency conductor is electrically connected to a light source (high frequency light source).

이 제3 고주파용 도선(40)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.In this third high frequency lead wire 40, one end of the lead body 16 is connected to a base 25 mounted on a high frequency light source 11 (discharge vessel 21) comprising an excimer lamp shown in Fig. 2 And is electrically connected to a high frequency light source (specifically, an external lead) in the base 25. [ The other end of the lead wire body 16 is a free end, and the other end is provided with a crimp terminal 17. The other end of the lead wire body 16 is electrically connected to the power source 12 (see Fig. 1) through the crimp terminal 17. Fig.

이 제3 고주파용 도선(40)을 구성하는 제3 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성을 갖는, 비탄성 재료제의 소선으로 이루어지는 코일형상체(41)로 이루어지고, 상기 코일형상체(41)가, 상기 소선이 도선 본체(16)의 외주면에 나선형상으로 감겨진 상태로, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다.The third flexible flexible magnetic retaining line body constituting the third high frequency lead wire 40 is formed of a coiled body 41 made of a wire made of a non-elastic material and having flexibility (workability) and shape retainability And the coil shaped body 41 is arranged so as to extend along the longitudinal direction of the lead wire body 16 in a state where the coil wire is helically wound on the outer circumferential surface of the lead wire body 16. [

여기에, 제3 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(코일형상체(41))를 도선 본체(16)에 배치하는 방법의 일례로는, 도선 본체(16)와, 코일형상체(41)를 형성하기 위한 소선을 준비하고, 도선 본체(16)의 외주면에, 상기 도선 본체(16)의 일단부측으로부터 타단부측을 향해 소선을 나선형상으로 감는 수법이 이용된다. 또, 다른 방법으로는, 도선 본체(16)와, 상기 도선 본체(16)의 외경과 대략 동등의 내경(코일 내경)을 갖는 코일형상체(41)를 준비하고, 코일형상체(41)의 내부에, 도선 본체(16)를 삽입하는 수법이 이용된다.An example of a method of disposing the third flexible flexible retaining line body (coil shaped body 41) in the lead body 16 includes a step of forming the lead body 16 and the coil shaped body 41 And winding a wire element into a spiral shape from the one end side of the wire body 16 toward the other end side is used on the outer peripheral surface of the wire body 16. [ Alternatively, the conductor body 16 and the coil-shaped body 41 having an inner diameter (coil inner diameter) substantially equal to the outer diameter of the conductor body 16 are prepared, and the coil- A method of inserting the lead wire body 16 is used.

코일형상체(41)를 구성하는 소선에는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성이 필요하게 된다.The bobbins constituting the coil-shaped body 41 are required to have bendability (shape processability) and machined shape retainability.

그리고, 코일형상체(41)를 구성하는 소선으로는, 스테인리스강, 니켈, 철, 구리, 알루미늄 등의 금속 및 수지 등으로 이루어지는 것이 이용된다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 코일형상체(41)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 코일형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.As the elementary wire constituting the coil-shaped body 41, a metal such as stainless steel, nickel, iron, copper, aluminum and resin is used. Particularly, in the case where the conductor body 16 is formed of a bundle of stranded wires, that is, the strand bundle is not covered with a covering layer, the coiled body 41 may be made of resin (specifically, an insulating resin) , Or a coil-shaped substrate made of a metal covered with an insulating material is used.

코일형상체(41)의 길이(전체 길이)는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다. 구체적으로는, 코일형상체(41)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다.The length (total length) of the coil shaped body 41 is determined depending on the length of the lead wire body 16 (specifically, the length of the region protruding outward from the base 25) The outer diameter, and the weight of the lead wire body 16, and the like. Concretely, the length of the coil shaped body 41 is preferably slightly shorter than the length of the lead wire body 16 from the viewpoints of handling and ease of operation.

또, 코일형상체(41)를 구성하는 소선의 외경은, 소선의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이, 코일 피치), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.The outer diameter of the strand constituting the coil-shaped body 41 is determined depending on the material of the strand and the dimensions of the wire body 16 (specifically, the outer diameter and length, the coil pitch) Weight and so on.

이 도면의 예에 있어서, 코일형상체(41)는, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이며, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 중앙부에 배치되어 있다. 즉, 도선 본체(16)에 있어서의 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 양단부에는, 코일형상체(41)가 배치되어 있지 않으며, 상기 양단부는, 코일형상체(41)로부터 돌출된 상태로 되어 있다.The coil shaped body 41 is slightly shorter than the length of the lead body 16 and is arranged at the center of a region of the lead body 16 projecting outward from the base 25 . That is, the coil-shaped body 41 is not disposed at both ends of the region of the lead body 16 projecting outwardly from the base 25, and both ends of the coil-shaped body 41 protrude from the coil- State.

(제4 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)(Fourth flexural magnetic retaining line body)

도 7은, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제4 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제4 고주파용 도선을 구성하는 판상체를 도시하는 설명도이다. 또, 도 8은, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 다른 예를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제4 고주파용 도선의 구성의 다른 예를, 상기 제4 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제4 고주파용 도선을 구성하는 판상체를 도시하는 설명도이다.Fig. 7 is an explanatory view showing an example of the configuration of a fourth high frequency conductor of the present invention, wherein (a) shows an example of the configuration of the fourth high frequency conductor of the present invention, (High frequency light source), and FIG. 5 (b) is an explanatory view showing a plate-like body constituting the fourth high frequency conductor of FIG. 5 (a). Fig. 8 is an explanatory diagram showing another example of the configuration of the fourth high frequency conductor of the present invention. Fig. 8 (a) shows another example of the configuration of the fourth high frequency conductor of the present invention, (B) is a plan view showing a plate-like body constituting the fourth high-frequency lead wire of (a), and Fig. 5 (b) is a plan view showing a state where one end of the lead body constituting the lead wire is electrically connected to a light source Fig.

이들 제4 고주파용 도선(43, 46)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.One end of the lead body 16 is connected to a base 25 (see FIG. 2) mounted on a high-frequency light source 11 (discharge vessel 21) comprising an excimer lamp shown in FIG. And is electrically connected to a high-frequency light source (specifically, an external lead) in the base 25. The high- The other end of the lead wire body 16 is a free end, and the other end is provided with a crimp terminal 17. The other end of the lead wire body 16 is electrically connected to the power source 12 (see Fig. 1) through the crimp terminal 17. Fig.

이들 제4 고주파용 도선(43, 46)을 구성하는 제4 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 모두, 적어도 양단부의 각각에 도선 본체 유지부가 설치된, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성을 갖는 판상체(44, 47)로 이루어지고, 상기 판상체(44, 47)가, 복수의 도선 본체 유지부에 있어서 지지 고정됨으로써, 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 이 판상체(44, 47)에 있어서, 도선 본체 유지부가 양단부 이외의 영역, 구체적으로는, 양단부에 설치된 도선 본체 유지부의 사이의 영역에 설치되는 경우에 있어서, 상기 영역에 있어서의 도선 본체 유지부의 배치 위치는, 상기 판상체(44, 47)의 길이 등에 따라 적당히 정해진다.The fourth flexible flexible magnetic retaining line bodies constituting the fourth high frequency conductors 43 and 46 are all formed of a plate having a bendability (shape processability) and a shape retaining property provided with a lead body main body holding portion at least at both ends, And the upper plate 44 and the lower plate 47 are arranged so as to extend along the longitudinal direction of the lead body 16 by being supported and fixed by the plurality of lead body holding portions. In the case where the conductive body holding portions are provided in regions other than both ends, specifically, between the conductive body holding portions provided at both ends of the plate bodies 44 and 47, the conductive body holding portions of the conductive body holding portions The arrangement position is appropriately determined in accordance with the length of the plate bodies 44, 47 and the like.

도 7의 예에 있어서, 판상체(44)는, 길이가 긴 직사각형 평판 형상 기체(45A)를 갖고 있으며, 이 직사각형 평판 형상 기체(45A)의 양단부의 각각에 도선 본체 유지부가 설치된 것이다. 각 도선 본체 유지부는, 직사각형 평판 형상 기체(45A)의 길이측 가장자리의 각각으로부터 판상체(44)의 길이 방향(직사각형 평판 형상 기체(45A)의 길이 방향)과 직교하는 방향으로 연장되는 2개의 직사각형 판편(45B, 45B)으로 이루어지고, 이들 직사각형 판편(45B, 45B)이 도선 본체(16)에 감기도록 굴곡됨으로써, 상기 도선 본체(16)를 지지하는 것이다. 2개의 직사각형 판편(45B, 45B)은, 도선 본체(16)에 감기도록 굴곡된 상태에 있어서, 서로 겹치는 일 없이, 근접하도록 배치되어 있다. 한편, 도 8의 예에 있어서, 판상체(47)는, 길이가 긴 직사각형 평판 형상인 것이며, 양단부의 각각에는 도선 본체 유지부가 설치되어 있다. 그리고, 각 도선 본체 유지부는, 판상체(47)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 평행하게 연장되는 2개의 절입에 의해 구획된 부분(47a, 47a)을 비틀림 가공하여 팽출시킴으로써 형성된 터널형상의 공간(48, 48)에, 도선 본체(16)를 삽입 통과시켜 협지함으로써, 상기 도선 본체(16)를 지지하는 것이다.In the example of Fig. 7, the plate member 44 has a rectangular plate-like base body 45A having a long length, and each of the both end portions of the rectangular plate-like base body 45A is provided with a lead body holding portion. Each of the lead wire body holding portions has two rectangles extending in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the plate-like member 44 (the longitudinal direction of the rectangular plate-like base member 45A) from each of the longitudinal side edges of the rectangular plate- And the rectangular plate pieces 45B and 45B are bent so as to be wound around the wire body 16 to thereby support the wire body 16. [ The two rectangular plate pieces 45B and 45B are arranged so as to be close to each other without being overlapped with each other in a bent state so as to be wound around the lead wire body 16. [ On the other hand, in the example of Fig. 8, the plate member 47 is a rectangular flat plate having a long length, and each of the both end portions is provided with a lead body holding portion. Each of the conductor main body holding portions is formed in a tunnel-shaped space (not shown) formed by twisting the portions 47a and 47a divided by two notches extending in parallel to the longitudinal direction of the plate- 48, and 48, by inserting and holding the wire body 16, the wire body 16 is supported.

판상체(44, 47)로는, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체에 필요하게 되는 굴곡성 자기 형상 유지 기능에 따른 적당한 재질인 것을 이용할 수 있다.As the plate members 44 and 47, a suitable material according to the bending magnetic shape holding function required for the flexible bending magnetic shape maintaining line body can be used.

구체적으로는, 판상체(44, 47)로는, 스테인리스강, 니켈, 철, 구리, 알루미늄 등의 금속 및 수지 등으로 이루어지는 것이 이용된다. 혹은, 세라믹스 등 복수의 소재를 조합한 것을 이용할 수도 있다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 판상체(44, 47)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 수지(구체적으로는 절연성 수지)와 세라믹스(구체적으로는 절연성 세라믹스)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 판형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.Specifically, the plate members 44 and 47 are made of a metal such as stainless steel, nickel, iron, copper, aluminum, or a resin. Alternatively, a combination of a plurality of materials such as ceramics may be used. Particularly, in the case where the conductor body 16 is formed of a bundle of stranded wires, that is, the bundle of stranded wires is not covered with a covering layer, the plate bodies 44 and 47 are preferably made of resin (specifically, , A substrate made of a resin (specifically, an insulating resin) and ceramics (specifically, an insulating ceramics), or a substrate made of a metal covered with an insulating material is used.

판상체(44, 47)의 길이(전체 길이)는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 도선 본체(16)의 무게, 및 도선 본체 유지부의 구성 등을 고려하여 적당히 정해진다. 구체적으로는, 판상체(44, 47)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다.The length (total length) of the plate bodies 44 and 47 depends on the length of the lead body 16 (specifically, the length of the region protruding from the base 25) The weight of the wire body 16, and the configuration of the wire body holding portion, and the like. Specifically, the lengths of the plate bodies 44 and 47 are preferably slightly shorter than the length of the lead body 16 from the viewpoints of handling and ease of operation.

또, 판상체(44, 47)의 폭은, 판상체(44, 47)의 재질, 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체 유지부의 구성 등에 따라 적당히 정해진다.The width of the plate bodies 44 and 47 is appropriately determined in accordance with the material of the plate members 44 and 47, the outer diameter of the lead body 16, and the configuration of the lead body holding unit.

또, 판상체(44, 47)의 두께는, 판상체(44, 47)의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 도선 본체(16)의 무게, 및 도선 본체 유지부의 구성 등을 고려하여 적당히 정해진다.The thicknesses of the plate bodies 44 and 47 are determined depending on the material of the plate members 44 and 47 and the dimensions of the conductive body 16 (specifically, the outer diameter and length), the weight of the conductive body 16 And the configuration of the lead wire body holding portion, and the like.

(제5 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)(Fifth flexural magnetic retaining line body)

도 9는, 본 발명의 제5 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제5 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제5 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제5 고주파용 도선을 구성하는 튜브형상체를 도시하는 설명도이다.Fig. 9 is an explanatory view showing an example of the configuration of the fifth high frequency conductor of the present invention, wherein (a) shows an example of the configuration of the fifth high frequency conductor of the present invention, Fig. 5B is an explanatory diagram showing a tubular body constituting the fifth high frequency conductor of Fig. 5A. Fig. 6A is a schematic view showing a state where one end of the conductor body is electrically connected to a light source (high frequency light source)

이 제5 고주파용 도선(50)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.In the fifth high frequency conductor 50, one end of the lead body 16 is connected to the base 25 mounted on the high frequency light source 11 (discharge vessel 21) comprising the excimer lamp shown in Fig. 2 And is electrically connected to a high frequency light source (specifically, an external lead) in the base 25. [ The other end of the lead wire body 16 is a free end, and the other end is provided with a crimp terminal 17. The other end of the lead wire body 16 is electrically connected to the power source 12 (see Fig. 1) through the crimp terminal 17. Fig.

이 제5 고주파용 도선(50)을 구성하는 제5 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 복수의 튜브형상부(52A, 52B, 52C)가 힌지부(53A, 53B)를 통해 연결되어 이루어지는 튜브형상체(51)로 이루어지고, 상기 튜브형상체(51)의 내부에, 도선 본체(16)가 삽입 설치됨으로써, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 여기에, 튜브형상체(51)는, 일부에 절결부를 갖는 것이어도 된다. 구체적으로는, 튜브형상체(51)를 구성하는 튜브형상부(52A, 52B, 52C)가, 각각, 튜브형상부의 축방향으로 연장되는 절결부를 갖는 것이어도 된다. 이 튜브형상체(51)는, 힌지부(53A, 53B)에 있어서 굴곡하는 것이다. 즉, 튜브형상체(51)는, 힌지부(53A, 53B)에 있어서의 힌지 굴곡에 의해 굴곡성(형상 가공성)이 발현됨과 더불어, 힌지부(53A, 53B)에 있어서의 힌지 굴곡 유지에 의해 가공 형상 유지성이 발현되는 것이다.The fifth flexible flexible magnetic retaining line body constituting the fifth high frequency lead wire 50 is constituted by a tubular body 52A, 52B, 52C connected via hinge portions 53A, 53B, 51 and is arranged so as to extend along the longitudinal direction of the lead body 16 by inserting the lead body 16 inside the tubular member 51. [ Here, the tubular member 51 may have a notch in a part thereof. Specifically, the tubular portions 52A, 52B, and 52C constituting the tubular body 51 may each have a notch portion extending in the axial direction of the tubular upper portion. The tubular member 51 is bent in the hinge portions 53A and 53B. In other words, the tubular body 51 has flexibility (workability) due to the hinge bending of the hinge portions 53A and 53B and the bending of the hinge portions 53A and 53B, And maintainability is expressed.

여기에, 제5 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(튜브형상체(51))를 제조하는 방법의 일례로는, 힌지 굴곡성(형상 가공성) 및 힌지 굴곡 유지성(가공 형상 유지성)을 갖는, 통형상의 튜브형상체 재료를 준비하고, 그 튜브형상체 재료에, 상기 튜브형상체 재료의 경방향으로 연장되는 절입부를 형성하는 수법을 들 수 있다. 이 수법에 있어서, 힌지부(53A, 53B)는, 절입 잔부에 의해 형성된다. 또, 힌지부의 원주 방향의 위치는 형상 가공 방향에 의해 적당히 정해진다.As an example of a method for manufacturing the fifth flexible magnetic retaining line body (tubular body 51), there is a method of manufacturing a flexible tubular body 51 having a hinge bendability (shape processability) and a hinge flexure retainability (process shape retainability) A method of preparing an upper body material and forming a notch extending in the radial direction of the tubular body material on the tubular body material. In this method, the hinge portions 53A and 53B are formed by the remainder. The position of the hinge portion in the circumferential direction is appropriately determined by the shape processing direction.

이 도면의 예에 있어서, 튜브형상체(51)는, 원통형상의 튜브형상체 재료의 관축과 수직인 방향으로 연장되는 절삭부를 2개 형성함으로써 얻어진 것이고, 3개의 튜브형상부(52A, 52B, 52C)와 2개의 힌지부(53A, 53B)에 의해 구성되어 있다. 그리고, 2개의 힌지부(53A, 53B)는, 제1 튜브형상부(52A)와 제3 튜브형상부(52C)를, 제2 튜브형상부(52B)에 대해 직각으로 굴곡시킨 상태에 있어서, 제1 튜브형상부(52A)의 관축과 제3 튜브형상부(52C)의 관축이, 제2 튜브형상부(52B)의 관축 방향에서 보았을 때에, 동일 직선 상에 위치하도록 배치되어 있다.In this example of the drawing, the tubular body 51 is obtained by forming two cuts extending in the direction perpendicular to the tube axis of the cylindrical tubular body material. The tubular body 51 has three tubular portions 52A, 52B, And is constituted by three hinge portions 53A and 53B. The two hinge portions 53A and 53B are formed so that the first tubular portion 52A and the third tubular portion 52C are bent at right angles to the second tubular portion 52B, The tube axis of the upper portion 52A and the tube axis of the third tubular portion 52C are arranged so as to be located on the same straight line when viewed from the tube axis direction of the second tubular portion 52B.

튜브형상체(51)로는, 스테인리스강, 니켈, 철, 구리, 알루미늄 등의 금속 및 수지 등으로 이루어지는 것이 이용된다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 튜브형상체(51)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 튜브형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.As the tubular member 51, a member made of a metal such as stainless steel, nickel, iron, copper, aluminum, or a resin is used. Particularly, in the case where the wire body 16 is composed of a bundle of strands, that is, the strand bundle is not covered with the covering layer, the tubular body 51 may be made of a resin (specifically, an insulating resin) Or a tubular substrate made of metal is covered with an insulating material.

튜브형상체(51)의 길이는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다. 구체적으로는, 튜브형상체(51)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다. 그리고, 튜브형상체(51)를 구성하는 복수의 튜브형상부(52A, 52B, 52C)의 길이는, 튜브형상체(51), 즉 제5 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체에 있어서 필요하게 되는 굴곡성(형상 가공성)(구체적으로는, 굴곡 가능 부위) 등을 고려하여 적당히 정해진다. 여기에, 복수의 튜브형상부(52A, 52B, 52C)는, 전부가 동일한 길이를 갖는 것이어도 되고, 적어도 일부가 상이한 길이를 갖는 것이어도 된다.The length of the tubular member 51 is determined depending on the length of the lead wire body 16 (specifically, the length of the region protruding from the base 25 to the outside), the outer diameter of the lead wire body 16, The weight of the body 16 and the like. Specifically, the length of the tubular member 51 is preferably slightly shorter than the length of the lead body 16 from the viewpoints of handleability and ease of operation. The lengths of the plurality of tubular sections 52A, 52B and 52C constituting the tubular member 51 are determined by the flexibility (shape workability) required for the tubular member 51, that is, ) (Specifically, a bendable portion), and the like. Here, the plurality of tubular portions 52A, 52B, and 52C may all have the same length, or at least some may have different lengths.

또, 튜브형상체(51)의 내경은, 도선 본체(16)의 외경에 적합한 크기가 된다.The inner diameter of the tubular member 51 is a size suitable for the outer diameter of the lead body 16.

또, 튜브형상체(51)의 두께는, 튜브형상체(51)의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.The thickness of the tubular member 51 is determined in consideration of the material of the tubular member 51 and the like and also the dimensions (specifically, the outer diameter and length) of the conductive wire body 16 and the weight of the conductive wire body 16 .

이 도면의 예에 있어서, 튜브형상체(51)는, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이다. 또, 튜브형상체(51)의 내경은, 도선 본체(16)의 외경보다 약간 대경이며, 압착 단자(17)의 외경(최대 외경)보다 소경으로 되어 있다. 그리고, 튜브형상체(51)는, 3개의 튜브형상부(52A, 52B, 52C)의 관축이 일치한 상태에 있어서, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 슬라이드 가능하게 배치되어 있다.In this example of the drawing, the tubular member 51 is slightly shorter than the length of the lead body 16. [ The inner diameter of the tubular member 51 is slightly larger than the outer diameter of the lead body 16 and is smaller than the outer diameter (maximum outer diameter) of the crimp terminal 17. The tubular member 51 is arranged so as to be slidable along the longitudinal direction of the lead body 16 in a state in which the tube shafts of the three tubular members 52A, 52B and 52C coincide with each other.

(제6 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)(Sixth flexural magnetic retaining line body)

도 10은, 본 발명의 제6 고주파용 도선의 구성의 일례를 도시하는 설명도로서, (a)는, 본 발명의 제6 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제6 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이며, (b)는, (a)의 제6 고주파용 도선을 구성하는 튜브형상부를 도시하는 설명도이다.Fig. 10 is an explanatory view showing an example of the configuration of the sixth high frequency conductor of the present invention, wherein (a) shows an example of the configuration of the sixth high frequency conductor of the present invention, (High frequency light source). Fig. 5 (b) is an explanatory diagram showing a tubular top constituting the sixth high frequency conductor of Fig. 5 (a).

이 제6 고주파용 도선(55)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.In this sixth high frequency conductor 55, one end of the lead body 16 is connected to a base 25 mounted on a high frequency light source 11 (discharge vessel 21) comprising an excimer lamp shown in Fig. 2 And is electrically connected to a high frequency light source (specifically, an external lead) in the base 25. [ The other end of the lead wire body 16 is a free end, and the other end is provided with a crimp terminal 17. The other end of the lead wire body 16 is electrically connected to the power source 12 (see Fig. 1) through the crimp terminal 17. Fig.

이 제6 고주파용 도선(55)을 구성하는 제6 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 복수의 튜브형상부(57A, 57B, 57C)가 고정 부재(58)에 의해 연결되어 이루어지는 튜브형상체(56)로 이루어지고, 상기 튜브형상체(56)의 내부에, 도선 본체(16)가 삽입 설치됨으로써, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 이 튜브형상체(56)는, 고정 부재(58)에 의해 형성되는, 서로 인접하는 튜브형상부의 접속부를 회전 지점으로 하여 굴곡하는 것이다. 즉, 튜브형상체(56)는, 접속부에 있어서의 굴곡에 의해 굴곡성(형상 가공성)이 발현됨과 더불어, 상기 접속부에 있어서 발생하는 마찰에 의해 가공 형상 유지성이 발현되는 것이다.The sixth flexible flexible retaining line body constituting the sixth high frequency lead wire 55 is a tubular body 56 formed by connecting a plurality of tubular top portions 57A, 57B and 57C by a fixing member 58, And the conductive body 16 is inserted into the tubular body 56 so as to extend along the longitudinal direction of the conductive body 16. [ The tubular member 56 is bent by using the connecting portion of the tubular upper portion adjacent to each other formed by the fixing member 58 as a rotation point. In other words, the tubular body 56 exhibits bendability (workability) due to the bending of the connection portion, and the machined shape retaining property is expressed by the friction generated at the connection portion.

이 도면의 예에 있어서, 튜브형상체(56)는, 대략 타원통형상의 3개의 튜브형상부(57A, 57B, 57C)와 2개의 고정 부재(58)에 의해 구성되어 있다. 튜브형상부(57A, 57B, 57C)는, 각각, 타원통부(57a)와, 이 타원통부(57a)의 일단으로부터, 서로 대향하여 상기 타원통부(57a)의 길이 방향 외방으로 돌출하여 연장되는 대략 직사각형형상의 선단부(57b, 57b)를 갖고 있다. 이들 선단부(57b, 57b)의 일단측(도 10(b)에 있어서의 오른쪽 단측)에는, 원 형상의 고정용 구멍(59A, 59A)이, 서로 대향하여 형성되어 있다. 또, 타원통부(57a)의 타단측(도 10에 있어서의 왼쪽 단측)에는, 고정용 구멍(59A, 59A)에 있어서의 타원통부(57a)의 길이 방향으로 연장되는 중심선의 연장선 상의 각각에, 원 형상의 고정용 구멍(59B)이, 서로 대향하여 형성되어 있다. 그리고, 제1 튜브형상부(57A)에 있어서의 고정용 구멍(59B)과 제2 튜브형상부(57B)에 있어서의 고정용 구멍(59A)에 공통의 고정 부재(58)가 삽입 설치됨으로써 제1 튜브형상부(57A)와 제2 튜브형상부(57B)가 접속되고, 또, 제2 튜브형상부(57B)에 있어서의 고정용 구멍(59B)과 제3 튜브형상부(57C)에 있어서의 고정용 구멍(59A)에 공통의 고정 부재(58)가 삽입 설치됨으로써 제2 튜브형상부(57B)와 제3 튜브형상부(57C)가 접속되어 있다.In this example of the drawing, the tubular member 56 is constituted by three tubular tops 57A, 57B, 57C and two fixing members 58 in a substantially tapered cylindrical shape. Each of the tubular portions 57A, 57B and 57C includes an elliptic cylindrical portion 57a and a substantially rectangular shape extending from the one end of the elliptical cylindrical portion 57a to protrude outward in the longitudinal direction of the elliptical cylindrical portion 57a, Shaped distal end portions 57b and 57b. Circular fixing holes 59A and 59A are formed opposite to each other at one end side (the right end side in Fig. 10 (b)) of the front end portions 57b and 57b. On the other end side (the left end side in Fig. 10) of the elliptic cylinder portion 57a, on the extension line of the center line extending in the longitudinal direction of the elliptical cylinder portion 57a in the fixing holes 59A, 59A, Circular fixing holes 59B are formed so as to face each other. A fixing member 58 common to the fixing hole 59B in the first tubular portion 57A and the fixing hole 59A in the second tubular portion 57B is inserted into the first tube- An upper portion 57A and a second tubular portion 57B are connected and the fixing hole 59B in the second tubular portion 57B and the fixing hole 59A in the third tubular portion 57C The second tubular upper portion 57B and the third tubular upper portion 57C are connected to each other.

튜브형상체(56)를 구성하는 튜브형상부(57A, 57B, 57C)로는, 스테인리스강, 니켈, 철, 구리, 알루미늄 등의 금속, 수지 및 세라믹스 등으로 이루어지는 것이 이용된다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 튜브형상체(56)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 세라믹스(구체적으로는 절연성 세라믹스)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 튜브형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다. 여기에, 튜브형상부(57A, 57B, 57C)는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성을 갖는 것이어도 되나, 굴곡성 및 가공 형상 유지성을 갖지 않는 것이어도 된다.As the tubular portions 57A, 57B and 57C constituting the tubular body 56, those made of metals such as stainless steel, nickel, iron, copper and aluminum, resins and ceramics are used. Particularly, in the case where the conductor body 16 is composed of a bundle of strands, that is, the strand bundle is not covered with the covering layer, the tubular body 56 may be made of a resin (specifically, an insulating resin) A material made of ceramics (specifically, an insulating ceramics), or a material in which a tube-like base made of metal is covered with an insulating material is used. Here, the tubular portions 57A, 57B, and 57C may have flexibility (shape processability) and process shape retainability, but may not have flexibility and machined shape retainability.

튜브형상체(56)의 길이는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라, 또 도선 본체(16)의 외경, 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다. 구체적으로는, 튜브형상체(56)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이 바람직하다. 그리고, 튜브형상체(56)를 구성하는 복수의 튜브형상부(57A, 57B, 57C)는, 튜브형상체(56), 즉 제6 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체에 있어서 필요하게 되는 굴곡성(형상 가공성)(구체적으로는, 굴곡 가능 부위) 등을 고려하여 적당히 정해진다. 여기에, 복수의 튜브형상부(57A, 57B, 57C)는, 전부가 동일한 길이를 갖는 것이어도 되고, 적어도 일부가 상이한 길이를 갖는 것이어도 된다.The length of the tubular member 56 is determined depending on the length of the lead body 16 (specifically, the length of the region protruding from the base 25 to the outside), the outer diameter of the lead body 16, The weight of the body 16 and the like. Specifically, the length of the tubular body 56 is preferably slightly shorter than the length of the lead body 16 from the viewpoints of handling and ease of operation. The plurality of tubular sections 57A, 57B and 57C constituting the tubular body 56 are formed in the tubular body 56, that is, the bendability (shape processability) required for the sixth flexible magnetic retaining line body Specifically, it is appropriately determined in consideration of the bendable portion). Here, the plurality of tubular portions 57A, 57B, 57C may all have the same length, or at least some may have different lengths.

또, 튜브형상체(56)의 내경은, 도선 본체(16)의 외경에 적합한 크기가 된다.The inner diameter of the tubular member 56 is a size suitable for the outer diameter of the lead wire body 16.

또, 튜브형상체(56)(튜브형상부(57A, 57B, 57C))의 두께는, 튜브형상체(56)(튜브형상부(57A, 57B, 57C))의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.The thickness of the tubular body 56 (tubular portions 57A, 57B and 57C) is determined depending on the material of the tubular body 56 (tubular portions 57A, 57B and 57C) The dimensions (specifically, the outer diameter and the length), and the weight of the lead wire body 16, and the like.

이 도면의 예에 있어서, 튜브형상체(56)는, 도선 본체(16)의 길이보다 약간 짧은 것이다. 또, 튜브형상체(56)의 내경(최대 내경)은, 도선 본체(16)의 외경보다 약간 대경이며, 압착 단자(17)의 외경(최대 외경)보다 소경으로 되어 있다. 그리고, 튜브형상체(56)는, 3개의 튜브형상부(57A, 57B, 57C)의 관축이 일치한 상태에 있어서, 상기 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 슬라이드 가능하게 배치되어 있다.In the example of this drawing, the tubular member 56 is slightly shorter than the length of the lead body 16. [ The inner diameter (maximum inner diameter) of the tubular member 56 is slightly larger than the outer diameter of the lead wire body 16 and is smaller than the outer diameter (maximum outer diameter) of the crimp terminal 17. The tubular member 56 is arranged to be slidable along the longitudinal direction of the lead body 16 in a state where the tube shafts of the three tubular members 57A, 57B and 57C coincide with each other.

(제7 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체)(Seventh curvature magnetic retaining line body)

도 11은, 본 발명의 제7 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제7 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.11 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of the seventh high frequency conductor of the present invention in a state in which one end of a lead body constituting the seventh high frequency conductor is electrically connected to a light source (high frequency light source).

이 제7 고주파용 도선(60)에 있어서는, 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 그리고, 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.In this seventh high frequency conductor 60, one end of the lead body 16 is connected to a base 25 mounted on a high frequency light source 11 (discharge vessel 21) comprising an excimer lamp shown in Fig. 2 And is electrically connected to a high frequency light source (specifically, an external lead) in the base 25. [ The other end of the lead wire body 16 is a free end, and the other end is provided with a crimp terminal 17. The other end of the lead wire body 16 is electrically connected to the power source 12 (see Fig. 1) through the crimp terminal 17. Fig.

이 제7 고주파용 도선(60)을 구성하는 제7 굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성을 갖는, 봉형상체(61)로 이루어지고, 상기 봉형상체(61)를 따라, 도선 본체(16)가 설치됨으로써, 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 여기에, 봉형상체(61)는, 중공 구조를 갖는 것이어도 된다. 이 봉형상체(61)는, 일단부(도 11에 있어서의 오른쪽 단부)가, 베이스(25)에 매설됨으로써 상기 베이스(25)에 지지 고정되어 있다.The seventh flexible magnetic retaining line body constituting the seventh high-frequency lead wire 60 is composed of a rod-shaped body 61 having flexibility (shape processability) and process shape retainability, and the rod- And is arranged so as to extend along the longitudinal direction of the lead wire body 16 by providing the lead wire body 16. Here, the bar-shaped member 61 may have a hollow structure. 11) is supported and fixed to the base 25 by being embedded in the base 25. The end portion of the bar body 61 is fixed to the base 25,

이 도면의 예에 있어서, 도선 본체(16)는, 봉형상체(61)의 외주면에, 나선형상으로 감겨진 상태로 되어 있다. 여기에, 도선 본체(16)는, 결속 벨트 등에 의해 봉형상체(61)의 외주면에 수개소에 있어서 고정되어 있어도 된다.In this example of the drawing, the lead wire body 16 is wound around the outer peripheral surface of the rod-like member 61 in a spiral shape. Here, the lead wire body 16 may be fixed at several places on the outer circumferential surface of the bar-shaped member 61 by a binding belt or the like.

봉형상체(61)는, 금속으로 이루어지는 것, 또는 수지로 이루어지는 것으로 여겨진다. 특히, 도선 본체(16)가, 소선 다발로 이루어지는 것, 즉 소선 다발이 피복층에 의해 피복되어 있지 않은 것인 경우에는, 봉형상체(61)로는, 수지(구체적으로는 절연성 수지)로 이루어지는 것, 또는 금속으로 이루어지는 튜브형상 기재가 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것이 이용된다.The bar-shaped body 61 is considered to be made of metal or resin. Particularly, in the case where the lead body 16 is formed of a bundle of strands, that is, the strand bundle is not covered with the covering layer, the rod-like body 61 may be made of resin (specifically, insulating resin) Or a tubular substrate made of metal is covered with an insulating material.

봉형상체(61)를 구성하는 수지로는, 폴리테트라플루오로에틸렌 수지 및 실리콘 수지, 불소 수지 등을 들 수 있다.Examples of the resin constituting the bar-shaped body 61 include a polytetrafluoroethylene resin, a silicone resin, and a fluororesin.

봉형상체(61)를 구성하는 금속으로는, 알루미늄, 구리, 스테인리스 및 철 등을 들 수 있다. 또, 봉형상체(61)가 금속으로 이루어지는 것인 경우에는, 그 금속제의 봉형상체(61)는, 굴곡성(형상 가공성)의 관점으로부터, 소둔 처리된 것임이 바람직하다.Examples of the metal constituting the bar-shaped body 61 include aluminum, copper, stainless steel and iron. When the rod-shaped body 61 is made of metal, it is preferable that the rod-shaped body 61 made of metal is annealed in view of flexibility (workability).

봉형상체(61)의 길이(전체 길이)는, 도선 본체(16)의 길이(구체적으로는, 베이스(25)로부터 외부로 돌출되어 있는 영역의 길이)에 따라 적당히 정해진다. 구체적으로는, 봉형상체(61)의 길이는, 취급성 및 작업 용이성의 관점으로부터, 도선 본체(16)의 길이보다 짧은 것이 바람직하다.The length (total length) of the bar-shaped member 61 is appropriately determined in accordance with the length of the lead wire body 16 (specifically, the length of the region protruding outward from the base 25). Specifically, the length of the bar-shaped member 61 is preferably shorter than the length of the wire body 16 from the viewpoints of handleability and ease of operation.

봉형상체(61)의 단면 형상은, 원형(봉형상체(61)가 중공 구조를 갖는 경우에는 예를 들어 원환형상), 타원 형상(봉형상체(61)가 중공 구조를 갖는 경우에는 예를 들어 타원환형상)인 것이 바람직하다. 또, 봉형상체(61)의 단면 형상은, 직사각형형상, 별형상 등이어도 되고, 굴곡에 적절한 단면 형상을 적당히 채용할 수 있다.The cross-sectional shape of the rod-shaped body 61 may be circular (an annular shape when the rod-shaped body 61 has a hollow structure, for example) or an elliptical shape (an oval shape when the rod-shaped body 61 has a hollow structure, Ring shape). The cross-sectional shape of the bar-shaped member 61 may be a rectangular shape, a star shape, or the like, and a cross-sectional shape appropriate for bending can be suitably employed.

또, 봉형상체(61)의 외경은, 봉형상체(61)의 재질 등에 따라, 또 도선 본체(16)의 치수(구체적으로는, 외경 및 길이), 및 도선 본체(16)의 무게 등을 고려하여 적당히 정해진다.The outer diameter of the rod-like member 61 is determined in consideration of the material of the rod-shaped member 61 and the like, and also the dimensions (specifically, the outer diameter and the length) of the lead wire body 16 and the weight of the lead wire body 16 .

이 도면의 예에 있어서, 봉형상체(61)는, 원형의 단면 형상을 갖고, 도선 본체(16)의 전체 길이보다 짧은 것이다.In this example of the drawing, the bar-shaped member 61 has a circular cross-sectional shape and is shorter than the entire length of the lead body 16. [

이상과 같은 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체를 구비한 본 발명의 고주파용 도선은, 복수의 도전성 소선의 다발을 갖는 유연한 도선 본체(16)와, 상기 도선 본체(16)를 따라 배치된 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체로 이루어지는 것이다. 그로 인해, 도선 본체(16)에 있어서, 표피 효과의 발생을 억제할 수 있기 때문에, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있다. 또, 도선 본체(16)가 유연성을 갖는 것임과 더불어, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가 굴곡성을 갖는 것이기 때문에, 수작업으로 용이하게 원하는 형상으로 굴곡시킬 수 있고, 게다가, 그 형상을, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체의 자기 형상 유지성에 의해 유지할 수 있다.The high frequency conductor of the present invention having the flexible flexible magnetic retaining line body as described above includes a flexible lead body 16 having a plurality of bundles of conductive element wires, And a shape retaining line body. As a result, the occurrence of the skin effect can be suppressed in the conductor body 16, so that the high-frequency current can be efficiently flown. In addition, since the lead wire body 16 has flexibility and the flexible flexible magnetic retaining line body has flexibility, it is possible to easily bend the lead wire body 16 into a desired shape by hand, and furthermore, Can be maintained by the magnetic shape retaining property of the holding line body.

따라서, 본 발명의 고주파용 도선에 의하면, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있고, 또 뛰어난 형상 가공성 및 뛰어난 형상 유지성, 즉 뛰어난 리드포밍 성능이 얻어진다.Therefore, according to the high frequency conductor of the present invention, it is possible to efficiently flow a high-frequency current and to obtain excellent shape processability and excellent shape-retaining performance, that is, excellent lead forming performance.

그리고, 고주파 점등형 광원 장치(10)에 있어서는, 급전선(15)으로서, 본 발명의 고주파용 도선이 이용되고 있다. 즉, 급전선(15)으로서, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있음과 더불어, 뛰어난 리드포밍 성능을 갖는 도선이 이용되고 있다. 그로 인해, 고주파 점등형 광원 장치(10)의 제조 작업 및 고주파 점등형 광원 장치에 있어서의 구성 부재의 교환 작업을 행할 때에, 사전 혹은 작업 중에, 급전선(15)을 리드포밍할 수 있다. 그 결과, 작업 중에 있어서, 급전선(15)이 처져 다른 부재에 얽히는 일이 없고, 또 전용의 고정 부재를 이용하는 일 없이 급전선(15)을 원하는 위치에 원하는 상태로 배치할 수 있다. 특히, 전원(12)이 고주파 전원으로 이루어지는 것인 경우에 있어서는, 급전선(15)을, 다른 급전선과의 관계에 있어서 절연 거리를 확보한 상태로 배치할 수 있다.In the high-frequency lighting type light source device 10, the high frequency conductor of the present invention is used as the feeder wire 15. That is, as the feeder wire 15, a high-frequency current can be efficiently flowed, and a wire having excellent lead-forming performance is used. Therefore, when the manufacturing work of the high frequency lighting type light source device 10 and the replacement work of the constituent members in the high frequency lighting type light source device are performed, the lead wires 15 can be lead-formed in advance or during operation. As a result, the feeder wire 15 is not squeezed into another member during the operation, and the feeder wire 15 can be arranged at a desired position in a desired state without using a dedicated fixing member. Particularly, in the case where the power source 12 is composed of a high frequency power source, the feeder line 15 can be arranged in a state of ensuring an insulation distance in relation to other feeder lines.

따라서, 고주파 점등형 광원 장치(10)에 의하면, 광원에 대해 효율적으로 고주파 전력을 공급할 수 있음과 더불어, 높은 생산성 및 메인테넌스 용이성이 얻어진다.Therefore, according to the high-frequency lighting type light source device 10, high-frequency power can be efficiently supplied to the light source, and high productivity and ease of maintenance can be obtained.

또, 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치(10)에 있어서는, 고주파 광원(11)으로서, 높은 점등 주파수가 필요하게 되는 엑시머 램프를 이용한 경우여도, 효율적으로 고주파 전류를 흐르게 할 수 있다.In the high-frequency lighting type light source apparatus 10 of the present invention, a high-frequency current can be efficiently supplied even when an excimer lamp which requires a high lighting frequency is used as the high-frequency light source 11.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명했는데, 본 발명은 상기의 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 여러 가지의 변경을 더하는 것이 가능하다.Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be added.

예를 들어, 본 발명의 고주파용 도선은, 상기의 구성(구체적으로는, 제1 고주파용 도선, 제2 고주파용 도선, 제3 고주파용 도선, 제4 고주파용 도선, 제5 고주파용 도선, 제6 고주파용 도선 및 제7 고주파용 도선)에 한정되는 것은 아니다.For example, the high-frequency conductor of the present invention has the above-described structure (specifically, the first high-frequency conductor, the second high-frequency conductor, the third high-frequency conductor, the fourth high- The sixth high-frequency lead wire, and the seventh high-frequency lead wire).

구체적으로는, 본 발명의 고주파용 도선은, 도 12에 도시하는 바와 같이, 복수의 도선을 갖고 있으며, 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체가, 복수의 도선에 공통인 것이어도 된다.Specifically, as shown in Fig. 12, the high-frequency conductor of the present invention has a plurality of conductors, and the flexible magnetic retaining line body may be common to a plurality of conductors.

여기에, 도 12는, 본 발명의 제8 고주파용 도선의 구성의 일례를, 상기 제8 고주파용 도선을 구성하는 도선 본체의 일단이 광원(고주파 광원)에 전기적으로 접속된 상태로 도시하는 설명도이다.12 shows an example of the configuration of the eighth high frequency conductor of the present invention in a state in which one end of the conductor body constituting the eighth high frequency conductor is electrically connected to a light source (high frequency light source) .

이 제8 고주파용 도선(70)은, 복수(이 도면의 예에 있어서는, 3개)의 도선 본체(16)와, 이들 복수의 도선 본체(16)에 공통의 제8 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(71)로 이루어지는 것이다. 그리고, 제8 고주파용 도선(70)에 있어서는, 복수의 도선 본체(16)의 일단이, 도 2에 도시한 엑시머 램프로 이루어지는 고주파 광원(11)(방전 용기(21))에 장착된 베이스(25)에 삽입 설치되고, 이 베이스(25) 내에 있어서, 고주파 광원(구체적으로는, 외부 리드)에 전기적으로 접속되어 있다. 또, 복수의 도선 본체(16)의 타단은, 자유단으로 되어 있으며, 상기 타단에는 압착 단자(17)가 설치되어 있다. 이 압착 단자(17)는, 복수의 도선 본체(16)에 공통인 것이다. 그리고, 복수의 도선 본체(16)의 타단은, 압착 단자(17)를 통해 전원(12)(도 1 참조)에 전기적으로 접속된다.The eighth high-frequency lead wire 70 includes a plurality of (three in this example) lead body 16, and an eighth flexible lead-free holding line common to the plurality of lead- (71). In the eighth high frequency conductor 70, one end of the plurality of conductor bodies 16 is connected to a base (not shown) mounted on a high frequency light source 11 (discharge vessel 21) comprising the excimer lamp shown in Fig. 25, and is electrically connected to a high-frequency light source (specifically, an external lead) in the base 25. [ The other end of the plurality of lead wires 16 is a free end, and the other end is provided with a crimp terminal 17. The crimp terminals 17 are common to a plurality of conductor bodies 16. The other ends of the plurality of conductor bodies 16 are electrically connected to the power source 12 (see Fig. 1) through the compression bonding terminal 17. [

이 제8 고주파용 도선(70)에 있어서, 제8 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(71)는, 금속선(72)과 복수(이 도면의 예에 있어서는, 4개)의 결속재(74)로 이루어지고, 금속선(72)이, 복수의 결속재(74)에 의해 지지 고정됨으로써, 상기 복수의 도선 본체(16)의 길이 방향을 따라 연장되도록 배치된 구성인 것이다. 복수의 결속재(74)는, 각각, 결속 벨트 또는 부착 테이프로 이루어지는 것이며, 복수의 도선 본체(16)와 금속선(72)에 감겨져 있다.In the eighth high-frequency lead wire 70, the eighth flexible self-retaining line body 71 includes a metal wire 72 and a plurality of (four in this example) binding material 74 And the metal wires 72 are supported and fixed by a plurality of binding members 74 so as to extend along the longitudinal direction of the plurality of wire bodies 16. [ The plurality of binding members 74 are each composed of a binding belt or an adhesive tape and are wound around a plurality of wire bodies 16 and metal wires 72.

이 제8 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(71)에 있어서, 금속선(72)에는, 굴곡성(형상 가공성) 및 가공 형상 유지성이 필요하게 되고, 또 금속선(72)으로는, 도 4에 따르는 제1 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체(30)를 구성하는 금속선(32)과 같은 구성인 것을 이용할 수 있다.In the eighth embodiment of the present invention, the bendable magnetic shape maintaining line body 71 is required to have bendability (shape processability) and machined shape retaining property, and the metal wire 72 is required to have the first And the metal line 32 constituting the bending magnetic shape maintaining line body 30 can be used.

또, 본 발명의 고주파 점등형 광원 장치는, 고주파 전력이 공급되는 광원(고주파 광원)과, 상기 광원에 전기적으로 접속된 급전선을 구비하고 있으며, 상기 급전선이 본 발명의 고주파용 도선으로 이루어지는 것이면 되고, 상기 광원 장치의 전체의 구조는, 도 1에 도시하는 것에 한정되지 않으며, 여러 가지의 구성을 채용할 수 있다.Further, the high-frequency lighting type light source device of the present invention includes a light source (high-frequency light source) to which high-frequency power is supplied and a feeder line electrically connected to the light source, and the feeder may be any one comprising the high- , The overall structure of the light source device is not limited to that shown in Fig. 1, and various configurations can be adopted.

예를 들어, 고주파 점등형 광원 장치는, 복수의 광원(고주파 광원)이 줄지어 설치되어 이루어지는 구성인 것이어도 된다. 이러한 구성의 고주파 점등형 광원 장치에 있어서는, 본 발명의 효과가 현저하게 얻어진다. 구체적으로 설명하면, 고주파 점등형 광원 장치의 제조 작업 중 및 고주파 점등형 광원 장치에 있어서의 구성 부재(구체적으로는, 광원)의 교환 작업 중에 있어서, 복수의 광원에 따르는 복수의 급전선이 처져 서로 얽히는 일이 없고, 또 복수의 급전선의 각각을, 전용의 고정 부재를 이용하는 일 없이 원하는 위치에 원하는 상태로 배치할 수 있다. 특히, 고주파 점등형 광원 장치가 광원에 대해 고주파 전원으로부터의 고주파 전압이 인가되는 구성인 것인 경우에는, 복수의 급전선을, 절연 거리를 확보한 상태로 배치할 수 있다.For example, the high-frequency lighting type light source device may have a configuration in which a plurality of light sources (high-frequency light sources) are lined up. In the high-frequency lighting type light source device having such a configuration, the effect of the present invention is remarkably obtained. More specifically, during the manufacturing operation of the high-frequency lighting type light source apparatus and during the operation of replacing the constituent members (specifically, the light sources) in the high-frequency lighting type light source apparatus, a plurality of feed lines along the plurality of light sources are intertwined It is possible to arrange each of the plurality of feed lines in a desired state at a desired position without using a dedicated fixing member. In particular, when the high frequency lighting type light source device is configured such that a high frequency voltage from a high frequency power source is applied to a light source, a plurality of feed lines can be arranged in a state in which an insulation distance is ensured.

10: 고주파 점등형 광원 장치 11: 광원(고주파 광원)
12: 전원 15: 급전선
16: 도선 본체 17: 압착 단자
19: 추 21: 방전 용기
21a: 둘레 측면 22: 고전압측 전극
25: 베이스 30: 제1 고주파용 도선
31: 제1 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체 32: 금속선
34: 지지 부재 35: 제2 고주파용 도선
36: 튜브형상체 40: 제3 고주파용 도선
41: 코일형상체 43: 제4 고주파용 도선
44: 판상체 45A: 직사각형 평판형상 기체
45B: 직사각형 판편 46: 제4 고주파용 도선
47: 판상체 47a: 부분
48: 공간 50: 제5 고주파용 도선
51: 튜브형상체 52A, 52B, 52C: 튜브형상부
53A, 53B: 힌지부 55: 제6 고주파용 도선
56: 튜브형상체 57A, 57B, 57C: 튜브형상부
57a: 타원통부 57b: 선단부
58: 고정 부재 59A, 59B: 고정용 구멍
60: 제7 고주파용 도선 61: 봉형상체
70: 제8 고주파용 도선
71 제8 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체 72: 금속선
74: 결속재 10: High frequency lighting type light source device 11: Light source (high frequency light source)
12: power supply 15: feeder line
16: lead wire body 17: crimp terminal
19: weight 21: discharge vessel
21a: circumferential side surface 22: high voltage side electrode
25: base 30: first high frequency conductor
31: first bendable magnetic shape retaining line body 32: metal wire
34: support member 35: second high frequency conductor
36: tubular member 40: third high frequency conductor
41: coil-shaped body 43: fourth high frequency conductor
44: plate body 45A: rectangular plate shaped gas
45B: rectangular plate 46: fourth high frequency conductor
47: Plate 47a:
48: space 50: fifth high frequency conductor
51: Tubular bodies 52A, 52B, 52C: Tubular bodies
53A, 53B: hinge portion 55: sixth high frequency conductor
56: Tubular bodies 57A, 57B, 57C: Tubular bodies
57a: elliptical cylinder portion 57b:
58: Fixing member 59A, 59B: Fixing hole
60: seventh high frequency lead wire 61: bar type body
70: Eighth high-frequency wire
71 is a bending magnetic shape maintaining line body 72:
74:

Claims (9)

복수의 도전성 소선의 다발을 갖는 유연한 도선 본체와, 상기 도선 본체를 따라 배치된 가(可)굴곡성 자기 형상 유지 라인(條)체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고주파용 도선.Wherein the flexible conductor body comprises a flexible conductor body having a plurality of bundles of conductive strands and a flexible flexible shape retaining line disposed along the conductor body. 청구항 1에 있어서,
상기 도선 본체는, 상기 복수의 도전성 소선의 다발이 절연재에 의해 피복되어 이루어지는 것임을 특징으로 하는 고주파용 도선.The method according to claim 1,
Wherein the conductor body is formed by covering a bundle of the plurality of conductive strands with an insulating material. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 금속선이, 지지 부재에 의해 지지 고정됨으로써, 상기 도선 본체를 따라 배치된 것임을 특징으로 하는 고주파용 도선.The method according to claim 1 or 2,
Wherein the flexible magnetic retaining line body is arranged along the lead body by supporting and fixing the metal wire by the support member. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 튜브형상체로 이루어지는 것이며, 상기 튜브형상체의 내부에 상기 도선 본체가 삽입 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 고주파용 도선.The method according to claim 1 or 2,
Characterized in that the flexible magnetic retaining line body is made of a tubular body and the conductor body is inserted into the tubular body. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 코일형상체로 이루어지는 것이며, 상기 코일형상체를 구성하는 소선이 상기 도선 본체에 나선형상으로 감겨진 상태로 되어 있는 것을 특징으로 하는 고주파용 도선.The method according to claim 1 or 2,
Wherein the flexural magnetic shape retaining line body is formed of a coil-shaped body, and a strand constituting the coil-shaped body is wound around the lead body in a spiral shape. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 양단부에 도선 본체 유지부가 설치된 판상체로 이루어지는 것임을 특징으로 하는 고주파용 도선.The method according to claim 1 or 2,
Wherein the flexible magnetic retaining line body is formed of a plate-shaped body provided with a conductor body holding portion at both ends thereof. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 가굴곡성 자기 형상 유지 라인체는, 봉형상체로 이루어지는 것이며, 상기 도선 본체가 상기 봉형상체를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 고주파용 도선.The method according to claim 1 or 2,
Wherein the flexural magnetic shape maintaining line body is formed of a rod-like body, and the lead body is provided along the rod-like body. 고주파 전력이 공급되는 광원과, 상기 광원에 전기적으로 접속된 급전선을 구비한 고주파 점등형 광원 장치로서,
상기 급전선이, 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 고주파용 도선으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고주파 점등형 광원 장치.A high frequency lighting type light source device comprising a light source to which high frequency power is supplied and a power supply line which is electrically connected to the light source,
The high frequency lighting type light source device according to any one of claims 1 to 7, wherein the feed line is composed of a high frequency conductor. 청구항 8에 있어서,
상기 광원이 엑시머 램프인 것을 특징으로 하는 고주파 점등형 광원 장치.The method of claim 8,
Wherein the light source is an excimer lamp.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS614317U (en) * 1984-06-15 1986-01-11 東洋サクセス株式会社 Core wire cord
JP4096712B2 (en) * 2002-11-20 2008-06-04 松下電器産業株式会社 Induction heating coil and induction heating apparatus using the same
JP2004253200A (en) * 2003-02-19 2004-09-09 Iwasaki Electric Co Ltd Excimer lamp, and excimer lamp irradiation device
JP5213349B2 (en) * 2007-03-20 2013-06-19 矢崎総業株式会社 High-frequency electric wire, wire harness including the same, high-frequency electric wire manufacturing method, and manufacturing apparatus for manufacturing high-frequency electric wire
JP5586351B2 (en) * 2010-07-12 2014-09-10 矢崎総業株式会社 Wire harness and wiring structure of the wire harness
JP5709212B2 (en) * 2011-03-30 2015-04-30 朝日インテック株式会社 Guide wire
JP5173015B1 (en) * 2011-12-21 2013-03-27 治次 平本 SIGNAL CABLE, POWER CABLE, ELECTRONIC DEVICE, AND SIGNAL CABLE MANUFACTURING METHOD
CN202796228U (en) * 2012-09-26 2013-03-13 安徽无为县东龙科技有限公司 High frequency power cable
CN105916695B (en) * 2014-02-04 2018-12-07 江泽事务器株式会社 Printing object surface modifying device

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