KR20160034091A - Flexible Device and Method for Manufacturing the Same - Google Patents

Flexible Device and Method for Manufacturing the Same Download PDF

Info

Publication number
KR20160034091A
KR20160034091A KR1020140125177A KR20140125177A KR20160034091A KR 20160034091 A KR20160034091 A KR 20160034091A KR 1020140125177 A KR1020140125177 A KR 1020140125177A KR 20140125177 A KR20140125177 A KR 20140125177A KR 20160034091 A KR20160034091 A KR 20160034091A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ultraviolet
base film
layer
carrier substrate
flexible
Prior art date
Application number
KR1020140125177A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
최한영
윤호동
이진구
Original Assignee
동우 화인켐 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동우 화인켐 주식회사 filed Critical 동우 화인켐 주식회사
Priority to KR1020140125177A priority Critical patent/KR20160034091A/en
Publication of KR20160034091A publication Critical patent/KR20160034091A/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/301Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements flexible foldable or roll-able electronic displays, e.g. thin LCD, OLED
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133305Flexible substrates, e.g. plastics, organic film
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F1/00Details not covered by groups G06F3/00 - G06F13/00 and G06F21/00
    • G06F1/16Constructional details or arrangements
    • G06F1/1613Constructional details or arrangements for portable computers
    • G06F1/1633Constructional details or arrangements of portable computers not specific to the type of enclosures covered by groups G06F1/1615 - G06F1/1626
    • G06F1/1637Details related to the display arrangement, including those related to the mounting of the display in the housing
    • G06F1/1652Details related to the display arrangement, including those related to the mounting of the display in the housing the display being flexible, e.g. mimicking a sheet of paper, or rollable
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K77/00Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
    • H10K77/10Substrates, e.g. flexible substrates
    • H10K77/111Flexible substrates
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301Details of OLEDs
    • H10K2102/311Flexible OLED
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/549Organic PV cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing a flexible device and a flexible device manufactured by the method. The method includes a step of attaching an ultraviolet non-transparent base film including a conductive layer onto a carrier substrate with adhesive; a step of forming a conductive pattern layer by patterning the conducive layer; a step of providing a flexible device by forming an insulating layer on the conducive pattern layer; and a step of hardening the adhesive by emitting an ultraviolet ray to the adhesive from the carrier substrate and peeling the flexible device from the carrier substrate. According to the manufacturing method, a base film can be stably attached onto the carrier substrate while the flexible display device is formed. After a device process, the flexible device can be easily peeled from the carrier substrate.

Description

플렉시블 소자 및 그의 제조 방법{Flexible Device and Method for Manufacturing the Same}Technical Field [0001] The present invention relates to a flexible device and a manufacturing method thereof,

본 발명은 플렉시블 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 접합하고 표시소자를 형성한 후, 용이하게 분리하여 제조되는 플렉시블 소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a flexible element and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a flexible element manufactured by bonding a plastic substrate on a carrier substrate and forming a display element thereon.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점진적으로 증가하고 있다. 이에 부응하여, 액정표시장치, 플라즈마 디스플레이 패널, 유기발광다이오드 등 여러 가지 평판 표시장치가 연구되어 왔다.As the information society develops, the demand for display devices is gradually increasing in various forms. In response to this, various flat panel display devices such as a liquid crystal display, a plasma display panel, and an organic light emitting diode have been studied.

이와 같은 평판 표시장치의 용도가 급속도로 확대되면서 종이처럼 말거나 접을 수 있는 플렉시블 표시장치에 대한 개발이 집중되고 있다.As the use of such a flat panel display device is rapidly expanded, the development of a flexible display device which can be folded like a paper has been concentrated.

플렉시블 표시장치는 종래의 유리기판을 플렉시블한 플라스틱 기판으로 대체하여 구현될 수 있다. 그러나, 플라스틱 기판 상에서 표시소자를 형성하기 위한 소자공정을 직접 수행하기 어렵기 때문에 캐리어 기판을 이용하여 표시소자를 형성하게 된다. 즉, 플렉시블 표시장치를 형성하기 위해, 먼저 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 형성한다. 이후, 플라스틱 기판 상에 소자공정을 진행한 후 캐리어 기판으로부터 플라스틱 기판을 분리하기 위한 탈착공정을 실시하여, 플렉시블 표시장치를 제조할 수 있다.The flexible display device can be realized by replacing the conventional glass substrate with a flexible plastic substrate. However, since it is difficult to directly perform a device process for forming a display device on a plastic substrate, a display device is formed using the carrier substrate. That is, in order to form the flexible display device, a plastic substrate is first formed on the carrier substrate. Thereafter, a device process is performed on the plastic substrate, and a desorption process for separating the plastic substrate from the carrier substrate is performed to manufacture a flexible display device.

이때, 캐리어 기판과 플라스틱 기판은 점착제에 의해 소자공정 동안 서로 접착되어 있을 수 있다. 이에 사용되는 점착제로서, 점착력을 열에 의해 가역적으로 제어할 수 있는 감온성 점착제가 제안되었다. 상기 감온성 점착제는 측쇄 결정성 폴리머를 함유하고, 상기 측쇄 결정성 폴리머의 융점 이상의 온도까지 가열 처리를 하면 상기 측쇄 결정성 폴리머가 유동성을 나타냄으로써 점착력을 발현하고, 측쇄 결정성 폴리머의 융점 미만의 온도로 냉각하면 점착력이 저하되어 플렉서블 기판을 지지 기판으로부터 박리할 수 있다[대한민국 공개특허 제2011-0127124호 참조]. 그러나, 상기 감온성 점착제는 사용되는 측쇄 결정성 폴리머가 고가이므로 상업적 대량생산에 적용하기에는 문제점이 있었다.At this time, the carrier substrate and the plastic substrate may be adhered to each other during the device process by an adhesive. As a pressure-sensitive adhesive used therefor, a pressure-sensitive adhesive capable of reversibly controlling the adhesive force by heat has been proposed. When the heat-sensitive adhesive contains a side chain crystalline polymer and heat treatment is performed to a temperature not lower than the melting point of the side chain crystalline polymer, the side chain crystalline polymer exhibits fluidity to exhibit an adhesive force, The adhesive force is lowered and the flexible substrate can be peeled from the support substrate (see Korean Patent Publication No. 2011-0127124). However, since the side chain crystalline polymer used in the pressure sensitive adhesive is expensive, there is a problem in applying it to commercial mass production.

대한민국 공개특허 제2011-0127124호Korean Patent Publication No. 2011-0127124

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 한 목적은 비교적 저렴한 점착제와 함께 자외선 비투과성 기재필름을 사용하여 플렉시블 소자의 형성 공정 동안에는 캐리어 기판 상에 기재필름이 안정적으로 접합될 수 있고, 소자공정 후에는 플렉시블 소자가 캐리어 기판으로부터 용이하게 박리될 수 있는 플렉시블 소자의 경제적인 제조방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a flexible device, which uses an ultraviolet opaque base film together with a relatively inexpensive adhesive, And the flexible device can be easily peeled off from the carrier substrate after the device process.

본 발명의 다른 목적은 상기 방법에 의해 제조되는 플렉시블 소자를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a flexible element manufactured by the above method.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 플렉시블 소자를 구비한 플렉시블 표시장치를 제공하는 것이다.
It is still another object of the present invention to provide a flexible display device provided with the flexible element.

한편으로, 본 발명은 On the other hand,

(ⅰ) 캐리어 기판 상에 도전층을 포함하는 자외선 비투과성 기재필름을 점착제로 접합하는 단계;(I) bonding an ultraviolet light-impermeable base film including a conductive layer on a carrier substrate with an adhesive;

(ⅱ) 상기 도전층을 패터닝(patterning)하여 전도성 패턴층을 형성하는 단계;(Ii) patterning the conductive layer to form a conductive pattern layer;

(ⅲ) 상기 전도성 패턴층 상에 절연막을 형성하여 플렉시블 소자를 제공하는 단계; 및(Iii) forming an insulating layer on the conductive pattern layer to provide a flexible element; And

(ⅳ) 상기 점착제에 캐리어 기판 방향에서 자외선을 조사하여 점착제를 경화시킴으로써 캐리어 기판으로부터 플렉시블 소자를 박리하는 단계를 포함하는 플렉시블 소자의 제조방법을 제공한다.(Iv) a step of peeling the flexible element from the carrier substrate by irradiating ultraviolet rays to the pressure-sensitive adhesive in the direction of the carrier substrate to harden the pressure-sensitive adhesive.

본 발명의 일 실시형태에서, 상기 자외선 비투과성 기재필름은 400nm 이하의 자외선 투과율이 5% 이하인 것을 특징으로 한다.In one embodiment of the present invention, the ultraviolet-impermeable base film is characterized by having a ultraviolet transmittance of 400 nm or less of 5% or less.

본 발명의 일 실시형태에서, 상기 점착제는 감압성 점착제에 광중합성 화합물 및 광개시제를 추가한 것을 특징으로 한다.
In one embodiment of the present invention, the pressure-sensitive adhesive is characterized in that a photopolymerizable compound and a photoinitiator are added to the pressure-sensitive adhesive.

다른 한편으로, 본 발명은 자외선 비투과성 기재필름, 상기 기재필름 상에 형성된 전도성 패턴층 및 상기 전도성 패턴층 상에 형성된 절연막을 포함하는 플렉시블 소자를 제공한다.On the other hand, the present invention provides a flexible element comprising an ultraviolet-opaque base film, a conductive pattern layer formed on the base film, and an insulating film formed on the conductive pattern layer.

본 발명의 일 실시형태에서, 상기 자외선 비투과성 기재필름은 400nm 이하의 자외선 투과율이 5% 이하인 것을 특징으로 한다.
In one embodiment of the present invention, the ultraviolet-impermeable base film is characterized by having a ultraviolet transmittance of 400 nm or less of 5% or less.

또 다른 한편으로, 본 발명은 상기 플렉시블 소자를 구비한 플렉시블 표시장치를 제공한다.On the other hand, the present invention provides a flexible display device provided with the flexible element.

본 발명의 일 실시형태에서, 플렉시블 표시장치는 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode: OLED), 또는 전기영동 디스플레이(Electrophoretic Display: EPD)인 것을 특징으로 한다.
In an embodiment of the present invention, the flexible display device may be a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), an organic light emitting diode (OLED) (Electrophoretic Display: EPD).

본 발명의 플렉시블 소자의 제조방법에 따르면, 비교적 저렴한 감압성 점착제에 광중합성 화합물 및 광개시제를 추가하여 캐리어 기판 상에 기재필름을 접합하는 단계에서는 점착력을 부여하고, 소자공정 후에는 점착제에 자외선을 조사하여 점착제를 경화시킴으로써 점착력을 감소시켜 플렉시블 소자를 용이하게 박리할 수 있다.According to the method for producing a flexible element of the present invention, a photopolymerizable compound and a photoinitiator are added to a comparatively inexpensive pressure-sensitive adhesive to impart a tackiness in the step of bonding a base film onto a carrier substrate, So that the adhesive force is reduced and the flexible element can be easily peeled off.

또한, 자외선 비투과성 기재필름을 사용하여 소자공정 동안 조사되는 자외선에 의해 점착제가 경화하여 점착력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
Further, by using an ultraviolet-impermeable base film, it is possible to prevent the pressure-sensitive adhesive from being deteriorated due to curing of the pressure-sensitive adhesive by ultraviolet rays irradiated during the device process.

도 1a 내지 1d는 본 발명의 일 실시형태에 따른 플렉시블 소자의 제조방법을 개략적으로 나타낸 공정 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 플렉시블 소자의 구조 단면도이다.
1A to 1D are process cross-sectional views schematically showing a manufacturing method of a flexible element according to an embodiment of the present invention.
2 is a structural cross-sectional view of a flexible element according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1a 내지 1d는 본 발명의 일 실시형태에 따른 플렉시블 소자의 제조방법을 개략적으로 나타낸 공정 단면도이다. 도 1a 내지 1d를 참조로, 본 발명의 일 실시형태에 따른 플렉시블 소자의 제조방법은 1A to 1D are process cross-sectional views schematically showing a manufacturing method of a flexible element according to an embodiment of the present invention. 1A to 1D, a method of manufacturing a flexible element according to an embodiment of the present invention includes:

(ⅰ) 캐리어 기판(200) 상에 도전층(120)을 포함하는 자외선 비투과성 기재필름(110)을 점착제(150)로 접합하는 단계;(I) bonding an ultraviolet-impermeable base film (110) comprising a conductive layer (120) on a carrier substrate (200) with an adhesive (150);

(ⅱ) 상기 도전층(120)을 패터닝(patterning)하여 전도성 패턴층(125)을 형성하는 단계;(Ii) patterning the conductive layer 120 to form a conductive pattern layer 125;

(ⅲ) 상기 전도성 패턴층(125) 상에 절연막(130)을 형성하여 플렉시블 소자(100)를 제공하는 단계; 및(Iii) providing an insulating layer (130) on the conductive pattern layer (125) to provide a flexible element (100); And

(ⅳ) 상기 점착제(150)에 캐리어 기판 방향에서 자외선을 조사하여 점착제를 경화시킴으로써 캐리어 기판(200)으로부터 플렉시블 소자(100)를 박리하는 단계를 포함한다.
(Iv) a step of peeling the flexible element 100 from the carrier substrate 200 by irradiating the adhesive 150 with ultraviolet rays in the direction of the carrier substrate to harden the adhesive.

먼저, 도 1a에서와 같이, 캐리어 기판(200) 상에 도전층(120)을 포함하는 자외선 비투과성 기재필름(110)을 점착제(150)로 접합한다.First, as shown in FIG. 1A, an ultraviolet-impermeable base film 110 including a conductive layer 120 is bonded on a carrier substrate 200 with an adhesive 150.

상기 캐리어 기판(200)은 후술하는 전도성 패턴층 및 플렉시블 소자 형성 공정 동안 기재필름(120)을 지지하는 역할을 할 수 있으며, 구체적으로 유리 기판, 금속 기판 등이 사용될 수 있다. 이 중에서, 유리 기판이 바람직하다.
The carrier substrate 200 may serve to support the substrate film 120 during a conductive pattern layer and a flexible element forming process, which will be described later. Specifically, a glass substrate, a metal substrate, or the like may be used. Of these, a glass substrate is preferable.

상기 도전층(120)을 포함하는 자외선 비투과성 기재필름(110)은 캐리어 기판(200) 상에 접합하기 전에 미리 제조하여 사용하거나, 캐리어 기판(200) 상에 자외선 비투과성 기재필름(110)을 접합한 후에 도전층(120)을 형성할 수도 있다.The ultraviolet-impermeable base film 110 including the conductive layer 120 may be manufactured beforehand on the carrier substrate 200 or may be formed on the carrier substrate 200 using an ultraviolet-impermeable base film 110 The conductive layer 120 may be formed after bonding.

상기 도전층(120)은 예를 들면, 인듐틴옥사이드(ITO), 인듐징크옥사이드(IZO), 인듐징크틴옥사이드(IZTO), 알루미늄징크옥사이드(AZO), 갈륨징크옥사이드(GZO), 플로린틴옥사이드(FTO), 인듐틴옥사이드-은-인듐틴옥사이드(ITO-Ag-ITO), 인듐징크옥사이드-은-인듐징크옥사이드(IZO-Ag-IZO), 인듐징크틴옥사이드-은-인듐징크틴옥사이드(IZTO-Ag-IZTO) 및 알루미늄징크옥사이드-은-알루미늄징크옥사이드(AZO-Ag-AZO)와 같은 금속산화물; 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu) 및 몰리브덴(Mo)과 같은 금속; Ag, Au, Cu, Pt 나노와이어와 같은 금속 나노와이어; 탄소나노튜브(CNT) 및 그래핀(graphene)과 같은 탄소(carbon)계 물질; PEDOT, PANI와 같은 전도성 고분자 물질로 형성될 수 있다.
The conductive layer 120 may be formed of, for example, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc tin oxide (IZTO), aluminum zinc oxide (AZO), gallium zinc oxide (GZO) (FTO), indium tin oxide-silver-indium tin oxide (ITO-Ag-ITO), indium zinc oxide-silver-indium zinc oxide (IZO-Ag-IZO), indium zinc tin oxide- IZTO-Ag-IZTO) and aluminum zinc oxide-silver-aluminum zinc oxide (AZO-Ag-AZO); Metals such as gold (Au), silver (Ag), copper (Cu) and molybdenum (Mo); Metal nanowires such as Ag, Au, Cu, and Pt nanowires; Carbon-based materials such as carbon nanotubes (CNT) and graphene; PEDOT, PANI, and the like.

본 발명의 일 실시형태에서, 상기 자외선 비투과성 기재필름(110)은 400nm 이하의 자외선 투과율이 5% 이하일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the ultraviolet opaque base material film 110 may have an ultraviolet transmittance of 400 nm or less of 5% or less.

본 발명에서는 자외선 비투과성 기재필름을 사용함으로써, 후술하는 패터닝 및 절연막 형성 공정 동안 조사되는 자외선에 의해 점착제가 경화하여 점착력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.In the present invention, by using an ultraviolet-impermeable base film, it is possible to prevent the adhesive force from being lowered due to curing of the adhesive due to ultraviolet rays irradiated during the patterning and insulating film forming process described later.

상기 자외선 비투과성 기재필름은 자외선 흡수제를 포함하는 수지를 사용하여 제조하거나, 기재필름 상에 자외선 흡수제를 포함하는 코팅층을 형성시켜 제조할 수 있다.The ultraviolet-impermeable base film may be prepared by using a resin containing an ultraviolet absorber, or by forming a coating layer containing an ultraviolet absorber on a base film.

상기 기재필름을 구성하는 수지로서는, 예를 들면 시클로올레핀 중합체(cyclo-olefin polymer: COP), 폴리카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리에테르설폰 등을 들 수 있다.Examples of the resin constituting the base film include a resin such as cyclo-olefin polymer (COP), polycarbonate, polyethylene terephthalate, polymethyl methacrylate, polyimide, polyethylene naphthalate, .

상기 자외선 흡수제로서는, 예를 들면 벤조트리아졸계 자외선 흡수제, 히드록시페닐트리아진계 자외선 흡수제, 벤조페논계 자외선 흡수제, 벤조에이트계 자외선 흡수제 등이 있으며, 이들은 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용될 수 있다.Examples of the ultraviolet absorber include benzotriazole-based ultraviolet absorbers, hydroxyphenyltriazine-based ultraviolet absorbers, benzophenone-based ultraviolet absorbers, benzoate-based ultraviolet absorbers, etc. These may be used singly or in combination.

벤조트리아졸계 자외선 흡수제로서는, 예를 들어 2-(2-히드록시-5-tert-부틸페닐)-2H-벤조트리아졸, 벤젠프로판산과 3-(2H-벤조트리아졸-2-일)-5-(1,1-디메틸에틸)-4-히드록시(C7 내지 C9의 측쇄 및 직쇄 알킬)의 에스테르 화합물, 옥틸-3-[3-tert-부틸-4-히드록시-5-(5-클로로-2H-벤조트리아졸-2-일)페닐]프로피오네이트와 2-에틸헥실-3-[3-tert-부틸-4-히드록시-5-(5-클로로-2H-벤조트리아졸-2-일)페닐]프로피오네이트의 혼합물, 2-(2H-벤조트리아졸-2-일)-4,6-비스(1-메틸-1-페닐에틸)페놀, 2-(2H-벤조트리아졸-2-일)-6-(1-메틸-1-페닐에틸)-4-(1,1,3,3-테트라메틸부틸)페놀, 메틸-3-(3-(2H-벤조트리아졸-2-일)-5-tert-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트/폴리에틸렌글리콜 300의 반응 생성물, 2-(2H-벤조트리아졸-2-일)-p-크레졸, 2-[5-클로로(2H)-벤조트리아졸-2-일]-4-메틸-6-(tert-부틸)페놀, 2-(2H-벤조트리아졸-2-일)-4,6-디-tert-펜틸페놀, 2-(2H-벤조트리아졸-2-일)-4-(1,1,3,3-테트라메틸부틸)페놀, 2-2'-메틸렌비스[6-(2H-벤조트리아졸-2-일)-4-(1,1,3,3-테트라메틸부틸)페놀], 메틸-3-(3-(2H-벤조트리아졸-2-일)-5-tert-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트와 폴리에틸렌글리콜 300의 반응 생성물, 2-(2H-벤조트리아졸-2-일)-6-도데실-4-메틸페놀, 2-[2-히드록시-3-(3,4,5,6-테트라히드로프탈이미드-메틸)-5-메틸페닐]벤조트리아졸, 2,2'-메틸렌비스[6-(벤조트리아졸-2-일)-4-tert-옥틸페놀] 등을 들 수 있다.Examples of the benzotriazole ultraviolet absorber include 2- (2-hydroxy-5-tert-butylphenyl) -2H-benzotriazole, benzenepropanoic acid and 3- (2H-benzotriazol- - (1,1-dimethylethyl) -4-hydroxy ester compound of (C 7 to C 9 branched and straight chain alkyl), octyl -3- [3-tert- butyl-4-hydroxy-5- (5 Yl) phenyl] propionate and 2-ethylhexyl-3- [3-tert-butyl-4-hydroxy-5- (5-chloro-2H-benzotriazole 2-yl) phenyl] propionate, a mixture of 2- (2H-benzotriazol-2-yl) 4- (1,1,3,3-tetramethylbutyl) phenol, methyl-3- (3- (2H-benzotriazole- (2H-benzotriazol-2-yl) -p-cresol, 2- (2H-benzotriazol- (2H) -benzotriazol-2-yl] -4-methyl-6- (tert-butyl) (2H-benzotriazole-2-yl) -4- (1,1,3,3-tetramethylbutyl) phenol, 4- (1,1,3,3-tetramethylbutyl) phenol], methyl-3- (3- (2H- 2- (2H-benzotriazol-2-yl) -6-dodecyl) -2,5-dihydroxyphenyl) propionate and polyethylene glycol 300, -4-methylphenol, 2- [2-hydroxy-3- (3,4,5,6-tetrahydrophthalimide-methyl) -5- methylphenyl] benzotriazole, 2,2'- 6- (benzotriazol-2-yl) -4-tert-octylphenol].

히드록시페닐트리아진계 자외선 흡수제로서는, 예를 들어 2-(4,6-비스(2,4-디메틸페닐)-1,3,5-트리아진-2-일)-5-히드록시페닐과 [(C10 내지 C16, 주로 C12 내지 C13의 알킬옥시)메틸]옥시란의 반응 생성물, 2-(2,4-디히드록시페닐)-4,6-비스-(2,4-디메틸페닐)-1,3,5-트리아진과 (2-에틸헥실)-글리시드산에스테르의 반응 생성물, 2,4-비스[2-히드록시-4-부톡시페닐]-6-(2,4-디부톡시페닐)-1,3,5-트리아진, 2-(4,6-디페닐-1,3,5-트리아진-2-일)-5-[(헥실)옥시]-페놀, 2-(2-히드록시-4-[1-옥틸옥시카르보닐에톡시]페닐)-4,6-비스(4-페닐페닐)-1,3,5-트리아진 등을 들 수 있다.Examples of the hydroxyphenyltriazine based ultraviolet absorber include 2- (4,6-bis (2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine-2-yl) (C 10 to C 16, mainly C 12 to C 13 alkyloxy) methyl] oxirane in the reaction product, 2- (2,4-dihydroxyphenyl) -4,6-bis (2,4-dimethyl Phenyl] -1,3,5-triazine and (2-ethylhexyl) -glycidic acid ester, the reaction product of 2,4-bis [2-hydroxy-4-butoxyphenyl] -6- - (dibutoxy) phenyl) -1,3,5-triazine, 2- (4,6-diphenyl-1,3,5-triazin- 2- (2-hydroxy-4- [1-octyloxycarbonylethoxy] phenyl) -4,6-bis (4-phenylphenyl) -1,3,5-triazine.

벤조페논계 자외선 흡수제로서는, 예를 들어 2-히드록시-4-n-옥틸옥시벤조페논 등을 들 수 있다.Examples of the benzophenone ultraviolet absorber include 2-hydroxy-4-n-octyloxybenzophenone and the like.

벤조에이트계 자외선 흡수제로서는, 예를 들어 2,4-디-tert-부틸페닐-3,5-디-tert-부틸-4-히드록시벤조에이트(티누빈(TINUVIN) 120) 등을 들 수 있다.
Examples of the benzoate ultraviolet absorber include 2,4-di-tert-butylphenyl-3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzoate (TINUVIN 120) .

본 발명의 일 실시형태에서, 상기 점착제(150)는 당해 기술분야에서 통상적으로 사용되는 감압성 점착제에 광중합성 화합물 및 광개시제를 추가한 것일 수 있다. 상기 감압성 점착제는 캐리어 기판 상에 기재필름을 접합하는 단계에서 점착력을 부여하고, 광중합성 화합물 및 광개시제는 후술하는 박리 단계에서 점착제에 자외선을 조사할 때 광중합 반응을 하여 경화 수축에 의해 점착력을 저하시키는 역할을 한다.In one embodiment of the present invention, the pressure sensitive adhesive 150 may be a pressure sensitive adhesive commonly used in the art, to which a photopolymerizable compound and a photoinitiator are added. The pressure-sensitive adhesive imparts an adhesive force in the step of bonding the base film onto the carrier substrate, and the photopolymerizable compound and the photoinitiator are subjected to a photopolymerization reaction when the adhesive is irradiated with ultraviolet rays in the peeling step .

구체적으로, 상기 감압성 점착제는 아크릴계 공중합체 및 가교제를 포함할 수 있다.Specifically, the pressure-sensitive adhesive may include an acrylic copolymer and a crosslinking agent.

상기 아크릴계 공중합체는 탄소수 1-12의 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트 단량체와 가교 가능한 관능기를 갖는 중합성 단량체의 공중합체일 수 있다. The acrylic copolymer may be a copolymer of a (meth) acrylate monomer having an alkyl group of 1-12 carbon atoms and a polymerizable monomer having a crosslinkable functional group.

여기서, (메타)아크릴레이트는 아크릴레이트 및 메타크릴레이트를 의미한다. Here, (meth) acrylate means acrylate and methacrylate.

상기 탄소수 1-12의 알킬기를 갖는 (메타)아크릴레이트 단량체로는 n-부틸(메타)아크릴레이트, 2-부틸(메타)아크릴레이트, t-부틸(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 메틸(메타)아크릴레이트, n-프로필(메타)아크릴레이트, 이소프로필(메타)아크릴레이트, 펜틸(메타)아크릴레이트, n-옥틸(메타)아크릴레이트, 이소옥틸(메타)아크릴레이트, 노닐(메타)아크릴레이트, 데실(메타)아크릴레이트, 라우릴(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있으며, 이들은 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다.Examples of the (meth) acrylate monomer having an alkyl group having 1-12 carbon atoms include n-butyl (meth) acrylate, 2-butyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl Acrylate, isooctyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate and lauryl (meth) acrylate. These may be used singly or in combination.

상기 가교 가능한 관능기를 갖는 중합성 단량체는 화학 결합에 의해 점착제 조성물의 응집력 또는 점착 강도를 보강하여 내구성과 절단성을 부여하기 위한 성분으로서, 예를 들어 히드록시기를 갖는 단량체, 카르복시기를 갖는 단량체가 있으며, 이들은 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다.The polymerizable monomer having a cross-linkable functional group is a component for imparting durability and cutability by reinforcing the cohesive force or adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive composition by chemical bonding, and examples thereof include monomers having a hydroxy group and monomers having a carboxyl group, These may be used alone or in combination of two or more.

히드록시기를 갖는 단량체로는 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 6-히드록시헥실(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트, 알킬렌기의 탄소수가 2-4인 히드록시알킬렌글리콜(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸비닐에테르, 5-히드록시펜틸비닐에테르, 6-히드록시헥실비닐에테르, 7-히드록시헵틸비닐에테르, 8-히드록시옥틸비닐에테르, 9-히드록시노닐비닐에테르, 10-히드록시데실비닐에테르 등을 들 수 있다.Examples of the monomer having a hydroxy group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl Hydroxypropyleneglycol (meth) acrylate, hydroxyalkylene glycol having 2 to 4 carbon atoms in the alkylene group (e.g., methoxyethyl (meth) acrylate, Hydroxybutyl vinyl ether, 8-hydroxyoctyl vinyl ether, 9-hydroxynonyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl vinyl ether, Vinyl ether, 10-hydroxydecyl vinyl ether, and the like.

카르복시기를 갖는 단량체로는 (메타)아크릴산, 크로톤산 등의 1가산; 말레인산, 이타콘산, 푸마르산 등의 2가산 및 이들의 모노알킬에스테르; 3-(메타)아크릴로일프로피온산; 알킬기의 탄소수가 2-3인 2-히드록시알킬(메타)아크릴레이트의 무수호박산 개환 부가체, 알킬렌기의 탄소수가 2-4인 히드록시알킬렌글리콜(메타)아크릴레이트의 무수호박산 개환 부가체, 및 알킬기의 탄소수가 2-3인 2-히드록시알킬(메타)아크릴레이트의 카프로락톤 부가체에 무수호박산을 개환 부가시킨 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the monomer having a carboxyl group include monovalent acids such as (meth) acrylic acid and crotonic acid; Dicarboxylic acids such as maleic acid, itaconic acid, and fumaric acid, and monoalkyl esters thereof; 3- (meth) acryloylpropionic acid; A succinic anhydride ring-opening addition adduct of 2-hydroxyalkyl (meth) acrylate in which the alkyl group has 2 to 4 carbon atoms, anhydrous succinic ring opening adduct of a hydroxyalkylene glycol (meth) acrylate having 2 to 4 carbon atoms in the alkylene group , And compounds obtained by ring-opening addition of succinic anhydride to a caprolactone adduct of 2-hydroxyalkyl (meth) acrylate in which the alkyl group has 2-3 carbon atoms.

상기 아크릴계 공중합체는 상기 단량체들 이외에 다른 중합성 단량체를 점착력을 저하시키지 않는 범위, 예를 들어 총량에 대하여 10중량% 이하로 더 함유할 수 있다.The acrylic copolymer may further contain other polymerizable monomers other than the monomers in an amount not lowering the adhesive strength, for example, 10% by weight or less based on the total amount.

공중합체의 제조방법은 특별히 한정되지 않으며, 당해 분야에서 통상적으로 사용되는 괴상중합, 용액중합, 유화중합, 현탁중합 등의 방법을 이용할 수 있으며, 용액중합이 바람직하다. 또한, 중합 시 통상 사용되는 용매, 중합개시제, 분자량 제어를 위한 연쇄이동제 등을 사용할 수 있다.The method for producing the copolymer is not particularly limited and methods such as bulk polymerization, solution polymerization, emulsion polymerization and suspension polymerization which are commonly used in the art can be used, and solution polymerization is preferable. In addition, a solvent, a polymerization initiator, a chain transfer agent for molecular weight control and the like which are usually used in polymerization can be used.

상기 아크릴계 공중합체는 겔투과크로마토그래피(gel permeation chromatography, GPC)에 의해 측정된 중량평균분자량(폴리스티렌 환산, Mw)이 통상 5만 내지 200만이며, 바람직하게는 40만 내지 200만이다. 중량평균분자량이 5만 미만인 경우 공중합체 간의 응집력이 부족하여 점착 내구성에 문제를 야기할 수 있고, 200만 초과인 경우 도공 시 공정성을 확보하기 위하여 다량의 희석 용매를 필요로 할 수 있다.
The acrylic copolymer generally has a weight average molecular weight (polystyrene conversion, Mw) measured by gel permeation chromatography (GPC) of usually 50,000 to 2,000,000, preferably 400,000 to 2,000,000. When the weight-average molecular weight is less than 50,000, cohesion between co-polymers may be insufficient, which may cause problems in adhesion durability. If the weight average molecular weight is more than 2,000,000, a large amount of a diluting solvent may be required in order to ensure fairness in coating.

상기 가교제는 밀착성 및 내구성을 향상시킬 수 있고, 고온에서의 신뢰성 및 점착제의 형상을 유지시킬 수 있는 성분으로서, 이소시아네이트계, 에폭시계, 과산화물계, 금속킬레이트계, 옥사졸린계 등이 사용될 수 있으며, 1종 또는 2종 이상을 혼합 사용할 수 있다. 이 중 이소시아네이트계가 바람직하다. The crosslinking agent can be an isocyanate-based, epoxy-based, peroxide-based, metal chelating-based, oxazoline-based, or the like, which can improve adhesion and durability and can maintain reliability at high temperatures and maintain the shape of the pressure- One or more of them may be used in combination. Of these, an isocyanate-based compound is preferable.

구체적으로 톨릴렌디이소시아네이트, 크실렌디이소시아네이트, 헥사메틸렌디이소시아네이트, 2,4- 또는 4,4-디페닐메탄디이소시아네트 등의 디이소시아네이트 화합물; 및 디이소시아네이트의 트리메티롤프로판 등의 다가 알코올계 화합물의 어덕트체 등이 사용될 수 있다. Specifically, diisocyanate compounds such as tolylene diisocyanate, xylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, 2,4- or 4,4-diphenylmethane diisocyanate, and the like; And adducts of polyhydric alcohol compounds such as trimethylol propane of diisocyanate.

또한, 상기 이소시아네이트 가교제에 추가적으로 멜라민 유도체, 예를 들면 헥사메티롤멜라민, 헥사메톡시메틸멜라민, 헥사부톡시메틸멜라민 등; 폴리에폭시 화합물, 예를 들면 비스페놀 A와 에피클로로히드린 축합체형의 에폭시 화합물; 폴리옥시알킬렌폴리올의 폴리글리시딜에테르, 글리세린 디- 또는 트리글리시딜에테르 및 테트라글리시딜크실렌디아민 등으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 가교제를 첨가하여 함께 사용할 수 있다.
In addition to the isocyanate crosslinking agent, melamine derivatives such as hexamethylol melamine, hexamethoxymethyl melamine, hexabutoxymethyl melamine and the like; Polyepoxy compounds, for example, bisphenol A and epichlorohydrin condensate type epoxy compounds; At least one crosslinking agent selected from the group consisting of polyglycidyl ether of polyoxyalkylene polyol, glycerin di- or triglycidyl ether and tetraglycidyl xylylene diamine may be added and used together.

상기 감압성 점착제에 추가되는 광중합성 화합물은 자외선의 조사에 의해 광중합 반응하여 점착제의 박리력을 감소시키는 성분으로서, 구체적으로 다관능 아크릴레이트가 사용될 수 있다. 다관능 아크릴레이트로서는, 예를 들어 헥산디올디(메타)아크릴레이트, (폴리)에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, (폴리)프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 테트라메틸올메탄테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨모노히드록시펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 에폭시(메타)아크릴레이트, 폴리에스테르(메타)아크릴레이트 및 우레탄(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 다관능 아크릴레이트는 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다.
The photopolymerizable compound to be added to the pressure-sensitive adhesive is a component for reducing the peeling force of the pressure-sensitive adhesive by a photopolymerization reaction by irradiation of ultraviolet rays, and specifically polyfunctional acrylate may be used. Examples of polyfunctional acrylates include hexanediol di (meth) acrylate, (poly) ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri Acrylate, dipentaerythritol monohydroxypenta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate and urethane . These polyfunctional acrylates may be used alone or in combination of two or more.

상기 광개시제의 종류는 특별히 한정되지 않으며, 예를 들어 벤조인, 벤조인 메틸에테르, 벤조인 에틸에테르, 벤조인 이소프로필에테르, 벤조인 n-부틸에테르, 벤조인 이소부틸에테르, 아세토페논, 디메틸아니노 아세토페논, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 2,2-디에톡시-2-페닐아세토페논, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-몰포리노-프로판-1-온, 4-(2-히드록시에톡시)페닐-2-(히드록시-2-프로필)케톤, 벤조페논, p-페닐벤조페논, 4,4'-디에틸아미노벤조페논, 디클로로벤조페논, 2-메틸안트라퀴논, 2-에틸안트라퀴논, 2-t-부틸안트라퀴논, 2-아미노안트라퀴논, 2-메틸티오잔톤(thioxanthone), 2-에틸티오잔톤, 2-클로로티오잔톤, 2,4-디메틸티오잔톤, 2,4-디에틸티오잔톤, 벤질디메틸케탈, 아세토페논 디메틸케탈, p-디메틸아미노 안식향산 에스테르, 올리고[2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판논] 및 2,4,6-트리메틸벤조일-디페닐-포스핀옥시드 등을 들 수 있다. 이들 광개시제는 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다.
The type of the photoinitiator is not particularly limited and includes, for example, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, acetophenone, 2-methoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy- Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propan-1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- 2- -2-propyl) ketone, benzophenone, p-phenylbenzophenone, 4,4'-diethylaminobenzophenone, dichlorobenzophenone, 2-methyl anthraquinone, 2-ethyl anthraquinone, 2- , 2-aminoanthraquinone, thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, benzyldimethylketal, Phenon dimethyl (1-methylvinyl) phenyl] propanone] and 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine Pin oxide and the like. These photoinitiators may be used alone or in combination of two or more.

상기 점착제는 필요에 따라 상기 성분 이외에 산화 방지제, 점착 부여제, 노화 방지제, 충전제, 착색제 등의 각종 첨가제를 더 함유할 수 있다.
The pressure-sensitive adhesive may further contain various additives such as an antioxidant, a tackifier, an anti-aging agent, a filler, and a colorant in addition to the above components, if necessary.

상술한 바와 같이 캐리어 기판(200) 상에 도전층(120)을 포함하는 자외선 비투과성 기재필름(110)을 점착제(150)로 접합한 후에는, 도 1b에서와 같이, 상기 도전층(120)을 패터닝(patterning)하여 전도성 패턴층(125)을 형성한다.1B, after the ultraviolet-impermeable base film 110 including the conductive layer 120 is bonded to the carrier substrate 200 with the adhesive 150 as described above, The conductive pattern layer 125 is formed.

구체적으로, 도전층(120) 상에 포토레지스트(photoresist)를 코팅하고 건조한 다음, 노광, 현상 및 에칭하는 포토리소그래피 공정을 이용하여 패터닝함으로써 전도성 패턴층(125)을 형성한다.
Specifically, the conductive pattern layer 125 is formed by coating a photoresist on the conductive layer 120, drying, and then patterning using a photolithography process for exposing, developing, and etching.

이어, 도 1c에서와 같이, 상기 전도성 패턴층(125) 상에 절연막(130)을 형성하여 플렉시블 소자(100)를 제공한다.1C, an insulating layer 130 is formed on the conductive pattern layer 125 to provide a flexible element 100. [

상기 절연막(130)으로서는, 예를 들면 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리아미드이미드 등의 절연성을 갖는 수지가 사용될 수 있다. 이들 중, 내열성 등의 점에서 폴리이미드가 바람직하다.As the insulating film 130, an insulating resin such as polyimide, polyamide, polyamideimide, or the like can be used. Of these, polyimide is preferable from the standpoint of heat resistance and the like.

또한, 상기 절연막을 구성하는 수지에는 모든 특성을 저하시키지 않는 범위에서 필요에 따라 여러가지 첨가제, 예를 들면 레벨링제, 커플링제, 소포제 등을 첨가할 수 있다.Various additives such as a leveling agent, a coupling agent, a defoaming agent and the like may be added to the resin constituting the insulating film within a range not lowering all the properties.

본 발명의 일 실시형태에서는, 상기 절연막을 구성하는 수지 및 광개시제를포함하는 조성물을 상기 전도성 패턴층(125) 상에 코팅하고 건조 및 경화하여 절연막(130)을 형성할 수 있다.In an embodiment of the present invention, a composition including a resin and a photoinitiator constituting the insulating film may be coated on the conductive pattern layer 125, dried and cured to form the insulating film 130.

이때 광개시제로는 상기 점착제와 관련하여 예시된 광개시제를 제한 없이 사용할 수 있다. 또한, 점착제에 사용된 것과 동일한 광개시제를 사용할 수도 있고, 상이한 광개시제를 사용할 수도 있다.
As the photoinitiator, the photoinitiator exemplified in connection with the adhesive may be used without limitation. Further, the same photoinitiator as that used in the pressure-sensitive adhesive may be used, or a different photoinitiator may be used.

그런 다음, 도 1d에서와 같이, 상기 점착제(150)에 캐리어 기판 방향에서 자외선을 조사하여 점착제를 경화시킴으로써 캐리어 기판(200)으로부터 플렉시블 소자(100)를 박리한다.
Then, as shown in FIG. 1D, the flexible element 100 is peeled from the carrier substrate 200 by irradiating the adhesive 150 with ultraviolet rays in the direction of the carrier substrate to harden the adhesive.

본 발명의 일 실시형태에 따른 플렉시블 소자의 제조방법은 자외선 비투과성 기재필름을 사용함으로써, 도전층의 패터닝 및 절연막 형성을 위해 조사되는 자외선에 의해서는 점착제가 경화되지 않아 점착력을 유지할 수 있도록 하고, 플렉시블 소자가 형성된 다음에는 캐리어 기판 방향에서 자외선을 조사하여 점착제를 경화시킴으로써 경화 수축에 의한 점착력 감소에 의해 플렉시블 소자가 캐리어 기판으로부터 용이하게 박리될 수 있도록 한다.
In the method of manufacturing a flexible element according to an embodiment of the present invention, by using an ultraviolet-opaque base material film, the pressure-sensitive adhesive is not cured by ultraviolet rays irradiated for patterning of the conductive layer and for forming an insulating film, After the flexible element is formed, ultraviolet rays are irradiated in the direction of the carrier substrate to cure the pressure-sensitive adhesive, thereby enabling the flexible element to be easily peeled off from the carrier substrate by reducing the adhesive force due to curing shrinkage.

도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 플렉시블 소자의 제조방법에 의해 제조되는 플렉시블 소자의 구조 단면도이다. 도 2를 참조로, 본 발명의 일 실시형태에 따른 플렉시블 소자는 자외선 비투과성 기재필름(110), 상기 기재필름(110) 상에 형성된 전도성 패턴층(125) 및 상기 전도성 패턴층(125) 상에 형성된 절연막(130)을 포함한다.2 is a structural cross-sectional view of a flexible element manufactured by a method of manufacturing a flexible element according to an embodiment of the present invention. 2, a flexible device according to an embodiment of the present invention includes a transparent substrate layer 110, a conductive pattern layer 125 formed on the substrate film 110, and a conductive pattern layer 125 formed on the conductive pattern layer 125 (Not shown).

본 발명의 일 실시형태에서, 상기 자외선 비투과성 기재필름(110)은 400nm 이하의 자외선 투과율이 5% 이하일 수 있다. In one embodiment of the present invention, the ultraviolet opaque base material film 110 may have an ultraviolet transmittance of 400 nm or less of 5% or less.

상기 자외선 비투과성 기재필름은 자외선 흡수제를 포함하는 수지를 사용하여 제조하거나, 기재필름 상에 자외선 흡수제를 포함하는 코팅층을 형성시켜 제조할 수 있다.The ultraviolet-impermeable base film may be prepared by using a resin containing an ultraviolet absorber, or by forming a coating layer containing an ultraviolet absorber on a base film.

상기 기재필름을 구성하는 수지 및 자외선 흡수제로서는, 상기 플렉시블 소자의 제조방법에서 설명한 바와 동일한 물질을 사용할 수 있다.
As the resin constituting the base film and the ultraviolet absorber, the same materials as described in the above-mentioned manufacturing method of a flexible element can be used.

본 발명의 일 실시형태에서, 상기 전도성 패턴층(125)은 도전층을 패터닝하여 형성되며, 당해 기술분야에서 통상적으로 사용되는 포토리소그래피 공정 등을 이용하여 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the conductive pattern layer 125 is formed by patterning a conductive layer, and may be formed using a photolithography process or the like commonly used in the art.

상기 전도성 패턴층(125)의 패턴은 규칙적 패턴일 수도 있고, 불규칙적인 패턴일 수도 있다. 상기 규칙적인 패턴으로는 메쉬 패턴 등 당해 기술분야에 공지된 패턴 형태가 사용될 수 있다. 상기 불규칙 패턴으로는 특별히 한정되지 않으나, 보로노이 다이어그램을 이루는 도형들의 경계선 형태일 수 있다. The pattern of the conductive pattern layer 125 may be a regular pattern or an irregular pattern. The regular pattern may be a pattern pattern known in the art such as a mesh pattern. The irregular pattern is not particularly limited, but may be a boundary line shape of the Voronoi diagram.

상기 도전층을 형성하는 재료로서는, 상기 플렉시블 소자의 제조방법에서 설명한 바와 동일한 물질을 사용할 수 있다.
As the material for forming the conductive layer, the same materials as those described in the above-described manufacturing method of a flexible element can be used.

본 발명의 일 실시형태에서, 상기 절연막(130)은 상기 전도성 패턴층(125)을 절연할 수 있는 비전도성 막이면 제한 없이 사용할 수 있다. 구체적으로는, 상기 플렉시블 소자의 제조방법에서 설명한 바와 동일한 물질을 사용할 수 있다.
In one embodiment of the present invention, the insulating layer 130 can be used without limitation as long as it is a nonconductive layer that can insulate the conductive pattern layer 125. Specifically, the same materials as described in the above-described method of manufacturing a flexible element can be used.

본 발명의 일 실시형태는 상기 플렉시블 소자를 구비한 플렉시블 표시장치에 관한 것이다.One embodiment of the present invention relates to a flexible display device provided with the flexible element.

상기 플렉시블 표시장치는 플렉시블 소자를 포함하는 표시장치라면 제한되지 않으며, 예를 들어, 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode: OLED), 전기영동 디스플레이(Electrophoretic Display: EPD) 등을 예로 들 수 있다.
The flexible display device is not limited as long as it is a display device including a flexible device. For example, the flexible display device may be a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), an organic light emitting diode Diode (OLED), electrophoretic display (EPD), and the like.

이상으로 본 발명의 특정한 부분을 상세히 기술하였는 바, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 이러한 구체적인 기술은 단지 바람직한 구현예일 뿐이며, 이에 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아님은 명백하다. 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기 내용을 바탕으로 본 발명의 범주 내에서 다양한 응용 및 변형을 행하는 것이 가능할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Do. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

따라서, 본 발명의 실질적인 범위는 첨부된 특허청구범위와 그의 등가물에 의하여 정의된다고 할 것이다.
Accordingly, the actual scope of the invention is defined by the appended claims and their equivalents.

100: 플렉시블 소자
110: 기재 필름; 120: 도전층
125: 전도성 패턴층; 130: 절연막
150: 점착제
200: 캐리어 기판
100: Flexible element
110: base film; 120: conductive layer
125: conductive pattern layer; 130: Insulating film
150: Adhesive
200: carrier substrate

Claims (16)

(ⅰ) 캐리어 기판(200) 상에 도전층(120)을 포함하는 자외선 비투과성 기재필름(110)을 점착제(150)로 접합하는 단계;
(ⅱ) 상기 도전층(120)을 패터닝(patterning)하여 전도성 패턴층(125)을 형성하는 단계;
(ⅲ) 상기 전도성 패턴층(125) 상에 절연막(130)을 형성하여 플렉시블 소자(100)를 제공하는 단계; 및
(ⅳ) 상기 점착제(150)에 캐리어 기판 방향에서 자외선을 조사하여 점착제를 경화시킴으로써 캐리어 기판(200)으로부터 플렉시블 소자(100)를 박리하는 단계를 포함하는 플렉시블 소자의 제조방법.
(I) bonding an ultraviolet-impermeable base film (110) comprising a conductive layer (120) on a carrier substrate (200) with an adhesive (150);
(Ii) patterning the conductive layer 120 to form a conductive pattern layer 125;
(Iii) providing an insulating layer (130) on the conductive pattern layer (125) to provide a flexible element (100); And
(Iv) removing the flexible element (100) from the carrier substrate (200) by irradiating ultraviolet rays to the pressure sensitive adhesive (150) in the direction of the carrier substrate to harden the pressure sensitive adhesive.
제1항에 있어서, 캐리어 기판은 유리 기판인 제조방법.The manufacturing method according to claim 1, wherein the carrier substrate is a glass substrate. 제1항에 있어서, 도전층(120)을 포함하는 자외선 비투과성 기재필름(110)은 캐리어 기판(200) 상에 자외선 비투과성 기재필름(110)을 접합한 후에 도전층(120)이 형성되는 것인 제조방법.The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 1, wherein the ultraviolet-impermeable base film (110) including the conductive layer (120) is formed by bonding the ultraviolet- ≪ / RTI > 제1항에 있어서, 자외선 비투과성 기재필름(110)은 400nm 이하의 자외선 투과율이 5% 이하인 제조방법.The method according to claim 1, wherein the ultraviolet-impermeable base film (110) has an ultraviolet transmittance of 400 nm or less of 5% or less. 제1항에 있어서, 자외선 비투과성 기재필름은 자외선 흡수제를 포함하는 수지를 사용하여 제조된 것인 제조방법.The production method according to claim 1, wherein the ultraviolet light-impervious base film is produced using a resin containing an ultraviolet absorber. 제1항에 있어서, 자외선 비투과성 기재필름은 기재필름 상에 자외선 흡수제를 포함하는 코팅층이 형성된 것인 제조방법.The production method according to claim 1, wherein the ultraviolet-impermeable base film is formed with a coating layer comprising an ultraviolet absorber on the base film. 제1항에 있어서, 점착제(150)는 감압성 점착제에 광중합성 화합물 및 광개시제를 추가한 것인 제조방법.The manufacturing method according to claim 1, wherein the pressure-sensitive adhesive (150) is obtained by adding a photopolymerizable compound and a photoinitiator to the pressure-sensitive adhesive. 제7항에 있어서, 점착제(150)는 아크릴계 공중합체, 가교제, 다관능 아크릴레이트 및 광개시제를 포함하는 제조방법.The method according to claim 7, wherein the pressure-sensitive adhesive (150) comprises an acrylic copolymer, a crosslinking agent, a polyfunctional acrylate, and a photoinitiator. 제1항에 있어서, 도전층(120)을 포토리소그래피 공정을 이용하여 패터닝(patterning)하는 제조방법.The manufacturing method according to claim 1, wherein the conductive layer (120) is patterned using a photolithography process. 제1항에 있어서, 전도성 패턴층(125) 상에 절연막을 구성하는 수지 및 광개시제를 포함하는 조성물을 코팅하고 건조 및 경화하여 절연막(130)을 형성하는 제조방법.The manufacturing method according to claim 1, wherein the insulating layer (130) is formed on the conductive pattern layer (125) by coating a composition comprising a resin constituting the insulating layer and a photoinitiator, followed by drying and curing. 자외선 비투과성 기재필름(110), 상기 기재필름(110) 상에 형성된 전도성 패턴층(125) 및 상기 전도성 패턴층(125) 상에 형성된 절연막(130)을 포함하는 플렉시블 소자.A flexible device comprising an ultraviolet impermeable base film (110), a conductive pattern layer (125) formed on the base film (110), and an insulating film (130) formed on the conductive pattern layer (125). 제11항에 있어서, 자외선 비투과성 기재필름(110)은 400nm 이하의 자외선 투과율이 5% 이하인 플렉시블 소자.12. The flexible device according to claim 11, wherein the ultraviolet-impermeable base film (110) has a ultraviolet transmittance of 400 nm or less of 5% or less. 제11항에 있어서, 자외선 비투과성 기재필름은 자외선 흡수제를 포함하는 수지를 사용하여 제조된 것인 플렉시블 소자.12. The flexible element according to claim 11, wherein the ultraviolet light-impervious base film is produced using a resin containing an ultraviolet absorber. 제11항에 있어서, 자외선 비투과성 기재필름은 기재필름 상에 자외선 흡수제를 포함하는 코팅층이 형성된 것인 플렉시블 소자.12. The flexible element according to claim 11, wherein the ultraviolet-impermeable base film has a coating layer formed on the base film and including an ultraviolet absorber. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 플렉시블 소자를 구비한 플렉시블 표시장치.A flexible display device comprising the flexible element according to any one of claims 11 to 14. 제15항에 있어서, 플렉시블 표시장치는 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode: OLED), 또는 전기영동 디스플레이(Electrophoretic Display: EPD)인 플렉시블 표시장치.The display device according to claim 15, wherein the flexible display device is a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), an organic light emitting diode (OLED), or an electrophoretic display Display: EPD).
KR1020140125177A 2014-09-19 2014-09-19 Flexible Device and Method for Manufacturing the Same KR20160034091A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140125177A KR20160034091A (en) 2014-09-19 2014-09-19 Flexible Device and Method for Manufacturing the Same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140125177A KR20160034091A (en) 2014-09-19 2014-09-19 Flexible Device and Method for Manufacturing the Same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160034091A true KR20160034091A (en) 2016-03-29

Family

ID=55661929

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140125177A KR20160034091A (en) 2014-09-19 2014-09-19 Flexible Device and Method for Manufacturing the Same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20160034091A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107705882A (en) * 2016-08-09 2018-02-16 张家港康得新光电材料有限公司 Flexible transparent conducting film, its preparation method and flexible touch screen
CN108695446A (en) * 2017-04-05 2018-10-23 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 The stripping means of flexible display panels
CN110534022A (en) * 2019-08-28 2019-12-03 上海中航光电子有限公司 A kind of display device and production method
CN110570754A (en) * 2018-06-05 2019-12-13 上海和辉光电有限公司 Manufacturing method of flexible display panel and flexible display panel
US11765958B2 (en) 2018-04-27 2023-09-19 Samsung Display Co., Ltd. Display device

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107705882A (en) * 2016-08-09 2018-02-16 张家港康得新光电材料有限公司 Flexible transparent conducting film, its preparation method and flexible touch screen
CN107705882B (en) * 2016-08-09 2019-11-08 张家港康得新光电材料有限公司 Flexible transparent conducting film, preparation method and flexible touch screen
CN108695446A (en) * 2017-04-05 2018-10-23 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 The stripping means of flexible display panels
CN108695446B (en) * 2017-04-05 2020-07-28 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 Stripping method of flexible display panel
US11765958B2 (en) 2018-04-27 2023-09-19 Samsung Display Co., Ltd. Display device
CN110570754A (en) * 2018-06-05 2019-12-13 上海和辉光电有限公司 Manufacturing method of flexible display panel and flexible display panel
CN110534022A (en) * 2019-08-28 2019-12-03 上海中航光电子有限公司 A kind of display device and production method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110249242B (en) Composition for optical member, and image display device
KR20160034091A (en) Flexible Device and Method for Manufacturing the Same
JP2012186315A (en) Manufacturing method of thin film substrate
KR102368739B1 (en) Manufacturing method of heat-resistant adhesive sheet and functional film
KR20180137748A (en) Method for Manufacturing Flexible Display Device Comprising Touch Sensor
KR20160034115A (en) Flexible Device and Method for Manufacturing the Same
JP6550251B2 (en) Adhesive film with optical film
CN106715624B (en) Optical adhesive sheet
JP2015151472A (en) Adhesive composition for hard coat film, adhesive type hard coat film, and curable hard coat film
KR102346393B1 (en) Method for Manufacturing Flexible Display Device Comprising Touch Sensor
WO2018207701A1 (en) Composition for optical members, optical member and image display device
JP2019514156A (en) Heating element and method of manufacturing the same
TW201700687A (en) Adhesion composition, adhesive agent, adhesion sheet, and optical film having adhesive layer wherein the adhesion composition has excellent durability and is not easy to generate uneven heat when used on a display panel
CN106003940B (en) Optical film with adhesive layer
TWI645009B (en) Laminated adhesive sheet and laminate
JP2019056101A (en) Double faced adhesive tape, and stacking body of thin film component and supporting component
TW202111043A (en) Adhesive sheet, adhesive-attached optical film, and method for manufacturing image display device wherein the adhesive sheet has excellent transparency, and can suppress photocuring caused by the light of a fluorescent lamp or the like in a storage environment
KR20180137323A (en) Heating element and method for fabricating the same
JP6657666B2 (en) Method of forming thin film pattern
TWI798277B (en) Composite sheet for forming protective film and method for manufacturing semiconductor chip
TWI810213B (en) Composite sheet for forming protective film and method for manufacturing semiconductor chip
TW202115433A (en) Support sheet, film for forming protective film, composite sheet for forming protective film, and method for manufacturing workpiece with protective film in which the composite sheet for forming protective film includes a support sheet and a film for forming protective film on one side of the support sheet
KR20210079867A (en) Adhesion variable adhesive composition for display and Adhesive sheet for display comprising the same
TWI721158B (en) Protective film forming film and composite sheet for forming protective film
TW202025264A (en) Protective film forming film, composite sheet for forming protective film, method for inspection and method for identification

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid