KR20160148190A - 정전용량식 차압센서 고정용 수직배출형 다방향 플랜지 - Google Patents

정전용량식 차압센서 고정용 수직배출형 다방향 플랜지 Download PDF

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Abstract

본 발명은 정전용량식 차압센서를 고정하는 플랜지로서 더욱 상세하게는 차압센서는 안정적인 수직형태를 유지시면서 불순가스배출의 용이성과 차압센서의 측정안정성을 극대화시킨 수직배출형 다방향 차압센서용 플랜지에 관한 것이다.
본 발명은 차압센서 본체부(100)가 연결되는 차압센서부(110), 다이아프램(120), 플랜지 본체(210), 압력취출구(220), 불순가스 배출구(230), 플렌지 체결부(240)를 포함하여 구성된 차압센서 고정용 플랜지(200)를 제공한다.
또한 본 발명은 상기한 압력취출구(220)는 플랜지 본체에 둘 이상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 차압센서 고정용 플랜지(200)를 제공한다.
또한 본 발명은 상기한 불순가스 배출구(230)는 플랜지에 결합되는 차압센서 본체부의 방향과 같은 방향으로 형성되어 있고 불순가스 배출구가 둘 이상으로 형성된 것을 특징으로 하는 차압센서 고정용 플랜지(200)를 제공한다.
또한 본 발명은 차압센서 본체부(100)가 더 부가된 것을 특징으로 하는 차압센서 고정용 플랜지(200)를 제공한다.

Description

정전용량식 차압센서 고정용 수직배출형 다방향 플랜지{a muiti directional flange for differential capacitive pressure sensor}
본 발명은 정전용량식 차압센서를 고정하는 플랜지로서 더욱 상세하게는 차압센서는 안정적인 수직형태를 유지시면서 불순가스배출의 용이성과 차압센서의 측정안정성을 극대화시킨 수직배출형 다방향 차압센서용 플랜지에 관한 것이다.
도 1d 및 도 1e는 종래기술 (등록특허 10-1474883)의 차압센서를 보여주는 도면이다.
도 1d 및 도 1e에서 보는 것처럼, 차압센서부는 "센서바디의 양측에 구비되어 외부에서 전달되는 압력에 의해 변형되는 격리 다이어프램; 상기 격리 다이어프램의 축상을 벗어난 위치에 구비되는 센서모듈; 상기 격리 다이어프램과 상기 센서모듈에 연결되며, 상기 격리 다이어프램의 변형을 상기 센서모듈에 전달하는 연동부; 및 상기 센서모듈의 변형을 방지하는 보강부를 포함하고; 상기 센서바디에는 상기 격리 다이어프램의 축상과 수직되는 방향에 상기 센서모듈이 안착되는 안착부가 구비되며; 상기 센서모듈은 한 쌍으로 이루어지고, 내부에 취성물질이 충진되는 하우징; 상기 하우징의 상호 마주하는 면에 각각 형성되어 상호 이격되는 전극; 상기 전극 사이에 개재되어 상기 연동부에 의해 전달된 압력에 의해 변형되는 센터 다이어프램; 및 상기 센터 다이어프램의 변형에 의해 발생되는 상기 전극의 전기적 신호를 압력신호로 변환시키는 전자보드를 포함하고; 상기 보강부는 상기 하우징의 둘레를 감싸는 보강브라켓을 포함하며; 상기 보강브라켓에는 상기 안착부로부터 상기 보강브라켓을 지지하는 지지레그가 구비되고; 상기 보강브라켓에는 상기 하우징과 연결되는 상기 연동부와 결합되어 상기 보강브라켓이 상기 하우징의 중간부 위에 위치되게 하는 센터링절개홀이 형성되어 있는 것"을 알 수가 있다,
종래의 차압센서용 플랜지는 크기가 크고 차압취부구가 1조와 배출구 1조로 구성되어 있어서 이를 이용한 유량계 및 차압계의 설치에 제약을 주고 있어서 규모가 커지고 비용이 상승하는 요인을 가지고 있으며, 차압부에 유입된 불순가스의 배출이 용이하지 않아서 안정적인 형태의 차압센서위치를 설정하기 어려웠다.
또한 종래의 정전용량식 차압센서의 고압부와 저압부 측정면에 불순가스가 혼재되었을 경우 차압측정값에 심각한 오류를 발생시키기 때문에 기존의 차압센서 고정용 플랜지는 배출구가 오직 뒷면에만 설치되어 있어서 이를 배출하기 위해 차압센서를 배관보다 낮은 하부에 설치해야만 하며 이로 인한 설치공간의 자유도 상실과 수직설치에 비하여 불안정한 형태를 취하고 있기 때문에 취급의 부주의로 인한 손상과 내구성 결여 등을 초래하고 있다.
이와 관련된 종래기술로 공개특허 10-2013-0101993호(차압센서, 이하 선행기술)는 "압력차에 따른 신호를 출력하는 센서 다이어프램과, 이 센서 다이어프램의 한쪽 면에 그 오목부를 대치(對峙)시켜서 접합되어 상기 센서 다이어프램의 다른 쪽 면에 과대압이 인가되었을 때의 과도한 변위를 저지하는 제1 스토퍼 부재와, 상기 센서 다이어프램의 다른 쪽 면에 그 오목부를 대치시켜서 접합되어 상기 센서 다이어프램의 한쪽 면에 과대압이 인가되었을 때의 과도한 변위를 저지하는 제2 스토퍼 부재를 구비한 센서칩과, 상기 센서칩의 한쪽 면에 접합되어 그 내부에 상기 센서 다이어프램의 한쪽 면으로의 측정압을 유도하는 도압로를 갖는 제1 관로 부재와, 상기 센서칩의 다른 쪽 면에 접합되어 그 내부에 상기 센서 다이어프램의 다른 쪽 면으로의 측정압을 유도하는 도압로를 갖는 제2 관로 부재와, 상기 제1 관로 부재에 상기 센서칩의 한쪽 면으로 향하는 탄성력을 가하고, 상기 제2 관로 부재에 상기 센서칩의 다른 쪽 면으로 향하는 탄성력을 가하여, 상기 제1 관로 부재와 상기 제2 관로 부재 사이에 상기 센서칩을 협압(挾壓) 유지시키는 탄성 유지 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 차압 센서"를 제공한 바 있다.
그러나 상기한 선행기술도 여전히 앞에서 제시한 문제점을 해결하지 못하는 단점이 있었다.
본 발명은 상기한 문제점 및 요구를 해결하기 위하여, 즉 차압센서는 안정적인 수직형태를 유지시키면서 불순가스배출의 용이성과 차압센서의 측정안정성을 극대화시킨 수직배출형 다방향 차압센서용 플랜지를 제공하고자 한다.
또한 본 발명은 종래의 정전용량식 차압센서의 고정용 센서플랜지의 경우 차압센서와 수직으로 불순가스 배출구를 설치하여 이를 배출하고자 할 경우 센서의 압력 면의 불순가스 제거가 용이하지 않아 이에 대한 센서 측정값의 불안정성을 초래하고, 배출구의 상향설치를 위해 차압센서의 위치를 변경해야 하는 불편함이 있어서 현재까지는 차압센서를 배관보다 낮게 설치하여 불순가스를 제거하지만, 이는 설치의 제약과 파손의 우려 등 안정성에 많은 문제점을 가지고 있는데 이를 해결하는 수직배출형 다방향 차압센서용 플랜지를 제공하고자 한다.
또한 본 발명은 정전용량식 차압센서의 설치위치를 안정적인 형태를 유지하고 불순가스를 용이하게 배출하기 위하여 배출구를 센서설치방향과 동일방향으로 설치하였으며 더불어 압력부 유입위치를 전면부와 하면부에 설치하여 압력취출에 따른 공간적 제약을 제거하여 안정적인 차압측정값을 검출할 수 있는 수직배출형 다방향 차압센서용 플랜지를 제공하고자 한다.
본 발명은 상기한 문제점 및 요구를 해결하기 위하여,
차압센서 본체부(100)가 연결되는 차압센서부(110), 다이아프램(120), 플랜지 본체(210), 압력취출구(220), 불순가스 배출구(230), 플렌지 체결부(240)를 포함하여 구성된 차압센서 고정용 플랜지(200)를 제공한다.
또한 본 발명은 상기한 압력취출구(220)는 플랜지 본체에 둘 이상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 차압센서 고정용 플랜지(200)를 제공한다.
또한 본 발명은 상기한 불순가스 배출구(230)는 플랜지에 결합되는 차압센서 본체부의 방향과 같은 방향으로 형성되어 있고 불순가스 배출구가 둘 이상으로 형성된 것을 특징으로 하는 차압센서 고정용 플랜지(200)를 제공한다.
또한 본 발명은 차압센서 본체부(100)가 더 부가된 것을 특징으로 하는 차압센서 고정용 플랜지(200)를 제공한다.
본 발명에 따른 차압센서 고정용 플랜지는 차압센서는 안정적인 수직형태를 유지시키면서 불순가스 배출을 용이하게 하고 차압센서의 측정안정성을 극대화시키는 효과가 나타난다.
또한 본 발명은 정전용량식 차압센서의 설치위치를 안정적인 형태를 유지하고 불순가스를 용이하게 배출하기 위하여 배출구를 센서설치방향과 동일방향으로 설치하였으며 더불어 압력부 유입위치를 전면부와 하면부에 설치하여 압력취출에 따른 공간적 제약을 제거하여 안정적인 차압측정값을 검출할 수 있는 효과가 나타난다.
도 1 및 도 1b는 종래의 차압센서 고정용 플랜지.
도 1c는 정전용량식 차압센서의 개념 구조도.
도 1d 및 도 1e는 종래기술 등록특허 10-1474883의 차압센서의 구조도.
도 2는 본 발명에 따른 차압센서 고정용 플랜지의 정면 개념도.
도 2b는 본 발명에 따른 차압센서 고정용 플랜지의 측면 개념도.
도 2c는 본 발명에 따른 차압센서 본체부가 차압센서 플랜지에 결합되는 형태를 보여주는 도면.
도 3은 본 발명에 따른 차압센서 플랜지에서 플랜지 본체의 좌측, 우측, 전면에 압력취출구가 형성되어 있고, 불순가스 배출구의 방향이 차압센서 본체부가 플랜지에 결합되는 방향과 동일한 방향으로 형성된 실시예를 평면에서 보여주는 도면.
도 3b는 도 3의 본 발명에 따른 차압센서 플랜지를 A-A 방향으로 자른 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 차압센서 플랜지에서 플랜지 본체의 좌측, 우측, 전면에 압력취출구가 형성되어 있고, 불순가스 배출구의 방향이 차압센서 본체부가 플랜지에 결합되는 방향과 동일한 방향으로 형성된 실시예를 측면에서 보여주는 도면.
도 4b는 도 4의 본 발명에 따른 차압센서 플랜지를 B-B 방향으로 자른 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 차압센서 플랜지에서 압력취출구가 3개 형성되어 있고 불순가스 배출구 2개 형성된 실시예.
도 5b는 본 발명에 따른 차압센서 플랜지에서 압력취출구가 2개 형성되어 있고 불순가스 배출구 3개 형성된 실시예.
도 5c는 본 발명에 따른 차압센서 플랜지에서 압력취출구가 2개 형성되어 있고 불순가스 배출구 2개 형성된 실시예.
이하 본 발명은 도면을 참고하여 상세히 설명하고자 한다.
도 1 및 도 1b는 종래의 차압센서 고정용 플랜지를 포함한 차압센서를 보여 주고 있다.
도 1 및 도 1b에서 보는 것처럼 종래의 차압센서는 차압센서 본체부(100) 및 이를 고정하는 플랜지(200)로 구성되어 있다.
상기한 종래의 플랜지(200)는 그 내부에 압력을 센싱하는 다이아프램(120)이 설치되어 있으며, 차압센싱부(110)가 구비되어 측정하고자 하는 유체의 압력을 측정하며, 상기한 다이아프램으로 유체를 유입시키는 압력취출구(220') 및 불순가스가 배출되는 배출구(230')가 포함되어 구성되어 있다.
도 1b에서 보는 것처럼 종래의 차압센서 플랜지(200)가 볼트체결구(240)에 의하여 측정하고자 하는 유체의 관로에 결합되는 경우, 압력취출구(220') 및 측정 유체에 포함된 불순가스가 배출되는 불순가스 배출구(230')가 차압센서 본체부(100)와 수직으로 설치되어 이를 배출하고자 할 경우 센서의 압력면(다이아프램)의 불순가스 제거가 용이하지 않은 문제점이 발생하게 된다.
또한 종래의 플랜지는 배출구의 상향설치를 위해 차압센서의 위치를 변경해야 하는 불편함이 있어서 현재까지는 차압센서를 배관보다 낮게 설치하여 불순가스를 제거하여야 하는데 이는 설치의 제약과 파손의 우려 등 안정성에 많은 문제점을 유발하게 된다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 도출한 것으로서 차압센서가 결합되어 사용되는 차압센서 고정용 플랜지를 제공한다.
본 발명은 차압센서 본체부(100)가 연결되는 차압센서부(110), 다이아프램(120), 플랜지 본체(210), 압력취출구(220), 불순가스 배출구(230), 플렌지 체결부(240)를 포함하여 구성된 차압센서 고정용 플랜지(200)를 제공한다.
도 2에서 보는 것처럼 본 발명인 플랜지에 결합되는 차압센서 본체부(100)는 정전용량식 차압센서의 차압센서부에서 측정된 압력 정보에 대한 데이터 처리, 해석, 분석 등을 수행하고 이러한 정보를 모니터로 보여주는 장치 또는 수단을 의미한다.
따라서 상기한 차압센서 본체부(100)는 MCU, CPU 등의 중앙처리장치, 메모리, RAM, ROM 및 이에 탑재된 응용프로그램이 구비될 수 있다.
본 발명의 정전용량식 차압센서는 차압을 정전 용량의 변화로서 검출하는 센서를 모두 포함하는 개념이다.
도 1c에서 보는 것처럼 정전용량식 차압센서는 여러 가지 방식으로 구성될 수 있으며 아래는 그 하나의 방식을 설명한 것이다.
초기 장력이 주어진 얇은 감압 다이어프램(가동전극)의 양쪽에 절연물상에 증착 등으로 형성된 구면형상의 고정전극과 접액 다이어프램극이 있다. 접액 다이어프램에 가해진 압력이 속에 든 액체를 통하여 감압 다이어프램을 변위시키고, 그 변위를 2개의 정전용량의 차로서 검출하는 차동 용량 방식이다. 과대압력이 가해지면 감압 다이어프램을 고정 전극에 밀착하여 보호된다. 감압 다이어프램에는 스프링 특성이 좋은 Ni-Cr계 합금이 사용되고, 접액 다이어프램에는 내식성 합금이 사용된다.
본 발명은 상기한 차압센서 본체부(100)는 상기한 플렌지와 탈부착이 가능한 구조로 되어 있다.
도 2c에서 보는 것처럼 본 발명의 차압센서 플랜지는 차압센서부(110)가 부가되어 구비되어 있어, 차압센서부(110)에서 측정한 압력 정보를 상기한 차압센서 본체부(100)로 전송하게 된다.
본 발명의 상기한 차압센서부(110)는 플랜지 본체(210)에 일체되어 형성되어 있으며 압력취출구에 유입된 유체가 다이아프램에 작용하는 메카니즘으로 압력을 측정하게 된다.
따라서 본 발명의 상기한 차압센서부(110)는 상기한 종래기술 (등록특허 10-1474883)과 같은 통상의 정전용량식 차압센서가 보유하고 있는 압력 센서 장치가 구비되어 있다.
즉, 차압센서부는 센서바디, 격리 다이아프램, 센서모듈 등을 포함하게 된다.
도 2 내지 도 2b에서 보는 것처럼 플랜지 내부에는 압력을 측정하는 다이아프램(diaphram)(120)이 구성되어 있어 유체(액체 및 기체 포함)가 유입되어 압력을 측정하게 된다.
본 발명의 상기한 플랜지 본체(210)는 플랜지의 근간을 형성하는 것으로서 상기한 플랜지의 구성들이 플랜지 본체에 형성되게 된다.
도 2 내지 도 5에서 보는 것처럼 플랜지 본체(210)는 다각면체 형상으로 이루어져 있으며, 바람직하게는 육면체 형상 또는 그와 유사한 형상으로 이루어진 것이 좋다.
본 발명의 기술적 특징은 상기한 플랜지 본체에 하나 또는 둘 이상의 압력취출구(220)가 형성되어 있는 점이다.
본 발명의 압력취출구(220)는 측정하고자 하는 유체(액체 및 기체 포함)가 유입되는 기능을 수행하는 장치 또는 구조를 의미한다.
도 2b에서 보는 것처럼 본 발명의 압력취출구(220)는 플랜지 본체의 좌측, 우측 또는/및 하부에 하나 또는 둘 이상으로 형성될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 압력취출구(220)가 플랜지 본체의 좌측, 우측 또는/및 하부에 하나 또는 둘 이상으로 형성되어 있어서, 사용되는 차압센서의 구조적 필요에 따라서 선택적 취출을 하도록 하는 특성을 가졌으며, 압력 취출에 따른 공간적 제약을 제거하여 안정적인 차압 측정값을 검출할 수 있도록 한 것이다.
바람직하게는 본 발명의 압력취출구(220)는 플랜지 본체에 형성되어 있되 둘 이상으로 형성된 것이 압력 취출에 따른 공간적 제약을 제거하여 안정적인 차압 측정값을 검출할 수 있게 된다.
도 2b에서 보는 것처럼 본 발명의 실시 예로 본 발명의 압력취출구(220)는 플랜지 본체에 형성되어 있되 좌측 압력취출구(220), 우측 압력취출구(220-2), 하부 압력취출구(220-3)로 구성되어 있는 것이 효과적이다.
또한 도 5에서 보는 것처럼 본 발명의 실시 예로 본 발명의 압력취출구(220)는 플랜지 본체에 형성되어 있되 좌측 압력취출구(220), 우측 압력취출구(220-2), 전면부 압력취출구(220-4)로 구성되어 있을 수도 있다.
또한 본 발명의 실시 예로 본 발명의 압력취출구(220)는 플랜지 본체에 형성되어 있되 좌측 압력취출구(220), 우측 압력취출구(220-2), 후면부 압력취출구(220-3')으로 구성되어 있을 수도 있다.
앞서 언급한 바와 같이 도 2b에서 보는 것처럼 상기한 후면부 압력취출구(220-3')는 전면부 압력취출구(220-3)의 뒤 방향에 형성되어 있는 것을 의미한다.
또한 도 5b에서 보는 것처럼 본 발명의 실시 예로 본 발명의 압력취출구(220)는 플랜지 본체에 형성되어 있되 좌측 압력취출구(220), 우측 압력취출구(220-2)로 구성되어 있을 수도 있다.
또한 도 5c에서 보는 것처럼 본 발명의 실시 예로 본 발명의 압력취출구(220)는 플랜지 본체에 형성되어 있되 좌측 압력취출구(220), 우측 압력취출구(220-2)로 구성되어 있을 수도 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 2개 이상의 압력취출구(220)의 형성으로 사용되는 차압센서의 구조적 필요에 따라서 선택적 취출을 하도록 하는 특성을 가졌으며, 압력 취출에 따른 공간적 제약을 제거하여 안정적인 차압 측정값을 검출할 수 있도록 하게 한다.
본 발명은 상기한 압력취출구(220)에 마개(221)가 구비되어 있어 어느 하나의 압력취출구를 사용하는 경우 다른 압력취출구는 마개로 막아서 사용되는 압력취출구의 기능을 활성화시키게 된다.
또한 본 발명의 기술적 특징은 상기한 불순가스 배출구(230)가 형성되어 있되, 플랜지에 결합되는 차압센서 본체(200)의 방향과 같은 방향으로 형성되어 있는 점이다.
도 2 또는 도 2b에서 보는 것처럼 본 발명의 불순가스 배출구(230)는 차압센서 본체부가 플랜지에 결합되는 방향과 동일한 방향 즉, 플랜지의 상부 방향으로 배출구의 구멍이 향하도록 형성되어 있는 점이 특징이다.
본 발명의 불순가스 배출구의 방향이 차압센서 본체부가 플랜지에 결합되는 방향과 동일한 방향이라는 의미는 차압센서 본체부와 완전히 평행한 경우 뿐만 아니라 차압센서 본체부와 같은 방향이되 사선각(θ)을 형성하는 경우를 포함하는 개념이다.
도 3b에서 보는 것처럼 D-D 선은 차압센서 본체부가 플랜지에 결합되는 방향을 의미하며, C-C 선은 불순가스 배출구(230)가 플랜지 본체에 형성되어 있는 방향을 의미하는바, 불순가스 배출구(230)가 차압센서 본체부와 같은 방향이되 사선각(θ)을 형성하는 경우인 경우를 볼 수 있으며 이러한 형태가 바람직하다.
본 발명의 기술적 특징은 상기한 불순가스 배출구(230)가 하나 또는 둘 이상 형성될 수 있는 점이다.
본 발명은 상기한 불순가스 배출구(230)가 둘 이상 형성되는 경우에도 각각의 불순가스 배출구의 방향이 차압센서 본체부가 플랜지에 결합되는 방향과 동일한 방향으로 형성된 점이 특징이다.
도 2에서 보는 것처럼 불순가스 배출구(230)가 좌측 불순가스 배출구(230) 및 우측 불순가스 배출구(230-2)로 2개 형성되는 경우를 볼 수 있다.
또한 도 5b에서 보는 것처럼 불순가스 배출구(230)가 좌측 불순가스 배출구(230) 및 우측 불순가스 배출구(230-2) 및 전면부 불순가스 배출구(230-3)로 3개 형성되는 경우를 볼 수 있다.
상기한 불순가스 배출구(230)가 2개 이상 형성되는 경우 그 중 하나를 작동하는 경우 나머지는 모두 막음 장치로 막혀서 비활성되도록 하게 된다.
또한 도 5c에서 보는 것처럼 불순가스 배출구(230)가 좌측 불순가스 배출구(230) 및 우측 불순가스 배출구(230-2) 2개 형성되는 경우를 볼 수 있다.
상기한 불순가스 배출구(230)가 2개 이상 형성되는 경우 그 중 하나를 작동하는 경우 나머지는 모두 막음 장치로 막혀서 비활성되도록 하게 된다.
도 3은 본 발명의 차압센서 플랜지(200)를 위에서 본 개념도를 보여 준다.
도 3에서 보는 것처럼 플랜지 본체(210)의 좌측, 우측, 전면에 압력취출구(220)가 형성되어 있어 3면 방향으로 자유롭게 관로를 연결하는 편의성이 있는 것을 볼 수 있다.
도 3b는 상기한 도 3의 차압센서 플랜지(200)를 위에서 본 개념도를 A-A 면으로 절단하여 본 도면이다.
도 3b에서 보는 것처럼 불순가스 배출구(230)가 차압센서가 플랜지 본체와 결합되어 있는 방향과 동일한 방향으로 구성되어 있은 것을 보여준다.
또한 도 3b에서 보여 주는 것처럼 플랜지의 내부에는 다아이프램이 구성되어 있어 차압센서부(110)에 의하여 유체(액체 및 가스를 포함)의 압력을 측정할 수 있는 결합 구조로 되어 있음을 알 수가 있다.
도 4에서 보는 것처럼, 플랜지 본체(210)를 B-B 선으로 즉 수직면으로 절단한 도면을 보여 준다.
도 4b는 플랜지 본체를 측면에서 본 단면도를 보여 준다.
본 발명의 상기한 플렌지 체결부(240)는 차압센서 플랜지를 관로와 연결시키고 플랜지를 고정하기 위한 수단 또는 장치를 의미한다.
상기한 플랜지 체결부(240)는 통상의 볼트체결수단 등과 같이 플랜지를 탈착하고 부착하기 용이한 수단으로 채용할 수 있다.
도 2 내지 도 5에서 보는 것처럼 플렌지 체결부(240)가 플랜지 본체(210)에 4개 형성된 것을 볼 수 있으나, 이에 한정하지 않으며 하나 또는 2 이상 형성될 수 있다.
본 발명은 상기한 구조와 기능으로 이루어진 차압센서의 측정안정성을 극대화시킨 수직배출형 다방향 차압센서용 플랜지를 제공한다.
본 발명은 차압센서를 생산, 판매, 유통, 연구하는 산업에 매우 유용한 발명이다.
특히 본 발명은 정전용량식 차압센서 및 이를 고정하는 플랜지를 생산, 판매, 유통, 연구하는 산업에 매우 유용한 발명이다.
차압센서 본체부(100), 차압센서부(110), 다이아프램(120)
차압센서 고정용 플랜지(200),
플랜지 본체(210),
압력취출구(220), 좌측 압력취출구(220), 우측 압력취출구(220-2), 하부 압력취출구(220-3),
불순가스 배출구(230), 우측 불순가스 배출구(230-2), 전면부 불순가스 배출구(230-3),
플렌지 체결부(240),

Claims (4)

  1. 차압센서 본체부(100)가 연결되는 차압센서부(110), 다이아프램(120), 플랜지 본체(210), 압력취출구(220), 불순가스 배출구(230), 플렌지 체결부(240)를 포함하여 구성된 차압센서 고정용 플랜지(200).
  2. 제1항에 있어서,
    상기한 압력취출구(220)는 플랜지 본체에 둘 이상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 차압센서 고정용 플랜지(200).
  3. 제1항에 있어서,
    상기한 불순가스 배출구(230)는 플랜지에 결합되는 차압센서 본체부의 방향과 같은 방향으로 형성되어 있고 불순가스 배출구가 둘 이상으로 형성된 것을 특징으로 하는 차압센서 고정용 플랜지(200).
  4. 제1항 내지 제3항에 있어서,
    차압센서 본체부(100)가 더 부가된 것을 특징으로 하는 차압센서 고정용 플랜지(200).

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