KR20170057643A - Apparatus of deposition having roll-to-roll radiation angle controlling element - Google Patents

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Abstract

Provided is a deposition apparatus for depositing a thin film on a substrate by evaporating a source material. According to the present invention, the deposition apparatus comprises: a deposition chamber in which deposition is performed with respect to the substrate; an evaporation source which is disposed opposite to the substrate and ejects vapor particles toward the substrate as the vapor particles are evaporated from the source material by heating; and a roll-to-roll ejection angle adjusting section including an unwinding roll, a flexible sheet which is delivered from the unwinding roll and is stood to reach a predetermined region of the substrate by limiting an ejection angle of the vapor particles ejected from the evaporation source, and a winding roll onto which the flexible sheet is wound.

Description

롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치{Apparatus of deposition having roll-to-roll radiation angle controlling element}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a deposition apparatus having a roll-to-

본 발명은 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 분출각도조절부에 기생증착된 증발입자를 회수하여 기생증착 퇴적물을 용이하게 제거할 수 있는 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a deposition apparatus having a roll-to-roll ejection angle adjusting section. More particularly, the present invention relates to a deposition apparatus having a roll-to-roll spraying angle adjuster capable of easily recovering parasitic deposited deposits by collecting parasitic deposited evaporation particles in a spray angle adjusting section.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.BACKGROUND ART Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-light emitting devices that emit light by using an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. A backlight for applying light to a non- Therefore, a lightweight thin flat panel display device can be manufactured.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착법으로 기판 상에 증착된다.The organic electroluminescent device includes organic thin films such as a hole injection layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer, which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. Lt; / RTI >

진공열증착법은 진공챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발원의 도가니를 가열하여 도가니에서 증발되는 증발입자를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. In the vacuum thermal evaporation method, a substrate is disposed in a vacuum chamber, a shadow mask on which a predetermined pattern is formed is aligned on a substrate, and a crucible of an evaporation source is heated to evaporate evaporated particles from the crucible on the substrate .

증발원에서 증발되는 증발입자를 기판에 증착하는 과정에서, 증발입자를 기판의 일정 영역에 증착되도록 유도하기 위해 증발원에서 분출하는 증발입자의 분출각을 조절할 필요가 있다. 또한, 마스크에 의한 쉐도우 현상(shadow effect)을 방지하기 위하여 증발원에서 분출하는 증발입자의 분출각을 조절하기도 한다. It is necessary to control the ejection angle of the evaporation particles ejected from the evaporation source in order to induce the evaporation particles to be deposited in a certain region of the substrate in the process of evaporating the evaporation particles evaporated from the evaporation source on the substrate. Further, in order to prevent a shadow effect caused by the mask, the ejection angle of the evaporation particles ejected from the evaporation source may be adjusted.

증발입자의 분출각의 조절은 증발원과 기판 사이에 판 상의 각도조절판 등을 배치하여 증발입자가 기판의 일정 영역으로 분출되도록 유도한다. The adjustment of the ejection angle of the evaporation particles is performed by arranging a plate-like angle regulating plate between the evaporation source and the substrate so that the evaporation particles are ejected to a certain region of the substrate.

그러나, 장시간의 증착공정이 진행되는 동안, 각도조절판에 증발입자가 기생증착되어 불균일한 퇴적물이 발생하고 이로 인해 증발입자의 분출각이 불균일하게 되어 증착 균일도가 떨어질 수 있다. 또한, 퇴적물이 증가에 따라 퇴적물이 낙하하여 증발원의 입구를 막아 증발입자의 분출 경로 차단하여 증착 균일도가 떨어질 우려가 있다.However, during the long time of the deposition process, the evaporation particles are parasitically deposited on the angle regulating plate, resulting in non-uniform deposits, which may result in non-uniform ejection angles of the evaporation particles, resulting in lower deposition uniformity. In addition, as sediments increase, sediment falls, blocking the entrance of the evaporation source and shutting off the flow path of the evaporation particles, which may lower the uniformity of the deposition.

본 발명은 분출각도조절부에 기생증착된 증발입자를 회수하여 기생증착 퇴적물을 용이하게 제거할 수 있는 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a deposition apparatus having a roll-to-roll spraying angle adjusting unit capable of easily recovering parasitic deposition deposits by collecting parasitic vaporized particles in a spray angle adjusting unit.

본 발명의 일 측면에 따르면, 증발물질을 증발시켜 기판에 박막을 형성하는 증착장치로서, 내부에서 상기 기판에 대해 증착이 수행되는 증착챔버와; 상기 기판에 대향하여 배치되며 가열에 따라 증발물질이 증발되어 상기 기판을 향하여 증발입자를 분출하는 증발원과; 언와인딩 롤(unwinding roll)와, 상기 언와인딩 롤에서 송출되어 상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분출각을 한정하여 상기 기판의 일정 영역에 도달하도록 세워지는 플렉서블 쉬트와, 상기 플렉서블 쉬트가 권취되는 와인딩 롤(winding roll)를 구비하는 롤투롤 분출각도조절부를 포함하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a deposition apparatus for depositing a thin film on a substrate by evaporating a vaporizing material, comprising: a deposition chamber in which deposition is performed on the substrate; An evaporation source disposed opposite to the substrate, the evaporation material being evaporated according to heating to eject evaporation particles toward the substrate; A flexible sheet that is set up to reach a predetermined region of the substrate by limiting an ejection angle of evaporation particles ejected from the unwinding roll and ejected from the unwinding roll; There is provided a deposition apparatus having a roll-to-roll jetting angle adjusting section including a roll-to-roll jetting angle adjusting section having a winding roll.

상기 플렉서블 쉬트는, 상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분포를 일정한 영역으로 한정하여 한정 영역을 구획하도록 포위할 수 있다.The flexible sheet may surround the limited area so as to define the distribution of the evaporated particles ejected from the evaporation source to a predetermined area.

상기 롤투롤 각도조절부는, 상기 한정영역의 외주를 따라 서로 이격되어 배치되며, 상기 플렉서블 쉬트에 의해 포위되어 감기는 복수의 방향전환롤을 포함할 수 있다.The roll-to-roll angle adjusting unit may include a plurality of direction changing rolls arranged to be spaced apart from each other along the outer periphery of the confined area, and surrounded and wound by the flexible sheet.

상기 롤투롤 각도조절부는, 상기 복수의 방향전환롤을 포위한 상기 플렉서블 쉬트가 내측으로 감기는 한 쌍의 아이들러(idler)를 더 포함할 수 있다.The roll-to-roll angle adjusting unit may further include a pair of idlers in which the flexible sheet surrounding the plurality of direction changing rolls is wound inward.

상기 한정영역은 직사각형 형태를 이룰 수 있으며, 상기 방향전환롤은 상기 직사각형 형태의 상기 한정영역의 서로 인접하는 세 개의 모서리에 상응하여 위치하고, 상기 한 쌍의 아이들러(idler)는 나머지 하나의 모서리에 상응하여 위치할 수 있다.The limiting region may be in the form of a rectangle and the direction changing rolls are located corresponding to three adjacent edges of the defining region of the rectangular shape and the pair of idlers correspond to one edge of the other .

상기 플렉서블 쉬트는 상기 증발원에 인접하여 세워질 수 있으며, 상기 와인딩 롤은 상기 증발원에서 일정 거리 이격되어 배치될 수 있다.The flexible sheet may be erected adjacent to the evaporation source, and the winding roll may be disposed at a distance from the evaporation source.

상기 롤투롤 각도조절부는, 상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분포를 일정한 영역으로 한정하여 한정 영역을 구획하도록 복수 개가 구비될 수 있다.The roll-to-roll angle adjuster may include a plurality of roll-to-roll angle adjusters to limit the distribution of the evaporated particles ejected from the evaporation source to a predetermined region to define a confined region.

상기 증발원은 일 방향으로 긴 선형의 증발원일 수 있으며, 상기 롤투롤 분출각도조절부는 상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 길이 방향을 따라 서로 대향하여 각각 배치되는 한 쌍의 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부를 포함할 수 있다.The evaporation source may be a long linear evaporation source in one direction, and the roll-to-roll ejection angle regulating unit may include a pair of long-side roll-to-roll ejection angle adjusting units arranged such that the flexible sheets are opposed to each other along the longitudinal direction of the linear evaporation source Section.

또한, 상기 롤투롤 분출각도조절부는 상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 양단부을 따라 서로 대향하여 각각 배치되는 한 쌍의 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부를 포함할 수 있다.Also, the roll-to-roll ejection angle adjusting unit may include a pair of roll-to-roll ejection angle adjusting units for the short sides where the flexible sheets are disposed opposite to each other along both ends of the linear evaporation source.

상기 장변한정용 롤투롤 각도조절부는, 서로 이격되어 배치되며 상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 길이 방향을 따라 배치되도록 감기는 한 쌍의 방향전환롤을 포함할 수 있다.The long roll side roll angle adjusting portion may include a pair of redirecting rolls spaced from each other and wound so that the flexible sheet is arranged along the longitudinal direction of the linear evaporation source.

상기 단변한정용 롤투롤 각도조절부는, 서로 이격되어 배치되며, 상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 단부를 따라 배치되도록 감기는 한 쌍의 방향전환롤을 포함할 수 있다.The short-side roll-to-roll angular adjustment unit may include a pair of direction change rolls spaced from each other and wound so that the flexible sheet is arranged along an end portion of the linear evaporation source.

본 발명의 실시예에 따르면, 분출각도조절부에 기생증착된 증발입자를 회수하여 기생증착 퇴적물을 용이하게 제거할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, parasitic deposition deposits can be easily removed by collecting parasitic vaporized particles in the jetting angle adjusting unit.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치를 간략히 도시한 측면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치를 간략히 도시한 정면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부를 간략히 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부의 변형예를 간략히 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부를 간략히 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부의 변형예를 간략히 도시한 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a side view schematically showing a deposition apparatus having a roll-to-roll ejection angle adjusting unit according to an embodiment of the present invention;
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a deposition apparatus and a deposition apparatus.
3 is a view schematically showing a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit of a deposition apparatus having a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a view schematically showing a modified example of a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit of a deposition apparatus having a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit according to an embodiment of the present invention; FIG.
5 is a view schematically showing a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit of a deposition apparatus having a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit according to another embodiment of the present invention.
6 is a view schematically showing a modified example of a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit of a deposition apparatus having a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals And redundant explanations thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치를 간략히 도시한 측면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치를 간략히 도시한 정면도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부를 간략히 도시한 도면이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부의 변형예를 간략히 도시한 도면이다.FIG. 1 is a side view schematically illustrating a deposition apparatus having a roll-to-roll spraying angle adjusting unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic view of a deposition apparatus having a roll- It is a front view. 3 is a schematic view illustrating a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit of a deposition apparatus having a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a view schematically showing a modified example of the roll-to-roll ejection angle adjusting unit of a deposition apparatus having a roll-to-roll ejection angle adjusting unit according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4에는, 기판(10), 증착챔버(12), 증발물질(14), 증발입자(16), 도가니(18), 노즐부(20), 증발원(22), 롤투롤 분출각도조절부(24), 방향전환롤(26),플렉서블 쉬트(28), 언와인딩 롤(30), 와인딩 롤(32), 한정영역(34), 아이들러(idler)(36), 기생증착(37)이 도시되어 있다.1 to 4 show an embodiment in which the substrate 10, the deposition chamber 12, the evaporation material 14, the evaporation particles 16, the crucible 18, the nozzle unit 20, the evaporation source 22, The winding roll 32, the confinement region 34, the idler 36, the parasitic deposition 37 (Fig. 37), the direction changing roll 26, the flexible sheet 28, the unwinding roll 30, ) Are shown.

본 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치는, 증발물질(14)을 증발시켜 기판(10)에 박막을 형성하는 증착장치로서, 내부에서 상기 기판(10)에 대해 증착이 수행되는 증착챔버(12)와; 상기 기판(10)에 대향하여 배치되며 가열에 따라 증발물질(14)이 증발되어 상기 기판(10)을 향하여 증발입자(16)를 분출하는 증발원(22)과; 언와인딩 롤(unwinding roll)(30)와, 상기 언와인딩 롤(30)에서 송출되어 상기 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분출각을 한정하여 상기 기판(10)의 일정 영역에 도달하도록 세워지는 플렉서블 쉬트(28)와, 상기 플렉서블 쉬트(28)가 권취되는 와인딩 롤(winding roll)(32)를 구비하는 롤투롤 분출각도조절부(24)를 포함한다.A deposition apparatus having a roll-to-roll ejection angle adjusting unit according to the present embodiment is a deposition apparatus for forming a thin film on a substrate 10 by evaporating a vaporization material 14, wherein deposition is performed on the substrate 10 A deposition chamber (12); An evaporation source (22) disposed opposite to the substrate (10) and evaporating the evaporation material (14) according to the heating to eject the evaporation particles (16) toward the substrate (10); An unwinding roll 30 and an ejection angle of the evaporation particles 16 ejected from the unwinding roll 30 and ejected from the evaporation source 22 are limited to a predetermined region of the substrate 10 And a winding roll 32 on which the flexible sheet 28 is wound, and a roll-to-roll jetting angle adjusting unit 24 having a winding roll 32 on which the flexible sheet 28 is wound.

증착챔버(12)의 내부의 증착공간은 증발입자(16)의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(10)이 증착챔버(12)의 내부의 기판안착부(미도시)에 안착되거나 이동하면서 기판(10)에 대한 증착이 이루어진다.The deposition space inside the deposition chamber 12 is maintained in a vacuum atmosphere for the deposition of the evaporation particles 16 and the substrate 10 is either seated in a substrate seating part (not shown) Deposition on the substrate 10 is performed.

기판(10)에 대향하는 위치에는 증발원(22)이 배치되고, 증발원(22)의 내부에 위치하는 도가니(18)의 가열에 따라 도가니(18)의 증발물질(14)이 증발되면서 증발입자(16)가 증발원(22)에서 분출된다.An evaporation source 22 is disposed at a position opposite to the substrate 10 and the evaporation material 14 of the crucible 18 is evaporated as the crucible 18 located in the evaporation source 22 is heated, 16 are ejected from the evaporation source 22.

본 실시예에서는 T 형의 선형의 노즐부(20)가 증착챔버(12)의 내부에 배치되고, 도가니(18)가 증착챔버(12)의 외부에서 선형의 노즐부(20)로 결합되어 증발원(22)이 구성되는 형태를 제시한다. 도가니(18)의 외주에는 도가니(18)를 가열하기 위한 히터부(미도시)가 배치될 수 있고 히터부의 가열에 따라 도가니(18)가 가열되면서 도가니(18) 내부의 증발물질(14)이 증발되어 증발입자(16)가 도가니(18)에서 분출된다. 도가니(18)에서 분출되는 증발입자(16)는 선형의 노즐부(20)를 통해 선형의 분포 형태로 기판(10)을 향해 분출된다.In this embodiment, a T-shaped linear nozzle unit 20 is disposed inside the deposition chamber 12, and a crucible 18 is coupled to the linear nozzle unit 20 from the outside of the deposition chamber 12, (22) is constituted. A heater portion (not shown) for heating the crucible 18 can be disposed on the outer periphery of the crucible 18 and the crucible 18 is heated by the heating of the heater portion so that the evaporation material 14 inside the crucible 18 And the evaporated particles 16 are ejected from the crucible 18. The evaporation particles 16 ejected from the crucible 18 are ejected toward the substrate 10 in a linear distribution form through the linear nozzle unit 20. [

롤투롤 분출각도조절부(24)는 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포영역을 한정하여 기판(10)의 일정 영역에 도달하도록 유도한다. 선형의 증발원(22)을 이용하여 기판(10)에 증발입자(16)를 증착하는 경우, 선형의 증발원(22)이 기판(10)의 폭과 평행하게 배치시킨 상태에서 기판(10)의 길이 방향으로 기판(10)을 이동시켜 기판(10) 전체에 대해 증착을 수행하게 되는데, 이때, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(10)의 길이 방향으로 선형의 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분출각도를 한정한 상태에서 기판(10)을 길이 방향으로 이동시켜 기판(10) 전체에 대한 증착을 수행하게 된다.The roll-to-roll ejection angle adjusting unit 24 limits the distribution region of the evaporated particles 16 ejected from the evaporation source 22 and guides the region to reach a certain region of the substrate 10. When the evaporation particles 16 are deposited on the substrate 10 by using the linear evaporation source 22, the length of the substrate 10 in a state in which the linear evaporation sources 22 are arranged parallel to the width of the substrate 10 The substrate 10 is moved in the direction of the substrate 10 to perform vapor deposition on the substrate 10. At this time, The substrate 10 is moved in the longitudinal direction in a state where the ejection angle of the particles 16 is limited to perform deposition on the entire substrate 10. [

한편, 기판(10)에 대한 증발입자(16)의 증착 과정에서 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)는 플렉서블 쉬트(28)의 내면에 기생증착(37)될 수 있고, 이를 제거하지 않는 경우 불균일하게 퇴적되어 기판(10)에 대한 불균일한 증착을 초래하거나, 퇴적이 많이 되는 경우 낙하하여 증발원(22)의 입구를 막을 수 있다. The evaporation particles 16 ejected from the evaporation source 22 during the deposition of the evaporation particles 16 on the substrate 10 may be parasitic deposition 37 on the inner surface of the flexible sheet 28, It is possible to deposit unevenly on the substrate 10, or to drop the evaporation source 22 when the deposition is excessive.

이러한 문제를 해결하기 위해 본 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치는, 플렉서블 쉬트(28)의 내면에 일정량의 증발입자(16)의 기생증착(37)이 이루어지면 언와인딩 롤(30)에서 깨끗한 플렉서블 쉬트(28)를 풀면서 와인딩 롤(32)에서 기생증착(37)이 이루어진 플렉서블 쉬트(28)를 감아 깨끗한 플렉서블 쉬트(28)로 교체함으로써 기생증착에 따른 증착 불균일을 방지할 수 있다.In order to solve such a problem, in the evaporation apparatus having the roll-to-roll ejection angle adjusting unit according to the present embodiment, when parasitic deposition 37 of a certain amount of evaporation particles 16 is performed on the inner surface of the flexible sheet 28, The flexible sheet 28 on which the parasitic deposition 37 is formed is unwound from the winding roll 32 while the clean flexible sheet 28 is released from the clean roll 30 and replaced with a clean flexible sheet 28 to prevent deposition unevenness due to parasitic deposition .

롤투롤 분출각도조절부(24)는, 언와인딩 롤(30), 플렉서블 쉬트(28), 와인딩 롤(32)을 포함한다. 플렉서블 쉬트(28)는 언와인딩 롤(30)에 감겨 있다가 풀리면서 송출되어 와인딩 롤(32)에 감기게 된다. 플렉서블 쉬트(28)는 긴 띠장 형태로서 폭 방향으로 세워져 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분출각을 한정하여 기판(10)의 일정 영역에 도달하도록 한다. 플렉서블 쉬트(28)는 가요성(可撓性)이 유연한 긴 띠장 형태로서 증발원(22)에서 발생하는 복사열에 의해 손상이 되지 않도록 내열성의 재질로 이루어질 수 있다. 플렉서블 쉬트(28)는 언와인딩 롤(30)에 감겨 있다가 필요 시 언와인딩 롤(30)에서 풀리면서 와인딩 롤(32)에 감기게 된다. The roll-to-roll ejecting angle adjusting section 24 includes an unwinding roll 30, a flexible sheet 28, and a winding roll 32. [ The flexible sheet 28 is wound around the unwinding roll 30 and unwound to be wound on the winding roll 32. The flexible sheet 28 has a long wale shape and is erected in the width direction so as to limit the ejection angle of the evaporation particles 16 ejected from the evaporation source 22 to reach a certain region of the substrate 10. [ The flexible sheet 28 may be made of a heat resistant material so as not to be damaged by radiant heat generated in the evaporation source 22, The flexible sheet 28 is wound on the unwinding roll 30 and unwound on the unwinding roll 30 as necessary to be wound on the winding roll 32.

도 1을 참조하면, 노즐부(20)에서 분출되는 증발입자(16)는 플렉서블 쉬트(28)의 상단에 의해 분출각도가 제한되어 기판(10)에 도달하게 된다. Referring to FIG. 1, the evaporation particles 16 ejected from the nozzle unit 20 reach the substrate 10 with the ejection angle limited by the upper end of the flexible sheet 28.

도 3은 증발원(22)의 상부에서 증발원(22)을 향하여 바라본 상태를 나타낸 것으로서, 플렉서블 쉬트(28)에 의해 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포영역이 사각형 형태의 한정영역(34)으로 구획되고 있다. 여기서, 한정영역(34)이라 함은 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포를 일정한 영역으로 한정하고자 하는 가상의 영역(도 3의 빗금친 영역)으로서, 본 실시예서는 기판(10)의 폭 방향으로 긴 직사각형 형태로 한정영역(34)을 정의하고 있다. 3 shows a state in which the distribution of the evaporation particles 16 ejected from the evaporation source 22 by the flexible sheet 28 is limited to a limited region of a rectangular shape (34). The limiting region 34 is a virtual region (hatched region in FIG. 3) in which the distribution of the evaporation particles 16 ejected from the evaporation source 22 is limited to a certain region. In this embodiment, 10, the defining region 34 is defined as a rectangular shape elongated in the width direction.

증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포는 일정한 형태가 없는 무정형을 이루게 되는데, 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)를 기판(10)의 일정 영역에 도달하도록 유도하기 위해서는 증발입자(16)의 분포를 일정한 영역으로 한정할 필요가 있다. 이와 같이, 증발원(22)에서 분출되는 무정형의 증발입자(16)의 분포를 일정한 영역으로 한정하고자 하는 영역을 한정영역(34)이라 하고, 이러한 한정영역(34)은 본 실시예에서와 같이 플렉서블 쉬트(28)의 배치에 의해 구획될 수 있다.The distribution of the evaporation particles 16 ejected from the evaporation source 22 is amorphous without any uniform shape. In order to induce the evaporation particles 16 ejected from the evaporation source 22 to reach a certain region of the substrate 10 It is necessary to limit the distribution of the evaporation particles 16 to a certain region. As described above, the region in which the distribution of the amorphous evaporation particles 16 ejected from the evaporation source 22 is limited to a certain region is referred to as a confining region 34. This confining region 34 is a flexible region And can be partitioned by the arrangement of the sheets 28. Fig.

도 3을 참조하면, 본 실시예에서는 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)는 폐합된 직사각형 형태로 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포 영역을 포위하여 한정영역(34)을 구획한 후 와인딩 롤(32)에 감기도록 구성되었다. 3, in the present embodiment, the flexible sheet 28 unwound from the unwinding roll 30 surrounds the distribution region of the evaporation particles 16 ejected from the evaporation source 22 in the closed rectangular shape, 34 and then wound on the winding roll 32. [

보다 자세히 살펴 보면, 직사각형 형태의 한정영역(34)의 서로 인접하는 세 개의 모서리에 상응한 위치에 세 개의 방향전환롤(26)을 각각 배치한 상태에서, 나머지 한 모서리에 상응한 위치에 배치된 언와인딩 롤(30)에서 송출되는 플렉서블 쉬트(28)가 세 개의 방향전환롤(26)을 포위하도록 감긴 후 다시 나머지 모서리에 상응한 위치에 배치된 와인딩 롤(32)에 감기도록 하여 플렉서블 쉬트(28)가 직사각형 형태의 한정영역(34)을 포위하도록 구성하였다. More specifically, in a state in which three direction switching rolls 26 are disposed at positions corresponding to three adjacent edges of the rectangular-shaped confinement region 34, The flexible sheet 28 fed out from the unwinding roll 30 is wound around the three direction changing rolls 26 and then wound on the winding roll 32 disposed at a position corresponding to the remaining edge to form a flexible sheet 28 are arranged to surround the rectangular-shaped confinement region 34.

복수의 방향전환롤(26)은 구획하고자 하는 가상의 한정영역(34)의 외주를 따라 서로 이격되게 배치한 상태에서 플렉서블 쉬트(28)가 복수의 방향전환롤(26)을 포위하도록 거치면서 감겨 한정영역(34)을 구획하게 된다.The plurality of direction changing rolls 26 are wound while being wrapped around the plurality of direction changing rolls 26 in a state in which the flexible sheets 28 are disposed apart from each other along the outer periphery of the imaginary confining region 34 to be divided The confinement region 34 is defined.

도 4는 본 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부(24)의 변형예를 도시한 도면이다. 본 변형례는, 직사각형 형태의 한정영역(34)의 서로 인접하는 세 개의 모서리에 상응한 위치에 세 개의 방향전환롤(26)을 각각 배치하고 나머지 한 모서리에 상응한 위치에 한 쌍의 아이들러(36)를 배치한 상태에서, 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)가 한 쌍의 아이들러(36) 사이로 진입한 상태에서 세 개의 방향전환롤(26)을 포위하도록 감긴 후 다시 한 쌍의 아이들러(36) 사이로 유출되어 와인딩 롤(32)에 감기도록 구성한 형태이다.4 is a view showing a modified example of the roll-to-roll ejecting angle adjusting unit 24 according to the present embodiment. In this modification, three direction switching rollers 26 are disposed at positions corresponding to three adjacent edges of the rectangular-shaped confinement region 34, and a pair of idlers The flexible sheet 28 unwound from the unwinding roll 30 enters the space between the pair of idlers 36 in a state where the three direction changing rolls 26 are wrapped around the pair of idlers 36, And is wound around the winding roll 32. In this embodiment, as shown in Fig.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부를 간략히 도시한 도면이다. 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치의 롤투롤 분출각도조절부의 변형예를 간략히 도시한 도면이다.5 is a view schematically showing a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit of a deposition apparatus having a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit according to another embodiment of the present invention. 6 is a view schematically showing a modified example of a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit of a deposition apparatus having a roll-to-roll ejecting angle adjusting unit according to another embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6에는, 증발원(22), 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부(23), 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25), 반향전환롤(26), 플렉서블 쉬트(28), 언와인딩 롤(30), 와인딩 롤(32), 한정영역(34), 낙하지점(38)이 도시되어 있다.5 and 6 show an embodiment in which the evaporation source 22, the roll-to-roll ejecting angle adjusting unit 23 for long side limiting rolls, the roll-to-roll ejecting angle adjusting unit 25 for short side limiting rolls, the echo changing rolls 26, The winding roll 30, the winding roll 32, the confinement region 34, and the drop point 38 are shown.

상술한 일 실시예는 하나의 롤투롤 분출각도조절부(24)를 이용하여 한정영역(34)을 포위하도록 구성한 형태이다. 즉, 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)가 한정영역(34)을 포위한 상태에서 와인딩 롤(32)에 감기도록 구성한 형태이다.The above-described embodiment is configured to surround the confinement region 34 by using one roll-to-roll ejection angle regulating portion 24. That is, the flexible sheet 28 unwound from the unwinding roll 30 is wound around the winding roll 32 in a state surrounding the confinement region 34.

상기의 일 실시예에 대비하여 본 실시예는 복수 개의 롤툴롤 분출각도조절부(23, 25)를 이용하여 한정영역(34)을 구획한 형태이다. In contrast to the above embodiment, the present embodiment is a form in which the confinement region 34 is partitioned by using a plurality of roll tool roll ejection angle regulating portions 23 and 25. [

상술한 바와 같이, 선형의 증발원(22)을 이용하여 기판에 대한 증착을 수행하고자 하는 경우, 선형의 증발원(22)을 기판의 폭을 따라 평행하게 배치한 상태에서 기판의 길이 방향으로 기판을 이동시켜 기판 전체에 대한 증착을 수행하는데, 기판의 길이 방향으로 선형의 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분출각도를 한정하게 된다. 이를 위해, 도 5를 참조하면, 선형의 증발원(22)의 길이 방향을 따라 플렉서블 쉬트(28)가 서로 대향하도록 한 쌍의 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부(23)를 배치하여 기판의 길이 방향으로 선형의 증발원(22)에서 분출되는 증발입자의 분출각도를 한정하도록 구성하였다. 한편, 선형의 증발원(22)의 양단부에도 플렉서블 쉬트(28)가 서로 대향하도록 한 쌍의 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25)를 배치하였다.As described above, in the case of performing deposition on a substrate using a linear evaporation source 22, a linear evaporation source 22 is arranged in parallel along the width of the substrate, and the substrate is moved in the longitudinal direction of the substrate The evaporation particles 16 ejected from the linear evaporation source 22 in the longitudinal direction of the substrate are limited to the angle of ejection. 5, a pair of roll-to-roll ejection angle adjusting units 23 are disposed along the longitudinal direction of the linear evaporation source 22 so that the flexible sheets 28 face each other, So that the angle of ejection of the evaporated particles ejected from the linear evaporation source 22 is limited. On the other hand, a pair of roll-to-roll ejection angle adjusting portions 25 for short-side limiting are arranged so that the flexible sheets 28 are opposed to both ends of the linear evaporation source 22.

본 실시예의 경우, 플렉서블 쉬트(28)는 증발원(22)에 인접하여 증발원(22)을 따라 배치되게 되나, 플렉서블 쉬트(28)가 감기는 와인딩 롤러는 증발원(22)에서 일정 거리 이격되게 배치된다. 도 5를 참조하면, 플렉서블 쉬트(28)의 내면에 일정한 량의 증발입자(16)의 기생증착이 이루어지면 깨끗한 플렉서블 쉬트(28)의 교체를 위해 언와인딩 롤(30)에서 깨끗한 플렉서블 쉬트(28)가 풀리고 증발입자(16)가 기생증착(37)된 플렉서블 쉬트(28)는 와인딩 롤(32)에 감기게 되는데, 와인딩 롤(32)에 증발입자(16)가 기생증착(37)된 플렉서블 쉬트(28)가 감기면서 꺾여 퇴적물이 이탈되면서 낙하될 수 있다. 이러한 퇴적물이 증발원(22)에서 이격된 낙하지점(38)에 낙하되도록 와인딩 롤(32)은 증발원(22)에서 일정 거리 이격시켜 배치된다. 언와인딩 롤(30)의 경우엔 깨끗한 플렉서블 쉬트(28)가 풀리게 되므로 증발원(22)에 인접하여 배치되어도 무방하다.The flexible sheet 28 is disposed along the evaporation source 22 adjacent to the evaporation source 22 but the winding rollers around which the flexible sheet 28 is wound are spaced apart from the evaporation source 22 by a certain distance . 5, when parasitic deposition of a certain amount of evaporation particles 16 is performed on the inner surface of the flexible sheet 28, a clean flexible sheet 28 (not shown) is formed in the unwinding roll 30 for replacement of the clean flexible sheet 28 The flexible sheet 28 in which the evaporation particles 16 are parasitic deposition 37 is wound on the winding roll 32. The evaporation particles 16 are wound on the winding roll 32 by a flexible The sheet 28 may be folded while being rolled, and the sediment may fall and fall off. The winding roll 32 is disposed at a distance from the evaporation source 22 such that the sediment drops to the drop point 38 spaced apart from the evaporation source 22. [ In the case of the unwinding roll 30, since the clean flexible sheet 28 is unwound, it may be disposed adjacent to the evaporation source 22. [

도 5를 참조하면, 선형의 증발원(22)에서 분출되는 증발입자(16)의 분포를 직사각형 형태의 한정영역(34)으로 한정하게 되는데, 한 쌍의 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부(23)는 한정영역(34)의 장변을 따라 각각 배치되고, 한 쌍의 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25)는 한정영역(34)의 단변을 따라 각각 배치된다. 5, the distribution of the evaporation particles 16 ejected from the linear evaporation source 22 is limited to the rectangular shape defining region 34. The pair of long-side limiting roll-to-roll ejection angle adjusting units 23, And a pair of roll-to-roll ejecting angle adjusting portions 25 for short-side limiting are respectively disposed along the short side of the confinement region 34. The pair of short-

장변한정용 롤투롤 분출각도조절부(23)의 경우, 한정영역(34)의 장변의 일단에 언와인딩 롤(30)을 배치하고 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)를 한정영역(34)의 장변을 따라 배치한 상태에서, 장변의 타단에서 일정 거리 이격된 위치에 와인딩 롤(32)을 배치하였다. 또한, 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25)의 경우, 한정영역(34)의 단변의 일단에 언와인딩 롤(30)을 배치하고 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)를 한정영역(34)의 단변을 따라 배치한 상태에서, 단변의 타단에서 일정 거리 이격된 위치에 와인딩 롤(32)을 배치하였다.The unwinding roll 30 is disposed at one end of the long side of the confinement region 34 and the flexible sheet 28 unwound from the unwinding roll 30 is disposed in the limiting region 34 34, the winding roll 32 is disposed at a position spaced apart from the other end of the long side by a predetermined distance. The unrolling roll 30 is disposed at one end of the short side of the confinement region 34 and the flexible sheet 28 unwound from the unwinding roll 30 is limited The winding roll 32 is disposed at a position spaced a certain distance from the other end of the short side in a state where the winding roll 32 is disposed along the short side of the region 34. [

본 실시예에서는 선형의 증발원(22)의 양단부에도 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25)를 배치한 형태를 제시하고 있으나, 선형의 증발원(22)의 양단부에는 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부(25)를 배치하지 않고 선형의 증발원(22)의 길이 방향을 따라서만 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부(23)를 배치하는 것도 가능하다.In this embodiment, a roll-to-roll ejection angle adjusting unit 25 for short-side limiting is disposed at both ends of a linear evaporation source 22. However, at both ends of the linear evaporation source 22, It is also possible to arrange the roll-to-roll ejecting angle adjusting portion 23 for limiting the long side only along the longitudinal direction of the linear evaporating source 22 without disposing the roll-to-

본 실시예서는 플렉서블 쉬트(28)의 방향을 변경하기 위한 방향조절롤을 이용하지 않고 언와인딩 롤(30), 플렉서블 쉬트(28) 및 와인딩 롤(32)의 배치만으로 증발입자(16)의 분출각을 한정하도록 구성한 형태이다.The present embodiment is advantageous in that the arrangement of the unwinding roll 30, the flexible sheet 28 and the winding roll 32 alone without using a direction adjusting roll for changing the direction of the flexible sheet 28 causes the ejection of the evaporated particles 16 And is configured to limit angles.

도 6은 본 실시예에 따른 롤투롤 분출각도조절부(24)의 변형예를 도시한 도면이다. 본 변형례는 방향조절롤(26)을 이용하여 플렉서블 쉬트(28)를 증발원(22)이 인접하게 배치하고 언와인딩 롤(30)과 와인딩 롤(32)를 후방으로 배치한 형태이다. 도 6을 참조하면, 직사각형 형태의 한정영역(34)의 한 변의 일단에 제1 방향조절롤(26)을 배치하고 한 변의 타단에서 일정 거리 이격된 위치에 또 다른 제2 방향조절롤(26)을 배치한 상태에서 제1 방향조절롤(26)의 후방에 위치한 언와인딩 롤(30)에서 풀린 플렉서블 쉬트(28)가 제1 방향조절롤(26)과 제2 방향조절롤(26)을 거치면서 감겨 제2 방향조절롤(26)의 후방에 위치한 와인딩 롤(32)에 플렉서블 쉬트(28)에 감기도록 구성한 형태이다. 이 경우, 증발물질(14)이 기생증착(37)된 플렉서블 쉬트(28)가 와인딩 롤(32)에 감기는 과정에서 플렉서블 쉬트(28)의 방향이 꺾이는 제2 방향조절롤(26)의 주변에 퇴적물이 낙하될 수 있다. 따라서 제2 방향조절롤(26)은 증발원(22)과 이격된 위치에 설치되도록 한다.6 is a view showing a modified example of the roll-to-roll ejecting angle adjusting unit 24 according to the present embodiment. In this modification, the flexible sheet 28 is disposed adjacent to the evaporation source 22 and the unwinding roll 30 and the winding roll 32 are disposed rearward using the direction adjusting rolls 26. 6, a first direction regulating roll 26 is disposed at one end of one side of a rectangular-shaped confining area 34, and another second direction regulating roll 26 is disposed at a position spaced apart from the other end of one side. The flexible sheet 28 unwound from the unwinding roll 30 located behind the first direction adjusting roll 26 is placed on the first direction adjusting roll 26 and the second direction adjusting roll 26, And is wound around the winding roll 32 positioned at the rear of the second direction adjusting roll 26 to the flexible sheet 28. [ In this case, in the process of winding the flexible sheet 28 on which the evaporation material 14 is parasitic deposition 37 onto the winding roll 32, the periphery of the second direction adjustment roll 26, in which the direction of the flexible sheet 28 is deflected, The sediment may fall down. Therefore, the second direction adjusting roll 26 is installed at a position spaced apart from the evaporation source 22.

이상에서 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

10: 기판 12: 증착챔버
14: 증발물질 16: 증발입자
18: 도가니 20: 노즐부
22: 증발원 23, 24, 25: 롤투롤 분출각도조절부
26: 방향전환롤 28: 플렉서블 쉬트
30: 언와인딩 롤 32: 와인딩 롤
34: 한정영역 36: 아이들러(idler)
37: 기생증착 38: 낙하지점10: substrate 12: deposition chamber
14: evaporation material 16: evaporation particles
18: crucible 20: nozzle part
22: evaporation source 23, 24, 25: roll-to-
26: orientation roll 28: flexible sheet
30: Unwinding roll 32: Winding roll
34: Definition area 36: idler
37: parasitic deposition 38: drop point

Claims (11)

증발물질을 증발시켜 기판에 박막을 형성하는 증착장치로서,
내부에서 상기 기판에 대해 증착이 수행되는 증착챔버와;
상기 기판에 대향하여 배치되며 가열에 따라 증발물질이 증발되어 상기 기판을 향하여 증발입자를 분출하는 증발원과;
언와인딩 롤(unwinding roll)와, 상기 언와인딩 롤에서 송출되어 상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분출각을 한정하여 상기 기판의 일정 영역에 도달하도록 세워지는 플렉서블 쉬트와, 상기 플렉서블 쉬트가 권취되는 와인딩 롤(winding roll)를 구비하는 롤투롤 분출각도조절부를 포함하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.
A vapor deposition apparatus for vaporizing a vaporized material to form a thin film on a substrate,
A deposition chamber in which deposition is performed on the substrate;
An evaporation source disposed opposite to the substrate, the evaporation material being evaporated according to heating to eject evaporation particles toward the substrate;
A flexible sheet that is set up to reach a predetermined region of the substrate by limiting an ejection angle of evaporation particles ejected from the unwinding roll and ejected from the unwinding roll; And a roll-to-roll ejecting angle adjusting section having a winding roll.
제1항에 있어서,
상기 플렉서블 쉬트는,
상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분포를 일정한 영역으로 한정하여 한정 영역을 구획하도록 포위하는 것을 특징으로 하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.
The method according to claim 1,
In the flexible sheet,
Characterized in that the distribution of the evaporation particles ejected from the evaporation source is limited to a certain region so as to surround the limited region.
제1항에 있어서,
상기 롤투롤 각도조절부는,
상기 한정영역의 외주를 따라 서로 이격되어 배치되며, 상기 플렉서블 쉬트에 의해 포위되어 감기는 복수의 방향전환롤을 포함하는 것을 특징으로 하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.
The method according to claim 1,
The roll-to-
And a plurality of direction changing rolls arranged to be spaced apart from each other along an outer periphery of the limited region and wound and surrounded by the flexible sheet.
제3항에 있어서
상기 롤투롤 각도조절부는,
상기 복수의 방향전환롤을 포위한 상기 플렉서블 쉬트가 내측으로 감기는 한 쌍의 아이들러(idler)를 더 포함하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.
The method of claim 3, wherein
The roll-to-
Further comprising a pair of idlers for winding the flexible sheet surrounding the plurality of direction changing rolls inward.
제4항에 있어서,
상기 한정영역은 직사각형 형태를 이루며,
상기 방향전환롤은 상기 직사각형 형태의 상기 한정영역의 서로 인접하는 세 개의 모서리에 상응하여 위치하고,
상기 한 쌍의 아이들러(idler)는 나머지 하나의 모서리에 상응하여 위치하는 것을 특징으로 하는, 증착장치.
5. The method of claim 4,
The limiting region has a rectangular shape,
Wherein the direction changing roll is positioned corresponding to three adjacent edges of the limited region of the rectangular shape,
And the pair of idlers are positioned corresponding to the other one of the corners.
제1항에 있어서,
상기 플렉서블 쉬트는,
상기 증발원에 인접하여 세워지며,
상기 와인딩 롤은,
상기 증발원에서 일정 거리 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.
The method according to claim 1,
In the flexible sheet,
And is erected adjacent to the evaporation source,
The winding rolls
And an evaporation source disposed at a predetermined distance from the evaporation source.
제6항에 있어서,
상기 롤투롤 각도조절부는,
상기 증발원에서 분출되는 증발입자의 분포를 일정한 영역으로 한정하여 한정 영역을 구획하도록 복수 개가 구비되는 것을 특징으로 하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.
The method according to claim 6,
The roll-to-
And a plurality of roll-to-roll ejection angle adjusting portions are provided to define a limited region by limiting a distribution of evaporated particles ejected from the evaporation source to a predetermined region.
제6항에 있어서,
상기 증발원은,
일 방향으로 긴 선형의 증발원이며,
상기 롤투롤 분출각도조절부는,
상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 길이 방향을 따라 서로 대향하여 각각 배치되는 한 쌍의 장변한정용 롤투롤 분출각도조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.
The method according to claim 6,
The evaporation source
A long linear evaporation source in one direction,
Wherein the roll-to-
And a pair of long-side roll-to-roll ejection angle adjusting units arranged such that the flexible sheets are opposed to each other along the longitudinal direction of the linear evaporation source.
제8항에 있어서,
상기 롤투롤 분출각도조절부는,
상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 양단부을 따라 서로 대향하여 각각 배치되는 한 쌍의 단변한정용 롤투롤 분출각도조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the roll-to-
Wherein the flexible sheet includes a pair of roll-to-roll ejection angle adjusting portions arranged so as to face each other along both ends of the linear evaporation source.
제8항에 있어서,
상기 장변한정용 롤투롤 각도조절부는,
서로 이격되어 배치되며 상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 길이 방향을 따라 배치되도록 감기는 한 쌍의 방향전환롤을 포함하는 것을 특징으로 하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.
9. The method of claim 8,
The roll-to-roll angle adjuster for long-
And a pair of direction changing rolls arranged to be spaced apart from each other and wound so that the flexible sheet is arranged along the longitudinal direction of the linear evaporation source.
제9항에 있어서,
상기 단변한정용 롤투롤 각도조절부는,
서로 이격되어 배치되며, 상기 플렉서블 쉬트가 상기 선형의 증발원의 단부를 따라 배치되도록 감기는 한 쌍의 방향전환롤을 포함하는 것을 특징으로 하는, 롤투롤 분출각도조절부를 갖는 증착장치.10. The method of claim 9,
The roll-to-roll angle adjusting unit for short-
And a pair of direction changing rolls arranged to be spaced apart from each other and wound so that the flexible sheet is arranged along an end portion of the linear evaporation source.
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