KR20160016246A - Piezoelectric elemet and piezoelectric vibration module having the smae - Google Patents

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김경록
이승호
서정욱
박희선
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Abstract

In a piezoelectric element where a first electrode layer and a second electrode layer are alternately stacked and a piezoelectric layer is interposed between the first electrode and the second electrode, the first electrode layer comprises a pair of first electrodes arranged at both sides in order to separate both inner end parts of the electrode layer from each other. The second electrode layer comprises a pair of second electrodes arranged at both sides in order to separate both inner end parts of the second electrode layer from each other. A straight line which connects the inner end part of the first electrode and the inner end part of the second electrode arranged on a side, is at an angle of less than 90 degrees from the lengthwise direction of the piezoelectric layer.

Description

압전소자 및 이를 포함하는 압전진동모듈{PIEZOELECTRIC ELEMET AND PIEZOELECTRIC VIBRATION MODULE HAVING THE SMAE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a piezoelectric device and a piezoelectric vibration module including the piezoelectric device,

본 발명은 압전소자 및 이를 포함하는 압전진동모듈에 관한 것이다.
The present invention relates to a piezoelectric element and a piezoelectric vibration module including the piezoelectric element.

터치패널, 터치키보드 등은 전자기기에 장착되어 문자나 그림을 입력할 때 사용자 손끝에 진동을 줄 수 있다. The touch panel, the touch keyboard, and the like can be attached to an electronic device to vibrate the user's finger when inputting a character or a picture.

이러한 기능은 압전 엑추에이터(piezoelectric actuator)와 같은 진동발생수단에 의해 터치패널에 진동감이 인가됨으로써 사용자에게 진동감이 전달되는 구조로 구현될 수 있다. Such a function can be realized by a structure in which a vibration is transmitted to a user by applying vibration to the touch panel by a vibration generating means such as a piezoelectric actuator.

압전 엑추에이터로 세라믹 압전체가 사용될 수 있다. 세라믹 압전체가 압전 특성에 따른 진동하는 경우, 압전체를 이루는 압전층에 크랙(crack)이 발생하는 문제점이 발생할 수 있다. 크랙의 발생률이 높은 경우 압전 엑추에이터의 신뢰성이 감소된다. A ceramic piezoelectric body can be used as the piezoelectric actuator. When the ceramic piezoelectric body vibrates according to the piezoelectric characteristics, a crack may be generated in the piezoelectric layer constituting the piezoelectric body. When the incidence of cracks is high, the reliability of the piezoelectric actuator is reduced.

본 발명의 배경기술은 일본 공개특허공보 제2002-299706호(2002.10.11 공개, 적층형 압전 액추에이터)에 개시되어 있다.
The background art of the present invention is disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2002-299706 (published on Oct. 11, 2002, Laminated piezoelectric actuator).

본 발명의 목적은 크랙의 발생율을 감소시키는 압전소자 및 이를 포함하는 압전진동모듈을 제공하는 것이다.
It is an object of the present invention to provide a piezoelectric element for reducing the incidence of cracks and a piezoelectric vibration module including the piezoelectric element.

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부전극이 양분되게 형성되며, 서로 다른 극을 가지는 내부전극의 내측 단부가 압전층의 길이방향에 대해 수직인 동일 평면 상에 위치하지 않은 것을 특징으로 하는 압전소자가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric element, characterized in that the internal electrode is formed in two parts and the inner end of the internal electrode having different polarities is not located on the same plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer / RTI >

제1 전극층과 제2 전극층이 교대로 반복적층되고, 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층의 사이마다 압전층이 개재되는 압전소자에 있어서, 상기 제1 전극층 각각은 양 내측 단부가 서로 이격되도록 양측으로 배치된 한 쌍의 제1 전극으로 이루어지고, 상기 제2 전극층 각각은 양 내측 단부가 서로 이격되도록 양측으로 배치된 한 쌍의 제2 전극으로 이루어지며, 일측에 배치된 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 상기 압전층의 길이방향에 대해 이루는 각도는 90° 미만일 수 있다.A piezoelectric element in which a first electrode layer and a second electrode layer are alternately repetitively layered and a piezoelectric layer is interposed between the first electrode layer and the second electrode layer, characterized in that each of the first electrode layers has, on both sides And the second electrode layer is composed of a pair of second electrodes disposed on both sides of the first electrode and the second electrode so that their inner ends are spaced apart from each other, The angle formed by the straight line connecting the inner ends of each of the second electrodes with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer may be less than 90 degrees.

타측에 배치된 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 상기 압전층의 길이방향에 대해 이루는 각도는 90° 미만일 수 있다.The straight line connecting the inner ends of the first electrode and the second electrode disposed on the other side may be less than 90 degrees with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer.

상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각은 상기 압전층의 길이방향에 수직하는 중심면을 회피하여 형성될 수 있다.Each of the first electrode and the second electrode may be formed by avoiding a center plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer.

한 쌍의 상기 제1 전극 간의 거리는 한 쌍의 상기 제2 전극 간의 거리와 동일하고, 일측에 배치된 상기 제1 전극의 내측 단부는, 한 쌍의 상기 제2 전극 간의 갭의 중심에 대응되게 위치할 수 있으며, 일측에 배치된 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 상기 압전층의 길이방향에 대해 이루는 각도는 15° 이상 20° 이하일 수 있다.Wherein a distance between a pair of the first electrodes is equal to a distance between the pair of the second electrodes and an inner end of the first electrode disposed on one side is located at a position corresponding to the center of the gap between the pair of the second electrodes And an angle formed by a straight line connecting the inner ends of the first electrode and the second electrode disposed on one side with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer may be 15 degrees or more and 20 degrees or less.

한 쌍의 상기 제1 전극 간의 거리는 한 쌍의 상기 제2 전극 간의 거리보다 클 수 있으며, 한 쌍의 상기 제1 전극과 한 쌍의 상기 제2 전극 각각은 상기 압전층의 길이방향에 수직하는 중심면에 대해 대칭을 이룰 수 있다.The distance between the pair of the first electrodes may be greater than the distance between the pair of the second electrodes, and each of the pair of the first electrodes and the pair of the second electrodes may have a center Symmetry can be achieved with respect to the surface.

압전소자는 비아 및 단자를 더 포함하거나, 외부전극을 더 포함할 수 있다. 또한, 압전소자는 비압전층을 더 포함할 수 있다.The piezoelectric element may further include vias and terminals, or may further include an external electrode. Further, the piezoelectric element may further include a non-piezoelectric layer.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 내부전극이 양분되게 형성되며, 서로 다른 극을 가지는 내부전극의 내측 단부가 압전층의 길이방향에 대해 수직인 동일 평면 상에 위치하지 않은 것을 특징으로 하는 압전소자를 포함하는 압전진동모듈이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric element, characterized in that the internal electrode is formed in a two-divided state, and the inner end of the internal electrode having different polarities is not located on the same plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer A piezoelectric vibration module is provided.

압전진동모듈은 진동판 및 압전소자를 포함하고, 접착부재, 중량체, 케이스 및 기판을 더 포함할 수 있다.
The piezoelectric vibration module includes a diaphragm and a piezoelectric element, and may further include an adhesive member, a weight member, a case, and a substrate.

도 1은 일 실시예에 따른 압전진동모듈을 나타낸 사시도.
도 2는 일 실시예에 따른 압전진동모듈을 나타낸 분해도.
도 3은 일 실시예에 따른 압전진동모듈의 일부를 나타낸 도면.
도 4 및 도 5는 일 실시예에 따른 압전소자를 나타낸 도면.
도 6은 일 실시예에 따른 압전소자의 전극층을 나타낸 도면.
도 7은 다른 실시예에 따른 압전소자를 나타낸 도면.
도 8은 또 다른 실시예에 따른 압전소자를 나타낸 도면.1 is a perspective view illustrating a piezoelectric vibration module according to an embodiment;
2 is an exploded view of a piezoelectric vibration module according to an embodiment;
3 illustrates a portion of a piezoelectric vibration module according to one embodiment.
4 and 5 show a piezoelectric element according to an embodiment.
6 is a view showing an electrode layer of a piezoelectric element according to an embodiment.
7 is a view showing a piezoelectric element according to another embodiment.
8 shows a piezoelectric element according to another embodiment.

본 발명에 따른 압전소자 및 이를 포함하는 압전진동모듈의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view of a piezoelectric vibrating module according to an embodiment of the present invention; Fig. 2 is a cross- A duplicate description thereof will be omitted.

또한, 이하 사용되는 제1, 제2 등과 같은 용어는 동일 또는 상응하는 구성 요소들을 구별하기 위한 식별 기호에 불과하며, 동일 또는 상응하는 구성 요소들이 제1, 제2 등의 용어에 의하여 한정되는 것은 아니다.It is also to be understood that the terms first, second, etc. used hereinafter are merely reference numerals for distinguishing between identical or corresponding components, and the same or corresponding components are defined by terms such as first, second, no.

또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.In addition, the term " coupled " is used not only in the case of direct physical contact between the respective constituent elements in the contact relation between the constituent elements, but also means that other constituent elements are interposed between the constituent elements, Use them as a concept to cover each contact.

도 1은 일 실시예에 따른 압전진동모듈을 나타낸 사시도, 도 2는 일 실시예에 따른 압전진동모듈을 나타낸 분해도, 도 3은 일 실시예에 따른 압전진동모듈의 일부를 나타낸 도면, 도 4 및 도 5는 일 실시예에 따른 압전소자를 나타낸 도면, 도 6은 일 실시예에 따른 압전소자의 전극층을 나타낸 도면이다.FIG. 1 is a perspective view showing a piezoelectric vibration module according to an embodiment, FIG. 2 is an exploded view showing a piezoelectric vibration module according to an embodiment, FIG. 3 is a view showing a part of a piezoelectric vibration module according to an embodiment, FIG. 5 illustrates a piezoelectric element according to an embodiment. FIG. 6 illustrates an electrode layer of a piezoelectric element according to an embodiment.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 압전진동모듈(10)은, 진동판(11)과 압전소자(100)를 포함하고, 접착부재(12), 중량체(150), 댐퍼(151, 152), 케이스(160) 및 기판(170)을 더 포함할 수 있다.1 to 3, the piezoelectric vibration module 10 includes a diaphragm 11 and a piezoelectric element 100, and includes an adhesive member 12, a weight 150, dampers 151 and 152, And may further include a case 160 and a substrate 170.

진동판(11)은 압전소자(100)의 움직임에 따라 상하로 진동하는 판으로, 터치패널, 화상표시부, HPP 등에 진동을 전달하는 기능을 수행하게 되며, 전달된 진동은 햅틱(haptic) 기술로 구현된다.The diaphragm 11 vibrates vertically according to the movement of the piezoelectric element 100, and performs a function of transmitting vibrations to the touch panel, the image display unit, the HPP, etc., and the transmitted vibration is implemented by a haptic technique do.

진동판(11)은, 스틸(steel) 또는 서스(Steel Use Stainless, SUS) 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 진동판(11)은 압전소자(100)의 열팽창계수와 유사한 재질인 인바(invar)로 이루어질 수 있다. The diaphragm 11 may be made of steel or steel use stainless steel (SUS). In addition, the diaphragm 11 may be made of invar, which is a material similar to the thermal expansion coefficient of the piezoelectric element 100.

진동판(11)은 상부 플레이트(11a)와 하부 플레이트(11b)를 포함할 수 있다. 하부 플레이트(11b)는 압전소자(100)가 결합되는 부분이고, 상부 플레이트(11a)는 하부 플레이트(11b)의 양측에 결합되며 후술하게 될 중량체(150)와 결합하는 부분이다. The diaphragm 11 may include an upper plate 11a and a lower plate 11b. The lower plate 11b is a portion to which the piezoelectric element 100 is coupled and the upper plate 11a is a portion coupled to both sides of the lower plate 11b and to be coupled to the weight 150 to be described later.

하부 플레이트(11b)와 상부 플레이트(11a)는 일체형 단일 부품으로 이루어질 수 있으며, 이와 달리 다양한 접합 방식으로 고정 결합될 수도 있다. The lower plate 11b and the upper plate 11a may be integrally formed as a single component, or they may be fixedly coupled by various joining methods.

접착부재(12)는 압전소자(100)가 진동판(11)에 결합되도록, 그 사이에 개재될 수 있다. 접착부재(12)에 의하면, 압전소자(100)가 진동판(11)에 용이하게 부착될 수 있다. 또한, 접착부재(12)는 압전소자(100)와 진동판(11)을 서로 절연시킬 수 있다. The adhesive member 12 can be interposed therebetween such that the piezoelectric element 100 is bonded to the diaphragm 11. [ With the adhesive member 12, the piezoelectric element 100 can be easily attached to the diaphragm 11. [ Further, the bonding member 12 can insulate the piezoelectric element 100 from the diaphragm 11 from each other.

압전소자(100)는 전압 인가에 따라 신축하는 성질을 가지는 소자이다. 압전소자(100)에 전압이 인가되는 경우, 압전층(110) 내에서 두 전극(+, -) 사이에 전계가 형성되며, 압전층(110) 내부에 발생하는 다이폴(dipole)에 의하여 압전층(110)의 내부구조가 변형되어 압전층(110)이 신축할 수 있다.The piezoelectric element 100 is a device having a property of expanding and contracting according to a voltage application. When a voltage is applied to the piezoelectric element 100, an electric field is formed between the two electrodes (+, -) in the piezoelectric layer 110, and a dipole generated in the piezoelectric layer 110 forms a piezoelectric layer The internal structure of the piezoelectric layer 110 is deformed and the piezoelectric layer 110 can expand and contract.

압전소자(100)가 진동판(11)에 결합된 상태에서 좌우로 신축하면 진동판(11)을 상하로 진동시킬 수 있다. 즉, 압전소자(100)의 압전 특성은 진동판(11)의 진동을 유도할 수 있다.The diaphragm 11 can be vertically vibrated when the piezoelectric element 100 is stretched in the left and right directions in a state where the piezoelectric element 100 is coupled to the diaphragm 11. [ That is, the piezoelectric characteristics of the piezoelectric element 100 can induce the vibration of the diaphragm 11. [

도 4 및 도 5를 참조하면, 압전소자(100)는 복수의 압전층(110) 복수의 전극층(120)으로 이루어지고, 전극층(120)은 제1 전극층과 제2 전극층으로 구분될 수 있다.4 and 5, the piezoelectric element 100 includes a plurality of piezoelectric layers 110, a plurality of electrode layers 120, and the electrode layer 120 may be divided into a first electrode layer and a second electrode layer.

압전층(110)은 압전 특성이 나타나는 층으로, PNN-PZT(lead zirconate titanate)계 세라믹을 포함하는 재료로 이루어질 수 있다. 이 경우, 압전층(110)의 재료는 다음의 조성물을 주성분으로 할 수 있다.The piezoelectric layer 110 may be formed of a material including PNN-PZT (lead zirconate titanate) ceramic. In this case, the material of the piezoelectric layer 110 may comprise the following composition as a main component.

x[Pb{ZryTi(1-y)}O3]-(1-x)[Pb(NizNb(1-z))O3] x [Pb {Zr y Ti ( 1-y)} O 3] - (1-x) [Pb (Ni z Nb (1-z)) O 3]

여기서, x, y, z는 상수값으로, x는 0.8, y는 0.44 그리고 z는 1/3일 수 있다.Here, x, y, and z are constant values, x may be 0.8, y may be 0.44, and z may be 1/3.

또한, 압전층(110)의 재료는 소결조제로 사용되는 부성분을 더 포함할 수 있다. 부성분은 산화니켈(NiO), 산화구리(CuO), 산화아연(ZnO) 및 산화납(PbO) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.Further, the material of the piezoelectric layer 110 may further include a subcomponent used as a sintering aid. The subcomponent may include at least one of nickel oxide (NiO), copper oxide (CuO), zinc oxide (ZnO), and lead oxide (PbO).

압전층(110)은 복수일 수 있으며, 이 경우, 낮은 전압에서도 압전소자(100)의 구동에 필요한 전계를 확보할 수 있다. 즉, 복수의 압전층(110)을 가지는 압전소자(100)는 동일 전압으로 더 큰 압전 특성을 구현할 수 있다. In this case, an electric field necessary for driving the piezoelectric element 100 can be secured even at a low voltage. That is, the piezoelectric element 100 having a plurality of piezoelectric layers 110 can realize larger piezoelectric characteristics at the same voltage.

전극층(120)은 압전층(110)에 전계를 형성시키는 전도체이다. 상술한 바와 같이, 전극층(120)은 제1 전극층과 제2 전극층으로 구분될 수 있다. 제1 전극층과 제2 전극층은 서로 다른 극을 가진다.The electrode layer 120 is a conductor that forms an electric field in the piezoelectric layer 110. As described above, the electrode layer 120 may be divided into a first electrode layer and a second electrode layer. The first electrode layer and the second electrode layer have different polarities.

전극층(120)은 은(Ag)과 팔라듐(Pd) 중 적어도 하나를 포함하는 전극 페이스트(paste)가 압전층의 일면 또는 양면에 인쇄된 후 소성됨으로써 형성될 수 있다. 예를 들어, 은과 팔라듐 혼합물로 이루어진 전극 페이스트에서, 은/팔라듐의 값은 7/3 이상 9.5/0.5 이하일 수 있다. The electrode layer 120 may be formed by printing an electrode paste containing at least one of silver (Ag) and palladium (Pd) on one side or both sides of a piezoelectric layer and then firing. For example, in an electrode paste composed of a mixture of silver and palladium, the value of silver / palladium may be 7/3 to 9.5 / 0.5 or less.

제1 전극층과 제2 전극층은 서로 평행하게 교대로 반복적층된다. 또한, 제1 전극층과 제2 전극층 사이마다 압전층(110)이 개재된다. 즉, 제1 전극층, 압전층(110), 제2 전극층, 압전층(110), 제1 전극층, 압전층(110), 제2 전극층… 과 같은 순서로 적층된다. The first electrode layer and the second electrode layer are alternately repeatedly layered in parallel with each other. Further, the piezoelectric layer 110 is interposed between the first electrode layer and the second electrode layer. That is, the first electrode layer, the piezoelectric layer 110, the second electrode layer, the piezoelectric layer 110, the first electrode layer, the piezoelectric layer 110, the second electrode layer, As shown in FIG.

제1 전극층은 한 쌍의 제1 전극(121)으로 이루어지고, 제2 전극층은 한 쌍의 제2 전극(122)으로 이루어진다. 한 쌍의 제1 전극(121)의 양 외측 단부는 압전층(110)의 양단부에 위치하게 되고, 한 쌍의 제2 전극(122)의 양 외측 단부 역시, 압전층(110)의 양단부에 위치하게 된다.The first electrode layer includes a pair of first electrodes 121, and the second electrode layer includes a pair of second electrodes 122. Both outer ends of the pair of first electrodes 121 are located at both ends of the piezoelectric layer 110 and both outer ends of the pair of second electrodes 122 are located at both ends of the piezoelectric layer 110 .

한 쌍의 제1 전극(121)은 양 내측 단부가 서로 이격되도록 양측으로 배치된다. 또한, 한 쌍의 제2 전극(122) 역시, 양 내측 단부가 서로 이격되도록 양측으로 배치된다. The pair of first electrodes 121 are arranged on both sides so that both inner ends are spaced apart from each other. Also, the pair of second electrodes 122 are arranged on both sides so that both inner ends are spaced from each other.

즉, 제1 전극층과 제2 전극층 각각은 양분된다. 양측으로 분할된 전극층에 의하면 응력의 집중이 완화되어 압전층(110)의 크랙 발생이 감소될 수 있다. 압전층(110) 일부분에서 유발된 크랙은 압전층(110)의 그레인(grain) 경계를 따라 확산되어 압전층(110) 전체의 크랙을 유도하여 압전소자(100)가 깨질 수 있다. 따라서, 제1 전극층과 제2 전극층 각각을 양측으로 분할시킴으로써, 압전층(110)의 크랙 발생률을 낮추고 압전소자(100)의 깨짐 불량을 방지할 수 있다.That is, the first electrode layer and the second electrode layer are each divided into two. According to the electrode layers divided into the two sides, the concentration of the stress is relaxed, and cracking of the piezoelectric layer 110 can be reduced. Cracks induced in a portion of the piezoelectric layer 110 are diffused along the grain boundary of the piezoelectric layer 110 to induce a crack in the entire piezoelectric layer 110 to break the piezoelectric element 100. Therefore, by dividing the first electrode layer and the second electrode layer into two sides, it is possible to lower the cracking rate of the piezoelectric layer 110 and to prevent the piezoelectric element 100 from being broken.

한편, 일측에 배치된 단일의 제1 전극(121) 및 단일의 제2 전극(122) 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 압전층(110)의 길이방향에 대해 이루는 각도는 90° 미만이다. 즉, 일측에 배치된 제1 전극(121)의 내측 단부와 제2 전극(122)의 내측 단부는, 압전층(110)의 길이방향에 수직인 동일면 상에 위치하지 않는다. On the other hand, the angle formed by the straight line connecting the inner ends of the single first electrode 121 and the single second electrode 122 disposed on one side with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer 110 is less than 90 degrees . That is, the inner end of the first electrode 121 disposed on one side and the inner end of the second electrode 122 are not located on the same plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer 110.

또한, 타측에 배치된 제1 전극(121) 및 제2 전극(122) 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 상기 압전층(110)의 길이방향에 대해 이루는 각도는 90° 미만일 수 있다. 즉, 타측에 배치된 제1 전극(121)의 내측 단부와 제2 전극(122)의 내측 단부는 동일면 상에 위치하지 않는다. The angle formed by the straight line connecting the inner ends of the first electrode 121 and the second electrode 122 disposed on the other side with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer 110 may be less than 90 degrees. That is, the inner end of the first electrode 121 disposed on the other side and the inner end of the second electrode 122 are not located on the same plane.

이에 따르면, 제1 전극(121)의 내측 단부와 제2 전극(122)의 내측 단부는 들쑥 날쑥한 배치를 가지게 된다. Accordingly, the inner end portion of the first electrode 121 and the inner end portion of the second electrode 122 have a wobbly arrangement.

제1 전극(121)의 내측 단부와 제2 전극(122)의 내측 단부가 압전층(110)에 수직한 동일면 상에 위치한다면, 제1 전극(121)의 내측 단부와 제2 전극(122)의 내측 단부 간 거리가 짧으므로 쇼트가 발생할 확률이 더 높다. If the inner end of the first electrode 121 and the inner end of the second electrode 122 are located on the same plane perpendicular to the piezoelectric layer 110, The shorter the distance between the inner ends is, the higher the probability of occurrence of a shot is higher.

그러나, 본 발명에서와 같이, 제1 전극(121)의 내측 단부와 제2 전극(122)의 내측 단부가 압전층(110)에 수직한 동일면 상에 위치하지 않으면, 제1 전극(121)의 내측 단부와 제2 전극(122)의 내측 단부 간 거리가 멀어져 쇼트가 발생할 확률이 낮아진다.However, if the inner end of the first electrode 121 and the inner end of the second electrode 122 are not located on the same plane perpendicular to the piezoelectric layer 110 as in the present invention, The distance between the inner end portion and the inner end portion of the second electrode 122 becomes distant, and the probability of occurrence of a short circuit is low.

한편, 제1 전극(121)과 제2 전극(122)은 압전층(110)의 길이방향에 수직하는 중심면을 회피하여 형성될 수 있다. 즉, 한 쌍의 제1 전극(121) 간의 갭과 한 쌍의 제2 전극(122) 간의 갭 모두 압전층(110)의 중심면 상에 위치할 수 있다.The first electrode 121 and the second electrode 122 may be formed by avoiding a central plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer 110. That is, both the gap between the pair of first electrodes 121 and the gap between the pair of second electrodes 122 can be located on the center plane of the piezoelectric layer 110.

이 경우, 한 쌍의 제1 전극(121)의 양 외측 단부는 압전층(110)의 양단에 위치하고, 단일의 제1 전극(121)의 길이는 압전층(110)의 길이의 절반보다 작을 수 있다. 또한, 이와 마찬가지로, 한 쌍의 제2 전극(122)의 양 외측 단부는 압전층(110)의 양단에 위치하고, 단일의 제2 전극(122)의 길이는 압전층(110)의 길이의 절반보다 작을 수 있다.In this case, both outer ends of the pair of first electrodes 121 are located at both ends of the piezoelectric layer 110, and the length of the single first electrode 121 is less than half the length of the piezoelectric layer 110 have. Similarly, both outer ends of the pair of second electrodes 122 are located at both ends of the piezoelectric layer 110, and the length of the single second electrode 122 is longer than half the length of the piezoelectric layer 110 Can be small.

일반적으로 압전소자(100)가 결합된 진동판(11)이 상하로 진동하는 경우 압전층(110)의 크랙은 압전층(110)의 중심면 상에서 발생하기 쉬우며, 특히 압전층(110)의 표면 중앙에서 발생하기 쉽다. 이는 해당 부분에 응력이 집중되기 때문이다. Generally, when the diaphragm 11 coupled to the piezoelectric element 100 vibrates up and down, a crack in the piezoelectric layer 110 is likely to occur on the center plane of the piezoelectric layer 110, It is easy to occur in the center. This is because stress is concentrated on the part.

제1 전극(121)과 제2 전극(122)이 압전층(110)의 길이 방향에 수직하는 중심면을 회피하여 형성되면, 압전층(110)의 중심면 상으로의 응력 집중이 완화될 수 있다. 따라서, 크랙 발생이 감소되고, 압전소자(100)의 깨짐을 방지할 수 있다. When the first electrode 121 and the second electrode 122 are formed by avoiding the center plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer 110, stress concentration on the center plane of the piezoelectric layer 110 can be alleviated have. Therefore, occurrence of cracks is reduced, and breakage of the piezoelectric element 100 can be prevented.

도 5에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 제1 전극(121) 간 거리는 한 쌍의 제2 전극(122) 간 거리와 동일할 수 있다. 이 경우, 종단면 상에서 제1 전극(121) 간 갭과 제2 전극(122) 간 갭이 지그재그 형상을 이룰 수 있다.As shown in FIG. 5, the distance between the pair of first electrodes 121 may be the same as the distance between the pair of second electrodes 122. In this case, the gap between the first electrodes 121 and the gap between the second electrodes 122 on the longitudinal plane can be zigzag shape.

도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 압전층(110) 두께는 h로 동일한 경우, 일측에 배치된 제1 전극(121)의 내측 단부는, 한 쌍의 제2 전극(122) 간의 갭의 중심에 대응되게 위치할 수 있다. 즉, 제1 전극(121) 간 갭과 제2 전극(122) 간 갭이 모두 L로 동일한 경우, 일측에 배치된 제1 전극(121)의 내측 단부는 일측에 배치된 제2 전극(122)의 내측 단부로부터 수평으로 L/2만큼 떨어진 지점에 대응되게 위치할 수 있다.6, when the thicknesses of the plurality of piezoelectric layers 110 are equal to each other, the inner end of the first electrode 121 disposed on one side is located at the center of the gap between the pair of second electrodes 122 As shown in FIG. In other words, when the gap between the first electrodes 121 and the gap between the second electrodes 122 is L, the inner end of the first electrode 121 disposed on one side is connected to the second electrode 122 disposed on one side, 2 " from the inner end of the < / RTI >

도 6을 참조하면, 일측에 배치된 제1 전극(121)의 내측 단부와 일측에 배치된 제2 전극(122)의 내측 단부를 연결하는 직선은 압전층(110)의 길이방향에 대해 θ의 각도를 가진다. 또한, 일측에 배치된 제1 전극(121)의 내측 단부와 타측에 배치된 제2 전극(122)의 내측 단부를 연결하는 직선 역시 압전층(110)의 길이방향에 대해 θ의 각도를 가진다. 6, a straight line connecting the inner end of the first electrode 121 disposed on one side and the inner end of the second electrode 122 disposed on one side is a line connecting the inner end of the first electrode 121 and the inner end of the second electrode 122 disposed on one side, It has an angle. A straight line connecting the inner end of the first electrode 121 disposed on one side and the inner end of the second electrode 122 disposed on the other side is also at an angle with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer 110.

이 경우, 제1 전극(121)의 내측 단부는 제2 전극(122)의 양 내측 단부 어느 것과도 먼 거리를 유지할 수 있다.In this case, the inner end of the first electrode 121 can be kept at a distance from either of the inner ends of the second electrode 122.

한편, 상기 h가 80㎛ 이상 20㎛ 이하인 경우에, 상기 θ는 15° 이상 20° 이하일 수 있다. 상기 θ가 15° 이상 20°일 때에 압전진동모듈(10)의 진동력이 2.1g 이상일 수 있다.On the other hand, when h is not less than 80 占 퐉 and not more than 20 占 퐉,? Can be not less than 15 占 and not more than 20 占. The vibration force of the piezoelectric vibration module 10 may be 2.1 g or more when the angle [theta] is 15 [deg.] Or more and 20 [deg.].

도 7은 다른 실시예에 따른 압전소자(100)를 나타낸 도면이다.7 is a view showing a piezoelectric element 100 according to another embodiment.

도 7을 참조하면, 한 쌍의 제1 전극(121) 간의 거리는 한 쌍의 제2 전극(122) 간의 거리보다 클 수 있다. 여기서, 도 7에서의 제1 전극(121)과 제2 전극(122)은 임의로 정한 것이며, 서로 바뀔 수도 있다. Referring to FIG. 7, the distance between the pair of first electrodes 121 may be greater than the distance between the pair of second electrodes 122. Here, the first electrode 121 and the second electrode 122 in FIG. 7 are arbitrarily set and may be mutually exchanged.

이 경우, 도 7에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 상기 제1 전극(121)은 상기 압전층(110)의 길이방향에 수직하는 중심면에 대해 서로 대칭을 이루고, 한 쌍의 상기 제2 전극(122) 역시 상기 중심면에 대해 서로 대칭을 이룰 수 있다. In this case, as shown in FIG. 7, a pair of the first electrodes 121 are symmetrical with respect to a central plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer 110, (122) may also be symmetrical with respect to the center plane.

다시, 도 5를 참조하면, 압전소자(100)는 비아(123), 단자(124) 및 비압전층(130, 140)을 더 포함할 수 있다.5, the piezoelectric element 100 may further include a via 123, a terminal 124, and a non-piezoelectric layer 130, 140.

비아(123)는 서로 나란히 배열되는 전극층(120)들 간을 전기적으로 연결할 수 있다. 즉, 비아(123)는 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 각각을 상호 연결한다. 비아(123)는 압전층(110)을 관통하여 형성될 수 있다. 비아(123)는 제1 전극층을 연결하는 비아와 제2 전극층을 연결하는 비아로 구분될 수 있다. 또한, 비아(123)는 한 쌍의 제1 전극(121)을 연결하는 두 개와 한 쌍의 제2 전극(122)을 연결하는 두 개 총 네 개로 구성될 수 있다.The vias 123 can electrically connect the electrode layers 120 arranged side by side. That is, the vias 123 interconnect the first electrode layer and the second electrode layer. The via 123 may be formed through the piezoelectric layer 110. The via 123 may be divided into a via connecting the first electrode layer and a via connecting the second electrode layer. In addition, the vias 123 may be formed of two in total, which connect two pairs of the first electrodes 121 and the pair of second electrodes 122.

단자(124)는 전극층(120)이 외부 전원과 전기적으로 연결되도록 하며, 외부로 노출되게 압전소자(100)의 표면에 형성될 수 있다. 단자(124)는 비아(123) 상에 형성될 수 있다. 비아(123)가 네 개인 경우, 단자(124)의 개수도 네 개일 수 있다. 그 중 두 개는 제1 전극층과 전기적으로 연결되고, 다른 두 개는 제2 전극층과 전기적으로 연결될 수 있다. 네 개의 단자(124)는 압전층(110)의 길이방향으로 일렬로 배치될 수 있다.The terminal 124 may be formed on the surface of the piezoelectric element 100 so that the electrode layer 120 is electrically connected to an external power source and exposed to the outside. A terminal 124 may be formed on the via 123. If there are four vias 123, the number of terminals 124 may also be four. Two of them may be electrically connected to the first electrode layer, and the other two may be electrically connected to the second electrode layer. The four terminals 124 may be arranged in a line in the longitudinal direction of the piezoelectric layer 110.

도 8은 또 다른 실시예에 따른 압전소자를 나타낸 도면이다.8 is a view showing a piezoelectric element according to another embodiment.

도 8을 참조하면, 압전소자(100)는 비아(123) 및 단자(124)를 대체하는 외부전극(125)을 포함할 수 있다. 8, the piezoelectric element 100 may include an external electrode 125 replacing the via 123 and the terminal 124. [

외부전극(125)은 전극층(120)과 연결되도록 압전소자(100)의 양측면에 형성된다. 외부전극(125)은 제1 전극층과 연결되는 것과 제2 전극층과 연결되는 것으로 구분될 수 있다. 압전소자(100)가 외부전극(125)을 포함하는 경우, 도 2에 도시된 것과 달리, 후술하게 될 기판(170)의 위치가 외부전극(125)과 연결되도록 변경될 수 있다.The external electrodes 125 are formed on both sides of the piezoelectric element 100 to be connected to the electrode layer 120. The external electrode 125 may be connected to the first electrode layer and to the second electrode layer. In the case where the piezoelectric element 100 includes the external electrode 125, the position of the substrate 170, which will be described later, may be changed so as to be connected to the external electrode 125, unlike that shown in FIG.

비압전층은 압전층(110) 및 전극층(120)을 보호하는 층이다. 비압전층에는 전계가 형성되지 않으므로, 비압전층은 압전 특성을 가지지는 않는다. The non-piezoelectric layer is a layer for protecting the piezoelectric layer 110 and the electrode layer 120. Since no electric field is formed in the non-piezoelectric layer, the non-piezoelectric layer does not have piezoelectric properties.

비압전층은 제1 전극층 또는 제2 전극층 중 적어도 하나를 커버할 수 있다. 즉, 비압전층은 전극층(120) 중 노출되어 있는 전극층을 커버할 수 있다. 비압전층은 제1 커버층(130) 및 제2 커버층(140)을 포함할 수 있다. The non-piezoelectric layer may cover at least one of the first electrode layer and the second electrode layer. That is, the non-piezoelectric layer can cover the exposed electrode layer of the electrode layer 120. The non-piezoelectric layer may include a first cover layer 130 and a second cover layer 140.

제1 커버층(130)에는 단자(124)가 형성되는 압전층(110) 상에 형성될 수 있다. 또한, 제2 커버층(140)은 제1 커버층(130)과 반대에 형성되며, 진동판(11)이 결합되는 압전층(110) 상에 형성될 수 있다. 이 경우, 진동판(11)과 제2 커버층(140) 사이에 접착부재(12)가 개재될 수 있다. The first cover layer 130 may be formed on the piezoelectric layer 110 on which the terminals 124 are formed. The second cover layer 140 is formed opposite to the first cover layer 130 and may be formed on the piezoelectric layer 110 to which the vibration plate 11 is coupled. In this case, the adhesive member 12 may be interposed between the diaphragm 11 and the second cover layer 140.

제1 커버층(130)과 제2 커버층(140)은 압전층(110)을 구성하는 재료와 동일할 수 있다. 즉, 제1 커버층(130)과 제2 커버층(140)은 압전층(110)을 구성하는 것과 동일한 PNN-PZT계 세라믹을 포함하는 재료로 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 커버층(130)과 제2 커버층(140)은 다음의 조성물을 주성분으로 하여 형성될 수 있다.The first cover layer 130 and the second cover layer 140 may be the same as the material constituting the piezoelectric layer 110. That is, the first cover layer 130 and the second cover layer 140 may be formed of a material including the same PNN-PZT ceramic as the piezoelectric layer 110. In this case, the first cover layer 130 and the second cover layer 140 may be formed using the following composition as a main component.

x[Pb{ZryTi(1-y)}O3]-(1-x)[Pb(NizNb(1-z))O3] x [Pb {Zr y Ti ( 1-y)} O 3] - (1-x) [Pb (Ni z Nb (1-z)) O 3]

여기서, x는 0.8, y는 0.44 그리고 z는 1/3일 수 있다.Here, x may be 0.8, y may be 0.44, and z may be 1/3.

또한, 제1 커버층(130)과 제2 커버층(140)은 압전층(110) 하나의 두께보다 작은 두께를 가질 수 있다. 압전층(110) 하나의 두께가 약 80㎛인 경우, 제1 커버층(130)과 제2 커버층(140)은 약 30㎛ 의 두께를 가질 수 있다. In addition, the first cover layer 130 and the second cover layer 140 may have a thickness smaller than the thickness of one piezoelectric layer 110. When the thickness of one piezoelectric layer 110 is about 80 탆, the first cover layer 130 and the second cover layer 140 may have a thickness of about 30 탆.

다시, 도 1을 참조하면, 중량체(150)는 진동력을 최대로 증가시키는 매개물로서, 진동판(11)의 상부에 위치한다. 중량체에 의하여 햅틱감이 향상될 수 있다. Referring again to Fig. 1, the weight 150 is located at the top of the diaphragm 11 as a medium for maximally increasing the vibration power. The haptic feeling can be improved by the weight.

중량체(150)는 진동판(11)의 상부 플레이트(11a)와 결합될 수 있으며, 하부 플레이트(11b)와 직접적으로 접촉되지 않도록 양단부에서 중심부를 향하여 경사지게 형성될 수 있다. 또한, 중량체(150)는 금속 재질로 형성될 수 있으며, 동일 체적에서 상대적으로 밀도가 높은 텅스텐(W) 재질로 형성될 수 있다. The weight 150 may be engaged with the upper plate 11a of the diaphragm 11 and be inclined from both ends toward the center so as not to directly contact the lower plate 11b. In addition, the weight 150 may be formed of a metal material and may be formed of tungsten (W) material having a relatively high density at the same volume.

케이스(160)는 진동판(11), 압전소자(100) 및 중량체(150)를 모두 커버하는 하우징(housing)으로서 진동판(11), 압전소자(100) 및 중량체(150)를 비롯한 압전진동모듈(10)의 내부 부품들을 보호하는 역할을 한다.The case 160 is a housing that covers both the diaphragm 11, the piezoelectric element 100 and the weight 150. The case 160 includes a vibration plate 11, a piezoelectric element 100, and a weight 150, And protects the internal components of the module 10.

케이스(160)는, 상부 케이스와 하부 케이스로 나누어질 수 있다. 하부 케이스는 도 1에 도시된 바와 같이 가늘고 긴 편평한 형상으로 형성되며, 상부 케이스의 개방 하부면을 폐쇄할 수 있는 크기로 형성된다. 상부 케이스와 하부 케이스는 통상의 기술자에게 이미 널리 알려져 있는 코킹(caulking), 용접 혹은 본딩 등 다양한 방식으로 결합될 수 있다.The case 160 can be divided into an upper case and a lower case. The lower case is formed into a slender, elongated flat shape as shown in Fig. 1, and is formed to have a size capable of closing the open lower face of the upper case. The upper case and the lower case may be combined in various ways, such as caulking, welding or bonding, which are well known to those skilled in the art.

하부 케이스는 진동판(11)의 하부 플레이트와 소정의 간격을 두고 평행하게 이격되어 있으며, 하부 플레이트는 하부 케이스의 양단부에 결합되어 고정될 수 있다.The lower case is spaced apart from the lower plate of the diaphragm 11 at a predetermined distance in parallel, and the lower plate can be fixedly coupled to both ends of the lower case.

제1 댐퍼(151)는 중량체(150)와 케이스(160) 사이에 개재되어 중량체(150)가 케이스(160)에 부딪혀 파손되는 것을 방지할 수 있다. 제1 댐퍼(151)는 중량체(150) 상부에 결합될 수 있고, 탄성부재, 예를 들어 고무 재질로 형성될 수 있다. The first damper 151 is interposed between the weight 150 and the case 160 to prevent the weight 150 from being damaged by colliding with the case 160. The first damper 151 may be coupled to the upper portion of the weight 150 and may be formed of an elastic member, for example, a rubber material.

제2 댐퍼(152)는 중량체(150)와 진동판(11) 사이에 개재되어 중량체(150)와 진동판(11) 간의 충격을 완화할 수 있다. 제2 댐퍼(152)는 중량체(150) 하부에 결합될 수 있으며, 제1 댐퍼(151)와 마찬가지로 탄성부재, 예를 들어 고무 재질로 형성될 수 있다. The second damper 152 is interposed between the weight 150 and the diaphragm 11 to mitigate the impact between the weight 150 and the diaphragm 11. [ The second damper 152 may be coupled to the lower portion of the weight 150 and may be formed of an elastic member, for example, a rubber material, similar to the first damper 151.

기판(170)은 압전소자(100)의 전극층(120)에 전압을 인가하기 위하여 압전소자(100)에 결합되는 회로기판이다. 기판(170)은 압전소자(100) 하부에 결합될 수 있으며, 플렉서블 피씨비(flexible PCB, FPCB)일 수 있다. The substrate 170 is a circuit board that is coupled to the piezoelectric element 100 to apply a voltage to the electrode layer 120 of the piezoelectric element 100. The substrate 170 may be bonded to the lower portion of the piezoelectric element 100 and may be a flexible PCB (FPCB).

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 압전소자 및 이를 포함하는 압전진동모듈에 의하면, 압전층의 특정 영영으로의 응력 집중을 완화시켜 크랙 발생을 방지하는 한편, 전극의 내측 단부 간 거리가 길어져 불필요한 쇼트가 방지될 수 있다. As described above, according to the piezoelectric element and the piezoelectric vibration module including the piezoelectric element according to the embodiment of the present invention, stress concentration in a specific region of the piezoelectric layer is relieved to prevent cracks, and the distance between the inner ends of the electrodes The unnecessary short circuit can be prevented.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit of the invention as set forth in the appended claims. The present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, and it is also within the scope of the present invention.

10: 압전진동모듈
11: 진동판
11a: 상부 플레이트
11b: 하부 플레이트
12: 접착부재
100: 압전소자
110: 압전층
120: 전극층
121: 제1 전극
122: 제2 전극
123: 비아
124: 단자
125: 외부전극
130: 제1 커버층
140: 제2 커버층
150: 중량체
151: 제1 댐퍼
152: 제2 댐퍼
160: 케이스
170: 기판10: Piezoelectric vibration module
11: Diaphragm
11a: upper plate
11b: Lower plate
12:
100: piezoelectric element
110: piezoelectric layer
120: electrode layer
121: first electrode
122: second electrode
123: Via
124: terminal
125: external electrode
130: first cover layer
140: second cover layer
150: Weight
151: first damper
152: second damper
160: Case
170: substrate

Claims (28)

제1 전극층과 제2 전극층이 교대로 반복적층되고, 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층의 사이마다 압전층이 개재되는 압전소자에 있어서,
상기 제1 전극층 각각은 양 내측 단부가 서로 이격되도록 양측으로 배치된 한 쌍의 제1 전극으로 이루어지고,
상기 제2 전극층 각각은 양 내측 단부가 서로 이격되도록 양측으로 배치된 한 쌍의 제2 전극으로 이루어지며,
일측에 배치된 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 상기 압전층의 길이방향에 대해 이루는 각도는 90° 미만인 것을 특징으로 하는 압전소자.
A piezoelectric element in which a first electrode layer and a second electrode layer are alternately repeatedly layered and a piezoelectric layer is interposed between the first electrode layer and the second electrode layer,
Wherein each of the first electrode layers comprises a pair of first electrodes disposed on both sides so that both inner ends thereof are spaced apart from each other,
Wherein each of the second electrode layers comprises a pair of second electrodes arranged on both sides so that both inner ends thereof are spaced apart from each other,
Wherein a straight line connecting the inner ends of each of the first electrode and the second electrode disposed on one side is less than 90 degrees with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer.
제1항에 있어서,
타측에 배치된 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 상기 압전층의 길이방향에 대해 이루는 각도는 90° 미만인 것을 특징으로 하는 압전소자.
The method according to claim 1,
Wherein a straight line connecting the inner ends of the first electrode and the second electrode disposed on the other side is less than 90 degrees with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer.
제1항에 있어서,
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각은 상기 압전층의 길이방향에 수직하는 중심면을 회피하여 형성되는 것을 특징으로 하는 하는 압전소자.
The method according to claim 1,
Wherein each of the first electrode and the second electrode is formed by avoiding a central plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer.
제1항에 있어서,
한 쌍의 상기 제1 전극 간의 거리는 한 쌍의 상기 제2 전극 간의 거리와 동일한 것을 특징으로 하는 압전소자.
The method according to claim 1,
And a distance between the pair of the first electrodes is equal to a distance between the pair of the second electrodes.
제4항에 있어서,
일측에 배치된 상기 제1 전극의 내측 단부는, 한 쌍의 상기 제2 전극 간의 갭의 중심에 대응되게 위치하는 것을 특징으로 하는 압전소자.
5. The method of claim 4,
And the inner end of the first electrode disposed on one side is positioned to correspond to the center of the gap between the pair of the second electrodes.
제5항에 있어서,
일측에 배치된 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 상기 압전층의 길이방향에 대해 이루는 각도는 15° 이상 20° 이하인 것을 특징으로 하는 압전소자.
6. The method of claim 5,
Wherein an angle formed by a straight line connecting the inner ends of the first electrode and the second electrode disposed on one side with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer is not less than 15 degrees and not more than 20 degrees.
제1항에 있어서,
한 쌍의 상기 제1 전극 간의 거리는 한 쌍의 상기 제2 전극 간의 거리보다 큰 것을 특징으로 하는 압전소자.
The method according to claim 1,
And a distance between the pair of the first electrodes is larger than a distance between the pair of the second electrodes.
제7항에 있어서,
한 쌍의 상기 제1 전극과 한 쌍의 상기 제2 전극 각각은 상기 압전층의 길이방향에 수직하는 중심면에 대해 대칭을 이루는 것을 특징으로 하는 압전소자.
8. The method of claim 7,
Wherein the pair of the first electrodes and the pair of the second electrodes are symmetrical with respect to the central plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer.
제1항에 있어서,
상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 각각을 전기적으로 상호 연결하도록 상기 압전층을 관통하는 비아를 더 포함하는 압전소자.
The method according to claim 1,
And a via penetrating the piezoelectric layer to electrically connect the first electrode layer and the second electrode layer to each other.
제9항에 있어서,
상기 비아에 상에 형성되어 외부 전원과 전기적으로 연결되는 단자를 더 포함하는 압전소자.
10. The method of claim 9,
And a terminal formed on the via and electrically connected to an external power source.
제1항에 있어서,
상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 각각을 전기적으로 상호 연결하도록 상기 압전층의 측면에 형성되는 외부전극을 더 포함하는 압전소자.
The method according to claim 1,
And an external electrode formed on a side surface of the piezoelectric layer to electrically connect the first electrode layer and the second electrode layer to each other.
제1항에 있어서,
상기 제1 전극층 또는 상기 제2 전극층 중 적어도 하나를 커버하도록 상기 압전층 상에 적층되는 비압전층을 더 포함하는 압전소자.
The method according to claim 1,
And a non-piezoelectric layer laminated on the piezoelectric layer so as to cover at least one of the first electrode layer and the second electrode layer.
진동판; 및 상기 진동판에 결합되어 상기 진동판을 진동시키는 압전소자를 포함하고, 상기 압전소자는 제1 전극층과 제2 전극층이 교대로 반복적층되고, 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층의 사이마다 압전층이 개재되는 것을 특징으로 하는 압전진동모듈에 있어서,
상기 압전소자에서,
상기 제1 전극층 각각은 양 내측 단부가 서로 이격되도록 양측으로 배치된 한 쌍의 제1 전극으로 이루어지고,
상기 제2 전극층 각각은 양 내측 단부가 서로 이격되도록 양측으로 배치된 한 쌍의 제2 전극으로 이루어지며,
일측에 배치된 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 상기 압전층의 길이방향에 대해 이루는 각도는 90° 미만인 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
tympanum; And a piezoelectric element coupled to the diaphragm to vibrate the diaphragm, wherein the piezoelectric element has a first electrode layer and a second electrode layer alternately repetitively layered, and a piezoelectric layer is provided between the first electrode layer and the second electrode layer, The piezoelectric vibrating module according to claim 1,
In the piezoelectric element,
Wherein each of the first electrode layers comprises a pair of first electrodes disposed on both sides so that both inner ends thereof are spaced apart from each other,
Wherein each of the second electrode layers comprises a pair of second electrodes arranged on both sides so that both inner ends thereof are spaced apart from each other,
Wherein a straight line connecting the inner ends of each of the first electrode and the second electrode disposed on one side is less than 90 degrees with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer.
제13항에 있어서,
상기 압전소자에서,
타측에 배치된 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 상기 압전층의 길이방향에 대해 이루는 각도는 90° 미만인 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
In the piezoelectric element,
Wherein a straight line connecting an inner end of each of the first electrode and the second electrode disposed on the other side is less than 90 degrees with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer.
제13항에 있어서,
상기 압전소자에서,
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각은 상기 압전층의 길이방향에 수직하는 중심면을 회피하여 형성되는 것을 특징으로 하는 하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
In the piezoelectric element,
Wherein each of the first electrode and the second electrode is formed by avoiding a central plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer.
제13항에 있어서,
상기 압전소자에서,
한 쌍의 상기 제1 전극 간의 거리는 한 쌍의 상기 제2 전극 간의 거리와 동일한 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
In the piezoelectric element,
And a distance between the pair of the first electrodes is equal to a distance between the pair of the second electrodes.
제16항에 있어서,
상기 압전소자에서,
일측에 배치된 상기 제1 전극의 내측 단부는, 한 쌍의 상기 제2 전극 간의 갭의 중심에 대응되게 위치하는 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
17. The method of claim 16,
In the piezoelectric element,
And the inner end of the first electrode disposed on one side is positioned to correspond to the center of the gap between the pair of the second electrodes.
제17항에 있어서,
상기 압전소자에서,
일측에 배치된 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 각각의 내측 단부를 연결하는 직선이, 상기 압전층의 길이방향에 대해 이루는 각도는 15° 이상 20° 이하인 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
18. The method of claim 17,
In the piezoelectric element,
Wherein an angle formed by a straight line connecting the inner ends of the first electrode and the second electrode disposed on one side with respect to the longitudinal direction of the piezoelectric layer is 15 degrees or more and 20 degrees or less.
제13항에 있어서,
상기 압전소자에서,
한 쌍의 상기 제1 전극 간의 거리는 한 쌍의 상기 제2 전극 간의 거리보다 큰 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
In the piezoelectric element,
And a distance between the pair of the first electrodes is larger than a distance between the pair of the second electrodes.
제19항에 있어서,
상기 압전소자에서,
한 쌍의 상기 제1 전극과 한 쌍의 상기 제2 전극 각각은 상기 압전층의 길이방향에 수직하는 중심면에 대해 대칭을 이루는 것을 특징으로 하는 압전진동모듈.
20. The method of claim 19,
In the piezoelectric element,
Wherein the pair of the first electrodes and the pair of the second electrodes are symmetrical with respect to the central plane perpendicular to the longitudinal direction of the piezoelectric layer.
제13항에 있어서,
상기 압전소자는,
상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 각각을 전기적으로 상호 연결하도록 상기 압전층을 관통하는 비아를 더 포함하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
The piezoelectric element includes:
And a via penetrating the piezoelectric layer to electrically connect the first electrode layer and the second electrode layer to each other.
제21항에 있어서,
상기 압전소자는,
상기 비아에 상에 형성되어 외부 전원과 전기적으로 연결되는 단자를 더 포함하는 압전진동모듈.
22. The method of claim 21,
The piezoelectric element includes:
And a terminal formed on the via and electrically connected to an external power source.
제13항에 있어서,
상기 압전소자는,
상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 각각을 전기적으로 상호 연결하도록 상기 압전층의 측면에 형성되는 외부전극을 더 포함하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
The piezoelectric element includes:
And an external electrode formed on a side surface of the piezoelectric layer to electrically connect the first electrode layer and the second electrode layer to each other.
제13항에 있어서,
상기 압전소자는,
상기 제1 전극층 또는 상기 제2 전극층 중 적어도 하나를 커버하도록 상기 압전층 상에 적층되는 비압전층을 더 포함하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
The piezoelectric element includes:
And a non-piezoelectric layer laminated on the piezoelectric layer to cover at least one of the first electrode layer and the second electrode layer.
제13항에 있어서,
상기 진동판의 상부에 배치되는 중량체를 더 포함하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
And a weight disposed on the top of the diaphragm.
제25항에 있어서,
상기 진동판, 상기 압전소자 및 상기 중량체를 커버하는 케이스를 더 포함하는 압전진동모듈.
26. The method of claim 25,
And a case covering the diaphragm, the piezoelectric element, and the weight.
제13항에 있어서,
상기 압전소자에 전압을 인가하도록 상기 압전소자에 결합되는 기판을 더 포함하는 압전진동모듈.
14. The method of claim 13,
And a substrate coupled to the piezoelectric element to apply a voltage to the piezoelectric element.
제13항에 있어서,
상기 압전소자와 상기 진동판 사이에 개재되는 접착부재를 더 포함하는 압전진동모듈.14. The method of claim 13,
And an adhesive member interposed between the piezoelectric element and the diaphragm.
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