KR20160017696A - High Speed Dispensing Pump for Liquid Material - Google Patents

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Abstract

A high speed dispensing pump for coating a solution of the present invention includes: a pump body comprising a storage part for storing a solution, an inflow pipe connected to the storage part to supply the solution to the storage part from the outside, a nozzle formed on a lower side of the storage part in order to discharge the solution stored in the storage part toward a lower side, and a valve rod for applying pressure to the solution stored in the storage part by being inserted into the storage part to be elevated; a voice coil motor (VCM) for elevating the valve rod by being connected to the valve rod of the pump body; a work plate where a material to coat the solution is arranged; a power supply device which is electrically connected to the nozzle of the pump body and the work plate or the material arranged on the work plate to generate a potential difference between the solution in the nozzle and the material; and a control part for controlling the voice coil motor and the power supply device.

Description

용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프{High Speed Dispensing Pump for Liquid Material}[0001] The present invention relates to a high speed dispensing pump for liquid dispensing,

본 발명은 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 용액을 점도에 관계없이 고속으로 디스펜싱하면서도 토출양을 매우 정확하게 제어하여 토출할 수 있는 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-speed dispensing pump for applying a solution, and more particularly, to a high-speed dispensing pump for dispensing a solution, which dispenses a solution at a high speed irrespective of viscosity, .

LED 칩에 형광액을 도포하거나 반도체 칩의 패키지에 인캡슐레이터를 도포하는 공정에 액상의 물질(용액)을 도포하는 펌프가 널리 사용된다.A pump for applying a liquid substance (solution) to a process of applying a fluorescent liquid to an LED chip or applying an encapsulator to a package of a semiconductor chip is widely used.

이와 같이 용액을 토출하는 공정을 수행함에 있어서 용액을 토출하는 속도가 매우 중요하다. 용액의 토출 속도가 낮으면 전체적인 공정의 생산성이 저하되는 문제점이 있다. 특히 점도가 높은 용액을 토출하는 경우에도 빠른 속도를 용액을 토출할 수 있는 펌프가 필요하다. The rate of discharging the solution is very important in the process of discharging the solution. If the discharge speed of the solution is low, there is a problem that the productivity of the whole process is lowered. Particularly, even when a solution having a high viscosity is discharged, a pump capable of discharging the solution at a high speed is required.

이와 같은 용액 토출의 속도와 함께 용액을 정확한 용량으로 토출하는 것도 매우 중요하다. 종래의 펌프의 경우 용액을 빠르게 토출하면서 동시에 정확한 용량으로 미세 조정하여 토출하기에는 어려운 문제점이 있었다. 특히, 고점도의 용액을 빠르고 정확하게 투출할 수 있는 펌프에 대한 수요가 증가하였으나 종래의 펌프는 이와 같은 수요를 만족시키기에 부족함이 있다. It is very important to discharge the solution at the correct capacity together with the rate of solution discharge. In the case of the conventional pump, there is a problem that it is difficult to discharge the solution quickly and simultaneously fine-adjust it to an accurate capacity and discharge it. In particular, demand for pumps capable of rapidly and accurately delivering high viscosity solutions has increased, but conventional pumps are not sufficient to meet such demands.

종래에는 용액을 빠르게 토출할 수 있는 펌프와 용액의 저용량으로 정확하게 토출할 수 있는 2개의 펌프를 사용하여 2단계로 용액 디스펜싱 공정을 수행하는 경우가 있었으나, 이와 같은 종래의 방법은 생산성이 낮고 원가가 높은 문제점이 있었다.Conventionally, there have been cases where a solution dispensing process is performed in two stages using a pump capable of rapidly discharging a solution and two pumps capable of accurately discharging a solution at a low capacity. However, such a conventional method has a problem that productivity is low and cost .

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 위하여 안출된 것으로, 용액을 매우 빠르게 토출하는 것이 가능하면서 동시에 용액의 토출량도 정확하게 제어하는 것이 가능하며 점성이 높은 용액도 효과적으로 토출하는 것이 가능한 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.Disclosure of the Invention The present invention has been conceived to solve the problems as described above, and it is an object of the present invention to provide a solution dispensing method capable of accurately discharging a solution at a very high speed and accurately discharging a solution, And to provide a high-speed dispensing pump.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프는, 용액이 저장되는 저장부와, 외부로부터 상기 용액을 상기 저장부로 공급할 수 있도록 상기 저장부에 연결되는 유입관과, 상기 저장부에 저장된 용액을 하측으로 토출할 수 있도록 상기 상기 저장부의 하측에 형성된 노즐과, 상기 저장부에 승강 가능하게 삽입되어 상기 저장부에 저장된 상기 용액에 대해 압력을 가하는 밸브 로드를 구비하는 펌프 몸체; 상기 펌프 몸체의 밸브 로드에 연결되어 상기 밸브 로드를 승강시키는 보이스 코일 모터(VCM; Voice Coil Motor); 상기 용액을 도포할 자재가 배치되는 워크 플레이트; 상기 펌프 몸체의 노즐과 상기 워크 플레이트 또는 상기 워크 플레이트 위에 배치되는 자재에 전기적으로 연결되어 상기 노즐 내부의 용액과 상기 자재 사이에 전위차를 발생시키는 전원 공급 장치; 및 상기 보이스 코일 모터와 전원 공급 장치를 제어하는 제어부;를 포함하는 점에 특징이 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a high-speed dispensing pump for dispensing a solution, comprising: a reservoir for storing a solution; an inlet pipe connected to the reservoir for supplying the solution from the reservoir to the reservoir; A pump body having a nozzle formed at a lower side of the storage unit so as to discharge the solution stored in the storage unit to a lower side and a valve rod that is vertically inserted into the storage unit and applies pressure to the solution stored in the storage unit; A voice coil motor (VCM) connected to the valve rod of the pump body to lift the valve rod; A work plate on which the material to be coated with the solution is disposed; A power supply device electrically connected to a nozzle of the pump body and a material disposed on the work plate or the work plate to generate a potential difference between the solution inside the nozzle and the material; And a control unit for controlling the voice coil motor and the power supply unit.

본 발명에 의한 EHD 멀티 가변 펌프를 구비한 LED 소자 제조 장치는, 용액을 고속으로 토출하면서 동시에 용액의 토출양을 매우 정확하게 조절함으로써 용액을 디스펜싱하는 공정의 품질과 생산성을 향상시키는 효과가 있다. The apparatus for manufacturing an LED device having an EHD multi variable pump according to the present invention has the effect of improving the quality and productivity of a process of dispensing a solution by simultaneously discharging a solution at a high speed and accurately controlling the amount of solution discharged.

또한, 본 발명에 의한 EHD 멀티 가변 펌프를 구비한 LED 소자 제조 장치는 점성이 높은 용액도 빠르고 정확하게 토출할 수 있는 효과가 있다.Further, the LED device manufacturing apparatus provided with the EHD multi-variable pump according to the present invention has the effect of quickly and accurately discharging highly viscous solutions.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 EHD 멀티 가변 펌프를 구비한 LED 소자 제조 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 EHD 멀티 가변 펌프를 구비한 LED 소자 제조 장치의 펌프 헤드 단면도이다.1 is a perspective view of an LED device manufacturing apparatus having an EHD multi variable pump according to an embodiment of the present invention.
2 is a sectional view of the pump head of the LED device manufacturing apparatus having the EHD multi variable pump shown in FIG.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프에 대해 설명한다.Hereinafter, a high-speed dispensing pump for dispensing a solution according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1을 참조하면 본 실시예의 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프(100)는 펌프 몸체(130)와 보이스 코일 모터(110)와 워크 플레이트(200)와 전원 공급 장치(170)와 제어부(180)를 포함하여 이루어진다.1, the high-speed dispensing pump 100 for dispensing a solution according to the present embodiment includes a pump body 130, a voice coil motor 110, a work plate 200, a power supply unit 170, and a controller 180 .

펌프 몸체(130)는 저장부(131)와 유입관(132)과 노즐(150)과 밸브 로드(120)를 구비한다. 도 1에 도시한 것과 같이 저장부(131)는 펌프 몸체(130)에 상하로 연장되도록 형성되고 유입관(132)은 저장부(131)에 연결되도록 펌프 몸체(130)에 형성된다. 유입관(132)을 통해 외부로부터 공급되는 용액(L)은 저장부(131)에 저장된다. 저장부(131)의 하측에는 노즐(150)이 배치되어 저장부(131)에 저장된 용액(L)이 노즐(150)을 통해 하측으로 토출된다. 밸브 로드(120)는 저장부(131)에 대해 상측으로부터 삽입되고 저장부(131)에 대해 승강 가능하게 설치된다. 저장부(131)의 상측과 밸브 로드(120) 사이는 기밀되어 용액(L)이 저장부(131) 외측으로 유출되지 않도록 구성된다. The pump body 130 includes a reservoir 131, an inlet pipe 132, a nozzle 150, and a valve rod 120. 1, the storage part 131 is formed on the pump body 130 so as to extend vertically and the inflow pipe 132 is formed on the pump body 130 to be connected to the storage part 131. As shown in FIG. The solution (L) supplied from the outside through the inflow pipe (132) is stored in the storage part (131). A nozzle 150 is disposed below the storage unit 131 and the solution L stored in the storage unit 131 is discharged downward through the nozzle 150. The valve rod 120 is inserted into the storage part 131 from the upper side and is installed to be movable up and down with respect to the storage part 131. The space between the upper side of the storage part 131 and the valve rod 120 is sealed so that the solution L does not flow out of the storage part 131.

보이스 코일 모터(110)는 펌프 몸체(130)의 상측에 배치된다. 보이스 코일 모터(110)는 영구 자석(111)과 코일(112)과 승강부재(114)와 고정부재(113)를 구비한다. 고정부재(113)는 펌프 몸체(130)가 설치되어 고정되는 외부 장치에 고정된다. 고정부재(113)에는 영구자석(111)이 설치된다. 승강부재(114)는 고정부재(113)에 대해 승강 가능하게 설치된다. 승강부재(114)에는 코일(112)이 설치된다. 코일(112)에 공급되는 전원에 의해 코일(112)에 발생하는 전자기력이 영구자석(111)에 작용하여 승강부재(114)를 고정부재(113)에 대해 승강시킨다. 제어부(180)는 보이스 코일 모터(110)에 전원을 공급하여 보이스 코일 모터(110)의 작동을 제어하고 승강부재(114)의 변위를 제어한다. 제어부(180)는 보이스 코일 모터(110)에 인가하는 전력을 조절함으로써 승강부재(114)를 특정 주파수로 상하로 진동하도록 작동시킬 수도 있고, 사용자에 의해 설정된 범위 내에서 고속으로 상승시키거나 하강시킬 수 있다.The voice coil motor 110 is disposed above the pump body 130. The voice coil motor 110 includes a permanent magnet 111, a coil 112, an elevating member 114, and a fixing member 113. The fixing member 113 is fixed to an external device to which the pump body 130 is fixed. The stationary member 113 is provided with a permanent magnet 111. The elevating member 114 is provided so as to be movable up and down with respect to the fixing member 113. The lifting member 114 is provided with a coil 112. An electromagnetic force generated in the coil 112 by the power supplied to the coil 112 acts on the permanent magnet 111 to move the elevating member 114 up and down with respect to the fixing member 113. [ The control unit 180 supplies power to the voice coil motor 110 to control the operation of the voice coil motor 110 and to control the displacement of the elevation member 114. [ The control unit 180 may operate the up / down member 114 to oscillate up / down at a specific frequency by adjusting the power applied to the voice coil motor 110, or may raise / .

워크 플레이트(200)는 펌프 몸체(130)의 하측에 배치되고 용액(L)을 도포할 자재(C)가 워크 플레이트(200) 위에 배치된다. The work plate 200 is disposed below the pump body 130 and a material C to be applied with the solution L is disposed on the work plate 200.

전원 공급 장치(170)의 일측은 펌프 몸체(130)의 노즐(150)에 연결되고 타측은 워크 플레이트(200) 또는 자재(C)에 연결된다. 본 실시예에서는 도 1에 도시된 것과 같이 워크 플레이트(200)에 전원 공급 장치(170)가 연결된 경우를 예로 들어 설명한다. 제어부(180)는 전원 공급 장치(170)에 연결되어 전원 공급 장치(170)의 전력을 제어한다. 전원 공급 장치(170)에 의해 노즐(150) 내부의 용액(L)과 워크 플레이트(200) 사이에 전위차가 발생하면 정전기력에 의해 노즐(150) 내부의 용액(L)이 노즐(150)에서 토출되어 워크 플레이트(200) 위의 자재(C)로 토출된다. One side of the power supply 170 is connected to the nozzle 150 of the pump body 130 and the other side is connected to the work plate 200 or the material C. [ In this embodiment, a case where the power supply device 170 is connected to the work plate 200 as shown in FIG. 1 will be described as an example. The control unit 180 is connected to the power supply unit 170 to control the power of the power supply unit 170. When a potential difference is generated between the solution L in the nozzle 150 and the work plate 200 by the power supply unit 170, the solution L in the nozzle 150 is discharged from the nozzle 150 by the electrostatic force And is discharged to the material (C) on the work plate (200).

유입 밸브(140)는 펌프 몸체(130)의 유입관(132)에 설치되어 유입관(132)을 개폐한다. 유입관(132)을 개폐하는 유입 밸브(140)의 작동은 제어부(180)에 의해 제어된다. The inlet valve 140 is installed in the inlet pipe 132 of the pump body 130 to open and close the inlet pipe 132. The operation of the inflow valve 140 for opening and closing the inflow pipe 132 is controlled by the control unit 180.

상술한 바와 같이 제어부(180)는 보이스 코일 모터(110)와 전원 공급 장치(170)와 유입 밸브(140)의 작동을 각각 제어한다.As described above, the control unit 180 controls the operation of the voice coil motor 110, the power supply unit 170, and the inlet valve 140, respectively.

이하, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프(100)의 작동에 대해 설명한다.Hereinafter, the operation of the high-speed dispensing pump 100 for applying a solution according to the present embodiment configured as described above will be described.

제어부(180)가 유입 밸브(140)를 개방한 상태에서 보이스 코일 모터(110)가 밸브 로드(120)를 상승시키면 유입(132)를 통해 용액(L)이 저장부(131)의 내부에 채워진다. 노즐(150)의 내경은 유입관(132)의 내경에 비해 매우 작으므로 노즐(150)을 통해 공기가 유입되는 작동보다는 유입관(132)를 통해 용액(L)이 유입되는 동작이 주로 발생하게 된다. 경우에 따라서는 노즐(150)을 개폐하는 밸브를 노즐(150)에 설치하여 상술한 바와 같은 충진 과정에는 노즐(150)을 폐쇄하도록 구성하는 것도 가능하다. When the voice coil motor 110 raises the valve rod 120 in a state where the controller 180 opens the inlet valve 140, the solution L is filled in the reservoir 131 through the inlet 132 . Since the inner diameter of the nozzle 150 is very small as compared with the inner diameter of the inflow pipe 132, the action of the inflow of the solution L through the inflow pipe 132 mainly occurs, rather than the operation of introducing the air through the nozzle 150 do. In some cases, a valve for opening and closing the nozzle 150 may be provided in the nozzle 150, and the nozzle 150 may be closed in the filling process as described above.

이와 같이 저장부(131)에 용액(L)이 채워지면(충진되면) 제어부(180)는 유입 밸브(140)를 작동시켜 유입관(132)을 폐쇄한다. 이와 같은 상태에서 제어부(180)가 보이스 코일 모터(110)를 작동시켜 밸브 로드(120)를 하강시키면 저장부(131) 내부의 압력에 의해 용액(L)이 노즐(150)을 통해 토출된다. 이와 같은 동작에 의해 비교적 대용량의 용액(L)을 토출하는 것이 가능하다. 이 경우 본 실시예의 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프(100)는 리니어 펌프와 유사한 방법으로 작동하게 된다.When the solution L is filled (filled) in the storage part 131, the controller 180 operates the inflow valve 140 to close the inflow pipe 132. In this state, when the control unit 180 operates the voice coil motor 110 to lower the valve rod 120, the solution L is discharged through the nozzle 150 by the pressure inside the storage unit 131. By such an operation, it is possible to discharge a relatively large amount of the solution L. In this case, the high-speed dispensing pump 100 for applying the solution of this embodiment operates in a manner similar to that of the linear pump.

필요에 따라서는 본 실시예의 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프(100)를 다음과 같이 작동시키는 것도 가능하다. 먼저 유입 밸브(140)를 개방하고 용액(L)이 저장부(131)로 유입되도록 한다. 이때 유입관(132)은 용액(L)을 일정한 압력으로 지속적으로 공급하는 외부 시린지에 연결된다. 이와 같은 상태에서 제어부(180)를 보이스 코일 모터(110)를 작동시켜 밸브 로드(120)를 빠른 속도로 상하로 진동시킨다. 사용자의 설정에 따라 제어부(180)는 밸브 로드(120)가 저장부(131) 하면의 밸브 시트(133)에 접촉하는 범위까지 밸브 로드(120)를 상하로 진동시킬 수도 있고, 밸브 로드(120)가 밸브 시트(133)에 접촉하지 않는 범위까지 밸브 로드(120)를 하강시키면서 진동시킬 수도 있다. 이와 같이 밸브 로드(120)를 상하로 빠르게 진동시키는 경우 앞에서 리니어 펌프와 유사한 방법으로 본 실시예의 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프(100)를 작동시키는 경우보다 더 빠르게 더 많은 양의 용액(L)을 토출할 수 있는 것으로 알려져 있다. 제어부(180)는 보이스 코일 모터(110)의 변위와 작동 주파수를 쉽게 제어할 수 있으므로, 본 실시예의 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프(100)는 매우 빠르게 용액(L)을 도포하면서도 동시에 정확한 양의 용액(L)을 도포하는 것이 가능한 장점이 있다. 특히, 보이스 코일 모터(110)는 비교적 작은 부피를 가지는 경우에도 인가 전압이나 코일(112)의 권선수, 영구자석(111)의 세기 등에 따라 매우 강한 힘을 발생시키는 구성을 하는 것이 용이하므로 이와 같은 구성을 용액(L) 펌프에 적용시키는 것은 매우 다양한 장점이 있다. 특히, 점성이 큰 용액(L)을 고속으로 토출하기 위해서는 매우 강한 힘으로 밸브 로드(120)를 작동시켜야 하는데 보이스 코일 모터(110)는 종래의 다른 펌프에 비해 매우 효과적으로 고점도의 용액(L)을 토출할 수 있는 장점이 있다. 특히, 형광 물질이 혼합된 액상의 합성수지(형광액)을 LED 칩에 도포하는 공정을 수행함에 있어서 본 실시예에 따른 용액(L) 도포용 고속 디스펜싱 펌프를 이용하여 고점도의 형광액을 LED 칩에 도포하는 공정을 수행하는 경우 작업 속도를 향상시킬 수 있고 원가를 절감하는 것이 가능한 장점이 있다. It is also possible to operate the high-speed dispensing pump 100 for applying a solution according to the present embodiment as follows, if necessary. First, the inlet valve 140 is opened to allow the solution L to flow into the storage section 131. At this time, the inflow pipe 132 is connected to an external syringe which continuously supplies the solution L to a constant pressure. In this state, the control unit 180 operates the voice coil motor 110 to vibrate the valve rod 120 up and down at a high speed. The controller 180 may vibrate the valve rod 120 up and down to the extent that the valve rod 120 contacts the valve seat 133 on the lower surface of the storage part 131, May vibrate while lowering the valve rod 120 to such an extent that the valve rod 120 does not contact the valve seat 133. When the valve rod 120 is rapidly vibrated up and down in this way, a larger amount of the solution L can be supplied more quickly than in the case of operating the high-speed dispensing pump 100 for applying a solution in this embodiment in a manner similar to that of the linear pump It is known that it can discharge. Since the control unit 180 can easily control the displacement and the operating frequency of the voice coil motor 110, the high-speed dispensing pump 100 for applying a solution of the present embodiment can apply the solution L very rapidly, There is an advantage that the solution L can be applied. Particularly, even when the voice coil motor 110 has a relatively small volume, it is easy to make a configuration that generates a very strong force according to the applied voltage, the winding of the coil 112, the strength of the permanent magnet 111, Applying the configuration to a solution (L) pump has a wide variety of advantages. Particularly, in order to discharge the liquid L having a high viscosity at a high speed, the valve rod 120 must be operated with a very strong force. The voice coil motor 110 has a high viscosity solution L There is an advantage that it can be discharged. Particularly, in performing a process of applying a liquid synthetic resin (fluorescent liquid) in which a fluorescent material is mixed to the LED chip, a high-viscosity fluorescent liquid is applied to the LED chip by using a high-speed dispensing pump for applying the solution (L) It is possible to improve the work speed and reduce the cost.

한편, 제어부(180)가 전원 공급 장치(170)를 작동시켜 노즐(150)과 워크 플레이트(200) 사이에 전위차를 발생시키면, 노즐(150) 내부의 용액(L)에 작용하는 정전기력으로 인해 용액(L)이 워크 플레이트(200) 위의 자재(C)로 떨어지게 된다. 이와 같은 방식으로 용액(L)을 토출시킴에 있어서, 제어부(180)가 전원 공급 장치(170)를 제어하는 방법에 따라 용액(L)을 액적(droplet) 단위로 토출하는 것이 가능하므로 용액(L)의 토출량을 매우 미세하게 조절하는 것이 가능한 장점이 있다.When the control unit 180 operates the power supply unit 170 to generate a potential difference between the nozzle 150 and the work plate 200, the electrostatic force acting on the solution L in the nozzle 150 causes the solution (L) falls to the material (C) on the work plate (200). Since the control unit 180 can discharge the solution L in units of droplets in accordance with the method of controlling the power supply unit 170 in discharging the solution L in this manner, ) Can be controlled very finely.

상술한 바와 같이 본 실시예에 따른 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프(100)를 각각 리니어 펌프와 유사한 방법으로 토출하는 방법, 펌프로드 승강 진동에 의해 토출하는 방법, 전원 공급 장치(170)의 인가 전압에 의해 토출하는 방법을 개별적으로 사용하거나 동시에 2개 이상의 방법을 사용하면서 작동시키면 비교적 많은 양의 용액(L)을 매우 빠르게 토출하면서 용액(L)의 토출양을 매우 정확하게 제어할 수 있는 장점이 있다.As described above, the method of discharging the high-speed dispensing pump 100 for applying a solution according to the present embodiment by a method similar to that of the linear pump, the method of discharging by the pump rod lifting vibration, , Or by using two or more methods at the same time, there is an advantage that the discharge amount of the solution L can be controlled very accurately while discharging a relatively large amount of the solution L very quickly .

예를 들어, LED 칩에 형광액을 토출하는 경우 앞서 설명한 리니어 펌프 방식이나 밸브 로드(120) 승강 진동 방식으로 비교적 큰 단위의 용액(L)을 토출한 후에 용액(L)의 미세 조종은 전원 인가 방식으로 조절하면 하나의 펌프로 속도와 정확성을 모두 만족시키면서 작업을 수행할 수 있는 장점이 있다.For example, in the case of discharging the fluorescent liquid to the LED chip, the micro-manipulation of the solution L after discharging the solution L of a relatively large unit by the above-described linear pump method or the valve rod 120 lifting / It is advantageous to perform the operation while satisfying both speed and accuracy with one pump.

이상 본 발명에 대해 바람직한 예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명하고 도시한 형태로 한정되는 것은 아니다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments.

예를 들어, 앞에서 유입 밸브(140)를 구비하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 유입 밸브(140)를 구비하지 않는 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프를 구성하는 것도 가능하다. 이 경우 유입 밸브(140)를 폐쇄한 상태에서 용액(L)을 토출하는 공정은 수행하지 않게 된다.For example, although the inflow valve 140 is provided as an example, it is also possible to construct a high-speed dispensing pump for dispensing a solution without the inflow valve 140. In this case, the process of discharging the solution L in a state in which the inflow valve 140 is closed is not performed.

또한, 앞에서 예를 들어 설명한 보이스 코일 모터(110)는 영구자석(111)이 고정되고 코일(112)이 상대 운동하도록 구성된 경우를 예로 들어 설명하였으나, 반대로 코일이 고정되고 영구자석이 움직이는 구조로 된 보이스 코일 모터를 사용하는 것도 가능하다.Although the voice coil motor 110 described above has been described by way of example in which the permanent magnet 111 is fixed and the coil 112 is configured to perform a relative motion, the voice coil motor 110 may be configured such that the coil is fixed and the permanent magnet It is also possible to use a voice coil motor.

100: 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프
100: 보이스 코일 모터 111: 영구자석
112: 코일 113: 고정부재
114: 승강부재 130: 펌프 몸체
131: 저장부 132: 유입관
133: 밸브 시트 120: 밸브 로드
140: 유입 밸브 150: 노즐
170: 전원 공급 장치 180: 제어부
200: 워크 플레이트 C: 자재
L: 용액100: High-speed dispensing pump for solution dispensing
100: Voice coil motor 111: Permanent magnet
112: coil 113: fixing member
114: lifting member 130: pump body
131: storage part 132: inlet pipe
133: valve seat 120: valve rod
140: inlet valve 150: nozzle
170: Power supply unit 180: Control unit
200: Work plate C: Material
L: Solution

Claims (6)

용액이 저장되는 저장부와, 외부로부터 상기 용액을 상기 저장부로 공급할 수 있도록 상기 저장부에 연결되는 유입관과, 상기 저장부에 저장된 용액을 하측으로 토출할 수 있도록 상기 상기 저장부의 하측에 형성된 노즐과, 상기 저장부에 승강 가능하게 삽입되어 상기 저장부에 저장된 상기 용액에 대해 압력을 가하는 밸브 로드를 구비하는 펌프 몸체;
상기 펌프 몸체의 밸브 로드에 연결되어 상기 밸브 로드를 승강시키는 보이스 코일 모터(VCM; Voice Coil Motor);
상기 용액을 도포할 자재가 배치되는 워크 플레이트;
상기 펌프 몸체의 노즐과 상기 워크 플레이트 또는 상기 워크 플레이트 위에 배치되는 자재에 전기적으로 연결되어 상기 노즐 내부의 용액과 상기 자재 사이에 전위차를 발생시키는 전원 공급 장치; 및
상기 보이스 코일 모터와 전원 공급 장치를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프.An inlet pipe connected to the storage unit so as to supply the solution from the outside to the storage unit; a nozzle disposed below the storage unit to discharge the solution stored in the storage unit downward; And a valve rod that is vertically inserted into the reservoir and pressurizes the solution stored in the reservoir.
A voice coil motor (VCM) connected to the valve rod of the pump body to lift the valve rod;
A work plate on which the material to be coated with the solution is disposed;
A power supply device electrically connected to a nozzle of the pump body and a material disposed on the work plate or the work plate to generate a potential difference between the solution inside the nozzle and the material; And
And a controller for controlling the voice coil motor and the power supply unit. 제1항에 있어서,
상기 펌프 몸체의 유입관에 설치되어 상기 유입관을 개폐하는 유입 밸브;를 더 포함하며,
상기 제어부는 상기 유입 밸브의 작동도 제어하는 것을 특징으로 하는 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프.The method according to claim 1,
And an inlet valve installed in the inlet pipe of the pump body for opening and closing the inlet pipe,
Wherein the control unit also controls the operation of the inflow valve. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 보이스 코일 모터는, 상기 밸브 로드에 연결되어 상기 밸브 로드를 승강시키는 승강부재와, 상기 승강부재에 설치되는 코일과, 상기 코일을 승강 가능하게 지지하는 영구자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the voice coil motor includes an elevating member connected to the valve rod to elevate the valve rod, a coil provided on the elevating member, and a permanent magnet supporting the coil so as to be able to move up and down High speed dispensing pump. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 밸브 로드가 상하로 진동하도록 상기 보이스 코일 모터를 작동시켜 상기 용액을 상기 노즐을 통해 토출시키는 것을 특징으로 하는 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the control unit actuates the voice coil motor so that the valve rod vibrates up and down to discharge the solution through the nozzle. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 유입 밸브를 개방한 상태에서 상기 보이스 코일 모터에 의해 밸브 로드를 상승시켜 상기 용액을 상기 저장부에 저장한 후, 상기 유입 밸브를 폐쇄한 상태에서 상기 보이스 코일 모터에 의해 상기 밸브 로드를 하강시켜 상기 저장부에 저장된 용액을 상기 노즐을 통해 토출시키는 것을 특징으로 하는 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the controller is configured to raise the valve rod by the voice coil motor while the inlet valve is opened to store the solution in the storage section, And the load is lowered to discharge the solution stored in the reservoir through the nozzle. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 전원 공급장치에 전원을 공급하여 상기 노즐 내부의 용액과 상기 자재 사이에 발생하는 전위차에 의한 정전기력에 의해 상기 용액을 상기 노즐에서 토출시키는 것을 특징으로 하는 용액 도포용 고속 디스펜싱 펌프.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the controller discharges the solution from the nozzle by supplying an electric power to the power supply unit and by an electrostatic force due to a potential difference generated between the solution in the nozzle and the material. .
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