KR20160062802A - Substrate cutting equipmnet - Google Patents

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KR20160062802A KR1020140165352A KR20140165352A KR20160062802A KR 20160062802 A KR20160062802 A KR 20160062802A KR 1020140165352 A KR1020140165352 A KR 1020140165352A KR 20140165352 A KR20140165352 A KR 20140165352A KR 20160062802 A KR20160062802 A KR 20160062802A
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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a substrate cutting equipment comprises: an input unit into which light flows; a guide unit guiding the light flowing into the input unit; and an output unit to which the light guided by the guide unit is discharged. The guide unit connects the input unit and the output unit, and the light discharged from the output unit includes an inside which has a closed-loop shape. The present invention provides the substrate cutting equipment which improves accuracy of a substrate cutting process, and shortens a process time.

Description

기판 커팅 장치{SUBSTRATE CUTTING EQUIPMNET}[0001] SUBSTRATE CUTTING EQUIPMNET [0002]

본 발명은 기판 커팅 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 커팅 공정의 정확성을 향상시키고 공정 시간을 단축할 수 있는 기판 커팅 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate cutting apparatus, and more particularly, to a substrate cutting apparatus capable of improving accuracy of a substrate cutting process and reducing processing time.

기판 커팅 공정에 있어, 기판의 표면 상에 격자 형상으로 배열된 절단 라인에 의해 복수의 영역으로 구획된다. 즉, 각종 기판이 표면에 패터닝된 경계선을 따라 소정의 사이즈 및 형상으로 커팅될 수 있다. 기판의 커팅에 사용되는 방법으로 레이저 가공, 다이싱(Dicing), 스크라이빙(Scribing) 등의 방법이 알려져 있다. In the substrate cutting process, the substrate is divided into a plurality of regions by cutting lines arranged in a lattice pattern on the surface of the substrate. That is, various substrates can be cut into a predetermined size and shape along the border line patterned on the surface. Methods such as laser machining, dicing, and scribing are known methods used for cutting a substrate.

이 중 레이저 가공 방법은 레이저 빔을 연속적으로 조사하면서, 동시에 냉각시키는 방법이다. 두 종류 이상의 파장을 포함하는 펄스 레이저 빔을 집광하여 기판에 조사하고, 기판의 표면에 레이저빔의 집광점을 형성함과 동시에 기판의 내부에 하나또는 복수의 집광점을 형성하고, 절단 방향에 따라 레이저 빔을 조사하는 방식으로 기판이 절단된다. 이때, 기판의 절단면을 따라 레이저 이동 지그가 이동할 수 있다.Among them, the laser processing method is a method in which the laser beam is continuously irradiated and simultaneously cooled. A pulsed laser beam including two or more kinds of wavelengths is condensed and irradiated onto a substrate to form a condensing point of the laser beam on the surface of the substrate and one or a plurality of condensing points inside the substrate, The substrate is cut in such a manner that the laser beam is irradiated. At this time, the laser movement jig can move along the cut surface of the substrate.

본 발명은 기판 커팅 공정의 정확성을 향상시키고 공정 시간을 단축할 수 있는 기판 커팅 장치를 제공함에 있다.The present invention provides a substrate cutting apparatus capable of improving the accuracy of the substrate cutting process and shortening the processing time.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 광이 유입되는 입력부, 상기 입력부에 유입된 상기 광을 가이드 하는 가이드부 및 상기 가이드부로부터 가이드된 상기 광이 배출되는 출력부를 포함하고, 상기 가이드부는 상기 입력부와 상기 출력부를 연결하고, 상기 출력부에서 출사되는 광은 속이 폐루프 형상을 갖는다.A substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention includes an input unit into which light is introduced, a guide unit that guides the light introduced into the input unit, and an output unit through which the light is guided from the guide unit, The input unit and the output unit are connected, and the light emitted from the output unit has a closed loop shape.

상기 입력부는 상기 입력부의 최외각에 형성되는 제1 몸체부 및 상기 제1 몸체부의 내부에 형성되는 제1 도파관을 포함하고, 상기 가이드부는 상기 가이드 부의 최외각에 배치되고, 상기 제1 몸체부와 연결되는 제2 몸체부, 상기 제2 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 제1 도파관과 연결되는 제2 도파관 및 상기 제2 도파관의 내부에 형성되는 제1 서브 몸체부를 포함하고, 상기 출력부는 상기 출력부의 최외각에 형성되고, 상기 제2 몸체부와 연결되는 제3 몸체부, 상기 제3 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 2 도파관과 연결되는 제3 도파관 및 상기 제3 도파관의 내부에 형성되고, 상기 제1 서브 몸체부와 연결되는 제2 서브 몸체부를 포함한다.Wherein the input section includes a first body section formed at an outermost part of the input section and a first wave guide formed inside the first body section, the guide section is disposed at an outermost position of the guide section, A second body part connected to the first waveguide, a second waveguide formed inside the second body part and connected to the first waveguide, and a first sub body part formed inside the second waveguide, A third body part formed at an outermost part of the third body part and connected to the second body part, a third waveguide formed inside the third body part, connected to the second waveguide, and a third waveguide formed inside the third waveguide, And a second sub body portion connected to the first sub body portion.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 상기 제1 도파관의 상면에 형성되고, 상기 광이 유입되는 유입면, 상기 제1 도파관의 하면과 상기 제2 도파관의 상면의 경계면에 형성되고, 상기 제1 도파관으로부터 유입된 상기 광이 확장되는 확장면 및 상기 제3 도파관의 하면에 형성되는 배출면을 더 포함하고, 상기 배출면은 상기 폐루프 형상을 갖는다. 상기 광원은 레이저 빔일 수 있다.The substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention is formed on an upper surface of the first waveguide and is formed on an inflow surface where the light enters, an interface between a lower surface of the first waveguide and an upper surface of the second waveguide, And a discharge surface formed on a lower surface of the third waveguide, wherein the discharge surface has the closed loop shape. The light source may be a laser beam.

상기 제1 내지 제3 몸체부들 및 상기 제1 및 제2 서브 몸체부들은 제1 굴절률을 갖고, 상기 제1 내지 제3 도파관들은 상기 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 갖는다.The first through third bodies and the first and second sub bodies have a first refractive index and the first through third waveguides have a second refractive index higher than the first refractive index.

상기 제1 내지 제3 몸체부들, 상기 제1 서브 몸체부들 및 제2 서브 몸체부들은 유리를 포함하고, 상기 제1 내지 제3 도파관들은 석영을 포함한다.The first, second, and third body portions, the first and third sub body portions and the second sub body portions include glass, and the first through third waveguides include quartz.

본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 상기 배출면이 원형 또는 다각형 형상을 갖는다. 상기 배출면의 단면은 오목한 형상을 가질 수 있다.In the substrate cutting apparatus according to the second embodiment of the present invention, the discharge surface has a circular or polygonal shape. The end face of the discharge surface may have a concave shape.

본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 상기 가이드부가 상기 입력부에서 유입된 상기 광을 복수의 광들로 분할하는 복수의 제1 분기부들, 상기 제1 분기부들에서 분할된 상기 각각의 광을 복수의 광들로 재분할하는 복수의 제2 분기부들 및 상기 제1 분기부들 및 상기 제2 분기부들에 의하여 분할된 광들을 소정의 형상으로 변형시키는 복수의 확장부들를 포함하고, 상기 제1 분기부들은 상기 입력부와 연결되고, 상기 확장부들은 상기 출력부들와 연결되고, 상기 제2 분기부들은 각각 대응하는 상기 제1 분기부들 및 상기 확장부들 사이에 형성되어 상기 제1 분기부들 및 상기 확장부들을 각각 연결하고, 상기 출력부들에서 출력되는 상기 광들은 폐루프가 복수개로 나열되는 형상을 갖는다.The substrate cutting apparatus according to the third embodiment of the present invention is characterized in that the guide section includes a plurality of first branching sections for dividing the light introduced from the input section into a plurality of light beams, A plurality of second branching units for re-dividing the light beams into a plurality of lights, and a plurality of expanding units for transforming the light beams divided by the first branching units and the second branching units into a predetermined shape, And the extension portions are connected to the output portions and the second branch portions are formed between the corresponding first branch portions and the extension portions to connect the first branch portions and the extension portions respectively , And the lights output from the output units have a shape in which a plurality of closed loops are arranged.

본 발명의 제4 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 상기 입력부는 상기 입력부의 최외각에 형성되는 제1 몸체부 및 상기 제1 몸체부의 내부에 형성되는 제1 도파관을 포함하고, 상기 가이드부는 상기 가이드 부의 최외각에 배치되고, 상기 제1 몸체부와 연결되는 제2 몸체부, 상기 제2 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 제1 도파관과 연결되는 제2 도파관 및 상기 제2 도파관의 내부에 형성되는 복수의 제3 서브 몸체부들을 포함하고, 상기 제3 서브 몸체부들은 각각 이격되도록 형성되고, 상기 제2 도파관에 유입된 상기 광은 상기 제3 서브 몸체부들에 의해 소정의 형상으로 변형되고, 상기 출력부는 상기 출력부의 최외각에 배치되고, 상기 제2 몸체부와 연결되는 제3 몸체부, 상기 제3 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 2 도파관과 연결되는 제3 도파관 및 상기 제3 도파관의 내부에 형성되고, 상기 제3 서브 몸체부들과 각각 대응되도록 연결되는 복수의 제4 서브 몸체부들을 포함하고, 상기 출력부에서 출력되는 상기 광은 폐루프가 복수개로 배열되는 형상을 갖는다.In the substrate cutting apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, the input section includes a first body section formed at an outermost part of the input section and a first wave guide formed inside the first body section, A second body portion disposed at an outermost portion of the body and connected to the first body portion, a second waveguide formed inside the second body portion, connected to the first waveguide, and a second waveguide formed inside the second waveguide Wherein the third sub body portions are spaced apart from each other and the light introduced into the second waveguide is deformed into a predetermined shape by the third sub body portions, And a third waveguide formed in the third body part, the third waveguide being connected to the second waveguide, and the third waveguide connected to the first waveguide and the second waveguide, the output part including a third body part disposed at an outermost part of the output part and connected to the second body part, Is formed in the interior of the pagwan, the third sub includes a plurality of fourth sub-body parts are connected to each correspond to the body parts, the light output from the output section has a shape the closed loop is arranged in a plurality.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치는 신속하고 정확하게 기판을 커팅할 수 있다.The substrate cutting apparatus according to the embodiment of the present invention can cut the substrate quickly and accurately.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치의 사시도이다.
도 2는 제3 도파관의 확대단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.
도 6는 본 발명의 제4 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.1 is a perspective view of a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged cross-sectional view of a third waveguide.
3 is a view illustrating a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing a substrate cutting apparatus according to a second embodiment of the present invention.
5 is a view showing a substrate cutting apparatus according to a third embodiment of the present invention.
6 is a view showing a substrate cutting apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to a person skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.It is to be understood that when an element or layer is referred to as being "on" or " on "of another element or layer, All included. On the other hand, a device being referred to as "directly on" or "directly above " indicates that no other device or layer is interposed in between. "And / or" include each and every combination of one or more of the mentioned items.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. The terms spatially relative, "below", "beneath", "lower", "above", "upper" May be used to readily describe a device or a relationship of components to other devices or components. Spatially relative terms should be understood to include, in addition to the orientation shown in the drawings, terms that include different orientations of the device during use or operation. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

비록 제 1, 제 2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제 1 소자, 제 1 구성요소 또는 제 1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제 2 소자, 제 2 구성요소 또는 제 2 섹션일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements, components and / or sections, it is needless to say that these elements, components and / or sections are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one element, element or section from another element, element or section. Therefore, it goes without saying that the first element, the first element or the first section mentioned below may be the second element, the second element or the second section within the technical spirit of the present invention.

본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다. Embodiments described herein will be described with reference to plan views and cross-sectional views, which are ideal schematics of the present invention. Thus, the shape of the illustrations may be modified by manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but also include changes in the shapes that are generated according to the manufacturing process. Thus, the regions illustrated in the figures have schematic attributes, and the shapes of the regions illustrated in the figures are intended to illustrate specific types of regions of the elements and are not intended to limit the scope of the invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(100)는 입력부(110), 가이드부(120) 및 출력부(130)를 포함한다. Referring to FIG. 1, a substrate cutting apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes an input unit 110, a guide unit 120, and an output unit 130.

입력부(110)는 제1 방향(D1)으로 연장된다. 구체적으로, 입력부(110)는 제1 방향(D1)의 일측에서 타측으로 연장될 수 있다. 제1 방향(D1)에서 입력부(110)의 일측으로 광(LS)이 유입된다. 이 때, 입력부(110)로 유입되는 광(LS)은 레이저 빔일 수 있다.The input unit 110 extends in the first direction D1. Specifically, the input unit 110 may extend from one side of the first direction D1 to the other side. The light LS flows into one side of the input unit 110 in the first direction D1. At this time, the light LS that flows into the input unit 110 may be a laser beam.

입력부(110)는 가이드부(120)와 연결된다. 구체적으로, 제1 방향(D1)에서 입력부(110)의 타측이 제1 방향(D1)에서 가이드부(120)의 일측과 연결될 수 있다. 가이드부(120)는 제1 방향(D1)의 일측에서 타측으로 연장되고, 제1 방향(D1)의 일측에서 타측을 향할수록 가이드부(120)의 부피가 증가할 수 있다. 이 때, 가이드부(120)의 제1 방향(D1)의 타측을 향할수록 소정의 형상으로 확장되는 형태를 가질 수 있다. The input unit 110 is connected to the guide unit 120. Specifically, the other side of the input unit 110 in the first direction D1 may be connected to one side of the guide unit 120 in the first direction D1. The guide part 120 extends from one side of the first direction D1 to the other side and the volume of the guide part 120 increases as one side of the first direction D1 faces the other side. At this time, the guide part 120 may have a shape extending to a predetermined shape toward the other side of the guide part 120 in the first direction D1.

가이드부(120)는 출력부(130)와 연결된다. 구체적으로, 제1 방향(D1)에서 가이드부(120)의 타측이 제1 방향(D1)에서 출력부(130)의 일측과 연결될 수 있다. 제2 방향(D2)에서 출력부(130)의 단면은 소정의 형상을 가질 수 있다. 이 때, 제2 방향(D2)은 제1 방향(D1)과 수직한 방향이다. The guide unit 120 is connected to the output unit 130. Specifically, the other side of the guide part 120 in the first direction D1 may be connected to one side of the output part 130 in the first direction D1. The cross section of the output section 130 in the second direction D2 may have a predetermined shape. At this time, the second direction D2 is perpendicular to the first direction D1.

따라서, 입력부(110)로 유입된 광(LS)은 가이드부(120)를 통하여 소정의 형상으로 확장될 수 있으며, 확장된 광(LS)은 출력부(130)를 통하여 외부로 방출될 수 있다.Accordingly, the light LS introduced into the input unit 110 can be expanded to a predetermined shape through the guide unit 120, and the expanded light LS can be emitted to the outside through the output unit 130 .

이하, 입력부(110), 가이드부(120) 및 출력부(130)에 관하여 보다 상세하게 설명된다.Hereinafter, the input unit 110, the guide unit 120, and the output unit 130 will be described in more detail.

입력부(110)는 제1 몸체부(110a) 및 제1 도파관(110b)를 포함한다. 제1 몸체부(110a)는 입력부(110)의 최외각에 형성된다. 제1 몸체부(110a)는 제1 도파관을 감싸는 형태를 가진다. 제1 몸체부(110a)는 임의의 형상을 가질 수 있다. 예시적으로, 도 1에서는 막대 형상을 가진 제1 몸체부(110a)가 도시되었다. The input unit 110 includes a first body 110a and a first waveguide 110b. The first body part 110a is formed at the outermost part of the input part 110. [ The first body portion 110a has a shape to surround the first waveguide. The first body portion 110a may have any shape. Illustratively, in FIG. 1, a first body portion 110a having a rod shape is shown.

제1 도파관(110b)은 제1 몸체부(110a)의 내부에 형성된다. 제1 몸체부(110a) 및 제1 도파관(110b)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. The first waveguide 110b is formed inside the first body part 110a. The first body portion 110a and the first waveguide 110b may extend in a first direction D1.

제1 몸체부(110a)는 제1 굴절률을 가진다. 제1 도파관(110b)은 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 가진다. 예시적으로, 제1 몸체부(110a)는 유리이고, 제1 도파관(110b)은 석영(Quartz)일 수 있다.The first body portion 110a has a first refractive index. The first waveguide 110b has a second refractive index higher than the first refractive index. Illustratively, the first body portion 110a may be glass and the first waveguide 110b may be a quartz.

가이드부(120)는 제2 몸체부(120a), 제2 도파관(120b) 및 제1 서브 몸체부(120c)를 포함한다. 제2 몸체부(120a)는 가이드부(120)의 최외각에 형성된다. 제2 몸체부(120a)는 임의의 형상을 가질 수 있다. 예시적으로, 도 1에서는 직사각뿔 형상을 가진 제2 몸체부(120a)가 도시되었다. 구체적으로, 제2 몸체부(120a)의 밑면은 제2 방향(D2)으로 단변을 갖고, 제3 방향(D3)으로 장변을 갖는 직사각형일 수 있다. 이 때, 제3 방향(D3)은 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)과 각각 수직한 방향이다.The guide portion 120 includes a second body portion 120a, a second waveguide 120b, and a first sub body portion 120c. The second body portion 120a is formed at the outermost portion of the guide portion 120. [ The second body portion 120a may have any shape. Illustratively, in FIG. 1, a second body portion 120a having a rectangular horn shape is shown. Specifically, the bottom surface of the second body portion 120a may be a rectangle having a short side in the second direction D2 and a long side in the third direction D3. In this case, the third direction D3 is perpendicular to the first direction D1 and the second direction D2.

제2 도파관(120b)은 제2 몸체부(120a)의 내부에 형성된다. 즉, 제2 몸체부(120a)는 제2 도파관(120b)을 감싸는 형태를 가진다. The second waveguide 120b is formed inside the second body portion 120a. That is, the second body portion 120a has a shape to surround the second waveguide 120b.

제2 도파관(120b)은 직사각뿔 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제2 도파관(120b)을 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 단면은 직사각형상을 가진다. 이 때, 직사각형의 크기는 제1 방향(D1)에서 제2 도파관(120b)의 일측에서 타측을 향할수록 확장될 수 있다. The second waveguide 120b may have a rectangular prism shape. Specifically, the cross section of the second waveguide 120b cut parallel to the second direction D2 and the third direction D3 has a rectangular shape. At this time, the size of the rectangle may be enlarged from one side of the second waveguide 120b toward the other side in the first direction D1.

제1 서브 몸체부(120c)는 제2 도파관(120b)의 내부에 형성된다. 즉, 제2 도파관(120b)은 제1 서브 몸체부(120c)를 감싸는 형태를 가진다. 제2 몸체부(120a), 제2 도파관(120b) 및 제1 서브 몸체부(120c)는 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다.The first sub body portion 120c is formed inside the second waveguide 120b. That is, the second waveguide 120b has a shape to surround the first sub body 120c. The second body portion 120a, the second waveguide 120b, and the first sub body portion 120c may extend in the first direction D1.

제1 서브 몸체부(120c)은 직사각뿔 형상을 가질 수 있다. 구체적으로, 제1 서브 몸체부(120c)를 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 단면은 직사각형을 가진다. 이 때, 직사각형의 크기는 제1 방향(D1)에서 제1 서브 몸체부(120c)의 일측에서 타측을 향할수록 확장될 수 있다. The first sub body portion 120c may have a rectangular shape. Specifically, the cross section of the first sub body portion 120c cut parallel to the second direction D2 and the third direction D3 has a rectangular shape. In this case, the size of the rectangle may be enlarged from one side of the first sub body portion 120c toward the other side in the first direction D1.

결과적으로, 제2 도파관(120b)은 속이 빈 직사각뿔 껍질 형상을 가질 수 있다.As a result, the second waveguide 120b can have a hollow rectangular horn shape.

제2 몸체부(120a) 및 제1 서브 몸체부(120c)는 제1 굴절률을 가진다. 제2 도파관(120b)은 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 가진다. 예시적으로, 제2 몸체부(120a) 및 제1 서브 몸체부(120c)의 재질은 유리이고, 제2 도파관(120b)의 재질은 석영(Quartz)일 수 있다.The second body portion 120a and the first sub body portion 120c have a first refractive index. And the second waveguide 120b has a second refractive index higher than the first refractive index. Illustratively, the material of the second body part 120a and the first sub body part 120c may be glass, and the material of the second waveguide 120b may be quartz.

출력부(130)는 제3 몸체부(130a), 제3 도파관(130b) 및 제2 서브 몸체부(130c)를 포함한다. 제3 몸체부(130a)는 출력부(130)의 최외각에 형성된다. 제3 몸체부(130a)는 임의의 형상을 가질 수 있다. 예시적으로, 도 1에서는 직육면체 형상을 가진 제3 몸체부(130a)가 도시되었다.The output unit 130 includes a third body 130a, a third waveguide 130b, and a second body 130c. The third body part 130a is formed at the outermost part of the output part 130. [ The third body portion 130a may have any shape. Illustratively, in FIG. 1, a third body portion 130a having a rectangular parallelepiped shape is shown.

제3 도파관(130b)는 제3 몸체부(130a)의 내부에 형성된다. 즉, 제3 몸체부(130a)는 제3 도파관(130b)을 감싸는 형태를 가진다. 제3 도파관(130b)은 직육면체 형상을 가질 수 있다.The third waveguide 130b is formed inside the third body part 130a. That is, the third body part 130a has a shape to enclose the third waveguide 130b. The third waveguide 130b may have a rectangular parallelepiped shape.

제3 도파관(130b)의 크기는 제1 방향(D1)에서 제2 도파관(120b)의 타측의 크기와 대응된다.The size of the third waveguide 130b corresponds to the size of the other side of the second waveguide 120b in the first direction D1.

제2 서브 몸체부(130c)는 제3 도파관(130b)의 내부에 형성된다. 즉, 제3 도파관(130b)은 제2 서브 몸체부(130c)를 감싸는 형태를 가진다. 구체적으로, 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D2)과 평행하게 자른 제3 도파관(130b)의 단면의 둘레는 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D2)과 평행하게 자른 제2 서브 몸체부(130c)의 단면의 둘레보다 크다. 제1 방향(D1)에서 제3 도파관(130b)의 길이와 제1 방향(D1)에서 제2 서브 몸체부(130c)의 길이는 동일하다.The second sub body 130c is formed inside the third waveguide 130b. That is, the third waveguide 130b covers the second sub body 130c. Specifically, the periphery of the end face of the third waveguide 130b cut in parallel to the second direction D2 and the third direction D2 is surrounded by the second direction D2, which is cut in parallel with the second direction D2 and the third direction D2. Sectional area of the main body portion 130c. The length of the third waveguide 130b in the first direction D1 and the length of the second sub body 130c in the first direction D1 are the same.

제3 몸체부(130a), 제3 도파관(130b) 및 제2 서브 몸체부(130c)는 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다.The third body portion 130a, the third waveguide 130b, and the second sub body portion 130c may extend in the first direction D1.

제3 몸체부(130a) 및 제2 서브 몸체부(130c)는 제1 굴절률을 가진다. 제3 도파관(130b)은 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 가진다. 예시적으로, 제3 몸체부(130a) 및 제2 서브 몸체부(130c)의 재질은 유리이고, 제3 도파관(130b)의 재질은 석영(Quartz)일 수 있다.The third body portion 130a and the second sub body portion 130c have a first refractive index. And the third waveguide 130b has a second refractive index higher than the first refractive index. Illustratively, the materials of the third body part 130a and the second sub body part 130c may be glass, and the material of the third wave guide 130b may be quartz.

제1 방향(D1)에서 제1 몸체부(110a)는 제2 몸체부(120a)와 연결되고, 제2 몸체부(120a)는 제3 몸체부(130a)와 연결된다. 구체적으로, 제1 방향(D1)에서 제1 몸체부(110a)의 타측은 제1 방향(D1)에서 제2 몸체부(120a)의 일측과 연결된다. 제1 방향(D1)에서 제2 몸체부(120a)의 타측은 제1 방향(D1)에서 제3 몸체부(130a)의 일측과 연결된다. The first body part 110a is connected to the second body part 120a in the first direction D1 and the second body part 120a is connected to the third body part 130a. Specifically, in the first direction D1, the other side of the first body portion 110a is connected to one side of the second body portion 120a in the first direction D1. The other side of the second body part 120a in the first direction D1 is connected to one side of the third body part 130a in the first direction D1.

제1 방향(D1)에서 제1 도파관(110b)은 제2 도파관(120b)과 연결되고, 제2 도파관(120b)은 제3 도파관(130b)과 연결된다. 구체적으로, 제1 방향(D1)에서 제1 도파관(110b)의 타측은 제1 방향(D1)에서 제2 도파관(120b)의 일측과 연결된다. 제1 방향(D1)에서 제2 도파관(120b)의 타측은 제1 방향(D1)에서 제3 도파관(130b)의 일측과 연결된다.In the first direction D1, the first waveguide 110b is connected to the second waveguide 120b, and the second waveguide 120b is connected to the third waveguide 130b. Specifically, in the first direction D1, the other side of the first waveguide 110b is connected to one side of the second waveguide 120b in the first direction D1. The other side of the second waveguide 120b in the first direction D1 is connected to one side of the third waveguide 130b in the first direction D1.

제1 방향(D1)에서 제1 서브 몸체부(120c)의 타측은 제1 방향(D1)에서 제2 서브 몸체부(130c)의 일측과 연결된다. 제2 방향(D2)및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 제2 서브 몸체부(130c)의 단면은 제1 방향(D1)에서 제1 서브 몸체부(120c)의 타측면과 대응된다.The other side of the first sub body portion 120c in the first direction D1 is connected to one side of the second sub body portion 130c in the first direction D1. The cross section of the second sub body portion 130c cut in parallel to the second direction D2 and the third direction D3 corresponds to the other side of the first sub body portion 120c in the first direction D1.

기판 커팅 장치(100)는 유입면(S1), 확장면(S2) 및 배출면(S3)을 더 포함할 수 있다. The substrate cutting apparatus 100 may further include an inlet surface S1, an extending surface S2, and a discharge surface S3.

유입면(S1)은 제1 방향(D1)에서 제1 도파관(110b)의 일측면으로 정의된다. The inlet surface S1 is defined as one side of the first waveguide 110b in the first direction D1.

확장면(S2)은 제1 도파관(110b)과 제2 도파관(120b)이 연결되는 경계면으로 정의된다.The extended surface S2 is defined as an interface between the first waveguide 110b and the second waveguide 120b.

배출면(S3)은 제1 방향(D1)에서 제3 도파관(130b)의 타측면으로 정의된다.The emission surface S3 is defined as the other side of the third waveguide 130b in the first direction D1.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(100)는 광(LS)이 유입면(S1)을 통하여 제1 도파관(110b)으로 유입된다. The substrate cutting apparatus 100 according to the embodiment of the present invention allows the light LS to flow into the first waveguide 110b through the inflow surface S1.

제1 도파관(110b)으로 유입된 광(LS)은 확장면(S2)을 지나 제2 도파관(120b)으로 제공된다. 이 때, 광(LS)의 형상이 변형된다. 구체적으로, 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행한 광(LS)의 단면은 직사각형 형상을 갖는 폐루프 형태일 수 있다. 또한, 광(LS)이 제2 도파관(120b)을 지나면서, 광(LS)의 형상은 소정의 크기로 확장될 수 있다.The light LS introduced into the first waveguide 110b is provided to the second waveguide 120b through the extended surface S2. At this time, the shape of the light LS is deformed. Specifically, the cross section of the light LS parallel to the second direction D2 and the third direction D3 may be in the form of a closed loop having a rectangular shape. In addition, as the light LS passes through the second waveguide 120b, the shape of the light LS can be expanded to a predetermined size.

제2 도파관(120b)에서 형상이 확장된 광(LS)은 제3 도파관(130b)에 제공된다. 제3 도파관(130b)에 제공된 광(LS)은 배출면(S3)을 통하여 제1 방향(D1)으로 출사된다. 이 때, 배출면(S3)의 형상은 직사각형 형상을 갖는 폐루프 형태일 수 있다.The light LS having a shape expanded in the second waveguide 120b is provided to the third waveguide 130b. The light LS provided to the third waveguide 130b is emitted in the first direction D1 through the emission surface S3. At this time, the shape of the discharge surface S3 may be a closed loop shape having a rectangular shape.

도 2는 제3 도파관의 확대단면도이다. 구체적으로, 도 2에서는 도 1에 도시된 제 3도파관을 제1 방향과 평행하게 자른 A영역의 확대도이다. 2 is an enlarged cross-sectional view of a third waveguide. Specifically, FIG. 2 is an enlarged view of a region A cut in a direction parallel to the first direction of the third waveguide shown in FIG.

도 2를 참조하면, 제1 방향(D1)에서 배출면(S3)과 인접한 제3 도파관(130b)의 타측은 오목한 형상을 가진다. 즉, 배출면(S3)이 제1 방향(D1)에서 오목한 형상을 가질 수 있다. 따라서, 광(LS)이 제3 도파관(130b)을 따라 배출면(S3)으로 출사될 시, 광(LS)이 효과적으로 집광될 수 있다.Referring to FIG. 2, the other side of the third waveguide 130b adjacent to the discharge surface S3 in the first direction D1 has a concave shape. That is, the discharge surface S3 may have a concave shape in the first direction D1. Therefore, when the light LS is emitted to the emission surface S3 along the third waveguide 130b, the light LS can be effectively condensed.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(100)는 유입면(S1)으로 유입된 광(LS)을 소정의 형상으로 확장시킨 후 배출면(S3)으로 출사시킴으로써, 기판(SUB)이 커팅될 수 있다. 또한, 기판(SUB)의 모양 및 조건에 알맞게 가이드부(120) 및 출력부(130)의 크기 및 형상이 변경될 수 있다. 기판(SUB)에 기판 커팅 장치(100)가 배치되는 모습은 도 3에 도시되었다.The substrate cutting apparatus 100 according to the embodiment of the present invention expands the light LS introduced into the inflow surface S1 into a predetermined shape and then exits the discharge surface S3 so that the substrate SUB is cut . Also, the size and shape of the guide part 120 and the output part 130 may be changed according to the shape and conditions of the substrate SUB. The manner in which the substrate cutting apparatus 100 is disposed on the substrate SUB is shown in Fig.

결과적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(100)는 기판(SUB)을 정확하게 커팅할 수 있으며, 커팅 공정 시간을 단축할 수 있다. As a result, the substrate cutting apparatus 100 according to the embodiment of the present invention can accurately cut the substrate SUB and shorten the cutting process time.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.4 is a view showing a substrate cutting apparatus according to a second embodiment of the present invention.

이하, 가이드부(220) 및 출력부(230)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(200)의 구성은 도 1 및 도 2의 구성과 동일하다. 따라서, 도 4에 도시된 가이드부(220) 및 출력부(230)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(200)의 구성에 대한 설명은 생략한다.Hereinafter, the configuration of the substrate cutting device 200 except for the shapes of the guide part 220 and the output part 230 is the same as that shown in FIG. 1 and FIG. Therefore, the description of the structure of the substrate cutting apparatus 200 excluding the shapes of the guide unit 220 and the output unit 230 shown in FIG. 4 will be omitted.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(200)의 가이드부(220)는 원뿔 형상을 갖고, 출력부(230)는 원기둥 형상을 갖는다. Referring to FIG. 4, the guide unit 220 of the substrate cutting apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention has a conical shape, and the output unit 230 has a cylindrical shape.

구체적으로, 가이드부(220) 및 출력부(230)를 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 단면의 형상은 원 형태를 가질 수 있다. Specifically, the cross-sectional shape of the guide portion 220 and the output portion 230 cut in parallel to the second direction D2 and the third direction D3 may have a circular shape.

따라서, 배출면(S3)으로 출사되는 광(LS)은 원 형상을 갖는 폐루프 형태일 수 있다. 즉, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(200)는 원형 기판(SUB)을 커팅할 때에 사용될 수 있다.Therefore, the light LS emitted to the discharge surface S3 may be in the form of a closed loop having a circular shape. That is, the substrate cutting apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention can be used when cutting the circular substrate SUB.

결과적으로, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(200)는 기판(SUB)을 정확하게 커팅할 수 있으며, 커팅 공정 시간을 단축할 수 있다. As a result, the substrate cutting apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention can accurately cut the substrate SUB and shorten the cutting process time.

도 5는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.5 is a view showing a substrate cutting apparatus according to a third embodiment of the present invention.

이하, 가이드부(320) 및 출력부(330)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(300)의 구성은 도 1 및 도 2의 구성과 동일하다. 따라서, 도 5에 도시된 가이드부(320) 및 출력부(330)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(300)의 구성에 대한 설명은 생략한다.Hereinafter, the configuration of the substrate cutting apparatus 300 except for the shapes of the guide unit 320 and the output unit 330 is the same as that of FIG. 1 and FIG. Therefore, the description of the configuration of the substrate cutting apparatus 300 except for the shapes of the guide unit 320 and the output unit 330 shown in FIG. 5 will be omitted.

도 5를 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(300)는 가이드부(320) 및 복수의 출력부들(330)을 포함한다. 또한, 기판 커팅 장치(300)는 제1 분기면(SS1) 및 제2 분기면(SS2)을 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5, a substrate cutting apparatus 300 according to a third embodiment of the present invention includes a guide unit 320 and a plurality of output units 330. In addition, the substrate cutting apparatus 300 may further include a first branching surface SS1 and a second branching surface SS2.

가이드부(320)는 2개의 제1 분기부들(321), 8개의 제2 분기부들(322) 및 8개의 확장부들(323)를 포함한다. 유입면(S1)을 통해 유입된 광(LS)은 입력부(310)를 지나 제1 분기면(SS1)으로 제공된다. 제1 분기면(SS1)에 제공된 광(LS)은 제1 분기부들(321)을 통하여 2개의 광(LS)으로 분기될 수 있다. The guide portion 320 includes two first branch portions 321, eight second branch portions 322, and eight extension portions 323. The light LS introduced through the inlet surface S1 passes through the input section 310 and is supplied to the first branching surface SS1. The light LS provided on the first branching surface SS1 may be branched into two lights LS through the first branching portions 321. [

제1 분기부들(321)에서 분기된 광(LS)들은 각각 대응되는 제2 분기면들(SS2)로 제공된다. 제2 분기면들(SS2)에 제공된 광(LS)은 각각 대응되는 제2 분기부들(322)을 통하여 각각 4개의 광(LS)으로 분기될 수 있다. 즉, 입력부(310)로 유입된 광(LS)은 제1 분기부들(321) 및 제2 분기부들(322)을 통하여 총 8개의 광(LS)으로 분기될 수 있다.The light LS branched from the first branch portions 321 is provided to the corresponding second branching planes SS2. The light LS provided on the second branching planes SS2 may be branched into four lights LS through the corresponding second branching portions 322, respectively. That is, the light LS input to the input unit 310 may be branched into a total of eight lights LS through the first branching units 321 and the second branching units 322.

분기된 8개의 광(LS)은 각각 대응되는 확장면들(S2)로 유입된다. 확장면들(S2)로 유입된 광(LS)들은 확장부들(323)를 통하여 각각 소정의 형상으로 확장된다. 확장된 광(LS)들은 각각 대응되는 8개의 출력부들(330)로 제공되고, 배출면들(S3)로 출사된다. 배출면들(S3) 각각의 형상은 직사각형 형상을 가질 수 있다. The eight branched light beams LS enter the corresponding extended surfaces S2. Light LS introduced into the expansion surfaces S2 is expanded to a predetermined shape through the expansion portions 323. The extended lights LS are provided to corresponding eight outputs 330, respectively, and are emitted to the emission surfaces S3. The shape of each of the discharge surfaces S3 may have a rectangular shape.

즉, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(300)는 복수의 기판(SUB)을 동시에 커팅할 수 있다.  That is, the substrate cutting apparatus 300 according to the third embodiment of the present invention can simultaneously cut a plurality of substrates SUB.

결과적으로, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(300)는 복수의 기판(SUB)을 정확하게 커팅할 수 있으며, 커팅 공정 시간을 단축할 수 있다.As a result, the substrate cutting apparatus 300 according to the third embodiment of the present invention can accurately cut a plurality of substrates SUB and shorten the cutting process time.

도 6는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치를 도시한 도면이다.6 is a view showing a substrate cutting apparatus according to a third embodiment of the present invention.

이하, 가이드부(420) 및 출력부(430)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(400)의 구성은 도 1 및 도 2의 구성과 동일하다. 따라서, 도 6에 도시된 가이드부(420) 및 출력부(430)의 형상을 제외한 기판 커팅 장치(400)의 구성에 대한 설명은 생략한다.Hereinafter, the configuration of the substrate cutting device 400 except for the shapes of the guide part 420 and the output part 430 is the same as that of FIG. 1 and FIG. Therefore, the description of the configuration of the substrate cutting apparatus 400 excluding the shapes of the guide unit 420 and the output unit 430 shown in FIG. 6 will be omitted.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 가이드부(420)는 제2 몸체부(420a), 제2 도파관(420b) 및 3개의 제3 서브 몸체부들(420c)를 포함한다. 또한, 출력부(430)는 제1 서브 몸체부들(420c)에 각각 대응하는 3개의 제4 서브 몸체부들(430c)를 포함한다.Referring to FIG. 6, the guide unit 420 according to the third embodiment of the present invention includes a second body 420a, a second waveguide 420b, and three third body units 420c. In addition, the output unit 430 includes three fourth sub-bodies 430c corresponding to the first sub-bodies 420c.

유입면(S1)에 유입된 광(LS)은 입력부(410)로 제공되고, 입력부(410)로 제공된 광(LS)은 확장면(S2)으로 유입된다. 확장면(S2)으로 유입된 광(LS)은 제2 도파관(420b)으로 제공될 수 있다.The light LS introduced into the inlet surface S1 is supplied to the input portion 410 and the light LS supplied to the input portion 410 flows into the expanded surface S2. Light LS introduced into the extended surface S2 may be provided as a second waveguide 420b.

제3 서브 몸체부들(420c)은 제2 도파관(420b)의 내부에 형성된다. 제2 도파관(420b)은 제3 서브 몸체부들(420c)에 의하여 소정의 형상을 가질 수 있다. 예시적으로, 제2 도파관(420b)을 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 단면은 3개의 직사각형들이 연결되어 나열된 형태를 가질 수 있다. 구체적으로, 직사각형들 각각은 단변을 공통으로 하여 연결된 형태를 가질 수 있다. And the third sub body portions 420c are formed inside the second waveguide 420b. The second waveguide 420b may have a predetermined shape by the third sub body portions 420c. Illustratively, the cross section of the second waveguide 420b cut parallel to the second direction D2 and the third direction D3 may have a shape in which three rectangles are connected and arranged. Specifically, each of the rectangles may have a shape in which short sides are connected in common.

제2 도파관(420b)에 의해 확장된 광(LS)은 제3 도파관(430b)으로 제공된다. 제3 도파관(430b)는 제4 서브 몸체부들(430c)에 의해 소정의 형상을 가질 수 있다. 예시적으로, 제3 도파관(420b)을 제2 방향(D2) 및 제3 방향(D3)과 평행하게 자른 단면은 3개의 직사각형들이 연결되어 나열된 형태를 가질 수 있다. 제3 도파관(430b)으로 제공된 광(LS)은 배출면(S3)을 통하여 외부로 출사된다. The light LS expanded by the second waveguide 420b is provided to the third waveguide 430b. The third waveguide 430b may have a predetermined shape by the fourth sub body portions 430c. Illustratively, the cross section of the third waveguide 420b cut parallel to the second direction D2 and the third direction D3 may have a shape in which three rectangles are connected and arranged. The light LS provided to the third waveguide 430b is emitted to the outside through the discharge surface S3.

결과적으로, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(400)는 복수의 기판(SUB)을 동시에 커팅할 수 있다. 또한, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 기판 커팅 장치(400)는 복수의 기판(SUB)을 정확하게 커팅할 수 있으며, 커팅 공정 시간을 단축할 수 있다.As a result, the substrate cutting apparatus 400 according to the third embodiment of the present invention can simultaneously cut a plurality of substrates SUB. In addition, the substrate cutting apparatus 400 according to the third embodiment of the present invention can accurately cut a plurality of substrates SUB and shorten the cutting process time.

이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. It will be possible. In addition, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, and all technical ideas which fall within the scope of the following claims and equivalents thereof should be interpreted as being included in the scope of the present invention .

LS: 광원 110: 입력부
110a: 제1 몸체부 110b: 제1 도파관
120: 가이드부 120a: 제2 몸체부
120b: 제2 도파관 120c: 제1 서브 몸체부
130: 출력부 130a: 제3 몸체부
130b: 제3 도파관 130c: 제2 서브 몸체부
S1: 유입면 S2: 확장면
S3: 배출면 D1: 제1 방향
D2: 제2 방향 D3: 제3 방향LS: light source 110: input part
110a: first body part 110b: first waveguide
120: guide part 120a: second body part
120b: second waveguide 120c: first sub-
130: output part 130a: third body part
130b: third waveguide 130c: second sub body part
S1: inflow surface S2: expanded surface
S3: discharge surface D1: first direction
D2: second direction D3: third direction

Claims (11)

광이 유입되는 입력부;
상기 입력부에 유입된 상기 광을 가이드 하는 가이드부; 및
상기 가이드부로부터 가이드된 상기 광이 배출되는 출력부를 포함하고,
상기 가이드부는 상기 입력부와 상기 출력부를 연결하고,
상기 출력부에서 출사되는 광은 속이 폐루프 형상을 갖는 기판 커팅 장치. An input unit into which light is introduced;
A guide unit for guiding the light introduced into the input unit; And
And an output unit through which the light guided from the guide unit is discharged,
The guide unit connects the input unit and the output unit,
Wherein the light emitted from the output portion has a closed loop shape. 제1 항에 있어서,
상기 입력부는
상기 입력부의 최외각에 형성되는 제1 몸체부; 및
상기 제1 몸체부의 내부에 형성되는 제1 도파관을 포함하고,
상기 가이드부는
상기 가이드 부의 최외각에 배치되고, 상기 제1 몸체부와 연결되는 제2 몸체부;
상기 제2 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 제1 도파관과 연결되는 제2 도파관; 및
상기 제2 도파관의 내부에 형성되는 제1 서브 몸체부를 포함하고,
상기 출력부는
상기 출력부의 최외각에 형성되고, 상기 제2 몸체부와 연결되는 제3 몸체부;
상기 제3 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 2 도파관과 연결되는 제3 도파관; 및
상기 제3 도파관의 내부에 형성되고, 상기 제1 서브 몸체부와 연결되는 제2 서브 몸체부를 포함하는 기판 커팅 장치.The method according to claim 1,
The input unit
A first body formed at an outermost portion of the input unit; And
And a first waveguide formed inside the first body portion,
The guide portion
A second body portion disposed at an outermost portion of the guide portion and connected to the first body portion;
A second waveguide formed inside the second body portion and connected to the first waveguide; And
And a first sub body portion formed inside the second waveguide,
The output
A third body portion formed at an outermost portion of the output portion and connected to the second body portion;
A third waveguide formed inside the third body portion and connected to the second waveguide; And
And a second sub body portion formed inside the third waveguide and connected to the first sub body portion. 제 2 항에 있어서,
상기 제1 도파관의 상면에 형성되고, 상기 광이 유입되는 유입면;
상기 제1 도파관의 하면과 상기 제2 도파관의 상면의 경계면에 형성되고, 상기 제1 도파관으로부터 유입된 상기 광이 확장되는 확장면; 및
상기 제3 도파관의 하면에 형성되는 배출면을 더 포함하고,
상기 배출면은 상기 폐루프 형상을 갖는 기판 커팅 장치.3. The method of claim 2,
An inflow surface formed on an upper surface of the first waveguide and through which the light enters;
An enlarged surface formed on an interface between the lower surface of the first waveguide and the upper surface of the second waveguide and extending the light introduced from the first waveguide; And
And a discharge surface formed on a lower surface of the third waveguide,
Wherein the discharge surface has the closed loop shape. 제 3 항에 있어서,
상기 광원은 레이저 빔인 기판 커팅 장치.The method of claim 3,
Wherein the light source is a laser beam. 제 4 항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 몸체부들 및 상기 제1 및 제2 서브 몸체부들은 제1 굴절률을 갖고,
상기 제1 내지 제3 도파관들은 상기 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 갖는 기판 커팅 장치.5. The method of claim 4,
The first through third bodies and the first and second sub bodies have a first refractive index,
Wherein the first to third waveguides have a second refractive index higher than the first refractive index. 제 5 항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 몸체부들, 상기 제1 서브 몸체부들 및 제2 서브 몸체부들은 유리를 포함하는 기판 커팅 장치.6. The method of claim 5,
Wherein the first, second, and third body portions, the first and second body portions, and the second body portions comprise glass. 제 5 항에 있어서,
상기 제1 내지 제3 도파관들은 석영을 포함하는 기판 커팅 장치.6. The method of claim 5,
Wherein the first to third waveguides comprise quartz. 제 3 항에 있어서,
상기 배출면이 원형 또는 다각형 형상을 갖는 기판 커팅 장치.The method of claim 3,
Wherein the discharge surface has a circular or polygonal shape. 제 3 항에 있어서,
상기 배출면의 단면이 오목한 형상을 갖는 기판 커팅 장치.The method of claim 3,
Wherein the end face of the discharge surface has a concave shape. 제 1 항에 있어서,
상기 가이드부는
상기 입력부에서 유입된 상기 광을 복수의 광들로 분할하는 복수의 제1 분기부들;
상기 제1 분기부들에서 분할된 상기 각각의 광을 복수의 광들로 재분할하는 복수의 제2 분기부들; 및
상기 제1 분기부들 및 상기 제2 분기부들에 의하여 분할된 광들을 소정의 형상으로 변형시키는 복수의 확장부들를 포함하고,
상기 제1 분기부들은 상기 입력부와 연결되고,
상기 확장부들은 상기 출력부들와 연결되고,
상기 제2 분기부들은 각각 대응하는 상기 제1 분기부들 및 상기 확장부들 사이에 형성되어 상기 제1 분기부들 및 상기 확장부들을 각각 연결하고,
상기 출력부들에서 출력되는 상기 광들은 폐루프가 복수개로 나열되는 형상을 갖는 기판 커팅 장치.The method according to claim 1,
The guide portion
A plurality of first branching units for dividing the light introduced from the input unit into a plurality of lights;
A plurality of second branching units for sub-dividing each of the lights divided by the first branching units into a plurality of lights; And
And a plurality of extensions for transforming the light split by the first and second branch portions into a predetermined shape,
The first branch portions being connected to the input section,
Wherein the expansion units are connected to the output units,
Wherein the second branch portions are formed between the corresponding first branch portions and the extension portions to connect the first branch portions and the extension portions, respectively,
Wherein the light output from the output units has a shape in which a plurality of closed loops are arranged. 제1 항에 있어서,
상기 입력부는
상기 입력부의 최외각에 형성되는 제1 몸체부; 및
상기 제1 몸체부의 내부에 형성되는 제1 도파관을 포함하고,
상기 가이드부는,
상기 가이드 부의 최외각에 배치되고, 상기 제1 몸체부와 연결되는 제2 몸체부;
상기 제2 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 제1 도파관과 연결되는 제2 도파관; 및
상기 제2 도파관의 내부에 형성되는 복수의 제3 서브 몸체부들을 포함하고,
상기 제3 서브 몸체부들은 각각 이격되도록 형성되고,
상기 제2 도파관에 유입된 상기 광은 상기 제3 서브 몸체부들에 의해 소정의 형상으로 변형되고,
상기 출력부는,
상기 출력부의 최외각에 배치되고, 상기 제2 몸체부와 연결되는 제3 몸체부;
상기 제3 몸체부의 내부에 형성되고, 상기 2 도파관과 연결되는 제3 도파관; 및
상기 제3 도파관의 내부에 형성되고, 상기 제3 서브 몸체부들과 각각 대응되도록 연결되는 복수의 제4 서브 몸체부들을 포함하고,
상기 출력부에서 출력되는 상기 광은 폐루프가 복수개로 배열되는 형상을 갖는 기판 커팅 장치.The method according to claim 1,
The input unit
A first body formed at an outermost portion of the input unit; And
And a first waveguide formed inside the first body portion,
The guide portion
A second body portion disposed at an outermost portion of the guide portion and connected to the first body portion;
A second waveguide formed inside the second body portion and connected to the first waveguide; And
And a plurality of third sub-bodies formed inside the second waveguide,
The third sub body portions are spaced apart from each other,
The light introduced into the second waveguide is deformed into a predetermined shape by the third sub body portions,
The output unit includes:
A third body portion disposed at an outermost portion of the output portion and connected to the second body portion;
A third waveguide formed inside the third body portion and connected to the second waveguide; And
And a plurality of fourth sub-bodies formed inside the third waveguide and connected to correspond to the third sub-bodies, respectively,
Wherein the light output from the output section has a shape in which a plurality of closed loops are arranged.
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