KR20160103270A - Printed circuit board and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a printed circuit board and a manufacturing method thereof.
일반적으로, 인쇄회로기판은 각종 열경화성 합성수지로 이루어진 보드의 일면 또는 양면에 동박으로 배선한 후 보드 상에 IC 또는 전자부품들을 배치 고정하고 이들 간의 전기적 배선을 구현하여 절연체로 코팅한 것이다. 특히, 반도체 패키지에서 프로파일 감소와 다양한 기능을 요구하는 시장의 경향에 따라 인쇄회로기판 구현에 있어서도 다양한 기술이 요구된다. Generally, a printed circuit board is formed by wiring a copper foil on one side or both sides of a board made of various thermosetting synthetic resins, and then ICs or electronic parts are arranged and fixed on the board, and electrical wiring between them is implemented and coated with an insulator. In particular, a variety of techniques are required for the implementation of printed circuit boards in accordance with the tendency of the market to demand reduction of profiles and various functions in semiconductor packages.
현재, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board:PCB)과 같은 박형 회로 기판은 박판화 및 고집적화를 위해, 다양한 종류의 빌드업(build-up) 절연층들을 차례로 적층 및 압착하는 방식으로 제조되고 있다. 이에 따라 휨(Warpage)은 매우 중요한 패키징의 특성이 되고 있다. 미세화에 따라 반도체와의 연결에 사용되는 솔더 범프(Solder Bump)의 개수가 많아지고 피치(Pitch)는 작아지며 더 적은 솔더(Solder)를 이용해서 접합을 하게 되는데, 반도체와 기판의 휨(Warpage) 특성이 맞지 않으면 솔더(Solder)가 접속되지 않거나 크랙(Crack)이 발생하기도 한다. 다층 기판의 휨(Warapge)은 일반적으로 코어의 상하면에 빌드업(Buildup) 층을 형성할 때 절연재의 수축, 상하 빌드업(Buildup) 층의 비대칭성 등의 원인으로 유발되는데, 코어(Core)의 두께가 작아질수록 상하 빌드업층의 휨(Warpage) 유발을 억제하기 어려워진다.
Currently, thin circuit boards, such as printed circuit boards (PCBs), are being fabricated in such a way that various build-up insulation layers are stacked and pressed in order for thinning and high integration. As a result, warpage is becoming a very important packaging feature. As the number of solder bumps used for connection with semiconductors increases, pitches become smaller, and fewer solders are used to join the semiconductor devices, If the characteristics are not correct, the solder may not be connected or cracks may occur. Warpage of a multilayer substrate is generally caused by shrinkage of an insulating material and asymmetry of a buildup layer in the case of forming a buildup layer on the upper and lower surfaces of the core. As the thickness becomes smaller, it becomes difficult to suppress warpage of the upper and lower buildup layers.
일 측면(또는 관점)은 빌드업 절연재를 저 열팽창률을 갖은 복합적인 절연층으로 구성하여 기판의 휨(warpage)을 감소시킬 수 있는 인쇄회로기판을 제공하는 것이다.One aspect (or perspective) is to provide a printed circuit board that can reduce the warpage of the substrate by constructing the build-up insulating material as a composite insulating layer having a low thermal expansion coefficient.
다른 측면은 빌드업 절연재를 저 열팽창률을 갖은 복합적인 절연층으로 구성하여 기판의 휨(warpage)을 감소시킬 수 있는 인쇄회로기판의 제조방법을 제공하는 것이다.
Another aspect of the present invention is to provide a method of manufacturing a printed circuit board which can reduce the warpage of a substrate by forming a composite insulating layer having a low thermal expansion coefficient.
일 실시 예에 따른 인쇄회로기판은, 회로층과 회로층 사이에 순차적으로 제 1 절연층, 제 2 절연층 및 제 3 절연층을 포함하여 형성되는 빌드업 절연층을 포함하여 구성된다.A printed circuit board according to an exemplary embodiment includes a build-up insulation layer formed between a circuit layer and a circuit layer sequentially including a first insulation layer, a second insulation layer, and a third insulation layer.
또한, 일 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법은, 코어 기판을 준비하는 단계; 상기 코어 기판의 양면에 각각 순차적으로 제 1 절연 물질층, 제 2 절연 물질층 및 제 3 절연 물질층을 적층하여 형성된 빌드업 절연층을 형성하는 단계; 및 상기 빌드업 절연층상에 빌드업 회로층을 형성하는 단계를 포함하여 형성된다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a printed circuit board, comprising: preparing a core substrate; Forming a build-up insulation layer formed by sequentially laminating a first insulation material layer, a second insulation material layer and a third insulation material layer on both sides of the core substrate; And forming a build-up circuit layer on the build-up insulating layer.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
Prior to that, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best explain its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제 5 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 인쇄회로기판의 제조방법에 대한 공정순서도이다.
도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 일 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법에 대한 공정도이다. 1 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a fifth embodiment of the present invention.
6 is a process flow chart for a method of manufacturing a printed circuit board of the present invention.
7A to 7D are process diagrams for a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서에서, 제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 첨부 도면에 있어서, 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The objectives, specific advantages and novel features of the invention will become more apparent from the following detailed description and examples taken in conjunction with the accompanying drawings. It should be noted that, in the present specification, the reference numerals are added to the constituent elements of the drawings, and the same constituent elements have the same numerical numbers as much as possible even if they are displayed on different drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail. In this specification, the terms first, second, etc. are used to distinguish one element from another, and the element is not limited by the terms. In the accompanying drawings, some of the elements are exaggerated, omitted or schematically shown, and the size of each element does not entirely reflect the actual size.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
인쇄회로기판Printed circuit board
먼저, 본 발명의 일 실시 예에 따른 인쇄회로기판은 도면을 참조하여 구체적으로 살펴볼 것이다. 이때, 참조되는 도면에 기재되지 않은 도면부호는 동일한 구성을 나타내는 다른 도면에서의 도면부호일 수 있다.
First, a printed circuit board according to an embodiment of the present invention will be specifically described with reference to the drawings. Here, reference numerals not shown in the drawings to be referred to may be reference numerals in other drawings showing the same configuration.
도 1은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다. 1 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention.
도 1에 도시된 바와 같이, 코어 기판(110)의 양면에 형성된 제 1 회로층(120); 상기 제 1 회로층(120)상에 각각 순차적으로 형성된 제 1 절연층(131), 제 2 절연층(132) 및 제 3 절연층(133)을 포함하는 빌드업 절연층(130); 상기 빌드업 절연층(130)상에 형성된 제 2 회로층(빌드업 회로층)(140); 상기 제 2 회로층(140)상에 형성하되 상기 제 2 회로층(140)이 소정 패턴이 노출되도록 개구부가 형성된 솔더 레지스트층(150) 및 상기 솔더 레지스트층의 개구부에 금속 물질로 형성된 포스트(160)를 포함하여 구성된다.
A
상기 제 1 회로층(120)은 코어 기판(110)의 양면에 회로 패턴을 형성하게 되며, 기판을 관통하는 스루비아(Vt)를 통해 기판의 일면에 형성된 회로층과 타면에 형성된 회로층이 전기적으로 연결될 수 있다. 여기서, 상기 코어 기판(110)은 무기필러, 글라스 섬유 또는 이들의 조합을 함유하는 레진으로 이루어진다. The
상기 빌드업 절연층(130)은 반경화 절연 물질로 형성되는 제 1 절연층(131), 완전 경화 절연 물질로 형성되는 제 2 절연층(132) 및 밀착력을 갖는 에폭시를 포함하는 제 3 절연층(133)으로 형성된다. The build-up insulation layer 130 includes a
보다 상세하게는, 상기 빌드업 절연층(130)의 빌드업(Buildup) 절연재의 적층 성형 시 경화수축을 줄이기 위해서, 중간 부분은 완전경화된 C-Stage의 제 2 절연층으로 구성하고, 하부 회로층의 회로 패턴을 함침시키면서 부착되도록 B-Stage의 제 1 절연층으로 구성하며 상부 회로 패턴을 형성하기 위해 도금 밀착력을 확보할 수 있는 레진(Resin)의 제 3 절연층으로 구성하는 것이 바람직하다. More specifically, in order to reduce hardening shrinkage during the build-up of the build-up insulating material of the build-up insulating layer 130, the middle portion is formed of a second insulation layer of a fully cured C-Stage, Layer of the B-stage so as to be adhered thereto while impregnating the circuit pattern of the B-stage, and a third insulating layer of Resin capable of securing the plating adhesion force to form the upper circuit pattern.
예를 들어, 상기 제 1 절연층(131)의 절연 물질로 B-Stage 레진(Resin)의 아크릴레이트, BT Resin 등이 사용될 수 있으며 이에 한정하지 않는다. 여기서, 상기 제 1 절연층(131)은 상기 제 1 회로층(120)상에 코팅되어 형성될 수 있다.For example, B-Stage Resin acrylate, BT Resin, or the like may be used as the insulating material of the first
또한, 상기 제 2 절연층(132)은 C-Stage 필름(Film)의 무기 필러(Filler)가 포함된 레진(Resin), 글라스 섬유(Glass Fabric) 및 무기 필러(Filler) 포함된 레진(Resin), 폴리이미드 필름(Polyimide Film) 등을 사용할 수 있으며 특별히 이에 한정되는 것은 아니다. The second insulation layer 132 may be formed of resin such as Resin, glass fabric and inorganic filler including a filler of C-Stage film. , A polyimide film, and the like, but not limited thereto.
그리고, 상기 제 3 절연층(133)은 상부에 형성될 회로 패턴 씨드(Seed) 도금과의 밀착력을 향상시키는 레진, 예를 들어, 에폭시 레진(Epoxy Resin) 등을 얇게 코팅(Coating)하여 형성하게 된다. The third insulating
한편, 상기 제 1 절연층(131), 제 2 절연층(132) 및 제 3 절연층(133)으로 구성된 빌드업 절연층(130)은 완성된 드라이 필름 형태의 빌드업 절연필름으로 제공되어 형성될 수 있으며, 상기 제 1 절연층(131)과 상기 제 2 절연층(132)으로 형성된 별도의 절연 필름으로 구성하여 먼저 기판에 적층한 후 제 3 절연층(133)을 이후에 별도로 코팅하여 형성할 수도 있다.On the other hand, the build-up insulation layer 130 composed of the
이러한, 상기 빌드업 절연층(130)은 기본적으로 각 층(Layer)은 저 열팽창률 특성을 가지고 있어야 하지만, 제 2 절연층(132)의 C-Stage는 반드시 저 열팽창률을 갖는 물질로 형성된다. 그리고, 제 3 절연층(Layer)(133)은 제 2 절연층보다 낮은 두께로 형성될 수 있다. The C-Stage of the second insulation layer 132 is formed of a material having a low thermal expansion coefficient, although the build-up insulation layer 130 basically has a low thermal expansion coefficient characteristic in each layer . The third
따라서, 빌드업 절연층(130) 반경화 절연 물질로 형성되는 제 1 절연층(131), 완전 경화 절연 물질로 형성되는 제 2 절연층(132) 및 밀착력을 갖는 에폭시를 포함하는 제 3 절연층(133)으로 형성함으로써 빌드업 절연재의 경화 수축을 저감시켜 휨(warpage) 현상을 감소시킬 수 있다. Thus, the build-up insulation layer 130 includes a
상기 제 2 회로층(140)은 상기 빌드업 절연층(130)상에 형성되고, 드라이 필름을 도포하여 회로형성용 개구부를 패터닝하는 공정을 통해 형성되고, 상기 제 1 회로층(120)과의 전기적 연결을 위한 비아가 형성된다. The
상기 솔더 레지스트층(150)은 내열성 피복 재료로 솔더링(soldering)시 외부 회로층에 땜납이 도포되지 않도록 보호하는 역할을 한다. 또한, 외부회로와의 전기적 연결을 위해서 솔더 레지스트층(150)에 개구부를 가공하여 접속 패드를 노출시키는 것이 바람직하다.The
상기 포스트(160)는 도전성 물질로 이루어진 범프가 일체로 형성된 상태에서, 각 범프가 상부칩 또는 기판의 본딩영역 등에 본딩된다. 즉, 상부칩 또는 기판과 같은 상대부품의 본딩영역과 각 범프의 전도성 솔더를 상호 접착시키되, 소정의 온도에서 가압하는 써멀 컴프레션 방식의 본딩 방법을 이용하여 상대부품을 범프의 전도성솔더에 접착시킴으로써, 반도체 칩간의 적층이 이루어지거나, 반도체 칩이 기판에 도전 가능하게 연결된다.
The bumps are bonded to the upper chip or the bonding region of the substrate in a state where the bumps made of a conductive material are integrally formed. That is, by adhering the counterpart to the conductive solder of the bump by using the thermal compression type bonding method of bonding the bonding area of the counterpart such as the upper chip or the substrate and the conductive solder of each bump at a predetermined temperature, Stacking is performed between the semiconductor chips, or the semiconductor chip is conductively connected to the substrate.
도 2는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 인쇄회로기판은, 기판(210)의 양면에 형성된 제 1 회로층(220); 상기 제 1 회로층(220)상에 각각 순차적으로 형성된 제 1 절연층(231), 제 2 절연층(232) 및 제 3 절연층(233)을 포함하는 제 1 빌드업 절연층(230); 상기 제 1 빌드업 절연층(230)상에 형성된 제 2 회로층(240); 상기 제 2 회로층(240)상에 형성된 제 2 빌드업 절연층(250); 상기 제 2 빌드업 절연층(250)상에 형성된 제 3 회로층(260); 상기 제 3 회로층(260)상에 형성하되 상기 제 3 회로층(240)이 소정 패턴이 노출되도록 개구부가 형성된 솔더 레지스트층(270) 및 상기 솔더 레지스트층(270)의 개구부에 금속 물질로 형성된 포스트(280)를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 2, the printed circuit board of the present invention includes a
여기서, 전술한 제 1 실시 예가 참조될 것이고, 이에 따라 중복되는 설명들은 생략될 수 있다. Here, the above-described first embodiment will be referred to, and thus redundant explanations can be omitted.
이러한, 제 2 실시 예의 인쇄회로기판은 기판의 양면에 빌드업 절연층 및 회로층을 적어도 2회 이상 반복하여 적층된 구조를 보여주고 있다. 여기서, 빌드업 절연층은 별도의 제 1, 제 2 및 제 3 절연층을 포함하는 절연소재를 적층하고 YAG 레이저 또는 CO2 레이저를 이용하여 비아홀을 형성한 후, SAP(Semi-Additive Process) 또는 MSAP(Modified Semi-Additive Process) 등을 수행하여 비아를 포함한 회로층을 형성함으로써 완성할 수 있다.
The printed circuit board of the second embodiment shows a structure in which the build-up insulating layer and the circuit layer are repeatedly laminated on both sides of the substrate at least twice. Here, the build-up insulating layer may be formed by laminating an insulating material including first, second and third insulating layers, forming a via hole by using a YAG laser or a CO2 laser, and then forming a via hole by using a semi- (Modified Semi-Additive Process) or the like to form a circuit layer including a via.
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 제 3 실시 예의 인쇄회로기판은, 기판(310)의 양면에 형성된 제 1 회로층(320); 상기 제 1 회로층(320)상에 각각 순차적으로 형성된 제 1 절연층(331), 제 2 절연층(332) 및 제 3 절연층(333)을 포함하는 제 1 빌드업 절연층(330); 상기 제 1 빌드업 절연층(330)상에 형성된 제 2 회로층(340); 상기 기판(310)의 일면의 제 2 회로층(340)상에 형성된 제 2 빌드업 절연층(350a); 상기 제 2 빌드업 절연층(350a)상에 형성된 제 3 회로층(360); 상기 제 3 회로층(360) 및 기판(310)의 타면에 형성된 제 1 회로층(330b)상에 형성하되 상기 제 3 회로층(360)이 소정 패턴이 노출되도록 개구부가 형성된 솔더 레지스트층(370) 및 상기 솔더 레지스트층(370)의 개구부에 금속 물질로 형성된 포스트(380)를 포함하여 구성된다. 3, the printed circuit board of the third embodiment includes a
여기서, 제 3 실시 예의 인쇄회로기판은 기판의 일면에 빌드업 절연층 및 회로층을 적어도 2회 이상 반복하여 적층된 구조를 보여주고 있다. 여기서, 빌드업 절연층은 별도의 제 1, 제 2 및 제 3 절연층을 포함하는 절연소재를 적층하고 YAG 레이저 또는 CO2 레이저를 이용하여 비아홀을 형성한 후, SAP(Semi-Additive Process) 또는 MSAP(Modified Semi-Additive Process) 등을 수행하여 비아를 포함한 회로층을 형성함으로써 완성할 수 있다.
Here, the printed circuit board of the third embodiment shows a structure in which the build-up insulation layer and the circuit layer are repeatedly laminated at least twice on one surface of the substrate. Here, the build-up insulating layer may be formed by laminating an insulating material including first, second and third insulating layers, forming a via hole by using a YAG laser or a CO2 laser, and then forming a via hole by using a semi- (Modified Semi-Additive Process) or the like to form a circuit layer including a via.
또한, 도 4는 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이고, 도 5는 본 발명의 제 5 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view of a printed circuit board according to a fifth embodiment of the present invention.
도 4에 도시된 바와 같이, 제 4 실시 예의 인쇄회로기판은, 기판(410)의 양면에 형성된 제 1 회로층(420); 상기 제 1 회로층(420)상에 각각 순차적으로 형성된 제 1 절연층(431), 제 2 절연층(432) 및 제 3 절연층(433)을 포함하는 빌드업 절연층(430); 상기 빌드업 절연층(430)상에 형성된 제 2 회로층(440); 상기 제 2 회로층(450)상에 형성된 단일 절연층(450); 상기 단일 절연층(450)상에 형성된 제 3 회로층(460); 상기 제 3 회로층(460)상에 형성하되 상기 제 3 회로층(460)이 소정 패턴이 노출되도록 개구부가 형성된 솔더 레지스트층(470) 및 상기 솔더 레지스트층(470)의 개구부에 금속 물질로 형성된 포스트(480)를 포함하여 구성된다. As shown in Fig. 4, the printed circuit board of the fourth embodiment includes: a
여기서, 전술한 제 1 실시 예가 참조될 것이고, 이에 따라 중복되는 설명들은 생략될 수 있다. Here, the above-described first embodiment will be referred to, and thus redundant explanations can be omitted.
이러한, 제 4 실시 예의 인쇄회로기판은 상기 기판(410)의 최외각에 적층되는 빌드업 절연층상에 단일 절연층을 더 형성하는 구조로 외곽층에 미세회로 또는 미세 비아를 형성하는 경우 등의 유동성을 확보하기 위해 형성한다.
The printed circuit board of the fourth embodiment has a structure in which a single insulating layer is further formed on a build-up insulating layer that is stacked on the outermost side of the
도 5에 도시된 바와 같이, 제 5 실시 예의 인쇄회로기판은, 기판(510)의 양면에 형성된 제 1 회로층(520); 상기 제 1 회로층(520)상에 형성된 단일 절연층(530); 상기 단일 절연층(530)상에 형성된 제 2 회로층(540); 상기 제 2 회로층(540)상에 각각 순차적으로 형성된 제 1 절연층(551), 제 2 절연층(552) 및 제 3 절연층(553)을 포함하는 빌드업 절연층(550); 상기 빌드업 절연층(550)상에 형성된 제 3 회로층(560); 상기 제 3 회로층(560)상에 형성하되 상기 제 3 회로층(560)이 소정 패턴이 노출되도록 개구부가 형성된 솔더 레지스트층(570) 및 상기 솔더 레지스트층(570)의 개구부에 금속 물질로 형성된 포스트(580)를 포함하여 구성된다. As shown in Fig. 5, the printed circuit board of the fifth embodiment includes: a
여기서, 전술한 제 1 실시 예가 참조될 것이고, 이에 따라 중복되는 설명들은 생략될 수 있다. Here, the above-described first embodiment will be referred to, and thus redundant explanations can be omitted.
이러한, 제 5 실시 예의 인쇄회로기판은 상기 기판(510)의 제 1 회로층(520)상에 단일 절연층(530)을 더 형성하는 구조로 기판의 코어에 캐비티를 형성하고 그 내부에 전기 소자를 내장하는 경우 절연재의 유동성을 확보하기 위해 형성된다.
The printed circuit board of the fifth embodiment has a structure in which a single insulating layer 530 is further formed on the
인쇄회로기판의 제조방법
Manufacturing method of printed circuit board
도 6은 본 발명의 인쇄회로기판의 제조방법에 대한 공정순서도이고, 도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 일 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 공정도이다.FIG. 6 is a process flow chart for a method of manufacturing a printed circuit board of the present invention, and FIGS. 7A to 7D are process drawings of a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
먼저, 도 6에 도시된 바와 같이, 인쇄회로기판의 제조방법은, 기판의 양면에 제 1 회로층을 형성하는 단계(S601); 상기 제 1 회로층상의 양면에 각각 순차적으로 제 1 절연 물질층, 제 2 절연 물질층 및 제 3 절연 물질층을 적층하여 형성된 빌드업 절연층을 형성하는 단계(S602); 상기 빌드업 절연층상에 제 2 회로층을 형성하는 단계(S603); 및 상기 제 2 회로층상에 솔더 레지스트층을 형성하는 단계(S604)를 포함하여 형성된다. First, as shown in FIG. 6, a method of manufacturing a printed circuit board includes forming a first circuit layer on both sides of a substrate (S601); (S602) forming a build-up insulation layer formed by sequentially laminating a first insulation material layer, a second insulation material layer and a third insulation material layer on both sides of the first circuit layer, respectively; Forming a second circuit layer on the build-up insulating layer (S603); And forming a solder resist layer on the second circuit layer (S604).
먼저, 도 7a에 도시된 바와 같이, 코어 기판의 두께 방향으로 관통하는 비아를 드릴 가공하여 형성한 후, 기판(110)의 양면에 드라이 필름을 도포하여 회로형성용 개구부를 패터닝하여 제 1 회로층(120)을 형성하는 공정을 수행한다. 여기서,상기 코어 기판(110)은 무기필러, 글라스 섬유 또는 이들의 조합을 함유하는 레진으로 이루어진다. 그리고, 상기 드라이필름은 제 1 회로층(120)을 형성하기 위한 도금 레지스트 역할을 수행하는 것으로, 라미네이션(lamination)을 이용하여 도포한다. 이때, 드라이필름에 회로형성용 개구부를 패터닝하는 공정을 상세히 살펴보면, 우선, 드라이필름에 아트위크 필름을 밀착시킨후 자외선을 조사하여 드라이필름을 선택적으로 경화시키는 노광 공정을 수행한다. 그 후, 탄산나트륨이나 탄산칼륨 등을 이용하여 경화되지 않은 드라이필름을 용해시켜 제거하는 현상 공정을 수행함으로써 회로형성용 개구부를 패터닝할 수 있다. 그리고, 상기 회로형성용 개구부에 제 1 회로층(120)을 형성한다. 상기 회로층(120)은 전해도금 공정을 통해서 구리를 이용하여 형성하는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 회로층의 형성이 완료되면, 상기 드라이 필름을 제거하게 된다. 드라이 필름의 제거 방법은 NaOH 또는 KOH 등의 박리액을 이용하여 제거하는 것이 바람직하다.
First, as shown in FIG. 7A, after vias penetrating in the thickness direction of the core substrate are formed by drilling, a dry film is applied to both surfaces of the
이어서, 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 회로층(120)이 형성된 기판(110)의 양면에 빌드업 절연층(130a,130b)을 형성하게 된다. Next, as shown in FIG. 7B, build-up
보다 구체적으로, 상기 빌드업 절연층(130)은 반경화 절연 물질로 형성되는 제 1 절연층(131), 완전 경화 절연 물질로 형성되는 제 2 절연층(132) 및 밀착력을 갖는 에폭시를 포함하는 제 3 절연층(133)으로 형성된다. More specifically, the build-up insulation layer 130 includes a
상기 빌드업 절연층(130)의 빌드업(Buildup) 절연재의 적층 성형 시 경화수축을 줄이기 위해서, 중간 부분은 완전경화된 C-Stage의 제 2 절연층으로 구성하고, 하부 회로층의 회로 패턴을 함침시키면서 부착되도록 B-Stage의 제 1 절연층으로 구성하며 상부 회로 패턴을 형성하기 위해 도금 밀착력을 확보할 수 있는 레진(Resin)의 제 3 절연층으로 구성하는 것이 바람직하다. In order to reduce curing shrinkage during the build-up of the build-up insulating material of the build-up insulating layer 130, the intermediate portion is formed of a second insulation layer of a fully cured C-Stage, It is preferable that the third insulating layer is made of a first insulating layer of B-Stage to be adhered while being impregnated and a third insulating layer of resin which can secure a plating adhesion force to form an upper circuit pattern.
예들 들어, 상기 제 1 절연층(131)의 절연 물질로 B-Stage 레진(Resin)의 아크릴레이트, BT Resin 등이 사용될 수 있으며 이에 한정하지 않는다. 여기서, 상기 제 1 절연층(131)은 상기 제 1 회로층(120)상에 코팅되어 형성될 수 있다.For example, B-Stage Resin acrylate, BT Resin, or the like may be used as the insulating material of the first insulating
또한, 상기 제 2 절연층(132)은 C-Stage 필름(Film)의 무기 필러(Filler)가 포함된 레진(Resin), 글라스 섬유(Glass Fabric) 및 무기 필러(Filler) 포함된 레진(Resin), 폴리이미드 필름(Polyimide Film) 등을 사용할 수 있으며 특별히 이에 한정되는 것은 아니다. The second insulation layer 132 may be formed of resin such as Resin, glass fabric and inorganic filler including a filler of C-Stage film. , A polyimide film, and the like, but not limited thereto.
그리고, 상기 제 3 절연층(133)은 상부에 형성될 회로 패턴 씨드(Seed) 도금과의 밀착력을 향상시키는 레진, 예를 들어, 에폭시 레진(Epoxy Resin) 등을 얇게 코팅(Coating)하여 형성하게 된다. The third
한편, 상기 제 1 절연층(131), 제 2 절연층(132) 및 제 3 절연층(133)으로 구성된 빌드업 절연층(130)은 완성된 드라이 필름 형태의 빌드업 절연필름으로 제공되어 형성될 수 있으며, 상기 제 1 절연층(131)과 상기 제 2 절연층(132)으로 형성된 별도의 절연 필름으로 구성하여 먼저 기판에 적층한 후 제 3 절연층(133)을 이후에 별도로 코팅하여 형성할 수도 있다.On the other hand, the build-up insulation layer 130 composed of the
이러한, 상기 빌드업 절연층(130)은 기본적으로 각 층(Layer)은 저 열팽창률 특성을 가지고 있어야 하지만, 제 2 절연층(132)의 C-Stage는 반드시 저 열팽창률을 갖는 물질로 형성된다. 그리고, 제 3 절연층(Layer)(133)은 제 2 절연층보다 낮은 두께로 형성될 수 있다.
The C-Stage of the second insulation layer 132 is formed of a material having a low thermal expansion coefficient, although the build-up insulation layer 130 basically has a low thermal expansion coefficient characteristic in each layer . The third
그 다음, 도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 빌드업 절연층(130)상에 제 2 회로층(140)을 형성하는데 있어서 비아 및 개구부가 노출되도록 패터닝한 후, 금속물질로 충진하여 형성하게 된다. 여기서, SAP(Semi-Additive Process) 또는 MSAP(Modified Semi-Additive Process) 등을 수행하여 비아를 포함한 외층 회로층을 형성할 수 있다. 또한, 상기에서 기재한 공정에 특별히 한정되지 않고 당업계에 공지된 서브트렉티브, SAP, MASP 등을 포함하는 통상의 회로 형성 방법을 이용한다.
Next, as shown in FIG. 7C, the
그리고, 도 7d에 도시된 바와 같이, 상기 빌드업 절연층(130)상에 개구부를 갖는 솔더 레지스트층(150) 및 포스트(160)를 형성하게 된다. 보다 바람직하게, 솔더 레지스트층(160)의 개구부는 마스크를 패터닝하여 노광 및 현상하는 공정을 포함한다. 7D, a solder resist
상기 솔더 레지스트층(150)은 내열성 피복 재료로 솔더링(soldering)시 외부 회로층에 땜납이 도포되지 않도록 보호하는 역할을 한다. 또한, 외부회로와의 전기적 연결을 위해서 솔더 레지스트층(150)에 개구부를 가공하여 패드를 노출시키는 것이 바람직하다.The solder resist
상기 포스트(160)는 도전성 물질로 이루어진 범프가 일체로 형성된 상태에서, 각 범프가 상부칩 또는 기판의 본딩영역 등에 본딩된다. 즉, 상부칩 또는 기판과 같은 상대부품의 본딩영역과 각 범프의 전도성 솔더를 상호 접착시키되, 소정의 온도에서 가압하는 써멀 컴프레션 방식의 본딩 방법을 이용하여 상대부품을 범프의 전도성솔더에 접착시킴으로써, 반도체 칩간의 적층이 이루어지거나, 반도체 칩이 기판에 도전 가능하게 연결된다.
The bumps are bonded to the upper chip or the bonding region of the substrate in a state where the bumps made of a conductive material are integrally formed. That is, by adhering the counterpart to the conductive solder of the bump by using the thermal compression type bonding method of bonding the bonding area of the counterpart such as the upper chip or the substrate and the conductive solder of each bump at a predetermined temperature, Stacking is performed between the semiconductor chips, or the semiconductor chip is conductively connected to the substrate.
한편, 도 2 및 도 3와 같은 인쇄회로기판을 형성하는 방법에 있어서, 빌드업 절연층이 형성된 기판의 일면 또는 양면에 회로층 및 빌드업 절연층을 적어도 2회 이상 반복하여 적층하여 형성할 수 있다. On the other hand, in the method of forming the printed circuit board as shown in FIGS. 2 and 3, the circuit layer and the build-up insulating layer may be repeatedly formed on one or both surfaces of the substrate on which the build- have.
또한, 도 4 및 도 5와 같은 인쇄회로기판을 형성하는 방법에 있어서, 기판상에 형성된 제 1 회로층과 상기 빌드업 절연층 사이 또는 최외곽에 적층된 빌드업 절연층상에 단일 절연층을 형성할 수 있다. 4 and 5, a single insulating layer is formed on a build-up insulating layer between the first circuit layer formed on the substrate and the build-up insulating layer or the outermost layer can do.
여기서, 기판의 최외각에 적층되는 빌드업 절연층상에 단일 절연층을 더 형성하는 구조는 외곽층에 미세회로 또는 미세 비아를 형성하는 경우에 유동성을 확보할 수 있으며, 기판상에 직접 형성된 회로층상에 단일 절연층을 더 형성하는 구조는 기판의 코어에 캐비티를 형성하고 그 내부에 전기 소자를 내장하는 경우 절연재의 유동성을 확보할 수 있게 된다. Here, a structure in which a single insulating layer is further formed on the build-up insulating layer that is laminated on the outermost layer of the substrate can ensure fluidity in the case of forming a microcircuit or fine via in the outer layer, It is possible to secure the fluidity of the insulating material when a cavity is formed in the core of the substrate and an electric element is embedded in the cavity.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the present invention. It is obvious that the modification or improvement is possible.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
110, 210, 310, 410, 510 --- 코어 기판
120, 220,320, 420, 520 --- 제 1 회로층
130, 230, 330, 430, 530 --- 빌드업 절연층
131, 231, 251, 331, 351, 431, 551 --- 제 1 절연층
132, 232, 252, 332, 352, 432, 552 --- 제 2 절연층
133, 233, 253, 333, 353, 433, 553 --- 제 3 절연층
140, 240, 340, 440, 540 --- 제 2 회로층
150, 270, 370, 470, 570 --- 솔더 레지스트층
160, 280,380, 480, 580 --- 포스트110, 210, 310, 410, 510 --- Core substrate
120, 220, 320, 420, 520 --- first circuit layer
130, 230, 330, 430, 530 --- Build-up insulation layer
131, 231, 251, 331, 351, 431, 551,
132, 232, 252, 332, 352, 432, 552 --- Second insulating layer
133, 233, 253, 333, 353, 433, 553 --- Third insulating layer
140, 240, 340, 440, 540 --- Second circuit layer
150, 270, 370, 470, 570 --- Solder resist layer
160, 280, 380, 480, 580 --- Post
Claims (28)
And a build-up insulation layer formed between the circuit layer and the circuit layer, the build-up insulation layer including a first insulation layer, a second insulation layer and a third insulation layer sequentially.
상기 제 2 절연층은 상기 제 1 절연층 및 상기 제 3 절연층의 절연 물질 보다 저 열팽창률을 갖는 경화 절연 물질로 형성되는 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the second insulating layer is formed of a hardening insulating material having a thermal expansion coefficient lower than that of the insulating material of the first insulating layer and the third insulating layer.
상기 제 3 절연층은 상기 제 2 절연층보다 낮은 두께로 형성되는 절연 물질로 형성되는 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the third insulating layer is formed of an insulating material having a thickness lower than that of the second insulating layer.
상기 제 3 절연층은 밀착력을 갖는 에폭시를 포함하는 절연 물질로 형성되는 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the third insulating layer is formed of an insulating material including an epoxy having adhesion.
상기 제1 절연층, 제 2 절연층 및 제 3 절연층은 빌드업 절연 필름 형태로 제공되는 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the first insulation layer, the second insulation layer, and the third insulation layer are provided in the form of a build-up insulation film.
무기필러, 글라스 섬유 또는 이들의 조합을 함유하는 레진으로 이루어진 코어기판을 더욱 포함하는 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
A core substrate made of a resin containing an inorganic filler, a glass fiber, or a combination thereof.
상기 코어 기판상에 형성된 빌드업 회로층과 빌드업 절연층을 포함하는 빌드업층; 을 포함하고,
상기 빌드업 절연층은 각각 순차적으로 제 1 절연층, 제 2 절연층 및 제 3 절연층을 포함하여 형성되는 인쇄회로기판.
A core substrate; And
A build-up layer including a build-up circuit layer and a build-up insulation layer formed on the core substrate; / RTI >
Wherein the build-up insulation layer comprises a first insulation layer, a second insulation layer and a third insulation layer, respectively.
상기 제 2 절연층은 상기 제 1 절연층 및 상기 제 3 절연층의 절연 물질 보다 저 열팽창률을 갖는 경화 절연 물질로 형성되는 인쇄회로기판.
The method of claim 7,
Wherein the second insulating layer is formed of a hardening insulating material having a thermal expansion coefficient lower than that of the insulating material of the first insulating layer and the third insulating layer.
상기 제 3 절연층은 상기 제 2 절연층보다 낮은 두께로 형성되는 절연 물질로 형성되는 인쇄회로기판.
The method of claim 7,
Wherein the third insulating layer is formed of an insulating material having a thickness lower than that of the second insulating layer.
상기 제 3 절연층은 밀착력을 갖는 에폭시를 포함하는 절연 물질로 형성되는 인쇄회로기판.
The method of claim 7,
Wherein the third insulating layer is formed of an insulating material including an epoxy having adhesion.
상기 빌드업 회로층상에 형성하되 상기 빌드업 회로층의 접속패드가 노출되도록 개구부가 형성된 솔더 레지스트층을 더욱 포함하는 인쇄회로기판.
The method of claim 7,
And a solder resist layer formed on the build-up circuit layer and having an opening to expose a connection pad of the build-up circuit layer.
상기 노출된 접속 패드상에 형성된 포스트를 더 포함하는 인쇄회로기판.
The method of claim 11,
And a post formed on the exposed connection pad.
상기 코어 기판과 상기 빌드업 절연층 사이에 단일 절연층을 더 포함하는 인쇄회로기판.
The method of claim 7,
And a single insulation layer between the core substrate and the build-up insulation layer.
상기 빌드업 절연층은 상기 코어 기판의 일면 또는 양면에 적어도 2회 이상 반복하여 적층되는 인쇄회로기판.
The method of claim 7,
Wherein the build-up insulating layer is repeatedly laminated on at least one surface or both surfaces of the core substrate.
상기 빌드업 회로층상에 단일 절연층을 더 포함하는 인쇄회로기판.
15. The method of claim 14,
And a single insulating layer on the build-up circuit layer.
상기 코어 기판은 무기필러, 글라스 섬유 또는 이들의 조합을 함유하는 레진으로 이루어진 인쇄회로기판.
The method of claim 7,
Wherein the core substrate comprises an inorganic filler, a glass fiber, or a resin containing a combination thereof.
상기 코어 기판의 양면에 각각 순차적으로 제 1 절연 물질층, 제 2 절연 물질층 및 제 3 절연 물질층을 적층하여 형성된 빌드업 절연층을 형성하는 단계; 및
상기 빌드업 절연층상에 빌드업 회로층을 형성하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.
Preparing a core substrate;
Forming a build-up insulation layer formed by sequentially laminating a first insulation material layer, a second insulation material layer and a third insulation material layer on both sides of the core substrate; And
And forming a build-up circuit layer on the build-up insulating layer.
상기 제 1 절연 물질층은 상기 빌드업 회로층상에 반경화 절연 물질을 코팅하여 형성하는 인쇄회로기판의 제조방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the first insulating material layer is formed by coating a semi-cured insulating material on the build-up circuit layer.
상기 반경화 절연 물질은 아크릴레이트 또는 BT 레진 중 어느 하나를 이용하는 인쇄회로기판의 제조방법.
19. The method of claim 18,
Wherein the semi-cured insulating material uses either acrylate or BT resin.
상기 제 2 절연 물질층은 완전 경화 절연 물질로 형성하는 인쇄회로기판의 제조방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the second insulating material layer is formed of a fully cured insulating material.
상기 완전 경화 절연 물질은 무기 필러가 포함된 레진, 글라스 페브릭 및 무기 필러가 포함된 레진, 폴리이미드 필름 중 어느 하나를 이용하는 인쇄회로기판의 제조방법.
The method of claim 20,
Wherein the fully cured insulating material comprises any one of a resin including inorganic filler, a resin including glass fiber and inorganic filler, and a polyimide film.
상기 제 3 절연 물질층은 에폭시를 포함하는 레진을 코팅하여 형성하는 인쇄회로기판의 제조방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the third insulating material layer is formed by coating a resin including epoxy.
상기 빌드업 회로층은 상기 코어 기판의 두께를 관통하는 비아를 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.
18. The method of claim 17,
Wherein the build-up circuit layer comprises vias through the thickness of the core substrate.
상기 빌드업 회로층상에 솔더 레지스트층을 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.
18. The method of claim 17,
And forming a solder resist layer on the build-up circuit layer.
상기 솔더 레지스트층은 상기 빌드업 회로층의 접속패드가 노출되도록 개구부가 형성되는 인쇄회로기판의 제조방법.
26. The method of claim 24,
Wherein the solder resist layer is formed with openings such that connection pads of the build-up circuit layer are exposed.
상기 노출된 접속 패드상에 형성된 포스트를 더 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.
26. The method of claim 25,
And a post formed on the exposed connection pad.
상기 빌드업 절연층이 형성된 코어 기판의 일면 또는 양면에 빌드업 회로층 및 빌드업 절연층을 적어도 2회 이상 반복하여 적층하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.
18. The method of claim 17,
Further comprising laminating the build-up circuit layer and the build-up insulation layer on one or both surfaces of the core substrate on which the build-up insulation layer is formed by repeating at least two or more times.
상기 코어 기판상에 형성된 빌드업 회로층과 상기 빌드업 절연층 사이 또는 최외곽에 적층된 빌드업 절연층상에 단일 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판의 제조방법.
The method of claim 17,
Further comprising forming a single insulating layer on a build-up insulating layer between the build-up circuit layer formed on the core substrate and the build-up insulating layer or on the outermost layer.
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WO2024076211A1 (en) * | 2022-10-06 | 2024-04-11 | 엘지이노텍 주식회사 | Circuit board and semiconductor package comprising same |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120037411A1 (en) | 2010-08-13 | 2012-02-16 | Unimicron Technology Corporation | Packaging substrate having embedded passive component and fabrication method thereof |
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- 2015-02-24 KR KR1020150025535A patent/KR20160103270A/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120037411A1 (en) | 2010-08-13 | 2012-02-16 | Unimicron Technology Corporation | Packaging substrate having embedded passive component and fabrication method thereof |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024076211A1 (en) * | 2022-10-06 | 2024-04-11 | 엘지이노텍 주식회사 | Circuit board and semiconductor package comprising same |
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