KR20160099475A - Coating apparatus - Google Patents

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KR20160099475A
KR20160099475A KR1020160003529A KR20160003529A KR20160099475A KR 20160099475 A KR20160099475 A KR 20160099475A KR 1020160003529 A KR1020160003529 A KR 1020160003529A KR 20160003529 A KR20160003529 A KR 20160003529A KR 20160099475 A KR20160099475 A KR 20160099475A
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히사요시 후지와라
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도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
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Abstract

Provided is a coating apparatus with which UV light can be emitted from a moment immediately following UV curing solution coating, the amount of the UV light emission can be freely set, and thus the thickness of a UV curing solution film can be formed with a high level of precision. The present invention includes: a stage having a substrate mounting surface for substrate mounting; a coating unit coating the substrate mounted on the substrate mounting surface with a UV curing solution while relatively moving in one direction with respect to the stage; a UV emission unit performing UV light emission from a side surface side of the stage orthogonal to the substrate mounting surface; and a reflection unit reflecting the UV light of the UV emission unit toward the substrate mounting surface.

Description

도포 장치{COATING APPARATUS}COATING APPARATUS

본 발명은 기판 상에 UV경화액을 도포하는 도포 장치에 관한 것이며, 특히 기판 상에 도포된 UV경화액을 경화시키는 자외선(UV) 조사(照射) 기구를 포함하는 것에 관한 것이다.The present invention relates to a coating apparatus for applying a UV curing liquid on a substrate, and more particularly to a UV curing liquid coating apparatus for curing a UV curing liquid coated on a substrate.

액정 디스플레이나 전자 종이에는, 다양한 모듈, 패널 등(이하, 공작물이라 함)이 사용되고 있다. 이들의 접착, 기능액(機能液)의 봉지(封止) 등에는 UV경화형 수지 재료(이하, UV경화액)가 사용되는 경우가 많다. 예를 들면, 전자 종이에서는 기판 상에 격자형의 격벽에 의해 다수의 화소가 형성되어 있고, 각 화소 내에 기능액이 충전된 후, 기판 상에 UV경화액이 일정하게 도포되고 이 UV경화액이 경화됨으로써 각 화소 내에 기능액이 봉지된다.Various modules, panels, and the like (hereinafter referred to as workpieces) are used for the liquid crystal display and the electronic paper. A UV curable resin material (hereinafter referred to as a UV curable liquid) is often used for adhesion of these materials and sealing of a functional liquid (functional liquid). For example, in an electronic paper, a plurality of pixels are formed on a substrate by lattice type barrier ribs. After the functional liquid is filled in each pixel, a UV curing liquid is uniformly applied onto the substrate, The functional liquid is encapsulated in each pixel.

이와 같은 UV경화액은 예를 들면 슬릿 노즐을 가지는 도포 장치에 의해 도포된다. 이 도포 장치는 UV경화액을 토출하는 구금(口金)부를 가지는 도포 유닛이 형성되어 있고, 구금부에 형성된 일방향으로 연장된 슬릿 노즐로부터 UV경화액을 토출시키면서 구금부를 유리 기판을 따른 방향으로 이동시킴으로써 균일 두께의 UV경화액막이 형성된다. 그리고, UV경화액막이 형성된 후, 이 UV경화액막에 UV광을 조사함으로써 UV경화액막이 경화된다. 예를 들면, 특허 문헌 1에서는 UV경화액을 도포하는 공급부(도포 유닛)에 가경화(假硬化) 처리부(UV조사부)가 형성되어 있고, 공급부로부터 토출된 UV경화액막에 가경화 처리부로부터의 UV광이 조사되는 것에 의해 UV경화액막이 경화된다. 구체적으로는, 가경화 처리부는 공급부의 이동 방향 후방 측(공급부의 주사 후 영역 측)에 형성되어 있고, 공급부에 의해 기판 상에 형성된 직후의 UV경화액막에 UV광이 조사되도록 되어 있다. 그리고, 최종적으로 기판 상에 형성된 UV경화액막의 전부에 UV광이 순차적으로 조사되는 것에 의해, 기판 상에 소정 막 두께의 UV경화액막이 형성되게 된다.Such a UV curing liquid is applied, for example, by a coating apparatus having a slit nozzle. This coating apparatus is provided with a coating unit having a mouth portion for discharging a UV curing liquid. By moving the curing portion along the glass substrate while discharging the UV curing liquid from a slit nozzle extending in one direction formed in the curing portion A UV curable liquid film having a uniform thickness is formed. After the UV curable liquid film is formed, the UV curable liquid film is cured by irradiating the UV curable liquid film with UV light. For example, in Patent Document 1, a temporary curing treatment section (UV irradiation section) is formed in a supply section (coating unit) for applying a UV curing liquid, and a UV cured liquid film discharged from a supply section is irradiated with UV When the light is irradiated, the UV cured liquid film is cured. Specifically, the temporary hardening processing section is formed on the rear side in the moving direction of the supplying section (on the scanning post-area side of the supplying section), and UV light is irradiated onto the UV cured liquid film immediately after formed on the substrate by the supplying section. Then, UV light is sequentially irradiated onto the entire UV cured liquid film formed on the substrate, thereby forming a UV cured liquid film having a predetermined film thickness on the substrate.

[선행 기술 문헌][Prior Art Literature]

[특허 문헌][Patent Literature]

[특허 문헌 1] 일본공개특허 제2012-071281호 공보[Patent Document 1] Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2012-071281

그러나, 전술한 UV조사 기구를 포함하는 도포 장치에서는, UV경화액막의 막 두께를 양호한 정밀도로 형성하는 것이 곤란한 문제가 있었다. 즉, UV경화액막은 그 막 두께로부터 기능성이 발휘되기 때문에, 막 두께를 양호한 정밀도로 형성할 필요가 있다. 그런데, 전술한 구성에서는 공급부(도포 유닛)의 이동에 따라 가경화 처리부(UV조사부)도 이동하므로, UV조사부로부터의 UV조사량이 도포 유닛의 이동 속도에 의존하게 된다. UV경화액의 경화는 그 종류에 따라 UV조사량이 여러가지인 한편, 도포 유닛의 이동 속도는 UV경화액의 점성에 영향을 받으므로 UV경화액막의 일정한 형성과 충분한 UV광의 조사량을 능숙하게 조정하는 것이 곤란하고, UV경화액막의 막 두께를 설계대로 형성하는 것이 곤란했다.However, in the coating apparatus including the above-described UV irradiation mechanism, there is a problem that it is difficult to form the film thickness of the UV cured liquid film with good precision. That is, since the UV cured liquid film exerts its functionality from its film thickness, it is necessary to form the film thickness with good precision. However, in the above-described configuration, since the temporary hardening portion (UV irradiating portion) also moves in accordance with the movement of the supplying portion (coating unit), the UV irradiation amount from the UV irradiating portion depends on the moving speed of the coating unit. Since the curing of the UV curing liquid varies depending on the type of the UV curing liquid, the moving speed of the coating unit is influenced by the viscosity of the UV curing liquid. Therefore, the uniform formation of the UV curing liquid film and the sufficient irradiation amount of UV light It is difficult to form the film thickness of the UV cured liquid film as designed.

또, 전자 종이의 기능액을 UV경화액막으로 봉지하는 경우, 기판 상의 각 화소 내에 기능액이 충전되고, 그 위에 UV경화액이 일정하게 도포된 후 소정 시간 경과하면 기능액에 접하는 UV경화액이 기능액 내에 침강하여 기능액을 손상시킬 가능성이 있다. 그런데, 전술한 구성에서는, 공급부(도포 유닛)로부터 UV경화액을 토출한 후, 가경화 처리부(UV조사부)의 UV광이 조사되기까지 시간 지연(time lag)이 있기 때문에, 그 시간 지연에 따라서는 UV경화액이 기능액 내에 침강하여 막 두께를 양호한 정밀도로 형성하는 것이 곤란하게 된다. 만약 상기 시간 지연이 일견 문제 없는 경우라도, 특허 문헌 1과 같이 UV조사가 위쪽으로부터 행해지면 UV경화액이 기능액에 접하는 부분에는 직접 조사되지 않으므로, 기능액에 접하는 UV경화액막은 실제로는 상기 시간 지연 이상의 시간 접촉되게 되어 UV경화액막의 표면은 경화되어도 기능액에 접하는 부분이 기능액 내에 침강해 버리는 현상이 생겼다. 이와 같이, UV광이 조사되기까지 일정 시간이 필요하면, UV경화액막의 막 두께 제어가 손상되고, 게다가 전자 종이의 품질에 영향을 미칠 우려가 있는 문제가 있다.When the functional liquid of the electronic paper is sealed with a UV curable liquid film, the functional liquid is filled in each pixel on the substrate, and after a predetermined time has passed after the UV curable liquid is uniformly applied thereon, a UV curable liquid There is a possibility of precipitating in the functional liquid and damaging the functional liquid. However, in the above-described configuration, since there is a time lag after the UV curing liquid is discharged from the supply unit (coating unit) until the UV light of the hardening treatment unit (UV irradiation unit) is irradiated, It is difficult for the UV curing liquid to precipitate in the functional liquid and to form the film with good precision. Even if the above-mentioned time delay does not seem to be a problem, since the UV curing liquid is not directly irradiated to the portion contacting with the functional liquid when UV irradiation is performed from above as in Patent Document 1, the UV cured liquid film in contact with the functional liquid, There is a phenomenon that the surface of the UV cured liquid film settles in the functional liquid even when the surface of the liquid curable liquid film is hardened. As described above, if a certain period of time is required until UV light is irradiated, the film thickness control of the UV cured liquid film is damaged, and further there is a problem that the quality of the electronic paper may be affected.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것이며, UV경화액의 도포 직후부터 UV광을 조사할 수 있고, 그 UV광의 조사량을 자유롭게 설정할 수 있어, UV경화액막의 막 두께를 양호한 정밀도로 형성할 수 있는 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.The present invention has been made in order to solve the problems described above, and it is an object of the present invention to provide a method for forming a UV curable liquid film which can irradiate UV light immediately after application of a UV curable liquid, And an object of the present invention is to provide a coating apparatus which can be used as a coating apparatus.

상기 문제점을 해결하기 위해 본 발명의 도포 장치는, 기판을 탑재하는 기판 탑재면을 가지는 스테이지, 상기 스테이지에 대해서 일방향으로 상대적으로 이동하면서 상기 기판 탑재면에 탑재된 기판에 UV경화액을 도포하는 도포 유닛, 상기 기판 탑재면에 대해서 직교하는 상기 스테이지의 측면 측으로부터 UV광을 조사하는 UV조사부, 상기 UV조사부의 UV광을 기판 탑재면 측에 반사시키는 반사부를 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.In order to solve the above problems, a coating apparatus of the present invention comprises a stage having a substrate mounting surface on which a substrate is mounted, a coating member which is relatively moved in one direction with respect to the stage and is coated with a UV curing liquid on a substrate mounted on the substrate mounting surface Unit, a UV irradiating unit for irradiating UV light from the side surface of the stage orthogonal to the substrate mounting surface, and a reflecting unit for reflecting the UV light of the UV irradiating unit to the substrate mounting surface side.

상기 도포 장치에 의하면, UV조사부가 도포 유닛과는 별도로 스테이지의 측면 측에 설치되어 있으므로, 도포 유닛의 동작에 의하지 않고 자유롭게 UV광을 조사하는 것이 가능하다. 즉, 종래의 도포 장치와 비교하여 시간 지연이 생기지 않고 UV광을 조사할 수 있으므로, UV경화액의 도포 직후부터 UV조사를 행하여 UV경화액막을 경화시키는 것이 가능하다. 또, 스테이지의 측면 측에 설치된 UV조사부로부터의 UV광이 반사부에서 반사되어 기판 탑재면 측으로부터 기판 탑재면에 탑재된 기판에 조사되는 것에 의해, UV광은 기판에 대해서 기판 탑재면 측으로부터 조사된다. 즉, 전자 종이의 기능액을 UV경화액막으로 봉지하는 경우, UV경화액이 기능액에 접하는 측으로부터 UV광이 조사되므로 UV경화액을 기능액에 접하는 측으로부터 경화시키는 것이 가능하다. 따라서, 종래의 도포 장치와 비교하여 UV경화액이 기능액 내에 침강하는 것을 최대한 억제할 수 있다.According to the coating apparatus, since the UV irradiating unit is provided on the side of the stage separately from the coating unit, it is possible to irradiate UV light freely irrespective of the operation of the coating unit. That is, since UV light can be irradiated without a time delay as compared with the conventional coating apparatus, it is possible to cure the UV cured liquid film by UV irradiation immediately after application of the UV curable liquid. The UV light from the UV irradiating unit provided on the side surface of the stage is reflected by the reflecting unit and irradiated to the substrate mounted on the substrate mounting surface from the substrate mounting surface side so that the UV light is irradiated from the substrate mounting surface side do. That is, when the functional liquid of the electronic paper is sealed with the UV curable liquid film, since the UV curable liquid is irradiated with the UV light from the side in contact with the functional liquid, the UV curable liquid can be cured from the side in contact with the functional liquid. Therefore, it is possible to suppress as much as possible the settling of the UV curing liquid into the functional liquid as compared with the conventional coating apparatus.

또, 상기 UV조사부는, 상기 도포 유닛의 이동 방향에서의 상기 스테이지의 한쪽 단부에 배치되어 있고, 상기 반사부는, 상기 UV조사부로부터 반대 측을 향해 상기 기판 탑재면에 가까워지도록 경사져 있는 구성으로 해도 된다.The UV irradiating unit may be disposed at one end of the stage in the moving direction of the coating unit and the reflecting unit may be inclined to approach the substrate mounting surface from the UV irradiating unit toward the opposite side .

이 구성에 따르면, 한 개의 UV조사부로부터의 UV광을 반사부를 통해 기판 탑재면의 전체면에 조사시킬 수 있다.According to this configuration, it is possible to irradiate the entire surface of the substrate mounting surface with the UV light from one UV irradiating portion through the reflecting portion.

또, 상기 도포 유닛은, 이동 방향과 직교하는 방향으로 연장되고, UV경화액이 토출되는 슬릿 노즐을 포함하고, 이 도포 유닛에는, 적어도 상기 UV조사부와 반대 측에 상기 반사부로부터의 광을 차단하는 차광부가 슬릿 노즐의 연장되는 방향에 걸쳐 설치되어 있는 구성으로 해도 된다.The coating unit may include a slit nozzle extending in a direction orthogonal to the moving direction and discharging the UV curable liquid, and the coating unit may be provided with at least a UV shielding portion Shielding portion may be provided across the direction in which the slit nozzle extends.

이 구성에 따르면, 도포 유닛의 이동 방향 전방 측(미 도포 영역 측)에 위치하는 반사부에 의해 반사된 UV광이 슬릿 노즐의 선단에 조사되는 것을 억제할 수 있으므로, 슬릿 노즐의 토출 직후의 UV경화액이 기판에 도달하기 전에 경화되어 버리는 것을 억제할 수 있다.According to this configuration, it is possible to suppress the UV light reflected by the reflecting portion located on the front side (the uncoated region side) of the coating unit in the moving direction from being irradiated to the tip of the slit nozzle, It is possible to inhibit the curing liquid from hardening before reaching the substrate.

또, 상기 UV조사부는, 조사 방향을 조절하는 조사 조절 기구를 포함하고, 이 조사 조절 기구는, 도포 중의 상기 도포 유닛의 이동에 따라 상기 UV조사부가 조사하는 조사 영역을 변경하는 구성으로 해도 된다.The UV irradiation unit may include a radiation adjusting mechanism for adjusting the irradiation direction, and the irradiation adjusting mechanism may change the irradiation region irradiated by the UV irradiating unit in accordance with the movement of the coating unit during application.

이 구성에 따르면, 기판에 도포된 직후의 UV경화액에 UV광을 조사할 수 있으므로, UV경화액막의 막 두께를 양호한 정밀도로 형성할 수 있다. 또, UV경화액이 기능액에 침강하는 것을 최대한 억제할 수 있다.According to this configuration, UV light can be irradiated onto the UV curable liquid immediately after being applied to the substrate, so that the film thickness of the UV curable liquid film can be formed with good precision. In addition, it is possible to minimize the settling of the UV curing liquid into the functional liquid.

본 발명의 도포 장치에 의하면, UV경화액막의 막 두께를 양호한 정밀도로 형성할 수 있다.According to the coating apparatus of the present invention, the film thickness of the UV cured liquid film can be formed with good precision.

도 1은 본 발명의 도포 장치의 외관을 나타내는 개략 사시도이다.
도 2는 상기 도포 장치를 Y축 방향에서 본 도면이다.
도 3은 상기 도포 장치의 프로세스 흐름을 나타낸 개략도이다.
도 4는 다른 실시형태의 UV조사부를 나타낸 도면이다.
도 5는 다른 실시형태의 UV조사부를 나타낸 도면이다.
도 6은 UV조사부의 조사 조절 기구를 나타낸 도면이다.1 is a schematic perspective view showing an appearance of a coating device of the present invention.
Fig. 2 is a view of the coating apparatus viewed from the Y-axis direction.
3 is a schematic view showing a process flow of the application device.
4 is a view showing a UV irradiation unit according to another embodiment.
Fig. 5 is a view showing a UV irradiation unit according to another embodiment. Fig.
Fig. 6 is a view showing the irradiation adjusting mechanism of the UV irradiating unit. Fig.

본 발명에 관한 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시형태의 도포 장치를 나타낸 사시도이며, 도 2는 도포 장치의 스테이지를 Y방향에서 본 도면이다.Fig. 1 is a perspective view showing a coating device according to an embodiment of the present invention, and Fig. 2 is a view showing a stage of the coating device viewed from the Y direction.

도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이, 도포 장치는, 공급되는 박판형(薄板形)의 투명한 기판(2)(격벽에 의해 형성된 화소 내에 기능액이 충전된 공작물 등을 포함)에 도포액을 도포하는 것이다. 본 실시형태에서는, 도포액으로서 UV조사함으로써 경화되는 UV경화액이 사용된다. 이 도포 장치는 기대(基臺)(3), 기판(2)을 탑재하기 위한 스테이지(4) 및 이 스테이지(4)에 대해 일정 방향으로 이동 가능하게 구성되는 도포 유닛(5)을 구비하고 있다.As shown in Figs. 1 and 2, a coating device is a device which applies a coating liquid to a thin plate-like transparent substrate 2 (including a workpiece filled with a functional liquid in a pixel formed by barrier ribs) will be. In this embodiment, a UV curing liquid which is cured by UV irradiation as a coating liquid is used. This coating apparatus is provided with a base 3, a stage 4 for mounting the substrate 2, and a coating unit 5 which is movable in a certain direction with respect to the stage 4 .

그리고, 이하의 설명에서는, 도포 유닛(5)이 이동하는 방향을 X축 방향, 이것과 수평면 상에서 직교하는 방향을 Y축 방향, X축 및 Y축 방향 모두과 직교하는 방향을 Z축 방향으로 하여 설명을 진행하는 것으로 한다.In the following description, the direction in which the coating unit 5 moves is referred to as the X-axis direction, the direction orthogonal to the X-axis direction on the horizontal plane is referred to as the Y-axis direction, and the direction orthogonal to both the X- .

상기 기대(3)는, 각각의 구성 부재, 예를 들면 스테이지(4) 및 도포 유닛(5)을 지지하는 것으로, 석재 등으로 형성되어 있다.The base 3 supports each component, for example, the stage 4 and the coating unit 5, and is formed of stone or the like.

상기 스테이지(4)는 반입(搬入)된 기판(2)을 그 표면에 탑재하여 유지한다. 스테이지(4)는 평탄면을 가지는 직사각형으로 형성되어 있고, 그 평탄면이 기판(2)보다 크게 형성되어 있다. 이 평탄면은 기판(2)을 탑재하기 위한 기판 탑재면(4a)이며, 기판 탑재면(4a)에 기판(2)이 탑재되면 기판 유지 기구(미도시)에 의해 기판(2)이 위치 맞춤됨과 함께 기판 탑재면(4a) 상에 확실하게 고정되도록 되어 있다. 즉, 기판 탑재면(4a)에 기판(2)이 고정된 상태에서는, 기판(2)의 높이 위치가 도포 유닛(5)이 주사하는 범위에 있어서 균일 높이가 되도록 설정되어 있고, 후술하는 도포 유닛(5)의 슬릿 노즐(51a)(도 2 참조)의 선단과 기판(2)과의 거리가 슬릿 노즐(51a)의 연장되는 방향에 걸쳐 일정하게 되도록 되어 있다.The stage 4 mounts and holds the substrate 2 on its surface. The stage 4 is formed in a rectangular shape having a flat surface, and the flat surface of the stage 4 is formed larger than the substrate 2. This flat surface is a substrate mounting surface 4a for mounting the substrate 2. When the substrate 2 is mounted on the substrate mounting surface 4a, the substrate 2 is aligned by the substrate holding mechanism And is firmly fixed on the substrate mounting surface 4a. That is, in a state where the substrate 2 is fixed on the substrate mounting surface 4a, the height position of the substrate 2 is set to be a uniform height in a range in which the coating unit 5 scans, The distance between the tip of the slit nozzle 51a (see FIG. 2) of the substrate 5 and the substrate 2 is made constant over the extending direction of the slit nozzle 51a.

도포 유닛(5)은 스테이지(4)에 탑재된 기판(2)에 UV경화액을 도포하기 위한 것이며, UV경화액을 도포하는 구금부(51) 및 이 구금부(51)의 양단 부분에 설치된 유닛 지지부(52)를 가지고 있다.The coating unit 5 is for coating a substrate 2 mounted on the stage 4 with a UV curing liquid and is provided with a curing portion 51 for applying a UV curing liquid, Unit support portion 52 as shown in Fig.

상기 유닛 지지부(52)는 구금부(51)를 승강 동작 가능하게 지지함과 함께 이 구금부(51)를 X축 방향으로 이동시키기 위한 것이며, 주행 장치(53)와 이 주행 장치(53)에 지지되는 승강 장치(54)를 가지고 있다.The unit supporting portion 52 is for supporting the holding portion 51 so as to be able to move up and down along with the holding portion 51 in the X axis direction and includes a traveling device 53 and a traveling device 53 And a lifting device 54 supported.

승강 장치(54)는 구금부(51)를 승강 동작시키는 것이며, Z축 방향으로 연장되는 레일(54a)과 구금부(51)에 연결되는 슬라이더(54b)를 가지고 있다. 이 레일(54a)에는 슬라이더(54b)가 레일(54a)에 따라 슬라이드 가능하게 장착되어 있다. 또, 슬라이더(54b)에는 서보 모터에 의해 구동되는 볼나사 기구가 장착되어 있고, 이 서보 모터를 구동 제어함으로써 슬라이더(54b)가 Z축 방향으로 이동함과 함께 임의의 위치에서 정지 가능하도록 되어 있다. 이로써, 구금부(51)는 Z축방향으로의 승강 동작이 구동 제어되고, 스테이지(4)에 대해 근접 및 이격 가능하게 동작하도록 되어 있다.The elevating device 54 elevates and moves the holding portion 51 and has a rail 54a extending in the Z axis direction and a slider 54b connected to the holding portion 51. [ A slider 54b is slidably mounted on the rail 54a along the rail 54a. A ball screw mechanism driven by a servo motor is attached to the slider 54b. By driving and controlling the servo motor, the slider 54b moves in the Z-axis direction and can be stopped at an arbitrary position . Thereby, the housing unit 51 is driven and controlled to move in the Z-axis direction, and is operable so as to be close to and away from the stage 4. [

주행 장치(53)는 구금부(51)를 X축 방향으로 주행시키기 위한 것이며, 주행 장치 본체(11) 및 X축 방향으로 연장되는 레일(13)을 가지고 있다. 이 주행 장치 본체(11)는 기대(3)와의 사이에 설치되는 에어 패드(미도시)에 의해 기대(3) 상에 지지되어 있다. 그리고, 주행 장치 본체(11)는 그 일부가 레일(13)에 슬라이드 가능하게 장착되어 있고, 주행 장치 본체(11)에 장착된 리니어 모터(12)를 구동 제어함으로써 주행 장치 본체(11)가 X축 방향으로 이동하도록 되어 있다. 이로써, 구금부(51)는 X축 방향을 따라 주행할 수 있도록 되어 있다.The traveling apparatus 53 is for traveling the housing unit 51 in the X-axis direction, and has a traveling apparatus main body 11 and a rail 13 extending in the X-axis direction. The main body 11 of the traveling apparatus is supported on the base 3 by an air pad (not shown) provided between the base 3 and the base 3. [ A part of the traveling apparatus main body 11 is slidably mounted on the rail 13 and drives and controls the linear motor 12 mounted on the traveling apparatus main body 11, So as to move in the axial direction. Thus, the claw 51 can travel along the X-axis direction.

이와 같이 구성되는 유닛 지지부(52)에 의해 구금부(51)는 스테이지(4)의 표면에 대해서 Z축 방향으로 승강 동작 가능함과 함께, 스테이지(4)의 표면으로부터 소정 높이를 유지한 상태로 스테이지(4)의 표면 위를 X축 방향을 따라 이동할 수 있도록 되어 있다.The unit support portion 52 constructed as described above allows the needle portion 51 to move up and down in the Z-axis direction with respect to the surface of the stage 4, And can move on the surface of the substrate 4 along the X-axis direction.

상기 구금부(51)는, 이동 방향과 직교하는 방향으로 연장되는 형상을 가지는 기둥형 부재이며, 스테이지(4)의 표면과 대향하는 대향면에는 도포액을 토출하는 슬릿 노즐(51a)이 형성되어 있다. 이 슬릿 노즐(51a)은 이동 방향과 직교하는 방향으로 연장됨과 함께, 스테이지(4)의 기판 탑재면(4a) 측으로 돌출되고, 이 돌출된 부분에는 Y축 방향으로 연장되는 형상의 간극(間隙)(슬릿)이 형성되어 있다. 즉, 이 슬릿 노즐(51a)을 통해 구금부(51)에 공급된 도포액이 기판(2)의 표면에 토출되도록 되어 있다. 그리고, 이 구금부(51)의 상류 측에는 도포액을 저류(貯留)하는 도포액 탱크와 도포액 펌프 유닛이 구비되어 있고, 도포액 펌프 유닛에 의해 도포액 탱크의 도포액이 구금부(51)에 송액(送液)됨으로써 구금부(51) 내의 도포액이 슬릿을 통해 토출되도록 되어 있다.The holding portion 51 is a columnar member having a shape extending in a direction orthogonal to the moving direction and a slit nozzle 51a for discharging the coating liquid is formed on the opposite surface facing the surface of the stage 4 have. The slit nozzle 51a extends in a direction orthogonal to the moving direction and protrudes toward the substrate mounting surface 4a of the stage 4. A gap of a shape extending in the Y axis direction is formed in the protruded portion, (Slit) is formed. That is, the coating liquid supplied to the holding portion 51 through the slit nozzle 51a is discharged onto the surface of the substrate 2. [ A coating liquid tank and a coating liquid pump unit for storing the coating liquid are provided on the upstream side of the housing unit 51. The coating liquid tank unit is provided with a coating liquid tank, So that the coating liquid in the holding portion 51 is discharged through the slit.

또, 스테이지(4)의 측면 측에는 UV조사부(6)가 형성되어 있고, 스테이지(4) 상의 기판(2)에 대해 UV광을 조사할 수 있도록 되어 있다. 여기서, 도 2는 UV조사부(6)와 스테이지(4)를 Y방향으로부터 본 도면이며, 도면 중의 화살표는 UV광의 광로를 나타내고 있다. UV조사부(6)는 스테이지(4) 측으로 열려 있는(開口) 케이싱(61)과 이 케이싱(61) 내에 배치되는 UV램프(62)를 가지고 있다. 케이싱(61)의 내측에는 미러가 형성되어 있고, UV램프(62)를 점등하면 UV광이 케이싱(61) 내를 반사하여 케이싱(61)의 개구부(63)로부터 조사되도록 되어 있다. 즉, UV광은 스테이지(4)의 측면을 향해 조사되도록 되어 있다.A UV irradiation part 6 is formed on the side surface of the stage 4 so that the substrate 2 on the stage 4 can be irradiated with UV light. Here, FIG. 2 is a view of the UV irradiation unit 6 and the stage 4 viewed from the Y direction, and arrows in the drawing indicate the optical paths of UV light. The UV irradiating unit 6 has a casing 61 opened to the stage 4 side and a UV lamp 62 disposed in the casing 61. When the UV lamp 62 is turned on, UV light is reflected from the inside of the casing 61 and is irradiated from the opening 63 of the casing 61. That is, the UV light is irradiated toward the side surface of the stage 4. [

또, 스테이지(4)의 내부에는 반사부(7)가 설치되어 있다. 이 반사부(7)는 UV조사부(6)로부터의 UV광을 스테이지(4)의 기판 탑재면(4a)에 조사하기 위한 것이다. 이 반사부(7)는 스테이지(4) 내부에 배치되는 미러(71)에 의해 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 스테이지(4)는 투명한 유리로 형성된 부분(41)과 평판 형상의 미러(71)가 설치된 부분(42)을 가지고 있고, 스테이지(4)의 내부에 평판 형상의 미러(71)가 경사진 상태로 배치되어 있다. 구체적으로는, 평판 형상의 미러(71)는 스테이지(4)의 내부에 UV조사부(6)로부터 반대 측(이격되는 측)을 향해 기판 탑재면(4a)에 가까워지도록 경사지게 배치되어 있다. 따라서, UV조사부(6)로부터 조사되는 UV광은 반사부(7)의 미러(71)에 의해 반사되는 것에 의해 기판 탑재면(4a)의 이면측에 조사되도록 되어 있다. 이로써, 기판(2) 상에 도포된 UV경화액을 경화시키는 것이 가능하다. 즉, UV경화액막이 형성된 기판(2)에 대해 UV조사부(6)로부터 UV광을 조사하면, UV광은 반사부(7)에서 반사되고 기판 탑재면(4a)의 이면측으로부터 기판(2)의 이면을 조사한다. 그리고, UV광은 투명한 기판(2)의 내부를 통과하여, 기판(2)의 표면에 형성된 UV경화액막을 조사함으로써 UV경화액막을 경화시키는 것이 가능하다.A reflection portion 7 is provided in the interior of the stage 4. The reflector 7 irradiates UV light from the UV irradiator 6 onto the substrate mounting surface 4a of the stage 4. [ The reflecting portion 7 is formed by a mirror 71 disposed inside the stage 4. [ In this embodiment, the stage 4 has a portion 41 formed of a transparent glass and a portion 42 provided with a flat plate-shaped mirror 71, and a plate-like mirror 71 is provided in the stage 4, Are arranged in an inclined state. Specifically, the flat plate-like mirror 71 is inclined to the inside of the stage 4 so as to be closer to the substrate mounting surface 4a from the UV irradiating portion 6 toward the opposite side (the side remote from the UV irradiating portion 6). Therefore, the UV light emitted from the UV irradiating unit 6 is reflected by the mirror 71 of the reflecting unit 7, so that the UV light is irradiated to the back surface of the substrate mounting surface 4a. Thereby, it is possible to cure the UV curing liquid applied on the substrate 2. That is, when the UV light is irradiated from the UV irradiating section 6 to the substrate 2 on which the UV cured liquid film is formed, the UV light is reflected by the reflecting section 7 and is reflected from the back surface side of the substrate mounting surface 4a Check the back side. The UV light passes through the interior of the transparent substrate 2, and it is possible to cure the UV cured liquid film by irradiating the UV cured liquid film formed on the surface of the substrate 2. [

또, 구금부(51)에는 차광 케이스(8)가 설치되어 있다. 이 차광 케이스(8)는 반사된 UV광이 슬릿 노즐(51a)로부터 토출된 직후의 UV경화액을 조사하여 경화시키는 것을 방지하기 위한 것이다. 차광 케이스(8)는 구금부(51)의 이동 방향 앞쪽(UV조사부(6)와 반대 측)을 슬릿 노즐(51a)의 연장되는 방향을 따라 덮는 차광부(81)와 이동 방향 후방 측(UV조사부(6) 측)을 슬릿 노즐(51a)의 연장되는 방향을 따라 덮는 차광부(81)를 가지고 있고, 이들 차광부(81)에 의해 구금부(51)의 스테이지(4)와 대향하는 부분을 덮고 있다. 그리고, 슬릿 노즐(51a)이 위치하는 부분에는 슬릿 노즐(51a)의 연장되는 방향을 따라 개구부(82)가 형성되어 있다. 또, 차광 케이스(8)에는 개구부(82)를 개폐시키는 셔터부(83)가 형성되어 있고, 도포 개시 전에 UV광이 조사된 경우에 슬릿 노즐(51a)로부터 토출되려고 하는 UV경화액이 조사되는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다. 이로써, 반사부(7)에서 반사된 UV광에 의해 슬릿 노즐(51a)로부터 토출된 직후의 UV경화액이 조사되고, 슬릿 노즐(51a)의 노즐 막힘을 발생시키는 문제를 억제할 수 있다.The shielding case 8 is provided in the housing unit 51. [ The light-shielding case 8 is for preventing the reflected UV light from being irradiated with the UV curing liquid immediately after being discharged from the slit nozzle 51a and hardened. The light shielding case 8 is provided with a light shielding portion 81 covering the front side in the moving direction of the holding portion 51 (the side opposite to the UV irradiating portion 6) along the extending direction of the slit nozzle 51a, (The side of the irradiation section 6 side) along the direction in which the slit nozzle 51a extends. The light shielding section 81 removes the portion of the holding section 51, which faces the stage 4, . An opening 82 is formed in a portion where the slit nozzle 51a is located along the direction in which the slit nozzle 51a extends. The light shielding case 8 is provided with a shutter 83 for opening and closing the opening 82. When the UV light is irradiated before the start of coating, the UV hardened liquid to be discharged from the slit nozzle 51a is irradiated So that it can be prevented. This makes it possible to suppress the problem that the UV curing liquid immediately after being discharged from the slit nozzle 51a is irradiated by the UV light reflected by the reflecting portion 7 and clogging of the nozzle of the slit nozzle 51a occurs.

다음에, 상기 도포 장치의 동작에 대하여 도 3의 프로세스 흐름도에 기초하여 설명한다. 본 실시형태에서는, 전자 종이의 기능액을 UV경화액막으로 봉지하는 경우를 예로서 설명한다.Next, the operation of the application device will be described based on the process flow chart of Fig. In the present embodiment, a case of sealing a functional liquid of an electronic paper with a UV curable liquid film will be described as an example.

먼저, 준비 공정이 행해진다. 도 3의 (a)에 나타낸 바와 같이, 스테이지(4)의 기판 탑재면(4a) 상에 기판(2)이 공급되면, 소정의 위치로 위치 결정되어 고정된다. 그리고, UV조사부(6)의 UV램프(62)가 점등된다. 그리고, 공급되는 기판(2) 상에는 격벽으로 화소가 형성되어 있고, 각 화소 내에 기능액이 충전되어 있다.First, a preparation process is performed. As shown in Fig. 3A, when the substrate 2 is supplied onto the substrate mounting surface 4a of the stage 4, the substrate 2 is positioned and fixed at a predetermined position. Then, the UV lamp 62 of the UV irradiation unit 6 is turned on. On the substrate 2 to be supplied, pixels are formed as barrier ribs, and each pixel is filled with a functional liquid.

다음에, 도포 공정이 행해진다. 구체적으로는, 도 3의 (b)에 나타낸 바와 같이 도포 유닛(5)이 도포 개시 위치로 이동하고, 구금부(51)의 슬릿 노즐(51a) 선단과 기판(2)과의 거리가 도포에 따른 적절한 거리로 설정된다. 그리고, 구금부(51)내에 기판(2) 상에 도포에 필요한 양의 UV경화액이 공급된다. 그리고, 이 단계에서 차광 케이스(8)의 셔터부(83)는 폐쇄된 그대로이므로, 차광 케이스(8) 내에 UV광은 조사되지 않는다. 따라서, 구금부(51) 내의 UV경화액은 경화되지 않고 슬릿 노즐(51a)에서의 노즐 막힘의 발생이 방지된다.Next, a coating process is performed. Specifically, as shown in Fig. 3 (b), the coating unit 5 moves to the application start position, and the distance between the tip of the slit nozzle 51a of the holding portion 51 and the substrate 2 is As shown in FIG. Then, an amount of the UV curing liquid necessary for coating is supplied onto the substrate 2 in the housing portion 51. [ At this stage, since the shutter portion 83 of the light-shielding case 8 is kept closed, no UV light is irradiated into the light-shielding case 8. Therefore, the UV curing liquid in the crotch portion 51 is not cured and the clogging of the nozzle in the slit nozzle 51a is prevented.

다음에, 기판(2) 상에 UV경화액이 도포된다. 도 3의 (c)에 나타낸 바와 같이 차광 케이스(8)의 셔터부(83)가 개방된 후, 슬릿 노즐(51a)로부터 UV경화액이 토출되면서 도포 유닛(5)이 일방향으로 이동함으로써, 기판(2) 상에 일정 막 두께의 UV경화액이 도포된다. 도포된 UV경화액은 UV광이 조사되는 것에 의해 경화가 개시된다. 즉, UV조사부(6)로부터의 UV광이 반사부(7)에 의해 반사되고, 투명한 스테이지(4) 및 기판(2)을 통과함으로써 기판(2) 상에 도포된 UV경화액이 조사된다. 구체적으로는, 슬릿 노즐(51a)로부터 도포된 UV경화액은 도포 개시 위치로부터 순차적으로 UV조사부(6)로부터 멀어지는 측을 향해 도포됨과 동시에 UV광에 노출되므로, UV경화액막은 도포 개시 위치로부터 순차적으로 경화가 개시된다. 그러므로, 슬릿 노즐(51a)로부터 토출된 직후에 형성된 UV경화액막의 막 두께가 대략 유지된 채로 경화되기 때문에, 기판(2) 상에는 설정한 대로 균일 두께의 UV경화액막이 형성된다. 또, UV광은 기판 탑재면(4a) 측으로부터 조사되므로, 도포된 UV경화액은 기판(2) 상의 기능액과 접하는 측이 조사되어, 이 기능액과 접하는 측으로부터 경화가 개시된다. 따라서, 기판(2) 상에 형성되는 UV경화액막은 기능액과 접하는 측으로부터 경화가 개시되기 때문에, UV경화액막의 표면 측(기능액과 접하는 측의 반대 측)으로부터 UV광이 조사되는 경우와 비교하여 UV경화액의 상태로 기능액에 접촉하는 시간이 짧아져 UV경화액이 기능액에 침강하는 현상을 억제할 수 있다.Next, a UV curing liquid is applied onto the substrate 2. The coating unit 5 moves in one direction as the UV curing liquid is discharged from the slit nozzle 51a after the shutter 83 of the shield case 8 is opened as shown in Fig. 3 (c) A UV curing liquid having a constant film thickness is applied on the substrate 2. The applied UV curing liquid is initiated by being irradiated with UV light. That is, the UV light from the UV irradiating unit 6 is reflected by the reflecting unit 7, and passes through the transparent stage 4 and the substrate 2, whereby the UV curable liquid applied on the substrate 2 is irradiated. Specifically, the UV curable liquid applied from the slit nozzle 51a is sequentially applied from the application start position toward the side away from the UV irradiating unit 6 and is exposed to the UV light, so that the UV curable liquid film is sequentially . Therefore, since the UV cured liquid film formed immediately after being discharged from the slit nozzle 51a is hardened while being kept substantially in the film thickness, a UV cured liquid film having a uniform thickness is formed on the substrate 2 as set. Since the UV light is irradiated from the side of the substrate mounting surface 4a, the coated UV cured liquid is irradiated on the side in contact with the functional liquid on the substrate 2, and curing is started from the side in contact with the functional liquid. Therefore, since the UV-cured liquid film formed on the substrate 2 starts curing from the side in contact with the functional liquid, the case where UV light is irradiated from the front side (the side opposite to the side in contact with the functional liquid) of the UV- The time for contact with the functional liquid in the state of the UV curing liquid is shortened and the phenomenon of the UV curing liquid settling on the functional liquid can be suppressed.

그리고, 구금부(51)가 도포 종료 위치에 도달하면, 슬릿 노즐(51a)로부터 UV경화액이 토출되는 것이 정지되고 개구부(63)가 셔터부(83)에 의해 폐쇄된다(도 3의 (d)). 이로써, 슬릿 노즐(51a)에 잔존하는 UV경화액이 UV광에 노출되는 것이 방지되기 때문에, 슬릿 노즐(51a)에서 UV경화액이 경화되지 않고 노즐 막힘을 회피할 수 있다.When the crotch portion 51 reaches the coating end position, the UV curing liquid is not discharged from the slit nozzle 51a, and the opening 63 is closed by the shutter portion 83 )). As a result, the UV curing liquid remaining on the slit nozzle 51a is prevented from being exposed to the UV light, so that the UV curing liquid is not cured by the slit nozzle 51a and nozzle clogging can be avoided.

그 후, 기판(2) 상의 UV경화액막에 충분한 UV광이 조사되고 경화가 완료되면 UV조사부(6)의 UV광이 소등된다(도 3의 (e)).Thereafter, when sufficient UV light is irradiated to the UV curable liquid film on the substrate 2 and the curing is completed, the UV light of the UV irradiating unit 6 is turned off (Fig. 3 (e)).

이와 같이, 전술한 도포 장치에 의하면, UV조사부(6)가 도포 유닛(5)과는 별도로 스테이지(4)의 측면 측에 설치되어 있으므로, 도포 유닛(5)의 동작에 의하지 않고 자유롭게 UV광을 조사하는 것이 가능하다. 즉, 종래의 도포 장치와 비교하여 시간 지연이 생기지 않고 UV광을 조사할 수 있으므로, UV경화액의 도포 직후부터 UV조사를 행하여 UV경화액막을 경화시키는 것이 가능하다. 또, 스테이지(4)의 측면 측에 설치된 UV조사부(6)로부터의 UV광이 반사부(7)에서 반사되어 기판 탑재면(4a) 측으로부터 기판 탑재면(4a)에 탑재된 기판(2)에 조사되는 것에 의해, UV광은 기판(2)에 대해서 기판 탑재면(4a) 측으로부터 조사된다. 즉, 전자 종이의 기능액을 UV경화액막으로 봉지하는 경우, UV경화액이 기능액에 접하는 측에서부터 UV광이 조사되므로, UV경화액을 기능액에 접하는 측으로부터 경화시키는 것이 가능하다. 따라서, 종래의 도포 장치와 비교하여 UV경화액이 기능액 내에 침강하는 것을 최대한 억제할 수 있다.As described above, according to the above-described coating apparatus, since the UV irradiation unit 6 is provided on the side of the stage 4 separately from the coating unit 5, the UV irradiation can be performed freely without depending on the operation of the coating unit 5. [ It is possible to investigate. That is, since UV light can be irradiated without a time delay as compared with the conventional coating apparatus, it is possible to cure the UV cured liquid film by UV irradiation immediately after application of the UV curable liquid. The UV light from the UV irradiation unit 6 provided on the side surface of the stage 4 is reflected by the reflection unit 7 and is reflected by the substrate 2 mounted on the substrate mounting surface 4a from the substrate mounting surface 4a side, The UV light is irradiated to the substrate 2 from the substrate mounting surface 4a side. That is, when the functional liquid of the electronic paper is sealed with the UV curable liquid film, since the UV curable liquid is irradiated with UV light from the side in contact with the functional liquid, the UV curable liquid can be cured from the side in contact with the functional liquid. Therefore, it is possible to suppress as much as possible the settling of the UV curing liquid into the functional liquid as compared with the conventional coating apparatus.

또, 상기 실시형태에서는 UV조사부(6)가 스테이지(4)의 한쪽 단부에만 설치되는 예에 대하여 설명하였으나, 도 4에 나타낸 바와 같이 도포 유닛(5)의 이동 방향 다른 쪽 단부에도 설치하는 것이어도 된다. 이 실시형태에서는, 반사부(7)가 각각의 UV조사부(6)에 대해서 형성되어 있고, UV조사부(6)로부터 이격됨에 따라 기판 탑재면(4a)에 가까워지도록 경사지게 하여 배치되고, 스테이지(4)의 중앙 부분에서 기판 탑재면(4a)에 가장 접근하도록 설치되어 있다. 이와 같이 구성함으로써, 스테이지(4)가 도포 유닛(5)의 이동 방향으로 충분히 크고 UV조사부(6)로부터의 UV광이 UV조사부(6)로부터 먼 영역에서는 충분히 닿지 않는 경우라도, 도포 유닛(5)의 이동 방향 양측으로부터 조사할 수 있는 것에 의해 기판 탑재면(4a) 전체면에 UV광을 조사하는 것이 가능하다.In the above embodiment, the UV irradiating unit 6 is provided at only one end of the stage 4. However, as shown in Fig. 4, the UV irradiating unit 6 may be provided at the other end of the coating unit 5 in the moving direction do. In this embodiment, the reflector 7 is formed with respect to each UV irradiator 6, and is arranged so as to be inclined so as to be closer to the substrate mounting surface 4a as being separated from the UV irradiator 6, And is closest to the substrate mounting surface 4a at the central portion of the substrate mounting surface 4a. Even if the stage 4 is sufficiently large in the moving direction of the coating unit 5 and the UV light from the UV irradiating unit 6 does not sufficiently reach the area far from the UV irradiating unit 6, the coating unit 5 In the moving direction of the substrate mounting surface 4a, it is possible to irradiate the entire surface of the substrate mounting surface 4a with UV light.

또, 상기 실시형태에서는 UV조사부(6)의 UV광을 케이싱(61)의 개구부(63)로부터 조사하는 예에 대하여 설명하였으나, 개구부(63)에 조사 셔터(64)를 설치함으로써 조사 범위를 제한하고 슬릿 노즐(51a) 바로 아래에 UV광이 조사되지 않도록 구성해도 된다. 즉, 도 5에 나타낸 바와 같이 개구부(63)에 조사 셔터(64)를 설치하고 조사 셔터(64)를 구금부(51)의 동작에 맞추어 열도록 구성한다. 구체적으로는, 미러(71)가 UV조사부(6)로부터 반대 측을 향해 기판 탑재면(4a)에 가까워지도록 경사져 있기 때문에, 조사 셔터(64)가 위쪽(미러(71) 측으로부터 기판 탑재면(4a)을 향하는 방향)을 향해 열도록 구성되어 있다. 이로써, 조사 셔터(64)의 열린 정도가 커짐에 따라, 기판 탑재면(4a)에 탑재된 기판(2)에 대해 UV조사부(6)로부터 반대 측(이격되는 측)을 향해 UV광이 조사된다(도 5의 (a)→도 5의 (b)). 그리고, 조사 셔터(64)의 열린 정도가 구금부(51)의 주행에 맞추어 조절되고 있어, 조사된 UV광이 슬릿 노즐(51a)보다 구금부(51)의 이동 방향 후방 측을 조사하도록 조절되는 것에 의해, 슬릿 노즐(51a)에 UV광이 조사되지 않고 기판(2) 상에 형성된 UV경화액막에만 UV광을 조사하는 것이 가능하다. 이로써, 슬릿 노즐(51a)로부터 토출되는 UV경화액을 경화시키지 않고 기판(2) 상에 형성된 UV경화액막을 경화시키는 것이 가능하다. 그리고, 미러(71)가 구금부(51)의 이동 방향으로 긴 경우에는, UV광의 조도가 UV조사부(6)로부터 멀어짐에 따라 감쇠할 가능성이 있다. 이와 같은 경우에는, UV광의 조도를 UV조사부(6)로부터 멀어짐에 따라 커지도록 조절 가능하도록 조도 컨트롤 기능을 설치해도 된다.In the embodiment described above, the UV light from the UV irradiating unit 6 is irradiated from the opening 63 of the casing 61. However, by providing the irradiating shutter 64 in the opening 63, And the UV light is not irradiated directly under the slit nozzle 51a. That is, as shown in Fig. 5, the irradiation shutter 64 is provided in the opening 63 and the irradiation shutter 64 is opened in accordance with the operation of the holding portion 51. [ Concretely, since the mirror 71 is inclined to approach the substrate mounting surface 4a from the UV irradiating portion 6 toward the opposite side, the irradiation shutter 64 is moved upward (from the mirror 71 side to the substrate mounting surface 4a in the direction of the arrows). As a result, as the degree of opening of the irradiation shutter 64 is increased, UV light is irradiated from the UV irradiating unit 6 toward the opposite side (away from the substrate 2) mounted on the substrate mounting surface 4a (Fig. 5 (a) - Fig. 5 (b)). The degree of opening of the irradiation shutter 64 is adjusted in accordance with travel of the detaching unit 51 so that the irradiated UV light is adjusted so as to irradiate the slit nozzle 51a on the rear side in the moving direction of the detaching unit 51 , It is possible to irradiate UV light only to the UV-cured liquid film formed on the substrate 2 without irradiating the slit nozzle 51a with UV light. Thereby, it is possible to cure the UV cured liquid film formed on the substrate 2 without curing the UV curable liquid discharged from the slit nozzle 51a. When the mirror 71 is long in the moving direction of the holding portion 51, there is a possibility that the roughness of the UV light is attenuated as it moves away from the UV irradiating portion 6. [ In such a case, the roughness control function may be provided so that the roughness of the UV light can be adjusted so as to increase as the distance from the UV irradiating unit 6 increases.

또, 상기 실시형태에서는 UV조사부(6)의 조사 영역이 고정되어 있는 예에 대하여 설명하였으나, 도포 유닛(5)의 이동에 따라 조사 영역을 변경할 수 있는 것이어도 된다(조사 조절 기구). 구체적으로는, 도 6에 나타낸 바와 같이, UV조사부(6)의 케이싱(61)이 UV램프(62)의 축 주위로 회전 가능하도록 형성되어 있고, 회전함으로써 개구부(63)의 개구 각도가 조절 가능하도록 되어 있다. 이로써, 개구부(63)로부터 조사된 UV광이 반사부(7)에서 반사되고, 기판(2)의 일부의 영역을 조사한다. 그리고, 개구부(63)의 개구 각도를 변경하는(도 6의 예에서는 점선 상태로부터 실선 상태) 것에 의해 기판(2)에 대한 조사 영역을 UV조사부(6)로부터 이격되는 쪽으로 변경할 수 있다. 따라서, 도포 유닛(5)으로부터 토출된 UV경화액이 기판(2)에 도포되는 부분에 맞추어 개구부(63)의 개구 각도를 조정하도록 제어함으로써, 토출되어 기판(2) 상에 도포된 직후의 UV경화액에 UV광을 조사할 수 있으므로, UV경화막의 막 두께를 양호한 정밀도로 형성할 수 있다.In the above embodiment, the irradiation region of the UV irradiation unit 6 is fixed. However, the irradiation region may be changed in accordance with the movement of the coating unit 5 (irradiation adjustment mechanism). 6, the casing 61 of the UV irradiating unit 6 is formed so as to be rotatable about the axis of the UV lamp 62, and the opening angle of the opening 63 can be adjusted by rotation . Thereby, the UV light emitted from the opening portion 63 is reflected by the reflecting portion 7, and irradiates a part of the region of the substrate 2. [ 6), it is possible to change the irradiation region for the substrate 2 to the direction away from the UV irradiating section 6 by changing the opening angle of the opening 63 (in the example of Fig. 6 from the dotted line to the solid line). Therefore, by controlling the opening angle of the opening 63 to be adjusted in accordance with the portion of the UV curable liquid discharged from the coating unit 5 to be coated on the substrate 2, UV light can be irradiated to the curing liquid, so that the film thickness of the UV cured film can be formed with good precision.

또, 상기 실시형태에서는 차광 케이스(8)를 도포 유닛(5)의 이동 방향 전방 측 및 후방 측에 설치하는 예에 대하여 설명하였으나, 이동 방향 앞쪽에만 설치하는 것이어도 된다. 즉, 이동 방향 앞쪽(미 도포 영역 측)에는 기판(2) 상에 UV경화액막이 형성되어 있지 않으므로, 반사부(7)에서 반사된 UV광이 슬릿 노즐(51a)을 조사할 우려가 있지만, 적어도 이동 방향 앞쪽에 차광부(81)를 설치함으로써 토출 직후의 UV경화액이 경화되어 슬릿 노즐(51a)에 노즐 막힘을 생기게 하는 것을 억제할 수 있다.In the above embodiment, the light-shielding case 8 is provided on the front side and the rear side in the moving direction of the coating unit 5, but the light-shielding case 8 may be provided only on the front side in the moving direction. In other words, since the UV-cured liquid film is not formed on the substrate 2 in front of the moving direction (uncoated region side), the UV light reflected by the reflecting portion 7 may irradiate the slit nozzle 51a, By providing the light shielding portion 81 in front of the moving direction, it is possible to prevent the UV cured liquid immediately after the discharge from hardening and causing nozzle clogging in the slit nozzle 51a.

2 기판
4 스테이지
4a 기판 탑재면
5 도포 유닛
6 UV조사부
7 반사부
8 차광 케이스
51 구금부
51a 슬릿 노즐
61 케이싱
62 UV램프
71 미러
83 셔터부2 substrate
4 stages
4a substrate mounting surface
5 coating unit
6 UV irradiation unit
7 Reflector
8 light-shielding case
51 custody department
51a slit nozzle
61 casing
62 UV lamp
71 Mirror
83 shutter portion

Claims (4)

기판을 탑재하는 기판 탑재면을 가지는 스테이지,
상기 스테이지에 대해서 일방향으로 상대적으로 이동하면서 상기 기판 탑재면에 탑재된 기판에 UV경화액을 도포하는 도포 유닛,
상기 스테이지의 측면 측으로부터 UV광을 조사하는 UV조사부, 및
상기 UV조사부의 UV광을 기판 탑재면 측으로 반사시키는 반사부
를 포함하는 도포 장치.A stage having a substrate mounting surface on which a substrate is mounted,
A coating unit that applies a UV curing liquid to a substrate mounted on the substrate mounting surface while relatively moving in one direction with respect to the stage,
A UV irradiation unit for irradiating UV light from the side of the stage, and
A reflection part for reflecting the UV light of the UV irradiation part toward the substrate mounting surface side,
. 제1항에 있어서,
상기 UV조사부는, 상기 도포 유닛의 이동 방향에서의 상기 스테이지의 한쪽 단부에 배치되어 있고,
상기 반사부는, 상기 UV조사부로부터 반대 측을 향해 상기 기판 탑재면에 가까워지도록 경사져 있는, 도포 장치.The method according to claim 1,
The UV irradiating unit is disposed at one end of the stage in the moving direction of the coating unit,
Wherein the reflective portion is inclined to approach the substrate mounting surface from the UV irradiating portion toward the opposite side. 제2항에 있어서,
상기 도포 유닛은, 이동 방향과 직교하는 방향으로 연장되고, UV경화액이 토출되는 슬릿 노즐을 포함하고,
상기 도포 유닛에는, 적어도 상기 UV조사부와 반대 측에, 상기 반사부로부터의 광을 차단하는 차광부가 슬릿 노즐의 연장되는 방향에 걸쳐 설치되어 있는, 도포 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the coating unit includes a slit nozzle which extends in a direction perpendicular to the moving direction and through which the UV curing liquid is discharged,
Wherein the coating unit is provided on a side opposite to at least the UV irradiating unit so as to extend in a direction in which a slit nozzle for shielding light from the reflecting unit extends. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 UV조사부는, 조사 방향을 조절하는 조사 조절 기구를 포함하고,
상기 조사 조절 기구는, 도포 중의 상기 도포 유닛의 이동에 따라 상기 UV조사부가 조사하는 조사 영역을 변경하는, 도포 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the UV irradiating unit includes an irradiation adjusting mechanism for adjusting the irradiation direction,
Wherein the irradiation adjusting mechanism changes the irradiation area irradiated by the UV irradiation unit in accordance with the movement of the coating unit during application.
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