KR20160026510A - Piezoelectric elemet and piezoelectric vibration module having the smae - Google Patents

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KR20160026510A
KR20160026510A KR1020140115544A KR20140115544A KR20160026510A KR 20160026510 A KR20160026510 A KR 20160026510A KR 1020140115544 A KR1020140115544 A KR 1020140115544A KR 20140115544 A KR20140115544 A KR 20140115544A KR 20160026510 A KR20160026510 A KR 20160026510A
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김경록
김범석
이승호
서정욱
박희선
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Abstract

Disclosed are a piezoelectric element for increasing the area of an internal electrode, and a piezoelectric vibration module having the same. In the piezoelectric element including electrode layers and a piezoelectric layer, each electrode layer includes a main electrode and a connection electrode which have different polarities. The connection electrode is arranged at the corner part on one surface of the piezoelectric layer. The main electrode covers one surface of the piezoelectric layer to be separated from the connection electrode.

Description

압전소자 및 이를 포함하는 압전진동모듈{PIEZOELECTRIC ELEMET AND PIEZOELECTRIC VIBRATION MODULE HAVING THE SMAE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a piezoelectric device and a piezoelectric vibration module including the piezoelectric device,

본 발명은 압전소자 및 이를 포함하는 압전진동모듈에 관한 것이다.
The present invention relates to a piezoelectric element and a piezoelectric vibration module including the piezoelectric element.

터치패널, 터치키보드 등은 전자기기에 장착되어 문자나 그림을 입력할 때 사용자 손끝에 진동을 줄 수 있다. The touch panel, the touch keyboard, and the like can be attached to an electronic device to vibrate the user's finger when inputting a character or a picture.

이러한 기능은 압전 엑추에이터(piezoelectric actuator)와 같은 진동발생수단에 의해 터치패널에 진동감이 인가됨으로써 사용자에게 진동감이 전달되는 구조로 구현될 수 있다. Such a function can be realized by a structure in which a vibration is transmitted to a user by applying vibration to the touch panel by a vibration generating means such as a piezoelectric actuator.

압전 엑추에이터로 세라믹 압전체가 사용될 수 있다. 세라믹 압전체가 압전 특성에 따른 진동하는 경우, 압전체를 이루는 압전층에 크랙(crack)이 발생하는 문제점이 발생할 수 있다. 크랙의 발생률이 높은 경우 압전 엑추에이터의 신뢰성이 감소된다. A ceramic piezoelectric body can be used as the piezoelectric actuator. When the ceramic piezoelectric body vibrates according to the piezoelectric characteristics, a crack may be generated in the piezoelectric layer constituting the piezoelectric body. When the incidence of cracks is high, the reliability of the piezoelectric actuator is reduced.

본 발명의 배경기술은 일본 공개특허공보 제2002-299706호(2002.10.11 공개, 적층형 압전 액추에이터)에 개시되어 있다.
The background art of the present invention is disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2002-299706 (published on Oct. 11, 2002, Laminated piezoelectric actuator).

본 발명의 목적은 압전층의 압전 특성을 발휘시키는 내부전극의 면적을 증가된 압전소자 및 이를 포함하는 압전진동모듈을 제공하는 것이다.
An object of the present invention is to provide a piezoelectric element having an increased area of an internal electrode that exhibits piezoelectric characteristics of a piezoelectric layer and a piezoelectric vibration module including the piezoelectric element.

본 발명의 일 측면에 따르면, 접속전극이 압전층의 코너부에 위치하는 압전소자가 제공된다. According to one aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric element in which a connection electrode is located at a corner of a piezoelectric layer.

복수의 전극층 및 압전층을 포함하는 압전소자에 있어서, 각각의 전극층은, 서로 다른 극을 가지는 주전극과 접속전극을 포함하고, 상기 접속전극은 상기 압전층의 일면의 코너부에 배치되고, 상기 주전극은 상기 접속전극과 이격되도록 상기 압전층의 일면을 커버할 수 있다. 압전소자는 비아를 더 포함할 수 있다. A piezoelectric element comprising a plurality of electrode layers and a piezoelectric layer, wherein each of the electrode layers includes a main electrode and a connection electrode having different polarities, the connection electrode is disposed at a corner of one surface of the piezoelectric layer, The main electrode may cover one surface of the piezoelectric layer so as to be spaced apart from the connection electrode. The piezoelectric element may further include a via.

이웃하는 두 개의 상기 전극층에 있어서, 각각의 상기 접속전극은 대각 방향에 위치한 코너부에 배치될 수 있다.In the two neighboring electrode layers, each of the connection electrodes may be disposed at a corner portion located in a diagonal direction.

상기 압전층은, 일방향으로 신축하도록 상기 일방향으로 연장되는 직육면체 형상을 가질 수 있고, 상기 접속전극은 사각형 형상을 가지고, 상기 접속전극의 상기 압전층의 폭방향으로 연장된 변의 길이는, 상기 주전극의 상기 압전층의 폭방향의 길이의 절반 이하일 수 있다. 또한, 하나의 전극층에서, 상기 주전극의 면적에 대한 상기 접속전극의 면적은 3% 이하일 수 있다.Wherein the piezoelectric layer has a rectangular parallelepiped shape extending in one direction so as to extend and contract in one direction, the connection electrode has a rectangular shape, and the length of the side of the connection electrode extending in the width direction of the piezoelectric layer is, Of the width of the piezoelectric layer in the width direction. In one electrode layer, the area of the connection electrode with respect to the area of the main electrode may be 3% or less.

압전소자는 비압전층, 단자, 수지층을 더 포함할 수 있다. The piezoelectric element may further include a non-piezoelectric layer, a terminal, and a resin layer.

또한, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 접속전극이 압전층의 코너부에 위치하는 압전소자를 포함하는 압전진동모듈이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric vibration module in which a connection electrode includes a piezoelectric element located at a corner of the piezoelectric layer.

진동판; 및 상기 진동판에 결합되어 상기 진동판을 진동시키는 압전소자를 포함하고, 상기 압전소자는 복수의 전극층; 및 상기 전극층 사이마다 개재되는 압전층을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전진동모듈에 있어서, 상기 압전소자에서, 각각의 전극층은, 서로 다른 극을 가지는 주전극과 접속전극을 포함하고, 상기 접속전극은 상기 압전층의 일면의 코너부에 배치되고, 상기 주전극은 상기 접속전극과 이격되도록 상기 압전층의 일면을 커버할 수 있다.
tympanum; And a piezoelectric element coupled to the diaphragm to vibrate the diaphragm, wherein the piezoelectric element includes a plurality of electrode layers; And a piezoelectric layer interposed between the electrode layers. In the piezoelectric vibrating module, each of the electrode layers includes a main electrode and a connection electrode having different polarities, and the connection electrode And the main electrode may cover one surface of the piezoelectric layer so as to be spaced apart from the connection electrode.

도 1은 압전진동모듈을 나타낸 사시도.
도 2는 압전진동모듈을 나타낸 분해도.
도 3은 압전진동모듈의 진동판과 압전소자를 나타낸 도면.
도 4는 압전소자의 압전층과 전극층을 나타낸 도면.
도 6는 압전소자의 압전층과 전극층 일부를 나타낸 도면.
도 7는 압전소자를 나타낸 저면도.1 is a perspective view showing a piezoelectric vibration module.
2 is an exploded view showing a piezoelectric vibration module.
3 is a view showing a vibration plate and a piezoelectric element of the piezoelectric vibration module.
4 is a view showing a piezoelectric layer and an electrode layer of a piezoelectric element.
6 is a view showing a piezoelectric layer and a part of an electrode layer of the piezoelectric element.
7 is a bottom view showing a piezoelectric element.

본 발명에 따른 압전소자 및 이를 포함하는 압전진동모듈의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view of a piezoelectric vibrating module according to an embodiment of the present invention; Fig. 2 is a cross- A duplicate description thereof will be omitted.

또한, 이하 사용되는 제1, 제2 등과 같은 용어는 동일 또는 상응하는 구성 요소들을 구별하기 위한 식별 기호에 불과하며, 동일 또는 상응하는 구성 요소들이 제1, 제2 등의 용어에 의하여 한정되는 것은 아니다.It is also to be understood that the terms first, second, etc. used hereinafter are merely reference numerals for distinguishing between identical or corresponding components, and the same or corresponding components are defined by terms such as first, second, no.

또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.In addition, the term " coupled " is used not only in the case of direct physical contact between the respective constituent elements in the contact relation between the constituent elements, but also means that other constituent elements are interposed between the constituent elements, Use them as a concept to cover each contact.

도 1은 압전진동모듈을 나타낸 사시도, 도 2는 압전진동모듈을 나타낸 분해도, 도 3은 압전진동모듈의 진동판과 압전소자를 나타낸 도면, 도 4는 압전소자의 압전층과 전극층을 나타낸 도면, 도 6는 압전소자의 압전층과 전극층 일부를 나타낸 도면, 도 7는 압전소자를 나타낸 저면도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a piezoelectric vibration module, FIG. 2 is an exploded view showing a piezoelectric vibration module, FIG. 3 is a view showing a vibration plate and a piezoelectric element of the piezoelectric vibration module, 6 is a view showing a piezoelectric layer and a part of an electrode layer of the piezoelectric element, and Fig. 7 is a bottom view showing the piezoelectric element.

도 1 및 2를 참조하면, 압전진동모듈(10)은, 진동판(11)과 압전소자(100)를 포함하고, 접착부재(12), 중량체(150), 댐퍼(151, 152), 케이스(160) 및 기판(170)을 더 포함할 수 있다.1 and 2, a piezoelectric vibration module 10 includes a diaphragm 11 and a piezoelectric element 100, and includes an adhesive member 12, a weight 150, dampers 151 and 152, (160) and a substrate (170).

진동판(11)은 압전소자(100)의 움직임에 따라 상하로 진동하는 판으로, 터치패널, 화상표시부, HPP 등에 진동을 전달하는 기능을 수행하게 되며, 전달된 진동은 햅틱(haptic) 기술로 구현된다.The diaphragm 11 vibrates vertically according to the movement of the piezoelectric element 100, and performs a function of transmitting vibrations to the touch panel, the image display unit, the HPP, etc., and the transmitted vibration is implemented by a haptic technique do.

진동판(11)은, 스틸(steel) 또는 서스(Steel Use Stainless, SUS) 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 진동판(11)은 압전소자(100)의 열팽창계수와 유사한 재질인 인바(invar)로 이루어질 수 있다. The diaphragm 11 may be made of steel or steel use stainless steel (SUS). In addition, the diaphragm 11 may be made of invar, which is a material similar to the thermal expansion coefficient of the piezoelectric element 100.

진동판(11)은 상부 플레이트(11a)와 하부 플레이트(11b)를 포함할 수 있다.The diaphragm 11 may include an upper plate 11a and a lower plate 11b.

상부 플레이트(11a)는 하부 플레이트(11b)의 양측에 결합되며 후술하게 될 중량체(150)와 결합하는 부분이다. The upper plate 11a is a portion that is coupled to both sides of the lower plate 11b and engages with the weight 150 to be described later.

도 3에 도시된 바와 같이, 하부 플레이트(11b)는 압전소자(100)가 결합되는 부분이고, 하부 플레이트(11b)와 상부 플레이트(11a)는 일체형 단일 부품으로 이루어질 수 있으며, 이와 달리 다양한 접합 방식으로 고정 결합될 수도 있다. 3, the lower plate 11b is a portion to which the piezoelectric element 100 is coupled, and the lower plate 11b and the upper plate 11a can be formed as an integral single component. Alternatively, As shown in Fig.

접착부재(12)는 압전소자(100)가 진동판(11)에 결합되도록, 그 사이에 개재될 수 있다. 접착부재(12)에 의하면, 압전소자(100)가 진동판(11)에 용이하게 부착될 수 있다. 또한, 접착부재(12)는 압전소자(100)와 진동판(11)을 서로 절연시킬 수 있다. The adhesive member 12 can be interposed therebetween such that the piezoelectric element 100 is bonded to the diaphragm 11. [ With the adhesive member 12, the piezoelectric element 100 can be easily attached to the diaphragm 11. [ Further, the bonding member 12 can insulate the piezoelectric element 100 from the diaphragm 11 from each other.

압전소자(100)는 전압 인가에 따라 신축하는 성질을 가지는 소자이다. 압전소자(100)에 전압이 인가되는 경우, 압전층(110) 내에서 두 전극(+, -) 사이에 전계가 형성되며, 압전층(110) 내부에 발생하는 다이폴(dipole)에 의하여 압전층(110)의 내부구조가 변형되어 압전층(110)이 신축할 수 있다.The piezoelectric element 100 is a device having a property of expanding and contracting according to a voltage application. When a voltage is applied to the piezoelectric element 100, an electric field is formed between the two electrodes (+, -) in the piezoelectric layer 110, and a dipole generated in the piezoelectric layer 110 forms a piezoelectric layer The internal structure of the piezoelectric layer 110 is deformed and the piezoelectric layer 110 can expand and contract.

압전소자(100)가 진동판(11)에 결합된 상태에서 좌우로 신축하면 진동판(11)을 상하로 진동시킬 수 있다. 즉, 압전소자(100)의 압전 특성은 진동판(11)의 진동을 유도할 수 있다.The diaphragm 11 can be vertically vibrated when the piezoelectric element 100 is stretched in the left and right directions in a state where the piezoelectric element 100 is coupled to the diaphragm 11. [ That is, the piezoelectric characteristics of the piezoelectric element 100 can induce the vibration of the diaphragm 11. [

압전소자(100)는 복수의 압전층(110)과 복수의 전극층(120)으로 이루어지고, 복수의 전극층(120)은 서로 나란하게 적층되며, 전극층(120) 사이마다 압전층(110)이 개재된다.The piezoelectric element 100 includes a plurality of piezoelectric layers 110 and a plurality of electrode layers 120. The plurality of electrode layers 120 are stacked side by side and the piezoelectric layers 110 are interposed between the electrode layers 120. [ do.

압전층(110)은 압전 특성이 나타나는 층으로, PNN-PZT(lead zirconate titanate)계 세라믹을 포함하는 재료로 이루어질 수 있다. 이 경우, 압전층(110)의 재료는 다음의 조성물을 주성분으로 할 수 있다.The piezoelectric layer 110 may be formed of a material including PNN-PZT (lead zirconate titanate) ceramic. In this case, the material of the piezoelectric layer 110 may comprise the following composition as a main component.

x[Pb{ZryTi(1-y)}O3]-(1-x)[Pb(NizNb(1-z))O3] x [Pb {Zr y Ti ( 1-y)} O 3] - (1-x) [Pb (Ni z Nb (1-z)) O 3]

여기서, x, y, z는 상수값으로, x는 0.8, y는 0.44 그리고 z는 1/3일 수 있다.Here, x, y, and z are constant values, x may be 0.8, y may be 0.44, and z may be 1/3.

또한, 압전층(110)의 재료는 소결조제로 사용되는 부성분을 더 포함할 수 있다. 부성분은 산화니켈(NiO), 산화구리(CuO), 산화아연(ZnO) 및 산화납(PbO) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Further, the material of the piezoelectric layer 110 may further include a subcomponent used as a sintering aid. The subcomponent may include at least one of nickel oxide (NiO), copper oxide (CuO), zinc oxide (ZnO), and lead oxide (PbO).

압전층(110)은 복수일 수 있으며, 이 경우, 낮은 전압에서도 압전소자(100)의 구동에 필요한 전계를 확보할 수 있다. 즉, 복수의 압전층(110)을 가지는 압전소자(100)는 동일 전압으로 더 큰 압전 특성을 구현할 수 있다. In this case, an electric field necessary for driving the piezoelectric element 100 can be secured even at a low voltage. That is, the piezoelectric element 100 having a plurality of piezoelectric layers 110 can realize larger piezoelectric characteristics at the same voltage.

압전층(110)은 일방향으로 연장된 직육면체 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 압전층(110)은 상기 일방향으로 신축될 수 있다.The piezoelectric layer 110 may have a rectangular parallelepiped shape extending in one direction. In this case, the piezoelectric layer 110 can be expanded and contracted in the one direction.

전극층(120)은 압전층(110)에 전계를 형성시키는 전도체이다. 전극층(120)은 은(Ag)과 팔라듐(Pd) 중 적어도 하나를 포함하는 전극 페이스트(paste)가 압전층의 일면 또는 양면에 인쇄된 후 소성됨으로써 형성될 수 있다. 예를 들어, 은과 팔라듐 혼합물로 이루어진 전극 페이스트에서, 은/팔라듐의 값은 7/3 이상 9.5/0.5 이하일 수 있다. The electrode layer 120 is a conductor that forms an electric field in the piezoelectric layer 110. The electrode layer 120 may be formed by printing an electrode paste containing at least one of silver (Ag) and palladium (Pd) on one side or both sides of a piezoelectric layer and then firing. For example, in an electrode paste composed of a mixture of silver and palladium, the value of silver / palladium may be 7/3 to 9.5 / 0.5 or less.

전극층(120)은 주전극(121)과 접속전극(122)으로 구분될 수 있다. The electrode layer 120 may be divided into a main electrode 121 and a connection electrode 122.

주전극(121)은 압전층(110) 내에 전계를 형성시키는 주된 전극으로 압전층(110) 일면의 대부분을 커버한다. 또한, 압전층(110)의 전계 형성을 위해, 하나의 압전층(110)의 양면에 서로 다른 극의 주전극(121)이 위치하게 된다.The main electrode 121 covers most of one surface of the piezoelectric layer 110 as a main electrode for forming an electric field in the piezoelectric layer 110. In order to form the electric field of the piezoelectric layer 110, the main electrodes 121 of different polarities are positioned on both sides of one piezoelectric layer 110.

접속전극(122)은 서로 같은 극을 가지는 서로 다른 층에 위치한 주전극(121)을 전기적으로 접속시켜주는 매개체이다. 즉, 접속전극(122)은 다른 층에 위치한 전극층(120)의 주전극(121)과 전기적으로 연결된다. The connection electrode 122 is a medium for electrically connecting the main electrodes 121 located on different layers having the same polarity. That is, the connection electrode 122 is electrically connected to the main electrode 121 of the electrode layer 120 located in another layer.

하나의 전극층(120)은 한 개의 주전극(121)과 한 개의 접속전극(122)을 가지게 되며, 하나의 전극층(120)에서 주전극(121)과 접속전극(122)은 서로 다른 극을 가진다.One electrode layer 120 has one main electrode 121 and one connection electrode 122. In one electrode layer 120, the main electrode 121 and the connection electrode 122 have different polarities .

접속전극(122)은 압전층(110)의 일면의 코너부에 배치되고, 주전극(121)은 접속전극(122)과 이격되도록 압전층(110)의 일면을 커버한다. 접속전극(122)은 압전층(110)의 압전 특성을 일으키지 않으므로 주전극(121)의 역할 수행에 최대한 방해되지 않도록 압전층(110) 일면의 코너부에 배치될 수 있다. 또한, 접속전극(122)과 주전극(121)은 서로 다른 극을 가지므로 이격될 필요가 있다.The main electrode 121 covers one surface of the piezoelectric layer 110 so as to be spaced apart from the connection electrode 122. The connection electrode 122 is disposed at a corner of one surface of the piezoelectric layer 110, The connection electrode 122 does not cause the piezoelectric characteristics of the piezoelectric layer 110 and can be disposed at the corner of the piezoelectric layer 110 so as not to disturb the function of the main electrode 121. In addition, the connection electrode 122 and the main electrode 121 have different polarities and need to be spaced apart from each other.

접속전극(122)이 압전층(110) 일면의 코너부에 위치하지 않는 경우에는, 주전극(121) 중 실질적으로 진동하는 면적은 주전극(121)의 실제 면적보다 작다. 그러나, 접속전극(122)이 압전층(110) 일면의 코너부에 배치되면, 주전극(121)의 전체가 진동할 수 있다.When the connecting electrode 122 is not located at the corner of one side of the piezoelectric layer 110, the area of the main electrode 121 that is substantially oscillated is smaller than the actual area of the main electrode 121. However, if the connection electrode 122 is disposed at the corner of one surface of the piezoelectric layer 110, the entire main electrode 121 can vibrate.

또한, 이웃하는 두 개의 전극층(120)에 있어서, 각각의 접속전극(122)은 모두 압전층(110)의 코너부에 위치한다. 이 경우, 각각의 접속전극(122)은 서로 대각 방향에 위치한다. 여기서 '이웃하는 두 개의 전극층(120)'은 하나의 압전층(110)의 양면에 배치된 전극층(120)을 의미한다.In each of the neighboring two electrode layers 120, each of the connection electrodes 122 is located at a corner of the piezoelectric layer 110. In this case, each of the connection electrodes 122 is positioned in a diagonal direction with respect to each other. Here, the 'neighboring two electrode layers 120' means the electrode layers 120 disposed on both sides of one piezoelectric layer 110.

이하, 도 4 및 도 5를 참조하여, 예를 들어 설명한다. 도 4는 네 개의 압전층과 다섯 개의 전극층을 나타낸 도면이고, 도 5는 도 4의 압전층(110a) 및 전극층(120a)의 일부를 나타낸 도면이다. Hereinafter, an example will be described with reference to Figs. 4 and 5. Fig. Fig. 4 is a view showing four piezoelectric layers and five electrode layers, and Fig. 5 is a view showing a part of the piezoelectric layer 110a and the electrode layer 120a in Fig.

네 개의 압전층은 110a, 110b, 110c, 110d로 나타내었다. 다섯 개의 전극층은 120a, 120b, 120c, 120d, 120e로 나타내되, 전극층의 주전극과 접속전극을 분리하여 도시하였다. The four piezoelectric layers are denoted by 110a, 110b, 110c and 110d. The five electrode layers are shown as 120a, 120b, 120c, 120d and 120e, and the main electrode and the connection electrode of the electrode layer are shown separately.

도 4에서, 가장 상부에 위치한 압전층(110a)을 살펴보면, 압전층(110a)의 양면에 두 개의 전극층(120a, 120b)이 배치된다. 상면에 위치한 전극층(120a)은 주전극(121a)과 접속전극(122a)을 가지고, 하면에 위치한 전극층(120b)은 주전극(121b)과 접속전극(122b)을 가진다. 4, two piezoelectric layers 120a and 120b are disposed on both sides of the piezoelectric layer 110a. The electrode layer 120a located on the upper surface has the main electrode 121a and the connection electrode 122a and the electrode layer 120b located on the lower surface has the main electrode 121b and the connection electrode 122b.

여기서, 상면에 위치한 주전극(121a)과 하면에 위치한 주전극(121b)은 서로 다른 극을 가지고, 상면에 위치한 주전극(121a)과 상면에 위치한 접속전극(122a)은 서로 다른 극을 가진다. 또한, 상면에 위치한 접속전극(122a)은 하면에 위치한 주전극(121b)과 서로 동일한 극을 가지고, 서로 전기적으로 연결된다.The main electrode 121a located on the upper surface and the main electrode 121b located on the lower surface have different polarities and the main electrode 121a located on the upper surface and the connection electrode 122a located on the upper surface have different polarities. In addition, the connection electrodes 122a located on the upper surface have the same polarity as the main electrodes 121b located on the lower surface, and are electrically connected to each other.

상면에 위치한 접속전극(122a)은 압전층(110a) 일면의 코너부에 위치하고, 하면에 위치한 접속전극(122b)은 압전층(110a) 타면의 코너부에 위치한다. 다만, 상면에 위치한 접속전극(122a)과 하면에 위치한 접속전극(122b)은 서로 대각 방향에 배치된다.The connection electrode 122a located on the upper surface is located at the corner of one surface of the piezoelectric layer 110a and the connection electrode 122b located at the lower surface is located at the corner of the other surface of the piezoelectric layer 110a. However, the connection electrode 122a located on the upper surface and the connection electrode 122b located on the lower surface are arranged in a diagonal direction with respect to each other.

이러한 접속전극(122)의 배치 특성은 모든 압전층(110) 및 전극층(120)에 적용될 수 있고, 도 4에 도시된 바와 같이, 접속전극(122)이 대각 방향의 두 코너부에 번갈아 위치하게 된다. 이에 따라, 압전소자의 휨(warpage) 현상이 방지될 수 있다.The arrangement characteristics of the connection electrodes 122 can be applied to all of the piezoelectric layers 110 and the electrode layers 120 so that the connection electrodes 122 are alternately arranged at two corner portions in the diagonal direction do. Accordingly, the warpage phenomenon of the piezoelectric element can be prevented.

이 경우, 두 가지 타입(type)의 전극층이 반복 적층된다. 즉, 전극층 120a, 120c, 120e의 제1 타입과, 전극층 120b, 120d의 제2 타입이 반복 적층된다. 도 5에는 제1 타입의 전극층(120a)이 도시되어 있다. 두 가지 타입의 반복 적층으로 다층의 압전소자(100)가 용이하게 제조될 수 있다.In this case, two types of electrode layers are repeatedly laminated. That is, the first type of the electrode layers 120a, 120c, and 120e and the second type of the electrode layers 120b and 120d are repeatedly stacked. FIG. 5 shows a first type of electrode layer 120a. The multilayer piezoelectric element 100 can be easily manufactured with two types of repetitive lamination.

한편, 도 5를 참조하면, 접속전극(122)은 사각형 형상을 가질 수 있다. 압전층(110)의 일면이 직사각형 형상을 가지는 경우, 접속전극(122)의 압전층(110)의 폭방향으로 연장된 변의 길이(B)는, 주전극(121)의 압전층(110)의 폭방향 길이(A)의 절반 이하일 수 있다. 접속전극(122)의 변의 길이가 지나치게 긴 경우, 주전극(121)이 압전층(110)의 압전 특성을 발휘시킬 수 있는 영역이 줄어든다.Meanwhile, referring to FIG. 5, the connection electrode 122 may have a rectangular shape. The length B of the side of the connection electrode 122 extending in the width direction of the piezoelectric layer 110 is set to be shorter than the length B of the side of the piezoelectric layer 110 of the main electrode 121, May be less than half of the width direction length (A). When the length of the side of the connection electrode 122 is excessively long, the area where the main electrode 121 can exert the piezoelectric characteristics of the piezoelectric layer 110 is reduced.

예를 들어, 주전극(121)이 16.7(mm) x 2(mm) 의 크기를 가지는 경우, 즉, 주전극(121)의 폭방향 길이(A)가 2mm인 경우, 정사각형의 접속전극(122)의 폭방향 길이(B)는 0.9mm일 수 있다.For example, when the main electrode 121 has a size of 16.7 (mm) x 2 (mm), that is, when the width A of the main electrode 121 is 2 mm, May be 0.9 mm in the width direction.

이 경우, 주전극(121)의 면적에 대한 접속전극(122)의 면적은 3% 이하일 수 있다. 상기 예에서, 주전극(121)의 면적이 33.4 ㎟이고, 접속전극(122)의 면적은 0.81 ㎟일 수 있다.In this case, the area of the connection electrode 122 with respect to the area of the main electrode 121 may be 3% or less. In this example, the area of the main electrode 121 is 33.4 mm 2, and the area of the connection electrode 122 is 0.81 mm 2.

압전소자(100)는 비아(130)를 더 포함할 수 있다. 비아(130)는 하나의 전극층의 접속전극(122)과 이웃하는 다른 하나의 전극층의 주전극(121)을 전기적으로 연결시키도록, 두 전극층 사이에 개재된 압전층(110)을 관통하는 연결체이다. The piezoelectric element 100 may further include a via 130. The vias 130 are connected to the piezoelectric layer 110 interposed between the two electrode layers so as to electrically connect the connection electrode 122 of one electrode layer and the main electrode 121 of the other adjacent electrode layer, to be.

비아(130)는 압전소자(100)에 대해 수직하게 일직선으로 형성될 수 있다. 비아(130)는 접속전극(122)의 위치와 대응되게 형성되며, 압전층(110)의 코너부에 위치할 수 있다. 비아(130)는 (+)극의 전극들을 연결시키는 것과 (-)극의 전극들을 연결시키는 것 두 가지로 구분된다.The via 130 may be formed in a straight line perpendicular to the piezoelectric element 100. The via 130 is formed to correspond to the position of the connection electrode 122 and may be located at the corner of the piezoelectric layer 110. The via 130 is divided into two types, that is, a connection of the (+) electrode and a connection of the (-) electrode.

비아(130)는 접속전극(122)의 중앙과 접촉될 수 있다. 이 경우, 접속전극(122)의 내측에 비아홀이 형성될 수 있으며, 비아(130)는 비아홀이 매립되어 형성될 수 있다. 접속전극이 0.9(mm) x 0.9(mm)의 크기를 갖는 경우, 비아홀 직경은 92 ~ 103 ㎛일 수 있다.The via 130 may be in contact with the center of the connection electrode 122. In this case, a via hole may be formed inside the connection electrode 122, and the via 130 may be formed by filling the via hole. When the connecting electrode has a size of 0.9 (mm) x 0.9 (mm), the diameter of the via hole may be 92 to 103 탆.

압전소자(100)는 비압전층(140) 및 단자(131)를 더 포함할 수 있다. 비압전층(140)은 전극층(120) 중 최단층에 위치하는 것 중 적어도 하나를 커버하는 층으로, 압전층(110) 및 전극층(120)을 보호한다. 비압전층(140)에는 전계가 형성되지 않으므로 압전 특성이 발휘되지 않는다.The piezoelectric element 100 may further include a non-piezoelectric layer 140 and a terminal 131. The non-piezoelectric layer 140 protects the piezoelectric layer 110 and the electrode layer 120 by covering at least one of the electrode layers 120 located in the shortest layer. The electric field is not formed in the non-piezoelectric layer 140, so that the piezoelectric characteristics are not exhibited.

비압전층(140)은 제1 커버층(141)과 제2 커버층(142)을 포함할 수 있다. The non-piezoelectric layer 140 may include a first cover layer 141 and a second cover layer 142.

제1 커버층(141)은 진동판(11)의 반대편에 위치하는 비압전층이고, 제2 커버층(142)은 진동판(11) 측에 위치하는 비압전층이다. 진동판(11)과 제2 커버층 사이(142)에는 상술한 접착부재(12)가 개재될 수 있다.The first cover layer 141 is a non-piezoelectric layer positioned on the opposite side of the diaphragm 11 and the second cover layer 142 is a non-piezoelectric layer located on the side of the diaphragm 11. [ The above-described adhesive member 12 may be interposed between the diaphragm 11 and the second cover layer 142.

제1 커버층(141)과 제2 커버층(142)은 압전층(110)을 구성하는 재료와 동일할 수 있다. 즉, 제1 커버층(141)과 제2 커버층(142)은 압전층(110)을 구성하는 것과 동일한 PNN-PZT계 세라믹을 포함하는 재료로 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 커버층(141)과 제2 커버층(142)은 다음의 조성물을 주성분으로 하여 형성될 수 있다.The first cover layer 141 and the second cover layer 142 may be the same as the material constituting the piezoelectric layer 110. That is, the first cover layer 141 and the second cover layer 142 may be formed of a material including the same PNN-PZT ceramic as the piezoelectric layer 110. In this case, the first cover layer 141 and the second cover layer 142 may be formed using the following composition as a main component.

x[Pb{ZryTi(1-y)}O3]-(1-x)[Pb(NizNb(1-z))O3] x [Pb {Zr y Ti ( 1-y)} O 3] - (1-x) [Pb (Ni z Nb (1-z)) O 3]

여기서, x는 0.8, y는 0.44 그리고 z는 1/3일 수 있다.Here, x may be 0.8, y may be 0.44, and z may be 1/3.

제1 커버층(141)과 제2 커버층(142) 각각의 두께는 한 개의 압전층(110)의 두께보다 작을 수 있다. 예를 들어, 압전층(110) 한 개의 두께가 약 80㎛인 경우, 제1 제1 커버층(141)과 제2 커버층(142)은 각각 약 30㎛ 의 두께를 가질 수 있다.The thickness of each of the first cover layer 141 and the second cover layer 142 may be smaller than the thickness of one piezoelectric layer 110. For example, if the thickness of one piezoelectric layer 110 is about 80 μm, the first first cover layer 141 and the second cover layer 142 may each have a thickness of about 30 μm.

단자(131)는 전극층(120)이 외부전원과 전기적으로 연결되도록 하는 것으로, 외부로 노출되게 비압전층(140) 표면에 형성될 수 있다. 단자(131)는 제1 커버층(141)의 표면에 형성될 수 있다.The terminal 131 may be formed on the surface of the non-piezoelectric layer 140 so that the electrode layer 120 is electrically connected to an external power source and exposed to the outside. The terminal 131 may be formed on the surface of the first cover layer 141.

단자(131)는 비아(130) 위치와 대응되게 형성될 수 있으나, 도 6에 도시된 바와 같이, 비아(130) 위치와 다르게 형성될 수 있다. 이 경우, 리드선을 개재시켜 단자(131)의 위치를 필요에 따라 변경시킬 수 있다.The terminal 131 may be formed to correspond to the position of the via 130, but may be formed differently from the position of the via 130, as shown in FIG. In this case, the position of the terminal 131 can be changed as needed through the lead wire.

단자(131)는 한 쌍으로 이루어져, 각각은 (+)극 또는 (-)극과 연결될 수 있다. 단자(131)는 원형 형상을 가질 수 있고, 그 직경은 1mm 이내일 수 있다.The terminals 131 are composed of a pair, each of which may be connected to a (+) pole or a (-) pole. The terminal 131 may have a circular shape, and the diameter thereof may be within 1 mm.

압전소자(100)는 수지층(R)을 더 포함할 수 있다. The piezoelectric element 100 may further include a resin layer (R).

수지층(R)은 압전층(110) 및 전극층(120)의 측면을 커버하여 내부로 습기 또는 이물질이 투입되는 것을 방지한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 수지층(R)은 압전층(110) 및 전극층(120)의 측면뿐만 아니라 제1 커버층(141)의 일부까지 커버할 수 있다. 수지층(R)은 에폭시 수지일 수 있다.The resin layer R covers the side surfaces of the piezoelectric layer 110 and the electrode layer 120 to prevent moisture or foreign matter from entering the inside. 5, the resin layer R may cover not only the side surfaces of the piezoelectric layer 110 and the electrode layer 120 but also a part of the first cover layer 141. [ The resin layer (R) may be an epoxy resin.

한편, 도면에는 수지층(R)이 압전층(110) 및 전극층(120)의 양 측면을 커버하도록 도시되어 있으나, 수지층(R)은 압전층(110) 및 전극층(120)의 네 측면을 모두 커버할 수 있다.Although the resin layer R is shown to cover both sides of the piezoelectric layer 110 and the electrode layer 120 in the figure, the resin layer R has four sides of the piezoelectric layer 110 and the electrode layer 120 You can cover it all.

도 1 및 2를 다시 참조하면, 중량체(150)는 진동력을 최대로 증가시키는 매개물로서, 진동판(11)의 상부에 위치한다. 중량체(150)에 의하여 햅틱감이 향상될 수 있다. Referring again to Figs. 1 and 2, the weight 150 is located at the top of the diaphragm 11 as a medium for maximally increasing the vibration force. The haptic feel can be improved by the weight 150. [

중량체(150)는 진동판(11)의 상부 플레이트(11a)와 결합될 수 있으며, 하부 플레이트(11b)와 직접적으로 접촉되지 않도록 양단부에서 중심부를 향하여 경사지게 형성될 수 있다. 또한, 중량체(150)는 금속 재질로 형성될 수 있으며, 동일 체적에서 상대적으로 밀도가 높은 텅스텐(W) 재질로 형성될 수 있다. The weight 150 may be engaged with the upper plate 11a of the diaphragm 11 and be inclined from both ends toward the center so as not to directly contact the lower plate 11b. In addition, the weight 150 may be formed of a metal material and may be formed of tungsten (W) material having a relatively high density at the same volume.

케이스(160)는 진동판(11), 압전소자(100) 및 중량체(150)를 모두 커버하는 하우징(housing)으로서 진동판(11), 압전소자(100) 및 중량체(150)를 비롯한 압전진동모듈(10)의 내부 부품들을 보호하는 역할을 한다.The case 160 is a housing that covers both the diaphragm 11, the piezoelectric element 100 and the weight 150. The case 160 includes a vibration plate 11, a piezoelectric element 100, and a weight 150, And protects the internal components of the module 10.

케이스(160)는, 상부 케이스와 하부 케이스로 나누어질 수 있다. 하부 케이스는 도 1에 도시된 바와 같이 가늘고 긴 편평한 형상으로 형성되며, 상부 케이스의 개방 하부면을 폐쇄할 수 있는 크기로 형성된다. 상부 케이스와 하부 케이스는 통상의 기술자에게 이미 널리 알려져 있는 코킹(caulking), 용접 혹은 본딩 등 다양한 방식으로 결합될 수 있다.The case 160 can be divided into an upper case and a lower case. The lower case is formed into a slender, elongated flat shape as shown in Fig. 1, and is formed to have a size capable of closing the open lower face of the upper case. The upper case and the lower case may be combined in various ways, such as caulking, welding or bonding, which are well known to those skilled in the art.

하부 케이스는 진동판(11)의 하부 플레이트와 소정의 간격을 두고 평행하게 이격되어 있으며, 하부 플레이트는 하부 케이스의 양단부에 결합되어 고정될 수 있다.The lower case is spaced apart from the lower plate of the diaphragm 11 at a predetermined distance in parallel, and the lower plate can be fixedly coupled to both ends of the lower case.

제1 댐퍼(151)는 중량체(150)와 케이스(160) 사이에 개재되어 중량체(150)가 케이스(160)에 부딪혀 파손되는 것을 방지할 수 있다. 제1 댐퍼(151)는 중량체(150) 상부에 결합될 수 있고, 탄성부재, 예를 들어 고무 재질로 형성될 수 있다. The first damper 151 is interposed between the weight 150 and the case 160 to prevent the weight 150 from being damaged by colliding with the case 160. The first damper 151 may be coupled to the upper portion of the weight 150 and may be formed of an elastic member, for example, a rubber material.

제2 댐퍼(152)는 중량체(150)와 진동판(11) 사이에 개재되어 중량체(150)와 진동판(11) 간의 충격을 완화할 수 있다. 제2 댐퍼(152)는 중량체(150) 하부에 결합될 수 있으며, 제1 댐퍼(151)와 마찬가지로 탄성부재, 예를 들어 고무 재질로 형성될 수 있다. The second damper 152 is interposed between the weight 150 and the diaphragm 11 to mitigate the impact between the weight 150 and the diaphragm 11. [ The second damper 152 may be coupled to the lower portion of the weight 150 and may be formed of an elastic member, for example, a rubber material, similar to the first damper 151.

기판(170)은 압전소자(100)의 전극층(120)에 전압을 인가하기 위하여 압전소자(100)에 결합되는 회로기판이다. 기판(170)은 압전소자(100) 하부에 결합될 수 있으며, 플렉서블 피씨비(flexible PCB, FPCB)일 수 있다. The substrate 170 is a circuit board that is coupled to the piezoelectric element 100 to apply a voltage to the electrode layer 120 of the piezoelectric element 100. The substrate 170 may be bonded to the lower portion of the piezoelectric element 100 and may be a flexible PCB (FPCB).

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit of the invention as set forth in the appended claims. The present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, and it is also within the scope of the present invention.

10: 압전진동모듈
11: 진동판
11a: 상부 플레이트
11b: 하부 플레이트
12: 접착부재
100: 압전소자
110: 압전층
120: 전극층
121: 주전극
122: 접속전극
130: 비아
131: 단자
140: 비압전층
141: 제1 커버층
142: 제2 커버층
150: 중량체
151: 제1 댐퍼
152: 제2 댐퍼
160: 케이스
170: 기판
R: 수지층10: Piezoelectric vibration module
11: Diaphragm
11a: upper plate
11b: Lower plate
12:
100: piezoelectric element
110: piezoelectric layer
120: electrode layer
121: main electrode
122: connecting electrode
130: Via
131: terminal
140: non-piezoelectric layer
141: first cover layer
142: second cover layer
150: Weight
151: first damper
152: second damper
160: Case
170: substrate
R: resin layer

Claims (20)

복수의 전극층; 및 상기 전극층 사이마다 개재되는 압전층을 포함하는 압전소자에 있어서,
각각의 전극층은, 서로 다른 극을 가지는 주전극과 접속전극을 포함하고,
상기 접속전극은 상기 압전층의 일면의 코너부에 배치되고,
상기 주전극은 상기 접속전극과 이격되도록 상기 압전층의 일면을 커버하는 것을 특징으로 하는 압전소자.
A plurality of electrode layers; And a piezoelectric layer interposed between the electrode layers,
Each of the electrode layers includes a main electrode and a connection electrode having different polarities,
The connection electrode is disposed at a corner of one surface of the piezoelectric layer,
And the main electrode covers one surface of the piezoelectric layer so as to be spaced apart from the connection electrode.
제1항에 있어서,
하나의 전극층의 상기 접속전극; 및 이웃하는 다른 하나의 전극층의 상기 주전극을 전기적으로 연결시키도록, 두 전극층 사이에 개재된 상기 압전층을 관통하는 비아를 더 포함하는 압전소자.
The method according to claim 1,
The connection electrode of one electrode layer; And a via penetrating the piezoelectric layer interposed between the two electrode layers so as to electrically connect the main electrode of the other one of the adjacent electrode layers.
제2항에 있어서,
이웃하는 두 개의 상기 전극층에 있어서,
각각의 상기 접속전극은 대각 방향에 위치한 코너부에 배치되는 것을 특징으로 하는 압전소자.
3. The method of claim 2,
In the two neighboring electrode layers,
Wherein each of the connection electrodes is disposed at a corner portion positioned in a diagonal direction.
제1항에 있어서,
상기 압전층은, 일방향으로 신축하도록 상기 일방향으로 연장되는 직육면체 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 압전소자.
The method according to claim 1,
Wherein the piezoelectric layer has a rectangular parallelepiped shape extending in one direction so as to extend and contract in one direction.
제4항에 있어서,
상기 접속전극은 사각형 형상을 가지고,
상기 접속전극의 상기 압전층의 폭방향으로 연장된 변의 길이는, 상기 주전극의 상기 압전층의 폭방향의 길이의 절반 이하인 것을 특징으로 하는 압전소자.
5. The method of claim 4,
Wherein the connection electrode has a rectangular shape,
Wherein the length of the side of the connection electrode extending in the width direction of the piezoelectric layer is not more than half the length of the main electrode in the width direction of the piezoelectric layer.
제4항에 있어서,
하나의 전극층에서,
상기 주전극의 면적에 대한 상기 접속전극의 면적은 3% 이하인 것을 특징으로 하는 압전소자.
5. The method of claim 4,
In one electrode layer,
And the area of the connection electrode with respect to the area of the main electrode is 3% or less.
제1항에 있어서,
최단층에 위치하는 상기 전극층 중 적어도 하나를 커버하는 비압전층을 더 포함하는 압전소자.
The method according to claim 1,
And a non-piezoelectric layer covering at least one of the electrode layers located in the shortest layer.
제7항에 있어서,
상기 전극층과 전기적으로 연결되도록, 상기 비압전층 표면에 형성되는 단자를 더 포함하는 압전소자.
8. The method of claim 7,
And a terminal formed on the surface of the non-piezoelectric layer so as to be electrically connected to the electrode layer.
제1항에 있어서,
상기 압전층 및 상기 전극층의 측면을 커버하는 수지층을 더 포함하는 압전소자.
The method according to claim 1,
And a resin layer covering the side surfaces of the piezoelectric layer and the electrode layer.
진동판; 및 상기 진동판에 결합되어 상기 진동판을 진동시키는 압전소자를 포함하고, 상기 압전소자는 복수의 전극층; 및 상기 전극층 사이마다 개재되는 압전층을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전진동모듈에 있어서,
상기 압전소자에서,
각각의 전극층은, 서로 다른 극을 가지는 주전극과 접속전극을 포함하고,
상기 접속전극은 상기 압전층의 일면의 코너부에 배치되고,
상기 주전극은 상기 접속전극과 이격되도록 상기 압전층의 일면을 커버하는 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
tympanum; And a piezoelectric element coupled to the diaphragm to vibrate the diaphragm, wherein the piezoelectric element includes a plurality of electrode layers; And a piezoelectric layer sandwiched between the electrode layers, the piezoelectric vibrating module comprising:
In the piezoelectric element,
Each of the electrode layers includes a main electrode and a connection electrode having different polarities,
The connection electrode is disposed at a corner of one surface of the piezoelectric layer,
And the main electrode covers one surface of the piezoelectric layer so as to be spaced apart from the connection electrode.
제10항에 있어서,
하나의 전극층의 상기 접속전극; 및 이웃하는 다른 하나의 전극층의 상기 주전극을 전기적으로 연결시키도록, 두 전극층 사이에 개재된 상기 압전층을 관통하는 비아를 더 포함하는 압전진동모듈.
11. The method of claim 10,
The connection electrode of one electrode layer; And a via penetrating the piezoelectric layer interposed between the two electrode layers so as to electrically connect the main electrode of the other one of the adjacent electrode layers.
제11항에 있어서,
이웃하는 두 개의 상기 전극층에 있어서,
각각의 상기 접속전극은 대각 방향에 위치한 코너부에 배치되는 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
12. The method of claim 11,
In the two neighboring electrode layers,
And each of the connection electrodes is disposed at a corner portion located in a diagonal direction.
제10항에 있어서,
상기 압전층은, 일방향으로 신축하도록 상기 일방향으로 연장되는 직육면체 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
11. The method of claim 10,
Wherein the piezoelectric layer has a rectangular parallelepiped shape extending in one direction so as to extend and contract in one direction.
제13항에 있어서,
상기 접속전극은 사각형 형상을 가지고,
상기 접속전극의 상기 압전층의 폭방향으로 연장된 변의 길이는, 상기 주전극의 상기 압전층의 폭방향의 길이의 절반 이하인 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
Wherein the connection electrode has a rectangular shape,
Wherein a length of a side of the connecting electrode extending in a width direction of the piezoelectric layer is not more than half the length of a width direction of the piezoelectric layer of the main electrode.
제13항에 있어서,
하나의 전극층에서,
상기 주전극의 면적에 대한 상기 접속전극의 면적은 3% 이하인 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
In one electrode layer,
Wherein an area of the connecting electrode with respect to an area of the main electrode is 3% or less.
제10항에 있어서,
최단층에 위치하는 상기 전극층 중 적어도 하나를 커버하는 비압전층을 더 포함하는 압전진동모듈.
11. The method of claim 10,
And a non-piezoelectric layer covering at least one of the electrode layers located in the shortest layer.
제16항에 있어서,
상기 전극층과 전기적으로 연결되도록, 상기 비압전층 표면에 형성되는 단자를 더 포함하는 압전진동모듈.
17. The method of claim 16,
And a terminal formed on the surface of the non-piezoelectric layer so as to be electrically connected to the electrode layer.
제10항에 있어서,
상기 압전층 및 상기 전극층의 측면을 커버하는 수지층을 더 포함하는 압전진동모듈.
11. The method of claim 10,
And a resin layer covering the side surfaces of the piezoelectric layer and the electrode layer.
제10항에 있어서,
상기 진동판 및 상기 압전소자 사이게 개재되는 접착제를 더 포함하는 압전진동모듈.
11. The method of claim 10,
And an adhesive interposed between the diaphragm and the piezoelectric element.
제10항에 있어서,
상기 진동판의 상부에 배치되는 중량체를 더 포함하는 압전진동모듈.11. The method of claim 10,
And a weight disposed on the top of the diaphragm.
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