KR20160080054A

KR20160080054A - 유리 기판의 제조 방법

Info

Publication number: KR20160080054A
Application number: KR1020150086064A
Authority: KR
Inventors: 오사무 이카이; 히로노리 이세
Original assignee: 아반스트레이트 가부시키가이샤
Priority date: 2014-12-29
Filing date: 2015-06-17
Publication date: 2016-07-07
Also published as: JP2016124753A; CN204981630U; TWM525927U; JP6741394B2

Abstract

[과제] 단면(端面) 가공 전의 얼라인먼트(alignment)를 행하는 일 없이, 단면 가공을 정도(精度) 좋게 행할 수 있는 유리 기판의 제조 방법을 제공한다.
[해결 수단] 판상(板狀)으로 성형된 유리 기판을 절단 수단에 의하여 소정의 폭으로 절단하는 절단 공정과, 절단된 유리 기판의 단면에 단면 가공을 실시하는 단면 가공 공정을 가진다. 판상으로 성형된 유리 기판을 반송 테이블 상에 재치(載置)한 상태로, 유리 기판과 반송 테이블을 일체로 유리 기판 반송 경로를 이동시키면서, 상기 단면 가공 공정 전에 단면의 얼라인먼트를 행하는 일 없이, 상기 절단 공정 및 단면 가공 공정을 실시한다.

Description

유리 기판의 제조 방법{METHOD FOR PRODUCING GLASS SUBSTRATE}

본 발명은, 액정 디스플레이나 플라스마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에 이용하는 유리 기판의 제조 방법에 관한 것이다.

액정 디스플레이나 플라스마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(이하, 「FPD」라고 부른다.)에 이용하는 유리 기판에는, 두께가 예를 들어 0.5 ~ 0.7mm로 얇은 유리판이 이용되고 있다. 이 FPD용 유리 기판은, 예를 들어 제1 세대에서는 300×400mm의 사이즈이지만, 제10 세대에서는 2850×3050mm의 사이즈가 되어 있다.

이와 같은 박판(薄板)으로 큰 사이즈의 FPD용 유리 기판을 제조하려면, 오버플로우 다운드로우(overflow downdraw)법이나 플로트(float)법이 호적(好適)하게 이용된다. 예를 들어, 오버플로우 다운드로우법을 이용하는 유리 기판의 제조 방법이 특허 문헌 1에 개시되어 있다. 즉, 특허 문헌 1에서는, 성형체로부터 오버플로우된 시트 유리를 반송 롤러(인장 롤러)로 협지(挾持)하고, 하방(下方)으로 끌어내리는 과정에서 서냉(徐冷)하는 것으로, 유리 기판을 제조하고 있다.

이와 같은 오버플로우 다운드로우법 등에 의하여 제조된 판상(板狀)의 유리 기판은 소정의 사이즈로 절단된다. 유리 기판의 절단은, 절단 개소에 커터 등으로 절단선(끊어진 자국)을 형성하고, 그 절단선을 따라 파단(破斷)하는 것으로 행하여지고 있다. 이와 같은 절단 장치에 관해서는 예를 들어 특허 문헌 2 등에 개시되어 있다.

또한, 상기와 같이 유리 기판의 절단된 단면(端面)에 대하여, 모따기 연삭 등의 단면 가공이 행하여진다. 이와 같은 단면 가공 장치에 관해서는 예를 들어 특허 문헌 3 등에 개시되어 있다.

(특허 문헌 1) WIPO 국제공개공보 제2012/132425호 (특허 문헌 2) 일본국 공개특허공보 특개2012-171867호 (특허 문헌 3) 일본국 공개특허공보 특개2014-087879호

종래, 유리 기판의 단면 가공에서는, 가공 전에 유리 기판의 단면 위치를 가지런히 하기 위한 얼라인먼트(alignment)가 행하여진다. 예를 들어 도 4에 도시하는 바와 같은 모따기 연삭 가공을 행하는 단면 가공 장치(상세는 후술한다)를 이용하여, 단면 가공을 행하는 경우, 가공 전에 얼라인먼트된 유리 기판(1)에 대하여, 연삭 홈(22)이 형성된 연삭 휠(21)이 상대적으로 이동하는 것으로 단면 가공된다.

그러나, 유리 기판의 얼라인먼트는, 반송 테이블(30) 상에 보지(保持)되어 있는 유리 기판(1)이 반송 테이블(30)로부터 비어져 나온 단면(1a)을 눌러 조정된다. 유리 기판의 경우, 반송 테이블(30)로부터 비어져 나온 단부(端部)가 휘기 때문에, 얼라인먼트의 정도(精度)를 높이는 것이 곤란하다. 특히, 박판의 유리 기판인 경우, 단부의 휨량이 크고, 유리 기판의 위치 조정이 곤란하여, 얼라인먼트를 할 수 없는 일도 있다.

상기 특허 문헌 3에는, 유리 기판의 단면의 위치 정보를 2점 취득하고, 그 위치를 이은 2점 사이에 대하여 연삭 휠을 이동시켜 가공하는 방법이 기재되어 있지만, 상기와 같이 휜 단부에서는, 정확하게 위치 정보를 취득하는 것은 곤란하기 때문에, 이와 같은 종래 방법에 의해서도 얼라인먼트 정도를 높이는 것은 곤란하다.

근년(近年)의 FPD의 고정세화(高精細化)에 수반하여, FPD용 유리 기판에 대한 품질 요구는 더욱 더 엄격해지고 있고, 종래보다 한층 더 제조 시의 엄밀한 제어가 필요하게 되고 있다.

그래서, 본 발명은, 단면 가공 전의 얼라인먼트를 행하는 일 없이, 단면 가공을 정도 좋게 행할 수 있고, 고품질의 유리 기판을 제조하는 것이 가능한 유리 기판의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명자들은, 종래의 기술 과제를 해결할 수 있도록 예의(銳意) 검토한 결과, 이하의 구성의 발명을 상도(想到)하기에 이른 것이다.

(구성 1의 발명)

판상으로 성형된 유리 기판을 절단 수단에 의하여 소정의 폭으로 절단하는 절단 공정과, 절단된 유리 기판의 단면에 단면 가공을 실시하는 단면 가공 공정을 가지는 유리 기판의 제조 방법이고, 상기 판상으로 성형된 유리 기판을 반송 테이블 상에 재치(載置)한 상태로, 상기 유리 기판과 상기 반송 테이블을 일체로 유리 기판 반송 경로를 이동시키면서, 상기 단면 가공 공정 전에 상기 단면의 얼라인먼트를 행하는 일 없이, 상기 절단 공정 및 상기 단면 가공 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법이다.

(구성 2의 발명)

구성 1에 있어서, 상기 유리 기판은, 판 두께가 0.3mm 이하인 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법이다.

(구성 3의 발명)

구성 1 또는 2에 있어서, 상기 반송 테이블은, 상기 유리 기판 반송 경로에 설치된 주행축 상을 이동하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법이다.

(구성 4의 발명)

구성 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 절단 공정에 있어서 절단 수단에 의하여 형성되는 절단선과, 상기 단면 가공 공정에 있어서의 단면 가공의 가공점이, 상기 유리 기판 반송 경로를 따른 동일선 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법이다.

(구성 5의 발명)

구성 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서, 절단되는 유리 기판의 적어도 일단에 상기 유리 기판의 중앙 영역과는 두께가 다른 외측 영역을 가지고, 상기 절단 공정에서는 상기 외측 영역을 절단 제거하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법이다.

(구성 6의 발명)

구성 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단면 가공은, 상기 유리 기판의 단면에 실시하는 모따기 가공인 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법이다.

(구성 7의 발명)

구성 1 내지 6 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단면 가공 공정에 있어서, 상기 유리 기판의 단면을, 상기 단면 가공을 실시하는 장치로 이끌기 위한 가이드 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법이다.

본 발명에 의하면, 상기 구성에 의하여, 단면 가공 전의 얼라인먼트를 불요(不要)하게 하여, 얼라인먼트를 행하는 일 없이, 단면 가공을 정도 좋게 행할 수 있다. 이것에 의하여, 고품질의 유리 기판을 제조하는 것이 가능하다.

도 1은 유리 기판의 제조 방법의 플로우의 일례를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명에 있어서의 절단 공정 내지 단면 가공 공정을 행하는 장치의 일 실시예를 도시하는 평면도이다.
도 3은 본 발명에 있어서의 절단 공정 내지 단면 가공 공정을 행하는 장치의 일 실시예를 도시하는 정면도이다.
도 4는 단면 가공 공정에 이용하는 단면 가공 장치의 일례를 도시하는 사시도이다.

이하, 본 발명의 실시예에 관하여 상세하게 설명한다.

(유리 기판의 제조 방법의 전체 개요)

도 1은, 유리 기판의 제조 방법의 플로우의 일례를 도시하는 도면이다.

유리 기판의 제조 방법은, 용융 공정(ST1)과 청징(淸澄) 공정(ST2)과 교반(균질화) 공정(ST3)과 공급 공정(ST4)과 성형 공정(ST5)과 냉각 공정(ST6)과 절단 공정(ST7)을 주로 가진다.

용융 공정(ST1)에서는, 도시하지 않는 용해조 내에 공급된 유리 원료를 용해하는 것으로 용융 유리를 얻는다. 청징 공정(ST2)에서는, 청징제를 이용하여 용융 유리의 청징을 행한다.

교반(균질화) 공정(ST3)에서는, 도시하지 않는 교반조 내의 용융 유리를, 스터러(stirrer) 등의 회전구를 이용하여 교반하는 것에 의하여, 유리 성분의 균질화를 행한다.

공급 공정(ST4)에서는, 균질화된 용융 유리가, 상기 교반조로부터 소정의 배관을 통하여 도시하지 않는 성형 장치에 공급된다.

이 성형 장치는, 예를 들어 상기 오버플로우 다운드로우법에 의한 성형 장치이며, 성형 공정(ST5) 및 냉각 공정(ST6)이 행하여진다.

성형 공정(ST5)에서는, 용융 유리를 시트 유리로 성형하고, 시트 유리의 흐름을 만든다. 오버플로우 다운드로우법의 경우, 시트 유리의 흐름 방향은, 연직 하방이 된다. 냉각 공정(ST6)에서는, 성형되어 흐르는 시트 유리가 소망하는 두께가 되고, 냉각에 기인하는 휨, 일그러짐이 생기지 않도록 냉각된다.

절단 공정(ST7)에서는, 상기 성형 장치로부터 공급된 시트 유리가 소정의 길이로 절단되는 것으로, 판상의 유리 기판을 얻는다.

또한, 절단된 유리 기판은, 한층 더 소정의 사이즈로 절단되어, 목표 사이즈의 유리 기판이 제작된다. 이 후, 유리 기판 단면의 가공(연삭, 연마 등) 및 유리 기판의 세정이 행하여지고, 나아가, 거품이나 맥리(脈理) 등의 결함의 유무가 검사된 후, 검사 합격품의 유리 기판이 최종 제품으로서 곤포(梱包), 출하된다.

본 발명은, 상술의 판상으로 절단된 유리 기판을 한층 더 소정의 사이즈(폭)로 절단하여, 목표 사이즈의 유리 기판을 제작하는 절단 공정과, 절단 공정 후에, 유리 기판 단면에 모따기 등의 연삭 가공을 실시하는 단면 가공 공정의 일련의 공정에 있어서의 개량에 관한 것이며, 상세는 후술한다.

본 실시예에 있어서 제조되는 유리 기판은, 예를 들어, 액정 디스플레이용 유리 기판, 유기 EL 디스플레이용 유리 기판, 커버 유리에 호적하게 이용된다. 또한, 이 유리 기판은, 그 외에, 휴대 단말 기기 등의 디스플레이나 케이스용의 커버 유리, 터치 패널판, 태양 전지의 유리 기판이나 커버 유리로서도 이용할 수 있다. 특히, 액정 디스플레이용 유리 기판에 호적하다.

또한, 유리 기판의 폭 방향 및 세로 방향의 길이는, 예를 들어 500mm ~ 3500mm이고, 1000mm ~ 3500mm인 것이 바람직하고, 2000mm ~ 3500mm인 것이 보다 바람직하다.

(유리 기판의 조성)

상술의 용도의 유리 기판의 유리 조성으로서는, 알루미노 실리케이트 유리(alumino silicate glass), 보로알루미노 실리케이트 유리(boroalumino silicate glass)이고, 나아가 무알칼리 유리, 미알칼리 유리이고, 예를 들어 이하의 것을 바람직하게 들 수 있다. 덧붙여, 이하에 나타내는 조성의 함유율 표시는, 몰%이다.

SiO2　55 ~ 75%, Al2O3　5 ~ 20%, B2O3　0 ~ 15%, RO　5 ~ 20%(다만, R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba 중, 유리 기판에 포함되는 전 원소), R'2O　0 ~ 0.4%(다만, R'은 Li, Na 및 K 중, 유리 기판에 포함되는 전 원소).

물론, 본 발명에 있어서는, 유리 기판의 유리 조성을 한정할 필요는 없고, 임의이다.

다음으로, 본 발명에 있어서의 절단 공정 내지 단면 가공 공정, 및 당해 일련의 공정에 있어서 바람직하게 이용되는 장치에 관하여 설명한다.

도 2는, 본 발명에 있어서의 절단 공정 내지 단면 가공 공정을 행하는 장치의 일 실시예를 도시하는 평면도이다. 또한, 도 3은, 본 발명에 있어서의 절단 공정 내지 단면 가공 공정을 행하는 장치의 일 실시예를 도시하는 정면도이다.

상술의 예를 들어 오버플로우 다운드로우법에 의한 성형 장치로부터 공급된 연속하는 시트 유리가 소정의 길이로 절단되고, 연속한 시트 유리로부터 1매의 유리가 분리된다. 분리된 유리의 양단(兩端)에 형성되는 두께가 있는 외측 영역(이른바 귀부)을 절단 제거하는 것으로 유리 기판(1)이 얻어진다. 얻어진 판상의 유리 기판(1)은, 반송 테이블(30) 상에 흡착 보지되면서, 절단 공정으로 반송되고, 패널 메이커에서 사용되는 사이즈로 하기 위하여 4변이 절단된다. 여기서 절단 장치(10)에 의하여, 기판 양 단부의 소정의 절단 위치에 절단선이 형성된다(절단 공정).

다음으로, 상기와 같이 하여 기판 양 단부의 절단 위치에 절단선이 형성된 유리 기판(1)은, 그 절단선을 따라 그 외측의 영역(제품 영역 외의 단부(2))이 파단되어, 소정의 사이즈로 형성되고, 목표 사이즈의 유리 기판이 제작된다(단부 절단).

다음으로, 이상 설명한 절단 공정을 거쳐 제작된 목표 사이즈의 유리 기판(1)은, 한층 더, 반송 테이블(30) 상에 흡착 보지되면서, 다음의 단면 가공 공정으로 반송된다. 여기서, 단면 가공 장치(20)에 의하여, 유리 기판(1)의 절단된 단면에 예를 들어 모따기 연삭 가공을 실시한다(단면 가공 공정).

본 실시예에 있어서, 상기 유리 기판(1)은, 반송 테이블(30) 상에 흡착 보지되면서 상기 공정 사이를 반송되지만, 특히 특징적인 구성은, 상기 유리 기판(1)을 반송 테이블(30) 상에 보지한 상태로, 상기 유리 기판(1)과 상기 반송 테이블(30)을 일체로 유리 기판 반송 경로를 이동시키면서, 상기 절단 공정 및 단면 가공 공정을 실시하도록 하고 있는 것이다. 본 실시예에서는, 상기 반송 테이블(30)은, 상기 유리 기판 반송 경로에 설치된 주행축(60) 상을 이동하는 구성으로 하고 있다. 도 2 중의 화살표 A는 유리 기판의 반송 방향을 나타내고 있다. 상기 주행축(60)은 예를 들어 레일이며, 이 레일 상을 상기 반송 테이블(30)이 이동한다.

다음으로, 상기 절단 장치에 관하여 설명한다.

상기 절단 장치(10)는, 유리 기판(1)의 소정의 절단 위치에 절단선을 형성하도록 유리 기판(1)의 일방(一方)의 면 상을 이동하는 절단 수단(11)과, 유리 기판(1)의 타방(他方)의 면에 있어서, 상기 절단 수단(11)과 대향하도록 배치된 절단 테이블(12)을 설치하고 있다. 여기서, 절단 테이블(12)의 반송 테이블(30)과의 위치 관계는, 구하여지는 유리 기판의 제품 사이즈에 의하여, 절단 수단(11)의 위치와 함께 적의(適宜) 조정된다.

상기 절단 수단(11)은, 유리 기판면에 대하여 회전 이동하는 구성의 것인 것이 바람직하고, 구체적으로는 예를 들어 커터 휠과 같은 절단구가 호적하다. 덧붙여, 도 2 및 도 3에 있어서는 상기 커터 휠을 예시하고 있다.

또한, 상기 절단 테이블(12)은, 상기 절단 수단(11)의 이동(바람직하게는 회전 이동)과 함께 이동하는 구성의 것인 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 절단 테이블(12)의 사이즈는, 상기 절단 수단(11)으로부터의 하중을 받아, 안정된 절단을 행하는데 필요한 사이즈로 하면 된다. 상기 절단 테이블(12)로서는, 예를 들어 SUS제의 정반(定盤)이나, 이 정반에 수지제의 패드(예를 들어 우레탄 패드 등)를 붙인 것 등을 이용할 수 있다. 또한, 상기 절단 테이블(12)은, 정반과 같은 것이 아니어도, 예를 들어 상기 절단 수단(11)과 대향하도록 상기 절단 수단(11)의 이동과 함께 이동 가능한 구상(球狀) 또는 휠상(狀)(원통상(圓筒狀))의 부재(部材)여도 무방하다.

덧붙여, 상기 절단 테이블(12)은, 소정의 위치에 고정되어 있는 구성으로 하여도 무방하지만, 이 경우는 상기 절단 수단(11)만이 이동하기 때문에, 절단 테이블(12)의 길이(기판 반송 방향의 길이)는, 절단선이 형성되는 유리 기판(1)의 반송 방향을 따른 변의 길이보다도 길게 할 필요가 있다.

또한, 상기 절단 수단(11) 및 절단 테이블(12)의 위치를 함께 고정하여 두고, 유리 기판(1)을 이동시키는 구성으로 하여도 무방하다.

덧붙여, 절단 장치(10)는, 상기 절단 수단(11) 및 절단 테이블(12) 외에, 도시하고 있지 않지만, 이것들을 구동 제어하는 구동 수단 및 제어 수단을 구비하고 있다.

상기 구성에 있어서, 상기 절단 수단(11)은, 유리 기판(1)의 소정의 절단 위치(예를 들어 도 2 중의 파선(50)을 따른 위치)를 따라 유리 기판(1)의 일방의 면 상을 소정의 하중을 가하면서 이동하여 절단선을 형성한다. 이 때, 유리 기판면에 대하여 절단 수단(11)의 날끝을 밀어 넣는 방향으로 하중이 가하여진다. 한편, 상기 절단 테이블(12)은, 유리 기판(1)의 타방의 면에 있어서, 상기 절단 수단(11)으로부터의 하중을 받고, 안정되어 절단선을 형성할 수 있도록 하고 있다.

또한, 상기 절단 테이블(12)을 상기 절단 수단(11)의 이동과 함께 이동 가능한 구상 또는 휠상(원통상)의 부재로 형성하였을 경우, 유리 기판(1)의 절단 시에, 상기 절단 수단(11)으로부터의 하중(압압력(押壓力))을, 상기 구상 또는 휠상 부재의 둘레면의 정점부에서 받고 있기 때문에, 절단 수단(11)의 날끝에 걸리는 힘이 수직 방향으로 집중하기 때문에, 깊이(노치(notch)량)가 안정된 절단선을 형성할 수 있다.

다음으로, 상기 단면 가공 장치(20)에 관하여 설명한다.

도 4는, 단면 가공 공정에 이용하는 단면 가공 장치의 일례를 도시하는 사시도이다. 이하, 도 4 및 전술의 도 2, 도 3을 참조하여 설명한다.

상기 단면 가공 장치(20)는, 그 내부에, 전체가 원통상의 지석(砥石)으로 이루어진 연삭 휠(21), 그 구동 수단 및 제어 수단 등을 가지고 있다. 연삭 휠(21)에는, 그 둘레면의 수평 방향 전체 둘레에 걸쳐 내방(內方)으로 패인 연삭 홈(22)이 형성되어 있고, 이 연삭 홈(22)은, 유리 기판의 단면에 대하여 소정의 모따기면을 형성할 수 있는 것과 같은 형상을 가지고 있다. 연삭 휠(21)을 구성하는 지석으로서는, 통상 유리의 연삭 가공에 사용되는 것이면 종류는 문제 삼지 않는다. 연삭 휠(21)은, 예를 들어 도 4 중에 도시하는 화살표 방향으로 회전 가능하게 구성되어 있다.

상기 단면 가공 장치(20)는, 그 연삭 휠(21)이 유리 기판(1)의 양측의 단면(1a)과 각각 대향하도록 설치된다. 그리고, 단면 가공 장치(20)는, 반송 테이블(30) 상에 보지되어 이동하여 오는 유리 기판(1)의 양 단면(1a)의 각각을 향하여, 회전하고 있는 연삭 휠(21)을 꽉 누르는 것으로, 단면(1a)을 연삭하고, 모따기 가공을 행한다. 덧붙여, 유리 기판(1)의 이동을 일단 정지하고, 유리 기판(1)의 양 단면(1a)의 각각을 향하여, 회전하고 있는 연삭 휠(21)을 꽉 누르고, 한층 더 연삭 휠(21)을 유리 기판(1)의 단면(1a)을 따라 이동시키는 구성으로 하여도 무방하다.

덧붙여, 도 2, 도 3 중에 도시하는 가이드용 테이블(40)은, 반송 테이블(30)의 양측으로 일정한 거리만큼 이간(離間)한 위치에 배치되어 있고, 유리 기판(1)의 양 단부(양 단면(1a))를 각각 상기 연삭 휠(21)의 연삭 홈(22)으로 이끌기 위한 가이드 부재이다. 특히, 유리 기판(1)이 박판이면, 양 단부가 휘기 때문에, 유리 기판(1)의 양 단부를 각각 상기 연삭 휠(21)로 이끌기 위한 가이드 부재가 필요하게 된다. 즉, 상기 가이드용 테이블(40)은, 유리 기판(1)의 단부의 높이 방향으로 위치 결정을 하는 수단이다. 가이드 부재로서는, 예를 들어, 액체에 의한 부상 흡착 패널을 이용할 수 있다. 이 가이드용 테이블(40)은, 유리 기판 양 단부의 휨량에 따라, 상하 방향으로 이동 가능하게 조정할 수 있고, 유리 기판(1)의 양 단부를 각각 상기 연삭 휠(21)의 가공점으로 적절히 이끌 수 있다. 또한, 이 가이드용 테이블(40)의 반송 테이블(30)과의 위치 관계는, 절단된 유리 기판의 제품 사이즈에 의하여, 단면 가공 장치(20)의 위치와 함께 적의 조정된다.

이렇게 하여 유리 기판(1)의 일방의 양 단면(1a)의 가공이 끝나면, 유리 기판(1)을 90도 회전시켜, 타방의 양 단면의 가공을 마찬가지로 하여 행한다.

이상과 같이 하여, 유리 기판(1)의 절단선 형성, 단부 절단, 단면 가공이 행하여지지만, 전술한 바와 같이, 본 실시예에 있어서, 특징적인 구성은, 상기 유리 기판(1)은, 반송 테이블(30) 상에 흡착 보지되면서 반송되고, 상기 유리 기판(1)을 반송 테이블(30) 상에 보지한 상태로, 상기 유리 기판(1)과 상기 반송 테이블(30)을 일체로 유리 기판 반송 경로를 이동시키면서, 상기 절단 공정 및 단면 가공 공정을 실시하도록 하고 있는 것이다. 그리고, 본 실시예에서는, 상기 유리 기판(1)과 상기 반송 테이블(30)을 일체로 유리 기판 반송 경로를 이동시키기 위하여, 상기 반송 테이블(30)은, 상기 유리 기판 반송 경로에 설치된 주행축(60) 상을 이동하는 구성으로 하고 있다.

상기 구성에 의하면, 절단 공정에서의 가공점(절단선 형성 위치)과, 단면 가공 공정에서의 가공점이, 유리 기판 반송 경로를 따른 동일선 상에 설치되게 된다. 즉, 상기 절단 공정에서는, 유리 기판(1)을 상기 반송 테이블(30)과 일체로 이동하는 것으로, 상기 유리 기판 반송 경로에 평행한 절단선을 형성하고, 당해 절단선을 따라 단부가 절단된다. 그리고, 계속하여, 유리 기판(1)을 상기 반송 테이블(30)과 일체로 유리 기판 반송 경로 상을 이동하는 것으로, 상기 단면 가공 공정에서는, 상기 절단선 형성 위치의 연장선 상에, 단면 가공의 가공점이 설치되고, 단면 가공이 실시되게 된다. 따라서, 종래의 단면 가공 전의 얼라인먼트를 불요하게 하여, 얼라인먼트를 행하는 일 없이, 단면 가공을 정도 좋게 행할 수 있다. 또한, 단면 가공 시의 제거량을 적게 할 수 있고, 연삭 휠(21)에 과도한 부하를 가하는 일 없이 가공할 수 있기 때문에, 공구 수명도 늘리는 것이 가능하게 된다.

본 실시예에 있어서는, 상기 반송 테이블(30)은, 상기 유리 기판 반송 경로에 설치된 주행축(60) 상을 이동하는 구성으로 하고 있지만, 상기 주행축(60)은, 예를 들어 진행 방향 정도 ±30μm, 높이 방향 정도 ±40μm로 설치된다.

예를 들어, 상기 절단선을 형성하는 공정에 있어서, 상기 주행축(60)의 높이 방향 정도가 절단선의 직진성에 영향을 주는 경우가 있다. 높이 방향으로 유리 기판(1)이 변동하면, 절단선이 안정되게 들어가지 않는, 절단선이 소망하는 깊이가 되지 않는, 또는 상기 절단 수단(11)이 미끄러져 절단선의 형성이 불가능하다고 하는 일이 발생할 우려가 있다.

이것에 대해서는, 유리 기판(1)을 흡착 보지하여 반송하는 반송 테이블(30)로부터, 유리 기판(1)의 단부를 소정량 이상, 적어도 5mm 이상, 예를 들어 30mm 이상을 튀어 나오도록 하여 설치하는 것으로, 상기 주행축(60)의 직진성에 기인하는 반송 테이블(30)에 있어서의 상하의 변동을, 상기의 튀어 나온 영역에서 흡수하고, 또한, 가이드 부재에 의하여 가공점에 있어서 유리 기판(1)의 단면이 안정적으로 지지되기 때문에, 절단선의 형성 영역에 영향이 전하여지는 것을 억제할 수 있다.

또한, 상기 주행축(60)의 진행 방향의 굴곡의 영향으로, 단면 가공에 의한 단면의 품질이 안정되지 않는다고 하는 문제가 발생하는 경우를 생각할 수 있다. 이와 같은 경우에는, 예를 들어 단면 가공한 유리 기판의 단면의 직진성을 측정하여, 상기 연삭 휠(21)의 X축 방향(즉 유리 기판의 면 내이고 기판 반송 방향에 직교하는 방향)의 제어를 행하는 것에 의하여, 가공 정도를 향상시키고, 단면 품질을 안정시킬 수 있다. 예를 들어, 가공된 단면의 형상을 측정하고, 측정된 단면의 형상에 기초하여, 가공 공정에 있어서의 유리 기판에 대한 연삭 휠의 궤적인 가공선을 산출하고, 산출된 가공선에 기초하여, 단면을 균일하게 가공하기 위하여 이용되는 조정선을 산출하고, 조정선이 산출되었을 경우에 있어서, 유리 기판에 대한 연삭 휠(21)의 궤적이 상기 조정선을 따르도록 X축 방향의 제어를 행하고, 단면을 가공한다(본 출원인의 앞서 제안한 일본국 특허출원 특원2014-115299호).

본 발명에 있어서, 상기 유리 기판(1)의 두께는, 예를 들어 0.01mm ~ 1.0mm이다. 또한, 본 발명은, 특히 판 두께가 0.3mm 이하(예를 들어, 0.05 ~ 0.3mm)의 박판의 유리 기판의 제조에 호적하다.

유리 기판은 얇을수록, 절단선의 형성이 불안정하게 되거나 또한, 단부가 휘기 쉽고, 종래의 단면 가공 전에 행하고 있던 얼라인먼트가 곤란하거나 하지만, 이와 같은 박판의 유리 기판의 제조에는, 본 발명의 효과가 현저하게 된다. 종래의 얼라인먼트가 어려운 박판의 유리 기판의 단면 가공이어도, 얼라인먼트를 행하는 일 없이, 절단된 단면의 가공을 정도 좋게 행하는 것이 가능하다. 특히 바람직하게는, 판 두께가 0.2mm 이하의 유리 기판의 제조에 호적하고, 한층 더 바람직하게는, 판 두께가 0.1mm 이하의 유리 기판의 제조에 호적하다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 판상으로 성형된 유리 기판을 반송 테이블 상에 재치한 상태로, 유리 기판과 반송 테이블을 일체로 유리 기판 반송 경로를 이동시키는 것으로, 절단 공정에 있어서 절단 수단에 의하여 형성되는 절단선과, 단면 가공 공정에 있어서의 단면 가공의 가공점이, 유리 기판 반송 경로를 따른 동일선 상에 위치하게 되기 때문에, 종래 행하여지고 있던 단면 가공 전의 얼라인먼트를 불요하게 하여, 얼라인먼트를 행하는 일 없이, 단면 가공을 정도 좋게 행할 수 있다. 이것에 의하여, 고품질의 유리 기판을 제조하는 것이 가능하다.

이상, 본 발명의 일 실시예에 관하여 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예로는 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 여러 가지의 개량이나 변경을 하여도 무방한 것은 물론이다.

(변형예)

상술의 실시예에서는, 성형 장치로부터 공급된 연속하는 시트 유리로부터 분리된 1매의 유리의 양단에 형성되는 두께가 있는 외측 영역(이른바 귀부)을 최초로 절단 제거하여 두고, 얻어진 유리 기판(1)을 한층 더 소정의 사이즈로 하기 위하여 상기 절단 공정에 의하여 절단하도록 하고 있다. 이와 같은 실시예의 변형예로서는, 상기의 연속하는 시트 유리로부터 분리된 1매의 유리에 대하여, 상기의 이른바 귀부를 최초로 절단 제거하지 않고, 그대로 소정의 제품 사이즈로 하기 위하여 상기 절단 공정에 의하여 절단하는 구성으로 할 수 있다. 이 경우, 절단 공정에 있어서, 상기 귀부를 포함하는 제품 영역 외의 단부가 절단된다.

본 변형예와 같이, 귀부가 붙어 있는 것이면, 기판의 강성이 높기 때문에, 매엽(枚葉) 절단하고 나서 가공 공정에 들어갈 때까지의 취급이 비교적 용이하다. 특히, 0.2mm 이하의 얇은 유리 시트로부터 분리된 유리 기판에서는, 귀부를 절단하지 않고 가공 장치까지 반송, 핸들링하는 것으로, 유리의 강성을 보지한 상태로 취급할 수 있기 때문에 바람직하다.

1: 유리 기판
1a: 유리 기판의 단면
2: 제품 영역 외의 단부
10: 절단 장치
11: 절단 수단
12: 절단 테이블
20: 단면 가공 장치
21: 연삭 휠
22: 연삭 홈
30: 반송 테이블
40: 가이드용 테이블
60: 주행축

Claims

판상(板狀)으로 성형된 유리 기판을 절단 수단에 의하여 소정의 폭으로 절단하는 절단 공정과, 절단된 유리 기판의 단면(端面)에 단면 가공을 실시하는 단면 가공 공정을 가지는 유리 기판의 제조 방법이고,
상기 판상으로 성형된 유리 기판을 반송 테이블 상에 재치(載置)한 상태로, 상기 유리 기판과 상기 반송 테이블을 일체로 유리 기판 반송 경로를 이동시키면서, 상기 단면 가공 공정 전에 상기 단면의 얼라인먼트(alignment)를 행하는 일 없이, 상기 절단 공정 및 상기 단면 가공 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 유리 기판은, 판 두께가 0.3mm 이하인 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 반송 테이블은, 상기 유리 기판 반송 경로에 설치된 주행축 상을 이동하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절단 공정에 있어서 절단 수단에 의하여 형성되는 절단선과, 상기 단면 가공 공정에 있어서의 단면 가공의 가공점이, 상기 유리 기판 반송 경로를 따른 동일선 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
절단되는 유리 기판의 적어도 일단에 상기 유리 기판의 중앙 영역과는 두께가 다른 외측 영역을 가지고, 상기 절단 공정에서는 상기 외측 영역을 절단 제거하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 단면 가공은, 상기 유리 기판의 단면에 실시하는 모따기 가공인 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 단면 가공 공정에 있어서, 상기 유리 기판의 단면을, 상기 단면 가공을 실시하는 장치로 이끌기 위한 가이드 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 제조 방법.