KR20160038104A - The fixing apparatus for a gas piping - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 가스배관용 피팅 고정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 가스배관을 연결하는 2개의 피팅부재가 동시에 수용되도록 하여 외부의 충격 또는 유동에 의한 피팅부재의 풀림을 방지하고, 결합의 용이성과 표면에 돌출부위를 갖지 않도록 하여 작업자의 안전이 담보되도록 하는 반도체 가스배관용 피팅 고정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fitting device for a semiconductor gas pipe, and more particularly, to a fitting device for a semiconductor gas pipe, which is capable of simultaneously accommodating two fitting members for connecting gas pipes to prevent the fitting member from being loosened by external impact or flow, And a protruding portion on the surface of the semiconductor piping so as to ensure the safety of the operator.
일반적으로 반도체를 생산하는 공정은 크게 나누면 증착(deposition), 이온주입(ion injection), 포토리소그라피(photo lithography), 식각(etch), 세정(cleaning) 등이 여러 번 반복되는 것으로 이루어진다.Generally, the process of producing a semiconductor is roughly divided into several processes such as deposition, ion injection, photo lithography, etch, and cleaning.
상기 공정 중에 가스가 필요한 공정은 플라즈마 즉 이온화된 상태의 기체를 이용하는 것으로 Ar, SiH4, N2O,PH3, SF6, Cl, O2 등의 다양한 기체가 사용되고 있으며, 이러한 기체 즉 가스의 경우 제도원가가 상당히 고가인 것이 대부분이며 또 누출이 되면 인체에 치명적인 영향을 주는 기체도 포함되어 있다.In this process, various gases such as Ar, SiH4, N2O, PH3, SF6, Cl, and O2 are used. In the case of such gas or gas, the system cost is considerably high And most of them contain gases that are fatal to the human body.
따라서 가스를 공급하는 배관 계통은 지면 또는 벽면에 견고하게 고정되어 내부 가스의 흐름에 따른 진동과 외부에서의 충격에도 견딜 수 있는 내구성을 가지도록 하였다.Therefore, the piping system for supplying the gas is firmly fixed to the ground or the wall surface, so that it has the durability to withstand the vibration due to the flow of the internal gas and the external impact.
그러나, 각 배관과 배관의 연결부분 또는 밸브와의 연결부와 같은 곳은 피팅부재 즉 결합을 위하여 형성된 부재가 진동 및 충격에 의하여 상기 피팅부재가 회전을 하여 결합부분이 약해질 우려가 있으나 이를 방지하기 위한 수단은 구비되지 않고 있다.However, in a place such as a connecting portion of each pipe and a pipe or a connecting portion with a valve, a fitting member, that is, a member formed for coupling, may rotate due to vibration and impact, There is no provision for the above.
도 1에는 상기의 문제를 해결하기 위해 국내공개실용신안 제20-2014-0000250호에는, 일측 배관(1a)의 끝단에는 내주면에 나사산이 형성되고 외면이 육각기둥 형상의 제1 피팅부재(2a)가 형성되고, 타측 배관(1b)의 끝단은 상기 제1 피팅부재(2a)와 결합하며 외경 일부가 육각기둥 형상을 가지는 제2 피팅부재(2b)가 형성되어 상호 결합하는 반도체 가스배관의 피팅의 회전을 방지하도록 하는 반도체 가스배관의 피팅 고정부재에 있어서; 일측 끝단에 인접하여 수직 관통되는 관통홀(31)이 형성되고, 상기 제1 또는 제2 피팅부재(2a, 2b)의 외면을 상부로 볼록한 형상으로 감싸면서 타측으로 연장되며 폭이 단턱지게 축소되어 형성되는 한 쌍의 가이드홈(32)과 다시 단턱지게 확장되는 결합돌기(33)를 구비하는 상부 고정부재(3)와; 일측 끝단에 인접하여 상기 관통홀(31)에 상응하여 고정볼트(41)에 의하여 결합되도록 나사홀(42)이 형성되고, 상기 제1 또는 제2 피팅부재(2a, 2b)의 외면을 하부로 볼록한 형상으로 감싸면서 타측으로 연장되며, 타측 끝단 중앙은 움푹 파여 상기 한 쌍의 가이드홈(32)에 의하여 형성된 부분이 삽입되고 상기 결합돌기(33)가 걸리도록 형성되는 결합홈(43)이 형성되며, 상기 제1 및 제2 피팅부재(2a, 2b) 중 어느 하나를 감싸며 상기 상부 고정부재(3)과 결합 고정되며 결합되지 않은 상기 제1 또는 제2 피팅부재(2a, 2b)의 방향으로 연장된 후 양측이 상기 외면의 육각기둥면 중 각각 반대 측면에 밀착되어 회전을 방지하도록 하는 보조 고정부(44)가 일체로 연결되는 하부 고정부재(4)로 구성된 반도체 가스배관의 피팅 고정부재가 개재되어 있다.In order to solve the above problem, in Korean Utility Model Application No. 20-2014-0000250, a
그러나 상기의 반도체 가스배관의 피팅 고정부재는, 가스배관의 연결부에 위치한 피팅부재에 상.하부 고정부재를 결합하여 피팅부재의 회전이 방지되도록 함으로써 가스누출 피해를 예방하지만, 다음과 같은 문제가 있다.However, the fitting fixing member of the semiconductor gas piping prevents the damage of the gas leakage by preventing the fitting member from rotating by engaging the upper and lower fixing members to the fitting member located at the connection portion of the gas piping, but the following problems .
첫째, 상.하부 고정부재가 한 쌍으로 구성되며 상.하부 고정부재를 결합하기 위해서 상부 고정부재의 가이드홈과 하부 고정부재의 결합홈을 반드시 상호 결합시킨 상태에서 고정볼트를 통해 결합하기 때문에 작업이 불편하고 결합과정이 복잡하다.First, since the upper and lower fixing members are composed of a pair and the coupling grooves of the upper fixing member and the lower fixing member are always coupled with each other through the fixing bolts in order to join the upper and lower fixing members, This inconvenience and complexity of the coupling process.
둘째, 상.하부 고정부재가 판 상으로 프레스에 의해 형성됨에 따라 외형의 변형이 쉽게 이루어지며, 이 경우 상.하부 고정부재의 고정상태가 느슨해져 외부의 출격 또는 진동에도 제1,2 피팅부재가 쉽게 풀리게 되는 치명적인 문제가 있다.Second, since the upper and lower fixing members are formed in a plate shape by the press, deformation of the outer shape is easy. In this case, the fixed state of the upper and lower fixing members is loosened, There is a fatal problem that is easily released.
셋째, 고정볼트가 결합되는 부위와 결합홈과 결합돌기가 형성된 부위가 외측으로 돌출된 상태이기 때문에 작업자들의 이동에 따른 안전을 위협하는 문제가 있다.Third, there is a problem that safety due to movement of workers is threatened because a portion where the fixing bolts are coupled and a portion where the coupling grooves and the coupling protrusions are formed protrude outward.
넷째, 하부 고정부재로부터 연장된 보조 고정부가 결합이 완료된 제1 또는 제2 피팅부재의 육각기둥면 중 어느 하나의 육각기둥면을 수용하기 때문에 육각기둥의 최종형태에 따라 상.하부 고정부재의 방향성이 달라져 이 또한 작업자의 안전에 위협을 주는 문제가 있다. 즉, 육각기둥면의 회전방향에 맞게 보조 고정부의 양단부에 마주하게 형성된 한 쌍의 날개편 사이로 육각기둥을 수용하기 때문이다.Fourth, since the auxiliary fixing portion extending from the lower fixing member accommodates any one of the hexagonal columnar surfaces of the first or second fitting member, the directionality of the upper and lower fixing members changes depending on the final shape of the hexagonal column This also poses a threat to the safety of workers. That is, the hexagonal column is accommodated between the pair of blade pieces formed opposite to the both end portions of the auxiliary fixing portion in accordance with the rotation direction of the hexagonal columnar surface.
본 발명은 상기와 같은 문제점 및 기술적 편견을 해소하기 위해 안출된 것으로, 가스배관을 연결하는 2개의 피팅부재가 동시에 수용되도록 하여 외부의 충격 또는 유동에 의한 피팅부재의 풀림을 방지하고, 결합의 용이성과 표면에 돌출부위를 갖지 않도록 하여 작업자의 안전이 담보되도록 하는 반도체 가스배관용 피팅 고정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above problems and to solve the technical problem of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a gas piping system in which two fitting members connecting gas pipes are simultaneously accommodated, And it is an object of the present invention to provide a fitting device for a semiconductor gas pipe which ensures safety of an operator by not having a protruding portion on a surface thereof.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 가스배관용 피팅 고정장치는, 제1배관이 관통하여 구비되며 내주면에 나사산이 형성되고 외면이 다각기둥 형상을 갖는 제1피팅부재와, 제2배관이 관통하여 구비되며 선단이 상기 제1피팅부재에 나선결합되고 후단에 외면이 다각기둥 형상을 갖는 제2피팅부재로 구성된 피팅부재;의 외주면을 수용하여 상기 제1,2피팅부재가 회전되는 것을 방지하는 반도체 가스배관용 피팅 고정장치에 있어서, 원통의 링 형상으로 상기 피팅부재가 수용되도록 내측이 개구된 고정헤드; 상기 고정헤드의 일측에 형성되며, 상기 고정헤드를 관통하는 상기 제1피팅부재를 수용하여 회전이 방지되도록 상기 제1피팅부재의 외면과 대응하는 형상으로 소정깊이로 단턱지게 형성된 제1수용단; 상기 고정헤드의 타측에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 고정헤드를 관통하는 상기 제2피팅부재의 다각기둥의 모서리들을 수용하여 상기 제2피팅부재의 회전을 방지하는 스톱퍼; 및 상기 고정헤드의 타측에 형성되며, 상기 스톱퍼가 수용될 수 있도록 소정깊이로 단턱지게 형성된 제2수용단;을 포함하여 구성되는 것에 특징이 있다.In order to achieve the above object, a fitting device for a semiconductor gas piping according to the present invention comprises: a first fitting member having a first pipe, a first fitting member having an inner peripheral surface formed with threads and an outer surface having a polygonal columnar shape, And a second fitting member having a front end connected to the first fitting member and a rear end having a polygonal prismatic shape, the first fitting member including an outer circumferential surface for receiving the first fitting member and preventing the first and second fitting members from being rotated Wherein the fitting hole is formed in a shape of a ring of a cylinder, and the fitting opening is opened to receive the fitting member. A first receiving end formed at one side of the fixing head and formed to have a predetermined depth in a shape corresponding to the outer surface of the first fitting member so as to receive the first fitting member passing through the fixing head to prevent rotation; A stopper detachably coupled to the other side of the fixed head and receiving the corners of the polygonal prism of the second fitting member passing through the fixed head to prevent rotation of the second fitting member; And a second receiving end formed on the other side of the fixing head and formed to have a predetermined depth so as to receive the stopper.
이때, 상기 스톱퍼는, 직경의 일부가 소정간격으로 절개된 링 형상의 고정 링; 상기 고정 링의 내주면을 따라 형성되며, 상기 고정헤드를 관통하는 상기 제2피팅부재의 다각기둥 모서리들을 수용하는 복수개의 수용돌기; 및 상기 고정 링의 외주면으로부터 돌출형성되며, 상기 고정헤드에 결합시 상기 고정 링의 자유회전을 방지하는 회전방지돌기;로 구성된 것에 특징이 있다.At this time, the stopper includes a ring-shaped stationary ring having a part of a diameter cut at a predetermined interval; A plurality of receiving protrusions formed along an inner circumferential surface of the stationary ring, the plurality of receiving protrusions receiving the polished corners of the second fitting member passing through the stationary head; And a rotation preventing protrusion protruding from an outer circumferential surface of the stationary ring and preventing the free rotation of the stationary ring when the stationary ring is engaged with the stationary head.
또한, 상기 제2수용단에는 상기 고정링의 회전방지돌기가 삽입되는 삽입홈이 형성된 것에 특징이 있다.Further, the second receiving end is characterized in that an insertion groove into which the rotation preventing protrusion of the stationary ring is inserted is formed.
마지막으로, 상기 고정헤드의 직경 일부에는 상기 고정헤드의 길이방향을 따라 소정 폭으로 절개된 절개공간이 형성되고, 상기 고정헤드에는 상기 절개공간을 관통하여 상기 고정헤드의 상기 절개공간의 폭을 수축시키는 고정볼트가 결합되는 결합공이 형성된 것에 특징이 있다.Finally, a part of the diameter of the fixed head is formed with a cut-away space having a predetermined width along the longitudinal direction of the fixed head, and the fixed head penetrates the cut-out space to shrink the width of the cut- And a fixing bolt for fixing the fixing bolt.
상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 반도체 가스배관용 피팅 고정장치에 의하면, 일체형으로 형성된 피팅 고정장치에 가스배관을 연결하는 2개의 피팅부재가 회전된 상태와 상관없이 동시에 수용되어 고정됨으로써 피팅 고정장치의 방향성에 제한이 없어 결합의 용이성과 함께 외부의 충격 또는 유동으로부터 각 피팅부재의 풀림이 방지 되도록 하는 장점이 있다.According to the fitting apparatus for a semiconductor gas piping of the present invention having the above-described configuration, two fitting members for connecting gas pipes to an integrally formed fitting fixture are accommodated and fixed at the same time regardless of the rotated state, The directionality of the fitting member is not limited, and there is an advantage that the fastening of each fitting member can be prevented from the external impact or flow, together with the ease of coupling.
또한, 피팅 고정장치로부터 외측으로 돌출된 부위가 형성되지 않아 작업자의 안전이 담보되는 장점이 있다.In addition, there is an advantage that a safety protector is secured because a portion projecting outward from the fitting fixing device is not formed.
도 1은 종래에 따른 피팅 고정부재를 나타낸 사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 피팅 고정장치를 나타낸 분해사시도이며,
도 3은 본 발명에 따른 피팅 고정장치의 구성 중 고정헤드의 배면을 나타낸 사시도이고,
도 4는 도 2의 결합된 상태를 나타낸 사시도이며,
도 5는 도 4의 요부단면도이다.FIG. 1 is a perspective view of a conventional fitting member,
2 is an exploded perspective view showing a fitting fixing device according to the present invention,
3 is a perspective view showing the back surface of the fixation head in the structure of the fitting fixation device according to the present invention,
FIG. 4 is a perspective view showing the combined state of FIG. 2,
5 is a sectional view of the main part of Fig.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. The embodiments are provided to explain the present invention to a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Accordingly, the shape of each element shown in the drawings may be exaggerated to emphasize a clearer description.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 않 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by terms. Terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.
도 2는 본 발명에 따른 피팅 고정장치를 나타낸 분해사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 피팅 고정장치의 구성 중 고정헤드의 배면을 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 2의 결합된 상태를 나타낸 사시도이며, 도 5는 도 4의 요부단면도이다.FIG. 3 is a perspective view showing the back surface of the fixing head of the fixing device according to the present invention, FIG. 4 is a perspective view showing the combined state of FIG. 2, FIG. And Fig. 5 is a sectional view of the main part of Fig.
도 2 내지 도 5에 나타낸 바와 같이 본 발명의 피팅 고정장치(100)는 상기 피팅부재(90)의 외주면을 수용하면서 외부의 충격 또는 진동에 의해 상호 결합된 제1피팅부재(93) 또는 제2피팅부재(95)가 풀리는 것을 방지하여 가스가 외부로 누출되는 것을 원천적으로 차단하기 위한 것으로, 원통의 링 형상으로 상기 피팅부재(90)가 수용되도록 내측이 개구된 고정헤드(110); 상기 고정헤드(110)의 일측에 형성되며, 상기 고정헤드(110)를 관통하는 상기 제1피팅부재(93)를 수용하여 회전이 방지되도록 상기 제1피팅부재(93)의 외면과 대응하는 형상으로 소정깊이로 단턱지게 형성된 제1수용단(120); 상기 고정헤드(110)의 타측에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 고정헤드(110)를 관통하는 상기 제2피팅부재(95)의 다각기둥의 모서리들을 수용하여 상기 제2피팅부재(95)의 회전을 방지하는 스톱퍼(130); 및 상기 고정헤드(110)의 타측에 형성되며, 상기 스톱퍼(130)가 수용될 수 있도록 소정깊이로 단턱지게 형성된 제2수용단(140);을 포함하여 구성되어 있다.2 to 5, the
설명에 앞서, 본 발명의 피팅 고정장치(100)가 적용되는 피팅부재(90)는 배관과 배관을 연결하는 것으로, 2개의 피팅부재가 상호 결합을 이루고 있다.Prior to the description, the
상기의 피팅부재(90)는 제1배관(93a)이 관통하여 구비되며 내주면에 나사산이 형성되고 외면이 다각기둥 형상을 갖는 제1피팅부재(93)와, 제2배관(95a)이 관통하여 구비되며 선단이 제1피팅부재(93)에 나선결합되고 후단에 외면이 다각기둥 형상을 갖는 제2피팅부재(95)로 구성되어 있다(도 5 참조).The
즉, 제2피팅부재(95)가 제1피팅부재(93)에 결합되는 과정을 통해 제1피팅부재(93)와 제2피팅부재(95)를 각각 관통하여 구비된 제1배관(93a)과 제2배관(95a)의 마주하는 선단이 상호 밀접한 상태를 이루도록 함으로써 가스가 제1배관(93a)과 제2배관(95a) 중 어느 일 방향의 배관으로 유동할 수 있도록 하는 것이다.That is, the
이하, 상기의 피팅부재(90)는 동 업종에서 통상적으로 사용되는 부재임에 따라 자세한 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, since the
고정헤드(110)는 피팅부재(90)가 고정헤드(110)의 길이방향 내측으로 관통되어 수용될 수 있도록 내측이 개구된 원통의 링 형상을 유지하고 있다.The
이때, 고정헤드(110)의 직경 일부(도면상 상측방향)에는 고정헤드(110)의 길이방향을 따라 소정 폭으로 절개된 절개공간(111)이 형성되어 있다.At this time, a
이 절개공간(111)은 제1피팅부재(93)와 제2피팅부재(95)가 고정헤드(110)로 수용될 때 고정헤드(110)의 개구된 직경이 조금 넓어지도록 함으로써 제1피팅부재(93)와 제2피팅부재(95)의 안정적인 수용이 이루어지도록 하기 위함이다.This
상기의 절개공간(111)은 후술하게 되는 고정헤드(110)에 형성된 제1수용단(120)과 제2수용단(140)에도 동일하게 형성되어 있음은 물론이다.Needless to say, the cut-off
한편 절개공간(111)이 형성된 고정헤드(110)의 외주면에는, 마주하는 선상으로 고정헤드(110)의 일측 외주면을 통해 절개공간(111)을 관통(피팅부재가 수용되는 교차방향)하고 고정헤드(110)의 타측으로 결합되면서 상기 절개공간(111)의 폭을 수축시키는 고정볼트(B)가 결합되는 결합공(113)이 형성되어 있다.On the outer circumferential surface of the
즉, 고정볼트(B)가 절개공간(111)의 양측에 형성된 결합공(113)을 통해 결합될 때 고정볼트(B)의 조임에 의해 결합공(113)이 서로 당겨지게 되고, 이로 인해 절개공간(111)의 폭이 수축되어 줄어들게 되면서 고정헤드(110) 내부에 수용된 제1피팅부재(93)와 제2피팅부재(95)를 강하게 압박하는 것이다.That is, when the fixing bolts B are coupled through the
제1수용단(120)은 고정헤드(110)의 일측에 형성되며, 고정헤드(110)를 관통하는 제1피팅부재(93)를 수용하여 회전이 방지되도록 제1피팅부재(93)의 외면과 대응하는 형상으로 소정깊이로 단턱지게 형성되어 있다.The first receiving
이때, 제1수용단(120)은 제1피팅부재(93)의 외면 형상 즉 도면상 6각의 형상과 대응하는 형상을 이루고 있음은 물론이고, 그 크기 또한 제1피팅부재(93)의 6각의 크기와 동일하게 형성된다.At this time, the first receiving
이는, 제1수용단(120)의 형상이 제1피팅부재(93)의 형상과 대응되게 형성함으로써 고정볼트(B)에 의해 고정헤드(110)가 조여질 때 제1피팅부재(93)가 제1수용단(120)에 안정적으로 수용된 상태에서 제1수용단(120)의 6각 외면과 제1수용단(120)의 내면이 서로 긴밀하게 접촉되도록 하기 위함이다.This is because the shape of the first receiving
더하여 제1수용단(120)의 깊이는 수용되는 제1피팅부재(93)의 크기 또는 길이에 따라 다르게 설정될 수 있기 때문에 반드시 한정하지는 않는다.In addition, the depth of the first receiving
스톱퍼(130)는 고정헤드(110)의 타측에 탈착 가능하게 결합되며, 고정헤드(110)를 관통하는 제2피팅부재(95)의 다각기둥인 6각의 모서리들을 수용하여 제2피팅부재(95)의 회전을 방지하는 것으로, 고정 링(131)과, 수용돌기(133) 및 회전방지돌기(135)로 구성되어 있다.The
고정 링(131)은 링 형상을 이루고 있으며, 직경의 일부가 소정간격을 유지한 상태로 절개되어 있다. The
이때, 고정 링(131)의 절개된 간격은 상기 고정헤드(110)에 형성된 절개공간(111)과 대응되는 폭을 갖는 것이 바람직한데, 이는 앞서 서술된 고정볼트(B)를 통해 절개공간(111)이 수축될 때 고정 링(131)이 함께 수축되도록 하기 위함이다.At this time, it is preferable that the cut-away interval of the
수용돌기(133)는 상기 고정 링(131)의 내주면을 따라 형성되며, 고정헤드(110)를 관통하는 제2피팅부재(95)의 다각기둥인 6각의 각 모서리들을 수용하는 것으로 복수개가 형성되어 있다.The
이때, 수용돌기(133)는 고정 링(131)의 내주면을 따라 산과 골로 형성되며, 내주면 전체에 형성되는 것이 바람직한데, 이는 제2피팅부재(95)의 6각 모서리들이 회전방향에 구애받지 않고 수용돌기(133)로 수용될 수 있도록 하기 위함이다.At this time, it is preferable that the
회전방지돌기(135)는 고정 링(131)의 외주면으로부터 외측방향으로 돌출형성되며, 후술하는 고정헤드(110)의 타측에 형성된 제2수용단(140)의 삽입홈(141)에 삽입되어 고정 링(131)의 자유회전을 방지하게 된다.The
회전방지돌기(135)는 1개가 형성된 것으로 도시하고 있으나, 적어도 하나 이상으로 형성될 수도 있음에 따라 그 개수를 한정하지 않는다.Although the
제2수용단(140)은 고정헤드(110)의 타측에 형성되며, 스톱퍼(130)의 고정 링(131)이 수용될 수 있도록 고정 링(131)의 두께와 대응되는 깊이로 단턱지게 형성되어 있다.The
이때, 제2수용단(140)은 고정 링(131)의 외경과 대응하는 형상을 이루고 있음은 물론이다.In this case, it is needless to say that the second receiving
더하여, 제2수용단(140)의 내주면에는 고정링의 회전방지돌기(135)가 삽입되는 삽입홈(141)이 형성되는데, 이는 회전방지돌기(135)가 삽입홈(141)에 삽입되도록 함으로써 고정 링(131)이 제2수용단(140) 내에서 회전되는 것을 방지하기 위함이다.In addition, an
따라서 스톱퍼(130)는, 제2수용단(140)에 결합된 상태로 고정헤드(110)를 지나 고정 링(131)을 관통하는 제2피팅부재(95)의 6각의 각 모서리들을 수용돌기(133)를 통해 수용하고, 이 상태에서 고정헤드(110)가 고정볼트(B)에 의해 조여지면 고정헤드(110)의 수축과 함께 고정 링(131)도 수축되면서 수용돌기(133)들과 6각의 각 모서리들이 서로 긴밀하게 접촉되어 제2피팅부재(95)를 고정시킨다. 즉, 회전이 방지된 스톱퍼(130)에 제2피팅부재(95)가 고정되기 때문에 제2피팅부재(95) 역시 회전이 방지되는 것이다.The
이하, 도 2, 도 4 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 피팅 고정장치(100)가 피팅부재(90)에 설치되는 과정을 설명하기로 한다.Hereinafter, a process of fitting the
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이 제1배관(93a)과 제2배관(95a)이 각각 관통되어 배치된 제1피팅부재(93)와 제2피팅부재(95)를 결합한다.First, as shown in FIG. 2, the first
제1피팅부재(93)와 제2피팅부재(95)가 결합된 피팅부재(90)를 고정볼트(B)가 해제된 고정헤드(110) 내부로 도 2에 도시된 바와 같이 제2피팅부재(95)를 먼저 관통시킨다.The
제2피팅부재(95)가 고정헤드(110)를 관통하면 후방에 위치한 제1피팅부재(93)는 자연스럽게 제1수용단(120)에 수용된다.When the second
제1수용단(120)에 제1피팅부재(93)가 안착됨과 동시에 제2피팅부재(95)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 제2수용단(140)에 위치하게 된다.The first
이때, 제2수용단(140)에는 스톱퍼(130)가 미리 삽입된다.At this time, the
이렇게 되면, 제2피팅부재(95)가 제2수용단(140)에 위치될 때 스톱퍼(130)의 고정 링(131)을 관통하게 되고, 이 과정에서 제2피팅부재(95)의 6각의 각 모서리들이 고정 링(131)의 수용돌기(133)로 수용된다.When the second
상기와 같이 고정헤드(110)에 피팅부재(90)가 관통되면, 고정헤드(110)의 결합공(113)으로 고정볼트(B)를 결합시키면서 고정헤드(110)를 조인다.When the
고정헤드(110)의 조임이 이루어지면 절개공간(111)이 좁아져 고정헤드(110)가 수축되고, 동시에 스톱퍼(130) 역시 함께 수축된다.When the fixing
이렇게 되면, 제1수용단(120)은 제1피팅부재(93)의 6각 외면과 긴밀한 접촉을 이루게 되어 제1피팅부재(93)의 회전을 방지하고, 스톱퍼(130)는 수용돌기(133)들과 제2피팅부재(95)의 6각의 각 모서리들이 서로 긴밀한 접촉을 이루기 때문에 제2피팅부재(95)의 회전을 방지하게 된다.The first receiving
즉, 제1피팅부재(93)와 제2피팅부재(95)의 회전이 동시에 방지되는 것이다.That is, rotation of the first
마지막으로 고정볼트(B)의 조임은 제1피팅부재(93)와 제2피팅부재(95)의 외면이 긴밀한 접촉을 이룰 때까지 이루어지게 된다. Finally, tightening of the fixing bolt B is performed until the outer surface of the first
지금까지 서술된 바와 같이 본 발명의 반도체 가스배관용 피팅 고정장치는, As described so far, in the fitting device for a semiconductor gas piping according to the present invention,
일체형으로 형성된 피팅 고정장치에 가스배관을 연결하는 2개의 피팅부재가 회전된 상태와 상관없이 동시에 수용되어 고정되도록 함으로써 피팅 고정장치의 방향성에 제한이 없어 결합의 용이성과 함께 외부의 충격 또는 유동으로부터 각 피팅부재의 풀림이 방지 되도록 하는 장점이 있다.The two fitting members connecting the gas piping to the integrally formed fitting fixing device are received and fixed at the same time regardless of the rotated state, so that there is no limit to the orientation of the fitting fixing device, There is an advantage that the fitting member is prevented from loosening.
또한, 피팅 고정장치로부터 외측으로 돌출된 부위가 형성되지 않아 작업자의 안전이 담보되는 장점이 있다.In addition, there is an advantage that a safety protector is secured because a portion projecting outward from the fitting fixing device is not formed.
이상, 본 발명의 반도체 가스배관용 피팅 고정장치를 바람직한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 설명하였으나, 이는 발명의 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 발명의 기술적 범위를 이에 한정하고자 함이 아님은 물론이다.While the present invention has been described with reference to the preferred embodiments and the accompanying drawings, it is to be understood that the scope of the invention is not limited thereto.
즉, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않고도 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형이나 개조가 가능함은 물론이고, 그와 같은 변경이나 개조는 청구범위의 해석상 본 발명의 기술적 범위 내에 있음은 말할 나위가 없다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. There is no doubt that it is within.
90 : 피팅부재
93 : 제1피팅부재
93a : 제1배관
95 : 제2피팅부재
95a : 제2배관
100 : 피팅 고정장치
111 : 절개공간
113 : 결합공
120 : 제1수용단
130 : 스톱퍼
131 : 고정 링
133 : 수용돌기
135 : 회전방지돌기
140 : 제2수용단
141 : 삽입홈
B : 고정볼트90: fitting member 93: first fitting member
93a: first pipe 95: second fitting member
95a: second piping 100: fitting fixing device
111: incision space 113: engaging hole
120: first receiving end 130: stopper
131: fixing ring 133: receiving projection
135: rotation preventing projection 140: second receiving end
141: Insertion groove B: Fixing bolt
Claims (4)
원통의 링 형상으로 상기 피팅부재(90)가 수용되도록 내측이 개구된 고정헤드(110);
상기 고정헤드(110)의 일측에 형성되며, 상기 고정헤드(110)를 관통하는 상기 제1피팅부재(93)를 수용하여 회전이 방지되도록 상기 제1피팅부재(93)의 외면과 대응하는 형상으로 소정깊이로 단턱지게 형성된 제1수용단(120);
상기 고정헤드(110)의 타측에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 고정헤드(110)를 관통하는 상기 제2피팅부재(95)의 다각기둥의 모서리들을 수용하여 상기 제2피팅부재(95)의 회전을 방지하는 스톱퍼(130); 및
상기 고정헤드(110)의 타측에 형성되며, 상기 스톱퍼(130)가 수용될 수 있도록 소정깊이로 단턱지게 형성된 제2수용단(140);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 가스배관용 피팅 고정장치(100).
A first fitting member 93 penetrating the first pipe 93a and having threads formed on an inner peripheral surface thereof and having an outer surface formed in a polygonal columnar shape and a second pipe 95a penetrating through the first fitting member 93, (90), which is composed of a second fitting member (95) which is spirally connected to the member (93) and whose rear end has a polygonal columnar shape, and the first and second fitting members (93, 95) A fitting fixing device (100) for semiconductor gas piping,
A stationary head (110) having an inner side opened to receive the fitting member (90) in a ring shape of a cylinder;
The first fitting member 93 is formed at one side of the fixing head 110 and receives the first fitting member 93 passing through the fixing head 110 so as to prevent rotation of the first fitting member 93, A first receiving end 120 formed at a predetermined depth in a stepped manner;
And a second fitting member 95 which is detachably coupled to the other side of the fixing head 110 and receives the corners of the prismatic pole of the second fitting member 95 passing through the fixing head 110, A stopper 130 for preventing the stopper 130 from rotating; And
And a second receiving end (140) formed on the other side of the fixing head (110) and having a predetermined depth to accommodate the stopper (130). Device (100).
상기 스톱퍼(130)는,
직경의 일부가 소정간격으로 절개된 링 형상의 고정 링(131);
상기 고정 링(131)의 내주면을 따라 형성되며, 상기 고정헤드(110)를 관통하는 상기 제2피팅부재(95)의 다각기둥 모서리들을 수용하는 복수개의 수용돌기(133); 및
상기 고정 링(131)의 외주면으로부터 돌출형성되며, 상기 고정헤드(110)에 결합시 상기 고정 링(131)의 자유회전을 방지하는 회전방지돌기(135);로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 가스배관용 피팅 고정장치(100).
The method according to claim 1,
The stopper (130)
A ring-shaped retaining ring 131 having a part of its diameter cut at a predetermined interval;
A plurality of receiving projections 133 formed along the inner circumferential surface of the stationary ring 131 and receiving the corners of the second fitting member 95 through the stationary head 110; And
And a rotation preventing protrusion 135 protruding from an outer circumferential surface of the fixing ring 131 and preventing free rotation of the fixing ring 131 when the fixing ring 131 is engaged with the fixing head 110. [ (100).
상기 제2수용단(140)에는 상기 고정링의 회전방지돌기(135)가 삽입되는 삽입홈(141)이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 가스배관용 피팅 고정장치(100).
3. The method of claim 2,
Wherein the second receiving end (140) is formed with an insertion groove (141) into which the rotation preventing protrusion (135) of the fixing ring is inserted.
상기 고정헤드(110)의 직경 일부에는 상기 고정헤드(110)의 길이방향을 따라 소정 폭으로 절개된 절개공간(111)이 형성되고, 상기 고정헤드(110)에는 상기 절개공간(111)을 관통하여 상기 고정헤드(110)의 상기 절개공간(111)의 폭을 수축시키는 고정볼트(B)가 결합되는 결합공(113)이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 가스배관용 피팅 고정장치(100).4. The method according to any one of claims 1 to 3,
A cutout space 111 is formed in a part of the diameter of the fixed head 110 along a longitudinal direction of the fixed head 110 to have a predetermined width and the cutout space 111 is passed through the cutout head 110 Wherein an engaging hole (113) to which a fixing bolt (B) for contracting the width of the incision space (111) of the fixed head (110) is engaged is formed.
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