KR20170026499A - Direct drive motor, transport device, inspection device, and machine tool - Google Patents
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Abstract
회전 상태의 검출 정밀도 향상을 도모한 다이렉트 드라이브 모터, 이 다이렉트 드라이브 모터를 이용한 반송 장치, 검사 장치, 및, 공작 기계를 제공한다. 스테이터(13)와 당해 스테이터(13)에 대하여 회전 가능한 로터(15)를 갖는 모터부(9)와, 스테이터(13)가 고정되는 하우징 인너(3)와, 로터(15)가 고정되는 로터 플랜지(5)와, 하우징 인너(3)에 대하여 로터 플랜지(5)를 회전이 자유롭게 지지하는 베어링(11)과, 하우징 인너(3)와 함께 베어링(11)의 고정륜(21)을 축 방향으로 협지하는 비자성 재료로 구성된 원환상의 내륜 누름(29)과, 모터부(9)의 회전 상태를 검출하기 위한 리졸버(27)를 구비하고, 리졸버(27)는, 리졸버 로터(33)와 그 리졸버 로터(33)에 대향하여 배치되는 리졸버 스테이터(35)를 포함하고, 리졸버 로터(33)가 로터 플랜지(5)에 직접 고정되고, 리졸버 스테이터(35)가 내륜 누름(29)에 직접 고정되어 있다. A direct drive motor for improving the detection accuracy of the rotation state, a transfer device using this direct drive motor, an inspection device, and a machine tool. A motor unit 9 having a stator 13 and a rotor 15 rotatable with respect to the stator 13, a housing inner 3 to which the stator 13 is fixed, a rotor flange A bearing 11 which rotatably supports the rotor flange 5 with respect to the housing inner 3 and a bearing ring 3 which is rotatable in the axial direction of the fixed wheel 21 of the bearing 11 together with the housing inner 3, And a resolver 27 for detecting the rotation state of the motor unit 9. The resolver 27 is connected to the resolver rotor 33 and the inner ring pushing member 29, And the resolver rotor 33 is fixed directly to the rotor flange 5 and the resolver stator 35 is fixed directly to the inner ring press 29 have.
Description
본 발명은, 다이렉트 드라이브 모터, 이 다이렉트 드라이브 모터를 이용한 반송 장치, 검사 장치, 및, 공작 기계에 관한 것이다.The present invention relates to a direct drive motor, a transfer apparatus using the direct drive motor, an inspection apparatus, and a machine tool.
일반적으로, 회전체에 회전력을 직접 전달하여, 당해 회전체를 피회전체에 대하여 소정 방향으로 회전시키는 구동 방식(모터 부하 직결형의 구동 방식)을 채용한 다이렉트 드라이브 모터(이하, DD 모터라고도 한다)가 알려져 있다. 이 종류의 DD 모터는, 모터부, 베어링, 회전 검출기(리졸버) 및 하우징을 구비하고, 그 전체 개형이 대략 원기둥 형상으로 형성되어 있다. DD 모터가 이용되는 반송 장치, 검사 장치, 및, 공작 기계 등의 소형화를 도모하기 위해서는, 당해 DD 모터의 하우징의 설치 면적(소위 풋프린트)이나 당해 하우징의 축 방향의 높이를 저감한 편평 구조로 하는 것이 바람직하다. 이 때문에, 종래, DD 모터의 풋프린트의 축소를 도모하기 위해, 모터부, 베어링, 회전 검출기(리졸버)를 축 방향으로 종렬 배치시킨 구조가 제안되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).In general, a direct drive motor (hereinafter, also referred to as a DD motor) employing a drive system (a motor-load direct drive type drive system) in which a rotational force is directly transmitted to a rotational body and the rotational body is rotated in a predetermined direction with respect to the entire body, Is known. This type of DD motor is provided with a motor section, a bearing, a rotation detector (resolver) and a housing, and the entirety of the DD motor is formed into a substantially cylindrical shape. In order to achieve miniaturization of the conveying device, the inspection device, the machine tool, etc. in which the DD motor is used, it is necessary to use a flat structure in which the installation area (so-called footprint) of the housing of the DD motor and the height of the housing in the axial direction are reduced . For this reason, in order to reduce the footprint of the DD motor, conventionally, a structure in which the motor portion, the bearing, and the rotation detector (resolver) are arranged in the axial direction has been proposed (for example, see Patent Document 1).
그런데, DD 모터는 출력축을 고정밀도로 회전시키면서 위치 결정하기 위해, 그 회전 상태를 보다 고정밀도로 검출하여 제어를 행할 필요가 있다. 이 때문에, DD 모터를 구성하는 부품에는 높은 치수 정밀도가 요구된다. 각 부품을 조합시켰을 때에 각 부품이 간섭하여 스트레스를 미치지 않기 위해 각 부품의 치수 공차를 허용하기 위한 마진이 필요해진다. 한편, 부품 점수가 많아지면, 각 부품의 마진에 의해 DD 모터를 조립했을 때의 치수 정밀도가 저하될 가능성이 있다. 특히, 회전 상태를 검출하는 회전 검출기로서 이용되는 리졸버의 장착 위치가 불균일해지면, DD 모터의 회전 상태를 고정밀도로 검출할 수 없고 제어 정밀도의 저하를 초래할 가능성이 있다. However, in order to position the DD motor while rotating the output shaft with high accuracy, it is necessary to control the rotation state of the DD motor by detecting it with higher accuracy. For this reason, components constituting the DD motor are required to have high dimensional accuracy. A margin for permitting the dimensional tolerance of each component is required in order to prevent each component from interfering with stress when each component is combined. On the other hand, if the number of parts increases, the dimensional accuracy when the DD motor is assembled due to the margin of each component may be lowered. Particularly, when the mounting position of the resolver used as the rotation detector for detecting the rotation state becomes non-uniform, the rotation state of the DD motor can not be detected with high accuracy, and there is a possibility that the control precision is lowered.
또한, 리졸버에 모터부로부터의 자기(磁氣)의 유입이 발생하면, DD 모터의 회전 상태의 검출 정밀도에 악영향을 미칠 가능성이 있다. In addition, when the resolver receives magnetic flux from the motor unit, there is a possibility that the detection accuracy of the rotation state of the DD motor is adversely affected.
종래, 비자성 재료의 장착 부재를 개재하여, 자성 재료로 형성된 DD 모터의 구조체에 리졸버를 장착함으로써, 리졸버로의 모터부로부터의 자기의 유입을 막고, DD 모터의 회전 상태의 검출 정밀도를 높이는 수법이 채용되고 있었다. 그러나, 이 경우에는, DD 모터를 구성하는 부품이 증가하게 된다. 이 때문에, 각 부품 간의 치수 공차에 의한 리졸버 로터 및 리졸버 스테이터의 위치 편차가 커질 가능성이 있다. 또한, DD 모터를 구성하는 부품의 증가에 수반하여, 제조 공정도 증가하게 되기 때문에, DD 모터의 비용이나 생산 비용의 상승을 초래할 가능성이 있다. Conventionally, a method of mounting a resolver on a structure of a DD motor formed of a magnetic material through a mounting member of a non-magnetic material to prevent the inflow of magnetism from the motor unit into the resolver and increasing the detection accuracy of the rotation state of the DD motor Was adopted. However, in this case, the parts constituting the DD motor are increased. Therefore, there is a possibility that the positional deviation of the resolver rotor and the resolver stator due to the dimensional tolerance between the respective components becomes large. In addition, as the number of parts constituting the DD motor increases, the number of manufacturing steps also increases, which may increase the cost of the DD motor and the production cost.
본 발명은, 전술한 과제를 해결하는 것이며, 회전 상태의 검출 정밀도 향상을 도모한 다이렉트 드라이브 모터, 이 다이렉트 드라이브 모터를 이용한 반송 장치, 검사 장치, 및, 공작 기계를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a direct drive motor which improves the detection accuracy of the rotation state, a transfer device using the direct drive motor, an inspection device, and a machine tool.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 제 1 태양은, 고정자와 당해 고정자에 대하여 회전 가능한 회전자를 갖는 모터부와, 고정자가 고정되는 제 1 하우징과, 회전자가 고정되는 제 2 하우징과, 제 1 하우징에 대하여 제 2 하우징을 회전이 자유롭게 지지하는 베어링과, 제 1 하우징과 함께 베어링의 고정륜을 축 방향으로 협지(挾持)하는 비자성 재료로 구성된 고정륜 누름 부재와, 모터부의 회전 상태를 검출하기 위한 회전 검출기를 구비하고, 회전 검출기는, 리졸버 로터와 당해 리졸버 로터에 대향하여 배치되는 리졸버 스테이터를 포함하고, 리졸버 로터가 제 2 하우징에 직접 고정되고, 리졸버 스테이터가 고정륜 누름 부재에 직접 고정된 것을 특징으로 하는 다이렉트 드라이브 모터를 제공한다. According to a first aspect of the present invention, there is provided a stator comprising: a stator; a motor section having a rotor rotatable relative to the stator; a first housing to which the stator is fixed; a second housing to which the rotor is fixed; A fixed wheel pressing member composed of a nonmagnetic material that axially holds the fixed wheel of the bearing together with the first housing; Wherein the rotation detector includes a resolver rotor and a resolver stator disposed opposite to the resolver rotor, wherein the resolver rotor is directly fixed to the second housing, and the resolver stator is directly fixed to the fixed wheel pushing member And the fixed drive motor is fixed.
본 발명의 제 1 태양에 의하면, 리졸버 스테이터로의 모터부로부터의 자기의 유입, 및 리졸버 로터 및 리졸버 스테이터의 위치 편차의 쌍방에 의한 제 2 하우징의 회전 각도 위치의 검출 정밀도로의 영향을 억제할 수 있고, 모터부의 회전 상태를 고정밀도로 검출할 수 있다. According to the first aspect of the present invention, it is possible to suppress the influences of magnetic flux from the motor section to the resolver stator and the accuracy of detection of the rotational angular position of the second housing by both the resolver rotor and the resolver stator positional deviation And the rotation state of the motor unit can be detected with high accuracy.
또한, 본 발명의 제 2 태양은, 제 1 태양의 다이렉트 드라이브 모터에 있어서, 고정륜 누름 부재는, 직경 방향 단면 형상이 장방형 또는 정방형이라도 된다. 이 구성에 의하면, 제 2 하우징의 회전 각도 위치의 검출 정밀도를 보다 고정밀도로 할 수 있고, 또한, 다이렉트 드라이브 모터의 회전 정밀도를 높일 수 있다. In a second aspect of the present invention, in the direct drive motor of the first aspect, the stationary wheel pressing member may have a rectangular cross section in the radial direction. According to this configuration, the detection accuracy of the rotational angle position of the second housing can be made more accurate, and the rotation accuracy of the direct drive motor can be increased.
또한, 본 발명의 제 3 태양은, 제 1 태양의 다이렉트 드라이브 모터에 있어서, 고정륜 누름 부재를 구성하는 비자성 재료는, 오스테나이트계 스테인리스라도 된다. 이 구성에 의하면, 다이렉트 드라이브 모터를 고강성 구조로 할 수 있고, 또한, 제 2 하우징의 회전 각도 위치의 검출 정밀도나 다이렉트 드라이브 모터의 회전 정밀도의 더 한층의 고정밀도화가 가능해진다. In a third aspect of the present invention, in the direct drive motor of the first aspect, the non-magnetic material constituting the fixed wheel pressing member may be an austenitic stainless steel. According to this structure, the direct drive motor can have a high rigidity structure, and the accuracy of detection of the rotation angle position of the second housing and the rotation accuracy of the direct drive motor can be further improved.
또한, 본 발명의 제 4 태양은, 제 1 태양의 다이렉트 드라이브 모터에 있어서, 회전 검출기는, 고정자에 대한 회전자의 상대 변위를 검출하는 인크리멘탈 방식의 단일의 리졸버라도 된다. 이 구성에 의하면, 다이렉트 드라이브 모터의 축 방향의 높이 치수를 저감할 수 있고, 다이렉트 드라이브 모터의 축 방향으로의 소형화를 도모할 수 있다. In a fourth aspect of the present invention, in the direct drive motor of the first aspect, the rotation detector may be a single incremental incremental resolver that detects the relative displacement of the rotor with respect to the stator. According to this configuration, the height dimension in the axial direction of the direct drive motor can be reduced, and the direct drive motor can be downsized in the axial direction.
또한, 본 발명의 제 5 태양은, 제 4 태양의 다이렉트 드라이브 모터에 있어서, 모터부로의 전원 투입시에 역률이 0이 되는 위치를 검출하는 역률 검출부와, 역률이 0이 되는 위치와 리졸버로부터 출력되는 인크리멘탈 정보에 의해, 당해 모터부의 전류(轉流)를 제어하는 전류 제어부를 구비해도 된다. 이 구성에 의하면, 단일의 리졸버를 탑재한 구성이라도, 다이렉트 드라이브 모터의 회전 상태를 고정밀도로 검출할 수 있다. A fifth aspect of the present invention is the direct drive motor according to the fourth aspect of the present invention, further comprising: a power factor detecting section for detecting a position where the power factor becomes 0 at the time of turning on power to the motor section; And a current control section for controlling the current flow of the motor section according to the incremental information. According to this configuration, even in a configuration in which a single resolver is mounted, the rotation state of the direct drive motor can be detected with high accuracy.
또한, 본 발명의 제 6 태양은, 제 1 태양의 다이렉트 드라이브 모터에 있어서, 모터부, 베어링, 및, 리졸버는, 베어링의 축 방향으로 나열되어 배치되어도 된다. 이 구성에 의하면, 다이렉트 드라이브 모터의 직경 방향으로의 확대가 억제되고, 풋프린트의 저감을 도모할 수 있다. In a sixth aspect of the present invention, in the direct drive motor of the first aspect, the motor portion, the bearing, and the resolver may be arranged in the axial direction of the bearing. According to this configuration, it is possible to suppress the enlargement of the direct drive motor in the radial direction, and to reduce the footprint.
또한, 본 발명의 제 7 태양은, 제 1 태양의 다이렉트 드라이브 모터에 있어서, 제 2 하우징은, 베어링의 회전륜의 일방의 축 방향 단면측으로 연장되는 플랜지부와, 당해 회전륜의 타방의 축 방향 단면측에 배치되는 회전륜 누름 부재를 구비한 구성으로 해도 된다. 이 구성에 의하면, 만일, 베어링과 제 2 하우징과의 감합면에 충전된 충전제의 접착력이 저하된 경우라도, 베어링과 제 2 하우징이 빠지는 것을 방지할 수 있다. A seventh aspect of the present invention is the direct drive motor according to the first aspect of the present invention, wherein the second housing includes: a flange portion extending to one axial end face side of the rotating wheel of the bearing; And a rotary wheel pressing member disposed on the end face side. According to this structure, even if the adhesive force of the filler filled in the fitting surface between the bearing and the second housing is lowered, it is possible to prevent the bearing and the second housing from being detached.
또한, 본 발명의 제 8 태양은, 제 1 태양의 다이렉트 드라이브 모터에 있어서, 제 2 하우징은, 베어링의 회전륜의 일방의 축 방향 단면측으로 연장되는 플랜지부와, 회전륜의 타방의 축 방향 단면측에 형성되는 환상(環狀) 홈과, 환상 홈에 장착되는 회전륜 누름 부재를 가짐과 함께, 제 2 하우징과 당해 회전륜과는 충전제로 고정되어 있어도 된다. 이 구성에 의하면, 만일, 베어링과 제 2 하우징과의 감합면에 충전된 충전제의 접착력이 저하된 경우라도, 회전륜 누름 부재에 의해 베어링과 제 2 하우징이 빠지는 것을 방지할 수 있다. According to an eighth aspect of the present invention, in the direct drive motor of the first aspect, the second housing includes: a flange portion extending to one axial end face side of the rotational wheel of the bearing; And the second housing and the rotating wheel may be fixed with a filler. In addition, the second housing and the rotating wheel may be fixed with a filler. According to this structure, even if the adhesive force of the filler filled in the engagement surface of the bearing and the second housing is lowered, the bearing and the second housing can be prevented from being separated by the rotation wheel pressing member.
또한, 본 발명의 제 9 태양은, 제 7 또는 8의 태양의 다이렉트 드라이브 모터에 있어서, 회전륜 누름 부재는 C형 리테이닝링이라도 된다. 이 구성에 의하면, 만일, 베어링과 제 2 하우징과의 감합면에 충전된 충전제의 접착력이 저하된 경우라도, 베어링과 제 2 하우징이 빠지는 것을 방지할 수 있다. In a ninth aspect of the present invention, in the direct drive motor of the seventh or eighth aspect, the rotating wheel pressing member may be a C-shaped retaining ring. According to this structure, even if the adhesive force of the filler filled in the fitting surface between the bearing and the second housing is lowered, it is possible to prevent the bearing and the second housing from being detached.
또한, 본 발명의 제 10 태양은, 제 1 태양의 다이렉트 드라이브 모터에 있어서, 제 2 하우징은, 대략 원통 형상으로 형성됨과 함께 베어링의 축선에 대하여 제 1 하우징보다도 외측에 배치되고, 또한, 축 방향으로 절단 눈금이 없는 일체 구조라도 된다. 이 구성에 의하면, 제 2 하우징을 축 방향으로 대형화하는 일 없이, 베어링을 지지할 수 있고, 다이렉트 드라이브 모터의 소형화를 도모할 수 있다. A tenth aspect of the present invention is the direct drive motor according to the first aspect of the present invention, in which the second housing is formed in a substantially cylindrical shape and is disposed on the outer side of the first housing with respect to the axis of the bearing, It may be a one-piece structure without cutting scale. According to this configuration, the bearing can be supported without enlarging the second housing in the axial direction, and the size of the direct drive motor can be reduced.
또한, 본 발명의 제 11 태양은, 제 1로부터 제 10 중 어느 태양의 다이렉트 드라이브 모터를 구비하고, 제 2 하우징의 회전에 의해 반송물을 반송하는 반송 장치를 제공한다. 이 구성에 의하면, 반송물을 반송할 때의 위치 정밀도를 높임과 함께, 반송 장치의 소형화를 실현할 수 있다. An eleventh aspect of the present invention provides a transporting device provided with a direct drive motor according to any one of the first to tenth aspects and carrying a transported article by rotation of the second housing. According to this configuration, it is possible to increase the positional accuracy at the time of conveying the conveyed object, and realize the downsizing of the conveying device.
또한, 본 발명의 제 12 태양은, 제 1로부터 제 10 중 어느 태양의 다이렉트 드라이브 모터를 구비하고, 제 2 하우징의 회전에 의해 이동하는 대상물을 개별적으로 검사하는 검사부를 구비하는 검사 장치를 제공한다. 이 구성에 의하면, 대상물을 검사부까지 이동할 때의 위치 정밀도를 높임과 함께, 검사 장치의 소형화를 실현할 수 있다. The twelfth aspect of the present invention provides an inspection apparatus provided with a direct drive motor according to any one of the first to tenth aspects and including an inspection unit for individually inspecting an object moving by rotation of the second housing . According to this configuration, it is possible to increase the positional accuracy at the time of moving the object to the inspection unit, and realize the miniaturization of the inspection apparatus.
또한, 본 발명의 제 13 태양은, 제 1로부터 제 10 중 어느 태양의 다이렉트 드라이브 모터를 구비하고, 제 2 하우징의 회전에 의해 이동하는 대상물을 개별적으로 가공하는 가공부를 구비하는 공작 기계를 제공한다. 이 구성에 의하면, 대상물을 가공부까지 이동할 때의 위치 정밀도를 높임과 함께, 공작 기계의 소형화를 실현할 수 있다. A thirteenth aspect of the present invention provides a machine tool comprising a direct drive motor according to any one of the first to tenth aspects and a machining section for individually machining the moving object by rotation of the second housing . According to this configuration, it is possible to increase the positional accuracy when the object is moved to the machining portion, and realize the miniaturization of the machine tool.
본 발명의 태양에 의하면, 회전 상태의 검출 정밀도 향상을 도모한 다이렉트 드라이브 모터, 이 다이렉트 드라이브 모터를 이용한 반송 장치, 검사 장치, 및, 공작 기계가 제공된다. According to an aspect of the present invention, there is provided a direct drive motor, a transfer device using the direct drive motor, an inspection apparatus, and a machine tool capable of improving the detection accuracy of the rotation state.
도 1은, 본 실시 형태에 관한 다이렉트 드라이브 모터의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 2는, 본 실시 형태에 관한 다이렉트 드라이브 모터의 회전 각도 위치를 제어하는 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은, 본 실시 형태에 관한 다이렉트 드라이브 모터를 이용한 검사 장치의 개략 구성도이다.
도 4는, 본 실시 형태에 관한 다이렉트 드라이브 모터를 이용한 공작 기계의 개략 구성도이다. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a direct drive motor according to the present embodiment.
2 is a block diagram showing a configuration for controlling the rotation angle position of the direct drive motor according to the present embodiment.
3 is a schematic configuration diagram of a testing apparatus using a direct drive motor according to the present embodiment.
4 is a schematic configuration diagram of a machine tool using the direct drive motor according to the present embodiment.
본 발명을 실시하기 위한 형태(실시 형태)에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시 형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 기재된 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성 요소는 적절하게 조합시키는 것이 가능하다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A mode (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following embodiments. In addition, the constituent elements described below include those which can be readily devised by those skilled in the art, and substantially the same. In addition, the constituent elements described below can be suitably combined.
도 1은, 본 실시 형태에 관한 다이렉트 드라이브 모터(10)의 구성을 나타내는 단면도이다. 다이렉트 드라이브 모터(이하, DD 모터라고 한다)(10)는, 감속 기구(예를 들면, 감속 기어, 전동(傳動) 벨트 등)를 개재시키는 일 없이 회전체에 회전력을 직접 전달하고, 당해 회전체를 소정 방향으로 회전시킬 수 있다. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a
본 실시 형태의 DD 모터(10)는, 소위 아우터 로터형으로서 구성되어 있다. DD 모터(10)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 기대(基臺)(1)에 고정되는 환상의 하우징 인너(제 1 하우징)(3)와 당해 하우징 인너(3)의 외측에 배치되는 환상의 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)를 갖는 하우징(7)과, 하우징 인너(3)와 로터 플랜지(5)와의 사이에 조립되어, 하우징 인너(3)에 대하여 로터 플랜지(5)를 회전시키는 모터부(9)와, 로터 플랜지(5)를 하우징 인너(3)에 회전 가능하게 지지하는 베어링(11)을 구비한다. The
하우징 인너(3) 및 로터 플랜지(5)는, 각각 상이한 직경의 대략 원통 형상으로 형성되고, 회전축(S)에 대하여 동심 형상으로 배치되어 있다. 로터 플랜지(5)는, 회전축(S)의 축 방향(도 1에서는 상하 방향)으로 절단 눈금이 없는 일체 구조이다. 즉, 로터 플랜지(5)는, 회전축(S)의 축 방향에, 하단부로부터 상단부까지 전체 둘레에 걸쳐서 연속되는 대략 원통 형상으로 구성되어 있으며, 상단부에 각종 워크(도시하지 않음)가 장착되도록 되어 있다. 모터부(9)에 의해 로터 플랜지(5)를 회전시킴으로써, 이것과 함께 각종 워크를 소정 방향으로 회전시킬 수 있다. 이와 같이, 로터 플랜지(5)는, 모터부(9)의 동작에 의해 회전축(S)을 중심으로 회전 운동하기 때문에, 출력축으로서 기능한다. 또한, 하우징 인너(3)는, 회전축(S)의 축 방향에, 하단부로부터 베어링(11)까지 전체 둘레에 걸쳐서 연속되는 대략 원통 형상으로 구성되어 있으며, 이 베어링(11)을 내륜 누름(고정륜 누름 부재)(29)으로 협지하고 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 하우징 인너(3) 및 로터 플랜지(5)를 자성 재료로 구성하고, 내륜 누름(29)을 비자성 재료로 구성하고 있다. 그 이유에 대해서는 후술한다. The housing inner 3 and the
또한, 내륜 누름(29)은, 도 1에 나타내는 바와 같은 직경 방향의 단면 형상이 L자형이 되는 원환상(圓環狀)의 형상 대신에, 단면이 장방형 또는 정방형과 같은 원환상의 형상으로 해도 된다. 이렇게 하면, 축 방향 양단면의 평행도·평면도를 용이하게 고정밀도로 할 수 있다. Instead of an annular shape in which the cross-sectional shape in the radial direction is L-shaped as shown in Fig. 1, the
모터부(9)는, 하우징(7)의 하부(기대(1)의 부근)에 배치된다. 모터부(9)는, 하우징 인너(3)의 외주면에 고정된 스테이터(고정자)(13)와, 로터 플랜지(5)의 내표면에 고정되어, 스테이터(13)에 대향 배치되는 로터(회전자)(15)를 구비한다. 스테이터(13)는, 둘레 방향(로터 플랜지(5)의 회전 방향)을 따라 소정 간격(예를 들면, 등간격)으로 동심 형상으로 배열되는 복수개의 모터 코어(17)를 구비하고, 각 모터 코어(17)에 소선(素線)이 다중으로 권회되어 이루어지는 스테이터 코일(19)이 고정되어 있다. 스테이터(13)에는, 제어 유닛(20)(도 2)으로부터의 전력을 공급하기 위한 배선이 접속되어 있으며, 당해 배선을 통하여 스테이터 코일(19)에 대하여 전력이 공급되도록 되어 있다. 로터(15)는, 둘레 방향(로터 플랜지(5)의 회전 방향)을 따라 소정 간격(예를 들면, 등간격)으로 동심 형상으로 배열되는 복수개의 영구 자석에 의해 구성된다. 제어 유닛(20)을 통하여, 스테이터 코일(19)에 통전되면, 플레밍의 왼손의 법칙에 따라 로터 플랜지(5)에 회전력이 부여되어, 로터 플랜지(5)는 소정 방향으로 회전한다. The
베어링(11)은, 모터부(9)보다도 축 방향으로 기대(1)로부터 먼 위치에 배치된다. 베어링(11)은, 상대 회전 가능하게 대향 배치된 내륜(고정륜)(21) 및 외륜(회전륜)(23)과, 이들 내륜(21) 및 외륜(23)의 사이에 전동 가능하게 설치된 복수의 전동체(轉動體)(25)를 구비한다. 베어링(11)은, 1개로 액시얼 하중과 모멘트 하중의 양방을 부하하는 것이 가능한 것이 바람직하고, 예를 들면, 4점 접촉 볼 베어링, 3점 접촉 볼 베어링, 깊은 홈 볼 베어링, 또는 크로스 롤러 베어링 등을 채용할 수 있다. 크로스 롤러 베어링을 채용하는 경우에는, 일반적인 내륜 또는 외륜이 분할 구조가 되는 것이 아닌, 내외륜 모두 일체 구조인 것을 사용하는 것이 바람직하다. 내륜(21)은, 하우징 인너(3)와 내륜 누름(29)으로 협지되어, 외륜(23)은 로터 플랜지(5)의 내주면에 고정되어 있다. 베어링(11)의 지지 구조에 대해서는 후술한다. The bearing 11 is disposed at a position farther from the base 1 in the axial direction than the
또한, DD 모터(10)는, 베어링(11)의 상방(즉 베어링(11)보다도 축 방향으로 기대(1)로부터 먼 위치)에, 모터부(9)의 회전 상태(예를 들면, 회전 속도, 회전 방향 또는 회전 각도 등)를 검출하기 위한 리졸버(회전 검출기)(27)가 설치되어 있다. 이에 따라, 로터 플랜지(5)에 장착된 각종 워크를 소정 각도만큼 정확하게 회전시키고, 목표 위치에 고정밀도로 위치 결정하는 것이 가능해진다. 또한, 리졸버(27)는, 하우징 인너(3)에 연결되는 내륜 누름(29)의 상부에 설치된 원판 형상의 커버(31)에 의해 외계로부터 격리되어 보호되어 있다. The
본 실시 형태에서는, DD 모터(10)는, 모터부(9), 베어링(11) 및 리졸버(27)를 회전축(S)의 축 방향(도 1에서는 상하 방향)으로 나열되도록 하우징(7) 내에 종렬 배치한 구성으로 하고 있다. 이에 따라, DD 모터(10)에서는, 회전축(S)을 중심으로 한 직경 방향으로의 증대가 억제되기 때문에, 하우징(7)의 설치 면적(소위 풋프린트)의 저감을 도모할 수 있다. 한편, 최근, 하우징의 설치 면적뿐만아니라, 축 방향의 높이 치수를 저감한 DD 모터가 요망되고 있다. In the present embodiment, the
본 실시 형태에서는, 하우징(7) 내에 단일의 리졸버(27)만이 배치되어 있다. 리졸버(27)는, 스테이터(13)에 대한 로터(15)의 상대 변위를 검출하는 인크리멘탈 리졸버이다. 리졸버(27)는, 회전축(S)에 대하여 편심시킨 내주를 갖는 원환상의 리졸버 로터(33)와, 리졸버 로터(33)의 내측에 대향하여 배치되고, 회전축(S)을 중심으로 하는 원환상의 형상을 갖고, 리졸버 로터(33)와의 사이의 릴럭턴스 변화를 검출하는 리졸버 스테이터(35)를 갖고 구성되어 있다. 이와 같이, 하우징(7) 내에 단일의 리졸버(27)만이 배치되어 있는 구성으로 함으로써, 앱솔루트 리졸버와 인크리멘탈 리졸버의 2종류의 각 리졸버를 축 방향으로 종렬 배치하는 구성보다도 DD 모터(10)의 축 방향의 높이 치수를 저감할 수 있다. In this embodiment, only a
리졸버 로터(33)는, 볼트(33a)에 의해 로터 플랜지(5)의 내주면에 형성된 리졸버 로터 고정부(5a)에 다른 부재를 개재하지 않고 직접 장착되고 일체화되어 있다. 또한, 리졸버 스테이터(35)는, 볼트(35a)에 의해 내륜 누름(29)의 외주면에 형성된 리졸버 스테이터 고정부(29a)에 다른 부재를 개재하지 않고 직접 장착되고 일체화되어 있다. The
리졸버 로터(33)를 편심시켜 리졸버 로터(33)와 리졸버 스테이터(35)와의 사이의 거리를 원주 방향으로 변화시킴으로써, 릴럭턴스가 리졸버 로터(33)의 위치에 의해 변화한다. 이에 따라, 로터 플랜지(5)의 1회전에 대해서 릴럭턴스 변화의 기본파 성분이 1주기가 된다. 리졸버(27)는, 로터 플랜지(5)의 회전 각도 위치에 따라 변화하는 리졸버 신호(인크리멘탈 정보)를 출력한다. By varying the distance between the
도 2는, 본 실시 형태에 관한 DD 모터(10)의 회전 각도 위치를 제어하는 구성을 나타내는 블록도이다. DD 모터(10)에는, 이 DD 모터(10)의 동작을 제어하는 제어 유닛(20)이 접속되어 있다. 이 제어 유닛(20)은, 모터부(9)로의 전원 투입시에 역률이 0이 되는 위치를 검출하는 역률 검출부(41)와, 이 역률이 0이 되는 위치와 리졸버 신호에 의거하여, 모터부(9)의 전류(轉流)를 제어하는 전류 제어부(43)를 구비한다. 2 is a block diagram showing a configuration for controlling the rotation angle position of the
본 실시 형태에서는, 역률 검출부(41)는, 모터부(9)(스테이터 코일(19))로의 전원을 투입했을 때에 역률이 0이 되는 리졸버 로터(33)의 위치를 검출하고, 이 검출한 위치를 기준 위치로 하여 설정한다. 그리고, 이 기준 위치를 전류 제어부(43)에 출력한다. 전류 제어부(43)는, 리졸버(27)가 검출하는 리졸버 신호를 취득하고, 이 리졸버 신호의 변화와, 기준 위치에 의거하여, 모터부(9)에 흐르는 모터 전류(電流)의 전류(轉流) 타이밍의 제어를 행한다. 이에 따라, 모터 전류의 전류 타이밍을 검출할 때에 앱솔루트 리졸버가 불필요해지기 때문에, 앱솔루트 리졸버와 인크리멘탈 리졸버의 2종류의 회전 검출기를 탑재시킬 필요가 없다. 따라서, 단일의 리졸버 구성으로 할 수 있고, DD 모터(10)의 축 방향의 높이를 억제할 수 있다. In the present embodiment, the power
다음으로, 베어링(11)의 외륜(회전륜)(23)의 지지 구조에 대해서 설명한다. 로터 플랜지(5)의 내주면에는, 베어링(11)의 축 방향 높이에 상당하는 폭의 외륜 고정부(50)가 전체 둘레에 걸쳐서 형성되어 있으며, 이 외륜 고정부(50)의 리졸버(27)측에는, 전체 둘레에 걸쳐서, 베어링(11)의 외륜(회전륜)(23)의 외경보다도 직경이 축소되어 내측으로 돌출하는 플랜지부(51)가 형성되어 있다. 또한, 외륜 고정부(50)의 모터부(9)측에는, 베어링(11)의 외륜(회전륜)(23)의 외경보다도 직경이 확대된 홈부(52)가 형성되어 있다. Next, the supporting structure of the outer ring (turning wheel) 23 of the bearing 11 will be described. An outer
플랜지부(51)는, 외륜(회전륜)(23)의 축 방향 일단면(리졸버(27)측 단면)(23a)측으로 연장된다. 플랜지부(51)는, 이 플랜지부(51)의 내주면(51b)이 외륜(회전륜)(23)의 내주면보다도 외측에 위치하고, 또한, 외륜(회전륜)(23)의 챔퍼링부보다도 내측으로 위치하도록 형성하는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 플랜지부(51)로 베어링(11)의 외륜(회전륜)(23)을 확실하게 지지할 수 있다. The flange portion 51 extends toward one axial end surface (the end surface on the
또한, 홈부(52)에는, 외경 방향으로 부풀려고 하는 스프링력을 갖는 외륜 누름(회전륜 누름 부재)(53)이 장착되고, 이 외륜 누름(53)은, 외륜(회전륜)(23)의 축 방향 타단면(모터부(9)측 단면)(23b)측으로 연장된다. 홈부(52)의 외경은 베어링(11)의 외륜(회전륜)(23)의 최외경보다 조금 크고, 베어링(11) 자체의 허용 하중이 외륜 누름(53)에 가해져도 빠지지 않도록 되어 있다. 또한, 외륜 누름(53)으로서는, 예를 들면, C형 리테이닝링이라도 되고, 스프링 링을 이용할 수도 있다. An outer ring pushing (rotating wheel pushing member) 53 having a spring force to be inflated in the outer diameter direction is mounted on the
또한, 베어링(11)의 외륜(회전륜)(23)과 로터 플랜지(5)에 형성된 외륜 고정부(50)와의 사이의 간극에는 충전제(예를 들면, 몰드제, 접착제)가 충전되고, 이 충전제가 고화됨으로써 베어링(11)과 로터 플랜지(5)가 고정된다. A filler (for example, a mold agent and an adhesive) is filled in the gap between the outer ring (rotation wheel) 23 of the bearing 11 and the outer
이와 같이, 베어링(11)의 외륜(회전륜)(23)은, 외륜 고정부(50)의 축 방향의 상하(양단)에 설치된 플랜지부(51)와 외륜 누름(53)에 의해 축 방향으로 협지되고, 베어링(11)과 외륜 고정부(50)와의 사이의 간극에 충전된 충전제가 고화되어 고정된다. As described above, the outer ring (rotating wheel) 23 of the bearing 11 is supported by the flange portion 51 provided at the upper and lower ends (both ends) in the axial direction of the outer
상기 구성에 의해, 만일, 충전제의 파손이나 열화에 의해 고정력의 저하가 발생해도, 외륜 누름(53)이 로터 플랜지(5)로부터 회전륜(23)이 빠지는 것을 방지할 수 있다. With this configuration, even if the fixing force is lowered due to breakage or deterioration of the filler, it is possible to prevent the
다음으로, 베어링(11)의 내륜(고정륜)(21)의 지지 구조에 대해서 설명한다. 로터 플랜지(5)와 베어링(11)의 외륜(회전륜)(23)이 고정된 후, 베어링(11)의 내륜(고정륜)(21)을 하우징 인너(3)와 내륜 누름(29)으로 협지하고, 복수개의 볼트(35b)로 체결함으로써, 베어링(11)의 내륜(고정륜)(21)이 축 방향으로 고정되어 지지된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 하우징 인너(3)와 내륜 누름(29)을 삽입 통과 고정하는 볼트(35b)는, 리졸버 스테이터(35)를 내륜 누름(29)에 고정하기 위한 볼트(35a)와는 상이한 별도의 부품으로 하고 있다. Next, the supporting structure of the inner ring (fixed wheel) 21 of the bearing 11 will be described. The inner ring (fixed wheel) 21 of the bearing 11 is fixed to the inner ring 3 and the
내륜 누름(29)의 외경은, 베어링(11)의 내륜(고정륜)(21)의 내경보다도 직경이 확대되어 있다. 내륜 누름(29)의 외연부는, 내륜(고정륜)(21)의 축 방향 일단면(리졸버(27)측 단면)(21a)측으로 연장된다. 내륜 누름(29)은, 이 내륜 누름(29)의 외연부가 내륜(고정륜)(21)의 외주면보다도 내측에 위치하고, 또한, 내륜(고정륜)(21)의 챔퍼링부보다도 외측에 위치하도록 형성하는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 내륜 누름(29)으로 베어링(11)의 내륜(고정륜)(21)을 확실하게 지지할 수 있다. The outer diameter of the
또한, 하우징 인너(3)의 외주면에는, 상단부로부터 베어링(11)의 축 방향 높이에 상당하는 폭의 내륜 고정부(60)가 전체 둘레에 걸쳐서 형성되어 있으며, 이 내륜 고정부(60)의 모터부(9)측에는, 전체 둘레에 걸쳐서, 베어링(11)의 내륜(고정륜)(21)의 내경보다도 직경을 확대하여 외측으로 돌출되는 플랜지부(61)가 형성되어 있다. An inner
플랜지부(61)는, 내륜(고정륜)(21)의 축 방향 타단면(모터부(9)측 단면)(2lb)측으로 연장된다. 플랜지부(61)는, 이 플랜지부(61)의 외주면(61b)이 내륜(고정륜)(21)의 외주면보다도 내측에 위치하고, 또한, 내륜(고정륜)(21)의 챔퍼링부보다도 외측에 위치하도록 형성하는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 플랜지부(61)로 베어링(11)의 내륜(고정륜)(21)을 확실하게 지지할 수 있다. The
또한, 베어링(11)의 내륜(고정륜)(21)과 하우징 인너(3)에 형성된 내륜 고정부(60)와의 사이의 간극에는 충전제(예를 들면, 몰드제, 접착제)가 충전되고, 이 충전제가 고화됨으로써 베어링(11)과 하우징 인너(3)가 고정된다. A gap between the inner ring (fixed wheel) 21 of the bearing 11 and the inner
이와 같이, 베어링(11)의 내륜(고정륜)(21)은, 내륜 누름(29)과 내륜 고정부(60)의 축 방향의 하단에 설치된 플랜지부(61)에 의해 축 방향으로 협지되고, 베어링(11)과 내륜 고정부(60)와의 사이의 간극에 충전된 충전제가 고화되어 고정된다. The inner ring (fixed wheel) 21 of the bearing 11 is axially held between the inner
여기에서, 본 실시 형태에 관한 DD 모터(10)에서는, 하우징 인너(3) 및 내륜 누름(29)을 DD 모터(10)의 고정부를 구성하는 구조체로서 정의하고, 로터 플랜지(5)를 DD 모터(10)의 회전부를 구성하는 구조체로서 정의한다. Here, in the
예를 들면, 회전부를 구성하는 구조체가 하부의 로터 플랜지 부재와 상부의 외륜 누름 부재로 구성되고, 외륜 누름 부재와 로터 플랜지 부재로 베어링의 외륜(회전륜)을 협지하는 구조인 것으로는, 외륜 누름 부재와 로터 플랜지 부재를, 복수개의 볼트 등을 삽입 통과하여 고정할 필요가 있다. 이러한 구성에서는, 베어링의 외륜(회전륜)을 외륜 누름 부재와 로터 플랜지 부재로 협지하여 볼트를 체결함으로써 베어링을 고정하지만, 이러한 구성으로는, DD 모터를 구성하는 부품 점수가 많아지고, 각 부품의 치수 공차를 허용하기 위한 마진에 의해, DD 모터를 조립했을 때의 치수 정밀도가 저하될 가능성이 있다. For example, in the structure in which the structure constituting the rotating portion is composed of the lower rotor flange member and the upper outer ring pressing member, and the outer ring pressing member and the rotor flange member sandwich the outer ring (rotating wheel) of the bearing, It is necessary to fix the member and the rotor flange member by inserting a plurality of bolts or the like. In such a configuration, the bearing is fixed by clamping the outer ring (rotating wheel) of the bearing with the outer ring pressing member and the rotor flange member to fasten the bolt. However, with this configuration, the number of components constituting the DD motor increases, There is a possibility that the dimensional accuracy when the DD motor is assembled is lowered by the margin for allowing the dimensional tolerance.
본 실시 형태에서는, 전술한 바와 같이, DD 모터(19)의 회전부를 구성하는 구조체인 로터 플랜지(5)는, 회전축(S)의 축 방향(도 1에서는 상하 방향)으로 절단 눈금이 없는 일체 구조이며, 회전축(S)의 축 방향에, 하단부로부터 상단부까지 전체 둘레에 걸쳐서 연속되는 대략 원통 형상으로 구성되어 있기 때문에, DD 모터(10)를 조립했을 때의 치수 정밀도의 저하를 억제할 수 있다. 또한, DD 모터(10)를 구성하기 위한 부품 점수가 적어지는 점에서, DD 모터(10)의 비용이나 제조 비용을 저감할 수 있다. In the present embodiment, as described above, the
또한, 본 실시 형태에서는, 전술한 바와 같이, 하우징(7) 내에 단일의 리졸버(27)만이 배치된 구성이기 때문에, DD 모터(10)의 축 방향의 높이 치수를 저감할 수 있고, 그에 수반하여, 로터 플랜지(5)의 축 방향의 높이 치수를 저감할 수 있다. 이에 따라, 로터 플랜지(5)의 재료의 사용량을 저감할 수 있고, DD 모터(10)의 저비용화에 기여할 수 있다. In the present embodiment, as described above, since only the
또한, 통상, DD 모터의 구조체(로터 플랜지, 하우징 인너, 베어링, 내륜 누름 등)는, 자성 재료로 구성된다. 이에 대하여, 리졸버(27)는, 전술한 바와 같이 자기적인 센싱을 행함으로써 로터 플랜지(5)의 회전 각도 위치를 검출하는 것이기 때문에, 모터부(9)로부터의 자기의 유입에 의해 로터 플랜지(5)의 회전 각도 위치의 검출 정밀도에 악영향을 미칠 가능성이 있다. In addition, a structure (rotor flange, housing inner, bearing, inner ring press, etc.) of a DD motor is generally made of a magnetic material. On the other hand, since the
여기에서, 예를 들면, 고정부를 구성하는 구조체가 1개의 하우징 인너 부재로 구성되어 있는 것이면, 자성 재료로 구성된 하우징 인너 부재를 개재하여 모터부로부터의 자기의 유입에 의한 영향을 회피하기 위해, 다른 비자성 재료로 구성된 장착 부재 등을 개재하여 리졸버 스테이터를 하우징 인너 부재에 장착할 필요가 있다. Here, for example, if the structure constituting the fixed portion is constituted by one housing inner member, in order to avoid the influences of the inflow of magnetism from the motor portion through the housing inner member made of the magnetic material, It is necessary to mount the resolver stator to the housing inner member via a mounting member or the like made of another non-magnetic material.
본 실시 형태에서는, 전술한 바와 같이, 하우징 인너(3)와, 그 하우징 인너(3)와 함께 베어링(11)을 협지하는 비자성 재료로 구성된 내륜 누름(29)으로 고정부를 구성하고, 또한, 하우징 인너(3)와 내륜 누름(29)을 삽입 통과 고정하는 볼트(35b)는, 리졸버 스테이터(35)를 내륜 누름(29)에 고정하기 위한 볼트(35a)와는 상이한 별도의 부품으로 하고 있다. 즉, 자성 재료로 구성된 하우징 인너(3)와 리졸버 스테이터(35)가 도통되지 않는 구조이다. In this embodiment, as described above, the housing inner 3 and the housing inner 3 constitute the fixed portion by the inner ring pressing 29 composed of a non-magnetic material holding the bearing 11 together, And the
이에 따라, 모터부(9)로부터의 자기의 유입에 의한 로터 플랜지(5)의 회전각도 위치의 검출 정밀도로의 영향을 억제할 수 있고, 로터 플랜지(5)의 회전 각도 위치의 검출 정밀도를 높일 수 있다. 또한, 리졸버 스테이터(35)와 내륜 누름(29)과의 사이에 다른 부품을 개재할 필요가 없기 때문에, 리졸버 스테이터(35)의 장착 위치의 편차를 억제할 수 있고, 로터 플랜지(5)의 회전 각도 위치의 검출 정밀도를 보다 높일 수 있다. 또한, 로터 플랜지(5)가 1피스 구조인 것과 함께, DD 모터(10)를 구성하는 부품 점수를 삭감할 수 있기 때문에, DD 모터(10)의 비용이나 생산 비용을 보다 저감할 수 있다. This makes it possible to suppress the influence on the detection accuracy of the rotational angle position of the
또한, 전술한 바와 같이, 내륜 누름(29)은, 직경 방향의 단면이 장방형 또는 정방형이 되는 바와 같은 원환상의 형상으로 하면, 축 방향 양단면의 평행도·평면도를 용이하게 고정밀도로 하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 축 방향 상단면을 리졸버 스테이터(35)의 장착면으로 함으로써, 리졸버 스테이터(35)의 장착 위치의 편차를 더욱 억제할 수 있기 때문에, 로터 플랜지(5)의 회전 각도 위치의 검출 정밀도를 보다 고정밀도로 할 수 있고, 축 방향 하단면을 베어링 유지면으로 함으로써, DD 모터(10)의 회전 정밀도를 높일 수 있다. As described above, when the
또한, 내륜 누름(29)의 재질을 오스테나이트계 스테인리스로 함으로써, 알루미늄 등 다른 비자성 재료로 내륜 누름(29)을 구성하는 경우와 비교하여 높은 강성을 얻을 수 있다. 또한, 오스테나이트계 스테인리스는, 알루미늄 등 다른 비자성 재료에 비해 고정밀도 가공이 가능하고, 내륜 누름(29)의 재질을 오스테나이트계 스테인리스로 함으로써, 모터부(9)로부터의 자기의 유입에 의한 로터 플랜지(5)의 회전 각도 위치의 검출 정밀도로의 영향을 억제할 수 있을 뿐만아니라, 리졸버 스테이터(35)의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있기 때문에, 로터 플랜지(5)의 회전 각도 위치의 검출 정밀도나 DD 모터(10)의 회전 정밀도의 더 한층의 고정밀도화가 가능해진다. In addition, by using the austenitic stainless steel as the material of the
도 3은, 본 실시 형태에 관한 DD 모터(10)를 이용한 검사 장치(100)의 개략 구성도이다. DD 모터(10)의 로터 플랜지(5)의 상단에는, 원판 상의 테이블(80)이 연결되고, 로터 플랜지(5)의 동작에 의해, 테이블(80)이 회전한다. 이 테이블(80)의 가장자리부에는, 등간격을 두고 검사 대상물(반송물)(81)이 배치된다. 이 구성에서는, 검사 대상물(81)은, DD 모터(10)의 운전에 의해, 테이블(80)과 함께 회전하고 반송되기 때문에, DD 모터(10)와 테이블(80)을 구비하여 반송 장치를 구성한다. 또한, 테이블(80)의 가장자리부의 상방에는, 테이블(80)과 함께 회전(반송)되는 검사 대상물(81)을 개별적으로 관찰하는 카메라(검사부)(82)가 배치되어 있다. 그리고, 이 카메라(82)로 촬영함으로써, 촬영 화상에 의거하여, 검사 대상물(81)의 검사를 행할 수 있다. 이 구성에 의하면, 검사 대상물(81)을 카메라(82)의 하방으로 이동할 때의 위치 정밀도를 높임과 함께, 검사 장치(100)의 소형화를 실현할 수 있다. 3 is a schematic configuration diagram of the
도 4는, 본 실시 형태에 관한 DD 모터(10)를 이용한 공작 기계(101)의 개략 구성도이다. DD 모터(10)의 로터 플랜지(5)의 상단에는, 원판 상의 테이블(80)이 연결되고, 로터 플랜지(5)의 동작에 의해, 테이블(80)이 회전한다. 이 테이블(80)의 가장자리부에는, 등간격을 두고 가공 대상물(대상물)(91)이 배치된다. 또한, 테이블(80)의 가장자리부에는, 예를 들면, 가공 대상물(91)에 새로운 부품(92, 93)을 적재하는 가공을 행하는 적재 로봇(가공부)이 배치되고, 테이블(80)의 회전에 맞추어, 가공 대상물(91)에 가공을 행할 수 있다. 이 구성에 의하면, 가공 대상물(91)을 적재 로봇의 위치까지 이동할 때의 위치 정밀도를 높임과 함께, 공작 기계(101)의 소형화를 실현할 수 있다. 4 is a schematic configuration diagram of the
이상, 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 스테이터(13)와 당해 스테이터(13)에 대하여 회전 가능한 로터(15)를 갖는 모터부(9)와, 스테이터(13)가 고정되는 하우징 인너(제 1 하우징)(3)와, 로터(15)가 고정되는 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)와, 하우징 인너(제 1 하우징)(3)에 대하여 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)를 회전이 자유롭게 지지하는 베어링(11)과, 하우징 인너(제 1 하우징)(3)와 함께 베어링(11)의 내륜(고정륜)(23)을 축 방향으로 협지하는 비자성 재료로 구성된 내륜 누름(고정륜 누름 부재)(29)과, 모터부(9)의 회전 상태를 검출하기 위한 리졸버(27)를 구비한다. 리졸버(27)는, 리졸버 로터(33)와 그 리졸버 로터(33)에 대향하여 배치되는 리졸버 스테이터(35)를 포함하여 구성된다. 또한, 리졸버 로터(33)를 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)에 직접 고정하고, 리졸버 스테이터(35)를 내륜 누름(고정륜 누름 부재)(29)에 직접 고정하는 구성이다. 이 구성에 의해, 리졸버 스테이터(35)로의 모터부(9)로부터의 자기의 유입, 및 리졸버 로터(33) 및 리졸버 스테이터(35)의 위치 편차의 쌍방에 의한 제 2 하우징의 회전 각도 위치의 검출 정밀도로의 영향을 억제할 수 있고, 모터부(9)의 회전 상태를 고정밀도로 검출할 수 있다. 또한, DD 모터(10)를 구성하는 부품 점수의 증가를 억제할 수 있고, DD 모터(10)의 비용이나 생산 비용의 삭감을 도모할 수 있다. As described above, according to the present embodiment, the
또한, 본 실시 형태에 의하면, 리졸버(27)는, 스테이터(13)에 대한 로터(15)의 상대 변위를 검출하는 인크리멘탈 방식의 단일의 리졸버이다. 이 구성에 의해, 하우징(7)의 축 방향의 높이 치수를 저감할 수 있고, DD 모터(10)의 축 방향으로의 소형화를 도모할 수 있다. According to the present embodiment, the
또한, 본 실시 형태에 의하면, 모터부(9)로의 전원 투입시에 역률이 0이 되는 위치를 검출하는 역률 검출부(41)와, 역률이 0이 되는 위치와 리졸버(27)로부터 출력되는 리졸버 신호에 의해, 당해 모터부(9)의 전류(轉流)를 제어하는 전류 제어부(43)를 구비한다. 이 구성에 의해, 모터 전류(電流)의 전류(轉流) 타이밍을 검출할 때에 앱솔루트 리졸버가 불필요해진다. 이 때문에, 앱솔루트 리졸버와 인크리멘탈 리졸버의 2종류의 회전 검출기를 탑재시킬 필요가 없고, 단일의 리졸버 구성으로 할 수 있다. 따라서, 모터부(9)의 회전 상태를 고정밀도로 검출할 수 있음과 함께, DD 모터(10)의 축 방향의 높이를 억제할 수 있다. According to the present embodiment, there are provided a power
또한, 본 실시 형태에 의하면, 모터부(9), 베어링(11), 및, 리졸버(27)는, 베어링(11)의 축 방향으로 나열되어 배치된다. 이 구성에 의해, 회전축(S)을 중심으로 한 직경 방향으로의 대형화가 억제되고, DD 모터(10)의 설치 면적(소위 풋프린트)의 저감을 도모할 수 있다. According to the present embodiment, the
또한, 본 실시 형태에 의하면, 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)는, 베어링(11)의 외륜(회전륜)(23)의 축 방향 일단면(23a)측으로 연장되는 플랜지부(51)와, 외륜(회전륜)(23)의 축 방향 타단면(23b)측에 배치되는 외륜 누름(회전륜 누름 부재)(53)를 구비한다. 이 구성에 의해, 만일, 베어링(11)과 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)에 형성된 외륜 고정부(50)와의 사이의 간극에 충전된 충전제의 접착력이 저하된 경우라도, 로터 플랜지(제 1 하우징)(5)가 빠지는 것을 방지할 수 있다. According to the present embodiment, the rotor flange (second housing) 5 includes a flange portion 51 extending toward one
또한, 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)는, 베어링(11)의 외륜(회전륜)(23)의 축 방향 일단면(23a)측으로 연장되는 플랜지부(51)와, 외륜(회전륜)(23)의 축 방향 타단면(23b)측에 배치되는 외륜 누름(회전륜 누름 부재)(53)을 가짐과 함께, 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)와 외륜(회전륜)(23)을 충전제로 고정하는 구조이다. 이에 따라, 만일, 베어링(11)과 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)에 형성된 외륜 고정부(50)와의 사이의 간극에 충전된 충전제의 접착력이 저하된 경우라도, 외륜 누름(회전륜 누름 부재)(53)에 의해 베어링(11)과 로터 플랜지(제 1 하우징)(5)가 빠지는 것을 방지할 수 있다. The rotor flange (second housing) 5 includes a flange portion 51 extending toward one
또한, 본 실시 형태에 의하면, 외륜 누름(회전륜 누름 부재)(53)을 C형 리테이닝링으로 한다. 이에 따라, 만일, 베어링(11)과 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)에 형성된 외륜 고정부(50)와의 사이의 간극에 충전된 충전제의 접착력이 저하된 경우라도, 베어링(11)과 로터 플랜지(제 1 하우징)(5)가 빠지는 것을 방지할 수 있다. Further, according to the present embodiment, the outer ring pressing (wheel pressing member) 53 is a C-type retaining ring. Even if the adhesive force of the filler filled in the gap between the bearing 11 and the outer
또한, 본 실시 형태에 의하면, 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)는, 대략 원통 형상으로 형성됨과 함께 베어링(11)의 축선에 대하여 하우징 인너(제 1 하우징)(3)보다도 외측에 배치되고, 또한, 축 방향으로 절단 눈금이 없는 일체 구조이다. 이에 따라, 로터 플랜지(제 2 하우징)(5)가 축 방향으로 대형화되는 것을 억제하면서, 베어링(11)을 지지할 수 있고, DD 모터(10)의 소형화를 도모할 수 있다. According to the present embodiment, the rotor flange (second housing) 5 is formed in a substantially cylindrical shape and disposed outside the housing inner (first housing) 3 with respect to the axial line of the bearing 11 , And it is a one-piece structure without a cutting scale in the axial direction. Thus, the bearing 11 can be supported while the rotor flange (second housing) 5 is prevented from being enlarged in the axial direction, and the size of the
이상, 실시 형태를 설명했지만, 전술한 내용에 의해 실시 형태가 한정되는 것은 아니다. 본 실시 형태의 DD 모터(10)는, 아우터 로터형으로 했지만, 인너 로터형으로 해도 되는 것은 물론이다. 또한, 본 실시 형태에서는, 단일의 베어링(11)을 구비하는 구성을 설명하고 있지만, 복수의 베어링을 조합하여 사용하는 구성(베어링과 베어링의 사이에 스페이서를 설치하는 바와 같은 경우도 포함한다)에서도 동일한 효과를 얻을 수 있다. The embodiments have been described above, but the embodiments are not limited by the above description. Although the
3 : 하우징 인너(제 1 하우징)
5 : 로터 플랜지(제 2 하우징)
7 : 하우징
9 : 모터부
10 : DD 모터
11 : 베어링
13 : 스테이터(고정자)
15 : 로터(회전자)
20 : 제어 유닛
21 : 내륜(고정륜)
21a : 내륜(고정륜)의 축 방향 일단면(일방의 축 방향 단면)
2lb : 내륜(고정륜)의 축 방향 타단면(타방의 축 방향 단면)
23 : 외륜(회전륜)
23a : 외륜(회전륜)의 축 방향 일단면(일방의 축 방향 단면)
23b : 외륜(회전륜)의 축 방향 타단면(타방의 축 방향 단면)
25 : 전동체
27 : 리졸버(회전 검출기)
29 : 내륜 누름(고정륜 누름 부재)
33 : 리졸버 로터
35 : 리졸버 스테이터
41 : 역률 검출부
43 : 전류 제어부
51 : 플랜지부(로터 플랜지)
52 : 홈부
53 : 외륜 누름(회전륜 누름 부재)
60 : 내륜 고정부
61 : 플랜지부(하우징 인너)
80 : 테이블
81 : 검사 대상물(반송물)
82 : 카메라(검사부)
91 : 가공 대상물(대상물)
100 : 검사 장치
101 : 공작 기계
S : 회전축3: housing inner (first housing)
5: rotor flange (second housing)
7: Housing
9:
10: DD motor
11: Bearings
13: stator (stator)
15: rotor (rotor)
20: control unit
21: Inner ring (fixed ring)
21a: one axial end face (one axial end face) of the inner ring (fixed wheel)
2lb: the other axial end face (the other axial end face) of the inner ring (fixed wheel)
23: outer ring (wheel)
23a: one axial end face (one axial end face) of the outer ring (front wheel)
23b: another axial end surface (the other axial end surface) of the outer ring (front wheel)
25: rolling body
27: Resolver (rotation detector)
29: Pressing the inner ring (fixed wheel pressing member)
33: resolver rotor
35: resolver stator
41: Power factor detecting section
43:
51: flange portion (rotor flange)
52: Groove
53: Outer wheel pressing (wheel pressing member)
60: inner ring fixing portion
61: flange portion (housing inner)
80: Table
81: object to be inspected (return material)
82: camera (inspection part)
91: object to be processed (object)
100: Inspection device
101: Machine tools
S:
Claims (13)
상기 고정자가 고정되는 제 1 하우징과,
상기 회전자가 고정되는 제 2 하우징과,
상기 제 1 하우징에 대하여 상기 제 2 하우징을 회전이 자유롭게 지지하는 베어링과,
상기 제 1 하우징과 함께 상기 베어링의 고정륜을 축 방향으로 협지하는 비자성 재료로 구성된 원환상의 고정륜 누름 부재와,
상기 모터부의 회전 상태를 검출하기 위한 회전 검출기를 구비하고,
상기 회전 검출기는, 리졸버 로터와 당해 리졸버 로터에 대향하여 배치되는 리졸버 스테이터를 포함하고, 상기 리졸버 로터가 상기 제 2 하우징에 직접 고정되고, 상기 리졸버 스테이터가 상기 고정륜 누름 부재에 직접 고정된 다이렉트 드라이브 모터.A motor section having a stator and a rotatable rotor with respect to the stator,
A first housing to which the stator is fixed,
A second housing to which the rotor is fixed,
A bearing rotatably supporting the second housing with respect to the first housing,
An annular fixed ring pressing member composed of a nonmagnetic material for axially holding the fixed wheel of the bearing together with the first housing,
And a rotation detector for detecting a rotation state of the motor unit,
The rotation detector includes a resolver rotor and a resolver stator disposed opposite to the resolver rotor, wherein the resolver rotor is directly fixed to the second housing, and the resolver stator is fixed to the fixed wheel pressing member directly, motor.
상기 고정륜 누름 부재는, 직경 방향 단면 형상이 장방형 또는 정방형인 다이렉트 드라이브 모터.The method according to claim 1,
Wherein the fixed wheel pressing member has a rectangular cross-sectional shape in the radial direction.
상기 고정륜 누름 부재를 구성하는 비자성 재료는, 오스테나이트계 스테인리스인 다이렉트 드라이브 모터.The method according to claim 1,
The nonmagnetic material constituting the fixed wheel pressing member is an austenitic stainless steel direct drive motor.
상기 회전 검출기는, 상기 고정자에 대한 상기 회전자의 상대 변위를 검출하는 인크리멘탈 방식의 단일의 리졸버인 다이렉트 드라이브 모터.The method according to claim 1,
Wherein the rotation detector is a single resolver incremental resolver that detects a relative displacement of the rotor with respect to the stator.
상기 모터부로의 전원 투입시에 역률이 0이 되는 위치를 검출하는 역률 검출부와,
상기 역률이 0이 되는 위치와 상기 리졸버로부터 출력되는 인크리멘탈 정보 에 의해, 당해 모터부의 전류를 제어하는 전류 제어부를 구비하는 다이렉트 드라이브 모터.5. The method of claim 4,
A power factor detecting section that detects a position at which a power factor becomes zero at the time of turning on power to the motor section,
And a current control section for controlling a current of the motor section based on a position where the power factor becomes 0 and incremental information output from the resolver.
상기 모터부, 상기 베어링, 및, 상기 회전 검출기는, 상기 베어링의 축 방향으로 나열되어 배치되는 다이렉트 드라이브 모터.The method according to claim 1,
Wherein the motor unit, the bearing, and the rotation detector are arranged in the axial direction of the bearing.
상기 제 2 하우징은, 상기 베어링의 회전륜의 일방의 축 방향 단면측으로 연장되는 플랜지부와, 당해 회전륜의 타방의 축 방향 단면측에 배치되는 회전륜 누름 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 다이렉트 드라이브 모터.The method according to claim 1,
And the second housing includes a flange portion extending to one axial end face side of the rotating wheel of the bearing and a rotating wheel pressing member disposed on the other axial end face side of the rotating wheel. motor.
상기 제 2 하우징은, 상기 베어링의 회전륜의 일방의 축 방향 단면측으로 연장되는 플랜지부와, 당해 회전륜의 타방의 축 방향 단면측에 형성되는 환상 홈과, 당해 환상 홈에 장착되는 회전륜 누름 부재를 가짐과 함께, 상기 제 2 하우징과 외회전륜과는 충전제로 고정되어 있는 다이렉트 드라이브 모터.The method according to claim 1,
The second housing includes a flange portion extending to one axial end face side of the rotary wheel of the bearing, an annular groove formed on the other axial end face side of the rotary wheel, And the second housing and the outer rotating wheel are fixed with a filler.
상기 회전륜 누름 부재는, C형 리테이닝링인 다이렉트 드라이브 모터.9. The method according to claim 7 or 8,
The rotation wheel pressing member is a C-type retaining ring.
상기 제 2 하우징은, 대략 원통 형상으로 형성됨과 함께 상기 베어링의 축선에 대하여 상기 제 1 하우징보다도 외측에 배치되고, 또한, 상기 축 방향으로 절단 눈금이 없는 일체 구조인 다이렉트 드라이브 모터.The method according to claim 1,
Wherein the second housing is formed in a substantially cylindrical shape and disposed on the outer side of the first housing with respect to the axis of the bearing and has a unitary structure having no cut scale in the axial direction.
상기 제 2 하우징의 회전에 의해, 반송물을 반송하는 반송 장치.A direct drive motor according to any one of claims 1 to 10,
And transports the transported object by the rotation of the second housing.
상기 제 2 하우징의 회전에 의해 이동하는 대상물을 개별적으로 검사하는 검사부를 구비한 검사 장치.11. A direct drive motor comprising: a direct drive motor according to any one of claims 1 to 10;
And an inspection unit for individually inspecting an object moving by the rotation of the second housing.
상기 제 2 하우징의 회전에 의해 이동하는 대상물을 개별적으로 가공하는 가공부를 구비한 공작 기계.
11. A direct drive motor comprising: a direct drive motor according to any one of claims 1 to 10;
And a machining portion for individually machining the objects to be moved by the rotation of the second housing.
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