KR20170023478A - Ultraviolet Light Emitting Device - Google Patents

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KR20170023478A
KR20170023478A KR1020150118670A KR20150118670A KR20170023478A KR 20170023478 A KR20170023478 A KR 20170023478A KR 1020150118670 A KR1020150118670 A KR 1020150118670A KR 20150118670 A KR20150118670 A KR 20150118670A KR 20170023478 A KR20170023478 A KR 20170023478A
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light emitting
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KR1020150118670A
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김백준
박상준
정재훈
황덕기
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엘지이노텍 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a light emitting device. The light emitting device includes a substrate; a light emitting structure including a first conductivity type semiconductor layer disposed on the substrate, an active layer and a second conductivity type semiconductor layer; a sub-mount for supporting the light emitting structure; a first bump electrically connecting the sub-mount and the first conductive semiconductor layer; a second bump electrically connecting the sub-mount and the second conductive semiconductor layer; and a heat dissipation layer disposed on a lower surface of the sub-mount and emitting heat generated from the first bump and the second bump. So, an increase in the temperature of the light emitting device can be prevented.

Description

자외선 발광 소자{Ultraviolet Light Emitting Device}[0001] Ultraviolet Light Emitting Device [0002]

실시 예는 자외선 발광 소자에 관한 것이다.An embodiment relates to an ultraviolet light emitting element.

발광 다이오드(LED:Light Emitting Diode)는 화합물 반도체의 특성을 이용하여 전기를 적외선 또는 빛으로 변환시켜서 신호를 주고 받거나, 광원으로 사용되는 반도체 소자의 일종이다.Light emitting diodes (LEDs) are a kind of semiconductor devices that convert the electricity into infrared rays or light by using the characteristics of compound semiconductors, exchange signals, or use as a light source.

Ⅲ-Ⅴ족 질화물 반도체(group Ⅲ-Ⅴ nitride semiconductor)는 물리적 및 화학적 특성으로 인해 발광 다이오드(LED) 또는 레이저 다이오드(LD:Laser Diode) 등 발광소자의 핵심 소재로 각광을 받고 있다.III-V nitride semiconductors (group III-V nitride semiconductors) are attracting attention as a core material for light emitting devices such as light emitting diodes (LEDs) and laser diodes (LDs) due to their physical and chemical properties.

이러한 발광 다이오드는 백열등과 형광등 등의 기존 조명기구에 사용되는 수은(Hg)과 같은 환경 유해물질이 포함되어 있지 않아 우수한 친환경성을 가지며, 긴 수명과 저전력 소비특성 등과 같은 장점이 있기 때문에 기존의 광원들을 대체하고 있다.Since such a light emitting diode does not contain environmentally harmful substances such as mercury (Hg) used in conventional lighting devices such as incandescent lamps and fluorescent lamps, it has excellent environmental friendliness, and has advantages such as long life and low power consumption characteristics. .

도 1은 기존의 발광 소자의 단면도로서, 기판(20) 및 발광 구조물(30)로 구성된다.1 is a cross-sectional view of a conventional light emitting device, and includes a substrate 20 and a light emitting structure 30.

도 1의 기판(20) 위에 배치된 발광 구조물(30)은 n형 반도체층(32), 활성층(34) 및 p형 반도체층(36)으로 구성된다. 만일, 활성층(34)에서 자외선 파장 대역의 광이 방출되고 n형 및 p형 반도체층(32, 36) 각각이 GaN으로 형성되었다면, 광은 n형 및 p형 GaN층(32, 36)에서 흡수되어 광 추출 효율이 악화될 수 있다. 이를 개선시키기 위해, n형 및 p형 반도체층(32, 36) 각각을 AlGaN으로 형성할 경우 광량은 개선되지만 p형 AlGaN층(36B)을 통해 정공의 주입이 수월하지 않을 수 있다. 이를 해소하기 위해, p형 AlGaN층(36B) 위에 p형 GaN층(36A)을 더 배치할 수 있다.The light emitting structure 30 disposed on the substrate 20 in Fig. 1 is composed of an n-type semiconductor layer 32, an active layer 34, and a p-type semiconductor layer 36. If light in the ultraviolet wavelength band is emitted from the active layer 34 and each of the n-type and p-type semiconductor layers 32 and 36 is formed of GaN, light is absorbed in the n-type and p-type GaN layers 32 and 36 So that the light extraction efficiency can be deteriorated. In order to improve this, when the n-type and p-type semiconductor layers 32 and 36 are each formed of AlGaN, the amount of light is improved but injection of holes through the p-type AlGaN layer 36B may not be easy. In order to solve this problem, a p-type GaN layer 36A may be further disposed on the p-type AlGaN layer 36B.

기존의 자외선 발광소자는 일반적으로 EQE(External Quantum Efficiency)가 낮기 때문에 발광소자의 내부에서 방출하는 열의 양이 많아 발광소자의 온도가 상승되는 문제가 있었다.Since the conventional ultraviolet light emitting device generally has low EQE (External Quantum Efficiency), there is a problem that the temperature of the light emitting device is increased due to a large amount of heat emitted from the inside of the light emitting device.

또한, 발광소자의 온도가 상승함으로 인하여 발광소자의 수명이 감소하는 문제가 있었다.In addition, there has been a problem that the life of the light emitting element is reduced due to an increase in the temperature of the light emitting element.

또한, 발광소자의 온도가 상승하는 것을 방지하는 방열구조가 구비되지 않아 발광소자의 온도가 상승하는 것을 방지하지 못하여 발광소자의 수명이 감소하는 문제가 있었다.In addition, since a heat dissipating structure for preventing the temperature of the light emitting device from rising is not provided, the temperature of the light emitting device can not be prevented from rising, and the lifetime of the light emitting device is reduced.

실시 예의 발광소자는 일반적으로 EQE(External Quantum Efficiency)가 낮기 때문에 발광소자의 내부에서 방출하는 열의 양이 많아 발광소자의 온도가 상승되는 것을 방지하는 발광소자를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.The light emitting device of the embodiment has a low external quantum efficiency (EQE) in general, and thus it is an object of the present invention to provide a light emitting device that prevents the temperature of the light emitting device from rising due to a large amount of heat emitted from the inside of the light emitting device.

또한, 발광소자의 온도가 상승함으로 인하여 발광소자의 수명이 감소하는 문제를 해결하는 발광소자를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.Another object of the present invention is to provide a light emitting device which solves the problem that the lifetime of the light emitting device is reduced due to an increase in the temperature of the light emitting device.

또한, 발광소자의 온도가 상승하는 것을 방지하는 방열구조가 구비하여 발광소자의 온도가 상승하는 것을 방지함으로 인하여 발광소자의 수명을 연장시키는 발광소자를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.A further object of the present invention is to provide a light emitting device having a heat dissipating structure for preventing the temperature of the light emitting device from rising, thereby preventing the temperature of the light emitting device from rising, thereby prolonging the life of the light emitting device.

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여, 기판, 상기 기판 상에 배치된 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물, 상기 발광구조물을 지지하는 서브 마운트, 상기 서브마운트와 상기 제1 도전형 반도체층을 전기적으로 연결하는 제1 범프, 상기 서브마운트와 상기 제2 도전형 반도체층을 전기적으로 연결하는 제2 범프 및 상기 서브 마운트의 하부면에 배치되어 상기 제1 범프 및 상기 제2 범프에서 발생하는 열을 방출시키는 방열층을 포함하는 발광소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a light emitting device including a substrate, a first conductive semiconductor layer disposed on the substrate, a light emitting structure including an active layer and a second conductive semiconductor layer, a submount supporting the light emitting structure, A first bump electrically connecting the submount and the first conductive semiconductor layer, a second bump electrically connecting the submount and the second conductive semiconductor layer, and a second bump electrically connecting the submount and the first conductive semiconductor layer, And a heat dissipating layer for dissipating heat generated from the first bump and the second bump.

또한, 상기 제1 범프와 상기 제2 범프는 상호 전기적으로 직렬연결 된 상태로 구비되는 발광소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, the first bump and the second bump are provided in a state where they are electrically connected in series to each other.

또한, 상기 제1 범프에 전류를 인가하는 제1와이어 및 상기 제2 범프에 전류를 인가하는 제2와이어를 포함하고, 상기 제1와이어 및 상기 제2와이어는 서로 반대 극성인 발광소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.The light emitting device may further include a first wire for applying a current to the first bump and a second wire for applying a current to the second bump, wherein the first wire and the second wire are mutually opposite in polarity As a solution to the problem.

또한, 상기 제1 범프는 Bi-Te-Se로 이루어지는 발광소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.The first bump is a Bi-Te-Se light-emitting device.

또한, 상기 제2 범프는 Bi-Sb-Te로 이루어지는 발광소자를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.The second bump is a Bi-Sb-Te light-emitting device.

또한, 홈이 형성된 도전성 기판 및 상기 도전성 기판의 홈에 적어도 일부가 삽입되어 배치되는 발광소자를 포함하고, 상기 발광소자는 기판, 상기 기판 상에 배치된 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물, 상기 발광구조물을 지지하는 서브 마운트, 상기 서브마운트와 상기 제1 도전형 반도체층을 전기적으로 연결하는 제1 범프, 상기 서브마운트와 상기 제2 도전형 반도체층을 전기적으로 연결하는 제2 범프 및 상기 서브 마운트의 하부면에 배치되어 상기 제1 범프 및 상기 제2 범프에서 발생하는 열을 방출시키는 방열층을 포함하며, 상기 발광소자의 측면 중 적어도 일부와 바닥면이 상기 도전성 기판에 결합되는 발광소자 패키지를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.The light emitting device includes a substrate, a first conductive semiconductor layer disposed on the substrate, an active layer, and a second conductive semiconductor layer disposed on the substrate, A semiconductor light emitting device comprising: a light emitting structure including a conductive semiconductor layer; a submount supporting the light emitting structure; a first bump electrically connecting the submount and the first conductive semiconductor layer; And a heat dissipation layer disposed on a lower surface of the submount for emitting heat generated in the first bump and the second bump, wherein at least a part of the side surface of the light emitting element and a bottom And a surface of the light emitting device package is coupled to the conductive substrate.

또한, 상기 제1 범프에 전류를 인가하는 제1와이어 및 상기 제2 범프에 전류를 인가하는 제2와이어를 포함하는 발광소자 패키지를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.It is still another object of the present invention to provide a light emitting device package including a first wire for applying a current to the first bump and a second wire for applying a current to the second bump.

또한, 상기 제1 범프와 상기 제2 범프는 상호 전기적으로 직렬연결 된 상태로 구비되는 발광소자 패키지를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.In addition, the first bump and the second bump are electrically connected in series to each other.

또한, 상기 제1 범프는 Bi-Te-Se로 이루어지는 발광소자 패키지를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.Further, the first bump is a Bi-Te-Se light-emitting device package.

또한, 상기 제2 범프는 Bi-Sb-Te로 이루어지는 발광소자 패키지를 제공하는 것을 과제의 해결 수단으로 한다.Further, the second bump is a Bi-Sb-Te light-emitting device package.

실시 예의 발광소자는 일반적으로 EQE(External Quantum Efficiency)가 낮기 때문에 발광소자의 내부에서 방출하는 열의 양이 많아 발광소자의 온도가 상승되는 것을 방지하는 발광소자를 제공하는 것을 발명의 효과로 한다.The light emitting device of the embodiment has a low external quantum efficiency (EQE) in general, and thus provides a light emitting device that prevents the temperature of the light emitting device from rising due to a large amount of heat emitted from the inside of the light emitting device.

또한, 발광소자의 온도가 상승함으로 인하여 발광소자의 수명이 감소하는 문제를 해결하는 발광소자를 제공하는 것을 발명의 효과로 한다.It is another object of the present invention to provide a light emitting device that solves the problem that the lifetime of the light emitting device is reduced due to an increase in the temperature of the light emitting device.

또한, 발광소자의 온도가 상승하는 것을 방지하는 방열구조가 구비하여 발광소자의 온도가 상승하는 것을 방지함으로 인하여 발광소자의 수명을 연장시키는 발광소자를 제공하는 것을 발명의 효과로 한다.The present invention also provides a light emitting device having a heat dissipating structure for preventing the temperature of the light emitting device from rising, thereby preventing the temperature of the light emitting device from rising, thereby prolonging the life of the light emitting device.

도 1은 기존의 발광 소자의 단면도이다.
도 2는 실시 예에 의한 자외선 발광 소자의 단면도를 나타낸 것이다.
도 3a 내지 도 3c는 도 2에 예시된 자외선 발광 소자의 실시 예에 의한 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
도 4는 플립 본딩 구조를 갖는 다른 실시 예에 의한 자외선 발광 소자의 단면도를 나타낸 것이다.
도 5는 실시 예에 따른 발광 소자 패키지의 단면도이다.
1 is a cross-sectional view of a conventional light emitting device.
2 is a cross-sectional view of an ultraviolet light-emitting device according to an embodiment.
3A to 3C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the ultraviolet light emitting device illustrated in FIG.
4 is a cross-sectional view of an ultraviolet light-emitting device according to another embodiment having a flip-bonding structure.
5 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to an embodiment.

이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시 예를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되지 않아야 한다. 본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings in order to facilitate understanding of the present invention. However, the embodiments according to the present invention can be modified into various other forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. Embodiments of the invention are provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art.

본 발명에 따른 실시 예의 설명에 있어서, 각 element의 " 상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 상기 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 “상(위)" 또는 "하(아래)(on or under)”로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiment according to the present invention, in the case of being described as being formed on the "upper" or "on or under" of each element, on or under includes both elements being directly contacted with each other or one or more other elements being indirectly formed between the two elements. Also, when expressed as "on" or "on or under", it may include not only an upward direction but also a downward direction with respect to one element.

또한, 이하에서 이용되는 "제1" 및 "제2," "상부" 및 "하부" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서만 이용될 수도 있다.It is also to be understood that the terms "first" and "second", "upper" and "lower", etc., as used below, do not necessarily imply or imply any physical or logical relationship or order between such entities or elements And may be used only to distinguish one entity or element from another entity or element.

도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.The thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Also, the size of each component does not entirely reflect the actual size.

도 2는 실시 예에 의한 자외선 발광 소자(100A)의 단면도를 나타낸다.Fig. 2 shows a cross-sectional view of the ultraviolet light-emitting device 100A according to the embodiment.

도 2에 도시된 자외선 발광 소자(100A)는 기판(110), 버퍼층(120), 발광 구조물(130), 제1 및 제2 전극(142, 144)을 포함한다.The ultraviolet light emitting device 100A shown in FIG. 2 includes a substrate 110, a buffer layer 120, a light emitting structure 130, and first and second electrodes 142 and 144.

기판(110)은 도전형 물질 또는 비도전형 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 사파이어(Al203), GaN, SiC, ZnO, GaP, InP, Ga203, GaAs 및 Si 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The substrate 110 may comprise a conductive material or a non-conductive material. For example, the substrate 110 may include at least one of sapphire (Al 2 O 3 ), GaN, SiC, ZnO, GaP, InP, Ga 2 O 3 , GaAs and Si.

기판(110)과 발광 구조물(130) 간의 열 팽창 계수의 차이 및 격자 부정합을 개선하기 위해, 이들(110, 130) 사이에 버퍼층(또는, 전이층)(120)이 배치될 수 있다. 버퍼층(120)은 예를 들어 Al, In, N 및 Ga로 구성되는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있으나, 이에 국한되지 않는다. 또한, 버퍼층(120)은 단층 또는 다층 구조를 가질 수도 있다.A buffer layer (or transition layer) 120 may be disposed between the substrate 110 and the light emitting structure 130 to improve the thermal expansion coefficient difference and the lattice mismatch between the substrate 110 and the light emitting structure 130. The buffer layer 120 may include, but is not limited to, at least one material selected from the group consisting of Al, In, N, and Ga, for example. Further, the buffer layer 120 may have a single-layer structure or a multi-layer structure.

발광 구조물(130)은 버퍼층(120) 위에 순차적으로 배치되는 제1 도전형 반도체층(132), 활성층(134) 및 제2 도전형 반도체층(136)을 포함한다.The light emitting structure 130 includes a first conductive semiconductor layer 132, an active layer 134, and a second conductive semiconductor layer 136 sequentially disposed on the buffer layer 120.

제1 도전형 반도체층(132)은 버퍼층(120) 위에 배치되며, 제1 도전형 도펀트가 도핑된 Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(132)이 n형 반도체층인 경우, 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductive semiconductor layer 132 is disposed on the buffer layer 120 and may be formed of a compound semiconductor such as a group III-V or II-VI doped with a first conductive dopant. When the first conductivity type semiconductor layer 132 is an n-type semiconductor layer, the first conductivity type dopant may include Si, Ge, Sn, Se, and Te as an n-type dopant.

예를 들어, 제1 도전형 반도체층(132)은 AlxInyGa(1-x-y)N (0≤≤x≤≤1, 0≤≤y≤≤1, 0≤≤x+y≤≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(132)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.For example, the first conductive semiconductor layer 132 may be formed of Al x In y Ga (1-xy) N (0? X?? 1, 0? Y ? 1 , 0? X + y? 1). ≪ / RTI > The first conductive semiconductor layer 132 may include one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP and InP.

활성층(134)은 제1 도전형 반도체층(132) 위에 배치되며, 제1 도전형 반도체층(132)을 통해서 주입되는 전자(또는, 정공)와 제2 도전형 반도체층(136)을 통해서 주입되는 정공(또는, 전자)이 서로 만나서, 활성층(134)을 이루는 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다. 활성층(134)은 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다.The active layer 134 is disposed on the first conductivity type semiconductor layer 132 and injects electrons or holes injected through the first conductivity type semiconductor layer 132 and the second conductivity type semiconductor layer 136 (Or electrons) of the active layer 134 meet each other to emit light having energy determined by the energy band inherent in the material of the active layer 134. The active layer 134 may be at least one of a single well structure, a multiple well structure, a single quantum well structure, a multi quantum well (MQW), a quantum-wire structure, or a quantum dot structure Can be formed.

활성층(134)의 우물층/장벽층은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 우물층은 장벽층의 밴드갭 에너지보다 낮은 밴드갭 에너지를 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer / barrier layer of the active layer 134 may be formed of any one or more pairs of InGaN / GaN, InGaN / InGaN, GaN / AlGaN, InAlGaN / GaN, GaAs (InGaAs) / AlGaAs, GaP (InGaP) But are not limited thereto. The well layer may be formed of a material having a band gap energy lower than the band gap energy of the barrier layer.

활성층(134)의 위 또는/및 아래에는 도전형 클래드층(미도시)이 형성될 수 있다. 도전형 클래드층은 활성층(134)의 장벽층의 밴드갭 에너지보다 더 높은 밴드갭 에너지를 갖는 반도체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도전형 클래드층은 GaN, AlGaN, InAlGaN 또는 초격자 구조 등을 포함할 수 있다. 또한, 도전형 클래드층은 n형 또는 p형으로 도핑될 수 있다.A conductive clad layer (not shown) may be formed on and / or below the active layer 134. The conductive cladding layer may be formed of a semiconductor having a band gap energy higher than the band gap energy of the barrier layer of the active layer 134. [ For example, the conductive clad layer may include GaN, AlGaN, InAlGaN, superlattice structure, or the like. Further, the conductive clad layer may be doped with n-type or p-type.

실시 예에 의하면, 활성층(134)은 자외선 파장 대역의 광을 방출한다. 여기서, 자외선 파장 대역이란, 100 ㎚ 내지 400 ㎚의 파장 대역을 의미한다. 특히, 활성층(134)은 100 ㎚ 내지 280 ㎚ 파장 대역의 광을 방출할 수 있다.According to the embodiment, the active layer 134 emits light in the ultraviolet wavelength band. Here, the ultraviolet wavelength band means a wavelength band of 100 nm to 400 nm. In particular, the active layer 134 can emit light in a wavelength band of 100 nm to 280 nm.

제2 도전형 반도체층(136)은 활성층(134) 위에 배치되며, 반도체 화합물로 형성될 수 있다. Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 예컨대, 제2 도전형 반도체층(136)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤≤x≤≤1, 0≤≤y≤≤1, 0≤≤x+y≤≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 제2 도전형 반도체층(136)에는 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(136)이 p형 반도체층인 경우, 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.The second conductive semiconductor layer 136 is disposed on the active layer 134 and may be formed of a semiconductor compound. III-V, or II-VI group. For example, the second conductive type semiconductor layer 136 is In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤≤x≤≤1, 0≤≤y≤≤1, 0≤≤x + y≤≤1) Lt; RTI ID = 0.0 > of < / RTI > The second conductive type semiconductor layer 136 may be doped with a second conductive type dopant. When the second conductivity type semiconductor layer 136 is a p-type semiconductor layer, the second conductivity type dopant may be a p-type dopant including Mg, Zn, Ca, Sr, Ba and the like.

제1 도전형 반도체층(132)은 n형 반도체층으로, 제2 도전형 반도체층(136)은 p형 반도체층으로 구현할 수 있다. 또는, 제1 도전형 반도체층(132)은 p형 반도체층으로, 제2 도전형 반도체층(136)은 n형 반도체층으로 구현할 수도 있다.The first conductive semiconductor layer 132 may be an n-type semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer 136 may be a p-type semiconductor layer. Alternatively, the first conductivity type semiconductor layer 132 may be a p-type semiconductor layer and the second conductivity type semiconductor layer 136 may be an n-type semiconductor layer.

발광 구조물(130)은 N-P 접합 구조, P-N 접합 구조, N-P-N 접합 구조, P-N-P 접합 구조 중 어느 한 구조로 구현할 수 있다.The light emitting structure 130 may have any one of an N-P junction structure, a P-N junction structure, an N-P-N junction structure, and a P-N-P junction structure.

실시 예에 의하면, 활성층(134)이 전술한 바와 같이 자외선 파장 대역의 광을 방출할 경우, 제2 도전형 반도체층(136)은 제2 도전형 제1 반도체층(136A)과 제2 도전형 제2 반도체층(136C)을 포함할 수 있다.According to the embodiment, when the active layer 134 emits light in the ultraviolet wavelength band as described above, the second conductivity type semiconductor layer 136 may include the second conductivity type first semiconductor layer 136A and the second conductivity type And a second semiconductor layer 136C.

제2 도전형 제1 반도체층(136A)은 활성층(134) 위에 배치된다. 제2 도전형 제1 반도체층(136A) 및 제1 도전형 반도체층(132) 각각은 AlGaN을 포함할 수 있다. 왜냐하면, AlGaN이 GaN이나 InAlGaN보다 자외선 파장 대역의 광을 덜 흡수하기 때문이다.The second conductive type first semiconductor layer 136A is disposed on the active layer 134. [ Each of the second conductive type first semiconductor layer 136A and the first conductive type semiconductor layer 132 may include AlGaN. This is because AlGaN absorbs less light in the ultraviolet wavelength band than GaN or InAlGaN.

제2 도전형 제2 반도체층(136C)은 제2 도전형 제1 반도체층(136A) 위에 배치된다. 제2 도전형 제2 반도체층(136C)은 제2 전극(144)으로부터 활성층(134)으로 정공을 원할히 공급하여 자외선 발광 소자(100A)의 전기적 특성을 개선시키는 역할을 한다. 예를 들어, 제2 도전형 제2 반도체층(136B)은 GaN 또는 InAlGaN을 포함할 수 있다. The second conductive type second semiconductor layer 136C is disposed on the second conductive type first semiconductor layer 136A. The second conductive type second semiconductor layer 136C improves the electrical characteristics of the ultraviolet light emitting device 100A by uniformly supplying holes from the second electrode 144 to the active layer 134. [ For example, the second conductive type second semiconductor layer 136B may include GaN or InAlGaN.

만일, 제1 도전형이 n형이고 제2 도전형이 p형인 경우, 제2 도전형 제1 반도체층(136A)은 전자 차단층(EBL:Electron Blocking Layer)의 역할을 수행할 수 있다. 또는, 이러한 전자 차단층의 역할을 하는 제2 도전형 제1 반도체층(136A)은 AlGaN/AlGaN 초격자층 구조를 가질 수도 있고, AlGaN 벌크 층 구조를 가질 수도 있다.If the first conductivity type is n-type and the second conductivity type is p-type, the second conductive type first semiconductor layer 136A may serve as an electron blocking layer (EBL). Alternatively, the second conductive type first semiconductor layer 136A serving as the electron blocking layer may have an AlGaN / AlGaN super lattice layer structure or an AlGaN bulk layer structure.

또한, 활성층(134)에서 방출된 광이 제2 도전형 제1 반도체층(136A)에서 흡수되지 않고 투과될 수 있도록, 제2 도전형 제1 반도체층(136A)의 에너지 밴드갭은 활성층(134)의 에너지 밴드갭보다 클 수 있다. 이를 위해, 활성층(134)에서 방출된 광의 파장에 따라 달라지지만, 제2 도전형 제1 반도체층(136A)에 포함된 알루미늄의 함량비는 0.3 이상일 수 있다.The energy band gap of the second conductive type first semiconductor layer 136A is set such that the light emitted from the active layer 134 can be transmitted without being absorbed by the second conductive type first semiconductor layer 136A, Lt; RTI ID = 0.0 > of the < / RTI > For this, the content ratio of aluminum contained in the second conductive type first semiconductor layer 136A may be 0.3 or more, although it depends on the wavelength of the light emitted from the active layer 134.

또한, 제2 도전형 반도체층(136)은 제2 도전형 제3 반도체층(136B)을 더 포함할 수 있다. 제2 도전형 제3 반도체층(136B)은 제2 도전형 제1 반도체층(136A)과 제2 도전형 제2 반도체층(136C) 사이에 배치된다. 예를 들어, 제2 도전형 제3 반도체층(136B)은 적어도 하나의 AlGaN층을 포함할 수 있다. 여기서, 제2 도전형 제3 반도체층(136B)이 복수의 AlGaN층을 포함할 경우, 복수의 AlGaN층의 알루미늄 농도는 구배를 가질 수도 있고 변조될 수도 있다.In addition, the second conductivity type semiconductor layer 136 may further include a second conductivity type third semiconductor layer 136B. The second conductive type third semiconductor layer 136B is disposed between the second conductive type first semiconductor layer 136A and the second conductive type second semiconductor layer 136C. For example, the second conductive type third semiconductor layer 136B may include at least one AlGaN layer. Here, when the second conductive type third semiconductor layer 136B includes a plurality of AlGaN layers, the aluminum concentration of the plurality of AlGaN layers may have a gradient or may be modulated.

한편, 제1 전극(142)은 메사 식각(Mesa etching)에 의해 노출된 제1 도전형 반도체층(132) 위에 배치된다. 제1 전극(142)은 오믹 접촉하는 물질을 포함하여 오믹 역할을 수행하여 별도의 오믹층(미도시)이 배치될 필요가 없을 수도 있고, 별도의 오믹층이 제1 전극(142)의 아래에 배치될 수도 있다.Meanwhile, the first electrode 142 is disposed on the first conductive type semiconductor layer 132 exposed by mesa etching. The first electrode 142 may include an ohmic contact material and may serve as an ohmic layer so that a separate ohmic layer (not shown) may not be required. Another ohmic layer may be formed under the first electrode 142 .

제2 전극(144)은 제2 도전형 제2 반도체층(136C) 위에 배치된다. 제1 및 제2 전극(142, 144) 각각은 활성층(134)에서 방출된 광을 흡수하지 않고 반사시키거나 투과시킬 수 있고, 제1 및 제2 도전형 반도체층(132, 136) 상에 양질로 성장될 수 있는 어느 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 전극(142, 144) 각각은 금속으로 형성될 수 있으며, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 및 이들의 선택적인 조합으로 이루어질 수 있다.And the second electrode 144 is disposed on the second conductive type second semiconductor layer 136C. Each of the first and second electrodes 142 and 144 may reflect or transmit the light emitted from the active layer 134 without absorbing it and may be formed on the first and second conductivity type semiconductor layers 132 and 136 Or the like. For example, each of the first and second electrodes 142 and 144 may be formed of a metal such as Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, It can be made in an optional combination.

특히, 제2 전극(144)은 투명 전도성 산화막(TCO:Tranparent Conductive Oxide)일 수도 있다. 예를 들어, 제2 전극(144)은 전술한 금속 물질과 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 적어도 하나를 포함할 수 있으며, 이러한 재료로 한정하지는 않는다. 제2 전극(144)은 제2 도전형 GaN층(126C)과 오믹 접촉하는 물질을 포함할 수 있다.In particular, the second electrode 144 may be a transparent conductive oxide (TCO). For example, the second electrode 144 may be formed of a metal material such as ITO (indium tin oxide), IZO (indium zinc oxide), IZTO (indium zinc tin oxide), IAZO (indium aluminum zinc oxide), IGZO zinc oxide, indium gallium tin oxide (IGTO), aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO), gallium zinc oxide (GZO), IrOx, RuOx, RuOx / ITO, Ni / IrOx / IrOx / Au / ITO, and the material is not limited thereto. The second electrode 144 may include a material that makes an ohmic contact with the second conductive GaN layer 126C.

또한, 제2 전극(144)은 오믹 특성을 갖는 반사 전극 재료로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 만일, 제2 전극(144)이 오믹 역할을 수행할 경우, 별도의 오믹층(미도시)은 형성되지 않을 수 있다.Further, the second electrode 144 may be formed as a single layer or multiple layers of a reflective electrode material having an ohmic characteristic. If the second electrode 144 functions as an ohmic layer, a separate ohmic layer (not shown) may not be formed.

이하, 도 2에 예시된 자외선 발광 소자(100A)의 실시 예에 따른 제조 방법을 다음과 같이 살펴본다. 그러나, 도 2에 예시된 자외선 발광 소자(100A)는 이에 국한되지 않고 다른 방법에 의해서도 제조될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, a manufacturing method according to an embodiment of the ultraviolet light emitting device 100A illustrated in FIG. 2 will be described as follows. However, it is needless to say that the ultraviolet light emitting device 100A illustrated in FIG. 2 can be manufactured by other methods without being limited thereto.

도 3a 내지 도 3c는 도 2에 예시된 자외선 발광 소자(100A)의 실시 예에 의한 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.3A to 3C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the ultraviolet light emitting device 100A illustrated in FIG. 2 according to an embodiment of the present invention.

도 3a를 참조하면, 기판(110) 상에 버퍼층(120)을 형성한다.Referring to FIG. 3A, a buffer layer 120 is formed on a substrate 110.

도전성 또는 비도전성 물질에 의해 기판(110)을 형성할 수 있다. 만일, 기판(110)이 실리콘 기판일 경우, 대구경이 용이하며 열전도도가 우수하지만, 실리콘과 질화물계 발광 구조층(130) 간의 열 팽창 계수의 차이 및 격자 부정합에 의해 발광 구조물(130)에 크랙(crack)이 발생하는 등의 문제점이 발생할 수도 있다. 이를 방지하기 위해, 기판(110) 상에 버퍼층(120)을 선택적으로 형성할 수 있다. 버퍼층(120)은 예를 들어 Al, In, N 및 Ga로 구성되는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 물질에 의해 형성할 수 있으나, 이에 국한되지 않는다. 또한, 버퍼층(120)은 단층 또는 다층 구조의 형태로 형성될 수도 있다.The substrate 110 can be formed of a conductive or non-conductive material. If the substrate 110 is a silicon substrate, the light emitting structure 130 is easily cracked due to the difference in thermal expansion coefficient between the silicon and the nitride based light emitting structure layer 130 and the lattice mismatch, cracks may be generated. In order to prevent this, the buffer layer 120 may be selectively formed on the substrate 110. The buffer layer 120 may be formed of at least one material selected from the group consisting of, for example, Al, In, N and Ga, but is not limited thereto. In addition, the buffer layer 120 may be formed in the form of a single layer or a multilayer structure.

기판(110) 위에 버퍼층(120)을 형성한 이후, 버퍼층(120) 위에 제1 도전형 반도체층(132), 활성층(134), 제2 도전형 제1 반도체층(136A) 및 제2 도전형 제3 반도체층(136B)을 형성한다.The buffer layer 120 is formed on the substrate 110 and then the first conductive semiconductor layer 132, the active layer 134, the second conductive semiconductor layer 136A, and the second conductive semiconductor layer 132 are formed on the buffer layer 120, The third semiconductor layer 136B is formed.

제1 도전형 반도체층(132)은 제1 도전형 도펀트가 도핑된 Ⅲ-Ⅴ족 또는 Ⅱ-Ⅵ족 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 반도체층(132)이 n형 반도체층인 경우, 제1 도전형 도펀트는 n형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductivity type semiconductor layer 132 may be formed of a III-V or II-VI compound semiconductor doped with the first conductivity type dopant, and the first conductivity type semiconductor layer 132 may be an n- The first conductivity type dopant may include Si, Ge, Sn, Se, and Te as an n-type dopant, but is not limited thereto.

제1 도전형 반도체층(132)은 예를 들어, AlxInyGa(1-x-y)N (0≤≤x≤≤1, 0≤≤y≤≤1, 0≤≤x+y≤≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 이용하여 형성될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(132)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다. 전술한 바와 같이, 활성층(134)이 자외선 파장 대역의 광을 방출할 경우, 제1 도전형 반도체층(132)은 AlGaN으로 형성될 수 있다.The first conductivity type semiconductor layer 132 may be formed of Al x In y Ga (1-xy) N (0? X ? 1, 0? Y ? 1 , 0? X + y? 1). ≪ / RTI > The first conductive semiconductor layer 132 may be formed of one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP and InP. As described above, when the active layer 134 emits light in the ultraviolet wavelength band, the first conductivity type semiconductor layer 132 may be formed of AlGaN.

활성층(134)은 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조, 양자 선 구조, 또는 양자 점 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 활성층(134)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The active layer 134 may be formed of at least one of a single well structure, a multi-well structure, a single quantum well structure, a multiple quantum well structure, a quantum wire structure, or a quantum dot structure. For example, the active layer 134 may be formed by implanting trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and trimethyl indium gas (TMIn) But is not limited thereto.

활성층(134)의 우물층/장벽층은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 우물층은 장벽층의 밴드 갭보다 작은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer / barrier layer of the active layer 134 may be formed of any one or more pairs of InGaN / GaN, InGaN / InGaN, GaN / AlGaN, InAlGaN / GaN, GaAs (InGaAs) / AlGaAs, GaP (InGaP) But are not limited thereto. The well layer may be formed of a material having a band gap smaller than the band gap of the barrier layer.

활성층(134)의 위 또는/및 아래에 도전형 클래드층(미도시)이 더 형성될 수 있다. 도전형 클래드층은 활성층(134)의 장벽층의 밴드갭 에너지보다 더 높은 밴드갭 에너지를 갖는 반도체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도전형 클래드층은 GaN, AlGaN, InAlGaN 또는 초격자 구조 등으로 형성될 수 있다. 또한, 도전형 클래드층은 n형 또는 p형으로 도핑될 수 있다.A conductive clad layer (not shown) may be further formed on and / or below the active layer 134. The conductive cladding layer may be formed of a semiconductor having a band gap energy higher than the band gap energy of the barrier layer of the active layer 134. [ For example, the conductive clad layer may be formed of GaN, AlGaN, InAlGaN, superlattice structure, or the like. Further, the conductive clad layer may be doped with n-type or p-type.

제2 도전형 제1 및 제3 반도체층(136A, 136B)은 Ⅲ-Ⅴ 족 또는 Ⅱ-Ⅵ 족 등의 화합물 반도체를 이용하여 형성될 수 있으며, 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 예컨대, InxAlyGa1 -x- yN (0≤≤x≤≤1, 0≤≤y≤≤1, 0≤≤x+y≤≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 이용하여 제2 도전형 제1 및 제3 반도체층(136A, 136B)을 형성할 수 있다. 제2 도전형 제1 및 제3 반도체층(136A, 136B)이 p형 반도체층인 경우, 제2 도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다. 만일, 활성층(134)으로부터 자외선 파장 대역의 광이 방출될 경우 제2 도전형 제1 및 제3 반도체층(136A, 136B) 각각은 AlGaN으로 형성될 수 있다.The second conductive type first and third semiconductor layers 136A and 136B may be formed using a compound semiconductor such as a group III-V or II-VI group, and the second conductive type dopant may be doped. For example, by using a semiconductor material having a compositional formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤≤x≤≤1, 0≤≤y≤≤1, 0≤≤x + y≤≤1) the 2 conductive type first and third semiconductor layers 136A and 136B can be formed. When the first and third semiconductor layers 136A and 136B are a p-type semiconductor layer, the second conductive dopant may include Mg, Zn, Ca, Sr, and Ba as p-type dopants . If light in the ultraviolet wavelength band is emitted from the active layer 134, each of the first and third semiconductor layers 136A and 136B of the second conductivity type may be formed of AlGaN.

이후, 도 3b를 참조하면, 제2 도전형 제3 반도체층(136B) 위에 4Å/sec 예를 들어, 1.2Å/sec 이하의 느린 속도로 50 ㎚ 내지 150 ㎚의 두께(t)로 제2 도전형 제2 반도체층(136C)을 성장시킨다. 제2 도전형 제2 반도체층(136C)은 GaN이나 InAlGaN을 이용하여 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3B, the second conductive type semiconductor layer 136B is formed on the second conductive type third semiconductor layer 136B with a thickness t of 50 nm to 150 nm at a slow rate of 4 ANGSTROM / sec, for example, Type second semiconductor layer 136C is grown. The second conductive type second semiconductor layer 136C may be formed using GaN or InAlGaN.

이후, 도 3c에 예시된 바와 같이, 제1 도전형 반도체층(132), 활성층(134), 제2 도전형 제1 내지 제3 반도체층(136A, 136B, 136C)의 일부를 메사 식각하여 제1 도전형 반도체층(132)의 일부를 노출시킨다.3C, a part of the first conductivity type semiconductor layer 132, the active layer 134, and the first to third semiconductor layers 136A, 136B and 136C of the second conductivity type is subjected to a mesa etching process Thereby exposing a part of the one conductivity type semiconductor layer 132.

이후, 도 2에 예시된 바와 같이, 노출된 제1 도전형 반도체층(132)의 상부에 제1 전극(142)을 형성함과 동시에 제2 도전형 제2 반도체층(136C)의 상부에 제2 전극(144)을 형성한다. 제1 및 제2 전극(142, 144) 각각은 활성층(134)에서 방출된 광을 흡수하지 않고 반사시키거나 투과시킬 수 있고, 제1 및 제2 도전형 반도체층(132, 136) 상에 양질로 성장될 수 있는 물질에 의해 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 전극(142, 144) 각각은 금속으로 형성될 수 있으며, Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 및 이들의 선택적인 조합으로 이루어질 수 있다.2, a first electrode 142 is formed on the exposed first conductivity type semiconductor layer 132 and a second electrode 142 is formed on the second conductive type second semiconductor layer 136C. Two electrodes 144 are formed. Each of the first and second electrodes 142 and 144 may reflect or transmit the light emitted from the active layer 134 without absorbing it and may be formed on the first and second conductivity type semiconductor layers 132 and 136 Lt; RTI ID = 0.0 > a < / RTI > For example, each of the first and second electrodes 142 and 144 may be formed of a metal such as Ag, Ni, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, It can be made in an optional combination.

특히, 제2 전극(144)은 투명 전도성 산화막(TCO:Tranparent Conductive Oxide)으로 형성될 수도 있다. 예를 들어, 제2 전극(144)은 전술한 금속 물질과 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IrOx, RuOx, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 적어도 하나에 의해 형성될 수 있으며, 이러한 재료로 한정하지는 않는다.In particular, the second electrode 144 may be formed of a transparent conductive oxide (TCO). For example, the second electrode 144 may be formed of a metal material such as ITO (indium tin oxide), IZO (indium zinc oxide), IZTO (indium zinc tin oxide), IAZO (indium aluminum zinc oxide), IGZO zinc oxide, indium gallium tin oxide (IGTO), aluminum zinc oxide (AZO), antimony tin oxide (ATO), gallium zinc oxide (GZO), IrOx, RuOx, RuOx / ITO, Ni / IrOx / IrOx / Au / ITO, and the material is not limited to these materials.

또한, 제2 전극(144)은 오믹 특성을 갖는 반사 전극 재료로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 만일, 제2 전극(144)이 오믹 역할을 수행할 경우, 별도의 오믹층(미도시)은 형성되지 않을 수 있다.Further, the second electrode 144 may be formed as a single layer or multiple layers of a reflective electrode material having an ohmic characteristic. If the second electrode 144 functions as an ohmic layer, a separate ohmic layer (not shown) may not be formed.

한편, 도 2에 예시된 실시 예에 의한 자외선 발광 소자(100A)는 수평형 구조이지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 다른 실시 예에 의하면 자외선 발광 소자는 수직형이나 플립 본딩 구조를 가질 수도 있다.On the other hand, the ultraviolet light emitting device 100A according to the embodiment illustrated in FIG. 2 has a horizontal structure, but the embodiment is not limited thereto. That is, according to another embodiment, the ultraviolet light emitting device may have a vertical type or a flip bonding structure.

도 4은 플립 본딩 구조를 갖는 다른 실시 예에 의한 자외선 발광 소자(100B)의 단면도를 나타낸다.Fig. 4 shows a cross-sectional view of an ultraviolet light-emitting device 100B according to another embodiment having a flip-bonding structure.

도 2에 예시된 자외선 발광 소자(100A)는 수평형 구조이기 때문에, 활성층(134)에서 방출된 광은 제2 도전형 반도체층(136)과 제2 전극(144)을 통해 출사된다. 이를 위해, 제2 도전형 반도체층(136)과 제2 전극(144)은 투광성을 갖는 물질로 이루어지고, 제1 도전형 반도체층(132), 버퍼층(120) 및 기판(110)은 투광성이나 비투광성을 갖는 물질로 이루어질 수도 있다.Light emitted from the active layer 134 is emitted through the second conductive type semiconductor layer 136 and the second electrode 144 because the ultraviolet light emitting device 100A illustrated in FIG. 2 has a horizontal structure. The first conductivity type semiconductor layer 132, the buffer layer 120, and the substrate 110 are made of a light-transmitting material and the second conductivity type semiconductor layer 136 and the second electrode 144 are made of a light- And may be made of a material having non-light-transmitting property.

그러나, 도 4에 예시된 자외선 발광 소자(100B)는 플립 칩 본딩 구조이기 때문에, 활성층(134)에서 방출된 광은 기판(110), 버퍼층(120) 및 제1 도전형 반도체층(132)을 통해 출사된다. 이를 위해, 기판(110), 버퍼층(120) 및 제1 도전형 반도체층(132)은 투광성을 갖는 물질로 이루어지고, 제2 도전형 반도체층(136)과 제2 전극(144)은 투광성이나 비투광성을 갖는 물질로 이루어질 수 있다.However, since the ultraviolet light emitting device 100B illustrated in FIG. 4 has a flip-chip bonding structure, light emitted from the active layer 134 is incident on the substrate 110, the buffer layer 120, and the first conductivity type semiconductor layer 132 . For this, the substrate 110, the buffer layer 120, and the first conductivity type semiconductor layer 132 are made of a light-transmitting material, and the second conductivity type semiconductor layer 136 and the second electrode 144 are transparent And may be made of a material having non-transparency.

또한, 도 2에 예시된 자외선 발광 소자(100A)와 달리, 도 8에 예시된 자외선 발광 소자(100B)는 플립 칩 본딩 구조이므로, 제1 및 제2 범프(162A, 162B), 서브 마운트(164), 방열층(166) 및 제1 및 제2 금속층(또는, 전극 패드)(168A, 168B)을 더 포함한다. 이러한 차이점을 제외하면, 도 8에 예시된 자외선 발광 소자(100B)는 도 2에 예시된 자외선 발광 소자(100A)와 동일하므로 중복되는 부분에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하며 이에 대한 상세한 설명을 생략한다.Unlike the ultraviolet light emitting device 100A illustrated in FIG. 2, since the ultraviolet light emitting device 100B illustrated in FIG. 8 has a flip chip bonding structure, the first and second bumps 162A and 162B, the submount 164 A heat dissipation layer 166, and first and second metal layers (or electrode pads) 168A and 168B. Except for these differences, since the ultraviolet light emitting device 100B illustrated in FIG. 8 is the same as the ultraviolet light emitting device 100A illustrated in FIG. 2, the same reference numerals are used for the overlapped portions, and a detailed description thereof will be omitted .

서브 마운트(164)는 예를 들어 AlN, BN, 탄화규소(SiC), GaN, GaAs, Si 등의 반도체 기판으로 이루어질 수 있으며, 이에 국한되지 않고 열전도도가 우수한 반도체 물질로 이루어질 수도 있다. 또한, 서브 마운트(164) 내에 제너 다이오드 형태의 정전기(ESD:Electro Static Discharge) 방지를 위한 소자가 포함될 수도 있다.The submount 164 may be formed of a semiconductor substrate such as AlN, BN, SiC, GaN, GaAs, Si, or the like, and may be formed of a semiconductor material having excellent thermal conductivity. In addition, an element for preventing electrostatic discharge (ESD) in the form of a Zener diode may be included in the submount 164.

제1 및 제2 금속층(168A, 168B)은 서브 마운트(164) 위에 수평 방향으로 서로 이격되어 배치된다. 제1 범프(162A)는 제1 금속층(168A)과 제1 전극(142) 사이에 배치되고, 제2 범프(162B)는 제2 금속층(168B)과 제2 전극(144) 사이에 배치된다.The first and second metal layers 168A and 168B are disposed horizontally spaced apart from each other on the submount 164. The first bump 162A is disposed between the first metal layer 168A and the first electrode 142 and the second bump 162B is disposed between the second metal layer 168B and the second electrode 144. [

제1 전극(142)은 제1 범프(162A)를 통해 서브 마운트(164)의 제1 금속층(168A)에 연결되며, 제2 전극(144)은 제2 범프(162B)를 통해 서브 마운트(164)의 제2 금속층(168B)에 연결된다.The first electrode 142 is connected to the first metal layer 168A of the submount 164 via the first bump 162A and the second electrode 144 is connected to the submount 164 via the second bump 162B. Of the second metal layer 168B.

비록 도시되지는 않았지만, 제1 전극(142)과 제1 범프(162A) 사이에 제1 상부 범프 금속층(미도시)이 더 배치되고, 제1 금속층(168A)와 제1 범프(162A) 사이에 제1 하부 범프 금속층(미도시)이 더 배치될 수도 있다. 여기서, 제1 상부 범프 금속층과 제1 하부 범프 금속층은 제1 범프(162A)가 위치할 자리를 표시하는 역할을 수행한다. 이와 비슷하게 제2 전극(144)과 제2 범프(162B) 사이에 제2 상부 범프 금속층(미도시)이 더 배치되고, 제2 금속층(168B)와 제2 범프(162B) 사이에 제2 하부 범프 금속층(미도시)이 더 배치될 수도 있다. 여기서, 제2 상부 범프 금속층과 제2 하부 범프 금속층은 제2 범프(162B)가 위치할 자리를 표시하는 역할을 수행한다.Although not shown, a first upper bump metal layer (not shown) is further disposed between the first electrode 142 and the first bump 162A and a second upper bump metal layer (not shown) is disposed between the first metal layer 168A and the first bump 162A A first lower bump metal layer (not shown) may be further disposed. Here, the first upper bump metal layer and the first lower bump metal layer serve to indicate the position where the first bump 162A is to be located. Similarly, a second upper bump metal layer (not shown) is further disposed between the second electrode 144 and the second bump 162B, and a second lower bump metal layer (not shown) is disposed between the second metal layer 168B and the second bump 162B. A metal layer (not shown) may be further disposed. Here, the second upper bump metal layer and the second lower bump metal layer serve to indicate the position where the second bump 162B is to be positioned.

만일, 서브 마운트(164)가 Si과 같이 전기적 전도성을 갖는 물질로 구현된 경우, 도 4에 예시된 바와 같이 제1 및 제2 금속층(168A, 168B)와 서브 마운트(164) 사이에 방열층(166)이 더 배치될 수도 있다.If the submount 164 is formed of a material having electrical conductivity such as Si, a heat dissipation layer (not shown) may be formed between the first and second metal layers 168A and 168B and the submount 164 as illustrated in FIG. 166 may be further disposed.

종래의 자외선 발광소자는 앞서 서술한 바와 같이 EQE(External Quantum Efficiency)가 낮아 발광소자의 내부에서 발생하는 열의 양이 많다.As described above, the conventional ultraviolet light emitting device has a low external quantum efficiency (EQE), and thus the amount of heat generated inside the light emitting device is large.

제1 범프(162A) 및 제2 범프(162B)에서 주로 열이 발생하는데 제1 범프(162A) 및 제2 범프(162B)로 발생한 열이 이동하지 못하여 발광소자 내부의 온도가 상승하는 문제가 있었다.Heat is mainly generated in the first bump 162A and the second bump 162B and the heat generated in the first bump 162A and the second bump 162B does not move to raise the temperature inside the light emitting device .

이를 해결하기 위해서는 제1 범프(162A) 및 제2 범프(162B)에서 발생하는 열이 서브 마운트(164)로 이동하도록 하는 방열구조가 필요하다.To solve this problem, it is necessary to provide a heat dissipating structure for allowing heat generated in the first bump 162A and the second bump 162B to move to the submount 164.

따라서, 실시 예의 발광소자는 서브 마운트(164)의 하부에 방열층(166)을 더 구비할 수 있다.Accordingly, the light emitting device of the embodiment may further include a heat dissipation layer 166 below the submount 164.

또한, 제1 범프(162A) 및 제2 범프(162B)에서 발생하는 열이 서브 마운트(164)를 통하여 서브 마운트(164)의 하부에 배치되는 방열층(166)으로 이동하도록 하기 위하여 제1 범프(162A)와 제2 범프(162B)를 전기적으로 직렬연결 되도록 구비할 수 있다.In order to allow the heat generated in the first bump 162A and the second bump 162B to move through the submount 164 to the heat dissipation layer 166 disposed below the submount 164, The first bump 162A and the second bump 162B may be electrically connected in series.

실시 예의 발광소자는 Peltier효과를 이용하여 제1 범프(162A) 및 제2 범프(162B)를 전기적으로 직렬연결 하고 열전도측면에서는 병렬연결이 되도록 구비하여 제1 범프(162A) 및 제2 범프(162B)에서 발생하는 열이 서브 마운트(164) 및 방열층(166)을 향하여 이동하도록 구성 할 수 있다.The light emitting device of the embodiment has the first bump 162A and the second bump 162B electrically connected in series by using the Peltier effect and the first bump 162A and the second bump 162B by parallel connection in terms of heat conduction, Can be configured to move toward the sub mount 164 and the heat dissipation layer 166.

제1 범프(162A)는 (+)전극이 연결되도록 구비될 수 있고, 제2 범프(162B)는 (-)전극이 연결되도록 구비될 수 있다.The first bump 162A may be provided to connect the positive electrode and the second bump 162B may be provided to connect the negative electrode.

또한, 반대로 제1 범프(162A)는 (-)전극이 연결되도록 구비될 수 있고, 제2 범프(162B)는 (+)전극이 연결되도록 구비될 수 있다.In addition, the first bump 162A may be connected to the (-) electrode and the second bump 162B may be connected to the (+) electrode.

즉, 제1 범프(162A)와 제2 범프(162B)가 각각 서로 반대 전극이 연결되고 제1 범프(162A)와 제2 범프(162B)가 전기적으로 직렬로 연결 되기만 하면 족하다.That is, it suffices that the first bump 162A and the second bump 162B have opposite electrodes connected to each other and the first bump 162A and the second bump 162B are electrically connected in series.

따라서, 실시 예의 발광소자는 전술한 조건만 만족하면 족하고 상세한 구조는 사용자의 필요에 따라 변경될 수 있으며, 이는 본 발명의 권리범위를 제한하지 아니한다.Therefore, the light emitting device of the embodiment satisfies only the above-mentioned conditions and the detailed structure can be changed according to the needs of the user, and does not limit the scope of the right of the present invention.

제1 범프(162A)는 Bi-Te-Se로 이루어 질 수 있다.The first bump 162A may be made of Bi-Te-Se.

제1 범프(162A)가 Bi-Te-Se로 이루어짐으로 인하여 제1 범프(162A)에서 발생하는 열을 보다 효율적으로 방열층(166)을 향하여 이동시킬 수 있는 효과가 있다.Since the first bump 162A is made of Bi-Te-Se, the heat generated in the first bump 162A can be more efficiently moved toward the heat dissipation layer 166. [

제2 범프(162B)는 Bi-Sb-Te로 이루어 질 수 있다.And the second bump 162B may be made of Bi-Sb-Te.

제2 범프(162B)가 Bi-Sb-Te로 이루어짐으로 인하여 제2 범프(162B)에서 발생하는 열을 보다 효율적으로 방열층(166)을 향하여 이동시킬 수 있는 효과가 있다.Since the second bumps 162B are made of Bi-Sb-Te, the heat generated in the second bumps 162B can be more efficiently moved toward the heat dissipation layer 166. [

도 5는 실시 예에 따른 발광 소자 패키지(200)의 단면도이다.5 is a cross-sectional view of a light emitting device package 200 according to an embodiment.

실시 예에 따른 발광 소자 패키지(200)는 발광 소자(100B), 기판(210), 제1 및 제2 패키지 몸체(220A, 220B), 절연물(230), 제1 및 제2 와이어(242, 244) 및 몰딩 부재(250)를 포함한다. 발광 소자(100B)는 도 4에 예시된 발광 소자로서, 동일한 참조부호를 사용하여 이에 대한 상세한 설명을 생략한다.The light emitting device package 200 according to the embodiment includes the light emitting device 100B, the substrate 210, the first and second package bodies 220A and 220B, the insulator 230, the first and second wires 242 and 244 And a molding member 250. The light emitting device 100B is the same as the light emitting device illustrated in FIG. 4, and the same reference numerals are used to omit a detailed description thereof.

제1 및 제2 패키지 몸체(220A, 220B)는 기판(210) 위에 배치된다. 여기서, 기판(210)은 인쇄 회로 기판(PCB:Printed Circuit Board)일 수 있으나 이에 국한되지 않는다. 발광 소자(100B)가 자외선 광을 방출할 경우 방열 특성을 향상시키기 위해, 제1 및 제2 패키지 몸체(220A, 220B)는 알루미늄 재질로 구현될 수 있으나 이에 국한되지 않는다.The first and second package bodies 220A and 220B are disposed on the substrate 210. Here, the substrate 210 may be, but is not limited to, a printed circuit board (PCB). The first and second package bodies 220A and 220B may be made of aluminum, but are not limited thereto, in order to improve heat radiation characteristics when the light emitting device 100B emits ultraviolet light.

도 5에서 서브 마운트(164)는 제2 패키지 몸체(220B) 위에 배치된 것으로 도시되어 있지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 서브 마운트(164)는 제2 패키지 몸체(220B)가 아니라 제1 패키지 몸체(220A) 위에 배치될 수도 있다. 자외선 발광 소자(100B)의 제1 및 제2 금속층(168A, 168B)은 제1 및 제2 와이어(242, 244)에 의해 제1 및 제2 패키지 몸체(220A, 220B)에 각각 연결된다. 제1 및 제2 패키지 몸체(220A, 220B)가 전기적 전도성을 갖는 알루미늄 재질로 구현될 경우, 절연물(230)은 제1 패키지 몸체(220A)와 제2 패키지 몸체(220B)를 전기적으로 서로 분리시키는 역할을 한다.Although the submount 164 is shown as being disposed on the second package body 220B in Fig. 5, the embodiment is not limited to this. That is, the submount 164 may be disposed on the first package body 220A instead of the second package body 220B. The first and second metal layers 168A and 168B of the ultraviolet light emitting device 100B are connected to the first and second package bodies 220A and 220B by the first and second wires 242 and 244, respectively. When the first and second package bodies 220A and 220B are formed of an aluminum material having electrical conductivity, the insulator 230 electrically separates the first package body 220A and the second package body 220B from each other It plays a role.

제1 도전형 반도체층(132)은 제1 전극(142), 제1 범프(162A), 제1 금속층(168A), 제1 와이어(242) 및 제1 패키지 몸체(220A)를 통해 기판(210)과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제2 도전형 반도체층(136)은 제2 전극(144), 제2 범프(162B), 제2 금속층(168B), 제2 와이어(244) 및 제2 패키지 몸체(220B)를 통해 기판(210)과 전기적으로 연결될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 132 is electrically connected to the substrate 210 through the first electrode 142, the first bump 162A, the first metal layer 168A, the first wire 242 and the first package body 220A. As shown in FIG. The second conductive semiconductor layer 136 is electrically connected to the second electrode 144 through the second electrode 144, the second bump 162B, the second metal layer 168B, the second wire 244 and the second package body 220B. (Not shown).

몰딩 부재(250)는 제1 및 제2 패키지 몸체(220A, 220B)에 의해 형성된 캐비티에 채워져 자외선 발광 소자(100B)를 포위하여 보호할 수 있다. 또한, 몰딩 부재(250)는 형광체를 포함하여, 자외선 발광 소자(100B)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The molding member 250 may be filled in a cavity formed by the first and second package bodies 220A and 220B to surround and protect the ultraviolet light emitting device 100B. In addition, the molding member 250 may include a phosphor to change the wavelength of the light emitted from the ultraviolet light emitting device 100B.

실시 예에 따른 발광 소자 패키지는 복수 개가 기판 상에 어레이될 수 있고, 발광 소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광 소자 패키지, 기판, 광학 부재는 백라이트 유닛으로 기능할 수 있다.A plurality of light emitting device packages according to the embodiments may be arrayed on a substrate, and a light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, and the like may be disposed on the light path of the light emitting device package. The light emitting device package, the substrate, and the optical member may function as a backlight unit.

또한, 실시 예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 표시 장치, 지시 장치, 조명 장치로 구현될 수 있다.Further, the display device, the indicating device, and the lighting device including the light emitting device package according to the embodiment can be realized.

여기서, 표시 장치는 바텀 커버와, 바텀 커버 상에 배치되는 반사판과, 광을 방출하는 발광 모듈과, 반사판의 전방에 배치되며 발광 모듈에서 발산되는 빛을 전방으로 안내하는 도광판과, 도광판의 전방에 배치되는 프리즘 시트들을 포함하는 광학 시트와, 광학 시트 전방에 배치되는 디스플레이 패널과, 디스플레이 패널과 연결되고 디스플레이 패널에 화상 신호를 공급하는 화상 신호 출력 회로와, 디스플레이 패널의 전방에 배치되는 컬러 필터를 포함할 수 있다. 여기서 바텀 커버, 반사판, 발광 모듈, 도광판, 및 광학 시트는 백라이트 유닛(Backlight Unit)을 이룰 수 있다.Here, the display device includes a bottom cover, a reflector disposed on the bottom cover, a light emitting module for emitting light, a light guide plate disposed in front of the reflector for guiding light emitted from the light emitting module forward, An image signal output circuit connected to the display panel and supplying an image signal to the display panel; and a color filter disposed in front of the display panel, . Here, the bottom cover, the reflection plate, the light emitting module, the light guide plate, and the optical sheet may form a backlight unit.

또한, 조명 장치는 기판과 실시 예에 따른 발광 소자 패키지를 포함하는 광원 모듈, 광원 모듈의 열을 발산시키는 방열체, 및 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 광원 모듈로 제공하는 전원 제공부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 조명 장치는, 램프, 해드 램프, 또는 가로등을 포함할 수 있다.In addition, the illumination device may include a light source module including a substrate and a light emitting device package according to an embodiment, a heat sink for dissipating heat of the light source module, and a power supply unit for processing or converting an electric signal provided from the outside, . For example, the lighting device may include a lamp, a head lamp, or a streetlight.

해드 램프는 기판 상에 배치되는 발광 소자 패키지들을 포함하는 발광 모듈, 발광 모듈로부터 조사되는 빛을 일정 방향, 예컨대, 전방으로 반사시키는 리플렉터(reflector), 리플렉터에 의하여 반사되는 빛을 전방으로 굴절시키는 렌즈, 및 리플렉터에 의하여 반사되어 렌즈로 향하는 빛의 일부분을 차단 또는 반사하여 설계자가 원하는 배광 패턴을 이루도록 하는 쉐이드(shade)를 포함할 수 있다.The head lamp includes a light emitting module including light emitting device packages disposed on a substrate, a reflector for reflecting light emitted from the light emitting module in a predetermined direction, for example, forward, a lens for refracting light reflected by the reflector forward And a shade that reflects off or reflects a portion of the light reflected by the reflector and directed to the lens to provide the designer with a desired light distribution pattern.

이상에서 실시 예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시 예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시 예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

100, 200a, 200b: 발광소자 120, 220: 발광 구조물
122, 222: 제1 도전형 반도체층 124, 224: 활성층
126, 226: 제2 도전형 반도체층 132: 제1 전극
136: 제2 극 232: 제1 도전층
233: 관통 전극 236: 제2 도전층
236a, 236b: 제2 전극 240: 오믹층
250: 반사층 260: 채널
270: 도전성 지지기판 280: 패시베이션층
285: 절연층 300: 도전성 기판
310: 솔더 320: 유전층
330: 패드 340: 와이어
350: 몰딩부
100, 200a, 200b: light emitting device 120, 220: light emitting structure
122, 222: first conductivity type semiconductor layers 124, 224: active layer
126, 226: second conductivity type semiconductor layer 132: first electrode
136: second pole 232: first conductive layer
233: penetrating electrode 236: second conductive layer
236a, 236b: a second electrode 240: an ohmic layer
250: Reflective layer 260: Channel
270: conductive supporting substrate 280: passivation layer
285: insulating layer 300: conductive substrate
310: solder 320: dielectric layer
330: pad 340: wire
350: molding part

Claims (10)

기판;
상기 기판 상에 배치된 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물;
상기 발광구조물을 지지하는 서브 마운트;
상기 서브마운트와 상기 제1 도전형 반도체층을 전기적으로 연결하는 제1 범프;
상기 서브마운트와 상기 제2 도전형 반도체층을 전기적으로 연결하는 제2 범프; 및
상기 서브 마운트의 하부면에 배치되어 상기 제1 범프 및 상기 제2 범프에서 발생하는 열을 방출시키는 방열층;을 포함하는 발광소자.
Board;
A light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer disposed on the substrate;
A submount for supporting the light emitting structure;
A first bump electrically connecting the submount and the first conductive semiconductor layer;
A second bump electrically connecting the submount and the second conductive semiconductor layer; And
And a heat dissipation layer disposed on a lower surface of the submount to emit heat generated in the first bump and the second bump.
제1 항에 있어서,
상기 제1 범프와 상기 제2 범프는 상호 전기적으로 직렬연결 된 상태로 구비되는 발광소자.
The method according to claim 1,
Wherein the first bump and the second bump are electrically connected in series.
제2 항에 있어서,
상기 제1 범프에 전류를 인가하는 제1와이어; 및
상기 제2 범프에 전류를 인가하는 제2와이어;를 포함하고,
상기 제1와이어 및 상기 제2와이어는 서로 반대 극성인 발광소자.
3. The method of claim 2,
A first wire for applying a current to the first bump; And
And a second wire for applying a current to the second bump,
Wherein the first wire and the second wire are opposite in polarity to each other.
제1 항에 있어서,
상기 제1 범프는 Bi-Te-Se로 이루어지는 발광소자.
The method according to claim 1,
Wherein the first bump is made of Bi-Te-Se.
제1항에 있어서,
상기 제2 범프는 Bi-Sb-Te로 이루어지는 발광소자.
The method according to claim 1,
And the second bump is made of Bi-Sb-Te.
홈이 형성된 도전성 기판; 및
상기 도전성 기판의 홈에 적어도 일부가 삽입되어 배치되는 발광소자;를 포함하고,
상기 발광소자는,
기판;
상기 기판 상에 배치된 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하는 발광 구조물;
상기 발광구조물을 지지하는 서브 마운트;
상기 서브마운트와 상기 제1 도전형 반도체층을 전기적으로 연결하는 제1 범프;
상기 서브마운트와 상기 제2 도전형 반도체층을 전기적으로 연결하는 제2 범프; 및
상기 서브 마운트의 하부면에 배치되어 상기 제1 범프 및 상기 제2 범프에서 발생하는 열을 방출시키는 방열층;을 포함하며,
상기 발광소자의 측면 중 적어도 일부와 바닥면이 상기 도전성 기판에 결합되는 발광소자 패키지.
A grooved conductive substrate; And
And a light emitting element, at least a part of which is inserted into the groove of the conductive substrate,
The light-
Board;
A light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, an active layer, and a second conductive semiconductor layer disposed on the substrate;
A submount for supporting the light emitting structure;
A first bump electrically connecting the submount and the first conductive semiconductor layer;
A second bump electrically connecting the submount and the second conductive semiconductor layer; And
And a heat dissipation layer disposed on a lower surface of the submount to emit heat generated in the first bump and the second bump,
And at least a part of a side surface of the light emitting device and a bottom surface are coupled to the conductive substrate.
제6항에 있어서,
상기 제1 범프에 전류를 인가하는 제1와이어; 및
상기 제2 범프에 전류를 인가하는 제2와이어;를 포함하는 발광소자 패키지.
The method according to claim 6,
A first wire for applying a current to the first bump; And
And a second wire for applying a current to the second bump.
제7항에 있어서,
상기 제1 범프와 상기 제2 범프는 상호 전기적으로 직렬연결 된 상태로 구비되는 발광소자 패키지.
8. The method of claim 7,
Wherein the first bump and the second bump are electrically connected in series.
제6항에 있어서,
상기 제1 범프는 Bi-Te-Se로 이루어지는 발광소자 패키지.
The method according to claim 6,
And the first bump is made of Bi-Te-Se.
제6항에 있어서,
상기 제2 범프는 Bi-Sb-Te로 이루어지는 발광소자 패키지.
The method according to claim 6,
And the second bump is made of Bi-Sb-Te.
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