KR20170070840A - Sectional vacuum chamber - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판의 처리 공간을 제공하는 진공 챔버에 관한 것이다. 조립식 진공 챔버는, 상판, 복수개의 측판 및 하판의 결합으로 이루어지는 진공 챔버에 있어서, 내부공간이 1 이상의 볼록한 비구면(aspherical surface)으로 이루어진 입체도형 구조이다. 이에 의해, 챔버 벽의 두께를 최소화하면서도 챔버 내부의 고진공 상태를 유지하여 챔버의 형상 변형을 최소화할 수 있고, 챔버 벽의 두께가 얇아짐에 따라 재료 원가가 절감되고, 챔버의 무게가 감소하여 이송을 용이하게 할 수 있다. 또한, 본 발명은 챔버 벽의 결합을 면으로 하고, 이 결합면을 내측으로 경사지게 형성함으로써, 진공압에 의한 하중이 결합면 전체에 분산되어 결합 부위가 쉽게 파손되는 것을 방지할 수 있다.The present invention relates to a vacuum chamber for providing a processing space for a semiconductor substrate or a display substrate. The prefabricated vacuum chamber is a three-dimensional shaped structure having an inner space formed of at least one convex aspherical surface in a vacuum chamber composed of an upper plate, a plurality of side plates, and a lower plate. As a result, it is possible to minimize the deformation of the chamber by maintaining the high vacuum state inside the chamber while minimizing the thickness of the chamber wall, and the material cost is reduced as the thickness of the chamber wall is reduced, . ≪ / RTI > In addition, according to the present invention, the coupling of the chamber walls is a plane, and by forming the coupling surface to be inclined inward, the load due to the vacuum pressure can be dispersed throughout the coupling surface to prevent the coupling portion from being easily broken.

Description

조립식 진공 챔버{SECTIONAL VACUUM CHAMBER}Prefabricated vacuum chamber {SECTIONAL VACUUM CHAMBER}

본 발명은 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판의 처리 공간을 제공하는 진공 챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum chamber for providing a processing space for a semiconductor substrate or a display substrate.

진공 챔버는 진공 펌프와 연결하여 처리공간을 진공 상태로 유지시키는 챔버이다. 이러한 진공 챔버는 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판 처리를 위한 공정 중 외부로부터 불순물의 유입을 차단하는 이외에 비진공 상태보다 높은 수율을 확보하는 등의 목적으로 사용되고 있다.The vacuum chamber is a chamber which is connected to a vacuum pump to maintain the processing space in a vacuum state. Such a vacuum chamber is used for the purpose of securing a higher yield than a non-vacuum state in addition to blocking inflow of impurities from the outside during a process for processing a substrate for a semiconductor or a substrate for a display.

반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판이 처리되는 진공 챔버는, 공정 챔버(Process Chamber)와 각 공정 챔버로 기판을 이송시키는 트랜스퍼 챔버(Transfer Chamber)로 사용된다. 이 중 트랜스퍼 챔버는, 다수개의 공정 챔버와 결합되고, 챔버 내에 기판을 이송하는 로봇이 설치됨에 따라 공정 챔버에 비하여 훨씬 큰 용량을 갖는 대형 챔버가 사용된다.The vacuum chamber in which the semiconductor substrate or the display substrate is processed is used as a process chamber and a transfer chamber for transferring the substrate to each process chamber. Among them, the transfer chamber is combined with a plurality of process chambers, and a large chamber having a much larger capacity than the process chambers is used as a robot for transferring the substrates into the chambers is installed.

종래의 진공 챔버는, 평면의 다면체 구조로 구성되어 모서리 부분을 제외한 챔버 벽의 두께가 일정하게 형성되고, 이로써, 고진공 상태에서 챔버 벽의 중앙부가 처리 공간을 향하여 형상 변형이 발생한다는 문제가 있었다. 또한, 진공 챔버의 크기가 커질수록 고진공 상태를 유지하기 위해서 고가의 실링부재를 사용하여야 하며, 챔버의 형태 변형을 막기 위해 챔버 벽을 두껍게 형성하기 때문에 제조 원가가 높을 수 밖에 없었다. 특히 최근 기판의 대면적 추세에 따라 이러한 문제가 가중되고 있는 실정이다.Conventional vacuum chambers have a planar polyhedron structure, in which the thickness of the chamber walls except for the corner portions is constant, and thus the shape of the chamber wall deforms toward the processing space in a high vacuum state. Also, as the size of the vacuum chamber increases, expensive sealing members must be used in order to maintain a high vacuum state. In order to prevent the deformation of the chamber, the chamber walls are made thick. Particularly, these problems are increasing due to the large area trend of substrates in recent years.

종래의 진공 챔버 제조 방법으로는, 1) 잉곳의 내부를 절삭하여 챔버를 제조하는 절삭 방법, 2) 금형을 이용하는 주조 방법 및 3) 복수개의 판재를 조립하여 챔버를 구성하는 조립 방법으로 나눌 수 있다.Conventional vacuum chamber manufacturing methods can be divided into 1) a cutting method for manufacturing a chamber by cutting the inside of an ingot, 2) a casting method using a mold, and 3) a method for assembling a chamber by assembling a plurality of plate materials .

절삭 방법은, 잉곳을 가공하여 사용하므로 진공압에 대한 내구력이 높아 챔버의 형태 유지가 용이하다는 장점이 있으나, 재료의 낭비가 심하여 단가가 높다는 문제점이 있었다. 특히, 진공 챔버가 대형화될수록 더 큰 잉곳이 필요하고, 그에 따라 재료의 낭비가 커서 제조 비용이 매우 높은 단점이 있었다. The cutting method is advantageous in that the shape of the chamber can be easily maintained because the ingot is processed and used so that the durability against vacuum pressure is high. However, there is a problem that the material is wasted and the unit price is high. Particularly, as the vacuum chamber is enlarged, a larger ingot is required, which leads to a waste of material and a high manufacturing cost.

특히, 대형 진공 챔버는 중량이 커서 운반과 설치가 힘들다는 문제점이 있었다.Particularly, the large vacuum chamber has a problem in that it is difficult to carry and install because of its large weight.

주조 방법은, 낭비되는 재료가 적어 제조 비용이 낮고, 제조 공정이 단순하다는 장점이 있다. 그러나 챔버의 크기나 형태에 따라 별도의 주조 장치가 필요하므로 다품종 소량 생산에 적합한 진공 챔버 제조에 있어서 오히려 다른 제조 방법에 비하여 생산 비용이 높아질 수 있다는 단점이 있었다. 또한 챔버 주조 과정에서 재료의 용탕 내에 기포가 많이 발생되어 챔버의 품질을 저하시키는 문제점이 있었다. 특히 챔버 내벽에 잔존하는 기포는 고진공 상태에서 파티클 발생의 원인이 되어 기판의 불량을 초래하였다.The casting method is advantageous in that the manufacturing cost is low due to a small amount of wasted material, and the manufacturing process is simple. However, since a separate casting device is required depending on the size and shape of the chamber, it is disadvantageous that the production cost can be higher than that of other manufacturing methods in manufacturing a vacuum chamber suitable for small quantity production of various kinds of products. Further, in the chamber casting process, a large amount of bubbles are generated in the molten material, thereby deteriorating the quality of the chamber. Particularly, the bubbles remaining on the inner wall of the chamber cause particles to be generated in a high vacuum state, resulting in defective substrates.

조립 방법은, 미리 설계된 복수개의 판재를 현장에서 실링부재와 함께 조립하므로 운반과 설치가 용이하다는 장점이 있다. 그러나 복수의 판재가 결합되는 부분이 많아 고진공의 유지가 힘들며, 결합 부분이 취약하여 진공압에 의해 파손되는 문제가 있었다.The assembly method is advantageous in that it is easy to carry and install since a plurality of pre-designed plate materials are assembled together with a sealing member in the field. However, since there are many portions where a plurality of plate members are coupled, it is difficult to maintain a high vacuum, and there is a problem that the joining portion is weakened by the pneumatic pressure.

종래의 한국 공개특허공보 제10-2009-0101009호에 의하면, 모든 면에 개구부가 형성된 밀봉보조부재, 밀봉보조부재의 각 면에 탈착되는 저면챔버부재, 측면챔버부재, 상면챔버부재를 구비하여 각각의 챔버부재를 밀봉보조부재에 밀착 결합시킴으로써 진공 챔버를 구성하였다.According to the conventional Korean Unexamined Patent Application Publication No. 10-2009-0101009, there is provided a sealing device comprising: a sealing auxiliary member having an opening formed on all sides thereof; a bottom chamber member detachably attached to each side of the sealing auxiliary member; a side chamber member; So that the vacuum chamber is formed.

그러나, 이러한 진공 챔버는 판 형태의 챔버부재가 밀봉보조부재에 결합되는 방식이므로 밀봉보조부재 없이 진공 챔버의 구조를 형성하여 결합하는 것이 불가능하였다. 또한, 밀봉보조부재의 형상이 챔버의 프레임 형상이므로, 밀봉보조부재의 크기는 전체 진공 챔버의 크기와 같아 챔버의 이송 및 설치가 어려운 단점이 있었다. However, since such a vacuum chamber is a method in which the plate-shaped chamber member is coupled to the sealing auxiliary member, it is impossible to form and join the structure of the vacuum chamber without the sealing auxiliary member. In addition, since the shape of the sealing auxiliary member is the frame shape of the chamber, the size of the sealing auxiliary member is the same as that of the entire vacuum chamber, which makes it difficult to transfer and install the chamber.

한편, 각 챔버부재는 면 두께가 일정하게 형성되어 고진공 상태에서 챔버부재의 중앙부가 처리 공간을 향하여 형상 변형이 발생한다는 문제가 있었다. 이러한 형상 변형량을 감소시키기 위해서는 부득이하게 챔버부재의 두께를 증가시켜야야만 하는데 이는 챔버 원가 상승의 근본 원인이 되고 있다. On the other hand, each of the chamber members has a constant surface thickness, so that there is a problem that, in a high vacuum state, the center portion of the chamber member deforms toward the processing space. In order to reduce the amount of the shape deformation, it is necessary to increase the thickness of the chamber member inevitably, which is the root cause of the chamber cost increase.

상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 고진공 상태에서 챔버 형상 변형을 최소화한 진공 챔버를 제공함에 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a vacuum chamber in which a deformation of a chamber is minimized in a high vacuum state.

또한, 본 발명은 챔버 벽의 두께를 최소화하여 챔버 제조 원가를 절감시킨 진공 챔버를 제공함에 그 목적이 있다.It is another object of the present invention to provide a vacuum chamber in which the thickness of the chamber wall is minimized to reduce the manufacturing cost of the chamber.

또한, 본 발명은 진공압에 의한 챔버 결합부위의 파손을 방지하는 진공 챔버를 제공함에 그 목적이 있다. It is another object of the present invention to provide a vacuum chamber for preventing breakage of a chamber bonding portion by vacuum pressure.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 조립식 진공 챔버는, 상판, 복수개의 측판 및 하판의 결합으로 이루어지는 진공 챔버에 있어서, 상기 챔버의 내부공간은 1 이상의 볼록한 비구면(aspherical surface)으로 이루어진 입체도형 구조이다.According to another aspect of the present invention, there is provided a vacuum chamber comprising an upper plate, a plurality of side plates, and a lower plate coupled to each other, wherein the inner space of the chamber has a three-dimensional geometric structure having at least one convex aspherical surface, to be.

바람직하게, 상기 챔버의 외면은 다면체 구조이고, 각 면의 두께가 중앙부에서 외곽부로 갈수록 두껍게 형성된다.Preferably, the outer surface of the chamber is a polyhedral structure, and the thickness of each surface is thicker from the central portion toward the outer portion.

바람직하게, 상기 외곽부의 두께는, 상기 중앙부 두께의 105%~300%이다.Preferably, the thickness of the outer frame portion is 105% to 300% of the thickness of the central portion.

바람직하게, 상기 측판 간의 결합면이 내측으로 경사지게 형성된다.Preferably, the engaging surface between the side plates is formed to be inclined inward.

바람직하게, 상기 측판 간의 결합면은, 상기 챔버 중심을 지나는 수직면 상에 형성된다.Preferably, the mating surfaces between the side plates are formed on a vertical plane passing through the center of the chamber.

바람직하게, 상기 상판과 상기 측판의 결합면, 상기 하판과 상기 측판의 결합면 중 적어도 어느 하나는 상기 챔버 중심을 지나도록 형성된다.Preferably, at least one of a mating surface of the upper plate and the side plate, and a mating surface of the lower plate and the side plate is formed to pass through the center of the chamber.

바람직하게, 상기 상판과 상기 측판의 결합면, 상기 하판과 상기 측판의 결합면 중 적어도 어느 하나는 수평면 상에 형성된다.Preferably, at least one of a mating surface of the upper plate and the side plate, and a mating surface of the lower plate and the side plate is formed on a horizontal plane.

바람직하게, 상기 상판, 측판 및 하판이 결합되는 결합면 중 적어도 어느 하나에 길이 방향을 따라 1 이상의 결합홈이 형성되고, 상기 결합홈에 삽입되는 돌출부가 상기 결합면에 밀착되는 평면부의 상부에 일체로 형성된 실링부재; 를 더 포함한다.Preferably, at least one of the engaging grooves is formed along at least one of the engaging surfaces to which the upper plate, the side plate, and the lower plate are coupled, and the projections inserted into the engaging grooves are integrally formed on the upper surface of the engaging surface. A sealing member formed of: .

바람직하게, 상기 상판, 측판 및 하판이 결합되는 결합면 사이에 삽입되는 실링부재; 및 상기 챔버 외부로부터 상기 결합면 중 적어도 어느 하나의 결합면을 수직 및/또는 수평 방향으로 관통하여 체결하는 제1 체결부재; 를 더 포함한다.Preferably, the sealing member is inserted between the engaging surfaces to which the upper plate, the side plate, and the lower plate are engaged; And a first fastening member passing through at least one of the coupling surfaces from the outside of the chamber in a vertical and / or horizontal direction and fastening the fastening member; .

바람직하게, 상기 상판, 측판 및 하판이 결합되는 결합면 사이에 삽입되는 실링부재; 상기 결합면 중 적어도 어느 하나의 결합면 양측의 챔버 외면에 형성된 한 쌍의 체결홈; 및 상기 한 쌍의 체결홈 양측을 관통하여 체결하는 제2 체결부재; 를 더 포함한다.Preferably, the sealing member is inserted between the engaging surfaces to which the upper plate, the side plate, and the lower plate are engaged; A pair of coupling grooves formed on the outer surfaces of the chambers on both sides of the coupling surface of at least one of the coupling surfaces; And a second fastening member for fastening the fastening member through both sides of the pair of fastening grooves; .

바람직하게, 상기 상판, 측판 및 하판이 결합되는 결합면 사이에 삽입되는 실링부재; 및 상기 결합면 중 적어도 어느 하나의 결합면 양측의 챔버 외면을 상호 연결하여 체결하는 제3 채결부재; 를 더 포함한다.Preferably, the sealing member is inserted between the engaging surfaces to which the upper plate, the side plate, and the lower plate are engaged; And a third engaging member connecting and securing the outer surfaces of the chambers on both sides of the engaging surface of at least any one of the engaging surfaces; .

본 발명의 조립식 진공 챔버에 의하면, 챔버의 내부공간을 비구면으로 구성하여, 챔버 벽의 두께를 최소화하면서도 챔버 내부의 고진공 상태를 유지하여 챔버의 형상 변형을 최소화할 수 있고, 챔버 벽의 두께가 얇아짐에 따라 재료 원가가 절감되고, 챔버의 무게가 감소하여 이송을 용이하게 할 수 있다.According to the prefabricated vacuum chamber of the present invention, since the inner space of the chamber is formed as an aspheric surface, the thickness of the chamber wall can be minimized while maintaining the high vacuum state inside the chamber, so that the deformation of the chamber can be minimized, The material cost is reduced according to the load, and the weight of the chamber is reduced, so that the transfer can be facilitated.

또한, 본 발명은 챔버의 결합 부분을 면으로 하고, 이 결합면을 내측으로 경사지게 형성함으로써, 진공압에 의한 하중이 결합면 전체에 분산되어 결합 부분가 쉽게 파손되는 것을 방지할 수 있다.In addition, according to the present invention, the joint portion of the chamber is a surface, and by forming the engagement surface to be inclined inward, the load due to the vacuum pressure can be dispersed over the entire engagement surface to prevent the joint portion from being easily broken.

또한, 본 발명은 챔버가 복수개로 분할 형성되어 결합됨으로써, 챔버의 이송과 설치를 간편하게 할 수 있다.Further, the present invention can simplify the transfer and installation of the chamber by dividing the chamber into a plurality of chambers.

또한, 본 발명은 결합면의 결합홈에 밀착, 삽입되는 실링부재를 구비함으로써, 챔버를 간단히 기밀시킬 수 있다.Further, according to the present invention, since the sealing member is closely attached to the coupling groove of the coupling surface, the chamber can be easily airtight.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 측단면도.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 의한 평단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 일부를 나타낸 분해사시도.
도 4는 본 발명은 제2 실시예에 의한 측단면도.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 의한 일부를 나타낸 분해사시도.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 의한 일부를 나타낸 측단면도.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 의한 일부를 나타낸 분해 사시도.
도 8은 본 발명의 첫 번째 체결방법을 나타낸 평단면도.
도 9는 본 발명의 두 번째 체결방법을 나타낸 평단면도.
도 10은 본 발명의 세 번째 체결방법을 나타낸 측단면도.1 is a side cross-sectional view according to a first embodiment of the present invention;
2 is a plan sectional view according to the first embodiment of the present invention.
3 is an exploded perspective view showing a part of the first embodiment of the present invention.
4 is a side sectional view of a second embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view showing part of a second embodiment of the present invention.
6 is a side cross-sectional view showing part of a third embodiment of the present invention.
7 is an exploded perspective view showing part of a third embodiment of the present invention.
8 is a plan sectional view showing the first fastening method of the present invention.
9 is a plan sectional view showing a second fastening method of the present invention.
10 is a side sectional view showing a third fastening method of the present invention.

이하에서는 본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 조립식 진공 챔버는 제1 내지 제3 실시예로 구분할 수 있으며, 각 실시예의 구성요소는 기본적으로 동일하나, 일부 구성에 있어서 차이가 있다. 또한, 본 발명의 여러 실시예 중 동일한 기능과 작용을 하는 구성요소에 대해서는 도면상의 도면부호를 동일하게 사용하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The prefabricated vacuum chamber of the present invention can be classified into the first to third embodiments, and the constituent elements of each embodiment are basically the same, but there are differences in some configurations. In addition, among the various embodiments of the present invention, the same reference numerals in the drawings denote the same components and components that perform the same functions and functions.

본 발명의 제1 실시예에 의한 조립식 진공 챔버는 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 상판(111), 측판(112), 하판(113)의 결합으로 이루어지는 챔버(110)이며, 측판(112)은 복수개로 이루어질 수 있다.1 to 3, the prefabricated vacuum chamber according to the first embodiment of the present invention is a chamber 110 formed by joining an upper plate 111, a side plate 112 and a lower plate 113, 112 may be composed of a plurality of units.

챔버(110)는 고진공 상태에서 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판이 처리(증착, 식각, 세정, 이송 등)된다. 챔버(110)의 내부공간(114)은 비구면(aspherical surface)으로 이루어진 입체도형 구조이고, 외면은 다면체 구조로 형성된다.The chamber 110 is processed (deposited, etched, cleaned, transported, etc.) for the semiconductor substrate or the display substrate in a high vacuum state. The inner space 114 of the chamber 110 is a three-dimensional graphic structure formed of an aspherical surface and an outer surface formed of a polyhedral structure.

내부공간(114)은 1 이상의 볼록한 비구면으로 이루어진 입체도형 구조로, 비구면은 챔버(110)의 내벽 중 대향하는 위치에 적어도 1쌍이 대칭구조로 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 내부공간(114)은 다면체 구조로 형성되며, 각 면은 외측으로 볼록한 타원면 또는 이에 근접한 곡면으로 구성된다. 이처럼 내부공간(114)을 비구면으로 구성하면, 내부공간을 평면의 다면체 구조로 구성한 것에 비하여 챔버 벽의 두께를 최소화하면서도 진공압에 의한 챔버의 형상 변형을 저감시킬 수 있다.It is preferable that at least one pair of aspherical surfaces are formed in a symmetrical structure in positions facing each other in the inner wall of the chamber 110. The inner space 114 is a three-dimensional shape having at least one convex aspherical surface. That is, the inner space 114 is formed in a polyhedral structure, and each surface is composed of an outwardly convex ellipsoid or a curved surface close thereto. By configuring the internal space 114 as an aspherical surface, deformation of the chamber due to the vacuum pressure can be reduced, while minimizing the thickness of the chamber wall, compared with a case in which the internal space is formed of a flat polyhedral structure.

한편, 도면에 도시하지는 않았지만 챔버의 내벽 중 대향하는 면이 없거나, 챔버 측부에 해당하는 내벽이 3각형, 5각형과 같이 홀수 각형인 챔버의 경우, 비구면은 챔버 측부에 해당하는 내벽에 적어도 3개 이상이 동일하게 형성되는 것이 바람직하다.On the other hand, although not shown in the drawing, when there is no facing surface in the inner wall of the chamber, or when the inner wall corresponding to the chamber side is an odd-numbered square such as a triangular or pentagonal shape, Or more are formed in the same manner.

이러한 비구면 구조는 고진공 상태에서 챔버에 작용하는 진공압이 특정 부분에 집중되지 않도록 분산시킴으로써 형상 변형을 최소화하는 기능을 하게 된다.Such an aspherical structure functions to minimize the shape deformation by dispersing the vacuum pressure acting on the chamber in a high vacuum state so as not to concentrate on a specific portion.

챔버(110)의 외면은 공정 챔버 및 로드락 챔버와 같은 다른 챔버와의 결합이 용이하도록 결합되는 챔버 개수에 상응하는 면을 갖는 다면체 구조로 이루어지며, 본 발명에서는 직육면체 구조로 나타내었으나, 육각 기둥, 팔각 기둥 등 다양한 다면체 구조가 가능하다. 이러한 다면체 구조는 면의 중앙부가 진공압에 취약하므로 이를 보강하기 위하여 각 면의 두께가 중앙부에서 외곽부로 갈수록 두껍게 형성된다. 따라서, 다면체를 이루는 각 면을 가상으로 분할하면, 각 면은 아치구조를 이루고, 각각의 아치 구조가 결합되어 전체 챔버를 이루게 됨에 따라 각 면의 두께를 일정하게 형성한 구조에 비하여 진공압에 대한 내구력이 크게 강화된다.The outer surface of the chamber 110 is formed of a polyhedral structure having a surface corresponding to the number of chambers coupled to facilitate coupling with other chambers such as a process chamber and a load lock chamber. In the present invention, , Octagonal columns, and so on. In order to reinforce the polyhedron structure, the central portion of the polyhedron structure is vulnerable to vacuum pressure, so that the thickness of each side is thicker from the central portion to the outer portion. Therefore, when the polyhedrons are divided into virtual surfaces, each surface has an arch structure, and each arch structure is combined to form an entire chamber. As compared with a structure in which each surface has a constant thickness, Durability is greatly enhanced.

구체적으로, 도 1에 도시한 바와 같이, 챔버(110)의 상판 중앙부의 두께(t1)는 상판 외곽부의 두께(t2)보다 얇게 형성된다. 이때, 외곽부의 두께(t2)는 중앙부의 두께(t1)의 105%~300%인 것이 바람직하다. 중앙부에 대한 외곽부의 두께 비율이 105% 미만이면, 중앙부와 외곽부의 두께를 상이하게 구성한 효과가 거의 없고, 두께 비율이 300% 를 초과하면, 중앙부의 두께(t1)가 너무 얇아 챔버의 형상 변형을 초래하거나, 외곽부의 두께(t2)가 불필요하게 두꺼워져 재료를 낭비하게 된다.Specifically, as shown in Fig. 1, the thickness t1 of the center portion of the upper plate of the chamber 110 is formed to be thinner than the thickness t2 of the outer plate portion of the upper plate. At this time, it is preferable that the thickness t2 of the outer frame portion is 105% to 300% of the thickness t1 of the central portion. If the thickness ratio of the outer portion to the central portion is less than 105%, there is almost no effect of making the thicknesses of the central portion and the outer portion different from each other. If the thickness ratio exceeds 300%, the thickness t1 of the central portion is too thin, Or the thickness t2 of the outer frame portion becomes unnecessarily thick, thereby wasting the material.

챔버(110)는 외면과 내부공간(111)이 서로 대응되는 다각기둥 구조로 형성될 수 있다. 예컨대, 챔버(110)의 외면은 사각 기둥 구조이고, 내부공간(114)은 각 면이 곡면으로 이루어진 사각 기둥 구조로 구성된다. 이로써, 챔버(110)의 벽면 두께를 최소화하면서도 챔버(110)의 형상 변형을 방지할 수 있고, 챔버(110)의 측면에 다수의 다른 챔버를 결합시키면서도 설치 공간을 적게 차지할 수 있다.The chamber 110 may have a polygonal columnar structure in which the outer surface and the inner space 111 correspond to each other. For example, the outer surface of the chamber 110 has a square columnar structure, and the inner space 114 has a rectangular columnar structure having curved surfaces on each side. Thus, the shape of the chamber 110 can be prevented from deforming while minimizing the thickness of the wall surface of the chamber 110, and it is possible to occupy a small space for installation while coupling a plurality of other chambers to the side surface of the chamber 110.

본 실시예의 챔버(110)는 사각 기둥 구조로, 상판(111), 복수의 측판(112) 및 하판(113)의 결합으로 이루어진다.The chamber 110 of the present embodiment has a square column structure and is formed by joining an upper plate 111, a plurality of side plates 112 and a lower plate 113.

설명의 편의를 위해서, 이하에서는 상판(111)과 측판(112) 간의 결합면을 상부결합면(A), 측판(112)과 측판(112) 간의 결합면을 측부결합면(B), 하판(113)과 측판(112) 간의 결합면을 하부결합면(C)이라 칭한다. 또한, 각 결합면 사이에는 실링부재가 개재되어 있음이 바람직하나 도면 상에는 생략하였다.A coupling surface between the upper plate 111 and the side plate 112 is referred to as an upper coupling surface A and a coupling surface between the side plate 112 and the side plate 112 is referred to as a side coupling surface B, 113 and the side plate 112 is referred to as a lower engaging surface C. It is preferable that a sealing member is interposed between the engagement surfaces, but they are not shown in the drawings.

측부결합면(B)은 도 2에 도시한 바와 같이, 내측으로 경사지게 형성된다. 이때, 측부결합면(B)은 챔버의 중심을 지나는 수직면 상에 형성될 수 있다. 또한, 인접한 두 측판(112) 사이의 외면 모서리와 내면 모서리를 지나는 면 상에 형성될 수도 있다.The side engaging surface B is formed to be inclined inward as shown in Fig. At this time, the side engaging surface B may be formed on a vertical plane passing through the center of the chamber. Further, it may be formed on the surface passing between the outer edge corner and the inner edge corner between the adjacent two side plates 112.

상부결합면(A)과 하부결합면(C) 중 적어도 어느 하나는 챔버(110) 중심을 지나도록 형성된다. 또한, 인접한 두개의 판(상판(111)과 측판(112) 또는 하판(113)과 측판(112)) 사이의 외면 모서리와 내면 모서리를 지나는 면 상에 형성될 수도 있다. At least one of the upper engagement surface A and the lower engagement surface C is formed to pass through the center of the chamber 110. It may also be formed on the surface passing between the outer edge and the inner edge between two adjacent plates (upper plate 111 and side plate 112 or lower plate 113 and side plate 112).

각각의 결합면(A, B, C)은 모두 챔버의 중심을 지날 수 있으나, 챔버 형태에 따라 내부공간(114)을 지나도록 형성하면 충분하다. Each of the engagement surfaces A, B, and C may pass through the center of the chamber, but it may suffice to form it so as to pass through the inner space 114 according to the shape of the chamber.

챔버를 복수개로 분할 형성하는 경우, 진공압에 의해 챔버의 결합부위가 쉽게 파손되는 경향이 있다. 그러나, 상술한 바와 같이 챔버의 결합 부분이 면으로 형성되면, 진공압에 의한 하중이 결합면 전체에 분산되어 결합 부분의 파손을 방지할 수 있다.In the case of dividing the chamber into a plurality of chambers, the bonding portion of the chamber tends to be easily broken by the vacuum pressure. However, as described above, when the coupling portion of the chamber is formed as a surface, the load due to the vacuum pressure is dispersed throughout the coupling surface, so that breakage of the coupling portion can be prevented.

한편, 상판, 측판, 하판이 결합된 구조의 챔버는 이송과 설치가 간편하고 용이하다는 장점이 있다. 또한, 측판의 경우 단일 측판으로 이루어질 수도 있다.On the other hand, the chamber having a structure in which the upper plate, the side plate, and the lower plate are combined has an advantage that it is simple and easy to transfer and install. Further, in the case of the side plate, it may be made of a single side plate.

본 발명의 제2 실시예는 제1 실시예와 대비하여 챔버의 결합면 구성에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 4, 도 5를 참고하여 설명한다.The second embodiment of the present invention differs from the first embodiment in the coupling surface configuration of the chamber. Hereinafter, the components different from the first embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5. FIG.

챔버(210)는 상판(211), 복수의 측판(212) 및 하판(213)의 결합으로 이루어진다. The chamber 210 is composed of an upper plate 211, a plurality of side plates 212, and a lower plate 213.

측부결합면(B)은 제1 실시예와 같이, 챔버(210)의 중심을 지나는 수직면 상에 형성되도록 내측으로 경사지게 형성된다.The side engaging surface B is formed inwardly inclined so as to be formed on a vertical surface passing through the center of the chamber 210, as in the first embodiment.

상부결합면(A)과 하부결합면(C) 중 적어도 어느 하나는 수평면 상에 형성된다. 이때, 인접한 두개의 판(상판(211)과 측판(212) 또는 하판(213)과 측판(212)) 사이의 내면 모서리를 지나도록 형성될 수 있다.At least one of the upper engagement surface (A) and the lower engagement surface (C) is formed on the horizontal plane. At this time, it may be formed so as to pass through the inner edge corner between two adjacent plates (the upper plate 211 and the side plate 212 or the lower plate 213 and the side plate 212).

이로써, 챔버의 결합 부분은 면으로 형성되어 진공압에 의한 하중이 결합면 전체에 분산됨으로써 결합 부위의 파손을 방지할 수 있다.As a result, the joint portion of the chamber is formed as a surface, and the load due to the pneumatic pressure is dispersed over the entire engagement surface, so that breakage of the joint portion can be prevented.

한편, 상판, 측판, 하판이 결합된 구조의 챔버는 이송과 설치가 간편하고 용이하다는 장점이 있다.On the other hand, the chamber having a structure in which the upper plate, the side plate, and the lower plate are combined has an advantage that it is simple and easy to transfer and install.

또한, 상술한 각 결합면 사이에는 실링부재가 개재되어 있음이 바람직하나, 도면 상에는 생략하였다.It is preferable that a sealing member is interposed between the above-mentioned engagement surfaces, but they are not shown in the drawings.

본 발명의 제3 실시예는 제1 실시예와 대비하여 실링부재를 부가적으로 구성한다는 점에서 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 6 내지 도 10을 참고하여 설명한다.The third embodiment of the present invention differs from the first embodiment in that a sealing member is additionally constituted. Hereinafter, the components different from the first embodiment will be described with reference to FIGS. 6 to 10. FIG.

도 6, 도 7은 챔버의 하판(313)과 하판(313)에 결합되는 실링부재(20)만을 도시하였으나, 상판과 측판을 동일한 형태로 구성할 수 있음은 당연하며, 이하에서는 하판(313)을 중심으로 설명한다.6 and 7 show only the sealing member 20 connected to the lower plate 313 and the lower plate 313 of the chamber. However, it is a matter of course that the upper plate and the side plate can be formed in the same shape. .

하판(313)이 측판과 결합되는 하부결합면(C)에는 길이 방향을 따라 2개의 결합홈(16)이 형성되며, 이러한 결합홈은 1 이상인 것이 바람직하다.In the lower engaging surface C where the lower plate 313 is engaged with the side plate, two engaging grooves 16 are formed along the longitudinal direction, and the engaging grooves are preferably at least one.

실링부재(20)는 내부공간을 기밀시킴으로써, 챔버 내부의 고진공 상태를 유지하기 위해 상판, 측판, 하판 사이의 결합면에 개재되고, 평면부(21)와 돌출부(22)로 구성된다.The sealing member 20 is disposed on the coupling surface between the upper plate, the side plate, and the lower plate so as to maintain a high vacuum state in the chamber by hermetically sealing the inner space. The sealing member 20 is composed of the plane portion 21 and the projection portion 22.

평면부(21)는 하판(313)의 결합면과 동일하게 형성되어 밀착되도록 측판과 하판(313) 사이에 개재된다. The flat surface portion 21 is formed in the same manner as the engagement surface of the lower plate 313 and interposed between the side plate and the lower plate 313 so as to be in close contact with each other.

돌출부(22)는 평면부(21) 상에 일체로 형성되어 결합홈(16)에 삽입된다.The projecting portion 22 is integrally formed on the flat surface portion 21 and inserted into the engaging groove 16.

실링부재(20)는 돌출부(22)를 결합홈(16)에 삽입하면서, 평면부(21)를 하판(313)의 결합면에 밀착시킴으로써 하판(313)에 결합시킨다. The sealing member 20 is engaged with the lower plate 313 by closely contacting the flat surface portion 21 to the engagement surface of the lower plate 313 while inserting the projecting portion 22 into the engagement groove 16.

실링부재(20)는 챔버에 형성된 결합면 어디에나 구비될 수 있으며, 챔버를 구성하는 하나의 판에 형성된 결합면 전체를 둘러 감싸도록 형성되는 것이 바람직하다. 본 발명의 챔버는 내부가 고진공 상태로 각각의 결합면 사이에 개재된 실링부재는 인접한 두 판에 의해 압축되고, 이로써 챔버의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.The sealing member 20 may be provided anywhere on the coupling surface formed in the chamber, and is preferably formed to surround the entire coupling surface formed on one plate constituting the chamber. The chamber of the present invention is compressed by the adjacent two plates so that the sealing member interposed between the respective engaging surfaces in a high vacuum state can improve the sealing force of the chamber.

이하에서는 상판, 측판 및 하판을 결합하는 3가지 체결 방법에 대하여 도 8 내지 도 10을 참고하여 설명한다. 이때, 각 결합면 사이에는 실링부재가 삽입되는 것을 기본으로 한다.Hereinafter, three fastening methods for joining the upper plate, the side plate, and the lower plate will be described with reference to Figs. 8 to 10. Fig. At this time, a seal member is inserted between each engagement surface.

첫 번째, 도 8에 도시한 바와 같이, 챔버는 적어도 어느 하나의 결합면을 수평 방향 및/또는 수직 방향으로 관통하는 제1 체결부재(31)에 의해 결합되고, 제1 체결부재(31)는 하나의 결합면에 1 이상이 구비될 수 있다.First, as shown in Fig. 8, the chamber is joined by a first fastening member 31 penetrating at least one of the engaging surfaces in a horizontal direction and / or a vertical direction, and the first fastening member 31 At least one bonding surface may be provided.

도 8은 제1 체결부재(31)가 측부결합면(B)을 수평 방향으로 체결된 상태를 나타낸다. 도면에 도시하지는 않았지만, 상부결합면과 하부결합면은 제1 체결부재에 의해 수평 방향 또는 수직 방향으로 관통된다. 이때, 상, 하부결합면에 체결되는 제1 체결부재 전체가 수평 방향으로 체결되거나 수직 방향으로 체결되는 것도 가능하고, 제1 체결부재의 일부는 수평 방향으로 나머지는 수직 방향으로 체결되는 것도 가능하다. 8 shows a state in which the first fastening member 31 is fastened in the horizontal direction to the side fitting surface B. As shown in Fig. Although not shown in the drawing, the upper engagement surface and the lower engagement surface are horizontally or vertically penetrated by the first fastening member. At this time, it is also possible that the entire first fastening member fastened to the upper and lower engagement surfaces is fastened in the horizontal direction or fastened in the vertical direction, and a part of the first fastening member can be fastened in the horizontal direction and the rest in the vertical direction .

즉, 제1 체결부재는 챔버 외면에 수직한 방향으로 결합면을 관통하여 챔버의 결합면을 결합시킨다.That is, the first fastening member penetrates the coupling surface in a direction perpendicular to the outer surface of the chamber, thereby coupling the coupling surface of the chamber.

두 번째, 도 9에 도시한 바와 같이, 챔버는 적어도 어느 하나의 결합면 양측의 챔버 외면에 한 쌍의 체결홈(32a)이 형성되고, 한 쌍의 체결홈(32a) 양측을 관통하는 제2 체결부재(32)에 의해 결합되며, 제2 체결부재(32)는 하나의 결합면에 1 이상이 구비될 수 있다.9, the chamber has a pair of coupling grooves 32a formed on the outer surfaces of the chambers on both sides of the coupling surface, and the second coupling groove 32a penetrating both sides of the pair of coupling grooves 32a. And the second fastening members 32 may be provided on at least one coupling surface.

도 9는 제2 체결부재(31)가 측부결합면(B)의 양측의 체결홈(32a)을 관통하여 체결된 상태를 나타낸다. 도면에 도시하지는 않았지만, 상부결합면과 하부결합면은 결합면 양측의 체결홈을 관통하는 제2 체결부재(32)에 의해 결합된다.9 shows a state in which the second fastening members 31 are fastened through the fastening grooves 32a on both sides of the side fitting surface B. As shown in Fig. Although not shown in the drawings, the upper engagement surface and the lower engagement surface are joined by the second engagement member 32 passing through the engagement grooves on both sides of the engagement surface.

세 번째, 도 10에 도시한 바와 같이, 챔버는 적어도 어느 하나의 결합면 양측의 챔버 외면을 상호 연결하는 한 쌍의 제3 체결부재(33)에 의해 결합되고, 제3 체결부재(33)는 하나의 결합면에 1 이상이 구비될 수 있다.10, the chamber is joined by a pair of third fastening members 33 interconnecting the outer surfaces of the chambers on both sides of at least one of the engaging surfaces, and the third fastening member 33 At least one bonding surface may be provided.

도 10은 제3 체결부재가 상판(311)과 측판(312)의 외면을 연결하여 체결된 상태를 나타낸다. 이러한 제3 체결부재(311)는 클램프 형식의 체결부재를 사용할 수 있다.10 shows a state in which the third fastening member is connected to the outer surface of the upper plate 311 and the outer surface of the side plate 312. The third fastening member 311 may be a clamp type fastening member.

상술한 제1, 제2, 제3 체결부재(311)는 한가지를 단독으로 사용할 수도 있으나, 경우에 따라서는 혼용하여 사용할 수 있음은 당연하다.One of the first, second and third fastening members 311 may be used alone, but it may be used in combination in some cases.

이상에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상을 중심으로 그 변형물 또는 균등물에까지 미침은 자명하다 할 것이다.While the invention has been shown and described with reference to certain embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

110 : 챔버
111 : 상판
112 : 측판
113 : 하판
114 : 내부공간
16 : 결합홈
20 : 실링부재
21 : 평면부
22 : 돌출부
31 : 제1 체결부재
32 : 제2 체결부재
33 : 제3 체결부재110: chamber
111: top plate
112: shroud
113: Lower plate
114: inner space
16: Coupling groove
20: sealing member
21:
22:
31: first fastening member
32: second fastening member
33: third fastening member

Claims (11)

상판, 측판 및 하판의 결합으로 이루어지는 진공 챔버에 있어서,
상기 챔버의 내부공간은 1 이상의 볼록한 비구면(aspherical surface)으로 이루어진 입체도형 구조인 것을 특징으로 하는 진공 챔버.In a vacuum chamber comprising a combination of an upper plate, a side plate and a lower plate,
Wherein the inner space of the chamber is a three-dimensional geometry consisting of at least one convex aspherical surface. 제1항에 있어서,
상기 챔버의 외면은 다면체 구조이고, 각 면의 두께가 중앙부에서 외곽부로 갈수록 두껍게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method according to claim 1,
Wherein the outer surface of the chamber has a polyhedral structure, and the thickness of each surface is thicker from the central portion to the outer portion. 제2항에 있어서,
상기 외곽부의 두께는, 상기 중앙부 두께의 105%~300%인 것을 특징으로 하는 진공 챔버.3. The method of claim 2,
And the thickness of the outer frame portion is 105% to 300% of the thickness of the central portion. 제1항에 있어서,
상기 측판은 복수개로 이루어지고,
상기 측판 간의 결합면이 내측으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method according to claim 1,
Wherein the side plate comprises a plurality of side plates,
And a coupling surface between the side plates is inclined inward. 제4항에 있어서,
상기 측판 간의 결합면은, 상기 챔버 중심을 지나는 수직면 상에 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.5. The method of claim 4,
Wherein the coupling surface between the side plates is formed on a vertical plane passing through the center of the chamber. 제4항에 있어서,
상기 상판과 상기 측판의 결합면, 상기 하판과 상기 측판의 결합면 중 적어도 어느 하나는 상기 챔버 중심을 지나도록 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.5. The method of claim 4,
Wherein at least one of a coupling surface of the upper plate and the side plate, and a coupling surface of the lower plate and the side plate is formed to pass through the center of the chamber. 제4항에 있어서,
상기 상판과 상기 측판의 결합면, 상기 하판과 상기 측판의 결합면 중 적어도 어느 하나는 수평면 상에 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.5. The method of claim 4,
Wherein at least one of a coupling surface of the upper plate and the side plate, and a coupling surface of the lower plate and the side plate is formed on a horizontal plane. 제1항에 있어서,
상기 상판, 측판 및 하판이 결합되는 결합면 중 적어도 어느 하나에 길이 방향을 따라 1 이상의 결합홈이 형성되고, 상기 결합홈에 삽입되는 돌출부가 상기 결합면에 밀착되는 평면부의 상부에 일체로 형성된 실링부재; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method according to claim 1,
At least one engaging groove is formed along at least one of the engaging surfaces to which the upper plate, the side plate, and the lower plate are engaged, and a protrusion inserted into the engaging groove is integrally formed on the upper surface of the flat portion, absence; Further comprising a vacuum chamber. 제1항에 있어서,
상기 상판, 측판 및 하판이 결합되는 결합면 사이에 삽입되는 실링부재; 및
상기 챔버 외부로부터 상기 결합면 중 적어도 어느 하나의 결합면을 수직 및/또는 수평 방향으로 관통하여 체결하는 제1 체결부재; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method according to claim 1,
A sealing member inserted between an engaging surface to which the upper plate, the side plate, and the lower plate are coupled; And
A first fastening member for penetrating the coupling surface of at least one of the coupling surfaces from the outside of the chamber in a vertical and / or horizontal direction and fastening; Further comprising a vacuum chamber. 제1항에 있어서,
상기 상판, 측판 및 하판이 결합되는 결합면 사이에 삽입되는 실링부재;
상기 결합면 중 적어도 어느 하나의 결합면 양측의 챔버 외면에 형성된 한 쌍의 체결홈; 및
상기 한 쌍의 체결홈 양측을 관통하여 체결하는 제2 체결부재; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method according to claim 1,
A sealing member inserted between an engaging surface to which the upper plate, the side plate, and the lower plate are coupled;
A pair of coupling grooves formed on the outer surfaces of the chambers on both sides of the coupling surface of at least one of the coupling surfaces; And
A second fastening member passing through both sides of the pair of fastening grooves and fastening; Further comprising a vacuum chamber. 제1항에 있어서,
상기 상판, 측판 및 하판이 결합되는 결합면 사이에 삽입되는 실링부재; 및
상기 결합면 중 적어도 어느 하나의 결합면 양측의 챔버 외면을 상호 연결하여 체결하는 제3 체결부재; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버. The method according to claim 1,
A sealing member inserted between an engaging surface to which the upper plate, the side plate, and the lower plate are coupled; And
A third fastening member for connecting and fastening the outer surfaces of the chambers on both sides of the engaging surface of at least one of the engaging surfaces; Further comprising a vacuum chamber.
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