KR20170037565A - 발광소자, 발광소자 패키지 및 발광장치 - Google Patents

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Abstract

실시예는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 발광장치에 관한 것이다.
실시예에 따른 발광소자는 제1 도전형 반도체층과, 상기 제1 도전형 반도체층 상에 활성층과, 상기 활성층 상에 제2 도전형 반도체층과, 상기 제2 도전형 반도체층 상에 투광성 오믹층과, 상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 전극과, 상기 투광성 오믹층 상에 제2 전극을 포함할 수 있다.
상기 발광소자는 상호 마주보는 2개의 제1 변과 상호 마주보는 2개의 제2 변을 포함할 수 있다. 상기 제1 변의 폭은 상기 제2 변의 폭보다 크며, 상기 제1 변과 상기 제2 변은 상호 직교할 수 있다. 상기 제1 가지전극과 상기 제2 가지전극 사이의 거리는 상기 어느 하나의 제2 변의 폭의 1/6 내지 1/2일 수 있다.

Description

발광소자, 발광소자 패키지 및 발광장치{LIGHT EMITTING DEVICE, LIGHT EMITTING DEVICE PACKAGE AND LIGHT EMITTING APPARATUS}
실시예는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 발광장치에 관한 것이다.
발광소자(Light Emitting Device)는 전기에너지가 빛 에너지로 변환되는 특성의 p-n 접합 다이오드를 주기율표상에서 Ⅲ족과 Ⅴ족의 원소가 화합하여 생성될 수 있다. LED는 화합물 반도체의 조성비를 조절함으로써 다양한 색상구현이 가능하다.
발광소자는 순방향전압 인가 시 n층의 전자(electron)와 p층의 정공(hole)이 결합하여 전도대(Conduction band)와 가전대(Valance band)의 밴드갭 에너지에 해당하는 만큼의 에너지를 발산하는데, 에너지가 빛의 형태로 발산되면 발광소자가 되는 것이다.
예를 들어, 질화물 반도체는 높은 열적 안정성과 폭넓은 밴드갭 에너지에 의해 광소자 및 고출력 전자소자 개발 분야에서 큰 관심을 받고 있다. 특히, 질화물 반도체를 이용한 청색(Blue) 발광소자, 녹색(Green) 발광소자, 자외선(UV) 발광소자 등은 상용화되어 널리 사용되고 있다.
발광소자는 전극의 위치에 따라 수평형 타입(Lateral Type)과 수직형 타입(Vertical type)으로 구분될 수 있다.
종래기술에 의한 발광소자 중 수평형 타입의 발광소자는 기판 상에 질화물 반도체층을 형성하고, 질화물 반도체층의 상측에 두개의 전극층이 배치되도록 형성한다.
한편, 최근 각종 IT 장치나 휴대폰(Mobile phone) 용으로 발광소자가 적용되고 있으며, IT 장치 또는 휴대폰용 발광소자는 소형 발광소자 칩(small LED chip)이 채용되고 있다. 예를 들어, 최근 휴대폰용으로 소형 수평형 발광소자 칩(Lateral LED chip)이 채용되고 있다.
한편, 종래기술에서 휴대폰용 발광소자 칩은 사이즈(size)의 제약에 따라, n전극과 p전극 간의 거리 제한이 있는데, 전류확산 거리를 고려한 전극 간 거리 설계가 반영되지 못하는 기술적인 문제가 있다.
실시예는 광특성을 향상시킬 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명장치를 제공하고자 한다.
실시예에 따른 발광소자는 제1 도전형 반도체층(112); 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상에 활성층(114); 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 반도체층(116); 상기 제2 도전형 반도체층(116) 상에 투광성 오믹층(120); 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 전기적으로 연결되는 제1 전극(130); 상기 투광성 오믹층(120) 상에 제2 전극(140);을 포함할 수 있다.
실시예에서 상기 제1 전극(130)은 제1 패드전극(132)과 제1 가지전극(134)을 포함하고, 상기 제2 전극(140)은 제2 패드전극(142)과 제2 가지전극(144)을 포함할 수 있다.
상기 발광소자는 상호 마주보는 2개의 제1 변과 상호 마주보는 2개의 제2 변을 포함할 수 있다. 상기 제1 변의 폭은 상기 제2 변의 폭보다 크며, 상기 제1 변과 상기 제2 변은 상호 직교할 수 있다. 상기 제1 가지전극과 상기 제2 가지전극 사이의 거리는 상기 어느 하나의 제2 변의 폭의 1/6 내지 1/2일 수 있다.
예를 들어, 실시예의 발광소자는 상호 마주보는 2개의 장변과 상호 마주보는 2개의 단변을 포함하고, 상기 장변과 상기 단변은 상호 직교할 수 있다. 이에 따라 상기 발광소자는 장변과 단변을 포함한 사각형 형상일 수 있다. 이때, 실시예에서 상기 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144) 사이의 거리(D)는 상기 발광소자의 단변 폭(S)의 1/6 내지 1/2일 수 있다.
실시예에 따른 발광소자 패키지는 상기 발광소자를 구비할 수 있다.
실시예에 따른 발광장치는 상기 발광소자 패키지를 구비할 수 있다.
실시예는 전류확산 거리를 고려한 전극간 거리 설계를 통해 발광소자의 광특성을 향상시킬 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명장치를 제공할 수 있다.
예를 들어, 실시예에 의하면 발광소자 칩의 전극설계에 있어, 특히 n형 반도체층 상의 제1 가지전극과 p형 반도체층 상의 제2 가지전극 간의 거리 설계 관련하여, 발광소자 칩 분석을 통한 전류확산 거리(Current Spreading Length: Ls) 계산 및 Ls 에 적합한 가지 전극 간의 설계에 의해 동작전압(Vf)을 낮출 수 있고, 광출력(Po)이 동등수준이거나 상승되는 기술적 효과가 있다.
도 1은 제1 실시예에 따른 발광소자의 평면도.
도 2는 제1 실시예에 따른 발광소자의 단면도.
도 3은 실시예에 따른 발광소자의 전류확산 개념도.
도 4는 실시예에 따른 발광소자의 특성 변화 제1 데이터.
도 5는 실시예에 따른 발광소자의 특성 변화 제2 데이터.
도 6은 제2 실시예에 따른 발광소자의 평면도.
도 7은 제2 실시예에 따른 발광소자의 부분 단면도.
도 8은 제3 실시예에 따른 발광소자의 부분 단면도.
도 9는 실시예에 따른 발광소자 패키지 단면도.
실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on/over)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on/over)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.
(실시예)
도 1은 제1 실시예에 따른 발광소자(100)의 평면도이며, 도 2는 실시예에 따른 발광소자(100)의 I-I'선을 따른 단면도이다.
실시예에 따른 발광소자(100)는 기판(105) 상에 발광구조물(110)을 포함할 수 있다.
상기 기판(105)은 절연성 기판 또는 전도성 기판을 포함할 수 있고, 단층 또는 복수의 층으로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 기판(105)은 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, and Ga203 중 적어도 하나 또는 이들의 조합이 사용될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
상기 기판(105) 위에는 소정의 요철 구조(R)가 형성되어 광추출 효율을 높일 수 있으나 이에 대해 한정되지 않는다.
실시예는 상기 기판(105) 위에 소정의 버퍼층(107)이 형성되어 이후 형성되는 발광구조물(110)과 기판(105) 간의 격자 부정합을 완화시켜 줄 수 있다.
상기 버퍼층(107)은 단층 또는 복수의 층으로 형성될 수 있으며, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나 또는 이들의 조합으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
상기 발광구조물(110)은 상기 기판(105) 상에 제1 도전형 반도체층(112)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상에 활성층(114) 및 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 반도체층(116)을 포함할 수 있다.
상기 제1 도전형 반도체층(112)은 제1 도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 도전형 반도체층(112)이 n형 반도체층인 경우, 상기 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
상기 제1 도전형 반도체층(112)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있고, 단층 또는 복수의 층으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN,AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.
상기 활성층(114)은 상기 제1 도전형 반도체층(112)을 통해서 주입되는 전자와 이후 형성되는 제2 도전형 반도체층(116)을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(발광층) 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다.
상기 활성층(114)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.
상기 활성층(114)은 우물층/장벽층 구조를 구비할 수 있다. 예를 들어, 상기 활성층(114)은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs/AlGaAs, GaP/AlGaP, InGaAs/AlGaAs, InGaP/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 우물층은 상기 장벽층의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.
실시예에 의하면, 상기 활성층(114) 상에 전자차단층(미도시)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 전자차단층은 AlxInyGa(1-x-y)N(0≤x≤1,0≤y≤1)계 반도체로 형성될 수 있으며, 상기 활성층(114)의 에너지 밴드 갭보다는 높은 에너지 밴드 갭을 가질 수 있다. 상기 전자차단층(160)은 p형으로 이온주입되어 오버플로우되는 전자를 효율적으로 차단하고, 홀의 주입효율을 증대시킬 수 있다.
실시예에서 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 제2 도전형 도펀트가 도핑된 3족-5족 화합물 반도체층일 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있고, 단층 또는 복수의 층으로 형성될 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(116)이 p형 반도체층인 경우, 상기 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.
다음으로, 제2 도전형 반도체층(116)의 일부와 활성층(114)의 일부가 제거되어 제1 도전형 반도체층(112)의 일부가 노출될 수 있다.
실시예는 상기 제2 도전형 반도체층(116) 상에 투광성 오믹층(120)이 형성되고, 상기 투광성 오믹층(120) 상에 제2 전극(140) 및 노출된 제1 도전형 반도체층(112) 상에 제1 전극(130)이 형성될 수 있다.
상기 투광성 오믹층(120)은 캐리어 주입을 효율적으로 할 수 있도록 단일 금속 혹은 금속합금, 금속산화물 등을 다중으로 적층하여 형성할 수 있다. 상기 투광성 오믹층(120)은 투광성 전극으로 형성되어 광추출 효율을 높임과 아울러 동작전압을 낮추어 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
예를 들어, 상기 투광성 오믹층(120)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나 또는 이들의 조합을 포함하여 형성될 수 있으나, 이러한 재료에 한정되는 않는다.
상기 투광성 오믹층(120)은 약 40nm 내지 60 nm일 수 있다. 상기 투광성 오믹층(120)의 두께가 40nm 미만인 경우 면저항의 증대되어 전기적인 특성이 저하될 수 있으며, 60nm를 초과하는 경우 광투과도가 저하되어 광추출 효율이 저하될 수 있다.
실시예에서 상기 제1 전극(130)은 제1 패드전극(132)과 제1 가지전극(134)을 포함할 수 있고, 상기 제2 전극(140)은 제2 패드전극(142)과 제2 가지전극(144)을 포함할 수 있다.
상기 제1 전극(130) 또는 상기 제2 전극(140)은 단층 또는 복수의 층으로 형성될 수 있으며, 티탄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 금(Au), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo) 중 적어도 어느 하나 또는 이들의 합급으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
실시예의 기술적 과제 중의 하나는 전류확산 거리를 고려한 전극간 거리 설계를 통해 발광소자의 광특성을 향상시킬 수 있는 발광소자를 제공하고자 함이다.
한편, 종래기술에서는 전류확산 효율을 향상시키기 위해 제1 가지전극과 제2 가지전극의 거리를 최대한 이격시키고 있는데, 최근 휴대폰이나 IT 장치에는 소형 발광소자 칩(small LED chip)이 채용되고 있다. 이러한 소형 발광소자 칩의 면적은 작은데, 예를 들어 발광소자의 칩의 평면이 직사각형 형상인 경우, 단변의 길이가 약 300㎛ 이하인데, 칩 자체의 면적이 작게 되어 가지전극 사이의 거리를 최대한 이격시키는 것으로는 전류확산 효율을 제대로 향상시키지 못하는 실정이다.
도 3은 실시예에 따른 발광소자의 전류확산 개념도이다.
예를 들어, 전극과의 거리에 따른 전류확산밀도(Current Spreading density: J(x)) 관계식은 아래 수학식 1과 같다.
Figure pat00001
(단, x: 제2 가지전극(144) 중심에서 전류밀도 확산 거리, rc: 제2 가지전극(144)의 반치폭, Ls: 전류확산거리(Current Spreading Length))
Ls(전류확산거리)는 아래 수학식 2로 표현된다.
Figure pat00002
(단, t: 투광성 오믹층의 두께, nideal: 발광소자의 Diode ideality factor, ρ: 투광성 오믹층의 비저항(Resistivity))
nideal 값은 아래 수학식 3(Shockley equation)에 의해 구해질 수 있다.
Figure pat00003
Figure pat00004
이에 따라, 아래와 같이 전류확산거리(Ls)로 제1 가지전극(134) 및 제2 가지전극(144)의 간의 거리(x - r c )를 설계할 때, 최적의 전류확산밀도(J(x))를 획득할 수 있다.
x - r c L s → J(x) ↑
즉, 실시예에 의하면 발광소자 칩의 전극설계에 있어, 특히 n형 반도체층 상의 제1 가지전극(134)과 p형 반도체층 상의 제2 가지전극(144) 간의 거리 설계 관련하여, 발광소자 칩 분석을 통한 전류확산 거리(Current Spreading Length: Ls)계산 및 Ls 에 적합한 가지 전극 간의 설계에 의해 동작전압(Vf)을 낮출 수 있고, 광출력(Po)이 동등수준이거나 상승되는 효과를 도출할 수 있다.
예를 들어, 도 1을 참조하면 발광소자 칩(100)은 다각형 형상일 수 있으며, 실시예의 발광소자 칩(100)이 장변과 단변을 포함한 직사각형 형상일 수 있다. 예를 들어, 상기 발광소자는 상호 마주보는 2개의 제1 변과 상호 마주보는 2개의 제2 변을 포함할 수 있다. 상기 제1 변의 폭(L)은 상기 제2 변의 폭(S)보다 크며, 상기 제1 변과 상기 제2 변은 상호 직교할 수 있다. 상기 제1 가지전극과 상기 제2 가지전극 사이의 거리는 상기 어느 하나의 제2 변의 폭(S)의 1/6 내지 1/2일 수 있다.
예를 들어, 실시예의 발광소자 칩(100)은 상호 마주보는 2개의 장변과 상호 마주보는 2개의 단변을 포함할 수 있고, 상기 장변과 상기 단변은 상호 직교할 수 있다. 상기 장변은 상기 발광소자 칩(100)의 외곽 모서리 중에 긴 변일 수 있고, 상기 단변은 상기 발광소자 칩(100)의 외곽 모서리 중에 상대적으로 짧은 변일 수 있다.
실시예에서 상기 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144) 사이의 거리(D)는 상기 발광소자의 단변 폭(S)의 1/6 내지 1/2 일 수 있다. 이때, 실시예에서 제2 가지전극(144)과 발광소자의 가장자리 까지의 거리는 상기 발광소자의 단변 폭(S)의 1/6 내지 1/4 로 제어됨에 따라 전류확산 효율 증대에 따라 동작전압 감소 및 발광효율이 증대될 수 있다. 이때, 상기 발광소자의 가장자리는 상기 제2 가지전극(144)과 평행한 최근접 가장자리일 수 있다. 또한 실시예에서 제2 가지전극(144)과 발광소자의 가장자리 까지의 거리는 상기 발광소자의 단변 폭(S)의 1/6 내지 1/ 5로 제어됨에 따라 보다 전류확산 효율이 증대될 수 있다.
좀 더 구체적으로, 상기 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144) 사이의 거리(D)에 대해 설명하기로 한다. 실시예의 발광소자의 면적이 약 300,000㎛2 이하인 소형 발광칩인 경우, 단변 폭(S)은 약 200㎛ 내지 300㎛일 수 있고, 상기 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144) 사이의 거리(D)는 상기 발광소자의 단변 폭(S)의 1/6 내지 1/2일 수 있다. 예를 들어, 실시예의 발광소자의 면적이 약 300,000㎛2 인 경우, 단변 폭(S)은 약 300㎛일 수 있고, 장변의 폭(L)은 약 1,000㎛일 수 있으며, 상기 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144) 사이의 거리(D)는 약 50 내지 150㎛일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 실시예의 발광소자의 면적이 약 300,000㎛2 이하인 소형 발광칩인 경우, 단변 폭(S)은 약 200㎛ 내지 300㎛일 수 있고, 상기 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144) 사이의 거리(D)는 상기 발광소자의 단변 폭(S)의 3/10 내지 11/30일 수 있다. 예를 들어, 실시예의 발광소자의 면적이 약 300,000㎛2 인 경우, 단변 폭(S)은 약 300㎛일 수 있고, 장변의 폭(L)은 약 1,000㎛일 수 있으며, 상기 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144) 사이의 거리(D)는 약 90 내지 110㎛로 제어됨에 따라 보다 전류확산 효율을 향상시킬 수 있다.
실시예에 의하면 발광소자 칩의 전극설계에 있어, 특히 n형 반도체층 상의 제1 가지전극(134)과 p형 반도체층 상의 제2 가지전극(144) 간의 거리 설계 관련하여, 발광소자 칩 분석을 통한 전류확산 거리(Current Spreading Length: Ls) 계산 및 Ls 에 적합한 가지 전극 간의 거리(D) 제어를 통해 동작전압(Vf)을 낮출 수 있고, 광출력(Po)이 동등수준이거나 상승되는 기술적 효과가 있다.
예를 들어, IT나 휴대폰(Mobile phone)용 수평형 칩(Lateral chip) dimension에 있어, 단변 폭(S)은 약 200㎛ 내지 300㎛ 범위 내에서, 전체 칩 면적은 300,000㎛2 이하의 면적으로 장변이 결정될 수 있다. 실시예의 발광소자는 소형 발광소자 칩을 수 있는데, 그 평면 면적은 약 300,000㎛2 이하인 발광 칩일 수 있다. 또한 실시예의 발광소자는 직사각형 평면 형상을 포함할 수 있으며, 마주보는 두개의 단변과 마주보다는 두개의 장변을 포함할 수 있으며, 어느 하나의 단변 폭(S)은 약 200㎛ 내지 300㎛일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
이때, 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144) 사이의 거리(D)가 동작전압(Vf) 및 광출력(Po)의 향상에 기여하므로 칩에서의 전류확산 거리(Ls)를 고려하여 가지 전극 사이의 거리(D)에 대한 최적의 설계가 필요하다.
예를 들어, IT나 휴대폰(Mobile phone)용 수평형 칩(Lateral chip)의 면적이 300,000㎛2 이하의 칩에서 단변 폭(S)이 약 200㎛ 내지 300㎛ 범위인 경우에, 상기 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144) 사이의 거리(D)는 약 50㎛ 내지 약 150㎛로 설계 될 수 있다. 또한 실시예에서 상기 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144) 사이의 거리가 90㎛ 내지 110㎛일 때 아래 표1과 같이 보다 향상된 광특성을 나타낼 수 있다.
가지전극간 거리 Vf Po
(@ 20mA)
비교예 175㎛ 2.85 31.7
실험예 110㎛ 2.83 31.8
예를 들어, 수학식 2에 따라 실험대상 칩의 전류확산 거리(Ls)를 계산한 경우, 약 110㎛가 나오는 경우에, 표 1의 실험예와 비교예와 같이 가지 전극간 거리를 달리 할 때, 동작전압(Vf)과 광도(Po) 데이터의 결과는 표1과 같았다.
실시예에 의하면, 비교예와 달리, 실험예와 같이 제1 가지전극(134)과 제2 가지전극(144) 사이의 거리(D)가 상기 발광소자의 단변 폭(S)의 1/6 내지 1/2로 제어 될 때, 동작전압(Vf)이 감소하고 광도(Po)도 상승하였다.
도 4는 실시예에 따른 발광소자의 제1 특성 데이터이며, 도 5는 실시예에 따른 발광소자의 제2 특성 데이터이다.
예를 들어, 도 4에서 제1 실험예(E1), 제2 실험예(E2), 제3 실험예(E3)의 칩(Chip) 설계 정보는 아래 표2와 같다.
@20mA 고속 Sweep 가지전극간 거리(㎛) Po(mW)
Vf(V) Rs n
E1 2.88 6.63 1.19 110 31.5
E2 2.87 6.30 1.24 100 31.7
E3 2.86 6.21 1.12 90 31.8
도 4에서와 같이, 가지전극간의 거리가 약 110㎛에서 약 90㎛로 변화함에 따라 Intensity(X축 데이터)가 우측으로 상향 이동(Shift)될 수 있다. 즉, 제2 가지전극이 칩 안쪽으로 이동하여 가지 전극간의 거리가 전류확산 거리(Ls)와 일치 정도가 높을수록 동작전압(Vf)이 감소하고, 광도(Po)가 향상될 수 있다.
또한 도 5와 같이, 제2 가지전극이 칩 안쪽으로 이동하여 가지 전극간의 거리가 전류확산 거리(Ls)와 일치 정도가 높을수록 가지 전극 사이에 위치하는 칩의 중심(Center) 영역의 Intensity 상승하여 발광특성이 향상됨에 따라 동작전압(Vf)이 감소하고, 광도(Po)가 증가될 수 있다. 도 5에서 Y position은 발광소자 칩의 단변에 평행하도록 두 가지전극을 관통하는 선에서의 위치를 나타낼 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 실시예에서 제1 가지전극(134)과 상기 제2 가지전극(144)은 상호 평행하게 배치될 수 있다. 이에 따라 실시예에 따른 발광소자는 가지전극 사이의 전류확산 효율이 증대되며, 동작전압의 감소와 더불어 발광효율이 증대될 수 있다.
또한 실시예에서 제1 가지전극(134)의 길이와 상기 제2 가지전극(144)의 길이는 상호 같거나 유사하게 형성될 수 있으며, 상호 단변 방향으로 중첩되게 배치될 수 있다. 이를 통해 전류확산 길이를 균일하게 제어함으로써 전류확산 효율이 증대되어 발광효율의 증대와 동작전압의 감소의 기술적 효과가 있다.
실시예는 전류확산 거리를 고려한 전극간 거리 설계를 통해 발광소자의 광특성을 향상시킬 수 있는 발광소자를 제공할 수 있다.
예를 들어, 실시예에 의하면 발광소자 칩의 전극설계에 있어, 특히 n형 반도체층 상의 제1 가지전극과 p형 반도체층 상의 제2 가지전극 간의 거리 설계 관련하여, 발광소자 칩 분석을 통한 전류확산 거리(Current Spreading Length: Ls) 계산 및 Ls 에 적합한 가지 전극 간의 설계에 의해 동작전압(Vf)을 낮출 수 있고, 광출력(Po)이 동등수준이거나 상승되는 기술적 효과가 있다.
도 6은 제2 실시예에 따른 발광소자(102)의 평면도이며, 도 7은 제2 실시예에 따른 발광소자(102)의 부분 단면도이다.
제2 실시예는 제1 실시예의 기술적인 특징을 채용할 수 있으며, 이하 제2 실시예의 주된 특징을 중심으로 기술하기로 한다.
도 6 및 도 7과 같이, 제2 실시예에 따른 발광소자(102)는 기판(105)과, 상기 기판(105) 상에 제1 도전형 반도체층(112), 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상에 활성층(114), 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 반도체층(116), 상기 제2 도전형 반도체층(116) 상에 투광성 오믹층(120), 상기 투광성 오믹층(120) 상에 절연층(160), 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 전기적으로 연결된 제1 가지전극(134); 상기 제1 가지전극(134)과 연결되며 상기 절연층(160)을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층(112)에 전기적으로 연결된 복수의 관통전극(136), 상기 제1 가지전극(134)에 전기적으로 연결된 제1 패드전극(132)을 포함할 수 있다.
제2 실시예에 의하면, 제1 가지전극(130)이 관통홀(미도시)을 통해 제1 도전형 반도체층(112)과 접하는 관통전극(136)을 구비함으로써 활성층(114)이 제거되는 영역을 줄여 활성층 면적을 상대적으로 넓게 확보하여 발광효율을 향상시킬 수 있다.
또한 제2 실시예의 의하면 제1 전극의 관통전극(136)이 제1 도전형 반도체층(112)과 접하는 면적을 충분히 확보하여 동작전압 상승을 방지하여 소자의 신뢰성 및 발광효율을 극대화할 수 있다.
예를 들어, 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 전기적으로 연결되는 상기 관통전극(136) 중 어느 하나의 제1 수평폭(W1)은 서로 인접한 두 개의 제1 관통전극(136) 사이의 제1 거리(D1)보다 큼으로써, 상기 관통전극(136)이 제1 도전형 반도체층(112)과 전기적으로 연결되는 면적을 충분히 확보하여 동작전압의 상승을 방지하여 발광소자의 신뢰성을 증대시킬 수 있다.
제2 실시예에서 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 전기적으로 연결되는 관통전극(136)의 제1 수평폭(W1)은 관통전극(136) 사이의 제1 거리(D1)의 2.5 배 이상일 수 있다.
예를 들어, 상기 관통전극(136) 중 어느 하나의 제1 수평폭(W1)은 약 50㎛ 이상 일 수 있으며, 관통전극(136) 사이의 제1 거리(D1)은 약 20㎛일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 상기 관통전극(136) 중 어느 하나의 제1 수평폭(W1)은 약 50㎛ 내지 70㎛일 수 있으며, 관통전극(136) 사이의 제1 거리(D1)은 약 15㎛ 내지 25㎛일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 관통전극(136) 중 어느 하나의 제1 수평폭(W1)이 50㎛ 미만의 경우 동작전압 감소의 효과가 낮을 수 있고, 제1 수평폭(W1)이 70㎛ 초과의 경우 활성층의 제거 영역이 많아져서 전체 발광 영역이 작아져서 광출력이 저하될 수 있다. 상기 관통전극(136) 사이의 제1 거리(D1)가 15㎛ 미만의 경우 활성층의 볼륨이 작아 발광영역이 작을 수 있으며, 제1 거리(D1)가 25㎛ 초과인 경우 동작전압 상승이 발생할 수 있다.
도 8은 제3 실시예에 따른 발광소자(103)의 부분 단면도이다.
제3 실시예는 제1 실시예 또는 제2 실시예의 기술적인 특징을 채용할 수 있으며, 이하 제3 실시예의 주된 특징을 중심으로 기술하기로 한다.
제3 실시예에 의하면, 상기 제1 전극(130)은 상기 제1 도전형 반도체층(112)과 접하는 제1 오믹 가지전극(139)과, 상기 관통 전극(136) 상에 배치된 제1 반사 가지전극(137)을 포함할 수 있다.
제3 실시예에 의하면, 제1 도전형 반도체층(112)과 접하는 제1 오믹 가지전극(139)을 채용함으로써 관통전극(136)과 제1 도전형 반도체층(112)과의 오믹특성을 최대한 확보하여 동작전압 감소를 통한 전기적인 신뢰성을 증대시킬 수 있다.
예를 들어, 상기 제1 오믹 가지전극(139)은 Cr, Ni, Ti, Rh, Pd, Ir, Ru, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나 또는 이들의 조합을 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
또한 제3 실시예에 의하면, 제1 전극(130)은 제1 가지전극(134) 하측에 제1 반사 가지전극(137)을 구비하여 제1 가지전극(134)에 의한 광흡수를 최소화하여 외부 광추출 효율을 증대시킬 수 있다.
상기 제1 반사 가지전극(137)은 Ag, Al, Ni, Ti, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나 또는 이들의 조합을 포함하여 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
상기 제1 반사 가지전극(137)은 복수의 층으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기 제1 반사 가지전극(137)의 두개의 층인경우 Al/Ni 또는 Ag/Ni이거나, 단일층인 경우 DBR(Distributed Bragg Reflector)을 구비할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
도 9는 실시예들에 따른 발광소자가 설치된 발광소자 패키지를 설명하는 도면이다.
실시예에 따른 발광 소자 패키지(200)는 패키지 몸체부(205)와, 상기 패키지 몸체부(205)에 설치된 제3 전극층(213) 및 제4 전극층(214)과, 상기 패키지 몸체부(205)에 설치되어 상기 제3 전극층(213) 및 제4 전극층(214)과 전기적으로 연결되는 발광 소자(100)와, 형광체(232)를 구비하여 상기 발광 소자(100)를 포위하는 몰딩부재(230)가 포함된다.
상기 제3 전극층(213) 및 제4 전극층(214)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광 소자(100)에 전원을 제공하는 역할을 한다. 또한, 상기 제3 전극층(213) 및 제4 전극층(214)은 상기 발광 소자(100)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시키는 역할을 할 수 있으며, 상기 발광 소자(100)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.
상기 발광 소자(100)는 상기 제3 전극층(213) 및/또는 제4 전극층(214)과 와이어 방식, 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 중 어느 하나에 의해 전기적으로 연결될 수도 있다.
실시예에 따른 발광소자는 백라이트 유닛, 조명 유닛, 디스플레이 장치, 지시 장치, 램프, 가로등, 차량용 발광장치, 차량용 표시장치, 스마트 시계 등에 적용될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
실시예에 따른 발광소자는 패키지 형태로 복수개가 기판 상에 어레이될 수 있다. 실시예의 발광소자 패키지에서 방출되는 광의 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트, 형광 시트 등이 배치될 수 있다.
이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
제1 도전형 반도체층(112), 활성층(114), 제2 도전형 반도체층(116),
투광성 오믹층(120), 제1 전극(130), 제2 전극(140),
제1 패드전극(132), 제1 가지전극(134),
제2 패드전극(142), 제2 가지전극(144)

Claims (10)

  1. 제1 도전형 반도체층;
    상기 제1 도전형 반도체층 상에 활성층;
    상기 활성층 상에 제2 도전형 반도체층;
    상기 제2 도전형 반도체층 상에 투광성 오믹층;
    상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 제1 전극;
    상기 투광성 오믹층 상에 제2 전극;을 포함하고,
    상기 제1 전극은 제1 패드전극과 제1 가지전극을 포함하고,
    상기 제2 전극은 제2 패드전극과 제2 가지전극을 포함하며,
    상기 발광소자는 상호 마주보는 2개의 제1 변과 상호 마주보는 2개의 제2 변을 포함하고, 상기 제1 변의 폭은 상기 제2 변의 폭보다 크며, 상기 제1 변과 상기 제2 변은 상호 직교하며, 상기 제1 가지전극과 상기 제2 가지전극 사이의 거리는 상기 어느 하나의 제2 변의 폭의 1/6 내지 1/2 인 발광소자.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 어느 하나의 제2 변의 폭은 200㎛ 내지 300㎛이며,
    상기 제1 가지전극과 상기 제2 가지전극 사이의 거리는 50㎛ 내지 150㎛인 발광소자.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 발광소자 칩의 상측 면적은 300,000㎛2 이하이며,
    상기 제1 가지전극과 상기 제2 가지전극 사이의 거리는 90㎛ 내지 110㎛인 발광소자.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 투광성 오믹층 상에 절연층을 더 포함하고,
    상기 제1 전극은,
    상기 제1 가지전극과 연결되며 상기 절연층을 관통하여 상기 제1 도전형 반도체층에 전기적으로 연결된 복수의 관통전극을 더 포함하는 발광소자.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 상기 관통전극 중 어느 하나의 제1 수평폭은 서로 인접한 두개의 제1 관통전극 사이의 제1 거리보다 큰 발광소자.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 전극은,
    상기 복수의 관통전극 아래에 상기 제1 도전형 반도체층과 접하는 제1 오믹 가지전극을 더 포함하는 발광소자.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 전극은,
    상기 관통 전극 상에 배치된 제1 반사 가지전극을 더 포함하는 발광소자.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 반사 가지전극은,
    상기 제1 가지전극 하측에 배치되는 발광소자.
  9. 제1 항 내지 제8 항 중 어느 하나의 발광소자를 포함하는 발광소자 패키지.
  10. 제9항의 발광소자 패키지를 포함하는 발광장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11955589B2 (en) 2018-02-14 2024-04-09 Epistar Corporation Light-emitting device, manufacturing method thereof and display module using the same

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016112587A1 (de) 2016-07-08 2018-01-11 Osram Opto Semiconductors Gmbh Strahlungsemittierender Halbleiterchip
CN111048639B (zh) * 2019-01-31 2022-06-24 深圳第三代半导体研究院 一种正装集成单元发光二极管
TW202143507A (zh) * 2020-05-04 2021-11-16 晶元光電股份有限公司 發光元件
CN113270526B (zh) * 2021-01-05 2022-06-17 朗明纳斯光电(厦门)有限公司 发光二极管、发光装置及其投影仪

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004221529A (ja) * 2002-10-03 2004-08-05 Nichia Chem Ind Ltd 発光ダイオード
JP2008034822A (ja) * 2006-06-28 2008-02-14 Nichia Chem Ind Ltd 半導体発光素子
WO2009041318A1 (ja) * 2007-09-26 2009-04-02 Nichia Corporation 発光素子及びそれを用いた発光装置
JP2012028383A (ja) * 2010-07-20 2012-02-09 Sharp Corp 半導体発光素子およびその製造方法
JP2012089695A (ja) * 2010-10-20 2012-05-10 Sharp Corp 窒化物半導体発光素子
KR20120053570A (ko) * 2010-11-18 2012-05-29 서울옵토디바이스주식회사 전극 패드를 갖는 발광 다이오드 칩
KR20120064870A (ko) * 2010-12-10 2012-06-20 엘지이노텍 주식회사 발광소자 및 발광소자 패키지
US20130234192A1 (en) * 2010-11-18 2013-09-12 Seoul Opto Device Co., Ltd. Light emitting diode chip having electrode pad
KR20140049877A (ko) * 2012-10-18 2014-04-28 일진엘이디(주) 발광 영역 분리 트렌치를 갖는 전류 분산 효과가 우수한 고휘도 반도체 발광소자

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4415575B2 (ja) 2003-06-25 2010-02-17 日亜化学工業株式会社 半導体発光素子及びそれを用いた発光装置
CN100468788C (zh) * 2003-12-15 2009-03-11 洲磊科技股份有限公司 发光元件的电极结构
KR100631975B1 (ko) 2005-03-30 2006-10-11 삼성전기주식회사 질화물 반도체 발광소자
US20070190675A1 (en) * 2006-02-10 2007-08-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Manufacturing method of display device
JP5223102B2 (ja) * 2007-08-08 2013-06-26 豊田合成株式会社 フリップチップ型発光素子
BE1018563A4 (nl) * 2009-01-09 2011-03-01 Dredging Int Snijkop voor het baggeren van ondergrond en gebruik van deze snijkop voor het baggeren van ondergrond.
JP4583487B2 (ja) * 2009-02-10 2010-11-17 Dowaエレクトロニクス株式会社 半導体発光素子およびその製造方法
CN102074636B (zh) * 2009-11-19 2013-04-10 亿光电子工业股份有限公司 一种倒装芯片结构的发光二极管装置
US9611544B2 (en) * 2010-04-15 2017-04-04 Novellus Systems, Inc. Plasma activated conformal dielectric film deposition
WO2012026695A2 (en) * 2010-08-27 2012-03-01 Seoul Opto Device Co., Ltd. Light emitting diode with improved luminous efficiency
KR101762324B1 (ko) 2011-01-27 2017-07-27 엘지이노텍 주식회사 발광 소자
JP5727271B2 (ja) * 2011-03-24 2015-06-03 スタンレー電気株式会社 半導体発光素子
US9130125B2 (en) * 2011-08-17 2015-09-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor light emitting device
JP5720601B2 (ja) * 2012-02-14 2015-05-20 豊田合成株式会社 半導体発光素子
KR101976459B1 (ko) * 2012-11-02 2019-05-09 엘지이노텍 주식회사 발광소자, 발광소자 패키지 및 라이트 유닛
KR20140062945A (ko) 2012-11-15 2014-05-27 엘지이노텍 주식회사 발광소자
KR20160051394A (ko) * 2014-11-03 2016-05-11 엘지이노텍 주식회사 발광소자 및 조명시스템

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004221529A (ja) * 2002-10-03 2004-08-05 Nichia Chem Ind Ltd 発光ダイオード
JP2008034822A (ja) * 2006-06-28 2008-02-14 Nichia Chem Ind Ltd 半導体発光素子
WO2009041318A1 (ja) * 2007-09-26 2009-04-02 Nichia Corporation 発光素子及びそれを用いた発光装置
JP2012028383A (ja) * 2010-07-20 2012-02-09 Sharp Corp 半導体発光素子およびその製造方法
JP2012089695A (ja) * 2010-10-20 2012-05-10 Sharp Corp 窒化物半導体発光素子
KR20120053570A (ko) * 2010-11-18 2012-05-29 서울옵토디바이스주식회사 전극 패드를 갖는 발광 다이오드 칩
US20130234192A1 (en) * 2010-11-18 2013-09-12 Seoul Opto Device Co., Ltd. Light emitting diode chip having electrode pad
KR20120064870A (ko) * 2010-12-10 2012-06-20 엘지이노텍 주식회사 발광소자 및 발광소자 패키지
KR20140049877A (ko) * 2012-10-18 2014-04-28 일진엘이디(주) 발광 영역 분리 트렌치를 갖는 전류 분산 효과가 우수한 고휘도 반도체 발광소자

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11955589B2 (en) 2018-02-14 2024-04-09 Epistar Corporation Light-emitting device, manufacturing method thereof and display module using the same

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Publication number Publication date
US20180358513A1 (en) 2018-12-13
KR102623615B1 (ko) 2024-01-11
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WO2017052344A1 (ko) 2017-03-30
CN108140699B (zh) 2020-09-25
US10497835B2 (en) 2019-12-03

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