KR20160081921A - Rotor device for a vacuum pump, and vacuum pump - Google Patents

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욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하
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Abstract

진공 펌프를 위한 로터 장치는 로터 샤프트(10), 및 이 로터 샤프트(10) 상의 적어도 하나의 로터 요소(12)를 포함한다. 본 발명에 따르면, 적어도 하나의 로터 요소(12)는 알루미늄, 티타늄 및/또는 CFRP를 함유하고, 로터 샤프트(10)는 크롬-니켈강을 함유한다. 특히, 이것은 프레싱 공정을 사용하여 실온에서 적어도 하나의 로터 요소(12)를 로터 샤프트(10)에 접합하는 것을 가능하게 한다.A rotor arrangement for a vacuum pump comprises a rotor shaft (10) and at least one rotor element (12) on the rotor shaft (10). According to the invention, the at least one rotor element 12 contains aluminum, titanium and / or CFRP, and the rotor shaft 10 contains chromium-nickel steel. In particular, this makes it possible to bond at least one rotor element 12 to the rotor shaft 10 at room temperature using a pressing process.

Description

진공 펌프를 위한 로터 장치, 및 진공 펌프{ROTOR DEVICE FOR A VACUUM PUMP, AND VACUUM PUMP}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a rotor device for a vacuum pump,

본 발명은 진공 펌프 로터 장치뿐만 아니라 진공 펌프에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum pump rotor device as well as a vacuum pump.

예를 들어 터보분자 펌프와 같은 진공 펌프는 펌프 하우징 내에 배열된 로터 샤프트를 갖는다. 전형적으로 전기 모터에 의해 구동되는 로터 샤프트는 적어도 하나의 로터 요소를 지탱한다. 터보분자 펌프에서, 로터 디스크(rotor disc)의 형태의 복수의 로터 요소가 로터 샤프트 상에 배열된다. 로터 샤프트는 베어링 요소를 통해 펌프 하우징 내에 회전가능하게 지지된다. 또한, 진공 펌프는 하우징 내에 배열된 스테이터 요소를 갖는다. 터보분자 펌프에서, 스테이터 디스크로서 형성된 복수의 스테이터 요소가 제공된다. 여기서, 스테이터 디스크와 로터 디스크는 펌프의 종방향으로 또는 펌핑되는 매체의 유동 방향으로 교번하여 배열된다.A vacuum pump, for example a turbo-molecular pump, has a rotor shaft arranged in the pump housing. A rotor shaft, typically driven by an electric motor, carries at least one rotor element. In the turbo-molecular pump, a plurality of rotor elements in the form of a rotor disc are arranged on the rotor shaft. The rotor shaft is rotatably supported within the pump housing through a bearing element. The vacuum pump also has a stator element arranged in the housing. In the turbo-molecular pump, a plurality of stator elements formed as stator discs are provided. Here, the stator disk and the rotor disk are alternately arranged in the longitudinal direction of the pump or in the flow direction of the pumped medium.

개별 로터 디스크로부터 구성된 로터에서, 개개의 로터 요소는 로터 샤프트에 견고하게 고정되어야 한다. 상응하여, 로터 샤프트와 로터 요소 사이의 강한, 위치적으로 정밀한 연결이 모든 작동 조건하에서, 즉, 특히 발생하는 강력한 온도 및 회전 속도 변화하에서 보장되어야 한다. 공지된 다수-부품 로터, 특히 복수의 로터 디스크를 갖는 로터에서, 이것은 접합 목적을 위해 로터 샤프트에 대해 로터 디스크의 상당한 오버사이즈(oversize)에 의해 달성된다. 이어서 접합을 위해, 로터 요소를 샤프트 상에 프레싱(pressing)하는 것이 가능하도록 로터 샤프트를 강력히 냉각시키고 로터 요소를 강력히 가열하는 것이 필요하다. 여기서, 로터 샤프트를 액체 질소의 온도 범위 내의 온도까지 냉각시키고, 동시에, 예를 들어 유도에 의해 오븐 내에서 로터 디스크를 강력히 가열하는 것이 특히 필요하다. 이어서 접합 후에는 부품 양자가 실온에 있을 때까지 실온에서의 보관이 뒤따라야 한다. 이것은 비교적 긴 시간이 걸린다. 이러한 상당한 오버사이즈 및 상응하게 복잡한 접합 공정만이 강력하게 변화하는 온도 및 회전 속도에도 불구하고 요구되는 작동 안전성을 보증할 수 있다. 로터 요소뿐만 아니라 로터 샤프트의 온도는 작동 시에 최대 약 120℃에 도달한다. 최대 회전 속도는 약 1500 r/sec이다. 따라서, 로터 요소를 로터 샤프트와 접합하기 위해 로터 샤프트를 액체 질소 내에서 약 -190℃까지 냉각시키는 것이 필요하다. 구조적 크기에 따라, 냉각 시간은 약 5분이다. 동시에, 로터 요소는 오븐, 예컨대 대류식 오븐(convection oven) 내에서 약 120℃까지 가열되어야 한다. 대응하는 가열 시간은 1시간 내지 2시간이다. 접합 후에 구조적 조립체를 완전히 가열하기 위한 시간은 실온에 도달하기까지 약 1시간 내지 2시간이다. 이러한 공지된 접합 방법은 시간이 많이 걸리고 복잡하다.In the rotor constructed from separate rotor discs, the individual rotor elements must be securely fixed to the rotor shaft. Correspondingly, a strong, positionally precise connection between the rotor shaft and the rotor element must be ensured under all operating conditions, i. E. Particularly under the strong temperature and rotational speed variations that occur. In known multi-part rotors, in particular in rotors with a plurality of rotor discs, this is achieved by a significant oversize of the rotor disc relative to the rotor shaft for bonding purposes. For subsequent joining, it is necessary to strongly cool the rotor shaft and strongly heat the rotor element so that it is possible to press the rotor element onto the shaft. Here, it is particularly necessary to cool the rotor shaft to a temperature within the temperature range of liquid nitrogen and at the same time to strongly heat the rotor disk in the oven, for example by induction. Subsequent bonding should follow storage at room temperature until both parts are at room temperature. This takes a relatively long time. Only these considerable oversize and correspondingly complicated bonding processes can ensure the required operational safety despite strongly varying temperatures and rotational speeds. The temperature of the rotor shaft as well as the rotor element reaches up to about 120 ° C during operation. The maximum rotational speed is about 1500 r / sec. Therefore, it is necessary to cool the rotor shaft in liquid nitrogen to about -190 DEG C to bond the rotor element to the rotor shaft. Depending on the structural size, the cooling time is about 5 minutes. At the same time, the rotor element must be heated to about 120 캜 in an oven, for example a convection oven. The corresponding heating time is from 1 hour to 2 hours. The time for fully heating the structural assembly after bonding is from about one hour to two hours until room temperature is reached. These known joining methods are time consuming and complex.

시험은, 알루미늄의 로터 또는 디스크-형상의 로터 요소를 알루미늄의 로터 샤프트 상에 접합하는 것은 요구되는 오버사이즈로 인해 실온에서 가능하지 않음을 보여주었다. 오버사이즈가 상당히 더 작게 선택될 수 있지만, 로터 요소와 샤프트의 상이한 열팽창 계수가 존재하지 않기 때문에, 프레싱에 의한 끼워맞춤이 여전히 실온에서 가능하지 않다. 여기서, 접합되는 구성요소의 갤링(galling) 또는 용접이 일어난다. 따라서, 로터 샤프트 상에의 로터 요소의 위치적으로 정확한 위치설정이 가능하지 않다.Testing has shown that bonding aluminum rotor or disk-shaped rotor elements onto a rotor shaft of aluminum is not possible at room temperature due to the oversize required. Although oversize can be selected to be significantly smaller, fitting by pressing is still not possible at room temperature because there is no different thermal expansion coefficient of the rotor element and shaft. Here, galling or welding of the components to be joined takes place. Therefore, positionally accurate positioning of the rotor element on the rotor shaft is not possible.

높은 작동 안전성을 여전히 제공하고, 바람직하게는 실온에서 또는 구성요소 사이의 단지 작은 온도차에서 구성요소가 접합되게 하면서, 제조하기에 경제적인 진공 펌프 로터 장치를 제공하는 것이 본 발명의 목적이다.It is an object of the present invention to provide a vacuum pump rotor arrangement that is still economical to manufacture while still providing high operational safety, preferably at room temperature or allowing components to be bonded at only a small temperature difference between components.

본 목적은 청구항 1의 특징을 갖는 본 발명에 따라 해결된다.This object is solved according to the present invention with the features of claim 1.

본 발명의 진공 펌프를 위한 로터 장치는 로터 샤프트를 갖는다. 적어도 하나의 로터 요소가 로터 샤프트 상에 배열된다. 특히, 터보분자 펌프의 로터 장치의 경우에, 로터 디스크의 형태의 복수의 로터 요소가 로터 샤프트의 종방향으로 배열된다.The rotor device for the vacuum pump of the present invention has a rotor shaft. At least one rotor element is arranged on the rotor shaft. In particular, in the case of a rotor arrangement of a turbo-molecular pump, a plurality of rotor elements in the form of rotor discs are arranged in the longitudinal direction of the rotor shaft.

시험은, 로터 또는 로터 요소가 알루미늄, 티타늄 및/또는 CFK를 함유하고 로터 샤프트가 크롬-니켈강(Cr-Ni강)을 포함한다면, 로터 또는 로터 요소를 실온에서 그리고 동시에 높은 작동 안전성을 갖고서 끼워맞춤하는 것이 가능함을 보여주었다. 로터 또는 로터 요소를 위한 재료로서 알루미늄, 티타늄 및/또는 CFK를 사용하는 것은, 높은 회전 속도 및 그것에 동조하는 큰 힘 및 장력에 도달하기 위해 요구되는 재료의 밀도에 대한 요구되는 강도 및 안정성을 달성하는 것이 가능하다는 점에서 유리하다. 샤프트의 요구되는 특성은 강철 샤프트, 특히 스테인레스강 샤프트에 의해 달성될 수 있다. 특히, 샤프트는 황이 첨가된 Ni-Cr강을 포함하고, 특히 바람직한 바와 같이, 황이 첨가된 크롬-니켈강으로 제조된다.Tests were conducted to determine if the rotor or rotor element contained aluminum, titanium and / or CFK and the rotor shaft included chromium-nickel steel (Cr-Ni steel) It is possible to do it. The use of aluminum, titanium and / or CFK as the material for the rotor or rotor element achieves the required strength and stability against the density of the material required to reach high rotational speeds and large forces and tensions to tune thereto It is advantageous in that it is possible. The required characteristics of the shaft can be achieved by means of steel shafts, in particular stainless steel shafts. In particular, the shaft comprises Ni-Cr steel with added sulfur and, as particularly preferred, is made of chromium-nickel steel with added sulfur.

바람직한 실시예에서, 로터 또는 로터 요소는 알루미늄, 알루미늄 합금 및/또는 고강도 알루미늄으로 제조된다.In a preferred embodiment, the rotor or rotor element is made of aluminum, aluminum alloy and / or high strength aluminum.

특히 250 N/mm 이상의 높은 인장 강도값을 갖는 고강도 알루미늄을 사용하는 것이 특히 바람직하다. 고강도 알루미늄은 그것이 또한 100 내지 120℃의 작동 온도에서 높은 피로 강도를 갖는다는 이점을 추가로 갖는다. AW-Al Cu 2Mg 1,5 Ni를 사용하는 것이 특히 바람직하다.Particularly, it is particularly preferable to use high strength aluminum having a high tensile strength value of 250 N / mm or more. High strength aluminum additionally has the advantage that it also has a high fatigue strength at operating temperatures of 100-120 < 0 > C. AW-Al Cu 2Mg 1,5 Ni is particularly preferred.

또한, 적어도 하나의 로터 요소가 티타늄 또는 티타늄 합금 및/또는 CFK로 제조되는 것이 바람직하다.It is also preferred that at least one rotor element is made of titanium or a titanium alloy and / or CFK.

본 발명에 의해 제공되는 바와 같은, 두 구성요소의 상기에 기술된 조합은 어떠한 갤링 또는 용접 없이도 실온에서 적어도 하나의 로터 요소를 로터 샤프트 상에 끼워맞춤하도록 허용한다. 이에 의해, 제조 시간이 크게 단축될 수 있다.The combination described above of the two components, as provided by the present invention, allows at least one rotor element to fit onto the rotor shaft at room temperature without any galling or welding. Thus, the manufacturing time can be greatly shortened.

본 발명에 따르면, 로터 샤프트의 열팽창 계수가 적어도 하나의 로터 요소의 열팽창 계수와 가능한 한 적게 상이하다는 사실에 의해 조립 비용의 상당한 감소가 달성될 수 있다. 본 발명에 따르면, 갤링의 경향이 없고 열팽창 계수에 있어서 단지 약간만 상이하여, 종래 기술에서보다 접합을 위해 더 작은 오버사이즈가 요구되게 하는 재료 쌍이 사용된다. 그 결과, 구성요소는 요구되는 작은 오버사이즈로 인해 실온에서 접합될 수 있거나, 기껏해야, 구성요소는 단지 작은 온도차를 갖는 것이 필요할 뿐이다. 약간 상이한 열팽창 계수를 갖는 그러한 재료 쌍에 의해, 높은 온도 및 회전 속도 변화에서도 작동 안전성이 보증되는 것이 보장된다. 사용되는 재료 쌍이 특히 고강도 알루미늄과 스테인레스강의 재료 쌍인 것이 특히 바람직하다. 여기서, 적어도 하나의 로터 요소가 알루미늄으로 제조되고 로터 샤프트가 스테인레스강, 특히 황이 첨가된 Cr-Ni강으로 제조되는 것이 바람직하다.According to the present invention, a considerable reduction of the assembly cost can be achieved by the fact that the coefficient of thermal expansion of the rotor shaft is as small as possible to the coefficient of thermal expansion of at least one rotor element. According to the present invention, a pair of materials is used which results in no tendency for galling and only slightly different in the coefficient of thermal expansion, so that a smaller oversize is required for bonding than in the prior art. As a result, the components can be bonded at room temperature due to the small oversize required, or at best, only the components need only have a small temperature difference. With such a pair of materials having slightly different thermal expansion coefficients, it is ensured that operational safety is ensured even at high temperature and rotational speed variations. It is particularly preferred that the material pairs used are in particular a pair of materials of high strength aluminum and stainless steel. Here, it is preferable that at least one rotor element is made of aluminum and the rotor shaft is made of stainless steel, especially sulfur-added Cr-Ni steel.

로터 샤프트에 대해 재료 번호가 1.4305인 스테인레스강 X8CrNiS18-9를 사용하는 것이 특히 적합하다.It is particularly suitable to use stainless steel X8CrNiS18-9 having a material number of 1.4305 for the rotor shaft.

특히 스테인레스강 X8CrNiS18-9 및 알루미늄 Al을 사용할 때, 2개의 구성요소를 실온에서 접합하는 것, 특히 그것들을 프레싱에 의해 접합하는 것이 가능하다. 또한, 이것은 특히 바람직한 실시예에서, 적어도 하나의 로터 요소가 0.25% 내지 0.35%의 원주 방향에 있어서의 팽창이 일어날 수 있는 로터 샤프트에 대한 오버사이즈를 갖는다면 가능하다. 이러한 오버사이즈로 인해, 큰 온도 변화에도 불구하고 작동 안전성이 보장될 수 있으면서, 동시에 구성요소가 여전히 실온에서 접합될 수 있다.Especially when stainless steels X8CrNiS18-9 and aluminum Al are used, it is possible to bond the two components at room temperature, in particular to bond them by pressing. This is also possible if, in a particularly preferred embodiment, at least one rotor element has an oversize for the rotor shaft in which an expansion in the circumferential direction of 0.25% to 0.35% can take place. With this oversize, operational safety can be ensured despite large temperature changes, while at the same time the components can still be bonded at room temperature.

로터 장치가 특히 터보분자 펌프에 사용하기에 적합한 바람직한 실시예에서, 복수의 로터 요소가, 특히 프레싱에 의해, 로터 샤프트 상에 특히 종방향으로 배열된다. 그러나, 대응하는 로터 요소가 또한 예를 들어 홀웩 스테이지(Holweck stage)의 디스크-형상의 캐리어일 수 있다. 이러한 캐리어는 홀웩 스테이지의 관형 요소를 지탱하거나 그것과 일체로 형성된다. 본 발명에 따르면, 또한 그러한 로터 요소 또는 그러한 로터 요소 캐리어가 상기에 언급된 재료, 특히 알루미늄으로부터 제조되고, 프레싱에 의해 스테인레스강 샤프트 상에 끼워맞춤된다.In a preferred embodiment in which the rotor device is particularly suitable for use in a turbo-molecular pump, a plurality of rotor elements are arranged, in particular longitudinally, on the rotor shaft, in particular by pressing. However, the corresponding rotor element may also be, for example, a disk-shaped carrier of the Holweck stage. These carriers support or are integrally formed with the tubular elements of the hole stage. According to the invention, such a rotor element or such a rotor element carrier is also produced from the above-mentioned materials, in particular aluminum, and is fitted on a stainless steel shaft by pressing.

로터 요소는 로터 디스크일 수 있으며, 여기서 가능하게는 스페이서 요소(spacer element)가 로터 요소 또는 로터 디스크 사이에 추가로 제공된다. 이들 요소는 특히 다수-입구 펌프에서 중간 입구를 형성하는 역할을 할 수 있다.The rotor element may be a rotor disk, where possibly a spacer element is additionally provided between the rotor element or the rotor disk. These elements can in particular serve to form an intermediate inlet in the multi-inlet pump.

본 발명은 또한 특히 터보분자 펌프인 진공 펌프에 관한 것이다. 본 발명의 진공 펌프는, 특히 바람직한 개발 중 하나에서, 상기에 기술된 바와 같은 본 발명의 로터 장치를 갖는다. 또한, 진공 펌프는 펌프 하우징을 가지며, 이 펌프 하우징 내에 로터 샤프트가 베어링 요소에 의해 지지된다. 더욱이, 로터 샤프트를 구동시키는 구동 장치가 제공된다. 또한, 적어도 하나의 스테이터 요소가 펌프 하우징 내에 배열되며, 여기서 스테이터 요소는 스테이터 디스크일 수 있다. 이러한 경우에, 터보분자 펌프에서, 복수의 스테이터 디스크가 복수의 로터 디스크와 교번하여 배열된다.The invention also relates to a vacuum pump which is in particular a turbo molecular pump. The vacuum pump of the present invention has the rotor device of the present invention as described above in one particularly preferred development. The vacuum pump also has a pump housing in which a rotor shaft is supported by bearing elements. Furthermore, a drive device for driving the rotor shaft is provided. Also, at least one stator element is arranged in the pump housing, wherein the stator element may be a stator disk. In this case, in the turbo molecular pump, a plurality of stator discs are alternately arranged with a plurality of rotor discs.

본 발명이 바람직한 실시예 및 첨부 도면을 참조하여 이하에 상세히 설명될 것이다.The present invention will be described in detail below with reference to preferred embodiments and accompanying drawings.

도 1은 터보분자 펌프의 크게 단순화된 개략 단면도.1 is a greatly simplified schematic cross-sectional view of a turbo-molecular pump;

터보분자 펌프의 크게 단순화된 예시에서, 로터 디스크의 형태의 복수의 로터 요소(12)가 로터 샤프트(10) 상에 프레싱되는 것에 의해 배열된다. 스테이터 요소(16)는 펌프 하우징(14) 내에 배열되고, 예시된 실시예에서 스테이터 디스크(16)일 수 있다.In a largely simplified example of a turbo-molecular pump, a plurality of rotor elements 12 in the form of rotor discs are arranged by being pressed onto the rotor shaft 10. The stator element 16 is arranged in the pump housing 14 and may be a stator disk 16 in the illustrated embodiment.

로터 샤프트(10)는 베어링 요소(18, 20)에 의해 펌프 하우징(14) 내에 지지되며, 구동 장치(22)에 의해 구동된다.The rotor shaft 10 is supported in the pump housing 14 by bearing elements 18 and 20 and is driven by a drive device 22.

예시된 실시예에서, 슬리브-형 스페이서 요소(sleeve-like spacer element)(24)가 2개의 로터 디스크(12) 사이에 추가로 제공된다. 이에 의해, 중간 입구(26)가 형성된다.In the illustrated embodiment, a sleeve-like spacer element 24 is additionally provided between the two rotor discs 12. Thereby, the intermediate inlet 26 is formed.

따라서, 도면에 개략적으로 예시된 진공 펌프는 화살표(28)의 방향으로 주 입구(main inlet)를 통해 운반될 매체를 흡인한다. 또한, 매체는 화살표(30)의 방향으로 중간 입구(26)를 통해 흡인된다. 흡인된 두 매체는 화살표(32)에 의해 예시된 바와 같이 출구를 향해 운반된다.Thus, the vacuum pump schematically illustrated in the drawing sucks the medium to be conveyed through the main inlet in the direction of the arrow 28. The medium is also sucked through the intermediate inlet 26 in the direction of the arrow 30. The two aspirated media are transported towards the outlet as illustrated by arrow 32.

본 발명에 따르면, 로터 샤프트(10)는 바람직한 실시예에서 스테인레스강으로 제조된다. 개개의 로터 요소(12)뿐만 아니라 스페이서 요소(24)는 그것의 바람직한 실시예에서 알루미늄으로 제조된다. 로터 요소(12) 및 스페이서 요소(24)의 끼워맞춤은 실온에서 프레싱에 의해 수행된다. 특히, 개개의 로터 요소(12)뿐만 아니라 스페이서 요소(24)는 0.07% 내지 0.2%의 원주 방향에 있어서의 오버사이즈-관련 팽창을 보인다. 구성요소가 실온에서 접합될 수 있게 하는 프레싱력은 5 kN 내지 50 kN의 범위이다.According to the present invention, the rotor shaft 10 is made of stainless steel in the preferred embodiment. The spacer elements 24 as well as the individual rotor elements 12 are made of aluminum in its preferred embodiment. Fitting of the rotor element 12 and the spacer element 24 is performed by pressing at room temperature. In particular, the spacer elements 24 as well as the individual rotor elements 12 exhibit an oversize-related expansion in the circumferential direction of 0.07% to 0.2%. The pressing force that allows the components to be bonded at room temperature ranges from 5 kN to 50 kN.

Claims (11)

진공 펌프를 위한 로터 장치로서,
로터 샤프트(10), 및
상기 로터 샤프트(10) 상에 배열된 적어도 하나의 로터 요소(12)를 포함하는, 상기 진공 펌프를 위한 로터 장치에 있어서,
상기 적어도 하나의 로터 요소(12)는 알루미늄, 티타늄 및/또는 CFK를 함유하고, 상기 로터 샤프트(10)는 크롬-니켈강을 함유하는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 로터 장치.A rotor apparatus for a vacuum pump,
The rotor shaft 10, and
A rotor arrangement for a vacuum pump comprising at least one rotor element (12) arranged on the rotor shaft (10)
Characterized in that said at least one rotor element (12) contains aluminum, titanium and / or CFK, and said rotor shaft (10) contains chromium-nickel steel
Rotor device for vacuum pump. 제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 로터 요소(12)는 알루미늄, 알루미늄 합금 및/또는 고강도 알루미늄으로 제조되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 로터 장치.The method according to claim 1,
Characterized in that said at least one rotor element (12) is made of aluminum, aluminum alloy and / or high strength aluminum
Rotor device for vacuum pump. 제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 로터 요소(12)는 티타늄 및/또는 티타늄 합금으로 제조되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 로터 장치.The method according to claim 1,
Characterized in that said at least one rotor element (12) is made of titanium and / or a titanium alloy
Rotor device for vacuum pump. 제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 로터 요소(12)는 CFK로 제조되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 로터 장치.The method according to claim 1,
Characterized in that said at least one rotor element (12) is made of CFK
Rotor device for vacuum pump. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 로터 샤프트(10)는 황이 첨가된 크롬-니켈강을 함유하고, 특히 황이 첨가된 크롬-니켈강으로 제조되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 로터 장치.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Characterized in that the rotor shaft (10) is made of chromium-nickel steel with added sulfur, in particular sulfur-added chromium-nickel steel
Rotor device for vacuum pump. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 로터 샤프트(10)는, 특히 스테인레스강 X8CrNiS18-9인 스테인레스강 합금을 함유하는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 로터 장치.6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Characterized in that the rotor shaft (10) contains a stainless steel alloy, in particular stainless steel X8CrNiS18-9
Rotor device for vacuum pump. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
재료 쌍은 상기 적어도 하나의 로터 요소(12)가 실온에서 상기 로터 샤프트(10) 상에 끼워맞춤될 수 있도록 선택되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 로터 장치.7. The method according to any one of claims 1 to 6,
Material pair is selected such that the at least one rotor element (12) can be fitted onto the rotor shaft (10) at room temperature
Rotor device for vacuum pump. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
복수의 로터 요소(12)가 상기 로터 샤프트(10)의 종방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 로터 장치.8. The method according to any one of claims 1 to 7,
Characterized in that a plurality of rotor elements (12) are arranged in the longitudinal direction of the rotor shaft
Rotor device for vacuum pump. 제 6 항에 있어서,
상기 로터 요소는 로터 디스크(rotor disc)(12)로서 형성되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 로터 장치.The method according to claim 6,
Characterized in that the rotor element is formed as a rotor disc (12)
Rotor device for vacuum pump. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
적어도 하나의 스페이서 요소(spacer element)(24)가 2개의 상기 로터 요소(12) 사이에 배열되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 로터 장치.10. The method according to claim 8 or 9,
Characterized in that at least one spacer element (24) is arranged between the two rotor elements (12)
Rotor device for vacuum pump. 진공 펌프, 특히 터보분자 펌프에 있어서,
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항의 진공 펌프를 위한 로터 장치,
베어링 요소(28)에 의해 펌프 하우징(14) 내에 지지되는 상기 로터 샤프트(10),
상기 로터 샤프트(10)에 연결된 구동 수단(22), 및
상기 펌프 하우징(14) 내에 배열된 적어도 하나의 스테이터 요소(16)를 포함하는
진공 펌프.In vacuum pumps, especially turbo-molecular pumps,
A rotor device for a vacuum pump as claimed in any one of claims 1 to 10,
The rotor shaft 10, which is supported in the pump housing 14 by a bearing element 28,
A driving means (22) connected to the rotor shaft (10), and
Comprising at least one stator element (16) arranged in the pump housing (14)
Vacuum pump.
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