KR20160025692A - Unit of measuring quantity of liquid crystal and apparatus of dispensing liquid crystal with the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a liquid crystal injecting apparatus in order to effectively measure an injection quantity of a liquid crystal. According to an embodiment of the present invention, the liquid crystal injecting apparatus includes a base; a head which is provided in the upper part of the base, and injects a liquid crystal to a substrate; and a liquid crystal measuring unit which is located on the base, and measures the weight of the liquid crystal injected from the head. The liquid crystal measuring unit includes a measurement unit of measuring the quantity of the liquid crystal, and an ionization unit controlling an ionization concentration around the measurement unit.

Description

액정 측정 유닛 및 이를 포함하는 액정 토출 장치{UNIT OF MEASURING QUANTITY OF LIQUID CRYSTAL AND APPARATUS OF DISPENSING LIQUID CRYSTAL WITH THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal measuring unit and a liquid crystal discharging device including the liquid crystal measuring unit.

본 발명은 액정 토출 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정 토출량 측정을 하는 액정 측정 유닛 및 이를 포함하는 액정 토출 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal discharge device, and more particularly, to a liquid crystal measurement unit for measuring a liquid crystal discharge amount and a liquid crystal discharge device including the same.

최근에, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 액정표시 장치는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 공통 전극 및 배향막이 형성된 컬러 필터 기판과; 박막트랜지스터(TFT), 화소 전극 및 배향막이 형성된 어레이 기판 사이에 액정층을 형성하여, 액정의 이방성에 따른 빛의 굴절률의 차이를 이용해 영상 효과를 얻는다.2. Description of the Related Art Recently, liquid crystal display devices have been widely used in display portions of electronic apparatuses such as mobile phones and portable computers. A liquid crystal display device includes: a color filter substrate on which a black matrix, a color filter, a common electrode, and an alignment film are formed; A liquid crystal layer is formed between a thin film transistor (TFT), a pixel electrode, and an array substrate on which an alignment film is formed, and a video effect is obtained by using a difference in refractive index of light according to anisotropy of liquid crystal.

컬러 필터 기판과 어레이 기판 사이에 액정층을 형성하는 방법으로는 액정 주입 방법 또는 액정 적하 방법이 있다. 액정 주입 방법은 컬러 필터 기판과 어레이 기판을 일정 간격 이격시켜 합착하고, 그 사이 공간으로 액정을 주입하여 충전하는 방법이다. 액정 적하 방법은 컬러 필터 기판 또는 어레이 기판상의 실라인 영역에 실라인을 형성한 후 실라인에 의해 정의된 표시 영역 내에 액정을 적하하는 방법이다. 액정이 적하된 컬러 필터 기판과 어레이 기판은 얼라인된 후 적하된 액정이 전면에 고르게 퍼지도록 가압되며, 자외선(UV) 및 열처리 공정을 통해 씰 패턴을 경화시킴으로써 컬러 필터 기판과 어레이 기판이 합착된다.As a method of forming the liquid crystal layer between the color filter substrate and the array substrate, there are a liquid crystal injection method or a liquid crystal dropping method. In the liquid crystal injection method, the color filter substrate and the array substrate are bonded to each other with a predetermined distance therebetween, and a liquid crystal is injected into the space between the color filter substrate and the array substrate. The liquid crystal dripping method is a method of dropping liquid crystal in a display area defined by a seal line after forming a seal line in a seal line area on a color filter substrate or an array substrate. The color filter substrate and the array substrate on which the liquid crystal is dropped are pressed so that the liquid crystal dropped after the alignment is uniformly spread over the color filter substrate and the array substrate are cured by curing the seal pattern through ultraviolet (UV) and heat treatment processes .

한편, 액정을 토출하는 장치에서 액정 토출량 측정 장치에는 커버의 액받이에 있는 액정을 세정시 매뉴얼로 세정한다. 다만, 세정시 다량의 정전기가 발생되어 전자저울의 측정 신뢰성을 저하시키는 문제점이 있다.On the other hand, in the apparatus for discharging liquid crystal, the liquid crystal in the cover of the cover is manually cleaned when cleaning the liquid crystal discharge amount measuring apparatus. However, there is a problem that a large amount of static electricity is generated at the time of cleaning, thereby lowering the measurement reliability of the electronic balance.

또한, 세정 후 정전기가 다량 발생되어 탈이온화 될 때까지 시간이 소요되어 저울을 바로 사용할 수 없는 문제점이 있다.In addition, since a large amount of static electricity is generated after cleaning, it takes time to deionize, and the scale can not be used immediately.

본 발명은 액정 토출 장치에서 토출되는 액정의 토출량을 효과적으로 측정하기 위한 장치를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide an apparatus for effectively measuring a discharge amount of liquid crystal discharged from a liquid crystal discharge device.

본 발명은 액정 토출 장치를 제공한다.The present invention provides a liquid crystal discharge device.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 액정 토출 장치는 베이스와 상기 베이스의 상부에 제공되어, 기판으로 액정을 토출하는 헤드와 그리고 상기 베이스에 위치하며 상기 헤드로부터 토출되는 상기 액정의 무게를 측정하는 액정 측정 유닛을 포함하되, 상기 액정 측정 유닛은 액정의 토출량을 측정하는 계측 유닛과 상기 계측 유닛 주변의 이온화 농도를 조절하는 이온화 유닛을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the liquid crystal discharging apparatus includes a base and a head provided on the base, for discharging the liquid crystal to the substrate, and a head positioned at the base and measuring the weight of the liquid crystal discharged from the head The liquid crystal measurement unit may include a measurement unit for measuring the amount of liquid crystal discharge and an ionization unit for adjusting the ionization concentration around the measurement unit.

일 실시예에 따르면, 상기 계측 유닛은 액정을 수용하는 공간을 가지는 용기와 상기 용기 내에 액정의 무게를 측정하는 저울 몸체를 포함할 수 있다.According to one embodiment, the metrology unit may include a container having a space for receiving liquid crystal and a balance body for weighing the liquid crystal in the container.

일 실시예에 따르면, 상기 액정 측정 유닛은 커버 유닛을 더 포함하고 상기 커버 유닛은 상기 용기를 감싸는 프레임과 상기 용기의 상부에서 상기 용기를 개폐하는 커버을 포함할 수 있다.According to one embodiment, the liquid crystal measurement unit may further include a cover unit, and the cover unit may include a frame for enclosing the container and a cover for opening and closing the container at an upper portion of the container.

일 실시에에 따르면, 상기 이온화 유닛은 상기 프레임의 외측면에 제공될 수 있다.According to one embodiment, the ionization unit may be provided on the outer surface of the frame.

일 실시에에 따르면, 상기 커버 유닛은 상기 용기의 일측에 위치하는 제1프레임과 상기 용기의 타측에 위치하는 제2프레임을 포함하며 상기 이온화 유닛은 상기 제1프레임과 상기 제2프레임에 각각 제공될 수 있다.According to one embodiment, the cover unit includes a first frame located at one side of the container and a second frame located at the other side of the container, and the ionization unit is provided to the first frame and the second frame, respectively .

일 실시에에 따르면, 상기 제1프레임에 제공되는 상기 이온화 유닛과 상기 제2프레임에 제공되는 상기 이온화 유닛은 서로 대향되게 제공될 수 있다.According to one embodiment, the ionization unit provided in the first frame and the ionization unit provided in the second frame may be provided so as to face each other.

일 실시에에 따르면, 상기 이온화 유닛은 상기 용기 주변으로 일정한 시간 간격으로 이온화 가스를 분출하도록 제어하는 제어기를 포함할 수 있다.According to one embodiment, the ionization unit may include a controller for controlling the ejection of the ionizing gas at regular time intervals around the vessel.

본 발명은 액정 측정 유닛을 제공한다.The present invention provides a liquid crystal measuring unit.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 액정의 토출량을 측정하는 계측 유닛과 상기 계측 유닛 주변의 이온화 농도를 조절하는 이온화 유닛을 포함 할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a measurement unit for measuring the discharge amount of the liquid crystal and an ionization unit for adjusting the ionization concentration around the measurement unit may be included.

일 실시예에 따르면, 상기 계측 유닛은 액정을 수용하는 공간을 가지는 용기와 상기 용기 내에 액정의 무게를 측정하는 저울 몸체를 포함할 수 있다.According to one embodiment, the metrology unit may include a container having a space for receiving liquid crystal and a balance body for weighing the liquid crystal in the container.

일 실시예에 따르면, 상기 액정 측정 유닛은 커버 유닛을 더 포함하고 상기 커버 유닛은 상기 용기를 감싸는 프레임과 상기 용기의 상부에서 상기 용기를 개폐하는 커버을 포함할 수 있다.According to one embodiment, the liquid crystal measurement unit may further include a cover unit, and the cover unit may include a frame for enclosing the container and a cover for opening and closing the container at an upper portion of the container.

일 실시에에 따르면, 상기 이온화 유닛은 상기 프레임의 외측면에 제공될 수 있다.According to one embodiment, the ionization unit may be provided on the outer surface of the frame.

일 실시에에 따르면, 상기 이온화 유닛은 상기 용기 주변으로 일정한 시간 간격으로 이온화 가스를 분출하도록 제어하는 제어기를 포함할 수 있다.According to one embodiment, the ionization unit may include a controller for controlling the ejection of the ionizing gas at regular time intervals around the vessel.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 액정 측정 유닛에 이온화 유닛을 제공하여 액정 토출 장치에서 액정 토출량 측정의 효율을 향상시키는 효과가 있다.According to an embodiment of the present invention, an ionization unit is provided in the liquid crystal measurement unit to improve the efficiency of liquid crystal discharge amount measurement in the liquid crystal discharge device.

도 1은 잉크젯 방식 액정 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이다.
도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다.
도 4는 도 2의 헤드의 노즐들을 도시한 도면이다.
도 5는 도 2 및 도 3의 헤드 이동 유닛의 측면도이다.
도 6은 도 5의 제 1 이동 유닛의 정면도이다.
도 7은 도 2의 액정 질량 측정 유닛의 사시도이다.
도 8은 도 7의 액정 측정 유닛의 단면도이다.
도 9와 도 7의 액정 측정 유닛의 평면도이다.
도 10은 도 7의 이온화 유닛의 제어기를 보여주는 도면이다.
1 is a view showing a configuration of an inkjet type liquid crystal coating equipment.
2 is a perspective view of the liquid crystal discharge portion of FIG.
3 is a plan view of the liquid crystal discharge portion of FIG.
Fig. 4 is a view showing the nozzles of the head of Fig. 2;
5 is a side view of the head moving unit of Figs. 2 and 3. Fig.
Figure 6 is a front view of the first mobile unit of Figure 5;
Fig. 7 is a perspective view of the liquid crystal mass measuring unit of Fig. 2;
8 is a cross-sectional view of the liquid crystal measurement unit of Fig.
9 is a plan view of the liquid crystal measurement unit of Fig.
10 is a view showing the controller of the ionization unit of Fig.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Thus, the shape of the elements in the figures has been exaggerated to emphasize a clearer description.

도 1은 잉크젯 방식 액정 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.1 is a view showing a configuration of an inkjet type liquid crystal coating equipment.

도 1의 액정 도포 설비(1)는 액정을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판에 액정(Liquid Crystal)을 도포하는 설비이다. 기판은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다.The liquid crystal coating equipment 1 shown in Fig. 1 is a facility for applying a liquid crystal to a substrate by an inkjet method for discharging liquid crystal. The substrate may be a color filter (CF) substrate or a thin film transistor (TFT) substrate of a liquid crystal display panel, and the liquid crystal may be applied to an entire surface of a color filter (CF) substrate or a thin film transistor (TFT) substrate.

도 1을 참조하면, 액정 도포 설비(1)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 액정 공급부(50), 그리고 제어부(90)를 포함한다. 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(12)으로 일렬로 배치된다.1, the liquid crystal coating equipment 1 includes a liquid crystal discharge unit 10, a substrate transfer unit 20, a loading unit 30, an unloading unit 40, a liquid crystal supply unit 50, . The liquid crystal discharge portion 10 and the substrate transfer portion 20 are arranged in a line in the first direction 12.

제 1 방향(12)은 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(14)은 수평면 상에서 제 1 방향(12)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(16)은 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)에 수직한 방향이다.The first direction 12 is an arrangement direction of the liquid crystal discharge portion 10 and the substrate transfer portion 20 and the second direction 14 is a direction perpendicular to the first direction 12 on the horizontal plane, Is a direction perpendicular to the first direction 12 and the second direction 14.

액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 액정 토출부(10)의 일측에는 기판 이송부(20)가 위치한다. 액정 토출부(10)의 타측에는 액정 공급부(50)와 제어부(90)가 배치된다. 액정 공급부(50)와 제어부(90는 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에 배치된다. 액정 공급부(50)와 제어부(90)는 제 2 방향(14)으로 나란히 위치한다. The liquid crystal discharge portion 10 and the substrate transfer portion 20 can be positioned adjacent to each other. A substrate transfer unit 20 is disposed on one side of the liquid crystal discharge unit 10. On the other side of the liquid crystal discharge part 10, a liquid crystal supply part 50 and a control part 90 are arranged. The liquid crystal supply part 50 and the control part 90 are disposed at positions facing the substrate transfer part 20. The liquid crystal supply part 50 and the control part 90 are arranged in the second direction 14 side by side.

기판 이송부(20)의 타측에는 로딩부(30)와 언로딩부(40)가 위치한다. 로딩부(300)와 언로딩부(40)는 액정 토출부(10)와 마주보는 위치에 제공된다. 로딩부(30)와 언로딩부(40)는 제 2 방향(14)으로 나란히 위치한다. The loading unit 30 and the unloading unit 40 are located at the other side of the substrate transfer unit 20. The loading unit 300 and the unloading unit 40 are provided at positions facing the liquid crystal discharge unit 10. The loading section 30 and the unloading section 40 are positioned in the second direction 14 side by side.

액정이 도포될 기판은 로딩부(30)로 반입된다. 기판 이송부(20)는 로딩부(30)에 반입된 기판을 액정 토출부(10)로 이송한다. 액정 토출부(10)는 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받아, 액정을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판상에 액정을 토출한다. 액정 토출이 완료되면, 기판 이송부(20)는 액정 토출부(10)로부터 언로딩부(40)로 기판을 이송한다. 액정이 도포된 기판은 언로딩부(40)로부터 반출된다. 제어부(90)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 그리고 액정 공급부(50)의 전반적인 동작을 제어한다.The substrate to which the liquid crystal is to be applied is brought into the loading section 30. The substrate transferring unit 20 transfers the substrate loaded into the loading unit 30 to the liquid crystal discharging unit 10. The liquid crystal discharging portion 10 receives the liquid crystal from the liquid crystal supplying portion 50 and discharges the liquid crystal onto the substrate by an ink jet method for discharging the liquid crystal. When the liquid crystal discharge is completed, the substrate transfer section 20 transfers the substrate from the liquid crystal discharge section 10 to the unloading section 40. The substrate coated with the liquid crystal is taken out of the unloading portion 40. The control unit 90 controls the overall operation of the liquid crystal discharge unit 10, the substrate transfer unit 20, the loading unit 30, the unloading unit 40, and the liquid crystal supply unit 50.

도 2는 도 1의 액정 토출부의 사시도이다. 도 3은 도 1의 액정 토출부의 평면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 액정 토출부(10)는 베이스(1800), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 갠트리 이동 유닛(300), 헤드들(400), 헤드 이동 유닛(500), 액정 공급 유닛(600), 액정 측정 유닛(800), 노즐 검사 유닛(900), 그리고 헤드 세정 유닛(1000)을 포함한다.2 is a perspective view of the liquid crystal discharge portion of FIG. 3 is a plan view of the liquid crystal discharge portion of FIG. 2 and 3, the liquid crystal discharging portion 10 includes a base 1800, a substrate supporting unit 100, a gantry 200, a gantry moving unit 300, heads 400, a head moving unit 500, a liquid crystal supply unit 600, a liquid crystal measurement unit 800, a nozzle inspection unit 900, and a head cleaning unit 1000.

베이스(1800)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(1800)의 상면에는 기판 지지 유닛(100)이 배치된다. 기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(100)에 수직한 회전 중심 축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다.The base 1800 may be provided in a rectangular parallelepiped shape having a constant thickness. A substrate supporting unit 100 is disposed on the upper surface of the base 1800. The substrate supporting unit 100 has a supporting plate 110 on which the substrate S is placed. The support plate 110 may be a rectangular plate. The rotation driving member 120 is connected to the lower surface of the support plate 110. The rotation drive member 120 may be a rotary motor. The rotation driving member 120 rotates the support plate 110 around a rotation center axis perpendicular to the support plate 100. [

지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다. 액정이 도포될 기판에 형성된 셀의 장변 방향이 제 2 방향(14)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(120)는 셀의 장변 방향이 제 1 방향(12)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.When the support plate 110 is rotated by the rotation drive member 120, the substrate S can be rotated by the rotation of the support plate 110. [ When the longitudinal direction of the cell formed on the substrate to which the liquid crystal is to be applied faces the second direction 14, the rotation driving member 120 can rotate the substrate such that the long side direction of the cell is in the first direction 12.

지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 1 방향(12)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(1800)의 상면 중심부에 제 1 방향(12)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 슬라이더(132)는 리니어 모터(미도시)에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 1 방향(12)으로 직선 이동된다.The support plate 110 and the rotation driving member 120 can be linearly moved in the first direction 12 by the linear driving member 130. The linear driving member 130 includes a slider 132 and a guide member 134. The rotation driving member 120 is provided on the upper surface of the slider 132. [ The guide member 134 is elongated in the first direction 12 at the center of the upper surface of the base 1800. The slider 132 may include a linear motor (not shown). The slider 132 is linearly moved in the first direction 12 along the guide member 134 by a linear motor (not shown).

갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다.갠트리는 직육면체의 형상으로 제공될 수 있다. 갠트리(200)는 베이스(1800)의 상면으로부터 상방향으로 이격 배치된다. 갠트리(200)는 길이 방향이 제 2 방향(14)을 향하도록 배치된다. The gantry 200 is provided at an upper portion of a path through which the support plate 110 is moved. The gantry can be provided in the shape of a rectangular parallelepiped. The gantry 200 is spaced upwardly from the top surface of the base 1800. The gantry 200 is disposed such that the longitudinal direction thereof is in the second direction 14.

갠트리 이동 유닛(300)은 갠트리(200)를 제 1 방향(12)으로 직선 이동시킨다. 갠트리 이동 유닛(300)은 제 1 이동 유닛(310)과 제 2 이동 유닛(320)을 포함한다. 제 1 이동 유닛(310)은 갠트리(200)의 일단에 제공되고, 제 2 이동 유닛(320)은 갠트리(200)의 타단에 제공된다. 제 1 이동 유닛(310)은 베이스(1800)의 일측에 제공된 가이드 레일(315)을 따라 슬라이딩 이동한다. 제 2 이동 유닛(320)은 베이스(1800)의 타측에 제공된 가이드 레일(325)을 따라 슬라이딩 이동하며 갠트리(200)를 제 1 방향(12)으로 직선 이동시킨다.The gantry moving unit 300 linearly moves the gantry 200 in the first direction 12. The gantry moving unit 300 includes a first moving unit 310 and a second moving unit 320. The first moving unit 310 is provided at one end of the gantry 200 and the second moving unit 320 is provided at the other end of the gantry 200. [ The first moving unit 310 slides along the guide rail 315 provided on one side of the base 1800. [ The second moving unit 320 slides along the guide rail 325 provided on the other side of the base 1800 and linearly moves the gantry 200 in the first direction 12.

헤드들(400)은 기판에 액정의 액적을 토출한다. 헤드들(400)은 복수개 제공될 수 있다. 헤드들(400)은 제 2 방향(14)으로 일렬로 나란하게 갠트리(200)에 결합된다. 헤드들(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합된다. 헤드들(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)의 길이 방향, 즉 제 2 방향(14)으로 직선 이동한다. 또한 제 3 방향(16)으로 직선 이동될 수 있다. 헤드들(400)은 각각 헤드 이동 유닛(500)에 대해 제 3 방향(16)에 나란한 축을 중심으로 회전할 수 있다.The heads 400 eject droplets of the liquid crystal onto the substrate. A plurality of heads 400 may be provided. The heads 400 are coupled to the gantry 200 in a row in a second direction 14. The heads 400 are coupled to the gantry 200 by a head moving unit 500. The heads 400 are moved linearly in the longitudinal direction of the gantry 200, i.e., in the second direction 14, by the head moving unit 500. And can also be linearly moved in the third direction 16. The heads 400 may rotate about an axis parallel to the third direction 16 with respect to the head moving unit 500, respectively.

도 4를 참조할 때, 헤드들(400)의 저면에는 액정의 액적을 토출하는 복수개의 노즐들(410a,410b)이 제공된다. 일 예로, 헤드(410)에는 128개 또는 256개의 노즐들(410a,410b)이 제공될 수 있다. 노즐들(410a,410b)은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 노즐들(410a,410b)은 ㎍단위의 양으로 액정을 토출할 수 있다.Referring to FIG. 4, a plurality of nozzles 410a and 410b are provided on the bottom surface of the heads 400 to discharge droplets of liquid crystal. As an example, the head 410 may be provided with 128 or 256 nozzles 410a and 410b. The nozzles 410a and 410b may be arranged in a line at predetermined pitch intervals. The nozzles 410a and 410b can discharge the liquid crystal in an amount of ㎍ unit.

각각의 헤드들(400)에는 노즐들(410a,410b)에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있다. 노즐들(410a,410b)의 액적 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.Each of the heads 400 may be provided with a number of piezoelectric elements corresponding to the nozzles 410a and 410b. The droplet discharge amount of the nozzles 410a and 410b can be independently controlled by controlling the voltage applied to the piezoelectric elements.

헤드 이동 유닛(500)은 개별 헤드들(400)에 각각 제공될 수 있다. 본 실시 예의 경우, 3 개의 헤드(410,420,430)가 제공된 예를 들어 설명하므로, 헤드 이동 유닛(500) 또한 헤드(410,420,430)의 수에 대응하도록 3 개가 제공될 수 있다. 이와 달리, 헤드 이동 유닛(500)은 1 개 제공될 수 있으며, 이 경우 헤드들(400)은 개별 이동이 아니라 일체로 이동될 수 있다. 이와는 달리 헤드들(400)이 제공되는 수에 대응하여 헤드 이동 유닛(500)은 복수개가 제공될 수 있다.The head moving unit 500 may be provided to the individual heads 400, respectively. In the case of this embodiment, since three heads 410, 420 and 430 are provided as an example, three heads may be provided so as to correspond to the number of heads 410, 420 and 430, respectively. Alternatively, one head moving unit 500 may be provided, in which case the heads 400 may be moved integrally, rather than individually. Alternatively, a plurality of head moving units 500 may be provided corresponding to the number of heads 400 provided.

도 5는 도 2 및 도 3의 헤드 이동 유닛의 측면을 보여주는 도면이고, 도 6은 도 5의 제 1 이동 유닛의 정면도이다.Fig. 5 is a side view of the head moving unit of Figs. 2 and 3, and Fig. 6 is a front view of the first moving unit of Fig.

도 5 및 도 6을 참조하면, 헤드 이동 유닛(500)은 제 1 이동 유닛(520)과 제 2 이동 유닛(540)을 포함한다. 제 1 이동 유닛(520)은 개별 헤드(410)를 갠트리(200)의 길이 방향인 제 2 방향(14)으로 직선 이동시킨다. 제 2 이동 유닛(540)은 개별 헤드(410)를 제 3 방향(16)으로 직선 이동시키거나, 제 3 방향(16)에 나란한 축을 중심으로 회전시킨다.Referring to FIGS. 5 and 6, the head moving unit 500 includes a first moving unit 520 and a second moving unit 540. The first moving unit 520 moves the individual heads 410 in a second direction 14, which is the longitudinal direction of the gantry 200. The second moving unit 540 linearly moves the individual heads 410 in the third direction 16 or rotates about an axis parallel to the third direction 16.

제 1 이동 유닛(520)은 가이드 레일들(522a,522b), 슬라이더들(524a, 524b), 그리고 이동 플레이트(526)를 포함한다. 가이드 레일들(522a,522b)은 제 2 방향(14)으로 길게 연장되어 제공된다. 가이드 레일들(522a,522b)은 갠트리(200)의 전면에 제 3 방향(16)으로 이격 설치될 수 있다. 가이드 레일들(522a,522b)에는 슬라이더들(524a, 524b)이 이동 가능하게 결합된다. 슬라이더들(524a, 524b)에는 직선 구동기가 제공된다. 일 예로 직선 구동기는 리니어 모터(미도시)가 제공될 수 있다. 이동 플레이트(526)는 슬라이더들(524a, 524b)에 결합된다. 이동 플레이트(526)의 상부 영역은 상부에 위치한 슬라이더(524a)에 결합된다. 이동 플레이트(526)의 하부 영역은 하부에 위치한 슬라이더(524b)에 결합된다. 이동 플레이트(526)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 리니어 모터(미도시)의 구동력에 의해 가이드 레일들(522a,522b)을 따라 제 2 방향(14)으로 직선 이동한다. 이와 같이, 헤드(410,420,430)가 제 2 방향(14)을 따라 개별 이동됨에 따라, 헤드(410,420,430) 간의 간격이 조절될 수 있다.The first moving unit 520 includes guide rails 522a and 522b, sliders 524a and 524b, and a moving plate 526. [ The guide rails 522a and 522b are provided extending in the second direction 14 in a long direction. The guide rails 522a and 522b may be spaced apart in the third direction 16 on the entire surface of the gantry 200. Sliders 524a and 524b are movably coupled to the guide rails 522a and 522b. The sliders 524a and 524b are provided with linear actuators. As an example, the linear actuator may be provided with a linear motor (not shown). The moving plate 526 is coupled to the sliders 524a and 524b. The upper region of the moving plate 526 is coupled to the upper slider 524a. And the lower region of the moving plate 526 is coupled to the slider 524b located at the bottom. The moving plate 526 linearly moves along the guide rails 522a and 522b in the second direction 14 by the driving force of a linear motor (not shown), as shown in Fig. As such, as the heads 410, 420, and 430 are individually moved along the second direction 14, the distance between the heads 410, 420, and 430 can be adjusted.

제 2 이동 유닛(540)은 가이드 부재(542), 슬라이더(544), 검출기(546) 그리고 제어기(548)를 포함한다. 가이드 부재(542)는 제 1 이동 유닛(520)의 이동 플레이트(526)에 결합된다. 가이드 부재(542)는 슬라이더(544)의 제 3 방향(16)으로 직선 이동을 안내한다. The second moving unit 540 includes a guide member 542, a slider 544, a detector 546 and a controller 548. [ The guide member 542 is engaged with the moving plate 526 of the first moving unit 520. The guide member 542 guides the linear movement of the slider 544 in the third direction 16.

슬라이더(544)는 가이드 부재(542)에 제 3 방향(16)으로 직선 이동 또는 제 3 방향(16)에 나란한 축을 중심으로 회전 가능하게 결합된다. 슬라이더(544)에는 직선 구동기가 제공될 수 있다. 일 예로 직선 구동기는 리니어 모터(미도시)로 제공될 수 있다. 또한, 슬라이더(544)에는 회전 구동기가 내장될 수 있다. 헤드(410)는 슬라이더(544)에 결합되며, 슬라이더(544)의 제 3 방향(16) 직선 이동에 의해 제 3 방향(16)으로 이동된다.The slider 544 is rotatably coupled to the guide member 542 about a linear movement in the third direction 16 or about an axis parallel to the third direction 16. The slider 544 may be provided with a linear actuator. For example, the linear actuator may be provided as a linear motor (not shown). Further, the slider 544 may incorporate a rotation driver. The head 410 is coupled to the slider 544 and is moved in the third direction 16 by a linear movement of the slider 544 in the third direction 16.

검출기(546)는 갠트리(200)에 설치될 수 있다. 검출기(546)는 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격을 검출한다. 검출기(546)는 레이저 센서로 제공될 수 있다.The detector 546 may be installed in the gantry 200. The detector 546 detects the distance between the head 410 and the substrate S. [ The detector 546 may be provided as a laser sensor.

제어기(548)는 검출기(546)의 검출 신호에 대응하는 제어 신호를 생성한다. 제어기(548)는 제어 신호 생성 후, 슬라이더(544)에 내장된 리니어 모터에 제어 신호를 전달하여 리니어 모터의 구동을 제어한다. 검출기(546)의 검출 결과에 따라 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격이 기설정된 기준치를 벗어나는 것으로 판단되면, 제어기(548)는 리니어 모터(미도시)의 구동을 제어하여 헤드(410)와 기판(S) 사이의 간격을 조절한다.The controller 548 generates a control signal corresponding to the detection signal of the detector 546. [ After generating the control signal, the controller 548 transmits a control signal to the linear motor built in the slider 544 to control the driving of the linear motor. The controller 548 controls the driving of the linear motor (not shown) so that the distance between the head 410 and the substrate S is greater than the predetermined reference value, ) And the substrate (S).

다시 도 3을 참조하면, 액정 공급 유닛(600)은 액정 공급 모듈(620)과 압력 조절 모듈(640)을 포함한다. 액정 공급 모듈(620)과 압력 조절 모듈(640)은 갠트리(200)에 결합될 수 있다. 액정 공급 모듈(620)은 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받아서, 액정을 개별 헤드(410,420,430)에 공급한다. 압력 조절 모듈(640)은 액정 공급 모듈(620)에 양압 또는 음압을 제공하여 액정 공급 모듈(620)의 압력을 조절한다.Referring again to FIG. 3, the liquid crystal supply unit 600 includes a liquid crystal supply module 620 and a pressure regulation module 640. The liquid crystal supply module 620 and the pressure regulation module 640 may be coupled to the gantry 200. The liquid crystal supply module 620 receives the liquid crystal from the liquid crystal supply part 50, and supplies the liquid crystal to the individual heads 410, 420, and 430. The pressure regulating module 640 regulates the pressure of the liquid crystal supply module 620 by providing a positive pressure or a negative pressure to the liquid crystal supply module 620.

액정 측정 유닛(800)은 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량을 측정한다. 액정 측정 유닛(800)은 베이스(1800) 상의 기판 지지 유닛(100)의 일측에 배치될 수 있다. 액정 측정 유닛(800)은 개별 헤드(410,420,430) 마다 전부의 노즐들(410a,410b)로부터 토출되는 액정 량을 측정한다. 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량 측정을 통해, 개별 헤드(410,420,430)의 노즐들(410a,410b)의 이상 유무를 거시적으로 확인할 수 있다. 즉, 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량이 기준치를 벗어나면, 노즐들(410a,410b) 중 적어도 하나에 이상이 있음을 알 수 있다.The liquid crystal measuring unit 800 measures the liquid crystal discharge amount of the individual heads 410, 420 and 430. The liquid crystal measurement unit 800 may be disposed on one side of the substrate supporting unit 100 on the base 1800. [ The liquid crystal measuring unit 800 measures the amount of liquid crystal discharged from all of the nozzles 410a and 410b for each of the individual heads 410, 420 and 430. The presence or absence of abnormality of the nozzles 410a and 410b of the individual heads 410, 420 and 430 can be confirmed macroscopically by measuring the liquid discharge amount of the individual heads 410, That is, when the liquid crystal discharge amount of the individual heads 410, 420 and 430 is out of the reference value, it is found that at least one of the nozzles 410a and 410b is abnormal.

도 7은 도 2의 액정 측정 유닛에 대한 사시도이다. 도 8은 도 7의 액정 측정 유닛의 단면도이다. 도 9와 도 7의 액정 측정 유닛의 평면도이다. 도 10은 도 7의 이온화 유닛의 제어기를 보여주는 도면이다. FIG. 7 is a perspective view of the liquid crystal measurement unit of FIG. 2. FIG. 8 is a cross-sectional view of the liquid crystal measurement unit of Fig. 9 is a plan view of the liquid crystal measurement unit of Fig. 10 is a view showing the controller of the ionization unit of Fig.

도 7 내지 도 10을 참조하면, 액정 측정 유닛(800)은 계측 유닛(1100), 커버 유닛(1300), 실링 유닛(1500), 이온화 유닛(1600) 그리고 방진 유닛(1700)을 포함한다. 계측 유닛(1100)은 베이스(1800) 상에 위치한다. 계측 유닛(1100)은 후술할 용기(1111) 내 수용된 액정의 무게를 측정한다. 커버 유닛(1300)은 계측 유닛(1100)의 상측에서 계측 유닛(1100)을 개폐한다. 실링 유닛(1500)은 계측 유닛(1100)과 커버 유닛(1300) 사이에 제공된다. 방진 유닛(1700)은 베이스(1800)와 계측 유닛(1100) 사이에 제공된다.7 to 10, the liquid crystal measurement unit 800 includes a measurement unit 1100, a cover unit 1300, a sealing unit 1500, an ionization unit 1600, and a vibration prevention unit 1700. [ The measurement unit 1100 is located on the base 1800. The measurement unit 1100 measures the weight of the liquid crystal accommodated in the container 1111 to be described later. The cover unit 1300 opens and closes the measurement unit 1100 on the upper side of the measurement unit 1100. The sealing unit 1500 is provided between the measuring unit 1100 and the cover unit 1300. [ The dustproof unit 1700 is provided between the base 1800 and the measurement unit 1100.

계측 유닛(1100)은 용기(1111), 선반(1113), 그리고 저울 몸체(1115)를 가진다. 용기(1111)는 상부가 개방된 통 형상으로 제공된다. 일 예로, 용기는 원통 형상으로 제공될 수 있다. 이와 달리, 용기는 직육면체의 통 형상으로 제공될 수 있다. 용기(1111)의 내부에는 수용공간(AS)이 제공된다. 수용공간(AS)에는 헤드(410)로부터 토출되는 액정이 수용된다. 선반(1113)은 용기(1111)의 하부를 지지한다. 선반(1113)은 용기(1111)와 일체로 결합될 수 있다. 저울 몸체(1115)는 선반(1113)의 하측에 제공된다. 저울 몸체(1115)는 선반(1113)과 연동하여 용기(1111) 내 수용된 액정의 무게를 측정한다. 저울 몸체(1115)는 액정의 무게를 ㎍단위의 스케일(Scale)까지 측정 가능한 전자 저울로 제공될 수 있다.The measuring unit 1100 has a container 1111, a shelf 1113, and a balance body 1115. The container 1111 is provided in a cylindrical shape with its top opened. In one example, the container may be provided in a cylindrical shape. Alternatively, the container may be provided in the form of a rectangular parallelepiped. An accommodating space AS is provided inside the container 1111. In the accommodation space AS, liquid crystal discharged from the head 410 is accommodated. The shelf 1113 supports the lower portion of the container 1111. The shelf 1113 can be integrally coupled to the container 1111. The scale body 1115 is provided on the lower side of the shelf 1113. The balance body 1115 measures the weight of the liquid crystal accommodated in the container 1111 in cooperation with the shelf 1113. The scale body 1115 can be provided as an electronic scale capable of measuring the weight of the liquid crystal up to a scale in the unit of g.

커버 유닛(1300)은 프레임(1310), 커버(1321), 그리고 구동기(1331)를 포함한다.The cover unit 1300 includes a frame 1310, a cover 1321, and a driver 1331.

프레임(1310)은 제1프레임(1311), 제2프레임(1313), 제3프레임(1315) 그리고 제4프레임(1317)을 포함한다.The frame 1310 includes a first frame 1311, a second frame 1313, a third frame 1315, and a fourth frame 1317.

제1프레임(1311), 제2프레임(1313), 제3프레임(1315) 그리고 제4프레임(1317)은 각각 판 형으로 제공된다. 제1프레임(1311)과 제2프레임(1313)은 계측 유닛(1100)의 상측에서 제 1 방향(12)으로 소정 간격 이격되어 제공된다. 제3프레임(1315)과 제4프레임(1317)은 계측 유닛(1100)의 상측에서 제 2 방향(14)으로 소정 간격 이격되어 제공된다. 제4프레임(1317)은 제1프레임(1311)과 제2프레임(1313) 사이의 일측에서 제 1 방향(12)에 나란하게 놓인다. 제3프레임(1315)은 제1프레임(1311)과 제2프레임(1313)의 중단에서 제4프레임(1317)과 나란하게 놓인다. 제3프레임(1315)은 제1프레임(1311)과 제2프레임(1313) 사이를 제 1 공간(S1)과 제 2 공간(S2)으로 구획한다. 제 1 공간(S1)에는 용기(1111)와 선반(1113)이 놓인다. 제 2 공간(S2)에는 후술할 구동기(1331)가 배치된다. 제3프레임(1315)의 측면에는 제 2 공간(S2) 방향으로 돌출된 지지 브라켓(1316)이 제공된다. 지지 브라켓(1316) 상에는 후술할 구동기(1331)가 놓인다.The first frame 1311, the second frame 1313, the third frame 1315, and the fourth frame 1317 are provided in plate form. The first frame 1311 and the second frame 1313 are provided at a predetermined distance from the upper side of the measurement unit 1100 in the first direction 12. The third frame 1315 and the fourth frame 1317 are provided at a predetermined distance from the upper side of the measurement unit 1100 in the second direction 14. The fourth frame 1317 lies side by side in the first direction 12 from one side between the first frame 1311 and the second frame 1313. The third frame 1315 lies side by side with the fourth frame 1317 at the interruption of the first frame 1311 and the second frame 1313. The third frame 1315 divides the first frame 1311 and the second frame 1313 into a first space S1 and a second space S2. The container 1111 and the shelf 1113 are placed in the first space S1. A driver 1331 to be described later is disposed in the second space S2. On the side surface of the third frame 1315, a support bracket 1316 protruding in the direction of the second space S2 is provided. A driver 1331 to be described later is placed on the support bracket 1316.

커버(1321)는 판 형상으로 제공된다. 커버(1321)의 일단에는 제 1 레일부재(1323)가 제공된다. 제 1 레일 부재(1323)는 제 1 측판(1323a), 제 2 측판(1323b), 그리고 연결부재(1323c)를 포함한다. 제 1 측판(1323a)은 커버(1321)의 일단에서 제 3 방향(16)과 나란한 하측 방향으로 연장된다. 제 1 측판(1323a)의 제 1 방향(12) 폭은 커버(1321)의 제 1 방향(12) 폭과 동일하게 제공된다. 제 2 측판(1323b)은 제 1 측판(1323a)과 나란하되, 제3프레임(1315) 방향으로 일정간격 이격된다. 연결부재(1323c)는 제 1 측판(1323a)과 제 2 측판(1323b)을 연결한다. 연결부재(1323c)는 커버(1321)와 나란한 판 형상으로 제공될 수 있다. The cover 1321 is provided in a plate shape. One end of the cover 1321 is provided with a first rail member 1323. The first rail member 1323 includes a first side plate 1323a, a second side plate 1323b, and a connecting member 1323c. The first side plate 1323a extends downward from the one end of the cover 1321 in parallel with the third direction 16. The width of the first side plate 1323a in the first direction 12 is the same as the width of the cover 1321 in the first direction 12. The second side plate 1323b is parallel to the first side plate 1323a, but is spaced apart from the third side plate 1315 by a predetermined distance. The connecting member 1323c connects the first side plate 1323a and the second side plate 1323b. The connecting member 1323c may be provided in the form of a plate parallel to the cover 1321. [

제 2 레일 부재(1318)는 제4프레임(1317)의 일측면 상단에 제공된다. 제 2 레일 부재(1318)는 제 1 레일 부재(1323)의 연결부재(1323c)와 제 2 측판(1323b)이 끼워져 슬라이딩 이동하는 공간을 제공한다.The second rail member 1318 is provided at the upper end of one side of the fourth frame 1317. The second rail member 1318 provides a space through which the connecting member 1323c and the second side plate 1323b of the first rail member 1323 are fitted and slidingly moved.

구동기(1331)는 지지 브라켓(1316) 상에 놓인다. 이와 달리, 구동기(1331)는 제3프레임(1315)에 직접 결합될 수도 있다. 구동기(1331)는 커버(1321)를 제 1 방향(12)으로 이동시킨다. 커버(1321)와 구동기(1331)는 브라켓들(1333,1335)로 연결된다. 제 1 브라켓(1333)은 커버(1321)의 타단에서 제 3 방향(16)과 나란한 하측 방향으로 연장된다. 제 2 브라켓(1335)은 제 1 브라켓(1333)의 하측 말단에서 제 2 방향(14)과 나란하며 프레임(1315)으로부터 멀어지도록 제 2 공간(S2) 방향으로 연장된다. 제 2 브라켓(1335)은 구동기(1331)와 직접 연결될 수 있다. 구동기(1331)는 실린더로 제공될 수 있다. 이와 달리, 구동기(1331)는 리니어 모터로 제공될 수 있다.The driver 1331 is placed on the support bracket 1316. Alternatively, the driver 1331 may be directly coupled to the third frame 1315. [ The driver 1331 moves the cover 1321 in the first direction 12. The cover 1321 and the driver 1331 are connected to the brackets 1333 and 1335. The first bracket 1333 extends downward from the other end of the cover 1321 in parallel with the third direction 16. The second bracket 1335 extends from the lower end of the first bracket 1333 in the second space S2 so as to be parallel to the second direction 14 and away from the frame 1315. [ The second bracket 1335 can be directly connected to the driver 1331. The driver 1331 may be provided as a cylinder. Alternatively, the driver 1331 may be provided as a linear motor.

실링 유닛(1500)은 플레이트(1510)와 실링부재(1530)를 포함한다. 플레이트(1510)는 계측 유닛(1100)과 커버 유닛(1300) 사이에 제공된다. 플레이트(1510)에는 계측 유닛(1100)의 선반(1113)이 관통하는 홀이 형성된다. 선반(1113)은 홀을 관통하여 플레이트(1510)의 상방향으로 일부가 노출된다.The sealing unit 1500 includes a plate 1510 and a sealing member 1530. A plate 1510 is provided between the measurement unit 1100 and the cover unit 1300. The plate 1510 is formed with a hole through which the shelf 1113 of the measurement unit 1100 passes. The shelf 1113 is partially exposed in the upward direction of the plate 1510 through the holes.

실링부재(1530)는 선반(1113)과 홀 사이에 제공된다. 실링부재(1530)는 선반(1113)의 둘레 형상에 대응하게 제공된다. 일 예로, 실링부재(1530)는 원형의 링 형상으로 제공될 수 있다. 실링부재(1530)는 선반(1113)과 홀 사이를 밀폐하여 저울 몸체(1115)의 상면과 플레이트(1510)의 하면 사이로 유입될 수 있는 기류 등이 선반(1113)에 영향을 미치지 못하도록 한다. A sealing member 1530 is provided between the shelf 1113 and the hole. The sealing member 1530 is provided corresponding to the peripheral shape of the shelf 1113. In one example, the sealing member 1530 may be provided in a circular ring shape. The sealing member 1530 closes the space between the shelf 1113 and the hole so that airflow or the like that may flow between the upper surface of the scale body 1115 and the lower surface of the plate 1510 does not affect the shelf 1113.

이온화 유닛(1600)은 계측 유닛(1100) 주변으로 이온화 가스를 공급한다. 이온화 유닛(1600)은 프레임(1310)의 외측면에 제공된다. 이온화 유닛(1600)은 복수개가 제공될 수 있다. 일 예로 이온화 유닛(1600)은 제1프레임(1311)의 외측면과 제2프레임(1313)의 외측면에 각각 제공될 수 있다. 이온화 유닛(1600)은 서로 대향되게 제공될 수 있다. 이와는 달리 이온화 유닛(1600)은 복수개가 프레임(1310)의 측면에 제공될 수 있다.The ionization unit 1600 supplies the ionization gas to the periphery of the measurement unit 1100. An ionization unit 1600 is provided on the outer surface of the frame 1310. A plurality of ionization units 1600 may be provided. For example, the ionization unit 1600 may be provided on the outer surface of the first frame 1311 and on the outer surface of the second frame 1313, respectively. The ionization unit 1600 may be provided facing each other. Alternatively, a plurality of ionization units 1600 may be provided on the sides of the frame 1310. [

이온화 유닛(1600)은 하우징(1610), 토출구(1620) 그리고 제어기(1630)를 포함한다.The ionization unit 1600 includes a housing 1610, a discharge port 1620, and a controller 1630.

하우징(1610)의 대체로 직육면제의 형상으로 제공될 수 있다. 하우징(1610)의 내부에서는 이온화 가스를 제공하는 장치가 제공된다. 이온화 가스는 계측 유닛(1100) 주변에 정전기가 발생시 이온화 가스를 공급하여 계측 유닛 주변을 탈이온화 시킨다.May be provided in the form of a substantially vertical exemption of the housing 1610. Inside the housing 1610 is provided an apparatus for providing ionizing gas. The ionizing gas is supplied with ionizing gas when static electricity is generated around the measuring unit 1100 to deionize the periphery of the measuring unit.

토출구(1620)는 하우징(1610)과 연결된다. 토출구(1620)는 프레임(1310)의 내측으로 연장되어 제공된다. 토출구(1620)는 하우징(1621)에서 공급되는 이온화 가스를 계측 유닛(1100) 주변으로 공급한다. The discharge port 1620 is connected to the housing 1610. The discharge port 1620 is provided extending to the inside of the frame 1310. The discharge port 1620 supplies the ionizing gas supplied from the housing 1621 to the periphery of the measurement unit 1100.

제어기(1630)는 하우징(1610) 내에 이온화 가스를 제어한다. 제어기(1630) 는 하우징(1610) 내에서 제공되는 이온화 가스를 일정한 주기로 계측 유닛(1100) 주변으로 공급하도록 제어한다. The controller 1630 controls the ionizing gas in the housing 1610. The controller 1630 controls the ionization gas provided in the housing 1610 to be supplied around the measurement unit 1100 at a constant cycle.

방진 유닛(1700)은 지지 플레이트(1710)와 방진부재(1730)를 포함한다. 지지 플레이트(1710)는 계측 유닛(1100)의 저울 몸체(1115)의 하부를 지지한다. 지지 플레이트(1710)는 판 형상으로 제공될 수 있다. 일 예로, 지지 플레이트(1710)는 직사각형의 판 형상으로 제공된다.The dustproof unit 1700 includes a support plate 1710 and a dustproof member 1730. The support plate 1710 supports the lower portion of the balance body 1115 of the measurement unit 1100. The support plate 1710 may be provided in a plate shape. In one example, the support plate 1710 is provided in the form of a rectangular plate.

방진부재(1730)는 지지 플레이트(1710)의 하부 가장자리에 복수개 제공된다. 일 예로, 방진부재(1730)는 지지 플레이트(1710)의 모서리부 하면에 각각 제공될 수 있다. 방진부재(1730)는 베이스(1800)의 진동이 계측 유닛(1100)으로 전달되는 것을 방지한다. 일 예로, 방진부재(1730)는 겔(Gel) 타입으로 제공될 수 있다. 이와 달리, 방진부재(1730)는 스프링 타입으로 제공될 수 있다. A plurality of anti-vibration members 1730 are provided at the lower edge of the support plate 1710. For example, the anti-vibration members 1730 may be provided on the underside of the edge of the support plate 1710, respectively. The anti-vibration member 1730 prevents the vibration of the base 1800 from being transmitted to the measurement unit 1100. For example, the anti-vibration member 1730 may be provided as a gel type. Alternatively, the anti-vibration member 1730 may be provided in a spring type.

다시 도 2와 도 3을 참조하면, 헤드들(410,420,430)은 갠트리 이동 유닛(300)과 헤드 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)으로 이동되어 액정 측정 유닛(800)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(500)은 헤드들(410,420,430)을 제 3 방향(16)으로 이동시켜 헤드들(410,420,430)과 액정 측정 유닛(800)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.2 and 3, the heads 410, 420 and 430 are moved in the first direction 12 and the second direction 14 by the gantry moving unit 300 and the head moving unit 500, (Not shown). The head moving unit 500 can move the heads 410, 420 and 430 in the third direction 16 to adjust the vertical distance between the heads 410, 420 and 430 and the liquid crystal measuring unit 800.

노즐 검사 유닛(900)은 광학 검사를 통해 헤드들(410,420,430)에 제공된 개별 노즐의 이상 유무를 확인한다. 액정 측정 유닛(800)에서 거시적인 노즐의 이상 유무를 확인한 결과, 불특정의 노즐에 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 노즐 검사 유닛(900)은 개별 노즐의 이상 유무를 확인하면서 노즐에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.The nozzle inspection unit 900 confirms whether or not the individual nozzles provided to the heads 410, 420 and 430 through the optical inspection are abnormal. If it is determined that there is an abnormality in the unspecified nozzle, the nozzle inspection unit 900 checks the nozzle in detail for the abnormality of the nozzle, You can proceed.

노즐 검사 유닛(900)은 베이스(1800) 상의 기판 지지 유닛(100) 일측에 배치될 수 있다. 헤드들(410,420,430)은 갠트리 이동 유닛(300)과 헤드 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(12)과 제 2 방향(14)으로 이동되어 노즐 검사 유닛(900)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(500)은 헤드들(410,420,430)을 제 3 방향(16)으로 이동시켜 헤드들(410,420,430)과 노즐 검사 유닛(900)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.The nozzle inspection unit 900 may be disposed on one side of the substrate supporting unit 100 on the base 1800. The heads 410, 420 and 430 may be moved in the first direction 12 and the second direction 14 by the gantry moving unit 300 and the head moving unit 500 and may be located at the top of the nozzle inspection unit 900 . The head moving unit 500 can move the heads 410, 420 and 430 in the third direction 16 to adjust the vertical distance between the heads 410, 420 and 430 and the nozzle inspection unit 900.

헤드 세정 유닛(1000)은 퍼징(Purging) 공정과 흡입(Suction) 공정을 진행한다. 퍼징(Purging) 공정은 헤드들(410,420,430)의 내부에 수용된 액정의 일부를 고압으로 분사하는 공정이다. 흡입(Suction) 공정은, 퍼징(Purging) 공정 후, 헤드들(410,420,430)의 노즐면에 잔류하는 액정을 흡입하여 제거하는 공정이다.The head cleaning unit 1000 performs a purging process and a suction process. The purging process is a process of spraying a part of the liquid crystal housed inside the heads 410, 420, and 430 at a high pressure. The suction process is a process of sucking and removing the liquid crystal remaining on the nozzle surface of the heads 410, 420 and 430 after the purging process.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The foregoing detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the foregoing is intended to illustrate and explain the preferred embodiments of the present invention, and the present invention may be used in various other combinations, modifications and environments. That is, it is possible to make changes or modifications within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, within the scope of the disclosure, and / or within the skill and knowledge of the art. The embodiments described herein are intended to illustrate the best mode for implementing the technical idea of the present invention and various modifications required for specific applications and uses of the present invention are also possible. Accordingly, the detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. It is also to be understood that the appended claims are intended to cover further embodiments.

1: 액정 도포 설비 10: 액정 토출부
20: 기판 이송부 30: 로딩부
40: 언로딩부 50: 액정 공급부
90: 제어부 100: 기판 지지 유닛
200: 갠트리 300: 갠트리 이동 유닛
400: 헤드들 500: 헤드 이동 유닛
600: 액정 공급 유닛 800: 액정 측정 유닛
900: 노즐 검사 유닛 1000: 헤드 세정 유닛
1100: 계측 유닛 1300: 커버 유닛
1500: 실링 유닛 1600: 이온화 유닛
1700: 방진 유닛 1800: 베이스
1: liquid crystal coating equipment 10: liquid crystal discharge part
20: substrate transfer unit 30: loading unit
40: unloading unit 50: liquid crystal supply unit
90: control unit 100: substrate holding unit
200: Gantry 300: Gantry moving unit
400: heads 500: head moving unit
600: liquid crystal supply unit 800: liquid crystal measurement unit
900: nozzle inspection unit 1000: head cleaning unit
1100: measurement unit 1300: cover unit
1500: sealing unit 1600: ionization unit
1700: dustproof unit 1800: base

Claims (12)

액정 토출 장치에 있어서,
베이스;와
상기 베이스의 상부에 제공되어, 기판으로 액정을 토출하는 헤드;와 그리고
상기 베이스에 위치하며, 상기 헤드로부터 토출되는 상기 액정의 무게를 측정하는 액정 측정 유닛을 포함하되,
상기 액정 측정 유닛은,
액정의 토출량을 측정하는 계측 유닛과
상기 계측 유닛 주변으로 이온화 가스를 공급하는 이온화 유닛을 포함하는 액정 토출 장치.
In the liquid crystal discharge device,
Base and
A head provided on the base to discharge the liquid crystal onto the substrate, and
And a liquid crystal measuring unit located in the base and measuring the weight of the liquid crystal discharged from the head,
The liquid crystal measuring unit includes:
A measuring unit for measuring a discharge amount of the liquid crystal;
And an ionization unit for supplying an ionized gas to the periphery of the measurement unit.
제1항에 있어서,
상기 계측 유닛은,
액정을 수용하는 공간을 가지는 용기와
상기 용기 내에 액정의 무게를 측정하는 저울 몸체를 포함하는 액정 토출 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the measurement unit comprises:
A container having a space for accommodating liquid crystal;
And a balance body for measuring the weight of the liquid crystal in the container.
제2항에 있어서,
상기 액정 측정 유닛은 커버 유닛을 더 포함하고,
상기 커버 유닛은,
상기 용기를 감싸는 프레임과,
상기 용기의 상부에서 상기 용기를 개폐하는 커버을 포함하는 액정 토출장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the liquid crystal measurement unit further includes a cover unit,
The cover unit includes:
A frame surrounding the container,
And a cover for opening and closing the container at an upper portion of the container.
제3항에 있어서,
상기 이온화 유닛은 상기 프레임의 외측면에 제공되는 액정 토출 장치.
The method of claim 3,
Wherein the ionization unit is provided on an outer surface of the frame.
제3항에 있어서,
상기 커버 유닛은,
상기 용기의 일측에 위치하는 제1프레임과
상기 용기의 타측에 위치하는 제2프레임을 포함하며,
상기 이온화 유닛은 상기 제1프레임과 상기 제2프레임에 각각 제공되는 액정 토출 장치.
The method of claim 3,
The cover unit includes:
A first frame positioned at one side of the container;
And a second frame located on the other side of the container,
Wherein the ionization unit is provided in each of the first frame and the second frame.
제5항에 있어서,
상기 제1프레임에 제공되는 상기 이온화 유닛과 상기 제2프레임에 제공되는 상기 이온화 유닛은 서로 대향되게 제공되는 액정 토출 장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the ionization unit provided in the first frame and the ionization unit provided in the second frame are provided so as to face each other.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이온화 유닛은,
상기 용기 주변으로 일정한 시간 간격으로 이온화 가스를 분출하도록 제어하는 제어기를 포함하는 액정 토출 장치.
7. The method according to any one of claims 1 to 6,
The ionization unit includes:
And a controller for controlling the ejection of the ionized gas around the vessel at regular time intervals.
액정 측정 유닛에 있어서,
액정의 토출량을 측정하는 계측 유닛과
상기 계측 유닛 주변으로 이온화 가스를 공급하는 이온화 유닛을 포함하는 액정 측정 유닛.
In the liquid crystal measurement unit,
A measuring unit for measuring a discharge amount of the liquid crystal;
And an ionization unit for supplying an ionizing gas to the periphery of the measurement unit.
제8항에 있어서,
상기 계측 유닛은,
액정을 수용하는 공간을 가지는 용기와
상기 용기 내에 액정의 무게를 측정하는 저울 몸체를 포함하는 액정 측정 유닛.
9. The method of claim 8,
Wherein the measurement unit comprises:
A container having a space for accommodating liquid crystal;
And a balance body for measuring the weight of the liquid crystal in the container.
제9항에 있어서,
상기 액정 측정 유닛은 커버 유닛을 더 포함하고,
상기 커버 유닛은,
상기 용기를 감싸는 프레임과,
상기 용기의 상부에서 상기 용기를 개폐하는 커버을 포함하는 액정 측정 유닛.
10. The method of claim 9,
Wherein the liquid crystal measurement unit further includes a cover unit,
The cover unit includes:
A frame surrounding the container,
And a cover for opening and closing the container at an upper portion of the container.
제10항에 있어서,
상기 이온화 유닛은 상기 프레임의 외측면에 제공되는 액정 측정 유닛.
11. The method of claim 10,
Wherein the ionization unit is provided on an outer surface of the frame.
제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이온화 유닛은,
상기 용기 주변으로 일정한 시간 간격으로 이온화 가스를 분출하도록 제어하는 제어기를 포함하는 액정 측정 유닛.
The method according to any one of claims 8 to 11,
The ionization unit includes:
And a controller for controlling the ejection of the ionized gas around the vessel at regular time intervals.
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