KR20160083429A - Supporter, substrate treating apparatus including the same and reservoir detaching and attaching method - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a holder capable of holding a head assembly discharging a solution. The head assembly comprises: a head unit discharging a solution; and a reservoir where the solution supplied to the head unit is reserved. The head assembly is held by the holder to be fixated when the reservoir is attached to and detached from the head assembly, and the reservoir is attached and detached in order to prevent an accident when the reservoir is attached and detached and enable the reservoir and the head assembly to be precisely assembled.

Description

거치대, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 리저버 탈부착 방법{SUPPORTER, SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME AND RESERVOIR DETACHING AND ATTACHING METHOD}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate processing apparatus, a substrate processing apparatus and a reservoir detachment method,

본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 액을 토출하는 헤드 어셈블리가 거치되는 거치대 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a substrate processing apparatus and a substrate processing apparatus including the substrate processing apparatus.

일반적으로 잉크젯 프린트 장치는 기판 상에 액을 토출하는 헤드 유닛을 포함하는 헤드 어셈블리와 헤드 유닛에 공급되는 액이 머무는 리저버(Reservoir)를 포함한다. 리저버는 액의 종류 변경 시 교체 및 액 토출 공정 수행 전 후 세정이 요구된다. 리저버의 교체 또는 세정을 위해 리저버는 헤드 어셈블리에 탈부착이 가능하도록 제공된다.Generally, an ink-jet printing apparatus includes a head assembly including a head unit for ejecting a liquid onto a substrate, and a reservoir for retaining liquid supplied to the head unit. The reservoir is required to be replaced when the liquid type is changed and before and after the liquid ejection process. The reservoir is provided for detachable attachment to the head assembly for replacement or cleaning of the reservoir.

리저버의 탈부착시 헤드 어셈블리를 잉크젯 프린트 장치로부터 분리하여 헤드 어셈블리로부터 리저버를 탈부착한다. 이 경우, 리저버의 탈부착 시, 헤드 어셈블리를 거치할 수 있는 별도의 거치대가 존재하지 않았으므로 리저버의 탈부착시 헤드 어셈블리의 거치 및 고정이 용이하지 않다. 따라서 안전 사고의 위험 및 정밀한 조립이 용이하지 않아 조립시 리저버 또는 헤드 어셈블리의 불량을 야기할 수 있다.When the reservoir is attached or detached, the head assembly is detached from the ink-jet printing apparatus to detach the reservoir from the head assembly. In this case, when the reservoir is attached and detached, there is no separate mount for mounting the head assembly, so that it is not easy to mount and fix the head assembly when the reservoir is attached or detached. Therefore, the risk of safety accidents and precise assembly are not easy, which may lead to failure of the reservoir or head assembly during assembly.

본 발명은 헤드 어셈블리를 거치하여 고정시킬 수 있는 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is directed to an apparatus and method for mounting and fixing a head assembly.

또한, 본 발명은 안전 사고를 방지할 수 있는 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.Further, the present invention is intended to provide an apparatus and method capable of preventing a safety accident.

또한, 본 발명은 리저버와 헤드 어셈블리 간의 조립을 정밀하게 할 수 있는 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention also provides an apparatus and method for precisely assembling a reservoir and a head assembly.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited thereto, and other matters not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 실시 예는 액을 토출하는 헤드 어셈블리가 거치되는 거치대를 제공한다. 거치대는 길이 방향이 상하 방향으로 제공되는 제 1 프레임; 길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 상기 제 1 프레임과 서로 이격되며, 서로 마주보도록 제공된 제 2 프레임; 상기 제 1 프레임 및 상기 제 2 프레임에 지지되고, 상기 헤드 어셈블리가 놓이는 지지 패널; 및 상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임 중 어느 하나 또는 상기 지지 패널에 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 고정 부재;를 포함한다.An embodiment of the present invention provides a holder in which a head assembly for discharging a liquid is mounted. The cradle includes a first frame provided with a longitudinal direction in a vertical direction; A second frame provided with a longitudinal direction in a vertical direction, spaced apart from the first frame and provided to face each other; A support panel supported on the first frame and the second frame, the support panel on which the head assembly is placed; And a fixing member for fixing the head assembly to either the first frame or the second frame or the support panel.

상기 고정부재는, 상기 지지 패널 상에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 1 고정부재;를 포함한다.The fixing member includes a first fixing member installed on the support panel and fixing the head assembly.

상기 고정 부재는, 상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임의 일측면에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 2 고정부재;를 포함한다.The fixing member includes a second fixing member installed on one side of the first frame or the second frame to fix the head assembly.

상기 지지 패널에는, 상기 헤드 어셈블리의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성된다.A first insertion groove into which the insertion protrusion of the head assembly is inserted is formed in the support panel.

상기 지지 패널에는, 상기 헤드 어셈블리의 갠트리 결합부재가 삽입되는 제 2 삽입 홈이 형성된다.The support panel is formed with a second insertion groove into which the gantry engagement member of the head assembly is inserted.

또한, 본 발명의 일 실시 예는 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는 베이스; 상기 베이스에 설치되고, 기판이 놓여지는 기판 지지 유닛; 상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 헤드 어셈블리; 상기 헤드 어셈블리가 결합된 갠트리; 및 상기 베이스의 외부에서 헤드 어셈블리가 거치되는 거치대를 포함하되, 상기 헤드 어셈블리는, 상기 갠트리에 탈부착 가능하게 제공되고, 상기 거치대는, 길이 방향이 상하 방향으로 제공되는 제 1 프레임; 길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 상기 제 1 프레임과 서로 이격되며, 서로 마주보도록 제공된 제 2 프레임;상기 제 1 프레임 및 상기 제 2 프레임에 지지되고, 상기 헤드 어셈블리가 놓이는 지지 패널; 및 상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임 중 어느 하나 또는 상기 지지 패널에 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 고정 부재;를 포함한다.Further, an embodiment of the present invention provides a substrate processing apparatus. The substrate processing apparatus includes a base; A substrate supporting unit installed on the base and on which a substrate is placed; A head assembly for ejecting liquid onto a substrate placed on the substrate supporting unit; A gantry coupled to the head assembly; And a mount for mounting the head assembly outside the base, wherein the head assembly is detachably provided to the gantry, the mount includes: a first frame having a longitudinal direction provided in a vertical direction; A second frame provided in the longitudinal direction and spaced apart from the first frame and provided to face each other; a support panel supported on the first frame and the second frame, the support panel on which the head assembly is placed; And a fixing member for fixing the head assembly to either the first frame or the second frame or the support panel.

상기 액 공급 유닛으로부터 상기 헤드 유닛으로 공급되는 액이 머물고, 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 가능하게 제공되는 리저버;를 더 포함하되, 상기 헤드 어셈블리는, 액을 토출하는 헤드 유닛; 및 상기 헤드 유닛으로 액을 공급하는 액 공급 유닛;을 포함하고, 상기 리저버의 내부에는, 상기 액 공급 유닛으로부터 상기 헤드 유닛;으로 공급되는 액이 머문다.And a reservoir detachably attached to the head assembly, wherein the liquid supplied from the liquid supply unit to the head unit stays, and the head assembly includes: a head unit that discharges the liquid; And a liquid supply unit for supplying liquid to the head unit, wherein liquid supplied from the liquid supply unit to the head unit stays in the reservoir.

상기 리저버는, 상기 헤드 어셈블리가 상기 거치대에 거치된 상태에서 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 가능하게 제공된다.The reservoir is detachably provided to the head assembly with the head assembly resting on the cradle.

상기 고정부재는, 상기 지지 패널 상에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 1 고정부재;를 포함한다.The fixing member includes a first fixing member installed on the support panel and fixing the head assembly.

상기 고정 부재는, 상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임의 일측면에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 2 고정부재;를 포함한다.The fixing member includes a second fixing member installed on one side of the first frame or the second frame to fix the head assembly.

상기 액 공급 유닛, 및 상기 헤드 유닛은, 상하 방향으로 순차적으로 배열되고, 상기 리저버는 상기 액 공급 유닛 및 상기 헤드 유닛의 사이에 상기 액 공급 유닛과 이격되게 제공되며, 상기 액 공급 유닛의 하부에는 아래 방향으로 돌출된 삽입 돌기가 제공되고, 상기 지지 패널에는, 상기 헤드 유닛의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성된다.Wherein the liquid supply unit and the head unit are sequentially arranged in the vertical direction and the reservoir is provided between the liquid supply unit and the head unit so as to be spaced apart from the liquid supply unit, A first insertion groove into which the insertion protrusion of the head unit is inserted is formed in the support panel.

또한, 본 발명의 일 실시예는, 상기 거치대를 이용해 상기 헤드 어셈블리에 상기 리저버를 탈부착 시키는 방법을 제공한다. 리저버 탈부착 방법은 상기 헤드 어셈블리가 상기 지지 패널 상에 놓이는 단계; 상기 헤드 어셈블리가 상기 고정 부재에 의해 고정되는 단계; 및 상기 리저버를 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 시키는 단계;를 포함한다.Further, an embodiment of the present invention provides a method for detachably attaching the reservoir to the head assembly using the holder. Wherein the reservoir detachment method comprises: placing the head assembly on the support panel; The head assembly being fixed by the fixing member; And attaching and detaching the reservoir to the head assembly.

상기 헤드 어셈블리는, 액을 토출하는 헤드 유닛; 및 상기 헤드 유닛으로 액을 공급하는 액 공급 유닛;을 포함하고, 상기 액 공급 유닛, 및 상기 헤드 유닛은, 상하 방향으로 순차적으로 배열되며, 상기 리저버는 상기 액 공급 유닛 및 상기 헤드 유닛의 사이에 상기 액 공급 유닛과 이격되게 제공되고, 상기 액 공급 유닛의 하부에는 아래 방향으로 돌출된 삽입 돌기가 제공되며, 상기 지지 패널에는, 상기 헤드 유닛의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성되고, 상기 헤드 어셈블리가 상기 지지 패널 상에 놓이는 단계에서는 상기 삽입 돌기가 상기 제 1 삽입 홈에 삽입된다.The head assembly includes: a head unit that discharges a liquid; And a liquid supply unit for supplying liquid to the head unit, wherein the liquid supply unit and the head unit are sequentially arranged in the vertical direction, and the reservoir is arranged between the liquid supply unit and the head unit And a first insertion groove into which the insertion protrusion of the head unit is inserted is formed in the support panel, and a second insertion groove is formed in the support panel, In the step in which the head assembly is placed on the support panel, the insertion protrusion is inserted into the first insertion groove.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 본 발명의 장치 및 방법은 헤드 어셈블리를 거치하여 고정시킬 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the apparatus and method of the present invention can be fixed on a head assembly.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 본 발명의 장치 및 방법은 안전 사고를 방지할 수 있다. Further, according to an embodiment of the present invention, the apparatus and method of the present invention can prevent safety accidents.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 본 발명의 장치 및 방법은 리저버와 헤드 어셈블리 간에 조립을 정밀하게 할 수 있다.Further, according to one embodiment of the present invention, the apparatus and method of the present invention can precisely assemble between the reservoir and the head assembly.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 헤드 어셈블리 및 리저버를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 1의 헤드 어셈블리 및 리저버를 나타낸 정면도이다.
도 4는 도 1의 헤드 어셈블리 및 리저버를 나타낸 측면도이다.
도 5는 도 1의 헤드 어셈블리 및 리저버를 나타낸 배면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 거치대를 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 6의 지지 패널을 나타낸 평면도이다.
도 8은 헤드 어셈블리가 거치대에 거치된 모습을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view of the head assembly and reservoir of Figure 1;
Figure 3 is a front view of the head assembly and reservoir of Figure 1;
Figure 4 is a side view of the head assembly and reservoir of Figure 1;
Figure 5 is a rear view of the head assembly and reservoir of Figure 1;
6 is a perspective view illustrating a cradle according to an embodiment of the present invention.
7 is a plan view of the support panel of Fig.
8 is a perspective view showing a state where the head assembly is mounted on a cradle.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Thus, the shape of the elements in the figures has been exaggerated to emphasize a clearer description.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 베이스(B), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 헤드 어셈블리(300), 리저버(Reservoir, 400) 및 거치대(600)를 포함한다.1, the substrate processing apparatus 10 includes a base B, a substrate support unit 100, a gantry 200, a head assembly 300, a reservoir 400, and a mount 600 .

베이스(B)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(B)의 상면에는 기판 지지 유닛(100)이 설치된다.The base (B) may be provided in a rectangular parallelepiped shape having a constant thickness. On the upper surface of the base (B), a substrate supporting unit (100) is provided.

기판 지지 유닛(100)에는 기판(S)이 놓인다. 예를 들면, 기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(110)에 수직한 회전 중심축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다. 지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다. The substrate S is placed on the substrate supporting unit 100. For example, the substrate support unit 100 has a support plate 110 on which the substrate S is placed. The support plate 110 may be a rectangular plate. The rotation driving member 120 is connected to the lower surface of the support plate 110. The rotation drive member 120 may be a rotary motor. The rotation drive member 120 rotates the support plate 110 about a rotation center axis perpendicular to the support plate 110. [ When the support plate 110 is rotated by the rotation drive member 120, the substrate S can be rotated by the rotation of the support plate 110. [

제 1 방향(Ⅰ)은 갠트리(210)의 길이 방향이다. 제 2 방향(Ⅱ)은 상부에서 바라볼 때, 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이다. 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ) 및 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.The first direction I is the longitudinal direction of the gantry 210. The second direction (II) is a direction perpendicular to the first direction (I) when viewed from above. The third direction III is a direction perpendicular to the first direction I and the second direction II.

지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제 2 방향(Ⅱ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터가 내장될 수 있으며, 슬라이더(132)는 리니어 모터에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동된다.The support plate 110 and the rotation driving member 120 can be linearly moved in the second direction II by the linear driving member 130. [ The linear driving member 130 includes a slider 132 and a guide member 134. The rotation driving member 120 is provided on the upper surface of the slider 132. [ The guide member 134 is elongated in the second direction II at the center of the upper surface of the base B. [ A linear motor may be incorporated in the slider 132 and the slider 132 is linearly moved in the second direction II along the guide member 134 by the linear motor.

갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 위방향으로 이격 배치되며, 갠트리(200)는 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하도록 배치된다. The gantry 200 is provided at an upper portion of a path through which the support plate 110 is moved. The gantry 200 is disposed upwardly from the upper surface of the base B, and the gantry 200 is disposed such that the gantry 200 is oriented in the first direction I in the longitudinal direction.

헤드 어셈블리(300)는 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합된다. 헤드 어셈블리(300)는 갠트리(200)에 탈부착 가능하게 제공된다. 헤드 어셈블리(300)는 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)의 길이 방향, 즉 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동하고, 또한 제3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동될 수 있다. 헤드 어셈블리(300)는 기판 지지 유닛(100)에 놓인 기판(S)에 액을 토출한다. 예를 들면, 액은 액정의 액적일 수 있다. 헤드 어셈블리(300)는 복수 개가 제공될 수 있다. 본 실시예에서는 3개의 헤드 어셈블리(300a, 300b, 300c)가 제공된 예를 도시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다. 헤드 어셈블리(300)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 나란하게 배열될 수 있다.The head assembly 300 is coupled to the gantry 200 by a head moving unit 500. The head assembly 300 is detachably provided to the gantry 200. The head assembly 300 is linearly moved in the longitudinal direction of the gantry 200 by the head moving unit 500 in the first direction I and in the third direction III. The head assembly 300 discharges the liquid onto the substrate S placed on the substrate supporting unit 100. For example, the liquid may be a liquid crystal droplet. A plurality of head assemblies 300 may be provided. In the present embodiment, three head assemblies 300a, 300b and 300c are provided, but the present invention is not limited thereto. The head assemblies 300 may be arranged in a line in a first direction I.

도 2는 도 1의 헤드 어셈블리(300) 및 리저버(400)를 나타낸 사시도이다. 도 3은 도 1의 헤드 어셈블리(300) 및 리저버(400)를 나타낸 정면도이다. 도 4는 도 1의 헤드 어셈블리(300) 및 리저버(400)를 나타낸 측면도이다. 도 5는 도 1의 헤드 어셈블리(300) 및 리저버(400)를 나타낸 배면도이다. 도 2 내지 도 5를 참고하면, 헤드 어셈블리(300)는 헤드 유닛(310) 및 액 공급 유닛(320)을 포함한다. 액 공급 유닛(320) 및 헤드 유닛(310)은 상하 방향으로 순차적으로 배열된다. 일 실시 예에 의하면, 헤드 어셈블리(300)는 프레임(330)을 더 포함할 수 있다. 프레임(330)은 그 길이 방향이 상하 방향으로 제공된다. 액 공급 유닛(320) 및 헤드 유닛(310)은 프레임(330)의 일면에 서로 이격되게 설치된다. 프레임(330)의 액 공급 유닛(320) 및 헤드 유닛(310)의 사이에는 리저버(400)가 탈부착 가능하게 설치된다.2 is a perspective view showing the head assembly 300 and the reservoir 400 of FIG. 3 is a front view of the head assembly 300 and the reservoir 400 of FIG. 4 is a side view of the head assembly 300 and reservoir 400 of FIG. 5 is a rear view of the head assembly 300 and the reservoir 400 of FIG. Referring to Figs. 2 to 5, the head assembly 300 includes a head unit 310 and a liquid supply unit 320. Fig. The liquid supply unit 320 and the head unit 310 are sequentially arranged in the vertical direction. According to one embodiment, the head assembly 300 may further include a frame 330. The frame 330 is provided with its longitudinal direction in the up-and-down direction. The liquid supply unit 320 and the head unit 310 are installed on one side of the frame 330 so as to be spaced apart from each other. A reservoir 400 is detachably installed between the liquid supply unit 320 and the head unit 310 of the frame 330.

프레임(330)의 액 공급 유닛(320) 및 헤드 유닛(310)이 설치된 면의 반대 면에는 손잡이(331)가 제공될 수 있다. 손잡이(331)는 헤드 어셈블리(300)를 갠트리(200)에 탈부착 시, 헤드 어셈블리(300)의 이동 시 및 헤드 어셈블리(300)를 거치대(600)에 거치 시, 작업자가 헤드 어셈블리(300)를 파지하는 것을 용이하게 한다. 손잡이(331)는 복수개가 제공될 수 있다.A handle 331 may be provided on the opposite side of the face on which the liquid supply unit 320 and the head unit 310 of the frame 330 are provided. When the head assembly 300 is attached to the gantry 200 and the head assembly 300 is moved to the cradle 600 when the head assembly 300 is moved and the operator moves the head assembly 300 Thereby facilitating gripping. A plurality of knobs 331 may be provided.

헤드 유닛(310)에는 액이 토출되는 홀들이 형성된다. 리저버(400)에 머무는 액은 헤드 유닛(310)으로 공급 되고, 헤드 유닛(310)에 형성된 홀들을 통해 토출된다.In the head unit 310, holes through which liquid is discharged are formed. The liquid staying in the reservoir 400 is supplied to the head unit 310 and discharged through the holes formed in the head unit 310.

액 공급 유닛(320)은 헤드 유닛(310)으로 액을 공급한다. 액 공급 유닛(320)은 내부에 액이 저장된 공간을 가진다. 액 공급 유닛(320)은 그 상부에 공급관(321)이 제공될 수 있다. 액 공급 유닛(320)의 내부에 저장된 액은 공급관(321)을 통해 리저버(400)로 공급된다. 일 예에 의하면, 액 공급 유닛(320)의 내부로 가압 가스가 공급되고, 액은 가압 가스의 압력에 의해 공급관(321)을 통해 이송된다. 가압 가스는 질소(N2) 가스와 같은 비활성 가스로 제공될 수 있다.The liquid supply unit 320 supplies the liquid to the head unit 310. The liquid supply unit 320 has a space in which liquid is stored. The liquid supply unit 320 may be provided with a supply pipe 321 at an upper portion thereof. The liquid stored in the liquid supply unit 320 is supplied to the reservoir 400 through the supply pipe 321. According to one example, a pressurized gas is supplied into the liquid supply unit 320, and the liquid is conveyed through the supply pipe 321 by the pressure of the pressurized gas. The pressurized gas may be provided as an inert gas such as nitrogen (N2) gas.

액 공급 유닛(320)으로부터 공급되는 액은 리저버(400)에 머문다. 액은 리저버(400)의 상부에 제공된 유입관(410)을 통해 리저버(400)의 내부로 공급될 수 있다. 액은 리저버(400)로부터 헤드 유닛(310)으로 공급된다. 리저버(400)는 액 공급 유닛(320) 및 헤드 유닛(310)의 사이에 액 공급 유닛(320)과 이격되게 제공된다. The liquid supplied from the liquid supply unit 320 stays in the reservoir 400. The liquid may be supplied to the interior of the reservoir 400 through the inlet pipe 410 provided at the upper portion of the reservoir 400. The liquid is supplied from the reservoir 400 to the head unit 310. The reservoir 400 is provided so as to be spaced apart from the liquid supply unit 320 between the liquid supply unit 320 and the head unit 310.

리저버(400)는 헤드 어셈블리(300)에 탈부착 가능하게 제공된다. 예를 들면, 리저버(400) 세척 시 리저버(400)는 헤드 어셈블리(300)로부터 분리되어 세척이 수행되고, 상이한 액으로의 액 교환 시 리저버(400) 내부에 잔류하는 기존 액과의 혼합을 방지하기 위해 기존 설치된 리저버(400)는 헤드 어셈블리(300)로부터 분리되고, 교환된 액이 사용되는 리저버(400)가 헤드 어셈블리(300)에 설치 된다. 일 실시예에 의하면, 리저버(400)는 헤드 어셈블리(300)가 거치대(600)에 거치된 상태에서 탈부착 될 수 있다. The reservoir 400 is detachably provided to the head assembly 300. For example, when the reservoir 400 is cleaned, the reservoir 400 is separated from the head assembly 300 to perform cleaning, and prevents mixing with the remaining liquid remaining in the reservoir 400 when the liquid is replaced with a different liquid The existing reservoir 400 is separated from the head assembly 300 and the reservoir 400 in which the replaced liquid is used is installed in the head assembly 300. [ According to one embodiment, the reservoir 400 can be detached and attached in a state in which the head assembly 300 is mounted on the holder 600.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 거치대(600)를 나타낸 사시도이다. 도 7은 도 6의 지지 패널(630)을 나타낸 평면도이다. 도 8은 헤드 어셈블리(300)가 거치대(600)에 거치된 모습을 나타낸 사시도이다. 도 6 내지 도 8을 참고하면, 거치대(600)는 베이스(B)의 외부에 제공된다. 거치대(600)에는 헤드 어셈블리(300)가 거치된다. 예를 들면, 리저버(400)를 헤드 어셈블리(300)에 탈부착시키기 위해 헤드 어셈블리(300)는 갠트리(200)로부터 분리되어 거치대(600)에 거치된다. 거치대(600)는 제 1 프레임(610), 제 2 프레임(620), 지지 패널(630) 및 고정 부재(640)를 포함한다.6 is a perspective view illustrating a cradle 600 according to an embodiment of the present invention. 7 is a plan view of the support panel 630 of FIG. 8 is a perspective view showing a state in which the head assembly 300 is mounted on the cradle 600. FIG. 6 to 8, the holder 600 is provided outside the base B. As shown in Fig. The head assembly 300 is mounted on the holder 600. For example, the head assembly 300 is detached from the gantry 200 and mounted on the holder 600 to detach and attach the reservoir 400 to the head assembly 300. The holder 600 includes a first frame 610, a second frame 620, a support panel 630, and a fixing member 640.

제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)은 길이 방향이 상하 방향으로 제공된다. 제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)은 서로 마주보며 이격되게 제공된다. 지지 패널(630)은 제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)에 지지된다. 예를 들면, 지지 패널(630)은 직사각형의 판 형상으로 제공될 수 있다. 지지 패널(630)은 그 길이 방향이 제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)이 배열된 방향으로 제공될 수 있다. 지지 패널(630)의 일단은 제 1 프레임(610)의 상단에 연결되고, 타단은 제 2 프레임(620)의 상단에 연결될 수 있다.The first frame 610 and the second frame 620 are provided in the vertical direction in the longitudinal direction. The first frame 610 and the second frame 620 are provided facing each other and spaced apart from each other. The support panel 630 is supported on the first frame 610 and the second frame 620. For example, the support panel 630 may be provided in the form of a rectangular plate. The support panel 630 may be provided in the longitudinal direction in a direction in which the first frame 610 and the second frame 620 are arranged. One end of the support panel 630 may be connected to the upper end of the first frame 610 and the other end may be connected to the upper end of the second frame 620.

지지 패널(630)에는 헤드 어셈블리(300)가 놓인다. 일 실시 예에 의하면, 헤드 어셈블리(300)가 거치대(600)에 거치되는 경우, 헤드 어셈블리(300)는 액 공급 유닛(320)의 하면이 지지 패널(630)의 상면과 대향되게 접촉되도록 놓인다.The support panel 630 is provided with a head assembly 300. The head assembly 300 is placed such that the lower surface of the liquid supply unit 320 is in contact with the upper surface of the support panel 630 so as to face the upper surface of the support panel 630. In this case,

지지 패널(630)에는 제 1 삽입홈(631) 및 제 2 삽입홈(632)이 형성될 수 있다. The first insertion groove 631 and the second insertion groove 632 may be formed in the support panel 630.

액 공급 유닛(320)의 하부에는 아래 방향으로 돌출된 삽입 돌기(340)가 제공될 수 있다. 삽입 돌기(340)는 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630)에 놓이는 경우, 제 1 삽입홈(631)에 삽입된다. 삽입 돌기(340)가 제 1 삽입홈(631)에 삽입됨으로써, 헤드 어셈블리(300)는 지지 패널(630) 상의 정위치에 위치될 수 있다.A lower portion of the liquid supply unit 320 may be provided with an insertion protrusion 340 protruding downward. The insertion protrusion 340 is inserted into the first insertion groove 631 when the head assembly 300 is placed on the support panel 630. By inserting the insertion protrusion 340 into the first insertion groove 631, the head assembly 300 can be positioned in the correct position on the support panel 630.

액 공급 유닛(320)의 하부에는 갠트리 결합 부재(350)가 제공될 수 있다. 갠트리 결합 부재(350)는 헤드 어셈블리(300)를 헤드 이동 유닛(500)에 결합시킨다. 일 실시 예에 의하면, 갠트리 결합 부재(350)는 액 공급 유닛(320)의 하단으로부터 아래 방향으로 돌출되게 제공된다. 갠트리 결합 부재(350)는 그 하단이 삽입 돌기(340)의 하단보다 낮은 높이에 위치되도록 제공된다. 따라서, 헤드 어셈블리(300)가 헤드 이동 유닛(500)에 결합 시, 갠트리 결합 부재(350)는 헤드 이동 유닛(500)에 형성된 홈에 삽입되어 고정될 수 있다. 갠트리 결합 부재(350)는 복수개가 제공될 수 있다. 갠트리 결합 부재(350)는 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630)에 놓이는 경우, 제 2 삽입홈(632)에 삽입된다. 따라서, 갠트리 결합 부재(350)와 지지 패널(630) 간의 간섭을 방지한다.A gantry coupling member 350 may be provided at a lower portion of the liquid supply unit 320. The gantry engaging member 350 engages the head assembly 300 with the head moving unit 500. According to one embodiment, the gantry engaging member 350 is provided so as to protrude downward from the lower end of the liquid supply unit 320. The gantry fitting member 350 is provided such that the lower end thereof is located at a lower level than the lower end of the insertion protrusion 340. Accordingly, when the head assembly 300 is coupled to the head moving unit 500, the gantry engaging member 350 can be inserted and fixed in the groove formed in the head moving unit 500. A plurality of gantry connecting members 350 may be provided. The gantry engaging member 350 is inserted into the second insertion groove 632 when the head assembly 300 is placed on the support panel 630. Therefore, interference between the gantry connecting member 350 and the support panel 630 is prevented.

고정 부재(640)는 제 1 프레임(610) 또는 제 2 프레임(620) 중 어느 하나 또는 지지 패널(630)에 헤드 어셈블리(300)를 고정시킨다. 일 실시 예에 의하면, 고정 부재(640)는 제 1 고정 부재(641) 및 제 2 고정 부재(642)를 포함한다. The fixing member 640 fixes the head assembly 300 to either the first frame 610 or the second frame 620 or the support panel 630. According to one embodiment, the fixing member 640 includes a first fixing member 641 and a second fixing member 642. [

제 1 고정 부재(641)는 지지 패널(630) 상에 설치된다. 제 1 고정 부재(640)는 헤드 어셈블리(300)를 지지 패널(630)에 고정시킨다. 예를 들면, 액 공급 유닛(320)의 하단에는 그 둘레를 따라 외측 방향으로 돌출된 돌출부가 제공된다. 제 1 고정 부재(640)는 그 일단이 지지 패널(630)의 가장자리 영역에 위치된 바(Bar) 형상으로 제공되고, 그 일단을 축으로 수평 방향으로 회전 가능하게 제공된다. 제 1 고정 부재(640)는 지지 패널(630) 상의 헤드 어셈블리(300)가 놓이는 영역을 둘러싸도록 복수개가 제공될 수 있다. 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630)에 놓인 후 제 1 고정 부재(641)가 그 일단을 축으로 그 타단이 돌출부의 상면에 접촉되도록 회전함으로써, 제 1 고정 부재(641)는 헤드 어셈블리(300)를 지지 패널(630)에 고정시킨다.The first fixing member 641 is installed on the support panel 630. The first fixing member 640 fixes the head assembly 300 to the support panel 630. For example, at the lower end of the liquid supply unit 320, protrusions protruding outward along the circumference thereof are provided. One end of the first fixing member 640 is provided in the shape of a bar located at the edge region of the support panel 630 and is provided to be rotatable in the horizontal direction about one end thereof. The first fixing member 640 may be provided to surround a region where the head assembly 300 on the support panel 630 is placed. The first fixing member 641 is rotated by rotating the one end of the first fixing member 641 in contact with the upper surface of the protrusion while the other end of the first fixing member 641 is in contact with the upper surface of the protrusion after the head assembly 300 is placed on the support panel 630, 300 to the support panel 630.

제 2 고정 부재(642)는 제 1 프레임(610) 또는 제 2 프레임(620) 중 어느 하나 또는 제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)의 일 측면에 설치될 수 있다. 제 2 고정 부재(642)는 제 1 프레임(610) 또는 제 2 프레임(620) 중 어느 하나 또는 제 1 프레임(610) 및 제 2 프레임(620)에 헤드 어셈블리(300)를 고정시킨다. 예를 들면, 제 2 고정 부재(640)는 그 일단이 제 1 프레임(610) 또는 제 2 프레임(620)의 일 측면에 위치된다. 제 2 고정 부재(642)는 그 구성 및 구조가 제 1 고정 부재(641)과 유사하게 제공된다. 따라서, 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630)에 놓인 후 제 1 고정 부재(641)가 그 일단을 축으로 그 타단이 돌출부의 상면에 접촉되도록 회전함으로써, 제 1 고정 부재(641)는 헤드 어셈블리(300)를 지지 패널(630)에 고정시킨다.The second fixing member 642 may be installed on one side of the first frame 610 or the second frame 620 or one side of the first frame 610 and the second frame 620. The second fixing member 642 fixes the head assembly 300 to either the first frame 610 or the second frame 620 or the first frame 610 and the second frame 620. For example, one end of the second fixing member 640 is positioned on one side of the first frame 610 or the second frame 620. The structure and structure of the second fixing member 642 are provided similar to the first fixing member 641. [ Thus, the first fixing member 641 is rotated about the one end of the first fixing member 641 so that the other end thereof comes into contact with the upper surface of the protrusion after the head assembly 300 is placed on the support panel 630, Thereby fixing the assembly 300 to the support panel 630.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 리저버 탈부착 방법에 대해 설명한다. 본 발명의 리저버 탈부착 방법은 도 6의 거치대(600)를 이용해 도 2의 헤드 어셈블리(300)에 리저버(400)를 탈부착 시키는 방법이다. 리저버 탈부착 방법은 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630) 상에 놓이는 단계, 헤드 어셈블리(300)가 고정 부재(640)에 의해 고정되는 단계 및 리저버(400)를 헤드 어셈블리(300)에 탈부착 시키는 단계;를 포함한다.Hereinafter, a method for removing and attaching a reservoir according to an embodiment of the present invention will be described. The method for removing and attaching a reservoir of the present invention is a method for attaching and detaching the reservoir 400 to and from the head assembly 300 of Fig. 2 using the cradle 600 of Fig. The reservoir detachment method includes the steps of placing the head assembly 300 on the support panel 630, fixing the head assembly 300 by the fixing member 640, and attaching the reservoir 400 to the head assembly 300 Step.

헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630) 상에 놓이는 단계에서는, 갠트리(200)에서 분리된 헤드 어셈블리(300)는 액 공급 유닛(320)의 하면이 지지 패널(630)의 상면에 대향되어 접촉되도록 지지 패널(630) 상에 놓인다. 이 때, 삽입 돌기(340)가 상기 제 1 삽입 홈(631)에 삽입된다. 따라서, 헤드 어셈블리(300)가 지지 패널(630) 상에 정위치 되도록 가이드 될 수 있다.The head assembly 300 separated from the gantry 200 is positioned such that the lower surface of the liquid supply unit 320 is opposed to the upper surface of the support panel 630 to be in contact with the support panel 630, Is placed on the support panel (630). At this time, the insertion protrusion 340 is inserted into the first insertion groove 631. Thus, the head assembly 300 can be guided to be positively positioned on the support panel 630.

헤드 어셈블리(300)가 고정 부재(640)에 의해 고정되는 단계에서는, 제 1 고정 부재(641)는 회전하여 그 타단이 돌출부의 상면에 접촉하여 힘을 가함으로써, 헤드 어셈블리(300)를 지지 패널(630)에 고정시키고, 제 2 고정 부재(642)는 회전하여 그 타단이 프레임(330)의 손잡이(331)가 제공된 면에 접촉하여 힘을 가함으로써 헤드 어셈블리(300)를 제 1 프레임(610) 또는 제 2 프레임(620)에 고정시킨다. In the step in which the head assembly 300 is fixed by the fixing member 640, the first fixing member 641 rotates so that the other end thereof comes into contact with the upper surface of the protrusion and exerts a force, And the second fixing member 642 rotates so that the other end thereof comes into contact with the surface provided with the handle 331 of the frame 330 to apply the force to the head assembly 300 to the first frame 610 Or the second frame 620, as shown in Fig.

리저버(400)를 헤드 어셈블리(300)에서 탈부착 시키는 단계에서는, 리저버(400)를 헤드 어셈블리(300)에 탈부착 시킨다.In the step of detachably attaching the reservoir 400 to the head assembly 300, the reservoir 400 is detachably attached to the head assembly 300.

상술한 바와 같이, 리저버(400)의 세척 시 또는 액 교환 시 리저버(400)를 헤드 어셈블리(300)에서 탈부착 시키는 것이 요구되는 경우, 갠트리(200)로부터 분리된 헤드 어셈블리(300)를 거치대(600)에 고정하여 거치시킨 후 리저버(400)를 탈부착 시킴으로써, 안전 사고를 방지할 수 있고, 리저버(400)와 헤드 어셈블리(300) 간에 조립을 정밀하게 수행할 수 있다.The head assembly 300 detached from the gantry 200 is moved to the cradle 600 when the reservoir 400 is to be detached from the head assembly 300 when the reservoir 400 is washed or when the reservoir 400 is exchanged It is possible to prevent a safety accident and precisely perform assembly between the reservoir 400 and the head assembly 300. In addition,

10: 기판 처리 장치 S: 기판
100: 기판 지지 유닛 200: 갠트리
300: 헤드 어셈블리 310: 헤드 유닛
320: 액 공급 유닛 330: 프레임
340: 삽입 돌기 350: 갠트리 결합 부재
400: 리저버 500: 헤드 이동 유닛
600: 거치대 610: 제 1 프레임
620: 제 2 프레임 630: 지지 패널
640: 고정 부재10: substrate processing apparatus S: substrate
100: substrate supporting unit 200: gantry
300: head assembly 310: head unit
320: liquid supply unit 330: frame
340: insertion protrusion 350: gantry coupling member
400: reservoir 500: head moving unit
600: Cradle 610: First frame
620: second frame 630: support panel
640: Fixing member

Claims (13)

액을 토출하는 헤드 어셈블리가 거치되는 거치대에 있어서,
길이 방향이 상하 방향으로 제공되는 제 1 프레임;
길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 상기 제 1 프레임과 서로 이격되며, 서로 마주보도록 제공된 제 2 프레임;
상기 제 1 프레임 및 상기 제 2 프레임에 지지되고, 상기 헤드 어셈블리가 놓이는 지지 패널; 및
상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임 중 어느 하나 또는 상기 지지 패널에 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 고정 부재;를 포함하는 거치대.In a holder in which a head assembly for discharging a liquid is mounted,
A first frame provided with a longitudinal direction in a vertical direction;
A second frame provided with a longitudinal direction in a vertical direction, spaced apart from the first frame and provided to face each other;
A support panel supported on the first frame and the second frame, the support panel on which the head assembly is placed; And
And a fixing member for fixing the head assembly to either the first frame or the second frame or the support panel. 제 1 항에 있어서,
상기 고정부재는,
상기 지지 패널 상에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 1 고정부재;를 포함하는 거치대.The method according to claim 1,
Wherein:
And a first fixing member installed on the support panel to fix the head assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 고정 부재는,
상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임의 일측면에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 2 고정부재;를 포함하는 거치대.The method according to claim 1,
Wherein:
And a second fixing member installed on one side of the first frame or the second frame to fix the head assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 지지 패널에는, 상기 헤드 어셈블리의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성되는 거치대.The method according to claim 1,
Wherein the support panel has a first insertion groove into which the insertion protrusion of the head assembly is inserted. 제 1 항에 있어서,
상기 지지 패널에는, 상기 헤드 어셈블리의 갠트리 결합부재가 삽입되는 제 2 삽입 홈이 형성되는 거치대.The method according to claim 1,
Wherein the support panel has a second insertion groove into which the gantry engagement member of the head assembly is inserted. 베이스;
상기 베이스에 설치되고, 기판이 놓여지는 기판 지지 유닛;
상기 기판 지지 유닛에 놓인 기판 상에 액을 토출하는 헤드 어셈블리;
상기 헤드 어셈블리가 결합된 갠트리; 및
상기 베이스의 외부에서 헤드 어셈블리가 거치되는 거치대를 포함하되,
상기 헤드 어셈블리는, 상기 갠트리에 탈부착 가능하게 제공되고,
상기 거치대는,
길이 방향이 상하 방향으로 제공되는 제 1 프레임;
길이 방향이 상하 방향으로 제공되고, 상기 제 1 프레임과 서로 이격되며, 서로 마주보도록 제공된 제 2 프레임;
상기 제 1 프레임 및 상기 제 2 프레임에 지지되고, 상기 헤드 어셈블리가 놓이는 지지 패널; 및
상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임 중 어느 하나 또는 상기 지지 패널에 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 고정 부재;를 포함하는 기판 처리 장치.Base;
A substrate supporting unit installed on the base and on which a substrate is placed;
A head assembly for ejecting liquid onto a substrate placed on the substrate supporting unit;
A gantry coupled to the head assembly; And
And a cradle on which the head assembly is mounted outside the base,
Wherein the head assembly is detachably provided to the gantry,
The cradle,
A first frame provided with a longitudinal direction in a vertical direction;
A second frame provided with a longitudinal direction in a vertical direction, spaced apart from the first frame and provided to face each other;
A support panel supported on the first frame and the second frame, the support panel on which the head assembly is placed; And
And a fixing member for fixing the head assembly to either the first frame or the second frame or the support panel. 제 6 항에 있어서,
상기 액 공급 유닛으로부터 상기 헤드 유닛으로 공급되는 액이 머물고, 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 가능하게 제공되는 리저버;를 더 포함하되,
상기 헤드 어셈블리는, 액을 토출하는 헤드 유닛; 및 상기 헤드 유닛으로 액을 공급하는 액 공급 유닛;을 포함하고,
상기 리저버의 내부에는, 상기 액 공급 유닛으로부터 상기 헤드 유닛;으로 공급되는 액이 머무는 기판 처리 장치.The method according to claim 6,
And a reservoir detachably attached to the head assembly, wherein the liquid supplied from the liquid supply unit to the head unit remains,
The head assembly includes: a head unit that discharges a liquid; And a liquid supply unit for supplying liquid to the head unit,
Wherein the liquid supplied from the liquid supply unit to the head unit stays in the reservoir. 제 7 항에 있어서,
상기 리저버는, 상기 헤드 어셈블리가 상기 거치대에 거치된 상태에서 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 가능하게 제공된 기판 처리 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the reservoir is detachably provided to the head assembly with the head assembly mounted on the mount. 제 6 항에 있어서,
상기 고정부재는,
상기 지지 패널 상에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 1 고정부재;를 포함하는 기판 처리 장치.The method according to claim 6,
Wherein:
And a first fixing member installed on the support panel to fix the head assembly. 제 6 항에 있어서,
상기 고정 부재는,
상기 제 1 프레임 또는 상기 제 2 프레임의 일측면에 설치되어 상기 헤드 어셈블리를 고정시키는 제 2 고정부재;를 포함하는 기판 처리 장치.The method according to claim 6,
Wherein:
And a second fixing member installed on one side of the first frame or the second frame to fix the head assembly. 제 7 항에 있어서,
상기 액 공급 유닛, 및 상기 헤드 유닛은, 상하 방향으로 순차적으로 배열되고,
상기 리저버는 상기 액 공급 유닛 및 상기 헤드 유닛의 사이에 상기 액 공급 유닛과 이격되게 제공되며,
상기 액 공급 유닛의 하부에는 아래 방향으로 돌출된 삽입 돌기가 제공되고,
상기 지지 패널에는, 상기 헤드 유닛의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성되는 기판 처리 장치.8. The method of claim 7,
The liquid supply unit, and the head unit are sequentially arranged in the vertical direction,
The reservoir being provided between the liquid supply unit and the head unit so as to be spaced apart from the liquid supply unit,
A lower portion of the liquid supply unit is provided with an insertion projection projecting downwardly,
Wherein the support panel is provided with a first insertion groove into which the insertion protrusion of the head unit is inserted. 제 1 항의 거치대를 이용해 상기 헤드 어셈블리에 상기 리저버를 탈부착 시키는 방법에 있어서,
상기 헤드 어셈블리가 상기 지지 패널 상에 놓이는 단계;
상기 헤드 어셈블리가 상기 고정 부재에 의해 고정되는 단계; 및
상기 리저버를 상기 헤드 어셈블리에 탈부착 시키는 단계;를 포함하는 리저버 탈부착 방법.A method for detachably attaching a reservoir to a head assembly using the holder of claim 1,
Placing the head assembly on the support panel;
The head assembly being fixed by the fixing member; And
And attaching and detaching the reservoir to the head assembly. 제 12 항에 있어서,
상기 헤드 어셈블리는, 액을 토출하는 헤드 유닛; 및 상기 헤드 유닛으로 액을 공급하는 액 공급 유닛;을 포함하고,
상기 액 공급 유닛, 및 상기 헤드 유닛은, 상하 방향으로 순차적으로 배열되며,
상기 리저버는 상기 액 공급 유닛 및 상기 헤드 유닛의 사이에 상기 액 공급 유닛과 이격되게 제공되고,
상기 액 공급 유닛의 하부에는 아래 방향으로 돌출된 삽입 돌기가 제공되며,
상기 지지 패널에는, 상기 헤드 유닛의 삽입 돌기가 삽입되는 제 1 삽입 홈이 형성되고,
상기 헤드 어셈블리가 상기 지지 패널 상에 놓이는 단계에서는 상기 삽입 돌기가 상기 제 1 삽입 홈에 삽입되는 리저버 탈부착 방법.13. The method of claim 12,
The head assembly includes: a head unit that discharges a liquid; And a liquid supply unit for supplying liquid to the head unit,
The liquid supply unit, and the head unit are sequentially arranged in the vertical direction,
Wherein the reservoir is provided so as to be spaced apart from the liquid supply unit between the liquid supply unit and the head unit,
A lower portion of the liquid supply unit is provided with an insertion protrusion protruding downward,
A first insertion groove into which the insertion protrusion of the head unit is inserted is formed in the support panel,
Wherein the insertion protrusion is inserted into the first insertion groove in the step of placing the head assembly on the support panel.
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