KR20160058493A

KR20160058493A - 가스용기 수분제거장치

Info

Publication number: KR20160058493A
Application number: KR1020140160044A
Authority: KR
Inventors: 최재용
Original assignee: 주식회사 큐텍
Priority date: 2014-11-17
Filing date: 2014-11-17
Publication date: 2016-05-25

Abstract

본 발명은 가스용기 수분제거장치에 관한 것으로서 가스용기를 가열하여 가스용기의 내부의 수분을 진공으로 뽑아내는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 가스용기 수분제거장치는 가스용기를 내부에 장착하여 가열시키는 히팅자켓과 가스용기의 내부를 음압으로 유지시키는 드라이펌프 및 터보펌프와 가스용기와 드라이펌프 및 터보펌프를 연결시키는 다수의 유입포트들을 구비한 매니폴더로 구성된다.

Description

가스용기 수분제거장치{gas container dehydrating system}

본 발명은 가스용기 수분제거장치에 관한 것으로서 가스용기를 가열하여 가스용기의 내부의 수분을 진공으로 뽑아내는 장치에 관한 것이다.

반도체 제작 산업에서 제작 공정의 매 단계에서의 주요 관심사중 하나는 오염물질이다. 제작 공정으로 유입된 오염물질은 최종 산물의 특성을 완전히 바꿀 수 있다. 그 결과, 오염 제거를 위해 생산 라인이 중단되고 폐쇄될 수 있다. 이는 첫 번째, 이미 제작된 상당량의 전자 장치를 부적격을 초래할 수 있고, 두 번째, 일정 시간 동안 생산을 지연시킬 수 있다. 이 두 상황 모두는 전자 기기 제조 설비에서의 막대한 손실을 의미할 수 있다. 이는 전자 기기 생산 공정의 매우 초기 단계에서부터 논의되는 생산 라인 오염에 대한 이슈가 중요하다고 하는 이유이다.

이렇게 반도체 및 LCD, LED 제조 공정에서는 오염에 대한 이슈가 중요하기 때문에 사용되는 가스에 있어서도 초고순도의 가스를 요하므로, 가스 제조사들의 노력이 매우 중요하다.

여기서 초고순도 가스는 99.999% 이상의 순도를 가진 가스를 의미하며, 가스에 따라 99.999~99.99999까지 생산되고 있다.

본 발명자는 가스 제조사들의 초고순도 가스 생산 효율을 개선하고 생산 비용을 절감할 수 있는 설비를 개발하여 제공하고자 한다.

본 발명은 상기한 요구사항을 만족시키기 위해 44L, 440L, ISO 등 다양한 가스용기를 가열하여 가스용기의 내부의 수분을 진공으로 뽑아낼 수 있도록 하는 가스용기 수분제거장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 본 발명의 과제는 소용량의 가스용기를 가열하기 위한 제1히터자켓과, 대용량의 가스용기를 가열하기 위한 제2히터자켓과, 가스용기들의 주입구에 연결배관을 통해 연결되는 다수의 유입포트들이 형성된 매니폴드 및 상기 매니폴드의 일측에 연결되는 드라이펌프를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 가스용기 수분제거장치에 의해 달성된다.

상기 가스용기 수분제거장치에서 상기 매니폴드에는 상기 드라이펌프와 연결되는 지점보다 앞쪽에 터보펌프가 더 연결되고 상기 터보펌프의 배출관은 드라이펌프의 연결관에 연결되는 것이 바람직하다.

또한 가스용기 수분제거장치에서 상기 제1히팅자켓 및 제2히팅자켓의 가열온도는 섭씨 100도 내지 섭씨 120도의 범위에서 조정되는 것이 바람직하다.

상기 본 발명에 따른 가스용기 수분제거장치에 의하면 가스 제조사들이 초고순도 가스 생산 효율을 향상시키고 생산비용을 절감시킬 수 있는 우수한 기술적 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스용기 수분제거장치의 주요 구성을 도시한 사시도이고,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스용기 수분제거장치의 주요 구성을 도시한 정면도이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스용기 수분제거장치의 구성에 대하여 상세히 설명한다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스용기 수분제거장치(이하 '수분제거장치'라고 함)는 용량이 다른 가스용기들을 내부에 장착할 수 있는 제1히터자켓(10) 및 제2히터자켓(20)과 히터자켓에 인접하게 설치되며 히터자켓에 장착되는 가스용기들의 주입구와 연결되는 다수의 유입포트들이 형성된 매니폴드(30)와 상기 매니폴드(30)에 연결되어 가스탱크들의 내부를 음압상태로 만들어 주기 위한 드라이펌프(40) 및 터보펌프(50)를 포함하여 구성된다.

제1히터자켓(10)은 직립으로 세워진 것이며 상측입구(11)를 통해 47리터 가스용기(1) 2개를 장착할 수 있는 구조이다.

제2히터자켓(20)은 수평으로 누워진 형태로서 덮개(22)를 구비하여 덮개(22)를 열고서 440리터 가스용기 1개를 내부에 장착할 수 있다. 덮개(22)는 하부케이스(21)에 덮은 상태에서 체결손잡이(23)를 돌려서 하부케이스(21)에 잠금어지게 된다. 제2히터자켓(20)의 앞뒤에는 송풍을 위한 팬들(24, 25)이 각각 설치되어 있다.

매니폴드(30)는 매니폴드(30) 장착을 위한 랙(31)에 유볼트(32)를 통해 고정되게 설치된다. 매니폴드(30)에는 다수의 유입포트들이 형성되어 있어서 유입포트들은 연결배관을 통해서 가스용기의 주입관에 연결될 수 있다. 매니폴드(30)의 일측에는 드라이펌프(40) 및 터보펌프(50)가 연결되어 있다.

드라이펌프(40)는 5.0×10^-4 mbar의 음압을 형성할 수 있는 펌프로서 매니폴드(30)의 우측단부에 제1연결관(41)을 통해 연결되어 있다. 드라이펌프(40)는 지지다리(42)를 구비하여 설치장소의 바닥에 설치된다.

터보펌프(50)는 드라이펌프(40)와 함께 구동되어 가스용기에 추가로 더 큰 음압을 형성하기 위한 펌프로서 드라이펌프(40)와 함께 구동시에 1.0×10^-9 mbar까지의 음압을 형성할 수 있다. 터포펌프는 매니폴드(30)에서 드라이펌프(40)가 연결되는 지점보다 앞쪽에 연결되어 있으며 터보펌프(50)의 배출관(52)은 앞서 설명한 드라이펌프(40)의 제1연결관(41)에 연결되어 있다. 터보펌프(50)는 배출관(52)을 드라이펌프(40)의 제1연결관(41)에 연결시키기 위해 드라이펌프(40)보다 높은 곳에 위치한 터보펌프(50) 설치용 랙(53)의 위에 설치된다.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스용기 수분제거장치의 공정순서에 대하여 설명한다.

가스용기를 히팅자켓에 장착한 후 히팅자켓을 이용하여 가스용기를 가열한다. 히팅자켓의 가열온도는 섭씨 100도 내지 섭씨 120도의 범위에서 필요에 따라 온도를 조절할 수 있다.

가스용기가 가열되는 상태에서 드라이펌프(40)를 사용하여 가스용기의 내부의 압력을 5.0×10^-4승 mbar 까지의 음압으로 유지한다.

드라이펌프(40)에 더해서 추가로 터보펌프(50)까지 구동하여 1.0×10^-9mbar 까지의 음압을 유지한다.

이렇게 가스용기를 가열하면서 가스용기의 내부를 진공으로 빨아들이면 가스용기에 잔존해 있던 수분들이 모두 증발되어 드라이펌프(40)와 터보펌프(50)를 통해 가스용기의 주입구를 통해 매니폴드(30)를 거쳐 드라이펌프(40)측으로 배출된다.

1 가스용기
10 제1히터자켓
20 제2히터자켓
21 하부케이스
22 덮개
23 체결손잡이
24, 25 팬들
30 매니폴드
40 드라이펌프
50 터보펌프

Claims

소용량의 가스용기를 가열하기 위한 제1히터자켓;
대용량의 가스용기를 가열하기 위한 제2히터자켓;
가스용기들의 주입구에 연결배관을 통해 연결되는 다수의 유입포트들이 형성된 매니폴드;
상기 매니폴드의 일측에 연결되는 드라이펌프를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 가스용기 수분제거장치.
제1항에 있어서,
상기 매니폴드에는 상기 드라이펌프와 연결되는 지점보다 앞쪽에 터보펌프가 더 연결되고 상기 터보펌프의 배출관은 드라이펌프의 연결관에 연결되는 것을 특징으로 하는 가스용기 수분제거장치.
제1항에 있어서,
상기 제1히팅자켓 및 제2히팅자켓의 가열온도는 섭씨 100도 내지 섭씨 120도의 범위에서 조정되는 것을 특징으로 하는 가스용기 수분제거장치.