KR20170000058A - 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 - Google Patents
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Abstract
박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치을 개시한다. 본 발명은 개구가 형성되며, 개구를 둘러싸는 마스크 프레임; 및 마스크 프레임 상에 결합되며, 길이 방향으로 복수의 증착 패턴부가 이격되게 배열된 마스크;를 포함하되,복수의 증착 패턴부는 각각의 증착 영역을 가지며, 각 증착 영역은 복수의 패턴부로 각각 구획된다.
Description
본 발명은 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치에 관한 것이다.
통상적으로, 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)를 구비한 유기 발광 디스플레이 장치(organic light emitting display apparatus)는 스마트 폰, 태블릿 퍼스널 컴퓨터, 랩 탑 컴퓨터, 디지털 카메라, 캠코더, 휴대 정보 단말기와 같은 모바일 장치나, 데스크 탑 컴퓨터, 텔레비전, 옥외 광고판과 같은 장치에 이용할 수 있다.
유기 발광 디스플레이 장치의 박막은 증착 공정으로 형성할 수 있다. 패턴화된 박막은 기판 상에 형성되는 박막과 동일한 패턴을 가지는 마스크를 기판 상에 위치시키고, 그때, 박막의 원소재를 기판 상에 증착시키는 것에 의하여 형성할 수 있다.
본 발명의 실시예들은 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 박막 증착용 마스크 어셈블리는,
개구가 형성되며, 상기 개구를 둘러싸는 마스크 프레임; 및
상기 마스크 프레임 상에 결합되며, 길이 방향으로 복수의 증착 패턴부가 이격되게 배열된 마스크;를 포함하되,
상기 복수의 증착 패턴부는 각각의 증착 영역을 가지며,
상기 각 증착 영역은 복수의 패턴부로 각각 구획될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 각 패턴부는 상기 마스크의 폭 방향으로 연속적으로 배열될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 각 패턴부는 동일한 크기일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 각 패턴부는 동일한 형상의 슬릿일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 각 패턴부는 상기 마스크의 길이 방향에 대응되는 패턴부의 길이 방향으로 연장된 제 1 슬릿과, 상기 제 1 슬릿을 경계로 하여 상기 제 1 슬릿의 양쪽으로 배열된 복수의 제 2 슬릿과 복수의 제 3 슬릿을 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제 1 슬릿은 상기 패턴부의 중앙에서 패턴부의 길이 방향으로 연장된 적어도 하나의 스트라이프형의 슬릿일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제 2 슬릿과, 제 3 슬릿은 서로 동일한 패턴일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제 2 슬릿과, 제 3 슬릿은 각각 복수의 도트형의 슬릿일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제 2 슬릿과, 제 3 슬릿은 서로 대칭적으로 배열될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 마스크의 길이 방향의 양 단 측에 배열된 증착 패턴부는 단일 증착 영역을 포함하고, 양 단 사이에 배열된 증착 패턴부는 복수의 증착 영역을 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 양 단 측에 배열된 증착 패턴부는 상기 마스크의 길이 방향의 일단 측에 배열된 제 1 단일 증착 영역을 가지는 제 1 증착 패턴부와, 상기 길이 방향의 타단 측에 배열된 제 2 단일 증착 영역을 가지는 제 2 증착 패턴부를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제 1 단일 증착 영역과, 제 2 단일 증착 영역은 각각 하나의 단위 디스플레이 장치에 대응되는 단일의 셀 영역일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 복수의 증착 영역은 상기 단일 증착 영역이 연속적으로 배열될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 복수의 증착 영역은 복수의 단위 디스플레이 장치에 대응되는 복수의 셀 영역일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 양 단 사이에 배열된 증착 패턴부의 크기는 상기 양 단에 배열된 증착 패턴부의 크기보다 더 크게 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 마스크는 적어도 하나의 분할 마스크일 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 박막 증착용 마스크 어셈블리를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치는,
디스플레이 기판;
상기 디스플레이 기판 상에 배치된 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되며, 상기 디스플레이 기판 상의 각 서브 픽셀에 형성된 제 1 전극과, 상기 제 1 전극 상에 형성된 발광층을 포함하는 중간층과, 상기 중간층 상에 형성된 제 2 전극을 가지는 유기 발광 소자; 및
상기 유기 발광 소자를 커버하는 밀봉 기판;을 포함하되,
상기 각 서브 픽셀의 패턴은 상기 디스플레이 기판의 일 방향으로 연장된 적어도 하나의 제 1 증착 패턴과, 상기 제 1 증착 패턴을 경계로 하여 상기 제 1 증착 패턴의 양쪽으로 배열된 복수의 제 2 증착 패턴을 포함하며,
상기 제 1 증착 패턴과, 제 2 증착 패턴은 상기 디스플레이 기판의 타 방향으로 반복적으로 배열될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제 1 증착 패턴은 상기 디스플레이 기판의 일 방향으로 연장된 스트라이프형의 패턴일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제 2 증착 패턴은 서로 동일한 도트형의 패턴일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 복수의 제 2 증착 패턴은 서로 대칭적으로 배열될 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치는 마스크의 변형량을 줄일 수 있으므로, 기판 상에 소망하는 패턴의 박막을 증착시킬 수 있다.
본 발명의 효과는 상술한 내용 이외에도, 도면을 참조하여 이하에서 설명할 내용으로부터도 도출될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 어셈블리를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 분할 마스크를 일부 절제하여 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 하나의 패턴부를 확대 도시한 평면도이다.
도 4a는 비교예에 따른 마스크의 변형량을 측정한 결과를 도시한 사진이다.
도 4b는 실시예에 따른 마스크의 변형량을 측정한 결과를 도시한 사진이다.
도 5는 도 1의 마스크 어셈블리를 이용하여 기판 상에 박막을 증착하는 것을 도시한 구성도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 디스플레이 장치의 일 서브 픽셀을 도시한 단면도이다.
도 7은 도 1의 분할 마스크를 이용하여 적색 발광층을 형성한 것을 확대 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 분할 마스크를 일부 절제하여 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 하나의 패턴부를 확대 도시한 평면도이다.
도 4a는 비교예에 따른 마스크의 변형량을 측정한 결과를 도시한 사진이다.
도 4b는 실시예에 따른 마스크의 변형량을 측정한 결과를 도시한 사진이다.
도 5는 도 1의 마스크 어셈블리를 이용하여 기판 상에 박막을 증착하는 것을 도시한 구성도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 디스플레이 장치의 일 서브 픽셀을 도시한 단면도이다.
도 7은 도 1의 분할 마스크를 이용하여 적색 발광층을 형성한 것을 확대 도시한 평면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성 요소들은 용어들에 의하여 한정되어서는 안된다. 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, “포함한다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명에 따른 박막 증착용 마스크 어셈블리와, 이를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치의 일 실시예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 어셈블리(100)를 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 마스크 어셈블리(100)는 마스크 프레임(110) 및 복수의 분할 마스크(120)를 가지는 마스크(140)를 포함한다.
상기 마스크 프레임(110)은 개구(115)를 가지며, 상기 개구(115)를 둘러싸는 복수의 프레임(111 내지 114)을 포함한다. 상기 복수의 프레임(111 내지 114)은 서로 연결될 수 있다.
상기 마스크 프레임(110)은 X 방향으로 서로 마주보며, Y 방향을 따라 연장된 제 1 프레임(111) 및 제 2 프레임(112)과, Y 방향으로 서로 마주보며, X 방향을 따라 연장된 제 3 프레임(113) 및 제 4 프레임(114)을 포함한다. 상기 제 1 프레임(111), 제 2 프레임(112), 제 3 프레임(113), 및 제 4 프레임(114)은 서로 연결되어서 사각틀 형상의 프레임을 형성할 수 있다. 상기 마스크 프레임(110)은 마스크(130)가 용접시에 변형이 작은 소재, 이를테면, 강성이 큰 금속으로 형성될 수 있다.
상기 마스크 프레임(110) 상에는 마스크(140)가 장착될 수 있다. 정밀한 증착 패턴을 형성하기 위해서는 상기 마스크(140)와, 상기 마스크(140) 상에 설치되는 디스플레이 기판(150)과의 밀착성을 향상시키고, 섀도우를 줄여야 한다. 일 실시예에 있어서, 상기 마스크(140)는 박판을 이용하여 제조할 수 있다. 상기 마스크(140)의 소재는 스테인레스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금 등이 사용될 수 있다.
상기 마스크(140)는 자중에 의하여 처지는 것을 방지하기 위하여 Y 방향으로 서로 분리된 복수의 분할 마스크(120)를 포함한다. 상기 분할 마스크(120)는 스틱일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 마스크(130)의 폭이 상기 마스크(130)의 길이보다 작은 크기의 마스크라면, 어느 하나의 구조에 한정되는 것은 아니다. 상기 마스크(130)의 인장 방향은 길이 방향일 수 있다.
상기 분할 마스크(120)는 인장 방향(X 방향)에 교차하는 방향(Y 방향)으로 분리될 수 있다. 구체적으로, 복수의 분할 마스크(120)는 상기 제 3 프레임(113) 및 제 4 프레임(114) 사이에 연속적으로 배열되며, 각 분할 마스크(120)의 양 단은 상기 제 1 프레임(111) 및 제 2 프레임(112)에 용접 고정될 수 있다. 복수의 분할 마스크(120)는 상기 개구(114)를 덮을 수 있다.
도 2는 도 1의 분할 마스크(120)를 일부 절제하여 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2의 하나의 패턴부(125)를 확대 도시한 평면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 분할 마스크(120)는 박형의 금속 플레이트로 된 본체(121)를 포함한다. 분할 마스크(120)에는 복수의 증착 패턴부(122, 123, 124)가 형성될 수 있다. 상기 증착 패턴부(122, 123, 124)는 상기 분할 마스크(120)의 길이 방향(X)을 따라 이격되게 배열될 수 있다. 이웃하는 증착 패턴부(122, 123, 124) 사이에는 리브(135)가 형성될 수 있다. 상기 리브(135)는 상기 분할 마스크(120)의 길이 방향으로 이웃하게 배열된 증착 패턴부(122, 123, 124)를 서로 연결시킬 수 있다.
상기 증착 패턴부(122, 123, 124)는 상기 분할 마스크(120)의 길이 방향의 양 단 측에 배열된 제 1 증착 패턴부(122)와, 제 2 증착 패턴부(123) 및 상기 분할 마스크(120)의 길이 방향의 양 단 사이에 배열된 제 3 증착 패턴부(124)를 포함한다.
상기 제 1 증착 패턴부(122)는 상기 분할 마스크(120)의 길이 방향의 일단 측에 형성되며, 상기 제 2 증착 패턴부(123)는 상기 분할 마스크(120)의 길이 방향의 타단 측에 형성될 수 있다. 상기 제 1 증착 패턴부(122)와, 제 2 증착 패턴부(123)는 각각 단일 증착 영역(131)(132)을 형성할 수 있다.
구체적으로, 상기 제 1 증착 패턴부(122)는 제 1 단일 증착 영역(131)을 포함한다. 상기 제 2 증착 패턴부(123)는 제 2 단일 증착 영역(132)을 포함한다. 상기 제 1 단일 증착 영역(131) 및 제 2 단일 증착 영역(132)이라 함은 각각 하나의 단위 디스플레이 장치, 예컨대, 하나의 유기 발광 디스플레이 장치에 대응되는 단일의 셀 영역을 말한다.
상기 제 1 증착 패턴부(122) 및 제 2 증착 패턴부(123)와는 달리, 상기 분할 마스크(120)의 양 단 사이에 배열된 제 3 증착 패턴부(124)는 복수의 증착 영역(133)(134)을 형성할 수 있다. 복수의 증착 영역(133)(134)이라 함은 복수의 단위 디스플레이 장치에 대응되는 복수의 셀 영역을 말한다.
구체적으로, 상기 복수의 증착 영역(133)(134)는 제 1 증착 패턴부(122) 및 제 2 증착 패턴부(123)에 각각 구비된 제 1 단일 증착 영역(131)이나 제 2 단일 증착 영역(132)이 연속적으로 배열된 영역을 포함한다. 상기 복수의 증착 영역에 구비된 각 증착 영역(133)(134)은 각각 하나의 단위 디스플레이 장치에 대응되며, 각 증착 영역(133)(134)은 서로 분리되지 않고, 연속적으로 배열될 수 있다.
상기 분할 마스크(120)의 양 단 사이에 배열된 제 3 증착 패턴부(124)가 형성된 영역은 디스플레이 장치의 증착 패턴에 대응되는 복수의 증착 영역(133)(134)만 형성되므로, 증착 공정동안 분할 마스크(120)를 자성에 의하여 지지하는 마그네트(도 5의 504)에 의한 척력이 발생하지 않는 영역일 수 있다.
반면에, 제 1 증착 패턴부(122) 및 제 2 증착 패턴부(123)가 형성된 영역은 제 1 증착 패턴부(122) 및 제 2 증착 패턴부(123)의 바깥쪽으로부터 상기 분할 마스크(120)의 단부까지 형성된 증착 패턴부가 형성되지 않은 영역(129)에 연결되므로, 마그네트(504)의 지지시 분할 마스크(120)의 변형이 발생할 수 있다. 따라서, 상기 분할 마스크(120)의 길이 방향으로의 양 단측에는 분할 마스크(120)의 변형을 줄이기 위하여 단일의 증착 영역(131)(132)을 각각 형성할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제 3 증착 패턴부(124)는 2개의 단위 디스플레이 장치에 대응되는 2개의 증착 영역(133)(134)을 포함하지만, 상기 제 3 증착 패턴부(124)는 3개 이상의 증착 영역이 연속적으로 배열된 구조를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 분할 마스크(120)의 길이 방향의 양 단 사이에 배열된 제 3 증착 패턴부(124)의 크기는 상기 분할 마스크(120)의 길이 방향의 양 단 측에 배열된 제 1 증착 패턴부(122)와, 제 2 증착 패턴부(123)의 크기보다 더 크게 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 제 3 증착 패턴부(124)의 길이는 상기 제 1 증착 패턴부(122)의 길이 및 제 2 증착 패턴부(123)의 길이보다 더 길게 형성될 수 있다.
상기 제 1 증착 패턴부(122), 제 2 증착 패턴부(123) 및 제 3 증착 패턴부(124)에 각각 구비된 제 1 단일 증착 영역(131), 제 2 단일 증착 영역(132), 및 복수의 증착 영역(133)(134)은 복수의 패턴부으로 각각 구획될 수 있다.
상기 제 1 단일 증착 영역(131)은 상기 분할 마스크(120)의 폭 방향(Y 방향)으로 복수의 패턴부(125)로 구획된다. 상기 제 2 단일 증착 영역(132) 및 복수의 증착 영역(133)(134)도 상기 제 1 단일 증착 영역(131)과 동일하게 복수의 패턴부(126) 및 복수의 패턴부(127)로 각각 구획된다.
이하, 상기 패턴부(125)(126)(127)는 실질적으로 동일한 형상을 가지므로, 제 1 단일 증착 영역(131)의 패턴부(125)를 예를 들어 설명하기로 한다.
상기 패턴부(125)는 상기 분할 마스크(120)의 폭 방향으로 복수개로 구획될 수 있다. 상기 각각의 패턴부(125)는 상기 분할 마스크(120)의 폭 방향으로 연속적으로 배열될 수 있다. 본 실시예에 있어서, 상기 패턴부(125)는 5개로 구획되지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 각각의 패턴부(125)는 모두 동일한 크기로 구획될 수 있다. 복수의 패턴부(125)에는 동일한 형상의 슬릿일 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 하나의 패턴부(125)를 예를 들어 상세하게 설명하면 다음과 같다.
상기 하나의 패턴부(125)는 상기 패턴부(125)의 길이 방향으로 연장된 제 1 슬릿(128)과, 상기 제 1 슬릿(128)을 경계로 하여 상기 제 1 슬릿(128)의 양쪽으로 배열된 복수의 제 2 슬릿(129) 및 복수의 제 3 슬릿(130)을 포함한다.
구체적으로, 상기 제 1 슬릿(128)은 상기 패턴부(125)의 중앙에서 상기 패턴부(125)의 길이 방향으로 연장될 수 있다. 상기 패턴부(122)의 길이 방향은 상기 분할 마스크(120)의 길이 방향에 대응된다. 상기 제 1 슬릿(128)은 적어도 하나의 스트라이프형의 슬릿일 수 있다. 본 실시예에 있어서, 상기 제 1 슬릿(128)은 하나의 스트라이프형의 슬릿을 예를 들어 설명하지만, 소정 간격 이격되게 복수개 설치할 수 있다.
상기 제 2 슬릿(129)은 상기 패턴부(125)의 폭 방향으로 상기 제 1 슬릿(128)의 일측(도 3의 좌측 영역, LA)에 형성되며, 상기 제 3 슬릿(130)은 상기 제 1 슬릿(128)의 타측(도 3의 우측 영역, RA)에 형성될 수 있다. 상기 패턴부(125)의 폭 방향은 상기 분할 마스크의 폭 방향에 대응된다. 상기 제 2 슬릿(129) 및 제 3 슬릿(130)은 복수의 도트형의 홈일 수 있다. 상기 제 2 슬릿(129)과 제 3 슬릿(130)은 서로 동일한 패턴일 수 있다. 상기 제 2 슬릿(129)과, 제 3 슬릿(130)은 상기 제 1 슬릿(128)을 사이에 두고 서로 대칭적으로 배열될 수 있다.
이처럼, 증착 영역(131)을 복수의 패턴부(125)로 구획하고, 또한, 중앙의 스트라이프형의 슬릿(128)을 기준으로 양쪽으로 도트형의 슬릿(129)(130)으로 각 패턴부(125)를 세분화시키는 것은 증착 패턴부(122)의 크기, 예컨대, 증착 패턴부(122)의 폭의 크기에 따른 분할 마스크(120)의 변형량을 최소화시키기 위해서이다.
한편, 상기 패턴부(125)는 상기 분할 마스크(120)의 폭 방향으로 5개가 연속적으로 배열될 수 있다. 5개의 패턴부(125)는 제 1 단일 증착 영역(131)을 형성한다. 5개의 패턴부(125)는 동일한 형상으로 연속적으로 배열될 수 있다. 5개의 패턴부(125)를 포함하는 제 1 단일 증착 영역(131)은 하나의 유기 발광 디스플레이 장치의 디스플레이 기판(도 1의 150) 상에 서브 픽셀에 증착되는 패턴과 실질적으로 동일한 패턴을 가진다.
예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 디스플레이 기판(150) 상에 적색 발광층(700)을 형성시키는 경우, 상기 디스플레이 기판(150) 상의 복수의 서브 픽셀에는 도 3의 패턴부(125)의 슬릿(128)(129)(130)의 패턴에 대응되는 적색 발광층(700)의 패턴(701)(702)(703)이 형성될 수 있다. 상기 적색 발광층(700)의 패턴(701)(702)(703)은 도 3의 패턴부(125)의 슬릿(128)(129)(130)의 패턴과 실질적으로 동일할 수 있다.
상기 디스플레이 기판(150) 상에는 상기 디스플레이 기판(150)의 일 방향(X 방향)으로 연장되며, 제 1 슬릿(128)에 대응되는 적어도 하나의 제 1 증착 패턴(701)과, 상기 제 1 증착 패턴(701)을 경계로 하여 제 1 증착 패턴(701)의 양쪽으로 배열된 제 2 슬릿(129) 및 제 3 슬릿(130)에 대응되는 복수의 제 2 증착 패턴(702)(703)이 형성될 수 있다. 상기 제 1 증착 패턴(701)과 제 2 증착 패턴(702)(703)은 상기 디스플레이 기판(150)의 타 방향(Y 방향)으로 반복적으로 배열될 수 있다.
상기 제 1 증착 패턴(701)은 제 1 슬릿(128)처럼 상기 디스플레이 기판(150)의 일 방향(X 방향)으로 연장된 스트라이프형의 패턴이며, 제 2 증착 패턴(702)(703)은 제 2 슬릿(129) 및 제 3 슬릿(130)처럼 서로 동일한 도트형의 패턴일 수 있다. 복수의 제 2 증착 패턴(702)(703)은 서로 대칭적으로 배열될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 적색 발광층(700)을 예를 들어 설명하지만, 그이외에, 상기 디스플레이 기판(150) 상에 녹색 발광층이나, 청색 발광층도 대응되는 패턴으로 형성할 수 있다.
도 4a는 출원인의 실험에 따른 비교예의 마스크(401)의 변형량을 도시한 사진이며, 도 4b는 본 실시예의 마스크(402)의 변형량을 도시한 사진이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 비교예의 마스크(401)는 종래의 증착 패턴부를 구비하는 마스크일 수 있다. 상기 마스크(401)는 증착 영역이 복수의 패턴부로 구획되지 않는다. 본 실시예의 마스크(402)는 도 2 및 도 3에 도시된 것과 대응되는 증착 패턴부를 구비하는 마스크일 수 있다. 상기 마스크(402)는 증착 영역이 복수의 패턴부로 구획되며, 각 패턴부에는 스트라이프형의 슬릿을 경계로 하여 양쪽으로 동일한 형상의 도트형의 슬릿이 형성된다.
비교예의 마스크(401)는 마스크(401)의 폭 방향으로 마스크(401)의 변형량이 6.77 마이크로미터이다. 반면에, 본 실시예의 마스크(402)는 마스크(401)의 폭 방향으로 마스크(401)의 변형량이 3.12 마이크로미터이다.
이처럼, 각 마스크(401)(402)의 인장되는 방향에 교차하는 마스크(401)(402)의 폭 방향으로의 변형량은 비교예의 마스크(401)보다 본 실시예의 마스크(402)가 약 50％ 감소됨을 알 수 있다.
도 5은 도 1의 마스크 어셈블리(100)를 이용하여 디스플레이 기판(150) 상에 박막을 증착하는 것을 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 마스크 어셈블리(100)를 이용하여 유기 발광 디스플레이 장치의 발광층을 증착하기 위하여 진공 챔버(501)가 마련된다.
상기 진공 챔버(501)의 하부에는 증착원(502)이 위치한다. 상기 증착원(502)의 상부에는 마스크 어셈블리(100)가 설치된다. 상기 마스크 어셈블리(100)는 도 1 에 도시된 마스크(140)를 포함한다. 상기 마스크(140)는 적어도 하나의 분할 마스크(120)를 포함한다. 상기 마스크(140)는 마스크 프레임(110) 상에 설치된다. 상기 마스크(140) 상에는 디스플레이 기판(150)이 위치할 수 있다. 상기 디스플레이 기판(150) 상에는 마그네트(504)가 설치될 수 있다.
한편, 상기 마스크 어셈블리(100)의 가장자리에는 이들을 고정하기 위한 별도의 지지부재(503)가 더 포함될 수 있다.
상기 디스플레이 기판(150) 상에 증착 물질이 증착되는 과정을 간략하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 마스크(140) 상에 디스플레이 기판(150)을 위치시킨다.
다음으로, 마그네트(504)가 승강부(505)에 의하여 상기 디스플레이 기판(150)으로 하강하고, 상기 디스플레이 기판(150)의 외면에 접촉하게 된다. 상기 마스크(140)와 디스플레이 기판(150)은 상기 마그네트(504)의 자력에 의하여 서로 밀착하게 된다. 상기 마그네트(504)는 상기 마스크(140)의 일 방향, 예컨대, 상기 마스크(140)의 길이 방향을 따라 이격되게 배열된 복수의 마그네트 스틱을 포함할 수 있다.
이어서, 상기 증착원(502)으로부터 증착 물질을 마스크 어셈블리(100)를 향하여 분사하게 된다. 증발된 증착 물질은 마스크(140)에 형성된 증착 패턴부(도 2의 123, 124, 124)의 각 슬릿을 통과하여 상기 디스플레이 기판(150) 상의 증착 영역에 증착될 수 있다. 상기 디스플레이 기판(150)은 실질적으로 복수의 유기 디스플레이 장치를 제조하기 위한 모기판(mother substrate)일 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 마스크 어셈블리(100)를 이용하여 디스플레이 기판(601) 상에 발광층을 증착한 유기 발광 디스플레이 장치(600)의 일 서브 픽셀을 도시한 단면도이다.
도면을 참조하면, 상기 유기 발광 디스플레이 장치(600)는 디스플레이 기판(601)을 포함한다. 상기 디스플레이 기판(601)은 유연성을 가지는 절연성 소재나, 강성을 가지는 절연성 소재로 제조될 수 있다. 상기 디스플레이 기판(601)은 투명하거나, 반투명하거나, 불투명할 수 있다.
상기 디스플레이 기판(601) 상에는 배리어막(602)이 형성될 수 있다. 상기 배리어막(602)은 상기 디스플레이 기판(601)의 상부면을 전체적으로 커버할 수 있다. 상기 배리어막(602)은 무기막이나, 유기막을 포함한다.
상기 배리어막(602) 상에는 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT)가 형성될 수 있다. 상기 배리어막(602) 상에는 반도체 활성층(603)이 형성될 수 있다. 상기 반도체 활성층(603)에는 N형 불순물 이온이나, P형 불순물 이온을 도핑하는 것에 의하여 소스 영역(604)과, 드레인 영역(605)이 형성될 수 있다. 상기 소스 영역(604)과, 드레인 영역(605) 사이의 영역은 불순물이 도핑되지 않는 채널 영역(606)이다.
상기 반도체 활성층(603) 상에는 게이트 절연막(607)이 증착될 수 있다. 상기 게이트 절연막(607)은 실리콘 옥사이드나, 실리콘 나이트라이드나, 금속 산화물과 같은 무기막을 포함할 수 있다. 상기 게이트 절연막(607)은 단일층, 또는, 복층의 구조일 수 있다.
상기 게이트 절연막(607) 상의 소정 영역에는 게이트 전극(608)이 형성될 수 있다. 상기 게이트 전극(608)은 Au, Ag, Cu, Ni, Pt, Pd, Al, Mo, Cr 등의 단일막, 또는, 다층막을 포함할 수 있다. 상기 게이트 전극(608)은 Al:Nd, Mo:W 와 같은 합금을 포함할 수 있다.
상기 게이트 전극(608) 상에는 층간 절연막(609)이 형성될 수 있다. 상기 층간 절연막(609)은 실리콘 옥사이드나, 실리콘 나이트라이드 등과 같은 무기막, 또는, 유기막을 포함할 수 있다.
상기 층간 절연막(609) 상에는 소스 전극(610)과, 드레인 전극(611)이 형성되어 있다. 구체적으로, 상기 게이트 절연막(607) 및 층간 절연막(609)에는 이들을 선택적으로 제거하는 것에 의하여 콘택 홀이 형성되고, 콘택 홀을 통하여 소스 영역(604)에 대하여 소스 전극(610)이 전기적으로 연결되고, 드레인 영역(605)에 대하여 드레인 전극(611)이 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 소스 전극(610)과, 드레인 전극(611) 상에는 보호막(612, 패시베이션막 및/또는 평탄화막)이 형성될 수 있다. 상기 보호막(612)은 실리콘 옥사이드나, 실리콘 나이트라이드와 같은 무기막, 또는, 아크릴(acryl), 폴리이미드(polyimide), BCB(Benzocyclobutene) 등의 유기막을 포함할 수 있다.
상기 박막 트랜지스터의 상부에는 유기 발광 소자(OLED)가 형성될 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)는 상기 보호막(612) 상에 형성된다. 상기 유기 발광 소자(OLED)는 제 1 전극(613), 유기 발광층을 포함하는 중간층(622), 및 제 2 전극(615)을 포함한다.
제 1 전극(613)은 애노우드로 기능하는 것으로서, 다양한 도전성 소재로 형성될 수 있다. 상기 제 1 전극(613)은 투명 전극이나, 반사형 전극으로 형성될 수 있다. 이를테면, 상기 제 1 전극(613)이 투명 전극으로 사용시, 상기 제 1 전극(613)은 투명 도전막을 포함한다. 상기 제 1 전극(613)이 반사형 전극으로 사용시, 상기 제 1 전극(613)은 반사막과, 상기 반사막 상에 형성된 투명 도전막을 포함한다.
픽셀 정의막(614)은 상기 보호막(612) 및 상기 제 1 전극(613)의 일부를 커버한다. 상기 픽셀 정의막(614)은 상기 제 1 전극(613)의 가장자리를 둘러싸는 것에 의하여 각 서브 픽셀의 발광 영역을 한정한다. 상기 제 1 전극(613)은 서브 픽셀마다 패터닝될 수있다. 상기 픽셀 정의막(614)은 유기막, 또는, 무기막으로 형성할 수 있다. 상기 픽셀 정의막(614)은 단일막, 또는, 다중막으로 구성될 수 있다.
상기 제 1 전극(613) 상에는 상기 픽셀 정의막(614)의 일부를 에칭하여 노출되는 영역에 중간층(622)이 형성될 수 있다. 상기 중간층(622)은 증착 공정에 의하여 형성될 수 있다. 상기 중간층(622)은 도 1의 마스크 어셈블리(100)를 이용하여 패턴화될 수 있다.
상기 중간층(622)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 상기 중간층(622)은 유기 발광층(emissive layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(hole injection layer, HIL), 정공 수송층(hole transport layer, HTL), 전자 수송층(electron transport layer, ETL), 전자 주입층(electron injection layer, EIL)중 적어도 어느 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예에서는 이에 한정되지 않고, 상기 중간층(622)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층을 더 구비할 수 있다.
상기 제 2 전극(615)은 상기 중간층(622) 상에 형성될 수 있다.
상기 제 2 전극(615)은 캐소우드로 기능할 수 있다. 상기 제 2 전극(615)은 투명 전극, 또는, 반사형 전극을 포함한다. 예컨대, 상기 제 2 전극(615)이 투명 전극으로 사용시, 상기 제 2 전극(615)은 금속막과, 상기 금속막 상에 형성된 투명 도전막을 포함한다. 상기 제 2 전극(615)이 반사형 전극으로 사용시, 상기 제 2 전극(615)은 금속막을 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 디스플레이 기판(601) 상에는 복수의 서브 픽셀을 형성할 수 있으며, 각 서브 픽셀별로 적색, 녹색, 청색, 또는, 백색의 색을 구현할 수 있다. 그러나, 본 개시는 이에 한정되지 않는다
상기 유기 발광 소자의 상부에는 밀봉 기판(616)이 형성될 수 있다. 상기 밀봉 기판(616)은 외부의 수분이나 산소 등으로부터 중간층(622) 및 다른 박막을 보호하기 위하여 형성된다. 상기 밀봉 기판(616)은 강성을 가지는 글래스나, 고분자 수지나, 유연성을 가지는 필름일 수 있다. 상기 밀봉부(616)는 유기 발광 소자 상에 유기막(617)(619)과 무기막(618)이 교대로 적층하여 형성될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 유기막(617)(619)과 무기막(618)은 각각 적어도 하나를 포함한다.
100...마스크 어셈블리
110...마스크 프레임
120...분할 마스크 140...마스크
122...제 1 증착 패턴부 123...제 2 증착 패턴부
124...제 3 증착 패턴부 125...패턴부
128...제 1 슬릿 129...제 2 슬릿
130...제 3 슬릿 131...제 1 단일 증착 영역
132...제 2 단일 증착 영역 133, 134...복수 증착 영역
135...리브
120...분할 마스크 140...마스크
122...제 1 증착 패턴부 123...제 2 증착 패턴부
124...제 3 증착 패턴부 125...패턴부
128...제 1 슬릿 129...제 2 슬릿
130...제 3 슬릿 131...제 1 단일 증착 영역
132...제 2 단일 증착 영역 133, 134...복수 증착 영역
135...리브
Claims (20)
- 개구가 형성되며, 상기 개구를 둘러싸는 마스크 프레임; 및
상기 마스크 프레임 상에 결합되며, 길이 방향으로 복수의 증착 패턴부가 이격되게 배열된 마스크;를 포함하되,
상기 복수의 증착 패턴부는 각각의 증착 영역을 가지며,
상기 각 증착 영역은 복수의 패턴부로 각각 구획된 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 1 항에 있어서,
상기 각 패턴부는 상기 마스크의 폭 방향으로 연속적으로 배열된 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 2 항에 있어서,
상기 각 패턴부는 동일한 크기인 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 2 항에 있어서,
상기 각 패턴부는 동일한 형상의 슬릿인 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 4 항에 있어서,
상기 각 패턴부는 상기 마스크의 길이 방향에 대응되는 패턴부의 길이 방향으로 연장된 제 1 슬릿과, 상기 제 1 슬릿을 경계로 하여 상기 제 1 슬릿의 양쪽으로 배열된 복수의 제 2 슬릿과 복수의 제 3 슬릿을 포함하는 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 슬릿은 상기 패턴부의 중앙에서 패턴부의 길이 방향으로 연장된 적어도 하나의 스트라이프형의 슬릿인 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 2 슬릿과, 제 3 슬릿은 서로 동일한 패턴인 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 2 슬릿과, 제 3 슬릿은 각각 복수의 도트형의 슬릿인 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 2 슬릿과, 제 3 슬릿은 서로 대칭적으로 배열된 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 1 항에 있어서,
상기 마스크의 길이 방향의 양 단 측에 배열된 증착 패턴부는 단일 증착 영역을 포함하고, 양 단 사이에 배열된 증착 패턴부는 복수의 증착 영역을 포함하는 박막 증착용 어셈블리. - 제 10 항에 있어서,
상기 양 단 측에 배열된 증착 패턴부는 상기 마스크의 길이 방향의 일단 측에 배열된 제 1 단일 증착 영역을 가지는 제 1 증착 패턴부와, 상기 길이 방향의 타단 측에 배열된 제 2 단일 증착 영역을 가지는 제 2 증착 패턴부를 포함하는 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 11 항에 있어서,
상기 제 1 단일 증착 영역과, 제 2 단일 증착 영역은 각각 하나의 단위 디스플레이 장치에 대응되는 단일의 셀 영역인 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 10 항에 있어서,
상기 복수의 증착 영역은 상기 단일 증착 영역이 연속적으로 배열된 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 13 항에 있어서,
상기 복수의 증착 영역은 복수의 단위 디스플레이 장치에 대응되는 복수의 셀 영역인 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 10 항에 있어서,
상기 양 단 사이에 배열된 증착 패턴부의 크기는 상기 양 단에 배열된 증착 패턴부의 크기보다 더 크게 형성된 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 제 1 항에 있어서,
상기 마스크는 적어도 하나의 분할 마스크인 박막 증착용 마스크 어셈블리. - 디스플레이 기판;
상기 디스플레이 기판 상에 배치된 박막 트랜지스터;
상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되며, 상기 디스플레이 기판 상의 각 서브 픽셀에 형성된 제 1 전극과, 상기 제 1 전극 상에 형성된 발광층을 포함하는 중간층과, 상기 중간층 상에 형성된 제 2 전극을 가지는 유기 발광 소자; 및
상기 유기 발광 소자를 커버하는 밀봉 기판;을 포함하되,
상기 각 서브 픽셀의 패턴은 상기 디스플레이 기판의 일 방향으로 연장된 적어도 하나의 제 1 증착 패턴과, 상기 제 1 증착 패턴을 경계로 하여 상기 제 1 증착 패턴의 양쪽으로 배열된 복수의 제 2 증착 패턴을 포함하며,
상기 제 1 증착 패턴과, 제 2 증착 패턴은 상기 디스플레이 기판의 타 방향으로 반복적으로 배열된 박막 증착용 마스크 어셈블리를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치. - 제 17 항에 있어서,
상기 제 1 증착 패턴은 상기 디스플레이 기판의 일 방향으로 연장된 스트라이프형의 패턴인 박막 증착용 마스크 어셈블리를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치. - 제 17 항에 있어서,
상기 제 2 증착 패턴은 서로 동일한 도트형의 패턴인 박막 증착용 마스크 어셈블리를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치. - 제 19 항에 있어서,
상기 복수의 제 2 증착 패턴은 서로 대칭적으로 배열된 박막 증착용 마스크 어셈블리를 이용하여 제조된 유기 발광 디스플레이 장치.
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|---|---|---|---|---|
| KR20110068174A (ko) * | 2009-12-15 | 2011-06-22 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 및 유기 발광 디스플레이 장치 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11469284B2 (en) | 2019-07-16 | 2022-10-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Display apparatus, and apparatus for and method of manufacturing the same |
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