KR20170046125A

KR20170046125A - 프로브 정렬

Info

Publication number: KR20170046125A
Application number: KR1020177001038A
Authority: KR
Inventors: 발퀼리오 엔. 카르발로
Original assignee: 테라다인 인코퍼레이티드
Priority date: 2014-08-21
Filing date: 2015-08-19
Publication date: 2017-04-28
Also published as: US20160054356A1; US9880199B2; CN106574938A; WO2016028883A1

Abstract

자동 테스트 장비(ATE) 용 프로브는: 노출된 전기 리드를 구비하는 타겟 장치를 수용하고 상기 타겟 장치를 외부 슈라우드의 내부로 가이드 하도록 구성된 성긴 정렬 피처를 구비하는 외부 슈라우드; 및 상기 외부 슈라우드의 내부에 적어도 부분적으로 있는 내부 구조;를 포함한다. 상기 내부 구조는 상기 노출된 전기 리드에 대한 전기 연결을 위한 전기 접촉부를 포함하고, 또한 상기 전기 연결을 위해 상기 타겟 장치를 상기 전기 접촉부로 가이드 하도록 구성된 미세 정렬 피처를 포함한다.

Description

프로브 정렬{PROBE ALIGNMENT}

본 발명은 일반적으로 자동 테스트 장비에서의 프로브 정렬에 관한 것이다.

자동 테스트 장비(ATE)는 일반적으로 장치를 테스트하기 위한 컴퓨터로 작동되는 자동화된 시스템을 가리킨다. ATE에 의해 테스트되는 장치는 일반적으로 피시험장치(DUT)라고 한다. ATE는 일반적으로 컴퓨터 시스템 및 테스트 기기 또는 대응하는 기능을 가진 단일한 장치를 포함한다. ATE는 테스트 신호를 DUT로 제공하고, 응답 신호를 DUT로부터 수신하고, 및 DUT가 테스트 능력을 충족하는지를 판정하는 처리를 위해 상기 응답 신호를 포워딩할 수 있다.

본 발명에 따르면 자동 테스트 장비에서의 프로브 정렬을 제공할 수 있다.

자동 테스트 장비(ATE)에 대한 예시적인 프로브는: 노출된 전기 리드를 포함하는 타겟 장치를 수용하고 상기 타겟 장치를 외부 슈라우드(shroud)의 내부로 가이드 하도록 구성된 성긴(coarse) 정렬 피처를 포함하는 외부 슈라우드; 및 적어도 부분적으로 상기 외부 슈라우드의 내에 있는 내부 구조;를 포함한다. 상기 내부 구조는 상기 노출된 전기 리드에 전기 연결을 하기 위한 전기 접촉부를 포함하고, 또한 상기 전기 연결을 하기 위해 상기 타겟 장치를 상기 전기 접촉부로 가이드하도록 구성된 미세(fine) 정렬 피처를 포함한다. 예시적인 프로브는 하기의 특징들 중 하나 이상을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다.

예시적인 프로브는 회로 기판을 구비하는 프로브 카드를 포함할 수 있다. 상기 외부 슈라우드 및 상기 내부 구조가 상기 프로브 카드에 대해 배열될 수 있다. 상기 내부 구조는 상기 내부 구조와 상기 외부 슈라우드 사이에 하나 이상의 스프링을 포함하여 상기 외부 슈라우드가 상기 내부 구조에 대해 이동할 수 있게 한다. 상기 내부 구조는 상기 외부 슈라우드가 상기 프로브 카드에 대해 이동할 수 있도록 상기 외부 슈라우드와 상기 프로브 카드 사이에 하나 이상의 스프링을 포함할 수 있다. 예시적인 프로브는 상기 외부 슈라우드가 그 위에 장착되어 상기 프로브 카드에 대해 외부 슈라우드가 이동할 수 있도록 하는 포스트를 포함할 수 있다.

상기 예시적인 프로브의 전기 접촉부는 상기 노출된 전기 리드에 전기 연결을 하기 위한 핀을 포함할 수 있다. 상기 핀과 상기 노출된 전기 리드 사이의 전기 연결은 상기 노출된 전기 리드를 만곡시키지 않고 달성될 수 있다. 상기 예시적인 프로브는 전기 회로를 구비하는 프로브 카드를 포함할 수 있다. 상기 전기 연결은 상기 타겟 장치와 상기 전기 회로 사이에 신호 경로를 생성할 수 있다.

상기 성긴 정렬 피처는 하나 이상의 챔퍼(chamfer)를 포함할 수 있고, 그 각각은 상기 외부 슈라우드의 내부를 향하여 하방으로 경사지는 경사면을 가질 수 있다. 상기 미세 정렬 피처는 상기 전기 접촉부를 향해 하방으로 경사지는 경사면을 가진 하나 이상의 챔퍼를 포함할 수 있다. 상기 미세 정렬 피처의 경사면은 상기 성긴 정렬 피처의 경사면보다 타겟 장치의 이동 방향을 따라 길이가 더 짧을 수 있다. 상기 성긴 정렬 피처는 다수의 챔퍼를 포함할 수 있고, 그 각각은 상기 외부 슈라우드의 내부를 향하여 하방으로 경사지는 경사면을 가질 수 있다. 상기 외부 슈라우드는 상기 타겟 장치를 수용하는 개구를 가질 수 있다. 다수의 챔퍼는 상기 개구의 적어도 일부 주위에 배열될 수 있다. 상기 미세 정렬 피처는 상기 타겟 장치의 이동 방향에 대해 상기 성긴 정렬 피처의 하류에 있을 수 있다.

자동 테스트 장비(ATE)를 위한 예시적인 프로브는 하기의 특징들을 포함할 수 있다: 전기 회로를 구비하는 프로브 카드; 및 성긴 정렬 피처, 미세 정렬 피처, 및 상기 전기 회로에 전기적으로 연결 가능한 전기 접촉부를 구비하는 연결 장치;를 포함한다. 상기 성긴 정렬 피처는 타겟 장치를 수용하고 상기 타겟 장치를 상기 미세 정렬 피처를 향하여 가이드 하도록 구성될 수 있다. 상기 미세 정렬 피처는 상기 타겟 장치를 수용하고 상기 타겟 장치를 상기 전기 접촉부를 향해 가이드 하도록 구성될 수 있다. 상기 전기 접촉부는 상기 타겟 장치상의 노출된 리드에 대한 전기 연결을 구축할 수 있다. 상기 연결 장치의 적어도 일부는 상기 프로브 카드에 대해 이동 가능할 수 있다. 상기 예시적인 프로브는 하기의 특징들 중 하나 이상을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다.

상기 성긴 정렬 피처는 하나 이상의 챔퍼를 포함할 수 있고, 그 각각은 상기 연결 장치의 내부를 향해 하방으로 경사지는 경사면을 가질 수 있다. 상기 미세 정렬 피처는 상기 전기 접촉부를 향해 하방으로 경사지는 경사면을 가진 하나 이상의 챔퍼를 포함할 수 있다. 상기 미세 정렬 피처의 경사면은 상기 성긴 정렬 피처의 경사면보다 상기 타겟 장치의 이동 방향을 따라 길이가 더 짧을 수 있다.

상기 프로브의 전기 접촉부는 상기 노출된 전기 리드에 전기 연결을 하기 위한 핀을 포함할 수 있다. 상기 핀과 상기 노출된 전기 리드 사이의 상기 전기 연결은 만곡시키거나, 실질적으로 만곡시키지 않고, 또는 상기 노출된 전기 리드에 현저한 손상을 가하지 않고 달성될 수 있다.

상기 프로브 카드에 대해 이동 가능한 상기 연결 장치의 적어도 일부는 상기 성긴 정렬 피처를 포함할 수 있다. 상기 프로브 카드에 대해 이동 가능한 상기 연결 장치의 적어도 일부는 상기 타겟 장치에 의해 상기 성긴 정렬 피처에 인가된 힘에 응답할 수 있다. 상기 타겟 장치는 상기 연결 장치와 실질적으로 동일한 크기를 가질 수 있다.

타겟 장치와 프로브 카드 사이의 연결을 구축하는 예시적인 방법은 하기의 동작을 포함하는 방법으로서: 성긴 정렬 피처에서 상기 타겟 장치를 수용하는 단계로서, 여기서 상기 성긴 정렬 피처는 노출된 전기 리드들을 구비하는 타겟 장치를 미세 정렬 피처를 향해 가이드 하기 위한 것인 상기 단계; 및 상기 미세 정렬 피처에서 상기 타겟 장치를 수용하는 단계로서, 상기 미세 정렬 피처는 상기 타겟 장치를 상기 전기 접촉부를 향해 가이드 하여 상기 장치상의 노출된 리드가 전기 접촉부에 전기적으로 연결할 수 있게 하는 상기 단계;를 포함하는 방법이다. 상기 성긴 정렬 피처는 외부 슈라우드의 일부이고 상기 미세 정렬 피처는 상기 외부 슈라우드 내부의 구조의 일부이다. 상기 외부 슈라우드는 상기 타겟 장치의 이동 중에 상기 내부 구조에 대해 이동한다. 상기 예시적인 방법은 하기의 특징들 중 하나 이상을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다.

상기 전기 접촉부는 상기 노출된 전기 리드에 상기 전기 연결을 하기 위한 핀을 포함할 수 있다. 상기 핀과 상기 노출된 전기 리드 사이의 상기 전기 연결은 만곡시키거나, 실질적으로 만곡시키지 않고, 또는 상기 노출된 전기 리드에 실질적인 손상을 가하지 않고 이루어질 수 있다.

상기 성긴 정렬 피처는 하나 이상의 챔퍼를 포함할 수 있고, 그 각각은 상기 외부 슈라우드의 내부를 향하여 하방으로 경사지는 경사면을 가질 수 있다. 상기 미세 정렬 피처는 상기 전기 접촉부를 향해 하방으로 경사지는 경사면을 가진 하나 이상의 챔퍼를 포함할 수 있다. 상기 미세 정렬 피처의 경사면은 상기 성긴 정렬 피처의 경사면보다 상기 타겟 장치의 이동 방향을 따라 길이가 더 짧을 수 있다.

본 써머리 부분을 포함하는 본 명세서에서 기술된 특징들 중 2개 이상은 본원에 구체적으로 기술되지 않은 실시예들을 형성하기 위해 조합될 수 있다.

본원에 기술된 테스트 시스템 및 기술들 또는 그의 일부는 하나 이상의 비일시적 기계 판독가능 저장 매체에 저장되고 본원에 기술된 동작들을 제어하는(예를 들면, 조정하는) 하나 이상의 처리 장치들 상에서 실행가능한 명령어를 포함하는 컴퓨터 프로그램 제품으로서 구현되고 그에 의해 제어될 수 있다. 본원에 기술된 테스트 시스템 및 기술 또는 그의 일부는 다양한 동작을 구현하기 위해 실행가능한 명령어를 저장하는 메모리 및 하나 이상의 처리 장치를 포함할 수 있는 장치, 방법 또는 전자 시스템으로서 구현될 수 있다.

하나 이상의 구현의 상세는 첨부도면 및 하기의 설명에서 기술된다. 다른 특징 및 이점은 상기 설명과 도면, 및 청구범위로부터 명확해질 것이다.

도 1은 프로브 카드 및 피시험장치(DUT)를 연결하는 프로세스에서의 프로브 카드 및 피시험장치를 도시하는 예시적인 테스트 시스템의 블록도이다.
도 2는 DUT를 프로브 카드에 연결하는데 이용하는 예시적인 연결 장치의 측면 사시도이다.
도 3은 DUT를 프로브 카드에 연결하는데 이용하는 예시적인 연결 장치의 분해 사시도이다.
도 4는 DUT를 프로브 카드에 연결하는데 이용하는 예시적인 연결 장치의 상부 투시도이다.
도 5는 프로브 카드의 일부만 도시된 ATE의 프로브 카드 상에 장착된 예시적인 연결 장치의 사시도이다.
도 6은 연결 장치를 포함하는 솔리드 스테이트 드라이브를 테스트하는데 이용하기 위한 예시적인 ATE의 구성 요소의 분해 사시도이다.
도 7은 ATE의 추가적인 예시적인 구성 요소들의 블록도이다.
상이한 도면에서의 유사한 참조번호는 유사한 엘리먼트를 나타낸다.

구성 요소를 테스트하기 위해 제조업체는 일반적으로 ATE("테스터"또는 "테스트 시스템"이라고도 함)를 이용한다. 예시적인 ATE 동작에서, 테스트 프로그램 세트(TPS)의 명령에 응답하여, ATE는 피시험장치(DUT)에 인가될 입력 신호를 자동으로 생성하고, DUT로부터의 출력 신호를 모니터링한다. ATE는 예측되는 응답과 출력 신호를 비교하여 DUT의 결함 여부를 판정한다. ATE는 일반적으로 컴퓨터 시스템 및 테스트 기기 또는 대응하는 기능을 가지는 단일 장치를 포함한다. 일부 경우에, 테스트 기기는 DUT에 전원을 공급한다.

ATE는 전기 또는 전자 기계 장치를 포함하는(그러나 이에 한정되지 않는) 적절한 유형의 DUT를 테스트하는 데 이용될 수 있다. 예를 들면, ATE는 솔리드 스테이트 드라이브(SSD), 하드 드라이브, 디지털 로직, 아날로그 로직, 기타 유형의 메모리 장치 등을 테스트하는 데 이용될 수 있다. 일부 예시에서, 프로브는 DUT를 테스트하는 데 이용되는 ATE의 일부일 수 있다. 프로브는 DUT에 연결하고, 신호를 DUT로 전송하고, DUT로부터 신호를 수신하는 데 이용될 수 있다. 예시적인 프로브는 DUT 상의 노출된 리드에 전기적으로 연결하여 DUT로/DUT로부터 테스트 신호를 송수신할 수 있도록 하는 연결 장치를 포함할 수 있다.

본 예시에서, 연결 장치는 프로브와 DUT 사이에 전기적 및 기계적 연결을 구축하는 데 이용된다. 이와 관련하여, 프로브는 예를 들면 프로브 카드에 온 오프하는 테스트 전자 장치에 대한 테스트 회로 및/또는 회로 경로 또는 리드와 같은 전기 회로를 포함하는 프로브 카드를 포함할 수 있다. 연결 장치는 프로브 카드상의 이 전기 회로에 연결되는 핀을 포함할 수 있다. 핀은 또한 DUT 상의 노출된 리드에 전기적으로 연결될 수 있다. 결과적인 전기 연결을 통해, 핀은 DUT와 테스트 전자 장치 사이의 전기 경로를 형성한다. 이는 하기에서 더 상술된다.

일부 경우에, DUT는 인쇄 회로 기판(PCB)일 수도 있고 또는 PCB의 일부일 수도 있다. 예를 들면, PCB는 노출된 리드를 가지는 커넥터를 포함할 수 있지만, 본원에 기술된 프로브는 PCB 또는 커넥터와 함께 이용하는 것으로 제한되지 않는다. 오히려, DUT는 본원에 기술된 예시적인 연결 장치에 전기적으로 연결될 수 있는 하나 이상의 노출된 리드를 포함하는 임의의 적절한 테스트 가능한 구조일 수 있다. 일부 경우에, DUT의 표면이 불규칙할 수 있다. 예를 들면, PCB는 그 위에 다수의 불규칙한 구조가 장착되어 불규칙한 표면을 만들 수 있다. 본원에 기술된 예시적인 연결 장치는 PCB의 표면 구조에 불규칙성이 있음에도 불구하고 프로브와 이러한 유형의 PCB 사이의 전기 연결을 가능하게 한다.

일부 구현에서, 프로브는 고정되어 있고 DUT는 프로브와 접촉하도록 이동된다. 일부 구현에서, DUT는 고정되어 있고, 프로브가 DUT와 접촉하도록 이동된다. 본원에서 기술된 개념은 이 두 가지 구성 모두에 동일하게 적용된다. 하기의 예시는 프로브가 고정되어 있고 DUT가 프로브와 접촉하도록 이동한 경우를 기술한다.

도 1은 개념적으로, 프로브(100)가 고정되고 DUT가 프로브와 접촉하도록 이동되는 예시적인 구성을 도시한다. 본 예시에서, "DUT"는 PCB(103) 상의 커넥터 일 수 있거나 전체 PCB 자체 또는 (테스트 대상에 따라) 그의 개별 구성 요소(들)일 수 있다. 예시를 위해, 하기의 설명에서, PCB는 DUT라고 하고, PCB 상의 커넥터는 타겟 장치라고 한다.

프로브(100)는 다른 피처들 중에서(도시되지 않음) DUT 상의 타겟 장치(101)에 전기적 및 기계적으로 연결하기 위한 연결 장치(105)를 포함한다. 본 예시에서, 타겟 장치는 노출된 리드를 가진 커넥터이지만; 그러나, 타겟 장치는 커넥터 인 것으로 한정되지 않는다. 도 1에 도시된 바와 같이, DUT는 화살표(106)의 방향을 따라 이동하여, DUT 상의 타겟 장치(101)가 프로브 상의 연결 장치(106)와 결합하도록 한다. 결합은 연결 장치의 예시적 구조와 함께 하기에 상술되어 있다.

일부 구현에서, DUT와 프로브 중 어느 하나 또는 그 모두는 프로브에 대한 DUT의 결합을 용이하게 하기 위해 측 방향으로(예를 들면, 화살표(108)의 방향으로) 이동 가능하다. 즉, 결합하는 동안, 타겟 장치와 연결 장치가 정확하게 수직으로 정렬되지 않을 수 있다. 따라서, 타겟 장치와 연결 장치가 기계적으로 접촉하게 될 때, 이들 장치 중 하나 또는 둘 모두는 수직 정렬에서 부정확성을 보상하기에 충분히 측 방향으로 이동하여 연결을 가능하게 할 수 있다.

도 2 내지 도 4는 도 1의 구성에서 이용될 수 있는 연결 장치(201)의 예시적인 구현을 도시한다. 도 3은 분해도로 예시적인 연결 장치(201)의 구성 요소들을 도시한다. 도 2 내지 도 4를 참조하면, 연결 장치(201)는 외부 슈라우드(202)와 내부 구조(204)를 포함한다. 내부 구조(204)의 적어도 일부는 연결 장치의 이용 중에 외부 슈라우드(202)의 내부에 있다. 외부 슈라우드(202)는 타겟 장치(예를 들면, 노출된 리드를 가지는 커넥터)를 수용하기 위한 개구(205)를 포함한다. 외부 슈라우드는 또한 예를 들면 자신의 내부 에지 주위에서, 개구를 따라 배열된 정렬 피처(206)를 포함한다. 본 예시에서, 에지(207)의 각각의 측면 상에 2개씩, 이러한 정렬 피처가 4개 있다. 일부 구현에서, 1, 2, 3, 5, 6 등의 정렬 피처가 있을 수 있다. 일부 구현에서, 정렬 피처의 개수, 위치, 크기 및/또는 형상은 도 2 내지 도 4에 도시된 것과 상이할 수 있다.

본 예시에서, 정렬 피처(206)는 외부 슈라우드(202)의 내부를 향하여 그리고 연결 장치의 일부인 전기 접촉부 및 추가적인 정렬 피처(둘 다 하기에 기술됨)를 향하여 하방으로 경사지는 경사면(예를 들면, 경사면(206a))을 가진 챔퍼를 포함한다. 정렬 피처(206)는 그렇게 타겟 장치를 외부 슈라우드(202)의 내부를 향하여, 따라서 타겟 장치 및 연결 장치의 결합을 가능하게 하는 전기 접촉부 및 추가적인 정렬 피처를 향해 가이드 하도록 구성된다.

정렬 피처(206)는 본 예시에서 성긴 정렬 피처라고 하는데, 그 이유는 이들 정렬 피처가 내부 구조(204)의 일부이고 성긴 정렬 피처(206)로부터 그것을 구별하기 위해 본원에서 미세 정렬 피처라고 하는 추가적인 정렬 피처보다 더 큰 각도로 타겟 장치를 모으고 가이드 하기 때문이다. 이와 관련하여, "성긴" 및 "미세"라는 용어는 상대적인 용어이고, 각각에 의해 생성된 정렬의 크기에 관련하여 임의의 특정의 한정된 의미를 갖도록 의도된 것이 아니라, 오히려 단순히 성긴 정렬(예를 들면, 인가된 힘에 대해 반응하여 가이드로부터 발생한 이동)에 의해 제공되는 정렬은 일반적으로 미세 정렬 피처에 의해 제공되는 정렬보다 크다는 것을 나타내기 위한 것이다.

내부 구조(204)는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 미세 정렬 피처(209)를 포함한다. 미세 정렬 피처(209)는 결합 중 타겟 장치의 이동에 대해 성긴 정렬 피처의 하류에 있고, 일부 구현에서 시간의 적어도 일부에 외부 슈라우드 내에 있다. 본 예시에서, 미세 정렬 피처(209)는 전기 접촉부를 향해 하방으로 경사지는 경사면(예를 들면,도 3에 도시된 209a)을 가지는 하나 이상의 챔퍼를 포함한다. 일부 구현에서, 미세 정렬 피처의 경사면은(예를 들면, 미세 정렬을 위해 더 적은 이동이 필요하기 때문에) 성긴 정렬 피처의 경사면보다 타겟 장치의 이동 방향을 따라 길이가 더 짧다. 일부 구현에서, 성긴 정렬 피처 및 미세 정렬 피처는 본원에 기술된 것과 상이한 구성 및 배열을 가질 수 있다.

외부 슈라우드(202)는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 내부 구조(204) 위에 슬라이딩 가능하게 끼워진다(따라서, 내부 구조(204)는 외부 슈라우드(202) 내에 끼워진다). 본 예시적 구현에서, 내부 구조 및 외부 슈라우드는 함께 체결되지 않고, 하기에 더 상술되는 바와 같이, 외부 슈라우드가 내부 구조 및 프로브 카드에 대해 이동할 수 있게 한다. 내부 구조(204)는 전기 접촉부(210)를 포함한다. 본 예시에서, 전기 접촉부는 노출된 리드를 만곡시키지 않고 노출된 리드에 전기 연결할 수 있는 POGO® 핀과 같은 핀이다. POGO® 핀과 같은 핀의 이용은 테스트 중에 DUT의 전기적 접촉부에 대한 손상(예를 들면, 만곡)의 가능성을 감소시킬 수 있기 때문에 이로울 수 있다.

타겟 장치(예를 들면, 커넥터) 상의 노출된 리드는 내부 구조의 전기 접촉부에 전기적으로 연결되어, 프로브 카드에 대해 온 오프하는 DUT, 연결 장치 및 테스트 전자 장치 사이에 전기 경로를 생성한다. 이와 관련하여, 전기 연결을 가능하게 하기 위해, 외부 슈라우드는 내부 구조 및/또는 프로브 카드에 대해 이동 가능하도록 구성된다. 예를 들면, 도 3에 도시된 바와 같이, 연결 장치(201)는 내부 구조(204)와 외부 슈라우드(202)(도 2 내지 도 4에 도시되지 않음) 사이의 스프링(212)과 외부 슈라우드(202)와 프로브 카드 사이의 스프링(214)을 포함할 수 있다. 연결 장치는 또한 하기에 기술되는 바와 같이, 외부 슈라우드의 이동을 가능하게 하는 포스트를 포함한다.

예를 들면, 일부 구현에서, 외부 슈라우드는 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이 포스트가 배치되는 구멍(215)을 포함한다. 일부 구현에서, 포스트(217)는 외부 슈라우드(202)가 포스트에 대해 이동하지 않도록 구멍(215)에(예를 들면, 나사와 와셔를 이용하여) 고정될 수 있다. 일부 구현에서, 포스트(217)는 외부 슈라우드(202)가 포스트를 따라 이동할 수 있도록 구멍(215)에 장착될 수 있다. 임의의 경우에, 포스트는 프로브 카드의 대응 구멍에 장착된다. 외부 슈라우드가 포스트에 대해 움직이지 않도록 포스트가 구멍에 고정되는 경우, 포스트는 내측 구조 및 프로브 카드에 대해 외부 슈라우드의 이동을 허용하도록 프로브 카드 구멍에 이동 가능하게 장착된다. 즉, 외부 슈라우드가 고정된 포스트가 프로브 카드의 구멍 내에서 움직이게 되어, 외부 슈라우드가 내부 구조(프로브 카드에 고정될 수 있고 움직이지 못하거나 실질적으로 움직이지 않을 수 있는)에 대해 이동하도록 한다. 외부 슈라우드가 포스트를 따라 이동할 수 있도록 포스트가 프로브 카드의 구멍에 장착되는 경우, 포스트는 프로브 카드에 고정(예를 들면, 체결)되고(따라서 자체 이동 가능하지 않게 되고), 외부 슈라우드는 포스트를 따라 이동한다. 즉, 포스트가 고정된 상태에서, 외부 슈라우드는 포스트를 따라 내부 구조에 대해 이동한다. 두 가지 예시적 구현 모두에서, 스프링은 이동을 제한하고 외부 슈라우드의 제어된 이동을 가능하게 한다. 일부 구현에서, 내부 구조는 프로브 카드에 대해 이동 가능할 수 있으며, 그러한 구현에서의 하향 력(downward force)에 대한 그의 움직임은 그 전기 접촉부가 프로브 카드상의 대응하는 전기 접촉부(도시되지 않음)에 전기적으로 연결되도록 한다.

상술한 바와 같이, 일부 구현에서, 내부 구조(204)는 예를 들면 도 5에 도시된 바와 같이 프로브 카드(501) 상에 장착될 수 있다. 예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이, 내부 구조(204)는 내부 구조 내의 전기 접촉부(210)와 프로브 카드상의 전기 회로(도시되지 않음) 사이의 전기적 연결을 가능하게 하며 프로브 카드(501)에 체결된다. 외부 슈라우드(202)는 내부 구조에 대해 이동 가능하게 장착되어 DUT(도 5에 도시되지 않음)의 타겟 장치 상의 노출된 전기 리드와 전기 접촉부(210) 사이의 맞물림 및 그에 따른 전기 연결을 가능하게 한다.

이와 관련하여, 도 1 내지 도 5를 참조하면, 동작시에, 타겟 장치는 외부 슈라우드(202)의 개구(205) 및 그 위에 배열된 성긴 정렬 피처(206)와 접촉하게 된다. 일부 경우에, 개구와 타겟 장치 사이의 정렬이 더 잘되도록 타겟 장치 또는 프로브 카드의 커다란 이동이 있을 수 있다. 그 후, 타겟 장치는 성긴 정렬 피처(206)와 맞물린다. 본 예시에서, 타겟 장치는 위에서 아래쪽으로 연결 장치(201)와 접촉하게 되고; 따라서, 타겟 장치에 대한 하향 력은 타겟 장치가 성긴 정렬 피처의 경사/기울어진 표면과 상호 작용하도록 한다. 추가적인 하향 력에 응답하여, 하향 경사 형상에 의해, 성긴 정렬 피처(206)는 타겟 장치를 모으고 타겟 장치를 외부 슈라우드의 내부를 향하여 하방으로 가이드 하여 미세 정렬 피처(209) 및 내부 구조(204)의 전기 접촉부(210)를 향하여 가이드하도록 한다. 이와 관련하여, 전기 접촉부(210)는 이들이 타겟 장치상의 노출된 전기 리드에 대응하고 그와 결합하도록 미리 구성될 수 있다.

추가적인 하향 력에 응답하여, 타겟 장치는 미세 정렬 피처(209)를 향하여 성긴 정렬 피처(206)를 지나 결국에는 미세 정렬 피처(209)와 접촉하도록 힘을 받는다. 이동 중 일부 포인트에서, 타겟 장치 또는 DUT의 또 다른 부분은 외부 슈라우드와 접촉하고, 외부 슈라우드(202)가 내부 구조(204) 및 프로브 카드에 대해 하방으로, 그리고 타겟 장치의 이동과 함께 이동하도록 한다. 즉, 하향 력은 외부 슈라우드가 내부 구조(204)의 전기 접촉부(210)에 연결되는 타겟 장치의 노출된 리드에 대한 장애가 되지 않도록 하방으로 이동하도록 한다.

추가적인 하향 력에 응답하여, 미세 정렬 피처(209)는, 자신들의 하방 경사진 형상에 의해, 타겟 장치를 수집하고 타겟 장치를 외부 슈라우드(202)의 내부로 더 하방으로 가이드하고, 따라서 내부 구조의 전기 접촉부(210)를 향해 더 가이드 한다. 일반적으로, 필수적인 것은 아니지만, 미세 정렬 피처(209)에 의해 제공되는 가이드 크기는 성긴 정렬 피처(206)에 의해 제공된 것보다 적다. 따라서, 성긴 정렬 피처 및 미세 정렬 피처의 결합 효과는 노출된 리드들이 실제로 전기 접촉부와 맞물리기/연결되기 전에 타겟 장치의 노출된 리드들이 내부 구조(204)의 대응하는 전기 접촉부(예를 들면, POGO® 핀들)에 실질적으로 정렬되도록 한다. 외부 슈라우드(202)는 또한 하방 이동을 계속한다. 외부 슈라우드와 연관된 스프링은 적절한 크기의 하방 이동을 가능하게하도록 조정될 수 있다.

일부 포인트에서, 상이한 연결 장치, 상이한 DUT, 상이한 환경 등에 따라 상이할 수 있는 적절한 크기의 힘에 응답하여, DUT의 노출된 전기 리드(예를 들면, DUT에서의, DUT 상의, 또는 DUT에 대한 커넥터의 리드)는 내부 구조(204)의 대응하는 전기 접촉부(210)에 전기적으로 연결된다. 이는 전기적 신호가 통과할 수 있는 프로브 카드를 온오프하는 테스트 전자 장치와 DUT 사이의 회로를 생성한다. 상술한 바와 같이, 일부 구현에서, 전기 연결은 DUT 또는 연결 장치의 전기 접촉부(210)의 전기 리드를 만곡시키지 않고 구축된다. 일부 구현에서, 노출된 리드의 구성 및/또는 이용된 전기 접촉부의 유형(들)에 따라 만곡 등에 기인한 일부 수용가능한 크기의 물리적인 손상 또는 변형이 있을 수 있다.

일부 구현에서, 연결 장치는 임의의 적절한 치수를 가질 수 있으며, 특정 크기로 한정되지 않는다. 일부 구현에서, 연결 장치는 0.35mm만큼 낮은 피치를 가지는 프로브와 함께 이용 가능하지만; 그러나, 다른 구현에서는, 예를 들면, 1mm, 0.5mm 등과 같은 0.35mm의 이 값 이상의 상이한 피치가 이용될 수 있다. 또한, 연결 장치는 ATE 또는 기타 테스트 시스템에 이용되지 않거나 그의 일부가 아닌 임의의 적절한 테스트 장비 또는 적절한 기타 회로와 함께 이용될 수 있다. 일부 구현에서, 연결 장치는 타겟 장치 또는 DUT의 크기와 일치하도록 크기가 정해지지만; 그러나 이것은 필수 사항은 아니다.

상술한 바와 같이, 본원에 기술된 예시적인 연결 장치는 SSD(Solid State Drive)를 테스트하도록 구성된 ATE에 이용될 수 있다. 예시적인 솔리드 스테이트 드라이브는 회전(spinning) 디스크를 포함하지 않고, 대신에 데이터의 영구 저장을 위한 메모리로서 집적 회로 어셈블리를 이용한다. 도 6은 SSD를 테스트하는데 이용될 수 있는 예시적인 ATE의 구성 요소의 분해도를 도시한다.

도 6의 예시적인 구현에서, 예시적인 연결 장치(201)가 프로브 카드(601)에 장착된다. 프로브 카드(601)는 DUT(여기서는 테스트 중인 SSD- 도시되지 않음)를 수용하는 트레이(602)의 바닥에 장착된다. 상술한 방식으로, 노출된 리드를 가지는 커넥터는 연결 장치(201)와 결합하여, 프로브 카드와 DUT 사이에 전기 회로를 생성한다. 일부 경우에, 플레이트(604)가 트레이(602)로 그리고 프로브 카드(601)의 적어도 일부 위에 통합될 수 있다. 플레이트(604)는 프로브 카드에 대해 트레이에서의 DUT의 수평 배향을 유지하여, 전기 연결을 구축하는 것을 돕는다. 본 예시에서, 트레이는 프로브 카드의 상부에 있고, DUT는 트레이 및 프로브 카드의 상부에 장착되어 그의 커넥터가 연결 장치(201)에 결합하도록 한다. 커버(606)는 트레이(602)의 상부에 끼워 맞춰져 테스트를 위해 DUT를 둘러 싼다.

본원의 임의의 곳에서 기술된 바와 같이, 본원에 기술된 예시적인 연결 장치는 SSD 테스트에 한정되지 않으며, 임의의 적절한 전기 또는 전자 기계 장치를 테스트하는데 이용될 수 있다. 이와 관련하여, 연결 장치는 테스트 측면에서의 이용에 한정되지 않고, 임의의 적절한 목적을 위해 임의의 2개의 적절한 장치들 간의 전기 연결을 구축하는데 이용될 수 있다.

따라서, 본원에 기술된 예시적인 구현에서, 연결 장치는 프로브를 불규칙한 타겟에 직접 미세 정렬한다. 또한, 연결 장치는 PCB 정렬 피처로 시작하는 불규칙한 타겟을 미세 정렬하기 위해 수집(gather) 및 호환성을 제공한다. 연결 장치의 외부 슈라우드는 불규칙한 타겟을 캡처하고 그것을 프로브 블록의 내부 미세 정렬 피처에 모으기에 충분한 수집을 제공한다. 외부 슈라우드는 스프링이 장착되어 그것이 수축(retract)하도록 할 수 있다. 이 수축은 불규칙한 타겟의 높이에 의해 허용되는 것보다 더 큰 성긴 정렬 수집 구역을 허용한다. 슈라우드의 스프링 로딩은 또한 특정 정렬 순서를 가능하게한다. 슈라우드는 먼저 이들 피처들이 타겟과 맞물리기 전에 타겟을 프로브 블록의 미세 정렬 피처에 성긴 정렬(coarse0align)한다. 미세 정렬 피처는 또한 프로브에 의해 접촉되기 전에 타겟과 맞물려 프로브의 손상을 감소시킨다.

도 7을 참조하면, DUT(701)를 테스트하기 위한 예시적인 ATE 시스템(700)은 도 1 내지 도 6에 대해 기술된 유형의 연결 장치를 포함할 수 있다.

테스터(702)는 다수의 채널들을 포함할 수 있다. 테스터(702)를 테스트하기 위해, 시스템(700)은 유선 연결(hardwire connection)(706)을 통해 테스터(702)와 인터페이싱하는 컴퓨터 시스템(704)을 포함한다. 일 예시적 동작에서, 컴퓨터 시스템(704)은 DUT(701)를 테스트하기 위한 루틴들 및 기능들의 실행을 개시하기 위해 테스터(702)로 명령들을 전송한다. 그러한 테스트 루틴 실행은 DUT(701)로의 테스트 신호의 생성 및 전송을 시작하고 DUT로부터의 응답을 수집할 수 있다. 시스템(700)에 의해 다양한 유형의 DUT가 테스트될 수 있다. 예를 들면, 테스트될 수 있는 DUT는 SSD, 전기 모터, 이들의 하나 이상의 구성 요소, 집적 회로(IC) 칩(예를 들면, 메모리 칩, 마이크로 프로세서, 아날로그-디지털 변환기, 디지털-아날로그 변환기 등) 또는 기타 적절한 장치를 포함할 수 있다(그러나, 이에 한정되지 않음).

테스트 신호를 제공하고 DUT로부터 응답을 수집하기 위해, 테스터(702)는 DUT(701)의 내부 회로에 대한 인터페이스에 연결된다. 인터페이스는 도 1 내지 도 6에 대해 기술된 인터페이스 장치를 포함할 수 있다. 도전체(708)(예를 들면, 하나 이상의 도전 경로)는 인터페이스를 통과하여 DUT(701)의 내부 회로에 테스트 신호(예를 들면, 스위칭 또는 DC 테스트 신호 등)를 전달하는데 이용된다. 도전체(706)는 또한 테스터(702)에 의해 제공되는 테스트 신호에 응답하는 신호들을 감지할 수 있다. 예를 들면, 전압 신호 또는 전류 신호는 테스트 신호에 응답하여 핀(710)에서 감지될 수 있고, 분석을 위해 도전체(706)를 통해 테스터(702)로 전송될 수 있다. 이러한 단일 포트 테스트는 또한 DUT(701)에 포함된 다른 핀들에 대해서도 수행될 수 있다. 예를 들면, 테스터(702)는 테스트 신호들을 다른 핀들에 제공하고(제공된 신호들을 전달하는) 도전체들을 통해 다시 반사된 연관된 신호들을 수집할 수 있다. 반사된 신호를 수집함으로써, 핀의 입력 임피던스는 다른 단일 포트 테스트 수량과 함께 특징화 될 수 있다. 다른 테스트 시나리오에서, 디지털 신호는 DUT(701) 상에 디지털 값을 저장하기 위해 도전체(706)를 통해 핀(710)에 전송될 수 있다. 일단 저장되면, DUT(701)는 저장된 디지털 값을 검색하고 저장된 디지털 값을 도전체(706)를 통해 테스터(702)로 전송하도록 액세스될 수 있다. 검색된 디지털 값은 그런 다음 적절한 값이 DUT(701) 상에 저장되었는지를 판정하기 위해 식별될 수 있다.

단일 포트 측정 수행과 함께, 2포트 또는 다중 포트 테스트가 또한 테스터(702)에 의해 수행될 수 있다. 예를 들면, 테스트 신호는 도전체(706)를 통해 핀(710)에 주입될 수 있고 응답 신호는 DUT(701)의 하나 이상의 핀들로부터 수집될 수 있다. 이 응답 신호는 테스터(702)에 제공되어 이득 응답, 위상 응답 및 기타 처리량 측정량과 같은 양을 판정할 수 있다. 다른 테스트가 또한 수행될 수 있다.

본 명세서가 "테스트" 및 "테스트 시스템"에 연관된 예시적인 구현을 기술하였지만, 본원에 기술된 장치들 및 방법은 임의의 적절한 시스템으로 이용될 수 있고, 본원에 기술된 테스트 시스템 또는 예시적 테스트 시스템에 한정되지 않는다.

본원에 기술된 바와 같이 수행되는 테스트는 하드웨어 또는 하드웨어와 소프트웨어의 조합을 이용하여 구현될 수 있다. 예를 들면, 본원에 기술된 것과 유사한 테스트 시스템은 다양한 컨트롤러 및/또는 다양한 포인트에 위치된 처리 장치들을 포함할 수 있다. 중앙 컴퓨터는 다양한 컨트롤러 또는 처리 장치들 사이의 동작을 조정할 수 있다. 중앙 컴퓨터, 컨트롤러, 및 처리 장치는 테스트 및 조정의 제어 및 조정을 가져오는 다양한 소프트웨어 루틴을 실행할 수 있다.

테스트는 적어도 부분적으로 예를 들면 프로그래밍 가능한 프로세서, 컴퓨터, 다수의 컴퓨터, 및/또는 프로그래밍 가능한 로직 컴포넌트와 같은 하나 이상의 데이터 처리 장비에 의해 실행하거나, 또는 그 동작을 제어하기 위해, 하나 이상의 비일시적 기계판독가능 매체와 같은 하나 이상의 정보 전달자(carrier)로 실체적으로 구현된 예를 들면 하나 이상의 컴퓨터 프로그램과 같은 하나 이상의 컴퓨터 프로그램 제품을 이용하여 제어될 수 있다.

컴퓨터 프로그램은 컴파일 언어 또는 인터프리터 언어를 포함하는 임의의 형태의 프로그래밍 언어로 기록될 수 있고, 그것은 스탠드 어론식 프로그램 또는 모듈, 컴포넌트, 서브루틴, 또는 컴퓨팅 환경에서 이용하기에 적절한 기타 유닛으로서 포함하는 임의의 형태로 전개될 수 있다. 컴퓨터 프로그램은 하나의 컴퓨터 상에서 실행되거나 또는 하나의 위치에 있거나 또는 다수의 위치를 가로질러 분산되어 있고 네트워크에 의해 상호 연결되는 다수의 컴퓨터 상에서 실행되도록 전개될 수 있다.

테스트 및 조정의 전부 또는 일부를 구현하는 것에 연관된 액션이 본원에 기술된 기능들을 수행하도록 하나 이상의 컴퓨터 프로그램을 실행하는 하나 이상의 프로그래밍 가능한 프로세서에 의해 수행될 수 있다. 테스트 및 조정의 전부 또는 일부는 예를 들면 FPGA(filed programmable gate array) 및/또는 ASIC(application-specific integrated circuit)과 같은 전용 로직 회로를 이용하여 구현될 수 있다.

컴퓨터 프로그램의 실행에 적합한 프로세서는 예를 들면 범용 및 전용 마이크로프로세서 모두와, 임의의 종류의 디지털 컴퓨터의 하나 이상의 프로세서를 포함한다. 일반적으로, 프로세서는 판독 전용 저장 영역 또는 랜덤 액세스 저장 영역 또는 그 모두로부터 명령어 및 데이터를 수신할 것이다. 컴퓨터(서버를 포함하는)의 엘리먼트는 명령어를 실행하는 하나 이상의 프로세서와 명령어 및 데이터를 저장하는 하나 이상의 저장 영역 장치들을 포함한다. 일반적으로, 컴퓨터는 또한 예를 들면 자기, 자기-광학 디스크 또는 광학 디스크와 같은 데이터 저장을 위한 대용량 PCB와 같은 하나 이상의 비일시적 기계 판독가능 저장 매체를 포함하거나, 또는 그로부터 데이터를 수신하거나 그로 데이터를 전송하거나, 또는 송수신하도록 동작가능하게 결합될 수 있다. 컴퓨터 프로그램 명령어 및 데이터를 구현하기에 적합한 기계 판독가능 저장 매체는 예를 들면, EPROM, EEPROM, 및 플래시 저장 영역 장치와 같은 반도체 저장 영역 장치; 예를 들면 내장형 하드디스크 또는 착탈가능한 디스크와 같은 자기 디스크; 자기-광학 디스크; 및 CD-ROM 및 DVD-ROM 디스크를 포함하는, 모든 형태의 비휘발성 저장 영역을 포함한다.

본원에 이용된 "전기 연결"은 직접적인 물리적 연결 또는 개재하는 컴포넌트를 포함하지만, 그럼에도 불구하고 연결된 컴포넌트 사이에서 전기 신호들(무선 신호 포함)이 흐르도록 하는 연결을 의미할 수 있다. 본원에 기술된 전기 회로를 포함하는 임의의 "연결"은 다르게 언급되지 않는다면 전기 연결이며, "전기"라는 단어가 "연결"을 변조하기 위해 이용되는지에 관계없이 반드시 직접적인 물리적 연결일 필요는 없다.

본원에 기술된 상이한 실시예의 엘리먼트는 구체적으로 상술되지 않은 다른 실시예들을 형성하기 위해 조합될 수 있다. 엘리먼트들은 그것들의 동작에 악영향을 주지 않으면서 본원에 기술된 구조들로부터 제거될 수 있다.

추가로, 다양한 개별적인 엘리먼트들이 본원에 기술된 기능들을 수행하기 위해 하나 이상의 개별 엘리먼트들로 조합될 수 있다.

Claims

자동 테스트 장비(ATE)용 프로브로서,
노출된 전기 리드를 구비하는 타겟 장치를 수용하고 외부 슈라우드(shroud)의 내부로 상기 타겟 장치를 가이드 하도록 구성된 성긴(coarse) 정렬 피처를 구비하는 상기 외부 슈라우드; 및
상기 외부 슈라우드의 내부에 적어도 부분적으로 있는 내부 구조로서, 상기 노출된 전기 리드에 전기 연결하기 위한 전기 접촉부를 구비하고, 상기 전기 연결을 하기 위해 상기 전기 접촉부를 향해 상기 타겟 장치를 가이드 하도록 구성된 미세 정렬 피처를 구비하는 상기 내부 구조;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제1 항에 있어서,
회로 보드를 구비하는 프로브 카드를 더 포함하고,
상기 외부 슈라우드와 상기 내부 구조는 상기 프로브 카드에 대해 배열되고, 상기 내부 구조는 상기 외부 슈라우드가 상기 내부 구조에 대해 이동할 수 있도록 상기 내부 구조와 상기 외부 슈라우드 사이의 하나 이상의 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제2 항에 있어서, 상기 내부 구조는 상기 외부 슈라우드가 상기 프로브 카드에 대해 이동할 수 있도록 상기 외부 슈라우드와 상기 프로브 카드 사이의 하나 이상의 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제2 항에 있어서, 상기 외부 슈라우드가 상기 프로브 카드에 대해 이동할 수 있도록 상기 외부 슈라우드가 장착되는 포스트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제1 항에 있어서, 상기 전기 접촉부는 상기 노출된 전기 리드와의 전기 연결을 위한 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제5 항에 있어서, 상기 핀과 상기 노출된 전기 리드 사이의 상기 전기 연결은 상기 노출된 전기 리드를 만곡시키지 않고 달성되는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제5 항에 있어서,
전기 회로를 구비하고, 상기 전기 연결은 상기 타겟 장치와 상기 전기 회로 사이의 신호 경로를 생성하는 프로브 카드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제1 항에 있어서, 상기 성긴 정렬 피쳐는 하나 이상의 챔퍼(chamfer)를 포함하고, 상기 챔퍼들 각각은 상기 외부 슈라우드의 내부를 향해 하방으로 경사지는 경사면을 가지는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제8 항에 있어서, 상기 미세 정렬 피처는 상기 전기 접촉부를 향해 하방으로 경사지는 경사면을 가지는 하나 이상의 챔퍼를 구비하고, 상기 미세 정렬 피처의 상기 경사면은 상기 성긴 정렬 피처의 경사면보다 상기 타겟 장치의 이동 방향을 따라 길이가 더 짧은 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제1 항에 있어서, 상기 미세 정렬 피처는 상기 타겟 장치의 이동 방향에 대해 상기 성긴 정렬 피처의 하류에 있는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제1 항에 있어서, 상기 성긴 정렬 피처는 다수의 챔퍼를 포함하고, 상기 챔퍼의 각각은 상기 외부 슈라우드의 내부를 향하여 하방으로 경사지는 경사면을 가지고, 상기 외부 슈라우드는 상기 타겟 장치를 수용하기 위한 개구를 가지며, 상기 다수의 챔퍼들은 상기 개구의 적어도 일부 주위에 배열되는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
자동 테스트 장비(ATE)용 프로브로서,
전기 회로를 구비하는 프로브 카드; 및
성긴 정렬 피처, 미세 정렬 피처, 및 상기 전기 회로에 전기적으로 연결 가능한 전기 접촉부를 구비하는 연결 장치로서, 상기 성긴 정렬 피처는 타겟 장치를 수용하고 상기 타겟 장치를 상기 미세 정렬 피처를 향하여 가이드하고, 상기 미세 정렬 피처는 상기 타겟 장치를 수용하고 상기 타겟 장치를 상기 전기 접촉부를 향해 가이드 하고, 상기 전기 접촉부는 상기 타겟 장치 상의 노출된 리드들에 대한 전기 연결을 구축하며, 상기 연결 장치의 적어도 일부는 상기 프로브 카드에 대해 이동 가능한 상기 연결 장치;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제12 항에 있어서, 상기 성긴 정렬 피처는 하나 이상의 챔퍼를 포함하고, 상기 챔버의 각각은 상기 연결 장치의 내부를 향하여 하방으로 경사지는 경사면을 가지는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브..
제13 항에 있어서, 상기 미세 정렬 피처는 상기 전기 접촉부를 향해 하방으로 경사지는 경사면을 가지는 하나 이상의 챔퍼를 포함하고, 상기 미세 정렬 피처의 상기 경사면은 상기 성긴 정렬 피처의 상기 경사면보다 상기 타겟 장치의 이동 방향을 따라 길이가 더 짧은 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제12 항에 있어서, 상기 전기 접촉부는 상기 노출된 전기 리드로의 상기 전기 연결을 위한 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제15 항에 있어서, 상기 핀과 상기 노출된 전기 리드 사이의 상기 전기 연결은 상기 노출된 전기 리드를 만곡시키지 않고 달성되는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제12 항에 있어서, 상기 프로브 카드에 대해 이동 가능한 상기 연결 장치의 적어도 일부는 상기 성긴 정렬 피처를 포함하고, 상기 프로브 카드에 대해 이동 가능한 상기 연결 장치의 적어도 일부는 상기 성긴 정렬 피처에 대해 상기 타겟 장치에 의해 인가된 힘에 응답하는 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
제12 항에 있어서, 상기 타겟 장치는 상기 연결 장치와 실질적으로 동일한 크기인 것을 특징으로 하는 자동 테스트 장비용 프로브.
타겟 장치와 프로브 카드 사이의 연결을 구축하는 방법으로서,
성긴 정렬 피쳐(coarse alignment feature)에서 상기 타겟 장치를 수용하는 단계로서, 상기 성긴 정렬 피처는 미세 정렬 피처를 향해 노출된 전기 리드를 구비한 상기 타겟 장치를 가이드하는 상기 타겟 장치를 수용하는 단계;
상기 미세 정렬 피처에서 상기 타겟 장치를 수용하는 단계로서, 상기 미세 정렬 피처는 상기 타겟 장치를 상기 전기 접촉부를 향해 가이드 하여 상기 타겟 장치상의 노출된 리드가 전기 접촉부에 전기 연결할 수 있도록 하는 단계;
를 포함하고,
상기 성긴 정렬 피처는 외부 슈라우드의 일부이고 상기 미세 정렬 피처는 상기 외부 슈라 우드 내부의 구조의 일부이고, 상기 외부 슈라우드는 상기 타겟 장치의 이동 중에 상기 내부 구조에 대해 이동하는 것을 특징으로 하는 타겟 장치와 프로브 카드 사이의 연결을 구축하는 방법.
제19 항에 있어서, 상기 전기 접촉부는 상기 노출된 전기 리드들에 상기 전기 연결을 하기 위한 핀들을 포함하고;
상기 핀과 상기 노출된 전기 리드 사이의 상기 전기 연결은 상기 노출된 전기 리드를 만곡시키지 않고 이루어지는 것을 특징으로 하는 타겟 장치와 프로브 카드 사이의 연결을 구축하는 방법.
제19 항에 있어서, 상기 성긴 정렬 피처는 하나 이상의 챔퍼를 구비하고, 상기 챔퍼의 각각은 상기 외부 슈라우드의 내부를 향해 하방으로 경사지는 경사면을 가지고;
상기 미세 정렬 피처는 상기 전기 접촉부를 향해 하방으로 경사지는 경사면을 가진 하나 이상의 챔퍼를 구비하고, 상기 미세 정렬 피처의 경사면은 상기 성긴 정렬 피처의 경사면보다 상기 타겟 장치의 이동 방향을 따른 길이가 더 짧은 것을 특징으로 하는 타겟 장치와 프로브 카드 사이의 연결을 구축하는 방법.
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