KR20160091474A - 통풍이 뛰어난 건식 전극 센서 - Google Patents

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Abstract

통풍이 뛰어난 건식 전극 센서이 개시된다. 상기 건식 전극 센서는 유연성 기판; 및 상기 유연성 기판 상에 일정 간격으로 형성되어 생체신호를 감지하는 복수개의 측정단자을 포함하되, 상기 유연성 기판과 상기 측정단자를 관통하는 복수개의 구멍이 형성된다.

Description

통풍이 뛰어난 건식 전극 센서{Dry electrode sensor for excellent ventilation}
본 발명은 통풍이 뛰어난 건식 전극 센서에 관한 것이다. 보다 상세하게는 기판과 기판 상에 위치된 측정단자 부분을 동시에 관통하는 구멍을 형성하여 장시간 부착할 수 있는 통풍이 뛰어난 건식 전극 센서에 관한 것이다.
신체도 일종의 도체이며, 신체 내에는 많은 미량의 전류가 발생한다. 따라서 신체로부터 이러한 미량의 전류를 감지하거나 외부 자극에 대한 전류의 변화량을 감지하여 신체 내부의 특성을 측정할 수가 있다. 이러한 원리를 이용하여 심전도(ECG), 근전도(EMG), 뇌전도(EEG), 피부저항(GSR), 안구운동, 신체온도, 맥박, 혈압 및 신체 움직임 등을 측정할 수 있으며, 이러한 생체신호의 변화를 감지하기 위해 생체용 전극이 일반적으로 사용된다.
의학분야에 있어서는 적절한 치료를 하기 위해 심전도나 근전도, 뇌전도 등의 생체전위를 측정함에 있어서, 체내의 전기신호를 외부장치로 보내 적절한 치료를 위한 진단을 하는 경우가 많아지고 있다. 대표적인 생체전기신호인 심전도(ElectroCardioGram), 근전도(ElectroMyoGram), 뇌파(ElectroEncephaloGram), 생체 임피던스(Bio-Impedance) 신호 등은 피검자의 건강상태를 비관혈적(Non-invasive)인 방법으로 진단하는데 가장 기본이 되는 신호로서 특히 심전도 및 호흡 신호의 경우 가장 기본이 되는 바이탈(vital) 신호로 임상에서 광범위하게 사용되고 있다.
한편, 근전도 검사는 근육의 수축이 전기신호의 형태로 근섬유에 전달되면 전기 화학적 작용에 의해 이온의 유출입이 발생하고 이에 따른 전기적 극성이 변하는 것을 측정하는 방법이다. 인체의 운동을 유발하는 근원적인 힘이 골격근의 수축에 의해 발생된다는 것을 고려하면 근전도 신호의 정확한 측정을 통해 근육의 활동을 규명할 수 있기 때문에 최근에 관심이 집중되고 있다.
근전도를 측정하는 전극은 크게 삽입 전극과 표면 전극으로 나누어진다. 삽입 전극은 국소 부위의 활동전위를 정확하게 측정할 수 있지만 침을 삽입해야 하기 때문에 번거롭고 통증이 있을 수 있다. 표면 전극의 경우 피부 표면에 부착하기 때문에 개별 운동 단위로는 측정할 수 없지만 통증이 없고 측정이 간편하다. 또한 표면 전극 경우에는 크게 습식전극과 건식전극으로 나누어지는데 습식전극의 경우 부착이 용이하지만 장시간 착용 시 전해질이 변성되어 출력이 왜곡될 수 있다. 건식 전극은 장시간 착용이 가능하지만 부착 위치가 고정되지 않아서 근전도 신호 측정 위치가 변할 수 있다는 단점이 있다.
종래에는 근전도 센서를 제작하기 위하여, 근전도 센서의 제조 과정에서 별도의 인체친화적 금속 조각을 특정기판에 접착시킴으로써 근전도 센서를 제작하였다. 이렇게 제작된 근전도 센서는 피부에 부착되어 생체 신호를 측정하였다.
하지만, 근전도 센서는 금속 조각을 포함하고 있어, 피부 곡면에 부착하는 것이 불편하였다. 그리고, 피부와 근전도 센서를 오랜 시간 부착하는 경우, 근전도 센서의 금속 조각 및 피부와 부착되는 면 사이에 통풍이 되지 않아, 이 때, 분비되는 땀에 의해 생체 신호를 측정하기 어려웠다.
따라서, 피부곡면 밀착에 유리하며 통풍이 뛰어난 건식전극이 필요하다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 유연성 기판을 사용함으로써 피부곡면 밀착에 유리하며 통풍이 뛰어난 건식 전극 센서를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 기판과 기판 위의 측정 단자 부분에 구멍을 뚫음으로써 측정단자의 균열을 방지하고, 통풍이 뛰어나 장시간 부착이 가능한 건식 전극 센서를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 피부에 자극이 없어 쉽게 탈/부착이 가능한 건식 전극 센서를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 유연성 기판에서 피부와 접촉하는 일부분을 엠보싱 구조로 하여 피부와의 접촉력을 향상시키는 건식 전국 센서를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 건식 전극 센서는 유연성 기판; 및 상기 유연성 기판 상단에 일정 간격으로 형성되어 생체신호를 감지하는 복수개의 측정단자을 포함하되, 상기 유연성 기판과 상기 측정단자를 관통하는 복수개의 구멍이 형성될 수 있다.
이 때, 상기 유연성 기판은 폴리우레탄 아크릴레이트(Polyurethane acrylate), 폴리에틸렌글리콜 디아크릴레이트(Poly ethylene glycol diacrylate), 폴리스티렌(Polystyrene), 폴리메틸메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate), 폴리이미드(Polyimide), 폴리에테르이미드(Polyether imide), 폴리카보네이트(Polycarbonate), 폴리에틸렌(Polyethylene), 폴리에테르설폰(Polyether sulfone), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylenenaphthalate), 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethyleneterephthalate), 폴리프로필렌(Polypropylene), 폴리에스터(Polyester) 및 폴리디메틸실록산(PDMS:polydimethyl-siloxanes)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 복합체일 수 있다.
상기 구멍은 일정 간격으로 형성되고, 상기 구멍의 형상은 삼각형, 사각형, 다각형 및 원형 중 어느 하나일 수 있고, 상기 구멍은 일정 간격을 가지고 이열로 천공되고, 상기 이열로 천공된 구멍은 한 세트가 되어, 각각의 세트가 일정 간격으로 복수개 배치될 수 있다.
또한, 상기 측정 단자는 Ag, Au, Cu 중 적어도 하나를 포함하는 전도성 금속일 수 있다.
상기 측정단자는 전자빔증착법(e-beam evaporator), 열증착법(thermal evaporation), 레이저분자빔증착법(laser molecular beam epitaxy), 펄스레이저 증착법(pulsed laser deposition) 및 스퍼터링증착법(sputtering)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 방법으로 증착될 수 있다.
상기 생체신호는 근전도(electromyogram), 심전도(ECG, electrocadiogram) 및 뇌전도(EEG, electroencephalogram)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종일 수 있다.
또한, 상기 유연성 기판의 상면에서 피부와 접촉하는 일부는 엠보싱 구조일 수 있다.
또한, 상기 유연성 기판은 폴리디메틸실록산(PDMS: polydimethyl-siloxanes)이며, 상기 폴리디메틸실록산dml 일면은 플라즈마 처리될 수 있다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 건식 전극 센서 제조 방법은 유연성 기판을 일정한 간격의 구멍이 형성되도록 천공하는 단계; 상기 유연성 기판과 동일한 간격의 구멍이 형성되도록 측정단자를 천공하는 단계; 상기 유연성 기판 상에 천공된 구멍과, 상기 측정단자에 천공된 구멍이 겹쳐지도록 상기 유연성 기판상에 상기 측정 단자를 복수개 배치하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 통풍이 뛰어난 건식 전극 센서에 의하면, 피부곡면 밀착에 유리하며 통풍이 뛰어나 장시간 부착할 수 있고, 피부와 건식 전극의 접착면이 통풍되어 장시간 접촉시에도 생체 신호의 왜곡을 감소시킬 수 있다.
또한, 피부에 자극이 없어 쉽게 탈/부착할 수 있어 사용자가 고통을 느끼지 않을 수 있고, 재사용이 가능하여 생체 신호를 측정하는 비용을 줄일 수 있다.
또한, 컴퓨터 판독 기능 매체와 전기적으로 연결되어 건식 전극 센서가 측정한 측정값이 기록될 수 있다.
또한, 기판과 기판 위의 측정 단자 부분에 구멍을 뚫음으로써 측정단자의 균열을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 전극 센서의 상면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 전극 센서의 저면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 전극 센서의 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 전극 센서의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 전극 센서 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명할 수 있다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 할 수 있다. 또한 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 당업자에게 자명하거나 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 전극 센서의 상면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 전극 센서의 저면도이다.
도 1및 도 2를 참조하면, 건식 전극 센서는 유연성 기판(100), 측정단자(200)를 포함할 수 있다. 이 때, 건식 전극 센서는 유연성 기판(100) 상에 복수개의 측정 단자(200)가 일정 간격으로 배치된 형태일 수 있다.
즉, 건식 전극 센서는 유연성 기판(100) 상에 일정 간격으로 형성되어 생체신호를 감지하는 복수개의 측정 단자가 배치될 수 있다.
또한, 건식 전극 센서는 유연성 기판(100)과 측정 단자(200)를 관통하는 복수개의 구멍을 포함할 수 있다. 보다 상세하게, 천공된 구멍을 포함하는 유연성 기판(100) 위에 천공된 구멍을 포함하는 측정 단자(200)가 증착된다. 이 때, 유연성 기판(100)의 구멍과 측정 단자(200)의 구멍(300)의 위치가 일치하여, 유연성 기판(100)과 측정단자(200)를 관통하는 복수개의 구멍(300)이 형성된다.
이 때, 복수개의 구멍(300)은 삼각형, 사각형, 다각형 및 원형 중 어느 하나일 수 있으며, 사각형인 것이 바람직하다. 또한, 복수개의 구멍(300)은 일정 간격을 가지고 일렬, 이열(two rows) 등으로 천공될 수 있으며, 이열로 천공되는 것이 바람직하다.
예를 들어 본 발명의 실시예에 따르면, 유연성 기판(100)과 측정단자(200)는 일정한 간격을 가지는 사각형의 구멍이 이열로 천공되고, 상기 이열로 천공된 구멍이 한 세트가 되어, 각각의 세트는 일정 간격으로 복수개 배치된다.
이와 같이, 유연성 기판(100)과 측정 단자(200)를 관통하는 구멍을 뚫음으로써, 측정단자(200)의 균열을 방지할 수 있으며, 이에 따라 장시간 측정이 가능하고, 재사용할 수 있는 건식 전극 센서를 제공할 수 있다.
여기서, 유연성 기판(100)은 곡면인 피부를 따라 접착되는 건식 전극 센서의 몸통부분으로, 곡면인 피부와 접촉하기 위하여 유연한 재질이며 피부에 무해한 성분으로 제작된다.
예를 들면, 유연성 기판(100)은 폴리우레탄 아크릴레이트(Polyurethane acrylate), 폴리에틸렌글리콜 디아크릴레이트(Poly ethylene glycol diacrylate), 폴리스티렌(Polystyrene), 폴리메틸메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate), 폴리이미드(Polyimide), 폴리에테르이미드(Polyether imide), 폴리카보네이트(Polycarbonate), 폴리에틸렌(Polyethylene), 폴리에테르설폰(Polyether sulfone), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylenenaphthalate), 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethyleneterephthalate), 폴리프로필렌(Polypropylene), 폴리에스터(Polyester) 및 폴리디메틸실록산(PDMS:polydimethyl-siloxanes)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 복합체일 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니다.
여기서, 유연성 기판(100)이 폴리디메틸실록산(PDMS:polydimethyl-siloxanes)인 경우, 플라즈마 처리를 통해 유연성 기판(100)을 소수성에서 친수성으로 바꿀 수 있으며, 이로써, 땀이나 분비물 발생시에도 피부와의 밀착력을 감소시키지 않는다. 또한, 유연성 기판(100)이 폴리이미드(Polyimide)인 경우, 폴리이미드의 흡습성으로 인하여 땀이나 분비물의 발생시에도 피부와의 밀착력을 감소시키지 않는다.
또한, 유연성 기판(100)은 피부와의 접촉력을 높이기 위하여, 피부와 접촉하는 부분에 엠보싱 구조를 포함할 수 있다.
상기 측정단자(200)는 Ag, Au, Cu 중 적어도 하나를 포함하는 전도성 금속일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 이 때, 측정 단자(200)을 이루는 전도성 금속은 피부와 접촉하여도 무해하고, 전기 전도도가 우수하여 고감도의 생체신호를 전달하는데 사용할 수 있어 향상된 품질의 높은 생체 신호를 측정할 수 있다.
또한, 측정 단자(200)는 전자빔증착법(e-beam evaporator), 열증착법(thermal evaporation), 레이저분자빔증착법(laser molecular beam epitaxy), 펄스레이저 증착법(pulsed laser deposition) 및 스퍼터링증착법(sputtering)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 방법으로 증착될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 본 발명에 따른 건식전극 센서는 복수개의 측정단자를 포함하므로, 생체 피부-전극간 탈착이 발생하는 경우 일부 남아 있는 측정단자 구조물들이 개별적으로 피부와 접촉을 유지하여 생체신호를 측정할 수 있다.
본 발명에 따른 건식 전극 센서에 있어서, 상기 생체신호는 근전도, 심전도 및 뇌전도로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 신체도 일종의 도체이며, 신체 내에서 많은 미량의 전류가 발생하는데, 신체로부터 이러한 미량의 전류를 감지하거나 외부 자극에 대한 전류의 변화량을 간지하여 신체 내부의 특성을 측정할 수 있다.
이러한 원리를 이용하여 심전도, 근전도, 뇌전도, 피부저항, 안구운동, 신체온도, 맥박, 혈압 및 신체 움직임 등을 측정할 수 있으며, 이러한 생체 신호의 변화를 감지할 수 있다.
나아가, 본 발명에 따른 건식전극 센서는 외부 생체 신호 측정 장치와 전기적으로 연결되는 연결부재로 전달될 수 있다. 이로써, 건식전극 센서가 측정한 생체 신호는 사용자가 유관상 확인할 수 있도록 제공될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 전극 센서의 측면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 전극 센서의 단면도이다.
도3 및 도4를 참조하면, 건식 전극 센서는 유연성 기판(100)과 측정단자(200)을 포함하고, 상기 측정 단자(200)는 유연성 기판(100) 위에 일전 간격으로 복수 개 배치되어 있다.
보다 상세하게, 천공된 구멍을 포함하는 유연성 기판(100) 위에 천공된 구멍을 포함하는 측정 단자(200)가 증착된다. 이 때, 유연성 기판(100)의 구멍과 측정 단자(200)의 구멍(300)의 위치가 일치하여, 유연성 기판(100)과 측정단자(200)를 관통하는 복수개의 구멍(300)이 형성된다.
이 때, 구멍(300)은 삼각형, 사각형, 다각형 및 원형 중 어느 하나일 수 있으며, 사각형인 것이 바람직하다. 또한, 구멍(300)은 일정 간격을 가지고 일렬, 이열(two rows) 등으로 천공될 수 있으며, 이열로 천공되는 것이 바람직하다.
예를 들어 본 발명의 실시예에 따르면, 유연성 기판(100)과 측정단자(200)는 일정한 간격을 가지는 사각형의 구멍이 이열로 천공되고, 상기 이열로 천공된 구멍은 한 세트가 되어, 각각의 세트가 일정 간격으로 복수개 배치된다.
이와 같이, 유연성 기판(100)과 측정 단자(200)를 관통하는 구멍을 뚫음으로써, 측정단자(200)의 균열을 방지할 수 있으며, 이에 따라 장시간 측정이 가능하고, 재사용할 수 있는 건식 전극 센서를 제공할 수 있다.
나아가, 본 발명의 실시예에 따른 건식 전극 센서는 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 전극 센서 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 5를 참조하면, 우선, 유연성 기판(100)을 일정한 간격의 구멍(300)이 복수개 형성되도록 천공한다(S110). 이 때, 상기 구멍(300)은 삼각형, 사각형, 다각형 및 원형 중 어느 하나일 수 있으며, 사각형인 것이 바람직하다. 또한, 구멍(300)은 일정 간격을 가지고 일렬, 이열(two rows) 등으로 천공될 수 있으며, 이열로 천공되는 것이 바람직하다. 예를 들어 본 발명의 실시예에 따르면, 유연성 기판(100)은 일정한 간격을 가지는 사각형의 구멍이 이열로 천공되고, 상기 이열로 천공된 구멍은 한 세트가 되어, 각각의 세트가 일정 간격으로 복수개 배치된다.
이와 같이, 유연성 기판(100)과 측정 단자(200)를 관통하는 구멍을 뚫음으로써, 측정단자(200)의 균열을 방지할 수 있으며, 이에 따라 장시간 측정이 가능하고, 재사용할 수 있는 건식 전극 센서를 제공할 수 있다.
여기서, 유연성 기판(100)은 곡면인 피부를 따라 접착되는 건식 전극 센서의 몸통부분으로, 곡면인 피부와 접촉하기 위하여 유연한 재질이며 피부에 무해한 성분으로 제작된다.
예를 들면, 유연성 기판(100)은 폴리우레탄 아크릴레이트(Polyurethane acrylate), 폴리에틸렌글리콜 디아크릴레이트(Poly ethylene glycol diacrylate), 폴리스티렌(Polystyrene), 폴리메틸메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate), 폴리이미드(Polyimide), 폴리에테르이미드(Polyether imide), 폴리카보네이트(Polycarbonate), 폴리에틸렌(Polyethylene), 폴리에테르설폰(Polyether sulfone), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylenenaphthalate), 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethyleneterephthalate), 폴리프로필렌(Polypropylene), 폴리에스터(Polyester) 및 폴리디메틸실록산(PDMS:polydimethyl-siloxanes)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 복합체일 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니다.
여기서, 유연성 기판(100)이 폴리디메틸실록산(PDMS:polydimethyl-siloxanes)인 경우, 플라즈마 처리를 통해 유연성 기판(100)을 소수성에서 친수성으로 바꿀 수 있으며, 이로써, 땀이나 분비물 발생시에도 피부와의 밀착력을 감소시키지 않는다. 또한, 유연성 기판(100)이 폴리이미드(Polyimide)인 경우, 폴리이미드의 흡습성으로 인하여 땀이나 분비물의 발생시에도 피부와의 밀착력을 감소시키지 않는다.
또한, 유연성 기판(100)은 피부와의 접촉력을 높이기 위하여, 피부와 접촉하는 부분에 엠보싱 구조를 포함할 수 있다.
다음, 상기 유연성 기판과 동일한 간격의 구멍(300)이 형성되도록 측정단자(200)를 천공한다(S120). 상기 측정 단자(200)는 유연성 기판(100) 상에 복수개 형성될 수 있도록 유연성 기판(100)보다 작은 크기의 사각형 패드이다.
이 때, 상기 구멍(300)은 삼각형, 사각형, 다각형 및 원형 중 어느 하나일 수 있으며, 사각형인 것이 바람직하다. 또한, 구멍(300)은 일정 간격을 가지고 일렬, 이열(two rows) 등으로 천공될 수 있으며, 이열로 천공되는 것이 바람직하다. 예를 들어 본 발명의 실시예에 따르면, 측정단자(200)는 일정한 간격을 가지는 사각형의 구멍이 이열로 천공되고, 상기 이열로 천공된 구멍은 한 세트가 되어, 각각의 세트가 일정 간격으로 복수개 배치된다.
또한, 상기 측정단자(200)는 Ag, Au, Cu 중 적어도 하나를 포함하는 전도성 금속일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 측정 단자(200)는 전자빔증착법(e-beam evaporator), 열증착법(thermal evaporation), 레이저분자빔증착법(laser molecular beam epitaxy), 펄스레이저 증착법(pulsed laser deposition) 및 스퍼터링증착법(sputtering)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 방법으로 증착될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
다음, 상기 유연성 기판 상에 천공된 구멍과, 상기 측정단자에 천공된 구멍이 겹쳐지도록 상기 유연성 기판 상에 상기 측정 단자를 복수개 배치한다(S130). 이로써, 본 발명은 유연성 기판(100)과 측정단자(200)을 관통하는 구멍이 일정 간격으로 배치되는 건식 전극 센서를 제공한다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
100: 유연성 기판
200: 측정 단자
300: 구멍

Claims (11)

  1. 유연성 기판; 및
    상기 유연성 기판 상에 일정 간격으로 형성되어 생체신호를 감지하는 복수개의 측정단자
    을 포함하되, 상기 유연성 기판과 상기 측정단자를 관통하는 복수개의 구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 건식 전극 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유연성 기판은 폴리우레탄 아크릴레이트(Polyurethane acrylate), 폴리에틸렌글리콜 디아크릴레이트(Poly ethylene glycol diacrylate), 폴리스티렌(Polystyrene), 폴리메틸메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate), 폴리이미드(Polyimide), 폴리에테르이미드(Polyether imide), 폴리카보네이트(Polycarbonate), 폴리에틸렌(Polyethylene), 폴리에테르설폰(Polyether sulfone), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylenenaphthalate), 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethyleneterephthalate), 폴리프로필렌(Polypropylene), 폴리에스터(Polyester) 및 폴리디메틸실록산(PDMS:polydimethyl-siloxanes)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나 이상의 복합체인 것을 특징으로 하는 건식 전극 센서.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 구멍은 일정 간격으로 형성되며, 상기 구멍의 형상은 삼각형, 사각형, 다각형 및 원형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 건식 전극 센서.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 구멍은 일정 간격을 가지고 이열로 천공되고, 상기 이열로 천공된 구멍은 한 세트가 되어, 각각의 세트가 일정 간격으로 복수개 배치되는 것을 특징으로 하는 건식 전극 센서.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 측정 단자는 Ag, Au, Cu 중 적어도 하나를 포함하는 전도성 금속인 것을 특징으로 하는 건식 전극 센서.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 측정단자는 전자빔증착법(e-beam evaporator), 열증착법(thermal evaporation), 레이저분자빔증착법(laser molecular beam epitaxy), 펄스레이저 증착법(pulsed laser deposition) 및 스퍼터링증착법(sputtering)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 방법으로 증착되는 것을 특징으로 하는 건식 전극 센서.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 생체신호는 근전도(electromyogram), 심전도(ECG, electrocadiogram) 및 뇌전도(EEG, electroencephalogram)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 건식 전극 센서.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 유연성 기판의 상면에서 피부와 접촉하는 일부는 엠보싱 구조인 것을 특징으로 하는 건식 전극 센서.
  9. 제1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유연성 기판은 폴리디메틸실록산(PDMS: polydimethyl-siloxanes)이며, 상기 폴리디메틸실록산dml 일면은 플라즈마 처리되는 것을 특징으로 하는 건식 전극 센서.
  10. 유연성 기판을 일정한 간격의 구멍이 형성되도록 천공하는 단계;
    상기 유연성 기판과 동일한 간격의 구멍이 형성되도록 측정단자를 천공하는 단계;
    상기 유연성 기판 상에 천공된 구멍과, 상기 측정단자에 천공된 구멍이 겹쳐지도록 상기 유연성 기판상에 상기 측정 단자를 복수개 배치하는 단계
    를 포함하는 건식 전극 센서 제조 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 측정 단자는 상기 유연성 기판 상에 복수개 형성될 수 있도록 상기 유연성 기판보다 작은 크기의 사각형 패드인 것을 특징으로 하는 건식 전극 센서 제조 방법.
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