KR20160047193A - 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물, 이로부터 형성되는 유기발광다이오드 쉐도우 마스크 필름 및 유기발광다이오드의 제조방법 - Google Patents

유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물, 이로부터 형성되는 유기발광다이오드 쉐도우 마스크 필름 및 유기발광다이오드의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물 및 이로부터 형성되는 유기발광다이오드 쉐도우 마스크 필름에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 형성되는 캐소드를 제조하기 위한 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물로써, 박리가 용이하고, 잔류물 및 아웃가스 함량을 최소화 할 수 있는 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물 및 이로부터 형성되는 유기발광다이오드 쉐도우 마스크 필름에 관한 것이다.

Description

유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물, 이로부터 형성되는 유기발광다이오드 쉐도우 마스크 필름 및 유기발광다이오드의 제조방법{OLED Cathode Composition for Manufacturing a Shadow Mask, OLED Shadow Mask Film Made from These Composition and Method for Manufacturing OLED}
본 발명은 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물, 이로부터 형성되는 유기발광다이오드 쉐도우 마스크 필름 및 유기발광다이오드의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 패턴을 형성하여 도포한 후에 가열하여 필름으로 변환하고, 캐소드용 금속을 증착하고 공정이 완료된 후, 용이하게 박리할 수 있는 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물, 이로부터 형성되는 유기발광다이오드 쉐도우 마스크 필름 및 유기발광다이오드의 제조방법에 관한 것이다.
최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 휴대가 가능한 저보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시소자인 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 대체하는 경량 박형 평판표시소자(Flat Panel Display : FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중심적으로 이루어지고 있다.
새로운 디스플레이 소자 중 하나인 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode : OLED) 표시소자는 자체발광형이기 때문에 상기 액정표시소자에 비해 시야각과 명암비 등이 우수하며, 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하고, 소비전력 측면에서도 유리하다. 또한, 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device : LCD)에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부 충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다.
일반적으로, 유기발광다이오드는 전자를 주입하는 음극과 정공을 주입하는 양극으로부터 이들 두 전극 사이에 개재된 유기발광층 내부로 각각 전자와 정공을 주입시켜, 주입된 전자와 정공이 결합한 엑시톤이 여기상태로부터 기저상태로 떨어질 때 발광하는 것을 이용한 표시소자이다.
이러한 유기발광다이오드 표시소자를 형성하기 위해서는 유리, 실리콘 웨이퍼와 같은 기판에 유기 증착막, 금속배선 등을 증착하여 형성하는 것이 일반적이다.
진공 증착 프로세스에서, 금속배선을 형성하는 금속물질은 배출구를 갖는 증착원에 놓여지고, 증착원은 진공이 유지되는 챔버에서 가열되어 배출구를 통해 증발된 금속물질을 방출하며, 발출된 금속물질은 기판 상에 증착된다. 이때, 원하는 패턴을 갖는 쉐도우 마스크를 이용하는 열증착법이 알려져 있다.
쉐도우 마스크를 기판과 근접하여 위치시킨 후, 상기 금속 물질을 상기 쉐도우 마스크를 통해 기판에 증착시킴으로써 패턴을 갖는 금속배선을 형성할 수 있다.
이때 사용되는 쉐도우 마스크는 동일 패턴을 형성하기 위하여 여러 번 사용이 가능하나, 일정 횟수 이상을 사용하게 되면 쉐도우 마스크 표면에 불순물이 붙어 미세패턴을 형성이 어려워지며, 원하는 패턴을 형성하기 어려워지는 문제가 발생한다.
또한, 상기 불순물을 제거하기 위하여 세척하는 경우, 많은 비용과 시간이 소비되고, 세척 과정 중 마스크가 손상되어 다시 사용하지 못하는 문제점이 있다.
또한, 기판의 크기가 대형화됨에 따라 대면적을 증착함에 있어서는 증착가능한 면적의 한계가 존재한다.
본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 도포하여 패턴을 형성한 다음, 가열을 통해 필름을 형성하고, 캐소드용 금속을 진공증착 후 캐소드가 형성되면 상기 필름을 박리하는 일회성이 있는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 상기 필름을 박리 후 전자 전달층 표면에 잔류물이 거의 남지 않고, 전자 전달층의 탈리가 없는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 상기 금속 증착 시, 진공 챔버의 진공도가 1.0 × 10-8 ~ 5.0 × 10-6 Torr를 만족함으로써, 균일한 두께로 캐소드를 형성할 수 있는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 캐소드용 금속을 진공증착 시 상기 필름으로부터 아웃가스가 거의 발생하지 않는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 초산비닐이 1 ~ 10 중량%가 포함되어 있는 폴리염화비닐계수지 공중합체를 적용함으로써, 가열을 통해 필름을 형성하고, 진공증착 후 캐소드를 형성한 후에도 변성이 없이 유연성을 유지하며, 열에 대하여 안정한 필름을 유지할 수 있는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 이용한 유기발광다이오드 쉐도우 마스크 필름을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 이용한 유기발광다이오드의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 접하여 위치하는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물에 있어서, 하기 관계식 1을 만족하는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물에 관한 것이다.
[관계식 1]
3 gf/30 ㎜ ≤ FCG ≤ 7 gf/30 ㎜
(상기 관계식 1에서, FCG는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 하기에 정의한 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 22±2℃, 40±5℃의 상대습도 조건에서 24시간 보존 후, 90°, 150 ㎜/min의 속도로 박리하여 측정된 박리강도)
[필름화 조건]
25℃에서 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 스크린 인쇄기를 이용하여 가로 370㎜, 세로 470㎜로 인쇄한 후, 150℃ 오븐에서 20분간 경화시킨 다음, 상온으로 냉각하여 80 ~ 100 ㎛의 두께의 필름제조.
상기 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 하기 관계식 2를 더 만족할 수 있다.
[관계식 2]
0.5 ppm ≤ RCG ≤ 2.5 ppm
(상기 관계식 2에서, RCG는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 상기 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 90°, 150 ㎜/min의 속도로 박리 후, 필름이 박리된 유기발광다이오드 셀을 헤드스페이스 가스크로마토그래프/질량분석기를 이용하여 100℃, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 10분 동안 체류 후 누적된 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량)
상기 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 하기 관계식 3을 더 만족할 수 있다.
[관계식 3]
1.0 × 10-8 Torr ≤ DCG ≤ 5.0 × 10-6 Torr
(상기 관계식 3에서, DCG는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 상기 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 필름이 형성된 유기발광다이오드 셀을 진공챔버에 투입하여, 100℃온도, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 10분 동안 체류 후 변화된 진공도)
상기 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 하기 관계식 4를 더 만족할 수 있다.
[관계식 4]
0.1 ppm ≤ OCG ≤ 5 ppm
(상기 관계식 4에서, 상기 OCG는 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에, 상기 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 필름이 형성된 유기발광다이오드 셀을 하드스페이스 가스크로마토그래프/질량분석기를 이용하여 100℃, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 10분 동안 체류 후 누적된 아웃가스 측정량)
상기 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 하기 관계식 5를 만족할 수 있다.
[관계식 5]
10,000 cP ≤ VCG ≤ 80,000 cP
(VCG는 브룩필드 점도계를 사용하여, 25℃조건에서 6번 spindle을 100 rpm, 5분 동안 측정한 점도 값.)
상기 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은, 폴리염화비닐계수지 공중합체, 폴리염화비닐계수지 단독중합체, 가소제, 점도조절제 및 안료를 포함할 수 있다.
상기 폴리염화비닐계수지 공중합체는 초산비닐이 1 ~ 10 중량% 포함하고, 평균중합도가 1,000 ~ 1,800, 겉보기 비중이 0.2 ~ 0.5 g/㎤, 불휘발분이 98 ~ 99.9 중량%일 수 있다.
상기 폴리염화비닐계수지 단독중합체는 평균중합도가 800 ~ 1,200, 겉보기 비중이 0.5 ~ 0.7 g/㎤, 불휘발분이 99.0 ~ 99.9 중량%일 수 있다.
상기 가소제는 디옥틸프탈레이트(DOP), 디옥틸아디페이트(DOA), 디이소노닐프탈레이트(DINP), 2-[2-[2-(2-에틸헥사노일옥시0에톡시]에톡시]에틸 2-에틸 헥사노에이트, 2-[2-[2-(페닐카보닐옥시에톡시)에톡시]에틸 2-에틸헥사노에이트 및 2-[2-(2-페닐카보닐옥시에톡시)에톡시]에틸 벤조에이트에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물을 사용할 수 있으며, 보다 구체적으로는 디옥틸프탈레이트(DOP)와 디옥틸아디페이트(DOA)의 중량비가 20 : 80 ~ 80 : 20인 혼합 가소제를 사용할 수 있다.
상기 점도조절제는 흄드 실리카, 탄소나노튜브 및 지방산금속염에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물 일 수 있다.
또한, 본 발명은 상술한 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 이용한 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 형성된 쉐도우 마스크 필름에 관한 것이다.
또한, 본 발명은
a)상술한 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 도포하여 패턴을 형성하는 단계,
b) 상기 패턴 형성 후, 경화시켜 필름을 형성하는 단계,
c) 상기 b)단계 이후, 캐소드용 금속을 증착하는 단계, 및
d) 상기 금속 증착이 완료된 후 상기 b)단계에서 형성된 필름을 박리하는 단계,
를 포함하는 유기발광다이오드의 제조방법에 관한 것이다.
상기 a)단계에서 도포는 80 ~ 100 ㎛의 두께며, b)단계에서 경화는 100 ~ 180℃에서 10 ~ 50분 동안 진행하고, c)단계에서 금속증착은 진공챔버 내 온도가 100 ~ 300℃, 진공도가 1.0 × 10-8 ~ 5.0 × 10-6 Torr인 조건에서 1 ~ 60분 동안 진행 할 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명의 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 유기발광다이오드 전자 전달층 표면 도포하여 패턴을 형성하여 도포한 다음, 가열을 통해 필름을 형성하고, 캐소드용 금속을 진공증착 후 캐소드가 형성되면 상기 필름을 쉽게 박리할 수 있다.
또한, 전자 전달층 표면에 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 원하는 부분에 도포하여 패턴을 형성함으로써, 종래 쉐도우 마스크를 이용하여 금속 증착하는 것 대비 간편함이 있다.
또한, 상기 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물로 형성된 필름은 한번 사용 후 제거가 가능하여, 종래의 쉐도우 마스크 대비 불순물을 제거하기 위한 세척시간과 비용을 절약할 수 있다.
또한, 초산비닐이 1 ~ 10 중량%가 포함되어 있는 폴리염화비닐계수지 공중합체를 적용함으로써, 가열을 통해 필름을 형성하고, 진공증착 후 캐소드를 형성한 후에도 변성이 없이 유연성을 유지하며, 열에 대하여 안정한 필름을 유지할 수 있다.
본 발명에 따른 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물로 형성된 필름은, 유기발광다이오드 전자 전달층과의 박리강도가 3 ~ 7 gf/30 ㎜, 박리 후 유기발광 다이오드 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량이 0.5 ~ 2.5 ppm이며, 전자 전달층 표면에 형성된 상기 필름은 100℃, 1.0 × 10-7 Torr진공 조건에서, 아웃가스 발생량이 0.1 ~ 5 ppm, 변화된 진공도가 1.0 × 10-8 ~ 5.0 × 10-6 Torr인 물성을 갖는다.
또한, 본 발명의 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 점도가 10,000 ~ 80,000 cP인 물성을 갖는다.
이하에서는 본 발명의 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물, 이로부터 형성되는 쉐도우 마스크 필름 및 유기발광다이오드의 제조방법에 대하여 상세히 설명한다. 또한, 본 발명의 이점 및 특징 그리고 그것들을 달성하는 방법을 실시예 및 비교예를 통하여 구체적으로 설명한다.
본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 명세서에서 사용되는 용어는 실시예 및 비교예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다.
이하는 본 발명의 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물에 관해 보다 구체적으로 설명한다.
본 발명의 관계식 1, 2, 3 및 4에서 필름의 형성은, 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 하기에 정의한 필름화 조건에 따라 필름을 형성하는 것이다.
[필름화 조건]
25℃에서 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 스크린 인쇄기를 이용하여 가로 370 ㎜, 세로 470 ㎜로 인쇄한 후, 150℃ 오븐에서 20분간 경화시킨 다음, 상온으로 냉각하여 80 ~ 100 ㎛의 두께의 필름제조.
본 발명의 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 접하여 위치하며, 하기 관계식 1을 만족한다.
[관계식 1]
3 gf/30 ㎜ ≤ FCG ≤ 7 gf/30 ㎜
(상기 관계식 1에서, FCG는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 필름을 형성하고, 22±2℃, 40±5℃의 상대습도 조건에서 24시간 보존 후, 90°, 150 ㎜/min의 속도로 박리하여 측정된 박리강도)
상기 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 필름형태로 접하여 위치하고, 상기 형성된 필름과 전자 전달층 표면의 박리강도가 상기 범위를 만족함으로써, 전자 전달층 표면에 형성된 필름을 박리 하는 경우, 전자 전달층의 유효성분의 탈리가 발생하지 않고, 박리가 용이하며, 박리 후 전자 전달층 표면에 잔류물이 남지 않아 후공정이 필요하지 않는 이유로 박리강도는 상기 범위를 만족하는 것이 바람직하다.
본 발명의 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 제한되지는 않으나, 하기 관계식 2를 더 만족할 수 있다.
[관계식 2]
0.5 ppm ≤ RCG ≤ 2.5 ppm
(상기 관계식 2에서, RCG는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 필름을 형성하고, 90°, 150 ㎜/min의 속도로 박리 후, 필름이 박리된 유기발광다이오드 셀을 헤드스페이스 가스크로마토그래프/질량분석기를 이용하여 100℃, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 10분동안 체류 후 누적된 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량)
상기 잔류물 측정량은, 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 필름을 형성하고 박리한 다음 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량으로, 잔류물 측정량이 0.5 ~ 2.5 ppm의 범위를 벗어나는 경우, 특히 잔류물 측정량이 2.5 ppm 이상인 경우 전자 전달층 표면에 헤이즈가 증가하는 문제가 발생할 수 있으며, 잔류물로 인한 후처리 공정이 복합해 지거나, 또한, 유기발광다이오드 표시소자가 작동하지 않을 수 있으므로, 잔류물 측정량이 상기 범위를 넘지 않는 것이 바람직하다.
본 발명의 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 제한되지는 않으나, 하기 관계식 3을 더 만족할 수 있다.
[관계식 3]
1.0 × 10-8 Torr ≤ DCG ≤ 5.0 × 10-6 Torr
(상기 관계식 3에서, DCG는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 필름을 형성하고, 필름이 형성된 유기발광다이오드 셀을 챔버에 투입하여, 100℃온도, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 10분 동안 체류 후 변화된 진공도)
상기 진공도는, 전자 전달층 표면에 필름이 형성된 유기발광다이오드 셀을 챔버에 투입하고, 상기 진공조건에서 10분 동안 체류 후, 변화된 진공도를 나타낸 것으로, 1.0 × 10-8 ~ 5.0 × 10-6 Torr의 범위를 만족함으로써, 균일한 두께로 캐소드를 형성할 수 있는 것에 특징이 있다. 진공도가 상기 범위를 벗어나는 경우, 캐소드 증착이나 유기물 증착이 균일하지 못하게 되고 이로 인한 소자 성능의 문제가 발생할 수 있어, 유기발광다이오드 표시소자가 작동하지 않을 수 있으므로, 상기 범위를 만족하는 것이 바람직하나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명의 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 하기 관계식 4를 더 만족할 수 있으나, 반드시 이에 제한되지는 않는다.
[관계식 4]
0.1 ppm ≤ OCG ≤ 5 ppm
(상기 관계식 4에서, 상기 OCG는 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에, 필름을 형성하고, 필름이 형성된 유기발광다이오드 셀을 하드스페이스 가스크로마토그래프/질량분석기를 이용하여 100℃, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 10분 동안 체류 후 누적된 아웃가스 측정량)
본 발명의 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은, 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 필름으로 형성되고, 상기 필름은 캐소드용 금속을 진공 증착하는 경우에도 아웃가스 발생량이 적어 유기발광다이오드 표시소자에 대해 고온 신뢰성을 제공할 수 있는 것에 특징이 있다.
본 발명의 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 점도가 10,000 ~ 80,000 cP, 바람직하게는 30,000 ~ 60,000 cP인 것이 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 적절한 두께로 필름이 형성되어 금속증착을 하기에 용이하며, 작업성이 향상될 수 있으므로 점도가 상기 범위인 것이 바람직하지만, 반드시 이에 제한되지는 않는다.
점도가 10,000 cp 미만인 경우, 적절한 쉐도우 마스크 필름을 형성하지 못하여 제조 공정 중에 박리되거나, 필름화 된 쉐도우 마스크를 박리 시에 전자 전달층의 표면에 잔류물을 남겨 후처리 공정이 복잡해지거나, 전자 절달층 표면이 손상되는 문제가 발생할 수 있으며, 점도가 80,000 cP를 초과하는 경우, 원하는 두께로 도포가 어려워 작업성이 용이하지 않고, 전자 전달층 표면을 손상시킬 수 있으므로, 상기 범위의 점도를 사용하는 것이 바람직하다.
상기 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 제한되는 것은 아니나, 구체적으로 예를 들면, 폴리염화비닐계수지 공중합체, 폴리염화비닐계수지 단독중합체, 가소제 및 점도조절제를 포함할 수 있으며, 상기 조성물의 조합으로부터, 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 도포 및 박리가 용이하며, 아웃가스의 발생을 최소화 할 수 있다.
상기 폴리염화비닐계수지 단독중합체는 CH2-CHCl로 표시되는 주사슬을 가지는 단독중합체이며, 상기 폴리염화비닐계수지 공중합체는 CH2-CHCl로 표시되는 주사슬에 에틸렌, 프로필렌, 부텐, 펜텍, 옥텐 중에서 선택되는 1종 이상의 올레핀 또는 초산비닐 단량체가 공중된 공중합체로서 당해 기술 분야에 자명하게 공지되거나 용이하게 합성할 수 있는 화합물이면 제한되지 않는다. 바람직하게는 염화비닐과 초산비닐이 공중합된 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이는 유화중합 또는 미세현탁중합으로 제조될 수 있으며, 이에 제한되지는 않는다.
특히, 쉐도우 마스크 필름에 적합한 기계적 물성을 가지며, 캐소드를 제조하는 도중에 마스킹 보호필름의 일부가 박리되는 것을 방지하기 위하여 폴리염화비닐계수지 단독중합체 및 염화비닐수지에 초산비닐이 1 ~ 10 중량% 포함된 랜덤 공중합된 폴리염화비닐계수지 공중합체를 사용하는 것이 바람직하다.
상기 폴리염화비닐계수지 공중합체는 평균중합도(DP)가 1,000 ~ 1,800인, 바람직하게는 1,300 ~ 1,700인 것을 사용하는 것이 쉐도우 마스크에 적합한 기계적 물성을 갖게 되고, 경화 후에도 쉐도우 마스크 필름을 박리하는데 용이하여 작업성이 향상될 수 있어 좋으나, 반드시 이에 제한되지는 않는다.
또한, 상기 폴리염화비닐계수지 공중합체는 겉보기 비중이 0.2 ~ 0.5 g/㎤, ASTM D3030 규격으로 130℃에서 1시간 경과 후 측정한 불휘발분이 98 ~ 99.9 중량%일 때, 가소제와의 상용성을 향상시킴으로써 균일한 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 제조할 수 있으며, 전자 전달층 표면에 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 필름을 형성한 후 박리 하는 경우 박리가 용이하여 효과적이다.
상기 폴리염화비닐계수지 단독중합체는 평균중합도(DP)가 800 ~ 1,200인, 바람직하게는 900 ~ 1,100인 것을 사용하는 것이 경화 후 전자 전달층 표면에 잔류물을 남지 않아 작업성이 향상될 수 있어 좋으나, 반드시 이에 제한되지는 않는다.
또한, 상기 폴리염화비닐계수지 단독중합체는 겉보기 비중이 0.5 ~ 0.7 g/㎤, ASTM D3030 규격으로 130℃에서 1시간 경과 후 측정한 불휘발분이 99.0 ~ 99.9 중량%일 때, 전자 전달층 표면에 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 필름을 형성하고 박리한 후, 전자 전달층 표면에 잔류물이 남는 것을 현저히 경감시킬 수 있으므로 효과적이다. 그 함량은 폴리염화비닐계수지 공중합체 100중량부에 대하여 10 ~ 20 중량부 사용하는 것이 쉐도우 마스크 필름 박리 후 전자 전달층 표면에 잔류물이 남지 않아 작업성이 향상될 수 있는 이유로 바람직하나, 반드시 이에 제한되지는 않는다.
상기 가소제는 온도범위에 상관없이 균일한 작업성 및 적절한 점도를 유지하기 위하여 사용되며, 구체적으로 예를 들면, 디옥틸프탈레이트(DOP), 디옥틸아디페이트(DOA), 디이소노닐프탈레이트(DINP), 2-[2-[2-(2-에틸헥사노일옥시0에톡시]에톡시]에틸 2-에틸 헥사노에이트, 2-[2-[2-(페닐카보닐옥시에톡시)에톡시]에틸 2-에틸헥사노에이트 및 2-[2-(2-페닐카보닐옥시에톡시)에톡시]에틸 벤조에이트에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물을 사용할 수 있으며, 보다 구체적으로는 디옥틸프탈레이트(DOP)와 디옥틸아디페이트(DOA)를 혼합하여 사용하는 것이 균일한 작업성 및 적절한 점도 유지를 위하여 바람직하나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 디옥티프탈레이트(DOP)와 디옥틸아디페이트(DOA)를 혼합하여 사용하는 경우, 중량비가 20 : 80 ~ 80 : 20의 비율이 되는 것이 저온에서도 작업을 용이하게 하고, 150℃이상에서 열처리 하여 쉐도우 마스크 필름을 형성하는 경우에도 전혀 분해되거나 손상되지 않으며, 또한, 금속염이 포함된 안정제를 포함하지 않아도 충분히 고온 안정성을 가질 수 있어, 상기 비율로 혼합하여 사용하는 것이 바람직하나, 반드시 이에 제한되는 것은 아닌다.
상기 가소제의 함량은 상기 폴리염화비닐계수지 공중합체 100중량부에 대하여 40 ~ 70 중량부 포함하는 것이 저온에서 작업성을 향상시키는데 바람직하지만, 반드시 상기 범위에 제한되는 것은 아니다.
상기 점도조절제는 유기발광다이오드의 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 도포했을 때, 퍼짐없이 균일한 두께로 형성될 수 있도록 도와주는 역할을 하는 것으로, 구체적으로 예를 들면, 흄드 실리카, 탄소나노튜브 및 지방산금속염에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물을 사용할 수 있으나, 반드시 이에 제한되지는 않는다.
구체적으로 예를 들면, 비표면적이 150 ~ 300 ㎡/g이고, 평균크기가 1 ~ 100 ㎚인 무기입자인 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 비표면적이 200 ~ 250 ㎡/g이고, 평균입경이 1 ~ 50 ㎚인 실리카 또는 탄소나노튜브인 것이 최적의 점도를 유지할 수 있으므로 효과적이다. 상기 실리카는 침강법 또는 소결법 등의 실리카 제조방법에 제한없이 상기 물성범위를 갖는다면 다양한 제조방법으로 제조된 것을 사용할 수 있으나, 보다 바람직하게는 상기 물성범위를 갖는 흄드실리카인 것이 효과적이다.
또한, 상기 탄소나노튜브는 단일벽 탄소나노튜브, 다중벽 탄소나노튜브 또는 이들의 혼합물일 수 있다.
상기 점도조절제의 함량은 상기 폴리염화비닐계수지 공중합체 100중량부에 대하여, 0.1 ~ 5 중량부 포함할 수 있으며, 상기 범위로 포함되는 것이 전자 전달층 표면에 도포 했을 때, 퍼짐없이 균일한 두께로 형성될 수 있지만, 반드시 상기 범위에 제한되는 것은 아니다.
본 발명에 따른 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 필요에 따라 겔화촉진제, blend resin, 산화방지제, 윤활제, 분산제, 소포제, 충전제, 난연제, 염료 및 안료의 군에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 첨가제를 추가로 더 포함할 수 있으나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.
상술한 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 이용한 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 형성된 유기발광다이오드 쉐도우 마스크 필름도 본 발명의 범위에 포함된다.
본 발명에 따른 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 점도가 10,000 ~ 80,000 cP이고, 상기 조성물로 형성된 필름은, 유기발광다이오드 전자 전달층과의 박리강도가 3 ~ 7 gf/30 ㎜, 박리 후 유기발광 다이오드 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량이 0.5 ~ 2.5 ppm이며, 전자 전달층 표면에 형성된 상기 필름은 100℃, 1.0 × 10-7 Torr진공 조건에서, 아웃가스 발생량이 0.1 ~ 5 ppm, 변화된 진공도가 1.0 × 10-8 ~ 5.0 × 10-6 Torr인 물성을 갖는다.
이하는 본 발명의 유기발광다이오드의 제조방법에 관해 보다 구체적으로 설명한다.
본 발명의 유기발광다이오드의 제조방법은
a) 상술한 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 도포하여 패턴을 형성하는 단계,
b) 상기 패턴 형성 후, 경화시켜 필름을 형성하는 단계,
c) 상기 b)단계 이후, 캐소드용 금속을 증착하는 단계, 및
d) 상기 금속 증착이 완료된 후 상기 b)단계에서 형성된 필름을 박리하는 단계,
를 포함한다.
본 발명은 상기 방법으로 유기발광다이오드를 제조함으로써, 원하는 부분에 캐소드용 금속을 증착할 수 있으며, 금속이 증착된 후 쉐도우 마스크 필름을 용이하게 박리할 수 있는 간편함이 있는 것에 특징이 있다.
상기 a)단계에서 도포는 25℃에서 상기 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 스크린 인쇄기를 사용하여 도포할 수 있으며, 80 ~ 100 ㎛의 두께범위로 도포하는 것이, 경화시킨 후에 박리가 용이한 이유로 효과적이다.
상기 b)단계에서 경화는 제한되는 것은 아니나, 100 ~ 180℃에서 10 ~ 50분 동안 진행하는 것이, 경화 시킨 후에 필름의 박리가 용이하며, 박리 후 전자 전달층 표면에 잔류물이 남지 않는 이유로 상기 경화조건에서 진행하는 것이 효과적이다.
상기 c)단계에서 금속증착은 100 ~ 300℃, 1.0 × 10-8 ~ 5.0 × 10-6 Torr 진공조건에서 1 ~ 60분 동안 진행 할 수 있지만, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 본 발명의 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물, 이로부터 형성되는 쉐도우 마스크 필름 및 유기발광다이오드의 제조방법을 실시예 및 비교예를 통하여 자세히 설명하고자 한다.
물성측정
1) 점도측정
상온(25℃)에서 보관한 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 BROOKFILED VISCOMETER DV-11+Pro(Brookfield사)를 사용하여 점도를 측정하였다. 6번 SPINDLE을 표시 부분까지 침지한 다음 100 rpm에서 5분동안 3회 측정하여 평균값으로 나타내었다.
2) 필름화 조건
상온(25℃)에서 유기발광다이오드 전자 전달층 상부에 20㎛ mesh를 밀착시키고 스크린 인쇄기(Flat Screen Printing Machin, 주식회사 대명테크)를 이용하여 본 발명의 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물 가로 370㎜, 세로 470㎜로 인쇄한 후, 150℃ 오븐에서 20분간 가열하여 경화시킨 다음, 상온으로 냉각하여 80 ~ 100 ㎛의 두께의 필름제조.
3) 두께 측정
제조된 필름의 두께측정은 Filmetrics 사의 Thin-Film Thickness Analyzer(F20-UVX)를 이용하여 측정하였다.
4) 박리강도
유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 상기에 정의한 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 상기 전자 전달층과 상기 필름의 박리강도를 만능인장시험기(UTM_Withlab사 WL2011)를 사용하여 측정하였다. 더욱 구체적으로는, ISO 8510-1 표준에 따라 만능인장시험기에서 150 ㎜/min에서 수행된 90°박리 실험으로부터 측정하였다. 시료 폭은 30 ㎜였으며, 20N의 로드셀을 사용하여 22℃, 상대습도 40% RH 조건에서 측정하였다.
5) 잔류물 측정량
유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 상기 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 90°박리각도, 150 ㎜/min 박리속도로 박리 후, 필름이 박리된 유기발광다이오드 셀을 헤드스페이스 가스크로마토그래프/질량분석기(Headspace GC/MS_Shimadzu,QP-2010plus)를 이용하여 100℃, 1.0 × 10-7 Torr 조건에서 10분 동안 체류 후 누적된 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량을 정량 분석하였다.
6) 진공도 변화 측정량
유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 상기 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 필름이 형성된 유기발광다이오드 셀을 진공챔버내 100℃온도, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 10분 동안 체류 후 진공챔버내의 압력 변화를 측정하여 측정량을 결정하였다.
7) 아웃가스 측정량
유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 상기 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 유기발광다이오드 셀을 헤드스페이스 가스크로마토그래프/질량분석기(Headspace GC/MS_Shimadzu,QP-2010plus)를 이용하여 100℃, 1.0 × 10-7 Torr 진공 조건에서 10분 동안 체류 후 누적된 아웃가스 측정량을 정량 분석한다.
[실시예 1]
유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물의 제조
염화비닐 96 중량%와 초산비닐 4 중량%가 공중합된 폴리염화비닐수지 공중합체(중합도 1600, 겉보기 비중 0.37 g/㎤, 불휘발분 98.5 중량%)100 중량부와, 폴리염화비닐수지 단일중합체(중합도 950, 겉보기 비중 0.59 g/㎤, 불휘발분 99.6 중량%)11 중량부, 가소제(DOP : DOA = 70 : 30 중량비)45 중량부, 점도조절제(Evonic사 Aerosil200)0.5 중량부 및 안료(일삼사 Blue)1.7 중량부를 정확하게 정량하여 용기에 넣고 Planetary Mixer를 사용하여 분말과 액체상태의 원료가 균일하게 혼합되어 점성을 띤 용액이 될 때까지 상온에서 혼합하여 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 제조하였다.
제조된 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 감압탈포기를 이용하여 기포를 제거한 다음, 점도를 측정하였으며, 결과를 표 2에 나타내었다.
유기발광다이오드 표시소자 제작
유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 20 ㎛ mesh를 밀착시키고 스크린 인쇄기(Flat Screen Printing Machine, 주식회사 대명테크)를 이용하여 상기에서 제조된 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 도포했다. 상기 조성물이 도포된 유기발광다이오드 셀을 오븐에서 150℃에서 20분간 가열하여 경화시키고, 상온으로 냉각시켜 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 쉐도우 마스크 필름을 형성하였으며, 이때 필름의 두께를 표 2에 나타내었다.
상기 쉐도우마스크 필름이 형성된 유기발광다이오드 셀을 진공챔버에 넣고, 100℃온도, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 캐소드용 금속을 증착한 후, 쉐도우 마스크 필름을 박리하여 유기발광다이오드 표시소자를 제작하였다.
상기 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 상기 쉐도우 마스크 필름을 형성한 후, 100℃온도, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 변화된 진공도와 쉐도우 마스크 필름으로부터 배출되는 아웃가스 측정량, 상기 전자 전달층 표면에서 상기 쉐도우 마스크 필름을 벗겨내는 박리강도 및 상기 필름 박리 후 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량을 하기 표 2에 나타내었다.
[실시예 2 내지 5]
하기 표 1에 나타난 바와 같이, 폴리염화비닐수지 단일중합체, 가소제, 점도조절제 및 안료의 함량을 변화시킨 것을 제외하고 상기 실시예 1과 동일하게 수행하여 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 제조하여 점도를 측정하였으며, 결과를 표 2에 나타내었다. 또한, 상기 실시예 1과 같이 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 쉐도우 마스크 필름을 형성하였으며, 이때 필름의 두께를 표 2에 나타내었다. 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 상기 쉐도우 마스크 필름을 형성한 후, 100℃온도, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 변화된 진공도와 마스크 필름으로부터 배출되는 아웃가스 측정량, 상기 전자 전달층 표면에서 상기 쉐도우 마스크 필름을 벗겨내는 박리강도 및 상기 필름 박리 후 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량을 하기 표 2에 나타내었다.
[비교예 1]
유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물의 제조
염화비닐 96 중량%와 초산비닐 4 중량%가 공중합된 폴리염화비닐수지 공중합체(중합도 1600, 겉보기 비중 0.37 g/㎤, 불휘발분 98.5 중량%)100 중량부와, 폴리염화비닐수지 단일중합체(중합도 950, 겉보기 비중 0.59 g/㎤, 불휘발분 99.6 중량%)5 중량부, 가소제(DOP : DOA = 50 : 50 중량비)30 중량부, 점도조절제(Evonic사 Aerosil200)1.7 중량부 및 안료(일삼사 Blue)1.7 중량부를 정확하게 정량하여 용기에 넣고 Planetary Mixer를 사용하여 분말과 액체상태의 원료가 균일하게 혼합되어 점성을 띤 용액이 될 때까지 상온에서 혼합하여 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 제조하였다.
제조된 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 감압탈포기를 이용하여 기포를 제거한 다음, 점도를 측정하였으며, 결과를 표 2에 나타내었다.
유기발광다이오드 표시소자 제작
유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 20 ㎛ mesh를 밀착시키고 스크린 인쇄기(Flat Screen Printing Machine, 주식회사 대명테크)를 이용하여 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 도포했다. 상기 조성물이 도포된 유기발광다이오드 셀을 오븐에서 150℃에서 20분간 가열하여 경화시키고, 상온으로 냉각시켜 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 쉐도우 마스크 필름을 형성하였으며, 이때 필름의 두께를 표 2에 나타내었다.
상기 쉐도우마스크 필름이 형성된 유기발광다이오드 셀을 진공챔버에 넣고, 100℃온도, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 캐소드용 금속을 증착한 후, 쉐도우 마스크 필름을 박리하여 유기발광다이오드 표시소자를 제작하였다.
상기 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 상기 쉐도우 마스크 필름을 형성한 후, 100℃온도, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 변화된 진공도와 쉐도우 마스크 필름으로부터 배출되는 아웃가스 측정량, 상기 전자 전달층 표면에서 상기 쉐도우 마스크 필름을 벗겨내는 박리강도 및 상기 필름 박리 후 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량을 하기 표 2에 나타내었다.
[비교예 2 내지 4]
하기 표 1에 나타난 바와 같이, 폴리염화비닐수지 단일중합체, 가소제, 점도조절제 및 안료의 함량을 변화시킨 것을 제외하고 상기 비교예 1과 동일하게 수행하여 유기발광다이오드 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 제조하여 점도를 측정하였으며, 결과를 표 2에 나타내었다. 또한, 상기 비교예 1과 같이 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 쉐도우 마스크 필름을 형성하였으며, 이때 필름의 두께를 표2에 나타내었다. 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 상기 쉐도우 마스크 필름을 형성한 후, 100℃온도, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 변화된 진공도와 마스크 필름으로부터 배출되는 아웃가스 측정량, 상기 전자 전달층 표면에서 상기 쉐도우 마스크 필름을 벗겨내는 박리강도 및 상기 필름 박리 후 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량을 하기 표 2에 나타내었다.
[표 1] 하기 표 1에서 함량은 중량부임.
Figure pat00001
[표 2]
Figure pat00002
상기 표 2에 보이는 바와 같이, 본 발명에 따른 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은 전자 전달층 표면에 패턴을 형성하고 적절한 두께로 도포가 되는 것을 확인하였다. 상기 조성물로 형성된 필름은 고온 신뢰성이 있는 것을 확인하였으며, 전자 전달층의 유효성분의 탈리가 발생하지 않고 박리가 용이한 것을 확인하였다. 또한, 박리 후 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물을 제거하기 위한 후처리 공정이 필요하지 않는 것을 알 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 균등물을 사용할 수 있으며, 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기의 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.

Claims (17)

  1. 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 접하여 위치하는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물에 있어서,
    상기 조성물은 하기 관계식 1을 만족하는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
    [관계식 1]
    3 gf/30 ㎜ ≤ FCG ≤ 7 gf/30 ㎜
    (상기 관계식 1에서, FCG는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 하기에 정의한 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 22±2℃, 40±5℃의 상대습도 조건에서 24시간 보존 후, 90°, 150 ㎜/min의 속도로 박리하여 측정된 박리강도)
    [필름화 조건]
    25℃에서 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 스크린 인쇄기를 이용하여 인쇄한 후, 150℃ 오븐에서 20분간 경화시킨 다음, 상온으로 냉각하여 80 ~ 100 ㎛의 두께의 필름제조.
  2. 제 1항에 있어서,
    [관계식 2]
    0.5 ppm ≤ RCG ≤ 2.5 ppm
    (상기 관계식 2에서, RCG는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 상기 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 90°, 150 ㎜/min의 속도로 박리 후, 필름이 박리된 유기발광다이오드 셀을 헤드스페이스 가스크로마토그래프/질량분석기를 이용하여 100℃, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 10분동안 체류 후 누적된 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에 남아있는 잔류물 측정량)
  3. 제 1항에 있어서,
    하기 관계식 3을 더 만족하는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
    [관계식 3]
    1.0 × 10-8 Torr ≤ DCG ≤ 5.0 × 10-6 Torr
    (상기 관계식 3에서, DCG는 유기발광다이오드 전자 전달층 표면에, 상기 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 필름이 형성된 유기발광다이오드 셀을 진공챔버에 투입하여, 100℃온도, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 10분 동안 체류 후 변화된 진공도)
  4. 제 1항에 있어서,
    하기 관계식 4를 더 만족하는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
    [관계식 4]
    0.1 ppm ≤ OCG ≤ 5 ppm
    (상기 관계식 4에서, 상기 OCG는 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에, 상기 필름화 조건에 따라 필름을 형성하고, 필름이 형성된 유기발광다이오드 셀을 하드스페이스 가스크로마토그래프/질량분석기를 이용하여 100℃, 1.0 × 10-7 Torr 진공조건에서 10분 동안 체류 후 누적된 아웃가스 측정량)
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 조성물은 하기 관계식 5를 만족하는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
    [관계식 5]
    10,000 cP ≤ VCG ≤ 80,000 cP
    (VCG는 브룩필드 점도계를 사용하여, 25℃조건에서 6번 spindle을 100 rpm, 5분 동안 측정한 점도 값.)
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물은, 폴리염화비닐계수지 공중합체, 폴리염화비닐계수지 단독중합체, 가소제, 점도조절제 및 안료를 포함하는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 폴리염화비닐계수지 공중합체는 초산비닐이 1 ~ 10 중량% 포함되는 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 폴리염화비닐계수지 공중합체는 평균중합도가 1,000 ~ 1,800, 겉보기 비중이 0.2 ~ 0.5 g/㎤, 불휘발분이 98 ~ 99.9 중량%인 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 폴리염화비닐계수지 단독중합체는 평균중합도가 800 ~ 1,200, 겉보기 비중이 0.5 ~ 0.7 g/㎤, 불휘발분이 99.0 ~ 99.9 중량%인 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
  10. 제 6항에 있어서,
    상기 가소제는 디옥틸프탈레이트(DOP), 디옥틸아디페이트(DOA), 디이소노닐프탈레이트(DINP), 2-[2-[2-(2-에틸헥사노일옥시)에톡시]에톡시]에틸 2-에틸 헥사노에이트, 2-[2-[2-(페닐카보닐옥시에톡시)에톡시]에틸 2-에틸헥사노에이트 및 2-[2-(2-페닐카보닐옥시에톡시)에톡시]에틸 벤조에이트에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물인 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 가소제는 디옥틸프탈레이트(DOP)와 디옥틸아디페이트(DOA)의 중량비가 20 : 80 ~ 80 : 20인 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
  12. 제 6항에 있어서,
    상기 점도조절제는 흄드 실리카, 탄소나노튜브 및 지방산금속염에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합물인 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물.
  13. 제1항 내지 제12항에서 선택되는 어느 한 항의 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 이용한 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 형성된 쉐도우 마스크 필름.
  14. a) 청구항 제1항 내지 제12항에서 선택되는 어느 한 항의 캐소드 제조용 쉐도우 마스크 조성물을 유기발광다이오드의 전자 전달층 표면에 도포하여 패턴을 형성하는 단계,
    b) 상기 패턴 형성 후, 경화시켜 필름을 형성하는 단계,
    c) 상기 b)단계 이후, 캐소드용 금속을 증착하는 단계, 및
    d) 상기 금속 증착이 완료된 후 상기 b)단계에서 형성된 필름을 박리하는 단계,
    를 포함하는 유기발광다이오드의 제조방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 a)단계에서 도포는 80 ~ 100 ㎛의 두께로 도포되는 유기발광다이오드의 제조방법.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 b)단계에서 경화는 100 ~ 180℃에서 10 ~ 50분 동안 진행하는 것인 유기발광다이오드의 제조방법.
  17. 제 14항에 있어서,
    상기 c)단계에서 금속증착은 100 ~ 300℃, 1.0 × 10-8 Torr ~ 5.0 × 10-6 Torr조건에서 1 ~ 60분 동안 진행하는 것인 유기발광다이오드의 제조방법.
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