KR20160070946A - 센서용 위치 조정유닛 및 이를 구비한 화학적 기계적 연마장치 - Google Patents

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Abstract

센서용 위치 조정유닛 및 이를 구비한 화학적 기계적 연마장치이이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 위치 조정유닛은, 센서가 장착되는 제1 브라켓; 및 제1 브라켓에 연결되되, 제1 브라켓을 회동시켜 센서의 3차원 위치를 조정하는 위치 조정모듈을 포함한다.

Description

센서용 위치 조정유닛 및 이를 구비한 화학적 기계적 연마장치{POSITION ADJUSTING UNIT FOR SENSOR AND A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS HAVING THEREOF}
본 발명은, 센서용 위치 조정유닛 및 이를 구비한 화학적 기계적 연마장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 센서의 3차원 위치를 용이하게 조정할 수 있는 센서용 위치 조정유닛 및 이를 구비한 화학적 기계적 연마장치에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼는 사진, 이온확산, 식각, 화학 기상 증착 및 금속 증착 등의 공정을 반복적으로 수행하여 반도체 소자인 칩으로 제조된다.
상기의 공정들을 거친 웨이퍼 상에는 금속배선이 미세한 패턴을 이루며 형성된다.
최근, 반도체 소자는 고집적화에 따라 그 구조가 다층화되고 있다. 즉, 반도체 소자가 고집적화됨에 따라 웨이퍼 상에는 금속배선과 절연막 및 층간배선 등이 다수의 층을 이루는 다층 배선 구조가 형성된다.
이에 따라 반도체 소자의 제조공정 중에는 웨이퍼의 공정 면을 평탄화하는 기술이 필요하게 되었다.
이는 미세한 패턴의 요철부가 존재하는 웨이퍼 상에 연속하여 다른 미세한 패턴층을 형성하는 경우, 요철부가 존재하는 웨이퍼와 패턴을 형성하도록 웨이퍼 상에 위치하는 마스크 사이의 간격이 불균일하게 되고, 투영렌즈의 초점이 잘 맞지 않게 되어 요구되는 미세한 패턴을 정밀하게 형성할 수 없기 때문이다.
그러므로, 웨이퍼 상에 존재하는 미세한 패턴의 요철부를 평탄화함으로써 미세한 패턴의 정밀도를 향상시키게 되며, 이를 위해서 일반적으로 웨이퍼의 공정 면을 연마(Polishing)하여 웨이퍼의 공정 면에 평탄화 작업을 실시하고 있다.
이러한 연마공정을 수행하기 위한 다양한 연마방법들이 제시되고 있으며, 이들 중 웨이퍼를 화학적, 그리고 기계적인 연마를 동시에 실시할 수 있는 화학적 기계적 연마장치(Chemical Mechanical Polishing; CMP)가 널리 사용되고 있다.
여기서, 기계적 연마는 회전하는 연마패드 위에 웨이퍼를 위치시킨 상태에서 웨이퍼에 소정의 하중을 가하고 웨이퍼를 회전시킴으로써 연마정반과 웨이퍼 표면 간의 마찰을 이용하여 웨이퍼 표면을 연마하는 것이고, 화학적 연마는 연마정반과 웨이퍼 사이에 공급되는 화학적 연마제인 슬러리(slurry)를 이용하여 웨이퍼 표면을 연마하는 것이다.
한편, 종래 기술에 따른 화학적 기계적 연마장치는, 연마정반으로 연마하고자 하는 기판을 이송하거나 연마정반에서 연마된 기판을 이송하는 캐리어유닛과, 캐리어유닛의 이동경로에 인접하게 마련되어 캐리어유닛에 기판을 로딩하거나 캐리어유닛으로부터 기판을 언로딩하는 로딩 및 언로딩유닛을 더 포함한다.
여기서 로딩 및 언로딩유닛은 기판이 안착되는 안착부에 기판이 안착되어 있는지를 여부를 감지하는 감지센서를 포함한다.
여기서, 감지센서는 광센서를 사용할 수 있으며, 광센서는 발광부에서 조사된 레이저 광 등이 웨이퍼에 반사된 후 수광부에서 입사하는 동작을 통해 기판의 유무를 감지하는 것이다.
따라서, 발광부와 수광부 간의 위치 조정, 즉 얼라인이 필요하다.
도 1은 종래 기술에 따른 센서용 위치 조정유닛을 나타내는 사시도이다.
도 1에서 도시한 바와 같이, 발광부 또는 수광부 등 센서(10)는 센서용 위치 조정유닛(1)에 장착된 후 상호 얼라인되는데, 종래 기술에 따른 센서용 위치 조정유닛(1)은, 발광부 또는 수광부 등 센서(10)가 장착되는 제1 센서브라켓(20)과, 제1 센서브라켓(20)에 연결된 제2 센서브라켓(30)을 포함한다.
그리고, 제2 센서브라켓(30)의 제1 센서브라켓(20)이 연결되는 일단부에는 제1 센서브라켓(20)이 X축을 중심축으로 하는 원호모양의 제1 장공(31)이 형성되고, 제2 센서브라켓(30)의 안착부(40)에 결합되는 타단부에는 Y축을 중심축으로 하는 원호모양의 제2 장공(33)이 형성된다.
상기와 같은, 종래 기술에 따른 센서용 위치 조정유닛(1)은, 위치 고정이 용이하고 고장의 우려가 적은 장점은 있으나, 발광부 또는 수광부 등 센서(10)의 위치 조정의 범위에 한계가 있다.
즉, 종래 기술에 따른 센서용 위치 조정유닛(1)은 X축 및 Y축을 중심축으로 발광부 또는 수광부 등 센서(10)의 위치를 조정할 수 있으나, 예를 들어 Z축을 중심축으로 발광부 또는 수광부 등 센서(10)의 위치를 조정하고자 하는 경우에는 추가적인 센서브라켓을 제작하여야하며, 이에 따라 공간상의 제약이 따르는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허 제10-0395153호(2003.11.20. 공고)
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 센서의 3차원 위치 조정이 용이하고 공간상의 제약을 해결할 수 있는 센서용 위치 조정유닛 및 이를 구비한 화학적 기계적 연마장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 센서가 장착되는 제1 브라켓; 및 상기 제1 브라켓에 연결되되, 상기 제1 브라켓을 볼을 중심으로 회동시켜 상기 센서의 3차원 위치를 조정하는 위치 조정모듈을 포함하는 센서용 위치 조정유닛이 제공될 수 있다.
상기 위치 조정모듈은, 하우징; 일단부가 상기 제1 브라켓에 연결되고 타단부가 상기 하우징에 삽입되며, 회동됨에 따라 상기 제1 브라켓에 장착된 상기 센서의 3차원 위치를 조정하는 회동부재; 및 상기 하우징의 내부에 마련되되, 상기 회동부재의 타단부를 가압 고정하는 가압부를 포함할 수 있다.
상기 가압부는, 상기 회동부재의 타단부를 접촉 지지하는 제2 브라켓; 및 상기 제2 브라켓을 탄력지지하되, 상기 제2 브라켓을 가압하여 상기 회동부재의 타단부를 상기 하우징에 고정하는 탄성부재를 포함할 수 있다.
상기 위치 조정모듈은, 상기 제2 브라켓과 상기 탄성부재 사이에 개재되되, 상기 탄성부재의 상기 제2 브라켓에 대한 가압 및 가압해제를 조절하는 가압 조절부를 더 포함할 수 있다.
상기 가압 조절부는, 상기 탄성부재의 일단부에 접촉되되, 상기 하우징의 측면에서 상기 탄성부재의 신축방향을 따라 슬라이딩되어 상기 탄성부재의 상기 제2 브라켓에 대한 가압 및 가압해제를 조절하는 조절 스위치를 포함할 수 있다.
상기 탄성부재는 상기 제2 브라켓을 탄력지지하는 코일 스프링을 포함하며, 상기 위치 조정모듈은, 상기 하우징의 내부에 마련되되, 상기 코일 스프링에 삽입되어 상기 코일 스프링의 신축을 가이드하는 가이드부재를 더 포함할 수 있다.
상기 회동부재는, 일단부가 상기 제1 브라켓에 연결되고 타단부가 상기 하우징에 삽입되어 회동하는 볼 조인트를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 적어도 하나의 연마정반; 상기 연마정반으로 연마하고자 하는 기판을 이송하거나 상기 연마정반에서 연마된 기판을 이송하는 캐리어유닛; 상기 캐리어유닛의 이동경로에 인접하게 마련되되, 상기 캐리어유닛에 기판을 로딩하는 로딩 유닛과 상기 캐리어유닛으로부터 기판을 언로딩하는 언로딩유닛 중 어느 하나 이상을 포함하며, 상기 로딩 유닛과 언로딩유닛 중 어느 하나 이상은, 기판이 안착되는 안착부; 상기 안착부의 일측에 마련되되, 상기 안착부에 안착된 기판을 감지하는 감지센서; 및 상기 감지센서에 결합되되, 상기 감지센서의 3차원 위치를 조정하는 센서용 위치 조정유닛을 포함하는 화학적 기계적 연마장치가 제공될 수 있다.
상기 센서용 위치 조정유닛은, 상기 감지센서가 장착되는 제1 브라켓; 및 상기 제1 브라켓에 연결되되, 상기 제1 브라켓을 회동시켜 상기 감지센서의 3차원 위치를 조정하는 위치 조정모듈을 포함할 수 있다.
상기 위치 조정모듈은, 하우징; 일단부가 상기 제1 브라켓에 연결되고 타단부가 상기 하우징에 삽입되며, 회동됨에 따라 상기 제1 브라켓에 장착된 상기 감지센서의 3차원 위치를 조정하는 회동부재; 및 상기 하우징의 내부에 마련되되, 상기 회동부재의 타단부를 가압 고정하는 가압부를 포함할 수 있다.
상기 가압부는, 상기 회동부재의 타단부를 접촉 지지하는 제2 브라켓; 및 상기 제2 브라켓을 탄력지지하되, 상기 제2 브라켓을 가압하여 상기 회동부재의 타단부를 상기 하우징에 고정하는 탄성부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예는, 센서가 장착되는 제1 브라켓을 회동시키는 위치 조정모듈을 구비함으로써, 센서의 3차원 위치 조정이 용이할 뿐 아니라 위치 조정모듈의 소형화로 공간활용도를 높일 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 센서용 위치 조정유닛을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 화학적 기계적 연마장치를 개략적으로 나타내는 구조도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 위치 조정유닛을 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 3의 A-A 단면도로써, 본 발명의 일 실시예에 따른 위치 조정모듈을 나타내는 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 위치 조정유닛을 이용한 센서의 위치 조정을 나타내는 동작상태도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 화학적 기계적 연마장치를 개략적으로 나타내는 구조도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 위치 조정유닛을 나타내는 사시도이고, 도 4는 도 3의 A-A 단면도로써, 본 발명의 일 실시예에 따른 위치 조정모듈을 나타내는 도면이고, 도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 위치 조정유닛을 이용한 센서의 위치 조정을 나타내는 동작상태도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 화학적 기계적 연마장치(100)는, 상면에 플래튼 패드(미도시)가 장착되어 회전 가능하게 설치된 적어도 하나의 연마정반(110)과, 웨이퍼 등의 기판(G)을 하부에 장착한 상태에서 미리 정해진 이동경로를 따라 이동하면서 연마정반(110)으로 연마하고자 하는 기판(G)을 이송하거나 연마정반(110)에서 연마된 기판(G)을 이송하는 캐리어유닛(120)과, 캐리어유닛(120)의 이동경로에 인접하게 마련되되 캐리어유닛(120)에 기판(G)을 로딩하거나 캐리어유닛(120)으로부터 기판(G)을 언로딩하는 로딩 및 언로딩유닛(130)을 포함한다.
연마정반(110)은 기판(G)을 연마하기 위해 회전가능하게 설치되며, 최상층에는 기판(G)의 연마를 위한 플래튼 패드가 부착되고, 그 하부에는 이보다 부드러운 재질의 배킹층(미도시)이 개재된다.
여기서, 연마정반(110)은 직선 경로와 곡선 경로를 포함하며 루프를 이루는 순환형 트랙(115a,115b)을 따라 다수 개 배열되고, 각각의 순환형 트랙(115a,115b)을 따라 한 방향으로 기판(G)을 연마정반(110)에 공급하도록 캐리어유닛(120)이 이동된다.
이와 같이, 연마될 기판(G)이 어느 한 방향으로만 일률적으로 이동하면서 기판(G)의 연마공정이 이루어짐으로써 공정의 효율이 향상된다.
그리고, 캐리어유닛(120)은 다양한 구성부품을 케이싱(미도시)에 고정한 상태로 순환형 트랙(115a,115b)을 따라 이동하도록 제어되며, 다수의 캐리어유닛(120)은 상호 독립적으로 제어된다.
그리고, 로딩 및 언로딩유닛(130)은, 연마정반(110)에서 연마될 기판(G)을 캐리어유닛(120)에 로딩하거나, 연마정반(110)에서 연마 완료된 기판(G)을 캐리어유닛(120)으로부터 언로딩하는 역할을 한다.
본 실시예에서는 로딩 및 언로딩유닛(130)이 하나의 유닛에 의해 구현되는 것으로 설명하였지만, 로딩유닛과 언로딩유닛은 별개로 설치될 수도 있다.
로딩 및 언로딩유닛(130)은, 로딩할 기판(G)이나 언로딩한 기판(G)이 안착되는 안착부(131)와, 안착부(131)를 캐리어유닛(120) 방향으로 회전시키는 아암(132)과, 안착부(131)의 일측에 마련되되 안착부(131)에 안착된 기판(G)을 감지하는 감지센서(S)와, 감지센서(S)에 결합되되 감지센서(S)의 3차원 위치를 조정하는 센서용 위치 조정유닛(140)을 포함한다.
안착부(131)에 안착된 기판(G)은 아암(132)을 회전하여 캐리어유닛(120)에 로딩하거나, 캐리어유닛(120)으로부터 언로딩한다.
이때, 기판(G)이 안착부(131)에 안착되었는지 여부는 안착부(131)의 일측에 마련된 감지센서(S)에 의해 감지된다.
본 실시예에서 감지센서(S)는 안착부(131)에 안착된 기판(G)을 감지하는 광센서(S)를 사용할 수 있으며, 광센서(S)는 한 쌍의 발광부와 수광부를 포함하며, 발광부에서 조사된 레이저광 등의 빛이 기판(G)에 반사된 후 수광부에 입사되는 동작을 통해 기판(G)의 유무를 감지한다.
그러므로, 안착부(131)의 일측에 발광부가 설치되며, 안착부(131)의 타측에 수광부가 설치된다. 그리고, 발광부와 수광부 상호간에는 위치 조정을 위한 얼라인작업이 요구된다.
이를 위해, 발광부 및/또는 수광부는 위치 조정을 위한 센서용 위치 조정유닛(140)을 통해 안착부(131)에 설치된다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 센서용 위치 조정유닛(140)은, 발광부 또는 수광부 등의 센서(S)가 장착되는 제1 브라켓(141)과, 제1 브라켓(141)에 연결되되 제1 브라켓(141)을 회동시켜 센서(S)의 3차원 위치를 조정하는 위치 조정모듈(142)을 포함한다.
제1 브라켓(141)은 발광부 또는 수광부 등의 센서(S)를 장착하는 역할을 한다.
본 실시예에서 제1 브라켓(141)은 플레이트 형상으로 형성되며, 제1 브라켓(141)에는 발광부 또는 수광부가 장착되는 장착공(141a)이 다수 개 형성된다.
그리고, 위치 조정모듈(142)은 제1 브라켓(141)을 회동시켜 발광부 또는 수광부의 공간상의 3차원 위치를 조정하는 역할을 한다.
위치 조정모듈(142)은, 하우징(143)과, 일단부가 제1 브라켓(141)에 연결되고 타단부가 하우징(143)에 삽입되며 회동됨에 따라 제1 브라켓(141)에 장착된 상기 센서(S)의 3차원 위치를 조정하는 회동부재(144)와, 하우징(143)의 내부에 마련되되 회동부재(144)의 타단부를 가압 고정하는 가압부(145)를 포함한다.
회동부재(144)는 제1 브라켓(141)에 연결되어 회동함에 따라 제1 브라켓(141)에 장착된 센서(S)의 3차원 위치를 조정하는 역할을 한다.
본 실시예에서 회동부재(144)는 일단부가 제1 브라켓(141)에 연결되고 타단부가 하우징(143)에 삽입되어 회동하는 볼 조인트(144a)로 구성될 수 있다.
볼 조인트(144a)가 하우징(143)에 삽입된 상태에서 회동됨에 따라 제1 브라켓(141)에 장착된 센서(S)의 공간상의 3차원 위치 조정이 가능하다.
그리고, 가압부(145)는 회동부재(144)의 타단부를 고정하는 역할을 한다.
가압부(145)는, 회동부재(144)의 타단부를 접촉 지지하는 제2 브라켓(146)과, 제2 브라켓(146)을 탄력지지하되 제2 브라켓(146)을 가압하여 회동부재(144)의 타단부를 하우징(143)에 고정하는 탄성부재(147)를 포함한다.
하우징(143)에 삽입된 볼 조인트(144a)는 제2 브라켓(146)의 일면에 접촉 지지된다. 그리고, 제2 브라켓(146)의 타면은 탄성부재(147)에 의해 탄력지지된다. 제2 브라켓(146)의 일면에는 볼 조인트(144a)를 감싸도록 볼 조인트(144a)의 형상에 대응되는 반구형상의 오목홈부(146a)가 형성된다.
본 실시예에서 탄성부재(147)는 코일 스프링으로 구성될 수 있다.
하우징(143)의 내부공간에 코일 스프링(147)이 삽입되어 개재되며 코일 스프링(147)의 일단부는 제2 브라켓(146)의 타면을 탄력지지한다.
한편, 위치 조정모듈(142)은, 하우징(143)의 내부에 마련되되 코일 스프링(147)에 삽입되어 코일 스프링(147)의 신축을 가이드하는 가이드부재(148)를 더 포함한다.
가이드부재(148)는 하우징(143)의 바닥면에서 상방으로 돌출되고 코일 스프링(147)에 삽입되는 돌기형상으로 형성된다. 코일 스프링(147)은 가이드부재(148)를 따라 신장 및 수축된다.
코일 스프링(147)이 상방으로 신장되면 제2 브라켓(146)은 하우징(143)의 상면 방향으로 이동되고, 제2 브라켓(146)이 볼 조인트(144a)를 하우징(143)의 상면 방향으로 가압하여 볼 조인트(144a)가 하우징(143)에 고정되게 한다.
반대로, 코일 스프링(147)이 하방으로 압축되면 제2 브라켓(146)은 하우징(143)의 하면 방향으로 이동되고, 제2 브라켓(146)이 볼 조인트(144a)를 가압해제하게 되므로 볼 조인트(144a)는 하우징(143) 내에서 자유로이 회동될 수 있다.
상기한 바와 같이, 코일 스프링(147)의 신장 및 압축에 의해 볼 조인트(144a)를 하우징(143)에 고정 및 고정해제하는 것을 용이하게 하도록, 본 실시예에 따른 위치 조정모듈(142)은, 제2 브라켓(146)과 탄성부재(147) 사이에 개재되되 탄성부재(147)의 제2 브라켓(146)에 대한 가압 및 가압해제를 조절하는 가압 조절부(149)를 더 포함한다.
가압 조절부(149)는, 코일 스프링(147)의 일단부에 접촉되되, 하우징(143)의 측면에서 코일 스프링(147)의 신축방향을 따라 슬라이딩되어 코일 스프링(147)의 제2 브라켓(146)에 대한 가압 및 가압해제를 조절하는 조절 스위치(149)를 포함한다.
상기와 같이 구성되는 본 실시예에 따른 센서용 위치 조정유닛(140)에 의한 센서(S)의 위치 조정동작을 설명하면 다음과 같다.
도 5에서 도시한 바와 같이, 조절 스위치(149)를 하방으로 이동시켜 코일 스프링(147)을 압축하면, 제2 브라켓(146)도 역시 하방으로 이동된다. 따라서, 볼 조인트(144a)는 하우징(143)에서 고정해제된다.
볼 조인트(144a)가 하우징(143)에서 고정해제된 상태에서, 한 쌍의 발광부 및 수광부가 상호 얼라인되게 회동부재(144)를 회동시킨다.
그리고, 한 쌍의 발광부 및 수광부에 대한 얼라인 작업이 완료된 경우, 도 6에서 도시한 바와 같이, 조절 스위치(149)를 상방으로 이동시켜 코일 스프링(147)이 제2 브라켓(146)을 가압하면 제2 브라켓(146)이 볼 조인트(144a)를 하우징(143)에 가압 고정한다.
이처럼, 제1 브라켓(141)에 연결된 볼 조인트(144a)를 하우징(143) 내에서 자유로이 회동시켜 발광부 및 수광부 등의 센서(S)에 대한 공간상의 3차원 위치 조정을 용이하게 할 수 있으며, 볼 조인트(144a)를 회동시키는 위치 조정모듈(142)을 소형화할 수 있어 공간활용도를 높일 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 화학적 기계적 연마장치 110: 연마정반
120: 캐리어유닛 130: 로딩 및 언로딩유닛
140: 센서용 위치 조정유닛 141: 제1 브라켓
142: 위치 조정모듈 143: 하우징
144: 회동부재 145: 가압부
146: 제2 브라켓 147: 탄성부재
148: 가이드부재 149: 가압 조절부

Claims (11)

  1. 센서가 장착되는 제1 브라켓; 및
    상기 제1 브라켓에 연결되되, 상기 제1 브라켓을 볼을 중심으로 회동시켜 상기 센서의 3차원 위치를 조정하는 위치 조정모듈을 포함하는 센서용 위치 조정유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 위치 조정모듈은,
    하우징;
    일단부가 상기 제1 브라켓에 연결되고 타단부가 상기 하우징에 삽입되며, 회동됨에 따라 상기 제1 브라켓에 장착된 상기 센서의 3차원 위치를 조정하는 회동부재; 및
    상기 하우징의 내부에 마련되되, 상기 회동부재의 타단부를 가압 고정하는 가압부를 포함하는 센서용 위치 조정유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가압부는,
    상기 회동부재의 타단부를 접촉 지지하는 제2 브라켓; 및
    상기 제2 브라켓을 탄력지지하되, 상기 제2 브라켓을 가압하여 상기 회동부재의 타단부를 상기 하우징에 고정하는 탄성부재를 포함하는 센서용 위치 조정유닛.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 위치 조정모듈은,
    상기 제2 브라켓과 상기 탄성부재 사이에 개재되되, 상기 탄성부재의 상기 제2 브라켓에 대한 가압 및 가압해제를 조절하는 가압 조절부를 더 포함하는 센서용 위치 조정유닛.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 가압 조절부는,
    상기 탄성부재의 일단부에 접촉되되, 상기 하우징의 측면에서 상기 탄성부재의 신축방향을 따라 슬라이딩되어 상기 탄성부재의 상기 제2 브라켓에 대한 가압 및 가압해제를 조절하는 조절 스위치를 포함하는 센서용 위치 조정유닛.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 제2 브라켓을 탄력지지하는 코일 스프링을 포함하며,
    상기 위치 조정모듈은,
    상기 하우징의 내부에 마련되되, 상기 코일 스프링에 삽입되어 상기 코일 스프링의 신축을 가이드하는 가이드부재를 더 포함하는 센서용 위치 조정유닛.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 회동부재는,
    일단부가 상기 제1 브라켓에 연결되고 타단부가 상기 하우징에 삽입되어 회동하는 볼 조인트를 포함하는 센서용 위치 조정유닛.
  8. 적어도 하나의 연마정반;
    상기 연마정반으로 연마하고자 하는 기판을 이송하거나 상기 연마정반에서 연마된 기판을 이송하는 캐리어유닛;
    상기 캐리어유닛의 이동경로에 인접하게 마련되되, 상기 캐리어유닛에 기판을 로딩하는 로딩 유닛과, 상기 캐리어유닛으로부터 기판을 언로딩하는 언로딩유닛 중 어느 하나 이상을 포함하며,
    상기 로딩 유닛과 상기 언로딩유닛 중 어느 하나 이상은,
    기판이 안착되는 안착부;
    상기 안착부의 일측에 마련되되, 상기 안착부에 안착된 기판을 감지하는 감지센서; 및
    상기 감지센서에 결합되되, 상기 감지센서의 3차원 위치를 조정하는 센서용 위치 조정유닛을 포함하는 화학적 기계적 연마장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 센서용 위치 조정유닛은,
    상기 감지센서가 장착되는 제1 브라켓; 및
    상기 제1 브라켓에 연결되되, 상기 제1 브라켓을 회동시켜 상기 감지센서의 3차원 위치를 볼을 중심으로 조정하는 위치 조정모듈을 포함하는 화학적 기계적 연마장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 위치 조정모듈은,
    하우징;
    일단부가 상기 제1 브라켓에 연결되고 타단부가 상기 하우징에 삽입되며, 회동됨에 따라 상기 제1 브라켓에 장착된 상기 감지센서의 3차원 위치를 조정하는 회동부재; 및
    상기 하우징의 내부에 마련되되, 상기 회동부재의 타단부를 가압 고정하는 가압부를 포함하는 화학적 기계적 연마장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 가압부는,
    상기 회동부재의 타단부를 접촉 지지하는 제2 브라켓; 및
    상기 제2 브라켓을 탄력지지하되, 상기 제2 브라켓을 가압하여 상기 회동부재의 타단부를 상기 하우징에 고정하는 탄성부재를 포함하는 화학적 기계적 연마장치.
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