KR20160050112A - System for check the side of solar cell wafer used line scan camera - Google Patents

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KR20160050112A
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박민호
이명국
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주식회사 트라이비스
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Abstract

The present invention relates to a solar cell wafer side inspection system using a line scan camera, and more specifically, to a system to inspect a side of a thin solar cell wafer using a line camera. For the same, the solar cell wafer side inspection system of the present invention includes: a rotary table which rotates at an established angle unit; an adsorption table which is formed on an upper part of the rotary table, and adsorbs a solar cell wafer mounted on the upper part; a side guide member which is located at one side edge of the adsorption table and an edge opposite to the one side edge, and can move to the inside of the adsorption table; and the line scan camera which is located at a position separated from the adsorption table, and photographs the whole surface of one side of the solar cell wafer mounted on the upper part of the adsorption table by one-time photographing. The solar cell wafer side inspection system of the present invention can photograph the side of the solar cell wafer more efficiently and can reduce the time to photograph the side of the solar cell wafer.

Description

라인 스캔 카메라를 이용한 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템{System for check the side of solar cell wafer used line scan camera}[0001] The present invention relates to a solar cell wafer side inspection system using a line scan camera,

본 발명은 라인 스캔 카메라를 이용한 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 두께가 얇은 솔라셀 웨이퍼의 측면을 라인 카메라를 이용하여 검사하는 시스템에 관한 것이다.
The present invention relates to a solar cell wafer side inspection system using a line scan camera, and more particularly, to a system for inspecting a side surface of a thin solar cell wafer using a line camera.

최근 지구환경문제와 화석에너지의 고갈, 원자력발전의 폐기물처리 및 신규발전소 건설에 따른 위치선정 등의 문제로 인하여 신재생에너지에 대한 관심이 고조되고 있으며, 그 중에서도 무공해이면서도 무한한 에너지원인 태양광발전에 대한 연구개발이 활발하게 진행되고 있다. 결정형 실리콘태양전지, 박막형 태양전지 및 염료감응형 태양전지 등이 폭넓게 연구되어 산업적으로 활용되고 있으나, 전환효율 측면에서 결정형 실리콘 태양전지가 주로 실용화되고 있다. 본 발명은 결정형 실리콘태양전지에 관한 것이다.In recent years, interest in renewable energy has been rising due to global environmental problems, depletion of fossil energy, disposal of nuclear power generation waste, and selection of location for new power plant construction. Among them, Research and development is being actively pursued. Crystalline silicon solar cells, thin film solar cells, and dye-sensitized solar cells have been extensively studied and utilized industrially, but crystal silicon solar cells have been put to practical use in terms of conversion efficiency. The present invention relates to a crystalline silicon solar cell.

결정형 실리콘태양전지의 제조공정은 다음과 같이 잉곳 제조, 웨이퍼 제조, 셀 제조, 모듈 제조 공정으로 구분할 수 있다. 크리스탈도가니에 고순도의 폴리실리콘 덩어리를 도핑물질과 함께 넣고 고온가열하여 용융시킨 다음 씨드(Seed) 물질이 발라진 봉을 용융 폴리실리콘위를 살짝 잠기게 한 후 천천히 회전 시키며 위로 당기면서 크리스탈 잉곳을 제조한다(잉곳 제조공정). 제조된 잉곳을 다아아몬드 와이어 쏘를 이용하여 소정의 두께로 절단하여 웨이퍼를 제조한다(웨이퍼 제조공정). 제조된 웨이퍼를 반도체 제조공정과 유사한 방식으로 에칭, pn접합, 반사방지막 코팅 후 전극을 형성하여 셀(cell)을 제작(셀 제조공정)한 다음 이들을 다양하게 배선연결하여 태양전지모듈을 제작(모듈 제조공정)한다.The manufacturing process of crystalline silicon solar cell can be classified into ingot manufacturing, wafer manufacturing, cell manufacturing, and module manufacturing process as follows. A high-purity polysilicon mass is placed in the crystal crucible together with the doping material, heated at high temperature to melt, and then the seeded seed rod is slowly immersed on the molten polysilicon, slowly rotated, and pulled up to produce a crystal ingot (Ingot manufacturing process). The prepared ingot is cut to a predetermined thickness using a diamond wire saw to produce a wafer (wafer manufacturing step). The manufactured wafer is etched in the same manner as the semiconductor manufacturing process, the pn junction and the antireflective film are coated, electrodes are formed to manufacture a cell (cell manufacturing process), and then various wiring connections are made to manufacture a solar cell module Manufacturing process).

그런데 전체 생산공정 중에서 웨이퍼의 불량여부가 최종 태양전지모듈의 품질에 결정적인 영향을 주기 때문에 웨어퍼 자체의 흠결 또는 웨이퍼를 다루면서 발생할 수 있는 잠재적 흠결을 효과적으로 검출하고 생산라인에 피드백하는 것이 매우 중요하다.However, it is very important to effectively detect potential defects in the wafer itself or to treat the wafers and feedback to the production line, since the defectiveness of the wafer in the entire production process has a decisive influence on the quality of the final solar cell module .

따라서 중간단계의 웨이퍼를 셀 제조단계로 넘어가기 전에 만들어진 웨이퍼의 길이, 직각도, 변이나 모서리 부위가 일부 떨어져 나갔는지 여부 등을 확인하는 치수(geometry)검사 이외에, ① 웨이퍼에 과도한 휨이나 절단 시 진동 등에 의한 과도한 쏘마크(saw mark) 등이 있는지 여부를 확인하는 편평도검사 및 ② 웨이퍼에 마이크로 크랙이나 핀홀, 스테인(이물질) 등이 있는지를 확인하는 표면검사가 이루어져야 한다. Therefore, in addition to the inspection of the geometry to check the length, the angle of the wafer, and whether the edges or edges of the wafer are partially separated before the intermediate wafer is transferred to the cell manufacturing step, the wafer is subjected to excessive bending or cutting A flatness test to check whether there is an excessive saw mark due to vibration or the like, and (2) a surface test to check whether a wafer has micro cracks, pinholes, stains or the like.

현재 산업적으로 사용 중인 대부분의 검사장치는 반도체 제조공정 중 기판(PCB)에 반도체 칩(chip)이나 각종 소자가 정상적으로 실장되었는지, 리드프레임(lead frame)은 불량이 아닌지 등을 화상으로 검사하는 검사장치나, LCD 등 평판디스플레이용 기판의 표면결함 여부를 검사하는 기판 검사장치를 전용하여 사용하고 있는 것이 현실이다. 또한 태양전지용 웨이퍼의 검사특성에 따라 다른 특성의 조명장치 및 카메라로 이루어진 복수개의 비전모듈을 설치해 해당 검사 항목들을 검사하고 있다.Most of the inspection apparatuses currently in use in industry are inspection apparatuses for inspecting whether a semiconductor chip or various elements are normally mounted on a substrate (PCB) during a semiconductor manufacturing process and whether a lead frame is not defective or not , A substrate inspection apparatus for inspecting whether or not a substrate for a flat panel display such as an LCD is defective. In addition, a plurality of vision modules including illumination devices and cameras having different characteristics are installed according to inspection characteristics of a wafer for a solar cell, and the inspection items are inspected.

도 1은 종래 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 시스템을 도시하고 있다. 이하 도 1을 이용하여 종래 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 시스템에 대해 알아보기로 한다.Figure 1 shows a system for inspecting the side of a conventional solar cell wafer. Hereinafter, a system for inspecting the side surface of a conventional solar cell wafer will be described with reference to FIG.

도 1에 의하면 솔라셀 웨이퍼을 검사하는 시스템은 솔라셀 웨이퍼, 에어리어(area, 면적) 카메라를 포함한다. 에어리어 카메라는 상술한 바와 같이 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하고, 촬영한 영상을 외부의 서버로 전송한다. 하지만, 에어리어 카메라에서 촬영 가능한 크기는 한정되어 있다. 따라서 솔라셀 웨이퍼의 측면 전 영역을 촬영하기 위해 에어리어 카메라는 일정 시간단위로 일정 간격 이동해야 한다. 즉, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 에어리어 카메라는 제1 지점에서 솔라셀 웨이퍼의 제1 측면을 촬영한 후, 제2 지점으로 이동한다. 이후 에어리어 카메라는 제2 지점에서 솔라셀 웨이퍼의 제2 측면을 촬영한다. 이와 같이 에어리어 카메라는 솔라셀 웨이퍼의 측면 전 영역을 촬영하기 위해서는 복수 회 이동해야 하는 문제점이 있다.Referring to FIG. 1, a system for inspecting a solar cell wafer includes a solar cell wafer, an area (area) camera. The area camera photographs the side of the solar cell wafer as described above, and transmits the photographed image to an external server. However, the size that can be photographed by the area camera is limited. Therefore, in order to capture the whole area of the side surface of the solar cell wafer, the area camera has to be moved at regular intervals in units of time. That is, as shown in Fig. 1, the area camera takes the first side of the solar cell wafer at the first point and then moves to the second point. The area camera then takes a second side of the solar cell wafer at the second point. As described above, the area camera has a problem that it needs to be moved a plurality of times in order to photograph the whole area of the side surface of the solar cell wafer.

이와 같이 에어리어 카메라는 좁은 FOV(Field Of View)로 인해 설치 공간의 제약이 없다는 장점은 있으나, 좁은 FOV로 인해 특정 측면의 전 영역을 촬영하기 위해서는 복수 회 걸쳐 촬영해야 문제점이 있다. 또한, 에어리어 카메라의 특성상 이동하면서 촬영할 경우, 별도의 스토로브 조명을 사용해야 하는 문제점이 있다. 더욱이 에어리어 카메라가 이동하면서 촬영하는 동안 솔라셀 웨이퍼는 항상 카메라와 동일한 거리를 유지해야 한다. 즉, 에어리어 카메라와 솔라셀 웨이퍼 측면 사이의 거리가 변할 경우, 초점이 어긋날 수 있다. 따라서 에어리어 카메라를 정밀하게 이동시킬 수 있는 스테이지가 요구된다.As described above, the area camera is advantageous in that there is no restriction on the installation space due to the narrow field of view (FOV). However, due to the narrow FOV, it is necessary to photograph the whole area over a plurality of times in order to capture the entire area. In addition, when photographing while moving due to the characteristics of the area camera, it is necessary to use a separate strobe light. Moreover, the solar cell wafer should always maintain the same distance from the camera while the area camera is moving and shooting. That is, when the distance between the area camera and the side of the solar cell wafer changes, the focus may be shifted. Therefore, a stage capable of precisely moving an area camera is required.

따라서 종래 에어리어 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 측정하는 방식을 탈피하여 보다 효율적으로 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영할 수 있는 방안이 요구된다.
Accordingly, there is a need for a method that can take a side view of a solar cell wafer more efficiently by avoiding a method of measuring a side surface of a solar cell wafer using a conventional area camera.

본 발명이 해결하려는 과제는 솔라셀 웨이퍼의 측면을 보다 효율적으로 촬영할 수 있는 방안을 제안함에 있다.A problem to be solved by the present invention is to propose a method of photographing a side of a solar cell wafer more efficiently.

본 발명이 해결하려는 다른 과제는 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 시간을 단축시키는 방안을 제안함에 있다.Another problem to be solved by the present invention is to propose a method for shortening the time taken to photograph the side of a solar cell wafer.

본 발명의 해결하려는 또 다른 과제는 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 시스템의 제조 단가를 감소시키는 동시에 고장 발생률을 감소시켜 유지 관리 비용을 절감하는 방안을 제안함에 있다.
Another problem to be solved by the present invention is to reduce the manufacturing cost of the system for photographing the side of the solar cell wafer, and reduce the maintenance cost by reducing the failure rate.

이를 위해 본 발명의 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템은 설정된 각도단위로 회전하는 회전 테이블, 상기 회전 테이블 상단에 형성되며, 상단에 안착된 솔라셀 웨이퍼를 흡착하는 흡착 테이블, 상기 흡착 테이블 일측 모서리 및 일측 모서리의 맞은편 모서리 지점에 위치하며, 상기 흡착 테이블 내측으로 이동 가능한 측면 가이드부재 및 상기 흡착 테이블로부터 소정 거리 이격된 지점에 위치하며, 상기 흡착 테이블 상단에 안착된 솔라셀 웨이퍼의 일측 측면의 전체면을 1회 촬영으로 촬영하는 라인 스캔 카메라를 포함한다.
To this end, the solar cell wafer side inspection system of the present invention comprises a rotating table rotating at a set angle unit, an absorption table formed at the upper end of the rotating table and seated on a top of the solar cell wafer, A side surface guide member located on the opposite corner of the suction table and movable at a predetermined distance from the suction table, and the entire surface of one side of the solar cell wafer mounted on the top of the suction table And a line scan camera for photographing in one shot.

본 발명에 따른 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템은 기존 에어리어 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 대신 라인 스캔 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 방안을 제안한다.The solar cell wafer side inspection system according to the present invention proposes a method of photographing a side of a solar cell wafer using a line scan camera instead of photographing a side of the solar cell wafer using an existing area camera.

이와 같이 라인 스캔 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 경우, 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 시간을 단축시킬 수 있으며, 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 시스템의 제조 단가를 감소시킬 수 있다. 또한, 고장 발생률을 감소시켜 유지 관리 비용을 절감된다는 장점이 있다.When the side surface of the solar cell wafer is inspected using the line scan camera as described above, it is possible to shorten the time taken to photograph the side surface of the solar cell wafer and to reduce the manufacturing cost of the system for photographing the side surface of the solar cell wafer . Also, there is an advantage that the maintenance cost can be reduced by reducing the failure occurrence rate.

또한, 기존 에어리어 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영할 경우 필요한 스트로브 조명과 같은 별도의 구조물이 불필요하다는 장점이 있다.
In addition, there is an advantage that a separate structure such as strobe illumination is not needed when photographing the side of a solar cell wafer using an existing area camera.

도 1은 종래 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 시스템을 도시하고 있다.
도 2는 본 발명에서 검사하고자 하는 솔라셀 웨이퍼의 형상을 도시하고 있다.
도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 라인 스캔 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 방안을 도시하고 있다.
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 멀티 라인 스캔 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 방안을 도시하고 있다.
도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 시스템을 도시하고 있다.
도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 과정을 도시한 도면이다.Figure 1 shows a system for inspecting the side of a conventional solar cell wafer.
FIG. 2 shows the shape of a solar cell wafer to be inspected in the present invention.
FIG. 3 illustrates a method of photographing a side of a solar cell wafer using a line scan camera according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 illustrates a method of photographing a side of a solar cell wafer using a multi-line scan camera according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 illustrates a system for inspecting the side of a solar cell wafer according to an embodiment of the present invention.
6 is a view illustrating a process of inspecting a side surface of a solar cell wafer according to an embodiment of the present invention.

전술한, 그리고 추가적인 본 발명의 양상들은 첨부된 도면을 참조하여 설명되는 바람직한 실시 예들을 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 본 발명의 이러한 실시 예를 통해 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The foregoing and further aspects of the present invention will become more apparent from the following detailed description of preferred embodiments with reference to the accompanying drawings. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 솔라셀 웨이퍼의 형상을 도시하고 있다. 이하 도 2를 이용하여 본 발명의 일실시 예에 따른 솔라셀 웨이퍼의 형상에 대해 상세하게 알아보기로 한다.FIG. 2 illustrates the shape of a solar cell wafer according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, the shape of a solar cell wafer according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

도 2에 의하면, 솔라셀 웨이퍼는 정사각형 형상을 가지며, 가로와 세로의 길이는 최소 156㎜를 갖는다. 또한 솔라셀 웨이퍼의 두께는 200㎛를 갖는다.According to Fig. 2, the solar cell wafer has a square shape, and the length and width are at least 156 mm. The thickness of the solar cell wafer is 200 mu m.

상술한 바와 같이 본 발명은 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 방안을 제안한다.As described above, the present invention proposes a method of photographing a side surface of a solar cell wafer.

도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 라인 스캔 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 방안을 도시하고 있다. 이하 도 3을 이용하여 본 발명의 일실시 예에 따른 라인 스캔 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 방안에 대해 상세하게 알아보기로 한다.FIG. 3 illustrates a method of photographing a side of a solar cell wafer using a line scan camera according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, a method of photographing a side surface of a solar cell wafer using a line scan camera according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

도 3에 의하면, 솔라셀 웨이퍼의 측면은 라인 스캔 카메라를 이용하여 촬영한다. 라인 스캔 카메라는 솔라셀 웨이퍼의 일측 측면에서 타측 측면까지 한번에 촬영이 가능하다. 따라서 본 발명은 라인 스캔 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 방안을 제안한다.According to Fig. 3, the side of the solar cell wafer is photographed using a line scan camera. Line scan cameras can be taken from one side of the solar cell wafer to the other. Therefore, the present invention proposes a method of photographing a side of a solar cell wafer using a line scan camera.

라인 스캔 카메라는 넓은 FOV로 한번의 촬영으로 솔라셀 웨이퍼의 측면 촬영이 가능하며, 따라서 솔라셀 웨이퍼의 4개의 측면은 4번의 촬영을 통해 완료된다. 또한, 1회 촬영으로 측면 검사가 가능하므로 스트로브 조명과 같은 별도의 구조물이 불필요하다.The line scan camera is capable of taking a side view of a solar cell wafer in a single shot with a wide FOV, thus completing four sides of the solar cell wafer with four shots. In addition, since a side inspection can be performed by one shot, a separate structure such as a strobe light is unnecessary.

라인 스캔 카메라는 1회 촬영으로 넓은 FOV의 선 영상을 획득한다. 즉, 솔라셀 웨이퍼 측면의 경우 200㎛정도의 좁고 긴 영역을 가지므로 라인 스캔 카메라를 사용할 경우 1회 촬영으로 넓은 영역 촬영이 가능하다.The line scan camera acquires a wide FOV line image in one shot. That is, since the side surface of the solar cell wafer has a narrow and long area of about 200 μm, when the line scan camera is used, it is possible to take a wide area by taking one shot.

또한 라인 스캔 카메라는 1라인을 촬영하므로 200㎛의 두께를 갖는 솔라셀 웨이퍼의 측면 영상을 한 번의 촬영으로 모두 획득할 수 없으므로 멀티 라인 스캔 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영한다. In addition, since the line scan camera shoots one line, the side image of the solar cell wafer having a thickness of 200 탆 can not be acquired in one shot, so the side of the solar cell wafer is photographed using the multi line scan camera.

멀티 라인 스캔 카메라는 1회 촬영 시 1라인을 촬영하는 것이 아니라 적어도 2개의 라인을 촬영한다.The multi-line scan camera shoots at least two lines, not one line at a time.

도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 멀티 라인 스캔 카메라를 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 촬영하는 방안을 도시하고 있다. 특히 본 발명은 솔라셀 웨이퍼의 두께가 200㎛인 점을 고려하여 16라인 스캔 카메라를 이용하여 영상을 촬영한다. 일반적으로 하나의 라인의 두께는 20㎛이므로, 16라인은 320㎛ 두께의 영상을 촬영할 수 있다. FIG. 4 illustrates a method of photographing a side of a solar cell wafer using a multi-line scan camera according to an embodiment of the present invention. In particular, the present invention takes an image using a 16 line scan camera in consideration of the fact that the thickness of the solar cell wafer is 200 mu m. In general, since the thickness of one line is 20 占 퐉, 16 lines can take an image of 320 占 퐉 thickness.

도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 시스템을 도시하고 있다. 이하 도 5를 이용하여 본 발명의 일실시 예에 따른 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 시스템에 대해 상세하게 알아보기로 한다.Figure 5 illustrates a system for inspecting the side of a solar cell wafer according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, a system for inspecting a side surface of a solar cell wafer according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

도 5에 의하면, 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 시스템(100)은 회전 테이블(105), 측면 가이드부재(115), 라인 스캔 카메라(120), 흡착 테이블(110)을 포함한다. 물론 상술한 구성 이외에 다른 구성이 본 발명에서 제안하는 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 시스템에 포함될 수 있다.5, a system 100 for inspecting a side surface of a solar cell wafer includes a rotation table 105, a side guide member 115, a line scan camera 120, and a suction table 110. [ Of course, other configurations than the above-described configuration may be included in the system for inspecting the side surface of the solar cell wafer proposed in the present invention.

회전 테이블(105)은 설정된 각도 단위로 회전한다. 특히 본 발명의 회전 테이블(105)은 상단에 안착된 솔라셀 웨이퍼(125)의 4측면을 촬영하기 위해 90ㅀ 단위로 회전한다. 이와 같이 회전 테이블(105)이 90ㅀ 단위로 4번 회전함으로써 상단에 안착된 솔라셀 웨이퍼(125)의 4면의 영상을 모두 촬영할 수 있다. 이를 위해 회전 테이블(105)은 스탭(step) 모터와 연결되며, 스탭 모터로부터 제공받은 구동력에 의해 90ㅀ 단위로 회전한다.The rotary table 105 rotates in the set angle unit. In particular, the rotary table 105 of the present invention rotates in 90-degree increments to photograph four sides of the solar cell wafer 125 seated on the top. In this manner, the rotating table 105 rotates four times in units of 90 units, so that all four images of the solar cell wafer 125 seated on the top can be photographed. To this end, the rotary table 105 is connected to a step motor, and is rotated by 90 degrees in response to a driving force provided from the step motor.

흡착 테이블(110)은 회전 테이블(105)의 상단에 형성되며, 상부에 안착된 솔라셀 웨이퍼(125)의 고정한다. 즉, 솔라셀 웨이퍼(125)가 회전 테이블(105) 상단에 안착된 상태에서 움직이지 않도록 고정하는 역할을 수행한다.The suction table 110 is formed at the upper end of the rotary table 105 and fixes the solar cell wafer 125 seated on the upper side. In other words, the solar cell wafer 125 is fixed on the upper end of the rotary table 105 so as not to move.

측면 가이드부재(115)는 흡착 테이블(110) 상단에 안착된 솔라셀 웨이퍼(125)가 특정 지점에 위치하도록 가이드한다. 즉, 솔라셀 웨이퍼(125)가 흡착 테이블(110) 상단의 특정 지점에 위치해야만 라인 스캔 카메라(120)를 이용하여 솔라셀 웨이퍼(125)의 측면을 촬영할 수 있다. 따라서 측면 가이드부재(115)는 솔라셀 웨이퍼(125)가 특정 지점에 위치하도록 솔라셀 웨이퍼(125)를 이동시킨다. The side guide member 115 guides the solar cell wafer 125, which is seated on the top of the suction table 110, to be positioned at a specific point. That is, the side of the solar cell wafer 125 can be photographed using the line scan camera 120 only when the solar cell wafer 125 is positioned at a specific point on the upper side of the absorption table 110. Thus, the side guide member 115 moves the solar cell wafer 125 so that the solar cell wafer 125 is located at a specific point.

이를 위해 측면 가이드부재(115)는 일정 길이를 갖는 적어도 2개의 바 타입으로 구성되며, 흡착 테이블(110) 외측에서 내측으로, 내측에서 외측으로 이동 가능하다. 즉, 하나의 측면 가이드부재(115)는 흡착 테이블(110)의 일측 모서리 지점에 위치하며, 다른 하나의 측면 가이드부재(115)는 일측 모서리의 맞은편 모서리 지점에 위치한다. 모서리 지점에 위치하고 있는 측면 가이드부재(115)는 흡착 테이블(110) 상단에 솔라셀 웨이퍼(125)가 안착되면, 흡착 테이블(110) 내측으로 이동하여 솔라셀 웨이퍼(125)가 특정 지점에 위치하도록 가이드한다.To this end, the side guide member 115 is composed of at least two bar types having a predetermined length, and is movable from the outside to the inside of the suction table 110 and from the inside to the outside. That is, one side guide member 115 is located at one corner point of the suction table 110, and the other side guide member 115 is located at the opposite corner point of one corner. When the solar cell wafer 125 is placed on the upper end of the suction table 110, the side guide member 115 located at the corner point moves to the inside of the suction table 110 to position the solar cell wafer 125 at a specific point Guide.

또한, 측면 가이드부재(115)는 내측으로 돌출부를 형성하고 있다. 내측으로 돌출된 돌출부에 의해 솔라셀 웨이퍼는 상하 방향뿐만 아니라 좌우 방향으로 이동하여 관리자가 원하는 지점으로 이동한다. 특히 측면 가이드부재(115)의 돌출부는 일면을 경사지게 형성할 수 있다. 이와 같이 측면 가이드부재(115)의 일면을 경사지게 형성함으로써 솔라셀 웨이퍼는 돌출부가 형성된 두 개의 측면 가이드부재(115)의 내부로 자연스럽게 인입된다. Further, the side surface guide member 115 forms a protrusion inward. The solar cell wafer moves in the horizontal direction as well as the vertical direction by the projection projecting inward, and the manager moves to a desired position. Particularly, the protruding portion of the side surface guide member 115 can be inclined at one side. By forming the side surface of the side guide member 115 obliquely, the solar cell wafer is naturally drawn into the two side surface guide members 115 having the protrusions.

라인 스캔 카메라(120)는 회전 테이블(105)(또는 흡착 테이블(110))로 소정 거리 이격된 지점에 위치하며, 흡착 테이블(110) 상단에 솔라셀 웨이퍼(125)가 안착되면, 안착된 솔라셀 웨이퍼(125)의 측면을 촬영한다.The line scan camera 120 is positioned at a predetermined distance from the rotary table 105 (or the suction table 110), and when the solar cell wafer 125 is placed on the upper side of the suction table 110, The side of the cell wafer 125 is photographed.

상술한 바와 같이 회전 테이블(105)은 일정 시간 간격으로 90ㅀ도 간격으로 회전하며, 이에 따라 라인 스캔 카메라(120) 역시 흡착 테이블(110) 상단에 안착된 솔라셀 웨이퍼(125)의 측면을 일정 시간 간격으로 촬영한다. The line scan camera 120 also rotates the side of the solar cell wafer 125 that is seated on the top of the suction table 110 to a constant Take pictures at time intervals.

부연하여 본 발명은 외부 서버를 포함하며, 외부 서버는 내장된 검사 프로그램과 라인 스캔 카메라(120)에서 촬영된 영상을 이용하여 솔라셀 웨이퍼(125)의 측면의 불량 여부를 검사한다. 이하에서 솔라셀 웨이퍼(125)의 측면을 검사하는 과정에 대해 알아보기로 한다.In addition, the present invention includes an external server, and the external server checks whether the side of the solar cell wafer 125 is defective by using the built-in inspection program and the image taken by the line scan camera 120. Hereinafter, a process of inspecting the side surface of the solar cell wafer 125 will be described.

도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 과정을 도시한 도면이다. 이하 도 6을 이용하여 본 발명의 일실시 예에 따른 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사하는 과정에 대해 상세하게 알아보기로 한다.6 is a view illustrating a process of inspecting a side surface of a solar cell wafer according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, a process of inspecting a side surface of a solar cell wafer according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

도 6(a)는 솔라셀 웨이퍼(125)의 측면을 촬영하기 위해 솔라셀 웨이퍼(125) 검사 시스템을 준비하는 단계이다. 도 6(a)에 의하면, 측면 가이드부재(115)는 흡착 테이블(110)의 모서리 지점에 위치하고 있으며, 흡착 테이블(110)로부터 소정 거리 이격된 지점에 라인 스캔 카메라(120)가 위치하고 있다.6 (a) is a step of preparing a solar cell wafer 125 inspection system for photographing the side surface of the solar cell wafer 125. FIG. 6A, the side guide member 115 is positioned at a corner of the suction table 110, and the line scan camera 120 is positioned at a predetermined distance from the suction table 110.

도 6(b)는 흡착 테이블(110) 상단에 솔라셀 웨이퍼(125)를 안착시키는 단계이다. 도 6(b)에 도시되어 있는 바와 같이 솔라셀 웨이퍼(125)는 흡착 테이블(110) 상단에서 측정자가 원하는 지점에 위치하고 있는 것이 아니라 해당 지점으로부터 이격된 지점에 위치한다.6 (b) is a step of placing the solar cell wafer 125 on the upper surface of the absorption table 110. As shown in FIG. 6 (b), the solar cell wafer 125 is not located at a desired point on the top of the absorption table 110, but is located at a position spaced from the corresponding point.

도 6(c)는 측면 가이드부재(115)를 이용하여 솔라셀 웨이퍼(125)의 위치를 측정자가 원하는 지점으로 이동시키는 단계이다. 도 6(c)에 도시되어 있는 바와 같이 측면 가이드부재(115)를 내측으로 이동시켜 솔라셀 웨이퍼(125)의 위치를 측정자가 원하는 지점으로 이동시킨다. 이후 흡착 테이블(110)을 이용하여 솔라셀 웨이퍼(125)를 흡착하여 고정한다.6 (c) is a step of moving the position of the solar cell wafer 125 to a desired position by using the side guide member 115. The side guide member 115 is moved inward as shown in FIG. 6 (c) to move the position of the solar cell wafer 125 to a desired position of the measurer. Then, the solar cell wafer 125 is sucked and fixed using the absorption table 110.

도 6(d)는 측면 가이드부재(115)를 원래 지점으로 이동시키는 단계이다. 흡착 테이블(110)에 의해 솔라셀 웨이퍼(125)가 흡착 테이블(110)에 고정되면 측면 가이드부재(115)는 원래 위치로 이동한다. 이후 라인 스캔 카메라(120)를 이용하여 솔라셀 웨이퍼(125)의 제1측면을 촬영한다. 상술한 바와 같이 본 발명의 멀티 라인 스캔 카메라(120)를 이용하며, 이를 통해 한 번의 촬영으로 솔라셀 웨이퍼(125)의 제1측면을 촬영한다.6 (d) is a step of moving the side guide member 115 to the original point. When the solar cell wafer 125 is fixed to the suction table 110 by the suction table 110, the side guide member 115 moves to its original position. Then, the first side of the solar cell wafer 125 is photographed using the line scan camera 120. As described above, the multi-line scan camera 120 of the present invention is used, and the first side of the solar cell wafer 125 is photographed by one shot.

도 6(e)는 회전 테이블(105)을 90ㅀ 회전시켜, 흡착 테이블(110) 상단에 안착된 솔라셀 웨이퍼(125)를 90ㅀ 회전하며, 스캔 카메라(120)를 이용하여 솔라셀 웨이퍼(125)의 제2측면을 촬영하는 단계이다. 6E shows a state in which the rotary table 105 is rotated by 90 degrees to rotate the solar cell wafer 125 seated on the upper end of the absorption table 110 by 90 degrees and the solar cell wafer 125).

이와 같이 상술한 과정을 통해 솔라셀 웨이퍼의 4측면을 모두 촬영하며, 촬영된 영상을 이용하여 솔라셀 웨이퍼의 측면을 검사한다.In this manner, all four sides of the solar cell wafer are photographed through the above-described process, and the side surface of the solar cell wafer is inspected using the photographed image.

본 발명은 도면에 도시된 일실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the scope of the present invention .

100: 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템
105: 회전 테이블 110: 흡착 테이블
115: 측면 가이드부재 120: 라인 스캔 카메라
125: 솔라셀 웨이퍼100: Solar cell wafer side inspection system
105: rotating table 110: suction table
115: Side guide member 120: Line scan camera
125: solar cell wafer

Claims (7)

설정된 각도단위로 회전하는 회전 테이블;
상기 회전 테이블 상단에 형성되며, 상단에 안착된 솔라셀 웨이퍼를 흡착하는 흡착 테이블;
상기 흡착 테이블 일측 모서리 및 일측 모서리의 맞은편 모서리 지점에 위치하며, 상기 흡착 테이블 내측으로 이동 가능한 측면 가이드부재; 및
상기 흡착 테이블로부터 소정 거리 이격된 지점에 위치하며, 상기 흡착 테이블 상단에 안착된 솔라셀 웨이퍼의 일측 측면의 전체면을 1회 촬영으로 촬영하는 라인 스캔 카메라를 포함함을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템.
A rotation table that rotates in a set angle unit;
A suction table formed at the upper end of the rotary table for sucking the solar cell wafer seated on the upper end;
A side guide member positioned at one corner of the suction table and at an opposite corner of one side edge and movable in the suction table; And
And a line scan camera which is located at a predetermined distance from the suction table and photographs the entire surface of one side of the solar cell wafer mounted on the upper side of the suction table, Inspection system.
제 1항에 있어서, 상기 회전 테이블은,
스탭 모터와 연결되며, 상기 스탭 모터로부터 제공받은 구동력에 의해 90ㅀ 간격으로 회전함을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템.
The rotary table according to claim 1,
Wherein the step motor is connected to the step motor and rotated at an interval of 90 ° by a driving force provided from the step motor.
제 1항에 있어서, 상기 측면 가이드부재는,
상기 흡착 테이블 상단에 상기 솔라셀 웨이퍼가 안착되면, 상기 흡착 테이블 내측으로 이동하여 상기 솔라셀 웨이퍼를 설정된 지점으로 이동시킴을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템.
The apparatus according to claim 1,
Wherein when the solar cell wafer is seated on the upper surface of the absorption table, the solar cell wafer moves to the inside of the absorption table to move the solar cell wafer to a set point.
제 3항에 있어서, 상기 측면 가이드부재는,
상기 솔라셀 웨이퍼가 특정 지점으로 이동되면, 상기 흡착 테이블 모서리 지점으로 이동함을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템.
4. The apparatus according to claim 3,
Wherein when the solar cell wafer is moved to a specific point, it moves to the edge of the suction table edge.
제 1항에 있어서, 상기 라인 스캔 카메라는,
적어도 2라인을 촬영하는 멀티 라인 스캔 카메라이며,
바람직하게는 16라인을 촬영하는 멀티 라인 스캔 카메라임을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템.
The apparatus of claim 1, wherein the line scan camera comprises:
A multi-line scan camera for photographing at least two lines,
Line scan camera for photographing 16 lines, preferably a multi-line scan camera.
제 5항에 있어서, 상기 라인 스캔 카메라에 의해 촬영되는 하나의 라인의 폭은 20㎛임을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템.
The system according to claim 5, wherein the width of one line taken by the line scan camera is 20 m.
제 1항에 있어서, 외부 서버를 포함하며,
상기 외부 서버는 내장된 검사 프로그램과 상기 라인 스캔 카메라에서 촬영된 영상을 이용하여 상기 솔라셀 웨이퍼의 측면의 불량 여부를 검사함을 특징으로 하는 솔라셀 웨이퍼 측면 검사 시스템.The system of claim 1, further comprising an external server,
Wherein the external server inspects whether a side of the solar cell wafer is defective by using a built-in inspection program and an image taken by the line scan camera.
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WO2021145516A1 (en) * 2020-01-15 2021-07-22 주식회사 커미조아 Inspection apparatus and inspection method for wafer edge defects
CN114460081A (en) * 2022-02-09 2022-05-10 深圳宇视嘉网络科技有限公司 Image acquisition motion control method for line scanning camera

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