KR20160126257A - Magnetic fileld sensing device and magnetic fileld sensing apparatus - Google Patents

Magnetic fileld sensing device and magnetic fileld sensing apparatus Download PDF

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KR20160126257A
KR20160126257A KR1020150057119A KR20150057119A KR20160126257A KR 20160126257 A KR20160126257 A KR 20160126257A KR 1020150057119 A KR1020150057119 A KR 1020150057119A KR 20150057119 A KR20150057119 A KR 20150057119A KR 20160126257 A KR20160126257 A KR 20160126257A
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magnetic field
stress
detecting element
magnetostrictive
voltage
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KR1020150057119A
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Korean (ko)
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신란희
김대호
박은태
김종운
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삼성전기주식회사
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    • H01L41/1132—
    • H01L41/094—
    • H01L41/113—

Abstract

According to an embodiment of the present invention, a magnetic field detection device comprises: a magnetostrictive unit which has magnetic momentum aligned in one direction according to stress and vibrates according to an external magnetic field; and a piezo driving unit which is stacked on the magnetostrictive unit and vibrates according to the vibration of the magnetostrictive unit to output a detection voltage, wherein the piezo driving unit outputs the detection voltage corresponding to each of external magnetic fields in different directions by changing the stress or outputs the detection voltage corresponding to an external magnetic field by including a stress application layer applying stress to the magnetostrictive unit. In addition, according to an embodiment of the present invention, a magnetic field detection apparatus comprises: the magnetic field detection device; an AC magnetic filed application unit which includes at least two coils disposed on at least both sides of both sides in a lengthwise direction of the magnetic field detection device and both sides in a widthwise direction thereof and applying an AC magnetic filed to the magnetic field detection device; and a control unit which detects a size of a DC magnetic field applied to the magnetic field detection device based on a voltage level varied the AC magnetic field of the detection voltage from the magnetostrictive unit of the magnetic field detection device.

Description

자기장 검출 소자 및 자기장 검출 장치{MAGNETIC FILELD SENSING DEVICE AND MAGNETIC FILELD SENSING APPARATUS}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a magnetic field detection device and a magnetic field detection device,

본 발명은 자기장을 검출하는 자기장 검출 소자 및 자기장 검출 장치에 관한 것이다.
Field of the Invention [0002] The present invention relates to a magnetic field detecting element and a magnetic field detecting device for detecting a magnetic field.

최근 들어, 모바일 디바이스의 활용 범위가 넓어지면서, 소형의 저전력을 사용하고, 정밀도가 높은 전자 나침판의 수요가 나날이 증가하고 있다.In recent years, as the range of application of mobile devices has widened, the demand for compact, low-power, high-precision electronic compass has been increasing day by day.

상술한 전자 나침판에는 자기장을 검출하기 위해, 자기 저항(Magneto－Resistive;MR) 효과 센서, 플럭스 게이트 센서, 홀 센서 등과 같이 다양한 작동 원리를 갖는 자기장 검출 센서가 채용될 수 있는데, 하기의 선행 기술 문헌에 기재된 바와 같이 이러한 자기장 검출 센서 중 압전-자왜 구조의 자기장 센서의 사용이 증가하고 있다.A magnetic field detection sensor having various operating principles such as a magnetoresistive (MR) effect sensor, a flux gate sensor, a Hall sensor, and the like may be employed in the electronic compass described above, The use of a magnetic field sensor of a piezoelectric-magnetostrictive structure among these magnetic field detection sensors is increasing.

그러나, 압전-자왜 구조의 자기장 센서는 변화가 매우 느린 자기장 또는 직류 자기장을 검출하기는 어려운 문제점이 있다.
However, the magnetic field sensor of the piezoelectric-magnetostrictive structure has a problem that it is difficult to detect a magnetic field or a DC magnetic field which is very slow to change.

미국공개특허공보 제2008/0211491호U.S. Published Patent Application No. 2008/0211491 미국공개특허공부 제2004/0126620호U.S. Published Patent Application No. 2004/0126620

본 발명의 일 실시예에 따르면, 자기 검출 민감도가 높은 자기장 검출 소자와, 직류 자기장을 검출할 수 있는 자기장 검출 장치가 제공된다.
According to an embodiment of the present invention, there is provided a magnetic field detection device having a high magnetic detection sensitivity and a magnetic field detection device capable of detecting a DC magnetic field.

상술한 본 발명의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일실시예에 따른 자기장 검출 소자는 응력에 따라 일 방향으로 정렬되는 자기 모멘텀을 가지며, 외부 자기장에 따라 진동하는 자왜부; 및 상기 자왜부에 적층되고, 상기 자왜부의 진동에 따라 진동하여 검출 전압을 출력하는 압전 구동부를 포함하여, 상기 압전 구동부는 상기 응력을 가변하여 서로 다른 방향의 외부 자기장에 대응하는 상기 검출 전압을 출력하거나, 상기 자왜부에 응력을 인가하는 응력 인가층을 포함하여 외부 자기장에 대응하는 상기 검출 전압을 출력할 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a magnetic field detecting device comprising: a magnetizing part having magnetic momentum aligned in one direction according to a stress and vibrating according to an external magnetic field; And a piezoelectric driver which is laminated on the magnetostrictive portion and vibrates according to the vibration of the magnetostrictive portion to output a detection voltage, wherein the piezoelectric driver varies the stress and outputs the detection voltage corresponding to an external magnetic field in different directions Or a stress applying layer for applying a stress to the self-aligning portion to output the detection voltage corresponding to the external magnetic field.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 자기장 검출 장치는 상술한 자기장 검출 소자와 상기 자기장 검출 소자의 길이 방향의 양측 또는 폭 방향의 양측 중 적어도 하나의 양측에 각각 배치되어 상기 자기장 검출 소자에 교류 자기장을 인가하는 적어도 둘의 코일을 갖는 교류 자기장 인가부; 및 상기 자기장 검출 소자의 압전 구동부로부터의 검출 전압 중 상기 교류 자기장에 의해 가변되는 전압 레벨에 기초하여 상기 자기장 검출 소자에 인가되는 직류 자기장의 크기를 검출하는 제어부를 포함할 수 있다.
The magnetic field detection device according to an embodiment of the present invention may be arranged on both sides of at least one of both sides of the longitudinal direction of the magnetic field detection element and the both sides in the width direction of the magnetic field detection element, An AC magnetic field applying unit having at least two coils for applying a magnetic field; And a controller for detecting a magnitude of a direct current magnetic field applied to the magnetic field detecting element based on a voltage level of the detected voltage from the piezoelectric driver of the magnetic field detecting element that is varied by the alternating magnetic field.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 자기 검출 민감도를 높일 수 있고, 하나의 자기장 검출 소자에서 X축과 Y축 방향의 자기장을 검출할 수 있으며, 직류 자기장을 검출할 수 있는 효과가 있다.
According to the embodiment of the present invention, it is possible to increase the sensitivity of magnetism detection, detect a magnetic field in the X axis direction and the Y axis direction in one magnetic field detecting element, and detect the DC magnetic field.

도 1a은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 개략적인 사시도이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 aa'방향 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 장착 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 응력에 따라 변경되는 외형을 나타내는 사시도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 응력에 따라 자왜층의 자기 모멘트의 정렬을 나타내는 상면도이다.
도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치의 개략적인 상면도이고, 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치의 일부분을 확대한 사시도이다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치에서 직류 자기장이 인가되지 않은 경우에 자기장 검출 소자에 인가되는 자기장 및 이에 따른 압전체의 출력 전압을 나타내는 그래프이고, 도 7b는 도 7a의 경우의 자기장 검출 소자의 진동을 나타내는 도면이며, 도 7c는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치에서 직류 자기장이 인가되는 경우에 자기장 검출 소자에 인가되는 자기장 및 이에 따른 압전체의 출력 전압을 나타내는 그래프이고, 도 7d는 도 7c의 경우의 자기장 검출 소자의 진동을 나타내는 도면이다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치의 개략적인 상면도이다.1A is a schematic perspective view of a magnetic field detecting element according to an embodiment of the present invention.
FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line aa 'of the magnetic field detecting element according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 1A.
2 is a cross-sectional view of a magnetic field detecting element according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view schematically showing a mounting structure of a magnetic field detecting element according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 4A and 4B are perspective views illustrating an outer shape of a magnetic field detecting element according to an embodiment of the present invention, which is changed according to a stress.
5A and 5B are top views showing the alignment of the magnetic moments of the magnetostrictive layer according to the stress of the magnetic field detecting element according to the embodiment of the present invention.
FIG. 6A is a schematic top view of a magnetic field detection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6B is an enlarged perspective view of a portion of a magnetic field detection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7A is a graph showing a magnetic field applied to a magnetic field detecting element when a DC magnetic field is not applied in the magnetic field detecting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7B is a graph showing an output voltage of the piezoelectric body. 7C is a graph showing the magnetic field applied to the magnetic field detecting element and the output voltage of the piezoelectric body when the DC magnetic field is applied in the magnetic field detecting device according to another embodiment of the present invention. And FIG. 7D is a view showing the vibration of the magnetic field detecting element in the case of FIG. 7C.
8A and 8B are schematic top views of a magnetic field detecting apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in order that those skilled in the art can easily carry out the present invention.

도 1a은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 개략적인 사시도이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 aa'방향 단면도이다. FIG. 1A is a schematic perspective view of a magnetic field detecting element according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a sectional view in aa 'direction of a magnetic field detecting element according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 1A.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자(100)는 자왜부(110)와 압전 구동부(120)를 포함할 수 있다.1A and 1B, a magnetic field sensing element 100 according to an embodiment of the present invention may include a magnetostrictive portion 110 and a piezoelectric driving portion 120. FIG.

자왜부(110)와 압전 구동부(120)는 적층될 수 있다.The Z-axis portion 110 and the piezoelectric driving portion 120 may be stacked.

도시된 바와 같이, 자왜부(110)의 하부에 압전 구동부(120)가 적층될 수 있으며, 압전 구동부(120)의 하부에 자왜부(110)가 적층될 수도 있고, 도시되지 않았지만, 별도의 자왜부가 더 구비되어 압전 구동부(120)의 상부 및 하부에 적층될 수도 있다.As shown in the figure, the piezoelectric driving part 120 may be laminated on the lower part of the magnetizing part 110 and the magnetizing part 110 may be laminated on the lower part of the piezoelectric driving part 120. Although not shown, And may be stacked on the upper and lower portions of the piezoelectric driver 120.

압전 구동부(120)의 하부에는 응력 인가층이 적층될 수 있다. 상기 응력 인가층은 멤브레인(membrane)(130)일 수 있다.A stress applying layer may be laminated on the lower portion of the piezoelectric driver 120. The stress applying layer may be a membrane 130.

예를 들어, 멤브레인(130)은 절연층 또는 표면이 절연 처리된 도체나 반도체가 사용될 수 있고, 실리카(SiO2), 질화 규소(SiN), 실리콘(SiO2/Si) 등의 물질로 이루어질 수 있다.
For example, the membrane 130 may be an insulating layer or a conductor or a semiconductor whose surface has been insulated, and may be made of a material such as silica (SiO 2 ), silicon nitride (SiN), silicon (SiO 2 / Si) have.

자왜부(110)는 외부에 자기장이 발생되면 수축 또는 팽창하고, 이에 따라 압전 구동부(120)의 압전체(121)가 수축 또는 팽창하여 압전체(121)의 상부 및 하부에 적층된 상부 전극(122)와 하부 전극(123)에서 발생되는 전위차의 크기에 따라 외부 자기장의 크기를 알아낼 수 있다. 전위차의 크기는 전압 또는 주파수로 환산되어 외부 자기장의 크기를 알아낼 수도 있다.The piezoelectric element 121 of the piezoelectric driving part 120 is contracted or expanded to form the upper electrode 122 stacked on the upper and lower sides of the piezoelectric body 121, The magnitude of the external magnetic field can be determined according to the magnitude of the potential difference generated in the lower electrode 123 and the lower electrode 123. The magnitude of the potential difference may be converted to voltage or frequency to determine the magnitude of the external magnetic field.

제어부(A)는 압전 구동부(120)의 상부 전극(122) 및 하부 전극(123)으로부터의 검출 전압을 입력받아 상부 전극(122)으로부터 입력받은 전압과 하부 전극(123)으로부터 입력받은 전압 간의 전압 차에 따라 외부 자기장의 크기를 검출할 수 있다.The control unit A receives a detection voltage from the upper electrode 122 and the lower electrode 123 of the piezoelectric driving unit 120 and receives a voltage between the voltage input from the upper electrode 122 and the voltage input from the lower electrode 123 The magnitude of the external magnetic field can be detected according to the difference.

한편, 제어부(A)는 상부 전극(122) 및 하부 전극(123)에 전압을 인가하여 자왜부(110)에 응력을 인가할 수도 있다. 이에 관해서는, 도 4a 및 도 4b에 관한 설명에서 상세히 설명하도록 한다.The controller A may apply a voltage to the upper electrode 122 and the lower electrode 123 to apply a stress to the jaggy part 110. [ This will be described in detail with reference to Figs. 4A and 4B.

자왜부(110)의 상부에는 보호층(150)이 적층될 수 있고, 상부 전극(122)과 자왜부(110) 사이에는 절연층(140)이 적층될 수 있다.
A protective layer 150 may be stacked on the upper dielectric layer 110 and an insulating layer 140 may be stacked between the upper electrode 122 and the dielectric layer 110. [

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 단면도이다. 2 is a cross-sectional view of a magnetic field detecting element according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자(200)는 도 1a 및 도 1b의 자기장 검출 소자에 대비하면, 자왜부(210), 상부 전극(222), 하부 전극(223) 및 압전체(221)를 갖는 압전 구동부(220), 멤브레인(230), 절연층(140) 및 보호층(250)에 더하여, 버퍼층(260)을 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the magnetic field detecting element 200 according to an embodiment of the present invention includes the magnetizing portion 210, the upper electrode 222, the lower electrode 223 The buffer layer 260 may be further included in addition to the piezoelectric driver 220 having the piezoelectric layer 221 and the piezoelectric layer 221, the insulating layer 140, and the protective layer 250.

상기 응력 인가층은 멤브레인(230)에 더하여 버퍼층(260)을 포함할 수 있다.The stress applying layer may include a buffer layer 260 in addition to the membrane 230.

버퍼층(260) 또한 자왜부(210)에 응력을 인가할 수 있다.The buffer layer 260 may also apply stress to the jaggy portion 210.

예를 들어, 버퍼층(260)은 절연층 또는 표면이 절연 처리된 도체나 반도체가 사용될 수 있고, 실리카(SiO2), 질화 규소(SiN), 실리콘(SiO2/Si) 등의 물질로 이루어질 수 있다.
For example, the buffer layer 260 may be an insulating layer or a conductor or a semiconductor whose surface is insulated, and may be made of a material such as silica (SiO 2 ), silicon nitride (SiN), silicon (SiO 2 / Si) have.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 장착 구조를 개략적으로 나타내는 사시도이다.3 is a perspective view schematically showing a mounting structure of a magnetic field detecting element according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자(300)는 일단이 지지부(370)에 고정되는 캔틸레버(cantilever) 형태로 장착될 수 있다.
As shown in FIG. 3, the magnetic field detecting element 300 according to an embodiment of the present invention may be mounted in a cantilever shape having one end fixed to the supporting portion 370.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 응력에 따라 변경되는 외형을 나타내는 사시도이다.FIGS. 4A and 4B are perspective views illustrating an outer shape of a magnetic field detecting element according to an embodiment of the present invention, which is changed according to a stress.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자의 응력에 따라 자왜층의 자기 모멘트의 정렬을 나타내는 상면도이다.
5A and 5B are top views showing the alignment of the magnetic moments of the magnetostrictive layer according to the stress of the magnetic field detecting element according to the embodiment of the present invention.

도 4a의 식별부호 i)과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자(500)의 상부 전극과 하부 전극에 양의 전압(+V)을 인가하여 자왜부에 압축 응력(compressive stress)을 가할 수 있고, 식별부호 ii)와 같이 멤브레인 또는 버퍼층은 잔여 응력을 이용하여 자왜부에 압축 응력을 인가할 수 있다.A positive voltage (+ V) is applied to the upper electrode and the lower electrode of the magnetic field sensing element 500 according to an embodiment of the present invention to provide a compressive stress to the magnetizing portion, And the membrane or buffer layer can apply compressive stress to the jagged portion using residual stress as in the case of the reference numeral ii).

예를 들어, 자왜부의 자왜 상수가 양수인 물질로 이루어진 경우, 자왜부(610)에 압축 응력이 인가되면 외부 자기장이 인가되지 않을 때에는 도 5a의 식별부호 i)에 도시된 화살표 방향과 같이 자기장 검출 소자의 폭 방향으로 자기 모멘트가 정렬하게 된다.For example, in the case where the magnetostrictive portion of the magnetostrictive portion is made of a positive material, when compressive stress is applied to the magnetostrictive portion 610, when the external magnetic field is not applied, as shown by the arrow i in FIG. The magnetic moments are aligned in the direction of the width of the magnet.

이때, 도 5a의 식별부호 ii)에 도시된 바와 같이, 외부에서 화살표 방향(X축 방향)으로 자기장이 인가되면, 폭방향으로 정렬된 자기 모멘트들이 자기장 검출 소자의 길이 방향으로 돌아가면서 자왜부(610)는 수축 또는 팽창되어 형상이 변경되며, 압전체 또한 자왜부의 수축 또는 팽창에 따라 수축 또는 팽창하여 상부 전극 및 하부 전극으로부터 인가되는 전압에 의해 X축 방향의 외부 자기장의 크기를 검출할 수 있다. 또한, 자왜부에 인가되는 응력에 의해 자기 모멘트를 일방향으로 정렬하여 자기장의 검출 민감도를 증가시킬 수 있다.
At this time, when a magnetic field is applied in the arrow direction (X-axis direction) from the outside as shown by the reference numeral ii) in FIG. 5A, magnetic moments aligned in the width direction return to the longitudinal direction of the magnetic field detecting element, 610 may contract or expand to change its shape and the piezoelectric body may shrink or expand due to contraction or expansion of the magnetostrictive portion to detect the magnitude of the external magnetic field in the X axis direction by the voltage applied from the upper electrode and the lower electrode. In addition, the magnetic moments can be aligned in one direction by the stress applied to the magnetizing portion to increase the detection sensitivity of the magnetic field.

도 4b의 식별부호 i)과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 소자(500)의 상부 전극과 하부 전극에 음의 전압(-V)을 인가하여 자왜부에 인장 응력(tensile stress)을 가할 수 있고, 식별부호 ii)와 같이 멤브레인 또는 버퍼층는 잔여 응력을 이용하여 자왜부에 인장 응력을 인가할 수 있다.A negative voltage (-V) is applied to the upper electrode and the lower electrode of the magnetic field sensing element 500 according to an embodiment of the present invention as shown in the reference numeral i in FIG. 4B, thereby applying tensile stress to the magnetizing portion. And the tensile stress can be applied to the jagged portion by using the residual stress of the membrane or the buffer layer as shown by the reference numeral ii).

예를 들어, 자왜부의 자왜 상수가 양수인 물질로 이루어진 경우, 자왜부(610)에 인장 응력이 인가되면 외부 자기장이 인가되지 않을 때에는 도 5b의 식별부호 i)에 도시된 화살표 방향과 같이 자기장 검출 소자의 길이 방향으로 자기 모멘트가 정렬하게 된다.For example, in the case where the magnetostrictive portion of the magnetostrictive portion is made of a material having a positive number, when tensile stress is applied to the magnetizing portion 610, when the external magnetic field is not applied, The magnetic moments are aligned in the longitudinal direction of the magnet.

이때, 도 5b의 식별부호 ii)에 도시된 바와 같이, 외부에서 화살표 방향(Y축 방향)으로 자기장이 인가되면, 길이 방향으로 정렬된 자기 모멘트들이 자기장 검출 소자의 폭 방향으로 돌아가면서 자왜부(610)는 수축 또는 팽창되어 형상이 변경되며, 압전체 또한 자왜부의 수축 또는 팽창에 따라 수축 또는 팽창하여 상부 전극 및 하부 전극으로부터 인가되는 전압에 의해 Y축 방향의 외부 자기장의 크기를 검출할 수 있다. 또한, 자왜부에 인가되는 응력에 의해 자기 모멘트를 일방향으로 정렬하여 자기장의 검출 민감도를 증가시킬 수 있다.When the magnetic field is applied from the outside in the direction of the arrow (Y-axis direction), the magnetic moments aligned in the longitudinal direction turn in the width direction of the magnetic field detecting element, 610 may be deformed by contraction or expansion to change the shape of the piezoelectric body, and the magnitude of the external magnetic field in the Y-axis direction may be detected by the voltage applied from the upper electrode and the lower electrode due to contraction or expansion of the piezoelectric body. In addition, the magnetic moments can be aligned in one direction by the stress applied to the magnetizing portion to increase the detection sensitivity of the magnetic field.

자왜 상수가 양수인 물질로는 Co계열의 물질을 예로 들 수 있으며, 자왜 상수가 음수인 물질로는 Ni계열의 물질을 예로 들 수 있다.Examples of the material having a positive magnetostriction constant include a Co-based material. Examples of the material having a negative magnetostriction constant include a Ni-based material.

만일, 자왜부의 자왜 상수가 음수인 물질로 이루어지는 경우에는 상술한 설명과 반대로, 자왜부에 압축 응력이 인가되면 길이 방향으로 자기 모멘트가 정렬되어 Y축 방향의 외부 자기장을 검출할 수 있고, 인장 응력이 인가되면 폭 방향으로 자기 모멘트가 정렬되어 X축 방향의 외부 자기장을 검출할 수 있다.
If compressive stress is applied to the magnetizing portion, magnetic moments are aligned in the longitudinal direction to detect an external magnetic field in the Y-axis direction, and tensile stress The magnetic moments are aligned in the width direction and an external magnetic field in the X-axis direction can be detected.

자왜부에 인가되는 응력이 가변됨에 따라 검출하고자 하는 외부 자기장의 방향이 가변될 수 있다.The direction of the external magnetic field to be detected can be varied as the stress applied to the magnetizing part is varied.

즉, 압전 구동부의 상부 전극 및 하부 전극에 인가되는 전압의 극성을 가변하거나 또는 멤브레인, 버퍼층에 의해 자왜부에 가해지는 응력을 가변하면, 자기 모멘트의 정렬 방향이 가변되어 X축 방향 또는 Y축 방향의 자기장 검출 민감도가 증가하여 X축 방향 또는 Y축 방향의 외부 자기장을 검출할 수 있다.That is, when the polarity of the voltage applied to the upper electrode and the lower electrode of the piezoelectric driving unit is varied, or the stress applied to the magnetostrictive portion is varied by the membrane and the buffer layer, the alignment direction of the magnetic moment is varied, The external magnetic field in the X-axis direction or the Y-axis direction can be detected.

더하여, 시분할 방식으로 응력을 가변하는 경우 하나의 자기장 검출 소자로 X축 방향의 외부 자기장과 Y축 방향의 외부 자기장을 검출할 수 있다.
In addition, when the stress is varied in the time division manner, one magnetic field detecting element can detect the external magnetic field in the X-axis direction and the external magnetic field in the Y-axis direction.

도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치의 개략적인 상면도이고, 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치의 일부분을 확대한 사시도이다.FIG. 6A is a schematic top view of a magnetic field detection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6B is an enlarged perspective view of a portion of a magnetic field detection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치(1000)는 기판(1100)의 일면에 자기장 검출 소자(800)이 장착될 수 있다.6A and 6B, the magnetic field detecting apparatus 1000 according to an embodiment of the present invention may be mounted with a magnetic field detecting element 800 on one surface of a substrate 1100. [

자기장 검출 소자(800)는 캔틸레버 형태로 장착될 수 있다.The magnetic field detecting element 800 may be mounted in the form of a cantilever.

한편, 자기장 검출 소자(800)의 길이 방향의 양측에 적어도 둘의 코일(1200,1300)이 각각 배치될 수 있으며, 제어부(B)는 적어도 둘의 코일(1200,1300)에 교류를 인가하여 교류 자기장을 자기장 검출 소자(800)에 인가할 수 있다. 코일은 도시된 바와 같이 스파이럴(spiral) 형태로 구현될 수도 있으나, 민더라인 등 다양한 형태로 구현될 수 있다. On the other hand, at least two coils 1200 and 1300 can be disposed on both sides of the magnetic field detecting element 800 in the longitudinal direction, and the control unit B applies AC to at least two coils 1200 and 1300, The magnetic field can be applied to the magnetic field detecting element 800. [ The coil may be implemented in a spiral form as shown, but may be implemented in various forms such as a magnetic flux.

도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 자기장 검출 소자(800)의 길이 방향의 양측에 배치된 적어도 둘의 코일(1200,1300)에 교류를 인가하면 교류 자기장이 자기장 검출 소자(800)의 길이 방향으로 인가될 수 있다.
6A and 6B, when alternating current is applied to at least two coils 1200 and 1300 disposed on both sides in the longitudinal direction of the magnetic field detecting element 800, the alternating magnetic field is applied to the length of the magnetic field detecting element 800 Lt; / RTI >

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치의 개략적인 상면도이다.8A and 8B are schematic top views of a magnetic field detecting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 8a에 도시된 바와 같이, 자기장 검출 소자(800)의 폭 방향의 양측에 적어도 둘의 코일(2200,2300)이 배치되어, 적어도 둘의 코일(2200,2300)에 교류를 인가하면 교류 자기장이 자기장 검출 소자(800)의 폭 방향으로 인가될 수 있다. As shown in FIG. 8A, when at least two coils 2200 and 2300 are disposed on both sides in the width direction of the magnetic field detecting element 800 so that an alternating current is applied to at least two coils 2200 and 2300, And may be applied in the width direction of the magnetic field detecting element 800. [

도 8b에 도시된 바와 같이, 코일(2200,2300,2400,2500)은 자기장 검출 소자(800)의 길이 방향 및 폭 방향의 양측에 각각 배치될 수 있고, 길이 방향 및 폭 방향으로 교류 자기장을 인가할 수 있다.
As shown in FIG. 8B, the coils 2200, 2300, 2400, and 2500 may be disposed on both sides in the longitudinal direction and the width direction of the magnetic field detecting element 800, and alternating magnetic fields can do.

자기장 검출 소자(800)는 인가된 교류 자기장에 의해 진동할 수 있다.The magnetic field detecting element 800 can be vibrated by the applied alternating magnetic field.

도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치에서 직류 자기장이 인가되지 않은 경우에 자기장 검출 소자에 인가되는 자기장 및 이에 따른 압전체의 출력 전압을 나타내는 그래프이고, 도 7b는 도 7a의 경우의 자기장 검출 소자의 진동을 나타내는 도면이며, 도 7c는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치에서 직류 자기장이 인가되는 경우에 자기장 검출 소자에 인가되는 자기장 및 이에 따른 압전체의 출력 전압을 나타내는 그래프이고, 도 7d는 도 7c의 경우의 자기장 검출 소자의 진동을 나타내는 도면이다.
FIG. 7A is a graph showing a magnetic field applied to a magnetic field detecting element when a DC magnetic field is not applied in the magnetic field detecting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7B is a graph showing an output voltage of the piezoelectric body. 7C is a graph showing the magnetic field applied to the magnetic field detecting element and the output voltage of the piezoelectric body when the DC magnetic field is applied in the magnetic field detecting device according to another embodiment of the present invention. And FIG. 7D is a view showing the vibration of the magnetic field detecting element in the case of FIG. 7C.

먼저, 도 7a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자기장 검출 장치에서 직류 자기장이 인가되지 않은 경우, 교류 자기장(Hac)이 발생하면 자기장 검출 소자의 출력 전압이 선형적으로 변환하는 자기장 범위(-Hmax~+Hmax) 내에서, 주파수 Fd를 갖는 구동 자기장이 자기장 검출 소자에 인가될 수 있다. 상기 출력 전압은 압전 구동부의 상부 전극 및 하부 전극으로부터의 전압일 수 있다. 이에 따라, 자기장 검출 소자는 도 7b에 도시된 바와 같이, 2Fd의 주파수와 A0의 진폭으로 발진하면서 출력 전압을 출력할 수 있다.
Referring to FIG. 7A, when a DC magnetic field is not applied in a magnetic field detecting apparatus according to an embodiment of the present invention, when an AC magnetic field H ac is generated, a magnetic field range (-Hmax ~ + Hmax) having a driving magnetic field in the frequency F d can be applied to the magnetic-field detecting element. The output voltage may be a voltage from the upper electrode and the lower electrode of the piezoelectric driver. Accordingly, the magnetic field detecting element can output the output voltage while oscillating with the frequency of 2F d and the amplitude of A 0 , as shown in Fig. 7B.

이에 반하여, 외부 자기장인 직류 자기장(Hdc)이 더해지는 경우 도 7c에 도시된 그래프와 같이, 자기장 검출 소자에 인가되는 구동 자기장은 직류 자기장(Hdc)을 중심으로 발진하게 된다. 그래프에 도시된 자왜 크기에 따라 도 7d와 같이 자기장 검출 소자의 자왜부가 수축 및 팽창하게 되고, 이에 의해 자기장 검출 소자의 출력 전압은 구동 자기장의 주파수와 동일한 주파수(Fd)와 직류 자기장(Hdc) 및 교류 자기장((Hac)의 진동폭(A1)으로 발진할 수 있다.On the other hand, when a DC magnetic field H dc is added as an external magnetic field, the driving magnetic field applied to the magnetic field detecting element oscillates around the DC magnetic field H dc , as shown in the graph of FIG. The magnetostrictive portion of the magnetic field detecting element is contracted and expanded as shown in FIG. 7D according to the magnetostrictive magnitude shown in the graph, whereby the output voltage of the magnetic field detecting element becomes equal to the frequency F d and the DC magnetic field H dc ) And the oscillation width (A 1 ) of the alternating magnetic field (H ac ).

즉, 기존에 인가되던 교류 자기장에 더하여 자기장 검출 소자의 진동 폭이 증가하게 되며, 증가된 진동폭은 압전 구동부의 상부 전극 및 하부 전극으로부터의 출력 전압으로 나타나게 된다. 출력 전압의 크기는 진동폭과 비례한다. That is, the oscillation width of the magnetic field detection element increases in addition to the AC magnetic field applied in the past, and the increased oscillation width appears as the output voltage from the upper electrode and the lower electrode of the piezoelectric driver. The magnitude of the output voltage is proportional to the oscillation width.

도 7c에 도시된 바와 같이, 자기장 검출 소자의 출력 전압이 선형적으로 변환하는 자기장 범위(-Hmax~+Hmax) 내(구동 영역)에서, 출력 전압의 진폭이 선형적으로 변화하여 센서의 검출 민감도가 증가할 수 있다.The amplitude of the output voltage linearly changes in a magnetic field range (-Hmax to + Hmax) in which the output voltage of the magnetic field detecting element linearly changes (drive region), as shown in Fig. 7C, Can be increased.

이에 따라, 제어부(B)는 압전 구동부의 상부 전극 및 하부 전극으로부터의 출력 전압에 기초하여 외부 자기장인 교류 자기장의 크기를 용이하게 검출할 수 있다.
Accordingly, the control section B can easily detect the magnitude of the alternating magnetic field, which is an external magnetic field, based on the output voltage from the upper electrode and the lower electrode of the piezoelectric driving section.

한편, 제어부(B)는 압전 구동부의 상부 전극 및 하부 전극에 전압을 인가하여 자왜부의 자기 모멘트를 일 방향으로 정렬하여 측정하고자 하는 방향의 자기장 검출 민감도를 증가시킬 수 있다. 더하여, 상부 전극 및 하부 전극에 인가되는 전압의 극성을 가변하여 하나의 자기장 검출 소자로 X축 방향의 외부 자기장과 Y축 방향의 외부 자기장을 검출할 수 있다. 이에 따라, 자기장 검출 장치의 면적을 축소시킬 수 있다.
Meanwhile, the control unit B may apply a voltage to the upper electrode and the lower electrode of the piezoelectric driving unit to align the magnetic moment of the magnetostrictive unit in one direction to increase the sensitivity of the magnetic field detection in the direction to be measured. In addition, the polarity of the voltage applied to the upper electrode and the lower electrode can be varied to detect the external magnetic field in the X-axis direction and the external magnetic field in the Y-axis direction by one magnetic field detecting element. Thus, the area of the magnetic field detection device can be reduced.

한편, 본 발명의 자기장 검출 장치(1000,2000,3000)는 기준 자기장 검출 소자(800a)를 포함할 수 있다.Meanwhile, the magnetic field detecting apparatuses 1000, 2000, and 3000 of the present invention may include a reference magnetic field detecting element 800a.

기준 자기장 검출 소자(800a)는 일정한 진동 주파수로 진동하여, 기준 전압을 출력할 수 있다. 이에 따라, 제어부(B)는 기준 자기장 검출 소자(800a)로부터 기준 전압을 전달받아 이를 자기장 검출 소자(800)의 출력 전압과 비교하여 자기장의 검출 민감도를 더 증가시킬 수 있다. The reference magnetic field detecting element 800a can oscillate at a constant vibration frequency to output a reference voltage. Accordingly, the control unit B can receive the reference voltage from the reference magnetic field detecting element 800a and compare it with the output voltage of the magnetic field detecting element 800 to further increase the detection sensitivity of the magnetic field.

자기장 검출 소자(800)와 기준 자기장 검출 소자(800a)이 배치된 기판에는 단차(1500,2500,3700)가 형성될 수 있으며, 이에 의해 코일(1200,1300,2200,2300,3200,3300,3400,3500)은 자기장 검출 소자(800)에 교류 자기장을 인가할 수 있다.
Steps 1500, 2500 and 3700 may be formed on the substrate on which the magnetic field detecting element 800 and the reference magnetic field detecting element 800a are arranged. Thus, the coils 1200, 1300, 2200, 2300, 3200, 3300 and 3400 , And 3500 can apply an alternating magnetic field to the magnetic field detecting element 800. [

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 자기 검출 민감도를 높일 수 있고, 하나의 자기장 검출 소자에서 X축과 Y축 방향의 자기장을 검출할 수 있으며, 직류 자기장을 검출할 수 있다.
INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the present invention, it is possible to increase the sensitivity of magnetism detection, detect a magnetic field in the X axis direction and the Y axis direction in one magnetic field detecting element, and detect a DC magnetic field.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고 후술하는 특허청구범위에 의해 한정되며, 본 발명의 구성은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 그 구성을 다양하게 변경 및 개조할 수 있다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 쉽게 알 수 있다.
It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the particular forms disclosed. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100,200,300,500,600,800: 자기장 검출 소자
110,210,610,710: 자왜부
120,220: 압전 구동부
121,221: 압전체
122,222: 상부 전극
123,223: 하부 전극
130,230: 멤브레인
140,240: 절연층
150,250: 보호층
260: 버퍼층
1100:기판
1200,1300,2200,2300,3200,3300,3400,3500: 코일
800a: 기준 자기장 검출 소자100, 200, 300, 500, 600, 800:
110, 210, 610, 710:
120, 220:
121, 221:
122, 222: upper electrode
123, 223:
130, 230: Membrane
140, 240: Insulating layer
150, 250:
260: buffer layer
1100: substrate
1300, 2200, 2300, 3200, 3300, 3400,
800a: reference magnetic field detection element

Claims (17)

응력에 따라 일 방향으로 정렬되는 자기 모멘텀을 가지며, 외부 자기장에 따라 진동하는 자왜부; 및
상기 자왜부에 적층되고, 상기 자왜부의 진동에 따라 진동하여 검출 전압을 출력하는 압전 구동부를 포함하여,
상기 압전 구동부는 상기 응력을 가변하여 서로 다른 방향의 외부 자기장에 대응하는 상기 검출 전압을 출력하는 자기장 검출 소자.
A magnetizing part having magnetic momentum aligned in one direction according to stress and oscillating in accordance with an external magnetic field; And
And a piezoelectric driving part which is laminated on the self-excited part and vibrates according to the vibration of the magnetostrictive part to output a detection voltage,
Wherein the piezoelectric driver varies the stress and outputs the detection voltage corresponding to an external magnetic field in different directions.
제1항에 있어서.
상기 압전 구동부는 상기 자왜부에 압축 응력 또는 인장 응력을 인가하여 X축 또는 Y축 방향의 외부 자기장을 검출하는 자기장 검출 소자.
The method of claim 1,
Wherein the piezoelectric driving unit applies a compressive stress or a tensile stress to the self-excited portion to detect an external magnetic field in the X-axis or Y-axis direction.
제2항에 있어서,
상기 압전 구동부에 전압을 인가하여 상기 자왜부에 응력을 인가하는 자기장 검출 소자.
3. The method of claim 2,
And applies a voltage to the piezoelectric driving unit to apply stress to the jagged part.
제3항에 있어서,
상기 압전 구동부는
상기 자왜부의 진동에 따라 진동하는 압전체;
상기 압전체의 상면 및 하면에 각각 적층되어 상기 압전체의 진동에 의한 전압을 각각 인가받는 상부 전극 및 하부 전극을 포함하고,
상기 상부 전극 및 하부 전극에 전압을 인가하여 상기 자왜부에 응력을 인가하는 자기장 검출 소자.
The method of claim 3,
The piezoelectric driver
A piezoelectric body that vibrates according to the vibration of the magnetostrictive portion;
And an upper electrode and a lower electrode which are respectively laminated on the upper and lower surfaces of the piezoelectric body and are respectively applied with a voltage by the vibration of the piezoelectric body,
And applies a voltage to the upper electrode and the lower electrode to apply a stress to the magnetostrictive portion.
제1항에 있어서,
캔틸레버 형태로 장착되는 자기장 검출 소자.
The method according to claim 1,
A magnetic field sensing element mounted in cantilever fashion.
응력에 따라 일 방향으로 정렬되는 자기 모멘텀을 가지며, 외부 자기장에 따라 진동하는 자왜부;
상기 자왜부에 적층되고, 상기 자왜부의 진동에 따라 진동하여 검출 전압을 출력하는 압전 구동부; 및
상기 자왜부에 응력을 인가하는 응력 인가층을 포함하는 자기장 검출 소자.
A magnetizing part having magnetic momentum aligned in one direction according to stress and oscillating in accordance with an external magnetic field;
A piezoelectric driving unit which is laminated on the magnetostrictive part and vibrates according to the vibration of the magnetostrictive part to output a detection voltage; And
And a stress applying layer for applying a stress to the self-aligning portion.
제6항에 있어서,
상기 응력 인가층은
상기 자왜부에 응력을 인가하는 멤브레인 또는 상기 압전 구동부의 하부에 적층되어 상기 자왜부에 응력을 인가하는 버퍼층 중 적어도 하나를 포함하는 자기장 검출 소자.
The method according to claim 6,
The stress applying layer
And a buffer layer which is laminated on a lower surface of the piezoelectric driving part and applies stress to the jaggy part.
제6항에 있어서,
캔틸레버 형태로 장착되는 자기장 검출 소자.
The method according to claim 6,
A magnetic field sensing element mounted in cantilever fashion.
기판;
상기 기판의 일면에 배치되고, 응력에 따라 일 방향으로 정렬되는 자기 모멘텀을 가지며, 외부 자기장에 따라 진동하는 자왜부; 및 상기 자왜부에 적층되고, 상기 자왜부의 진동에 따라 진동하여 검출 전압을 출력하는 압전 구동부를 가지며, 상기 압전 구동부는 상기 응력을 가변하여 서로 다른 방향의 외부 자기장에 대응하는 상기 검출 전압을 출력하는 자기장 검출 소자;
상기 자기장 검출 소자의 길이 방향의 양측 또는 폭 방향의 양측 중 적어도 하나의 양측에 각각 배치되어 상기 자기장 검출 소자에 교류 자기장을 인가하는 적어도 둘의 코일을 갖는 교류 자기장 인가부; 및
상기 검출 전압 중 상기 교류 자기장에 의해 가변되는 전압 레벨에 기초하여 상기 자기장 검출 소자에 인가되는 직류 자기장의 크기를 검출하는 제어부
를 포함하는 자기장 검출 장치.
Board;
A magnetostrictive element disposed on one surface of the substrate, the magnetostrictive element having a magnetic momentum aligned in one direction according to a stress and vibrating according to an external magnetic field; And a piezoelectric driving unit which is laminated on the magnetostrictive part and vibrates according to the vibration of the magnetostrictive part to output a detection voltage, and the piezoelectric driving part outputs the detection voltage corresponding to an external magnetic field in different directions by varying the stress A magnetic field detection element;
An AC magnetic field applying unit having at least two coils disposed on both sides of at least one of both sides in the longitudinal direction of the magnetic field detecting element or on both sides in the width direction to apply an alternating magnetic field to the magnetic field detecting element; And
Detecting a magnitude of a direct-current magnetic field applied to the magnetic field detecting element based on a voltage level varying by the alternating magnetic field among the detected voltages;
The magnetic field detection device comprising:
제9항에 있어서,
일정 진동 주파수로 진동하여 기준 전압을 제공하는 기준 자기장 검출 소자를 더 포함하는 자기장 검출 장치.
10. The method of claim 9,
And a reference magnetic field detecting element that vibrates at a constant vibration frequency to provide a reference voltage.
제9항에 있어서,
상기 압전 구동부는 상기 자왜부에 압축 응력 또는 인장 응력을 인가하여 X축 또는 Y축 방향의 외부 자기장을 검출하는 자기장 검출 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein the piezoelectric driving unit applies a compressive stress or a tensile stress to the jagged portion to detect an external magnetic field in the X-axis or Y-axis direction.
제9항에 있어서,
상기 제어부는 상기 압전 구동부에 전압을 인가하여 상기 자왜부에 응력을 인가하는 자기장 검출 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein the control unit applies a voltage to the piezoelectric driving unit to apply a stress to the self-excited part.
제12항에 있어서,
상기 압전 구동부는
상기 자왜부의 진동에 따라 진동하는 압전체;
상기 압전체의 상면 및 하면에 각각 적층되어 상기 압전체의 진동에 의한 전압을 각각 인가받는 상부 전극 및 하부 전극을 포함하고,
상기 상부 전극 및 하부 전극은 상기 제어부로부터 전압을 인가받고, 상기 압전체는 인가받은 전압 레벨에 따라 수축 또는 팽창하여, 상기 자왜부에 응력을 인가하는 자기장 검출 장치.
13. The method of claim 12,
The piezoelectric driver
A piezoelectric body that vibrates according to the vibration of the magnetostrictive portion;
And an upper electrode and a lower electrode which are respectively laminated on the upper and lower surfaces of the piezoelectric body and are respectively applied with a voltage by the vibration of the piezoelectric body,
Wherein the upper electrode and the lower electrode receive a voltage from the control unit and the piezoelectric member shrinks or expands according to an applied voltage level to apply stress to the jaggy portion.
제9항에 있어서,
상기 자기장 검출 소자는 상기 기판의 일면에 캔틸레버 형태로 장착되는 자기장 검출 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein the magnetic field detecting element is mounted on one surface of the substrate in the form of a cantilever.
응력에 따라 일 방향으로 정렬되는 자기 모멘텀을 가지며, 외부 자기장에 따라 진동하는 자왜부와, 상기 자왜부에 적층되고, 상기 자왜부의 진동에 따라 진동하여 검출 전압을 출력하는 압전 구동부와, 상기 자왜부에 응력을 인가하는 응력 인가층을 갖는 자기장 검출 소자;
상기 자기장 검출 소자의 길이 방향의 양측 또는 폭 방향의 양측 중 적어도 하나의 양측에 각각 배치되어 상기 자기장 검출 소자에 교류 자기장을 인가하는 적어도 둘의 코일을 갖는 교류 자기장 인가부; 및
상기 검출 전압 중 상기 교류 자기장에 의해 가변되는 전압 레벨에 기초하여 상기 자기장 검출 소자에 인가되는 직류 자기장의 크기를 검출하는 제어부
를 포함하는 자기장 검출 장치.
A piezoelectric driving part which is laminated on the self-excited part and vibrates according to the vibration of the magnetostrictive part to output a detection voltage; A magnetic field detecting element having a stress applying layer for applying a stress to the magnetic field detecting element;
An AC magnetic field applying unit having at least two coils disposed on both sides of at least one of both sides in the longitudinal direction of the magnetic field detecting element or on both sides in the width direction to apply an alternating magnetic field to the magnetic field detecting element; And
Detecting a magnitude of a direct-current magnetic field applied to the magnetic field detecting element based on a voltage level varying by the alternating magnetic field among the detected voltages;
The magnetic field detection device comprising:
제15항에 있어서,
상기 응력 인가층은
상기 압전 구동부의 하부에 적층되어 상기 자왜부에 응력을 인가하는 멤브레인 또는 상기 압전 구동부의 하부에 적층되어 상기 자왜부에 응력을 인가하는 버퍼층 중 적어도 하나를 포함하는 자기장 검출 장치.
16. The method of claim 15,
The stress applying layer
And a buffer layer laminated on a lower portion of the piezoelectric driving portion to apply stress to the jaggy portion or a buffer layer laminated on the piezoelectric driving portion to apply stress to the jaggy portion.
제15항에 있어서,
상기 자기장 검출 소자는 상기 기판의 일면에 캔틸레버 형태로 장착되는 자기장 검출 장치.
16. The method of claim 15,
Wherein the magnetic field detecting element is mounted on one surface of the substrate in the form of a cantilever.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20040126620A1 (en) 2002-10-18 2004-07-01 Dwight Viehland Magnetoelectric magnetic field sensor with longitudinally biased magnetostrictive layer
US20080211491A1 (en) 2002-12-09 2008-09-04 Ferro Solutions, Inc. High sensitivity, passive magnetic field sensor and method of manufacture

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