KR20170030072A

KR20170030072A - 미세기포 발생기

Info

Publication number: KR20170030072A
Application number: KR1020160115918A
Authority: KR
Inventors: 차상화
Original assignee: 마이크로맥스 영농조합법인
Priority date: 2015-09-08
Filing date: 2016-09-08
Publication date: 2017-03-16
Also published as: KR101863769B1

Abstract

본 발명은 미세기포 발생기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기포의 크기를 마이크로미터 또는 나노미터 수준으로 조절이 가능함과 동시에 발생된 기포가 액상에서 안정적으로 장시간 동안 존재하는 미세기포 발생기에 관한 것이다.
본 발명의 미세기포 발생기는 기체가 혼입된 액체가 유입되는 유입로가 내부에 형성되고 측면에는 상기 유입로와 연결되는 분출구가 형성된 센터부와, 센터부의 바깥에서 상기 센터부의 일측에 결합되며 상기 분출구를 통해 분출되는 액체가 충돌되는 충돌면이 내측에 형성되고, 상기 충돌면과 상기 센터부 사이에는 상기 충돌면과 충돌한 액체가 상기 센터부를 중심으로 선회할 수 있도록 선회공간부가 마련된 충돌커버와, 충돌커버의 바깥에서 상기 충돌커버와 결합되며 상기 센터부의 타측이 내부에 형성된 배출로에 삽입되는 하우징을 구비한다.

Description

미세기포 발생기{apparatus of generating macro or nano bubble}

본 발명은 미세기포 발생기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기포의 크기를 마이크로미터 또는 나노미터 수준으로 조절이 가능함과 동시에 발생된 기포가 액상에서 안정적으로 장시간 동안 존재하는 미세기포 발생기에 관한 것이다.

공기 방울 형태의 미세 기포는 다양한 용도로 이용되고 있다. 예컨대, 세탁기의 경우, 세탁력을 향상시키기 위해 세탁조에서 기포를 이용하고 있다. 또한, 반도체 또는 액정표시장치의 제조공정에서 세정, 식각 및 스트립 등의 공정에 기포가 이용되고 있다. 또한, 수처리 용도나 수중에 용해된 특정 기체의 농도를 높이기 위해서도 사용되고 있다.

액중에 기포를 형성하기 위한 종래의 기포발생장치는 크게 2가지의 방법으로 나누어진다. 첫째는, 초음파 등을 이용하여 액체에 기계적 진동을 가하여 기포를 발생시킨다. 이러한 경우, 발생되는 기포의 양을 제어하기는 용이하나, 기포의 크기를 제어할 수 없는 단점이 있다. 둘째는, 유체의 흐름을 조절하여 기포를 발생시키는 것이다. 이 경우 기포의 양 및 크기를 쉽게 제어할 수 있는 장점이 있다.

하지만, 종래의 기포발생장치는 발생되는 기포의 직경이 50~100㎛ 정도의 마이크로미터 크기로서 기포 입자가 크기 때문에 기포의 수중체류시간이 짧고, 기액 접촉면적이 작아 효과가 떨어지는 문제점이 있다.

한편, 1㎛보다 작은 직경을 가지는 나노버블은 마이크로 버블(직경이 수㎛ 내지 수십㎛)보다 액상(液相) 중에서의 체류 시간이 길어 미세기포 효과가 크게 향상되는 것으로 알려져 있다.

나노버블을 액상 중에 발생시키는 미세기포 발생장치로서 다양한 기술이 제안되고 있으나 기포의 직경을 제어하는 것이 어렵고, 액상 중에서 기포가 수시간 내에 소멸되어 액상 중에서 안정성이 부족하다는 문제점이 있다. 또한, 액상에서 형성된 미세기포의 크기가 실제로 나노마이크로미터 수준인지가 실험적으로 증명된 적이 없다.

1. 대한민국 등록특허 제 10-1317655호: 마이크로 버블 발생장치 및 마이크로 버블 발생방법 2. 대한민국 등록특허 제 10-1530609호: 나노 버블 장치

본 발명은 상기의 문제점을 개선하고자 창출된 것으로서, 기포의 크기를 마이크로미터 또는 나노미터 수준으로 조절이 가능함과 동시에 발생된 기포가 액상에서 안정적으로 장시간 동안 존재할 수 있는 미세기포 발생기를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 미세기포 발생기는 기체가 혼입된 액체가 유입되는 유입로가 내부에 형성되고 측면에는 상기 유입로와 연결되는 분출구가 형성된 센터부와; 상기 센터부의 바깥에서 상기 센터부의 일측에 결합되며 상기 분출구를 통해 분출되는 액체가 충돌되는 충돌면이 내측에 형성되고, 상기 충돌면과 상기 센터부 사이에는 상기 충돌면과 충돌한 액체가 상기 센터부를 중심으로 선회할 수 있도록 선회공간부가 마련된 충돌커버와; 상기 충돌커버의 바깥에서 상기 충돌커버와 결합되며 상기 센터부의 타측이 내부에 형성된 배출로에 삽입되는 하우징;을 구비한다.

상기 배출로를 통해 배출되는 액체 중에 형성된 기포의 크기를 조절할 수 있도록 상기 하우징은 상기 충돌커버에 대하여 상하로 이동이 가능하도록 결합된 것을 특징으로 한다.

상기 유입로는 상기 센터부의 일단에 형성된 입구에서 멀어질수록 직경이 점진적으로 작아지는 축소경부와, 상기 축소경부에서 연장되게 형성되어 상기 분출구와 연결되며 단부가 곡면으로 이루어진 연장경부를 구비한다.

상기 분출구를 통해 분출되는 액체가 상기 선회공간부에서 선회할 수 있도록 상기 분출구는 사선 방향으로 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 센터부는 상기 유입로 및 상기 분출구가 마련되어 상기 충돌커버와 결합되는 바디와, 상기 바디의 단부에 형성되어 상기 배출로를 통과하는 액체의 흐름을 간섭하는 간섭헤드와, 상기 간섭헤드의 외측에 일정간격으로 경사지게 형성되는 경사그루브를 구비한다.

상기 바디는 외주면에 나사산이 형성되며 일단부에 상기 입구가 마련된 나사부와, 상기 나사부에서 연장되되 직경이 점진적으로 작게 형성되는 제 1테이퍼부와, 상기 제 1테이터부에서 연장되어 상기 유출로가 마련되며 상기 충돌커버의 내주면과 이격되게 형성된 중간부와, 상기 중간부에서 연장되되 직경이 점진적으로 크게 형성되어 상기 간섭헤드와 연결되는 제 2테이퍼부를 구비한다.

상기 충돌커버는 내주면에 상기 나사부와 나사결합되는 나사산이 형성되고 외주면에 상기 하우징과 나사결합되는 나사산이 형성되는 몸체와, 상기 몸체에서 연장되어 형성되되 상기 몸체의 외경보다 작게 외경이 형성되고 외주면에 기밀유지를 위한 실링부재가 장착되는 축관부를 구비한다.

상기 배출로는 상기 선회공간부와 연결되는 연결통로와, 상기 연결통로에서 연장되어 상기 간섭헤드를 둘러싸며 단부로 진행할수록 직경이 점진적으로 작아지는 중간통로와, 상기 중간통로에서 연장되는 토출통로를 구비한다.

상기 중간통로와 접하는 상기 하우징의 내주면에는 요철부가 형성된 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 기포의 크기를 마이크로미터 또는 나노미터 수준으로 조절이 가능함과 동시에 발생된 기포가 액상에서 안정적으로 존재할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세기포 발생기가 펌프의 토출라인과 연결된 상태를 개략적으로 나타낸 구성도이고,
도 2는 도 1에 적용된 미세기포 발생기의 분리사시도이고,
도 3은 도 2의 미세기포 발생기의 단면도이고,
도 4는 도 2의 요부를 나타내기 발췌 단면도이고,
도 5는 도 2의 미세기포 발생기의 작동을 나타낸 단면도이고,
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 미세기포 발생기에 적용되는 요부를 발췌한 단면도이고,
도 7은 도 2의 미세기포 발생기를 이용하여 제조한 미세기포수의 보관시작 당일에 촬영한 수중 미세기포의 사진이고,
도 8은 보관 1개월 후의 수중 미세기포 사진이고,
도 9는 보관 2개월 후 수중 미세기포 사진이고,
도 10은 보관 3개월 후 수중 미세기포 사진이고,
도 11은 보관 4개월 후 수중 미세기포 사진이고,
도 12는 보관 5개월 후 수중 미세기포 사진이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 미세기포 발생기에 대하여 구체적으로 설명한다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 미세기포 발생기(10)는 펌프(1)의 토출라인(5)과 연결될 수 있다. 토출라인(5)을 통해 기체가 혼입된 액체가 미세기포 발생기(10)로 유입된다.

펌프(1)의 흡입라인(3)은 액체가 저장된 저장탱크와 연결될 수 있다. 액체로 식수, 음료수, 지하수, 수도수(水道水), 이온 교환수나 연수, 하수, 폐수 등의 물을 비롯하여 화학물질이 용액, 유기용매, 화장품의 원료, 의약의 원료 등을 들 수 있다.

흡입라인(3)에는 기체가 유입될 수 있는 기체유입라인(7)이 연결된다. 기체유입라인(7)을 통해 흡입라인(3)을 통과하는 액체 중으로 기체가 주입된다. 주입될 수 있는 기체로 공기, 산소 가스, 질소 가스, 수소 가스, 탄산 가스, 아르곤 가스, 오존 가스, 헬륨 가스, 메탄 가스 등의 탄화수소 가스 등을 들 수 있다.

기체가 혼입된 액체는 펌프(1)의 임펠러를 통과하면서 기체가 잘게 부서진 상태로 혼합되어 토출라인(5)을 통해 미세기포 발생기로 유입된다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 미세기포 발생기(10)는 크게 기체가 혼입된 액체가 유입되는 센터부(20)와, 센터부(20)로부터 분출되는 액체와 충돌하는 충돌커버(50)와, 충돌커버(50)를 통과한 액체 중에 형성된 기포를 마이크로미터 또는 나노미터 크기로 형성시키는 하우징(70)을 구비한다.

센터부(20)는 충돌커버(50)와 결합되는 바디(30)와, 바디(30)의 단부에 형성되어 배출로(71)를 통과하는 액체의 흐름을 간섭하는 간섭헤드(40)와, 간섭헤드(40)의 외측에 일정간격으로 경사지게 형성되는 경사그루브(45)를 구비한다.

바디(30)는 외주면에 나사산이 형성되는 나사부(31)와, 나사부(31)의 상부에서 연장되되 직경이 점진적으로 작게 형성되는 제 1테이퍼부(33)와, 제 1테이터부(33)의 상부에서 연장되어 충돌커버(50)의 내주면과 이격되게 형성된 중간부(35)와, 중간부(35)의 상부에서 연장되되 직경이 점진적으로 크게 형성되는 제 2테이퍼부(37)를 구비한다.

간섭헤드(40)는 제 2테이퍼부의 상부에 형성된다. 간섭헤드(40)는 제 2테이퍼부(37)의 상부 직경보다 더 크게 형성된다.

경사그루브(45)는 간섭헤드(40)의 외측에 다수가 형성된다. 경사그루브(45)는 일정한 방향으로 경사지게 형성된다. 이러한 경사그루브(45)에 의해 간섭헤드(40)의 주위를 통과하는 액체의 선회 흐름을 가속시킬 수 있다. 그리고 경사그루브(45)의 폭과 깊이에 따라 형성되는 기포의 크기를 조절할 수 있다. 가령, 경사그루브(45)의 폭이 좁고 깊이가 낮으면 좀 더 미세한 기포가 형성되고, 경사그루브(45)의 폭이 넓고 깊이가 깊으면 좀 더 큰 기포가 형성된다.

센터부(20)의 내부에는 기체가 혼입된 액체가 유입되는 유입로(21)가 형성된다. 도시된 예에서 유입로(21)는 나사부(20)의 하부에서 형성되어 상부 방향으로 일정 길이 연장된다. 따라서 센터부(20)의 하부가 유입로(21)의 입구가 된다. 유입로(21)는 중간부(35)의 중간높이까지 연장된다.

유입로(21)는 나사부(31)의 하부에 형성된 입구에서 멀어질수록 직경이 점진적으로 작아지는 축소경부(23)와, 축소경부(21)에서 연장되게 형성되며 단부가 곡면으로 이루어진 연장경부(25)로 구분될 수 있다.

유입로(21)로 유입된 액체가 센터부(20)의 바깥으로 분출될 수 있도록 분출구(27)가 중간부(35)의 측면에 2개가 형성된다. 분출구(27)는 중간부(35)의 측면을 관통하여 유입로(21)와 연결되도록 형성된다. 바람직하게 분출되는 액체가 후술할 선회공간부(55)에서 선회할 수 있도록 분출구(27)는 사선 방향으로 형성된다. 도 4에 잘 나타난 바와 같이 분출구(27)는 중간부(35)의 외측에서 내측으로 관통되어 형성되되 유입로(21)의 중심(A)에서 벗어나는 방향으로 관통된다.

도시된 예에서 분출구(27)는 2개가 형성되어 있으나 이와 달리 분출구(27)는 하나 또는 셋 이상이 형성될 수 있음은 물론이다. 도 6에 4개의 분출구(27)가 형성된 모습을 나타내고 있다.

센터부(20)의 유입로(21)로 유입된 액체는 축소경부(23)를 통과하면서 속도가 빨라진다. 그리고 연장경부(25)의 단부와 1차로 충돌하고 돌아나오면서 분출구(27)를 통해 강한 속도로 분출된다. 이때 분출구(27)를 통해 분출되는 액체는 충돌커버(50)의 충돌면과 충돌하게 되고 이 과정에서 액체 중의 기포는 미세하게 쪼개진다. 충돌커버(50)의 충돌면은 충돌커버(50)의 내측면을 의미한다.

충돌커버(50)는 센터부(20)의 바깥에서 센터부(20)의 일측에 결합되며 내측에는 충돌면과 충돌한 액체가 센터부(20)를 중심으로 선회할 수 있도록 선회공간부(55)가 마련된다.

충돌커버(50)는 내주면에 나사부(31)와 나사결합되는 나사산이 형성되고 외주면에 하우징(70)과 나사결합되는 나사산이 형성되는 몸체(60)와, 몸체(60)에서 연장되어 형성되되 몸체(60)의 외경보다 작게 외경이 형성되는 축관부를 구비한다.

몸체(60)의 내측으로 센터부(20)의 나사부(31)가 삽입되어 나사결합된다. 축관부(65)의 내측에는 선회공간부(55)가 형성된다. 축관부(65)의 내경은 바디(30)의 외경보다 더 크게 형성된다. 축관부(65)의 외주면에는 장착홈이 형성되고, 장착홈에는 기밀유지를 위한 실링부재(67)가 장착된다.

센터부(20)의 상부는 충돌커버(50)의 상부보다 더 높게 형성되어 있으므로 충돌커버(50)에 결합된 상태에서 센터부(20)의 간섭헤드(40)는 충돌커버(50)의 외측으로 노출된다.

하우징(70)은 충돌커버(50)의 바깥에서 충돌커버(50)와 결합된다. 하우징(70)의 내측에는 배출로(71)가 형성된다. 센터부(20)의 간섭헤드는 배출로(71)에 삽입된다.

하우징(70)은 내주면에 나사산이 형성되어 몸체부(60)와 나사결합되는 스커트부(80)와, 스커트부(80)의 상부에 형성되며 외경이 상부로 갈수록 점진적으로 작아지는 원추부(83)와, 원추부(83)의 상부에 형성되는 조인트부(85)로 이루어진다. 조인트부(85)에는 배출관이 연결될 수 있다. 미세한 기포가 형성된 액체는 조인트부(85)를 통해 배출관으로 배출된다. 배출관으로 배출된 액체는 별도의 저장탱크에 저장될 수 있다.

하우징의 내측에 형성된 배출로(71)는 선회공간부(55)와 연결되는 연결통로(73)와, 연결통로에서 상부로 연장되어 간섭헤드(40)를 둘러싸며 단부로 진행할수록 직경이 점진적으로 작아지는 중간통로(75)와, 중간통로(75)에서 상부로 연장되는 토출통로(77)로 이루어진다. 도시되지 않았지만 중간통로(75)와 접하는 하우징(70)의 내주면에는 요철부가 형성될 수 있다. 요철부는 중간통로(75)를 통과하는 액체에 미세한 와류를 형성하여 미세기포 생성효과를 높일 수 있다.

충돌커버(50)에 나사결합된 하우징(70)은 회전방향에 따라 상하로 이동이 가능하다. 가령, 도 3과 같이 간섭헤드(40)가 중간통로(75)의 하부에 위치하는 상태에서 간섭헤드(40)와 하우징(70)의 내주면은 일정 거리로 이격된다. 그리고 하우징(70)을 일 방향으로 회전시켜 도 5와 같이 하우징(70)을 하부 방향으로 이동시키면 간섭헤드(40)가 중간통로(75)의 상부에 위치하게 되어 간섭헤드(40)와 하우징(70)의 내주면 사이가 좁아진다. 이와 같이 하우징(70)을 상하로 이동시켜 간섭헤드(40)와 하우징(70)의 내주면 사이를 넓히거나 좁혀 기포의 크기를 마이크로미터 수준(10~100㎛)에서 나노미터 수준(1~1000nm)으로 조절할 수 있다. 즉, 간섭헤드(40)와 하우징(70)의 내주면 사이를 넓히면 마이크로미터 수준의 기포가 형성되고, 간섭헤드(40)와 하우징(70)의 내주면 사이를 좁히면 나노미터 수준의 기포가 형성된다.

이와 같이 본 발명은 기포의 크기를 마이크로미터 또는 나노미터 수준으로 조절이 가능하다. 또한, 나노미터 수준의 기포는 액상에서 안정적으로 장시간 동안 존재할 수 있다.

이하, 실시 예를 통하여 본 발명에 대해 설명하고자 한다. 다만, 하기의 실시 예는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 범위를 하기의 실시 예로 한정하는 것은 아니다.

(실시예)

펌프의 흡입라인을 수도수가 저장된 물탱크와 연결한 후 펌프를 가동시켜 공기가 혼입된 수도수를 도 2에 도시된 미세기포발생기로 유입시켜 미세기포수를 만들었다. 펌프의 흡입라인을 통해 대기 중의 공기가 유입될 수 있도록 펌프의 흡입라인에는 대기와 연통되는 기체유입라인을 설치하였다.

미세기포발생기의 조인트부에 배출관을 연결하여 미세기포발생기에서 발생기 미세기포수를 20ℓ의 저장용기에 담았다.

저장용기에 담은 미세기포수를 한국원자력연구원에 의뢰하여 나노버블측정기를 이용하여 기포의 수와 기포의 크기를 측정하였다. 저장용기는 상온에서 5개월 동안 보관하면서 1개월 간격으로 측정하였다.

시간에 따른 측정결과를 하기 표 1에 나타내었다. 이와 함께 도 7 내지 도 12에 시간에 따른 미세기포의 사진을 나타내었다. 도 7은 보관시작 당일에 촬영한 수중 미세기포의 사진이고, 도 8은 보관 1개월 후의 수중 미세기포 사진이고, 도 9는 보관 2개월 후 수중 미세기포 사진이고, 도 10은 보관 3개월 후 수중 미세기포 사진이고, 도 11은 보관 4개월 후 수중 미세기포 사진이고, 도 12는 보관 5개월 후 수중 미세기포 사진이다.

측정시기	기포 크기(nm)			기포농도 (particles/ml)
측정시기	최대	평균	최소	기포농도 (particles/ml)
보관당일	103	88	48	19.9×10⁸
보관 1개월 후	103	88	48	19.1×10⁸
보관 2개월 후	105	88	48	18.3×10⁸
보관 3개월 후	105	88	48	17.7×10⁸
보관 4개월 후	106	88	48	16.6×10⁸
보관 5개월 후	108	88	48	15.95×10⁸

상기 표 1 및 도 7 내지 도 12을 참조하면, 시간이 지남에 따라 최대 기포의 크기는 다소 증가하였으나 평균 크기와 최소 크기는 거의 변함이 없는 것으로 나타났다. 다만, 기포의 농도는 시간이 지남에 따라 다소 낮아졌으나 5개월 후에도 기포의 수는 ml당 15.95×10⁸인 것으로 나타났다.

기포의 평균 크기는 약 88nm로서 나노 수준의 기포였고, 나노 크기의 기포는 최소 5개월 동안 액상에서 안정적으로 존재할 수 있음을 실험적으로 확인하였다.

이상, 본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

20: 센터부 50: 충돌커버
70: 하우징

Claims

기체가 혼입된 액체가 유입되는 유입로가 내부에 형성되고 측면에는 상기 유입로와 연결되는 분출구가 형성된 센터부와;
상기 센터부의 바깥에서 상기 센터부의 일측에 결합되며 상기 분출구를 통해 분출되는 액체가 충돌되는 충돌면이 내측에 형성되고, 상기 충돌면과 상기 센터부 사이에는 상기 충돌면과 충돌한 액체가 상기 센터부를 중심으로 선회할 수 있도록 선회공간부가 마련된 충돌커버와;
상기 충돌커버의 바깥에서 상기 충돌커버와 결합되며 상기 센터부의 타측이 내부에 형성된 배출로에 삽입되는 하우징;을 구비하는 것을 특징으로 하는 미세기포 발생기.
제 1항에 있어서, 상기 배출로를 통해 배출되는 액체 중에 형성된 기포의 크기를 조절할 수 있도록 상기 하우징은 상기 충돌커버에 대하여 상하로 이동이 가능하도록 결합된 것을 특징으로 하는 미세기포 발생기.
제 1항에 있어서, 상기 유입로는 상기 센터부의 일단에 형성된 입구에서 멀어질수록 직경이 점진적으로 작아지는 축소경부와, 상기 축소경부에서 연장되게 형성되어 상기 분출구와 연결되며 단부가 곡면으로 이루어진 연장경부를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세기포 발생기.
제 1항에 있어서, 상기 분출구를 통해 분출되는 액체가 상기 선회공간부에서 선회할 수 있도록 상기 분출구는 사선 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 미세기포 발생기.
제 1항에 있어서, 상기 센터부는 상기 유입로 및 상기 분출구가 마련되어 상기 충돌커버와 결합되는 바디와, 상기 바디의 단부에 형성되어 상기 배출로를 통과하는 액체의 흐름을 간섭하는 간섭헤드와, 상기 간섭헤드의 외측에 일정간격으로 경사지게 형성되는 경사그루브를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세기포 발생기.
제 5항에 있어서, 상기 바디는 외주면에 나사산이 형성되며 일단부에 상기 입구가 마련된 나사부와, 상기 나사부에서 연장되되 직경이 점진적으로 작게 형성되는 제 1테이퍼부와, 상기 제 1테이터부에서 연장되어 상기 유출로가 마련되며 상기 충돌커버의 내주면과 이격되게 형성된 중간부와, 상기 중간부에서 연장되되 직경이 점진적으로 크게 형성되어 상기 간섭헤드와 연결되는 제 2테이퍼부를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세기포 발생기.
제 6항에 있어서, 상기 충돌커버는 내주면에 상기 나사부와 나사결합되는 나사산이 형성되고 외주면에 상기 하우징과 나사결합되는 나사산이 형성되는 몸체와, 상기 몸체에서 연장되어 형성되되 상기 몸체의 외경보다 작게 외경이 형성되고 외주면에 기밀유지를 위한 실링부재가 장착되는 축관부를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세기포 발생기.
제 5항에 있어서, 상기 배출로는 상기 선회공간부와 연결되는 연결통로와, 상기 연결통로에서 연장되어 상기 간섭헤드를 둘러싸며 단부로 진행할수록 직경이 점진적으로 작아지는 중간통로와, 상기 중간통로에서 연장되는 토출통로를 구비하는 것을 특징으로 하는 미세기포 발생기.
제 8항에 있어서, 상기 중간통로와 접하는 상기 하우징의 내주면에는 요철부가 형성된 것을 특징으로 하는 미세기포 발생기.