KR20160139272A - 멀티 모니터링 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 멀티 모니터링 장치가 개시된다. 본 발명의 멀티 모니터링 장치는, 유틸리티 공급 배관 및 공조 배관의 다수의 측정지점으로부터 분기된 다수의 분기관과 연결하기 위한 배관연결부; 배관연결부에 연결된 다수의 분기관이 분기된 유틸리티 공급 배관 및 공조 배관의 다수의 측정지점에서 관리항목에 대해 각각 감지하는 센서부; 외부 측정센서로부터 감지신호를 입력받기 위한 센서입력부; 센서부와 센서입력부로부터 입력된 감지신호와 기준값을 비교하고, 비교결과를 중앙서버로 출력하며 중앙서버로부터의 요구명령에 따라 요구결과를 제공하는 제어부; 제어부의 작동상태를 디스플레이하는 표시부; 및 제어부와 다른 제어부간 루프를 형성하고, 제어부와 중앙서버 간 데이터를 송수신하기 위한 통신부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

멀티 모니터링 장치{MULTI MONITORING APPARATUS}
본 발명은 멀티 모니터링 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 제조시설의 유틸리티 시스템 및 공조 시스템에서 관리되는 관리항목에 대해 통합적으로 모니터링하고, 모니터링 결과를 중앙서버로 전송하는 멀티 모니터링 장치에 관한 것이다.
반도체장치를 제조하는 방법은 미세한 기계가공을 이용하는 공정을 필요로 한다. 이러한 공정과 관련되어 반도체 제조시설로는 제조장비에 공급되는 각종 Gas, Water, Air N2, Ar, He 등의 유틸리티 시스템이 구비된다.
또한, 반도체 제조 공간 내에 존재하는 먼지는 반도체장치의 제조과정에서 반도체장치의 내부로 들어가 불량화 시킬 뿐만 아니라 온도나 습도의 변화는 반도제장치의 제조에 사용되는 재료에 미세한 휨 및 비틀림을 야기시켜 그 결과 반도체장치를 불량화 시킨다.
이러한 장치의 불량화율을 떨어뜨리기 위해 제조 공간 내에 존재하는 먼지량을 감소시킬 필요성이 있으며, 또한 제조 공간 내의 온도와 습도를 일정하게 유지시켜야 할 필요성이 있다.
이와 같이 반도체(Semi Conductor), 전자기기(Electronics), 정밀기계(Precision Machinery), 광학ㆍ인쇄(Optical Printing), 약품(Prarma-ceutical), 식품(Food processing), 축산품(Agriculture processing), 바이오하자드(Bio-Harzard)등을 생산하는 작업장과 수술실(An Operating Table Room)등의 청결을 요구하는 구역에서는 먼지 등이 그 품질에 막대한 영향을 미치므로 외부와 완전 밀폐된 크린룸(clean room)을 필요로 하고 있다.
이러한 크린룸에는 공기순환에 의해 내부 청정상태를 유지할 수 있도록 하는 공조 시스템이 설치되어 다수의 공조 배관을 통해 시설 내부에 공기를 공급한다.
따라서, 중앙서버에서는 유틸리티 시스템과 공조 시스템의 작동상태를 파악하기 위해 관리항목에 따라 유틸리티, 온도, 압력, 유량, 습도 및 유속 등을 모니터링한다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 제1999-0048107호(1999. 07. 05. 공개, 발명의 명칭 : 클린룸의 공조용 팬 필터 유니트 구동 상태 체크 시스템)에 개시되어 있다.
이와 같이 중앙서버에서 유틸리티 시스템과 공조 시스템의 작동상태를 파악하기 위해 제조시설 내에 설치된 모든 공급 배관 및 공조 배관으로부터 측정값을 입력받아 모니터링 할 경우, 중앙서버에서 모니터링하는 개수가 너무 많아 실질적인 관리가 이루어지지 않을 뿐만 아니라 유틸리티 공급 및 공조 관리가 이루어지지 않을 경우 환경관리가 원활이 이루어지지 않아 생산력이 저하되는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 제조시설의 유틸리티 시스템 및 공조 시스템에서 관리되는 관리항목에 대해 유틸리티 배관 및 공조 배관으로부터 분기된 분기관과 연결하여 감지하거나 다수의 배관에 설치된 센서로부터 감지신호를 입력받아 통합적으로 모니터링하고, 모니터링 결과를 중앙서버로 전송하는 멀티 모니터링 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 멀티 모니터링 장치는, 유틸리티 공급 배관 및 공조 배관의 다수의 측정지점으로부터 분기된 다수의 분기관과 연결하기 위한 배관연결부; 배관연결부에 연결된 다수의 분기관이 분기된 유틸리티 공급 배관 및 공조 배관의 다수의 측정지점에서 관리항목에 대해 각각 감지하는 센서부; 외부 측정센서로부터 감지신호를 입력받기 위한 센서입력부; 센서부와 센서입력부로부터 입력된 감지신호와 기준값을 비교하고, 비교결과를 중앙서버로 출력하며 중앙서버로부터의 요구명령에 따라 요구결과를 제공하는 제어부; 제어부의 작동상태를 디스플레이하는 표시부; 및 제어부와 다른 제어부간 루프를 형성하고, 제어부와 중앙서버 간 데이터를 송수신하기 위한 통신부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 표시부에는 디스플레이 화면을 통해 제어부의 작동을 조작하기 위한 터치입력부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 외부 측정센서는 유틸리티 공급 배관, 공조 배관 및 제조시설의 공간 중 어느 하나 이상에 설치되어 관리항목에 대해 감지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 배관연결부는 다수의 분기관을 각각 연결하기 위한 다수의 입력포트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 센서부는 다수의 입력포트에 각각 연결되어 관리항목에 대해 감지하는 다수의 내부 측정센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 다수의 내부 측정센서는 온도센서, 압력센서, 유량센서, 습도센서 및 유속센서 중 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 다수의 내부 측정센서의 출력단에 공통으로 연결된 배기관을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 제어부에서 공급상태 및 공조상태에 대해 각각 기준값과 비교한 결과 공급상태 및 공조상태가 기준값을 벗어난 경우 알람을 발생시키는 알람부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 멀티 모니터링 장치는 제조시설의 유틸리티 시스템 및 공조 시스템에서 관리되는 관리항목에 대해 유틸리티 배관 및 공조 배관으로부터 분기된 분기관과 연결하여 감지하거나 다수의 배관에 설치된 센서로부터 감지신호를 입력받아 통합적으로 모니터링하고, 모니터링 결과를 중앙서버로 전송함으로써 중앙서버에서 모니터링 하는 개수를 줄여 실질적인 제조시설에서 유틸리티의 공급 관리 및 공조 관리가 이루어질 수 있도록 하며 통합 모니터링을 통해 현장이나 다수의 분기관으로부터 중앙서버까지 포설해야 되는 개별적인 시그널 케이블의 포설을 줄여 포설비용을 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 모니터링 장치를 나타낸 블록구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 모니터링 장치의 외관사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 모니터링 장치의 디스플레이 화면을 나타낸 예시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 모니터링 장치를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 모니터링 장치를 나타낸 블록구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 모니터링 장치의 외관사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 모니터링 장치의 디스플레이 화면을 나타낸 예시도이다.
도 1내지 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 모니터링 장치는, 배관연결부(10), 센서부(20), 센서입력부(90), 제어부(30), 표시부(40) 및 통신부(60)를 비롯하여 터치입력부(50) 및 알람부(70)를 포함한다.
배관연결부(10)는 유틸리티 공급 배관(2)이나 공조 배관(2)의 다수의 측정지점으로부터 분기된 다수의 분기관(5_1~5_n)과 연결된다.
유틸리티 공급 배관(2)는 각종 Gas, Water, Air N2, Ar, He 등의 유틸리티를 공급하기 위한 배관이고, 공조 배관(2)은 제조 시설의 각종 배기관(열배기, 가연배기 산배기, 알카리배기 및 PFC 배기 등) 공기를 공급하는 공급관을 포함할 수 있다.
이때 배관연결부(10)에는 다수의 분기관(5_1~5_n)과 각각 연결하기 위한 다수의 입력포트(10_1~10_n)를 포함한다.
예를 들어, 다수의 입력포트(10_1~10_n)가 6개의 입력포트로 구성될 경우 통합 모니터링 장치(100)는 6개의 분기관과 연결되어 6개의 측정지점에 대해 공조상태를 통합적으로 측정할 수 있다.
센서부(20)는 배관연결부(10)에 연결된 다수의 분기관(5_1~5_n)이 분기된 다수의 측정지점에 대한 공급 상태 및 공조상태를 각각 감지한다.
센서부(20)는 공급 상태 및 공조상태를 측정하기 위해 다수의 입력포트(10_1~10_n)에 각각 연결된 다수의 내부 측정센서를 포함한다.
다수의 내부 측정센서는 온도센서, 압력센서, 유량센서, 습도센서 및 유속센서 중 적어도 어느 하나 이상을 포함하여 구성할 수 있다.
따라서, 공급 상태로는 각종 Gas, Water, Air N2, Ar, He 등의 압력을 측정할 수 있고, 공조상태로써 공조 배관의 측정지점에서 온도, 압력, 유량, 습도 및 유속 중 필요에 따라 어느 하나 이상을 측정할 수 있다.
일 실시예로써, 공조상태로써 압력을 측정하고자 할 경우 센서부(20)에 제1 압력센서 내지 제n 압력센서(20_1~20_n)를 채용할 수 있다.
따라서, 제1 내지 제n 입력포트(10_1~10_n)에 제1 내지 제n 분기관(5_1~5_n)을 통해 연결된 제1 내지 제n 측정지점(미도시)의 압력을 제1 내지 제n 압력센서(20_1~20_n)를 통해 측정할 수 있다.
그러나, 측정지점에 따라 압력 뿐만 아니라 온도나 유량 및 유속을 복합적으로 측정하고자 할 경우, 센서부(20)의 내부 측정센서로써 압력센서 뿐만 아니라 온도센서나 유량센서 및 유속센서를 복합적으로 채용할 수도 있다.
위에서 제1 압력센서 내지 제n 압력센서(20_1~20_n)의 출력단에는 공통으로 연결된 배기관(25)을 통해 제1 내지 제n 분기관(5_1~5_n)으로 유입된 공기를 대기 중으로 방출한다.
센서입력부(90)는 외부 측정센서로부터 감지신호를 입력받기 위한 포트를 제공한다.
예를 들어 유틸리티 공급 배관(2), 공조 배관(2) 및 제조시설의 공간 중 어느 하나 이상에 설치된 외부 측정센서(95)를 통해 관리항목에 대해 감지한 감지신호를 입력받기 위한 포트를 제공할 수 있다.
제어부(30)는 센서부(20)와 센서입력부(90)로부터 감지된 다수의 공급 상태 및 공조 상태를 입력받아 기준값과 비교한다.
기준값은 각 입력포트에 따라 개별적으로 설정되고, 제어부(30)는 내부 측정센서와 외부 측정센서를 통해 입력된 측정지점의 공급상태 및 공조상태에 대해 분기관의 길이에 대한 오차를 보상하여 기준값과 비교한다.
제어부(30)는 공급상태 및 공조상태와 기준값을 비교한 결과에 대해 중앙서버(80)로 출력하며, 중앙서버(80)로부터 요구명령을 입력받아 요구결과를 제공한다.
이때 제어부(30)는 통합 모니터링 장치(100)에 대해 각각 ID를 부여하여 중앙서버(80)로 비교결과를 출력함으로써 중앙서버(80)에서 다수의 통합 모니터링 장치(100)로부터 비교결과를 입력받더라도 해당 통합 모니터링 장치(100)를 구분할 수 있도록 한다.
표시부(40)는 도 2에 도시된 바와 같이 통합 모니터링 장치(100)의 전면에 설치되어 제어부(30)의 작동상태를 디스플레이 한다.
도 3에 도시된 바와 같이 입력포트별로 감지된 결과를 표시하고, 감지된 공조상태가 기준상태를 벗어난 경우 색상을 다르게 하여 표시하며, 알람이 발생한 입력포트를 표시할 수도 있다.
또한, 표시부(40)에는 디스플레이 화면을 통해 제어부(30)의 작동상태를 설정하기 위한 터치입력부(50)가 포함될 수 있다.
따라서, 제어부(30)는 터치입력부(50)를 통해 메뉴가 입력될 경우 입력포트별로 기준상태를 설정할 수 있도록 하거나, 알람이 발생된 로그를 검색할 수 있도록 하며, 페이지를 전환하면서 측정된 공조상태를 확인할 수 있도록 한다.
알람부(70)는 제어부(30)에서 기준상태와 비교한 결과 기준상태를 벗어날 경우 알람을 발생시켜 청각적으로도 곧바로 인식할 수 있도록 한다.
통신부(60)는 제어부(30)와 다른 제어부(30)간 루프를 형성하고, 제어부(30)와 중앙서버(80)간 데이터를 송수신할 수 있도록 인터페이스를 제공한다.
통신부(60)는 RS232, RS485 및 TCP/IP 중 하나 이상의 통신방식을 제공하여 다양한 통신방식에 대응할 수 있도록 한다.
예들 들어, 다수의 통합 모니터링 장치(100)들과 통신부(60)를 통해 루프를 형성하한 후 중앙서버(80)와 연결함으로써 중앙서버(80)에서는 하나의 포트를 통해 다수의 통합 모니터링 장치(100)를 일괄적으로 관리하도록 할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 멀티 모니터링 장치에 따르면, 제조시설의 유틸리티 시스템 및 공조 시스템에서 관리되는 관리항목에 대해 유틸리티 배관 및 공조 배관으로부터 분기된 분기관과 연결하여 감지하거나 다수의 배관에 설치된 센서로부터 감지신호를 입력받아 통합적으로 모니터링하고, 모니터링 결과를 중앙서버로 전송한다.
따라서, 중앙서버에서 모니터링 하는 개수를 줄여 실질적으로 제조시설에 대한 공급 관리 및 공조 관리가 이루어질 수 있도록 하며, 통합 모니터링을 통해 다수의 분기관으로부터 중앙서버까지 포설해야되는 개별적인 시그널 케이블의 포설을 줄여 포설비용을 절감할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
2 : 배관 5_1~5_n : 제1 내지 제n 분기관
10 : 배관연결부 10_1~10_n : 제1 내지 제n 입력포트
20 : 센서부 20_1~20_n : 제1 내지 제n 압력센서
25 : 배기관 30 : 제어부
40 : 표시부 50 : 터치입력부
60 : 통신부 70 : 알람부
80 : 중앙서버 90 : 센서입력부
95 : 외부 측정센서 100 : 멀티 모니터링 장치

Claims (8)

  1. 유틸리티 공급 배관 및 공조 배관의 다수의 측정지점으로부터 분기된 다수의 분기관과 연결하기 위한 배관연결부;
    배관연결부에 연결된 다수의 분기관이 분기된 유틸리티 공급 배관 및 공조 배관의 다수의 측정지점에서 관리항목에 대해 각각 감지하는 센서부;
    외부 측정센서로부터 감지신호를 입력받기 위한 센서입력부;
    센서부와 센서입력부로부터 입력된 감지신호와 기준값을 비교하고, 비교결과를 중앙서버로 출력하며 중앙서버로부터의 요구명령에 따라 요구결과를 제공하는 제어부;
    제어부의 작동상태를 디스플레이하는 표시부; 및
    제어부와 다른 제어부간 루프를 형성하고, 제어부와 중앙서버 간 데이터를 송수신하기 위한 통신부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 모니터링 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 표시부에는 디스플레이 화면을 통해 상기 제어부의 작동을 조작하기 위한 터치입력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 모니터링 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 외부 측정센서는 상기 유틸리티 공급 배관, 상기 공조 배관 및 제조시설의 공간 중 어느 하나 이상에 설치되어 상기 관리항목에 대해 감지하는 것을 특징으로 하는 멀티 모니터링 장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 배관연결부는 상기 다수의 분기관을 각각 연결하기 위한 다수의 입력포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 모니터링 장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 센서부는 상기 다수의 입력포트에 각각 연결되어 상기 관리항목에 대해 감지하는 다수의 내부 측정센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 모니터링 장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 다수의 내부 측정센서는 온도센서, 압력센서, 유량센서, 습도센서 및 유속센서 중 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 모니터링 장치.
  7. 제 5항에 있어서, 상기 다수의 내부 측정센서의 출력단에 공통으로 연결된 배기관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 모니터링 장치.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 제어부에서 상기 공급상태 및 상기 공조상태에 대해 각각 상기 기준값과 비교한 결과 상기 공급 상태 및 상기 공조상태가 상기 기준값을 벗어난 경우 알람을 발생시키는 알람부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 모니터링 장치.
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