KR20170058180A - Light Sintering Apparatus for Protecting Damage to Substrate - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 손상 방지 광 소결장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 보강부재를 통해 점착, 흡착 또는 압착하여 광 소결 시 발생하는 광 또는 발열에 의해 기판의 구겨짐 등과 같은 손상이 발생하는 것을 방지 및 억제할 수 있는 기판 손상 방지 광 소결장치에 관한 것이다.The present invention relates to a photo-sintering apparatus for preventing substrate damage, and more particularly, to a photo-sintering apparatus for preventing damage to a substrate, and more particularly, to a method for preventing a substrate from being damaged by adhesion or adsorption or pressure bonding through a reinforcing member to prevent damage such as wrinkling, And a light sintering apparatus capable of suppressing substrate damage.
인쇄기술이라 함은 잉크를 사용하여 판면에 그려져 있는 글이나 그림 따위를 종이, 천 따위에 박아내는 기술로서, 최근에는 잉크젯 프린팅, 플렉소 프린팅, 그라뷰어 프린팅 및 스크린 프린팅과 같은 다양한 기술이 사용되고 있다. 이러한 기술은 RFID 시스템, 대면적의 디스플레이 장치, 박판형 태양전지, 박판형 배터리 등과 같은 고부가 가치 상품에 적용되므로, 기술의 수요가 점차 증가하고 있다.The printing technique is a technique of putting a letter or a figure drawn on a sheet surface using ink into a paper or cloth. Recently, various techniques such as inkjet printing, flexographic printing, gravure printing and screen printing have been used . These technologies are applied to high value-added products such as RFID systems, large-area display devices, thin-plate solar cells, and thin-plate batteries, and the demand for technology is increasing.
특히, 잉크젯을 통한 다이렉트 패터닝 기술(Direct Patterning Technology)은 잉크젯 헤드를 통해 정량의 잉크를 정확한 위치에 직접 토출시켜 배선을 형성하는 기술이다. 이러한 기술은 재료비 절감뿐만 아니라 제조공정 및 시간을 단축할 수 있는 장점이 있다. 현재, 다이렉트 패터닝을 위한 도전성 금속 잉크로는 금, 은 또는 구리 중 적어도 어느 하나를 사용하는 나노 잉크를 사용한다. 잉크젯 프린팅에서 핵심기술은 전도성 잉크의 소결 방법인데 현재까지는 주로 다양한 입자들을 소결하기 위하여 고온의 열소결 공정이 사용되어 왔다. 열소결 공정은 금속 나노 입자를 소결시키기 위하여 비활성 기체 상태에서 약 200℃ 내지 350℃의 온도로 가열하는 방식이며, 이 밖에도 상온 및 대기압 상태에서의 소결이 가능한 레이저 소결법이 많이 사용되고 있다. Particularly, direct patterning technology through inkjet is a technique of forming a wiring by discharging a predetermined amount of ink directly to an accurate position through an inkjet head. Such a technique has the advantage of not only reducing the material cost but also shortening the manufacturing process and time. At present, nano ink using at least one of gold, silver and copper is used as the conductive metal ink for direct patterning. The key technology in inkjet printing is sintering of conductive ink. Up to now, high temperature sintering processes have been used to sinter various particles. In the thermal sintering process, the metal nanoparticles are heated to a temperature of about 200 to 350 ° C. in an inert gas state in order to sinter the metal nanoparticles. In addition, a laser sintering method capable of sintering at room temperature and atmospheric pressure is widely used.
그러나 최근 플랙시블 저온 폴리머 또는 종이 위에 전자 패턴을 제작하려는 시도가 이루어지면서 고온 소결 방법은 인쇄 전자 산업 및 기술에 있어서 적용이 어려운 문제점이 있다. 또한, 구리는 열화학적 평형에 의하여 그 표면에 산화층이 형성되어 있어 소결이 매우 어렵고 소결 후에도 전도성이 감소하는 것으로 알려져 있다. However, recently, attempts have been made to fabricate electronic patterns on flexible low-temperature polymers or paper, and therefore, the high-temperature sintering method has a problem that it is difficult to apply to the printing electronic industry and technology. In addition, copper is known to have a very difficult sintering due to the formation of an oxide layer on its surface due to thermochemical equilibrium, and also to decrease the conductivity after sintering.
또한, 레이저 소결법은 극소면적에 대한 소결만이 가능하여 실용성이 떨어지는 문제점이 있다. In addition, the laser sintering method can only be sintered to a very small area, resulting in poor practicality.
이러한 문제점들을 해결하기 위하여 광 소결방법을 이용한 소결법의 사용이 증대되고 있다. In order to solve these problems, the sintering method using a light sintering method is increasingly used.
도 1은 광 소결에 의해 손상이 발생된 기판의 사진이다. 하지만, 이러한 광 소결 방법 역시 PI(Polyimide)필름 등과 같이 폴리머 재질의 얇은 기판을 사용하는 경우에 도 1에 도시된 바와 같이, 조사되는 광의 강도 및 광의 조사에 따른 발명에 의해 기판이 구겨지거나, 휘어지는 등의 기판 손상이 발생하는 문제점이 있다.1 is a photograph of a substrate on which damage is caused by light sintering. However, in the case of using a thin substrate made of a polymer material such as a PI (polyimide) film, such a light sintering method also causes the substrate to be wrinkled or warped by the invention according to the intensity and the irradiation of light, And the like.
본 발명은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 기판을 보강부재를 통해 점착, 흡착 또는 압착하여 광 소결 시 발생하는 광 또는 발열에 의해 기판의 구겨짐 등과 같은 손상이 발생하는 것을 방지 및 억제할 수 있는 기판 손상 방지 광 소결장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for preventing or suppressing damage such as wrinkling of a substrate due to light or heat generated during light sintering by sticking, And it is an object of the present invention to provide a light sintering apparatus for preventing substrate damage.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기판 손상 방지 광 소결장치는 기판에 인쇄된 전기 전도성 잉크를 소결시키는 광 출력부 및 상기 광 출력부를 통한 소결 시 발생하는 상기 기판의 구겨짐을 방지하기 위하여 상기 기판의 상면 및 하면 중 어느 일면에 구비되는 제1보강부재를 포함한다.To achieve the above object, the present invention provides a light sintering apparatus for preventing damage to a substrate, comprising: a light output unit for sintering an electroconductive ink printed on a substrate; and a light output unit for preventing wrinkles of the substrate generated during sintering through the light output unit. And a first reinforcing member provided on either one of the upper surface and the lower surface of the substrate.
이때, 상기 제1보강부재는 상기 기판과 대면하는 일면이 점착성을 갖는 점착패드일 수 있다. At this time, the first reinforcing member may be a pressure-sensitive adhesive pad having one side thereof facing the substrate.
또한, 상기 광 출력부의 하부에 구비되어 상기 기판을 이송시키는 기판 이송부가 더 구비될 수 있다. The substrate transfer unit may further include a substrate transfer unit provided below the light output unit to transfer the substrate.
또한, 상기 기판 이송부는 컨베이어벨트 또는 복수의 롤러를 이용한 롤러 이송부로 구성되고, 상기 제1보강부재는 상기 기판 이송부의 적어도 일부를 감싸도록 구비될 수 있다. The substrate transferring unit may include a roller conveying unit using a conveyor belt or a plurality of rollers, and the first reinforcing member may be provided to surround at least a part of the substrate transferring unit.
또한, 상기 기판 이송부는, 상기 광 출력부와 대응되는 위치에 구비되고, 상기 기판의 면적과 대응되는 면적으로 이루어져 상기 제1보강부재가 감싸지도록 구비되는 점착 이송부 및 상기 점착 이송부의 전방 또는 후방 중 어느 일측에 구비되는 제1보조 이송부를 포함할 수 있다. The substrate transferring unit may include an adhesive transferring unit provided at a position corresponding to the optical output unit and having an area corresponding to the area of the substrate to enclose the first reinforcing member, And may include a first auxiliary transfer unit provided at one side.
또한, 상기 기판 이송부는 상기 점착 이송부를 기준으로 상기 제1보조 이송부와 대향되는 타측에 구비되는 제2보조 이송부가 더 구비될 수 있다. The substrate transfer unit may further include a second auxiliary transfer unit provided on the other side opposite to the first auxiliary transfer unit with respect to the adhesive transfer unit.
또한, 상기 제1보강부재가 구비되는 상기 기판의 일면과 대향되는 타면에 구비되는 제2보강부재를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include a second reinforcing member provided on the other surface opposite to the first surface of the substrate on which the first reinforcing member is provided.
또한, 상기 제2보강부재를 구동시키는 제2보강부재 구동부가 더 구비될 수 있다. In addition, a second reinforcement member driving unit for driving the second reinforcement member may be further provided.
또한, 상기 제2보강부재 구동부는 컨베이어벨트 또는 복수의 롤러를 이용한 롤러 이송부로 구성되고, 상기 제2보강부재는 상기 제2보강부재 구동부의 적어도 일부를 감싸도록 구비될 수 있다. The second reinforcing member driving unit may include a roller conveying unit using a conveyor belt or a plurality of rollers, and the second reinforcing member may surround at least a part of the second reinforcing member driving unit.
또한, 상기 제1보강부재는 상기 기판과 대면하는 일면에 흡착홀이 형성된 흡착장치일 수 있다. Also, the first reinforcing member may be an adsorption device having a suction hole formed on one surface facing the substrate.
또한, 상기 제1보강부재를 이송시키는 기판 이송부가 더 구비될 수 있다.In addition, a substrate transfer unit for transferring the first reinforcing member may be further provided.
본 발명의 기판 손상 방지 광 소결장치는 다음과 같은 효과가 있다.The substrate damage preventing light sintering apparatus of the present invention has the following effects.
첫째, 기판의 상면 또는 하면 중 적어도 어느 일면에 구비되는 보강부재를 통해 기판을 점착, 흡착 또는 압착 중 적어도 어느 하나의 방법을 통해 고정함으로써 광 소결 시 기판에 조사되는 광 또는 광에 의한 발열에 의해 기판의 구겨짐과 같은 손상이 발생하는 것을 억제 및 방지할 수 있는 효과가 있다. First, the substrate is fixed through at least one of the adhesive, adsorption, or pressing methods through the reinforcing member provided on at least one of the upper surface and the lower surface of the substrate, whereby heat is generated by the light or light emitted to the substrate during the light sintering It is possible to suppress and prevent damage such as wrinkling of the substrate.
둘째, 보강부재를 기판 이송부 상에 구비함으로써 복수의 기판을 연속적으로 소결하더라도 모든 기판의 손상을 억제 및 방지할 수 있는 효과가 있다. Second, since the reinforcing member is provided on the substrate transferring portion, even if a plurality of substrates are continuously sintered, damage to all the substrates can be suppressed and prevented.
셋째, 보강부재를 기판 이송부 상에 전반적으로 설치하거나, 부분적으로만 설치 가능하여 사용양태에 따라 보강부재 설치 비용을 최소화할 수 있는 효과가 있다. Third, the reinforcing member can be installed entirely on the substrate transferring portion, or can be installed only partially, so that the cost of installing the reinforcing member can be minimized according to the use mode.
넷째, 기존의 광 소결장치에 보강부재만을 추가하여 설치함으로써 장치의 교체 없이 기존의 광 소결장치에 호환이 가능한 효과가 있다. Fourth, there is an effect that the existing optical sintering apparatus can be compatible with the conventional optical sintering apparatus without replacing the apparatus by adding only the reinforcing member to the existing optical sintering apparatus.
본 발명의 효과들은 상기 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.
본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 광 소결에 의해 손상이 발생된 기판의 사진;
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 단면도;
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 사시도;
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 단면도;
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 변형예를 나타내는 단면도;
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 단면도;
도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 단면도;
도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 제1보강부재 및 기판 이송부의 사시도; 및
도 9는 본 발명에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치를 통해 소결된 기판의 사진이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are incorporated in and constitute a part of the specification, illustrate preferred embodiments of the invention and, together with the description, serve to further the understanding of the technical idea of the invention, And shall not be interpreted.
1 is a photograph of a substrate on which damage is caused by light sintering;
2 is a sectional view of a substrate damage preventing light sintering apparatus according to a first embodiment of the present invention;
3 is a perspective view of a substrate damage preventing light sintering apparatus according to a second embodiment of the present invention;
4 is a sectional view of a substrate damage preventing light sintering apparatus according to a second embodiment of the present invention;
5 is a sectional view showing a modification of the substrate damage preventing light sintering apparatus according to the second embodiment of the present invention;
6 is a sectional view of a substrate damage preventing light sintering apparatus according to a third embodiment of the present invention;
7 is a sectional view of a substrate damage preventing light sintering apparatus according to a fourth embodiment of the present invention;
8 is a perspective view of a first reinforcing member and a substrate transferring unit according to a fifth embodiment of the present invention; And
FIG. 9 is a photograph of a substrate sintered through a substrate damage preventing light sintering apparatus according to the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제1실시예First Embodiment
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 단면도이다. 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치(10)는 도 2에 도시된 바와 같이, 크게 광 출력부(100), 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220)로 구성된다. 2 is a cross-sectional view of a substrate damage preventing light sintering apparatus according to a first embodiment of the present invention. 2, the optical damage preventing sintering
광 출력부(100)는 도 2에 도시된 바와 같이, PI필름(Polyimide Film) 등의 기판(500) 상에 패터닝된 미세금속입자 또는 전구체와 같은 전기 전도성 잉크를 소결하기 위한 광을 조사하기 위한 장치이다. 이러한 광 출력부(100)는 램프 유닛(110)을 포함하며, 사용양태에 따라서는 반사판(120) 및 광파장 필터(130)를 더 포함하여 구성될 수 있다. As shown in FIG. 2, the
램프 유닛(110)은 기판(500)에 패터닝된 전기 전도성 잉크를 소결하기 위한 광을 조사하는 장치이다. 이러한 램프 유닛(110)은 전기 전도성 잉크를 소결할 수 있는 광을 조사하는 장치라면 어떠한 장치를 사용하여도 무방하지만, 바람직하게는 제논 플래시 램프(Xenon Flash Lamp)를 사용하는 것이 좋으며, 백색광을 면 형태로 조사하는 것이 바람직하다. 제논 플래시 램프는 실린더 형상의 밀봉된 석영 석영튜브 안에 주입된 제논가스를 포함하는 구성으로 이루어진다. 제논가스는 입력 받은 전기에너지로부터 광 에너지를 출력하여, 50%가 넘는 에너지 변환율을 갖는다. 또한, 제논 플래시 램프는 내부 양쪽에 양극 및 음극 형성을 위해 텅스텐과 같은 금속전극이 형성된다. 이러한 구성으로 이루어진 램프 유닛(110)에 후술하는 높은 전원 및 전류를 인가 받으면, 내부에 주입된 제논가스가 이온화되고, 양극과 음극 사이로 스파크가 발생된다. 이때, 축전부에서 집적된 전하가 인가되면 램프 유닛(110) 내부에서 발생한 스파크를 통해 약 1000Adml 전류가 1ms 내지 10ms 동안 전류가 흐르면서 램프 유닛(110) 내부에는 아크 플라즈마 형상이 발생하고, 강한 세기의 광이 발생된다. 여기서 발생된 광은 160nm 내지 2.5mm 사이의 자외선부터 적외선까지의 넓은 파장대역의 광 스펙트럼을 내장하고 있기 때문에 백색광으로 보인다. 본 발명에서는 일실시예로서, 제논 플래시 램프를 기재하였지만, 이러한 목적을 달성할 수 있는 램프 유닛(110)이라면 어떠한 종류를 사용하더라도 무방하다.The
반사판(120)은 도 2에 도시된 바와 같이, 램프 유닛(110)의 상부에 구비되어 램프 유닛(110)으로부터 상부로 조사되는 광을 반사시켜 하부 방향으로 출력하도록 하는 장치이다. As shown in FIG. 2, the
광파장 필터(130)는 도 2에 도시된 바와 같이, 램프 유닛(110)의 하부에 구비되어 기설정된 파장대역을 갖는 극단파 백색광만을 필터링한다. 특히, 제논 플래시 램프를 사용하는 램프 유닛(110)에서 조사되는 자외선광이 폴리머 재질로 이루어진 기판(500)을 손상시킬 수 있기 때문에 자외선 대역의 광을 차단하여야 하며, 기판(500)의 종류에 따라 조사되는 광의 파장대역을 선택적으로 차단한다.As shown in FIG. 2, the
제1보강부재(210)는 기판(500)의 하면에 기판(500)의 면적과 대응되는 면적으로 구비되어 광 출력부(100)에서 조사되는 광에 의해 폴리머 재질로 이루어진 기판(500)에 구겨짐 등의 손상이 발생하는 것을 방지하기 위한 장치이다. 이러한 제1보강부재(210)는 기판(500)의 면적과 대응되는 면적으로 이루어지거나, 기판(500)의 면적보다 상대적으로 큰 면적을 갖는 것이 바람직하다. 물론, 사용양태에 따라서는 기판(500)의 면적보다 상대적으로 작은 면적을 갖도록 형성할 수 있으며, 기판(500)의 면적보다 작은 면적을 갖는 제1보강부재(210)를 기판(500)의 전면적에 걸쳐 복수 구비할 수 있음은 자명한 것이다. 이와 같은 제1보강부재(210)는 기판(500)의 하면에서 기판(500)이 변형되는 것을 방지하기 위하여, 기판(500)의 흡착 또는 점착할 수 있는 것이라면 어떠한 장치를 사용하여도 무방하지만, 바람직하게는 기판(500)의 하부에서 기판(500)의 변형을 억제하도록 기판(500)의 적어도 일부를 점착하는 점착패드로 구성되는 것이 좋다. 이러한 제1보강부재(210)는 기판(500)과 대면하는 일면 또는 양측면에 점착제가 구비되어 있는 점착패드를 사용할 수 있으며, 사용양태에 따라서는 제1보강부재(210)와 대면하도록 구비되는 기판(500)이 제1보강부재(210)에서 이탈되거나 뜨지 않도록 고정할 수 있는 재질이라면 어떠한 재질로 이루어져도 무방하다. 일예로, 마찰력이 높은 고무패드 등을 사용할 수도 있다. The first reinforcing
제2보강부재(220)는 기판(500)의 상면에 기판(500)의 면적과 대응되는 면적으로 구비되고, 전체적은 구성은 제1보강부재(210)와 유사한 구성으로 이루어진다. 하지만, 제2보강부재(220)는 광 출력부(100)와 기판(500) 사이에 구비됨에 따라, 광 출력부(100)에서 조사되는 광의 적어도 일부가 투과될 수 있도록 투명 또는 반투명재질의 점착패드를 사용하는 것이 좋다. The second reinforcing
만약, 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220)가 각각 기판(500)의 면적보다 크게 형성되는 경우에는 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220) 중 어느 하나만 점착패드로 이루어져도 무방하다. 둘 중 어느 하나만 점착성이 있더라도, 기판(500)의 면적을 제외한 나머지 부분이 어느 하나의 점착성에 의해 상호 점착되어 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220) 사이에 구비된 기판(500)을 점착 및 압착할 수 있기 때문이다. If the first reinforcing
본 실시예에서는 기판(500)의 하면 및 상면에 각각 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220)가 구비되는 것을 기준으로 설명하고 있으나, 사용양태에 따라서는 제1보강부재(210) 및 제1보강부재(210) 중 어느 하나만 구비되어도 무방하다. The first reinforcing
전술한 구성과 같이, 기판(500)의 하면 및 상면에 각각 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220)를 결합 시킨 후, 광 출력부(100)에서 조사되는 광의 출력방향에 구비된 지지대에 안착시키거나, 기판(500)을 이송하는 기판 이송부(300) 상에 안착시킨다. After the first reinforcing
이후, 광 출력부(100)에서 조사되는 광을 이용하여 기판(500)에 광을 조사함으로써, 기판(500)상에 인쇄된 전기 전도성 잉크를 소결시킬 수 있다. 이때, 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220)가 점착력에 의해 기판(500)을 고정하고 있기 때문에, 광 출력부(100)에서 광이 조사되더라도 기판(500)은 변형이 발생하지 않거나, 기판(500)의 변형을 최대한 억제할 수 있다.Thereafter, the electroconductive ink printed on the
제2실시예Second Embodiment
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 단면도이다. 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치(10)는 도 3에 도시된 바와 같이, 크게 광 출력부(100), 기판 이송부(300) 및 제1보강부재(210)로 구성된다. FIG. 3 is a perspective view of a substrate damage preventing light sintering apparatus according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a sectional view of a substrate damage preventing light sintering apparatus according to a second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, the substrate damage preventive
광 출력부(100)는 전술한 제1실시예와 유사한 구성으로 이루어지기 때문에 상세한 설명은 생략하기로 한다. Since the
기판 이송부(300)는 적어도 하나 이상의 기판(500)을 일방 또는 양방으로 이송하는 장치이다. 이러한 기판 이송부(300)는 광 출력부(100)의 하부를 통과하도록 배치되며, 기판 이송부(300)의 폭은 기판(500) 및 광 출력부(100)의 폭과 대응되도록 구비되고, 길이는 안착되는 기판(500)의 개수 및 기판(500) 이송 거리 등을 고려하여 선택적으로 결정될 수 있다. 이처럼 기판 이송부(300)는 기판(500)을 광 출력부(100)를 통과하며 기판(500)에 인쇄된 전기 전도성 잉크를 소결할 수 있도록 이송하는 장치라면 어떠한 장치를 사용하여도 무방하지만, 바람직하게는 컨베이어벨트, 복수의 롤러로 구성된 롤러 이송부 또는 상호 이격된 롤러를 벨트 등으로 감싸도록 구비되는 이송부 등을 사용하는 것이 좋다. The
제1보강부재(210)는 기판 이송부(300)의 적어도 일부를 감싸도록 구비되어, 기판(500)을 점착 또는 흡착하여 기판(500)의 변형을 억제할 수 있는 것이라면 어떠한 것을 사용하여도 무방하다. 하지만, 바람직하게는 기판(500)과 대면하는 일면이 점착성을 갖는 점착패드를 사용하는 것이 좋다. 이와 같이, 점착패드로 구성된 제1보강부재(210)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 컨베이어벨트 등과 같은 기판 이송부(300)의 전면적을 감싸도록 구비되거나, 기판 이송부(300)를 구성하는 벨트 등을 대체하여 구비될 수 있다. 전술한 구성으로 이루어진 제1보강부재(210)는 기판 이송부(300)의 구동을 통해 기판(500)이 점착된 상태로 기판 이송부(300)의 구동방향에 따라 기판(500)을 이송시킨다. 이때, 기판(500)은 점착패드로 이루어진 제1보강부재(210)에 점착된 상태로 이송되기 때문에 광 출력부(100)를 통한 소결 시 발생하는 발열 등에 의해 기판(500)이 뜨거나 구겨지는 것을 제1보강부재(210)가 점착력에 의해 고정하기 때문에 기판(500)의 구겨짐과 같은 손상이 억제 또는 방지된다. The first reinforcing
(변형예)(Modified example)
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 변형예를 나타내는 단면도이다. 제2실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치(10)는 도 5에 도시된 바와 같이, 제1보강부재(210)가 기판 이송부(300)를 전체적으로 감싸지 않고, 기판(500)의 크기와 대응되는 크기로 복수 구비될 수 있다. 이때, 제1보강부재(210)의 면적은 기판(500)의 면적과 동일하거나, 상대적으로 크게 형성될 수 있으며, 상호 인접한 제1보강부재(210)의 이격거리는 연속적으로 공급되는 기판(500)의 공급속도 등을 고려하여 조절할 수 있다. 5 is a cross-sectional view showing a modification of the substrate damage preventing light sintering apparatus according to the second embodiment of the present invention. 5, the first reinforcing
제3실시예Third Embodiment
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 단면도이다. 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치(10)는 도 6에 도시된 바와 같이, 전체적으로 전술한 제2실시예와 유사한 구성으로 이루어진다. 따라서, 전술한 제2실시예와 차이가 있는 기판 이송부(300) 및 제1보강부재(210)에 대해서만 상세하게 설명하기로 한다. 6 is a cross-sectional view of a substrate damage preventing light sintering apparatus according to a third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, the substrate damage preventive
본 발명의 제3실시예에 따른 기판 이송부(300)는 도 6에 도시된 바와 같이, 점착 이송부(310), 제1보조 이송부(320) 및 제2보조 이송부(330)로 구성된다. 6, the
점착 이송부(310)는 전술한 제2실시예 또는 제2실시예의 변형예의 기판 이송부(300)와 마찬가지로 제1보강부재(210)가 점착 이송부(310)를 전체적으로 감싸거나, 부분적으로 감싸도록 구비된다. 구성으로 이루어진다. 하지만, 점착 이송부(310)의 길이는 하나의 기판(500)과 대응되거나, 상대적으로 조금 크게 형성된다. 이러한 점착 이송부(310)는 광 출력부(100)와 대응되는 위치에 구비되어 하나의 기판(500)의 광 소결이 이루어지는 동안만 통과할 수 있는 길이를 갖는 것이 바람직하다. The adhesive transferring part 310 is provided so that the first reinforcing
제1보조 이송부(320) 및 제2보조 이송부(330)는 각각 기판(500)의 이송방향을 따라 점착 이송부(310)의 전방 및 후방에 설치된다. 이때, 제1보조 이송부(320) 및 제2보조 이송부(330)는 제1보강부재(210)가 구비되지 않은 일반적은 컨베이어벨트 또는 롤러 이송부 등으로 구성된다. 사용양태에 따라서 제1보조 이송부(320) 및 제2보조 이송부(330)는 둘 중 하나만 구비되거나, 둘 모두 구비되지 않아도 무방하다. The first
전술한 구성으로 이루어지는 제3실시예에 따른 기판 이송부(300)의 사용양태를 설명하면 다음과 같다. The use of the
도 6에 도시된 바와 같이, 기판(500)은 제1보조 이송부(320)를 통해 연속적으로 공급될 수 있다. 이때, 제1보조 이송부(320)는 점착성 또는 흡착성을 갖는 제1보강부재(210)가 구비되지 않기 때문에 기판(500)은 단순히 제1보조 이송부(320) 상에 안착된 상태로 이송된다. As shown in FIG. 6, the
이 후, 제1보조 이송부(320)에서 점착 이송부(310)로 넘어가는 기판(500)은 점착 이송부(310)와 접착하는 일측부터 순차적으로 점착 이송부(310)에 구비된 제1보강부재(210)의 점착력에 의해 점착된 상태로 이송된다. Subsequently, the
기판(500)은 점착 이송부(310)를 통과하는 동안 광 소결이 이루어지고, 광 소결 시 기판(500)은 점착 이송부(310)에 구비된 제1보강부재(210)를 통해 점착되어 있기 때문에 광 소결에 의해 기판(500)의 구겨짐 등과 같은 손상이 억제 및 방지된다. Since the
다음으로, 광 소결이 완료된 기판(500)은 점착 이송부(310)를 통과하여 제2보조 이송부(330)로 이동한다. 이때, 제2보조 이송부(330)는 제1보조 이송부(320)와 마찬가지로 점착력을 갖는 제1보강부재(210)가 구비되어 있지 않기 때문에 기판(500)은 점착 이송부(310)에서 제2보조 이송부(330)로 이동되는 일측부터 순차적으로 점착력을 잃고, 단순히 제2보조 이송부(330) 상에 안착된 상태로 이송된다. Next, the photo-sintered
이처럼, 제3실시예에 따른 기판 이송부(300)는 제2실시예보다 짧은 길이의 점착 이송부(310)에만 제1보강부재(210)가 구비됨에 따라 제1보강부재(210)의 설치비용을 감소할 수 있다. As described above, the
제4실시예Fourth Embodiment
도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치의 단면도이다. 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치(10)는 도 7에 도시된 바와 같이, 크게 광 출력부(100), 기판 이송부(300), 제1보강부재(210), 제2보강부재(220) 및 제2보강부재 구동부(400)로 구성된다. 7 is a cross-sectional view of a substrate damage preventing light sintering apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7, the substrate damage preventing
여기서, 광 출력부(100), 기판 이송부(300) 및 제1보강부재(210)는 전술한 실시예들과 유사한 구성으로 이루어지기 때문에 상세한 설명은 생략하기로 한다. 즉, 기판 이송부(300) 및 제1보강부재(210)는 전술한 제2실시예 및 제3실시예 중 어느 하나의 구성을 채택하여 사용할 수 있다. 이에 따라, 전술한 구성들과 차이가 있는 제2보강부재(220) 및 제2보강부재 구동부(400)를 중심으로 설명하기로 한다. Here, since the
제2보강부재(220)는 제1실시예와 마찬가지로 제1보강부재(210)와 대면하는 기판(500)의 일면과 대향되는 타면, 즉, 기판(500)의 상면에 구비되어 제1보강부재(210)와 함께 기판(500)을 상부 및 하부에서 점착 및 압착한다. 이때, 제2보강부재(220)는 기판(500)과 대면하는 일면이 점착력을 갖는 점착패드로 이루어질 수 있다. The second reinforcing
제2보강부재 구동부(400)는 기판 이송부(300)와 마찬가지로 컨베이어벨트 또는 복수의 롤러를 이용한 롤러 이송부로 이루어질 수 있으며, 제2보강부재(220)는 제2보강부재 구동부(400)의 적어도 일부를 감싸도록 구비될 수 있다. The second reinforcing
만약, 제1보강부재(210)가 제2실시예의 변형예와 같이, 기판 이송부(300)의 일측에 부분적으로 복수 구비되고, 제2보강부재(220)가 역시 제2보강부재 구동부(400)의 일측에 부분적으로 복수 구비되는 경우에는 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220)가 상호 대응되는 위치에 배치되도록 구성하는 것이 좋다. If the first reinforcing
즉, 제2보강부재(220) 및 제2보강부재 구동부(400)는 전술한 제1보강부재(210) 및 기판 이송부(300)와 동일한 구성을 갖도록 이루어질 수 있다. That is, the second reinforcing
하지만, 제2보강부재(220)는 기판(500)의 상면, 즉, 전기 전도성 잉크가 인쇄된 기판(500)의 일면에 구비됨에 따라 광 출력부(100)에서 조사되는 광의 적어도 일부가 통과할 수 있도록 투명 또는 반투명재질로 이루어지는 것이 좋다. However, since the second reinforcing
또한, 제2보강부재 구동부(400)는 도 7에 도시된 바와 같이, 제2보강부재(220)가 광 출력부(100)와 기판(500) 사이에 한 겹만 통과할 수 있도록 광 출력부(100)를 감싸도록 구비되는 것이 좋다. 광 출력부(100)와 기판(500) 사이에 제2보강부재(220)가 두 겹 이상 통과하는 경우에는 광의 투과율이 감소되어 전기 전도성 잉크의 소결이 용이하지 않을 수 있기 때문에 제2보강부재 구동부(400)가 광 출력부(100)를 감싸는 형상으로 이루어져 광 출력부(100)와 기판(500) 사이에 제2보강부재(220)가 한 겹만 통과하도록 구비되는 것이 좋다. 7, the second stiffening
또한, 제2보강부재(220)는 기판 이송부(300)와 별도의 구동장치를 이용하여 개별적으로 구동될 수 있으며, 사용양태에 따라서는 기판 이송부(300)의 구동력을 이용하여 그에 따라 연동되어 구동될 수 있도록 구성할 수도 있다. The second reinforcing
또한, 제2보강부재 구동부(400)는 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(500)이 공급되는 일측에서는 제2보강부재(220)가 기판(500)의 공급방향을 따라 소정각도 경사지게 구비되어 기판(500)의 공급방향의 일측에서부터 타측으로 순차적으로 제2보강부재(220)가 접촉할 수 있도록 구비되는 것이 좋다. 이처럼, 제2보강부재(220)가 기판(500)의 공급에 따라 일측에서 타측으로 순차적으로 접촉하면 소결되지 않은 전기 전도성 잉크가 임의로 확산되거나 번지는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있기 때문이다. 7, the second reinforcing
본 실시예에서는 기판 이송부(300)에 제1보강부재(210)가 구비된 상태를 기준으로 설명하고 있지만, 사용양태에 따라서 기판 이송부(300)에는 제1보강부재(210)가 구비되지 않는 일반적이 컨베이어벨트 또는 롤러 이송부를 사용하고, 제2보강부재(220)만을 통해 기판(500)을 고정하도록 사용할 수도 있다. Although the first reinforcing
또한, 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220)는 제1실시예에서 설명한 바와 같이, 둘 중 어느 하나만 점착성을 갖도록 구비될 수도 있다. Also, as described in the first embodiment, the first reinforcing
제5실시예Fifth Embodiment
도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 제1보강부재 및 기판 이송부의 사시도이다. 본 발명의 제5실시예에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치(10)는 전술한 실시예들과 유사한 구성으로 이루어진다. 하지만, 제1보강부재(210) 및 기판 이송부(300)의 구성이 변형됨에 따라 이를 중심으로 설명하기로 한다. 8 is a perspective view of a first reinforcing member and a substrate transferring unit according to a fifth embodiment of the present invention. The substrate damage preventing
제1보강부재(210)는 전술한 실시예들과 달리 진공흡착을 이용하여 기판(500)을 흡착하여 고정시킬 수 있도록 기판(500)과 대면하는 일면에 복수의 흡착홀이 형성된 흡착장치로 구성될 수 있다. 이러한 흡착장치는 진공 흡착을 이용하여 기판(500)을 흡착하여 기판(500)의 변형을 억제 및 방지할 수 있는 장치라면 어떠한 장치를 사용하여도 무방하다. 이때, 제1보강부재(210)는 적어도 하나 이상의 기판(500)이 안착될 수 있도록, 기판(500)의 면적과 대응되거나, 상대적으로 크게 형성되는 것이 좋다.The first reinforcing
기판 이송부(300)는 기판(500)이 광 출력부(100)를 통과하여 이동할 수 있도록, 흡착장치로 이루어진 제1보강부재(210)를 일방 또는 양방으로 이송시킬 수 있는 장치라면 어떠한 구성으로 이루어져도 무방하다. 바람직하게는 도 8에 도시된 바와 같이, 유압 또는 공압 실린더 등을 이용하여 제1보강부재(210)를 슬라이딩 시킬 수 있는 기판 이송부(300)를 사용하는 것이 좋다. The
본 실시예에서는 제1실시예 또는 제4실시예와 같이, 제2보강부재(220)가 제1보강부재(210)와 함께 구비되도록 구성될 수 있음은 자명하다. It is apparent that the second reinforcing
전술한 실시예들 외에 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220) 중 하나가 승강 가능하게 구비되어 기판(500)을 상부 및 하부에서 압착할 수 있는 구성 등 기판(500)의 적어도 일면을 점착, 흡착 및 압착할 수 있는 구성이라면 어떠한 구성을 사용하여도 무방하다. It is preferable that at least one of the first reinforcing
도 9는 본 발명에 따른 기판 손상 방지 광 소결장치를 통해 소결된 기판의 사진이다. 전술한 실시예들 중 어느 하나의 구성으로 이루어진 기판 손상 방지 광 소결장치(10)는 기판(500)의 상면 및 하면 중 적어도 어느 일면을 제1보강부재(210) 및 제2보강부재(220)를 통해 점착, 흡착 및 압착한 상태로 광 소결이 이루어지기 때문에 도 9에 도시된 바와 같이, 도 1에 도시된 기존의 광 소결이 이루어진 기판(500)과 비교하여 기판(500)의 구겨짐 등과 같은 기판(500)의 손상이 현저하게 감소된 상태를 확인할 수 있다. FIG. 9 is a photograph of a substrate sintered through a substrate damage preventing light sintering apparatus according to the present invention. The substrate damage preventing
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술한 실시예들은 모든 면에 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.As described above, those skilled in the art will understand that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.
10 : 광 소결장치
100 : 광 출력부
110 : 램프 유닛
120 : 반사판
130 : 광파장 필터
210 : 제1보강부재
220 : 제2보강부재
300 : 기판 이송부
310 : 점착 이송부
320 : 제1보조 이송부
330 : 제2보조 이송부
400 : 제2보강부재 구동부
500 : 기판10: Light sintering apparatus
100: light output section
110: lamp unit
120: reflector
130: Optical wavelength filter
210: first reinforcing member
220: second reinforcing member
300: substrate transfer section
310: Adhesive transfer part
320: First auxiliary transport unit
330: Second auxiliary conveyance part
400: second reinforcing member driving part
500: substrate
Claims (11)
상기 광 출력부를 통한 소결 시 발생하는 상기 기판의 구겨짐을 방지하기 위하여 상기 기판의 상면 및 하면 중 어느 일면에 구비되는 제1보강부재;
를 포함하는 기판 손상 방지 광 소결장치. A light output section for sintering the electroconductive ink printed on the substrate; And
A first reinforcing member provided on at least one of an upper surface and a lower surface of the substrate to prevent wobbling of the substrate during sintering through the light output unit;
Wherein the substrate is made of glass.
상기 제1보강부재는 상기 기판과 대면하는 일면이 점착성을 갖는 점착패드인 기판 손상 방지 광 소결장치. The method according to claim 1,
Wherein the first reinforcing member is a pressure-sensitive adhesive pad having a tacky surface on one side facing the substrate.
상기 광 출력부의 하부에 구비되어 상기 기판을 이송시키는 기판 이송부가 더 구비되는 기판 손상 방지 광 소결장치. 3. The method of claim 2,
And a substrate transfer unit provided below the light output unit for transferring the substrate.
상기 기판 이송부는 컨베이어벨트 또는 복수의 롤러를 이용한 롤러 이송부로 구성되고, 상기 제1보강부재는 상기 기판 이송부의 적어도 일부를 감싸도록 구비되는 기판 손상 방지 광 소결장치. The method of claim 3,
Wherein the substrate transferring portion is constituted by a conveyor belt or a roller conveying portion using a plurality of rollers, and the first reinforcing member is provided to surround at least a part of the substrate transferring portion.
상기 기판 이송부는,
상기 광 출력부와 대응되는 위치에 구비되고, 상기 기판의 면적과 대응되는 면적으로 이루어져 상기 제1보강부재가 감싸지도록 구비되는 점착 이송부; 및
상기 점착 이송부의 전방 또는 후방 중 어느 일측에 구비되는 제1보조 이송부;
를 포함하는 기판 손상 방지 광 소결장치.The method of claim 3,
Wherein,
An adhesive transferring unit provided at a position corresponding to the light output unit and having an area corresponding to an area of the substrate and enclosing the first reinforcing member; And
A first auxiliary transfer unit provided at one side of the front side or the rear side of the adhesive transfer unit;
Wherein the substrate is made of glass.
상기 기판 이송부는 상기 점착 이송부를 기준으로 상기 제1보조 이송부와 대향되는 타측에 구비되는 제2보조 이송부가 더 구비되는 기판 손상 방지 광 소결장치. 6. The method of claim 5,
Wherein the substrate transferring part further comprises a second auxiliary transfer part provided on the other side opposite to the first auxiliary transfer part with respect to the adhesive transfer part.
상기 제1보강부재가 구비되는 상기 기판의 일면과 대향되는 타면에 구비되는 제2보강부재를 더 포함하는 기판 손상 방지 광 소결장치. 3. The method of claim 2,
And a second reinforcing member provided on the other surface opposite to the one surface of the substrate on which the first reinforcing member is provided.
상기 제2보강부재를 구동시키는 제2보강부재 구동부가 더 구비되는 기판 손상 방지 광 소결장치. 8. The method of claim 7,
And a second reinforcing member driving unit for driving the second reinforcing member.
상기 제2보강부재 구동부는 컨베이어벨트 또는 복수의 롤러를 이용한 롤러 이송부로 구성되고, 상기 제2보강부재는 상기 제2보강부재 구동부의 적어도 일부를 감싸도록 구비되는 기판 손상 방지 광 소결장치. 9. The method of claim 8,
Wherein the second reinforcing member driving unit comprises a roller conveying unit using a conveyor belt or a plurality of rollers and the second reinforcing member is provided to surround at least a part of the second reinforcing member driving unit.
상기 제1보강부재는 상기 기판과 대면하는 일면에 흡착홀이 형성된 흡착장치인 기판 손상 방지 광 소결장치.The method according to claim 1,
Wherein the first reinforcing member is an adsorption device having a suction hole formed on one surface thereof facing the substrate.
상기 제1보강부재를 이송시키는 기판 이송부가 더 구비되는 기판 손상 방지 광 소결장치.11. The method of claim 10,
Further comprising a substrate transferring unit for transferring the first reinforcing member.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal |