KR20170019660A

KR20170019660A - 실링용 진공 배관 장치

Info

Publication number: KR20170019660A
Application number: KR1020150113743A
Authority: KR
Inventors: 이상은
Original assignee: 주식회사 에스이티
Priority date: 2015-08-12
Filing date: 2015-08-12
Publication date: 2017-02-22
Also published as: KR101807757B1

Abstract

본 발명은 실리용 진공 배관 장치에 관한 것으로서, 반도체, LCD, LED, 및 기타 제조업 분야에서 진공 작업 공정이 요구되는 진공 배관 라인에 구축되는바, 진공 배관 라인의 진공 펌핑 수행을 위한 진공홀을 형성한 다수의 진공배관, 다수의 상기 진공배관 중 이웃한 두 진공 배관 사이로 연결되어 상기 두 진공 배관을 연통하여 연결하는 플랜지 배관, 상기 플랜지 배관 사이로 개재되어 외부로의 진공 누수를 1차 방지하는 센터링, 및 상기 센터링의 둘레를 따라 안착되어 상기 플랜지 배관 사이의 간극을 밀폐하여 진공 누수를 2차 방지하는 오링을 포함하는 실링용 진공 배관 장치를 제공한다.

Description

실링용 진공 배관 장치{Vaccum Pipping Device For Seal}

본 발명은 실링용 진공 배관 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체, LCD, LED, 및 기타 제조장치에 구축된 진공 배관 라인에서 배관의 실링을 제고하는 실링용 진공 배광 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정 가운데 많은 과정들은, 공정 진행 중 챔버 내부가 진공 상태일 것임을 필수적으로 요구하며, 이러한 진공 요구 공정에 있어 챔버 내부의 진공도는 반도체 제조 수율 및 제조된 반도체의 품질 등을 결정짓는 가장 중요한 요소들 가운데 하나이기 때문에 반도체 소자의 고집적화에 따라 그 중요성이 점점 증가되고 있는 추세이다.

근래에 들어서는 실링(sealing) 문제의 야기로 환경 안전 사고가 빈번해지고 있으며, 이로 인하여, 인적 및 물질적 피해가 점차 늘어나는 심각한 사항이 발생 되고 있다.

도 1과 2는 종래의 기술에 따른 SUS 센터링 및 테프론(Teflon) 센터링을 사시로 도시한 도면이며, 도 3과 4는 도 1과 도 2를 기반으로 한 진공 라인의 연결 상태를 나타낸 단면도이다.

이러한 종래 기술은 도 1과 2 및 도 3과 4를 참고할 경우 서로 인접한 상태로 연결되는 플랜지 배관(P) 사이로 SUS 센터링(20) 혹은 테프론 센터링(30)이 개재되고 상기 센터링(20,30)의 둘레를 에워싸는 오링(10)으로 구성되는데, 이 경우 플랜지 배관(P) 사이로 개재되는 상기 센터링(20,30)은 플랜지 배관(P)에 형성된 단차홈(PG)에 끼워지는 방식으로 개재된다.

상기 센터링(20,30)과 오링(O-ring, 10)이 진공 챔버에서 공정을 진행하는 동안 상기 오링(100)과 센터링(20,30)에 유독성 가스(Toxic Gas) 및 열에 의한 부식과 갈라짐(crack) 또는 녹는 현상이 일어나는 문제점이 발생되고 있다.

즉, 이러한 문제점들은 챔버 내부의 진공 상태 불량으로 이어져 공정 사고 발생의 원인으로 작용하고 있으며, 뿐만 아니라 환경 안전 사고 및 인명 피해까지 발생되는 심각한 상황에 노출된다.

따라서, 진공라인의 압력 누설(leak) 방지 효율을 향상시켜 반도체, LCD, LED 및 기타 제조 장치에 수율 향상 및 안정된 수율 확보가 필요로 하게 되었으며, 또한 환경 안전사고로 인해 물질적 및 인명 피해가 발생 되지 않도록 하기 위한 방안이 요구되고 있다.

특허문헌 001 등록특허 제10-1455642호 특허문헌 002 등록특허 제10-1448686호 특허문헌 003 등록특허 제10-1486192호 특허문헌 004 공개실용신안 제20-2015-0001579호 특허문헌 005 공개특허 제10-2014-0049653호 특허문헌 006 공개특허 제10-2014-0051655호 특허문헌 007 등록실용신안 제20-0469901호

전술된 문제점들을 해소하기 위한 본 발명은 반도체, LCD, LED, 및 기타 제조장치에 구축된 진공 배관 라인에서의 배관에 대한 실링을 제고하여 챔버 내의 진공 상태를 강화시키도록 한 실링용 진공 배광 장치를 제공하고자 함에 그 목적을 두고 있다.

전술된 목적을 달성하기 위한 본 발명은 진공 배관 라인에 있어서 진공 펌핑 수행을 위한 진공홀을 형성한 다수의 진공배관, 다수의 상기 진공배관 중 이웃한 두 진공 배관 사이로 연결되어 상기 두 진공 배관을 연통하여 연결하는 플랜지 배관, 상기 플랜지 배관 사이로 개재되어 외부로의 진공 누수를 1차 방지하는 센터링, 및 상기 센터링의 둘레를 따라 안착되어 상기 플랜지 배관 사이의 간극을 밀폐하여 진공 누수를 2차 방지하는 오링을 포함하는 실링용 진공 배관 장치에 일 특징이 있다.

상기 플랜지 배관과 상기 플랜지 배관 사이로 개재되는 상기 센터링에 있어서, 상기 센터링의 둘레를 따라 양측 중앙으로부터 돌출되고, 플랜지 배관의 측 단부에 밀착되는 밀착력에 의해 뭉개지는 형태로 기밀성을 제공하는 돌기링을 더 포함하여, 배관 내의 압력 누설을 방지하는 실링용 진공 배관 장치에 일 특징이 있다.

상기 돌기링 형상이 없는 센터링에 있어서 상기 센터링의 양측 단부를 커버함과 동시, 이웃한 플랜지 배관의 양 단부를 커버하여 밀폐하는 커버링을 더 포함하되, 상기 커버링은, 둘레 외측을 따라 양측으로 돌출되고, 이웃한 플랜지 배관의 양 단부에 밀착되는 밀착력에 의해 뭉개지는 형태로 기밀성을 제공하는 돌기링, 및 둘레 내측을 따라 양측으로 돌출되고, 센터링의 양측 단부에 밀착되는 밀착력에 의해 뭉개지는 형태로 기밀성을 제공하는 돌기링을 포함하며, 상기 커버링은, 상기 이웃한 플랜지 배관 사이의 기밀성을 제공하는 동시, 오링 역할까지 대행하는 실링용 진공 배관 장치에 일 특징이 있다.

상기 플랜지 배관의 내부 진공홀 외주를 따라 형성된 단차부와 상기 센터링의 둘레를 따라 하단 양측으로 돌출되어 상기 단차부에 치합되는 돌출부는 경사진 절곡 형상에 치합되는 실리용 진공 배관 장치에 일 특징이 있다.

상기 돌기링의 사이로 개재되어 밀폐되는 밀폐부재를 더 포함하되, 상기 밀폐부재는 외측과 내측이 포개어지는 형태로 밀폐되고, 외측의 이면과 내측의 겉면에는 기밀한 밀폐를 위해 오목 및 볼록 형상들이 연쇄적으로 구성된 엠보 면인 실링용 진공 배관 장치에 일 특징이 있다.

상기 센터링 및 상기 커버링은 가스켓의 일종이며, SUS 재질로 구성되되, 니켈, 구리, 알루미늄 재질 중 어느 하나의 재질로 구성되는 실리용 진공 배관 장치에 일 특징이 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 실리용 진공 배관 장치에 따르면, 반도체, LCD, LED, 및 기타 제조장치에 구축된 진공 배관 라인에서의 배관에 대한 실링을 제고시킴에 따라 챔버 내의 진공 상태 강화로 제조 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명의 실리용 진공 배관 장치에 따르면, 진공 배관 라인을 통해 챔버 내의 진공 상태 강화에 의해, 유독성 가스의 누설이 방지됨에 따라 인명 및 물적 사고를 예방할 수 있는 효과가 있다.

아울러, 본 발명의 실리용 진공 배관 장치에 따르면, 기존 오링(O-ring)을 장착하여 다수의 진공 배관 취급 시 표면에 작은 긁힘(Scratch) 현상이 발생이 되어 압력 누설(Leak)을 방지시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 종래의 진공라인에서 사용되는 SUS 센터링 및 오링(O-ring)을 도시한 사시도.
도 2는 종래의 진공라인에서 사용되는 테프론 센터링 및 오링(O-ring)을 도시한 사시도.
도 3은 플랜지 배관에 개재된 도 1의 SUS 센터링 및 오링의 개재 상태를 절개 상태로 도시한 단면도.
도 4는 플랜지 배관에 개재된 도 2의 테프론 센터링 및 오링의 개재 상태를 절개 상태로 도시한 단면도.
도 5는 본 발명에 의한 실링용 진공 배관 장치를 분리하여 도시한 제1 실시 예의 사시도.
도 6은 도 5에 도시된 센터링과 오링의 분리까지 포함하여 도시한 사시도.
도 7은 도 5에 도시된 플랜지 배관과 플랜지 배관 사이로 개재된 센터링 및 오링에 대한 단면 상태를 도시한 도면.
도 8은 본 발명에 의한 실링용 진공 배관 장치에 있어 플랜지 배관과 플랜지 배관 사이로 개재된 센터링 및 커버링에 대한 단면 상태를 도시한 제2 실시 예의 도면.
도 9는 도 7에 도시된 플랜지 배관 및 센터링의 다른 변형 예 상태를 도시한 도면.
도 10은 본 발명에 의한 실리용 진공 배관 장치에 있어 플랜지 배관 및 센터링의 또 다른 변형 예 상태를 도시한 도면.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것을 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

후술된 본 발명의 여러 실시 예들에 있어서 동일한 구성에 대하여서는 다른 부호가 아닌 동일한 부호로 명기함을 밝혀둔다.

이러한 본 발명에 의한 실링용 진공 배관 장치는 바람직한 실시 예들로 하기에서 상세히 설명된다.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실리용 진공 배관 장치는 진공 배관 라인에 있어서 진공 펌핑 수행을 위한 진공홀을 형성한 다수의 진공배관과, 다수의 상기 진공배관 중 이웃한 두 진공 배관 사이로 연결되어 상기 두 진공 배관을 연통하여 연결하는 플랜지 배관(100, 101)과, 상기 플랜지 배관 사이로 개재되어 외부로의 진공 누수를 1차 방지하는 센터링(200), 및 상기 센터링의 둘레를 따라 안착되어 상기 플랜지 배관 사이의 간극을 밀폐하여 진공 누수를 2차 방지하는 오링(300)을 포함하는 구성이다. 물론, 상기 다수의 진공배관은 도면에 도시되지 않음을 밝혀 둔다.

즉, 본 발명은 도 7에서와 같이 이웃하는 두 개의 플랜지 배관(100,101)과, 상기 플랜지 배관(100,101) 사이에 개재되어 상기 플랜지 배관(100,101) 내부의 진공 홀을 연결하며 외부로 진공 누수를 1차 방지하는 센터링(200)과, 상기 센터링(200)의 둘레로 설치되어 상기 두 플랜지 배관(100,101) 사이로 형성되는 간극을 밀폐하며 외부로의 진공 누수를 2차 방지하는 오링(300)을 포함한다.

여기서, 상기 센터링(200)은 일종의 실링 목적으로 구성되는 가스켓(Gasket) 부품일 수 있다. 상기 센터링(200)의 둘레로 구성된 오링(300)의 경우 진공 누수를 2차로 방지하는 목적도 있으나, 작은 긁힘(Scratch) 발생이나 유독 가스에 노출되는 환경에 의한 하자 또는 불량으로 진공 누수에 대한 방지에 한계가 있을 때에도, 상기 센터링(200)의 구조적 및 물성적 특징에 기인하여 진공배관(미도시)의 진공 상태를 유지할 수 있게 된다.

즉, 제1 실시 예로 제시된 도 7에서처럼, 두 개의 플랜지 배관(100,101) 사이로 센터링(200)이 밀착되는 방식으로 결합되는데, 센터링(200)의 둘레를 따라 중앙으로는 상기 오링(300)을 안착하기 위한 함몰 형상의 안착부(210)를 형성하고 있으며, 센터링(200)의 둘레를 따라 양측 중앙으로는 돌기링(230)이 형성되어 있음에 따라, 상기 양측의 돌기링(230) 각각이 상기 플랜지 배관(100,101)의 측 단부에 밀착되면서 결착됨으로써, 오링(300)이 스크래치나 유독 가스에 노출된 환경에 의해 오링의 하자 및 불량이 발생 되더라도 상기와 같은 센터링(200)의 구조적 특징에 의해 배관 내의 진공 누설을 방지하여 진공을 기밀히 유지할 수 있게 된다.

이때, 센터링(200)의 재질은 SUS 재질을 기본으로 하되, 사용 목적에 따라 구리, 니켈, 알루미늄 등의 재질을 선택적으로 이용할 수 있으며, 이웃한 플랜지 배관(100,101)에 센터링(200)이 밀착될 때, 센터링 자체가 금속 계열 재질로 구성되며, 센터링(200)의 둘레를 따라 양측으로 돌출된 돌기링(230)은 플랜지 배관(100,101)의 단부에 밀착되는 밀착력에 의해 그 형상이 뭉개지는 방식으로 플랜지 배관(100,101)의 단부를 밀폐하여 기밀성을 확보할 수 있으며, 열 온도 및 유독 가스에 노출될 경우에도 부식 및 갈라짐(crack) 또는 녹는 현상을 방지하여 진공라인의 압력 누설(leak) 방지 효율을 향상시켜 반도체, LCD, LED 및 기타 제조 장치에 수율 향상 및 안정된 수율을 확보할 수 있다.

상기의 플랜지 배관(100,101)은 진공홀을 형성하는 내경 둘레에 단차부(110)를 형성하게 되는데, 이러한 단차부(110)는 센터링(200)의 둘레 양측으로 형성된 돌기링(230)의 하단에서 양측으로 돌출 형성된 돌출부(220)에 의해 결착된다.

한편, 제2 실시 예로 제시된 도 8에서처럼, 두 개의 플랜지 배관(100,101) 사이로 센터링(200)이 접합되는 방식으로 결합됨에 있어서, 상기 센터링(200)이 기성 부품을 이용할 경우 상기 센터링(200)을 씌우기 위한 별도의 커버링(250)이 구비됨으로써도 배관 내의 진공 누설을 방지할 수도 있다.

즉, 상기 센터링(200)은 기성 부품을 이용하는 센터링인 관계로 둘레를 따라 양측으로 돌기가 없는 평평한 면 구조여서, 이를 보완하기 위해 별도의 커버링(250)을 센터링(200)에 씌우는 구조로 배관 내의 진공 누수를 방지하는바, 이러한 상기 커버링(250)은 상부 공간이 개방형으로서 센터링(200)의 양 단부를 커버하며 둘레를 따라 양측으로 제1 실시 예와 같은 돌기링(230)을 외측 좌우 단부에 구성하고, 내측 좌우 단부에도 돌기링(231)을 구성하고 있음에 따라, 이들 상기 돌기링(230)들은 플랜지 배관(100,101)의 측 단부에 밀착되면서 결착되고, 이들 상기 돌기링(231)들은 센터링(200)의 양측 단부에 밀착되면서 결착됨으로써, 배관 내의 진공 누설을 방지하여 진공의 기밀성을 유지하게 된다.

물론, 이 경우에도 상기 커버링(250)은 제1 실시 예에서와 같이 센터링(200)의 기본이 되는 SUS 재질로 구성될 수 있고, 사용 목적에 따라 구리, 니켈, 및 알루미늄 등의 재질로 구성될 수도 있다.

따라서, 상기 커버링(250)에 구성된 돌기링(230,231) 또한 밀착력에 의해 뭉개지는 형태로 이웃한 플랜지 배관(100,101)의 양 단부 및 센터링(200)의 양측 단부에 대한 기밀성을 높이고, 열 온도 및 유독 가스에 노출될 경우에도 부식 및 갈라짐(crack) 또는 녹는 현상을 방지하여 진공라인의 압력 누설(leak) 방지 효율을 향상시켜 반도체, LCD, LED 및 기타 제조 장치에 수율 향상 및 안정된 수율을 확보할 수 있다.

물론, 이러한 제2 실시 예로 제시된 상기 커버링(250)의 경우 제1 실시 예에서 요구되는 오링(300)의 필요성 없이 상기 커버링(250) 자체가 오링의 역할까지 수행 가능하기 때문이다.

다시 말해, 상기 커버링(250)은 기성품의 센터링(200) 이용 시 센터링(200) 본연의 역할(진공 누설 1차 방지)뿐만 아니라, 오링의 역할(진공 누설 2차 방지)까지 동시 수행이 가능하기 때문이다.

또한, 상기의 제1, 2 실시 예로 제시된 본 발명은 기존 플랜지 배관(100,101)을 그대로 이용하면서도 센터링(200)과 커버링(250)의 구조 및 재질에 특징을 두면서 오링(300)을 부가하거나 생략하는 방식으로 조합시켜 진공라인의 기밀성을 제고하며, 기존 플랜지 배관을 그대로 이용함에 따라 제조비용을 절감하는 효과를 기대할 수 있다.

한편, 상기의 제1 실시 예로 제시된 도 7의 도면에서 플랜지 배관(100,101) 및 센터링(200)의 변형 예로도 제시될 수 있는바, 이러한 변형 예는 도 9에 도시된 바와 같이, 플랜지 배관(100,101)의 측 단부를 따라 돌기링(120)을 형성하여 센터링(200)의 양측 단부를 밀착하는 방식으로 결합시켜 배관 내의 진공 누설을 방지할 수 있으며, 제1 실시 예와 같이 오링(300)은 센터링(200)의 안착부(210)에 구성되어 플랜지 배관(100,101)의 간극을 기밀히 밀폐함에 따라 배관 내의 진공 누설에 대한 방지를 보완하게 된다.

이 경우에는 플랜지 배관(100,101)에 구성된 상기 돌기링(120) 역시 센터링(200) 방향으로 밀착되는 밀착력에 의해 뭉개지는 형태로 센터링(200)의 측 단부에 결합되어 기밀성을 높이며, 플랜지 배관(100,101) 역시 SUS 재질로 기본 구성되고, 사용 목적 및 경우에 따라 니켈, 알루미늄, 및 구리 등의 재질을 선택적으로 이용할 수도 있다.

한편, 도 7 내지 도 9에 도시된 플랜지 배관(100,101) 및 센터링(200)에 있어서, 도 10에 도시된 바와 같이, 플랜지 배관(100,101)의 측 단부에 형성된 단차부(110)와 센터링(200)의 양측 하단에 형성된 돌출부(220)의 형상들을 경사진 절곡 형태로 구성하여, 배관 내의 진공 기밀성을 유지할 수도 있다. 물론 이 경우에도 오링(300)은 센터링(200)의 안착부(210)에 구성된다.

이 경우에는 상기 단차부(110) 및 돌출부(220)의 형태가 경사진 절곡 형태로 구성되어 있어 배관 내의 진공 기밀성을 더욱 제고하는 효과를 기대할 수 있다.

한편, 기존에 사용되는 센터링은 물성과 연관된 재질로서 테프론(Teflon) 재질을 사용하는 관계로, 열과 유독 가스에 의한 부식과 갈라짐(crack) 또는 녹는 현상을 방지하기 위하여, 가스켓(Gasket) 제품으로 변경하였으며, 이러한 가스켓 재질로서 SUS, 니켈, 구리, 및 알루미늄의 금속성 계열 재질을 이용함으로써, 상기와 같은 열과 유독 가스에 의한 부식 및 갈라짐 또는 녹는 현상을 해결하게 된다.

물론, 센터링(200) 및 커버링(250)의 재질로서 SUS 재질로 구성하되, 열의 온도 및 유독 가스의 유독 성분 정도와 같은 변수 요인이나 다른 사용 목적과 같은 변수 요인에 따라, 니켈, 구리, 및 알루미늄 재질 중 어느 하나의 재질을 선택 적용할 수도 있다.

한편, 도 7 내지 도 10에 제시된 플랜지 배관(100,101) 및 센터링(200)에 있어서, 플랜지 배관(100,101) 또는 센터링(200)에 구비되는 돌기링(120,230) 사이로 탄성을 갖는 고무 재질의 밀폐부재(400,401)가 더 구비되어, 플랜지 배관(100,101)과 이들 플랜지 배관 사이로 개재된 센터링(200) 사이로 발생될 수 있는 진공 누설을 더 보완할 수도 있다.

즉, 상기 밀폐부재(400,401)는 돌기링(230)의 형상과 동일한 형상으로 구성되어 돌기링(230)에 끼워지는 방식으로서, 두 개의 밀폐부재(400,401)가 상호 간에 물림 방식으로 포개어져 결합되는데, 이 경우 내측에 위치되는 밀폐부재(400)의 겉면과 외측에 위치되는 밀폐부재(401)의 이면은 볼록과 오목 형상이 연쇄적으로 형성된 엠보(410a,410b,410c,410d) 형상이 특징이다.

다시 말해, 내측에 위치되는 밀폐부재(400)의 겉면에는 볼록과 오목 형상의 엠보(410a,410b)를 형성하고, 상기 밀폐부재(400)의 외측에 위치되는 밀폐부재(401)의 이면에는 상기 엠보(410a,410b)에 끼워져 물리는 오목과 볼록 형상의 엠보(410c,410d)를 형성하게 된다.

따라서, 이들 밀폐부재(400,401)는 상기의 엠보(410a,410b,410c,410d) 형상의 끼움 방식에 의해 상호 간 밀폐성 있게 결합되어 센터링(200)에 형성된 돌기링(230)과 밀착되는 플랜지 배관(100,101)의 단부면이나 플랜지 배관(100,101)에 형성된 돌기링(120)과 밀착되는 센터링(200)의 단부면 사이를 완벽히 밀폐시킴에 따라, 배관 내의 진공 누수를 방지하며, 진공 상태를 지속적으로 유지시킬 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 의한 실리용 진공 배관 장치는, 배관 표면에 긁힘(Scratch) 현상이나, 열과 유독 가스의 환경에 노출되더라도, 배관 내의 압력 누설을 완벽히 차단하여 방지할 수 있고, 이러한 배관 내의 진공 보존이 안정되어 반도체, LCD, LED, 및 기타 제조장치에 구축되는 배관라인을 통하여 제품의 제조 수율을 향상시키고, 유독 가스 누수로 인한 인명 및 물적 피해를 예방하여 안정적 환경을 조성할 수 있게 된다. 또한 발열에 대한 문제점까지 보완한 것이 특징이다.

상기한 발명은 종래의 기술에서 재질과 실링(sealing) 방법을 혁신하여 안출된 기술로 본 발명의 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 여러 가지 형태로 변형 또는 변경 실시하는 것은 본 발명의 기재 된 청구 범위에 포함되는 것은 당연하다.

100,101 : 플랜지 배관 110 : 단차부
120 : 돌기링
200 : 센터링 210 : 안착부
220 : 돌출부 230 : 돌기링
250 : 커버링
300 : 오링
400,401 : 밀폐부재 410a,410b,410c,410d : 엠보

Claims

진공 배관 라인에 있어서 진공 펌핑 수행을 위한 진공홀을 형성한 다수의 진공배관;
다수의 상기 진공배관 중 이웃한 두 진공 배관 사이로 연결되어 상기 두 진공 배관을 연통하여 연결하는 플랜지 배관;
상기 플랜지 배관 사이로 개재되어 외부로의 진공 누수를 1차 방지하는 센터링; 및
상기 센터링의 둘레를 따라 안착되어 상기 플랜지 배관 사이의 간극을 밀폐하여 진공 누수를 2차 방지하는 오링;
을 포함하는 실링용 진공 배관 장치.
제1항에 있어서,
상기 플랜지 배관과 상기 플랜지 배관 사이로 개재되는 상기 센터링에 있어서, 상기 센터링의 둘레를 따라 양측 중앙으로부터 돌출되고, 플랜지 배관의 측 단부에 밀착되는 밀착력에 의해 뭉개지는 형태로 기밀성을 제공하는 돌기링을 더 포함하여, 배관 내의 압력 누설을 방지하는 실링용 진공 배관 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 돌기링 형상이 없는 센터링에 있어서 상기 센터링의 양측 단부를 커버함과 동시, 이웃한 플랜지 배관의 양 단부를 커버하여 밀폐하는 커버링을 더 포함하되,
상기 커버링은, 둘레 외측를 따라 양측으로 돌출되고, 이웃한 플랜지 배관의 양 단부에 밀착되는 밀착력에 의해 뭉개지는 형태로 기밀성을 제공하는 돌기링; 및 둘레 내측을 따라 양측으로 돌출되고, 센터링의 양측 단부에 밀착되는 밀착력에 의해 뭉개지는 형태로 기밀성을 제공하는 돌기링; 을 포함하며,
상기 커버링은, 상기 이웃한 플랜지 배관 사이의 기밀성을 제공하는 동시, 오링 역할까지 대행하는 것을 특징으로 하는 실링용 진공 배관 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 플랜지 배관의 내부 진공홀 외주를 따라 형성된 단차부와 상기 센터링의 둘레를 따라 하단 양측으로 돌출되어 상기 단차부에 치합되는 돌출부는 경사진 절곡 형상에 치합되는 것을 특징으로 하는 실리용 진공 배관 장치.
제2항에 있어서,
상기 돌기링의 사이로 개재되어 밀폐되는 밀폐부재를 더 포함하되,
상기 밀폐부재는 외측과 내측이 포개어지는 형태로 밀폐되고 외측의 이면과 내측의 겉면에는 기밀한 밀폐를 위해 오목 및 볼록 형상들이 연쇄적으로 구성된 엠보 면인 것을 특징으로 하는 실링용 진공 배관 장치.
제1항에 있어서,
상기 센터링 및 상기 커버링은 가스켓의 일종이며, SUS 재질로 구성되되, 니켈, 구리, 알루미늄 재질 중 어느 하나의 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 실링용 진공 배관 장치.