KR20160046131A - Exposure device - Google Patents

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KR20160046131A
KR20160046131A KR1020140141608A KR20140141608A KR20160046131A KR 20160046131 A KR20160046131 A KR 20160046131A KR 1020140141608 A KR1020140141608 A KR 1020140141608A KR 20140141608 A KR20140141608 A KR 20140141608A KR 20160046131 A KR20160046131 A KR 20160046131A
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Abstract

The present invention relates to an exposure device which is used in the pattern formation, minimizes diffused light by using ultraviolet light-emitting device (UV LED) as a light source, and uniformly maintains the light shielding ratio, thereby enhancing exposure efficiency and quality. According to the present invention, the exposure device comprises: a stage on which a substrate is placed; a light module disposed separatedly from the stage so as to irradiate the stage with light; and a driving part translocating the stage or the light module in a first direction. The light module includes: a light source part comprising the UV LED which is elongated in a second direction perpendicular to the first direction and is disposed at regular intervals; and a light alignment member which is dispose between the stage and the light source part and is composed of a plurality of optical pipes elongated toward the stage so as to remove the diffused light in the light emitted from the light source part, wherein the UV LED of the light source part is disposed to face each of the optical pipe having a cross-sectional conformation in a triangle or a parallelogram one to one.

Description

노광장치{EXPOSURE DEVICE}EXPOSURE DEVICE [0002]

본 발명은 패턴 형성시 사용되는 노광장치에 관한 것으로서, 특히 UV LED를 광원으로 사용하여 확산광을 최소화시키고 광 차폐율을 일정하게 유지함으로써 노광 효율과 노광 품질이 향상되도록 한 노광장치에 관한 것이다.The present invention relates to an exposure apparatus for use in forming a pattern, and more particularly, to an exposure apparatus for minimizing diffused light by using a UV LED as a light source and maintaining the light shielding ratio constant, thereby improving exposure efficiency and exposure quality.

터치패널(Touch Panel)은 사용자의 손가락 등의 물리적 접촉을 전기적 신호로 변환하는 입력장치로서, 각종 디스플레이 장치에 폭넓게 응용되고 있다.BACKGROUND ART [0002] A touch panel is an input device for converting a physical contact of a user's finger or the like into an electrical signal, and is widely applied to various display devices.

이러한 터치패널은 동작원리에 따라 저항막 방식, 정전용량 방식, 초음파 방식, 적외선 방식 등으로 구분될 수 있으며, 최근에는 빠른 응답속도를 가진 정전용량 방식이 많이 채택되고 있다.Such a touch panel can be classified into a resistance film type, a capacitive type, an ultrasonic type, and an infrared type according to the operation principle, and recently, a capacitance type having a fast response speed is widely adopted.

한편, 터치패널은 보통 투명전극에 센싱 패턴을 형성하는 방식으로 제작되며, 이 센싱 패턴은 노광 공정을 통해 액티브 영역에 형성된다. 또, 상기 센싱 패턴은 메탈 메쉬(Metal Mesh)의 형태로 형성되기도 하는데, 이 경우에는 수 ㎛단위의 미세 패턴 공정이 필요하다. 이와 관련하여, 마스크에 조사되는 광이 평행광인 경우 수 ㎛단위의 미세 패턴을 구현할 수 있다.Meanwhile, the touch panel is usually manufactured by forming a sensing pattern on a transparent electrode, and the sensing pattern is formed in the active area through the exposure process. In addition, the sensing pattern may be formed in the form of a metal mesh. In this case, a fine pattern process of several micrometers is required. In this regard, when the light irradiated to the mask is parallel light, it is possible to realize a fine pattern of several micrometers.

센싱 패턴의 형성을 위한 노광 공정에서 사용되는 통상의 노광장치는 복수의 렌즈를 이용하여 광원에서 조사된 광의 각도를 변환시켜 평행광이 되도록 하고 있으나, 렌즈의 한계로 인해 광이 실질적으로 평행광으로 변환되지 못하고 소정의 각도로 기울어져 마스크에 조사되고 있다. 이에 따라 종래의 렌즈형 노광장치로는 미세 패턴을 형성하기가 어려운 문제가 있다. 또한, 노광 영역이 대면적인 경우 충분한 광 조사면적을 확보하기가 어려운 다른 문제가 있다.In a conventional exposure apparatus used in an exposure process for forming a sensing pattern, a plurality of lenses are used to convert the angle of the light irradiated by the light source into parallel light, but due to the limitation of the lens, It is not converted and is tilted at a predetermined angle to be irradiated to the mask. Accordingly, there is a problem that it is difficult to form a fine pattern in the conventional lens-type exposure apparatus. In addition, there is another problem that it is difficult to secure a sufficient light irradiation area when the exposure area is wide.

KR10-2011-0001889 AKR10-2011-0001889A KR10-2011-0050168 AKR10-2011-0050168A KR10-2011-0058501 AKR10-2011-0058501A KR10-2014-0030527 AKR10-2014-0030527A

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 균일한 광을 대면적에 조사할 수 있음은 물론 조사되는 평행광의 양이 증가하여 노광 효율이 향상된 노광장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art described above, and it is an object of the present invention to provide an exposure apparatus which can uniformly irradiate light to a large area, have.

또, 본 발명은 UV LED를 통해 확산광을 최소화함과 UV LED를 각 광통에 1:1로 대응시켜 노광 효율을 향상시키고 광통의 구조를 개선하여 광 차폐율을 일정하게 유지시킴으로써 노광 품질이 향상되도록 한 노광장치를 제공하는데 목적이 있다.In addition, the present invention minimizes diffused light through UV LED and improves exposure efficiency by improving the exposure efficiency by corresponding UV LED to each light 1: 1 and maintaining the light shielding rate constant to improve the exposure quality And to provide an exposure apparatus capable of reducing the exposure time.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판이 놓이는 스테이지와; 상기 스테이지와 이격 배치되어 상기 스테이지에 광을 조사하는 광모듈과; 상기 스테이지 또는 광모듈을 제1방향으로 이동시키는 구동부;를 포함하는 노광장치에 있어서,According to an aspect of the present invention, there is provided a plasma display apparatus comprising: a stage on which a substrate is placed; An optical module disposed apart from the stage to irradiate light onto the stage; And a driving unit for moving the stage or the optical module in a first direction,

상기 광모듈은, 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 연장 형성되며 일정 간격으로 배치된 UV LED가 구비된 광원부와, 상기 스테이지와 광원부 사이에 배치되어 상기 광원부에서 조사되는 광 중에서 확산광을 제거하도록 상기 스테이지를 향해 연장 형성되는 복수의 광통으로 이루어진 광정렬부재를 포함하고, 상기 광원부의 UV LED는 삼각형 또는 평행사변형 형상의 단면 형상을 갖는 각각의 광통에 1:1로 대응하도록 배치되는 것을 특징으로 한다.The optical module may include a light source unit including UV LEDs arranged at regular intervals and extending in a second direction perpendicular to the first direction and a light source unit disposed between the stage and the light source unit, Wherein the UV LEDs of the light source unit are arranged so as to correspond to 1: 1 of each light pipe having a cross-sectional shape of a triangular or parallelogram shape .

또, 본 발명의 노광장치에 따르면, 상기 광정렬부재는 일정 간격으로 이격되게 배치된 제1플레이트와 제2플레이트 사이에 톱니 형상의 요철 플레이트가 배치되어 삼각 기둥 형태의 광통을 구성하되, 상기 요철 플레이트의 꼭짓점과 마주보는 제1플레이트 또는 제2플레이트를 수직하게 연결한 가상선이 상기 제1방향과 평행하도록 한 것을 특징으로 한다.In addition, according to the exposure apparatus of the present invention, the photo alignment members are arranged in a triangular prismatic shape with a serrated irregular plate disposed between the first plate and the second plate spaced apart at regular intervals, And a virtual line formed by vertically connecting the vertex of the first plate or the second plate facing the vertex of the plate is parallel to the first direction.

또한, 본 발명의 노광장치에 따르면, 상기 광통은 1개의 밑변과 서로 길이가 동일한 2개의 측변을 포함하고, 2개의 측변이 이루는 내각의 크기가 5°∼ 60°인 이등변삼각형 형상의 단면을 갖는 것을 특징으로 한다.Further, according to the exposure apparatus of the present invention, the optical tube includes two sides having the same length as one base and has an isosceles triangle-shaped cross section having an internal angle of 5 to 60 degrees .

또, 본 발명의 노광장치에 따르면, 상기 광통의 내벽에 광흡수층이 형성된 것을 특징으로 한다.According to the exposure apparatus of the present invention, a light absorbing layer is formed on the inner wall of the optical tube.

또한, 본 발명의 노광장치에 따르면, 상기 광원부는 상기 광통에 각각 대응되는 UV LED가 구비되며 상기 제2방향으로 연장 형성된 LED바와, 상기 제2방향으로 연장 형성되어 상기 LED바를 잡아주는 홀더;를 포함하고, 상기 홀더는 UV LED에서 발생하는 열이 방출되도록 히트 싱크를 구비하는 것을 특징으로 한다.In addition, according to the exposure apparatus of the present invention, the light source unit may include an LED bar having UV LEDs corresponding to the light pipes, extending in the second direction, and a holder extending in the second direction to hold the LED bars; And the holder is provided with a heat sink for emitting heat generated from the UV LED.

또, 본 발명의 노광장치에 따르면, 상기 홀더의 히트 싱크는 상기 제2방향을 따라 관통 형성되는 복수의 구멍으로 이루어진 것을 특징으로 한다.According to the exposure apparatus of the present invention, the heat sink of the holder is formed of a plurality of holes which are formed to penetrate along the second direction.

본 발명의 노광장치는 광원으로 자외선 램프 대신 UV LED를 사용하게 되므로 광의 확산각이 작아 반사경과 집광용 렌즈를 사용하지 않아도 되고 대부분의 광이 평행광으로 전환되어 노광 효율이 향상되는 효과가 있다.Since the exposure apparatus of the present invention uses a UV LED instead of an ultraviolet lamp as a light source, the diffusing angle of light is small so that the reflector and the light-converging lens are not used, and most of the light is converted into parallel light, thereby improving the exposure efficiency.

또, 본 발명의 노광장치에 따르면, 광통의 단면이 삼각형 또는 평행사변형 형상으로 형성되어 차폐되는 광량이 일정하므로 균일한 평행광이 조사되어 노광 품질이 향상되는 효과가 있다.Further, according to the exposure apparatus of the present invention, since the cross section of the optical tube is formed into a triangular or parallelogram shape and the amount of shielded light is constant, uniform parallel light is irradiated to improve the exposure quality.

또한, 본 발명의 노광장치에 따르면, 광원부에 히트 싱크가 구비되어 광원이 과열되는 것이 방지되는 효과가 있다.In addition, according to the exposure apparatus of the present invention, a heat sink is provided in the light source unit to prevent the light source from being overheated.

도 1은 본 발명에 의한 노광장치가 개략적으로 도시된 사시도.
도 2는 본 발명의 노광장치의 변형예가 도시된 사시도.
도 3은 본 발명의 요부인 광모듈의 개념도.
도 4는 본 발명의 요부인 UV LED의 작동 개념도.
도 5는 본 발명의 요부인 UV LED에 의한 노광 형태를 나타낸 개념도.
도 6은 본 발명의 요부인 광통의 단면도.
도 7은 본 발명의 요부인 광통을 설명하기 위한 참고도.
도 8은 본 발명의 요부인 광모듈의 다른 예를 나타낸 개념도.
도 9는 도 8의 요부인 광통의 단면도.
도 10은 도 9의 광통을 설명하기 위한 참고도.
도 11은 도 6에 도시된 광통의 효과를 설명하기 위한 개념도.
도 12는 도 9에 도시된 광통의 효과를 설명하기 위한 개념도.1 is a perspective view schematically showing an exposure apparatus according to the present invention.
2 is a perspective view showing a modification of the exposure apparatus of the present invention.
3 is a conceptual diagram of an optical module which is a main part of the present invention.
4 is a conceptual diagram illustrating the operation of a UV LED which is a main part of the present invention.
5 is a conceptual view showing an exposure pattern by a UV LED which is a main part of the present invention.
6 is a sectional view of a main part of the present invention.
FIG. 7 is a reference diagram for explaining a main part of the present invention. FIG.
8 is a conceptual view showing another example of an optical module which is a main part of the present invention.
9 is a cross-sectional view of the main part of Fig.
Fig. 10 is a reference diagram for explaining the light tunnel of Fig. 9; Fig.
11 is a conceptual diagram for explaining the effect of the light tunnel shown in Fig.
12 is a conceptual diagram for explaining the effect of the light tunnel shown in Fig.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 노광장치에 대하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an exposure apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 의한 본 발명의 노광장치는 도 1 내지 5에 도시된 바와 같이, 대면적 기판(S)이 놓이는 스테이지(200)와; 상기 스테이지(200)와 이격 배치되고 마스크(M)를 사이에 두고 상기 스테이지(200)에 광을 조사하는 광모듈(100)과; 상기 스테이지(200) 또는 광모듈(100)을 제1방향(D, X축 방향)으로 이동시키는 구동부(300);를 포함하여 이루어진다.As shown in FIGS. 1 to 5, the exposure apparatus of the present invention according to the present invention includes a stage 200 on which a large-area substrate S is placed; An optical module 100 spaced apart from the stage 200 and irradiating light to the stage 200 with a mask M therebetween; And a driving unit 300 for moving the stage 200 or the optical module 100 in a first direction (D, X axis direction).

여기서, 상기 광모듈(100)은, 상기 제1방향(D)과 수직한 제2방향(Y축 방향)으로 연장 형성되며 일정 간격으로 배치된 UV LED(111')가 구비된 광원부(110)와, 상기 스테이지(200)와 광원부(110) 사이에 배치되어 상기 광원부(110)에서 조사되는 광 중에서 확산광을 제거하도록 상기 스테이지(200)를 향해 연장(Z축 방향) 형성되는 복수의 광통(141)으로 이루어진 광정렬부재(140)와, 상기 광통(141)을 통과한 광을 평행광으로 변화시키는 프레넬 렌즈(150)를 포함한다. 이때, 상기 광원부(110)의 UV LED(11')는 삼각형 형상의 단면 형상을 갖는 각각의 광통(141)에 1:1로 대응하도록 배치되어야 함은 당연하다. 그리고, 상기 프레넬 렌즈(150) 역시 상기 광통(141)에 1:1로 대응하도록 배치되는 것이 바람직하며, 상기 광통(141)의 하단에 상기 프레넬 렌즈(150)가 일체로 결합되는 것이 더욱 바람직하다.The optical module 100 includes a light source 110 having a UV LED 111 'extending in a second direction (Y-axis direction) perpendicular to the first direction (D) (Z-axis direction) formed between the stage 200 and the light source unit 110 so as to remove diffused light from the light emitted from the light source unit 110, And a Fresnel lens 150 for converting the light passing through the optical tube 141 into parallel light. At this time, it is needless to say that the UV LED 11 'of the light source unit 110 should be arranged to correspond to each of the optical tubes 141 having a triangular cross-sectional shape at a ratio of 1: 1. It is preferable that the Fresnel lens 150 is arranged to correspond to the optical tube 141 at a ratio of 1: 1, and that the Fresnel lens 150 is integrally coupled to the lower end of the optical tube 141 desirable.

그리고, 상기 광원부(110)는 도 3과 4에 도시된 바와 같이, 상기 광통(141)에 각각 대응되는 UV LED(111')가 구비되며 상기 제2방향으로 연장 형성된 LED바(111)와, 상기 제2방향으로 연장 형성되어 상기 LED바(111)를 잡아주는 홀더(112);를 포함하여 이루어진다.3 and 4, the light source unit 110 includes an LED bar 111 having a UV LED 111 'corresponding to the optical tube 141 and extending in the second direction, And a holder 112 extending in the second direction and holding the LED bar 111.

이때, 상기 홀더(112)는 UV LED(111')에서 발생하는 열이 방출되도록 히트 싱크를 구비하는 것이 바람직하고, 상기 홀더(112)의 히트 싱크는 상기 제2방향을 따라 관통 형성되는 복수의 구멍(113)으로 이루어질 수 있다. 이에 따라 상기 UV LED(111')의 동작에 따라 발생한 열이 상기 홀더(112)에 형성된 구멍(113)으로 유동하는 공기에 의해 조기에 방출된다.In this case, the holder 112 preferably includes a heat sink for emitting heat generated from the UV LED 111 ', and the heat sink of the holder 112 may include a plurality of Hole 113, as shown in Fig. Accordingly, the heat generated according to the operation of the UV LED 111 'is emitted early by the air flowing into the hole 113 formed in the holder 112.

상기 UV LED(111')는 도 4와 같이, 광의 확산각이 대략 120°정도인 LED로서, 프레넬 렌즈의 초점거리(f)에 배치된다. 이에 따라 UV LED(111')의 빛이 프레넬 렌즈까지는 확산하다가 프레넬 렌즈에 의해 직각으로 꺾여 평행광으로 조사된다. 그리고, 상기 UV LED(111')는 면광원으로서 선광원으로 작용하는 기존의 자외선 램프와는 달리 반사부재를 필요로 하지 않는 장점이 있다.The UV LED 111 'is an LED having a light diffusion angle of about 120 °, as shown in FIG. 4, and is disposed at a focal length f of the Fresnel lens. Accordingly, the light of the UV LED 111 'is diffused to the Fresnel lens, and then is bent at a right angle by the Fresnel lens and is irradiated as parallel light. In addition, the UV LED 111 'has an advantage that a reflective member is not required unlike an existing ultraviolet lamp that functions as a source of light as a surface light source.

한편, 상기 광통(141)의 내벽에는 광흡수층(143)이 형성되는 것이 바람직하며, 상기 광흡수층(143)은 광을 흡수하는 물질을 포함할 수 있다. 상기 광통(141)에 입사되는 광 중에서 광 경로(L1)와 소정 각도 이상의 각도를 갖는 광(L3)은 광흡수층(143)에 흡수되고, 광 경로(L1)와 소정 각도 이하의 각도를 갖는 광(L2)은 광통(141)의 내부 공간(142)을 통과한다. 따라서, 실질적으로 광 경로와 평행한 광만을 마스크(M)에 조사할 수 있다.On the other hand, a light absorbing layer 143 is preferably formed on the inner wall of the optical tube 141, and the light absorbing layer 143 may include a light absorbing material. The light L3 having an angle greater than or equal to a predetermined angle with respect to the light path L1 is absorbed by the light absorbing layer 143 and the light L3 having an angle smaller than the predetermined angle with the light path L1 (L2) passes through the inner space (142) of the optical tube (141). Therefore, only the light that is substantially parallel to the optical path can be irradiated to the mask M. [

여기서, 광 경로(L1)란 광원(111)과 마스크(M) 사이의 가장 짧은 직선으로 정의할 수 있으며, 소정 각도는 상기 광통(141)의 면적 및 길이에 따라 조절될 수 있다. 즉, 상기 광통(141)의 면적이 좁게 형성되거나 길이가 길어질수록 각도가 작아지게 되어 출사광의 평행도가 증가한다. 하지만, 상기 광통(141)의 면적이 너무 좁거나 길이가 길어지면 출사되는 광량이 감소하게 되고 제조비용이 상승하므로, 그 폭과 길이를 적절하게 제어할 필요가 있다.Here, the optical path L1 can be defined as a shortest straight line between the light source 111 and the mask M, and the predetermined angle can be adjusted according to the area and length of the optical tube 141. [ That is, as the area of the optical tube 141 is narrowed or the length becomes longer, the angle becomes smaller, and the parallelism of the emitted light increases. However, if the area of the optical tube 141 is too narrow or the length of the optical tube 141 is too long, the quantity of emitted light decreases and the manufacturing cost increases. Therefore, it is necessary to appropriately control the width and the length.

구체적으로, 상기 광통(141)은 상기 광원부(110)에서 방출된 산란광을 효과적으로 제거할 수 있도록 길이(L) 20∼100㎜, 폭(W) 20∼60㎜로 형성된다.Specifically, the optical tube 141 has a length L of 20 to 100 mm and a width W of 20 to 60 mm so as to effectively remove scattered light emitted from the light source 110.

상기 광정렬부재(140)는 도 6 내지 7과 같이, 일정 간격으로 이격되게 배치된 제1플레이트(144a)와 제2플레이트(144b) 사이에 톱니 형상으로 형성된 요철 플레이트(145)가 배치되어 삼각 기둥 형태의 광통(141)을 구성하도록 할 수 있다. 이 경우 상기 요철 플레이트(145)의 꼭짓점과 마주보는 제1플레이트(144a) 또는 제2플레이트(144b)를 수직하게 연결한 가상선(V1)이 상기 제1방향과 평행하도록 하여야 한다.As shown in FIGS. 6 to 7, the photo aligning member 140 is provided with a serrated plate 145 formed between the first plate 144a and the second plate 144b spaced apart from each other at regular intervals, The columnar-shaped optical tube 141 can be configured. In this case, the imaginary line V 1 connecting the vertex of the corrugated plate 145 and the first plate 144a or the second plate 144b facing each other should be parallel to the first direction.

그리고, 상기 광통(141)은 1개의 밑변(F1)과 서로 길이가 동일한 2개의 측변(F2)(F3)을 포함하고, 이들 2개의 측변(F2)(F3)이 이루는 내각(θ1)의 크기가 5°∼ 60°인 이등변삼각형 형상의 단면을 갖는 것이 바람직하다. 이 경우 하나의 측변(F2)과 밑변(F1)이 이루는 내각인 제2각도(θ2)는 60°보다 크고 90°보다 작아지게 된다. 또, 상기 밑변(F1)의 폭은 20 내지 60㎜인 것이 바람직하며, 대략 40㎜인 것이 더욱 바람직하다. 또, 상기 광통(141)은 정삼각형 형상의 단면을 갖더라도 무방하다.The optical tube 141 includes two side faces F 2 and F 3 having the same length as the base side F 1 and an interior angle formed by the two side faces F 2 and F 3 sectional shape of an isosceles triangle shape having an angle? 1 of 5 to 60 degrees. In this case, the second angle? 2, which is the internal angle formed by one side F 2 and the base F 1 , is larger than 60 ° and smaller than 90 °. In addition, the width of the base line (F 1 ) is preferably 20 to 60 mm, more preferably 40 mm. In addition, the optical tube 141 may have an equilateral triangular cross section.

한편, 상기 광정렬부재(140)는 도 8 내지 10과 같이, 평행사변형 형상의 광통(146)으로 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 광정렬부재(140)는 일정 간격으로 이격되게 배치된 제1플레이트(147a)와 제2플레이트(147b) 사이에 일정 각도로 기울어진 복수 개의 서브 플레이트(148)가 배치되어 평행사변형 형상의 광통(146)을 구성하도록 하는 것이다. 이 경우 상기 광통(146)의 평행사변형 형상은 두 개의 수평면(F5)과 두 개의 경사면(F4)을 갖게 되는데, 어느 하나의 수평면(F5)과 경사면(F4)이 이루는 각도(θ3)는 45°인 경우, 나머지 하나의 수평면(F5)과 경사면(F4)이 이루는 각도(θ4)는 135°가 된다.Meanwhile, the light aligning member 140 may be formed of a parallelogram-shaped optical tube 146 as shown in FIGS. In this case, the plurality of sub-plates 148, which are inclined at a predetermined angle, are disposed between the first plate 147a and the second plate 147b which are spaced apart from each other by a predetermined distance, Thereby forming the optical tube 146 of FIG. In this case, the gwangtong 146 parallelogram shape with two horizontal surfaces (F 5) and there is to have two inclined surfaces (F 4), any one of a horizontal plane (F 5) and the slope (F 4) the angle (θ3 of Is 45 degrees, the angle? 4 formed by the other one horizontal surface F 5 and the inclined surface F 4 is 135 °.

여기서, 상기 광통(141)(146)을 삼각형 또는 평행사변형 형상으로 형성하는 이유는, 광량을 일정하게 유지하기 위해서이다. 즉, 광통(141)(146)의 구조로 인해 일정 부분의 광이 차폐되더라도 균일한 광을 조사하도록 하는 것이다.Here, the reason why the optical tubes 141 and 146 are formed in a triangular or parallelogram shape is to keep the amount of light constant. That is, due to the structure of the optical tubes 141 and 146, uniform light is irradiated even if a certain portion of light is shielded.

도 11을 참고하면, 삼각 형상의 광통(141)은 외곽부(요철 플레이트의 두께)에서 광을 차폐하게 되므로, 상기 요철 플레이트(145)의 두께를 최소화함으로써 광 차폐율을 최소화할 수 있다. 그러나, 소정의 강도를 유지하기 위해서 상기 요철 플레이트(145)가 최소한의 두께를 가져야 하므로, 일정부분 광을 차폐할 수밖에 없다. 하지만, 상기한 삼각 형상의 광통(141)이 적용될 경우, 광모듈(100)이 제1방향(D)으로 슬라이딩되더라도 상기 요철 플레이트(145)에 의해 차폐되는 면적(A1)은 항상 일정하게 유지된다. 따라서, 광이 조사되는 제1면적(a1+a2)은 이웃한 제2면적(a3)과 동일하므로 스테이지(200)에 균일한 광을 조사할 수 있게 된다.Referring to FIG. 11, since the triangular-shaped optical tube 141 shields light at the outer portion (the thickness of the uneven plate), the light shielding rate can be minimized by minimizing the thickness of the uneven plate 145. However, since the concavoconvex plate 145 must have a minimum thickness in order to maintain a predetermined strength, it is inevitable to shield a certain part of the light. However, when the triangular optical tube 141 is applied, the area A1 shielded by the uneven plate 145 is always kept constant even if the optical module 100 is slid in the first direction D . Therefore, the first area a1 + a2 to which the light is irradiated is the same as the second area a3, which is neighboring, so that uniform light can be irradiated onto the stage 200. [

또, 도 12과 같이 평행 사변형 형상의 광통(146) 역시 서브 플레이트(148)에 의해 차폐되는 면적(A2)이 항상 일정하므로 광이 조사되는 제1면적(a4)은 이웃한 제2면적(a5)과 동일하다. 따라서, 균일한 광을 조사할 수 있다. 이때, 이웃한 광통(146)의 꼭짓점(P2)(P3)을 연결한 가상선은 광모듈(100)이 이동하는 제1방향(D)과 평행할 수 있다.12, since the area A2 shielded by the sub-plate 148 is always constant, the first area a4 to which the light is irradiated is smaller than the second area a5 ). Therefore, uniform light can be irradiated. At this time, the imaginary line connecting the vertexes P 2 and P 3 of the adjacent optical tube 146 may be parallel to the first direction D in which the optical module 100 moves.

하지만, 상기 광통(141)(146)의 외곽부를 제1방향(D)과 평행하게 배치하게 되면 외곽부에 대응하는 영역이 항상 차폐되는 문제가 발생하게 되고, 외곽부의 기울기가 동일하지 않거나 외곽부가 원형인 경우에는 광모듈의 진행 방향에 따라 조사되는 광량에 차이가 있게 된다. 그리고, 이러한 광량의 차이는 패턴이 불균일하게 형성되는 이유가 되므로, 상기 광통(141)(146)의 단면 형상이 삼각형 또는 평행사변형 형상이 되도록 하는 것이다.However, if the outer portions of the optical tubes 141 and 146 are disposed in parallel with the first direction D, there is a problem that the regions corresponding to the outer portions are always shielded. If the slopes of the outer portions are not the same, In the case of the circular shape, there is a difference in the amount of light irradiated according to the traveling direction of the optical module. The difference in the amount of light is a reason why the pattern is formed unevenly, so that the sectional shape of the optical tubes 141 and 146 is a triangular or parallelogram shape.

상기와 같이 구성된 본 발명의 노광장치는 구동부(300)에 의해 광모듈(100)이 제1방향으로 이동하면서 상기 광모듈(100)에서 조사된 평행광이 마스크(M)에 의해 선택적으로 기판(S)에 조사되도록 함으로써, 조사 영역과 비조사 영역 사이의 노광 차에 의해 상기 기판(S)에 전극패턴이 형성되도록 한다.In the exposure apparatus of the present invention configured as described above, the parallel light irradiated from the optical module 100 is selectively transferred to the substrate (M) by the mask M while the optical module 100 moves in the first direction by the driving unit 300 S so that the electrode pattern is formed on the substrate S by an exposure difference between the irradiated area and the non-irradiated area.

이상으로 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위한 몇 가지 실시 예들과 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 이와 같이 설명된 그대로의 구성 및 작용에만 국한되는 것이 아니며, 특허청구범위에 기재된 기술적 사상의 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대해 다수의 변경 및 수정이 가능함을 통상의 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be appreciated by those of ordinary skill in the art that numerous changes and modifications can be made to the invention without departing from the spirit and scope of the invention. And all such modifications and changes as fall within the scope of the present invention are therefore to be regarded as being within the scope of the present invention.

100...광모듈
110...광원부
111...LED 바
111'...UV LED
112...홀더
113...구멍
140...광정렬부재
141....광통
142...내부 공간
143...광흡수층
144a, 114b...플레이트
145...요철 플레이트
146....광통
144147a, 147b...플레이트
148...서브 플레이트
150...프레넬 렌즈
200...스테이지
300...구동부
S...대면적 기판
M...마스크100 ... optical module
110 ... light source
111 ... LED bar
111 '... UV LED
112 ... Holder
113 ... hole
140 ... photo-
141 .... Lightwave
142 ... interior space
143 ... light absorbing layer
144a, 114b ... plate
145 ... uneven plate
146 .... Lightwave
144147a, 147b ... plate
148 ... sub-plate
150 ... Fresnel lens
200 ... stage
300 ... driver
S ... large area substrate
M ... Mask

Claims (6)

기판이 놓이는 스테이지와; 상기 스테이지와 이격 배치되어 상기 스테이지에 광을 조사하는 광모듈과; 상기 스테이지 또는 광모듈을 제1방향으로 이동시키는 구동부;를 포함하는 노광장치에 있어서,
상기 광모듈은, 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 연장 형성되며 일정 간격으로 배치된 UV LED가 구비된 광원부와, 상기 스테이지와 광원부 사이에 배치되어 상기 광원부에서 조사되는 광 중에서 확산광을 제거하도록 상기 스테이지를 향해 연장 형성되는 복수의 광통으로 이루어진 광정렬부재를 포함하고,
상기 광원부의 UV LED는 삼각형 또는 평행사변형 형상의 단면 형상을 갖는 각각의 광통에 1:1로 대응하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치.A stage on which a substrate is placed; An optical module disposed apart from the stage to irradiate light onto the stage; And a driving unit for moving the stage or the optical module in a first direction,
The optical module may include a light source unit including UV LEDs arranged at regular intervals and extending in a second direction perpendicular to the first direction and a light source unit disposed between the stage and the light source unit, And a plurality of light tubes extending toward the stage to remove the light,
Wherein the UV LEDs of the light source unit are disposed so as to correspond to the respective optical tubes having a cross-sectional shape of a triangular or parallelogram shape at a ratio of 1: 1. 제1항에 있어서,
상기 광정렬부재는 일정 간격으로 이격되게 배치된 제1플레이트와 제2플레이트 사이에 톱니 형상의 요철 플레이트가 배치되어 삼각 기둥 형태의 광통을 구성하되,
상기 요철 플레이트의 꼭짓점과 마주보는 제1플레이트 또는 제2플레이트를 수직하게 연결한 가상선이 상기 제1방향과 평행하도록 한 것을 특징으로 하는 노광장치.The method according to claim 1,
Wherein the photo alignment member comprises a serration-like concave-convex plate disposed between the first plate and the second plate so as to be spaced apart from each other by a predetermined distance,
Wherein an imaginary line connecting a vertex of the vertex of the concavo-convex plate and a vertically opposed first or second plate is parallel to the first direction. 제1항에 있어서,
상기 광통은 1개의 밑변과 서로 길이가 동일한 2개의 측변을 포함하고, 2개의 측변이 이루는 내각의 크기가 5°∼ 60°인 이등변삼각형 형상의 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.The method according to claim 1,
Wherein the optical tube includes two sides having the same length as one base and has an isosceles triangle-shaped cross section having an interior angle of 5 to 60 degrees formed by the two sides. 제1항에 있어서,
상기 광통의 내벽에 광흡수층이 형성된 것을 특징으로 하는 노광장치.The method according to claim 1,
Wherein a light absorbing layer is formed on the inner wall of the optical tube. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광원부는 상기 광통에 각각 대응되는 UV LED가 구비되며 상기 제2방향으로 연장 형성된 LED바와, 상기 제2방향으로 연장 형성되어 상기 LED바를 잡아주는 홀더;를 포함하고,
상기 홀더는 UV LED에서 발생하는 열이 방출되도록 히트 싱크를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the light source unit comprises a LED bar having UV LEDs corresponding to the optical tubes extending in the second direction and a holder extending in the second direction to hold the LED bars,
Wherein the holder comprises a heat sink for emitting heat generated from the UV LED. 제5항에 있어서,
상기 홀더의 히트 싱크는 상기 제2방향을 따라 관통 형성되는 복수의 구멍으로 이루어진 것을 특징으로 하는 노광장치.6. The method of claim 5,
And the heat sink of the holder is formed of a plurality of holes formed through the second direction.
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