KR20160146043A - 프로빙 챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버는 척; 상기 척 상에 배치되어 하나 이상의 대상물이 놓일 수 있는 대상물 거치부; 챔버 내부 공간에 노출된 대상물에 접촉하여 프로빙 신호를 공급하는 프로브; 및 상기 대상물 거치부에 연결되어 상기 프로브가 상기 대상물에 접촉가능하도록 상기 대상물 거치부를 움직이는 암을 포함한다.

Description

프로빙 챔버 {PROVING CHAMBER}
본 발명은 프로빙 챔버에 관한 것이다.
프로빙 챔버는 프로브를 통하여 대상물에 특정 전기 신호를 공급하고 특정 전기 신호에 따른 특성을 측정할 수 있다.
프로빙 챔버는 산소나 이물질의 영향을 줄이거나 최소화하기 위하여 챔버 내부 공간을 진공 상태로 유지할 수 있다.
하지만 다수의 대상물이 프로빙 챔버에 배치되는 과정에서 대상물은 산소나 다른 이물질에 노출될 수 있으며, 이에 따라 대상물이 오염되거나 산화되어 프로빙 작업의 정확도 및 신뢰성이 떨어질 수 있다.
이에 따라 다수의 대상물에 대한 프로빙 작업이 이루어질 때 산소나 다른 이물질에 대상물이 노출되는 것을 방지할 수 있는 프로빙 챔버에 대한 연구가 진행되고 있다.
등록특허 10-0655689 (공고일 : 2006년12월08일)
본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버는 다수의 대상물에 대한 프로빙 작업의 효율을 높이기 위한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버는 다수의 대상물에 대해 정확한 프로빙 작업을 수행하기 위한 것이다.
본 출원의 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 척; 상기 척 상에 배치되어 하나 이상의 대상물이 놓일 수 있는 대상물 거치부; 챔버 내부 공간에 노출된 대상물에 접촉하여 프로빙 신호를 공급하는 프로브; 및 상기 대상물 거치부에 연결되어 상기 프로브가 상기 대상물에 접촉가능하도록 상기 대상물 거치부를 움직이는 암을 포함하는 프로빙 챔버가 제공될 수 있다.
상기 대상물 거치부에 복수의 대상물이 놓인 경우, 상기 암은 상기 복수의 대상물 중 하나를 상기 프로브와 접촉가능하도록 상기 대상물 거치부를 이동시킨 후 다른 하나를 상기 프로브와 접촉가능하도록 상기 대상물 거치부를 이동시킬 수 있다.
상기 프로브가 접촉하는 상기 하나의 대상물은 상기 척 영역 안에 있고, 상기 프로브가 접촉하지 않은 상기 다른 하나의 대상물의 적어도 일부는 상기 척의 영역 밖에 있을 수 있다.
상기 복수의 대상물 중 하나 및 다른 하나에 대한 프로빙이 이루어지는 동안 상기 챔버 내부 공간은 진공 상태를 유지할 수 있다.
상기 척은 상기 대상물 거치부를 통하여 상기 대상물로 열을 공급하고, 상기 척과 상기 대상물 거치부 사이, 그리고 상기 대상물과 상기 대상물 거치부 사이에 밀봉재가 도포되어 있을 수 있다.
상기 대상물이 밀봉재가 도포된 상기 대상물 거치부에 배치된 후 상기 대상물 거치부가 챔버 외부 공간에서 상기 챔버 내부 공간으로 인입되어 상기 암과 연결될 수 있다.
상기 대상물 거치부의 표면은 금속성 물질로 이루어지고, 상기 대상물 거치부와 상기 대상물 사이에 절연부가 구비될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버는 다수의 대상물을 대상물 거치대에 배치하고 대상물 거치대를 이동시켜 각 대상물에 대한 프로빙 작업을 수행하므로 프로빙 작업의 효율을 높이기 위한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버는 다수의 대상물을 대상물 거치대에 배치하고 상기 대상물 거치대를 움직여 진공 상태에서 각 대상물에 대한 프로빙 작업을 수행할 수 있으므로 대상물에 대해 정확한 프로빙 작업을 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버는 다수의 대상물을 대상물 거치대에 배치하고 척으로부터 열을 공급받는 상기 대상물 거치대를 움직여 진공 상태에서 각 대상물에 대한 프로빙 작업을 수행할 수 있으므로 대상물의 온도 특성에 대해 정확한 프로빙 작업을 수행할 수 있다.
본 출원의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버의 동작을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버의 내부를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버의 평면도 일부를 나타낸다.
도 5는 대상물 거치부의 인입 과정을 나타낸다.
도 6은 대상물 거치부와 대상물 사이에 구비되는 절연부를 나타낸다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 발명의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.
또한, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버를 나타낸다. 도 1에 도시된 바와 같이, 척(110), 대상물 거치부(120), 프로브(probe)(130) 및 암(arm)(140)을 포함한다.
척(110)은 대상물(10)에 열을 공급할 수 있다. 이 때 척(110)이 공급하는 열의 온도는 섭씨 영하 190도 이상 섭씨 300 도 이하일 수 있다. 고온의 열을 공급하기 위하여 전기가 흐르는 코일이 사용될 수 있으며, 저온의 열을 공급하기 위하여 LN2(Liquid Nitrogen)와 같은 냉각용 유체가 사용될 수 있다.
대상물(10)은 칩(chip), 회로기판, 플렉서블 전지 또는 솔라셀(solar cell)과 같은 전기회로 또는 전자회로가 구현된 것일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
이와 같은 대상물(10)이 사용되는 영역이 고성능 전자장치, 에너지 발생장치 및 에너지 저장장치 뿐만 아니라 자동차 등으로 확대됨에 따라 온도에 대한 대상물(10)의 동작 안정성은 매우 중요하다.
따라서 대상물(10)에 대한 테스트는 원하는 온도 영역에서 장시간 이루어질 수 있으며 이 때 필요한 열은 척(110)으로부터 공급될 수 있다.
대상물 거치부(120)는 척(110) 상에 배치되어 하나 이상의 대상물(10)이 놓일 수 있다. 이 때 대상물 거치부(120)의 면적은 척(110)으로부터 열을 공급받아 다수의 대상물(10)에 대한 프로빙이 이루어져야 하므로 척(110)의 면적보다 작을 수 있다.
프로브(130)는 챔버 내부 공간에 노출된 대상물(10)에 접촉하여 프로빙 신호를 공급한다. 이를 위하여 프로브(130)가 대상물(10)의 도선이나 전극 패드 등에 접촉한 후 프로빙 신호를 상기 도선이나 전극 패드에 공급할 수 있다. 대상물(10)은 프로빙 신호에 따른 출력신호를 프로브(130)에 공급할 수 있다.
프로빙 챔버의 운전자는 프로빙 신호에 따른 출력신호를 디스플레이 장치(미도시)를 통하여 확인함으로써 대상물(10)의 특성을 확인할 수 있다.
프로브(130)의 이동을 통하여 프로브(130)가 대상물(10)의 도선 또는 전극 패드에 접촉해야 하므로 프로브 구동부(미도시)가 챔버 내부 공간 또는 챔버 외부 공간에 구비될 수 있다. 이와 같은 프로브 구동부는 통상의 기술자에게 일반적인 것이므로 이에 대한 설명은 생략된다.
암(140)은 대상물 거치부(120)에 연결되어 프로브(130)가 대상물(10)에 접촉가능하도록 대상물 거치부(120)를 움직인다. 이 때 암(140)은 대상물 거치부(120)와 체결부(150)에 의하여 연결될 수 있다.
암(140)과 대상물 거치부(120)는 서로 탈부착이 가능하며, 이를 위하여 체결부(150)에는 나사산이 형성될 수 있다.
암(140)은 암 구동부(미도시)에 의하여 구동될 수 있으며, 챔버 내부 공간 또는 챔버 외부 공간에 구비될 수 있다. 암 구동부는 암(140)을 x축, y축 및 z 축으로 움직일 수 있으며, 이와 같이 3축으로 암(140)을 구동하는 암 구동부의 구조는 통상의 기술자에게 일반적인 것이므로 이에 대한 설명은 생략된다.
한편 도 1에 도시된 바와 같이, 온도센서(160)가 대상물 거치부(120)에 연결되어 대상물 거치부(120)의 온도를 센싱할 수 있다.
일반적인 프로빙 챔버가 서로 다른 위치에 배치된 복수의 대상물(10)들 각각에 대한 프로빙을 수행하려면, 프로브(130)가 대상물(10)이 있는 위치로 이동해야 하므로 프로브(130)의 이동량이 커질 수 있다.
프로브(130)는 대상물(10)의 도선이나 전극 패드에 접촉해야 하므로 매우 미세하게 움직여야 하는데, 프로브(130)의 이동량이 커질 경우 프로빙 작업이 어려워질 수 있다. 또한 다수의 대상물(10)에 대한 프로빙이 이루어져야 하므로 전체 대상물(10)에 대한 프로빙 작업의 시간이 오래 걸릴 수 있다.
반면에 본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버의 경우, 대상물 거치부(120)가 암(140)에 의하여 프로브(130) 근처로 이동하므로 프로브(130)의 이동량이 작을 수 있다.
따라서 프로빙 작업이 용이하게 이루어질 수 있으며, 이에 따라 프로빙 작업이 다수의 대상물(10)에 대해서 이루어지더라도 프로빙 작업에 걸리는 시간이 줄어들 수 있다.
즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 대상물 거치부(120)에 복수의 대상물(10)이 놓인 경우, 암(140)은 복수의 대상물(10) 중 하나를 프로브(130)와 접촉가능하도록 대상물 거치부(120)를 이동시킬 수 있다. 그 이후 암(140)은 복수의 대상물(10) 중 다른 하나를 프로브(130)와 접촉가능하도록 대상물 거치부(120)를 이동시킬 수 있다.
이 때 도 3에 도시된 바와 같이, 척(110)은 대상물 거치부(120)를 통하여 대상물(10)로 열을 공급하고, 밀봉재(170)가 척(110)과 대상물 거치부(120) 사이, 그리고 대상물(10)과 대상물 거치부(120) 사이에 도포될 수 있다. 이 때 밀봉재(170)는 진공 그리스(grease)일 수 있다.
대상물 거치부(120)가 척(110) 상에 배치되므로 대상물 거치부(120)와 척(110) 사이에 미세한 공극이 있을 수 있으며, 이러한 공극은 척(110)으로부터 대상물 거치부(120)로 열이 전달되는 것을 방해할 수 있다.
공극이 있는 영역의 대상물 거치부(120)에는 열이 덜 전달되므로 척(110)으로부터 공급된 열이 대상물 거치부(120)에 균일하게 전달되지 못할 수 있다.
밀봉재(170)는 척(110)과 대상물 거치부(120) 사이에 도포되어 척(110)과 대상물 거치부(120) 사이의 공극을 없앰으로써 열이 대상물 거치부(120)에 균일하게 전달될 수 있도록 한다. 마찬가지 이유에서 대상물(10)과 대상물 거치부(120) 사이에 밀봉재(170)가 도포됨으로써 대상물 거치부(120)에서 대상물(10)로 열이 균일하게 전달될 수 있도록 한다.
앞서 설명된 바와 같이, 척(110)은 영하 수 백도에서 영상 수 백도의 열을 대상물 거치부(120)로 전달하므로 밀봉재(170) 역시 이와 같은 온도 영역의 열에 견딜 수 있어야 하며, 진공 그리스는 상기 온도 영역의 열을 견딜 수 있다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 프로브(130)가 접촉하는 하나의 대상물(10)은 척(110) 영역 안에 있고, 프로브(130)가 접촉하지 않은 다른 하나의 대상물(10)의 적어도 일부는 척(110) 영역 밖에 있을 수 있다.
앞서 설명된 바와 같이, 대상물 거치부(120)가 이동하므로 대상물(10)이 척(110) 영역 밖에 위치할 수 있다. 복수의 대상물(10) 중 하나의 대상물(10)에 대하여 프로빙 작업이 이루어지는 경우, 척(110)을 통하여 상기 하나의 대상물(10) 전체 영역에 열이 가해져야 하므로 프로빙 작업이 이루어지는 대상물(10)은 척(110) 영역 안에 있을 수 있다.
반면에 프로빙 작업이 이루어지지 않은 대상물(10)의 적어도 일부는 대상물 거치부(120)의 이동에 따라 척(110) 영역 밖에 있을 수 있다.
복수의 대상물(10) 중 하나 및 다른 하나에 대한 프로빙이 이루어지는 동안 챔버 내부 공간은 진공 상태를 유지할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 프로빙 장치와 다르게 척(110) 상에 대상물(10)이 배치되어 프로빙 작업이 이루어지는 경우, 척(110) 상에 대상물(10)이 배치될 때마다 대상물(10)이 챔버 외부 공간에서 챔버 내부 공간으로 인입되어야 하므로 챔버 공간의 진공 상태가 유지되기 어려울 수 있다.
반면에 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 프로빙 장치의 경우, 대상물(10)이 밀봉재(170)가 도포된 대상물 거치부(120)에 배치된 후 대상물 거치부(120)가 챔버 외부 공간에서 챔버 내부 공간으로 인입되어 암(140)과 연결될 수 있다.
이후 프로빙 챔버는 진공 펌프(미도시)에 의해 진공 상태가 되므로 대상물 거치부(120)에 배치된 다수의 대상물(10) 전체에 대해 진공 상태에서 프로빙 작업이 가능하다.
이에 따라 진공 상태에서 다수의 대상물(10)의 온도특성을 측정하기 위한 프로빙 작업이 이루어질 수 있으므로 대상물(10)의 온도에 대한 특성 측정에 소요되는 시간이 줄어들 수 있고 상기 특성 측정 역시 정확하게 이루어질 수 있다.
한편, 대상물(10)에는 도선이나 전극 패드가 형성될 수 있으므로 대상물(10)이 대상물 거치부(120)와 접촉할 수 있다.
본 발명의 실시예와 다르게 대상물 거치부(120)의 표면이 금속성 물질로 이루어진 경우, 프로브(130)가 프로빙 신호를 공급하면 대상물 거치부(120)의 표면으로 프로빙 신호가 흐를 수 있으므로 프로빙 작업이 원활하게 이루어지지 않을 수 있다.
이를 방지하기 위하여 대상물 거치부(120)의 표면은 절연성 물질로 이루어질 수 있다.
한편, 대상물 거치부(120)의 표면은 황동, 구리 또는 알루미늄과 같은 금속성 물질로 이루어질 수 있다. 척(110)을 통하여 공급된 열은 대상물 거치부(120)를 통하여 대상물(10)에 전달되므로 대상물 거치부(120)의 열전도성이 우수해야 한다.
따라서 본 발명의 실시예에 따른 프로빙 장치의 대상물 거치부(120)의 표면은 우수한 열전도성을 지니는 전도성 물질로 으로 이루어질 수 있다.
이 경우 앞서 설명된 바와 같이 대상물 거치부(120)와 대상물(10)이 접촉하여 프로빙 작업이 원활하게 이루어지지 않을 수 있다. 따라서 도 7에 도시된 바와 같이, 절연부(180)가 대상물(10)과 대상물 거치부(120) 사이에 구비될 수 있다.
절연부(180)는 글라스와 같은 절연물로 이루어지나 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 열전도성이 우수한 다양한 절연물질로 이루어질 수 있다.
도 7에는 도시되어 있지 않으나 절연부(180)와 대상물 거치부(120) 사이에도 밀봉재(170)가 도포될 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
대상물(10)
척(110)
대상물 거치부(120)
프로브(probe)(130)
암(arm)(140)
체결부(150)
온도센서(160)
밀봉재(170)
절연부(180)

Claims (7)

  1. 척;
    상기 척 상에 배치되어 하나 이상의 대상물이 놓일 수 있는 대상물 거치부;
    챔버 내부 공간에 노출된 대상물에 접촉하여 프로빙 신호를 공급하는 프로브; 및
    상기 대상물 거치부에 연결되어 상기 프로브가 상기 대상물에 접촉가능하도록 상기 대상물 거치부를 움직이는 암
    을 포함하는 프로빙 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 대상물 거치부에 복수의 대상물이 놓인 경우,
    상기 암은
    상기 복수의 대상물 중 하나를 상기 프로브와 접촉가능하도록 상기 대상물 거치부를 이동시킨 후 다른 하나를 상기 프로브와 접촉가능하도록 상기 대상물 거치부를 이동시키는 것을 특징으로 하는 프로빙 챔버.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 프로브가 접촉하는 상기 하나의 대상물은 상기 척 영역 안에 있고,
    상기 프로브가 접촉하지 않은 상기 다른 하나의 대상물의 적어도 일부는 상기 척의 영역 밖에 있는 것을 특징으로 하는 프로빙 챔버.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 대상물 중 하나 및 다른 하나에 대한 프로빙이 이루어지는 동안 상기 챔버 내부 공간은 진공 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 프로빙 챔버.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 척은 상기 대상물 거치부를 통하여 상기 대상물로 열을 공급하고,
    상기 척과 상기 대상물 거치부 사이, 그리고 상기 대상물과 상기 대상물 거치부 사이에 밀봉재가 도포되어 있는 것을 특징으로 하는 프로빙 챔버.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 대상물이 밀봉재가 도포된 상기 대상물 거치부에 배치된 후 상기 대상물 거치부가 챔버 외부 공간에서 상기 챔버 내부 공간으로 인입되어 상기 암과 연결되는 것을 특징으로 하는 프로빙 챔버.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 대상물 거치부의 표면은 금속성 물질로 이루어지고,
    상기 대상물 거치부와 상기 대상물 사이에 절연부가 구비되는 것을 특징으로 하는 프로빙 챔버.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100655689B1 (ko) 2005-08-30 2006-12-08 삼성전자주식회사 프로브 방법, 프로브 방법에 사용되는 프로브 카드, 및프로브 카드를 이용해서 프로브 방법을 수행하기 위한프로브 장치

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